WO2014068673A1 - ノズル管理機 - Google Patents

ノズル管理機 Download PDF

Info

Publication number
WO2014068673A1
WO2014068673A1 PCT/JP2012/078044 JP2012078044W WO2014068673A1 WO 2014068673 A1 WO2014068673 A1 WO 2014068673A1 JP 2012078044 W JP2012078044 W JP 2012078044W WO 2014068673 A1 WO2014068673 A1 WO 2014068673A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
nozzle
tray
inspection
transfer
pallet
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/078044
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
賢司 下坂
力茂 手嶋
和美 星川
久之 ▲辻▼
英希 保坂
延久 小見山
Original Assignee
富士機械製造株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士機械製造株式会社 filed Critical 富士機械製造株式会社
Priority to KR1020157010787A priority Critical patent/KR102033204B1/ko
Priority to PCT/JP2012/078044 priority patent/WO2014068673A1/ja
Priority to KR1020197029430A priority patent/KR102135007B1/ko
Priority to JP2014544101A priority patent/JP6129201B2/ja
Priority to CN201280076728.1A priority patent/CN104770078B/zh
Priority to EP12887348.6A priority patent/EP2916637B1/en
Priority to EP20160594.6A priority patent/EP3684158B1/en
Priority to PCT/JP2013/059226 priority patent/WO2014069016A1/ja
Priority to JP2014544335A priority patent/JP6161625B2/ja
Priority to CN201380056808.5A priority patent/CN104770079B/zh
Priority to EP13850477.4A priority patent/EP2916638B1/en
Priority to CN201710152512.3A priority patent/CN107072138B/zh
Priority to CN201710152746.8A priority patent/CN107072139B/zh
Publication of WO2014068673A1 publication Critical patent/WO2014068673A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
    • H05K13/0409—Sucking devices
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/087—Equipment tracking or labelling, e.g. tracking of nozzles, feeders or mounting heads

Definitions

  • This invention relates to the nozzle management machine for managing the suction nozzle used in order to hold
  • a nozzle management machine is a nozzle management machine for managing suction nozzles used for holding electrical components in an electrical component mounting machine, and includes a plurality of suction nozzles.
  • a nozzle accommodating device that can be accommodated is provided.
  • a highly practical nozzle management machine is realized by devising the nozzle housing device itself and providing means for performing various treatments on the suction nozzles housed in the housing device.
  • a nozzle management machine for managing suction nozzles used to hold electrical components in an electrical component mounting machine The nozzle management machine provided with the nozzle accommodating apparatus which can accommodate a some suction nozzle.
  • This mode is a mode related to a basic configuration of a nozzle management machine (hereinafter sometimes simply referred to as “management machine”).
  • management machine Various measures are taken for the above-described nozzle accommodating device (hereinafter, simply referred to as “accommodating device”) itself, and to the suction nozzle (hereinafter simply referred to as “nozzle”) accommodated in the accommodating device.
  • accommodation device simply referred to as “accommodating device”
  • nozzle suction nozzle
  • ⁇ Nozzle housing structure The following several aspects relate to the structure of the nozzle accommodating device. Incidentally, some of these aspects are not aspects in which the management machine is a category, and even if the accommodation apparatus is simply changed to a category in which the management apparatus is a category, that is, an aspect of the accommodation apparatus that is independent from other components of the management machine. Even so, the aspect can be an aspect of the claimable invention.
  • the “pallet” in this aspect can be called a nozzle placing device or a container (container).
  • a plurality of nozzles are accommodated in units of pallets.
  • a convenient management machine can be realized by taking in and out the storage device and handling the nozzles in units of pallets.
  • each of the plurality of pallets has a plurality of placement units on which one suction nozzle is placed.
  • the placement portion has a structure that can prevent the nozzle from moving.
  • the number of types of pallets must be increased according to the type of nozzle, and this increase involves a certain amount of trouble. If a pallet on which a plurality of types of nozzles can be placed is used, the number of types of pallets can be reduced, and the troublesomeness can be avoided or reduced. That is, in this aspect, the pallet is generalized. Further, considering the entire storage device, when a plurality of pallets on which only one type of nozzle can be placed are prepared, the total number of pallets is limited, so the number of pallets for each type of nozzle must be reduced. It will be.
  • the nozzle has a flange, which will be described later, and has a round shape when viewed from above.
  • the arrangement efficiency is poor for nozzles having a relatively large outer diameter. That is, the area occupied by the nozzle, more specifically, its flange, is relatively small compared to the area of the pallet.
  • a nozzle having a relatively large outer diameter and a nozzle having a relatively small outer diameter that is, by arranging them alternately, the number of nozzles that can be placed is increased. It becomes possible to do.
  • the arrangement efficiency is greatly improved by arranging the nozzles having a small outer diameter in the gaps between the nozzles having a large outer diameter. From this point of view, in this embodiment, it is desirable that a plurality of types of nozzles having different sizes, particularly a plurality of types of nozzles having different outer diameters of the flanges, can be mounted.
  • Each of the plurality of pallets has a plurality of placement portions on which one suction nozzle is placed, and the plurality of placement portions of the one or more of the plurality of pallets.
  • a plurality of types of nozzles can be placed on one placement portion.
  • the mounting section can mount only one type of nozzle
  • the pallet when mounting a plurality of types of nozzles on one pallet, the pallet must be provided with many types of mounting sections. In that case, the situation where a nozzle is not mounted in many mounting parts may also occur. That is, the possibility that there are many mounting parts that are empty increases.
  • a mounting portion shared by a plurality of types of nozzles is provided as in this aspect, it is possible to efficiently mount the nozzles on the pallet while generalizing the pallet. If a plurality of types of nozzles different in size can be placed on one placement portion, the nozzles can be placed on the pallet more efficiently.
  • the suction nozzle has a flange, and each of the plurality of placement portions is configured to regulate radial displacement of the suction nozzle on the outer periphery of the flange,
  • This mode is simply a mode in which a plurality of types of nozzles having different sizes can be mounted on one mounting unit.
  • the flange is the portion having the largest outer diameter in the nozzle, and effective regulation is possible by regulating the displacement in the radial direction of the nozzle on the outer periphery of the flange, that is, displacement of the nozzle.
  • Each of the at least some of the plurality of placement portions has a hole that fits the flange of the suction nozzle and restricts the outer periphery of the flange on the inner peripheral wall, and the inner peripheral wall of the hole has a depth.
  • This mode is a mode related to a structure of a mounting portion in which a plurality of types of nozzles having different outer diameters of the flange can be mounted while regulating the outer periphery of the flange.
  • the hole of the mounting portion may be, for example, a stepped hole having a plurality of steps having different inner dimensions of the inner peripheral wall, and the inner dimension of the inner peripheral wall gradually decreases in the axial direction. It may be a tapered hole. If it is set as the mounting part of such a structure, it will become possible to mount each of several types of nozzles from which size differs mutually on a pallet, restrict
  • nozzle management machine according to any one of (11) to (16), wherein the nozzle accommodating device includes a pallet moving device that moves the plurality of pallets in the nozzle accommodating device.
  • the pallet since the pallet can be moved in the storage device, it is possible to carry out the pallet from the storage device at a specific position and carry it into the storage device.
  • the pallet moving device in this aspect may be configured to move each of the plurality of pallets independently, or may be configured to move the plurality of pallets simultaneously, that is, together.
  • the pallet moving device it is possible to move a plurality of pallets together along the same route depending on the structure while making the device structure relatively simple.
  • Each of the plurality of pallets is disposed in a posture in which a surface on which the suction nozzle is placed faces upward.
  • the pallet moving device in this aspect can circulate a plurality of pallets in a relatively small space, according to this aspect, it is possible to realize a relatively compact storage device.
  • the pallet circulation apparatus in this aspect can also be considered as an apparatus having a structure such as a tower type multilevel parking lot.
  • Anti-nozzle treatment execution device nozzle transfer device
  • the following several aspects relate to an anti-nozzle treatment execution device and a nozzle transfer device.
  • the nozzle management machine is The apparatus according to any one of (1) to (19), further comprising an anti-nozzle treatment execution device that performs some kind of treatment on the suction nozzle that is accommodated in or that will be accommodated in the nozzle accommodation device. Nozzle management machine.
  • Anti-nozzle treatment execution device in this embodiment is a device that performs some kind of treatment on the nozzle, and specifically includes, for example, a nozzle transfer device, a nozzle inspection device, a nozzle cleaning device, and the like described later. It is.
  • treatment execution device By providing an anti-nozzle treatment execution device (hereinafter sometimes simply referred to as “treatment execution device”), the nozzle management machine has various functions according to the treatment execution device provided in addition to the function of accommodating the nozzle. Is possible.
  • the nozzle management machine is The nozzle management device according to item (21), further comprising a nozzle transfer device that transfers one or more suction nozzles from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device.
  • the “nozzle transfer device” in this aspect is a device having a function of carrying out one or more nozzles (hereinafter also referred to as “nozzle group”) from the storage device and carrying the nozzle group into the treatment execution device. Can think. This nozzle transfer device (hereinafter sometimes simply referred to as “transfer device”) enables cooperation between the storage device and the treatment execution device.
  • the transfer device in this aspect carries out the nozzle group from the processing execution device and the nozzle group into the storage device. It also has a function. That is, it can be considered that the transfer device in this aspect has a function of returning the nozzle group.
  • the nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed,
  • the nozzle transfer device is (22) or (23) is a pallet transfer device that transfers a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device.
  • the described nozzle management machine is a pallet transfer device that transfers a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device.
  • the above two aspects are effective when the nozzles are placed and accommodated on the pallet in the accommodating device, so that the transfer device transfers a nozzle group composed of a plurality of nozzles for each pallet. It is the comprised aspect. According to these two aspects, it becomes possible to carry the nozzle group between the storage device and the treatment execution device relatively easily.
  • the pallet transfer device in the above two modes (hereinafter sometimes simply referred to as “transfer device”) is configured to transfer any pallet regardless of the position in the storage device. Alternatively, as will be described later, only the pallet located at a specific position may be transferred.
  • the former configuration is effective when the storage device does not have a pallet moving device.
  • the nozzle accommodating device includes a pallet moving device that moves each of the plurality of pallets in the nozzle accommodating device, (24) or (25), wherein the pallet transfer device is configured to transfer one of the plurality of pallets moved to a set position by the pallet moving device to the anti-nozzle treatment execution device.
  • Nozzle management machine according to item.
  • the transfer device has a function of transferring one pallet located at a specific position among the plurality of pallets of the storage device.
  • the transfer device further includes the specific pallet. It has a function to return the pallet to the position.
  • the nozzle management machine is The nozzle management device according to any one of (21) to (27), comprising a plurality of anti-nozzle treatment execution devices each functioning as the anti-nozzle treatment execution device.
  • This aspect includes an aspect including a plurality of apparatuses that execute the same treatment as a plurality of treatment execution apparatuses, and an aspect including a plurality of apparatuses that execute different treatments. According to the former aspect, it is possible to realize a management machine having a large execution capability of the treatment, and according to the latter aspect, it is possible to realize a multifunctional management machine.
  • the management machine includes a plurality of treatment execution devices that execute different treatments
  • the nozzles sequentially pass through the plurality of treatment execution devices, and the treatment by each of the plurality of treatment execution devices is performed on the nozzles. It can also be configured to be executed.
  • This mode is different from such a configuration, and can be considered as a mode in which, for example, a plurality of treatment execution apparatuses are configured to be able to execute treatments in parallel with respect to different nozzles. According to this aspect, even a management machine capable of executing a plurality of treatments can execute the plurality of treatments for a single nozzle in a relatively short time.
  • the nozzle management machine is As a nozzle transfer device provided corresponding to the plurality of nozzle treatment execution devices, each of which transfers one or more suction nozzles from the nozzle accommodating device to a corresponding one of the plurality of nozzle treatment execution devices
  • This mode can be considered as a mode in which a transfer device is provided for each treatment execution device. This is particularly effective in a mode in which the plurality of treatment execution apparatuses described above can operate independently of each other.
  • the nozzle accommodating device includes a plurality of pallets each capable of mounting a plurality of suction nozzles, and a pallet moving device that moves the plurality of pallets in the nozzle accommodating device,
  • Each of the plurality of nozzle transfer devices is A pallet transfer device that transfers a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle accommodating device to the anti-nozzle treatment execution device,
  • the nozzle management machine Each of the plurality of pallet transfer devices moves one of the plurality of pallets moved by the pallet moving device to a setting position set corresponding to each of the plurality of pallet transfer devices.
  • the nozzle management device according to item (33), which is configured to be transferred to a corresponding one of the above.
  • This aspect is an aspect configured to transfer the nozzle together with the pallet in the previous aspect. More specifically, in this aspect, it can be considered that a plurality of stations are provided in the storage device, and a pallet located at a specific station is transferred to a specific treatment execution device.
  • nozzles to be used may be replaced depending on the size of the electrical components, etc. These nozzles are placed in a nozzle station provided in the electrical component mounting machine in a state where they are placed on a nozzle tray (hereinafter sometimes simply referred to as “tray”).
  • nozzle tray hereinafter sometimes simply referred to as “tray”.
  • the following several aspects are aspects related to this tray, specifically, an anti-nozzle treatment execution device for transferring nozzles to the tray and transferring nozzles from the tray.
  • the electrical component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electrical component mounting machine are placed on a nozzle tray that is detachably arranged in the electrical component mounting machine.
  • the nozzle management machine as the anti-nozzle treatment execution device, Setting transfer to transfer the suction nozzle stored in the nozzle storage device to a nozzle tray located at a setting position;
  • the apparatus includes a nozzle transfer device that performs at least one of accommodation and transfer from the nozzle tray.
  • the nozzle management machine according to any one of items (21) to (34).
  • the “setting transfer” is a transfer for setting, for example, a nozzle to be used in an electric component mounting machine to a tray. Among the plurality of nozzles stored in the storage device by setting transfer, Some are placed in the nozzle tray.
  • the “accommodation transfer” is a transfer for accommodating, for example, the nozzle used in the electric component mounting machine in the accommodation device, and a plurality of the placement and transfer are placed on the tray. At least some of the nozzles are removed from the tray. According to this aspect, a management machine that can effectively support nozzle preparation, cleaning, and the like in the electrical component mounting machine is realized.
  • the nozzle transfer device (hereinafter sometimes simply referred to as “transfer device”) transfers the nozzles stored in the storage device directly from the storage device to the tray.
  • transfer device This is not a concept that includes, for example, a concept including transferring a nozzle carried out of the storage device to a tray by a transfer device described later.
  • the accommodation transfer according to the present embodiment does not only mean that the nozzles placed on the tray are directly accommodated in the accommodation device, but the transfer device is intended to be accommodated in the accommodation device by the transfer device. This is a concept including transferring from a tray.
  • the nozzle management machine includes a nozzle transfer device that transfers one or more suction nozzles from the nozzle housing device to the anti-nozzle treatment execution device,
  • the nozzle transfer device is In the setting transfer, the nozzle management machine according to (41) or (42), which is configured to execute transfer for the suction nozzle transferred by the nozzle transfer device.
  • the nozzle accommodation device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed, respectively, and the nozzle transfer device accommodates one of the plurality of pallets in the nozzle accommodation.
  • a pallet transfer device configured to transfer a plurality of suction nozzles by transferring from the device to the anti-nozzle treatment execution device, The nozzle transfer device is When the setting is transferred, the transfer of the suction nozzle mounted on one of the plurality of pallets transferred to a position where the transfer by the nozzle transfer device can be performed by the pallet transfer device.
  • the nozzle management device according to item (43), which is configured to perform loading.
  • the nozzle management machine includes a nozzle transfer device that transfers one or more suction nozzles from the anti-nozzle treatment execution device to the nozzle storage device,
  • the nozzle transfer device is In any one of the items (41) to (44) configured to execute transfer for accommodating in the nozzle accommodating device via the nozzle conveying device during the accommodating / transferring.
  • the described nozzle management machine includes a nozzle transfer device that transfers one or more suction nozzles from the anti-nozzle treatment execution device to the nozzle storage device.
  • the nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed, respectively, and the nozzle transfer device transfers one of the plurality of pallets to the counter nozzle.
  • a pallet transfer device configured to transfer a plurality of suction nozzles by transferring from a treatment execution device to the nozzle housing device, The nozzle transfer device is In the case of the accommodation transfer, the transfer to one of the plurality of pallets transferred from the nozzle accommodation device to a position where the transfer by the nozzle transfer device can be performed by the pallet transfer device.
  • the nozzle management device according to item (45) configured to execute.
  • the above four aspects are aspects related to the above-described transfer device.
  • transfer of the nozzles transferred from the storage device by the transfer device to the tray and nozzles of the nozzles transferred from the tray are performed.
  • At least one of the accommodation in the accommodation device by the transfer device is performed.
  • the transfer device is a pallet transfer device that transfers the nozzle by transferring the pallet, and transfer is performed between the tray and the pallet.
  • An identifier for recognizing unique information of the suction nozzle is attached to the suction nozzle,
  • the “unique information” in this aspect includes, for example, an ID as a typical example, and widely includes quality information on quality, information on high ability, and the like.
  • the ID is extremely useful information in grasping the accommodation positions of a plurality of nozzles accommodated in the accommodation device, that is, grasping which nozzle is accommodated in which position.
  • the unique information can be read, so that the contained nozzle can be sufficiently managed using the unique information. In that sense, it is desirable that reading of the identifier is performed at the time of the above-described accommodation transfer.
  • the “identifier” can employ a barcode, a 2D code (two-dimensional code such as QR code (registered trademark)), etc.
  • the “identifier reader” can be an imaging device such as a barcode reader or a camera. It is possible to adopt.
  • nozzle transfer device (48) The nozzle transfer device according to any one of (41) to (47), wherein the nozzle transfer device includes a nozzle holder that holds the suction nozzle and a holder moving device that moves the nozzle holder. Nozzle management machine.
  • This aspect relates to a specific structure of the nozzle transfer device.
  • nozzle holder a chuck, a clamp, or the like that holds the nozzle in a detachable manner
  • holding device moving device various moving devices such as a so-called XYZ type robot and an articulated type robot can be adopted.
  • An identifier for recognizing unique information of the suction nozzle is attached to the suction nozzle,
  • the nozzle transfer device has an identifier reader for reading the identifier, and the identifier reader is configured to be moved together with the nozzle holder by the holder moving device (48). Nozzle management machine.
  • the identifier attached to the nozzle can be easily read, and a convenient management machine can be realized.
  • the nozzle management machine A tray accommodating device capable of accommodating a plurality of nozzle trays, each of which is the nozzle tray;
  • the management machine of this aspect can be a management machine capable of managing trays by including the tray storage device and the tray transfer device.
  • the tray transfer device carries the tray into and out of the tray accommodation device, thereby realizing a convenient management machine.
  • the tray transfer device carries the tray into and out of the tray accommodation device, thereby realizing a convenient management machine.
  • the tray from which the nozzles that have been mounted are removed is stored in the tray storage device, or the settings are transferred to the tray that was stored in the tray storage device.
  • the tray is replaced with a defect-free tray by using the accommodation transfer and the setting transfer together. Is also possible.
  • the tray in which the nozzle is set in advance can be stored in the tray storage device, the tray in which the nozzle is set is quickly mounted on the tray when the electrical component mounting machine needs it. Can be supplied to the machine.
  • ⁇ Nozzle inspection device ⁇ The following several aspects relate to an anti-nozzle treatment execution device that performs nozzle inspection.
  • the following several aspects are not aspects in which the management machine is a category, but are simply changed to an aspect in which the inspection apparatus is a category, that is, an aspect of the inspection apparatus independent of other components of the management machine However, it can be an aspect of the claimable invention.
  • nozzle management machine (61) The nozzle management machine according to any one of (21) to (52), wherein the nozzle management machine includes a nozzle inspection device that inspects the suction nozzle as the anti-nozzle treatment execution device.
  • the nozzle inspection device (hereinafter sometimes simply referred to as “inspection device”) are not particularly limited, but inspection of various inspection items including inspection of various inspection items listed later is performed. Can be performed by the inspection apparatus.
  • the nozzle inspection device comprises: Each inspection item is different from each other, (a) Passage flow inspection, which is an inspection related to the flow rate of air passing through the suction nozzle, (b) Reading of an identifier for attaching to the suction nozzle and recognizing unique information of the suction nozzle (C) Inspection of the tip of the suction nozzle that is related to the state of the tip of the suction nozzle. (D) When the tip of the suction nozzle is retractable against the biasing force.
  • the nozzle management device according to (61), wherein the nozzle management device is configured to perform at least one of the necessary reverse force inspection, which is an inspection relating to the force required for the backward movement of the suction nozzle tip.
  • the four inspection items listed in this aspect are basic inspection items for the nozzle.
  • the “passage flow rate inspection” is an inspection for checking how much the flow rate of air passing through the nozzle is secured, and is mainly an inspection for confirming clogging of the nozzle. For example, when the flow rate of air is measured in a state where compressed air is continuously blown from the base end side to the nozzle whose tip is open, and the measured flow rate is smaller than the set threshold flow rate, the nozzle It may be determined that clogging has occurred. Further, instead of such a method, for example, in a state where compressed air is continuously blown from the base end side into a nozzle whose tip is opened, the pressure of the blown air is measured, and the pressure is set to a threshold value. When the pressure is higher than the pressure, it may be determined that the nozzle is clogged and a sufficient air flow rate is not ensured.
  • the “identifier reading inspection” is, for example, an inspection for confirming whether or not the identifier provided on the nozzle described above, specifically, the identifier provided on the upper surface of the flange can be read sufficiently.
  • an identifier is actually imaged by an imaging device such as a camera, and it may be determined that the identifier is defective when the unique information to be indicated by the identifier cannot be sufficiently obtained from the imaging result.
  • tip condition check can be used to check for the presence or absence of geometric defects such as bending of the nozzle tip, chipping or crushing of the nozzle, and the presence or absence of foreign matter or dirt on the tip.
  • the distal end is imaged from the distal end side by an imaging device such as a camera, and the bent, chipped, crushed, foreign matter or the like adheres based on the image data obtained by the imaging. Or the like.
  • Reverse required force inspection is an inspection related to the operation of the nozzle.
  • the nozzle in order to alleviate the impact applied to an electrical component when the electrical component is placed on a circuit board, the nozzle has a distal end portion on which the electrical component is adsorbed with respect to a proximal end portion held by the nozzle holding device. And is configured to retreat. That is, the tip of the nozzle is retracted against the urging force of a spring or the like.
  • the required reverse force test is, for example, an inspection for confirming whether or not the force required for the backward movement of the tip (hereinafter sometimes referred to as “reverse required force”) is excessive. Simply put, it can be considered as an inspection for confirming that the nozzle is smoothly contracted.
  • the tip of the nozzle that supports the base end is pushed toward the base end, and the force required to push the nozzle at the time when the nozzle starts to be retracted is measured by a load sensor such as a load cell.
  • a load sensor such as a load cell.
  • only one inspection apparatus may be provided in the management machine, or a plurality of inspection apparatuses may be provided.
  • the plurality of inspection devices may have the same inspection items, or may have different inspection items.
  • the inspection apparatus may be configured to perform only one of the four inspection items. Moreover, you may be comprised so that two or more of those four test
  • both the passage flow rate inspection and the identifier reading inspection are performed on the base end side of the nozzle.
  • the two inspections are performed from the same direction, and in both inspections, main components for performing the inspection are arranged in a space existing on the base end side of the nozzle. Therefore, the inspection apparatus according to this aspect can inspect the two inspection items with a relatively simple configuration. More specifically, for example, the configuration can be simplified by moving the two main components corresponding to the two inspections with one moving device.
  • the tip state check and the required retraction force check are performed on the tip end side of the nozzle.
  • the two inspections are performed from the same direction, and in both inspections, main components for performing the inspection are arranged in a space existing on the tip end side of the nozzle. Therefore, the inspection apparatus according to this aspect can inspect the two inspection items with a relatively simple configuration. More specifically, for example, the configuration can be simplified by moving the two main components corresponding to the two inspections with one moving device.
  • the nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed,
  • the nozzle management machine A pallet transfer device that transfers a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle housing device to the nozzle inspection device; and
  • the nozzle inspection device is configured to inspect a plurality of suction nozzles mounted on one of the plurality of pallets while being mounted on the one pallet (61) to A nozzle management machine according to any one of (64).
  • the inspection by the inspection device is performed while the nozzle is placed on the pallet. Extremely speaking, the nozzle is inspected in the same state as the nozzle is housed in the housing device. Therefore, it is possible to easily inspect the nozzles housed in the housing device.
  • the nozzle management machine is The nozzle management machine according to any one of (61) to (65), wherein each nozzle functions as the nozzle inspection device and includes a plurality of nozzle inspection devices having different inspection items.
  • a management machine capable of executing inspection of many inspection items that is, a management machine capable of executing sufficient inspection is realized.
  • the inspection can be performed with reference to the reference object, the inspection can be optimized.
  • the reference of the reference object may be performed every time the inspection is performed, or may be performed periodically.
  • the inspection may be performed before or after the actual nozzle inspection. Further, it may be performed only when some condition changes. Furthermore, it may be performed only when it is determined that the nozzle is defective in the actual nozzle inspection (hereinafter may be referred to as “defective nozzle”). That is, the reference timing may be set appropriately in accordance with the purpose of use of the reference object.
  • the arrangement location of the reference object is not limited. As will be described later, it may be attached to the pallet, and may be fixedly or detachably attached to the housing or the like of the management machine in the area of the inspection apparatus.
  • the above-mentioned “setting of the inspection standard by the nozzle inspection apparatus” includes, for example, setting a standard for determining whether or not the nozzle to be inspected is a defective nozzle.
  • the pressure of compressed air fed in the above-described flow rate inspection that is, the output flow of the compressor (hereinafter sometimes referred to as “source pressure”)
  • source pressure the pressure of compressed air fed in the above-described flow rate inspection
  • the flow rate of air to be measured the base end of the nozzle
  • the nozzle inspection apparatus includes, for example, optimization of inspection conditions for inspection by the inspection apparatus, operation of the inspection apparatus, and the like. Specifically, for example, an imaging device such as a camera is used in the above-described identifier reading inspection or tip state inspection.
  • the “verification of the nozzle inspection apparatus” includes, for example, checking whether the inspection apparatus itself is appropriate. Specifically, for example, in the above-described retraction required force inspection, a reference object that should be measured for an appropriate force is inspected with an inspection device, and when the measured force is not an appropriate force, the inspection device It is possible to determine that there is a defect in itself. This determination corresponds to the inspection device inspection.
  • the reference object can be suitably used for the setting of the inspection reference by the nozzle inspection device described above, the calibration of the nozzle inspection device, and the verification of the nozzle inspection device.
  • the “simulated object” in the present embodiment is created by simulating only the tip portion of the nozzle, only the tip portion and the mechanism in which the tip portion retreats, only the identifier attached to the flange, and the like. Corresponds to the above. As a reference object, it is only necessary to create a simulation of an appropriate part according to the inspection item, and the creation of the simulation can be performed relatively easily.
  • This mode is simply a mode in which a reference nozzle is used as a reference target. According to this aspect, it is possible to easily provide a reference object without creating any separate reference object.
  • the nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed,
  • the nozzle management machine A pallet transfer device for transferring a plurality of suction nozzles by transferring one of the plurality of pallets from the nozzle housing device to the nozzle inspection device;
  • the nozzle inspection device is configured to inspect a plurality of suction nozzles mounted on one of the plurality of pallets in a state of being mounted on the one pallet; and
  • the nozzle management machine according to any one of (71) to (75), wherein the reference object is provided on at least one of the plurality of pallets.
  • the reference object may be placed on the pallet or attached to the pallet.
  • the former is particularly effective when the reference object is an actual nozzle, and the latter is effective when the reference object is the above-described mimic.
  • the reference object since the reference object is provided near the nozzle to be inspected, the reference object can be fully utilized.
  • the following several aspects are aspects relating to the treatment of the defective nozzle when it is determined as a defective nozzle as a result of the inspection by the inspection apparatus.
  • the nozzle management machine is The nozzle management according to any one of (61) to (76), comprising a defective nozzle detainer that detains a defective nozzle that is a suction nozzle determined to be defective based on an inspection result by the nozzle inspection device. Machine.
  • the defective nozzle is taken out of the management machine for disposal or repair.
  • the defective nozzle is placed in the defective nozzle indwelling device (hereinafter sometimes simply referred to as “indwelling device”). Therefore, according to this aspect, since the defective nozzle can be reliably distinguished from other good nozzles, it can be surely taken out from the management machine.
  • the indwelling device is disposed at a place where it can be easily removed, and that the indwelling device is removed from the management machine so that a defective nozzle can be put out together with the indwelling device. It is desirable that it be possible.
  • the defective nozzle detainer is The nozzle management machine according to item (81), wherein each of the nozzle management machines has a plurality of indwelling units for indwelling different defective nozzles in the inspection items determined to be defective.
  • the operator of the management machine can easily recognize the defective cause of the defective nozzle, and perform subsequent repairs, etc. It leads to improvement of convenience.
  • the nozzle management machine is The nozzle management machine according to (81) or (82), further comprising a defective nozzle transporting device that transports the defective nozzle to the defective nozzle detainer.
  • the electrical component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electrical component mounting machine are placed on a nozzle tray that is detachably disposed in the electrical component mounting machine.
  • the nozzle management machine as the anti-nozzle treatment execution device, A nozzle transfer device for performing a setting transfer for transferring the suction nozzle stored in the nozzle storage device to a nozzle tray located at a set position;
  • the nozzle transfer device is configured to carry the defective nozzle accommodated in the nozzle accommodating device to the defective nozzle detainer, thereby functioning as the defective nozzle transporting device (83).
  • the described nozzle management machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electrical component mounting machine are placed on a nozzle tray that is detachably disposed in the electrical component mounting machine.
  • the above two aspects are aspects relating to a device for conveying defective nozzles.
  • the latter mode is a mode in which the defective nozzle is transported to the indwelling device using the transfer device described above.
  • the defective nozzle is once accommodated in the accommodating device, and the accommodated defective nozzle can be transported to the indwelling device regardless of the operation of the inspection device.
  • the defective nozzle is transported to the indwelling device after the setting transfer by the transfer device, it is necessary to provide an operation time only for transporting the defective nozzle to the management machine. Disappear.
  • nozzle cleaning device a nozzle cleaning device
  • some of the following modes are not modes in which the management machine is a category, and even if the mode is simply changed to a mode in which the cleaning device is a category, that is, a mode of the cleaning device that is independent from other components of the management machine
  • the nozzle is desirably cleaned for the purpose of eliminating clogging and removing dirt. According to this aspect, even the cleaning of the nozzle can be performed, so that a management machine having a very high practicality is realized.
  • the cleaning apparatus is not particularly limited in its cleaning method, and various known cleaning methods can be employed.
  • the cleaning device is configured to perform cleaning by spraying water rather than immersing the nozzle in water, and the cleaning device supplies water to most of the main portions of the nozzle. Since it is configured to spray, the nozzle can be sufficiently cleaned.
  • a conventional nozzle cleaning apparatus using a method of jetting water is configured to jet water using a so-called two-fluid nozzle.
  • the water is made fine and sprayed by the force of compressed air.
  • the cleaning device of this aspect since water is directly applied to the nozzle, according to this aspect, a cleaning device with high cleaning ability is realized.
  • the cleaning device of this aspect may be configured to pressurize water directly with a pump or the like and inject the pressurized water toward the nozzle.
  • the nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed,
  • the nozzle management machine A pallet transfer device for transferring a plurality of suction nozzles by transferring one of the pallets from the nozzle accommodating device to the nozzle cleaning device; and
  • the nozzle cleaning device is configured to clean a plurality of suction nozzles placed on one of the plurality of pallets while being placed on the one pallet (91) to The nozzle management machine according to any one of (93).
  • nozzle management machine according to any one of items (91) to (94), wherein the nozzle management machine includes a nozzle drying device that dries the suction nozzle cleaned by the nozzle cleaning device.
  • the nozzle cleaned by the cleaning device is dried by the nozzle drying device (hereinafter, simply referred to as “drying device”), for example, the nozzle is stored in the storage device immediately after drying. Even so, the nozzle can be accommodated in a sufficiently dry state. Moreover, it becomes possible to use it after the washing without leaving much time.
  • drying apparatus which this drying apparatus employs is not particularly limited, and various known drying apparatuses can be employed.
  • the drying device adopts an air blow as a drying means as in this aspect, the water attached to the nozzle can be blown off by the pressure of the air, so that the nozzle can be dried in a considerably short time.
  • the air to be blown may be cold air or warm air, but it is desirable that the air be air to some extent high from the viewpoint of shortening the drying time.
  • the nozzle management machine One or more suction nozzles are transported from the nozzle housing device to the nozzle cleaning device, and at least one suction nozzle that has been transported to the nozzle cleaning device is transported to the nozzle housing device. (95) or (96), wherein the nozzle drying device is configured to dry one or more suction nozzles that are being transferred from the nozzle cleaning device to the nozzle housing device by the nozzle transfer device. Nozzle management machine as described in.
  • the nozzles that have been cleaned by the cleaning device and returned to the storage device are dried. Therefore, after the cleaning by the cleaning device, the sufficiently dried nozzle is stored in the storage device at an early point. Since the drying can be performed during the transfer time, the time loss of the management machine can be reduced.
  • the drying apparatus in this aspect is not limited to the thing of the structure which dries a nozzle only in the middle of the transfer by a transfer apparatus. For example, a drying device that performs drying after cleaning in the cleaning device and also performs drying during transfer by the transfer device outside the cleaning device may be used.
  • Control by control device ⁇ The following several aspects are aspects relating to control of the management machine. In other words, this is an aspect related to the operation method of the management machine.
  • This mode is a basic mode related to control, and the control device is a component that mainly executes the operation of the management machine.
  • the control device may be configured, for example, with a computer as a main component.
  • the control device The nozzle according to (101), wherein the nozzle information storage unit stores unique information of each of the plurality of suction nozzles stored in the nozzle storage device in association with the storage position in each of the nozzle storage devices. Management machine.
  • the unique information includes ID information as described above, and by storing the ID information of this nozzle, it is possible to perform sufficient management for each nozzle.
  • An identifier for recognizing unique information of the suction nozzle is attached to the suction nozzle,
  • the nozzle management machine has an identifier reader for reading the identifier,
  • the nozzle management device according to item (102), wherein the nozzle information storage unit is configured to store unique information of the suction nozzle acquired by reading by the identifier reader.
  • the identifier reader it is possible to easily acquire the unique information of each nozzle. Therefore, according to this aspect, it is possible to easily manage the nozzles accommodated based on the acquired unique information.
  • the identifier reader may be provided in the transfer device as described above. In that case, when executing at least one of the above-described setting transfer and accommodation transfer, it is possible to acquire specific information of the transferred nozzle.
  • the nozzle accommodating device includes a plurality of pallets on which a plurality of suction nozzles can be placed, and each of the plurality of pallets has a plurality of placements on which one suction nozzle is placed.
  • Have Item (102) or (103) is configured such that the nozzle information storage unit treats which of the plurality of pallets is mounted on the plurality of mounting units as the storage position. Nozzle management machine according to item.
  • This mode is a mode suitable when the storage device has the pallet described above. According to this aspect, it is possible to grasp which nozzle is accommodated in which position of which pallet, and it is possible to more appropriately manage the accommodated nozzles.
  • the electrical component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electrical component mounting machine are placed on a nozzle tray that is detachably mounted on the electrical component mounting machine.
  • the nozzle management machine In order to house the suction nozzle placed on the nozzle tray located at the setting position in the nozzle housing device, the nozzle housing device performs a housing transfer to move from the nozzle tray, The control device is By controlling the nozzle transfer device, the suction nozzle placed on the nozzle tray located at the set position is transferred from the nozzle tray, and the suction information transferred to the nozzle information storage unit is transferred.
  • the nozzle management device according to any one of (102) to (104), further comprising a nozzle accommodation control unit that stores unique information of the nozzle in association with the accommodation position of the suction nozzle.
  • the unique information of the nozzle is stored in the storage position of the nozzle in the storage device. Stored in association. Therefore, according to this aspect, it is possible to appropriately manage the nozzles accommodated in the accommodation device.
  • the electrical component mounting machine is configured such that one or more suction nozzles used in the electrical component mounting machine are placed on a nozzle tray that is detachably arranged in the electrical component mounting machine.
  • the nozzle management machine A nozzle transfer device for performing a setting transfer for transferring the suction nozzle stored in the nozzle storage device to a nozzle tray located at a set position;
  • the control device is By controlling the nozzle transfer device, the nozzle transfer device should be placed on the nozzle tray located at the set position based on the unique information of the plurality of suction nozzles stored in the nozzle information storage unit.
  • the nozzle management machine according to any one of (102) to (105), further comprising a nozzle setting control unit for transferring the suction nozzle.
  • the nozzles are arranged on the tray using the stored unique information. Therefore, according to this aspect, it is possible to reliably arrange appropriate nozzles on the tray based on the information about the nozzles to be placed on the tray.
  • the nozzle transfer device comprises: In order to house the suction nozzles placed on the nozzle tray located at the set position in the nozzle housing device, the housing and transfer to be transferred from the nozzle tray, and the suction nozzles housed in the nozzle housing device Is configured to perform setting transfer to transfer to the nozzle tray located at the setting position,
  • the control device is By controlling the nozzle transfer device, the suction nozzles placed on the nozzle tray located at the set position are transferred from the nozzle tray, and the plurality of suctions stored in the nozzle information storage unit Nozzle resetting control unit for transferring the suction nozzle accommodated in the nozzle accommodation device of the same type as the transferred suction nozzle to the nozzle tray located at the set position based on the unique information of the nozzle
  • the nozzle management machine according to any one of (102) to (106).
  • This mode is simply a mode in which the accommodation transfer and the setting transfer can be performed using unique information.
  • the tray on which the nozzles are placed in the accommodation transfer and the tray on which the nozzles are placed in the setting transfer may be the same or may be another of the same type. Good.
  • the nozzle transferred in the accommodation transfer and the nozzle transferred in the setting transfer may be the same or different in the same type.
  • a mode in which another nozzle is placed on the same tray is suitable for nozzle replacement. Based on the unique information, the nozzle on which the nozzle is placed can be automatically replaced with the same type nozzle by simply positioning the tray on which the nozzle is placed at the set position. It becomes possible.
  • an aspect in which the same nozzle is placed on another tray is suitable for tray replacement. Based on the unique information of the tray, the nozzle on which the nozzle is placed is automatically placed on another tray of the same type as that tray simply by positioning the tray on which the nozzle is placed at the set position. It can be mounted again.
  • the latter aspect is particularly suitable for a management machine provided with the tray storage device and the tray transfer device described above.
  • the nozzle resetting control unit The nozzle management machine according to (107), configured to transfer another suction nozzle to the nozzle tray located at the set position instead of the transferred suction nozzle.
  • This mode is a mode suitable for the nozzle replacement described above. As described above, only the nozzles are exchanged by performing the accommodation transfer and the setting transfer on the same tray.
  • the nozzle management machine is A tray accommodating device capable of accommodating a plurality of nozzle trays, each of which is the nozzle tray; A tray transfer device for transferring one nozzle tray between the set position and the tray accommodating device; The control device is When it is determined that a problem has occurred in the nozzle tray, the tray transfer control unit is configured to control the tray transfer device so that the nozzle tray is replaced with a nozzle tray stored in the tray storage device.
  • the nozzle management machine according to any one of (105) to (108).
  • the tray is provided with a separation prevention mechanism called a so-called shutter mechanism in order to prevent separation of the nozzle from the tray, for example.
  • the tray may be provided with an identifier for recognizing unique information.
  • This mode is a mode suitable for replacing the defective tray with a good tray.
  • the tray on which the nozzles are placed is changed to another tray on which the same or different nozzles are placed. It is possible to change.
  • the nozzle management machine is A nozzle inspection device that inspects the suction nozzle, a defective nozzle indwelling device that places a defective nozzle that is determined to be defective based on the inspection result of the nozzle inspection device, and a defective nozzle in the defective nozzle indwelling device With a defective nozzle transport device that transports Each of the defective nozzle indwellers has a plurality of indwelling parts for placing different defective nozzles in the inspection items determined to be defective,
  • the control device is By controlling the defective nozzle conveying device, the defective nozzle conveying control unit is configured to convey the defective nozzle to one of the plurality of indwelling units corresponding to the inspection item determined to be defective with respect to the defective nozzle.
  • the nozzle management device according to any one of items (101) to (109).
  • the nozzle management machine is provided with a nozzle inspection device for inspecting the suction nozzle, and the nozzle management device is referred to in the inspection by the nozzle inspection device and normally obtains a good inspection result.
  • the control device is A reference target reference defective nozzle determination unit that determines that the suction nozzle is a defective nozzle on the condition that the inspection result of the suction nozzle by the nozzle inspection device is defective and the inspection result of the reference target is good ( 101)
  • the nozzle management device according to any one of items (110) to (110).
  • This aspect is an aspect related to control for executing the inspection using the reference object described above.
  • the inspection apparatus described above is verified. That is, in this aspect, when the inspection of the reference object is good, it is recognized that there is no problem in the function of the inspection apparatus, and on the premise of the recognition, the nozzle inspection is performed or the result of the nozzle inspection performed is adopted. is there. Therefore, according to this aspect, the reliability of the inspection by the inspection apparatus is high. For example, in this aspect, when the inspection result for a certain nozzle is not good, the reference object is inspected, and when the good result is obtained in the inspection of the reference object, the inspection apparatus operates well. And based on the recognition, it may be determined that the nozzle is a defective nozzle. In this aspect, when a satisfactory result is not obtained in the inspection of the reference object, it is determined that the inspection apparatus itself is abnormal, and the inspection result for the nozzle is not adopted, or the subsequent nozzle is inspected. It is also possible not to do so.
  • the nozzle management machine includes a nozzle inspection apparatus that inspects the suction nozzle, and the nozzle management machine is provided with a reference object that is referred to in the inspection by the nozzle inspection apparatus.
  • the control device is Prior to the suction nozzle inspection, using the reference object, a reference object-based inspection preparation process in which at least one of the setting of the inspection reference by the nozzle inspection apparatus and the calibration of the nozzle inspection apparatus is performed as a preparation process
  • the nozzle management machine according to any one of (101) to (111), which has a section.
  • This aspect is another aspect relating to the control for executing the inspection using the reference object described above. According to this aspect, a highly reliable inspection is performed by the inspection apparatus.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows the electrical component mounting machine in which the suction nozzle used as the management object of the nozzle management machine of an Example is used. It is a perspective view which shows a typical suction nozzle. It is a figure which shows the nozzle tray in which an adsorption nozzle is mounted in an electrical component mounting machine. It is a perspective view which shows the external appearance of the nozzle management machine of an Example. It is a perspective view which shows the internal structure of a nozzle management machine. It is a perspective view which shows the internal structure of a nozzle management machine from another viewpoint. It is a perspective view for demonstrating the nozzle transfer apparatus with which a nozzle management machine is provided.
  • FIG. 10 It is a figure which shows the nozzle pallet in which a suction nozzle is mounted in the nozzle accommodating apparatus with which a nozzle management machine is provided. It is a figure which shows some adsorption nozzles which a nozzle management machine manages.
  • the nozzle management machine of the embodiment targets the suction nozzle used in the electrical component mounting machine as a management target.
  • the suction nozzle is a component holder that sucks and holds an electrical component by a negative pressure supplied to it when the electrical component is mounted on the circuit board.
  • nozzle management machine In the following description, “nozzle management machine”, “electrical component mounting machine”, “suction nozzle”, “circuit board”, and “electrical component” are simply “controlling machine”, “mounting machine”, “ It may be called “nozzle”, “substrate”, or “component”.
  • FIG. 1 An electronic component mounting machine in which a suction nozzle to be managed by the management machine is used is shown as an example in FIG.
  • the mounting machine 10 conveys the substrate S and fixes it to a set position, a conveyor-type substrate conveyance device 14, a plurality of feeder-type component supply devices 16 each supplying a component P, and supply from these component supply devices 16
  • the mounting head 18 includes an operation shaft 22 having a suction nozzle N attached to a lower end portion thereof, and an operation shaft lifting / lowering rotation device (not shown) for moving the operation shaft 22 up and down.
  • the mounting head 18 shown in the drawing is an index type mounting head, and the operation shaft 22 can be attached with a plurality of nozzles N.
  • the component P supplied from the component supply device 16 is sucked and held at the tip (lower end) of the nozzle N, and the held component P is sucked by the nozzle N after the mounting head 18 is moved above the substrate S. It is mounted on the substrate S by releasing the holding.
  • the component P in order to mount the component P at an appropriate position on the substrate S in an appropriate posture, the component P is imaged from below by the component camera 22 provided in the mounting machine 10 while being sucked and held by the nozzle N. Then, the data of the holding position and holding posture obtained by imaging are used at the time of mounting.
  • the nozzle N is a management target of the management machine, and the nozzle N is as shown in FIG.
  • FIG. 2A is a diagram of the nozzle N viewed from obliquely above
  • FIG. 2B is a diagram viewed from obliquely below.
  • the nozzle N is formed in a cylindrical shape that functions as a main body of the nozzle N, an adsorption pipe 32 that extends downward from the fuselage cylinder 30, and the periphery of the fuselage cylinder 30. And a flange 34 fixed to the same cylinder 30 so as to project.
  • the upper end portion of the body cylinder 30 functions as a base end portion of the nozzle N, and is held on the operation shaft at the upper end portion.
  • the adsorption tube 32 functions as a tip portion of the nozzle and has a relatively thin pipe shape.
  • Two retaining pins 36 are extended on the body cylinder 30, and the nozzle N is attached to the operating shaft 22 by using these retaining pins 36.
  • the attachment of the nozzle N using the latching pin 36 is a general method, and the description here is omitted and is omitted in other drawings.
  • a positive pressure and a negative pressure are selectively supplied from the mounting head 18 to the suction pipe 32 via the body cylinder 30.
  • the component P is sucked and held at the tip (lower end) of the suction tube 32, and sucked and held component P is detached from the suction tube 32 by supplying positive pressure.
  • the adsorption tube 32 can be advanced and retracted with respect to the body cylinder 30. Specifically, the tip of the nozzle N is biased by the spring force in the direction of advancement from the body cylinder 30 in order to reduce the impact applied to the component P when the component P is mounted on the substrate S.
  • the flange 34 functions as a back surface forming member for performing clear imaging when the component P is captured by the component camera 22 described above, and is the portion having the largest outer diameter of the nozzle N.
  • a 2D code 38 as an identifier for recognizing unique information of the nozzle N is attached to the upper surface of the flange 34.
  • the 2D code 38 indicates an ID of the nozzle N as a kind of unique information, and the ID is used for individual management of the nozzle N.
  • this mounting machine 10 also has several types of nozzles N that are different in size as operating axes. In the present mounting machine 10, these several types of nozzles can be automatically replaced according to the component P to be sucked and held.
  • the nozzle N to be used differs depending on the electric circuit to be manufactured (the component P mounted on the substrate S). Further, the plurality of nozzles N used in the mounting machine 10 are arranged on the nozzle tray NT at a nozzle station 50 provided in the mounting machine 10 beside the component supply device 16.
  • the nozzle tray (hereinafter sometimes simply referred to as “tray”) NT functions as a nozzle mounting device for mounting the nozzle N, and generally has a plate shape as shown in FIG. Yes. More specifically, the tray NT includes a base plate 60 and a cover plate 62 that covers the upper surface of the base plate 60, and the cover plate 62 is slidable within a certain range with respect to the base plate 60.
  • FIG. 3A shows a state in which the cover plate 62 is displaced from the base plate 60
  • FIG. 3B shows a state in which the cover plate 62 just overlaps the base plate 60. The cover plate 62 is slidable between positions in each of these two states.
  • FIG. 3C which is a cross-sectional view
  • FIG. 3D which is a partial cross-sectional view showing a state where the nozzle N is placed
  • Twelve mounting holes 64 are provided. More specifically, on the main tray NT, two types of nozzles N having different sizes can be placed. Four placement holes 64 for placing a large size nozzle N and a small size nozzle are provided. Four placement holes 64 for placing N are provided.
  • the mounting hole 64 is a stepped hole having a different inner peripheral wall size in depth, and the step surface 66 is a surface on which the flange 34 of the nozzle N is mounted.
  • the inner diameter that is, the maximum inner diameter of the mounting hole 64 on the upper surface of the base plate 60 is slightly larger than the outer diameter of the flange 34, and the mounting hole 64 changes the displacement (deviation) of the nozzle N in the radial direction.
  • the outer periphery of the flange 34 is configured to be regulated.
  • the depth to the step surface is set to a depth at which the flange 34 of the nozzle N placed in the placement hole 64 does not interfere with the cover plate 62.
  • the nozzle N shown in the figure has a flange 34 that is thinner than the depth to the step surface, and when the nozzle N is placed in the placement hole 64, the upper surface of the flange 34 is placed on the tray NT.
  • the flange 34 is provided with a notch 68 on the outer periphery, and the notch 68 engages with a short pin 69 erected on the step surface 66.
  • These notches 68 and pins 69 allow the nozzle N to be placed only in a specific direction, and prevents the nozzle N from rotating when placed on the tray NT.
  • the cover plate 62 is also provided with a hole 70 corresponding to the mounting hole 64 of the base plate 60.
  • the punched hole 70 includes a circular hole portion 72 having a circular shape and a slot portion 74 extending from one side of the circular hole portion 72.
  • the inner diameter of each circular hole 72 is substantially equal to the maximum inner diameter of the corresponding mounting hole 64.
  • the width of the slot portion 74 is made somewhat larger than the outer diameter of the body cylinder 30 of the nozzle N placed in the corresponding placement hole 64.
  • the center of each mounting hole 64 and the center of the arc existing at the tip of the slot portion 74 of the corresponding hole 70 are substantially coincident with each other.
  • the two states are such states, hereinafter, for the sake of convenience, the state of FIG. 3B is referred to as the “mounting hole open state”, and the state of FIG. 3A is referred to as the “mounting hole closed state”. I will say.
  • the nozzle N In the mounting hole open state, the nozzle N can be mounted on the mounting hole 64 and can be detached from the mounting hole 64.
  • the placement hole On the other hand, when the nozzle N is placed in the placement hole 64, the placement hole is closed, so that the body cylinder 30 of the nozzle N passes through the slot portion 74 of the hole 70 and the upper surface of the flange 34. Most of the portions are covered with the cover plate 62. In this state, the nozzle N is prevented from being detached from the mounting hole 64.
  • the tray NT is provided with a mechanism including the cover plate 62, that is, a nozzle separation prevention mechanism called a so-called shutter mechanism.
  • the cover plate 62 is biased by a spring (not shown) so that the mounting hole is closed. By sliding the cover plate 62 with a force exceeding the biasing force of the spring, the mounting hole is opened. It becomes a state. This sliding is performed by a cover sliding mechanism provided in the nozzle station 50, not shown.
  • the attachment of the nozzle N to the operation shaft of the mounting head 18, the removal of the nozzle N from the operation shaft, and the replacement of the attached nozzle N with another nozzle N are performed by controlling the cover sliding mechanism by the control device of the mounting machine 10.
  • the mounting hole open state is realized by this.
  • the tray NT can be attached to and detached from the nozzle station 50.
  • the tray NT on which the nozzle N is placed in advance can be set in the nozzle station 50.
  • the nozzles N that have been used can be removed from the nozzle station 50 together with the tray NT. Therefore, the tray NT greatly contributes to speeding up the setup change of the mounting machine 10 and the like.
  • a 2D code 76 as an identifier for recognizing unique information of the tray NT is attached to one corner of the base plate 60.
  • the 2D code 76 indicates the ID of the tray NT as a kind of unique information, and the ID is used for individual management of the tray NT.
  • the suction nozzle N and the tray NT described above are used in the mounting machine 10 described above.
  • the management machine according to the embodiment described below is not only intended for the nozzle N used in the mounting machine 10 but also for the nozzle N used for other mounting machines.
  • the said tray NT is an example of the tray NT used with the mounting machine 10, and the mounting machine 10 can also use the other tray NT from which a kind differs.
  • the tray NT to be used varies depending on the mounting machine.
  • the management machine of the embodiment also targets the nozzles N placed on or placed on other trays NT.
  • the manager 80 is generally a rectangular parallelepiped and has a relatively compact size.
  • a drawer 82 which will be described in detail later, is provided on the front surface (left surface in the drawing) of the management machine 80.
  • a controller 84 as a control device of the management machine 80 is attached to the upper front portion.
  • the controller 84 includes a computer as a main component, and has input / output devices such as a display 86, operation keys 88, and a switch 90.
  • FIG. 5 shows the management machine 80 with the exterior panel removed
  • FIG. 6 shows the management machine 80 viewed from the opposite viewpoint.
  • the internal structure of the management machine 80 will be described with reference to those drawings. Incidentally, the left side in FIG. 5 is the front side of the management machine 80, and the right side is the rear side of the management machine 80.
  • the management machine 80 is configured by combining several devices. Specifically, the nozzle accommodating device 100 that accommodates the nozzle N in a state of being placed on a nozzle pallet (hereinafter sometimes simply referred to as “pallet”) on the rear side is the front of the nozzle accommodating device 100. On the left side, tray accommodating devices 102 for accommodating the trays NT are respectively disposed. On the other hand, on the front side of the management machine 80, each nozzle is accommodated in the nozzle accommodating device 102 or performs some kind of treatment (hereinafter sometimes referred to as “nozzle treatment”) on the nozzle N accommodated therein. As a treatment execution device, a nozzle transfer device 104, a first nozzle inspection device 106, a second nozzle inspection device 108, and a nozzle cleaning device 110 are arranged in order from the top.
  • nozzle treatment some kind of treatment
  • the nozzle transfer device 104 is a device that transfers the nozzle N between the tray NT and the pallet, and the first nozzle inspection device 106 performs inspection of two inspection items. Specifically, an inspection relating to the state of the tip portion of the nozzle N (tip portion state inspection) and an inspection relating to the force required for the retraction of the tip portion of the nozzle N (retraction required force inspection) are performed, and the second nozzle
  • the inspection device 108 inspects two inspection items, specifically, an inspection relating to a flow rate of air passing through the nozzle N (passage flow rate inspection), and a 2D code 38 as an identifier attached to the flange 34 of the nozzle N.
  • the inspection related to reading is executed.
  • the nozzle cleaning device 110 is a device that cleans the nozzle N with high-pressure water.
  • a nozzle drying device 112 for drying the nozzles N cleaned by the nozzle cleaning device 110 is disposed between the nozzle housing device 100 and the nozzle cleaning device 110.
  • each nozzle transfer device is a pallet transfer device. Specifically, a first pallet transfer device 114 that transfers a pallet between the nozzle transfer device 104 and the nozzle storage device 100, and a first pallet that transfers the pallet between the first nozzle inspection device 106 and the nozzle storage device 100.
  • a fourth pallet transfer device 120 is provided.
  • a tray transfer device 122 for transferring the tray NT between them is disposed between the nozzle transfer device 104 and the tray storage device 102.
  • a drive source unit 124 incorporating a power source, a drive circuit, an air compressor, a high-pressure pump, and the like for each of the above-described devices is disposed in the lower front side of the management machine 10.
  • a nozzle storage device, a tray storage device, a nozzle transfer device, a nozzle inspection device, a nozzle cleaning device, a nozzle drying device, a pallet transfer device, and a tray transfer device are simply “accommodation devices”, It may be called “container”, “transfer device”, “inspection device”, “cleaning device”, “drying device”, “transfer device”, or “transfer device”.
  • FIG. 7 shows the transfer device 104 as the center
  • FIG. 8 shows the first inspection device 106 as the center
  • FIG. 9 shows the second inspection device 108 as the center
  • the nozzle storage device 100 includes a plurality of pallet carriers (hereinafter may be simply referred to as “carriers”) 130 in which the pallets are stored, and a carrier circulation mechanism that circulates these carriers 130. (Hereinafter, simply referred to as “circulation mechanism”) 132, and a pallet moving device (hereinafter, referred to as “circulation mechanism”) that moves a plurality of pallets in the storage device 130 by the plurality of carriers 130 and the circulation mechanism 132. , 134 may be simply referred to as “mobile device”).
  • the storage device 100 will be described by being divided into a pallet and a moving device 134.
  • the pallet NP functions as a nozzle placing device for placing the nozzles N.
  • the top surface of the base plate 140 and the base plate 140 is the same as the tray NT described above.
  • a cover lept 142 that covers the cover. 12A shows a state where the cover plate 142 is displaced from the base plate 140
  • FIG. 12B shows a state where the cover plate 142 just overlaps the base plate 140.
  • FIG. The cover plate 142 is slidable between positions in these two states.
  • FIG. 13 is a view of these nozzles N as viewed from above. Specifically, the nozzle Na has a small size shown in FIG. 13A and an intermediate size shown in FIGS. 13B and 13C. Nozzles Nb and Nc, and large nozzles Nd and Ne shown in FIGS. 13D and 13E, respectively.
  • the base plate 140 is provided with mounting holes 144 that each form a mounting portion. Specifically, there are provided 24 mounting holes 144a in which small-sized nozzles N are mounted, and 15 mounting holes 144b in which large-sized nozzles N are mounted. The nozzle Na and the nozzles Nb, Nc, Nd, Ne are placed in the placement hole 114b.
  • the mounting hole 144a is the same as the mounting hole 64 of the tray NT described above, and has one step surface 146, and thus the description thereof is omitted here.
  • the mounting hole 144b will be described with reference to FIG. 14 showing the state where the nozzle N is mounted.
  • the mounting hole 144b is a stepped hole having a different inner peripheral wall size in depth. Is a stepped hole having two step surfaces 146a and 146b.
  • the large size nozzles Nd and Ne are placed on the stepped surface 146a located on the upper side.
  • the intermediate size nozzles Nb and Nc Is placed on the step surface 146b located below.
  • any of the step surfaces 146a and 146b is a surface on which the nozzle N is placed, and the placement hole 144b has different inner dimensions in the depth direction and different in the outer diameter of the flange 34.
  • the flanges 34 of the plurality of types of nozzles N are configured to be fitted at different depth positions.
  • the mounting hole 144b is configured to restrict the displacement (displacement) of the nozzles N in the radial direction with respect to any of the nozzles N at the outer periphery of the flange 34, and any of the step surfaces 146a and 146b.
  • a pin 148 that engages with the notch 68 of the flange 34 is provided upright.
  • the inner dimension of the inner peripheral wall gradually decreases in the axial direction, that is, in the depth direction. It is also possible to employ a mounting hole 144c having such a tapered hole. Even in such a mounting hole 144c, the flanges 34 of the plurality of types of nozzles N that are different from each other in the outer diameter of the flange 34 are configured to fit at portions having different depths. Incidentally, the figure shows a state in which the intermediate size nozzles Nb and Nc are placed. When large size nozzles Nd and Ne are placed, they are placed at positions above the nozzles Nb and Nc. Will be.
  • the cover plate 142 is provided with holes 154a and 154b each having a circular hole portion 150 and a slot portion 152 corresponding to the mounting holes 144a and 144b of the base plate 140, respectively.
  • the center of each mounting hole 144 and the center of the circular hole portion 150 of the corresponding hole 154 coincide with each other, and the mounting hole open state described above is realized.
  • the center of each mounting hole 144 and the center of the arc existing at the tip of the slot portion 74 of the corresponding extraction hole 154 substantially coincide with each other, and the mounting hole closed state is realized.
  • the pallet NP is also provided with a mechanism including the cover plate 142, that is, a nozzle detachment preventing mechanism called a shutter mechanism, for preventing the nozzle N from detaching.
  • the cover plate 142 is urged by a spring (not shown) so as to be in the mounting hole closed state, and the cover plate 142 is slid by a force exceeding the urging force of the spring. Thus, the mounting hole is opened.
  • the pallet NP has a 2D code 156 as an identifier for recognizing unique information of the pallet NP at one corner of the base plate 140.
  • the 2D code 156 indicates the ID of the palette NT as a kind of unique information, and the ID is used for individual management of the tray NT.
  • a reference nozzle 158 is fixed to one corner portion of the base plate 140, and a reference pipe 160 is fixed alongside the reference nozzle 158 so as to penetrate the base plate 140.
  • the reference nozzle 158 is the actual nozzle N, specifically, the nozzle Nb described above.
  • the reference pipe 160 is a model that simulates a part of the nozzle N, specifically, the body cylinder 30 and the adsorption pipe 32.
  • the reference nozzle 158 and the reference pipe 160 function as reference objects to be referred to in the inspection by the first inspection device 106 and the second inspection device 108 described above, and set the inspection reference by the inspection devices 106 and 108, and This is used for at least one of calibration or verification of the inspection devices 106 and 108.
  • the reference nozzle 158 is referred to in the retraction required force inspection by the first inspection device 106 and the identifier reading inspection by the second inspection device, while the reference pipe 160 is Reference is made in the tip state inspection by the first inspection device 106 and the passage flow rate inspection by the second inspection device 108.
  • both of the reference nozzle 158 and the reference pipe 160 are configured so that normally good inspection results can be obtained in the inspection referred to as the reference object.
  • the reference object is provided on the pallet NP.
  • the management machine 80 has a housing or other object. It may be provided in a device or the like.
  • the pallet moving device 134 includes a plurality of pallet carriers 130 and a carrier circulation mechanism 132.
  • the carrier 130 is generally a member having a channel shape, that is, a shape having a U-shaped cross section, and the carrier 130 is arranged in such a posture that the opening in the channel shape faces downward.
  • the carrier 130 is provided with a pair of rails 170 at the lower end, specifically inside the lower ends of the two flanges in the channel shape, and the pallet NP described above is formed by the pair of rails 170. It is held so that it can be extracted forward and inserted from the front.
  • the carrier circulation mechanism 132 has a pair of sprocket shafts 172 respectively arranged on the upper and lower sides, as can be seen from FIGS. 5 and 6.
  • the sprocket shaft 172 is disposed so as to extend in the front-rear direction, and has a sprocket 174 at each of the front and rear ends.
  • a chain 176 is wound between the front sprocket 174 and the rear sprocket 174 of each of the pair of sprocket shafts 172.
  • Each of the front side chain 176 and the rear side chain 176 has a plurality of brackets 178 extending outward in a posture perpendicular to each of the front side chain 176, the front end of each of the front side brackets 178, One carrier 130 is swingably supported by each corresponding tip of the rear bracket 178.
  • One of the pair of sprocket shafts 172 is a drive shaft, and each bracket 178 is rotated by rotating one of them. As a result, the carriers 130 supported by the brackets 178 are circulated all at once.
  • the pallet NP is held by the carrier 130 in a posture in which the surface on which the nozzle N is placed faces upward, that is, in a posture in which the carver plate 142 is positioned upward, and the support structure of the carrier 130 by the bracket 178
  • the structure is such that the pallet NP maintains its posture regardless of the rotation position of the carrier 130.
  • the pallet moving device 134 simultaneously moves the plurality of pallets NP along a certain path parallel to one vertical plane in the storage device 100. That is, it is a pallet circulation device that circulates and moves together.
  • the moving device 134 as the stop position of each pallet NP, it corresponds to a plurality of set positions corresponding to the above-mentioned nozzle treatment execution devices 104 to 108, that is, the first to fourth pallet transfer devices 114 to 120. Multiple setting positions are set. This set position can be considered as a station in the circulation of the pallet NP, and the management machine 80 moves the first pallet NP corresponding to the station to which the pallet NP moved to a specific station and stopped.
  • the four transfer devices 114 to 120 are configured to be transferred to the corresponding anti-nozzle treatment execution devices 104 to 108.
  • the corresponding anti-nozzle treatment execution devices 104 to 120 are operated by the first to fourth transfer devices 114 to 120 corresponding to the station. It is possible to transfer the pallet NP from 108 to the carrier 130.
  • the transfer of the nozzle N between each pair of nozzle treatment execution devices and the nozzle storage device 100 is performed by a nozzle transfer device corresponding to each pair of nozzle treatment execution devices. Since the transfer of the nozzle N is performed in a state of being placed on the pallet NP, the nozzle transfer device is a pallet transfer device. Specifically, the nozzle transfer device 104 and the nozzle storage device 100 are connected to each other.
  • a first pallet transfer device 114 for transferring the pallet between them, a second pallet transfer device for transferring the pallet between the first nozzle inspection device 106 and the nozzle storage device 100, a second nozzle inspection device 108 and the nozzle storage device 100, A third pallet transfer device 118 for transferring the pallet between them, and a fourth pallet transfer device 120 for transferring the pallet between the nozzle cleaning device 110 and the nozzle accommodating device 100 are provided.
  • the nozzle transfer device can be considered to have a function of transferring one or more nozzles N as one nozzle group, each of which is a nozzle transfer device 104, which is an anti-nozzle treatment execution device.
  • the one-nozzle inspection device 106, the second nozzle inspection device 108, and the nozzle cleaning device 110 perform treatment for the nozzles N included in one nozzle group transferred by the nozzle transfer device. It has been done.
  • the tray storage device 102 is a device for storing the nozzle tray NT described above, and is a tray movement device similar to the pallet movement device 134 of the nozzle storage device 100 (hereinafter simply referred to as “movement device”).
  • the mobile device 190 is configured as a main component. Similar to the pallet moving device 134, the moving device 190 includes a plurality of tray carriers (hereinafter simply referred to as “carriers”) 192 each accommodating a tray NT, and a carrier circulation mechanism (which circulates these carriers 192). Hereinafter, it may be simply referred to as “circulation mechanism”) 194.
  • the carrier 192 is generally a channel-shaped member, that is, a member having a U-shaped cross section, and the channel shape has an opening facing downward. Has been placed. Similar to the pallet carrier 130, the carrier 192 is provided with a pair of rails 196 at the lower end, specifically inside the lower ends of the two flanges in the channel shape. The rail 196 is held so that the surface on which the nozzle N is placed faces upward, so that it can be pulled out forward and inserted from the front.
  • the circulation mechanism 194 is extended to a pair of sprocket shafts, a pair of chains, and a pair of chains each having two sprockets at the front and rear as shown in FIGS.
  • the plurality of brackets are configured so that the carriers 192 supported by the brackets circulate all at once.
  • the tray moving device 190 having the circulation mechanism 194 having such a structure places a plurality of pallets NP in a constant path parallel to one vertical plane in the storage device 102.
  • a tray circulating device that circulates and moves along, at the same time, that is, together.
  • one set position corresponding to the above-described nozzle transfer device 104 that is, one set position corresponding to the tray transfer device 122 is set as the stop position of each tray NT.
  • the tray NT that has been moved to and stopped at the station is transferred to the transfer device 104 by the tray transfer device 122, and the carrier 192 that does not hold the tray NT is positioned at the station.
  • the tray NT can be transferred from the transfer device 104 to the carrier 192 by the tray transfer device 122.
  • Nozzle transfer device In the management device 80, in order to set the nozzle N accommodated in the accommodation device 100 to the tray NT, the nozzle N is transferred from the pallet NP to the tray NT and accommodated. In order to accommodate the nozzle N in the apparatus 100, the nozzle N is transferred from the tray NT to the pallet NP. If the former is referred to as “setting transfer” and the latter is referred to as “accommodation transfer”, the above-described nozzle transfer device 104 located at the upper front side of the management machine 80 is used for the setting transfer and the accommodation transfer. Is done by.
  • the drawer 82 (slightly pulled out in the figure) provided in the management machine 80 has a table 200, and the tray NT to be transferred is placed on the table 200. It is set on one of the fixed stage 202 and the movable stage 204 provided.
  • the fixed stage 202 is fixed to the table 200, and the movable stage 204 is supported by the table 200 so as to be slidable in the front-rear direction by a stage slide mechanism 206 provided on the table 200.
  • the fixed stage 202 shows a state where the tray NT is set
  • the movable stage 204 shows a state where the tray NT is not set.
  • the drawing shows a state in which the movable stage 204 is located at a set position that is the front end in the movement range, that is, at the transfer position.
  • the structure relating to the holding of the tray NT of each of the stages 202 and 204 and the nozzles N placed on the tray NT are not shown for the sake of simplicity.
  • a cover sliding mechanism (not shown) for sliding the cover plate 62 is provided on each of the fixed stage 202 and the movable stage 204 as a mechanism for setting the set tray NT in the above-described mounting hole open state. Is provided.
  • the operator can set the tray NT while the drawer 82 is pulled out, and can remove the set tray NT. Further, the tray NT can be transferred to and from the tray accommodating device 102 in a state where the movable stage 204 is positioned at the rear end position in the movement range. More specifically, in the storage apparatus 102, the tray NT is transferred between the above-described setting position, that is, the carrier 192 positioned at the transfer apparatus corresponding station and the movable stage 204. Incidentally, description of the tray transfer mechanism which is a mechanism for transferring the tray NT is omitted.
  • the above-described tray transfer device 122 for transferring the tray NT is configured.
  • the management machine 80 is not only capable of transferring settings to the tray NT brought in from the outside and set on the fixed stage 202 or the movable stage 204, but also accommodates it. Setting transfer to the tray NT accommodated in the apparatus 102 is also possible. Furthermore, the tray NT in which the setting of the nozzle N has been completed and the tray NT brought in from the outside with the nozzle N placed thereon can be accommodated in the accommodation device 102.
  • the pallet NP to be used for setting transfer and accommodation transfer is from a set position corresponding to the transfer device 104 in the nozzle storage device 100, that is, from the carrier 130 located at the transfer device corresponding station.
  • the first pallet transfer device 114 (the structure will be described later) is transferred to a setting position where the transfer of the nozzle N by the transfer device 104 is possible, that is, to the transfer position.
  • the position where the pallet NP is located is the transfer position.
  • the pallet NP used for setting transfer and accommodation transfer is transferred to the carrier 130 positioned at the transfer device corresponding station in the storage device 100 by the first transfer device 114 after the transfer is completed. Until it is transported.
  • the nozzles N placed on the pallet NP are omitted for simplification.
  • a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP located at the transfer position at the position is provided in the first transfer device 114, and the pallet NP located at the transfer position is described above.
  • a cover sliding mechanism (not shown) for sliding the cover plate 142 is provided on the table 200 as a mechanism for making the mounting hole open state.
  • the transfer device 104 is disposed above the table 200.
  • the transfer head 210 and the transfer head 210 are arranged in the left-right direction, the front-rear direction, and the up-down direction (hereinafter, "X direction” and "Y direction", respectively).
  • the head moving device 212 having three head moving mechanisms for moving in the Z direction).
  • an X-direction moving mechanism for moving the transfer head 210 in the X direction and a Y-direction moving mechanism for moving in the Y direction are shown. Is omitted, and only the Z-direction moving mechanism 214 is shown.
  • the X-direction moving mechanism and the Y-direction moving mechanism constitute an XY-type moving device that is installed on the top of the housing of the management machine 80 and moves the slide 216 along a plane perpendicular to the Z direction.
  • the Z-direction moving mechanism 214 is installed on the slide 216.
  • a holding chuck 218 as a nozzle holder for holding the nozzle N to be transferred, and 2D codes 38 and 76 attached to the nozzle N, the tray NT, and the pallet NP, respectively. , 156, and a camera 220 as an identifier reader.
  • the transfer head 210 has a chuck rotating mechanism that rotates the holding chuck 218 around its axis.
  • the head moving device 212 functions as a holder moving device that moves the holding chuck 218 as a nozzle holder.
  • the transfer head 210 is moved by the head moving device 212 and the camera 220 is moved.
  • the transfer head 210 is moved above the pallet NP or tray NT to be transferred by the head moving device 212, and the 2D code 38 of the nozzle N to be transferred is imaged by the camera 220.
  • the nozzle N is held by the holding chuck 218, and then the transfer head 210 is moved above the tray NT or pallet NP to be transferred by the head moving device 212, and the held nozzle N is held by the holding chuck 218. And placed in specific or arbitrary placement holes 64 and 144 of the tray NT or pallet NP.
  • a mounting plate 220 such as the base plate 140 of the pallet NP, more specifically, a mounting plate 222 having several mounting holes, is installed.
  • a mounting plate 220 such as the base plate 140 of the pallet NP, more specifically, a mounting plate 222 having several mounting holes.
  • the nozzle N is used for temporary placement or the like.
  • a defective box 224 is detachably installed on the table 200 as a nozzle N that is determined to be defective based on the inspection results of the above-described various inspection items, that is, as a defective nozzle indwelling device that stores the defective nozzle. ing.
  • the defective box 224 is partitioned into four spaces 226, and each of the four spaces 226 is an indwelling portion for distinguishing and placing defective nozzles.
  • the transfer of the defective nozzle to the defective box 224 is performed when the nozzle N is set on the tray NT or regardless of the setting. 104. Therefore, the transfer device 104 functions as a defective nozzle transport device.
  • the first nozzle inspection device 106 is located below the nozzle transfer device 104 and, as described above, inspects two inspection items, specifically, tip end state inspection. And a device that performs a retraction required force test.
  • the pallet NP positioned at the set position in the storage device 100 that is, the first inspection device corresponding station, is transferred to the second pallet transfer device 116 (for the structure, After being transferred to the inspection position by a later-described), the tip end state inspection and the retraction required force inspection for the nozzle N placed on the pallet NP are performed from below the nozzle N by the first inspection device 106. Is called.
  • the position of the pallet NP shown in the figure is the inspection position, and the second transfer device 116 is provided with a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position.
  • a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position.
  • the nozzles N placed on the pallet NP are omitted for simplification.
  • the first inspection apparatus 106 includes an inspection unit 235 configured to include a base 230, a camera device 232 and a load measurement device 234 fixed on the base 230, and unit movement for moving the inspection unit 235.
  • the inspection unit 235 moves in a space below the pallet NP positioned at the inspection position.
  • the camera device 232 includes a camera body 238, a lens 239, and a ring light 240 disposed so as to surround the lens 239 as a light source.
  • the load measuring device 234 includes a load cell 242 as a main component. It is structured as an element.
  • the unit moving device 236 includes a movable beam 246 supported by a pair of beams 244 forming a part of the housing of the management machine 80, and a belt-driven Y-direction moving mechanism 248 that moves the movable beam 246 in the Y direction.
  • the X-direction moving mechanism 252 that moves the slide 250 supported by the movable beam 246 in the X direction, and the inspection unit 235 that is fixed to the slide 250 and supported by the base 230 and moves the inspection unit 235 in the Z direction.
  • both the tip end portion state inspection and the retraction required force inspection are performed on the tip end side of the nozzle N and are main components for performing the respective inspections.
  • the camera device 232 and the load measuring device 234 are arranged in a space existing on the tip end side of the nozzle N, and are configured to move them by a unit moving device 236 that is one moving device.
  • the inspection unit 235 is positioned directly below the nozzle N to be inspected by the lens 239 of the camera device 232 by the unit moving device 236. Moved to. More specifically, the position in the Z direction of the suction tube 32 of the nozzle N can be recognized from the unique information of the nozzle N, and the inspection unit 235 is positioned at a position where the lens 239 is separated from the tip of the suction tube 32 by a set distance. Be made. In this state, the tip of the nozzle N, that is, the suction tube 32 is imaged by the camera device 232.
  • the nozzle N shown in FIG. 15A is a nozzle N having a normal shape of the suction tube 32, and a photographed image by the camera device 232 of the suction tube 32 of the nozzle N is as shown in FIG. 15B. It becomes.
  • FIGS. 15C to 15E show the nozzles N having the “bend”, the “tip chipped”, and the “tip crush” of the suction tube 32, respectively.
  • the captured images of the tube 32 are as shown in FIGS. 5 (f) to 5 (g). In the tip end state inspection, it is confirmed whether or not the tip end shape abnormality such as “bend”, “tip tip missing”, or “tip crush” has occurred in the nozzle N based on the imaging data of the nozzle N by the camera device 232.
  • nozzle N in which the tip shape abnormality has occurred and the nozzle N in which foreign matter or dirt is attached to the tip portion are determined to be defective nozzles.
  • the reference pipe 160 fixed to the above-described pallet NP has a camera unit 232 each time an abnormality in the state of the tip of any of the nozzles N is confirmed. Based on the imaging data of the tip of the reference pipe 160, it is confirmed that there is no abnormality in the state of the tip, and the condition of the tip is confirmed on the condition that there is no abnormality.
  • Nozzle N is certified as a defective nozzle. That is, the reference pipe 160 as a reference object is used for the verification of the first inspection device 106, more specifically, the post verification.
  • the inspection unit 235 is raised by a set distance based on the unique information of the nozzle N. More specifically, the load measuring device 234 is raised to a position where the suction pipe 32 of the nozzle N is retracted by a certain distance from the body cylinder 30.
  • the adsorption tube 32 is urged by the spring in the direction of advancement from the body cylinder 30, and when the load measuring device 234 is raised, the tip of the adsorption tube 32 is brought into contact with the upper surface of the load cell 242.
  • the load cell 242 receives a load corresponding to the urging force of the spring.
  • the load cell 242 measures the load.
  • the urging force by the spring can be recognized from the unique information of the nozzle N, and when the load cell 242 detects a load exceeding the urging force, the force necessary for retreating the suction pipe 32 is too large. .
  • the adsorbing tube 32 becomes difficult to be pulled into the trunk cylinder 30 due to foreign matters mixed in the nozzle N, damage to the trunk cylinder 30, etc., and in this case, the retraction required force becomes excessive.
  • the required reverse force exceeds the threshold force set based on the specific information, it is determined that the required reverse force is excessive, and it is determined that the nozzle N is a defective nozzle.
  • the said load about the above-mentioned reference nozzle 158 is measured, and based on the measured load
  • the load cell 242 is calibrated, that is, an adjustment is made so that the load value measured by the load cell 242 is equal to the actual value. That is, the reference nozzle 158 as a reference object is used for calibration of the load measuring device 234 that is performed as preparation processing for the required reverse force test by the first inspection device 106, in other words, for calibration of the first inspection device 106. .
  • the tip state inspection and the retraction required force inspection by the first inspection device 106 may be performed for all the nozzles N placed on one pallet NP. You may just go. Further, both of these two inspections may be performed, or only one of them may be performed. After the inspection of the mounted nozzle N is completed, the pallet NP positioned at the inspection position is positioned at the first inspection apparatus corresponding station in the storage apparatus 100 by the second transfer device 116. The carrier 130 is transferred.
  • [G] Second nozzle inspection device The second nozzle inspection device 108 is located below the first nozzle inspection device 106, and as described above, the inspection of two inspection items, specifically, the passage flow rate inspection. And an apparatus for performing identifier reading inspection.
  • the pallet NP positioned at the set position in the storage device 100 that is, the second inspection device corresponding station, is transferred to the third pallet transfer device 118 (for the structure, After being transferred to the inspection position by a later-described method, the flow rate inspection and the identifier reading inspection for the nozzle N placed on the pallet NP are both performed from above the nozzle N by the second inspection device 108.
  • the position of the pallet NP shown in the figure is the inspection position, and the third transfer device 118 is provided with a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position.
  • a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position.
  • the nozzles N placed on the pallet NP are omitted for simplification.
  • the second inspection device 108 includes an inspection head 270 and a head moving device 272 that moves the inspection head 270 along a plane parallel to the upper surface of the pallet NP above the pallet NP.
  • the inspection head 270 is provided with an air feeding device 274 and a camera 276 as an identifier reader.
  • the air feeding device 274 has an air joint 278 connected to the upper end portion of the body cylinder 30 that is the base end portion of the nozzle N, and compressed air is fed from the air joint 278 to the nozzle N.
  • an air pressure sensor 280 for measuring the air pressure of the supply path of the compressed air to be supplied is disposed integrally with the air joint 278.
  • the air feeding device 274 has a joint lifting mechanism 282 that lifts and lowers the air joint 278, and the air joint 278 is lifted and lowered with respect to the inspection head 270 by the joint lifting mechanism 282.
  • the head moving device 272 includes a movable beam 284 supported by the pair of beams 244 described in relation to the first inspection device 106, and a belt-driven Y-direction moving mechanism 286 that moves the movable beam 284 in the Y direction. And an X-direction moving mechanism 290 that moves a slide 288 supported by the movable beam 284 in the X direction.
  • both the passage flow rate inspection and the identifier reading inspection are performed on the base end side of the nozzle N, and the air feeding which is a main component for performing each inspection is performed.
  • the feeding device 274 and the camera 276 are arranged in a space existing on the base end side of the nozzle N, and are configured to move them by a head moving device 272 which is one moving device.
  • the inspection head 270 is moved by the head moving device 272 to a position where the air joint 278 is positioned directly above the nozzle to be inspected.
  • the air joint 278 is lowered so as to be connected to the nozzle N by the joint lifting mechanism 282.
  • the air feeding device 274 feeds compressed air to the nozzle N while the air joint 278 is connected to the nozzle N.
  • the normal nozzle N is allowed to pass air with little resistance and has a sufficient flow rate, and the air pressure measured by the air pressure sensor 280 is a relatively low value.
  • the air pressure measured by the air pressure sensor 280 has a relatively high value.
  • the “clogging” of the nozzle N is recognized by measuring the pressure on the base end side of the nozzle N instead of directly measuring the air flow rate.
  • a flow meter flow rate sensor
  • the flow rate of the passing air may be directly measured, and the presence or absence of “clogging” may be determined based on the measurement result.
  • the compressed air supplied to the nozzle N is supplied to the air supply device 274 from a compressor (not shown) disposed in the drive source unit 124 described above.
  • the output of the compressor Depending on the pressure, the air pressure measured by the air pressure sensor 280 changes. That is, the air pressure changes depending on the environmental conditions related to the second inspection device 108. Considering this, it is desirable to set the threshold pressure according to the environmental conditions.
  • compressed air is supplied to the reference pipe 160 fixed to the pallet NP by the air supply device 274, and at that time, measured by the air pressure sensor 280.
  • the threshold pressure is set based on the air pressure. That is, the reference pipe 160 as a reference object is used for setting a reference for the inspection performed as a preparation process for the passage flow rate inspection by the second inspection device 108.
  • the inspection head 270 is moved to a position where the camera 276 is positioned directly above the 2D code 38 which is an identifier attached to the flange 34 of the nozzle N to be inspected by the head moving device 272. Moved. In this state, the 2D code 38 is imaged by the camera 276. Incidentally, an image obtained by imaging is as shown in FIG. In the identifier reading inspection, the ID of the nozzle N is recognized based on the image data obtained by the imaging, and when the ID cannot be recognized, the nozzle N is determined to be a defective nozzle.
  • the management machine 80 attaches the flange 34 of the reference nozzle 158 fixed to the pallet NP prior to reading the 2D code 38 of the nozzle N.
  • the 2D code 38 is imaged by the camera 276, and based on the image data obtained by the imaging, it is confirmed that the identifier reading function of the second inspection apparatus 108 is sufficient, and the function is sufficient.
  • the nozzle N identifier reading inspection is performed. That is, the reference nozzle 158 that is the reference object is used for the verification of the second inspection apparatus 108, that is, for the preliminary verification.
  • the passing flow rate inspection and the identifier reading inspection by the second inspection device 108 may be performed for all the nozzles N placed on one pallet NP, and only for some of the nozzles N. You may go. Further, both of these two inspections may be performed, or only one of them may be performed.
  • the pallet NP positioned at the inspection position is positioned at the second inspection apparatus corresponding station in the storage apparatus 100 by the second transfer device 116. The carrier 130 is transferred.
  • the nozzle cleaning device 110 is located below the second nozzle inspection device 108, and the nozzle drying device 112 is located between the cleaning device 110 and the storage device 100 described above. is doing.
  • the management machine 80 is provided with a housing 300 in relation to the cleaning device 110 and the drying device 112.
  • FIG. 10 shows the cleaning device 110 and the drying device 112 in the presence of the housing 300
  • FIG. 11 shows the cleaning device 110 and the drying device 112 with the housing 300 removed. If it demonstrates with reference to those figures, the pallet NP located in the setting position in the accommodating apparatus 100, ie, the washing
  • the nozzle N placed on the pallet NP is cleaned by the cleaning device 110 at that position.
  • the drying device 112 applies the nozzle N placed on the pallet NP and cleaned. Drying is performed.
  • the position of the pallet NP shown in the drawing is the cleaning position, and the fourth transfer device 120 is provided with a pallet fixing mechanism (not shown) for fixing the pallet NP at the inspection position.
  • the nozzles N placed on the pallet NP are omitted for simplification.
  • the cleaning device 110 includes an upper cleaning unit 302 for cleaning the nozzle N from above, and a lower cleaning unit 304 for cleaning the nozzle N from below, which have substantially the same structure. It is said that.
  • Each of the units 302 and 304 includes a support frame 306 attached to the housing 300, an injection nozzle 308 supported by the support frame 306, and a Y-direction moving mechanism 310 that moves the injection nozzle 308 in the Y direction. It is configured to include.
  • the injection nozzle 308 has an elongated rectangular parallelepiped shape arranged so as to extend in the X direction over the entire width of the pallet NP, and a large number of injection holes 312 are provided on a surface facing the pallet NP.
  • the Y-direction moving mechanism 310 is configured to move the injection nozzle 308 in the Y direction over the entire length of the pallet NP.
  • the injection nozzle 308 is supplied with high-pressure water pressurized by a high-pressure pump (not shown) installed in the drive source unit 124, and the high-pressure water is placed on the pallet NP from the injection hole 312. Injected toward the nozzle N.
  • the drying device 112 includes a plurality of blower tubes 314 disposed at the upper and lower portions of the housing 300. Hot air (hot air) is fed into the blower pipes 314 from a blower (not shown) through a heater (not shown) provided in the drive source unit 124. Each of the plurality of blower pipes 314 is provided with a plurality of discharge holes, and the hot air is discharged from the discharge holes toward the nozzles N placed on the pallet NP. The nozzle N is dried by the discharged warm air.
  • the above-described housing 300 is installed in order to prevent adverse effects of the high pressure water sprayed by the cleaning device 110 and the hot air discharged by the drying device 112 on other devices.
  • the housing 300 is provided with a transparent window 316 for looking into the inside on the front side, and on the rear side for opening only when the pallet NP passes through the shielding plate 318 and the shielding plate 318.
  • a shielding plate opening / closing mechanism 320 is provided.
  • cleaning by the cleaning device 110 is performed on the nozzle N placed on the pallet NP fixed at the above-described cleaning position. More specifically, the upper cleaning unit 302 injects high-pressure water from above the nozzle N, that is, from the base end side of the nozzle N, and mainly cleans the upper surface of the body cylinder 30, the flange 34, and the like. On the other hand, the lower cleaning unit 304 mainly cleans the adsorption pipe 32 and the like by jetting high-pressure water from below the nozzle N, that is, from the tip end side of the nozzle N.
  • the direction of the injection hole 312 is adjusted so that the injection nozzle 308 injects high-pressure water not only directly below or directly above but also in various directions.
  • the injection nozzle 308 is relatively narrow and can inject high-pressure water only to a part of the nozzle row arranged in the X direction on the pallet NP.
  • the pallet NP is moved over the entire length in the Y direction.
  • the injection nozzle 308 is not a two-fluid nozzle, that is, a nozzle that disperses and injects water with compressed air, but injects water pressurized by a pump directly from the injection hole 312 by the pressure of the water.
  • the nozzle is configured to do this. Therefore, the cleaning device 110 has a high cleaning capability.
  • the drying device 112 is performed by air blowing using warm air when the fourth transfer device 120 transfers the pallet NP present at the inspection position after the cleaning of the nozzle N is completed to the cleaning device corresponding station 130. Therefore, the pallet NP can be returned to the storage device 100 during at least a part of the time required for drying, and time loss in a series of operations such as cleaning and drying is small.
  • the warm air is a relatively high-speed air, and water droplets adhering to the nozzle N are blown off by the pressure of the warm air, and moisture remaining on the nozzle N is dried by the temperature of the warm air. Be made.
  • Pallet transfer device The first to fourth pallet transfer devices 114 to 120, each of which is a nozzle transfer device, are arranged between the storage device 100 and the corresponding anti-nozzle treatment execution device as described above. It is a device that transports NP.
  • the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 have substantially the same structure, and the fourth transfer device 120 is slightly different from the first, second, and third transfer devices 114, 116. , 118 has a different structure.
  • each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 is a pair arranged to extend forward from the storage device 100.
  • the pallet NP is supported by the pair of rails 330 so as to straddle them, and slides on the pair of rails 330.
  • Each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 moves the pallet NP between the carrier 130 of the storage device 100 and the pair of rails 330 and on the pair of rails 330.
  • a moving mechanism 332 is provided.
  • the moving mechanism 332 includes a guide 334 that is disposed on the right side of the management machine 80 so as to extend back and forth, and a transport unit 336 that is supported by the guide 334.
  • the transport unit 336 has a structure of self-propelled along the guide 334 when supported by the guide 334. Although not shown, the transport unit 336 has an extending portion that extends to the middle of the pair of rails 330 below the pair of rails 330. A clamp is provided for gripping the rear end of the pallet NP.
  • the transport units 336 can be moved to the rear end of the guide 334 so that the extension portion thereof passes below the carrier 130.
  • the transport unit 336 With the transport unit 336 positioned at the rear end, the rear end of the pallet NP accommodated in the carrier 130 is gripped by the above-described clamp, and the transport unit 336 moves to the front end of the guide 334 in the gripped state.
  • the pallet NP is transferred to the set position described above. After the transfer, the gripping by the clamp is released.
  • each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 includes the pallet fixing mechanism for fixing the pallet NP positioned at the set position to a pair of rails. have.
  • the fourth transfer device 120 is different from the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 in the structure of the guide and the transport unit. Although detailed description is omitted, as described above, the fourth transfer device 120 employs the guide 338 and the transport unit 340 having a structure suitable for the transfer in order to transfer the pallet NP in the housing 300. .
  • movement of the other part of the said 4th transfer apparatus 120 it is the same as that of the 1st, 2nd, 3rd transfer apparatus 114,116,118, and abbreviate
  • each of the first, second, and third transfer devices 114, 116, and 118 is depicted as having two transport units 336, but the transport unit 336 is the front end of the guide.
  • the transport unit 336 is the front end of the guide.
  • both the state located at the rear end and the state located at the rear end are shown, and in reality, only one transport unit 336 is provided.
  • the manager 80 configured as described above performs various operations under the control of the controller 84, which is a control device. More specifically, the controller 84 executes various programs to perform operations according to the executed programs. Further, these operations are performed based on management information, that is, information on the nozzles N and the trays NT that are created or acquired while managing the nozzles N and the trays NT accommodated therein.
  • management information that is, information on the nozzles N and the trays NT that are created or acquired while managing the nozzles N and the trays NT accommodated therein.
  • the management information will be described as an example, and then some operations performed by the management device 80 will be described as an example, and these will be sequentially described.
  • the controller 84 stores “accommodated nozzle information” as management information for the accommodated nozzles N.
  • the accommodation nozzle information can be schematically represented as the accommodation nozzle information table of FIG. 19. Simply put, what nozzle N is placed in which placement hole 144 of which pallet NP accommodated in which carrier 130. Is information indicating whether or not is accommodated.
  • the unique information of the accommodated nozzle N is information on a mode associated with the accommodation position in the accommodation apparatus 100.
  • the accommodation nozzle information is treated as being stored in the format of the table, and the accommodation nozzle information will be specifically described based on the table.
  • each column of the table corresponds to various kinds of information related to the nozzle N.
  • Carrier No. is the number of the carrier 130 in which the pallet NP on which the nozzle N is placed is accommodated, such as “# 1”, “# 2”,. Numbers up to the number of carriers 130 included in the accommodation apparatus 100 are stored.
  • [Pallet ID] is an ID of the pallet NP as unique information of the pallet NP on which the nozzle N is placed.
  • [Mounting hole No.] is the number of the mounting hole 144 as a mounting portion on which the nozzle N is mounted, and “A01” to “A24” correspond to the small mounting hole 144a shown in FIG.
  • the numbers “B01” to “B15” are stored in correspondence with the large mounting holes 144b.
  • “ ⁇ ” in the columns of [Carrier No.] and [Pallet ID] indicates that the same contents as those in the upper row are stored for convenience.
  • [Nozzle ID] and the columns on the right are the unique information of the nozzle N.
  • [Nozzle ID] is the ID of the nozzle N.
  • “Nozzle ID” being “ ⁇ ” means that the ID of the nozzle N is unrecognizable, and “?” Means that the ID of the nozzle N is unrecognized. I mean.
  • [Nozzle type] represents the type of nozzle N, that is, the type. Specifically, the types of the nozzles Na to Ne shown in FIG. 13 are stored. “( ⁇ ...)” Means that the nozzle type is estimated.
  • [Washing] indicates whether or not the nozzle N has been cleaned by the cleaning device 110. “ ⁇ ” indicates that the nozzle N has been cleaned, and “ ⁇ ” indicates that the nozzle N has not been cleaned yet. , Respectively.
  • [Failure factor] indicates the cause of the failure when the nozzle N is determined to be a defective nozzle, that is, in which of the above four items the inspection is determined as a defective nozzle. If it is determined that the nozzle is defective in any of the four items of inspection, the defective nozzle in the four columns of [identifier reading], [passing flow rate], [tip state], and [reverse required force] “X” is stored in the column corresponding to the item determined to be present. “ ⁇ ” means that it was not judged as a defective nozzle in the inspection of each item. If neither “ ⁇ ” nor “ ⁇ ” is stored in each column, the inspection has not been performed yet. Means.
  • a row that is not described in any of the columns [nozzle ID] to [cleaning] is a placement hole 144 corresponding to that row, that is, the placement of the pallet NP accommodated in a certain carrier 130. It shows that the nozzle N is not placed in the hole 144.
  • the controller 84 stores “accommodating tray information” as management information regarding the accommodated tray NT.
  • the storage tray information can be schematically represented as the storage tray information table in FIG. 20.
  • the storage tray information is information indicating which tray N is stored in which carrier 192.
  • the specific information of the accommodated tray NT is information in an aspect associated with the accommodation position in the accommodation apparatus 102.
  • the storage tray information is treated as being stored in the format of the table, and the storage tray information will be specifically described based on the table.
  • one line corresponds to one carrier 192 of the storage device 102, that is, one of the stored trays NT.
  • each column of the table corresponds to various kinds of information related to the tray NT.
  • Carrier No. is the number of the carrier 192 in which the tray NT is accommodated, such as “# 1”, “# 2”,. Numbers up to a number are stored.
  • [Tray ID] is the ID of the tray NT as one of the unique information of the tray NT.
  • [Tray type] represents the type of tray NT, that is, the type. [Defective] indicates whether or not the tray NT is defective, and “x” means that it is a defective tray.
  • [SET] indicates whether or not the nozzle N is set in the accommodated tray NT
  • “ ⁇ ” indicates that the nozzle N is set in the tray NT
  • a blank indicates an empty tray It shows that it is NT.
  • a row in which no description is given in the [tray ID] and [tray type] columns indicates that the tray NT is not accommodated in the carrier 192 corresponding to the row.
  • the controller 84 uses “nozzle setting information” as management information regarding the setting of the nozzle N to the tray NT.
  • the nozzle setting information can be schematically represented as the nozzle setting information table of FIG. 21. In short, it indicates what nozzle N is placed in which placement hole 64 of which tray NT.
  • Information. [Mounting hole No.] is a number of the mounting hole 64 as a mounting portion on which the nozzle N is mounted. In the figure, information about the tray NT shown in FIG. 3 is shown as an example. Specifically, the numbers “a1” to “a8” correspond to the relatively small placement holes 64 shown in FIG. 3, and the numbers “b1” to “b4” correspond to the relatively large placement holes 64. "" Is attached.
  • the setting of the nozzle N to the pallet NT is started based on the nozzle setting information in which [tray ID] and [nozzle ID] are not described, that is, only [tray type] and [nozzle type] are shown.
  • [tray ID] and [nozzle ID] are attached.
  • the management information described above is updated, reset, etc. in some operations by the management machine 80 described below.
  • the operations will be described based on the flowchart of the program related to the operations. However, in the flowchart, the notation of the processes relating to the update, deletion, addition, etc. is omitted, and the description of those processes will be described in the flowchart. It will be done in the description of each step.
  • the nozzle accommodation operation is an operation for accommodating the nozzle N placed on the tray NT in the accommodation device 100 for the purpose of cleaning, inspection, storage, etc. of the nozzle N used in the mounting machine, for example.
  • the operation is performed by the controller 84 executing a nozzle accommodation program whose flowchart is shown in FIG.
  • the operator of the management machine 80 opens the drawer 82 and sets the tray NT on which the nozzle N is placed on the fixed stage 204 or the movable stage 204, and then issues a command to start the operation.
  • the operation is started by inputting with the operation key 88 of the controller 84.
  • the tray NT is set on the fixed stage 202, the operation ends with the tray NT remaining after the nozzle N is accommodated.
  • the tray NT is set on the movable stage 204, whether or not the tray NT is stored in the storage device 102 after the nozzle N is stored is selected based on an input operation using the operation key 88 of the operator. The operation is completed according to the selection.
  • step 1 the stage in which the tray NT is fixed and the mounting hole opened state is realized, that is, the tray NT is set. Whether the stage is the fixed stage 202 or the movable stage 204 is specified.
  • step 2 the transfer head 210 is moved above the specified stage, and the 2D code 76 attached to the tray NT is imaged by the camera 220 to obtain the ID of the tray NT.
  • the model of the tray NT is specified based on the acquired ID of the tray NT.
  • the ID information includes information on the type of the tray NT.
  • the controller 84 stores data in which the specifications such as the number and position of the mounting holes 64 of the tray NT are associated with the tray type (hereinafter sometimes referred to as “tray specification data”).
  • the 2D code 38 of each nozzle N placed on the tray NT is imaged by the camera 220 in accordance with the specifications of the tray NT determined based on the model, and the ID of each nozzle N is determined. Is acquired.
  • the type of each nozzle N is specified based on the acquired ID.
  • the ID information of the nozzle N includes information on the type of the nozzle N.
  • the above-described nozzle setting information that is, the nozzle setting information when the nozzle N is set on the tray NT of the ID is created. Is used, and based on the information, the type of the nozzle N for which the ID cannot be obtained is estimated.
  • one pallet NP on which the nozzles N are placed when the nozzles N are accommodated in the accommodation device 100 is a plurality of pallets NP included in the accommodation device 100 based on the accommodation nozzle information described above. Selected from. Although a detailed description of the algorithm for this selection is omitted, in S6, the conditions such as the presence of an empty mounting hole 144 and the fact that the cleaned nozzle N is not mounted are satisfied. Among them, one pallet NP is selected based on the viewpoint that some operations by the management machine 80 can be performed as efficiently as possible.
  • the pallet moving device 134 and the first pallet transfer device 114 are operated, and the selected pallet NP is fixed at the transfer position described above, and the mounting hole open state is realized. That is, the palette NP is set.
  • a measure for the defective nozzle is performed. Specifically, in S8, based on the accommodation nozzle information, it is confirmed whether or not there is a defective nozzle in the set pallet NP. If there is a defective nozzle, in S9, based on the accommodation nozzle information, The above-described failure factors for one defective nozzle are identified, and the defective nozzle is transported to the defective box 224 by the transfer device 104 in S10. As described above, the defective box 224 is provided with four partitioned spaces 226 corresponding to the four defective factors, and the defective nozzle is identified when the defective nozzle is transported. It is detained in one space 226 corresponding to the factor.
  • the information about the defective nozzle is deleted from accommodation nozzle information.
  • the defective nozzle corresponds to the failure factor in the leftmost column in the table shown in FIG. Detained in the space 226.
  • the processes of S8 to S10 are repeatedly executed until there is no defective nozzle in the set pallet NP, and when there is no defective nozzle, or when there is no defective nozzle from the beginning of setting, the following S11 is executed.
  • one nozzle N that can be transferred to the set pallet NP is selected from the nozzles N placed on the set tray NT according to the set rule.
  • the transfer device is selected.
  • the selected nozzle N is transferred to one of the mounting holes 144 that are empty in the set pallet NP. That is, the accommodation transfer described above is performed.
  • Which placement hole 144 is placed is determined according to a set rule based on the above-described accommodation nozzle information, the size of the placed nozzle N, and the like.
  • the ID for that nozzle N acquired in S4 and the model for that nozzle specified in S5 are stored as accommodation nozzle information. That is, the accommodation nozzle information is updated. Specifically, in one of the rows of the table shown in FIG. 19, that is, in the row corresponding to the placement hole 144 in which the nozzle N is placed, the ID and the model are not cleaned. It is written together with the fact that
  • the process returns to S6, and the next pallet NP is selected.
  • the accommodation transfer of the nozzle N to the pallet NP is started.
  • the set pallet NP is moved by the first transfer device 114 in S16. And returned to the storage device 100.
  • the tray storage device 102 After the transfer of all the nozzles N is completed and the pallet NP is returned, it is determined in S17 whether or not the empty tray NT is stored in the tray storage device 102. This determination is made based on whether the tray NT is set to the fixed stage 202 or the movable stage 204 as described above. If it is determined that the tray NT is accommodated in the accommodating device 102, the set empty tray NT is accommodated in the accommodating device 102 by the tray transfer device 122 in S18, and the nozzle accommodating operation is completed. To do. On the other hand, when it is determined in S17 that the empty tray NT is not accommodated in the accommodating device 102, the setting of the tray NT is released, and the nozzle accommodating operation ends.
  • the 2D code 76 attached to the tray NT is imaged by the camera 22 provided in the transfer device 104, and the ID of the tray NT is acquired.
  • the ID of the tray NT and the type of the tray NT specified based on the ID are related to the carrier 192 to be stored and the above-described storage tray. Added to the information.
  • the nozzle setting operation is an operation for setting the necessary nozzles N in the tray NT for the purpose of preparing for the use of the nozzles N in the mounting machine, and the operation is shown in the flowchart of FIG. This is performed by the controller 84 executing the nozzle setting program.
  • the stage for setting the nozzle N is either the fixed stage 202 or the movable stage 204, or the tray NT accommodated in the accommodation device 102 and the tray set by the operator of the management machine 80 are set.
  • NT can be selected as to whether to use the NT or whether the tray NT for which the setting has been completed is to be accommodated in the accommodation apparatus 102.
  • the selection can be made by pressing the operation key 88 of the controller 84 by the operator. Performed based on the operation used.
  • the tray NT used for setting is set based on the nozzle setting information transmitted or input to the management device 80 or the nozzle setting information already stored.
  • the type and the type of each nozzle N are specified.
  • This nozzle setting information can be considered as information in which [tray ID] and [nozzle ID] are not written in the table shown in FIG.
  • the stage to be set is the fixed stage 202 or the movable stage 204. If it is determined in S23 that the specified stage is the movable stage 204, in S24 Then, it is determined whether or not the tray NT accommodated in the accommodation device 102 is used. If it is determined that the tray NT accommodated in the accommodation apparatus 102 is to be used, one tray NT is selected based on the nozzle setting information and the accommodation tray information in S25, and the selection is made in S26. The tray NT that has been transferred is transferred to the mounting position by the tray transfer device 122 and set at the transfer position.
  • the set tray NT it is determined whether or not the set tray NT is good.
  • the camera 220 provided in the transfer device 104 captures an image of the 2D code 76 attached to the set tray NT and obtains the ID of the tray NT. At that time, the ID cannot be obtained. If it is possible, it is determined that the tray NT is defective. Further, the set tray NT is driven by the above-described cover sliding mechanism in order to realize the mounting hole open state. However, when the operation of the cover sliding mechanism at that time is not smooth, the tray It is judged that NT has a problem.
  • a process of replacing the tray NT with a good tray NT is performed.
  • this tray exchange process first, if it is determined in S27 that the set tray NT has a problem, it is determined in S28 whether the tray NT is set to the fixed stage 202 or the movable stage 24. To be judged. If it is determined that the tray NT is set, the stage changing process is performed in S29 while the tray NT remains on the fixed stage 202 to prohibit the use of the tray NT. That is, processing for changing the stage used for setting the nozzle N from the fixed stage 202 to the movable stage 204 is performed.
  • the tray NT is returned by the transfer device 122 and stored in the storage device 102 in S30.
  • the ID and the type of the tray NT are associated with the carrier 192 in which the tray NT is accommodated together with the fact that the tray NT is a defective tray, or added to the above-described accommodation tray information or accommodated therein.
  • the tray information is updated.
  • the process returns to S25, and another tray NT is selected based on the nozzle setting information and the accommodation tray information.
  • the selected another tray NT is selected. Is set.
  • the acquired ID of the tray NT is added to the nozzle setting information.
  • one pallet NP used for setting transfer is converted into the nozzle setting information and the accommodation nozzle information based on the setting information and the above-mentioned accommodation nozzle information. Based on this, one is selected from the plurality of pallets NP included in the storage device 100. Although detailed explanation of the algorithm for this selection is omitted, in S31, it is confirmed that one or more nozzles N to be transferred are mounted, and all items for all the mounted nozzles N are inspected. One of the pallets NP is selected from the viewpoints that the setting of the nozzle N can be performed as efficiently as possible from those satisfying the conditions such as being completed. In the subsequent S32, the selected pallet NP is transferred by the first transfer device 114 and set at the transfer position described above.
  • one nozzle that can be placed on the set tray NT is selected from the nozzles N placed on the set pallet NP based on the accommodation nozzle information and the nozzle setting information, and then continues.
  • the selected nozzle N is transferred to the specific mounting hole 64 of the set tray NT based on the nozzle setting information. That is, the above-described setting transfer is performed.
  • information about the transferred nozzle N is deleted from the accommodation nozzle information, and the ID of the nozzle N is added to the nozzle setting information.
  • the ID of the nozzle N to be transferred is acquired by the camera 220 provided in the transfer device 104, and there is a difference between the acquired ID and the ID stored as the accommodation nozzle information. A process for confirming that the ID is not present may be performed, or the acquired ID may be added to the nozzle setting information as it is without performing the process for confirming.
  • the process After the setting transfer for one nozzle N, it is determined in S38 whether or not the setting transfer for all the nozzles N scheduled has been completed. If the setting transfer of all the nozzles N has not been completed, it is determined in S39 whether or not to continue the transfer of the nozzles N from the set pallet NP. When the transfer of the nozzle N from the pallet NP can be continued, the process returns to S36, and the transfer of the next nozzle N from the pallet NP to the next tray NT is performed. For example, if it is determined in S39 that the transfer from the pallet NP cannot be continued because the nozzle N that can be transferred does not exist in the pallet NP, the pallet NP is changed to the first pallet NP in S40.
  • the transfer device 114 returns it to the storage device 100 and returns to S31 to select the next pallet NP. After the setting of the pallet NP and the treatment for the defective nozzle mounted on the pallet NP are executed, the setting transfer of the nozzle N from the pallet NP is started. If it is determined in S39 that the setting transfer of all the nozzles N scheduled has been completed, the set pallet NP is returned to the storage device 100 by the first transfer device 114 in S41.
  • the tray NT in which the nozzles N are set is accommodated in the tray accommodating device 102. If it is determined that the tray NT is to be stored in the storage device 102, the set tray NT is stored in the storage device 102 by the tray transfer device 122 in S43, and the nozzle storage operation ends. On the other hand, when it is determined in S42 that the tray NT is not accommodated in the accommodating device 102, the setting of the tray NT is released, and the tray NT is left on the fixed stage 102 or the movable stage 204. The nozzle accommodation operation is completed.
  • the 2D code 76 attached to the tray NT is imaged by the camera 22 provided in the transfer device 104, and the ID of the tray NT is acquired.
  • the ID of the tray NT is related to the carrier 192 to be accommodated together with the fact that the tray NT is the tray NT in which the nozzle N has been set. Added to storage tray information.
  • the operation ends with the tray NT for which setting has been completed being left on the movable stage 204 the information about the tray NT included in the accommodation tray information is deleted.
  • Nozzle resetting operation In the nozzle resetting operation, a tray NT on which nozzles N are already set is set on the stage, so that instead of those nozzles N, another nozzle having the same model as those nozzles N This is an operation for placing N. In other words, this is an operation of creating nozzle setting information based on the set tray NT and replacing the nozzles based on the information.
  • the nozzle setting operation is performed by the controller 84 executing a nozzle resetting program whose flowcharts are shown in FIGS.
  • either the fixed stage 202 or the movable stage 204 is used as the stage for setting the nozzle N, and whether or not the tray NT that has been reset is stored in the storage device 102 is selected. These selections are made based on an operation by the operator using the operation keys 88 of the controller 84.
  • the nozzle accommodation operation is performed in the first half.
  • the nozzles N placed on the set tray NT are accommodated in the accommodating device 100 by the processing according to the first half of the nozzle resetting program shown in the flowchart of FIG. Since the processing performed in S51 to S66 of the program is substantially the same as the processing performed in S1 to S16 of the nozzle accommodation program described above, description of these processing is omitted, but is specified in S53 and S55.
  • nozzle setting information is created. Even in this nozzle resetting operation, the treatment for the defective nozzle is executed in S58 to S60.
  • N is set to the tray NT on which the nozzle N has been placed.
  • the processing performed in the flow starting from S67 of the program to S85 is substantially the same as the processing performed in the flow starting from S27 of the nozzle setting program to S43. Omitted.
  • the treatment for the defective nozzle is also executed in S75 to S77, and the above-described processing for exchanging the tray NT is also executed in this operation and in S67 to S72.
  • the nozzle cleaning operation is an operation of cleaning and drying the nozzles N placed on one pallet NP in the storage device 100 together with the pallet NP. Since the details of the cleaning and drying of the nozzle N have been described above, the operation flow will be mainly described here. Incidentally, all of these operations and the first and second inspection operations described later are executed independently of any of the other operations described in this embodiment. That is, regardless of whether or not another operation is being executed, the set condition is satisfied for the nozzles N placed on the pallet NP other than the pallet NP that is the target of the other operation. As long as any of the three operations can be performed.
  • the nozzle cleaning operation is performed by executing the nozzle cleaning program shown in the flowchart in FIG.
  • the palette NP that is the target of the operation is specified. Specifically, one of the pallets NP that satisfies the condition that the nozzles N that have not been cleaned are mounted in a set number or more is considered as the target pallet in consideration of the efficiency of the operation and other operations. It is determined.
  • the pallet NP is transferred to the cleaning position by the fourth pallet transfer device 118.
  • the nozzles N placed on the pallet NP while being in that position are cleaned by the nozzle cleaning device 110 together with the pallet NP.
  • the return speed of the pallet NP by the fourth pallet transfer device 118 is determined in S104.
  • the return speed is determined based on the environmental temperature, the temperature of the warm air, etc., in order to secure the time necessary for sufficient drying.
  • the nozzles N placed on the pallet NP are dried together with the pallet NP by the nozzle drying device 112. . Note that, after the drying is completed, the above-described accommodation nozzle information is updated for the cleaned nozzle N. Specifically, in the table shown in FIG. 19, all the nozzles N placed on the pallet NP are marked with “ ⁇ ”, which is a symbol indicating that they have been cleaned, and all inspections are performed. An update is made to treat it as an unfinished state.
  • First nozzle inspection operation In the first nozzle inspection operation, the tip state inspection and the retraction required force inspection by the first inspection device 106 are performed on the nozzles N placed on one pallet NP in the storage device 100. This operation is performed by executing the first nozzle inspection program shown in the flowchart of FIG. The details of the tip state check and the required reverse force check have been described previously, and here, the flow of the operation will be mainly described.
  • the pallet NP that is the target of the operation is specified. Specifically, one of the pallets NP that satisfies the condition that the cleaning of all the nozzles N that have been placed has been completed is considered as the target pallet in consideration of the efficiency of the operation and other operations. As determined. After the target pallet is determined, the pallet NP is transferred to the inspection position by the second pallet transfer device 116 in S112.
  • the tip state inspection is performed prior to the reverse force inspection for each of the nozzles N placed on the pallet NP transferred to the inspection position.
  • the tip end state inspection is sequentially performed for each nozzle N.
  • the tip end state inspection for one nozzle N is executed. More specifically, as described above, the unit moving device 236 moves the lens 239 of the camera device 232 to a position directly below the one nozzle N to be inspected, and the tip of the nozzle N is moved to the camera. Whether or not the state of the tip is abnormal is confirmed based on the image data obtained by the image pickup by the device 232 and obtained by the image pickup.
  • the nozzle N has a tip shape abnormality such as “bending”, “tip chipping”, or “tip crushing”, and “attachment of foreign matter or dirt”. Based on the result of the confirmation, a determination is made in S114, and if it is recognized that the state of the tip is abnormal, in S115, the tip state inspection of the reference pipe 160 fixed to the pallet NP is performed. Is executed. Specifically, the camera device 232 images the tip of the reference pipe 160, and based on the imaging data of the tip obtained by the imaging, whether or not the state of the tip of the reference pipe 160 is abnormal is determined. It is confirmed. As a result of the confirmation, a determination is made in S116.
  • a tip shape abnormality such as “bending”, “tip chipping”, or “tip crushing”, and “attachment of foreign matter or dirt”.
  • the state of the tip of the reference pipe 160 is normal, it is determined in S117 that the nozzle N is a defective nozzle. On the other hand, if the state of the tip of the reference pipe 160 is abnormal, it is recognized in S118 that there is an abnormality in the function related to the inspection of the first inspection device 106, and that fact is displayed on the display 86, The determination regarding the abnormality of the tip portion state for the nozzle N is not performed, and the subsequent tip portion state inspection for the other nozzles N is skipped. If it is confirmed in S114 that the state of the tip is normal, or if it is determined that the nozzle is a defective nozzle in S117, the processing of S119 will be performed for all the nozzles N placed on the pallet NP. The processing from S113 onward is repeated until the tip state inspection is completed.
  • the required reverse force inspection is sequentially performed for each of the nozzles N placed on the pallet NP.
  • the required reverse force for the above-described reference nozzle 158 fixed to the pallet NP is measured in S120. That is, the load received by the load cell 242 of the load measuring device 234 when the suction pipe 32 of the reference nozzle 158 is retracted is measured.
  • the load measuring device 234 is adjusted (for example, the load by the unit moving device 236). Setting of the rising distance of the measuring device 234, etc.) is performed.
  • a reverse force test for one nozzle N is performed. More specifically, after the load cell 242 is positioned below the nozzle N to be measured, the load measuring device 234 is raised by a set distance, and the load received by the load cell 242 at that time is measured. When the load exceeds the threshold force set for the nozzle N, it is determined that the necessary retraction force for the nozzle N is excessive. Based on the result of the recognition, a determination is made in S123, and if the required reverse force is excessive, it is determined in S124 that the nozzle N is a defective nozzle. And the process after S122 is repeated by the process of S125 until the reverse required force test
  • Second nozzle inspection operation In the second nozzle inspection operation, the identifier reading inspection and the passing flow amount inspection by the second inspection device 108 are performed on the nozzles N placed on one pallet NP in the storage device 100. The operation is performed by executing the second nozzle inspection program shown in the flowchart of FIG. The details of the identifier reading test and the passage flow rate test have been described previously, and therefore, the operation flow will be mainly described here.
  • the pallet NP that is the target of the operation is specified. Specifically, one of the pallets NP that satisfies the condition that the cleaning of all the nozzles N that have been placed has been completed is considered as the target pallet in consideration of the efficiency of the operation and other operations. As determined. After the target pallet is determined, the pallet NP is transferred to the inspection position by the third pallet transfer device 118 in S132.
  • the identifier reading inspection is performed prior to the passage flow inspection for each of the nozzles N placed on the pallet NP transferred to the inspection position.
  • the identifier reading inspection is sequentially performed for each nozzle N by the camera 276 provided in the second inspection apparatus 108.
  • the reference nozzle Prior to the inspection of each nozzle N, first, the reference nozzle fixed to the pallet NP in S133.
  • the 2D code 38 attached to the flange 34 of 158 is imaged by the camera 276, and it is confirmed that the function relating to the identifier reading inspection of the second inspection apparatus 100 is sufficient based on the image data obtained by the imaging. Is done.
  • the inspection head 270 is moved by the head moving device 272 to a position where the camera 276 is positioned directly above the 2D code 38 attached to the flange 34 of the nozzle N.
  • the 2D code 38 is imaged by the camera 276.
  • a determination is made in S136. If the ID cannot be sufficiently read from the captured 2D code 38, that is, if it is difficult to read the 2D code 38, the determination is made in S137. It is determined that the nozzle N is a defective nozzle. And the process after S135 is repeated until the identifier reading test
  • the [identifier reading] of the nozzle N in the accommodation nozzle information shown in FIG. If it is determined that the column is “ ⁇ ” and the nozzle is defective with respect to the identifier reading, “ ⁇ ” is added to the column. If the second inspection device 108 is recognized as having insufficient functions regarding the inspection and the identifier reading inspection for each nozzle N has not been performed, the fact is placed on the pallet P in order to reflect the fact in the stored nozzle information. The [identifier reading] column of all the nozzles N placed is blank.
  • the 2D code 38 cannot be read in the transfer of the nozzle N, “?” Is added to the [Nozzle ID] column, and “((7)” Is added to the [Nozzle type] column.
  • the ID read in the inspection is written in the [nozzle ID] column, and based on the ID The specified nozzle type is written in the [Nozzle type] column.
  • the passage flow inspection is sequentially performed for each of the nozzles N placed on the pallet NP.
  • the passage flow inspection for each nozzle N is performed.
  • compressed air is supplied by the air feeding device 274 to the above-described reference pipe 160 fixed to the pallet NP, and in this state, the air pressure is measured by the air pressure sensor 280.
  • the threshold pressure that is referred to during the flow rate inspection of the nozzle N is set.
  • a flow rate inspection for one nozzle N is executed in S141. More specifically, compressed air is supplied to the nozzle N to be inspected by the air feeding device 274, and in this state, the air pressure is measured by the air pressure sensor 280. When the measured air pressure is higher than the set threshold value, it is recognized that the air flow rate of the nozzle N is insufficient. Based on the result of the recognition, a determination is made in S142, and if the passing flow rate is insufficient, it is determined in S143 that the nozzle N is a defective nozzle. And the process after S141 is repeated until the flow volume test
  • the controller 84 which is a control device, controls the management device 80 of the embodiment. Specifically, as shown in FIG. 29, each operation of the nozzle accommodating device 100 to the tray transfer device 122 is controlled by the controller 84 while exchanging signals and information with them. Then, under the control of the controller 84, the management machine 80 performs the various operations described above.
  • the controller 84 can be considered to have a plurality of functional units as shown in FIG. 29, that is, a plurality of functional units realized by executing various programs.
  • the controller 84 stores nozzle information as a functional unit that stores the above-described storage nozzle information, nozzle setting information, and storage tray information, each of which is management information related to the nozzle N. Part 400. Specifically, a storage medium such as a hard disk included in a computer which is a main component of the controller 84 plays a role of the nozzle information storage unit 400. And the management machine 80 performs the above-mentioned operation based on the stored management information.
  • the controller 84 has six functional units as functional units for controlling the above-described operations. Specifically, the nozzle accommodation control unit 402 that controls the nozzle accommodation operation, the nozzle setting control unit 404 that controls the nozzle setting operation, the nozzle resetting control unit 406 that controls the nozzle resetting operation, the nozzle cleaning operation A nozzle cleaning control unit 408 that performs control, a first nozzle inspection control unit 410 that controls the first nozzle inspection operation, and a second nozzle inspection control unit 412 that controls the second nozzle inspection operation are provided.
  • the control units 402 to 412 are functional units that are realized by executing the nozzle accommodation program, the nozzle setting program, the nozzle resetting program, the nozzle cleaning program, the first nozzle inspection program, and the second nozzle inspection program, respectively. It is.
  • Each of the control units 404, 406, and 408 includes a defective nozzle placed on the pallet NP.
  • a function unit for controlling the treatment that is, the treatment for transporting the defective nozzle in order to place the defective nozzle in the corresponding space 226 partitioned in the defective box 224 according to the inspection item determined to be defective.
  • the defective nozzle conveyance control unit 414 is a functional unit realized by executing any one of S8 to S10, S33 to S35, S58 to S60, and S75 to S77.
  • each of the nozzle setting control unit 404 and the nozzle resetting control unit 406 controls the tray transfer device 122 to determine that the tray NT is stored in the tray when it is determined that a defect has occurred in the tray NT.
  • a tray replacement control unit 416 is provided as a functional unit to be replaced with the tray NT accommodated in the apparatus 102.
  • the tray replacement control unit 416 is a functional unit realized by executing any one of S27 to S30 and subsequent S25 to S26 and S67 to S72.
  • a reference target reference defective nozzle determination unit 418 is provided as a functional unit that determines that the nozzle N is a defective nozzle on condition that the inspection result of the reference nozzle 158 or the reference pipe 160 as a reference target is good.
  • the reference target reference failure nozzle determination unit 418 is a functional unit realized by executing any one of S114 to S117 and S134 to S138.
  • each of the control units 410 and 412 uses the reference nozzle 158 or the reference pipe 160, which is a reference object, to set the inspection reference by the nozzle inspection devices 106 and 108, or
  • the reference object-based inspection preparation processing unit 420 is provided as a functional unit that performs calibration of the nozzle inspection devices 106 and 108 as preparation processing.
  • This reference target reliance inspection preparation processing unit 420 is a functional unit realized by executing any one of S120 and S121, S139 and S140.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

　電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機の実用性を向上させる。　ノズル管理機８０にノズル収容装置１００を備えさせる。その収容装置を、それぞれに複数のノズルが載置される複数のパレットと、それらパレットを収容装置内において循環させる循環装置１３４と含んで構成する。また、収容装置に収容される若しくは収容されているノズルに対して処置を行う対ノズル処置実行装置として、上記パレットと電気部品装着機にセットされるノズルトレイとの間でノズルを移載させるノズル移載装置１０４、ノズルの検査を行うノズル検査装置１０６，１０８、ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置１１０を備えさせ、それらの装置と収容装置との間においてパレットを移送する移送装置１１４，１１６，１１８，１２０を設ける。

Description

ノズル管理機
　本発明は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機に関する。
　多くの電気部品装着機では、電気部品を回路基板に装着する際に、その電気部品は吸着ノズルによって保持される。そのような電気部品装着機において適切な吸着ノズルを用いることは、電気部品の装着精度を高く維持するために重要なことである。これまでに、例えば、吸着ノズルの洗浄に関しては、下記特許文献１に記載された技術が、吸着ノズルの検査に関しては、下記特許文献２，特許文献３に記載された技術が、それぞれ存在している。
特開２０１２－１１４２３７号公報 特開２０１２－４３０６号公報 特開２０１０－２５８１８５号公報
発明の解決しようとする課題
　上記のような特許文献が存在する事実からも解るように、適切な吸着ノズルを使用するためには、吸着ノズルを適切に管理する必要がある。そのため、吸着ノズルの適切な管理を行うことのできるノズル管理機、特に、実用性の高いノズル管理機が望まれている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いノズル管理機を提供することを課題とする。
　上記課題を解決するために、本発明のノズル管理機は、電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置を備えている。
　本発明によれば、上記ノズル収容装置自体に工夫を凝らすこと、収容装置に収容された吸着ノズルに種々の処置を施す手段を設けること等により、実用性の高いノズル管理機が実現される。
発明の態様
　以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求の範囲と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、以下の各項に付随する記載，実施形態の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
　なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に、（１１）項が請求項２に、（１３）項が請求項３に、（１７）項が請求項４に、（１８）項が請求項５に、（２６）項が請求項６に、（４１）項が請求項７に、（４４）項と（４６）項とを合わせたものが請求項８に、（１０５）項が請求項９に、（１０６）項が請求項１０に、（１０７）項が請求項１１に、（１０８）項が請求項１２に、（１０９）項が請求項１３に、（６１）項が請求項１４に、（６５）項が請求項１５に、（７１）項が請求項１６に、（７６）項が請求項１７に、（１１１）項が請求項１８に、（８２）項が請求項１９に、（１１０）項が請求項２０に、（９１）項が請求項２１に、（９３）項が請求項２２に、（９４）項が請求項２３に、それぞれ相当する。
≪基本的構成≫
　（１）電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
　複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置を備えたノズル管理機。
　本態様は、ノズル管理機（以下、単に「管理機」と言う場合がある）の基本的構成に関する態様である。上記ノズル収容装置（以下、単に「収容装置」と言う場合がある）自体に工夫を凝らすこと、収容装置に収容された吸着ノズル（以下、単に「ノズル」と言う場合がある）に種々の処置を施す手段を設けること等により、実用性の高いノズル管理機が実現される。
≪ノズル収容装置の構造≫
　以下のいくつかの態様は、ノズル収容装置の構造に関する態様である。ちなみに、それらいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に収容装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した収容装置の態様とされても、その態様は、請求可能発明の態様となり得る。
　（１１）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えた(1)項に記載のノズル管理機。
　本態様における「パレット」は、ノズル載置器若しくは収容器（コンテナ）と呼ぶことのできるものであり、本態様では、パレット単位で、複数のノズルが収容される。収容装置からの出し入れ，ノズルに対する処置もパレット単位で行えることで、利便性に富んだ管理機が実現される。
　（１２）前記複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有する(11)項に記載のノズル管理機。
　パレットに上記載置部を設けることにより、パレット内にノズルをしっかりと保持することが可能となる。逆に言えば、上記載置部は、ノズルのズレ動きを防止可能な構造とすることが望ましい。
　（１３）前記複数のパレットの１以上のものが、複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(11)項または(12)項に記載のノズル管理機。
　１つのパレットに１種類のノズルしか載置できないとすれば、ノズルの種類に応じてパレットの種類も豊富化しなければならず、その豊富化には、ある意味での面倒さが伴う。複数種のノズルを載置可能なパレットとすれば、パレットの種類を少なくすることが可能であり、その面倒さを回避若しくは軽減できることになる。つまり、本態様では、パレットの汎用化が実現されているのである。また、収容装置全体で考えれば、１種類のノズルしか載置できないパレットを複数種類準備した場合、全体のパレット数には制限があるため、ノズルの種類ごとのパレット数を少なくせざるを得ないことになる。それに対して、複数種のノズルを載置可能なパレットを採用することにより、ノズルの種類にあまり左右されることなく、収容装置を簡便に運用することが可能となる。なお、上記面倒さの回避，収容装置の簡便なる運用といった観点からすれば、当該管理機が対象とするすべての種類のノズルが載置可能なパレットを採用することが望ましい。
　一般的に、ノズルは、後に説明するフランジを有しており、上方から見た場合、円い形状をしている。その円い形状のノズルをパレットに並べて配置した場合、比較的外径の大きなノズルでは、配置効率が悪いものとなる。つまり、パレットの面積に比較してノズル、詳しくは、それのフランジが占める面積が比較的小さくなるのである。そのことに鑑みれば、比較的外径の大きなノズルと比較的外径の小さなノズルとを混在させて配置することにより、つまり、それらを互い違いに配置することにより、載置できるノズルの数を多くすることが可能となる。極端に言えば、大きな外径のノズルの隙間に小さな外径のノズルを配置することで、配置効率は、大きく向上するのである。その観点からすれば、本態様では、互いにサイズの異なる複数種のノズル，特に，フランジの外径の異なる複数種のノズルを載置可能に構成することが望ましい。
　（１４）前記複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有し、前記複数のパレットのうちの前記１以上のものの有する前記複数の載置部の少なくとも一部が、互いに異なる複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(13)項に記載のノズル管理機。
　本態様におけるパレットでは、簡単に言えば、１つの載置部において複数種のノズルが載置可能とされている。１種類のノズルしか載置できない載置部とすれば、１つのパレットに複数種のノズルを載置する場合、そのパレットには、たくさんの種類の載置部を設けなければならない。その場合、多くの載置部にノズルが載置されない事態も起こり得る。つまり、空となっている載置部が多く存在する可能性が高まるのである。本態様のように、複数種のノズルで共用される載置部を設ければ、パレットを汎用化しつつ、そのパレットに効率的にノズルを載置することが可能となる。なお、サイズにおいて互いに異なる複数種のノズルをも１つの載置部に載置可能に構成すれば、より効率的にノズルをパレットに載置することが可能となる。
　（１５）吸着ノズルが、フランジを有するとともに、前記複数の載置部の各々が、吸着ノズルの径方向の変位をフランジの外周において規制するように構成されており、
　前記複数の載置部の前記少なくとも一部が、互いにフランジの外径において異なる複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された(14)項に記載のノズル管理機。
　本態様は、簡単に言えば、互いにサイズの異なる複数種のノズルが１つの載置部に載置可能とされた態様である。一般に、上記フランジは、ノズルにおいて最も外径の大きな部分であり、フランジの外周においてノズルの径方向の変位、つまり、ノズルのズレを規制すれば、効果的な規制が可能となる。
　（１６）前記複数の載置部の前記少なくとも一部の各々が、吸着ノズルのフランジが嵌って内周壁においてそのフランジの外周を規制する穴を有しており、その穴の内周壁が深さ方向において内寸法が異なり、互いにフランジの外径において異なる複数種の吸着ノズルのフランジが、互いに異なる深さの位置で前記穴に嵌るように構成された(15)項に記載のノズル管理機。
　本態様は、フランジの外径の異なる複数種のノズルを、フランジの外周を規制しつつ載置可能な載置部の構造に関する態様である。具体的には、載置部の上記穴を、例えば、内周壁の内寸法が互いに異なる複数の段を有する段付き穴としてもよく、また、軸線方向において内周壁の内寸法が漸減するようなテーパ穴としてもよい。そのような構造の載置部とすれば、互いにサイズの異なる複数種のノズルの各々を、その各々の径方向の変位をしっかりと規制しつつ、パレットに載置することが可能となる。
　（１７）前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えた(11)項ないし(16)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、収容装置の中でパレットが移動可能とされていることで、特定の位置における収容装置からのパレットの搬出，収容装置への搬入を行わせることが可能となる。本態様におけるパレット移動装置は、複数のパレットの各々を単独で移動させるように構成されていてもよく、また、複数のパレットを同時にすなわち一緒に移動させるように構成されていてもよい。
　（１８）前記パレット移動装置が、前記複数のパレットを同時に循環移動させるパレット循環装置である(17)項に記載のノズル管理機。
　本態様におけるパレット移動装置では、その装置の構造を比較的簡便な構造としつつ、その構造に依拠して、複数のパレットを一緒に同じ経路に沿って移動させることが可能である。
　（１９）前記複数のパレットの各々が、吸着ノズルが載置される面が上方を向く姿勢で配置されており、
　前記パレット循環装置が、前記複数のパレットを、それらの各々がその姿勢を保ったままで、鉛直な一平面に沿って循環させるように構成された(18)項に記載のノズル管理機。
　本態様におけるパレット移動装置は、比較的小さな空間において、複数のパレットを循環させることができるため、本態様によれば、比較的コンパクトな収容装置を実現することが可能となる。本態様におけるパレット循環装置は、例えば、タワー式の立体駐車場のような構造の装置と考えることもできる。
≪対ノズル処置実行装置，ノズル移送装置≫
　以下のいくつかの態様は、対ノズル処置実行装置およびノズル移送装置に関する態様である。
　（２１）当該ノズル管理機が、
　前記ノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して、何らかの処置を実行する対ノズル処置実行装置を備えた(1)項ないし(19)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様における「対ノズル処置実行装置」は、ノズルに対して何らかの処置を実行する装置であり、具体的には、例えば、後に説明するノズル移載装置，ノズル検査装置，ノズル洗浄装置等が含まれる。対ノズル処置実行装置（以下、単に「処置実行装置」と言う場合がある）を備えることで、ノズル管理機に、ノズルの収容という機能以外に、備わる処置実行装置に応じた種々の機能を持たせることが可能である。
　（２２）当該ノズル管理機が、
　１以上の吸着ノズルを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送するノズル移送装置を備えた(21)項に記載のノズル管理機。
　本態様における「ノズル移送装置」は、収容装置からの１以上のノズル（以下、「ノズルグループ」と呼ぶ場合もある）の搬出および処置実行装置へのノズルグループの搬入を行う機能を有する装置と考えることができる。このノズル移送装置（以下、単に「移送装置」と言う場合がある）によって、収容装置と処置実行装置との連携が可能となる。
　（２３）前記ノズル移送装置が、１以上の吸着ノズルを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するように構成された(22)項に記載のノズル管理機。
　本態様における移送装置は、上述の収容装置からのノズルグループの搬出および処置実行装置へのノズルグループの搬入に加え、処理実行装置からのノズルグループの搬出および収容装置へのノズルグループの搬入を行う機能をも有している。つまり、本態様における移送装置は、ノズルグループを返送する機能を有していると考えることもできるのである。
　（２４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、
　前記ノズル移送装置が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置である(22)項または(23)項に記載のノズル管理機。
　（２５）前記パレット移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するように構成された(24)項に記載のノズル管理機。
　上記２つの態様は、収容装置内においてノズルがパレットに載置されて収容されている場合に有効な態様であり、移送装置が、そのパレットごと、複数のノズルからなるノズルグループを移送するように構成された態様である。それら２つの態様によれば、収容装置と処置実行装置との間のノズルグループの運搬を比較的容易に行うことが可能となる。なお、上記２つの態様におけるパレット移送装置（以下、単に「移送装置」という場合がある）は、収容装置内のどの位置に位置するかに拘わらず任意のパレットを移送するように構成されていてもよく、また、後に説明するように、特定の位置に位置するパレットだけを移送するように構成されていてもよい。前者の構成は、収容装置がパレット移動装置を有していない場合において有効である。
　（２６）前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットの各々を当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えており、
　前記パレット移送装置が、前記パレット移動装置によって設定位置に移動させられた前記複数のパレットのうちの１つを前記対ノズル処置実行装置に移送するように構成された(24)項または(25)項に記載のノズル管理機。
　（２７）前記パレット移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを前記対ノズル処置実行装置から前記設定位置に移送するように構成された(26)項に記載のノズル管理機。
　上記２つの態様では、移送装置は、収容装置が有する複数のパレットのうち特定の位置に位置する１つのパレットを移送する機能を有し、後者の態様では、移送装置は、さらに、その特定の位置にパレットを返送する機能を有している。言い換えれば、上記２つの態様では、収容装置内においてパレットがパレット移動装置によって特定のステーションに移動させられた場合に、そのステーションと処置実行装置との間でパレットの移送が行われる。上記２つの態様によれば、収容装置内の特定の位置と処置実行装置との間でパレットを移送すればよいことから、移送装置の構造を簡便化することが可能となる。
≪複数の対ノズル処置実行装置≫
　以下のいくつかの態様は、上述の処置実行装置を複数備えた場合の態様である。
　（３１）当該ノズル管理機が、
　それぞれが前記対ノズル処置実行装置として機能する複数の対ノズル処置実行装置を備えた(21)項ないし(27)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様には、複数の処置実行装置として、同じ処置を実行する装置を複数備える態様も含まれ、互いに異なる処置を実行する装置を複数備える態様も含まれる。前者の態様によれば、その処置の実行能力の大きな管理機を実現することができ、また、後者の態様によれば、多機能な管理機を実現することができる。
　（３２）当該ノズル管理機が、前記複数の対ノズル処置実行装置の各々の動作が、他のものの動作に対して独立して行われるように構成された(31)項に記載のノズル管理機。
　管理機が、互いに異なる処置を実行する複数の処置実行装置を備える場合、例えば、それら複数の処置実行装置をノズルが順次渡って、それら複数の処置実行装置の各々による処置がそのノズルに対して実行されるように構成することも可能である。本態様は、そのような構成とは異なり、例えば、複数の処置実行装置が、それぞれ、別のノズルに対して、並行して処置を実行可能に構成された態様と考えることができる。本態様によれば、複数の処置を実行することが可能な管理機であっても、１つのノズルに対して、比較的短い時間でそれら複数の処置を実行することが可能である。
　（３３）当該ノズル管理機が、
　前記複数の対ノズル処置実行装置に対応して設けられ、それぞれが、１以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置から前記複数の対ノズル処置実行装置のうちの対応するものに移送するノズル移送装置として機能する複数のノズル移送装置を備えた(31)項または(32)項に記載のノズル管理機。
　本態様は、簡単に言えば、処置実行装置ごとに移送装置を備えた態様と考えることができる。先に説明した複数の処置実行装置が互いに独立して動作可能な態様において、特に有効である。
　（３４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットと、それら複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えており、
　前記複数のノズル移送装置の各々が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置であり、
　当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレット移送装置の各々が、その各々に対応して設定された設定位置に前記パレット移動装置によって移動させられた前記複数のパレットのうちの１つを、前記複数の対ノズル処置実行装置のうちの対応するものに移送するように構成された(33)項に記載のノズル管理機。
　本態様は、先の態様において、ノズルをパレットごと移送するように構成された態様である。詳しく言えば、本態様では、収容装置内に複数のステーションが設けられ、特定のステーションに位置するパレットが特定の処置実行装置に移送されると考えることができる。
≪ノズル移載装置≫
　電気部品装着機では、回路基板にいくつかの電気部品を装着する際、電気部品のサイズ等に応じて、使用するノズルを交換することがあり、多くの電気部品装着機では、交換可能ないくつかのノズルが、ノズルトレイ（以下、単に「トレイ」と言う場合がある）に載置された状態で、当該電気部品装着機に設けられたノズルステーションに配置される。以下のいくつかの態様は、このトレイ、詳しくは、そのトレイへのノズルの移載，そのトレイからのノズルの移載を行う対ノズル処置実行装置に関連した態様である。
　（４１）前記電気部品装着機が、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、
　前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載と、
　設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載と
　の少なくとも一方を実行するノズル移載装置を備えた(21)項ないし(34)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　上記「セッティング移載」は、例えば、電気部品装着機においてこれから使用されるノズルをトレイにセッティングするための移載であり、セッティング移載により、収容装置に収容されている複数のノズルのうちのいくつかのものがノズルトレイに配置される。一方、上記「収容移載」は、例えば、電気部品装着機において使用されていたノズルを、収容装置に収容するための移載であり、収容移載により、トレイに載置されている複数のノズルのうちの少なくとも一部が、トレイから取り除かれる。本態様によれば、電気部品装着機におけるノズルの準備，片付け等を効果的に支援可能な管理機が実現される。
　ちなみに、本態様に係るセッティング移載は、ノズル移載装置（以下、単に「移載装置」と言う場合がある）が、収容装置に収容されているノズルを収容装置から直にトレイに移載することのみを意味するものではなく、例えば、後に説明する移送装置によって収容装置から搬出されたノズルをトレイに移載することを含む概念である。同様に、本態様に係る収容移載は、トレイに載置されていたノズルを収容装置に直に収容することのみを意味するものではなく、移送装置によって収容装置に収容すべく、移載装置がトレイから移載することをも含む概念である。
　（４２）前記ノズル移載装置が、前記セッティング移載と前記収容移載との両方を実行するように構成された(41)項に記載のノズル管理機。
　本態様によれば、上記セッティング移載と上記収容移載との両方が可能とされていることで、より実用性の高い管理機が実現される。
　（４３）当該ノズル管理機が、１以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送するノズル移送装置を備えており、
　前記ノズル移載装置が、
　前記セッティング移載の際には、前記ノズル移送装置によって移送された吸着ノズルについての移載を実行するように構成された(41)項または(42)項に記載のノズル管理機。
　（４４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、かつ、前記ノズル移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するように構成されたパレット移送装置であり、
　前記ノズル移載装置が、
　前記セッティング移載の際には、前記パレット移送装置によって当該ノズル移載装置による移載が可能な位置まで移送された前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルについての移載を実行するように構成された(43)項に記載のノズル管理機。
　（４５）当該ノズル管理機が、１以上の吸着ノズルを前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送するノズル移送装置を備えており、
　前記ノズル移載装置が、
　前記収容移載の際には、前記ノズル移送装置を介して前記ノズル収容装置に収容するための移載を実行するように構成された(41)項ないし(44)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　（４６）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えており、かつ、前記ノズル移送装置が、前記複数のパレットのうちの１つを、前記対ノズル処置実行装置から前記ノズル収容装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するように構成されたパレット移送装置であり、
　前記ノズル移載装置が、
　前記収容移載の際には、前記パレット移送装置によって前記ノズル収容装置から当該ノズル移載装置による移載が可能な位置にまで移送された前記複数のパレットのうちの１つへの移載を実行するように構成された(45)項に記載のノズル管理機。
　上記４つの態様は、上述の移送装置に関連する態様であり、それら４つの態様では、移送装置によって収容装置から移送されたノズルのトレイへの移載と、トレイから移載されたノズルのノズル移送装置による収容装置への収容との少なくとも一方が行われる。なお、４つの態様のうちの２つでは、移送装置がパレットを移送することでノズルを移送するパレット移送装置とされており、トレイとパレットとの間で移載が行われる。
　（４７）吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
　前記ノズル移載装置が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有する(41)項ないし(46)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様おける「固有情報」には、例えば、典型的なものとして、ＩＤが含まれ、その他、品質に関する良否情報，能力の高さに関する情報等が広く含まれる。収容装置に収容されている複数のノズルの収容位置の把握、つまり、どの位置にどのノズルが収容されているかの把握において、ＩＤはきわめて有用な情報である。このＩＤを始めとする本態様によれば、固有情報を読み取り可能とされていることで、その固有情報を用いて、収容されているノズルの十分な管理が可能となる。その意味において、識別子の読取は、上述した収容移載の際に行われることが望ましい。ちなみに「識別子」は、バーコード，２Ｄコード（ＱＲコード（登録商標）等の二次元コード）等を採用することができ、「識別子読取器」は、バーコードリーダ，カメラ等の撮像装置等を採用することが可能である。
　（４８）前記ノズル移載装置が、吸着ノズルを保持するノズル保持具と、そのノズル保持具を移動させる保持具移動装置とを有する(41)項ないし(47)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様は、ノズル移載装置の具体的な構造に関する態様である。上記「ノズル保持具」は、チャック，クランプ等の離脱可能にノズルを保持するものを採用することができる。また、「保持具移動装置」は、いわゆるＸＹＺ型ロボットを始めとして、多関節型ロボット等、広く種々の移動装置を採用可能である。
　（４９）吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
　前記ノズル移載装置が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有し、その識別子読取器が前記ノズル保持具とともに前記保持具移動装置によって移動させられるように構成された(48)項に記載のノズル管理機。
　本態様によれば、ノズルの移載の際、そのノズルに付された識別子を容易に読み取ることが可能であり、利便性に優れた管理機が実現されることになる。
≪トレイ収容装置≫
　以下のいくつかの態様は、上述したノズルトレイの収容に関する態様である。
　（５１）当該ノズル管理機が、
　それぞれが前記ノズルトレイである複数のノズルトレイを収容可能なトレイ収容装置と、
　前記設定位置と前記トレイ収容装置との間を、１つのノズルトレイを移送するトレイ移送装置と
　を備えた(41)項ないし(49)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様の管理機は、上記トレイ収容装置とトレイ移送装置とを備えることで、トレイをも管理可能な管理機となり得る。例えば、上述の載置装置によるノズルの載置に関連して、トレイ移送装置によってトレイをトレイ収容装置に搬入，トレイ収容装置から搬出することで、利便性に優れた管理機が実現することになる。詳しく言えば、上述の収容移載の後、載置されていたノズルが取り除かれたトレイをトレイ収容装置に収容したり、トレイ収容装置に収容されていたトレイにセッティング移載を行ったりすることが可能となるのである。また、例えば、ノズルが載置されているトレイに不具合が発見されたような場合に、上記収容移載および上記セッティング移載を併用して、そのトレイを、不具合のないトレイに交換するといったことも可能である。
　（５２）前記トレイ収容装置が、１以上の吸着ノズルが載置されたノズルトレイを収容可能に構成された(51)項に記載のノズル管理機。
　本態様によれば、予めノズルがセッティングされたトレイをトレイ収容装置に収容しておくことができるため、電気部品装着機において必要なったとき、迅速に、ノズルがセッティングされたトレイを電気部品装着機に供給できる。
≪ノズル検査装置≫
　以下のいくつかの態様は、ノズルの検査を行う対ノズル処置実行装置に関連する態様である。なお、以下のいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に検査装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した検査装置の態様であっても請求可能発明の態様となり得る。
　（６１）当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備えた(21)項ないし(52)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、例えば、収容装置に収容された若しくは収容されるノズルに対して検査を行うことができるため、便利な管理機が実現されることになる。本態様では、ノズル検査装置（以下、単に「検査装置」と言う場合がある）が行う検査の項目については特に限定されないが、後に列挙する各種検査項目の検査を始め、種々の検査項目の検査を検査装置に行わせることが可能である。
　（６２）前記ノズル検査装置が、
　それぞれが検査項目において互いに異なる、(a)吸着ノズルを通過するエアの流量に関する検査である通過流量検査、(b)吸着ノズルに付されてその吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子の読取りに関する検査である識別子読取検査、(c)吸着ノズルの先端部の状態に関する検査である先端部状態検査、(d)吸着ノズルの先端部が付勢力に抗して後退可能とされている場合におけるその吸着ノズルの先端部の後退に要する力に関する検査である後退必要力検査の少なくとも１つを行うように構成された(61)項に記載のノズル管理機。
　本態様において列挙された４つの検査項目は、ノズルに対する基本的な検査項目である。個々に、詳しく説明すれば、「通過流量検査」は、ノズルを通過する空気の流量がどのぐらい確保されているかを調べる検査であり、主にノズルの詰まりを確認するための検査である。例えば、先端が開放されたノズルに基端側より圧縮空気を連続的に吹き込んだ状態において空気の流量を測定し、その測定された流量が設定された閾流量より小さくなっている場合に、ノズルに詰まりが生じていると判断すればよい。また、そのような手法に代えて、例えば、先端が開放されたノズルに基端側より圧縮空気を連続的に吹き込んだ状態において、その吹き込む空気の圧力を測定し、その圧力が設定された閾圧よりも高くなっている場合に、ノズルに詰まり等が生じていて充分な空気流量が確保されていないと判断してもよい。
　 「識別子読取検査」は、例えば、先に説明したノズルに設けられた識別子、詳しく言えば、フランジの上面に設けられた識別子が充分に読み取れるかどうかについて確認するための検査であり、その検査では、例えば、カメラ等の撮像装置等によって実際に識別子を撮像し、その撮像の結果からその識別子が示すべき固有情報が充分には取得できない場合に識別子不良と判断すればよい。
　「先端部状態検査」は、簡単に言えば、例えば、ノズルの先端部の曲り、先端の欠け，潰れといった形状的な欠陥の有無や、先端部への異物，汚れの付着等の有無について確認するための検査であり、その検査では、例えば、先端部を先端側からカメラ等の撮像装置によって撮像し、その撮像で得られた画像データを基にそれら曲り，欠け，潰れ，異物等の付着等の有無を判断すればよい。
　「後退必要力検査」は、ノズルの動作に関する検査である。ノズルは、一般に、電気部品を回路基板に載置する際のその電気部品に加わる衝撃を緩和するために、電気部品が吸着される先端部が、ノズル保持装置に保持される基端部に対して後退するように構成されている。つまり、ノズルの先端部が、ばね等による付勢力に抗って引っ込むようにされている。後退必要力検査は、例えば、この先端部の後退に要する力（以下、「後退必要力」と言う場合がある）が、後退必要力が過大である否かについて確認するための検査である。簡単に言えば、ノズルがスムーズに縮むことを確認するための検査と考えることができる。この検査では、例えば、基端部が支持されたノズルの先端部を基端部側に押し込み、ノズルの後退が開始される時点でのその押し込みに要する力を、ロードセル等の荷重センサで測定し、その力が設定された閾力を超えた場合に、そのノズルの動作に異常があると判断すればよい。
　後に説明するように、検査装置は、当該管理機に１つだけしか設けられなくてもよく、また、複数設けられてもよい。検査装置が複数設けられる場合に、それら複数の検査装置は、検査項目が同じであってもよく、互いに検査項目が異なっていてもよい。さらに、上記４つの検査項目についてさらに言及すれば、検査装置は、それら４つの検査項目のうちの１つのみを行うように構成されていてもよく。また、それら４つの検査項目のうちの２以上を行うように構成されていてもよい。２以上の検査項目についての検査を行うように構成すれば、当該管理機に設けるべき検査装置の数を少なくすることができる。
　（６３）前記ノズル検査装置が、少なくとも前記通過流量検査と前記識別子読取検査との両方を行うように構成された(62)項に記載のノズル管理機。
　先に説明したように、通過流量検査および識別子読取検査は、ともに、ノズルの基端部側で行われる。言い換えれば、２つの検査は、同じ方向から行われ、いずれの検査においても、検査を行うための主要構成要素がノズルの基端部側に存在する空間に配置される。したがって、本態様における検査装置は、比較的簡単な構成によって、上記２つの検査項目の検査を行うことが可能である。具体的に言えば、例えば、上記２つの検査にそれぞれ対応した２つの上記主要構成要素を、１つの移動装置によって移動させることで、構成が簡単なものとなるのである。
　（６４）前記ノズル検査装置が、少なくとも前記先端部状態検査と前記後退必要力検査との両方を行うように構成された(62)項または(63)項に記載のノズル管理機。
　先の態様と異なり、先端部状態検査および後退必要力検査は、検査がノズルの先端部側で行われる。言い換えれば、２つの検査は、同じ方向から行われ、いずれの検査においても、検査を行うための主要構成要素がノズルの先端部側に存在する空間に配置される。したがって、本態様における検査装置は、比較的簡単な構成によって、上記２つの検査項目の検査を行うことが可能である。具体的に言えば、例えば、上記２つの検査にそれぞれ対応した２つの上記主要構成要素を、１つの移動装置によって移動させることで、構成が簡単なものとなるのである。
　（６５）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
　当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
　前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成された(61)項ないし(64)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、検査装置による検査が、パレットにノズルを載置したままで行われる。極端に言えば、ノズルが収容装置内において収容されているのと同じ状態で、ノズルの検査が行われる。したがって、収容装置に収容されているノズルを、簡便に検査することが可能である。
　（６６）当該ノズル管理機が、
　それぞれが前記ノズル検査装置として機能し、互いに検査項目が異なる複数のノズル検査装置を備えた(61)項ないし(65)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本項の態様によれば、多くの検査項目の検査が実行可能な管理機、つまり、充分な検査を実行可能な管理機が実現される。
≪検査における基準対象≫
　以下のいくつかの態様は、検査の方法に関する限定、詳しくは、検査の基準に関する限定を加えた態様である。
　（７１）前記ノズル検査装置による検査において参照される基準対象が設けられた(61)項ないし(65)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、基準対象を参照して検査を行えるため、その検査の適正化が図れることになる。なお、基準対象の参照は、例えば、検査の実施の都度に行われてもよく、定期的に行われてもよい。検査の実施の都度に行われる場合、実際のノズルの検査の前に行われてもよく、後に行われてもよい。また、何らかの条件が変化した場合にのみ行なわれてもよい。さらに、実際のノズルの検査において不具合のあるノズル（以下、「不良ノズル」と言う場合がある）であると判断されたときにのみ行われてもよい。つまり、基準対象の利用目的等に応じ、参照のタイミングは、適切に設定すればよいのである。なお、本態様では、基準対象の配設場所についても限定されない。後に説明するようにパレットに付設されてよく、検査装置の領域内において管理機の躯体等に、固定的に若しくは着脱可能に付設されてもよい。
　（７２）前記参照対象物が、前記ノズル検査装置による検査の基準の設定と、前記ノズル検査装置の校正若しくは検定との少なくとも一方に利用されるものである(71)項に記載のノズル管理機。
　本態様は、上記基準対象の利用目的についての限定を加えた態様である。上記「ノズル検査装置による検査の基準の設定」には、例えば、検査されるノズルが不良ノズルであるかどうかの判断の基準を設定することが含まれる。具体的には、例えば、上述した通過流量検査において送り込む圧縮空気の圧力、つまり、コンプレッサの出力圧（以下、「元圧」と言う場合がある）によって、測定する空気の流量（ノズルの基端側の圧力を測定する場合はその圧力）が変化する。不良ノズルであるかどうかの判断がこの元圧の変化に依存しないように、予め基準対象にて、測定する空気の流量に対する閾流量（ノズルの基端側の圧力を測定する場合には、その圧力に対する閾圧）を設定することが望ましい。例えば、この閾流量（閾圧）の設定が、上記検査の基準の設定に該当する。上記「ノズル検査装置の校正」は、例えば、検査装置による検査の検査条件，検査装置の動作等の適正化が含まれる。具体的には、例えば、上述した識別子読取検査若しくは先端部状態検査等においてはカメラ等の撮像装置が使用される。この撮像装置のピント調整を基準対象で行い、そのピントの調整の後、実際のノズルの撮像を行うことが可能である。そのピントの調整が、ノズル検査装置の校正に該当する。上記「ノズル検査装置の検定」には、例えば、検査装置自体が適正であるかどうかを確認することが含まれる。具体的には、例えば、上述した後退必要力検査において、適正な力が測定されるはずの基準対象を検査装置にて検査し、その測定した力が適正な力でなかった場合に、検査装置自体に不具合があると判断することが可能である。この判断が、検査装置の検定に該当する。
　（７３）前記基準対象が、それを前記ノズル検査装置によって検査したときに通常良好な検査結果が得られるように構成された(71)項または(72)項に記載されたノズル管理機。
　本態様によれば、基準対象を、上述したノズル検査装置による検査の基準の設定、ノズル検査装置の校正、および、ノズル検査装置の検定に、好適に利用することが可能である。
　（７４）前記基準対象が、吸着ノズルの一部分を模した模擬物である(71)項ないし(73)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様における上記「模擬物」は、具体的には、例えば、ノズルの先端部のみ，先端部およびその先端部が後退する機構のみ，フランジに付された識別子のみ等を、模して作成されたもの等が相当する。基準対象として、検査項目に応じて、適正な部分の模擬物を作成すればよく、その模擬物の作成は、比較的簡単に行うことができる。
　（７５）前記基準対象が、実際の吸着ノズルである(71)項ないし(73)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様は、簡単に言えば、基準ノズルを基準対象として用いる態様である。本態様によれば、敢えて、なんらの基準対象別途を作成せずして、簡便に基準対象設けることが可能である。
　（７６）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
　当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、
　前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成され、かつ、
　前記複数のパレットのうちの少なくとも１つに、前記基準対象が設けられた(71)項ないし(75)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様では、基準対象がパレットに載置されていてもよく、また、パレットに付設されてもよい。前者は、特に、基準対象が実際のノズルである場合に有効であり、後者は、基準対象が上記模擬物である場合に有効である。本態様によれば、検査の対象となるノズルの傍に基準対象が設けられているため、その基準対象を充分に活用することが可能となる。
≪不良ノズルに対する処置≫
　以下のいくつかの態様は、上記検査装置による検査の結果、不良ノズルと判断された場合におけるその不良ノズルの処置に関連する態様である。
　（８１）当該ノズル管理機が、
　前記ノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器を備えた(61)項ないし(76)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　検査によって不良ノズルと判断された場合、その不良ノズルは、廃棄，修理等のために当該管理機から取り出されることが望ましい。本態様では、不良ノズルは、上記不良ノズル留置器（以下、単に「留置器」と言う場合がある）に留置される。したがって、本態様によれば、不良ノズルを他の良好なノズルと確実に区別することができるため、間違いなく当該管理機からの取り出しができることになる。なお、その取り出しの利便性を考慮すれば、留置器は、取り出しに容易な箇所に配設されることが望ましく、また、留置器ごと不良ノズルを出すことができるように、当該管理機から取り外し可能なものとされることが望ましい。
　（８２）前記不良ノズル留置器が、
　それぞれに、不良と判断された検査項目において互いに異なる不良ノズルを留置するための複数の留置部を有する(81)項に記載のノズル管理機。
　本態様によれば、複数の留置部によって、不良ノズルが、不良された検査項目ごとに仕分けされるため、当該管理機のオペレータが、不良ノズルの不良要因を容易に認識でき、後の修理等の利便性の向上に繋がる。
　（８３）当該ノズル管理機が、
　不良ノズルを前記不良ノズル留置器にまで運搬する不良ノズル運搬装置を有する(81)項または(82)項に記載のノズル管理機。
　（８４）前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、
　前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載を実行するノズル移載装置を備え、
　そのノズル移載装置が、前記ノズル収容装置に収容されている前記不良ノズルを前記不良ノズル留置器にまで運ぶように構成されていることで、前記不良ノズル運搬装置として機能する(83)項に記載のノズル管理機。
　上記２つの態様は、不良ノズル運搬する装置に関する態様である。後者の態様は、その不良ノズルを、上述した移載装置を利用して不良ノズルを留置器にまで運搬する態様である。後者の態様によれば、不良ノズルを一旦収容装置に収容し、その収容された不良ノズルを、検査装置の作動とは関係なく、留置器に運搬することが可能となる。また、移載装置によるセッティング移載のついでに、不良ノズルの留置器までの運搬を行うようにすれば、わざわざ、当該管理機に対して、不良ノズルの運搬だけのための作業時間を設ける必要がなくなる。なお、移載装置に不良ノズルの運搬をさせる場合には、留置器が、その移載装置の動作の範囲内において配設されることが望ましい。
≪ノズル洗浄装置，ノズル乾燥装置≫
　以下のいくつかの態様は、ノズル洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」と言う場合がある）に関する態様である。なお、以下のいくつかの態様は、管理機をカテゴリとする態様ではなく、単に洗浄装置をカテゴリとする態様に変更したとしても、つまり、管理機の他の構成要素から独立した洗浄装置の態様であっても請求可能発明の態様となり得る。
　（９１）当該ノズル管理機が、前記対ノズル処置実行装置として、吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置を備えた(21)項ないし(84)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　ノズルは、詰まりの解消，汚れの除去等の目的で洗浄されることが望ましい。本態様によれば、ノズルの洗浄までも行うことができるため、相当に実用性の高い管理機が実現されることになる。なお、本態様において、洗浄装置は、それによる洗浄の方法が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の洗浄方法を採用することが可能である。
　（９２）前記ノズル洗浄装置が、吸着ノズルの先端側と基端側との両方から、その吸着ノズルに向かって水を噴射して洗浄を行うように構成された(91)項に記載のノズル管理機。
　電気部品装着機に使用されるノズルに関して言えば、従来の洗浄装置の多くは、ノズル若しくはそれの一部分を水に浸漬することによって行っていた。本態様によれば、洗浄装置は、ノズルを水に浸漬するのではなく、水を噴射させて洗浄を行うようにされており、また、洗浄装置は、ノズルの主要な部分の殆どに水を噴射するように構成されているため、ノズルの洗浄が充分に行えることになる。
　（９３）前記ノズル洗浄装置が、高圧の水を吸着ノズルに向かって噴射して洗浄を行うように構成された(91)項または(92)項に記載のノズル管理機。
　従来の水を噴射する方法によるノズルの洗浄装置では、いわゆる２流体ノズルを使用して水を噴射するように構成されていた。つまり、圧縮空気の力によって水を細粒化して噴射するように構成されていたのである。本態様における洗浄装置では、水を直接的にノズルに当てるため、本態様によれば、洗浄能力の高い洗浄装置が実現される。本態様の洗浄装置は、例えば、水をポンプ等によって直接加圧し、その加圧された水をノズルに向かって噴射するように構成すればよい。
　（９４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
　当該ノズル管理機が、
　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル洗浄装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
　前記ノズル洗浄装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で洗浄を行うように構成された(91)項ないし(93)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　（９５）当該ノズル管理機が、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルの乾燥を行うノズル乾燥装置を備えた(91)項ないし(94)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、洗浄装置によって洗浄されたノズルがノズル乾燥装置（以下、単に「乾燥装置」という場合がある）によって乾燥されるため、例えば、乾燥の直後にノズルが収容装置内に収容されたとしても、そのノズルを、ある程度充分に乾燥した状態で収容することが可能となる。また、洗浄後、それほど間を置かずに使用することも可能となる。なお、本態様における乾燥装置は、それが採用する乾燥手段が特に限定されるものではなく、既に公知の種々の乾燥手段を採用することが可能である。
　（９６）前記ノズル乾燥装置が、エアブローによって吸着ノズルの乾燥を行うように構成された(95)項に記載のノズル管理機。
　本態様のように、乾燥装置が乾燥手段としてエアブローを採用すれば、ノズルに付着した水を、エアの圧力によって吹き飛ばすことができるため、相当に短い時間で、ノズルを乾燥させることが可能となる。なお、ブローされるエアは、冷風であっても温風であってもよいが、乾燥時間を短くするという観点からは、ある程度温度の高いエアであることが望ましい。
　（９７）当該ノズル管理機が、
　１以上の吸着ノズルを、前記ノズル収容装置から前記ノズル洗浄装置に移送するとともに、そのノズル洗浄装置に移送した１以上の吸着ノズルを前記ノズル収容装置に移送するノズル移送装置を備えており、
　前記ノズル乾燥装置が、前記ノズル移送装置によってノズル洗浄装置からノズル収容装置に移送される途中の１以上の吸着ノズルに対して、乾燥を行うように構成された(95)項または(96)項に記載のノズル管理機。
　本態様によれば、洗浄装置による洗浄が終了して収容装置に返送されるノズルに対して、乾燥が施されることになる。したがって、洗浄装置による洗浄後、早い時点において、充分に乾燥させられたノズルが収容装置に収容されることになる。移送する時間に乾燥が行えるため、当該管理機の時間的なロスを少なくすることができるのである。なお、本態様における乾燥装置は、移送装置による移送の途中でのみノズルを乾燥するような構成のものに限定されない。例えば、洗浄装置内においても洗浄後に乾燥を施し、洗浄装置外において、移送装置による移送の最中にも乾燥を施すような乾燥装置であってもよい。
≪制御装置による制御≫
　以下のいくつかの態様は、当該管理機の制御に関する態様である。言い換えれば、当該管理機の運用方法に関する態様である。
　（１０１）当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備えた(1)項ないし(97)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様は、制御に関する基本的態様であり、制御装置は、管理機の運用を主体的に実行する構成要素である。制御装置は、例えば、コンピュータを主要構成要素として構成されるようなものであってもよい。
　（１０２）前記制御装置が、
　前記ノズル収容装置に収容されている複数の吸着ノズルの各々の固有情報が、その各々の前記ノズル収容装置における収容位置に関連付けて記憶されるノズル情報記憶部を有する(101)項に記載のノズル管理機。
　本態様によれば、収容装置内のどの収容位置にどのようなノズルが収容されているかが把握できることから、収容されているノズルを適切に管理することが可能となる。なお、固有情報は、先に説明したようにＩＤ情報を含み、このノズルのＩＤ情報を記憶することにより、個々のノズルについての充分なる管理を行うことが可能である。
　（１０３）吸着ノズルには、当該吸着ノズルの固有情報を認識するための識別子が付されており、
　当該ノズル管理機が、その識別子を読み取るための識別子読取器を有し、
　前記ノズル情報記憶部が、その識別子読取器による読取によって取得された吸着ノズルの固有情報を記憶するように構成された(102)項に記載のノズル管理機。
　先に説明したように、識別子読取器によれば、個々のノズルの固有情報を容易に取得することが可能である。したがって、本態様によれば、収容されているノズルの管理を、取得された固有情報に基づいて、容易に行うことが可能である。なお、識別子読取器は、先に説明したように、移載装置に設けられていてもよい。その場合、上述のセッティング移載と収容移載との少なくとも一方を実行する際に、移載されるノズルの固有情報を取得することが可能となる。
　（１０４）前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えるとともに、それら複数のパレットの各々が、それぞれに１つの吸着ノズルが載置される複数の載置部を有しており、
　前記ノズル情報記憶部が、前記複数のパレットのうちのいずれのものの前記複数の載置部のいずれに載置されているかを前記収容位置として扱うように構成された(102)項または(103)項に記載のノズル管理機。
　本態様は、収容装置が上述のパレットを有する場合に好適な態様である。本態様によれば、どのパレットのどの位置にどんなノズルが収容されているかが把握でき、収容されているノズルの管理をより適切に行うことが可能となる。
　（１０５）前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　当該ノズル管理機が、
　設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載を実行するノズル移載装置を有し、
　前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に、その移載された吸着ノズルの固有情報を、その吸着ノズルの収容位置に関連付けて記憶させるノズル収容制御部を有する(102)項ないし(104)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、上述した収容移載の際、つまり、ノズルをトレイから移載して収容装置にノズルを収容する際に、そのノズルの固有情報をそのノズルの収容装置内における収容位置に関連付けて記憶される。そのため、本態様によれば、収容装置に収容されているノズルの管理を適切に行うことができる。
　（１０６）前記電気部品装着機は、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
　当該ノズル管理機が、
　前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載を実行するノズル移載装置を備え、
　前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、前記設定位置に位置するノズルトレイに、そのノズルトレイに載置すべき吸着ノズルを移載させるノズルセッティング制御部を有する(102)項ないし(105)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、上述したセッティング移載の際、つまり、収容装置に収容されていたノズルをトレイにセッティングする際、記憶されている固有情報を利用して、そのノズルがトレイに配置される。したがって、本態様によれば、トレイに載置すべきノズルについての情報に基づくことにより、確実に適正なノズルをそのトレイに配置することができる。
　（１０７）前記ノズル移載装置が、
　設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載と、前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載とを実行するように構成されており、
　前記制御装置が、
　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、その移載させられた吸着ノズルと同じ型式の前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるノズル再セッティング制御部を有する(102)項ないし(106)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様は、簡単に言えば、固有情報を利用して、上記収容移載と上記セッティング移載とを行うことが可能な態様である。本態様において、収容移載においてノズルが載置されていたトレイと、セッティング移載においてノズルが載置されるトレイとは、同じものであってもよく、同じ形式の別のものであってもよい。また、収容移載において移載されるノズルと、セッティング移載において移載されるノズルとは、同じものであってもよく、同形式の別のものであってもよい。例えば、同じトレイに別のノズルを載置するようにされている態様は、ノズルの交換に好適である。そして固有情報に基づくことにより、ノズルが載置されたトレイを上記設定位置に位置させるだけで、そのトレイ対して、載置されていたノズルを、同じ形式のノズルに自動的に交換することが可能となる。また、例えば、別のトレイに同じノズルを載置するようにされている態様では、トレイの交換に好適である。そしてトレイの固有情報に基づくことにより、ノズルが載置されたトレイを上記設定位置に位置させるだけで、そのトレイとは同形式の別のトレイに、自動的に、載置されていたノズルを再び載置することが可能となる。後者の態様は、先に説明したトレイ収容装置およびトレイ移送装置を備えた管理機に、特に、好適である。
　（１０８）前記ノズル再セッティング制御部が、
　前記移載させられた吸着ノズルに代えて、別の吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるように構成された(107)項に記載のノズル管理機。
　本態様は、先に説明したノズルの交換に好適な態様である。先に説明したように、収容移載およびセッティング移載を、同じトレイに対して行うことで、ノズルだけが交換されることになる。
　（１０９）当該ノズル管理機が、
　それぞれが前記ノズルトレイである複数のノズルトレイを収容可能なトレイ収容装置と、
　設定位置と前記トレイ収容装置との間を、１つのノズルトレイを移送するトレイ移送装置と
　を備えており、
　前記制御装置が、
　ノズルトレイに不具合が生じていると判断された場合に、前記トレイ移送装置を制御することによって、そのノズルトレイを、前記トレイ収容装置に収容されているノズルトレイと交換させるトレイ交換制御部を有する(105)項ないし(108)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　トレイは、例えば、ノズルのトレイからの離脱を防止するため、いわゆるシャッター機構と呼ばれる離脱防止機構が設けられる。また、トレイを個別に管理するため、トレイには、固有情報を認識するための識別子が設けられる場合がある。あるトレイにおいて、離脱防止機構の動作に関する不具合が生じていたり、識別子の読み取りが困難になっている場合には、そのトレイは、不良トレイと認定される。本態様は、その不良トレイを良好なトレイに交換する場合に好適な態様である。なお、本態様に、先に説明した移載装置による収容移載およびセッティング移載を組み合わせることで、ノズルが載置されているトレイを、同じ若しくは別のノズルが載置された別のトレイに変更することが可能である。
　（１１０）当該ノズル管理機が、
　吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置と、そのノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器と、不良ノズルをその不良ノズル留置器にまで運搬する不良ノズル運搬装置とを備え、
　前記不良ノズル留置器が、それぞれに、不良と判断された検査項目において互いに異なる不良ノズルを留置するための複数の留置部を有し、
　前記制御装置が、
　前記不良ノズル運搬装置を制御することによって、不良ノズルを、その不良ノズルについて不良と判断された検査項目に対応する前記複数の留置部のうちの１つにまで運搬させる不良ノズル運搬制御部を有する(101)項ないし(109)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様によれば、先に説明したように、当該管理機に、不良ノズルを、それが不良と判断された査項目ごとに別の個所に留置するための動作を行わせることができる。
　（１１１）当該ノズル管理機が、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備え、かつ、当該ノズル管理機に、そのノズル検査装置による検査において参照されるとともに通常良好な検査結果が得られるように構成された基準対象が設けられており、
　前記制御装置が、
　前記ノズル検査装置による吸着ノズルの検査結果が不良となり、かつ、前記基準対象の検査結果が良好であることを条件として、その吸着ノズルを不良ノズルと判断する基準対象参照不良ノズル判断部を有する(101)項ないし(110)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様は、先に説明した基準対象を利用した検査を実行するための制御に関する一態様である。本態様では、先に説明した検査装置の検定が行われると考えてもよい。つまり、本態様では、基準対象の検査が良好である場合に検査装置の機能に問題ないと認定し、その認定を前提として、ノズルの検査を行う若しくは行ったノズルの検査の結果を採用するのである。したがって、本態様によれば、検査装置による検査の信頼性の高いものとなる。例えば、本態様は、あるノズルに対する検査結果が良好ではない場合、上記基準対象の検査を行い、その基準対象の検査において良好な結果が得られたときに、当該検査装置は良好に動作してると認定し、その認定に基づいて、そのノズルが不良ノズルであると判断するような態様であってもよい。なお、本態様では、基準対象の検査において良好な結果が得られなかったときには、検査装置自体に異常があると判断し、そのノズルに対する検査結果を採用しない、若しくは、その後のノズルの検査を実行しないようにすることも可能である。
　（１１２）当該ノズル管理機が、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備え、かつ、当該ノズル管理機に、そのノズル検査装置による検査において参照される基準対象が設けられており、
　前記制御装置が、
　吸着ノズルの検査に先立って、前記基準対象を利用して、前記ノズル検査装置による検査の基準の設定と、前記ノズル検査装置の校正との少なくとも一方を、準備処理として行う基準対象依拠検査準備処理部を有する(101)項ないし(111)項のいずれか１つに記載のノズル管理機。
　本態様は、先に説明した基準対象を利用した検査を実行するための制御に関する別の一態様である。本態様によれば、検査装置によって、信頼性の高い検査が実行されることになる。
実施例のノズル管理機の管理対象となる吸着ノズルが使用される電気部品装着機を示す斜視図である。 代表的な吸着ノズルを示す斜視図である。 電気部品装着機において吸着ノズルが載置されるノズルトレイを示す図である。 実施例のノズル管理機の外観を示す斜視図である。 ノズル管理機の内部構造を示す斜視図である。 ノズル管理機の内部構造を別の視点で示す斜視図である。 ノズル管理機が備えるノズル移載装置を説明するための斜視図である。 ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置を説明するための斜視図である。 ノズル管理機が備える第２ノズル検査装置を説明するための斜視図である。 ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を説明するための斜視図である。 図１０に示すノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置を、ハウジングを取り除いた状態で示す斜視図である。 ノズル管理機が備えるノズル収容装置において、吸着ノズルが載置されるノズルパレットを示す図である。 ノズル管理機の管理するいくつかの吸着ノズルを示す図である。 載置穴に吸着ノズルが載置された状態、および、採用可能な別の載置穴を示すノズルパレットの一部の断面図である。 ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置による先端部状態検査を説明するための模式図である。 ノズル管理機が備える第１ノズル検査装置による後退必要力検査を説明するための模式図である。 ノズル管理機が備える第２ノズル検査装置による通過流量検査および識別子読取検査を説明するための模式図である。 ノズル管理機が備えるノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置による吸着ノズルの洗浄および乾燥を説明するための模式図である。 ノズル管理機の制御装置が記憶している収容ノズル情報を模式的に示すテーブルである。 ノズル管理機の制御装置が記憶している収容トレイ情報を模式的に示すテーブルである。 ノズル管理機の制御装置が吸着ノズルのノズルトレイへのセッティングの際に利用するノズルセッティング情報を模式的に示すテーブルである。 ノズル管理機がノズル収容オペレーションを行うために実行されるノズル収容プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズルセッティングオペレーションを行うために実行されるノズルセッティングプログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの前半部分を示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズル再セッティングオペレーションを行うために実行されるノズル再セッティングプログラムの後半部分を示すフローチャートである。 ノズル管理機がノズル洗浄オペレーションを行うために実行されるノズル洗浄プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機が第１ノズル検査オペレーションを行うために実行される第１ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機が第２ノズル検査オペレーションを行うために実行される第２ノズル検査プログラムを示すフローチャートである。 ノズル管理機が備える制御装置の機能構成を示すブロック図である。
　以下、請求可能発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。また、〔発明の態様〕の各項の説明に記載されている技術的事項を利用して、下記の実施例の変形例を構成することも可能である。
　実施例のノズル管理機は、電気部品装着機に使用されている吸着ノズルを管理の対象とする。その吸着ノズルは、回路基板への電気部品の装着において、自身に供給される負圧によって、電気部品を吸着保持する部品保持具である。実施例のノズル管理機の説明を行う前に、電気部品装着機および吸着ノズルについて簡単に説明し、その後に、実施例のノズル管理機について、ノズル管理機の全体構成，ノズル管理機を構成する各装置，ノズル管理機が行ういくつかのオペレーション，それらのオペレーションに関連した制御装置の機能構成を、順次説明する。なお、以下の説明において、「ノズル管理機」，「電気部品装着機」，「吸着ノズル」，「回路基板」，「電気部品」は、それぞれ、単に「管理機」，「装着機」，「ノズル」，「基板」，「部品」と呼ぶ場合があることとする。
［Ａ］電気部品装着機および吸着ノズル
　管理機による管理の対象となる吸着ノズルが使用されている電子部品装着機を、図１に、一例として、示す。図では、同じ構造の２台の装着機１０が、ベース１２に並設されている（図では、手前側のものの外装パネルが取り除かれている）。装着機１０は、基板Ｓを搬送するとともに設定位置に固定するコンベア型の基板搬送装置１４と、それぞれが部品Ｐを供給する複数のフィーダ型の部品供給装置１６と、それら部品供給装置１６から供給される部品Ｐを固定された基板Ｓに装着するための装着ヘッド１８と、その装着ヘッド１８を部品供給装置１６と固定された基板Ｓとの間で移動させるヘッド移動装置２０とを含んで構成されている。装着ヘッド１８は、下端部に吸着ノズルＮが取り付けられた動作軸２２と、その動作軸２２を昇降および回転させる動作軸昇降回転装置（図示を省略）とを含んで構成されている。ちなみに、図に示す装着ヘッド１８は、インデックス型の装着ヘッドであり、動作軸２２は、複数のノズルＮを取り付け可能とされている。部品供給装置１６から供給される部品Ｐは、ノズルＮの先端（下端）において吸着保持され、保持された部品Ｐは、装着ヘッド１８が基板Ｓの上方に移動させられた後、ノズルＮによる吸着保持が解除されることで、基板Ｓ上に装着される。ちなみに、部品Ｐを基板Ｓ上の適正位置に適正な姿勢で装着するため、その部品Ｐは、ノズルＮに吸着保持された状態で、当該装着機１０に設けられた部品カメラ２２によって下方から撮像され、撮像によって得られた保持位置および保持姿勢のデータが、装着の際に利用される。
　上記ノズルＮが、管理機の管理対象であり、そのノズルＮは、図２に示すようなものである。図２（ａ）は、ノズルＮを、斜め上方から見た図であり，図２（ｂ）は斜め下方から見た図である。それらの図から解るように、ノズルＮは、筒状をなして当該ノズルＮの本体部として機能する胴体筒３０と、胴体筒３０から下方に延び出す吸着管３２と、胴体筒３０の周囲に張り出すようにして同体筒３０に固定されたフランジ３４とを有する。胴体筒３０の上端部が、当該ノズルＮの基端部として機能し、その上端部において、上記動作軸に保持される。吸着管３２は、当該ノズルの先端部として機能し、比較的細いパイプ状のものとされている。胴体筒３０には、２本の掛止ピン３６が延設されおり、それら掛止ピン３６を利用して、ノズルＮは、動作軸２２に取り付けられる。掛止ピン３６を利用したノズルＮの取付は一般的な手法であり、ここでの説明は省略するともに、他の図において省略する。
　吸着管３２には、装着ヘッド１８から、胴体筒３０介して正圧および負圧が選択的に供給される。負圧の供給により、吸着管３２の先端（下端）に部品Ｐが吸着保持され、正圧の供給により、吸着保持された部品Ｐが吸着管３２から離脱させられる。図では内部構造を省略するが、吸着管３２は、胴体筒３０に対して進退可能とされている。詳しく言えば、部品Ｐの基板Ｓへの装着の際に部品Ｐに加わる衝撃を緩和するため、ノズルＮの先端部は、胴体筒３０から進出する方向にばねの力により付勢されており、その付勢力を超えた力が加わった場合に、後退可能に、つまり、胴体筒３０に対して引き込み可能とされている。なお、フランジ３４は、上述した部品カメラ２２による部品Ｐの撮像の際、その撮像が鮮明に行われるための背面形成部材として機能するものであり、ノズルＮの最も外径の大きな部分となっている。フランジ３４の上面には、当該ノズルＮの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード３８が付されている。この２Ｄコード３８は、固有情報の一種としての当該ノズルＮのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、ノズルＮの個別管理のために使用される。
　図では、一種類のものしか示していないが、ノズルＮは、サイズおよび形状において互いに異なる複数種のものが存在し、本装着機１０でも、サイズにおいて異なるいくつかの種類のノズルＮを動作軸１６に取り付け可能となっており、本装着機１０では、吸着保持する部品Ｐに応じて、それらいくつかの種類のノズルを、自動で交換可能とされている。ちなみに、製造する電気回路（基板Ｓに部品Ｐが装着されたもの）に応じて使用されるノズルＮは異なる。また、装着機１０において使用される複数のノズルＮは、部品供給装置１６の傍らにおいて装着機１０に設けられたノズルステーション５０に、ノズルトレイＮＴに載置された状態で配置されている。
　ノズルトレイ（以下、単に「トレイ」と言う場合がある）ＮＴは、ノズルＮを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図３に示すように、概して板状をなしている。詳しく言えば、トレイＮＴは、ベースプレート６０と、ベースプレート６０の上面を覆うカバープレート６２とを含んで構成されており、カバープレート６２は、ベースプレート６０に対してある程度の範囲で摺動可能とされている。図３（ａ）は、カバープレート６２がベースプレート６０に対してズレた状態を示しており、図３（ｂ）は、カバープレート６２がベースプレート６０にちょうど重なった状態を示している。カバープレート６２はそれら２つの状態の各々における位置の間で摺動可能とされている。
　断面図である図３（ｃ）およびノズルＮが載置された状態を示す部分断面図である図３（ｄ）をも参照して説明すれば、ベースプレート６０には、それぞれが載置部を構成する１２の載置穴６４が設けられている。詳しく言えば、本トレイＮＴには、互いにサイズの異なる２種のノズルＮを載置することができ、大きなサイズのノズルＮを載置するための４つの載置穴６４と、小さなサイズのノズルＮを載置するための４つの載置穴６４とが設けられている。載置穴６４は、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、段差面６６が、ノズルＮのフランジ３４が載置される面とされている。ベースプレート６０の上面における載置穴６４の内径、つまり、最大内径は、フランジの３４の外径よりも僅かに大きくされており、載置穴６４は、ノズルＮの径方向の変位（ズレ）をフランジ３４の外周において規制するように構成されている。また、段差面までの深さは、載置穴６４に載置されたノズルＮのフランジ３４がカバーブレート６２に干渉しない深さとされている。ちなみに、図に示すノズルＮは、段差面までの深さより薄いフランジ３４を有しており、そのノズルＮは、載置穴６４に載置された状態において、フランジ３４の上面が、トレイＮＴのベースプレート６０の上面より突出することはない。図２から解るように、フランジに３４は外周にノッチ６８が設けられており、そのノッチ６８は、段差面６６に立設された短いピン６９と係合する。それらノッチ６８およびピン６９により、ノズルＮは特定の向きにしか載置できないようになっており、また、トレイＮＴに載置された状態におけるノズルＮの回転が防止されている。
　一方、カバープレート６２にも、ベースプレート６０の載置穴６４に対応して、抜穴７０が設けられている。この抜穴７０は、円形をした円穴部７２とその円穴部７２の一方側から延び出すスロット部７４とからなっている。各円穴部７２の内径は、対応する載置穴６４の最大内径と略等しくされている。スロット部７４の幅は、対応する載置穴６４に載置されるノズルＮの胴体筒３０の外径よりもある程度大きくされている。図３（ｂ）に示す状態では、各載置穴６４の中心と対応する抜穴７０の円穴部７２の中心が一致しており、載置穴６４の全体が上方から覗き見れる。一方、図３（ａ）に示す状態では、各載置穴６４の中心と対応する抜穴７０のスロット部７４の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴６４は、上方からは一部しか覗き見れない。２つの状態は、そのような状態であるため、以下、便宜的に、図３（ｂ）の状態を「載置穴開状態」、図３（ａ）の状態を「載置穴閉状態」と言うことにする。
　載置穴開状態では、ノズルＮの載置穴６４への載置、載置穴６４からの離脱を行うことができる。一方、ノズルＮが載置穴６４に載置されている場合に載置穴閉状態とすることで、ノズルＮの胴体筒３０が抜穴７０のスロット部７４を挿通しつつ、フランジ３４の上面の多くの部分が、カバープレート６２によって蓋われる状態となる。この状態において、ノズルＮは、載置穴６４からの離脱が防止される。このノズルＮの離脱防止に関して言えば、トレイＮＴには、カバープレート６２含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。
　カバープレート６２は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート６２を摺動させることで、載置穴開状態となる。この摺動は、図示を省略するところの、ノズルステーション５０に配設されたカバー摺動機構によって行われる。装着ヘッド１８の動作軸へのノズルＮの取り付け，動作軸からのノズルＮを取り外し，取り付いているノズルＮの別のノズルＮへの交換は、装着機１０の制御装置によるカバー摺動機構の制御によって載置穴開状態が実現されて、行われる。
　トレイＮＴは、ノズルステーション５０に着脱可能とされており、例えば、ある電気回路の製造を開始するにあたって、予めノズルＮが載置されたトレイＮＴをノズルステーション５０にセットすることができ、また、例えば、ある電気回路の製造を終了するにあたって、使用していたノズルＮをトレイＮＴごとノズルステーション５０から外すことができる。したがって、トレイＮＴは、装着機１０の段取り替え等の迅速化に大きく貢献している。なお、本トレイＮＴでは、ベースプレート６０の１つのコーナに、当該トレイＮＴの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード７６が付されている。この２Ｄコード７６は、固有情報の一種としての当該トレイＮＴのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、トレイＮＴの個別管理に利用される。
　なお、以上説明した吸着ノズルＮおよびトレイＮＴは、上記装着機１０に使用されるものである。以下に示す実施例の管理機は、上記装着機１０に使用されるノズルＮだけを対象とするものではなく、他の装着機に使用されるノズルＮをも対象とする。また、上記トレイＮＴは、装着機１０で使用されるトレイＮＴの一例であり、装着機１０は、種類において異なる他のトレイＮＴをも使用可能である。さらに、装着機によって、使用されるトレイＮＴも異なる。後に説明するが、実施例の管理機は、他のトレイＮＴに載置された若しくは載置されるノズルＮをも管理の対象とする。
［Ｂ］ノズル管理機の全体構成
　図４に外観を示すように、実施例の管理機８０は、概して直方体形状をなし、比較的コンパクトなサイズのものとなっている。当該管理機８０の正面（図における左側の面）には、後に詳しく説明する引出８２が設けられている。また、正面上部には、当該管理機８０の制御装置としてのコントローラ８４が付設されている。コントローラ８４は、コンピュータを主要構成要素として構成されるものであり、ディスプレイ８６，操作キー８８，スイッチ９０等の入出力デバイスを有している。外装パネルを外した状態の管理機８０を、図５に、逆方向の視点から見たその管理機８０を、図６に、それぞれ示す。以下に、それらの図を参照しつつ、本管理機８０の内部構造について説明する。ちなみに、図５における左方が当該管理機８０の前方であり、右方が当該管理機８０の後方である。
　管理機８０は、いくつかの装置が組み合わされて構成されている。具体的に列挙すれば、後方側に、ノズルパレット（以下、単に「パレット」と言う場合がある）に載置させた状態でノズルＮを収容するノズル収容装置１００が、ノズル収容装置１００の前方左側に、トレイＮＴを収容するトレイ収容装置１０２が、それぞれ配設されている。一方、当該管理機８０の前方側には、それぞれがノズル収容装置１０２に収容されている若しくは収容されるノズルＮに対する何らかの処置（以下、「対ノズル処置」という場合がある）を実行する対ノズル処置実行装置として、上から順に、ノズル移載装置１０４，第１ノズル検査装置１０６，第２ノズル検査装置１０８，ノズル洗浄装置１１０が配設されている。
　ここでの説明は簡単に行うが、ノズル移載装置１０４は、トレイＮＴと上記パレットとの間でノズルＮを移載する装置であり、第１ノズル検査装置１０６は、２つの検査項目の検査、具体的には、ノズルＮの先端部の状態に関する検査（先端部状態検査）、および、ノズルＮの先端部の後退に必要な力に関する検査（後退必要力検査）を実行し、第２ノズル検査装置１０８は、２つの検査項目の検査、具体的には、ノズルＮを通過するエアの流量に関する検査（通過流量検査）、および、ノズルＮのフランジ３４に付された識別子としての２Ｄコード３８の読み取りに関する検査（識別子読取検査）を実行する。ノズル洗浄装置１１０は、ノズルＮを高圧水で洗浄する装置である。また、ノズル収容装置１００とノズル洗浄装置１１０との間には、ノズル洗浄装置１１０によって洗浄されたノズルＮを乾燥させるノズル乾燥装置１１２が配設されている。
　上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置１００と間のノズルＮの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応した各ノズル移送装置によって行われる。ノズルＮの移送は、上述したパレットに載置した状態で行われるため、各ノズル移送装置は、パレット移送装置とされている。具体的には、ノズル移載装置１０４とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第１パレット移送装置１１４，第１ノズル検査装置１０６とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第２パレット移送装置，第２ノズル検査装置１０８とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第３パレット移送装置１１８，ノズル洗浄装置１１０とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第４パレット移送装置１２０が、それぞれ配設されている。一方で、ノズル移載装置１０４とトレイ収容装置１０２と間には、それらの間でトレイＮＴを移送するトレイ移送装置１２２が配設されている。また、上述した各装置のための電源，駆動回路，エアコンプレッサ，高圧ポンプ等を内臓した駆動源ユニット１２４が、当該管理機１０の前方側下部に配設されている。
　なお、以下の説明において、ノズル収容装置，トレイ収容装置，ノズル移載装置，ノズル検査装置，ノズル洗浄装置，ノズル乾燥装置，パレット移送装置，トレイ移送装置は、それぞれ、単に、「収容装置」，「収容装置」，「移載装置」，「検査装置」，「洗浄装置」，「乾燥装置」，「移送装置」，「移送装置」と言う場合あることとする。また、以下の説明は、移載装置１０４を中心に示す図７，第１検査装置１０６を中心に示す図８，第２検査装置１０８を中心に示す図９，洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を中心として示す図１０および図１１をも参照して行うこととする。
［Ｃ］ノズル収容装置
　ノズル収容装置１００は、それぞれに上述のパレットが収容される複数のパレットキャリア（以下、単に「キャリア」と言う場合がある）１３０と、それらキャリア１３０を循環させるキャリア循環機構（以下、単に「循環機構」という場合がある）１３２とを有しており、それら複数のキャリア１３０と循環機構１３２とによって、複数のパレットを当該収容装置１３０内において移動させるパレット移動装置（以下、単に「移動装置」と言う場合がある）１３４が構成されている。以下に、収容装置１００を、パレットと、移動装置１３４とに分けて説明する。
　i）ノズルパレット
　パレットＮＰは、ノズルＮを載置させるためのノズル載置器として機能するものであり、図１２に示すように、先に説明したトレイＮＴと同様、ベースプレート１４０とベースプレート１４０の上面を覆うカバーレプート１４２とを含んで構成されている。図１２（ａ）は、カバープレート１４２がベースプレート１４０に対してズレた状態を示しており、図１２（ｂ）は、カバープレート１４２がベースプレート１４０にちょうど重なった状態を示している。カバープレート１４２はそれら２つの状態における位置の間で摺動可能とされている。
　当該管理機８０は、便宜的に、図１３に示す５種類のノズルＮを管理の対象とするものとして扱うこととすれば、パレットＮＰには、それら５種類のノズルＮのすべてが載置可能とされている。５種類のノズルＮは、形状において互いに異なり、フランジ３４の外径によって３つに分類することができる。図１３は、それらのノズルＮを上方から見た図であり、具体的には、図１３（ａ）に示す小さなサイズのノズルＮａ、図１３（ｂ），（ｃ）にそれぞれ示す中間のサイズのノズルＮｂ，Ｎｃ、図１３（ｄ），（ｅ）にそれぞれ示すサイズの大きなノズルＮｄ，Ｎｅに分類することができる。ベースプレート１４０には、トレイＮＴの場合と同様に、それぞれが載置部を構成する載置穴１４４が設けられている。具体的には、小さなサイズのノズルＮが載置される２４の載置穴１４４ａと、大きなサイズのノズルＮが載置される１５の載置穴１４４ｂが設けられており、載置穴１４４ａには、上記ノズルＮａが、載置穴１１４ｂには、上記ノズルＮｂ，Ｎｃ，Ｎｄ，Ｎｅが載置される。
　載置穴１４４ａに関しては、先に説明したトレイＮＴの載置穴６４と同様であり、１つの段差面１４６を有するものであるため、ここでの説明を省略する。ノズルＮが載置された状態を示す図１４を参照しつつ、載置穴１４４ｂについて説明すれば、載置穴１４４ｂは、内周壁の寸法が深さにおいて異なる段付き穴とされており、詳しくは、２つの段差面１４６ａ，１４６ｂを有する段付き穴とされている。図１４（ａ）に示すように、大きなサイズのノズルＮｄ，Ｎｅは、上方に位置する段差面１４６ａに載置され、一方、図１４（ｂ）に示すように、中間サイズのノズルＮｂ，Ｎｃは、下方に位置する段差面１４６ｂに載置される。つまり、いずれの段差面１４６ａ，１４６ｂも、ノズルＮが載置される面とされており、載置穴１４４ｂは、内周壁が深さ方向において内寸法が異なり、互いにフランジ３４の外径において異なる複数種のノズルＮのフランジ３４が、互いに異なる深さの位置において嵌るように構成されているのである。また、載置穴１４４ｂは、いずれのノズルＮに対しても、それらノズルＮの径方向の変位（ズレ）をフランジ３４の外周において規制するように構成されており、いずれの段差面１４６ａ，１４６ｂにも、ノズルＮの回転防止のために、フランジ３４のノッチ６８が係合するピン１４８が立設されている。
　なお、上述複数の段差面１４６を有する形状の載置穴１４４ｂに代えて、例えば、図１４（ｃ）に示すように、軸線方向、つまり、深さ方向において、内周壁の内寸法が漸減するようなテーパ穴の載置穴１４４ｃを採用することも可能である。そのような載置穴１４４ｃであっても、互いにフランジ３４の外径において異なる複数種のノズルＮのフランジ３４が、互いに異なる深さの部分で嵌るように構成されることになる。ちなみに、図は、中間サイズのノズルＮｂ，Ｎｃが載置された状態を示しており、大きなサイズのノズルＮｄ，Ｎｅが載置される場合は、ノズルＮｂ，Ｎｃより上方の位置に載置されることになる。
　一方、カバープレート１４２には、トレイＮＴと同様、ベースプレート１４０の載置穴１４４ａ，１４４ｂにそれぞれ対応して、それぞれが円穴部抜１５０およびスロット部１５２を有する抜穴１５４ａ，１５４ｂが設けられている。図１３（ｂ）に示す状態では、各載置穴１４４の中心と対応する抜穴１５４の円穴部１５０の中心が一致しており、先に説明した載置穴開状態が実現され、図１３（ａ）に示す状態では、各載置穴１４４の中心と対応する抜穴１５４のスロット部７４の先端に存在する円弧の中心とが略一致しており、載置穴閉状態が実現される。そのような構造から、パレットＮＰにも、ノズルＮの離脱防止に関して、カバープレート１４２含んで構成される機構、つまり、いわゆるシャッター機構と呼ばれるノズル離脱防止機構が設けられているのである。ちなみに、トレイＮＴと同様、カバープレート１４２は、図示を省略するスプリングによって、載置穴閉状態となるように付勢されており、そのスプリングの付勢力を超える力でカバープレート１４２を摺動させることで、載置穴開状態となる。
　パレットＮＰには、トレイＮＴと同様、ベースプレート１４０の１つのコーナに、当該パレットＮＰの固有情報を認識するための識別子としての２Ｄコード１５６が付されている。この２Ｄコード１５６は、固有情報の一種としての当該パレットＮＴのＩＤを示すものとなっており、そのＩＤは、トレイＮＴの個別管理に利用される。
　本パレットＮＰには、ベースプレート１４０の１つのコーナ部に、基準ノズル１５８が、その基準ノズル１５８の傍らに、基準パイプ１６０が、いずれも、ベースプレート１４０を貫通する状態で固定されている。基準ノズル１５８は、実際のノズルＮ、具体的には、上述のノズルＮｂである。一方、基準パイプ１６０は、ノズルＮの一部、詳しくは、胴体筒３０および吸着管３２を模した模擬物である。それら基準ノズル１５８および基準パイプ１６０は、上述の第１検査装置１０６および第２検査装置１０８による検査において参照される基準対象として機能し、それら検査装置１０６，１０８による検査の基準の設定と、それら検査装置１０６，１０８の校正若しくは検定との少なくとも一方に利用される。具体的な利用に関しては、後に詳しく説明するが、基準ノズル１５８は、第１検査装置１０６による後退必要力検査、および、第２検査装置による識別子読取検査において参照され、一方、基準パイプ１６０は、第１検査装置１０６による先端部状態検査、および、第２検査装置１０８による通過流量検査において参照される。ちなみに、それら基準ノズル１５８，基準パイプ１６０は、いずれも、基準対象として参照される検査において、通常良好な検査結果が得られるように構成されている。なお、本管理機８０では、基準対象が、パレットＮＰに設けられているが、例えば、第１検査装置１０６若しくは第２検査装置１０８によって検査可能な位置において、当該管理機８０の躯体，他の装置等に設けられてもよい。
　ii）パレット移動装置
　先に説明したように、パレット移動装置１３４は、複数のパレットキャリア１３０とキャリア循環機構１３２とを含んで構成されている。キャリア１３０は、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状における開口が下方を向く姿勢で配置されている。キャリア１３０には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における２つのフランジの下端部の内側に、１対のレール１７０が付設されており、上述したパレットＮＰは、その１対のレール１７０によって、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。
　キャリア循環機構１３２は、図５，図６から解るように、上下にそれぞれ配設された１対のスプロケット軸１７２を有している。そのスプロケット軸１７２は、前後方向に延びる状態で配設されており、前後の端部の各々に、スプロケット１７４を有している。１対のスプロケット軸１７２各々の前方側のスプロケット１７４の間、および、後方側のスプロケット１７４との間には、それぞれ、チェーン１７６が巻き掛けられている。前方側のチェーン１７６および後方側のチェーン１７６の各々には、複数のブラケット１７８が、その各々に直角な姿勢で外側に向かって延設されており、前方側のブラケット１７８の各々の先端と、後方側のブラケット１７８の対応する各々の先端とによって、１つのキャリア１３０が揺動可能に支持されている。１対のスプロケット軸１７２の一方が駆動軸とされており、その一方を回転させることによって、各ブラケット１７８が、周回させられる。それにより、各ブラケット１７８によって支持された各キャリア１３０が、一斉に周回させられる。ちなみに、パレットＮＰは、ノズルＮが載置される面が上を向く姿勢で、つまり、カーバープレート１４２が上方に位置する姿勢で、キャリア１３０に保持されており、ブラケット１７８によるキャリア１３０の支持構造は、キャリア１３０がいずれの周回位置にある場合でも、パレットＮＰがその姿勢を保つような構造とされている。
　キャリア循環機構１３２は、上述のような構造であることから、パレット移動装置１３４は、収容装置１００内において、複数のパレットＮＰを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるパレット循環装置とされているのである。なお、移動装置１３４では、各パレットＮＰの停止位置として、上述の各対ノズル処置実行装置１０４～１０８に対応する複数の設定位置、つまり、第１～第４パレット移送装置１１４～１２０に対応する複数の設定位置が設定されている。この設定位置は、パレットＮＰの循環におけるステーションと考えることのできるものであり、本管理機８０は、特定のステーションに移動して停止させられたパレットＮＰが、そのステーションに対応する第１～第４移送装置１１４～１２０によって、対応する対ノズル処置実行装置１０４～１０８に移送されるように構成されている。ちなみに、パレットＮＰを保持していないキャリア１３０が特定のステーションに位置している場合には、そのステーションに対応する第１～第４移送装置１１４～１２０によって、対応する対ノズル処置実行装置１０４～１０８からそのキャリア１３０にまでパレットＮＰを移送することが可能とされている。
　上記各対ノズル処置実行装置とノズル収容装置１００と間のノズルＮの移送は、各対ノズル処置実行装置に対応したノズル移送装置によって行われる。ノズルＮの移送は、上述したパレットＮＰに載置した状態で行われるため、ノズル移送装置は、パレット移送装置とされており、具体的には、ノズル移載装置１０４とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第１パレット移送装置１１４，第１ノズル検査装置１０６とノズル収容装置１００との間でパレットを移送する第２パレット移送装置，第２ノズル検査装置１０８とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第３パレット移送装置１１８，ノズル洗浄装置１１０とノズル収容装置１００との間でパレットの移送を行う第４パレット移送装置１２０が、それぞれ配設されている。なお、ノズル移載装置は、１以上のノズルＮを、１つのノズルグループとして移送する機能を有していると考えることができ、それぞれが対ノズル処置実行装置であるノズル移載装置１０４，第１ノズル検査装置１０６，第２ノズル検査装置１０８，ノズル洗浄装置１１０は、後に詳しく説明するように、ノズル移送装置によって移送された１つのノズルグループに含まれるノズルＮに対して処置を行うようにされているのである。
［Ｄ］トレイ収容装置
　トレイ収容装置１０２は、先に説明したノズルトレイＮＴを収容する装置で、ノズル収容装置１００のパレット移動装置１３４と同様のトレイ移動装置（以下、単に、「移動装置」という場合がある）１９０を備えており、その移動装置１９０を主要構成要素として構成されている。移動装置１９０は、パレット移動装置１３４と同様に、それぞれにトレイＮＴが収容される複数のトレイキャリア（以下、単に「キャリア」と言う場合がある）１９２と、それらキャリア１９２循環させるキャリア循環機構（以下、単に「循環機構」という場合がある）１９４とを備えている。
　キャリア１９２は、先に説明したパレットキャリア１３０と同様に、概してチャンネル形状、つまり、断面が“コ”の字状をなす形状の部材とされており、当該チャンネル形状における開口が下方を向く姿勢で配置されている。パレットキャリア１３０と同様に、キャリア１９２には、下端部に、詳しくは、チャンネル形状における２つのフランジの下端部の内側に、１対のレール１９６が付設されており、トレイＮＴは、その１対のレール１９６によって、ノズルＮが載置される面が上方を向く姿勢で、前方に向かって抜出可能に、また、前方から挿入可能に、保持される。
　循環機構１９４は、パレット移動装置１３４の循環機構１３２と同様、図５，図６に示すように、それぞれ２つのスプロケットを前後に有する１対のスプロケット軸，１対のチェーン，各チェーンに延設された複数のブラケットを有しており、各ブラケットによって支持された各キャリア１９２を、一斉に周回させるように構成されている。そのような構造の循環機構１９４を有するトレイ移動装置１９０は、先に説明したパレット移動装置１３４と同様、収容装置１０２内において、複数のパレットＮＰを、鉛直な一平面に平行な一定の経路に沿って、同時に、すなわち、一緒に、循環移動させるトレイ循環装置とされているのである。なお、トレイ移動装置１９０では、各トレイＮＴの停止位置として、上述のノズル移載装置１０４に対応する１つの設定位置、つまり、トレイ移送装置１２２に対応する１つの設定位置が設定されている。その設定位置、つまり、そのステーションに移動して停止させられたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、移載装置１０４に移送され、トレイＮＴを保持していないキャリア１９２がそのステーションに位置している場合には、トレイ移送装置１２２によって、移載装置１０４からそのキャリア１９２までトレイＮＴを移送することが可能とされている。
［Ｅ］ノズル移載装置
　管理機８０では、収容装置１００に収容されているノズルＮをトレイＮＴへセッティングするために、パレットＮＰからそのトレイＮＴへのそのノズルＮが移載され、また、収容装置１００にノズルＮを収容するために、そのノズルＮがトレイＮＴからパレットＮＰに移載される。前者を「セッティング移載」と、後者を「収容移載」と、それぞれ呼べば、それらセッティング移載および収容移載は、当該管理機８０の前方側上部に位置する上述のノズル移載装置１０４によって行われる。
　図７に示すように、管理機８０が備える引出８２（図では、若干引き出された状態である）は、テーブル２００を有しており、上記移載に供されるトレイＮＴは、テーブル２００に設けられた固定ステージ２０２と可動ステージ２０４との一方にセットされる。固定ステージ２０２は、テーブル２００に固定されており、可動ステージ２０４は、テーブル２００設けられたステージスライド機構２０６によって、前後方向にスライド可能にテーブル２００に支持されている。ちなみに、図では、固定ステージ２０２は、トレイＮＴがセットされている状態を、可動ステージ２０４は、トレイＮＴはセットされていない状態を示している。また、図では、可動ステージ２０４が移動範囲における前方端である設定位置、つまり、移載位置に位置している状態を示している。さらに、それぞれのステージ２０２，２０４のトレイＮＴの保持に関する構造、および、トレイＮＴに載置されているノズルＮは、簡素化のために、図示を省略している。なお、セットされたトレイＮＴを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート６２を摺動させるカバー摺動機構（図示を省略）が、固定ステージ２０２および可動ステージ２０４のそれぞれに設けられている。
　固定ステージ２０２および可動ステージ２０４のいずれに対しても、引出８２が引き出された状態において、オペレータは、トレイＮＴをセットすることができ、また、セットされていたトレイＮＴを取り外すことができる。さらに、可動ステージ２０４が移動範囲における後端位置に位置させられた状態において、トレイ収容装置１０２との間で、トレイＮＴの移載が可能となっている。詳しく言えば、収容装置１０２内において、上述した設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１９２と、可動ステージ２０４との間で、トレイＮＴの移載が行われる。ちなみに、このトレイＮＴの移載のための機構であるトレイ移載機構については、記載を省略している。なお、可動ステージ２０４，ステージスライド機構２０６，トレイ移載機構を含んで、テーブル２０００上の設定位置と収容装置１０２との間で、端的に言えば、移載装置１０４と収容装置１０２との間でトレイＮＴを移送する前述のトレイ移送装置１２２が構成されているのである。
　以上の説明から解るように、本管理機８０では、外部から持ち込まれて固定ステージ２０２若しくは可動ステージ２０４にセットされたトレイＮＴに対してのセッティング移載が可能とされているばかりでなく、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴへのセッティング移載も可能とされている。さらに言えば、ノズルＮのセッティングが完了したトレイＮＴや、ノズルＮが載置された状態で外部から持ち込まれたトレイＮＴを、収容装置１０２に収容することも可能とされている。
　一方、セッティング移載および収容移載に供されるパレットＮＰは、ノズル収容装置１００内において移載装置１０４に対応する設定位置、つまり、移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１３０から、第１パレット移送装置１１４（構造については後述する）によって、移載装置１０４によるノズルＮの移載が可能な設定位置、つまり、移載位置にまで、移送される。図においてパレットＮＰが位置している位置が、移載位置である。セッティング移載および収容移載に供されるパレットＮＰは、それらの移載が完了した後に、第１移送装置１１４によって、収容装置１００内の移載装置対応ステーションに位置させられているキャリア１３０にまで、移送される。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮについては、簡素化のため、省略している。なお、移載位置に位置するパレットＮＰをその位置において固定するパレット固定機構（図示を省略する）が、第１移送装置１１４に設けられており、また、移載位置に位置するパレットＮＰを上述の載置穴開状態とするための機構として、カバープレート１４２を摺動させるカバー摺動機構（図示を省略）が、テーブル２００上に設けられている。
　移載装置１０４は、テーブル２００の上方に配置されており、移載ヘッド２１０と、移載ヘッド２１０を、左右方向，前後方向，上下方向（以下、それぞれ、「Ｘ方向」，「Ｙ方向」，「Ｚ方向」と言う場合がある）に移動させる３つのヘッド移動機構を有するヘッド移動装置２１２とを含んで構成されている。図７に加えて図５および図６をも参照して解るように、それらの図では、移載ヘッド２１０をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構おおよびＹ方向に移動させるＹ方向移動機構については省略しており、Ｚ方向移動機構２１４のみが示されている。ちなみに、Ｘ方向移動機構およびＹ方向移動機構は、当該管理機８０の躯体の上部に設置されてスライド２１６をＺ方向に直角な一平面に沿って移動させるＸＹ型移動装置を構成するものとなっており、Ｚ方向移動機構２１４は、そのスライド２１６に設置されている。
　移載ヘッド２１０には、下部において、移載されるノズルＮを保持するためのノズル保持具としての保持チャック２１８と、ノズルＮ，トレイＮＴ，パレットＮＰのそれぞれに付された２Ｄコード３８，７６，１５６を読み取るための識別子読取器としてのカメラ２２０とが取り付けられている。また、移載ヘッド２１０は、保持チャック２１８をそれの軸線回りに回転させるチャック回転機構を有している。ちなみに、上記ヘッド移動装置２１２は、ノズル保持具である保持チャック２１８を移動させる保持具移動装置として機能するものとなっている。
　移載装置１０４の基本的な動作について簡単に説明すれば、上述のセッティング移載と収容移載との少なくとも一方が行われる際、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移動させられ、カメラ２２０によって、トレイＮＴに付された２Ｄコード７６とパレットＮＰに付された２Ｄコード１５６との少なくとも一方が撮像される。そして、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移載元となるパレットＮＰまたはトレイＮＴの上方に移動されられて、移載の対象となるノズルＮの２Ｄコード３８がカメラ２２０によって撮像されつつ、そのノズルＮが保持チャック２１８によって保持され、次いで、移載ヘッド２１０がヘッド移動装置２１２によって移載先となるトレイＮＴまたはパレットＮＰの上方に移動させられ、保持されたノズルＮが、保持チャック２１８から離脱させられて、そのトレイＮＴまたはパレットＮＰの特定の若しくは任意の載置穴６４，１４４に載置される。
　なお、テーブル２００上には、パレットＮＰのベースプレート１４０のような載置プレート２２０、詳しく言えば、いくつかの載置穴を有する載置プレート２２２が設置されており、この載置プレート２２２は、例えば、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティング若しくは収容装置１００への収容の際、ノズルＮの仮置き等に利用される。また、テーブル２００上には、上記各種検査項目の検査の結果に基づいて不良と判断されたノズルＮ、つまり、不良ノズルを留置する不良ノズル留置器として、不良ボックス２２４が、取り外し可能に設置されている。図から解るように、この不良ボックス２２４は、４つの空間２２６に仕切られており、それら４つの空間２２６の各々は、それぞれ、不良ノズルを区別して留置するため留置部とされている。この不良ボックス２２４の利用に関しては、後に詳しく説明するが、不良ボックス２２４への不良ノズルの運搬は、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティングのついでに、若しくは、セッティングとは関係なく、上記ノズル移載装置１０４によって行われる。したがって、移載装置１０４は、不良ノズル運搬装置として機能するものとなっている。
［Ｆ］第１ノズル検査装置
　第１ノズル検査装置１０６は、ノズル移載装置１０４の下方に位置し、先に説明したように、２つの検査項目の検査、具体的には、先端部状態検査および後退必要力検査を実行する装置である。図８を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置１００内の設定位置、つまり、第１検査装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第２パレット移送装置１１６（構造については、後述する）によって検査位置まで移送された後、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮについての先端部状態検査および後退必要力検査が、第１検査装置１０６によって、ともにノズルＮの下方から行われる。なお、図に示すパレットＮＰの位置が、上記検査位置であり、第２移送装置１１６には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。
　第１検査装置１０６は、基台２３０と、その基台２３０上に固定されたカメラ装置２３２および荷重測定装置２３４とを含んで構成された検査ユニット２３５と、その検査ユニット２３５を移動させるユニット移動装置２３６とを含んで構成されており、検査ユニット２３５は、上記検査位置に位置させられているパレットＮＰの下方の空間を移動する。カメラ装置２３２は、カメラ本体２３８と、レンズ２３９と、光源としてそのレンズ２３９を囲むように配置されたリングライト２４０とを含んで構成されたものであり、荷重測定装置２３４は、ロードセル２４２を主要構成要素として構成されたものである。ユニット移動装置２３６は、当該管理機８０の躯体の一部をなす１対のビーム２４４に支持された可動ビーム２４６と、その可動ビーム２４６をＹ方向に移動させるベルト駆動式のＹ方向移動機構２４８と、可動ビーム２４６に支持されたスライド２５０をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構２５２と、スライド２５０に固定されて検査ユニット２３５を基台２３０において支持するとともに検査ユニット２３５をＺ方向に移動させるＺ方向移動機構２５４とを含んで構成されている。まとめて言えば、第１検査装置１０６によれば、先端部部状態検査，後退必要力検査は、ともに、ノズルＮの先端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるカメラ装置２３２，荷重測定装置２３４は、ノズルＮの先端部側に存在する空間に配置され、それらを、１つの移動装置であるユニット移動装置２３６によって移動させるように構成されているのである。
　第１検査装置１０６による先端部状態検査では、図１５（ａ）に示すように、検査ユニット２３５が、ユニット移動装置２３６によって、カメラ装置２３２のレンズ２３９が検査するノズルＮの真下に位置する位置に移動させられる。詳しく言えば、そのノズルＮの吸着管３２のＺ方向の位置はそのノズルＮの固有情報から認識可能であり、レンズ２３９が吸着管３２の先端から設定距離だけ離れる位置に、検査ユニット２３５が位置させられる。その状態で、ノズルＮの先端部、つまり、吸着管３２が、カメラ装置２３２によって撮像される。
　図１５（ａ）に示すノズルＮは、吸着管３２の形状が正常なノズルＮであり、そのノズルＮの吸着管３２のカメラ装置２３２による撮影像は、図１５（ｂ）に示すようなものとなる。一方で、図１５（ｃ）～（ｅ）は、それぞれ、それぞれ、吸着管３２の“曲り”、“先端欠け”，“先端潰れ”があるノズルＮを示しており、それらのノズルＮの吸着管３２の撮影像は、図５（ｆ）～（ｇ）に示すようなものとなる。先端部状態検査では、カメラ装置２３２によるノズルＮの撮像データに基づいて、上記“曲り”，“先端欠け”，“先端潰れ”といった先端部形状異常がノズルＮに生じているか否かが確認され、また、図示は省略するが、先端部への“異物の付着”，“汚れの付着”についても確認される。先端部形状異常が生じているノズルＮ、および、先端部に異物や汚れが付着しているノズルＮは、不良ノズルと判断される。なお、後に詳しく説明するが、上述のパレットＮＰに固定されている基準パイプ１６０は、それの先端部が、いずれかのノズルＮについて先端部の状態についての異常が確認された都度、カメラ装置２３２によって撮像され、その基準パイプ１６０の先端部の撮像データに基づいて、その先端部の状態に異常がないことを確認し、その異常がないことを条件に、先端部の状態に異常が確認されたノズルＮが不良ノズルとして認定される。つまり、基準対象としての基準パイプ１６０は、第１検査装置１０６の検定、詳しく言えば、事後検定に利用されるのである。
　一方、第１検査装置１０６による後退必要力検査では、図１６に示すように、検査ユニット２３５が、ユニット移動装置２３６によって、荷重測定装置２３４のロードセル２４２の中心が検査するノズルＮの真下に位置する位置に移動させられる。その位置において、検査ユニット２３５が、そのノズルＮの固有情報に基づく設定距離だけ上昇させられる。詳しく言えば、ノズルＮの吸着管３２が、胴体筒３０に対してある程度の距離だけ後退する位置にまで、荷重測定装置２３４が上昇させられるのである。
　先に説明したように、吸着管３２は、スプリングによって胴体筒３０から進出する方向に付勢されており、荷重測定装置２３４を上昇させた場合に、吸着管３２の先端がロードセル２４２の上面に当接し、その状態において、ロードセル２４２は、スプリングの付勢力に相当する荷重を受けることになる。ロードセル２４２は、その荷重を測定する。スプリングによる付勢力は、ノズルＮの固有情報から認識することが可能であり、その付勢力を超えた荷重をロードセル２４２が検出した場合、吸着管３２の後退に必要な力が大き過ぎることになる。例えば、異物のノズルＮ内の混入、胴体筒３０の破損等によって、吸着管３２が胴体筒３０に引き込み難くなり、その場合に、後退必要力が過大となる。後退必要力が上記固有情報にに基づいて設定された閾力を超えた場合に、後退必要力が過大であると認定され、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。なお、１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮについて後退必要力検査を行う場合、その検査に先立って、上述の基準ノズル１５８についての上記荷重を測定し、その測定された荷重に基づいて、ロードセル２４２の校正、すなわち、ロードセル２４２によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするための調整が行われるのである。つまり、基準対象としての基準ノズル１５８は、第１検査装置１０６による後退必要力検査の準備処理として行われる荷重測定装置２３４の校正、言い換えれば、第１検査装置１０６の校正に利用されるのである。
　なお、第１検査装置１０６による上記先端部状態検査および上記後退必要力検査は、１つのパレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮに対して行ってもよく、一部のノズルＮに対してだけ行ってもよい。また、それら２つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルＮの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットＮＰは、第２移送装置１１６によって、収容装置１００内において上記第１検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア１３０に、移送される。
［Ｇ］第２ノズル検査装置
　第２ノズル検査装置１０８は、第１ノズル検査装置１０６の下方に位置し、先に説明したように、２つの検査項目の検査、具体的には、通過流量検査および識別子読取検査を実行する装置である。図９を参照しつつ説明すれば、上述の収容装置１００内の設定位置、つまり、第２検査装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第３パレット移送装置１１８（構造については、後述する）によって検査位置まで移送された後、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮについての通過流量検査および識別子読取検査が、第２検査装置１０８によって、ともにノズルＮの上方から行われる。なお、図に示すパレットＮＰの位置が、上記検査位置であり、第３移送装置１１８には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。
　第２検査装置１０８は、検査ヘッド２７０と、その検査ヘッド２７０をパレットＮＰの上方においてパレットＮＰの上面に平行な一平面に沿って移動させるヘッド移動装置２７２とを含んで構成されている。検査ヘッド２７０には、エア送給装置２７４と、識別子読取器としてのカメラ２７６とが並設されている。エア送給装置２７４は、ノズルＮの基端部である胴体筒３０の上端部に接続されるエアジョイント２７８を有し、そのエアジョイト２７８からノズルＮに圧縮空気が送給される。エアジョイント２７８の上方には、送給される圧縮空気の送給路の空気圧を測定する空気圧センサ２８０が、エアジョイント２７８と一体的に配設されている。また、エア送給装置２７４は、エアジョイント２７８を昇降させるジョイント昇降機構２８２を有し、エアジョイント２７８は、そのジョイント昇降機構２８２によって、検査ヘッド２７０に対して昇降させられる。ヘッド移動装置２７２は、第１検査装置１０６に関連して説明した１対のビーム２４４に支持された可動ビーム２８４と、その可動ビーム２８４をＹ方向に移動させるベルト駆動式のＹ方向移動機構２８６と、可動ビーム２８４に支持されたスライド２８８をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構２９０とを含んで構成されている。まとめて言えば、第２検査装置１０８によれば、通過流量検査，識別子読取検査は、ともに、ノズルＮの基端部側で行われ、それぞれの検査を行うための主要構成要素であるエア送給装置２７４，カメラ２７６は、ノズルＮの基端部側に存在する空間に配置され、それらを、１つの移動装置であるヘッド移動装置２７２によって移動させるように構成されているのである。
　第２検査装置１０８による通過流量検査では、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、検査するノズルの真上にエアジョイント２７８が位置する位置に移動させられる。その状態で、エアジョイント２７８が、ジョイント昇降機構２８２によって、そのノズルＮと接続するように下降させられる。図１７（ａ）に示すように、エアジョイント２７８がノズルＮに接続された状態で、エア送給装置２７４は、圧縮空気をノズルＮに送給する。通常のノズルＮは、あまり抵抗ない空気の通過が許容されて、充分な流量が担保されており、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧は、比較的低い値となる。一方で、例えば、ノズルＮに“詰まり”が生じているような場合は、ノズルＮを通過する空気に対する通過抵抗が大きくなり、充分な流量が確保されなくなる。この状況では、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧は、比較的高い値となる。そのことを考慮して、通過流量検査では、空気圧センサ２８０によって測定された空気圧が、閾圧より高くなった場合に、そのノズルＮに“詰まり”が生じていると認定され、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。つまり、この通過流量検査では、空気の流量を直接的に測定する代わりに、ノズルＮの基端部側の圧力を測定することによって、ノズルＮの“詰まり”を認定しているのである。なお、空気圧センサ２８０に代えて流量計（流量センサ）を配設し、通過する空気の流量を直接的に測定し、その測定の結果に基づいて“詰まり”の有無を判断してもよい。
　なお、ノズルＮに送給される圧縮空気は、上述の駆動源ユニット１２４内に配設されているコンプレッサ（図示を省略）からエア送給装置２７４に供給されるが、例えば、そのコンプレッサの出力圧に依存して、空気圧センサ２８０によって測定される空気圧が変化する。つまり、第２検査装置１０８に関連する環境条件によって、その空気圧が変化することになるのである。このことを考慮すれば、その環境条件に応じて上記閾圧を設定することが望ましい。本管理機８０では、ノズルＮの通過流量検査に先立ち、パレットＮＰに固定されている基準パイプ１６０に、エア送給装置２７４によって圧縮空気を送給し、そのときに空気圧センサ２８０によって測定される空気圧を基に、上記閾圧を設定するようにされている。つまり、基準対象としての基準パイプ１６０は、第２検査装置１０８による通過流量検査についての準備処理として行われるその検査の基準の設定に利用されているのである。
　第２検査装置１０８による識別子読取検査では、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、検査するノズルＮのフランジ３４に付された識別子である２Ｄコード３８の真上にカメラ２７６が位置する位置に移動させられる。その状態で、カメラ２７６によって、その２Ｄコード３８が撮像される。ちなみに、撮像によって得られる画像は、図１７（ｂ）のようなものである。識別子読取検査では、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルＮのＩＤが認識され、ＩＤが認識できない場合に、そのノズルＮが不良ノズルと判断される。カメラ２７６の不調等によってもＩＤが認識できない場合があるため、本管理機８０では、ノズルＮの２Ｄコード３８の読取に先立って、パレットＮＰに固定されている基準ノズル１５８のフランジ３４に付されている２Ｄコード３８が、カメラ２７６によって撮像され、その撮像によって得られた画像データに基づいて、第２検査装置１０８の識別子読取機能が充分であることが確認され、その機能が充分であることを条件に、ノズルＮの識別子読取検査が行われる。つまり、基準対象である基準ノズル１５８は、第２検査装置１０８の検定、つまり、事前検定に利用されるのである。
　なお、第２検査装置１０８による上記通過流量検査および上記識別子読取検査は、１つのパレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮに対して行ってもよく、一部のノズルＮに対してだけ行ってもよい。また、それら２つの検査の両方を行ってもよく、いずれか一方のみを行ってもよい。載置されているノズルＮの検査が終了した後、上記検査位置に位置させられていたパレットＮＰは、第２移送装置１１６によって、収容装置１００内において上記第２検査装置対応ステーションに位置させられたキャリア１３０に、移送される。
［Ｈ］ノズル洗浄装置およびノズル乾燥装置
　ノズル洗浄装置１１０は、第２ノズル検査装置１０８の下方に位置し、また、ノズル乾燥装置１１２は、洗浄装置１１０と上述の収容装置１００との間に位置している。当該管理機８０には、それら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２に関連してハウジング３００が設けられている。図１０は、ハウジング３００の存在する状態においてそれら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を示しており、図１１は、ハウジング３００を取り除いてそれら洗浄装置１１０および乾燥装置１１２を示している。それらの図を参照しつつ説明すれば、収容装置１００内の設定位置、つまり、洗浄装置対応ステーションに位置させられたパレットＮＰが、上述の第４パレット移送装置１２０（構造については、後述する）によって洗浄位置まで移送された後、その位置において、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、洗浄装置１１０による洗浄が行われる。そして、洗浄の後、そのパレットＮＰが第４パレット移送装置１２０によって洗浄装置対応ステーションに移送される間に、そのパレットＮＰに載置されて洗浄が終了したノズルＮに対して、乾燥装置１１２による乾燥が行われる。図に示すパレットＮＰの位置が、上記洗浄位置であり、第４移送装置１２０には、その検査位置においてパレットＮＰを固定するパレット固定機構（図示を省略）が設けられている。ちなみに、図では、パレットＮＰに載置されているノズルＮは、簡素化のため、省略されている。
　洗浄装置１１０は、ノズルＮを上方から洗浄するための上部洗浄ユニット３０２と、ノズルＮを下方から洗浄するための下部洗浄ユニット３０４とを含んで構成されており、それらは、略同じ構造のものとされている。それらユニット３０２，３０４の各々は、ハウジング３００に付設された支持フレーム３０６と、その支持フレーム３０６に支持された噴射ノズル３０８と、その噴射ノズル３０８をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構３１０とを含んで構成されている。噴射ノズル３０８は、パレットＮＰの全幅に亘ってＸ方向に延びるように配置された細長い直方体形状のものであり、パレットＮＰと向かい合う面に、多数の噴射孔３１２が設けられている。Ｙ方向移動機構３１０は、その噴射ノズル３０８を、パレットＮＰの全長に亘ってＹ方向に移動させるように構成されている。この噴射ノズル３０８には、上述の駆動源ユニット１２４内に設置された高圧ポンプ（図示を省略）によって加圧された高圧水が供給され、その高圧水が、噴射孔３１２から、パレットＮＰに載置されたノズルＮに向かって噴射される。
　乾燥装置１１２は、ハウジング３００の上部および下部に配設された複数の送風管３１４を含んで構成されている。それら送風管３１４には、ブロアー（図示を省略）から、駆動源ユニット１２４内に配設された加熱器（図示を省略）を介して、温風（熱風）が送り込まれる。複数の送風管３１４の各々には、複数の放出孔が設けられており、温風は、それら放出孔から、パレットＮＰに載置されたノズルＮに向かって放出される。放出された温風によって、ノズルＮが乾燥させられる。
　上述のハウジング３００は、洗浄装置１１０によって噴射される高圧水、および、乾燥装置１１２によって放出される温風が他の装置等に与える悪影響を防止するために設置されたものである。ハウジング３００には、前方側に、内部を覗き見るための透明な窓３１６が設けられ、また、後方側に、遮蔽板３１８、および、その遮蔽板３１８をパレットＮＰが通過するときにだけ開けるための遮蔽板開閉機構３２０が設けられている。
　図１８に示すように、上述の洗浄位置において固定されたパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、洗浄装置１１０による洗浄が行われる。詳しく言えば、上部洗浄ユニット３０２は、ノズルＮの上方から、つまり、ノズルＮの基端側から高圧の水を噴射して、主に、胴体筒３０，フランジ３４の上面等を洗浄する。一方、下部洗浄ユニット３０４は、ノズルＮの下方から、つまり、ノズルＮの先端側から高圧水を噴射して、主に、吸着管３２等を洗浄する。高い洗浄効果を得るため、噴射ノズル３０８は、真下あるいは真上にだけでなく種々の方向に高圧水を噴射するように、噴射孔３１２の向きが調整されている。噴射ノズル３０８は、比較的幅の狭いものであり、パレットＮＰ上にＸ方向に並ぶノズル列のうちの一部にしか高圧水を噴射することができないため、噴射ノズル３０８が、Ｙ方向移動機構３１０によって、パレットＮＰのＹ方向における全長に亘って移動させられる。ちなみに、噴射ノズル３０８は、２流体式のノズル、つまり、圧縮空気によって水を分散して噴射するノズルではなく、ポンプによって加圧された水を、その水の圧力によって、直接噴射孔３１２から噴射するように構成されたノズルである。そのため、洗浄装置１１０は、洗浄能力の高いものとされている。
　乾燥装置１１２は、ノズルＮの洗浄が終了して検査位置に存在するパレットＮＰを第４移送装置１２０が洗浄装置対応ステーション１３０に移送する際に、温風を利用したエアブローによって行われる。そのため、乾燥に必要な時間の少なくとも一部において、パレットＮＰを収容装置１００に返送することができ、洗浄，乾燥といった一連の作業における時間的ロスが小さいものとなっている。なお、温風は、比較的早い速度の風であり、その温風の圧力によってノズルＮに付着している水滴が吹き飛ばされるとともに、その温風の有する温度によって、ノズルＮに付き残る水分が乾燥させられる。
［Ｉ］パレット移送装置
　それぞれがノズル移送装置である第１～第４パレット移送装置１１４～１２０は、先に説明したように収容装置１００と、対応する対ノズル処置実行装置との間で、パレットＮＰを移送する装置である。第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８は、略同一の構造を有しており、第４移送装置１２０は、若干、それら第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８とは異なる構造を有している。
　図５～図７を参照しつつ説明すれば、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、収容装置１００から前方に向かって延び出すように配設された１対のレール３３０を有しており、パレットＮＰは、その１対のレール３３０にそれらに跨るように支持され、それら１対のレール３３０上を摺動する。また、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、収容装置１００のキャリア１３０と１対のレール３３０の間、および、１対のレール３３０上において、パレットＮＰを移動させる移動機構３３２を備えている。移動機構３３２は、当該管理機８０の右側に前後に延びるようにして配設されたガイド３３４と、そのガイド３３４に支持された搬送ユニット３３６とを含んで構成されている。搬送ユニット３３６は、ガイド３３４に支持された状態において、そのガイド３３４に沿って自走する構造のものとなっている。図示は省略するが、搬送ユニット３３６は、１対のレール３３０の下方において、それら１対のレール３３０の中間まで延び出す延出部を有しており、その延出部の先端には、下方からパレットＮＰの後端部を把持するクランプが設けられている。
　収容装置１００の１つのキャリア１３０が、前述の設定位置、つまり、対ノズル処置実行装置に対応したステーションに位置するときには、１対のレール３３０と、そのキャリア１３の１対のレール１７０とが、互いに一致し、また、搬送ユニット３３６は、それの延出部がそのキャリア１３０の下方を通過するようにして、ガイド３３４の後端にまで移動することが可能となっている。搬送ユニット３３６がその後端に位置する状態で、上述のクランプによって、キャリア１３０に収容されているパレットＮＰの後端部を把持し、その把持した状態において、搬送ユニット３３６がガイド３３４の前端まで移動することにより、そのパレットＮＰは、上述した設定位置にまで移送される。移送後、クランプによる把持が解除される。設定位置に位置するパレットＮＰをキャリア１３０に移送する場合は、上記動作の逆の動作が行われる。ちなみに、設定位置は、先に説明した移載位置，検査位置，洗浄位置を意味する。なお、先に説明したように、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、設定位置に位置するパレットＮＰを、１対のレールに固定するための上記パレット固定機構を有している。
　第４移送装置１２０は、ガイドおよび搬送ユニットの構造において、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８と異なる。詳しい説明は省略するが、第４移送装置１２０は、先に説明したように、ハウジング３００内においてパレットＮＰを移送するため、その移送に適した構造のガイド３３８および搬送ユニット３４０が採用されている。当該第４移送装置１２０のその他の部分の構造および動作については、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８と同様であり、説明を省略する。なお、図５において、第１，第２，第３移送装置１１４，１１６，１１８の各々は、搬送ユニット３３６を２つ有しているように描かれているが、搬送ユニット３３６がガイドの前端に位置する状態と後端に位置する状態との両方を便宜的示すためであり、実際には、搬送ユニット３３６は１つしか有していない。
 ［Ｊ］ノズル管理機が行うオペレーション
　上記構成の管理機８０は、制御装置であるコントローラ８４の制御によって、種々のオペレーションを行う。詳しく言えば、コントローラ８４が、種々のプログラムを実行することにより、実行されたプログラムに応じたオペレーションを行う。また、それらのオペレーションは、管理情報、つまり、収容されているノズルＮおよびトレイＮＴを管理する中で作成若しくは取得されるそれらノズルＮおよびトレイＮＴについての情報に基づいて行われる。以下に、その管理情報を例示して説明した後、管理機８０が行ういくかのオペレーションを例示して、それらを、順次、説明する。
　i）管理情報
　コントローラ８４は、収容されているノズルＮについての管理情報として、「収容ノズル情報」を記憶している。収容ノズル情報は、図１９の収容ノズル情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア１３０に収容されているどのパレットＮＰのどの載置穴１４４にどんなノズルＮが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容されているノズルＮの固有情報が収容装置１００における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容ノズル情報について具体的に説明する。
　図に示す収容ノズル情報テーブルでは、１行１行が、１つのパレットＮＰの１つの載置穴１４４に、つまり、収容されているノズルＮの１つ１つに対応している。また、そのテーブルの各列が、ノズルＮに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアＮｏ〕は、ノズルＮが載置されているパレットＮＰが収容されているキャリア１３０の番号であり、“＃１”，“＃２”，・・・といった具合に収容装置１００が有するキャリア１３０の数までの番号が記憶される。〔パレットＩＤ〕は、ノズルＮが載置されているパレットＮＰの固有情報でとしてのそのパレットＮＰのＩＤである。〔載置穴Ｎｏ〕は、ノズルＮが載置されている載置部としての載置穴１４４の番号であり、図１２に示す小さな載置穴１４４ａに対応して、“Ａ０１”～“Ａ２４”の番号が、大きな載置穴１４４ｂに対応して、“Ｂ０１”～“Ｂ１５”の番号が記憶される。ちなみに、〔キャリアＮｏ〕，〔パレットＩＤ〕の列における“↓”は、上の行と同じ内容が記憶されていることを便宜的に示している。
　〔ノズルＩＤ〕およびそれより右の列は、いずれも、ノズルＮの固有情報である。１つずつ説明すれば、〔ノズルＩＤ〕は、ノズルＮのＩＤである。〔ノズルＩＤ〕が“－”とされているのは、ノズルＮのＩＤが認識不能であることを意味し、“？“とされているのは、ノズルＮのＩＤが未認識であることを意味している。〔ノズル型式〕は、ノズルＮの型式、つまり、種類を表わすものである。具体的には、図１３に示すノズルＮａ～Ｎｅのそれぞれの型式が記憶される。“（・・・・）”は、ノズルの形式が推定されたことを意味する。〔洗浄〕は、ノズルＮが洗浄装置１１０による洗浄がなされたものであるか否を示しており、“◎”は、洗浄されていることを、“●”は、未だ洗浄されていないことを、それぞれ表している。
　〔不良要因〕は、ノズルＮが不良ノズルと判断されている場合において、その不良の要因、つまり、上述の４つの項目の検査のいずれにおいて不良ノズルと判断されたかを示している。４つの項目の検査のいずれかにおいて不良ノズルであると判断された場合、〔識別子読取〕，〔通過流量〕，〔先端部状態〕，〔後退必要力〕の４つの列のうちの不良ノズルであると判断された項目のに対応する列に、“×”が記憶される。“○”は、各項目の検査において不良ノズルと判断されなかったこをを意味し、各列に、“○”も“×”も記憶されていない場合には、検査が未だ行われていないことを意味する。
　なお、〔ノズルＩＤ〕～〔洗浄〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応する載置穴１４４、つまり、あるキャリア１３０に収容されているパレットＮＰのその載置穴１４４に、ノズルＮが載置されていないことを示している。
　また、コントローラ８４は、収容されているトレイＮＴについての管理情報として、「収容トレイ情報」を記憶している。収容トレイ情報は、図２０の収容トレイ情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのキャリア１９２にどんなトレイＮが収容されているかを示す情報である。言い換えれば、収容ノズル情報と同様、収容されているトレイＮＴの固有情報が収容装置１０２における収容位置に関連付けられた態様の情報である。以下の説明では、収容ノズル情報と同様、収容トレイ情報は、上記テーブルの形式で記憶されているものとして扱い、そのテーブルを基に、収容トレイ情報について具体的に説明する。
　図に示す収容トレイ情報テーブルでは、１行１行が、収容装置１０２の１つのキャリア１９２、つまり、収容されているトレイＮＴの１つ１つに対応している。また、そのテーブルの各列が、トレイＮＴに関する各種情報に対応している。具体的に言えば、〔キャリアＮｏ〕は、トレイＮＴが収容されているキャリア１９２の番号であり、“＃１”，“＃２”，・・・といった具合に収容装置１０２が有するキャリア１９２の数までの番号が記憶される。〔トレイＩＤ〕は、トレイＮＴの固有情報の１つとしてのそのトレイＮＴのＩＤである。〔トレイ型式〕は、トレイＮＴの型式、つまり、種類を表わすものである。〔不良〕は、トレイＮＴが不良であるか否かを示しており、“×”は、不良トレイであることを意味する。〔ＳＥＴ済〕は、収容されているトレイＮＴにノズルＮがセッティングされているか否か示しており、“◎”は、トレイＮＴにノズルＮがセッティングされていることを、空白は、空のトレイＮＴであることを示している。ちなみに、〔トレイＩＤ〕，〔トレイ型式〕の列に、何らの記載もされていない行は、その行に対応するキャリア１９２には、トレイＮＴが収容されていないことを示している。
　さらに、コントローラ８４は、ノズルＮのトレイＮＴへのセッティングに関する管理情報として、「ノズルセッティング情報」を利用する。ノズルセッティング情報は、図２１のノズルセッティング情報テーブルとして模式的に表すことのできるものであり、簡単に言えば、どのトレイＮＴのどの載置穴６４にどんなノズルＮが載置されているかを示す情報である。〔載置穴Ｎｏ〕は、ノズルＮが載置される載置部としての載置穴６４の番号であり、図には、一例として、図３に示すトレイＮＴに関する情報を示している。具体的には、図３に示す比較的小さな載置穴６４に対応して、“ａ１”～“ａ８”の番号が、比較的大きな載置穴６４に対応して、“ｂ１”～”ｂ４”の番号が付される。
　ノズルＮのパレットＮＴへのセッティングは、〔トレイＩＤ〕，〔ノズルＩＤ〕が記載されていない、つまり、〔トレイ型式〕および〔ノズル型式〕だけが示されているノズルセッティング情報に基づいて開始され、セッティングが終了した時点で〔トレイＩＤ〕，〔ノズルＩＤ〕が付されることになる。
　上述した管理情報は、以下に説明する当該管理機８０によるいくつかのオペレーションの中で、更新，リセット等される。以下の説明では、オペレーションに関するプログラムのフローチャートに基づいて、それらオペレーションの説明を行うが、そのフローチャートでは、上記更新，削除，追加等に関する処理の表記は省略し、それらの処理の説明は、フローチャートの各ステップの説明に中で行うこととする。
　ii）ノズル収容オペレーション
　ノズル収容オペレーションは、例えば装着機において使用されたノズルＮの洗浄，検査，保管等を目的として、トレイＮＴに載置されたノズルＮを収容装置１００に収容するためのオペレーションであり、そのオペレーションは、コントローラ８４が図２２にフローチャートを示すノズル収容プログラムを実行することによって、行われる。当該管理機８０のオペレータが、ノズルＮが載置されているトレイＮＴを、上述の引出８２を開けて、上述の固定ステージ２０４または可動ステージ２０４にセットした後、当該オペレーションの開始の指令を、コントローラ８４の操作キー８８によって入力することによって、当該オペレーションが開始する。なお、固定ステージ２０２にトレイＮＴがセットされた場合は、ノズルＮが収容された後にトレイＮＴを残したまま、当該オペレーションが終了する。一方、可動ステージ２０４にトレイＮＴがセットされた場合は、ノズルＮが収容された後にトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かを、オペレータの操作キー８８を用いた入力操作に基づいて選択可能とされており、その選択に従って、当該オペレーションが終了する。
　ノズル収容プログラムに従った処理では、ステップ１（以下、ステップを「Ｓ」と省略する）において、トレイＮＴが固定されて載置穴開状態が実現されているステージ、つまり、トレイＮＴがセットされたステージが固定ステージ２０２であるか可動ステージ２０４であるかが特定される。次いで、Ｓ２において、特定されたステージの上方に移載ヘッド２１０が移動させられ、カメラ２２０によってトレイＮＴに付された２Ｄコード７６が撮像されてそのトレイＮＴのＩＤが取得される。続くＳ３において、取得されたトレイＮＴのＩＤに基づいて、そのトレイＮＴの型式が特定される。ちなみに、ＩＤ情報の中には、トレイＮＴの型式の情報が含まれている。コントローラ８４は、トレイＮＴの載置穴６４の数，位置等の諸元がトレイの型式に関連付けられたデータ（以下、「トレイ諸元データ」と言う場合がある）を記憶しており、型式の特定の後、Ｓ４において、その型式に基づいて把握されたトレイＮＴの諸元に従って、トレイＮＴに載置されている各ノズルＮの２Ｄコード３８がカメラ２２０によって撮像され、各ノズルＮのＩＤが取得される。続くＳ５において、取得されたＩＤに基づいて、各ノズルＮの型式が特定される。トレイＮＴと同様に、ノズルＮのＩＤ情報の中には、ノズルＮの型式の情報が含まれている。なお、２Ｄマーク３８の汚れ等によってノズルＮＴのＩＤが取得できない場合には、先に作成した上述のノズルセッティング情報、つまり、そのＩＤのトレイＮＴにノズルＮのセッティングを行った際のノズルセッティング情報が利用され、その情報に基づき、ＩＤの取得ができないノズルＮの型式を推定する。
　次に、Ｓ６において、ノズルＮの収容装置１００への収容に際してそれらノズルＮが載置される１つのパレットＮＰが、先に説明した収容ノズル情報に基づいて、収容装置１００が有する複数のパレットＮＰの中から選択される。この選択についての詳しいアルゴリズムの説明は省略するが、Ｓ６では、空の載置穴１４４が存在していること，洗浄の終了したノズルＮが、載置されていないこと等の条件を充足したものの中から、当該管理機８０によるいくつかのオペレーションをできるだけ効率よく行えるという観点に基づいて、１のパレットＮＰが選択される。続くＳ７において、パレット移動装置１３４および第１パレット移送装置１１４が作動させられて、その選択されたパレットＮＰが、上述の移載位置に固定され、載置穴開状態が実現される。つまり、そのパレットＮＰがセットされるのである。
　パレットＮＰのセット後、ノズルＮのトレイＮＴからパレットＮＰへの載置に先立って、不良ノズルに対する処置が実行される。詳しくは、Ｓ８において、収容ノズル情報に基づいて、セットされたパレットＮＰに不良ノズルが存在するか否かが確認され、不良ノズルが存在する場合には、Ｓ９において、収容ノズル情報に基づいて、１つの不良ノズルに対しての上述の不良要因が特定され、Ｓ１０において、移載装置１０４によって、その不良ノズルが不良ボックス２２４に運搬される。先に説明したように、不良ボックス２２４は、４つの不良要因に対応して、仕切られた４つの空間２２６が設けられており、不良ノズルの運搬の際、その不良ノズルは、特定された不良要因に対応する１つの空間２２６に留置される。そして、運搬が完了したときに、その不良ノズルについての情報が、収容ノズル情報から削除される。なお、１つの不良ノズルに対して２以上の不良要因が存在する場合も考えられるが、その場合には、その不良ノズルは、図１９に示すテーブルにおいて最も左方の列の不良要因に対応する空間２２６に留置される。Ｓ８～Ｓ１０の処理は、セットされたパレットＮＰに不良ノズルが存在しなくまで繰り返し実行され、不良ノズルが存在しなくなった場合、若しくは、セットされた当初から不良ノズルが存在しない場合に、次のＳ１１が実行される。
　Ｓ１１では、セットされたトレイＮＴに載置されているノズルＮの中から、セットされたパレットＮＰに移載可能な１つのノズルＮが、設定された規則に従って選択され、Ｓ１２において、移載装置１０４によって、その選択されたノズルＮが、セットされたパレットＮＰにおいて空となっている載置穴１４４の１つに移載される。つまり、上述の収容移載が行われるのである。いずれの載置穴１４４に載置されるかは、上述の収容ノズル情報，載置されるノズルＮのサイズ等に基づいて、設定された規則に従って決定される。この１つのノズルＮについての収容移載の際、Ｓ４において取得されているそのノズルＮについてのＩＤ、および、Ｓ５において特定されているそのノズルについての型式が、収容ノズル情報として記憶される。つまり、収容ノズル情報の更新が行われるのである。具体的には、図１９に示すテーブルの行のうちの１つ、つまり、ノズルＮが載置された載置穴１４４に対応する行に、上記ＩＤ，上記型式が、そのノズルＮが未洗浄である旨とともに、書き込まれる。
　１つのノズルＮについての収容移載の後、Ｓ１３において、セットされたトレイＮＴに載置されていたすべてのノズルＮの収容移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルＮの収容移載が完了していない場合は、Ｓ１４において、セットされているパレットＮＰへのノズルＮの移載を継続するか否かが判断される。ノズルＮのそのパレットＮＰへの移載の継続が可能である場合には、Ｓ１１に戻って、次のノズルＮのそのパレットＮＰへの移載が行われる。例えば空の載置穴１４４が存在しない等の理由で、Ｓ１４においてそのパレットＮＰへの移載の継続ができないと判断された場合には、Ｓ１５において、そのパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送され、Ｓ６に戻って次のパレットＮＰが選択される。そのパレットＮＰのセット，そのパレットＮＰに載置されている不良ノズルに対する処置が実行された後、そのパレットＮＰへのノズルＮの収容移載が開始される。Ｓ１３において、セットされたトレイＮＴに載置されていたすべてのノズルＮの収容移載が完了したと判断された場合には、Ｓ１６において、セットされているパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送される。
　すべてのノズルＮの収容移載が完了し、パレットＮＰが返送された後、Ｓ１７において、空になったトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容するか否かが判断される。この判断は、先に説明したように、トレイＮＴが、固定ステージ２０２と可動ステージ２０４とのいずれにセットされているかに基づいて行われる。トレイＮＴが収容装置１０２に収容されると判断された場合には、Ｓ１８において、セットされている空のトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、収容装置１０２に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、Ｓ１７において空のトレイＮＴが収容装置１０２に収容されないと判断された場合には、そのトレイＮＴのセットの解除が行われて、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルＮＴの収容移載に先立って、トレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が、移載装置１０４に設けられたカメラ２２によって撮像され、そのトレイＮＴのＩＤが取得されており、トレイＮＴの収容装置１０２への収容の際には、そのトレイＮＴのＩＤ、および、そのＩＤに基づいて特定されたそのトレイＮＴの型式が、収容されるキャリア１９２に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。
　iii）ノズルセッティングオペレーション
　ノズルセッティングオペレーションは、装着機におけるノズルＮの使用の準備等を目的として、必要なノズルＮをトレイＮＴにセッティングするためのオペレーションであり、そのオペレーションは、図２３にフローチャートを示すノズルセッティングプログラムをコントローラ８４が実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルＮをセッティングするためのステージを固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれにするか、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴと当該管理機８０のオペレータがセットしたトレイＮＴとのいずれを使用するか、セッティングが完了したトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによるコントローラ８４の操作キー８８を用いた操作に基づいて行われる。
　ノズルセッティングプログラムに従った処理では、まず、Ｓ２１において、当該管理機８０に送信若しくは入力されたノズルセッティング情報、または、既に記憶されているノズルセッティング情報に基づいて、セッティングに供されるトレイＮＴの型式および各ノズルＮの型式が特定される。このノズルセッティング情報は、図２１に示すテーブルにおいて、〔トレイＩＤ〕および〔ノズルＩＤ〕が書き込まれていない情報と考えることができる。
　次に、Ｓ２２において、セッティングを行うステージが固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれであるかが特定され、Ｓ２３においてその特定されたステージが可動ステージ２０４であると判断された場合には、Ｓ２４において、収容装置１０２に収容されているトレイＮＴを使用するのか否かが判断される。収容装置１０２に収容されているトレイＮＴを使用すると判断された場合には、Ｓ２５において、上記ノズルセッティング情報および上述の収容トレイ情報に基づいて、１つのトレイＮＴが選択され、Ｓ２６において、その選択されたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、載置位置に移送され、その移載位置においてセットされる。一方、Ｓ２３においてオペレータがセットしたトレイＮＴを使用すると判断された場合、若しくは、Ｓ２２において可動ステージ２０２でセッティングが行われると判断された場合には、既に、オペレータによってトレイＮＴがセットされているので、トレイＮＴの選択およびセットは行われない。
　次に、Ｓ２７において、セットされたトレイＮＴが良好であるか否かが判断される。移載装置１０４に設けられたカメラ２２０によって、セットされたトレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が撮像されて、そのトレイＮＴのＩＤが取得されるが、その際、そのＩＤの取得が不可能である場合に、そのトレイＮＴに不具合があると判断される。また、セットされたトレイＮＴは、載置穴開状態を実現すべく上述のカバー摺動機構が駆動されるが、そのその際のカバー摺動機構の動作が円滑でないような場合に、そのトレイＮＴに不具合があると判断される。
　当該ノズルセッティングプログラムに従う処理では、セットされたトレイＮＴに不具合が生じている場合にそのトレイＮＴを良好なトレイＮＴに交換する処理が行われる。このトレイ交換処理では、まず、セットされたトレイＮＴに不具合があるとＳ２７において判断された場合には、Ｓ２８において、そのトレイＮＴが固定ステージ２０２と可動ステージ２４とのいずれにセットされているかが判断される。固定ステージ２０２にセットされていると判断された場合には、そのトレイＮＴの使用を禁止すべく、そのトレイＮＴを固定ステージ２０２に残したまま、Ｓ２９において、ステージの変更処理が行われる。つまり、ノズルＮのセッティングに使用するステージを固定ステージ２０２から可動ステージ２０４に変更する処理が行われる。一方、可動ステージ２０４にセットされていると判断された場合には、Ｓ３０において、そのトレイＮＴが、移送装置１２２によって返送され、収容装置１０２に収容される。この際、そのトレイＮＴのＩＤおよび型式が、そのトレイＮＴが不良トレイである事実ともに、そのトレイＮＴが収容されるキャリア１９２に関係付けられて、上述の収容トレイ情報に追加、若しくは、その収容トレイ情報の更新が行われる。ステージの変更若しくはトレイＮＴの収容が行われた後、Ｓ２５に戻って、別のトレイＮＴが、ノズルセッティング情報および収容トレイ情報に基づいて、選択され、Ｓ２６において、その選択された別のトレイＮＴがセットされる。セットされたトレイＮＴが良好であるとＳ２７において判断された場合には、取得されているそのトレイＮＴのＩＤが、ノズルセッティング情報に追加される。
　良好なトレイＮＴがステージにセットされている状態において、Ｓ３１において、セッティング情報および上述の収容ノズル情報に基づいて、セッティング移載に供される１つのパレットＮＰが、ノズルセッティング情報および収容ノズル情報に基づいて、収容装置１００が有する複数のパレットＮＰの中から１つ選択される。この選択についての詳しいアルゴリズムの説明は省略するが、Ｓ３１では、セッティング移載されるノズルＮが１以上載置されていること、載置されているすべてのノズルＮについてのすべての項目の検査が終了していること等の条件を充足したものの中から、ノズルＮのセッティングができるだけ効率よく行えるという観点に基づいて、１つのパレットＮＰが選択される。そして、続くＳ３２において、その選択されたパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって移送されて上述の移載位置にセットされる。
　パレットＮＰのセット後、ノズルＮのそのパレットＮＰからトレイＮＴへの載置に先立って、先に説明したノズル収容オペレーションと同様の不良ノズルに対する処置が、Ｓ３３～Ｓ３５において実行される。この処置についての詳細については、先に説明してあるので、ここでの説明は省略する。Ｓ３４，Ｓ３５が実行されて不良ノズルが存在しなくなった場合、若しくは、パレットＮＰがセットされた当初からそのパレットに不良ノズルが存在しない場合に、次のＳ３６が実行される。
　Ｓ３６では、セットされたパレットＮＰに載置されているノズルＮの中から、セットされたトレイＮＴに載置可能な１つのノズルが、収容ノズル情報およびノズルセッティング情報に基づいて選択され、続く、Ｓ３７において、その選択されたノズルＮが、ノズルセッティング情報に基づいて、セットされたトレイＮＴの特定の載置穴６４に移載される。つまり、上述のセッティング移載が行われるのである。このセッティング移載の際、移載されるノズルＮについての情報が、収容ノズル情報から削除されるとともに、そのノズルＮのＩＤが、ノズルセッティング情報に追加される。なお、このセッティング移載において、移載装置１０４に設けられたカメラ２２０によって、移載されるノズルＮのＩＤを取得し、その取得したＩＤと収容ノズル情報として記憶されているＩＤとに相違がないことを確認する処理を行ってもよく、また、その確認する処理を行わずに、取得されたＩＤをそのままノズルセッティング情報に追加するようにしてもよい。
　１つのノズルＮについてのセッティング移載の後、Ｓ３８において、予定されているすべてのノズルＮのセッティング移載が完了したか否かが判断される。すべてのノズルＮのセッティング移載が完了していない場合は、Ｓ３９において、セットされているパレットＮＰからのノズルＮの移載を継続するか否かが判断される。ノズルＮのそのパレットＮＰからの移載の継続が可能である場合には、Ｓ３６に戻って、次のノズルＮのそのパレットＮＰから次のトレイＮＴへの移載が行われる。例えば、移載できるノズルＮがそのパレットＮＰに存在しない等の理由で、Ｓ３９においてそのパレットＮＰからの移載の継続ができないと判断された場合には、Ｓ４０において、そのパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送され、Ｓ３１に戻って次のパレットＮＰが選択される。そのパレットＮＰのセット，そのパレットＮＰに載置されている不良ノズルに対する処置が実行された後、そのパレットＮＰからのノズルＮのセッティング移載が開始される。Ｓ３９において、予定されてたすべてのノズルＮのセッティング移載が完了したと判断された場合には、Ｓ４１において、セットされているパレットＮＰが、第１移送装置１１４によって、収容装置１００に返送される。
　すべてのノズルＮのセッティング移載が完了し、パレットＮＰが返送された後、Ｓ４２において、ノズルＮがセッティングされているトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容するか否かが判断される。そのトレイＮＴを収容装置１０２に収容すると判断された場合には、Ｓ４３において、セットされていたトレイＮＴが、トレイ移送装置１２２によって、収容装置１０２に収容されて、ノズル収容オペレーションが終了する。一方、Ｓ４２においてそのトレイＮＴが収容装置１０２に収容されないと判断された場合には、そのトレイＮＴのセットの解除が行われて、そのトレイＮＴを固定ステージ１０２若しくは可動ステージ２０４に残したまま、ノズル収容オペレーションが終了する。なお、ノズルＮＴのセッティング移載に先立って、トレイＮＴに付されている２Ｄコード７６が、移載装置１０４に設けられたカメラ２２によって撮像され、そのトレイＮＴのＩＤが取得されており、トレイＮＴの収容装置１０２への収容の際には、そのトレイＮＴのＩＤが、そのトレイＮＴがノズルＮのセッティングが済んだトレイＮＴである事実ともに、収容されるキャリア１９２に関係付けられて上述の収容トレイ情報に追加される。一方、可動ステージ２０４にセッティングの完了したトレイＮＴを残したまま、当該オペレーションが終了する場合には、収容トレイ情報の中に含まれるそのトレイＮＴについての情報が削除される。
　iv）ノズル再セッティングオペレーション
　ノズル再セッティングオペレーションは、既にノズルＮがセッティングされているトレイＮＴをステージにセットすることにより、それらのノズルＮに代えて、それらのノズルＮと型式を同じくする別のノズルＮを載置させるオペレーションである。言い換えれば、セッティング済みのトレイＮＴを基にノズルセッティング情報を作成し、その情報に基づいて、ノズルを交換するオペレーションである。ノズルセッティングオペレーションは、コントローラ８４が図２４および図２５にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムを実行することによって、行われる。なお、ノズルセッティングオペレーションでは、ノズルＮをセッティングするためのステージを固定ステージ２０２と可動ステージ２０４のいずれにするか、再セッティングが完了したトレイＮＴを収容装置１０２に収容するか否かが、それぞれ選択できるようになっており、それらの選択は、オペレータによるコントローラ８４の操作キー８８を用いた操作に基づいて行われる。
　ノズル再セッティングオペレーションでは、簡単に言えば、前半にノズル収容オペレーションが行われる。具体的には、図２４にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの前半部分に従った処理によって、セットされたトレイＮＴに載置されていたノズルＮが収容装置１００に収容される。当該プログラムのＳ５１～Ｓ６６において行われる処理は、前述のノズル収容プログラムのＳ１～Ｓ１６において行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明については省略するが、Ｓ５３，Ｓ５５において特定されたトレイＮＴの型式およびノズルＮの型式に基づいて、ノズルセッティング情報が作成される。なお、このノズル再セッティングオペレーションでも、Ｓ５８～Ｓ６０において、不良ノズルに対する処置が実行される。
　トレイＮＴに載置されていたノズルＮＴが収容装置１００に収容された後、図２５にフローチャートを示すノズル再セッティングプログラムの後半部分に従った処理によって、収容装置１００に収容されている別のノズルＮが、原則として、それまでノズルＮが載置されていたトレイＮＴにセッティングされる。当該プログラムのＳ６７から開始されてＳ８５に至るフローにおいて行われる処理は、前述のノズルセッティングプログラムのＳ２７から開始されてＳ４３に至るフローにおいて行われる処理と略同一であるので、それらの処理の説明は省略する。なお、このノズル再セッティングオペレーションでは、Ｓ７５～Ｓ７７においても、不良ノズルに対する処置が実行され、また、当該オペレーションでも、Ｓ６７～Ｓ７２においても、トレイＮＴを交換するための前述の処理が実行される。
　v）ノズル洗浄オペレーション
　ノズル洗浄オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮを、そのパレットＮＰごと洗浄し、乾燥させるオペレーションである。ノズルＮの洗浄および乾燥の詳細については先に説明されているため、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。ちなみに、このオペレーションおよび後に説明する第１，第２検査オペレーションの３つのオペレーションは、いずれも、本実施例で説明する他のオペレーションのいずれに対しても独立して実行される。つまり、他のオペレーションが実行中であるか否かに拘わらず、他のオペレーションの対象となっているパレットＮＰ以外のパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、設定された条件を満たす限り、３つのオペレーションのいずれをも実行することができるのである。
　ノズル洗浄オペレーションは、図２６にフローチャートを示すノズル洗浄プログラムが実行されることによって、行われる。このプログラムに従う処理では、まず、Ｓ１０１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、洗浄されていないノズルＮが設定数以上載置されていること等の条件を満たすパレットＮＰのうちの１つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。続くＳ１０２において、そのパレットＮＰが、第４パレット移送装置１１８によって、上述の洗浄位置まで移送される。そして、Ｓ１０３において、その位置に位置した状態で、そのパレットＮＰに載置されたノズルＮが、そのパレットＮＰごと、ノズル洗浄装置１１０によって洗浄される。
　洗浄装置１１０による洗浄の終了後、Ｓ１０４において、第４パレット移送装置１１８によるそのパレットＮＰの返送の速度が決定される。先に説明したように、第４移送装置１１８によるパレットＮＰの返送の最中に、そのパレットＮＰに載置されたノズルＮの乾燥が行われる。そのため、Ｓ１０４では、充分に乾燥させるのに必要な時間を確保すべく、環境温度，温風の温度等に基づいて、返送の速度が決定される。その決定の後、Ｓ１０５において、その決定された返送速度でのパレットＮＰの返送が行われつつ、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮが、パレットＮＰごと、ノズル乾燥装置１１２によって乾燥させられる。なお、乾燥の終了した後、洗浄されたノズルＮについて、上述の収容ノズル情報が更新される。具体的には、図１９に示すテーブルにおいて、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮのすべてに関して、洗浄済であることを示す記号である“◎”が付されるとともに、すべての検査が終了していない状態として扱う旨の更新がなされる。
　vi）第１ノズル検査オペレーション
　第１ノズル検査オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、第１検査装置１０６による先端部状態検査および後退必要力検査を行うオペレーションであり、図２７にフローチャートを示す第１ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお先端部状態検査および後退必要力検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。
　第１ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、Ｓ１１１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、載置されているノズルＮのすべの洗浄が終了していること等の条件を満たすパレットＮＰのうちの１つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、Ｓ１１２において、そのパレットＮＰが、第２パレット移送装置１１６によって、検査位置に移送される。
　検査位置に移送されたパレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対して、先端部状態検査が、後退必要力検査に優先して行われる。その先端部状態検査は、ノズルＮ１個１個について順次行われる。まず、Ｓ１１３において、１つのノズルＮに対する先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、先に説明したように、ユニット移動装置２３６によって、カメラ装置２３２のレンズ２３９が検査する１のノズルＮの真下に位置する位置に移動させられ、そのノズルＮの先端部が、カメラ装置２３２によって撮像され、そして、その撮像によって得られた撮像データを基に、先端部の状態が異常であるか否かが確認される。具体的には、“曲り”，“先端欠け”，“先端潰れ”といった先端部形状異常や、“異物や汚れの付着”がノズルＮに生じているか否かが確認される。その確認の結果を基に、Ｓ１１４において判定を行い、先端部の状態が異常であると認識されている場合、Ｓ１１５において、パレットＮＰに固定されている前述の基準パイプ１６０についての先端部状態検査が実行される。詳しく言えば、カメラ装置２３２によって、基準パイプ１６０の先端部が撮像され、その撮像によって得られた先端部の撮像データに基いて、基準パイプ１６０の先端部の状態に異常があるか否かが確認される。その確認の結果、Ｓ１１６において判定を行い、基準パイプ１６０の先端部の状態が正常である場合に、Ｓ１１７において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。一方、基準パイプ１６０の先端部の状態が異常である場合には、Ｓ１１８において、第１検査装置１０６の当該検査に関する機能に異常があると認定され、その旨がディスプレイ８６に表示されるとともに、そのノズルＮに対する先端部状態の異常に関する判断を行わず、かつ、他のノズルＮに対する以後の先端部状態検査がスキップされる。Ｓ１１４において先端部の状態が正常であると確認された場合、若しくは、Ｓ１１７において不良ノズルであると判断された場合には、Ｓ１１９の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての先端部状態検査が完了するまで、Ｓ１１３以降の処理が繰り返される。
　上記一連の処理の結果、先端部の状態においてノズルＮが正常であると判断された場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔先端部状態〕の列に“○”が、先端部の状態に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第１検査装置１０６の当該検査に関する機能に異常があると認定された場合には、当該パレットＰに載置されているすべてのノズルＮの〔先端部状態〕の列が空白とされる。つまり、そのパレットＮＰに載置されているノズルＮは、いずれも先端部状態検査が行われていないものとして扱われるのである。
　先端部状態検査の後、後退必要力検査が、パレットＮＰに載置されているノズルＮの１個１個について、順次、行われる。当該プログラムに従う処理では、各ノズルＮの後退必要力検査に先立って、Ｓ１２０において、パレットＮＰに固定されている上述の基準ノズル１５８についての後退必要力が測定される。つまり、基準ノズル１５８の吸着管３２を後退させる際に、荷重測定装置２３４の有するロードセル２４２が受ける荷重を測定する。次いで、Ｓ１２１において、その測定結果を基に、ロードセル２４２によって測定される荷重の値が、実際の値に等しくなるようにするために、荷重測定装置２３４の調整（例えば、ユニット移動装置２３６による荷重測定装置２３４の上昇距離の設定等）が行われる。
　荷重測定装置２３４の上記調整の後、まず、Ｓ１２２において、１つのノズルＮに対する後退必要力検査が実行される。詳しく説明すれば、測定を行うノズルＮの下方にロードセル２４２を位置させた後、荷重測定装置２３４を設定距離だけ上昇させ、そのときのロードセル２４２が受ける荷重を測定する。そして、その荷重が、当該ノズルＮについて設定された閾力を超えた場合に、そのノズルＮの後退必要力が過大であると認定される。その認定の結果を基に、Ｓ１２３において判定を行い、後退必要力が過大である場合に、Ｓ１２４において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ１２５の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての後退必要力検査が完了するまで、Ｓ１２２以降の処理が繰り返される。
　上記一連の処理の結果、ノズルＮの後退必要力が正常であると判断された場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔後退必要力〕の列に“○”が、後退必要力に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮの後退必要力検査が終了した後、Ｓ１２６において、そのパレットＮＰが、第２移送装置１１６によって、収容装置１００に返送される。
　vii）第２ノズル検査オペレーション
　第２ノズル検査オペレーションは、収容装置１００内の１つのパレットＮＰに載置されているノズルＮに対して、第２検査装置１０８による識別子読取検査および通過流量検査を行うオペレーションであり、図２８にフローチャートを示す第２ノズル検査プログラムが実行されることによって、行われる。なお識別子読取検査および通過流量検査についての詳細は先に説明されているので、ここでは、当該オペレーションの流れを中心に説明する。
　第２ノズル検査プログラムに従う処理では、まず、Ｓ１３１において、当該オペレーションの対象となるパレットＮＰが特定される。具体的には、載置されているノズルＮのすべの洗浄が終了していること等の条件を満たすパレットＮＰのうちの１つが、当該オペレーションおよび他のオペレーションの効率が考慮されて、対象パレットとして決定される。対象パレットが決定された後、Ｓ１３２において、そのパレットＮＰが、第３パレット移送装置１１８によって、検査位置に移送される。
　検査位置に移送されたパレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対して、識別子読取検査が、通過流量検査に優先して行われる。その識別子読取検査は、第２検査装置１０８が備えるカメラ２７６によって、ノズルＮ１個１個について順次行われるが、各ノズルＮの検査に先立って、Ｓ１３３において、まず、パレットＮＰに固定された基準ノズル１５８のフランジ３４に付されている２Ｄコード３８が、カメラ２７６によって撮像され、その撮像によって得られた画像データに基づいて、第２検査装置１００の識別子読取検査に関する機能が充分であることが確認される。そしてその確認の結果を基に、Ｓ１３４において判定を行い、その機能が充分であることを条件に、Ｓ１３５以下において、各ノズルＮについての当該識別子読取検査が実行される。ちなみに、Ｓ１３４の判定において識別子読取検査に関する機能が不充分であることが確認された場合には、その旨がディスプレイ８６に表示されるとともに、パレットＮＰに載置されたノズルＮの各々に対する識別子読取検査は実行されない。
　Ｓ１３５における１つのノズルＮの識別子読取検査は、まず、検査ヘッド２７０が、ヘッド移動装置２７２によって、そのノズルＮのフランジ３４に付された２Ｄコード３８の真上にカメラ２７６が位置する位置に移動させられ、その状態で、カメラ２７６によって、その２Ｄコード３８が撮像される。そして、その撮像によって得られた画像データに基づいて、そのノズルＮのＩＤが充分に認識可能であるか否かが確認される。その確認の結果を基に、Ｓ１３６において判定を行い、撮像された２Ｄコード３８からはＩＤが充分には読取りできない場合、つまり、２Ｄコード３８の読取りが困難である場合には、Ｓ１３７において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ１３８の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての識別子読取検査が完了するまで、Ｓ１３５以降の処理が繰り返される。
　上記一連の処理の結果、２Ｄコード３８の読取が充分にできる場合、つまり、識別子読取に関してノズルＮが正常である場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔識別子読取〕の列に“○”が、識別子読取に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。第２検査装置１０８の当該検査に関する機能が不充分と認定されて各ノズルＮについての識別子読取検査が行われなかった場合には、その事実を収容ノズル情報に反映させるべく、当該パレットＰに載置されているすべてのノズルＮの〔識別子読取〕の列が空白とされる。なお、ノズルＮの収容移載において２Ｄコード３８の読取りできずに、〔ノズルＩＤ〕の列に“？”が付され、〔ノズル型式〕の列に“（・・・・）”が付されているノズルＮのＩＤが、識別子読取検査によって充分に認識可能であると判断された場合には、その検査において読み取られたＩＤが、〔ノズルＩＤ〕の列に書き込まれ、そのＩＤに基づいて特定されるノズル型式が、〔ノズル型式〕の列に書き込まれる。
　識別子読取検査の後、通過流量検査が、パレットＮＰに載置されているノズルＮの１個１個について、順次、行われるのであるが、当該プログラムに従う処理では、各ノズルＮの通過流量検査に先立って、Ｓ１３９において、パレットＮＰに固定されている上述の基準パイプ１６０に、エア送給装置２７４によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ２８０による空気圧の測定が行われる。次いで、Ｓ１４０において、測定された空気圧に基づいて、ノズルＮの通過流量検査の際に参照される上記閾圧が設定される。
　閾圧の設定の後、まず、Ｓ１４１において、１つのノズルＮに対する通過流量検査が実行される。詳しく説明すれば、検査を行うノズルＮにエア送給装置２７４によって圧縮空気を供給し、その状態において、空気圧センサ２８０による空気圧の測定が行われる。そして、その測定された空気圧が上記設定された閾値より高い場合に、そのノズルＮの空気の通過流量が不充分であると認定される。その認定の結果を基に、Ｓ１４２において判定を行い、通過流量が不充分である場合に、Ｓ１４３において、そのノズルＮが不良ノズルであると判断される。そして、Ｓ１４４の処理によって、パレットＮＰに載置されたすべてのノズルＮについての通過流量検査が完了するまで、Ｓ１４１以降の処理が繰り返される。
　上記一連の処理の結果、ノズルＮの通過流量が正常であると判断された場合には、図１９に示す収容ノズル情報におけるそのノズルＮの〔通過流量〕の列に“○”が、通過流量に関して不良ノズルであると判断された場合には、その列に“×”が、それぞれ付される。パレットＮＰに載置されているすべてのノズルＮの通過流量検査が終了した後、Ｓ１４５において、そのパレットＮＰが、第３移送装置１１８によって、収容装置１００に返送される。
［Ｋ］制御装置の機能構成
　先に述べたように、実施例の管理機８０の制御は、制御装置であるコントローラ８４が司っている。詳しく言えば、図２９に示すように、ノズル収容装置１００～トレイ移送装置１２２の各々の動作は、それらとの間で信号，情報をやり取りしつつ、コントローラ８４によって制御される。そして、コントローラ８４の制御の下、管理機８０は、上述した各種のオペレーションを行う。そのオペレーションに鑑みれば、コントローラ８４は、図２９に示すような複数の機能部、つまり、各種のプログラムの実行によって実現される複数の機能部を有していると考えることができる。
　複数の機能部の各々について詳しく説明すれば、コントローラ８４は、それぞれがノズルＮに関係する管理情報である上述の収容ノズル情報，ノズルセッティング情報，収容トレイ情報を記憶する機能部として、ノズル情報記憶部４００を有している。具体的には、コントローラ８４の主要構成要素であるコンピュータが有するハードディスク等の記憶媒体が、そのノズル情報記憶部４００の役割を担っている。そして、管理機８０は、その記憶されている管理情報に基づいて、上述のオペレーションを行う。
　また、コントローラ８４は、上述の各オペレーションを制御する機能部として６つの機能部を有している。具体的には、ノズル収容オペレーションの制御を行うノズル収容制御部４０２，ノズルセッティングオペレーションの制御を行うノズルセッティング制御部４０４，ノズル再セッティングオペレーションの制御を行うノズル再セッティング制御部４０６，ノズル洗浄オペレーションの制御を行うノズル洗浄制御部４０８，第１ノズル検査オペレーションの制御を行う第１ノズル検査制御部４１０，第２ノズル検査オペレーションの制御を行う第２ノズル検査制御部４１２を、それぞれ有している。そして、それら制御部４０２～４１２は、それぞれ、上述のノズル収容プログラム，ノズルセッティングプログラム，ノズル再セッティングプログラム，ノズル洗浄プログラム，第１ノズル検査プログラム，第２ノズル検査プログラムの実行によって実現される機能部である。
　さらに、ノズル収容制御部４０２，ノズルセッティング制御部４０４，ノズル再セッティング制御部４０６に関して、詳しく説明すれば、それら制御部４０４，４０６，４０８の各々は、パレットＮＰに載置されている不良ノズルの処置、つまり、不良ノズルを、それが不良と判断された検査項目に応じて、不良ボックス２２４において仕切られた対応する空間２２６に留置するために、その不良ノズルを運搬する処置を制御する機能部として、不良ノズル運搬制御部４１４を有している。この不良ノズル運搬制御部４１４は、Ｓ８～Ｓ１０，Ｓ３３～Ｓ３５，Ｓ５８～Ｓ６０，Ｓ７５～Ｓ７７のいずれかの実行によって実現される機能部である。また、ノズルセッティング制御部４０４，ノズル再セッティング制御部４０６の各々は、トレイＮＴに不具合が生じていると判断された場合に、トレイ移送装置１２２を制御することによって、そのトレイＮＴを、トレイ収容装置１０２に収容されているトレイＮＴと交換させる機能部として、トレイ交換制御部４１６を有している。このトレイ交換制御部４１６は、Ｓ２７～Ｓ３０およびそれに続くＳ２５～Ｓ２６，，Ｓ６７～Ｓ７２のいずれかの実行によって実現される機能部である。
　さらに、第１ノズル検査制御部４１０，第２ノズル検査制御部４１２に関して、詳しく説明すれば、それら制御部４１０，４１２は、ノズル検査装置１０６，１０８によるノズルＮの検査結果が不良となり、かつ、基準対象である基準ノズル１５８若しくは基準パイプ１６０の検査結果が良好であることを条件として、そのノズルＮを不良ノズルと判断する機能部として、基準対象参照不良ノズル判断部４１８を有している。この基準対象参照不良ノズル判断部４１８は、Ｓ１１４～Ｓ１１７，Ｓ１３４～Ｓ１３８のいずれかの実行によって実現される機能部である。また、それら制御部４１０，４１２の各々は、ノズルＮの検査に先立って、基準対象である基準ノズル１５８若しくは基準パイプ１６０を利用して、ノズル検査装置１０６，１０８による検査の基準の設定、若しくは、ノズル検査装置１０６，１０８の校正を、準備処理として行う機能部として、基準対象依拠検査準備処理部４２０を有している。この基準対象依拠検査準備処理部４２０は、Ｓ１２０およびＳ１２１，Ｓ１３９およびＳ１４０のいずれかの実行によって実現される機能部である。
　１０：電気部品装着機　　１８：装着ヘッド　　Ｎ：吸着ノズル　　３０：胴体筒〔後端部〕　　３２：吸着管〔先端部〕　　３４：フランジ　　３６：掛止ピン　　３８：２Ｄコード〔識別子〕　　５０：ノズルステーション　　ＮＴ：ノズルトレイ　　６０：ベースプレート　　６２：カバープレート　　６４：載置穴〔載置部〕　　６６：段差面　　７６：２Ｄコード〔識別子〕　　８０：ノズル管理機　　８４：コントローラ〔制御装置〕　　１００：ノズル収容装置　　１０２：トレイ収容装置　　１０４：ノズル移載装置〔対ノズル処置実行装置〕〔不良ノズル運搬装置〕　　１０６：第１ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕　　１０８：第２ノズル検査装置〔対ノズル処置実行装置〕　　１１０：ノズル洗浄装置〔対ノズル処置実行装置〕　　１１２：ノズル乾燥装置　　１１４：第１パレット移送装置〔ノズル移送装置〕　　１１６：第２パレット移送装置〔ノズル移送装置〕　　１１８：第３パレット移送装置〔ノズル移送装置〕　　１２０：第４パレット移送装置〔ノズル移送装置〕　　１２２：トレイ移送装置　　１３４：パレット移動装置〔パレット循環装置〕　　ＮＰ：ノズルパレット　　１４０：ベースプレート　　１４２：カバープレート　　１４４：載置穴〔載置部〕　　１４６：段差面　　１５６：２Ｄコード〔識別子〕　　１５８：基準ノズル〔基準対象〕　　１６０：基準パイプ〔基準対象〕〔模擬物〕　　１９０：トレイ移動装置〔トレイ循環装置〕　　２０２：固定ステージ　　２０４：可動ステージ　　２１０：移載ヘッド　　２１２：ヘッド移動装置〔保持具移動装置〕　　２１８：保持チャック〔ノズル保持具〕　　２２０：カメラ〔識別子読取器〕　　２２４：不良ボックス〔不良ノズル留置器〕　　２２６：空間〔留置部〕　　２３２：カメラ装置　　２３４：荷重測定装置　　２３５：検査ユニット　　２３６：ユニット移動装置　　２７０：検査ヘッド　　２７２：ヘッド移動装置　　２７４：エア送給装置　　２７６：カメラ　　３０２：上部洗浄ユニット　　３０４：下部洗浄ユニット　　３１０：Ｙ方向移動機構　　３１２：噴射孔　　３１４：送風管　　３３０：レール　　３３２：移動機構　　３３４：ガイド　　３３６：搬送ユニット　　３３８：ガイド　　３４０：搬送ユニット　　４００：ノズル情報記憶部　　４０２：ノズル収容制御部　　４０４：ノズルセッティング制御部　　４０６：ノズル再セッティング制御部　　４０８：ノズル洗浄制御部　　４１０：第１ノズル検査制御部　　４１２：第２ノズル検査制御部　　４１４：不良ノズル運搬制御部　　４１６：トレイ交換制御部　　４１８：基準対象参照不良ノズル判断部　　４２０：基準対象依拠準備処理部
                                                                                

Claims (23)

  1. 　電気部品装着機において電気部品を保持するために使用される吸着ノズルを管理するためのノズル管理機であって、
    　複数の吸着ノズルを収容可能なノズル収容装置を備えたノズル管理機。
  2. 　前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備えた請求項１に記載のノズル管理機。
  3. 　前記複数のパレットの１以上のものが、複数種の吸着ノズルを載置可能に構成された請求項２に記載のノズル管理機。
  4. 　前記ノズル収容装置が、前記複数のパレットを当該ノズル収容装置内において移動させるパレット移動装置を備えた請求項２または請求項３に記載のノズル管理機。
  5. 　前記パレット移動装置が、前記複数のパレットを同時に循環移動させるパレット循環装置である請求項４に記載のノズル管理機。
  6. 　当該ノズル管理機が、
    　前記ノズル収容装置に収容されている若しくはこれから収容される吸着ノズルに対して、何らかの処置を実行する対ノズル処置実行装置と、
    　前記パレット移動装置によって設定位置に移動させられた前記複数のパレットのうちの１つを前記対ノズル処置実行装置に移送するパレット移送装置と
    　を備えた請求項４または請求項５に記載のノズル管理機。
  7. 　前記電気部品装着機が、その電気部品装着機において使用される１以上の吸着ノズルがその電気部品装着機に着脱可能に配備されたノズルトレイに載置されるように構成されており、
    　当該ノズル管理機が、
    　前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、設定位置に位置するノズルトレイに移載するセッティング移載と、
    　設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルを、前記ノズル収容装置に収容するために、そのノズルトレイから移載する収容移載と
    　の少なくとも一方を実行するノズル移載装置を備えた請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のノズル管理機。
  8. 　前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
    　当該ノズル管理機が、
    　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記対ノズル処置実行装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するように構成されたパレット移送装置を備えて、かつ、
    　前記ノズル移載装置が、
    　前記セッティング移載を実行するように構成されている場合において、そのセッティング移載の際には、前記パレット移送装置によって当該ノズル移載装置による移載が可能な位置まで移送された前記複数のパレットのうちの１つに載置されている吸着ノズルについての移載を実行するように構成され、
    　前記収容移載を実行するように構成されている場合において、その収容移載の際には、前記パレット移送装置によって前記ノズル収容装置から当該ノズル移載装置による移載が可能な位置にまで移送された前記複数のパレットのうちの１つへの移載を実行するように構成された請求項７に記載のノズル管理機。
  9. 　前記ノズル移載装置が、少なくとも前記収容移載を実行するように構成されるとともに、当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備え、
    　その制御装置が、
    　前記ノズル収容装置に収容されている複数の吸着ノズルの各々の固有情報が、その各々の前記ノズル収容装置における収容位置に関連付けて記憶されるノズル情報記憶部と、
    　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に、その移載された吸着ノズルの固有情報を、その吸着ノズルの収容位置に関連付けて記憶させるノズル収容制御部と
    　を有する請求項７または請求項８に記載のノズル管理機。
  10. 　前記ノズル移載装置が、少なくとも前記セッティング移載を実行するように構成されるとともに、当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備え、
    　その制御装置が、
    　前記ノズル収容装置に収容されている複数の吸着ノズルの各々の固有情報が、その各々の前記ノズル収容装置における収容位置に関連付けて記憶されるノズル情報記憶部と、
    　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、前記設定位置に位置するノズルトレイに、そのノズルトレイに載置すべき吸着ノズルを移載させるノズルセッティング制御部と
    　を有する請求項７ないし請求項９のいずれか１つに記載のノズル管理機。
  11. 　前記ノズル移載装置が、前記収容移載と前記セッティング移載とを実行するように構成されるとともに、当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備え、
    　その制御装置が、
    　前記ノズル収容装置に収容されている複数の吸着ノズルの各々の固有情報が、その各々の前記ノズル収容装置における収容位置に関連付けて記憶されるノズル情報記憶部と、
    　前記ノズル移載装置を制御することによって、前記設定位置に位置するノズルトレイに載置されている吸着ノズルをそのノズルトレイから移載させるとともに、前記ノズル情報記憶部に記憶された前記複数の吸着ノズルの固有情報に基づいて、その移載させられた吸着ノズルと同じ型式の前記ノズル収容装置に収容されている吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるノズル再セッティング制御部と
    　を有する請求項７ないし請求項１０のいずれか１つに記載のノズル管理機。
  12. 　前記ノズル再セッティング制御部が、
    　前記移載させられた吸着ノズルに代えて、別の吸着ノズルを、前記設定位置に位置するノズルトレイに移載させるように構成された請求項１１に記載のノズル管理機。
  13. 　当該ノズル管理機が、
    　それぞれが前記ノズルトレイである複数のノズルトレイを収容可能なトレイ収容装置と、
    　前記設定位置と前記トレイ収容装置との間を、１つのノズルトレイを移送するトレイ移送装置と
    　を備えており、
    　前記制御装置が、
    　ノズルトレイに不具合が生じていると判断された場合に、前記トレイ移送装置を制御することによって、そのノズルトレイを、前記トレイ収容装置に収容されているノズルトレイと交換させるトレイ交換制御部を有する請求項９ないし請求項１２のいずれか１つに記載のノズル管理機。
  14. 　当該ノズル管理機が、吸着ノズルの検査を行うノズル検査装置を備えた請求項１ないし請求項１３のいずれか１つに記載のノズル管理機。
  15. 　前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
    　当該ノズル管理機が、
    　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
    　前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成された請求項１４に記載のノズル管理機。
  16. 　前記ノズル検査装置による検査において参照される基準対象が設けられた請求項１４または請求項１５に記載のノズル管理機。
  17. 　前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
    　当該ノズル管理機が、
    　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル検査装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、
    　前記ノズル検査装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で検査を行うように構成され、かつ、
    　前記複数のパレットのうちの少なくとも１つに、前記基準対象が設けられた請求項１６に記載のノズル管理機。
  18. 　前記基準対象が、通常良好な検査結果が得られるように構成されているとともに、当該ノズル管理機が、自身の制御を司る制御装置を備え、
    　その制御装置が、
    　前記ノズル検査装置による吸着ノズルの検査結果が不良となり、かつ、前記基準対象の検査結果が良好であることを条件として、その吸着ノズルを不良ノズルと判断する基準対象参照不良ノズル判断部を有する請求項１６または請求項１７に記載のノズル管理機。
  19. 　当該ノズル管理機が、前記ノズル検査装置による検査結果に基づいて不良と判断された吸着ノズルである不良ノズルを留置する不良ノズル留置器を備え、
    　その不良ノズル留置器が、
    　それぞれに、不良と判断された検査項目において互いに異なる不良ノズルを留置するための複数の留置部を有する請求項１４ないし請求項１８のいずれか１つに記載のノズル管理機。
  20. 　当該ノズル管理機が、不良ノズルを前記不良ノズル留置器にまで運搬する不良ノズル運搬装置と、自身の制御を司る制御装置とを備え、
    　その制御装置が、
    　前記不良ノズル運搬装置を制御することによって、不良ノズルを、その不良ノズルについて不良と判断された検査項目に対応する前記複数の留置部のうちの１つにまで運搬させる不良ノズル運搬制御部を有する請求項１９に記載のノズル管理機。
  21. 　当該ノズル管理機が、吸着ノズルの洗浄を行うノズル洗浄装置を備えた請求項１ないし請求項２０のいずれか１つに記載のノズル管理機。
  22. 　前記ノズル洗浄装置が、高圧の水を吸着ノズルに向かって噴射して洗浄を行うように構成された請求項２１に記載のノズル管理機。
  23. 　前記ノズル収容装置が、それぞれに複数の吸着ノズルが載置可能な複数のパレットを備え、
    　当該ノズル管理機が、
    　前記複数のパレットのうちの１つを、前記ノズル収容装置から前記ノズル洗浄装置に移送することで、複数の吸着ノズルを移送するパレット移送装置を備え、かつ、
    　前記ノズル洗浄装置が、前記複数のパレットのうちの１つに載置された複数の吸着ノズルを、その１つのパレットに載置された状態で洗浄を行うように構成された請求項２１または請求項２２に記載のノズル管理機。
                                                                                    
PCT/JP2012/078044 2012-10-30 2012-10-30 ノズル管理機 WO2014068673A1 (ja)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020157010787A KR102033204B1 (ko) 2012-10-30 2012-10-30 노즐 관리기
PCT/JP2012/078044 WO2014068673A1 (ja) 2012-10-30 2012-10-30 ノズル管理機
KR1020197029430A KR102135007B1 (ko) 2012-10-30 2012-10-30 노즐 관리기
JP2014544101A JP6129201B2 (ja) 2012-10-30 2012-10-30 ノズル管理機
CN201280076728.1A CN104770078B (zh) 2012-10-30 2012-10-30 吸嘴管理机
EP12887348.6A EP2916637B1 (en) 2012-10-30 2012-10-30 Nozzle managing apparatus
EP20160594.6A EP3684158B1 (en) 2012-10-30 2012-10-30 Nozzle management machine
PCT/JP2013/059226 WO2014069016A1 (ja) 2012-10-30 2013-03-28 ノズル管理機
JP2014544335A JP6161625B2 (ja) 2012-10-30 2013-03-28 ノズル管理機
CN201380056808.5A CN104770079B (zh) 2012-10-30 2013-03-28 吸嘴管理机
EP13850477.4A EP2916638B1 (en) 2012-10-30 2013-03-28 Nozzle management device
CN201710152512.3A CN107072138B (zh) 2012-10-30 2013-03-28 吸嘴管理机
CN201710152746.8A CN107072139B (zh) 2012-10-30 2013-03-28 吸嘴管理机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2012/078044 WO2014068673A1 (ja) 2012-10-30 2012-10-30 ノズル管理機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014068673A1 true WO2014068673A1 (ja) 2014-05-08

Family

ID=50626651

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/078044 WO2014068673A1 (ja) 2012-10-30 2012-10-30 ノズル管理機
PCT/JP2013/059226 WO2014069016A1 (ja) 2012-10-30 2013-03-28 ノズル管理機

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2013/059226 WO2014069016A1 (ja) 2012-10-30 2013-03-28 ノズル管理機

Country Status (5)

Country Link
EP (3) EP2916637B1 (ja)
JP (2) JP6129201B2 (ja)
KR (2) KR102033204B1 (ja)
CN (4) CN104770078B (ja)
WO (2) WO2014068673A1 (ja)

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016016929A1 (ja) * 2014-07-28 2016-02-04 富士機械製造株式会社 ノズル収納庫
WO2017029731A1 (ja) * 2015-08-19 2017-02-23 富士機械製造株式会社 ノズル洗浄装置およびノズルステーション設置装置
JP2017074560A (ja) * 2015-10-16 2017-04-20 富士機械製造株式会社 ノズル洗浄装置およびノズル乾燥方法
JPWO2016009491A1 (ja) * 2014-07-15 2017-04-27 富士機械製造株式会社 検査方法
JP2017130595A (ja) * 2016-01-22 2017-07-27 富士機械製造株式会社 ノズル収納庫
CN107615910A (zh) * 2015-05-27 2018-01-19 富士机械制造株式会社 附着物去除方法及附着物去除装置
US9901020B2 (en) 2014-10-16 2018-02-20 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Nozzle managing system
WO2018179300A1 (ja) * 2017-03-30 2018-10-04 株式会社Ｆｕｊｉ 保守管理装置
JP2018207130A (ja) * 2018-09-19 2018-12-27 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル収納庫
US10391594B2 (en) 2014-08-06 2019-08-27 Fuji Corporation Nozzle station installation device
US10420266B2 (en) 2015-10-21 2019-09-17 Fuji Corporation Nozzle management device and control method of nozzle management device
CN110447318A (zh) * 2017-03-22 2019-11-12 株式会社富士 工具管理装置
JP2020074447A (ja) * 2020-01-23 2020-05-14 株式会社Ｆｕｊｉ ノズルステーション設置装置
WO2020100266A1 (ja) * 2018-11-15 2020-05-22 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル管理システム
JP2020123749A (ja) * 2020-05-07 2020-08-13 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル管理装置
WO2021059319A1 (ja) 2019-09-24 2021-04-01 株式会社Ｆｕｊｉ 保持具管理装置、および表示方法
WO2021084594A1 (ja) * 2019-10-29 2021-05-06 株式会社Ｆｕｊｉ 保持具管理装置、およびメンテナンス処理実行方法
JP2021177570A (ja) * 2020-02-18 2021-11-11 株式会社Fuji ブロー装置及びノズル乾燥方法
JP2022061038A (ja) * 2021-02-16 2022-04-15 株式会社Fuji 保守管理装置
JP2022061037A (ja) * 2021-02-16 2022-04-15 株式会社Fuji 保守管理装置
JP2022126888A (ja) * 2021-02-16 2022-08-30 株式会社Fuji 保守管理装置
JP2023015218A (ja) * 2020-02-18 2023-01-31 株式会社Fuji ブロー装置

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6693951B2 (ja) * 2015-05-27 2020-05-13 株式会社Ｆｕｊｉ 実装機用ノズル洗浄装置
JP6599988B2 (ja) * 2015-07-17 2019-10-30 株式会社Ｆｕｊｉ 部品実装機
MY192718A (en) * 2015-08-20 2022-09-05 Mrsi Systems Llc Die placement head with turret
BR112018004394B1 (pt) * 2015-09-11 2022-01-18 Rohm And Haas Company Composto graxo de polialcóxi, e, método para fabricação de um composto graxo de polialcóxi
JP6735593B2 (ja) * 2016-04-14 2020-08-05 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル管理システム
CN110999566B (zh) * 2017-08-09 2021-01-12 株式会社富士 元件装配机
WO2019064440A1 (ja) * 2017-09-28 2019-04-04 株式会社Ｆｕｊｉ 部品実装機
CN109994701B (zh) * 2017-12-29 2022-03-04 致茂电子(苏州)有限公司 吸嘴组装装置及组装治具
EP3768055B1 (en) * 2018-03-12 2023-08-23 Fuji Corporation Component mounting machine
KR102186155B1 (ko) * 2019-04-16 2020-12-03 (주)보성이엔지 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템
US20220282917A1 (en) * 2019-09-24 2022-09-08 Fuji Corporation Drying device and drying method
WO2021070339A1 (ja) 2019-10-10 2021-04-15 株式会社Ｆｕｊｉ 保管庫
JP7329744B2 (ja) * 2019-10-11 2023-08-21 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 ノズル管理装置
JP7437669B2 (ja) * 2019-10-11 2024-02-26 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 ノズル管理装置
DE112019007805T5 (de) * 2019-10-11 2022-08-11 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Düsenverwaltungsvorrichtung
JP7050862B2 (ja) * 2020-07-14 2022-04-08 株式会社Fuji ホストｐｃ
JP7202052B2 (ja) * 2020-07-14 2023-01-11 株式会社Fuji ホストｐｃとノズル管理機
CN117581647A (zh) 2021-09-02 2024-02-20 雅马哈发动机株式会社 换产调整装置、元件安装系统及运送托盘
CN113727596B (zh) * 2021-09-08 2023-04-14 众搏(苏州)智能科技有限责任公司 一种贴片机吸嘴清洗机及其清洗检测方法
CN114308923B (zh) * 2021-12-30 2022-12-06 老肯医疗科技股份有限公司 一种内镜内腔的吹扫干燥装置
CN117835688B (zh) * 2024-03-04 2024-06-25 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) 拾取头自动切换装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0823192A (ja) * 1994-07-05 1996-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品装着装置
JP2002111286A (ja) * 2000-09-26 2002-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 電子部品装着装置
JP2003298286A (ja) * 2002-03-29 2003-10-17 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品供給装置の運搬用台車
JP2004311599A (ja) * 2003-04-03 2004-11-04 Fuji Mach Mfg Co Ltd ノズルストッカおよび電子回路部品装着機
JP2006108384A (ja) * 2004-10-05 2006-04-20 Juki Corp 実装装置、その実装荷重補正方法及びノズル検査方法
JP2010258185A (ja) 2009-04-24 2010-11-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置
JP2012004306A (ja) 2010-06-16 2012-01-05 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品実装機の吸着ノズル検査装置
JP2012114237A (ja) 2010-11-24 2012-06-14 Fuji Mach Mfg Co Ltd ノズル洗浄装置および電子部品実装機

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5253414A (en) * 1992-01-21 1993-10-19 Emhart Inc. Tool bank for surface mount machine
JP3263537B2 (ja) * 1994-07-29 2002-03-04 三洋電機株式会社 電子部品自動装着装置
JPH08231921A (ja) * 1995-02-23 1996-09-10 Sakata Corp 缶外面用水性塗料組成物
JPH10305263A (ja) * 1997-05-06 1998-11-17 Sony Corp 電子部品実装機用吸着ノズル洗浄装置
KR100332525B1 (ko) * 1997-08-29 2002-04-17 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 부품 장착 방법 및 부품 장착 장치
JPH11186791A (ja) * 1997-12-18 1999-07-09 Fuji Mach Mfg Co Ltd 回路部品供給システムおよび供給方法
JP2002208798A (ja) * 2001-01-10 2002-07-26 Juki Corp 電子部品搭載機及びノズル配置変更方法
JP2003332792A (ja) * 2002-05-14 2003-11-21 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電子回路部品装着ヘッド
WO2004016064A1 (en) * 2002-08-08 2004-02-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Device and method for detecting whether or not component holder is good, and apparatus and method for mounting electronic component
WO2004066701A1 (ja) * 2003-01-17 2004-08-05 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. 対回路基板作業機およびそれに対する構成要素の供給方法
WO2005027614A1 (ja) * 2003-09-10 2005-03-24 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. 電子回路部品装着機
JP4322634B2 (ja) * 2003-11-14 2009-09-02 アイパルス株式会社 表面実装機
JP2005252118A (ja) * 2004-03-08 2005-09-15 Juki Corp 電子部品実装装置
JP4401937B2 (ja) * 2004-11-17 2010-01-20 ヤマハ発動機株式会社 表面実装機
JP4520288B2 (ja) * 2004-12-08 2010-08-04 ヤマハ発動機株式会社 部品搬送装置、表面実装機および部品試験装置
CN1842269B (zh) * 2005-03-30 2010-08-04 雅马哈发动机株式会社 元件移载装置、表面安装机、元件检查装置及异常判定方法
JP4664762B2 (ja) * 2005-07-13 2011-04-06 Ｊｕｋｉ株式会社 表面実装装置用ノズル交換台及び表面実装装置
JP4818746B2 (ja) * 2006-02-16 2011-11-16 Ｊｕｋｉ株式会社 電子部品実装装置
JP4938380B2 (ja) * 2006-07-31 2012-05-23 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ 部品実装装置
JP5108481B2 (ja) * 2007-11-30 2012-12-26 Ｔｏｗａ株式会社 個片化された電子部品の搬送装置及び搬送方法
JP4877253B2 (ja) * 2008-03-12 2012-02-15 パナソニック株式会社 ノズル回収装置、ノズル回収装置を備えた実装装置および回収ノズルのメンテナンス方法
JP2010269214A (ja) * 2009-05-19 2010-12-02 Nakamura Choko:Kk ノズル洗浄装置
JP4592809B2 (ja) * 2009-07-06 2010-12-08 富士機械製造株式会社 電子回路部品装着機
JP5693059B2 (ja) * 2010-06-24 2015-04-01 富士機械製造株式会社 吸着ノズル用クリーニング装置
JP5450338B2 (ja) * 2010-10-05 2014-03-26 富士機械製造株式会社 電子部品実装機
JP2012138521A (ja) * 2010-12-27 2012-07-19 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品装着装置における吸着ノズル収納方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0823192A (ja) * 1994-07-05 1996-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品装着装置
JP2002111286A (ja) * 2000-09-26 2002-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 電子部品装着装置
JP2003298286A (ja) * 2002-03-29 2003-10-17 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品供給装置の運搬用台車
JP2004311599A (ja) * 2003-04-03 2004-11-04 Fuji Mach Mfg Co Ltd ノズルストッカおよび電子回路部品装着機
JP2006108384A (ja) * 2004-10-05 2006-04-20 Juki Corp 実装装置、その実装荷重補正方法及びノズル検査方法
JP2010258185A (ja) 2009-04-24 2010-11-11 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品実装機の吸着ノズル動作具合検査装置
JP2012004306A (ja) 2010-06-16 2012-01-05 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品実装機の吸着ノズル検査装置
JP2012114237A (ja) 2010-11-24 2012-06-14 Fuji Mach Mfg Co Ltd ノズル洗浄装置および電子部品実装機

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2916637A4

Cited By (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2016009491A1 (ja) * 2014-07-15 2017-04-27 富士機械製造株式会社 検査方法
CN106538089B (zh) * 2014-07-28 2019-08-06 株式会社富士 吸嘴收纳库
US10233020B2 (en) 2014-07-28 2019-03-19 Fuji Corporation Nozzle storage
CN110352001A (zh) * 2014-07-28 2019-10-18 株式会社富士 吸嘴收纳库
CN110446420A (zh) * 2014-07-28 2019-11-12 株式会社富士 吸嘴移载装置及吸嘴收纳库
JPWO2016016929A1 (ja) * 2014-07-28 2017-04-27 富士機械製造株式会社 ノズル収納庫
CN106538089A (zh) * 2014-07-28 2017-03-22 富士机械制造株式会社 吸嘴收纳库
CN110352002B (zh) * 2014-07-28 2022-02-01 株式会社富士 吸嘴检查装置及吸嘴收纳库
CN110446420B (zh) * 2014-07-28 2022-03-18 株式会社富士 吸嘴移载装置及吸嘴收纳库
WO2016016929A1 (ja) * 2014-07-28 2016-02-04 富士機械製造株式会社 ノズル収納庫
CN110352002A (zh) * 2014-07-28 2019-10-18 株式会社富士 吸嘴检查装置及吸嘴收纳库
US10391594B2 (en) 2014-08-06 2019-08-27 Fuji Corporation Nozzle station installation device
US9901020B2 (en) 2014-10-16 2018-02-20 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Nozzle managing system
CN107615910A (zh) * 2015-05-27 2018-01-19 富士机械制造株式会社 附着物去除方法及附着物去除装置
EP3307043A4 (en) * 2015-05-27 2018-05-02 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Deposit removal method and deposit removal device
JPWO2016189682A1 (ja) * 2015-05-27 2018-03-15 富士機械製造株式会社 付着物除去方法および、付着物除去装置
JPWO2017029731A1 (ja) * 2015-08-19 2018-05-31 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル洗浄装置およびノズルステーション設置装置
WO2017029731A1 (ja) * 2015-08-19 2017-02-23 富士機械製造株式会社 ノズル洗浄装置およびノズルステーション設置装置
JP2017074560A (ja) * 2015-10-16 2017-04-20 富士機械製造株式会社 ノズル洗浄装置およびノズル乾燥方法
US10420266B2 (en) 2015-10-21 2019-09-17 Fuji Corporation Nozzle management device and control method of nozzle management device
JP2017130595A (ja) * 2016-01-22 2017-07-27 富士機械製造株式会社 ノズル収納庫
CN110447318A (zh) * 2017-03-22 2019-11-12 株式会社富士 工具管理装置
WO2018179300A1 (ja) * 2017-03-30 2018-10-04 株式会社Ｆｕｊｉ 保守管理装置
JPWO2018179300A1 (ja) * 2017-03-30 2019-11-07 株式会社Ｆｕｊｉ 保守管理装置
JP2018207130A (ja) * 2018-09-19 2018-12-27 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル収納庫
JPWO2020100266A1 (ja) * 2018-11-15 2021-09-02 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル管理システム
JP7111831B2 (ja) 2018-11-15 2022-08-02 株式会社Fuji ノズル管理システム
WO2020100266A1 (ja) * 2018-11-15 2020-05-22 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル管理システム
WO2021059319A1 (ja) 2019-09-24 2021-04-01 株式会社Ｆｕｊｉ 保持具管理装置、および表示方法
WO2021084594A1 (ja) * 2019-10-29 2021-05-06 株式会社Ｆｕｊｉ 保持具管理装置、およびメンテナンス処理実行方法
JPWO2021084594A1 (ja) * 2019-10-29 2021-05-06
JP7289363B2 (ja) 2019-10-29 2023-06-09 株式会社Fuji 保持具管理装置、およびメンテナンス処理実行方法
JP2020074447A (ja) * 2020-01-23 2020-05-14 株式会社Ｆｕｊｉ ノズルステーション設置装置
JP7177570B2 (ja) 2020-02-18 2022-11-24 株式会社Fuji ブロー装置及びノズル乾燥方法
JP7324558B2 (ja) 2020-02-18 2023-08-10 株式会社Fuji ブロー装置
JP2021177570A (ja) * 2020-02-18 2021-11-11 株式会社Fuji ブロー装置及びノズル乾燥方法
JP2023015218A (ja) * 2020-02-18 2023-01-31 株式会社Fuji ブロー装置
JP2020123749A (ja) * 2020-05-07 2020-08-13 株式会社Ｆｕｊｉ ノズル管理装置
JP7053718B2 (ja) 2020-05-07 2022-04-12 株式会社Fuji ノズル管理装置
JP7100213B2 (ja) 2021-02-16 2022-07-12 株式会社Fuji 保守管理装置
JP2022126888A (ja) * 2021-02-16 2022-08-30 株式会社Fuji 保守管理装置
JP7197742B2 (ja) 2021-02-16 2022-12-27 株式会社Fuji 保守管理装置
JP7104254B2 (ja) 2021-02-16 2022-07-20 株式会社Fuji 保守管理装置
JP2022061037A (ja) * 2021-02-16 2022-04-15 株式会社Fuji 保守管理装置
JP2022061038A (ja) * 2021-02-16 2022-04-15 株式会社Fuji 保守管理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2014068673A1 (ja) 2016-09-08
EP2916637A1 (en) 2015-09-09
CN104770078A (zh) 2015-07-08
EP2916638A1 (en) 2015-09-09
EP2916637A4 (en) 2016-04-27
EP2916638B1 (en) 2019-04-24
CN107072138B (zh) 2019-09-27
KR20190116587A (ko) 2019-10-14
KR20150079639A (ko) 2015-07-08
CN107072139A (zh) 2017-08-18
WO2014069016A1 (ja) 2014-05-08
CN107072138A (zh) 2017-08-18
EP3684158B1 (en) 2023-03-08
CN107072139B (zh) 2019-09-24
CN104770079A (zh) 2015-07-08
JPWO2014069016A1 (ja) 2016-09-08
KR102135007B1 (ko) 2020-07-16
EP3684158A1 (en) 2020-07-22
JP6161625B2 (ja) 2017-07-12
KR102033204B1 (ko) 2019-10-16
JP6129201B2 (ja) 2017-05-17
CN104770078B (zh) 2018-05-01
CN104770079B (zh) 2018-01-09
EP2916637B1 (en) 2020-04-08
EP2916638A4 (en) 2016-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6129201B2 (ja) ノズル管理機
JP4604127B2 (ja) 電子回路部品装着機および電子回路組立方法
JP6408005B2 (ja) ノズル収納庫
US20160120081A1 (en) Nozzle management system
JP2017147457A (ja) ノズル管理機
JP4592809B2 (ja) 電子回路部品装着機
JP7193901B2 (ja) ノズル管理機
WO2021084594A1 (ja) 保持具管理装置、およびメンテナンス処理実行方法
JP7341307B2 (ja) ノズル管理機
CN105319219B (zh) 不良检查系统及其方法
WO2016013103A1 (ja) 検査方法
KR101577662B1 (ko) 노즐 인출 장치, 노즐 인출 장치 적재대, 노즐 교환 시스템, 부품 실장 시스템
JP7053718B2 (ja) ノズル管理装置
JP2017130595A (ja) ノズル収納庫
JP2016103499A (ja) ノズルメンテナンス装置
JP6703061B2 (ja) ノズル収納庫
JP2017130594A (ja) 検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12887348

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2014544101

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20157010787

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012887348

Country of ref document: EP