CN101331074B - 垂直搬运装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种垂直搬运装置，该垂直搬运装置中，升降输送机(5)包括回转平台(17)与滚筒式传送带(18)。滚筒式传送带(18)支撑在回转平台(17)上，并通过回转平台控制器(7)旋转回转平台(17)，使滚筒式传送带(18)与接收物品或者移交物品的传送轨道的搬运方向一致，然后驱动传送轨道与滚筒式传送带(18)，从而接收或者移交FOUP(8)。升降输送机(5)用缆索支撑(20)的结合构件(20b)支撑于升降空间(9)内所设置的缆索(20a)，并用升降控制器4，借助缆索支撑(20)使其在垂直方向往返循环，跟随缆索支撑(20)的移动而联动，从而升降自如地停留在各楼层所设置的小舟(21)上。

Description

垂直搬运装置
技术领域
本发明涉及一种与多个楼层上铺设的多条搬运轨道衔接，并沿垂直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装置。
背景技术
在半导体制造厂、液晶显示板制造厂等制造厂中，通过使用搬运传送带、OHT、OHS等搬运系统，按照工艺流程，搬运收纳了制造过程中器件(例如，在半导体制造厂中，为半导体衬底或液晶显示装置用玻璃衬底、光掩模用玻璃衬底、光盘用衬底等处理对象物)的搬运器。在使用了搬运系统的制造厂中，随着生产规模的扩大、制造厂的大规模化得到实现，也要增加制造装置台数、扩大搬运系统的规模，使得制造工序构成往往横跨多个楼层。在那种情况下，施行垂直方向楼层之间的搬运与水平方向同一楼层内的搬运。
因此，在采用传送带搬运方式于楼层之间搬运负荷的搬运系统方面，作为垂直方向进行搬运的现有技术，已有例如专利文献1以及专利文献2所记载的具有传送功能的升降器等垂直搬运装置。专利文献1公开一种带传送功能的升降器，升降式传送带设置于与一、二层部分的立体循环搬运装置的水平部相邻的卸物处，在一、二楼层之间进行升降并实施滚筒式搬运。另外，专利文献2公开一种具有与专利文献1相似功能的带升降器的进库出库链式传送带。
而且，在使用传送带搬运方式以外的搬运方式于楼层之间搬运负荷的搬运系统方面，作为垂直方向进行搬运的现有技术，已有装备了堆垛升降器、转载装置的升降、架式的升降装置等垂直搬运装置。
日本专利文献1：特开平6-239416号公报
日本专利文献2：特开平5-262407号公报
因此，近年来，对提高生产效率的要求更加强烈，从而要求搬运系统方面提高搬运效率(例如，缩短搬运时间)。特别是，在使用了搬运能力高且可达成高生产效率的传送带搬运方式的搬运系统中，就楼层之间搬运物品的垂直搬运装置，协调其搬运能力来说，对楼层之间可高效地进行搬运也渐渐重要起来。但是，作为先行技术的一例，在有关上述的专利文献1以及专利文献2的具有传送功能的升降器，无论何种场合下，装备于升降器的传送带搬运方向始终固定，且沿接收物品的楼层上铺设的传送带的传送搬运方向与沿移交物品的楼层上铺设的传送带搬运方向始终一致地固定，在考虑传送搬运方向方面，存在未全部按统一的规格加以设定与未能构建搬运传送轨道线路的问题。即，先行技术所涉及的升降器，无法适用于使用具有各种搬运方向的搬运传送轨道的传送带搬运方式的搬运系统，而且，还存在无法适应伴随搬运系统规模扩大而搬运传送轨道的搬运方向改变的问题。另外，通过把用于转载物品的转载机(转载机器人等)组装于垂直搬运装置，虽然可以适应多个楼层间具有各种搬运方向的搬运传送轨道的搬运系统，但由于转载机的搬运能力较低，无法与传送带搬运方式所具有的高搬运能力进行协调，从而存在变成低效搬运系统的问题。
另外，在采用传送带搬运方式以外的搬运方式于楼层之间搬运物品的搬运系统中，例如，存在架式升降装置的升降高度具有限制，导致无法适应多个楼层组成的搬运系统的问题。另外，堆垛升降器虽然是不受高度方向限制的升降自如的搬运装置，但物品的转载需要转载机器人等转载机，从而存在转载机的转载时间成为楼层之间搬运效率降低的原因的问题。进而，在现有技术的垂直搬运装置中，装备有转载装置的升降器中使用转载装置，因物品的转载需要时间，所以无法提高楼层之间搬运效率。
发明内容
因此，本发明的目的在于，提供一种在多个楼层上铺设有各种搬运方向的搬运轨道的搬运系统中，可以提高楼层之间搬运效率的垂直搬运装置。
本发明第一方面所涉及的垂直搬运装置，为一种与多个楼层上敷设的多条搬运轨道衔接，并沿垂直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装置，其特征在于：具有，具备可装载从任一条上述搬运轨道搬运来的被搬运物品，而且可把该被搬运物品搬运至任一条上述搬运轨道的搬运传送带，和调合上述搬运轨道的搬运方向并旋转该搬运传送带的旋转装置的搬运方向设定装置；在上述多个楼层的搬运轨道之间，沿垂直方向升降上述搬运方向设定装置的升降装置；以及根据针对被搬运物品的搬运命令，控制上述搬运方向设定装置与上述升降装置的垂直搬运控制装置。
进而，本发明第二方面所涉及的垂直搬运装置也可以为，上述垂直搬运控制装置，在接收被搬运物品之际，控制上述升降装置升降至铺设有接收上述搬运方向设定装置的搬运传送带的楼层，同时控制上述旋转装置使上述搬运传送带与接收物品的上述搬运轨道的搬运方向一致；在移交被搬运物品之际，控制上述升降装置升降至铺设有移交上述搬运方向设定装置的搬运传送带的楼层，同时控制上述旋转装置使上述搬运传送带与移交物品的上述搬运轨道的搬运方向一致。
另外，本发明第三方面所涉及的垂直搬运装置也可以为，上述升降装置包括，横跨铺设有上述搬运轨道的多个楼层且沿垂直方向设置的升降轨道；和将上述搬运方向设定装置支撑于上述升降轨道的支撑构件，通过驱动上述升降轨道或者上述支撑构件中任一方，使上述搬运方向设定装置升降。
进而，本发明第四方面所涉及的垂直搬运装置也可以为，上述搬运轨道为，在由多个楼层组成的制造厂中铺设的，上述搬运轨道以及上述搬运传送带由滚筒式传送带构成。
根据上述本发明的第一方面，可以根据主搬运系统针对被搬运物品发出的搬运命令，用旋转装置使搬运传送带与接收物品的搬运轨道及移交物品的搬运轨道的搬运方向一致，同时用升降装置使搬运方向设定装置从铺设有接收物品搬运轨道的楼层升降至铺设有移交物品搬运轨道的楼层，因此，对于多个楼层上铺设有各种搬运方向搬运轨道的搬运系统，可以提高楼层之间的搬运效率。
根据本发明的第二方面所涉及的垂直搬运控制装置，可以根据主搬运系统针对被搬运物发出的搬运命令，自动地用旋转装置使搬运传送带与接收物品搬运轨道以及移交物品搬运轨道的搬运方向的一致，同时用升降装置使搬运方向设定装置从铺设有接收物品搬运轨道的楼层升降至铺设有移交物品搬运轨道的楼层，因此，对于多个楼层上铺设有各种搬运方向搬运轨道的搬运系统，可以进一步提高楼层之间的搬运效率。
根据本发明的第三方面，可以以简单的结构实现升降装置，因此，对于多个楼层上铺设有各种搬运方向的搬运轨道的搬运系统，也可以容易地实现楼层之间垂直方向的搬运，特别是多个楼层之间垂直方向的搬运。
根据本发明的第四方面，特别是谋求生产规模的扩大、制造厂的大规模化，随之，实施制造装置台数的增加、搬运系统的规模扩大，对于采用制造工序横跨多个楼层而构成的搬运系统的制造厂而言，通过把本发明的垂直搬运装置应用于使用了对楼层之间可高效搬运很重要的滚筒式传送带搬运方式的楼层之间搬运物品的搬运系统，可以实现楼层之间搬运效率的提高。
而且，在本发明中，所谓“搬运轨道”，除了采用传送带搬运方式的搬运系统的搬运传送带以外，还包含采用OHS、OHT等搬运方式的搬运系统的搬运轨道。另外，所谓“搬运传送带”，除了滚筒式传送带、链式传送带以外，还包含皮带式传送带等。
附图说明
图1为表示本实施方式所涉及的垂直搬运装置的立体图。
图2为包含表示本实施方式所涉及的装载有FOUP的垂直搬运装置的回转平台的局部剖面的主视图。
图3为说明本实施方式所涉及的垂直搬运装置的回转平台的旋转定位驱动原理的A-A‘剖视图。
图4为说明本实施方式所涉及的垂直搬运装置的滚筒式传送带的驱动原理的主视图。
图5为表示本实施方式所涉及的垂直搬运装置的垂直搬运控制器框图。
图6为表示本实施方式所涉及的垂直搬运控制器的回转平台控制器的处理程序流程图。
图7为表示本实施方式所涉及的垂直搬运控制器的升降控制器的处理程序的流程图。
图8为包含本实施方式所涉及的垂直搬运装置的缆索支撑的局部剖面的主视图。
图9为表示另一个实施方式所涉及的垂直搬运装置的缆索支撑的局部剖面的主视图。
标号说明
1   垂直搬运装置
3   垂直搬运控制器(垂直搬运控制装置)
4   升降控制器
5   升降输送机
7   回转平台控制器
8   FOUP(被搬运物品)
10-1～10-3 传送轨道(搬运轨道)
11-1～11-3 传送轨道(搬运轨道)
12-1～12-2 传送轨道(搬运轨道)
13  传送轨道(搬运轨道)
17  回转平台(旋转装置)
18  滚筒式传送带(搬运传送带)
20  缆索支撑(升降装置)
20a 缆索(升降轨道)
20b 结合构件(支撑构件)
具体实施方式
以下，边参照附图边说明用于实施本发明所涉及的垂直搬运装置的一例具体最佳方式。需要说明的是，本实施方式可以假想为，应用于制造工序横跨多个楼层而构成的半导体制造厂中，使用铺设成多个楼层的滚筒式传送带的搬运系统的场合。
下面，根据图1对于本实施方式所涉及的垂直搬运装置进行说明。图1为表示本实施方式所涉及的垂直搬运装置的立体图。
如图1所示，垂直搬运装置1具有，升降输送机(搬运方向设定装置)5、缆索支撑升降装置)20、包括升降控制器4以及回转平台控制器7(图2)的垂直搬运控制器(垂直搬运控制装置)3。而且，图1中的系统控制器2为控制整个搬运系统的控制器，就是对被搬运物品的FOUP8D发出搬运命令的构件。
升降输送机5设置于贯穿四个楼层并用外壁22隔开的升降空间9。并且，在升降空间9内，每一层上均设有小舟21-1～21-4，在各层的小舟21-1～21-4上，各自衔接设有一条或者多条的输送轨道(搬运轨道)。在图1所示例中，一层上，通过小舟21-1衔接设有三条输送轨道(输送轨道10-1、输送轨道11-1、输送轨道12-1)；二层上，通过小舟21-2衔接设有三条输送轨道(输送轨道10-2、输送轨道11-2、输送轨道12-2)；三层上，通过小舟21-3衔接设有三条输送轨道(输送轨道10-3、输送轨道11-3、输送轨道12-3)，进而，四层上，通过小舟21-4衔接设有一条输送轨道(输送轨道13)。而且，在一～四层的各楼层的输送轨道上，设置有对应于各层输送轨道的输送轨道控制器6-1、6-2、6-3、6-4。
因此，根据图8，详细说明本实施方式所涉及的缆索支撑20。图8为包含表示本实施方式所涉及的垂直搬运装置的缆索支撑局部剖面主视图。缆索支撑20包括缆索(升降轨道)20a与结合构件(支撑构件)20b。并且，升降输送机5用例如图8所示的结合构件20b，支撑于升降空间9内所设置的缆索20a上，并在升降控制器4的控制下，通过缆索支撑20(即，缆索20a)向垂直方向的往返循环，跟随缆索支撑20(即，缆索20a)的移动而联动，升降自如地停留于一～四各层所设置的小舟21。
对此，根据图2～图4，详细说明本实施方式所涉及的升降输送机5。图2为包含表示本实施方式所涉及的装载有FOUP的垂直搬运装置的回转平台局部剖面主视图。图3为说明本实施方式所涉及的垂直搬运装置的回转平台旋转定位驱动原理的A-A‘剖视图。图4为说明本实施方式所涉及的垂直搬运装置的滚筒式传送带驱动原理的主视图。
如图2所示，升降输送机5包括回转平台(旋转装置)17与滚筒式传送带(搬运传送带)18。因此，滚筒式传送带18支撑在构成回转平台17的工作台41上。并且，工作台41通过支撑构件33被旋转轴35所支撑，旋转轴35通过轴承36固定在升降器壳体16上。另外，在旋转轴35上固定有带轮34，并且经由同步带37与驱动电动机38的旋转轴40上固定的带轮39相连结，从而通过驱动电动机38的驱动进行正反旋转。并且，在升降器壳体16内设置有回转平台控制器7，通过后述的光电传感器45以及触头30，根据测定的工作台41的旋转方向，并基于来自后述系统控制器2的搬运命令，驱动驱动电动机38并使工作台41旋转。而且，升降输送机5上所装备的搬运传送带，并不限定于滚筒式传送带，也可以是链式传送带、皮带式传送带等。
因此，根据图2以及图3，对构成升降输送机5的回转平台17的旋转定位机构及其驱动原理进行说明。如图2所示，光电元件31与发光元件32于升降器壳体16的上部端面配对构成的光电传感器45，并以夹着工作台41的底面下所设置的触头30的状态而设置。其中，光电传感器45与触头30检测回转平台17，即工作台41的旋转方向，是用于决定滚筒式传送带的搬运方向而设置的。如图3所示，回转平台17的旋转位置定位机构包括四个触头检测传感器45a、45b、45c、45d、辅助触头检测传感器45e和触头30。触头30为工作台41的旋转位置识别装置，是沿工作台41的外周弯曲设置在工作台41上的平板。而且，触头30形成了覆盖稍短于工作台41的半圆周范围的长度。四个触头检测传感器45a、45b、45c、45d位于升降器壳体16的上表面圆周边缘部，并由发光元件31与光电元件32夹着触头30固定设置在四等分以旋转轴52为中心的中心角的各个分割线的延长线上。另外，辅助触头传感器45e固定设置于顺时针方向偏离触头检测传感器45b仅中心角θ的升降器壳体16的上表面圆周边缘部。于是，触头检测传感器45a、触头检测传感器45b、触头检测传感器45c、触头检测传感器45d、触头检测传感器45e分别称之为：-90°位置传感器、0°位置传感器、+90°位置传感器、+180°位置传感器、超过位置传感器。辅助触头检测传感器45e用于判别+180°超过位置与-90°超过位置而设置。工作台41的旋转位置是以触头30的中心位置进行判断，例如图3中，触头30的中心位于0°位置，则称工作台41位于0°位置。而且，工作台41的停止位置限定在触头30的中心位置为0°、+90°、+180°、-90°四处。据此，通过由检测传感器45a、45b、45c、45d与辅助触头检测传感器45e共计五个光电传感器45进行触头30的检测有无的组合，能够识别工作台41的旋转位置。另外，工作台41的旋转具有顺时针方向与逆时针方向的两个方向。旋转时0°位置作为原点，在定位于-90°位置时，从原点顺时针方向旋转工作台41，在定位于+90°与+180°时，从原点逆时针方向旋转工作台41。并且，基于光电传感器45、触头30测定的工作台41的旋转位置，并基于来自系统控制器2的搬运命令，按照回转平台控制器7发出的旋转命令，驱动驱动电动机38并使工作台41旋转。另外，上述的回转平台17的旋转定位机构不仅决定滚筒式传送带的搬运方向，而且当电源接通时实施的工作台位置初始化时，还进行回转平台位置检测。另外，回转平台17的旋转定位机构并不限定于上述结构，只要是能够根据回转平台17的旋转位置，使回转平台17朝规定的方向旋转的机构都可以。
以下，根据图2以及图4对构成升降输送机5的滚筒式传送带18进行说明。滚筒式传送带18支撑于回转平台17上，包括滚筒支撑构架29、滚筒27、滚筒轴28。并且，滚筒27设置于构架29的两侧，包括具有设置于一侧的驱动机构的驱动滚筒47，和另一侧没有设置驱动机构却旋转自如的从动滚筒44。驱动滚筒47如图4所示，由五个滚筒27构成一个部件。并且，驱动滚筒47中，滚筒轴28转动自如地支撑在滚筒式传送带18的滚筒支撑架19上，且在滚筒轴28上整体地设有承接部49与凸缘部50，在承接部49的外周插入聚氨酯橡胶51。另外，在滚筒轴28中插入有齿带轮48，在驱动电动机53的驱动轴55上固定链轮54，该链轮54配置于和一连串的滚筒27上所固定的链轮48的同一垂直平面上。另外，同步带46相对链轮54以及链轮48，依次扣合在齿部一侧(内周面)，而构成一个环形圈，上述链轮54为作为滚筒27驱动源的驱动电动机53的链轮；上述链轮48为呈直线状排列的一连串的滚筒27上各自设置的多个(图4所示例中为五个)链轮。并且，在没有同步带46齿部的一侧(外周面)适当处(图4所示例为两处)，配置有张力滚筒52。而且，张力滚筒52的支撑轴对同步带46施加张力。另外，凸缘部50担负功能如下，即，对滚筒式传送带18上所输送的FOUP8强制性地进行矫正左右方向的移动，使其无法脱离传送轨道。
另外，在滚筒式传送带18的滚筒支撑架29上安装一对传感器支撑构件26，在一对传感器支撑构件26上设置载荷传感器25。一对载荷传感器25进行判断有无FOUP8的存在以及FOUP8是否装置于正常的位置。如果一对载荷传感器25双方均处于检测的状态，则判断为FOUP8放置于正常的位置，如果一对载荷传感器中两者之一个处于检测的状态，则判断为FOUP8未放置于正常的位置，如果一对载荷传感器25双方均处于未检测的状态，则判断为不存在FOUP8。而且，载荷传感器25对有无FOUP8的存在以及FOUP8是否放置于正常位置的判断均输出到回转平台控制器7。
接着，根据图5对控制升降输送机5以及缆索支撑20的垂直搬运控制器3的运行进行说明。图5为表示本实施方式所涉及的垂直搬运装置的垂直搬运控制器框图。如图5所示，垂直搬运控制器3包括，用于控制升降输送机5的回转平台控制器7与用于控制缆索支撑20的升降控制器4。
回转平台控制器7与系统控制器2、升降控制器4、各楼层的传送轨道控制器6(1～N传送轨道控制器6-1～6-N)连接，并与回转平台控制器7连接的各个控制器之间进行信号的发送接收。另外，回转平台控制器7存储附属于FOUP8的数据(每一楼层特有的回转平台17的搬运方向数据，升降控制器4移动的楼层数据)。并且，回转平台控制器7接收来自系统控制器2的搬运请求，并判断当前层是否是目标层(铺设有接收物品传送轨道的楼层或者铺设有移交物品传送轨道的楼层)，当为不同层的情况下，对升降控制器4发出升降命令。同时，回转平台控制器7旋转回转平台17，使其与目标传送轨道(接收物品传送轨道或者移交物品传送轨道)的搬运方向一致。另外，回转平台控制器7在到达目标层(铺设有接收物品传送轨道的楼层或者铺设有移交物品传送轨道的楼层)以后，在使接收物品或者移交物品的传送轨道与升降输送机5的滚筒式传送轨道连结的状态下，对该层的传送轨道控制器6发出传送轨道的滚筒驱动命令，同时驱动升降输送机5的驱动滚筒47。
升降控制器4通过接收来自回转平台控制器7的升降命令并沿垂直方向使缆索支撑20往返循环，让升降输送机5升降到目标层(铺设有接收物品传送轨道的楼层或者铺设有移交物品传送轨道的楼层)，如果确定已到达了目标层(铺设有接收物品传送轨道的楼层或者铺设有移交物品传送轨道的楼层)的小舟后，将升降运行结束信号发送给回转平台控制器7。
在此，根据图6以及图7，对自系统控制器2输出搬运请求，升降到某一层以接收物品，垂直搬运控制器3在某一层上进行接收物品，以及升降、某一层(有时也为同一层)移交物品的垂直搬运控制器3的处理程序进行说明。图6为表示本实施方式所涉及的垂直搬运控制器3的回转平台控制器7的处理程序流程图。图7为表示本实施方式所涉及的垂直搬运控制器3的升降控制器4的处理程序流程图。
首先，根据图6对回转平台控制器7的处理程序进行说明。如图6所示，首先，回转平台控制器7每隔规定的时间间隔，判断是否存在来自搬运系统控制器2的搬运请求，如果接到来自搬运系统控制器2的搬运请求(步骤S1：YES)，则进行当前位置是否是接收物品层的判断(步骤S2)。
并且，在当前位置为接收物品层的情况下(步骤S2：YES)，不对升降控制器4发出升降命令，而是驱动回转平台17的驱动电动机38，使回转平台17旋转到与接收物品传送轨道的搬运方向一致(步骤S3)。另一方面，在当前位置与接收物品层不同的情况下(步骤S2：NO)，对升降控制器4发出达到接收物品层的升降命令，同时驱动回转平台17的驱动电动机38，使回转平台17旋转到与接收物品传送轨道的搬运方向一致(步骤S4)。
接着，如果到达接收物品层，并收到来自升降控制器4的升降运行结束信号(步骤S5：YES)，则在升降输送机5的滚筒式传送带18与接收物品传送轨道进行了轨道连结的状态下，对铺设有接收物品传送轨道的楼层的传送轨道控制器6发出接收物品传送轨道的滚筒驱动命令，同时驱动升降输送机5的驱动滚筒47的驱动电动机55，将FOUP8从接收物品传送轨道运送到升降输送机5上，完成接收物品(步骤S6)。还有，在升降输送机5上的一对载荷传感器25双方均处于检测的状态而判断为FOUP8放置于正常位置时，接收物品结束。
如果接收物品结束(步骤S6：YES)，则对升降控制器4发出到达移交物品层的升降命令，同时驱动回转平台17的驱动电动机38，使回转平台17旋转到与移交物品传送轨道的搬运方向一致(步骤S7)。
接着，如果到达移交物品层，并收到来自升降控制器4的升降运行结束信号(步骤S8：YES)，则在使升降输送机5的滚筒式传送带18与接收物品传送轨道进行轨道连结的状态下，对铺设有移交物品传送轨道的楼层的传送轨道控制器6发出移交物品传送轨道的滚筒驱动命令，同时驱动升降输送机5的驱动滚筒47的驱动电动机55，将FOUP8从升降输送机5运行到移交物品传送轨道上，完成移交物品(步骤S9)。还有，在升降输送机5上的一对载荷传感器25双方均处于未检测的状态而判断为FOUP8不存在时，接收物品结束。
以下，根据图7对升降控制器4的处理程序进行说明。如图7所示，升降控制器4每隔规定的时间间隔，判断是否存在来自回转平台控制器7的升降命令，如果接到了来自回转平台控制器7的升降命令(步骤S21：YES)，则通过沿垂直方向往返循环缆索支撑20，使升降输送机5升降到接受命令的目标层(铺设有接收物品传送轨道的楼层或者铺设有移交物品传送轨道的楼层)(步骤S22)。
并且，如果确定已到达了接受命令的目标层(铺设有接收物品传送轨道的楼层或者铺设有移交物品传送轨道的楼层)的小舟后(步骤S23：YES)，将升降运行结束信号发送给回转平台控制器7(步骤S24)，升降运行结束。
这样，根据本实施方式所涉及的垂直搬运装置1，可以根据来自系统控制器2的对FOUP8的搬运请求，用升降输送机5的回转平台17，沿接收物品传送轨道以及移交物品传送轨道的方向，调合装载FOUP8并使之在楼层之间升降的升降装置，而且用回转平台17，使升降输送机5的滚筒式传送带18与接收物品传送轨道以及移交物品传送轨道的搬运方向一致，同时用缆索支撑20，将升降输送机5从铺设有接收物品传送轨道的楼层升降至铺设有移交物品传送轨道的楼层，因此，在多个楼层上铺设有各种搬运方向的传送轨道的搬运系统中，能够提高楼层之间的搬运效率。
特别是在谋求生产规模的扩大、制造厂的大规模化，随之，实施制造装置台数的增加、搬运系统的规模扩大，对于采用制造步骤横跨多个楼层而构成的搬运系统的制造厂，借助于把本发明所涉及的垂直搬运装置1应用于使用了对在楼层之间可高效搬运很重要的滚筒式传送带搬运方式的楼层之间搬运负荷的搬运系统，就能够实现楼层之间搬运效率的提高。
另外，用升降空间9内所设置的缆索支撑20的这种简单结构，可实现升降装置，因此，对于多个楼层上铺设有各种搬运方向的传送轨道的搬运系统，也很容易实现楼层之间垂直方向上的搬运，特别是多个楼层之间垂直方向的搬运。
而且，可以通过垂直搬运控制器3，基于来自系统控制器2的针对FOUP8的搬运请求，使用升降输送机5的回转平台17，自动地使升降输送机5的滚筒式传送带18与接收物品传送轨道以及移交物品传送轨道的搬运方向调合，同时使用缆索支撑20，将升降输送机5从铺设有接收物品传送轨道的楼层升降至铺设有移交物品传送轨道的楼层，因此，在多个楼层上铺设有各种搬运方向的传送轨道的搬运系统中，能够进一步提高楼层之间的搬运效率。
以上，本发明记载了上述的优选实施方式，但并非本发明只限定于此。除此之外只要不脱离本发明的构思与范围的各种各样实施方式均可以进行。进而，在本实施方式中，说明了本发明结构的作用以及效果，但这些作用以及效果只是一个例子，而不是限定本发明的。而且，具体例为举例说明了本发明的结构，也不是限定本发明的。
例如，在上述实施方式中，用结合构件20b结合了图8所示的升降输送机5的升降空间9内设置的缆索20a所构成的缆索支撑20来实现升降装置，但并不局限于此。例如，如图9所示，也可以是通过沿升降空间内9的垂直方向设置轨道(升降轨道)60a，而且在结合升降输送机5的结合构件(支撑构件)60b上设置驱动齿轮60c以及齿轮60c的电动机60d，使该轨道60a与齿轮60c咬合，并借助电动机60d驱动齿轮60c，沿着轨道60a使升降输送机5在垂直方向上升降这样结构的升降装置6。
另外，上述实施方式所涉及的垂直搬运装置，设想适用于使用滚筒式传送带的搬运系统的场合，但并不局限于此。例如，也可以将上述实施方式所涉及的垂直搬运装置用于使用了皮带式传送带、链式传送带等其他搬运传送带的搬运系统，或者使用了OHT、OHS等搬运方式的搬运系统。因此，在把上述实施方式所涉及的垂直搬运装置用于使用了OHT、OHS等搬运方式的搬运系统的情况下，也可以从OHT、OHS搬运轨道，通过相邻设置的OHT、OHS用的小舟搬运至图1中的各个小舟21上。还有，在OHS的情况下，也可以进一步通过将载荷台作为传送机结构，利用OHS用的小舟以及传送带搬运就可以移交被搬运物品。
本申请基于2005年12月16日申请的日本专利申请(特愿2005-362757)，并且引用其内容于此以供参考。
工业方面可应用性
如上所述，根据本发明的垂直搬运装置，可以根据来自主搬运系统针对被搬运物品发出的搬运命令，用旋转装置使搬运传送带与接收物品搬运轨道及移交物品搬运轨道的搬运方向一致，同时用升降装置使搬运方向设定装置从铺设有接收物品搬运轨道的楼层升降至铺设有移交物品搬运轨道的楼层，因此，对于多个楼层上铺设有各种搬运方向的搬运轨道的搬运系统而言，可以提高楼层之间的搬运效率。

Claims (3)

1.一种与多个楼层上敷设的多条搬运轨道衔接、设置于贯穿多个楼层并被外壁隔开的升降空间内并沿垂直方向搬运被搬运物品的垂直搬运装置，其特征在于具有：搬运轨道控制装置；搬运方向设定装置；升降装置；以及垂直搬运控制装置，
该搬运轨道控制装置设置于各楼层，并驱动控制所述各楼层的所述搬运轨道，
该搬运方向设定装置在所述升降空间内升降，并可装载从任一所述搬运轨道搬运的被搬运物品，而且具备可把该被搬运物品搬运到任一所述搬运轨道的搬运传送带，和调合所述搬运轨道的搬运方向并且旋转该搬运传送带的旋转装置，
该升降装置具有升降轨道和支撑构件，该升降轨道横跨多个楼层且沿垂直方向设置在所述升降空间内，该支撑构件将所述搬运方向设定装置支撑于所述升降轨道；该升降装置通过驱动所述升降轨道或所述支撑构件两者之一，在所述多个楼层的搬运轨道之间，沿垂直方向升降所述搬运方向设定装置，
该垂直搬运控制装置根据针对被搬运物品的搬运命令，在执行所述旋转装置的旋转控制、所述搬运传送带的驱动控制以及所述升降装置的升降控制的同时，判断所述搬运方向设定装置的当前层是否是目标层，在达到目标层后，对所述搬运轨道控制装置发送搬运轨道滚筒驱动指令。
2.如权利要求1所述的垂直搬运装置，其特征在于：
所述垂直搬运装置为，
当接收被搬运物品时，控制所述升降装置升降至铺设有接收所述搬运方向设定装置的搬运传送带的楼层，同时控制所述旋转装置使所述搬运传送带与接收物品的所述搬运轨道的搬运方向一致；
当移交被搬运物品时，控制所述升降装置升降至铺设有移交所述搬运方向设定装置的搬运传送带的楼层，同时控制所述旋转装置使所述搬运传送带与移交物品的所述搬运轨道的搬运方向一致。
3.如权利要求1所述的垂直搬运装置，其特征在于：
所述搬运轨道是在由多个楼层组成的制造厂中铺设的，
所述搬运轨道及所述搬运传送带由滚筒式传送带构成。
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Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009120310A (ja) * 2007-11-14 2009-06-04 Murata Mach Ltd ターンテーブル及びターンテーブル上の物品の検出方法
US8977387B2 (en) 2009-10-29 2015-03-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. System and method for overhead cross-system transportation
JP2011225338A (ja) * 2010-04-20 2011-11-10 Taesung Engineering Corp ４方向物流リフター
JP5674041B2 (ja) * 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5826599B2 (ja) * 2011-11-04 2015-12-02 ヤマハ発動機株式会社 リニアモータおよびリニア搬送装置
CN103204383B (zh) * 2012-01-17 2015-09-09 武汉海澜物流设备有限公司 卧式自动循环工装板垂直输送机输送片烟包的方法
CN103287771B (zh) * 2012-02-23 2015-09-09 谢刚 卧式自动循环工装板垂直输送机在烟叶楼库的存储方法
CN102689787B (zh) * 2012-06-08 2014-06-11 南通明兴科技开发有限公司 一种换向移载输送装置和输送系统
CN103145068B (zh) * 2013-03-19 2015-07-08 遵义火焰山电器有限公司 一种载货升降机构
KR101427323B1 (ko) * 2013-03-19 2014-08-06 (주)함코 타이어 휠 보호용 패드 공급장치
CN103420118B (zh) * 2013-08-28 2015-09-09 苏州卫捷医药科技有限公司 医用垂直分拣系统
CN103538920B (zh) * 2013-10-17 2015-08-05 济南拓展输送设备有限公司 一种双层旋转升降机
JP6314713B2 (ja) * 2014-07-14 2018-04-25 株式会社ダイフク 階間搬送設備
CN104150207A (zh) * 2014-08-25 2014-11-19 长沙开元仪器股份有限公司 输送设备及其输送转向装置
CN104150185A (zh) * 2014-08-25 2014-11-19 长沙开元仪器股份有限公司 一种输送设备
US10486940B2 (en) * 2015-08-25 2019-11-26 Otis Elevator Company Alignment system for an elevator car
TWI557841B (zh) * 2016-02-01 2016-11-11 亞智科技股份有限公司 輸送處理裝置與輸送處理方法
DE102016211997A1 (de) * 2016-07-01 2018-01-04 Thyssenkrupp Ag Aufzugsanlage
US9850653B1 (en) 2016-07-06 2017-12-26 Par Systems, Inc. Modular elevator shaft assembly and method for making the same
CN106115212A (zh) * 2016-08-24 2016-11-16 河北羿珩科技股份有限公司 多层立体式太阳能组件自动化传输系统
CN107913853A (zh) * 2016-11-16 2018-04-17 揭阳市腾晟科技咨询有限公司 物流智能分拣装置
WO2018195851A1 (zh) * 2017-04-27 2018-11-01 刘卓鹏 用于楼宇的货物运输系统和方法
WO2018225435A1 (ja) * 2017-06-06 2018-12-13 村田機械株式会社 階間搬送システム及び階間搬送方法
GB2568803B (en) * 2017-10-31 2022-10-19 Itoh Denki Co Ltd Lifting and lowering apparatus
CN109956276A (zh) * 2017-12-22 2019-07-02 江苏中天华宇智能科技有限公司 运输装置
CN108202964B (zh) * 2017-12-29 2020-09-04 苏州谷夫道自动化科技有限公司 工件移送系统
CN108814025B (zh) * 2018-06-06 2023-11-24 泉州市一扬文化用品有限公司 一种物品存放装置及其使用方法
CN110668127B (zh) * 2019-09-25 2021-04-02 义乌市义心科技有限责任公司 一种零件输送用方向调整设备
CN110980233A (zh) * 2019-12-30 2020-04-10 安徽安鑫货叉有限公司 一种用于型材转运的旋转机构
EP3936407A1 (en) 2020-07-10 2022-01-12 ATOTECH Deutschland GmbH Processing apparatus, system and method for conveying therethrough parts to be treated and device for interconnecting a first line and a second line of the system
CN112537594A (zh) * 2020-11-30 2021-03-23 珠海格力智能装备有限公司 输送设备
KR20230058777A (ko) * 2021-10-25 2023-05-03 삼성전자주식회사 기판 이송 시스템
KR20230093883A (ko) 2021-12-20 2023-06-27 주식회사 에스에프에이 쐐기형 추락방지장치를 구비하는 수직 반송 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2255965Y (zh) * 1995-09-04 1997-06-11 财团法人工业技术研究院 输送机移载装置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3075655A (en) * 1963-01-29 bryant
US3968888A (en) * 1968-10-21 1976-07-13 The Lummus Company Warehouse sysem with parallel conductor positional control means for a stacker crane
US3792785A (en) * 1973-01-26 1974-02-19 Fmc Corp Automated storage and freight terminal apparatus
US4484289A (en) * 1982-01-29 1984-11-20 Rapistan Division Of Lear Siegler, Inc. Tote director
US4768914A (en) * 1986-01-13 1988-09-06 Peter Sing Storage system
JPS6337023A (ja) * 1986-07-31 1988-02-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 昇降装置
US4946006A (en) * 1988-04-13 1990-08-07 T. K. M. Engineering Kabushiki Kaisha Elevator apparatus with a sectored vertical shaft and a turntable for transfering elevator cages between the individual sectors
US5044859A (en) * 1989-10-19 1991-09-03 Harnischfeger Engineers, Inc. Control system for a storage and retrieval machine
JPH0717333B2 (ja) * 1990-08-07 1995-03-01 鹿島建設株式会社 リニアモータ駆動エレベータ
KR970003868B1 (ko) * 1991-10-14 1997-03-22 가부시끼가이샤 다이후꾸 입체주차설비
US5284252A (en) * 1991-11-13 1994-02-08 United Parcel Service Of America, Inc. Automatic rotary sorter
JPH05262407A (ja) 1992-03-18 1993-10-12 Japan Steel Works Ltd:The 自動倉庫におけるパレット供給装置及びその方法
JPH06239416A (ja) 1993-02-10 1994-08-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd パレットの搬送装置
JP3298388B2 (ja) * 1995-11-24 2002-07-02 株式会社ダイフク 車の移送設備
EP0887491B1 (en) * 1997-06-06 2004-04-07 Park Plus, Inc. Vehicle handling system
ES2153751B1 (es) * 1998-09-21 2001-08-01 Gomez Gines Sanchez Almacen automatico.
US6516239B1 (en) * 1999-08-03 2003-02-04 Honda Of Canada Incorporated Assembly line control system
JP2001187631A (ja) * 1999-12-28 2001-07-10 Murata Mach Ltd 物品移載装置
KR100351175B1 (ko) * 2000-03-15 2002-09-05 주식회사 이성엔지니어링 수직 반송장치
JP2002167032A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Murata Mach Ltd 昇降移載装置及び昇降移載方法
US6854583B1 (en) * 2001-02-06 2005-02-15 Middlesex General Industries, Inc. Conveyorized storage and transportation system
TWI254695B (en) * 2002-08-29 2006-05-11 Murata Machinery Ltd Carrying apparatus
US7591630B2 (en) * 2003-08-29 2009-09-22 Casepick Systems, Llc Materials-handling system using autonomous transfer and transport vehicles
JP2005325606A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Toshihiro Abe 荷物格納装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2255965Y (zh) * 1995-09-04 1997-06-11 财团法人工业技术研究院 输送机移载装置

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP昭63-37023A 1988.02.17
JP特开2001-187631A 2001.07.10
JP特开2002-167032A 2002.06.11
JP特开平9-142644A 1997.06.03

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