WO2014203702A1 - 離型用二軸配向積層ポリエステルフィルム - Google Patents

離型用二軸配向積層ポリエステルフィルム Download PDF

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WO2014203702A1
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polyester film
less
biaxially oriented
oriented polyester
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PCT/JP2014/064264
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金子裕介
高木順之
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東レ株式会社
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    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/16—Capacitors

Definitions

  • the present invention relates to a mold release base film based on a biaxially stretched polyester film and having an excellent balance between smoothness and uniform peelability.
  • the surface on which the ceramic slurry is formed does not substantially contain particles, and the three-dimensional center plane roughness (SRa) is 2 to 7 nm.
  • a base film that generates less pinholes on a green sheet is disclosed (Patent Document 1).
  • coating by reducing the dent defect of a film surface is disclosed (patent document) 2).
  • there is a method to reduce the occurrence of raised defects by improving the electrostatic charge generated by the smoothing associated with the thinning of the green sheet in the film winding process so that foreign matter attached to the film is caught by static electricity.
  • Patent Document 3 a method in which fine particles are not blended in an intermediate layer having a different three-layer structure is disclosed in order to enable high smoothness, foreign matter reduction, and production cost reduction.
  • Patent Document 4 a method in which fine particles are not blended in an intermediate layer having a different three-layer structure is disclosed in order to enable high smoothness, foreign matter reduction, and production cost reduction.
  • the method of defining and controlling surface protrusions is generally realized by adding particles to the polyester film as the base material, and its evaluation is based on three-dimensional fine surface shape measurement.
  • a method of obtaining from a surface profile obtained from a vessel is known (Patent Documents 5 and 6).
  • the release film obtained by the above-described conventionally known technique has a problem that the lamination accuracy can be increased to a certain degree, but the variation in the peeling characteristics cannot be suppressed.
  • a release film obtained by a conventionally known technique reduces the number of projections generally called coarse projections present on the surface of the release layer, and makes a highly smooth film.
  • the release film obtained by the above known technique since the surface of the release layer is too smooth, there is no point (peeling start point) that triggers peeling, and as a result, variation occurs in peeling characteristics. It is thought that.
  • the present inventors have clarified that the variation in the peeling characteristics can be suppressed by forming protrusions (large protrusions) having a certain shape on the surface of the release film.
  • An object of the present invention is to provide a high-smooth biaxially oriented polyester film for mold release, in which the release properties of the film, in particular, the dispersion of the release is extremely small, after a highly smooth green sheet is laminated in a thin film and in multiple layers. It is in.
  • a release polyester film suitable for forming a thin film green sheet has been found, and the present invention has been achieved. That is, A biaxially oriented polyester film for release satisfying the following (1) to (3).
  • the surface roughness SRa (A) of one surface is 7.0 nm or more and less than 15.0 nm.
  • the surface roughness SRa (B) of the surface opposite to the A surface (this surface is defined as the B surface) is more than 30 nm and less than 50 nm.
  • the number of large protrusions present on the A surface is 10 / 5.0 mm 2 or more and 20 / 5.0 mm 2 or less, and the heights of the large protrusions existing on the A surface are all 800 nm or less. It is.
  • the coating property of the ceramic slurry and the variation in the peeling property of the green sheet at the time of forming a highly smooth thin film green sheet are improved.
  • the term “for mold release” refers to an application in which a polyester film base material is used to mold a member and peel from the molded member.
  • the members referred to here include green sheets in multilayer ceramic capacitors, interlayer insulating resins (electrical insulating resins) in multilayer circuit boards, polycarbonates in optical related members (in this case, used in solution casting), and the like.
  • the biaxially oriented polyester film for mold release according to the present invention has good release characteristics, and in particular, the variation in release is extremely small. Therefore, it can be suitably used for a release film used for supporting green sheet molding in a process for producing a multilayer ceramic capacitor.
  • the biaxially oriented polyester film for mold release of the present invention is excellent in the coating property of the ceramic slurry at the time of molding even when a highly smooth green sheet is laminated in a thin film and in multiple layers, and the green sheet punching property and green sheet lamination The accuracy is good.
  • the biaxial orientation refers to a biaxially oriented pattern by wide-angle X-ray diffraction.
  • An unstretched (unoriented) film is obtained by stretching in a two-dimensional direction by a conventional method. Stretching can take sequential biaxial stretching. In sequential biaxial stretching, the process of stretching in the longitudinal direction (longitudinal) and the width direction (transverse) can be performed once in the length-width direction, or in each direction such as length-width-length-width. It can also be carried out once or more.
  • the polyester is a polyester comprising dibasic acid and glycol as constituent components, and the aromatic dibasic acid is terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, naphthalene dicarboxylic acid Acid, diphenylsulfone dicarboxylic acid, diphenyl ether dicarboxylic acid, diphenyl ketone dicarboxylic acid, phenylindane dicarboxylic acid, sodium sulfoisophthalic acid, dibromoterephthalic acid and the like can be used.
  • alicyclic dibasic acid oxalic acid, succinic acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, dimer acid and the like can be used.
  • glycol ethylene glycol, propylene glycol, tetramethylene glycol, propylene glycol, tetramethylene glycol, hexamethylene glycol, neopentyl glycol, diethylene glycol and the like can be used as the aliphatic diol, and naphthalenediol, 2,2-bis (4-hydroxydiphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxyethoxyphenyl) propane, bis (4-hydroxyphenyl) sulfone, hydroquinone, etc. can be used.
  • Cyclohexanedimethanol, cyclohexanediol and the like can be used as the alicyclic diol.
  • the polyester can be produced by a known method, and the intrinsic viscosity preferably has a lower limit of 0.5 dl / g or more and an upper limit of 0.8 dl / g or less. More preferably, the lower limit is 0.55 dl / g or more and the upper limit is 0.70 dl / g or less.
  • the surface roughness SRa (A) of one surface is 7.0 nm or more and less than 15.0 nm, which is opposite to the A surface.
  • This is a polyester film having a surface roughness SRa (B) of more than 30 nm and less than 50 nm.
  • the biaxially oriented polyester film for mold release of the present invention is a laminated film having a layer A and a layer B (for mold release), comprising at least two layers of an A layer constituting the A surface and a B layer constituting the B surface.
  • a biaxially oriented polyester film) is preferred.
  • the A layer is an excellent layer for forming a surface on which the ceramic slurry is applied because it is excellent in the coating property of the ceramic slurry after the release layer is provided.
  • the coating property of the ceramic slurry is a ceramic sheet (molded body) obtained after applying the dielectric material of the ceramic capacitor on the release film made of the biaxially oriented polyester film for release of the present invention and drying it.
  • a so-called green sheet) exhibits the characteristic that it has been obtained without occurrence of pinholes or uneven coating.
  • the green sheet peeling property means that the green sheet cut in the above step was peeled without causing damage such as tearing in the step of peeling the release film after being pressed on the substrate by hot pressing. It shows the characteristics. A description of these evaluation methods will be given later.
  • the B layer is a surface layer on the opposite side of the A layer forming the release layer, and is a surface in contact with the release layer or the green sheet when the release layer or the green sheet is laminated and wound. .
  • the polyester film of the present invention may have an intermediate layer that does not have the A side and the B side in addition to the A layer and the B layer. Having an intermediate layer is more preferable because it becomes easy to control the height of the large protrusion.
  • the lower limit of the thickness of the release-oriented biaxially oriented polyester film of the present invention is preferably 20 ⁇ m or more, more preferably 25 ⁇ m or more, and further preferably 31 ⁇ m or more.
  • the upper limit is preferably 40 ⁇ m or less, and more preferably 38 ⁇ m.
  • the thickness is less than 20 ⁇ m, there is no support for holding the ceramic slurry, and the ceramic slurry cannot be supported in the application of the ceramic slurry, and uniform drying may not be possible in the subsequent process. If the thickness exceeds 40 ⁇ m, it may be unfavorable because scratches are likely to occur in the transport process during film production.
  • the thickness of the layer A is preferably 0.5 ⁇ m or more. If the lamination thickness is less than 0.5 ⁇ m, the particles may fall off if the A layer contains particles.
  • the intermediate layer in the present invention only virgin chips may be used as raw materials, or recovered raw materials may be used.
  • the recovered raw material it is preferable to use only the generated waste after biaxial stretching generated in the polyester film manufacturing process. Furthermore, it is preferable to use only the waste generated in the process after winding up the intermediate product because the thermal history received by the recovered raw material can be homogenized and the characteristics of the resulting film can be homogenized. For example, if unoriented film and biaxially stretched film are used together as recovered raw materials, the melt viscosity is not stable due to the difference in crystallinity, resulting in a difference in melting point during remelting, unmelted foreign matter or thermal degradation Foreign matter may be generated.
  • the polyester film of the present invention is a laminated polyester film composed of three layers, and the thickness of the intermediate layer having no A side and B side is preferably 25% or more and less than 95% with respect to the whole film.
  • the thickness of the intermediate layer in the above range, even if the intermediate layer contains the recovered raw material, the surface shape of the A surface of the film can be a specific shape.
  • the thickness of the intermediate layer is too thick (95% or more) relative to the entire film, when the recovered raw material is used for the intermediate layer, it is deformed to the surface layer (A, B surface) due to the particle type or foreign matter contained in the recovered raw material (Push-up) may occur, and proper protrusion formation may not be achieved.
  • the thickness of the intermediate layer is too thin (less than 25%) with respect to the entire film, it may be difficult to include a large amount of recovered material in the intermediate layer.
  • the biaxially oriented polyester film for mold release according to the present invention may contain particles for the purpose of improving the handling properties during transportation and winding.
  • particles When particles are contained in the A layer and the B layer, fine convex shapes can be formed on the A and B surfaces.
  • the convex shape When the convex shape is formed, air between the transport roll and the film is easily released during transport, and air between the A surface and the B surface is easily released during winding. It is preferable because it improves.
  • the particle shape and particle size distribution used in the present invention are preferably uniform, and the particle shape is preferably close to a sphere.
  • the volume shape factor f is expressed by the following equation.
  • V is the particle volume ( ⁇ m 3 )
  • Dm is the maximum diameter ( ⁇ m) on the projection plane of the particles.
  • the particles used in the present invention cross-linked polystyrene resin particles, cross-linked silicone resin particles, and cross-linked acrylic resin particles synthesized by an emulsion polymerization method or the like can be suitably used. In particular, cross-linked polystyrene particles, cross-linked silicone, and spherical silica can be used.
  • the volume shape factor is close to a true sphere, the particle size distribution is extremely uniform, and is preferable from the viewpoint of uniformly forming film surface protrusions.
  • the protrusion on the B surface may be caught on the surface of the green sheet when the wound green sheet is unwound, and the green sheet may be scraped off. This catch can also be prevented when the height of the protrusion formed on the flat surface of the B surface is uniform.
  • these particles are preferably subjected to a surface treatment with a surfactant or the like to improve the affinity with the polyester, and can form protrusions with less dropout.
  • the surface roughness (centerline average roughness) SRa (A) of the A surface is 7 nm or more and 15 nm or less, and the surface roughness of the B surface (centerline average roughness).
  • S) SRa (B) needs to be more than 30 nm and 50 nm or less. By achieving a surface roughness in this range, it is possible to obtain appropriate smoothness in forming a thin green sheet having a thickness of 2 ⁇ m or less.
  • the surface roughness (centerline average roughness) SRa (A) of the A surface is less than 7 nm, blocking occurs during storage of the film roll after application of the release layer. It becomes uniform and defects such as pinholes occur in the green sheet.
  • the green sheet obtained after applying the slurry and drying is held and wound on the release film obtained by applying the release layer to the release-oriented biaxially oriented polyester film of the present invention. Therefore, as described above, the shape of the B surface affects the surface form of the green sheet after being wound.
  • the surface roughness (centerline average roughness) SRa (B) of surface B is 30 nm or less, handling properties deteriorate in the release layer application process and slurry application process, application becomes unstable, and application spots occur. When winding up after application, it becomes difficult for the air that is bitten to escape to cause winding deviation.
  • the surface roughness (centerline average roughness) SRa (B) of the B surface exceeds 50 nm, the influence of the unevenness formed on the surface being transferred to the surface of the green sheet is increased, and the electrostatic capacity of the ceramic capacitor is increased. Variations in capacity occur.
  • it can be achieved by containing a specific amount of specific organic particles or inorganic particles in the A layer and the B layer, or by manufacturing with a manufacturing method described later.
  • the number of large protrusions on the A surface is 10 / 5.0 mm 2 or more and 20 / 5.0 mm 2 or less, and the large protrusions present on the A surface It is necessary that all the heights exceed 300 nm and are 800 nm or less.
  • the large protrusion referred to in the present invention is obtained by the following method. That is, the measurement surface of the film is measured under the measurement condition (I) using a three-dimensional structural analysis measuring instrument (New View 7300 manufactured by Zygo) to obtain a differential interference image. In the obtained image, a protrusion satisfying the criterion (II) is determined as a large protrusion. The number of large protrusions is counted, and the value converted per 5.0 mm 2 is defined as the number of large protrusions. Further, the height of the protrusion satisfying the criterion (II) is set as the height of the large protrusion. The above measurement is performed 5 times, and the average value is defined as the number of large protrusions.
  • Reference Band 600 nm here is used as a threshold value for determining whether or not the height of the protrusion exceeds 300 nm.
  • the Reference Band value indicates the width that determines the height of the peaks and the depth of the valleys when the average plane is the center.
  • the threshold value for the peak / valley is 300 nm, and protrusions exceeding 300 nm in height can be selected.
  • the protrusion determined by the Reference Band is then determined as a large protrusion at a threshold value of Peak Area.
  • the Peak Area is the area on the threshold surface of a mountain having a height exceeding the threshold with respect to the mountain exceeding the threshold defined by the Reference Band. That is, in the present invention, a large protrusion means a protrusion having a height exceeding 300 nm and having a cross-sectional area of 0.25 ⁇ m 2 or more on the threshold surface of 300 nm.
  • the large protrusion is a protrusion having a broad mountain shape, unlike a coarse protrusion, which is an index of the protrusion that is often used conventionally. Since the large protrusion has a broad mountain shape, it could not be detected by conventional coarse protrusion measurement.
  • a film having coarse protrusions is brought into close contact with the film surface, in the case of coarse protrusions, the film is peeled off from around the protrusions to generate interference fringes. For this reason, in order to suppress the generation of interference fringes, a method of reducing the coarse protrusions as much as possible has been used in the prior art.
  • the film surface is too smooth, so that there is no point (peeling start point) that triggers peeling, and as a result, the peeling characteristics vary.
  • the film of the present invention having a specific number of large protrusions unlike the film having coarse protrusions, the film surface is completely adhered and interference fringes are not generated. Further, since the large protrusion can be the peeling start point, the variation in peeling characteristics can be extremely reduced.
  • the number of large protrusions on the A surface is less than 10 / 5.0 mm 2 , the surface becomes too smooth and the trigger of peeling is difficult to determine, and variations in peeling force are likely to occur, so a stable quality capacitor is produced. Can not. If it exceeds 20 / 5.0 mm 2 , many green sheet defects will occur. Further, the height of the large protrusions needs to be controlled, and even if the large protrusions are distributed in the above-mentioned number range, if the height of the large protrusions is 300 nm or less, the peeling is not stable, When it exceeds 800 nm, it leads to a defect of the green sheet. In order to set the number and height of the large protrusions on the A surface within the above ranges, stretching may be performed under the stretching conditions described later.
  • the sum of the breaking strengths in the longitudinal direction and the width direction is preferably 500 MPa or more and 600 MPa or less, and more preferably 520 MPa or more and 590 MPa or less.
  • the breaking strength in the width direction is equal to or more than the breaking strength in the longitudinal direction, and the difference is 0 MPa or more and 90 MPa or less, and the difference is more preferably 40 MPa or more and 80 MPa or less.
  • the elongation at break is 80% or more and 220% or less, preferably 90% or more and 210% or less in both the longitudinal direction and the width direction.
  • the breaking elongation in the longitudinal direction is preferably equal to or greater than the breaking elongation in the width direction, the difference is more preferably 0% or more and 100% or less, and further, the breaking elongation in the longitudinal direction is 170% or more and 190%.
  • the breaking elongation in the width direction is 90% or more and 110% or less
  • the breaking elongation in the longitudinal direction is 70% or more and 90% or less larger than the breaking elongation in the width direction.
  • the elongation at break in at least one of the longitudinal direction and the width direction is less than 80%, it is not preferable because the tension fluctuation cannot be absorbed when the tension in the process is applied at the time of applying the ceramic slurry, resulting in coating unevenness. If the elongation at break in at least one of the longitudinal direction and the width direction exceeds 220%, the flatness deteriorates during storage after applying the release layer, and the flatness of the green sheet is impaired during storage after applying the ceramic slurry. Sometimes, it is not preferable.
  • By controlling the elongation at break within the above-mentioned range it is possible to control the phenomenon in which the film expands and contracts and the behavior in which the residual stress recovers even after winding by the tension applied in the processing process.
  • the flatness of the green sheet can be kept good. In order to suppress these dimensional changes in the longitudinal and width directions, it is preferable to set the difference in elongation at break between the longitudinal direction and the width direction within the above range.
  • the haze is preferably 7% or less, and more preferably 6% or less.
  • the haze tends to increase. is there. If the haze exceeds 7%, it may be difficult to confirm the green sheet molding state, particularly the end state.
  • the polyester film of the present invention has a thickness variation (thickness variation in the longitudinal direction) that is the difference between the maximum thickness and the minimum thickness obtained by measuring the film thickness in the longitudinal direction of the film by 15 m and obtained from the recorded film thickness chart. ) Is preferably 2 ⁇ m or less. Furthermore, it is preferably 1.4 ⁇ m or less. Conventionally, reducing the thickness unevenness of the film has been a problem in producing the film.
  • the thickness variation in the longitudinal direction is within the above range, so that the electrostatic capacity of the capacitor can be reduced when the thickness of the green sheet is reduced. This is particularly preferable because it does not cause variation in capacity.
  • the polyester film in the present invention preferably has 5 coarse projections / 100 cm 2 or less on the film surface.
  • the coarse protrusions referred to here are protrusions having a reference band of 600 nm and an area of less than 0.25 ⁇ m 2 (the height of the protrusion exceeds 300 nm and the area of the cross section of the protrusion having a height of 300 nm is less than 0.25 ⁇ m 2 ). Is expressed. Further, it is preferable that the number of coarse protrusions having a height of 0.54 ⁇ m or more is 1/100 cm 2 or less. If the number of coarse protrusions exceeds the above value, there may be coating unevenness and pinhole-like coating omission defects when a release agent is applied. Also, when reducing the thickness of the green sheet, Unsatisfactory application of the mold agent causes undesired peeling of the green sheet or coarse protrusions, which may cause dents or pinholes in the green sheet.
  • the particle type and the volume average particle diameter should be within the above ranges, and the raw material supply equipment, particularly the raw material storage equipment (silo), the raw material It is desirable to use the piping for conveyance only for the master pellet containing the particles used in the present invention. In order to transport the raw material, it is transported by air using a blower or by free fall. When transporting by air, 95% of dust of 0.3 ⁇ m or more is taken in when taking in air. It is preferable to filter the air using a filter that can be cut. Moreover, it can achieve by making the filter used at the time of manufacture of this invention into the highly accurate filter mentioned later.
  • the rate of dimensional change can be achieved by appropriately adjusting by a known method such as relaxation treatment under film forming conditions.
  • the dimensional change rate at 150 ° C. is preferably 2% or less in the longitudinal direction and 2.5% or less in the width direction, 0.5% or more and 1.7% or less in the longitudinal direction, and 1% or more and 2% or less in the width direction. preferable.
  • the dimensional change rate at 100 ° C. is preferably 1% or less in both the longitudinal direction and the width direction, and more preferably in the range of 0.2% to 0.8%.
  • the rate of dimensional change is below the lower limit of the above range, poor flatness due to tarmi occurs when the release layer is applied, and when the upper limit is exceeded, shrinkage spots in a tin shape due to shrinkage when the release layer is applied. Is generated, resulting in poor flatness, and in any case, the coating thickness of the thin film green sheet may be uneven.
  • inert particles are dispersed in a predetermined proportion in ethylene glycol which is a diol component, and this ethylene glycol slurry is added at an arbitrary stage before completion of polyester polymerization.
  • ethylene glycol which is a diol component
  • this ethylene glycol slurry is added at an arbitrary stage before completion of polyester polymerization.
  • a method in which a water slurry of particles is directly mixed with predetermined polyester pellets, supplied to a vent type twin-screw kneading extruder, and kneaded into polyester is also effective for the production of the present invention.
  • the particle-containing master pellets prepared for each layer and the pellets substantially free of particles are mixed at a predetermined ratio, dried, and then supplied to a known melt laminating extruder.
  • a known melt laminating extruder As the extruder for producing the release-oriented biaxially oriented polyester film of the present invention, a uniaxial or biaxial extruder can be used.
  • the vent type extruder which provided the vacuum drawing line in the extruder can also be used.
  • the polymer melted and extruded by the extruder is filtered through a filter. Since even a very small foreign substance enters the film and becomes a coarse protrusion defect, it is effective to use a high-accuracy filter that collects 95% or more of a foreign substance of 3 ⁇ m or more, for example. Subsequently, the sheet is extruded from a slit-shaped slit die and cooled and solidified on a casting roll to form an unstretched film.
  • three extruders, three layers of manifolds or merging blocks are laminated in three layers, a sheet is extruded from a die, cooled by a casting roll, and an unstretched film is formed. create.
  • a method of installing a static mixer and a gear pump in the polymer flow channel is effective from the viewpoint of stabilizing the back pressure and suppressing thickness fluctuation.
  • the stretching method needs to be sequential biaxial stretching.
  • simultaneous biaxial stretching can carry out longitudinal stretching (hereinafter sometimes referred to as longitudinal stretching) and widthwise stretching (hereinafter sometimes referred to as lateral stretching) in a stenter, a roll in a longitudinal stretching machine While preheating and stretching processes can be omitted, it is difficult to determine the stretching point in the same way as sequential biaxial stretching, which is thought to be due to Poisson deformation during stretching and the accompanying flow in the stenter. .
  • the first stretching in the longitudinal direction is important for suppressing the generation of scratches and forming / controlling large protrusions
  • the stretching temperature is 100 ° C. or higher and 120 ° C. or lower.
  • the stretching temperature is lower than 100 ° C., the film is easily broken and large protrusions are formed high. If the stretching temperature is higher than 120 ° C., the film surface is easily damaged by heat and it is difficult to form large protrusions.
  • stretching is preferably performed in two or more stages, and the total magnification is preferably 3.5 times or more and 3.8 times or less in the longitudinal direction.
  • the biaxially oriented polyester film of the present invention has a large protrusion by controlling the output of the infrared heater used to supplement the amount of heat at the time of stretching in an optimal range in order to control the height of the large protrusion.
  • the height can be easily adjusted to a suitable range. That is, the height of the large protrusion of the present application can be controlled by adjusting the output of the infrared heater at a distance of 25 mm to 10 kw or more and less than 13 kw and the processing time to 0.05 second or more and less than 0.3 second.
  • the biaxially oriented polyester film of the present invention preferably includes a step of heating with an infrared heater under the above conditions in the step of stretching the polyester film. In particular, it is preferable to include a step of heating with an infrared heater in the stretching step in the longitudinal direction because it becomes easy to control the height of the large protrusions to be formed.
  • the stretching process in the longitudinal direction is preferably a driving method in which the roll peripheral speed can be set individually for each roll in a process in which the film and the roll are in contact with each other and scratches due to the difference between the roll peripheral speed and the film speed are likely to occur.
  • the material of the transport roll is heated to a temperature higher than the glass transition point before stretching or transported to the stretching zone while maintaining the temperature below the glass transition point.
  • the stretching roll is most burdened on the film, and the surface roughness Ra of the stretching roll is 0.005 ⁇ m or more and 1.0 ⁇ m or less, preferably 0.1 ⁇ m or more for the process in which scratches and stretch spots are likely to occur in the process. 0.6 ⁇ m or less.
  • Ra is larger than 1.0 ⁇ m, unevenness on the roll surface during stretching is transferred to the film surface.
  • it is smaller than 0.005 ⁇ m, the roll and the film background adhere to each other, and the film is easily damaged by heat. It is not preferable.
  • it is effective to appropriately adjust the particle size of the abrasive and the number of polishings.
  • the transport roll in the preheating zone is subjected to surface treatment with hard chromium or tungsten carbide. It is preferable to use a metal roll having a thickness Ra of 0.2 ⁇ m or more and 0.6 ⁇ m or less.
  • the film stretched in the longitudinal direction is preferably stretched by 4.0 times to 4.3 times in the width direction.
  • the film is heat-treated after biaxial stretching, and this heat treatment can be performed by any conventionally known method such as in an oven or on a heated roll.
  • Heat setting is performed at 205 ° C. to 240 ° C., preferably 210 ° C. to 230 ° C., for 0.5 second to 20 seconds, preferably 1 second to 15 seconds.
  • the heat setting temperature is lower than 205 ° C., the crystallization of the film does not proceed, the structure is not stable, and the target characteristics such as the dimensional change rate cannot be obtained.
  • the heat treatment may be performed while relaxing the film in the longitudinal direction and / or the width direction. Further, after the heat treatment, the film is relaxed at a temperature lower by 0 ° C. or more and 150 ° C. or less than the heat treatment temperature by 0% or more and 10% or less in the width direction.
  • the film after the heat treatment can be provided with, for example, an intermediate cooling zone or a cooling zone, and the dimensional change rate and flatness can be adjusted.
  • relaxation may be performed in the longitudinal direction and / or the transverse direction during the heat treatment or in the subsequent intermediate cooling zone or cooling zone.
  • the film after biaxial stretching is cooled in the conveying process, and then the edge is cut and wound to obtain an intermediate product.
  • the thickness of the film is measured, the data is fed back and used to adjust the film thickness by adjusting the die thickness and the like, and foreign matter detection is performed by a defect detector.
  • the intermediate product is slit into a suitable width and length by a slitting process and wound to obtain a roll of the biaxially oriented polyester film for mold release according to the present invention.
  • a slitting process When cutting the film in the slitting process, it can be selected from the same cutting method as the above-described edge cutting.
  • the measurement method and evaluation method relating to the present invention are as follows.
  • volume average particle diameter of particles The polymer is removed from the film by a plasma low-temperature ashing method to expose the particles.
  • the processing conditions are selected such that the polymer is ashed but the particles are not damaged as much as possible.
  • the treated sample was observed with a scanning electron microscope (SEM; model S-4000, manufactured by Hitachi, Ltd.), the particle image was taken into an image analyzer (LUZEX_AP, manufactured by Nireco Corporation), and the equivalent circle equivalent diameter was measured. Is determined.
  • the magnification of SEM is appropriately selected from 5000 to 20000 times depending on the particle size.
  • the observation spot was arbitrarily changed, the equivalent circle equivalent diameter of at least 5000 particles was measured, and the average particle diameter was determined from the average value.
  • the cross section of the film is 3000 to 20000 times depending on the particle size using a transmission electron microscope (TEM; H-600 type manufactured by Hitachi, Ltd.). Observe at.
  • the section thickness of TEM is about 100 nm, the equivalent circle diameter of at least 100 particles is measured at different locations, and the volume average particle diameter is obtained from the average value.
  • the particles when measured the volume average particle diameter of the particles, when observed by SEM and TEM, even when 10 fields of view are confirmed at 5000 times, if no particles are recognized, the particles should be substantially not contained. to decide.
  • V is the average volume ( ⁇ m 3 ) of the particles
  • Dm is the maximum diameter ( ⁇ m) of the projection surface.
  • the solution is filtered and the weight of the filtrate is measured, and the value obtained by subtracting the weight of the filtrate from the measurement sample weight is measured as the measurement sample weight. .
  • the number of large protrusions and the height are measured under a measurement condition of (I) using a three-dimensional structural analysis measuring instrument (New View 7300 manufactured by Zygo) to obtain a differential interference image.
  • the number of protrusions satisfying the criterion (II) is counted as a large protrusion, and the value converted per 5.0 mm 2 is defined as the number of large protrusions.
  • the height of the protrusion satisfying the criterion (II) is set as the height of the large protrusion.
  • the above measurement is performed 5 times, and the average value is defined as the number of large protrusions.
  • release layer A coating solution prepared by adjusting the crosslinking primer layer (trade name BY24-846 manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.) to a solid content of 1% is applied to the film roll and dried. It is coated with a gravure coater so that the coating thickness after drying is 0.1 ⁇ m, and is dried and cured at 100 ° C. for 20 seconds.
  • A The film flutters at the time of application, and there are spots at the application end, but there is no omission.
  • B There are large spots at the application end. And / or coating omission.
  • the green sheet wound up as described above is visually observed in a state where it is fed out and not peeled off from the release film, and the presence or absence of pinholes and the coating state of the sheet surface and edges are confirmed.
  • the area to be observed is 300 mm wide and 500 mm long.
  • A There are no pinholes and 3 or less dents are recognized.
  • B There are pinholes or 4 or more dents.
  • a circular mark (transfer mark) is slightly present on the sheet surface.
  • a ceramic green sheet formed on the above-described release film and provided with an internal electrode pattern is fed out, and 100 green sheets are cut and punched on the release film.
  • a rotary round blade cutter is used for cutting. At this time, the cutting depth of the rotary round blade cutter for cutting the green sheet is set to the thickness of the green sheet plus 2 ⁇ m to 3 ⁇ m.
  • Green sheet lamination characteristic and peeling characteristic evaluation The green sheet after being punched on the release film is laminated. For the lamination, the green sheet is conveyed while being held on the release film, the green sheet is thermocompression bonded to the laminate, and then the release film is peeled off. This operation is repeated for 100 sheets to obtain a ceramic laminate. The lamination state at this time is visually confirmed, and the green sheet lamination characteristics are evaluated according to the following criteria.
  • thermocompression bonding is slightly non-uniform when laminating the sheets, there is no air biting, and the peeled state is within an allowable range, but the peeled state is occasionally unstable.
  • Example 1 -Preparation of polyester pellets (Preparation of polyester resin composition A) Esterification reaction is carried out while distilling water at 255 ° C. with 86.5 parts by weight of terephthalic acid and 37.1 parts by weight of ethylene glycol. After completion of the esterification reaction, 0.02 part by weight of trimethyl phosphoric acid, 0.06 part by weight of magnesium acetate, 0.01 part by weight of lithium acetate, and 0.0085 part by weight of antimony trioxide were added. The polycondensation reaction was carried out by heating up to 0 ° C. to obtain polyester pellets having an intrinsic viscosity of 0.63 dl / g.
  • polyester resin composition B (Preparation of polyester resin composition B and polyester resin composition C)
  • a pellet is obtained (polyester resin composition B).
  • the homopolyester pellet containing substantially no particles is contained using a vent type twin-screw kneader, and 1% by weight of divinylbenzene / styrene copolymer crosslinked particles having a volume average particle diameter of 0.8 ⁇ m is 1% by weight based on the polyester.
  • the containing master pellet is obtained (polyester resin composition C).
  • the spherical silica used in the polyester resin composition D is obtained by adding a mixed solution of ethanol, pure water, and ammonia water as a basic catalyst to this mixed solution while stirring the mixed solution of ethanol and ethyl silicate.
  • the obtained reaction solution was stirred to carry out a hydrolysis reaction of ethyl silicate and a polycondensation reaction of this hydrolysis product, and then stirred after the reaction to obtain monodispersed silica particles.
  • polyester resin composition E Preparation of polyester resin composition E
  • 1% by weight of calcium carbonate having a volume average particle diameter of 1.1 ⁇ m and a Mohs hardness of 3 prepared by the carbon dioxide method is added to the polyester to contain calcium carbonate-containing master pellets.
  • the film after producing the film of Example 1 below was recovered, and the pelletized material was used as the recovered raw material A.
  • the ratio described below is expressed as a weight ratio (% by weight) to the weight of each layer.
  • polyester resin composition A 95.0 Polyester resin composition B: 5.0 B layer thickness and composition B layer thickness ( ⁇ m): 3.0 Polyester resin composition A: 40.0 Polyester resin composition C: 10.0 Polyester resin composition E: 50.0 (2) Preparation of polyester pellets
  • the polyester pellets to be supplied to the extruders of the respective layers A and B are prepared at the following ratio. In addition, the ratio described below is a weight ratio (unit: weight%) with respect to the polyester pellet which comprises each layer.
  • a layer polyester resin composition A 95 Polyester resin composition B: 5 B layer polyester resin composition A: 40 Polyester resin composition C: 10 Polyester resin composition E: 50.
  • This uniaxially stretched film was stretched 4.2 times at 100 ° C. in the transverse direction in the stenter, then heat-set at 230 ° C., relaxed by 3.2% in the width direction, and cooled in the conveying step.
  • the edge is wound up and cut to obtain an intermediate product of a biaxially stretched film having a thickness of 31 ⁇ m.
  • This intermediate product is slit with a slitter to obtain a roll of a biaxially stretched film having a thickness of 31 ⁇ m.
  • the results of measuring the lamination thickness, surface roughness, large protrusions, and coarse protrusions of this biaxially stretched film are shown in the table.
  • the layer thickness was A layer: 28.0 ⁇ m and B layer: 3.0 ⁇ m.
  • Example 2 In the same layer configuration and formulation as in Example 1, the longitudinal stretching infrared heater output was 12.0 kW, the longitudinal stretching ratio was 3.6 times, the infrared heater treatment time was 0.09 seconds, the transverse stretching ratio was 4.6 times, A biaxially oriented polyester film is obtained under the same film forming conditions as in Example 1 except that the relaxation rate is 2.6%. The release layer coating property, slurry coating property, and green sheet peeling property were also good.
  • Example 3 A biaxially oriented polyester film is obtained under the same film forming conditions as in Example 2 except that in the same layer configuration and formulation as in Example 1, the longitudinal draw ratio was 3.8 times. The release layer coating property, slurry coating property, and green sheet peeling property were also good.
  • Example 4 A biaxially oriented polyester film is obtained under the same film forming conditions as in Example 2 except that in the same layer configuration and formulation as in Example 1, the longitudinally stretched infrared heater output is 10.0 kW. The release layer coating property, slurry coating property, and green sheet peeling property were also good.
  • Example 5 A biaxially oriented polyester film is obtained under the same conditions as in Example 2 with different three-layer configuration (A layer / intermediate layer / B layer).
  • the polyester pellets supplied to the extruder for each of the A layer, the intermediate layer, and the B layer are prepared in the following ratio.
  • the ratio described below is a weight ratio (unit: weight%) with respect to the polyester pellet which comprises each layer.
  • Polyester resin composition A 97 Polyester resin composition D: 3 Intermediate layer polyester resin composition A: 60 Collected raw material A: 40 B layer polyester resin composition A: 45 Polyester resin composition B: 5 Polyester resin composition E: 50.
  • the release layer coating property, slurry coating property, and green sheet peeling property were also good.
  • Example 1 A biaxially oriented polyester film was obtained under the same film forming conditions as in Example 1 except that in the same layer configuration and formulation as in Example 1, the output of the longitudinally stretched infrared heater was 9.5 kw. Although there was no problem in the release layer coating, pinholes were found in the slurry coating. Green sheet release characteristics do not cause problems.
  • Example 2 The polyester pellets supplied to the extruder for the A layer are changed at the following ratios, and a biaxially oriented polyester film is obtained under the same film forming conditions as in Example 1 except that the longitudinal stretching infrared heater output is 9.5 kw. .
  • the ratio described below is a weight ratio (unit: weight%) with respect to the polyester pellet which comprises each layer.
  • Polyester resin composition A 97 Polyester resin composition B: 3 Although there was no problem in the release layer coating, pinholes were found in the slurry coating. The green sheet peeling property is A because the peeling state of the sheet may not be stable.
  • polyester pellets supplied to the extruder for layer A with the same layer structure and formulation as in Example 1 are polyester A only, and the layer A is a layer containing substantially no particles. Although the number of large protrusions is 0, the roughness exceeds the scope of the present application, and the sheet is broken by peeling, so the evaluation is B.
  • Example 4 A biaxially oriented polyester film is obtained under the same film forming conditions as in Example 1 except that in the same layer configuration and formulation as in Example 1, the longitudinal draw ratio was changed to 3.3 times. Although there was no problem in the release layer application, pinholes were found in the slurry application. Green sheet release characteristics do not cause problems.
  • Example 5 A biaxially oriented polyester film is obtained under the same film forming conditions as in Example 1 except that in the same layer configuration and formulation as in Example 1, the longitudinal draw ratio is 3.6 times and the stretched infrared heater output is 14 kW. Although there was no problem in the release layer application, pinholes were found in the slurry application. Since green sheet peeling characteristics are not stable, it is set to A.
  • Example 6 In the same layer configuration and formulation as in Example 1, the polyester pellets supplied to the extruder for layer A are changed and mixed at the following ratio. In addition, the ratio described below is a weight ratio (unit: weight%) with respect to the polyester pellet which comprises each layer.
  • a layer polyester resin composition A 80 Polyester resin composition B: 20 A biaxially oriented polyester film is obtained under the same film forming conditions as in Example 1.
  • the roughness Ra (A) is 20 nm, there are pinholes after slurry application, and the peeling is not stable and the sheet is torn, so the evaluation is B.
  • the biaxially stretched polyester film of the present invention has good release characteristics, and particularly has very little variation in release. Therefore, it can be suitably used for a release film used for supporting green sheet molding in a process for producing a multilayer ceramic capacitor.
  • the biaxially oriented polyester film for mold release of the present invention is excellent in coating properties of ceramic slurry when forming a thin green sheet, even if the green sheets constituting a highly smooth ceramic capacitor are laminated in a thin film and multilayer. The release characteristics of the film become uniform.

Abstract

　下記（１）～（３）を満たす離型用二軸配向ポリエステルフィルムにより、薄膜グリーンシート成形時の、セラミックススラリーの塗工性および、グリーンシート剥離特性をバランス良く改善する。 （１）一方の面（該面をＡ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ａ）が７．０ｎｍ以上１５．０ｎｍ未満である。 （２）Ａ面と反対の面（該面をＢ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ｂ）が３０ｎｍを超えて５０ｎｍ未満である。 （３）Ａ面に存在する大突起の個数が１０個／５．０ｍｍ２以上２０個／５．０ｍｍ２以下であり、かつ、Ａ面に存在する大突起の高さがすべて８００ｎｍ以下の範囲である。

Description

離型用二軸配向積層ポリエステルフィルム
　本発明は二軸延伸ポリエステルフィルムをベースとする、平滑性および均一な剥離性とのバランスに優れた離型用ベースフィルムに関する。
　昨今のスマートフォンの普及に伴い、積層セラミックスコンデンサーの小型高容量化が進んでいる。積層セラミックスコンデンサーの製造に用いる離型フィルムに関して、平滑性が高く、フィルム表面および内部に欠陥の無いポリエステルフィルムフィルムの需要が急速に増えている。
　高平滑な離型用途ポリエステルフィルムに関しては、セラミックススラリーを形成する表面に、粒子を実質的に含有せず、三次元中心面粗さ（ＳＲａ）が２～７ｎｍであることを特徴とすることで、グリーンシート上のピンホールの発生が少ないベースフィルムが開示されている（特許文献１）。また、フィルム表面の窪み欠点を減少させることで、セラミックススラリー塗布後に形成される、グリーンシート表面の欠点を抑制することで、セラミックススラリーの塗工性を向上させる技術が開示されている（特許文献２）。またグリーンシート薄膜化に伴う平滑化によって発生する帯電を、フィルムの巻き取り工程にて改善することで、静電気によりフィルムに付着した異物が巻き込まれ、隆起状欠点が発生することを減少させる方法が開示されている（特許文献３）。また高平滑性、異物削減や生産コスト低減を可能とするために、異種３層構成の中間層に微粒子を配合しない方法も開示されている（特許文献４）。一方で、表面の突起を規定しコントロールする手法に関しては、基材であるポリエステルフィルムの中に、粒子を添加することにより実現することが一般的であり、その評価は、三次元微細表面形状測定器から得た、表面のプロファイルより求める方法が公知となっている（特許文献５、特許文献６）。
特開２００７－６２１７９号公報 特開２００７－２１０２２６号公報 特開２００４－１９６８７３号公報 特開２００４－１９６８５６号公報 特開２００９－２１５３５０号公報 特開２００８－２３９８４４号公報
　近年、セラミックスコンデンサーには高い精度が要求されているため、セラミックスコンデンサー用の離型フィルムにも、セラミックスグリーンシートを薄膜かつ多層に積層する際に高い積層精度が要求されている。しかしながら、上記の従来公知の技術で得られる離型フィルムでは、積層精度を一定程度高めることは可能だが、剥離特性のバラつきを抑制できないという課題を有していることがわかった。従来公知の技術で得られる離型フィルムは、離型層の表面に存在する、一般的に粗大突起と呼ばれる突起を減らし、高平滑なフィルムとしている。しかしながら、上記従来公知の技術で得られる離型フィルムでは、離型層の表面が平滑すぎるため、剥離のきっかけとなる点（剥離開始点）がなくなってしまい、その結果、剥離特性にバラつきが発生しているものと考えられる。そこで、本発明者らは、鋭意検討を行った結果、離型フィルムの表面に一定の形状を有する突起（大突起）を形成させることにより、上記剥離特性のバラつきを抑制できることを明らかにした。
　本発明の目的は、高平滑なグリーンシートを薄膜かつ多層に積層させた後の、フィルムの剥離特性、特に剥離のばらつきが極めて小さい、高平滑な離型用二軸配向ポリエステルフィルムを提供することにある。
　本発明者らは、上記実情に鑑み鋭意検討した結果、表面性状、特には大突起個数を適性範囲でコントロールすることで、剥離特性が良好であり、特に剥離のばらつきが極めて小さく、高平滑な薄膜グリーンシート成形に好適である離型ポリエステルフィルムを見いだし、本発明に至った。
すなわち、
下記（１）～（３）を満たす離型用二軸配向ポリエステルフィルムである。
（１）一方の面（該面をＡ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ａ）が７．０ｎｍ以上１５．０ｎｍ未満である。
（２）Ａ面と反対の面（該面をＢ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ｂ）が３０ｎｍを超えて５０ｎｍ未満である。
（３）Ａ面に存在する大突起の個数が１０個／５．０ｍｍ２以上２０個／５．０ｍｍ２以下であり、かつ、Ａ面に存在する大突起の高さがすべて８００ｎｍ以下の範囲である。
　本発明によれば、高平滑な薄膜グリーンシート成形時のセラミックススラリーの塗工性および、グリーンシートの剥離特性のバラつきが改善される。
　以下、本発明についてさらに詳細に説明する。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムにおける、離型用とは、ポリエステルフィルム基材を用い、部材を成型し、成型後の部材から剥離する用途を指す。ここで言う部材とは、多層セラミックスコンデンサーにおけるグリーンシートや、多層回路基板における、層間絶縁樹脂（電気絶縁樹脂）、光学関連部材におけるポリカーボネート（この際は溶液製膜において使用される）などである。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、剥離特性が良好であり、特に剥離のばらつきが極めて小さい。そのため、積層セラミックスコンデンサーを製造する工程においてグリーンシート成形の支持に用いられる離型用フィルムに好適に用いることができる。本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、高平滑なグリーンシートを薄膜かつ多層に積層しても、成形時のセラミックススラリーの塗工性に優れ、かつ、グリーンシート打ち抜き性およびグリーンシート積層精度が良好である。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムにおける、二軸配向とは、広角Ｘ線回折で二軸配向のパターンを示すものである。未延伸（未配向）フィルムを、常法により、二次元方向に延伸することにより得られる。延伸は、逐次二軸延伸を採ることができる。逐次二軸延伸は、長手方向（縦）および幅方向（横）に延伸する工程を、縦－横の１回ずつ実施することもできるし、縦－横－縦－横など、各々の方向に１回以上実施することもできる。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムにおける、ポリエステルとは、二塩基酸とグリコールを構成成分とするポリエステルであり、芳香族二塩基酸としては、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、ジフェニルスルホンジカルボン酸、ジフェニルエーテルジカルボン酸、ジフェニルケトンジカルボン酸、フェニルインダンジカルボン酸、ナトリウムスルホイソフタル酸、ジブロモテレフタル酸などを用いることができる。脂環族二塩基酸としては、シュウ酸、コハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ダイマー酸などを用いることができる。グリコールとしては、脂肪族ジオールとして、エチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ジエチレングリコールなどを用いることができ、芳香族ジオールとして、ナフタレンジオール、２，２ビス（４－ヒドロキシジフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン、ビス（４－ヒドロキシフェニル）スルホン、ハイドロキノンなどを用いることができ、脂環族ジオールとしては、シクロヘキサンジメタノール、シクロヘキサンジオールなどを用いることができる。
　上記ポリエステルは公知の方法で製造することができ、固有粘度は、下限は０．５ｄｌ／ｇ以上、上限は０．８ｄｌ／ｇ以下であることが好ましい。さらに好ましくは、下限は０．５５ｄｌ／ｇ以上、上限は０．７０ｄｌ／ｇ以下である。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、一方の面（該面をＡ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ａ）が７．０ｎｍ以上１５．０ｎｍ未満であり、Ａ面と反対の面（該面をＢ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ｂ）が３０ｎｍを超えて５０ｎｍ未満であるポリエステルフィルムである。本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、Ａ面を構成するＡ層と、Ｂ面を構成するＢ層の少なくとも２層以上からなる、Ａ層およびＢ層を有する積層フィルム（離型用二軸配向ポリエステルフィルム）であることが好ましい。
　Ａ層は、離型層を設けた後に、セラミックススラリーの塗工性に優れ、セラミックススラリーを塗布する面を構成するのに好適な層である。
　セラミックススラリーの塗工性は、セラミックスコンデンサーの誘電体原料を、本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムからなる離型フィルム上に塗布後、乾燥させた後に得られる成形体であるセラミックスシート（いわゆるグリーンシート）が、ピンホールや塗布ムラの発生することなく得られたかという特性を示す。
　グリーンシート剥離特性とは、上記工程で切断したグリーンシートを、基板上に熱プレスにより圧着させた後に、離型フィルムを剥離させる工程において、グリーンシートに破れなどのダメージを与えること無く剥離されたかという特性を示す。これら評価手法についての説明は、後述する。
　Ｂ層は、離型層を形成するＡ層の、反対面の表層であり、離型層や、グリーンシートを積層し巻き取った際には、離型層あるいは、グリーンシートと接する面である。
　本発明のポリエステルフィルムは、上記Ａ層、Ｂ層の他に、Ａ面、Ｂ面を有さない中間層を有していても良い。中間層を有していると、大突起の高さをコントロールすることが容易となるため、より好ましい。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムの厚みは、下限は２０μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上、さらに好ましくは３１μｍ以上である。上限は４０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは３８μｍである。厚みが２０μｍより薄くなると、セラミックススラリーを保持するための腰がなくなり、セラミックススラリーの塗布において、セラミックススラリーを支えられなくなり、後工程で均一な乾燥ができなくなる場合がある。厚みが４０μｍを超えると、フィルム製造時においての搬送工程で、傷が入り易くなり好ましくない場合がある。
　本発明におけるＡ層の積層厚みは、０．５μｍ以上であることが好ましい。積層厚さが０．５μｍを下回ると、Ａ層に粒子を含有している場合、粒子が脱落する場合がある。
　また、本発明における中間層は、原料としてバージンチップのみを用いても良く、回収原料を用いても良い。回収原料としては、ポリエステルフィルム製造工程において発生する二軸延伸後の発生屑のみを用いることが好ましい。さらには、中間製品の巻き取り後の工程で発生した屑のみを用いると、回収原料が受けてきた熱履歴を均質化させることでき、得られるフィルムの特性を均質化できるため好ましい。例えば、回収原料として未配向フィルムと二軸延伸後のフィルムを混在させて用いると、結晶性が異なるために溶融粘度が安定せず、再溶融時に融点の違いが生じ、未溶融異物あるいは熱劣化異物が発生する場合がある。該異物がＡ層あるいはＢ層の層厚みよりも大きな場合、Ａ面あるいはＢ面に、大突起や粗大突起が形成される事がある。この際、特にＡ面側へ表面突起が形成された場合、グリーンシートにピンホールが発生することがある。
　本発明のポリエステルフィルムは、３層からなる積層ポリエステルフィルムであって、Ａ面、Ｂ面を有さない中間層の厚みが、フィルム全体に対し２５％以上９５％未満であることが好ましい。中間層の厚みを上記範囲とすることにより、中間層に回収原料を含んでいたとしても、フィルムのＡ面の表面形状を特定の形状とすることができる。中間層の厚みが、フィルム全体に対し、厚過ぎる（９５％以上）場合、中間層に回収原料を使用した際において、回収原料に含まれる粒子種や異物によって表層（Ａ、Ｂ面）に変形（突き上げ）が生じ、適切な突起形成が達成できない場合がある。中間層の厚みが、フィルム全体に対し、薄過ぎる（２５％未満）場合、中間層に回収原料を多く含ませることが困難となる場合がある。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、搬送や巻き取り時のハンドリング性を向上させる目的で、粒子を含有させても良い。Ａ層およびＢ層に粒子を含有させると、Ａ面およびＢ面へ微細な凸形態を形成させることができる。当該凸形態が形成すると、搬送時においては、搬送ロールとフィルムとの間の空気が抜けやすくなり、また、巻き取り時には、Ａ面とＢ面の間の空気が抜けやすくなるため、ハンドリング性が向上するため好ましい。
　本発明に用いる粒子の形状・粒子径分布については均一なものが好ましく、とくに粒子形状は球形に近いものが好ましい。体積形状係数は好ましくはｆ＝０．３～π／６であり、より好ましくはｆ＝０．４～π／６である。体積形状係数ｆは、次式で表される。
　ｆ＝Ｖ／Ｄｍ３
　ここでＶは粒子体積（μｍ３）、Ｄｍは粒子の投影面における最大径（μｍ）である。
　なお、体積形状係数ｆは粒子が球のとき、最大のπ／６（＝０．５２）をとる。また、必要に応じて濾過などを行うことにより、凝集粒子や粗大粒子などを除去することが好ましい。本発明に用いる粒子としては、乳化重合法で等で合成された、架橋ポリスチレン樹脂粒子、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子が好適に使用できるが、とくに架橋ポリスチレン粒子、架橋シリコーン、さらに球状シリカなどは体積形状係数が真球に近く、粒径分布が極めて均一であり、均一にフィルム表面突起を形成する観点で好ましい。
　また、Ｂ面の突起は、巻き取られたグリーンシートを巻き出す際に、グリーンシート表面に引っかかり、グリーンシートを削ることがある。この引っかかりも、Ｂ面の平坦な面に形成された突起の高さが、均一であることで防止できる。
　さらに、これらの粒子については界面活性剤などによる表面処理を施すことにより、ポリエステルとの親和性の改善を図ることが可能であり、脱落の少ない突起を形成することが可能で好ましい。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムにおいて、Ａ面の表面粗さ（中心線平均粗さ）ＳＲａ（Ａ）は、７ｎｍ以上１５ｎｍ以下であり、Ｂ面の表面粗さ（中心線平均粗さ）ＳＲａ（Ｂ）が３０ｎｍを超えて５０ｎｍ以下であることが必要である。該範囲の表面粗さを達成することにより、厚みが２μｍ以下の薄膜のグリーンシートを成形する上での適切な平滑性を得られる。Ａ面の表面粗さ（中心線平均粗さ）ＳＲａ（Ａ）が７ｎｍを下回る場合、離型層塗布後のフィルムロールの保管中にブロッキングを起こし、１５ｎｍを超えると、セラミックススラリーの塗布が不均一となり、グリーンシートにピンホール等の欠陥が生じる。
　また、スラリーを塗布し乾燥後に得るグリーンシートは、本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムに離型層を塗布してなる離型フィルム上に保持し、巻き取られる。そのため、先述の通りＢ面の形状は、巻き取られた後のグリーンシートの表面形態に影響を及ぼす。Ｂ面の表面粗さ（中心線平均粗さ）ＳＲａ（Ｂ）が３０ｎｍ以下になると、離型層塗布工程やスラリー塗布工程にてハンドリング性が悪化し、塗布が不安定となり、塗布斑が発生することや、塗布後の巻き取り時に、噛み込んだ空気が抜けにくくなることによる、巻きズレを起こす。また、Ｂ面の表面粗さ（中心線平均粗さ）ＳＲａ（Ｂ）が５０ｎｍを超える場合は、表面に形成された凹凸がグリーンシート表面に転写される影響が大きくなり、セラミックスコンデンサーの静電容量にばらつきが生じる。Ａ面、Ｂ面の表面粗さを上記範囲とするには、Ａ層およびＢ層に特定の有機粒子あるいは無機粒子を特定量含有させることや、後述する製造方法で製造することによって達成出来る。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムにおいて、Ａ面の大突起の個数が１０個／５．０ｍｍ２以上２０個／５．０ｍｍ２以下でありかつ、Ａ面に存在する該大突起の高さがすべて３００ｎｍを超え８００ｎｍ以下であることが必要である。
　本発明でいう大突起とは、下記の方法による求められる。すなわち、フィルムの測定面を、３次元構造解析測定器（Ｚｙｇｏ社製Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ７３００）を用いて、（Ｉ）の測定条件にて測定し、微分干渉画像を得る。得られた画像において、（ＩＩ）の基準を満たす突起を大突起と判定する。大突起の数をカウントし、５．０ｍｍ２あたり換算した値を大突起の個数とする。また、（ＩＩ）の基準を満たす突起の高さを大突起の高さとする。上記の測定を５回実施し、その平均値を大突起の個数とする。
（Ｉ）測定条件
　倍率：５０倍
　測定領域：幅０．９８ｍｍ、長さ５．２５ｍｍ
　（１視野１４０μｍｘ１０５μｍの測定を、幅方向７視野、長さ方向５０視野の３５０視野について実施する。）
　Ｃａｍｅｒａ　Ｍｏｄｅ：６４０ｘ４８０　２１０Ｈｚ
　Ｓｃａｎ　Ｌｅｎｇｔｈ：１０μｍ　
　Ｍｉｎ　Ｍｏｄ：１５．００％
　Ｍｉｎ　Ａｒｅａ　Ｓｉｚｅ：　７
　Ｆｉｌｍ　Ｍｉｎ　Ｍｏｄ：４％
（ＩＩ）選別基準
　Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄ：６００ｎｍ
　Ａｒｅａ：０．２５μｍ２以上。
　なお、ここでいうＲｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄ：６００ｎｍとは、突起の高さが３００ｎｍを超える突起であるかを判定するためのしきい値として用いる。Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄ値は、平均平面を中心とした時の、山（Ｐｅａｋｓ）の高さおよび谷（Ｖａｌｌａｙｓ）の深さを決める幅を示す。Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄが６００ｎｍであると、山／谷に関するしきい値は３００ｎｍとなり、高さ３００ｎｍを超える突起を選別することができる。Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄで判定した突起を、次に、Ｐｅａｋ　Ａｒｅａというしきい値にて、大突起と判定する。
　Ｐｅａｋ　Ａｒｅａとは、Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄで定められたしきい値を超えた山に対して、しきい値を超える高さをもつ山の、しきい値面での面積である。すなわち、本発明において、大突起とは、高さが３００ｎｍを超える突起であって、３００ｎｍのしきい値面における該突起の断面積が０．２５μｍ２以上である突起のことをあらわす。
　大突起とは、従来良く用いられている突起の指標である粗大突起と違い、ブロードな山形状をもつ突起である。大突起はブロードな山形状を有しているため、従来の粗大突起測定では検出ができていなかった。粗大突起を有するフィルムは、フィルム面を密着させた時に、粗大突起の場合は突起周りからフィルムが剥離し干渉縞が発生する。そのため、干渉縞の発生を抑制するために、従来技術では、粗大突起を可能な限り少なくする方法が用いられてきた。しかしながら、粗大突起を少なくしたフィルムでは、フィルム面が平滑すぎるため、剥離のきっかけとなる点（剥離開始点）がなくなってしまい、その結果、剥離特性にバラつきが発生する。一方、大突起を特定数有する本発明のフィルムでは、粗大突起を有しているフィルムとは異なり、フィルム面が完全に密着し、干渉縞が発生しない。また、大突起が剥離開始点となり得るがために、剥離特性のバラつきを極めて小さくできる。すなわち、Ａ面の大突起個数が１０個／５．０ｍｍ２を下回ると、表面が平滑になりすぎて剥離のきっかけが定まりにくく、剥離力のばらつきが発生しやすいため安定した品質のコンデンサーが作製できない。２０個／５．０ｍｍ２を超えると、グリーンシートの欠陥が多く発生する。また、該大突起は、高さもコントロールされている必要があり、上記の個数範囲に大突起が分布していても、大突起の高さが３００ｎｍ以下の突起があると剥離が安定せず、８００ｎｍを超えると、グリーンシートの欠陥につながる。Ａ面の大突起の個数、高さを上記の範囲とするには、後述する延伸条件にて延伸を行うこと等が挙げられる。
　本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、長手方向および幅方向の破断強度の和が５００ＭＰａ以上６００ＭＰａ以下であることが好ましく、さらに好ましくは５２０ＭＰａ以上５９０ＭＰａ以下である。また、幅方向の破断強度が長手向の破断強度と同等以上であることが好ましく、その差は、０ＭＰａ以上９０ＭＰａ以下であり、さらに、その差が４０ＭＰａ以上８０ＭＰａ以下の場合がさらに好ましい。長手方向および幅方向の破断強度の和が５００ＭＰａを下回ると、延伸工程に粒子周りのポリマーが粒子より剥離してなるボイド（空隙）構造が発現しづらくなり、所望の表面粗さや、クッション性が発現しないため好ましくない。６００ＭＰａより上回る状態を達成する為には長手方向や幅方向への延伸を過度に実施する必要があり、延伸中に破断することがあるため好ましくない。
　また、破断伸度は、長手方向および幅方向ともに、８０％以上２２０％以下、好ましくは９０％以上２１０％以下が好ましい。さらに、長手方向の破断伸度が幅方向の破断伸度の同等以上が好ましく、その差が０％以上１００％以下の場合がさらに好ましく、さらに、長手方向の破断伸度が１７０％以上１９０％以下、幅方向の破断伸度が９０％以上１１０％以下で、長手方向の破断伸度が幅方向の破断伸度より７０％以上９０％以下大きい場合がさらに好ましい。長手方向、幅方向の少なくとも一方の破断伸度が８０％を下回ると、セラミックススラリー塗布時に工程内での張力を受けた際、張力変動を吸収できず、塗布斑となることもあり好ましくない。長手方向、幅方向の少なくとも一方の破断伸度が２２０％を超えると、離型層塗布後の保管時に平面性が悪くなり、また、セラミックススラリー塗布後の保管時に、グリーンシートの平面性を損ねることもあり、好ましくない。破断伸度を先述の範囲にコントロールすることにより、加工工程で受ける張力により、フィルムが伸縮する現象や、巻き取り後にも残留応力が回復する挙動をコントロールすることができ、最終的には薄膜のグリーンシートの平面性を良好に保つことができる。これら長手・幅方向の寸法変化を抑制するために、長手方向と幅方向の破断伸度差を上記の範囲にすることが好ましい。
　また、本発明における離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、ヘイズが７％以下であることが好ましく、６％以下であることがさらに好ましい。積層セラミックスコンデンサーの離型用途として用いる際には、本発明のポリエステルフィルムの３層複合層の中間層に回収原料を入れることは可能であるが、回収原料を多く加えるとヘイズが上昇する傾向がある。ヘイズが７％を超えてしまうと、グリーンシートの成型状態、特に端部の状態を確認するのが難しくなる場合がある。
　さらに、本発明のポリエステルフィルムは、フィルムの厚みをフィルムの長手方向に１５ｍ測定し、記録されたフィルム厚さチャートから求めた、最大厚みと最小厚みの差である厚み斑（長手方向の厚み斑）が２μｍ以下であることが好ましい。さらに、好ましくは１．４μｍ以下である。従来から、フィルムの厚み斑を少なくすることはフィルムを製造する上での課題であった。本発明の離型用フィルム、特に薄膜セラミックスコンデンサー製造に適用される離型フィルムにおいては、長手方向の厚み斑を前記範囲とすることが、グリーンシートの厚さを薄くする際にコンデンサーの静電容量にばらつきを生じさせないため、特に好ましい。
　本発明におけるポリエステルフィルムは、フィルム表面に存在する粗大突起が５個／１００ｃｍ２以下であることが好ましい。ここで言う粗大突起とは、Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄ：６００ｎｍ、Ａｒｅａ：０．２５μｍ２未満（突起の高さが３００ｎｍを超えて、該突起の高さ３００ｎｍの断面の面積が０．２５μｍ２未満）の突起をあらわす。さらに高さ０．５４μｍ以上の粗大突起が、１個／１００ｃｍ２以下であることが好ましい。粗大突起数が上記の値を超えると、離型剤を塗布時、塗布ムラ、ピンホール状の塗布抜け欠点を生じる場合があり、また、グリーンシートの厚さを薄くする際に、先述の離型剤塗布抜けにより、グリーンシートの剥離斑が生じることや、粗大突起が原因となりグリーンシートに凹みやピンホールを生じさせることがあるため好ましくない。
　フィルム表面の粗大突起において上記の好ましい形態を達成するためには、粒子種および体積平均粒子径を上記の範囲にすることや、原料供給のための設備で、特に原料貯蔵設備（サイロ）、原料搬送のための配管を、本発明で使用する粒子を含むマスターペレットのみのために使用することが望ましい。また、原料を搬送するためには、ブロワーを用い空気により搬送を行うか、自由落下により搬送を行うが、空気により搬送を行う際は、空気を取り込む際に０．３μｍ以上の塵埃を９５％カットできるフィルターを用い、空気を濾過することが好ましい。また、本発明の製造時に用いるフィルターを、後述の高精度なフィルターとすることにより達成することができる。
　本発明におけるポリエステルフィルムにおいては、寸法変化率を適性にコントロールすることが、後加工、特に離型層を塗布した後の平面性を良好に保つ上で好ましい。寸法変化率は、製膜条件における弛緩処理等の公知の方法により適宜調整することにより達成出来る。１５０℃における寸法変化率は長手方向で２％以下、幅方向で２．５％以下が好ましく、長手方向で０．５％以上１．７％以下、幅方向で１％以上２％以下がさらに好ましい。また、１００℃における寸法変化率は長手方向、幅方向ともに１％以下が好ましく、０．２％以上０．８％以下の範囲であるとさらに好ましい。該寸法変化率において上記範囲の下限を下回ると、離型層を塗布する際にタルミによる平面性不良が発生し、上限を上回ると、離型層を塗布する際に収縮によりトタン状に収縮斑が発生し平面性不良となり、いずれの場合も薄膜グリーンシートの塗布厚みに斑を生じさせることがあるため、好ましくない。
　次に本発明の二軸配向ポリエステルフィルムの製造方法について説明する。ポリエステルに不活性粒子を含有せしめる方法としては、例えばジオール成分であるエチレングリコールに不活性粒子を所定割合にてスラリーの形で分散せしめ、このエチレングリコールスラリーをポリエステル重合完結前の任意段階で添加する。ここで、粒子を添加する際には、例えば、粒子を合成時に得られる水ゾルやアルコールゾルを一旦乾燥させることなく添加すると粒子の分散性が良好であり、粗大突起の発生を抑制でき好ましい。また粒子の水スラリーを直接、所定のポリエステルペレットと混合し、ベント方式の２軸混練押出機に供給しポリエステルに練り込む方法も本発明の製造に有効である。
　このようにして、各層のために準備した、粒子含有マスターペレットと粒子などを実質的に含有しないペレットを所定の割合で混合し、乾燥したのち、公知の溶融積層用押出機に供給する。本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムの製造における押出機は、１軸、２軸の押出機を用いることができる。また、ペレットの乾燥工程を省くために、押出機に真空引きラインを設けた、ベント式押出機を用いることもできる。また、中間層を設ける場合には、最も押出量が多くなるため、ペレットを溶融する機能と、溶融したペレットを一定温度に保つ機能をそれぞれの押出機で分担する、いわゆるタンデム押出機を用いることができる。本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムにおけるＡ層およびＢ層は、二軸式ベント式押出機を用いることが、粒子の分散性を良好に保てるので好ましい。
　押出機で溶融して押出したポリマーは、フィルターにより濾過する。ごく小さな異物もフィルム中に入ると粗大突起欠陥となるため、フィルターには例えば３μｍ以上の異物を９５％以上捕集する高精度のものを用いることが有効である。続いてスリット状のスリットダイからシート状に押し出し、キャスティングロール上で冷却固化せしめて未延伸フィルムを作る。すなわち、３台の押出機、３層のマニホールドまたは合流ブロック（例えば矩形合流部を有する合流ブロック）を用いて３層に積層し、口金からシートを押し出し、キャスティングロールで冷却して未延伸フィルムを作る。この場合、背圧の安定化および厚み変動の抑制の観点からポリマー流路にスタティックミキサー、ギヤポンプを設置する方法は有効である。
　延伸方法は、逐次二軸延伸である必要がある。
　同時二軸延伸は、ステンター内で長手方向の延伸（以降、縦延伸と称する場合がある）および幅方向の延伸（以降、横延伸と称する場合がある）を実施できるので、縦延伸機におけるロール間予熱・延伸行程を省略できる一方、延伸点を逐次二軸延伸と同じように確定することが困難であり、その原因は、延伸時のポワソン変形や、ステンター内の随伴流の影響と考えられる。
　長手方向の延伸が複数回ある場合、最初の長手方向の延伸は、傷の発生を抑制することや、大突起を形成・コントロールする上で重要であり、延伸温度は１００℃以上１２０℃以下であることが好ましい。延伸温度が１００℃よりも低くなるとフィルムが破断しやすく、かつ、大突起が高く形成されてしまう。延伸温度が１２０℃よりも高くなるとフィルム表面が熱ダメージを受けやすくなり、大突起が形成されづらくなるため好ましくない。また、延伸ムラ、及びキズを防止する観点からは延伸は２段階以上に分けて行うことが好ましく、トータル倍率は長手方向に３．５倍以上３．８倍以下であることが好ましい。
　また、本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、大突起の高さを制御するために、延伸時に熱量を補完する為に使用する赤外線ヒーターの出力を、最適な範囲に制御することにより、大突起高さを容易に好適な範囲とすることができる。すなわち、距離２５ｍｍにおける赤外線ヒーターの出力を、１０ｋｗ以上１３ｋｗ未満でかつ、処理時間を０．０５秒以上０．３秒未満に調節することにより、本願の大突起の高さをコントロールすることができる。本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、ポリエステルフィルムを延伸する工程において、上記の条件にて赤外線ヒーターで加熱する工程を含むことが好ましい。特に長手方向の延伸工程において、赤外線ヒーターで加熱する工程を含むと、形成される大突起の高さをコントロールすることが容易となるため好ましい。
　長手方向の延伸過程は、フィルムとロールの接触し、ロールの周速とフィルムの速度差による傷が発生しやすい工程につき、ロール周速がロール毎に個別に設定できる駆動方式が好ましい。長手方向の延伸過程において、搬送ロールの材質は、延伸前に未延伸フィルムをガラス転移点以上に加熱するか、ガラス転移点未満の温度に保った状態で延伸ゾーンまで搬送し、延伸時に一挙に加熱するかにより選択されるが、延伸前に未延伸フィルムをガラス転移点以上まで加熱する際は、加熱による粘着を防止するうえで、非粘着性シリコーンロール、セラミックス、テフロン（登録商標）から選択できる。また、延伸ロールは最もフィルムに負荷がかかり、該プロセスで傷や延伸斑が発生しやすい工程につき、延伸ロールの表面粗さＲａは、０．００５μｍ以上１．０μｍ以下、好ましくは０．１μｍ以上０．６μｍ以下である。Ｒａが１．０μｍよりも大きいと延伸時ロール表面の凸凹がフィルム表面に転写するため好ましくなく、一方０．００５μｍよりも小さいとロールとフィルム地肌が粘着し、フィルムが熱ダメージを受けやすくなるため好ましくない。表面粗さを制御するためには研磨剤の粒度、研磨回数などを適宜調整することが有効である。未延伸フィルムをガラス転移点未満の温度に保った状態で延伸ゾーンまで搬送し、延伸時に一挙に加熱する際、予熱ゾーンの搬送ロールは、ハードクロムやタングステンカーバイドで表面処理を行った、表面粗さＲａが０．２μｍ以上０．６μｍ以下の金属ロールを使用するのが好ましい。
　縦方向に延伸したフィルムは、幅方向に４．０倍以上４．３倍以下の延伸を行うことが好ましい。更に、二軸延伸の後にフィルムの熱処理を行なうが、この熱処理はオーブン中、加熱されたロール上等、従来公知の任意の方法で行なうことができる。２０５℃以上２４０℃以下、好ましくは２１０℃以上２３０℃以下で０．５秒以上２０秒以下、好ましくは１秒以上１５秒以下熱固定を行う。特に熱固定温度が２０５℃よりも低くなるとフィルムの結晶化が進まないために構造が安定せず、目標とする寸法変化率などの特性が得られず好ましくない。熱処理は、フィルムをその長手方向および／または幅方向に弛緩させつつ行なってもよい。また、熱処理後は熱処理温度より０℃以上１５０℃以下低い温度で幅方向に０％以上１０％以下で弛緩させる。
　熱処理後のフィルムは、例えば中間冷却ゾーンや除冷ゾーンを設け、寸法変化率や平面性を調整することができる。また特に、特定の熱収縮性を付与するために、熱処理時あるいはその後の中間冷却ゾーンや除冷ゾーンにおいて、縦方向および／または横方向に弛緩してもよい。
　二軸延伸後のフィルムは、搬送工程にて冷却させた後、エッジを切断後巻取り、中間製品を得る。この搬送工程にて、フィルムの厚みを測定し、該データをフィードバックして用いてダイ厚みなどの調整によってフィルム厚みの調整を行い、また、欠点検出器による異物検知を行う。
　エッジの切断時には、切粉の発生を抑制することが、本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムにおいて必要である。エッジの切断は丸刃、シェアー刃、ストレート刃を使用して行うが、ストレート刃を用いる場合は、刃がフィルムに当たる箇所を、常に同じ箇所にさせないことが、刃の摩耗を抑制できるため好ましい形態である。このため刃を上限いオシレーションする機構を有することが好ましい。また、フィルム切断箇所に吸引装置を設けて、発生した切り粉や、切断後のフィルム端部同士が削れて発生する削れ粉を吸引することが好ましい。
　中間製品はスリット工程により適切な幅・長さにスリットして巻き取り、本発明の本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムのロールが得られる。スリット工程におけるフィルムの切断時も、先述のエッジの切断と同様な切断の方式から選定できる。
　中間製品を所望の幅にスリットを行い、本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムを得る。
　以下、実施例で本発明を詳細に説明する。
　本発明に関する測定方法、評価方法は次の通りである。
　（１）粒子の体積平均粒径
　フィルムからポリマーをプラズマ低温灰化処理法で除去し、粒子を露出させる。処理条件は、ポリマーは灰化されるが粒子は極力ダメージを受けない条件を選択する。処理後の試料を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ；株式会社日立製作所製　Ｓ－４０００型）で観察し、粒子画像をイメージアナライザ（株式会社ニレコ製　ＬＵＺＥＸ＿ＡＰ）に取り込み、等価円相当径を測定し、粒子の体積平均粒径を求める。ＳＥＭの倍率は粒径により、５０００～２００００倍から適宜選択する。任意に観察箇所をかえて、少なくとも５０００個の粒子の等価円相当径を測定し、その平均値から平均粒径を求めた。
　粒子がプラズマ低温灰化処理法で大幅にダメージを受ける場合には、フィルム断面を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ；株式会社日立製作所製Ｈ－６００型）を用いて、粒径により、３０００～２００００倍で観察する。ＴＥＭの切片厚さは約１００ｎｍとし、場所を変えて、少なくとも１００個以上の粒子の等価円相当径を測定し、その平均値から体積平均粒径を求める。
　なお、粒子の体積平均粒径を測定する際に、ＳＥＭおよびＴＥＭで観察した際に５０００倍で１０視野確認しても、粒子が認められなかった場合には、粒子を実質的に含有しないと判断する。
　（２）粒子の体積形状係数
　走査型電子顕微鏡で、粒子の写真を例えば５０００倍で１０視野撮影した上、画像解析処理装置を用いて、投影面最大径および粒子の平均体積を算出し、下記式により体積形状係数を得る。
　ｆ　＝　Ｖ／　Ｄｍ３
　ここで、Ｖは粒子の平均体積（μｍ３）、Ｄｍは投影面の最大径（μｍ）である。
　（３）固有粘度
　オルトクロロフェノール中、２５℃で測定した溶液粘度から、下式で計算した値を用いる。すなわち、
　ηｓｐ／Ｃ＝［η］＋ Ｋ［η］２ ・Ｃ
　ここで、ηｓｐ＝（溶液粘度／溶媒粘度）－１であり、Ｃは、溶媒１００ｍｌあたりの溶解ポリマー重量（ｇ／１００ｍｌ、通常１．２）、Ｋはハギンス定数（０．３４３とする）である。また、溶液粘度、溶媒粘度はオストワルド粘度計を用いて測定した。単位は［ｄｌ／ｇ］で示す。
　なお、測定試料を溶解させた溶液中に不溶物がある場合は、溶液を濾過して濾物の重量測定を行い、濾物の重量を測定試料重量から差し引いた値を測定試料重量として測定する。
　（４）フィルム積層厚み
　透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ；日立（株）製Ｈ－６００型）を用いて、加速電圧１００ｋＶで、フィルムの断面を、超薄切片（ＲｕＯ４染色）で観察する。その断面全体から全厚みを求める。積層厚みについては、その界面に観察される粒子の最も深い地点から表面からの深さ、つまり積層されている厚みを求める。倍率は測定するフィルムの全厚み、層厚みによって適宜倍率を設定すればよいが、一般的には全厚み測定には１０００倍、積層厚み測定には１万～１０万倍が適当である。粒子が少ない場合など、積層界面を判別するためにどのような倍率で粒子像を得るべきかを事前に想定するために、断面のＳＥＭ－ＸＭＡによって断面における元素の分布（マッピング）から想定される積層厚みの概算を行い、ＴＥＭでの設定倍率を定めると効率的である。
　（５）表面粗さ（中心線平均粗さ：ＳＲａ）
　三次元微細表面形状測定器（小坂製作所製ＥＴ－３５０Ｋ）を用いて測定し、得られた表面のプロファイル曲線より、ＪＩＳ・Ｂ０６０１－１９９４に準じ、算術平均粗さＳＲａ値を求める。測定条件は下記のとおり。
Ｘ 方向測定長さ： ０．５ｍｍ、Ｘ方向送り速度： ０．１ｍｍ／ 秒。
Ｙ 方向送りピッチ： ５μm、Ｙ方向ライン数： ４０本。
カットオフ： ０．２５ｍｍ。
触針圧： ０．０２ｍＮ。
高さ（Ｚ方向） 拡大倍率： ５万倍。
　（６）大突起の個数、高さ
３次元構造解析測定器（Ｚｙｇｏ社製Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ７３００）を用いて、（Ｉ）の測定条件にて測定し、微分干渉画像を得る。得られた画像において、（ＩＩ）の基準を満たす突起を大突起として個数をカウントし、５．０ｍｍ２あたり換算した値を大突起の個数とする。また、（ＩＩ）の基準を満たす突起の高さを大突起の高さとする。上記の測定を５回実施し、その平均値を大突起の個数とする。
（Ｉ）測定条件
　倍率：５０倍
　測定領域：幅０．９８ｍｍ、長さ５．２５ｍｍ
　（１視野１４０μｍｘ１０５μｍの測定を、幅方向７視野、長さ方向５０視野の３５０視野について実施する。）
　Ｃａｍｅｒａ　Ｍｏｄｅ：６４０ｘ４８０　２１０Ｈｚ
　Ｓｃａｎ　Ｌｅｎｇｔｈ：１０μｍ　
　Ｍｉｎ　Ｍｏｄ：１５．００％
　Ｍｉｎ　Ａｒｅａ　Ｓｉｚｅ：　７
　Ｆｉｌｍ　Ｍｉｎ　Ｍｏｄ：４％
（ＩＩ）選別基準
　Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄ：６００ｎｍ
　Ａｒｅａ：０．２５μｍ２以上。
　（７）粗大突起数
　（６）と同様にして測定し、Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄ：６００ｎｍ、Ａｒｅａ：０．２５μｍ２未満の突起を粗大突起として測定した。
　（８）離型層の塗布特性
　フィルムのロールに、架橋プライマー層（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＢＹ２４－８４６）を固形分１％に調整した塗布液を塗布／乾燥し、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、１００℃で２０秒乾燥硬化させる。その後１時間以内に付加反応型シリコーン樹脂（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＬＴＣ７５０Ａ）１００重量部、白金触媒（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＳＲＸ２１２）２重量部を固形分５質量％に調整した塗布液を、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコートで塗布し、１２０℃で３０秒乾燥硬化した後に巻き取り、離型フィルムを得る。
この際、離型層の塗布状態を、塗布斑を１０００ルクスの蛍光灯下で１ｍ２面積を目視で観察し、塗布性を評価する。
　Ｓ：塗布端部の斑が無く、均一に塗布されており、塗布抜けも無い。
　Ａ：塗布時にフィルムがばたつくなどして、塗布端部に斑があるが、塗布抜けは無い
　Ｂ：塗布端部に大きな斑がある。かつ／または、塗布抜けがある。
　（９）セラミックススラリーの塗布性
　チタン酸バリウム（富士チタン工業（株）製商品名ＨＰＢＴ－１）１００重量部、ポリビニルブチラール（積水化学（株）製商品名ＢＬ－１）１０重量部、フタル酸ジブチル５重量部とトルエン－エタノール（重量比３０：３０）６０重量部に、数平均粒径２ｍｍのガラスビーズを加え、ジェットミルにて２０時間混合・分散させた後、濾過してペースト状のセラミックスラリーを調整した。得られたセラミックスラリーを、実施例にて得られた離型フィルムの上に乾燥後の厚みが２μｍとなるように、ダイコーターにて塗布し乾燥させ、巻き取り、グリーンシートを得る。
　上記で巻き取られたグリーンシートを、繰り出し、離型フィルムから剥がさない状態にて目視で観察し、ピンホールの有無や、シート表面および端部の塗布状態を確認する。なお観察する面積は幅３００ｍｍ、長さ５００ｍｍである。
　ａ．ピンホールの有無
　離型フィルムの上に成型されたグリーンシートについて、背面から１０００ルクスのバックライトユニットで照らしながら、塗布抜けによるピンホールの状態を観察する。
　Ｓ：ピンホールも凹みも無い。
　Ａ：ピンホールは無く、凹みが３個以内認められる
　Ｂ：ピンホールが有り、また凹みが４個以上認められる。
　ｂ．シート表面・端部の塗布状態
　離型フィルムの上に成型されたグリーンシートについて、シートの表面を、正面から斜め４５度にて１０００ルクスの照明で照らしながら目視で観察する。
　Ｓ：シート表面に円状の跡（転写跡）が認められない。
　Ａ：シート表面に円状の跡（転写跡）がうっすらと有る。
　Ｂ：シート表面に円状の跡（転写跡）がくっきりと有る。
　（１０）グリーンシート剥離特性
　下記工程にて内部電極パターンを形成し、グリーンシートを打ち抜きおよび積層を行った後、剥離を行った際の特性評価を実施する。
　ａ．内部電極のパターンの形成
　Ｎｉ粒子４４．６重量部と、テルピネオール５２重量部と、エチルセルロース３重量部と、ベンゾトリアゾール０．４重量部とを、混練し、スラリー化して内部電極層用塗料を得る。内部電極層用塗料を、グリーンシートの上に、スクリーン印刷法によって所定パターンで塗布し、内部電極パターンを有するセラミックグリーンシートを得た。乾燥温度は９０℃、乾燥時間は５分である。
　ｂ．グリーンシートの打ち抜き
　上記の、離型フィルムの上に成形され、内部電極パターンを付与した、セラミックグリーンシートを繰り出し、離型フィルム上にてグリーンシートを１００枚分切断し打ち抜く。切断には回転式の丸刃カッターを使用する。この際、グリーンシートを切断するための、回転式丸刃カッターの切り込み深さは、グリーンシート厚みプラス２μｍ～３μｍに設定する。
　ｃ．グリーンシート積層特性および剥離特性評価
　上記の、離型フィルム上で打ち抜かれた後のグリーンシートを積層する。積層は、離型フィルム上にグリーンシートを保持したまま搬送後、グリーンシートを積層体に熱圧着した後に、離型フィルムを剥がす。この作業を１００枚分繰り返し、セラミック積層体を得る。この際の積層状態を目視で確認して、グリーンシート積層特性を以下の基準にて評価する。
　Ｓ：シート積層後の剥離時に、グリーンシート剥離不良が発生せず、また、エア噛み込みや異物噛み込みがなく良好に積層されている。
　Ａ：シート積層時に熱圧着がやや不均一であり、エア噛み込みはなく、許容範囲の剥離状態であるが、ごくたまに剥離状態が安定しないことがある。
　Ｂ：シート積層時に、剥離不良が発生し、シートが破れる。
　[実施例１]
　　　・　ポリエステルペレットの作製
（ポリエステル樹脂組成物Ａの作製）
　テレフタル酸８６．５重量部とエチレングリコール３７．１重量部を２５５℃で、水を留出しながらエステル化反応を行う。エステル化反応終了後、トリメチルリン酸０．０２重量部、酢酸マグネシウム０．０６重量部、酢酸リチウム０．０１重量部、三酸化アンチモン０．００８５重量部を添加し、引き続いて、真空下、２９０℃まで加熱、昇温して重縮合反応を行い、固有粘度０．６３ｄｌ／ｇのポリエステルペレットを得た。
　（ポリエステル樹脂組成物Ｂおよびポリエステル樹脂組成物Ｃの作製）
　上記と同様にポリエステルを製造するにあたり、モノマーを吸着させる方法によって得た体積平均粒径０．３μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１のジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子の水スラリーを、上記の実質的に粒子を含有しないホモポリエステルペレットに、ベント式二軸混練機を用いて含有させ、体積平均粒径０．３μmのジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子をポリエステルに対し２重量％含有するマスターペレットを得る（ポリエステル樹脂組成物Ｂ）。
　また、上記と同様にポリエステルを製造するにあたり、モノマーを吸着させる方法によって得た体積平均粒径０．８μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１のジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子の水スラリーを、上記の実質的に粒子を含有しないホモポリエステルペレットに、ベント式二軸混練機を用いて含有させ、体積平均粒径０．８μ mのジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子をポリエステルに対し１重量％含有するマスターペレットを得る（ポリエステル樹脂組成物Ｃ）。
　（ポリエステル樹脂組成物Ｄの作製）
　上記と同様にポリエステルを製造するにあたり、エステル交換後、体積平均粒径０．２μm、体積形状係数ｆ＝０．５１、体積平均粒径０．０６μｍ、体積形状係数ｆ＝０．５１、モース硬度７の球状シリカをそれぞれ添加し、重縮合反応を行い、粒子をポリエステルに対し１重量％含有するシリカ含有マスターペレットを得た（ポリエステル樹脂組成物Ｄ）。なお、ポリエステル樹脂組成物Ｄで用いる球状シリカは、エタノールとエチルシリケートとの混合溶液を攪拌しながら、この混合溶液に、エタノール、純水、および塩基性触媒としてアンモニア水からなる混合溶液を添加し、得られた反応液を攪拌して、エチルシリケートの加水分解反応およびこの加水分解生成物の重縮合反応を行なった後に、反応後の攪拌を行い、単分散シリカ粒子を得た。
　（ポリエステル樹脂組成物Ｅの作製）
　また、ポリエステル樹脂組成物Ａを製造するにあたりエステル交換後、炭酸ガス法にて作製した体積平均粒径１．１μｍ、モース硬度３の炭酸カルシウムをポリエステルに対し１重量％添加し炭酸カルシウム含有マスターペレットを得た。
　一方で、下記実施例１のフィルムを製造した後のフィルムを回収し、ペレット化したものを回収原料Ａとした。なお以下に記載する比率は、各層の重量に対する重量比（重量％）で表す。
　Ａ層の厚みおよび組成
　Ａ層の厚み（μｍ）：２８．０
　ポリエステル樹脂組成物Ａ：　９５．０
　ポリエステル樹脂組成物Ｂ：　　５．０
　Ｂ層の厚みおよび組成
　Ｂ層の厚み（μｍ）：３．０
　ポリエステル樹脂組成物Ａ：　４０．０
　ポリエステル樹脂組成物Ｃ：　１０．０
　ポリエステル樹脂組成物Ｅ：　５０．０
　（２）ポリエステルペレットの調合
　Ａ層、Ｂ層それぞれの層の押出機に供給するポリエステルペレットは、以下の比率にて調合する。なお以下に記載する比率は、おのおのの層を構成するポリエステルペレットに対する重量比（単位：重量％）である。
　Ａ層
　　ポリエステル樹脂組成物Ａ：９５
　　ポリエステル樹脂組成物Ｂ：　５
　Ｂ層
　　ポリエステル樹脂組成物Ａ：４０
　　ポリエステル樹脂組成物Ｃ：１０
　　ポリエステル樹脂組成物Ｅ：５０。
　（３）二軸配向ポリエステルフィルムの製造
　先述の、各層について調合した原料を、ブレンダー内で攪拌した後、Ａ層の原料は、攪拌後の原料を、Ａ層のベント付き二軸押出機に供給し、Ｂ層の原料は１６０℃で８時間減圧乾燥し、Ｂ層用の一軸押出機に供給した。２７５℃で溶融押出し、３μｍ以上の異物を９５％ 以上捕集する高精度なフィルターにて濾過した後、矩形の２層用合流ブロックで合流積層し、層Ａ、層Ｂからなる２層積層とした。その後、２８５℃に保ったスリットダイを介し冷却ロール上に静電印可キャスト法を用いて表面温度２５℃のキャスティングドラムに巻き付け冷却固化して未延伸積層フィルムを得る。
　この未延伸積層フィルムに逐次延伸（長手方向、幅方向）を実施した。まず長手方向の延伸を実施し、１０５℃でテフロン（登録商標）ロールにて搬送した後に、長手方向に、出力１１．０ｋｗの赤外線ヒーターで０．０８秒加熱しながら、１１０℃で３．８倍延伸して一軸延伸フィルムを得る。　
　この一軸延伸フィルムをステンター内で横方向に１００℃で４．２倍延伸し、続いて２３０℃で熱固定し、その際幅方向に３．２％弛緩し搬送工程にて冷却させた後、エッジを切断後に巻き取り、厚さ３１μｍの二軸延伸フィルムの中間製品を得る。この中間製品をスリッターにてスリットし、厚さ３１μｍの二軸延伸フィルムのロールを得る。この二軸延伸フィルムの積層厚み、表面粗さ、大突起、粗大突起を測定した結果を表に示す。積層厚みは、Ａ層：２８．０μｍ、Ｂ層：３．０μｍであった。
　（４）離型層の塗布
　次にこの二軸延伸フィルムのロールに、架橋プライマー層（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＢＹ２４－８４６）を固形分１質量％に調整した塗布液を塗布／乾燥し、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、１００℃で２０秒乾燥硬化させる。その後１時間以内に付加反応型シリコーン樹脂（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＬＴＣ７５０Ａ）１００重量部、白金触媒（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製商品名ＳＲＸ２１２）２重量部を固形分５質量％に調整した塗布液を、乾燥後の塗布厚みが０．１μｍとなるようにグラビアコートで塗布し、１２０℃で３０秒乾燥硬化した後に巻き取り、離型フィルムを得る。
得られた離型フィルムについて、セラミックススラリーの塗布特性、グリーンシート剥離特性について、評価を実施したところ、良好な結果であった。
　[実施例２]
　実施例１と同様な層構成、処方において、縦延伸赤外線ヒーター出力を１２．０ｋｗ、縦延伸倍率を３．６倍、赤外線ヒーター処理時間を０．０９秒、横延伸倍率を４．６倍、リラックス率を２．６％とする以外は、実施例１と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。離型層塗布性、スラリー塗布性、グリーンシート剥離特性とも良好であった。
　[実施例３]
　実施例１と同様な層構成、処方において、縦延伸倍率を３．８倍とした以外は、実施例２と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。離型層塗布性、スラリー塗布性、グリーンシート剥離特性とも良好であった。
　[実施例４]
　実施例１と同様な層構成、処方において、縦延伸赤外線ヒーター出力を１０．０ｋｗとする以外は、実施例２と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。離型層塗布性、スラリー塗布性、グリーンシート剥離特性とも良好であった。
　[実施例５]
　異種３層構成（Ａ層／中間層／Ｂ層）にて実施例２と同一条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。
　Ａ層、中間層、Ｂ層それぞれの層の押出機に供給するポリエステルペレットは、以下の比率にて調合する。なお以下に記載する比率は、おのおのの層を構成するポリエステルペレットに対する重量比（単位：重量％）である。
　Ａ層
　　ポリエステル樹脂組成物Ａ：９７
　　ポリエステル樹脂組成物Ｄ：　３
　中間層
　　ポリエステル樹脂組成物Ａ：６０
　　回収原料Ａ       　　　　　　 ：４０
　Ｂ層
　　ポリエステル樹脂組成物Ａ：４５
　　ポリエステル樹脂組成物Ｂ：　５
　　ポリエステル樹脂組成物Ｅ：５０。
離型層塗布性、スラリー塗布性、グリーンシート剥離特性とも良好であった。
　[比較例１]
　実施例１と同様な層構成、処方において、縦延伸赤外線ヒーター出力を９．５ｋｗ、とした以外は、実施例１と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得た。離型層塗布においては問題が無かったものの、スラリー塗布においてピンホールが見つかった。グリーンシート剥離特性は問題が発生しない。
　[比較例２]　　
　Ａ層の押出機に供給するポリエステルペレットは、以下の比率にて変更し、縦延伸赤外線ヒーター出力を９．５ｋｗとした以外は実施例１と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。なお以下に記載する比率は、おのおのの層を構成するポリエステルペレットに対する重量比（単位：重量％）である。
　Ａ層
　　ポリエステル樹脂組成物Ａ：９７
　　ポリエステル樹脂組成物Ｂ：　３
離型層塗布においては問題が無かったものの、スラリー塗布においてピンホールが見つかった。グリーンシート剥離特性は、シートの剥離状態が安定しないことがあったためＡとする。
　[比較例３] 
　実施例１と同様な層構成、処方にて、Ａ層の押出機に供給するポリエステルペレットは、ポリエステルＡのみとし、Ａ層には実質的に粒子を含有しない層とする。大突起数は0であるが、粗さは本願の範囲を超え、剥離にてシートが破れるため評価をＢとする。
　[比較例４] 
　実施例１と同様な層構成、処方において、縦延伸倍率を３．３倍とした以外は、実施例１と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。離型層塗布においては問題が無かったものの、スラリー塗布においてピンホールが見つかる。グリーンシート剥離特性は問題が発生しない。
　[比較例５] 
　実施例１と同様な層構成、処方において、縦延伸倍率を３．６倍、延伸赤外線ヒーター出力を１４ｋｗとした以外は、実施例１と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。離型層塗布においては問題が無かったものの、スラリー塗布においてピンホールが見つかる。グリーンシート剥離特性は安定しないためＡとする。
　[比較例６] 
　実施例１と同様な層構成、処方において、Ａ層の押出機に供給するポリエステルペレットは、以下の比率にて変更し、調合する。なお以下に記載する比率は、おのおのの層を構成するポリエステルペレットに対する重量比（単位：重量％）である。
　Ａ層
　　ポリエステル樹脂組成物Ａ：８０
　　ポリエステル樹脂組成物Ｂ：２０
　実施例１と同じ製膜条件にて二軸配向ポリエステルフィルムを得る。粗さがＲａ（Ａ）が２０ｎｍとなり、スラリー塗布後にピンホールがありなおかつ、剥離が安定せずシートが破れるため、評価をＢとする。
　[比較例７]
　比較例１と同じ条件にて、Ｂ層の添加粒子をより粒径の小さいものに換えた。スラリー塗布後にピンホールがあるため評価をＢとする。
　[比較例８]
　Ａ層、Ｂ層ともに平滑なフィルムを得るべく添加粒子を調整し、製膜条件は実施例１と同じ条件にすると、離型層の塗布でフィルムが時々蛇行して塗布斑が生じＡとし、転写検査にてうっすらとした凹みがあり、剥離にてシートが破れるため評価をＢとする。
　[比較例９]
　実施例１と同じ条件にて、長手方向の延伸温度を９０℃に換えた。スラリー塗布後にピンホールがあるため評価をＢとする。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　本発明の二軸延伸ポリエステルフィルムは、剥離特性が良好であり、特に剥離のばらつきが極めて小さい。そのため、積層セラミックスコンデンサーを製造する工程においてグリーンシート成形の支持に用いられる離型用フィルムに好適に用いることができる。本発明の離型用二軸配向ポリエステルフィルムは、高平滑なセラミックスコンデンサーを構成するグリーンシートを薄膜かつ多層に積層しても、薄膜グリーンシート成形時のセラミックススラリーの塗工性に優れ、グリーンシートの剥離特性が均一となる。

Claims (6)

  1. 下記（１）～（３）を満たす離型用二軸配向ポリエステルフィルム。
    （１）一方の面（該面をＡ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ａ）が７．０ｎｍ以上１５．０ｎｍ未満である。
    （２）Ａ面と反対の面（該面をＢ面とする）の表面粗さＳＲａ（Ｂ）が３０ｎｍを超えて５０ｎｍ未満である。
    （３）Ａ面に存在する大突起の個数が１０個／５．０ｍｍ２以上２０個／５．０ｍｍ２以下であり、かつ、Ａ面に存在する大突起の高さがすべて８００ｎｍ以下の範囲である。（なお、大突起の個数、高さは下記の測定方法により求める。）
    大突起の個数、高さの測定方法：
    ３次元構造解析測定器（Ｚｙｇｏ社製Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ７３００）を用いて、（Ｉ）の測定条件にて測定し、微分干渉画像を得る。得られた画像において、（ＩＩ）の基準を満たす突起を大突起として個数をカウントし、５．０ｍｍ２あたり換算した値を大突起の個数とする。また、（ＩＩ）の基準を満たす突起の高さを大突起の高さとする。上記の測定を５回実施し、その平均値を大突起の個数とする。
    （Ｉ）測定条件
    　倍率：５０倍
    　測定領域：幅０．９８ｍｍ、長さ５．２５ｍｍ
    　（１視野１４０μｍｘ１０５μｍの測定を、幅方向７視野、長さ方向５０視野の３５０視野について実施する。）
    　Ｃａｍｅｒａ　Ｍｏｄｅ：６４０ｘ４８０　２１０Ｈｚ
    　Ｓｃａｎ　Ｌｅｎｇｔｈ：１０μｍ　
    　Ｍｉｎ　Ｍｏｄ：１５．００％
    　Ｍｉｎ　Ａｒｅａ　Ｓｉｚｅ：　７
    　Ｆｉｌｍ　Ｍｉｎ　Ｍｏｄ：４％
    （ＩＩ）選別基準
    　Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｂａｎｄ：６００ｎｍ
    　Ａｒｅａ：０．２５μｍ２以上。
  2. 　少なくとも２層からなる積層ポリエステルフィルムであることを特徴とする請求項１に記載の離型用二軸配向ポリエステルフィルム。
  3. 　３層からなる積層ポリエステルフィルムであって、Ａ面、Ｂ面を有さない中間層の厚みが、フィルム全体に対し２５％以上９５％未満であることを特徴とする請求項１または２に記載の離型用二軸配向ポリエステルフィルム。
  4. 　積層セラミックスコンデンサーを製造する工程においてグリーンシート成形の支持に用いられることを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載の離型用二軸配向ポリエステルフィルム。
  5. 下記（４）に示す工程を含む請求項１～４のいずれかに記載の離型用二軸配向ポリエステルフィルムの製造方法。
    （４）ポリエステルフィルムを延伸する工程において、赤外線ヒーターでフィルムを加熱する工程を含み、その赤外線ヒーターの出力が１０ｋｗ以上１３ｋｗ未満であり、その加熱時間が０．０５秒以上０．３秒未満であること。
  6. 下記（５）～（８）に示す工程を含む請求項５に記載の離型用二軸配向ポリエステルフィルムの製造方法。
    （５）未延伸ポリエステルフィルムを、長手方向に、延伸倍率３．５～３．８倍で延伸して、一軸配向ポリエステルフィルムを得る工程を含むこと。
    （６）前記未延伸ポリエステルフィルムを長手方向へ延伸する工程において、前記（４）の工程を含むこと。
    （７）（５）の工程で得られた一軸配向ポリエステルフィルムを、幅方向に延伸して、
    二軸配向ポリエステルフィルムを得る工程を含むこと。
    （８）（７）の工程で得られた二軸配向ポリエステルフィルムを、２０５～２４０℃で熱処理しながら、幅方向に０～１０％弛緩する工程を含むこと。
     
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