TWI409213B - 具有可偵測液體耗盡之能力的襯墊式液體儲存及配送系統 - Google Patents

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Description

具有可偵測液體耗盡之能力的襯墊式液體儲存及配送系統
本發明係有關用來儲存及配送化學試劑及組成物，例如，用於製造微電子裝置產品之高純度液體試劑及化學機械拋光組成物之襯墊式液體容納系統，該系統具有當所盛裝的液體於配送操作期間處於耗盡或趨近於耗盡時，可偵測耗盡情況之能力。
於多個產業用途中，要求以高純度狀態供應化學試劑及化學組成物，已經發展出特用包裝來確保所供給的物料可於整個包裝填充、儲存、運送、以及最終配送操作期間維持成純質且適當的形式。
於微電子裝置製造領域中，多種液體和含液體組成物的適當包裝的需要特別迫切，原因在於，包裝物料中的污染物及/或環境污染物的入侵包裝內所含之物料，可能對使用此等液體或含液體組成物所製造的微電子裝置產品造成不良影響，因而讓微電子裝置產品不足以用於期望用途或甚至無法用於預期用途。
由於此等考量結果，已經發展出多種類型的高純度包裝，來用於微電子裝置製造用的液體和含液體組成物，諸如，光阻、蝕刻劑、化學氣相沉積試劑、溶劑、晶圓和工具清潔配方、化學機械拋光組成物等。
一種型別之用於此種用途的高純度包裝，包括剛性外包裝，含有液體或基於液體之組成物或其它物料於可撓性襯裡或可撓性袋，襯裡或袋係藉諸如蓋子或套子等夾持結構來牢固固定於剛性外包裝內部定位。依據剛性外包裝的特定形式而定，此等包裝俗稱為「箱內袋」(bag-in-box)。包裝的剛性外包裝例如可由高密度聚乙烯或其它聚合物或金屬製成；襯裡可設有諸如聚四氟乙烯(PTFE)、低密度聚乙烯、基於聚乙烯之多層層合物、基於PTFE之多層層合物、聚胺基甲酸酯等中選定，來對襯裡內部容納的液體和基於液體的物料呈惰性的物料所製成的預先經過清潔的無菌可癟陷袋。此種型別之包裝於市面上可以商品名NOWPAK得自ATMI,Inc.(美國康州丹伯利市，Danbury,CT)。
於涉及此種液體及基於液體之組成物之襯裡包裝的配送操作中，液體係經由連接包括汲取管的配送裝配件至襯裡埠口而從襯裡配送，汲取管浸沒於所含液體內。於配送裝配件如此耦接至襯裡後，施加流體壓力於襯裡外表面，如此其逐漸癟陷，強制液體通過配送裝配件來排放至相關聯的流動回路至終端使用位置。另外，可施加負壓至襯裡出口，或施加負壓至與襯裡連接的配送裝配件，俾便將液體從包裝中抽取出。
於襯墊式包裝中設置最小頂上空間或較佳為零頂上空間，俾便遏止於液體或基於液體之組成物中產生粒子和微氣泡。
此外，於從襯墊式包裝儲存及配送液體及基於液體之組成物時，期望管理配送操作，偵測所配送之物料的耗盡或 趨近於耗盡，因此可定時執行結束下游操作，或切換成新的物料包裝。於配送操作最終階段可靠地監測，特別為可靠地偵測耗盡或趨近於耗盡狀況，讓襯墊式包裝獲得最佳利用，且為該種包裝之設計與實作上的預期目的。
本發明係有關液體及基於液體之組成物之儲存及配送用之包裝裝置及方法。
於一個態樣中，本發明係有關一種流體儲存及配送系統，包含：具有內部容積之容器；於該內部容積內之襯墊，配置來以零或近零頂上空間構型盛裝液體介質；適合與該容器接合之配送裝配件，來於配送操作期間從該襯墊中撤出液體介質；以及整合式流量計，設置來監測於配送操作期間從該襯墊撤出之液體介質，且當出現耗盡或趨近於耗盡狀況時，產生與耗盡或趨近於耗盡狀況有交互關聯之輸出。於另一個態樣中，本發明係關於一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有內部容積之容器；於該內部容積內之襯墊，配置來以零或近零頂上空間構型盛裝液體介質；適合與該容器接合之配送裝配件，來於配送操作期間從該襯墊中撤出(或輸送)液體介質； 流回路，與該配送系統耦聯且設置用來於配送操作期間讓液體介質流經其中；此種流回路包括成行部和視需要的分支部；設置用來配送的次要容積之液體介質，使得主要容積的液體介質在完全配送之前，不會發生次要容積的配送，其中，此種一次容積至少包括襯墊中的液體介質的一部分，且次要容積係由下列之一者或多者所組成：(i)當主要容積包含少於襯墊中的全部液體介質時，襯墊中除了組成主要容積的液體介質以外的部分液體介質；(ii)於該流回路之成行部中、或與該成行部連通之成行容積的液體介質；及(iii)於該流回路之分支部中或與該分支部連通之分支容積的液體介質；以及耗盡偵測器，其係設置來監測該配送操作，且於第一容積之液體介質已經配送後，當第二容積的配送啟動時，由於耗盡或接近耗盡狀況而產生耗盡偵測輸出信號。
本發明之又一態樣係有關一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有內部容積之容器；該內部容積內的襯墊，設置用來盛裝液體介質，上方罩有頂上空間；貯器，其係與頂上空間和襯墊中的液體介質呈流體連通式氣壓式耦聯，且該貯器係設置來盛裝上方罩有氣體之液體介質俾於貯器中界定出液體高度；以及耗盡偵測器，其係設置來監測貯器中的液面高度，且當貯器中的液面高度由於襯墊的耗盡或接近耗盡狀況而改變時，產生耗盡偵測輸出信號。
本發明之另一態樣係有關一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有內部容積之容器；於該內部容積之襯墊，其係設置來盛裝上方罩有頂上空間的液體介質；相分離器；耦聯該襯墊且與該相分離器呈流體連通之配送管線；與該相分離器耦聯來從其中排放液體介質之液體介質流管線；設置於該相分離器上方之貯器，其係配置來盛裝液體介質而於貯器內界定液體介質高度；接合該相分離器成與該貯器呈流體連通之頂上空間管線；第一液面感測器，其係設置來偵測該貯器中的第一液體介質高度，其中該貯器含有預定量之儲備液體介質；於該頂上空間管線中之第二液面感測器，其係配置來於該儲備液體介質配送期間，偵測於該頂上空間管線中之第二液體介質高度；於該頂上空間管線中，介於該第二液面感測器與該貯器間之第一流量控制閥，其係設置來當從該襯墊配送液體介質期間，開啟供填充該貯器，以及，當由該第一液面感測器偵測得第一液體介質高度時關閉；於該配送管線中之壓力偵測致動器，其係運作配置來於頂上空間管線中的第一流量控制閥關閉後，偵測襯墊的耗盡或接近耗盡狀況，而當偵測得襯墊的耗盡或接近耗盡狀況時，開啟第一流量控制閥，用來通過相分離器和液體介質流管線而配送儲備液體介質。
本發明之又一態樣係有關一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有內部容積之容器；於該內部容積中，設置來盛裝液體介質，其上方有頂上空間所覆蓋之襯墊；設置來盛裝液體介質而於貯器內界定出液體介質高度之貯器；與該貯器呈流體連通而耦聯該襯墊之配送管線；與貯器耦聯來從其中排放液體介質之液體介質流管線；設置來偵測貯器中之第一液體介質高度之第一液面感測器；設置來偵測該貯器中之第二液體介質高度之第二液面感測器，其中該貯器中之第二液體介質高度係比貯器中之第一液體介質高度更高；氣體連通管線，其係耦聯該貯器至(i)該貯器之周圍環境，該耦聯係藉通風管線接合與周圍環境呈流體連通之氣體連通管線，以及視情況需要地，(ii)加壓氣體源，其係運作配置來加壓輔助儲備液體介質從貯器的配送，該加壓 氣體源係藉加壓管線接合與加壓氣體源呈流體連通之氣體連通管線；該通風管線中具有第一流體連通流量控制閥，及第二加壓管線中具有第二流體連通流量控制閥，其中，該第一流體連通流量控制閥係運作耦聯該第二液面感測器，控制閥可被開啟且讓貯器填充至第二液體介質高度，以及，當已經到達第二液體介質高度時可被關閉，用來隨後於配送操作時，從該襯墊、通過該配送管線和貯器配送液體介質至該液體介質流管線；以及於該配送管線中之壓力偵測致動器，其係運作設置來偵測襯墊的耗盡或接近耗盡狀況，且當偵測得襯墊的耗盡或接近耗盡狀況時，開啟第一和第二流體連通控制閥之一，用來於已經檢測得耗盡狀況後仍可從該貯器連續配送液體介質。
本發明之又一態樣係有關一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有第一內部容積之容器；於該第一內部容積配置來盛裝第一容積之液體介質其頂上覆蓋有第一頂上空間之第一襯墊；適合從第一頂上空間通風頂上空間氣體之通風路徑；具有第二內部容積之耗盡偵測貯器；於該第二內部容積配置來盛裝第二容積之液體介質其頂上覆蓋有第二頂上空間之第二襯墊；加壓氣體源；耦聯於該加壓氣體源且設置來讓加壓氣體流入容器內 部而施加壓力於其中之第一襯墊之第一導管；配送裝配件，其係適合與該容器接合，來於配送操作期間當藉加壓氣體源施加壓力於第一襯墊上時，從第一襯墊配送液體介質；與該配送裝配件和耗盡偵測貯器互連用來輸送所配送的液體介質至該耗盡偵測貯器之第二導管；第三導管，其係耦聯相同或相異的加壓氣體來源，且係設置來讓加壓氣體流入耗盡偵測貯器內部俾便施加壓力於其中之第二襯墊上；第二通風導管，其係與該耗盡偵測貯器之第二內部容積連通，且係設置來從該第二頂上空間通風頂上空間氣體；第四導管，其係耦聯成與該耗盡偵測貯器中的第二襯墊呈配送連通，且係設置來從其中排放液體介質；於該第一導管內部之第一流量控制閥；於該第一通風導管中之第二流量控制閥；於該第二導管中之第三流量控制閥；於該第二通風導管中之第四流量控制閥；於該第三導管中之第五流量控制閥；於該第四導管中之第六流量控制閥；設置來偵測於該第一通風導管中之液體介質的存在之第一高度指示器；設置來偵測於該第二通風導管中之液體介質的存在之第二高度指示器；設置來偵測於該第二襯墊中之液體介質的存在之第三 高度指示器；以及設置來進行配送操作之控制器，該配送操作包括下列步驟：開啟第一流量控制閥和第二流量控制閥，來從該第一頂上空間通風氣體；將加壓氣體流入該容器內，來施加壓力於該第一襯墊上，俾執行該液體介質的加壓配送；當該第一高度指示器感測得液體介質存在於該第一通風導管時，關閉該第二流量控制閥；開啟第三流量控制閥和第四流量控制閥，俾讓液體介質從該第一襯墊經由配送裝配件及第二導管流至於該耗盡偵測貯器中之第二襯墊，以及，經由第二通風導管來通風第二頂上空間；當該第二高度指示器感測得液體介質存在於該第二通風導管時，關閉該第四流量控制閥；開啟第五流量控制閥；將加壓氣體流入耗盡偵測貯器，來施加預定壓力於第二襯墊上，該預定壓力係比施加於第一襯墊上的壓力更低；開啟第六流量控制閥，且從第二襯墊配送液體介質至第四導管，直到由於第一襯墊中的耗盡或接近耗盡狀況導致第二襯墊的壓力降低為止；當第三高度指示器偵測得第二襯墊中之液體介質高度指示為耗盡或接近耗盡狀況時，關閉第三流量控制閥和第一流量控制閥；以及 於第一襯墊出現耗盡或接近耗盡狀況後，繼續從該第二襯墊配送液體介質。
本發明之又另一態樣係有關一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有內部容積之容器；於該內部容積設置來盛裝液體介質之襯墊；適合與該容器接合來於配送操作期間從該襯墊撤出液體介質之配送裝配件；以及設置來偵測配送相關狀況，且產生指示該狀況之交互關聯輸出之感測器。
於另一態樣中，本發明係有關一種流體儲存及配送方法，包含：提供一容器，其具有內部容積以及於該內部容積之襯墊，以零或近零頂上空間構型來盛裝液體介質；從該襯墊配送液體介質；以及於配送期間，使用整合式流量計來監測從該襯墊撤出的液體介質，以及，當耗盡或接近耗盡狀況出現時，從該整合式流量計產生與該耗盡或接近耗盡狀況相關聯之輸出信號。
本發明之另一態樣係有關一種製造微電子裝置之系統，包括一個或多個本發明之容器，以及用來供給盛裝於此種容器內之物料至該等微電子裝置之一或多個次系統。
本發明之又一態樣係有關一種製造含有微電子裝置之產品之方法，包含：從一或多個該等容器施用一或多種物料至該微電子裝置，以及，將該裝置結合至該產品。
本發明之又一態樣係有關使用本發明之容器所製造且具有較少缺陷的改良式微電子裝置。
本發明之額外態樣係有關與前文所特定之該等型別相對應但缺乏前述襯墊結構之流體配送系統及方法。
本發明之又一態樣係有關一種物料配送系統，包括：物料儲存及配送包裝，其中含有襯墊，適合盛裝物料供加壓配送之，其中，該包裝係藉配送管線而耦聯至利用所配送之物料之工具，以及，該配送管線中操作式地設置有伺服液壓配送幫浦，及於該包裝與幫浦間操作式設地置有耗盡偵測壓力轉換器來提供輸出信號以指示趨近於包裝的耗盡狀態。
本發明之又另一態樣係有關一種物料配送系統，包括：物料儲存及配送包裝，其中含有襯墊適合盛裝物料供加壓配送，其中，該包裝係藉配送管線而耦聯至利用所配送之物料之工具，以及，該配送管線係耦聯至配送器，設置用來基於週期性地補充時間表，接收來自於該包裝而流至該工具的阻力；以及，一監視器，適合用來偵測補充該配送器所需時間的增加，指示趨近於包裝的耗盡狀態，且響應地提供該趨近於耗盡狀態的輸出信號。
於另一態樣中，本發明係關於一種供應物料之方法，包含：從於物料儲存及配送包裝中的襯墊藉加壓配送物料而輸送物料至物料利用工具，該輸送作業包括從該包裝泵送物料至該工具；以及，監測幫浦上游所配送之物料之壓力，來測定其壓力漸進快速下降的發生，以作為包裝中物料耗盡的起點的指示。
於又另一態樣中，本發明係有關一種供應物料之方法，包含：從於物料儲存及配送包裝中的襯墊，藉加壓配送物料而輸送物料至物料利用工具，該輸送作業包括物料從包裝流至配送器，而該配送器係設置來基於週期性地補充時間表，接收從該包裝而流至工具之阻力；監測配送器的補充時間；以及，當偵測得補充配送器所需時間漸進快速增加時，響應地產生輸出信號作為包裝中之物料耗盡的起點的指示。
於又一態樣中，本發明係有關一種壓力配送系統，包含：包圍內部容積的容器、設置於該內部容積且適合盛裝材料於其中供加壓配送之襯墊、以及，適合施加外部流體壓力於襯墊以進行加壓配送之加壓裝配件，其中，該加壓配送系統包括該物料之次要容積，該次要容積組成襯墊的次容積，其具有與從不包括此種次容積之襯墊的主容積加壓配送物料所需的壓力不同的壓力需求。該加壓裝配件包括流體加壓傳動串列，其適合於從主容積配送物料之期間，及從次要容積配送物料之期間，輸送加壓流體進入內部容積來施加壓力於襯墊，因此於從主容積和次要容積配送的整個過程中，將所配送的物料維持於相等壓力。
本發明之另一態樣係有關一種微電子產品製造裝置，包含：如前述之加壓配送系統，以及，耦聯至該加壓配送系統之微電子產品製造工具來接收從其中配送的物料。
本發明之又另一方面係有關一種供應材料之方法，包含：提供如前述之加壓配送系統；致動該加壓裝配件以供配送；從該襯墊的主容積配送物料；以及，隨後從該襯墊的次要容積配送物料；其中，於從襯墊的主容積配送及從襯墊的次要容積配送期間，物料係以相等壓力配送。
本發明之又一態樣係有關一種製造微電子產品之方法，包含：經由如前述之方法供應該物料，以及，將來自於該配送之物料利用在微電子產品之製造程序。
其它本發明之態樣、特徵及實施例由後文揭示及隨附之申請專利範圍更完整彰顯。
本發明係有關一種液體容納系統，用來儲存及配送具有寬廣多種特性之化學劑及組成物。雖然本發明於後文主要係參照用來製造微電子裝置產品的液體或含液體組成物的儲存及配送作說明，但須瞭解，本發明非僅受此所限，反而本發明可擴充至涵蓋寬廣多項其它應用及容納的物料。
雖然本發明於後文係參照包括多種基於襯裡之包裝或容器之特定實施例作說明，但須瞭解，可於不含襯裡之包裝及容器系統實施多個實施例，例如，針對本發明之加壓配送配置或其它特徵之實施例。
本發明於各個態樣中係有關用來儲存及配送化學試劑及組成物，例如為用於製造微電子裝置產品之高純度液體試劑及化學機械拋光組成物之液體容納系統，該系統於所盛裝的液體於配送操作期間耗盡或接近耗盡時，具有耗盡偵測能力。
「微電子裝置」一詞用於本文係指經抗蝕劑塗覆之半導體基板、平板顯示器、薄膜記錄頭、微機電系統(MEMS)及其它先進微電子元件。微電子裝置可包括經製作圖案或經過氣氛罩住之矽晶圓、平板顯示器基板或聚合物基板，例如，含氟聚合物基板。此外，微電子裝置可包括中孔或微孔無機固體。
於液體和含液體組成物(後文稱作為液體介質)之襯裡包裝中，期望減少襯裡之液體介質的頂上空間。頂上空間為襯裡中液體介質上方的氣體容積。
本發明之基於襯裡之液體介質容納系統，特別可應用於微電子裝置產品製造上使用的液體介質。此外，此種系統可用於多種其它用途，包括：醫療產品和醫藥產品、建築材料、食品等，此處液體介質或液體材料需要包裝。
如本文所使用，參照襯裡內部流體所述之「零頂上空間」一詞表示襯裡係全然以液體介質填補，於該襯裡之液體介質上方並無氣體容積。
相對應地，述及襯裡內之流體，此處所使用之「近零頂上空間」一詞表示襯裡實質上完全以液體介質填補，但，於襯裡之液體介質上方有極為小量氣體，例如，該氣體容積係小於襯裡內液體總容積之5%，較佳少於流體總容積之3%，更佳少於流體總容積之2%，及最佳少於流體總容積之1%(或換言之，襯裡內之流體容積係大於襯裡總容積之95%，較佳大於總容積之97%，更佳大於總容積之98%及最佳大於總容積之99%)。
頂上空間的容積愈大，則上方氣體變成夾帶及/或溶解於液體介質的機率愈高，原因在於，液體介質於襯裡內部受到攪動、潑濺和轉位，且於包裝運送期間襯裡朝向剛性周圍容器產生衝擊的緣故。此等情況將導致氣泡、微泡和微粒於液體介質形成，造成液體介質的分解，可能不適合用於期望的目的。由於此種理由故，期望頂上空間為最小化，且較佳完全消除(例如，於零頂上空間組態或近零頂上空間組態)，而襯裡的內部容積完全以液體介質填滿。
於頂上空間存在於襯墊之情況下，耦聯配送頭的汲取管用作為可與襯墊式包裝相接合的配送裝配件，方便藉氣泡進入汲取管來測定配送操作的終點，指示襯墊中的液體介質被耗盡，且只有原先覆蓋於液體介質上方的剩餘氣體可通過汲取管和配送裝配件的其餘部分流動。
但，若採用零頂上空間構型或近零頂上空間構型，不可能利用此種氣體進入汲取管來偵測耗盡或接近耗盡狀況。
如此處所使用，當述及於襯墊或其它容器內部的液體介質時，「耗盡」一詞表示襯墊或其它容器中的液體介質完全耗盡。當述及襯墊或其它容器時，此處所使用之「接近耗盡」一詞表示襯墊或其它容器實質上完全耗盡其中所含之液體介質，例如，於襯墊或其它容器中剩餘的液體介質量係低於襯墊或其它容器之總容積之5%，以襯墊或其它容器之總容積為基準，較佳低於3%體積比，更佳低於2% 體積比，及最佳低於1%體積比。「耗盡偵測」及「偵測耗盡」等詞係指於襯墊或容器中偵測得耗盡或接近耗盡狀況，「耗盡偵測器」一詞表示用來測定該等狀況之裝置。須瞭解，可藉此種偵測器感測之接近液體介質完全耗盡，實際上係依據所使用的特定裝置及其靈敏度、校正等而決定，熟諳技藝人士基於本文揭示，無需多費其他心力即可容易決定給定之液體介質配送系統用之適當偵測器。
隨著襯墊中的液體介質的趨近於耗盡，於零或近零頂上空間包裝中朝向配送操作結束，流量顯著變小。例如，於含有聚乙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)之商用4升箱內袋襯墊式包裝實例中，液體流速比較於配送操作早期偵測得的流速，於99%配送點，流速降低20%。
經由所配送的液體介質流經整合式流量計，本發明係於襯墊式包裝的零或近零頂上空間構型中，利用當液體介質趨近於耗盡時此種流速的減低，來偵測耗盡或接近耗盡狀況。如此，整合式流量計可用來監測液體配送速率，提供趨近於耗盡狀況時指示流速減低的輸出信號，因此讓耗盡的襯墊式包裝停止配送操作，來方便盛裝有液體介質的新包裝供以期望的流速連續配送。如此，此種整合式流量計可於無法接受設定點流速的任何減低的應用用途中解決潛在的流速問題。
整合式流量計為市面上可購得，基於本文所揭示，於熟諳技藝人士的技巧範圍內可輕易決定適當型別的流量計。於一個實施例中，整合式流量計為電子輸出整合式流量計，可提供耗盡偵測輸出信號，該信號可由相關聯的監視與控制設備處理。舉例言之，襯墊式包裝可附接RFID標籤，例如，附接於襯墊的本身，或附接於襯墊安置於其中的剛性外包裝上。RFID標籤包括用來從標籤聯通資訊至查詢該標籤的處理控制器之RF天線。設置用來監測所配送的液體介質流速之電子輸出整合式流量計，因而可饋送耗盡偵測信號至包裝上的RFID標籤，讓處理控制器可接收液體介質從襯墊式包裝耗盡或接近耗盡交互關聯之相對應的耗盡警告信號，且執行自動切換至新包裝，否則結束從耗盡的包裝之配送操作。
另外，電子輸出整合式流量計可配置來發送與液體介質趨近於耗盡交互關聯之控制信號至處理控制器，用來達成相同目的。
圖1為襯墊式包裝配送系統之示意代表圖，其具有耗盡偵測感測器配置來監測液體介質的配送操作。
如圖所示之襯墊式包裝配送系統包括襯墊式包裝10，其包括剛性外包裝12以界定內部容積14，於其中設置盛裝液體介質18之可撓性可癟陷襯墊16。於液體介質18上方有個包含氣體的頂上空間20。與內部容積14作流體連通且接合於外包裝12者為加壓氣體進料管24。氣體進料管24有係耦聯至加壓氣體源(該來源未顯示於圖1)，藉該加壓氣體源，加壓氣體於箭頭A指示之方向流入氣體進料管24。
從氣體進料管24所導入的氣體進入內部容積14，且施加壓力於襯墊16之外表面上，藉此來執行襯墊的癟陷及液體介質18從其中的加壓配送。
液體介質18的配送，可藉助於延伸進入剛性外包裝12和襯墊16之汲取管22(例如，通過襯墊的埠口結構而進入，未顯示於圖1俾方便說明)。汲取管22的底端開啟，液體介質18從襯墊(內部)於加壓氣體所施加於襯墊上的壓力衝擊下流動通過汲取管22，並連接至該汲取管之流管線30，流至其中含有耗盡偵測感測器32的液體介質排放管線34。液體介質係於箭頭B指示之方向而從排放管線34排放。
替代於導入加壓氣體之內部容積14，外部壓力可藉液壓裝置或機械裝置施加於襯墊，來執行液體介質從襯墊的配送。
隨著液體介質配送的進行，襯墊16漸進癟陷至液體耗盡為止。此時，來自於襯墊的頂上空間20的氣體及非屬液體介質的氣體，流經汲取管22、流管線30、及液體介質排放管線34。氣體的通過而非液體介質的通過耗盡偵測感測器32，觸動由此種感測器偵測得襯墊的耗盡或接近耗盡狀況。
此種耗盡偵測感測器可藉多種模組操作，來偵測氣體的進入配送液體介質的流回路。舉例言之，耗盡偵測感測器可採用光學感測流體流經行透明管、或適當物料，如含氟塑膠聚合物(諸如，四氟乙烯與全氟乙烯醚(PFA)之聚合物)製成的貯器，或另外可採用於包括此種PFA管或貯器的感測器配置中的電容式電效應。
雖然前述耗盡偵測操作之配置可有效用於判定何時襯墊的液體變成耗盡，但係仰賴於襯墊之液體介質上方頂上空間存在有氣體。若以零頂上空間構型將襯墊以液體介質完全填滿，則無氣體可供判定從該襯墊供應的液體介質的終點。
圖2為零或近零頂上空間襯墊式包裝配送系統之示意代表圖，該系統具有主要容積液體介質和次要容積液體介質，配置成至主要容積液體介質完全耗盡之前，不會出現次要容積的配送，次要容積液體介質的配送可觸發設置來監測液體介質配送操作之耗盡偵測感測器。
如圖2所示，如圖所示之襯墊式包裝配送系統包括襯墊式包裝10，其包括剛性外包裝12以界定內部容積14，於其中設置盛裝液體介質18的可撓性可癟陷襯墊16。於襯墊中並無頂上空間，但，除了其中盛裝的主要容積的液體介質外，襯墊包括次要容積，示意顯示於實線40內部。次要容積之液體介質屬於與襯墊中之一次容積的液體介質相同型別，唯一的差異是，次要容積係設置成至主要容積的液體介質完全耗盡之前不會去接近次要容積。次要容積可為位在襯墊的主要容積內部的襯墊中經區隔出的空間。
另外，次要容積可設置成於流管線30內部成行設置(如次要容積42示意顯示)，或次要容積可從流管線30分支設置，如圖所示，次要容積46係設置成T字形管線48。 成行的次要容積42係優於分支的次要容積46，原因在於，轉彎的困難和掃除死角的困難，因此前者讓新鮮批次液體介質可供應下游處理程序。以內部次要容積40為最佳，其優點為，比較設置次要容積42及/或46，所需配送串列的組成元件減少、成本降低，且內部次要容積40於每個週期可提供新鮮次要容積的高純度液體介質。
於圖2之系統中，接合於外包裝12，且於外包裝12中的內部容積14作流體連通者為加壓氣體進料管24。氣體進料管24又係耦聯至加壓氣體源(氣體源未顯示於圖2)，藉該氣體源，加壓氣體於箭頭B指示方向流入氣體進料管24。
從氣體進料管24所導入的氣體進入內部容積14，且施加壓力於襯墊16的外表面上，藉此來執行襯墊的癟陷，與液體介質18從襯墊中的加壓配送。
液體介質18的配送，係藉汲取管22延伸入剛性外包裝12和襯墊16(例如，通過襯墊的埠口結構，未顯示於圖2以方便說明)來輔助。汲取管22於其底端開口，液體介質18於加壓氣體所施加於襯墊上的衝擊之下，從襯墊通過汲取管22和連接於汲取管22的流管線30，流至液體介質排放管線34。液體介質係於箭頭A指示之方向從排放管線34排放。
成行的外部次要容積42係設置於流管線30，且與流管線30作流體連通，顯示為有壓縮力加壓於其上，以箭頭C示意顯示，分支的次要容積46係於T字形管線48內部， 或與T字形管線48連通，例如，耦聯至此一分支管線的末端，圖中顯示有壓縮力施加於其上，以箭頭D示意顯示。
若液體介質的次要容積係在襯墊內部相對於襯墊中液體介質的主要容積作區隔，則導入於氣體進料管24的加壓氣體施加於襯墊16上的力足夠執行內部次要容積液體介質的配送。但，若次要容積係在襯墊式包裝的外部，於相對應之次要容積襯墊中，則次要容積襯墊必須有額外壓縮力施加於其上，諸如，藉分開施加加壓氣體，或藉由以液壓施用或機械施用壓縮力施加於其上。
次要容積的設計及實作必須可確保，直到液體介質的主要容積完全耗盡為止，次要容積不會開始癟陷。此項目的例如可藉讓次要容積的癟陷力係大於主要容積的癟陷力來達成。於液體介質次要容積上的癟陷力可以「推」(主動壓縮力施加於液體介質次要容積上)或「挽」(例如，使用下游幫浦、細腰管等而從次要容積中汲取或抽取液體介質)之方式來施加癟陷力。
類似於盛裝主要容積液體介質的襯墊，次要容積之液體介質可容納於聚合物薄膜製成的襯墊中，或液體介質之次要容積可藉伸縮節、隔膜、或癟陷管，或藉由可確保於次要容積液體介質被配送前首先耗盡主要容積液體介質的其它結構，來容納於限制區內。次要容積限制的特殊排列，可輕易地基於本文揭示來決定，且可基於成本、流經功效、流徑上的死區段的出現等的考量而決定。
於配送操作期間，當主要容積的液體介質完全耗盡時， 次要容積的液體介質負責供應液體介質予下游處理程序或其它所配送的液體介質之使用位置。當從主要容積液體介質的存量轉換成次要容積液體介質時，配送系統中的耗盡偵測感測器必須可偵測得此種變化。
通常，次要容積配送起點的檢測可以任一種適當方式偵測，經由設置於流徑上的偵測器(未顯示於圖2)或以其它方式設置來執行偵測。有用的偵測方案之說明例包括但非限於：壓力轉換器，設置來偵測於主要容積液體介質流至下游使用點的壓力衰減的偵測；系統中與使用「推元件」和「挽元件」相關聯的負載變化，當偵測得配送負載增高時，配送較多受限制的液體介質次要容積；若次要容積係設置於分支T字形管線，則進行流量測量；及/或測量液體介質次要容積的置換。此種檢測方案可使用特殊裝置，包括：電子壓力轉換器；熱量或其它流量感測器；電流負載監視器；電容元件、電感元件、霍爾效應元件或光異位元件等。
於一個特定實施例中，液體介質之次要容積可設置於第二襯墊式包裝內部，有分開且較低壓縮力需求來壓縮氣體用來配送次要容積的液體介質，此點係與從第一襯墊式包裝的主要容積液體介質中執行液體介質的配送所需的壓縮力相反。
於一個特定實施例中，襯墊式包裝利用熔接於襯墊上的可撓性構件，其中該可撓性構件的特性比組成襯墊的襯墊薄膜的特性更硬挺。可撓性構件係組配成於襯墊內部形成 液體介質受限制的次容積，例如，作為襯墊內部容積的包裝結構，該可撓性構件彎折來釋放出包裝內部的液體介質。如此，可撓性構件形成小型壓降，例如，1-3 psig幅度的小型壓降，但可作用來配送相當明確界定量的液體介質。
壓力轉換器或幫浦扭矩(藉幫浦抽取的電流強度來測定)可用來檢測液體介質配送管線內部的壓降。若襯墊式包裝的本身用作為幫浦，則經由施加壓力於襯墊外表面，來壓縮且癟陷襯墊，迫使液體介質從襯墊中被排擠出，然後，襯墊中的可撓性構件將造成維持配送管線壓力所需的傳動串列壓力的升高。
換言之，藉傳動串列，例如，壓縮氣體輸送流回路(例如，可包括空氣壓縮機或施加氣體壓縮於襯墊上的流體幫浦)，施加於襯墊上的壓縮力量必須增高，來克服當襯墊變耗盡時，與可撓性構件相關聯的額外遞增壓降，而於耦聯至包裝的配送管線中維持相等壓力(與從襯墊中液體介質的本體容積早期配送期間的相等壓力)。
當大量液體介質從襯墊的內部容積耗盡時，響應於傳動串列壓力與配送管線壓力間的差壓變化，可能作動耗盡偵測警報，然後，升高傳動串列壓力，來維持從由可撓性構件所界限的限制次容積內部配送的液體介質於期望壓力和期望流速。
於襯墊內部容積界限出限制次容積的可撓性構件可具有任一種形式。於一個實施例中，可撓性構件設置呈「V」 字形板件，該V字形板件例如係藉超音波熔接、溶劑熔接或以其它方式熔接至襯墊邊緣(底緣、側緣或頂緣)，V字形板件的各個側邊係熔接至襯墊的各側邊。於另一個實施例中，可撓性構件係提供成平坦或略為彎曲的矩形構件，矩形構件係熔接至襯墊的平坦部。於又另一個實施例中，可撓性構件係組配成碟形構件，碟形構件熔接至襯墊的平坦部，例如，熔接至接近襯墊中央部分。
如此，本發明包含一種加壓配送系統，包含包圍內部容積的容器、設置於該內部容積中適合盛裝物料於其中接受加壓配送的襯墊、以及，適合施加外部流體壓力於襯墊來進行加壓配送的壓力裝配件，其中，該加壓配送系統包括物料的次要容積，此種次要容積組成襯墊的次容積，具有與從不含此種次容積的壓力主容積中加壓配送物料所需的加壓需求不同的加壓需求。加壓裝配件包括流體加壓傳動串列，其適合於從主容積配送物料期間及從次要容積配送物料期間，輸送加壓流體進入內部容積來施加壓力於襯墊上，將從主容積和次容積配送的整個過程所配送的物料維持於相等壓力。
於一個實施例中，流體加壓傳動串列包括流回路，流回路包括空氣壓縮機或流體幫浦，其適合於從主容積和次要容積配送的整個過程中維持相等壓力。
使用中的襯墊含有具有期望用途的適當特性的物料，例如，製造微電子產品用的物料。前述加壓配送系統可組合耦聯於加壓配送系統，來接納從系統中所配送的物料之微 電子產品製造工具，提供作為微電子產品製造裝置的一部分。
前述加壓配送系統可用於物料供應方法，其中加壓裝配件被作動，接著，首先從襯墊的主容積配送物料，隨後從襯墊的次要容積配送物料，於從襯墊主容積配送和從襯墊次要容積配送的整個過程中，物料係以相等壓力配送。所配送的物料，例如，包含微電子產品製造用物料，藉此該物料可如所說明而配送，且用於微電子產品之製造程序。
於另一個實施例中，襯墊式包裝之耗盡偵測系統包括經修改之氣壓計，來提供於微電子裝置製造操作中晶圓處理使用之液體的貯器。於此種配置中，襯墊式包裝於襯墊中有個頂上空間，從該頂上空間，可汲取頂上空間氣體來提供襯墊式包裝的最小頂上空間。具有容積例如約為100-150毫升的頂上空間對貯器通風，來進行液面偵測，提供當襯墊中的液體介質存量到達耗盡狀態或趨近於耗盡狀態時，感測襯墊式包裝的耗盡偵測情況的能力。
此種耗盡偵測系統中使用的貯器可屬於任一種適當型別，諸如圖3至5所顯示之另一型別，其中相對應之零組件和結構於個別圖中標示以相對應的元件符號。
參考圖3，貯器系統60係設置來從襯墊式包裝接納液體介質於進料管線64，進入貯器62而於其中形成液體介質容積66，來自於進料管線64的過量氣體形成氣體空間70，從氣體空間70可於含有流量控制閥78的通風管線76通風去除過量氣體。
從該貯器，來自於液體介質容積66的液體介質可於其中含有流量控制閥74的管線72排放，送至下游使用設施或使用位置，例如，微電子裝置製造設施。
為了監視耗盡狀況或接近耗盡狀況的出現，通風閥78和液體介質流量閥74關閉，配送壓力被施加至襯墊式包裝內部襯墊的外表面上，來造成頂上空間氣體從襯墊而被壓迫至貯器62的頂區。當液體介質從襯墊完全被擠出時，貯器62頂區的氣體處於加壓下，影響液體介質從貯器加壓配送至下游處理程序，來完成液體介質的進料而流不會中止。
於液體介質從貯器配送至下游處理程序期間，含液體介質存量的另一個新的襯墊式包裝可耦聯至液體介質配送系統的流回路，或以其它方式更換來更新襯墊式包裝的配送。
於襯墊式包裝「流乾」(running dry)期間，從貯器62配送的液體介質量係指示為圖3之交叉影線區容積68。當補充用量之液體介質(容積68)配送入下游處理程序時，液面偵測單元80將偵測得液體介質之高度下降。液面偵測單元80可結合任何適當型別的液面感測器元件，例如，紅外線液面感測器或電容感測器，液面偵測單元80感測得耗盡狀況或接近耗盡狀況，造成偵測單元作動適當警報，送出控制信號予自動更換系統，來更換新的配送用襯墊式包裝或採行其它適當動作。
圖3之貯器系統係佈署於處理程序流管線上，當襯墊式 包裝欲配送的物料已經耗盡時，該貯器系統係作為湧浪槽或盛裝容器來供應液體介質；以及，液面偵測裝置其係用來當有頂上空間存在於襯墊式包裝的襯墊中時，提供適當警報或校正動作。
於圖4之貯器系統中，貯器結構係與圖3所示貯器結構相同，但於中間部分的貯器具有縮小直徑區段82用於液面偵測，縮小直徑區段旁出有截頭錐形過渡區段84及86(如圖所示)。
圖5顯示之偵測系統80係具有圖4之偵測系統相同的構型，但縮小直徑區段82比較圖4偵測系統中之此一區段長度具細長特性，圖5系統中之縮小直徑區段82於其底端具有限流裝置90(如圖所示)。
圖3至5的三種貯器耗盡偵測系統係設計來最小化溶解氣體摻混入欲配送的液體介質，原因在於，任何溶解的氣體後來皆可能變成氣泡。圖4和圖5之耗盡偵測系統具有縮小直徑之中間區段82，來限制氣體的擴散入欲配送的液體介質內部。圖5之系統證實設置對氣體摻混之較長的障壁(換言之，圖5之系統提供氣體從液體介質脫離的細長路徑)。至於另一種變化例，貯器可形成為上氣體區段和下液體區段，藉細長盤捲管路互連，來提供貯器之氣體區段與液體區段間的良好隔離。
圖5貯器提供於頂上空間氣體從襯墊式包裝初期排放後，可能藉襯墊所擠壓出的外部氣泡的陷阱(trap)。若氣泡通過貯器的縮小直徑中間區段上升，此種氣泡的移動將導致貯器的顯著對流混合，而將加速氣體被液體介質的攝入。於頂上空間氣體之初步傳送期間，升高壓力將迫使氣體上升至貯器的頂區段。
圖6為另一個實施例之貯器耗盡偵測系統之示意代表圖，可解決於正常配送期間貯器的加壓。前述圖3至5之氣壓計貯器配置造成貯器內部液體介質於整個配送期間維持於加壓之下。此種液體介質可能混合入下方貯器，隨後氣泡與液體介質一起配送出。圖6系統係將保留的液體介質於貯器中儲存於大氣壓下。
圖6之襯墊式包裝及貯器系統100包括襯墊式包裝116，示意顯示為耦聯至壓力開關或壓力轉換器上游含有止回閥或閥的配送管線118。從壓力開關或壓力轉換器，液體介質和頂上空間氣體於管線112流至相分離器，氣體通過止回閥、相分離器、貯器102和閥V3以及(若存在時)V1而通風。當液體介質將1號液面感測器向上推時，閥V3關閉，液體介質的保留量被存放。
貯器102耦聯氣體排放管線106，其又接合至其中有閥V1的通風管線110(至通風口)，且接合至其中含有閥V2的分支管線108(接合至N2)。貯器102係設置於相分離器上方，相分離器於頂部呈流體流動連通，而藉其中有2號液面感測器和閥V3的頂上空間管線104而耦聯上方貯器。相分離器又於其底部耦聯其中含有閥V4之液體介質流管線。
當襯墊式包裝準備配送液體介質至下游處理程序時，閥V4開啟，開始流動。隨著液體介質的持續配送，漂流的氣泡被相分離器所捕捉。當襯墊式包裝116耗盡時，配送管線中的壓力下降，壓力開關/壓力轉換器將被作動。隨後，閥V3被開啟，液體介質從貯器饋至配送串列。當液體高度降至2號液面感測器時，閥V3和V4將關閉，襯墊式包裝116需要更換。
因管線118存在有止回閥/閥，當1號液面感測器被作動時，襯墊式包裝116可被取出，且更換襯墊式包裝，同時，下游處理程序係從貯器中保留的液體介質進料。
閥V1和V2為系統視需要而使用的組成元件，閥V1和V2可單純操作，讓貯器對大氣開放通風。雖言如此，從減少溶劑蒸發的安全性觀點和目的，若液體介質為揮發性物料或含有揮發性物料，則較佳使用V1，於貯器的填裝期間閥V1開啟。當貯器被填充至1號液面感測器時，V1將關閉。當管線118的壓力開關或壓力轉換器作動時，指示襯墊式包裝已經耗盡，閥V3將開啟，且閥V1將開啟，允許使用保留的液體介質。另外，若須加壓配送，則閥V2將開啟而非閥V1開啟。
若於液體介質從貯器配送期間使用閥V1，則可能下游幫浦的壓力將因形成負壓條件而產生氣泡。使用閥V2而非閥V1加壓，可解決此種負壓問題。溶解的氣體可存在於來自於貯器中保留供應源的液體介質，但由於相關操作時間短，故此種效果極小或不存在。
圖7為又一個實施例之貯器耗盡偵測系統之示意代表圖。襯墊式包裝未顯示於圖7，但包含市面上以商品名PDMPak得自ATMI公司(美國康州丹伯利(Danbury,CT))的該型襯墊式包裝，其係耦聯至液體介質進料管線126(「來自PDMPak」)。進料管線126含有止回閥或其它類型的閥，閥的下游有壓力開關或壓力轉換器。
進料管線126係耦聯至貯器122，貯器122的頂部有個2號液面感測器，及底部有個1號液面感測器。貯器底部係連接至排放管線124，排放管線124中有流量控制閥V3。於其頂端，貯器係耦聯至管線128，管線128又接合至其中含閥V1(至通風口)的分支管線130，以及其中含閥V2(至N2)的分支管線132。
當圖7的系統啟動時，來自於襯墊式包裝的頂上空間氣體強制通過止回閥/閥，向上通過貯器122，當閥V1開啟時送出管線128和130之外。當液體開始流入貯器，開始填充貯器時，液面高度升高，當液面到達2號液面感測器時，閥V1關閉。然後，系統準備配送至下游處理設施，諸如，微電子裝置製造工具。須注意2號液面感測器另外可位在管線128內部，允許貯器完全填滿化學品，進一步最小化氣體的夾帶。當襯墊式包裝到達耗盡情況時，壓力開始下降，此種壓力的下降致動壓力開關。使用者可選擇於此操作階段開啟閥V1或閥V2。若選定開啟閥V1，則系統內壓力將從配送壓力降至大氣壓。若選定閥V2開啟，則貯器內壓力將升高至系統內使用之氮氣壓力的供應壓力，來作為襯墊式包裝配送操作用之加壓氣體。
於圖7之系統中，使用者可於1號液面感測器與2號液面感測器間輸送液體介質。
當1號液面感測器被致動時，須更換襯墊式包裝，須結束配送操作。
管線126內部存在有止回閥，允許於2號液面感測器被致動時使用者移出且更換襯墊式包裝，藉此限制下游利用該液體介質的處理程序的停機時間。
圖8為於特定實施例中，襯墊式包裝和貯器耗盡或接近耗盡偵測系統200之示意代表圖。本實施例允許進行加壓配送和液面偵測，而配送氣體(加壓氣體)並未接觸液體介質。
圖8系統使用「瓶內袋/伸縮節」型襯墊式包裝作為耗盡偵測容器，設置用來作襯墊式包裝的耗盡偵測監控、以及保留液體介質配送至下游處理設施的配送壓力，而未直接施加配送氣體至液體介質。
於圖8系統啟動時，閥V1和V2開啟，以從襯墊式包裝200的頂上空間通風氣體，襯墊式包裝200包含含有襯墊204的容器202，透過蓋208而與包括汲取管206的配送總成相耦聯。加壓氣體(氮氣)藉加壓氣體進料管210而被導入容器202的內部容積，施加壓力於內部容積中的襯墊，且執行液體介質的加壓配送。
圖8系統中之襯墊式包裝可屬於任一種適當型別。市面上以商品名NOWPAK得自ATMI公司(美國康州丹伯利)的該型容器有4升液體介質容量，屬於三埠口探針設計，如圖所示。
當1號高度指示器感測得液體時，管線212中的閥V2關閉，結束頂上空間氣體的從閥V2流出。然後閥V3與V4開啟，允許液體介質經由液體介質傳輸管線220進入耗盡偵測容器226。耗盡偵測容器226設計成有貫穿埠口組態，允許氣體通過閥V4和通風管線222逃逸。
一旦2號高度指示器感測得存在有液體(3號高度指示器係設置來於2號高度指示器作動之前作動)，閥V4關閉，藉此結束液體介質的流經通風閥。經過短時間延遲後，閥V5開啟，藉此允許導入加壓氣體(氮氣)供給壓力至耗盡偵測容器的內部容積。此種供應耗盡偵測容器的壓力係設定為略低於施加於襯墊式包裝內部容積的供應壓力。藉由此種配置，只要液體介質係於襯墊式包裝中，液體介質將從襯墊式包裝配送，而非從耗盡偵測容器226配送。
一旦藉加壓氣體流經閥V5的流量，已經達到期望壓力時，閥V6開啟來供應於液體介質排放管線228的液體介質至下游處理工具250。下游處理工具250可屬於任一種適當型別的工具，例如，微電子裝置製造工具，包含沉積光阻於半導體基板上之沉積室、半導體基板進行離子植入用之離子植入工具、接收有機金屬試劑用來將金屬沉積於平板顯示器基板上之化學氣相沉積工具等。最後，進給該工具的襯墊式包裝內部的液體介質完全耗盡。出現此種情況時，耗盡偵測容器內部的壓力下降。流經閥V5之來自於氮氣的配送壓力接手，繼續將液體介質從耗盡偵測容器配送至下游處理程序。
當從耗盡偵測容器配送時，3號高度指示器被作動，指示需要更換襯墊式包裝。當3號高度指示器被作動時，閥V3和V1將關閉，藉此允許襯墊式包裝安全地更換，同時，下游處理程序係藉從耗盡偵測容器的保留液體介質供應源來操作。耗盡偵測容器設計成有最少液體保留量，讓耗盡偵測容器可供應連續操作用之足量液體介質，例如，一個特定實施例中，該量足夠配送微電子裝置製造試劑至2舟皿晶圓的負載量(亦即，兩批次晶圓(＝50晶圓))。一旦更換襯墊式包裝，則重複液體介質配送程序。
耗盡偵測容器可以任一種適當方式組配與操作。於一個實施例中，耗盡偵測容器係以可癟陷膜組成，該可癟陷膜可被加壓而未施加直接壓力至液體介質，如此避免液體介質被氣泡生成性氣體所飽和。
其它可用來避免加壓氣體與液體介質接觸的加壓結構包括袋子、伸縮節、可癟陷管子等。
另一種構造係採用管子，有個浮動球允許進行耗盡偵測容器的加壓，同時，配合加壓氣體從液體介質的分離。至於此種辦法的變化例，可使用柱塞或活塞來達成類似效果，可容納此種移動部件而未對所配送的液體期望的純度要求造成不良影響之應用用途。
於又另一個實施例中，本發明涵蓋有整合式感測器之超高純度包裝，來提高包裝功能，例如，為了改良諸如襯墊式包裝之包裝內容物於其儲存、運送、及隨後使用時對內容物的知曉，以及，為了將來自於包裝的資訊鏈接至工廠自動化/控制的集中式IT系統，藉此來達成擁有成本的降低且提高製造效率，且提升包裝和所包裝產品的成本會計效率。
供此項目的使用之感測器可採用被動式射頻識別(RFID)技術，「被動」一詞表示該技術並未使用電池供電，反而係於RF信號協商期間使用RF功率。本信號(其中也含有資訊)的電力由天線所接收。簡單電路處理所感測之電信號，例如，藉二極體電路將感測得之電信號整流，例如，使用電容回路來儲存，因此經過適當積分時間後，處理信號可用來喚醒且操作被動式RFID晶片。
本發明之多種包裝用途中，被動式RFID雖然可用於唯讀或讀寫非揮發性記憶體操作，但，被動式RFID也可用於感測器，特別地，若要求的感測資料密度夠低而無法於被動式辦法藉電力限制來滿足要求的感測資料密度時，尤為如此。可取得多種被動式RFID協定，包括ISO 14443(型別A、B及C)，於13.56 MHz操作，以及，於約900 MHz操作的EPC Gen－2。
本發明之廣義實施中有用的感測器包括但非限於液面高度或固體液面感測器及物料性質感測器。
液面感測器可屬於多種不同型別，包括重力感測器。當利用箱內袋包裝時，諸如，可以商品名NOWPAK得自ATMI公司(美國康州丹伯利)的市售包裝，襯墊壁典型地為未經支持，整個襯墊係從配送噴嘴自由懸吊。於此種構型中，可藉感測器測量應力量，及應力對配送噴嘴的實體支持體所造成的機械變形(應變)量，來判定襯墊中留下的物料量。此種測量例如可能為低準確度測量，總襯墊容積只分成1/8刻度，類似自動燃料表，而工廠中將感測器設定為零。為了改良此種感測器用於特定實施例的靈敏度，配送噴嘴必須從特殊材料以特殊材料厚度製造，於噴嘴上可架設應變計來測量應變，例如，使用「惠特史東」(Wheatstone)橋接電阻陣列測量，其中一個或多個腳製造成應變敏感。
因為應變係依據溫度而定，故可同時進行溫度測量，藉溫度感測器來校正溫度的影響。組合式應變計/溫度感測器可以電池供電有線感測器具體實施，透過於包裝之配送區段的安裝凸緣的變形，來測定襯墊式包裝內部的物料重量。此型襯墊式包裝液面感測器也可接線供電與通訊，及/或液面感測器適合與電池供電之RFID感測器(例如主動式RFID)或與被動式RFID感測器作無線通訊。於感測器置於安裝於配送噴嘴上的拋棄式襯墊之情況下，此種被動式RFID方案可提供低成本容易實作的物料存量感測器。此型無線感測器可以與材料追蹤系統的天線/讀取器等組成元件以整合一體之方式實作，或可為各自分開實作。
另外，應變感測器可佈署於配送噴嘴的工具(下游處理程序)側上，使用相同或類似的硬體及有線(資料線和電源線)介面，來測量附接至該工具的物料容納襯墊的重量。
本發明涵蓋使用液面感測器於「罐內袋」或「袋內袋」襯墊式包裝用途。於此等情況下，經由將加壓流體(氣體 或液體)泵送入罐內部或外袋內部的中間空間，壓縮載荷於襯墊的外表面上，讓襯墊癟陷，造成襯墊內部的液體介質排放出，可達成或可輔助液體介質從襯墊式包裝的去除。因此種包裝配置的外部盛裝容器有固定容積，中間空間(於襯墊與外部盛裝容器間的空間)之容積直接指示襯墊內部保留的物料量。
於一個實施例中，此中間空間容積係藉下列方式來感測：1)暫時關閉出口或襯墊的下游導管；2)將已知量之氣體輸送進入袋於罐包裝或袋於袋包裝內部的中間空間；以及，3)測定此種物料遞增脈衝進入包裝中間空間導致的壓力增高。此種感測器配置較佳為有線，模組係固定至外部盛裝容器外側的加壓流體入口。當襯墊內容物與加壓流體間，例如，作為襯墊中盛裝的物料之液體介質與加壓氣體間之壓縮能力有顯著差異時，此種配置為特佳。
至於物料性質感測器，可利用襯墊中之液體介質的多種性質來進行物料性質監測，俾便最佳化下游處理程序對此種液體介質的利用、剔除已經分解的液體介質、廢物利用已經超出標稱儲存壽命的液體介質、檢查與確保物料包裝的準確度等。
於此等用途中，物料性質感測器可屬於任一種適當類型，例如，有線微量感測器、無線電池供電微量感測器、或整合於超高純度拋棄式襯墊式包裝的被動式感測器，或整合於產品包裝的其它拋棄式組成元件的被動式感測器。
被動式RFID感測器直接整合入襯墊式包裝，允許以有效且具有成本效益的方式來準確觀察與追蹤物料的性質。
於一個特定態樣中，本發明包括使用單晶片流體分析器感測器，其例如透過有線電源－資料介面來整合入配送噴嘴或襯墊式包裝，以便於使用期間監測高純度拋棄式包裝內部的物料。
因此，廣義言之，本發明涵蓋於包裝內佈署多種形式的感測器例如包括：(i)於安裝於儲存、運送或架設環境後，監視產品及產品包裝之平衡的熱感測器；(ii)監視產品儲存壽命之電化學感測器，諸如，原位(in situ)分析由於老化、環境污染、pH改變氣體擴散等結果而於原位所形成的有機物或無機物或副產物；以及，(iii)光散射感測器，用來監測包裝產品用途中之產品組成物的均勻度與混合/混合情況。
本發明額外涵蓋使用加壓配送之襯墊式包裝來輸送物料之系統，以及，方便檢測供應包裝的耗盡之物料輸送系統。
於一個實施例中，本發明提供一種物料配送系統，包括其中含有襯墊之物料儲存及配送包裝，適合盛裝加壓配送的物料，其中，該包裝係藉配送管線而耦聯至所配送的物料利用工具，配送管線係工作式地設置有一伺服液壓配送幫浦，及一耗盡偵測加壓轉換器介於包裝與幫浦間，工作式地配置來提供包裝趨近於耗盡狀態的指示之輸出信號。
此系統進一步包括貯器氣體分隔器和通風總成，設置於包裝與伺服液壓配送幫浦間的配送管線內。視情況需要地，系統也包括過濾器，設置於貯器氣體分隔器與通風裝配件間的配送管線中，以及，包括幫浦和氣動式定序閥裝配件(氣壓閥/定序閥或AV/SV裝配件)，設置於幫浦下游的配送管線中。
管線適合含有化學試劑，如光阻或其它可用於製造微電子產品，例如，半導體裝置之平板顯示器的物料。
於前述系統中，壓力轉換器可運作耦聯至控制器，以便當包裝趨近於耗盡態時隔開包裝方便更換包裝。
本發明之另一個實施例係有關一種物料配送系統，包括：物料儲存及配送包裝，其中含有一襯墊，襯墊適合盛裝加壓配送物料，其中，該包裝係藉配送管線而耦聯至所配送之物料的利用工具，配送管線係耦聯至配送器，設置來接收對來自包裝的週期性補充時間表對流至工具的阻力；以及，一監視器，適合偵測配送器補充所需時間的延長，指示包裝趨近於耗盡態，且響應地提供此種趨近於耗盡態的輸出信號。
於此種實施例之配送器包括幫浦，諸如氣壓幫浦、液壓幫浦等，其中，於旋轉塗覆次系統中有不同杯的升高變化，以及其中，配送器(幫浦)裝配件之腔室的填充經過高度校正。如本文中所使用，「杯」一詞係指腔室(幫浦室)，其具有晶圓離心位置且關聯配送臂或噴嘴、離心機馬達及晶圓卡盤。配送器系統包括貯器氣體分隔器和通風裝配件，於該包裝與配送器間的配送管線內。過濾器可設置於貯器氣體分隔器與通風裝配件間的配送管線及配送器 內，AV/SV閥裝配件可設置於配送器下游的配送管線。AV/SV閥裝配件包括氣動式自動閥(作為裝配件之開關AV部分)和回抽取閥(作為裝配件之SV部分)，其中SV部分保留置換容積，讓配送的物料略為向上抽取入噴嘴，因此塗覆後凹凸面不會滴落至晶圓上。
襯墊適合含化學試劑，諸如光阻或其它用來製造微電子產品，如半導體裝置和平板顯示器的物料。
於前述設計中，監視器可運作耦聯控制器，用來隔開包裝以允許於趨近於包裝的耗盡態時更換包裝，及/或監視器適合執行系統中的其它動作，諸如處理程序控制功能。
於另一態樣中，本發明係有關用於直接加壓配送諸如光阻等物料之襯墊式物料儲存及配送包裝。包裝較佳係組配成為於配送前去除頂上空間，俾便達成零頂上空間或近零頂上空間狀態，藉此，避免於欲配送的包裝物料中產生微氣泡。
舉個特定實例，於半導體製造設施中，此種襯墊式光阻儲存及配送包裝可整合伺服液壓耦聯配送幫浦，用來輸送光阻至半導體晶圓塗覆工具。
於此型配送系統中，可藉轉換器監視配送壓力，當趨近於配送容器的耗盡狀況，定名為「萎垂」(droop)，此種壓力遞增加速快速下降可用作為處理參數來判定何時需要更換供應包裝。
此型配送系統300示意顯示於圖9，包括襯墊式加壓配送供應容器302，整合於包括伺服活塞馬達308和液壓流 體連接器310的伺服液壓配送幫浦。系統利用耗盡偵測壓力轉換器306來判定壓力萎垂的起點，作為需要更換供應容器的趨近於耗盡狀況的指標。
伺服液壓配送幫浦係設置於配送管線312，設置有上游流量控制閥314和下游流量控制閥316。配送管線312進一步含有貯器氣體分隔器320。通風管線322耦聯於貯器氣體分隔器320，其中含有流量控制閥324來配合容器的通風。
貯器氣體分隔器320下游為過濾器326。過濾器又係設置於伺服液壓配送幫浦上游的配送管線312內部。也設置於配送管線312者為氣動定序閥328(氣壓閥/定序閥或AV/SV)來作為閥銜接提供開關回抽取，俾便輔助光阻劑輸送至晶圓330之配送操作模式及補充操作模式。
於圖9之系統中，於伺服液壓配送幫浦中的幫浦隔膜為配送與補充模式二者的驅動器。配送與補充時間為幫浦操作參數。供應包裝302耗盡狀況起點係藉壓力轉換器306測定，耗盡狀況選用作為當趨近於耗盡狀況時的預定壓力萎垂。供應包裝出口壓力呈所配送之物料容積之函數之量化線圖顯示於圖10。
雖然前述辦法係利用耗盡偵測壓力轉換器來測定光阻供應容器中的耗盡狀況起點，通常可靠的壓力轉換器相當昂貴，無法監視配送串列中工作條件的各個態樣。
因此，本發明於一個實施例中涵蓋設置襯墊式物料儲存及配送包裝用於加壓配送諸如光阻等物料，與配送器單元 整合，配送器單元諸如為Hideyuki之美國專利6,319,317所述之該型配送器單元，該案全文揭示以引用方式併入此處。
圖11為晶圓塗覆系統400之示意代表圖，晶圓塗覆系統400包含加壓配送供應容器402，耦聯有配送管線412。於配送管線412內部設置配送器(幫浦)單元，包括氣壓耦聯區段410。配送器單元係耦聯至其中含有三通閥444的補充通風管線，故配送器單元於開放位置時可通過排放管線446之閥通風。也藉進料管線448而耦聯至三通閥444者為電氣力調節器450。配送器單元包括補充原位感測器452。
圖11之系統係組配成如圖9之說明，有貯器氣體分隔器420於配送管線412內部，耦聯至其中有流量控制閥424的通風管線422。貯器氣體分隔器420為過濾器426之上游。配送器單元具有各別的上游流量控制閥414和下游流量控制閥416，例如，作為配送器單元的一體式組成元件，AV/SV銜接閥428設置於配送管線412內，位在晶圓430上游。
於圖11之系統中，幫浦隔膜為配送操作中的唯一驅動器。於補充模式中，加壓配送包裝為驅動器，配送器隔膜為從動件，補充時間係依照包裝壓力、抗蝕劑黏度、配送器相較於供應器包裝的高度、過濾器的選用、配送器配送容積、過濾器載荷量、配送管線幾何及流量限制之函數而改變。補充配送器單元所需時間，為供應容器趨近於耗盡 狀況的早期指標，補充所需時間係與耗盡起點壓力萎垂成反比關係。
耗盡狀況選用作為光阻塗覆單元(「COT」)之晶圓杯模組中各杯高度之預定容器補充時間，伴隨前文列舉之其它參數的選擇。配送器單元之補充時間之關係之量化線圖顯示於圖12。圖11所示系統配置可免除昂貴的壓力轉換器的需求，且可提供補充操作的特徵指標。
圖13為以商品名LITHIUS II，得自東京電子公司(Tokyo Electron Ltd.)(日本東京)之COT模組之示意代表圖，含有5個晶圓杯(杯1、杯2、杯3、杯4、及杯5)。COT模組中之各管線A1 -A5 表示從配送器至個別晶圓杯有恆定配送距離和高度。各管線B1 -B4 表示呈供應容器至配送器位置之函數的可變高度。COT模組顯示為含有兩個壓力配送包裝500和502，其適合循序使用，故供應器包裝500趨近於耗盡時，可被抽出，然後讓新的供應器包裝502進入配送服務。
各管線A1 -A5 代表相關聯的配送器的獨特補充時間。如COT模組高度所示，各高度表示對1克/毫升抗蝕劑密度為0.5米(4.898 kPa，0.710 psi)。
各個COT模組具有於該高度上方的工作驅動壓力，該壓力於層流條件下將與配送器填補時間呈線性交互關係。發現，補充時間對高度扣除驅動壓力之比為常數，藉此驗證實驗資料與高度相關驅動電位的吻合。當全部其它條件，亦即，過濾器載荷量、配送管線長度、黏度、過濾器的選 用、配送器的補充配送量、配送管線構型等因素皆相等時，補充時間係固定於各個杯高度，時間的延長反映出供應容器耗盡狀況的起點。
於前述系統中配送終點耗盡偵測能力係仰賴下述事實：對各個杯高度而言，補充時間將隨供應器包裝壓力萎垂比較高度相關聯之驅動壓力的比值成正比而升高。
圖14為對圖13示意顯示之COT模組，於個別高度經校正的壓力時，配送器的補充時間呈所配送之抗蝕劑物料容積(以毫升表示)之函數之線圖。
注意，於圖14之線圖中於較高杯高度時，因供應器包裝之萎垂係占於此種狀況下之高度經校正驅動壓力的較大比例，故補充時間更快速斜坡時向上升高。
雖然於此處已經參照本發明之特定態樣、特徵和具體實施例作說明，但須瞭解本發明之用途並非受此所限，反而本發明之用途係擴充且涵蓋多種其它變化、修改及替代實施例，如熟諳技藝人士基於本文揭示顯然易明。相對應地，如後文請求專利之發明意圖廣義解譯，且將涵蓋全部此等變化、修改及替代實施例於其精髓及範圍。
相關申請案：
本案係有關美國臨時專利申請案第60/674,578號，申請日2005年4月25日，申請人Glenn M.Tom、John Kingery、Kevin O’ Dougherty、Kirk Mikkelsen、以及Michelle Alberg，名稱「適合用於加壓配送之零頂上空間/最小頂上空間的襯裡式液體儲存及配送系統」；美國臨 時專利申請案第60/674,579號於2005年4月25日提出申請，申請日2005年4月25日，申請人Minna Hovinen、John Kingery、Glenn M.Tom、Kevin O’ Dougherty、Kirk Mikkelsen、Donald Ware及Peter Van Buskirk，名稱「具有可偵測液體耗盡之能力的襯墊式液體儲存及配送系統」；及，美國臨時專利申請案第60/674,577號，申請日2005年4月25日，申請人Weihua Wang、David Bernhard、Thomas H.Baum、Greg Mlynar及Minna Hovinen，名稱「化學試劑及組成物之儲存及配送用裝置及方法」。全部此等臨時專利申請案之揭示全文皆以引用方式併入此處。
10‧‧‧襯墊式包裝
12‧‧‧(剛性)外包裝
14‧‧‧內部容積
16‧‧‧(可撓性可癟陷)襯墊
18‧‧‧液體介質
20‧‧‧頂上空間
22‧‧‧汲取管
24‧‧‧氣體進料管
30‧‧‧流管線
32‧‧‧耗盡偵測感測器
34‧‧‧排放管線
40‧‧‧實線；內部次要容積
42‧‧‧(成行)次要容積
46‧‧‧(分支)次要容積
48‧‧‧T字形管線
60‧‧‧貯器系統
62‧‧‧貯器
64‧‧‧進料管線
66‧‧‧液體介質容積
68‧‧‧(交叉影線區)容積
70‧‧‧氣體空間
72‧‧‧(成行)管線
74‧‧‧流量控制閥；流量閥
76‧‧‧通風管線
78‧‧‧流量控制閥；通風閥
80‧‧‧液面偵測單元；偵測系統
82‧‧‧縮小直徑區段；中間區域
84‧‧‧截頭錐形過渡區段
86‧‧‧截頭錐形過渡區段
90‧‧‧限流裝置
100‧‧‧(襯墊式)包裝及貯器系統
102‧‧‧貯器
104‧‧‧頂上空間管線
106‧‧‧(氣體)排放管線
108‧‧‧分支管線
110‧‧‧通風管線
112‧‧‧管線
116‧‧‧襯墊式包裝
118‧‧‧(配送)管線
122‧‧‧貯器
124‧‧‧(排放)管線
126‧‧‧(進料)管線
128‧‧‧管線
130‧‧‧(分支)管線
132‧‧‧(分支)管線
200‧‧‧襯墊式包裝及貯器耗盡或接近耗盡偵測系統；襯墊式包裝
202‧‧‧容器
204‧‧‧襯墊
206‧‧‧汲取管
208‧‧‧蓋
210‧‧‧氣體進料管
212‧‧‧管線
220‧‧‧傳輸管線
222‧‧‧通風管線
226‧‧‧耗盡偵測容器
228‧‧‧液體介質排放管線
250‧‧‧下游處理工具
300‧‧‧配送系統
302‧‧‧襯墊式加壓配送供應容器
306‧‧‧(耗盡偵測)壓力轉換器
308‧‧‧伺服活塞馬達
310‧‧‧液壓流體連接器
312‧‧‧配送管線
314‧‧‧上游流量控制閥
316‧‧‧下游流量控制閥
320‧‧‧貯器氣體分隔器
322‧‧‧通風管線
324‧‧‧流量控制閥
326‧‧‧過濾器
328‧‧‧氣動定序閥
330‧‧‧晶圓
400‧‧‧晶圓塗覆系統
402‧‧‧加壓配送供應容器
410‧‧‧氣動耦聯區段
412‧‧‧配送管線
414‧‧‧上游流量控制閥
416‧‧‧下游流量控制閥
420‧‧‧貯器氣體分隔器
422‧‧‧通風管線
424‧‧‧流量控制閥
426‧‧‧過濾器
428‧‧‧AV/SV銜接閥
430‧‧‧晶圓
444‧‧‧三通閥
446‧‧‧排放管線
448‧‧‧進料管線
450‧‧‧電氣力調節器
452‧‧‧補充原位感測器
500‧‧‧供應包裝、加壓配送包裝
502‧‧‧新的供應包裝、加壓配送包裝
A、B、C、D‧‧‧箭頭
V‧‧‧閥
圖1為襯墊式包裝配送系統之示意代表圖，其具有耗盡偵測感測器配置來監測液體介質的配送操作。
圖2為襯墊式包裝配送系統之示意代表圖，該系統具有主要容積液體介質和次要容積液體介質，配置成至主要容積液體介質完全耗盡之前，不會出現次要容積的配送，次要容積液體介質的配送可觸發設置來監測液體介質配送操作之耗盡偵測感測器。
圖3至5為於配送操作期間，可用於襯墊式包裝之耗盡偵測監視用之其它貯器裝配件之示意圖。
圖6為另一個實施例之貯器耗盡偵測系統之示意代表圖。
圖7為又一個實施例之貯器耗盡偵測系統之示意代表圖。
圖8為於特定實施例中之襯墊式包裝和貯器耗盡偵測系統之示意代表圖。
圖9為配送系統之示意代表圖，包括襯墊式加壓配送供應容器，整合於伺服液壓配送幫浦，且利用耗盡偵測壓力轉換器來測定壓力萎垂的起點，作為需要更換供應容器的趨近於耗盡狀況的指標。
圖10為對本發明之一個實施例之物料輸送系統，供應包裝出口壓力呈所配送之物料容積之函數之量化線圖。
圖11為本發明之另一個實施例之晶圓塗覆系統之示意代表圖，該系統包含加壓配送供應容器，該容器具有配送管線互連該包裝至配送器單元。
圖12為於如圖11所示之該型物料輸送系統中，補充配送器單元之補充時間(標示為「CRD」)之關係之量化線圖。
圖13為如採用於圖11之物料輸送系統中之一型COT(離心塗覆次系統)模組之示意說明圖。
圖14為對如圖11之物料輸送系統中採用的該型COT模組，於個別高度經校正的壓力時，配送器的補充時間呈所配送之抗蝕劑物料容積(以毫升表示)之函數之線圖。
200‧‧‧襯墊式包裝及貯器耗盡或接近耗盡偵測系統；襯墊式包裝
202‧‧‧容器
204‧‧‧襯墊
206‧‧‧汲取管
208‧‧‧蓋
210‧‧‧氣體進料管
212‧‧‧管線
220‧‧‧傳輸管線
222‧‧‧通風管線
226‧‧‧耗盡偵測容器
228‧‧‧液體介質排放管線
250‧‧‧下游處理工具

Claims (151)

  1. 一種流體儲存及配送系統，包含：具有一內部容積之一容器；該內部容積內之一襯墊，經設置以在一零或近零頂上空間構型中容納一液體介質；適合與該容器銜接之一配送裝配件，在配送操作期間從該襯墊中撤出液體介質；以及一整合式流量計，經設置以監測在配送操作期間從該襯墊撤出之該液體介質，且出現一耗盡偵測(empty-detect)狀況之後，產生與該耗盡偵測狀況有交互關聯之一輸出。
  2. 如申請專利範圍第1項之流體儲存及配送系統，其中該整合式流量計監測該液體介質之配送速率，且回應於該液體介質流速的實質減低，產生該輸出作為該耗盡偵測狀況。
  3. 如申請專利範圍第1項之流體儲存及配送系統，其中該整合式流量計包含一電子輸出整合式流量計。
  4. 如申請專利範圍第3項之流體儲存及配送系統，進一步包含：一射頻(RF)響應控制器，適合回應於接收到已經出現一耗盡偵測狀況的資訊以結束該配送操作；以及一RFID標籤，該RFID標籤位在該襯墊和該容器之至少一者上，其中該RFID標籤包括經設置以從該RFID標籤通訊資訊至該控制器的一RF天線，且該電子輸出整合式流量計經設置以供給該輸出至該RFID標籤， 藉此產生指示該耗盡偵測狀況的該輸出信號並通訊至該RFID標籤，指示該耗盡偵測狀況的相對應資訊藉由該RF天線發射至該RF響應控制器，並在出現該耗盡偵測狀況之後結束該配送操作。
  5. 如申請專利範圍第4項之流體儲存及配送系統，其中該RF響應控制器適合為了連續配送操作而將該容器和該襯墊更換(change-over)成一第二容器和襯墊。
  6. 如申請專利範圍第3項之流體儲存及配送系統，進一步包含：一控制器，適合接收來自於該電子輸出整合式流量計的該輸出，並響應地結束該配送操作。
  7. 如申請專利範圍第6項之流體儲存及配送系統，其中該控制器適合為了連續配送操作而將該容器和襯墊更換成一第二容器和襯墊。
  8. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有一內部容積之一容器；於該內部容積內之至少一襯墊，經設置以容納一液體介質；適合與該容器銜接之一配送裝配件，在配送操作期間從該襯墊中撤出液體介質；流量迴路，與該配送裝配件耦接且經設置用以在該配送操作期間讓液體介質流經該流量迴路；經設置用以配送的一次要容積之液體介質，使得一主要容積的液體介質在實質地完全配送之前，不會發生該次要容積的配送，其中該主要容積包括該至少一襯墊中的該液 體介質的一第一部分，並且該次要容積包括與該主要容積構成之液體介質不同之該至少一襯墊中之該液體介質之一第二部分；以及一耗盡偵測器，經設置以監測該配送操作，且當該次要容積的配送啟動時，產生一耗盡偵測輸出；其中該配送系統之技術特徵在於下列(a)至(c)之一者：(a)該次要容積係藉由該至少一襯墊中之一受限制的次容積所構成，該至少一襯墊之該受限制的次容積係藉由一可撓性構件所劃界(bounded)，該可撓性構件固定於該至少一襯墊，且係由以較該至少一襯墊之組成材料更硬的材料所形成；(b)該配送系統進一步包含：一電動幫浦，該電動幫浦用於在液體介質的配送期間泵送液體介質，且其中該耗盡偵測器係經設置以監測由該幫浦所抽取的電流強度，當液體介質開始從該次要容積配送之後而該電流強度改變時，則產生該耗盡偵測輸出；以及(c)該配送系統進一步包含一傳動串列，該傳動串列經設置以產生用於液體介質之該主要與次要容積的加壓配送之壓力，且其中該耗盡偵測器係經設置以偵測在傳動串列壓力中的一變化，該變化為在從來自該主要容積之液體介質配送 轉換成為自該次要容積之液體介質配送的期間，維持一預定壓力所需。
  9. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中液體介質的該次要容積係容納在至少一襯墊中的一區隔區中。
  10. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中該配送裝配件包含一配送頭，該配送頭與一汲取管耦接，以及該汲取管適合在該配送操作期間讓來自至少一襯墊的液體介質流經該汲取管。
  11. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中至少一襯墊包含聚合物薄膜。
  12. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中該耗盡偵測器進行一偵測方案，該偵測方案係自從由下列偵測方案所組成之群組內選出：流經該流量迴路之該主要容積的液體介質流的壓力衰減之偵測；與配送液體介質之該主要容積的負載有關之配送液體介質之該次要容積的一增加負載之一負載變化事件之偵測；以及，在配送操作期間，液體介質之該次要容積的排量之測量。
  13. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中該次要容積係藉由該至少一襯墊中之一受限制的次容積所構成，該至少一襯墊之該受限制的次容積係藉由一可撓性構件所劃界，該可撓性構件固定於該至少一襯墊，且係由以較該至少一襯墊之組成材料更硬的材料所形成。
  14. 如申請專利範圍第13項之襯墊式包裝配送系統，其 中該可撓性構件係熔接至該至少一襯墊。
  15. 如申請專利範圍第13項之襯墊式包裝配送系統，其中該可撓性構件包含一V字形薄片元件，該V字形薄片元件係熔接至該至少一襯墊之一邊緣，該V字形薄片元件的每一邊係熔接至該至少一襯墊的每一邊。
  16. 如申請專利範圍第13項之襯墊式包裝配送系統，其中該可撓性構件包含熔接至該至少一襯墊之一平坦區段之一平坦矩形構件或略微彎曲矩形構件。
  17. 如申請專利範圍第13項之襯墊式包裝配送系統，其中該可撓性構件包含一碟形構件，該碟形構件係熔接至該至少一襯墊之一平坦部。
  18. 如申請專利範圍第17項之襯墊式包裝配送系統，其中該至少一襯墊之一平坦部包含接近該至少一襯墊中央之一部分。
  19. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中該耗盡偵測器係經設置以偵測該所配送之液體介質中的壓降，且響應地產生該耗盡偵測輸出。
  20. 如申請專利範圍第19項之襯墊式包裝配送系統，其中該耗盡偵測器包含一壓力轉換器。
  21. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，進一步包含：一電動幫浦，該電動幫浦用於在液體介質的配送期間泵送液體介質，且其中該耗盡偵測器係經設置以監測由該幫浦所抽取的電流強度，當液體介質開始從該次要容積配送之後之該電流強度改變時，產生該耗盡偵測輸 出。
  22. 如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中該配送系統進一步包含一傳動串列，該傳動串列經設置以產生用於液體介質之該主要與次要容積的加壓配送之壓力，且其中該耗盡偵測器係經設置以偵測在傳動串列壓力中的一變化，該變化為在從來自該主要容積之液體介質配送轉換成為自該次要容積之液體介質配送的期間，維持一預定壓力所需。
  23. 如申請專利範圍第8項之襯墊包裝配送系統，其中該襯墊係經設置以在一零頂上空間構型或一近零頂上空間構型中容納一液體介質。
  24. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有一內部容積之一容器；在該內部容積內的一襯墊，經設置以容納一液體介質，該液體介質上方罩有一頂上空間；一貯器，係與該襯墊中之該頂上空間和液體介質以氣壓式耦接成流體連通，且該貯器經設置以容納上方罩有氣體之液體介質以在該貯器中定義出一液體高度，其中該貯器具有一直立細長形式，且在該貯器長度之一中間部分處具有用於藉由該液面偵測器感應液面之一減少之直徑部；以及一耗盡偵測器，經設置以監測該貯器中的液體高度，且當該貯器中的液體高度由於該襯墊的一耗盡或接近耗盡狀況而改變時，產生一耗盡偵測輸出。
  25. 如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該貯器與該襯墊的該頂上空間及液體介質耦接成流體連通，且藉由在該貯器與該襯墊的該頂上空間及液體介質之間之一供給管線連通。
  26. 如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該貯器包括適合容納氣體之一上部，與適合容納上方罩有氣體之該液體介質之一下部，並具有一通風管線耦接至該上部，以及有一液體排放管線連接至該下部。
  27. 如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該通風管線及液體排放管線係以流量控制閥進行閥控。
  28. 如申請專利範圍第27項之襯墊式包裝配送系統，其中該等流量控制閥經設置成當配送壓力施加於該襯墊時關閉，藉此造成來自於該襯墊的頂上空間氣體被迫流至該貯器之該上部來覆蓋於該貯器中的液體介質上方，因此當液體介質已經完全從該襯墊配送之時，為了來自該襯墊的液體介質用盡之後仍然可連續配送液體介質，而加壓該貯器之該上部的該氣體以執行來自該貯器之液體介質之加壓配送。
  29. 如申請專利範圍第28項之襯墊式包裝配送系統，其中該貯器經設置以用於液體介質之該連續配送一段足夠的時間，以將容納一第二襯墊之一第二容器切換成配送操作。
  30. 如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該耗盡偵測器可致動一警報作為該耗盡偵測輸出。
  31. 如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該耗盡偵測器包含自以下元件所組成之群組中選出之一液面感測器元件：紅外光液面感測器和電容感測器。
  32. 如申請專利範圍第29項之襯墊式包裝配送系統，進一步包含：一自動更換裝置，經設置以藉由該耗盡偵測器的該耗盡偵測輸出而致動，在足夠將容納一第二襯墊的一第二容器切換成配送操作之該時間內，切換成一新的襯墊式包裝。
  33. 如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該貯器的該中間部分包括在該貯器的該中間部分中之一流量限制。
  34. 如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該貯器的該中間部分包含盤捲的管路。
  35. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有一內部容積之一容器；該內部容積內之一襯墊，經設置以容納一液體介質，該液體介質上方罩有一頂上空間；一相分離器；一配送管線，該配送管線耦接至該襯墊且與該相分離器成流體連通；一液體介質流管線，該液體介質流管線與該相分離器耦接以從該相分離器中排放液體介質；定位於該相分離器上方之一貯器，該貯器經設置以容納液體介質而在該貯器內定義液體介質液面； 一頂上空間管線，該頂上空間管線接合該相分離器並與該貯器成流體流之連通；一第一液面感測器，該第一液面感測器經設置以偵測該貯器中的一第一液體介質液面，其中該貯器容納一預定量之儲備液體介質；在該頂上空間管線中之一第二液面感測器，該第二液面感測器經設置以在該儲備液體介質配送期間，偵測在該頂上空間管線中之一第二液體介質液面；在該頂上空間管線中之一第一流量控制閥，該第一流量控制閥位在該第二液面感測器與該貯器之間，該第一流量控制閥經設置以在從該襯墊配送液體介質期間，開啟以填充該貯器，以及該第一流量控制閥在該第一液面感測器偵測該第一液體介質液面之後關閉；在該配送管線中之壓力偵測致動器，該壓力偵測致動器經運作配置在偵測到該襯墊的一耗盡或接近耗盡狀況後，關閉該頂上空間管線中的該第一流量控制閥，而在該襯墊的該耗盡或接近耗盡狀況之後以開啟該第一流量控制閥，該第一流量控制閥用於配送該儲備液體介質通過該相分離器和液體介質流管線。
  36. 如申請專利範圍第35項之襯墊式包裝配送系統，其中該配送管線容納一止回閥，該止回閥調整液體介質從該襯墊至該相分離器之流動。
  37. 如申請專利範圍第35項之襯墊式包裝配送系統，其中該貯器係對該系統之該周圍環境通風。
  38. 如申請專利範圍第35項之襯墊式包裝配送系統，其中該貯器耦接至一加壓氣體源，該加壓氣體源經運作設置用於從該貯器進行儲備液體介質的加壓配送。
  39. 如申請專利範圍第35項之襯墊式包裝配送系統，其中一第二流量控制閥置放於該液體介質流管線中，且經設置以在液體介質從該襯墊配送期間、以及儲備液體介質從該貯器配送期間開啟該第二流量控制閥。
  40. 如申請專利範圍第39項之襯墊式包裝配送系統，其中該第二流量控制閥與該第二液面感測器運作耦接，當該第二液面感測器在該儲備液體介質配送期間偵測到該頂上管線中之一第二液體介質液面時，關閉該第二流量控制閥。
  41. 如申請專利範圍第40項之襯墊式包裝配送系統，其中該第一流量控制閥與該第二液面感測器運作耦接，以在當該第二液面感測器在該儲備液體介質配送期間偵測到該頂上管線中之一第二液體介質液面時，關閉該第一流量控制閥。
  42. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有一內部容積之一容器；該內部容積中之一襯墊，該襯墊經設置以容納一液體介質主體，該液體介質主體上方罩有一頂上空間；一貯器，該貯器經設置以容納液體介質而於貯器內定義液體介質液面；一配送管線，該配送管線耦接至該襯墊並與該貯器成流 體連通；一液體介質流管線，該液體介質流管線與與該貯器耦接以從該貯器中排放液體介質；一第一液面感測器，該第一液面感測器經設置以偵測該貯器中之該液體介質之一第一液面；一第二液面感測器，該第二液面感測器經設置以偵測該貯器中之該液體介質之一第二液面，其中該貯器中之該液體介質之該第二液面係比該貯器中之該液體介質之該第一液面更高；一至少一氣體連通管線，係耦接該貯器至：(i)一第一流量控制閥並與一通風管線成流體連通，該通風管線與一周圍環境之氣體連通管線接合，及(ii)一第二流量控制閥並與一加壓氣體源成流體連通，該第二流量控制閥經運作配置以從該貯器加壓配送液體介質，並透過一連接該氣體連通管線之加壓管線與該加壓氣體源流體連通；其中該第一流量控制閥與該第二液面感測器運作耦接，以開啟該第一流量控制閥且調整該貯器填充至該液體介質液面之該第二液面，以及，為了隨後從該貯器配送液體介質，當已經到達液體介質之該第二液面時可關閉該第一流量控制閥；以及與該配送管線感應連通之一壓力開關或轉換器，該壓力開關或轉換器經運作設置以偵測該襯墊的一耗盡或接近耗盡狀況，且偵測到該襯墊的該耗盡或接近耗盡狀況之後，該壓力開關或轉換器實行該第一和第二流量控制 閥中之一者之操作，以用於在已經偵測到該耗盡或接近耗盡狀況之後從該貯器連續配送液體介質。
  43. 如申請專利範圍第42項之襯墊式包裝配送系統，進一步包含一控制器，該控制器經運作耦接至該壓力開關或轉換器，該控制器適合在該耗盡或接近耗盡之情況下隔離該襯墊以允許變換該襯墊。
  44. 如申請專利範圍第42項之襯墊式包裝配送系統，其中該配送管線容納調整液體介質從該襯墊至該貯器的流量之一止回閥。
  45. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有一第一內部容積之一容器；該第一內部容積內之一第一襯墊，該第一襯墊經設置以容納一第一容積，該第一容積上方罩有一第一頂上空間之液體介質；一通風路徑，適合從該第一頂上空間通風頂上空間氣體；具有一第二內部容積之一耗盡偵測貯器；在該第二內部容積內之一第二襯墊，該第二襯墊經設置以容納一第二容積，該第二容積上方罩有一第二頂上空間之該液體介質；一加壓氣體源；一第一導管，該第一導管耦接至該加壓氣體源且經設置以讓加壓氣體流入該容器內部而施加壓力於該容器中之該第一襯墊； 適合與該容器銜接之一配送裝配件，，當藉由該加壓氣體源在配送操作期間施加壓力於該第一襯墊上時，從該第一襯墊配送液體介質；一第二導管，該第二導管與該配送裝配件和該耗盡偵測貯器互連，並輸送所配送的液體介質至該耗盡偵測貯器；一第三導管，該第三導管耦接至一相同或相異的加壓氣體源，且經設置以讓加壓氣體流入該耗盡偵測貯器，以施加壓力於該耗盡偵測貯器中之該第二襯墊上；一第二通風導管，該第二通風導管與該耗盡偵測貯器之第二內部容積連通，且經設置以從該第二頂上空間通風頂上空間氣體；一第四導管，與該耗盡偵測貯器中的該第二襯墊耦接成配送連通，且經設置以從該耗盡偵測貯器中排放液體介質；在該第一導管中之一第一流量控制閥；在該第一通風導管中之一第二流量控制閥；在該第二導管中之一第三流量控制閥；在該第二通風導管中之一第四流量控制閥；在該第三導管中之一第五流量控制閥；在該第四導管中之一第六流量控制閥；一第一液面指示器，經設置以偵測在該第一通風導管中之液體介質的存在；一第二液面指示器，該第二液面指示器經設置以偵測在該第二通風導管中之液體介質的存在； 一第三液面指示器，該第三液面指示器經設置以偵測在該第二襯墊中之液體介質的存在；以及一控制器，該控制器經設置以引導配送操作，該配送操作包括下列步驟：開啟該第一和第二流量控制閥，以從該第一頂上空間通風氣體；將加壓氣體流入該容器，來施加壓力於該第一襯墊上，以執行液體介質的加壓配送；當該第一液面指示器感測到液體介質存在於該第一通風導管時，關閉該第二流量控制閥；開啟該第三和第四流量控制閥，以讓液體介質從該第一襯墊經由該配送裝配件及第二導管流至於該耗盡偵測貯器中之第二襯墊，以及經由該第二通風導管以通風第二頂上空間；當該第二液面指示器感測到液體介質存在於該第二通風導管時，關閉該第四流量控制閥；開啟該第五流量控制閥；將加壓氣體流入該耗盡偵測貯器，以施加一預定壓力於該第二襯墊上，該預定壓力係比施加於該第一襯墊上的壓力更低；開啟該第六流量控制閥，且從該第二襯墊配送液體介質至該第四導管，直到由於該第一襯墊中的一耗盡狀況導致該第二襯墊的壓力降低為止；當該第三液面指示器偵測到該第二襯墊中之一液體介 質液面指示為該耗盡狀況時，關閉該第三和第一流量控制閥；以及在該第一襯墊出現該耗盡狀況後，繼續從該第二襯墊配送液體介質。
  46. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有一內部容積之一容器；在該內部容積之一襯墊，該襯墊經設置以容納一液體介質；適合與該容器銜接之一配送裝配件，以在配送操作期間從該襯墊撤出液體介質；以及至少一感測器，該至少一感測器經設置以偵測一配送相關狀況，且產生指示該狀況之一交互關聯輸出；其中該至少一感測器感應到一配送相關狀況，該配送相關狀況係從以下所組成之群組中選擇：在配送期間之該襯墊之排量、在該襯墊外側與該容器中之空間容積、該襯墊中之液體介質重量及液體介質之均勻度。
  47. 如申請專利範圍第46項之襯墊式包裝配送系統，進一步包含：一加壓氣體源，該加壓氣體源經設置以讓加壓氣體流至該容器以施加外部壓力於該襯墊上。
  48. 如申請專利範圍第46項之襯墊式包裝配送系統，其中該至少一感測器包含一被動式RFID感測器。
  49. 如申請專利範圍第48項之襯墊式包裝配送系統，其中該被動式RFID感測器之特徵在於一操作協定，該操作協定係選自於由ISO 14443(A型、B型及C型)及EPC Gen-2 所組成之群組中。
  50. 如申請專利範圍第46項之襯墊式包裝配送系統，其中該配送裝配件包括一配送噴嘴，以及該襯墊係從該配送噴嘴懸吊。
  51. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：具有一內部容積之一容器；在該內部容積之一襯墊，該襯墊經設置以容納一液體介質；適合與該容器銜接之一配送裝配件，以在配送操作期間從該襯墊撤出液體介質，其中該配送裝配件包括一配送噴嘴，以及該襯墊係從該配送噴處嘴懸吊；以及至少一感測器，該至少一感測器經設置以偵測一配送相關狀況，且產生指示該狀況之一交互關聯輸出。
  52. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該感測器偵測配送噴嘴上的應變。
  53. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該感測器輸出包含具有該襯墊填充狀態的目測刻度之一填充度規。
  54. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該至少一感測器包含一應變度規。
  55. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該至少一感測器亦偵測溫度。
  56. 如申請專利範圍第55項之襯墊式包裝配送系統，其中該系統包括用於安裝該襯墊之一安裝凸緣；以及其中該 至少一感測器經設置以藉由偵測該安裝凸緣的變形而決定該襯墊中的液體介質重量。
  57. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該至少一感測器適合偵測該容器中於該襯墊上的一壓力脈衝，以及該感測器輸出包含該襯墊中之該液體介質容積。
  58. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該至少一感測器為整合於該系統中或於該系統之一組成元件或次裝配件中之一有線微量感測器、無線電池供電之微量感測器、或被動式感測器。
  59. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該感測器包含一流體分析單晶片感測器(sensor-on-a-chip)。
  60. 如申請專利範圍第59項之襯墊式包裝配送系統，其中該配送裝配件包含一配送噴嘴，以及該感測器與一有線電源-資料介面整合在該配送噴嘴中，以監測在該液體介質配送期間之該液體介質。
  61. 如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該感測器係選自於下列所組成之群組中之一類型：在一儲存、運送或裝配環境之裝配後，用於監測該液體介質及該液體介質之包裝之平衡的溫度感測器；監測該液體介質之儲存壽命用之電化學感測器；以及用於監測該液體介質之均勻度及混合/混合度之光散射感測器。
  62. 一種流體配送方法，該方法利用(i)具有一內部容 積之一容器；(ii)佈置在該內部容積中之一襯墊，並經設置以容納一液體介質；(iii)適合與該容器銜接之一配送裝配件，在配送操作期間從該襯墊撤出液體介質；以及(iv)一整合式流量計，該方法包含以下步驟：使用該整合式流量計監測從該襯墊撤出的該液體介質，以及一耗盡偵測狀況出現之後，產生與該耗盡偵測狀況相關聯之一輸出。
  63. 如申請專利範圍第62項之方法，其中該整合式流量計監測該液體介質配送速率，且當為該耗盡偵測情況時回應於該液體介質流速的一實質降低而產生該輸出。
  64. 如申請專利範圍第62項之方法，其中該整合式流量計包含一電子輸出整合式流量計。
  65. 如申請專利範圍第62項之方法，進一步利用一RF響應控制器，與在該襯墊及該容器中之至少一者之一RFID標籤，其中該RFID標籤包括一RF天線，該RF天線經設置以從該RFID標籤通訊資訊至該控制器，且該電子輸出整合式流量計經設置以供給該輸出至該RFID標籤，該方法進一步包含以下步驟：將指示該耗盡偵測狀況的該輸出通訊傳輸至該RFID標籤；指示該耗盡偵測狀況之相對應資訊係經由該RF天線傳送至該RF響應控制器；以及出現該偵測耗盡狀況之後結束該配送操作。
  66. 如申請專利範圍第65項之方法，其中該RF響應控制器適用於為了連續配送操作而執行從該容器和襯墊至，一第二容器和第二襯墊之一更換。
  67. 如申請專利範圍第62項之方法，進一步包含以下步驟：回應於該輸出而結束該配送操作。
  68. 如申請專利範圍第62項之方法，進一步包含以下步驟：一控制器適用於為了連續配送操作而執行從該容器和襯墊至一第二容器和第二襯墊之一更換。
  69. 一種液體介質配送方法，該方法利用一襯墊式包裝配送系統，該襯墊式包裝配送系統包括(i)具有一內部容積之一容器；(ii)於該內部容積內之至少一襯墊；(iii)適合與該容器銜接之一配送裝配件，在配送操作期間從該襯墊中撤出液體介質；(iv)流量迴路，與該配送裝配件耦接且經設置用以在該配送操作期間讓液體介質流經該流量迴路；(v)經設置用以配送的一次要容積之液體介質，使得一主要容積的液體介質在實質地完全配送之前，不會發生該次要容積的配送，其中該主要容積包括該至少一襯墊中的該液體介質的一第一部分，並且該次要容積包括與該主要容積構成之液體介質不同之該至少一襯墊中之該液體介質之一第二部分；以及(vi)一耗盡偵測器，經設置以監測該配送操作，且當該次要容積的配送啟動時，產生一耗盡偵測輸出，而該容器在一零或近零頂上空間構型中容納一液體介質，該方法包含以下步驟：從該容器內的該襯墊配送液體介質之該主要容積，使液 體介質之此種主要容積流經該流量迴路系統；偵測何時液體介質之該主要容積已經完全配送；以及此時啟動液體介質之該次要容積的配送；其中該配送系統之技術特徵在於下列(a)至(d)之一者：(a)該次要容積係藉由該襯墊中之一受限制的次容積所構成，該襯墊之該受限制的次容積係藉由一可撓性構件所劃界，該可撓性構件固定於該襯墊，且係由以較該襯墊之組成材料更硬的材料所形成；(b)該次要容積係藉由該襯墊中之一受限制的次容積構成，該襯墊中之該受限制的次容積係藉由一可撓性構件所劃界，並在液體介質的該主要容積已經配送後，該可撓性構件撓曲以從該受限制的次容積中釋放出液體介質；(c)該方法進一步包含以下步驟：操作一電動幫浦，該電動幫浦用於在液體介質的配送期間泵送液體介質，並監測由該幫浦所抽取的電流強度，當液體介質開始從該次要容積配送之後而該電流強度改變時，則產生該耗盡偵測輸出；以及(d)該方法進一步包含以下步驟：操作一傳動串列以產生用於液體介質之該主要與次要容積的加壓配送之壓力，並偵測在傳動串列壓力中的一 變化，該變化為在從來自該主要容積之液體介質配送轉換成為自該次要容積之液體介質配送的期間，維持一預定壓力所需。
  70. 如申請專利範圍第69項之方法，其中液體介質之該次要容積係容納於聚合物薄膜製成之該襯墊內。
  71. 如申請專利範圍第69項之方法，其中偵測何時液體介質之該主要容積已經完全配送之該步驟，包含執行一偵測操作，該偵測操作包括選自於由下列步驟所組成之群組之一步驟：偵測流經該流量迴路之液體介質之主要容積之該流的壓力衰減；偵測伴隨配送液體介質之該次要容積的一增加負載而來之一負載變化，該負載變化係與配送液體介質之該主要容積的負載有關；當藉由在該流量迴路系統之該分支部分中，或與該流量迴路系統的該分支部分連通的液體介質之一分支容積組成該次要容積時，測量流量；以及，在配送操作期間，測量液體介質之該次要容積的排量。
  72. 如申請專利範圍第69項之方法，其中該次要容積係藉由該襯墊中之一受限制的次容積構成，該襯墊之該受限制的次容積係藉由一可撓性構件所劃界，該可撓性構件固定於該襯墊，且係由較該襯墊之組成材料更硬的材料所形成。
  73. 如申請專利範圍第72項之方法，其中該可撓性構件係熔接至該襯墊。
  74. 如申請專利範圍第72項之方法，其中該可撓性構件包含一V字形薄片元件，該V字形薄片元件熔接至該襯墊之一邊緣，該V字形薄片元件的每一邊係熔接至該襯墊的每一邊。
  75. 如申請專利範圍第72項之方法，其中該可撓性構件包含一平坦或略微彎曲之矩形構件，該平坦或略微彎曲之矩形構件熔接至該襯墊之一平坦區段。
  76. 如申請專利範圍第72項之方法，其中該可撓性構件包含一碟形構件，該碟形構件熔接至該襯墊之一平坦部分。
  77. 如申請專利範圍第76項之方法，其中該襯墊之該平坦部包含接近該襯墊中央之一部分。
  78. 如申請專利範圍第69項之方法，其中該次要容積係由藉由該襯墊中之一受限制的次容積構成，該襯墊中之該受限制的次容積係藉由一可撓性構件所劃界，並在液體介質的該主要容積已經配送後，該可撓性構件撓曲以從該受限制的次容積中釋放出液體介質。
  79. 如申請專利範圍第69項之方法，其中該耗盡偵測器經設置以偵測該配送之液體介質中的壓降，且響應地產生該耗盡偵測輸出。
  80. 如申請專利範圍第79項之方法，其中該耗盡偵測器包含一壓力轉換器。
  81. 如申請專利範圍第69項之方法，進一步包含以下步驟：操作一電動幫浦，該電動幫浦用於在液體介質的配送 期間泵送液體介質並監測由該幫浦所抽取的電流強度，當液體介質開始從該次要容積配送之後之該電流強度改變時，產生該耗盡偵測輸出。
  82. 如申請專利範圍第69項之方法，進一步包含以下步驟：操作一傳動串列以產生用於液體介質之該主要與次要容積的加壓配送之壓力，並偵測在傳動串列壓力中的一變化，該變化為在從來自該主要容積之液體介質配送轉換成為自該次要容積之液體介質配送的期間，維持一預定壓力所需。
  83. 一種液體介質配送方法，該方法利用一襯墊式包裝配送系統，該襯墊式包裝配送系統包括：(i)具有一內部容積之一容器；(ii)在該內部容積內的一襯墊，經設置以容納一液體介質，該液體介質上方罩有一頂上空間；(iii)一貯器，係與該襯墊中之該頂上空間和液體介質以氣壓式耦接成流體連通，且該貯器經設置以容納上方罩有氣體之液體介質以在該貯器中定義出一液體高度，其中該貯器具有一直立細長形式，且在該貯器長度之一中間部分處具有用於藉由該液面偵測器感應液面之一減少之直徑部；以及(iv)一耗盡偵測器，經設置以監測該貯器中的液體高度，且當該貯器中的液體高度由於該襯墊的一耗盡或接近耗盡狀況而改變時，產生一耗盡偵測輸出，而該容器容納上方罩有一頂上空間之一液體介質，該方法包含以下步驟：從該容器中的該襯墊配送液體介質，且讓此液體介質流 至該貯器；監視該貯器中在該減少之直徑部處的液體高度；以及當該貯器內的液體高度因該襯墊的一耗盡狀況而改變時，產生一耗盡偵測輸出。
  84. 如申請專利範圍第83項之方法，其中該貯器包括適合容納該氣體之一上部，以及適合容納上方罩有氣體之該液體介質之一下部，並具有一通風管線耦接至該上部，以及有一液體排放管線連接至該下部。
  85. 如申請專利範圍第84項之方法，其中該通風管線及液體排放管線係以流量控制閥進行閥控。
  86. 如申請專利範圍第85項之方法，包含以下步驟：當配送壓力施加於該襯墊時，關閉該流量控制閥，藉此造成來自於該襯墊的頂上空間氣體被迫流至該貯器之該上部以覆蓋於該貯器中的液體介質上方，因此當液體介質已經從該襯墊完全配送時，為了在該襯墊的液體介質用盡之後仍然可連續地配送液體介質，在該貯器之該上部的該氣體被加壓以執行從該貯器加壓配送液體介質。
  87. 如申請專利範圍第86項之方法，其中該貯器經設置以用於液體介質之該連續配送一段足夠的時間，以將容納一第二襯墊之一第二容器切換成配送操作。
  88. 如申請專利範圍第83項之方法，包含以下步驟：致動一警報作為一耗盡偵測輸出。
  89. 如申請專利範圍第83項之方法，包含以下步驟：使用一液面感測器元件，該液面感測器元件選自於以下所組 成之群組中：紅外光液面感測器與電容感測器。
  90. 如申請專利範圍第87項之方法，進一步包含以下步驟：在足夠將容納一第二襯墊之一第二容器切換成配送操作之該時間內，切換為一新的襯墊式包裝。
  91. 如申請專利範圍第83項之方法，其中該貯器的該中間部分包括一流量限制，該流量限制位在該貯器的該中間部分中。
  92. 如申請專利範圍第83項之方法，其中該貯器的該中間部分包含盤捲的管路。
  93. 一種液體介質配送方法，該方法利用如申請專利範圍第35項之襯墊式包裝配送系統，以容納上方罩有一頂上空間之一液體介質，該方法包含以下步驟：從該襯墊以液體介質填充該貯器，來建立定量儲備液體介質在該貯器內；以及在液體介質已經從該襯墊中完全配送後，從該貯器配送液體介質。
  94. 一種液體介質供應的製造系統，包含：一製造工具，該製造工具適於利用一液體介質；以及一液體介質源，該液體介質源與該製造工具接合成流連通，以配送該液體介質至該製造工具；其中該液體介質源包含選自於下列所組成之群組之來源：(A)如申請專利範圍第1項之流體儲存及配送系統，其中該襯墊容納該液體介質； (B)如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(C)如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(D)如申請專利範圍第35項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(E)如申請專利範圍第42項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(F)如申請專利範圍第45項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(G)如申請專利範圍第46項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；以及(H)如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質。
  95. 如申請專利範圍第94項之液體介質供應的製造系統，其中該製造工具包含一微電子裝置製造工具。
  96. 如申請專利範圍第95項之液體介質供應的製造系統，其中該微電子裝置之製造工具包含選自於下列所組成之群組之工具：沉積工具，及離子植入工具。
  97. 如申請專利範圍第94項之液體介質供應的製造系統，其中該液體介質包含一微電子裝置製造試劑。
  98. 如申請專利範圍第97項之液體介質供應的製造系統，其中該微電子裝置製造試劑包含選自於下列所組成之群組中之試劑：光阻劑、蝕刻劑、化學氣相沉積試劑、溶 劑、晶圓與工具清潔配方、及化學機械拋光組成物。
  99. 一種涉及利用一液體介質之一處理程序來製造一產品之方法，該方法包含將該液體介質從襯墊式來源供應至該處理程序，其中該襯墊式來源係選自於下列所組成之群組：(A)如申請專利範圍第1項之流體儲存及配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(B)如申請專利範圍第8項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(C)如申請專利範圍第24項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(D)如申請專利範圍第35項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(E)如申請專利範圍第42項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(F)如申請專利範圍第45項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(G)如申請專利範圍第46項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質；(H)如申請專利範圍第51項之襯墊式包裝配送系統，其中該襯墊容納該液體介質。
  100. 如申請專利範圍第99項之方法，其中該液體介質包含一微電子裝置製造試劑。
  101. 如申請專利範圍第100項之方法，其中，該微電子 裝置製造試劑包含選自於下列所組成之群組中之試劑：光阻劑、蝕刻劑、化學氣相沉積試劑、溶劑、晶圓與工具清潔配方、及化學機械拋光組成物。
  102. 一種材料配送系統，包括：容納一襯墊之一材料儲存及配送包裝，該襯墊適合保持一材料以供該材料儲存及配送包裝之加壓配送，其中該包裝係藉由一配送管線而耦接至一配送之利用材料之工具，以及該配送管線係耦接至一配送器，該配送器係設置用來按照一週期性補充之時間表而接收來自於該包裝而流至該工具的抗蝕劑；以及一監視器，該監視器適於偵測補充該配送器所需時間以指示趨近於該包裝的一耗盡狀態，且該監視器響應地提供趨近於該包裝的該耗盡狀態的一輸出。
  103. 如申請專利範圍第102項之系統，其中該配送器包含一幫浦。
  104. 如申請專利範圍第103項之系統，其中該配送器之該補充係為高度校正。
  105. 如申請專利範圍第102項之系統，進一步包含：佈置於該配送管線內之一貯器氣體分隔器和通風裝配件，該配送管線位在該包裝與該配送器之間。
  106. 如申請專利範圍第105項之系統，進一步包含：佈置於該配送管線內之一過濾器，該配送管線位在該貯器氣體分隔器和通風裝配件與該配送器之間。
  107. 如申請專利範圍第106項之系統，進一步包含一AV/SV閥裝配件，該AV/SV閥裝配件位在該配送器下游之 該配送管線內。
  108. 如申請專利範圍第102項之系統，其中該襯墊容納一微電子裝置製造試劑。
  109. 如申請專利範圍第102項之系統，其中該襯墊容納一光阻劑。
  110. 如申請專利範圍第102項之系統，其中該監視器係操作式地耦接至一控制器以隔離該包裝，以允許於該包裝趨近於一耗盡狀態時變換該包裝。
  111. 如申請專利範圍第102項之系統，適合回應於該輸出而響應地結束該配送操作。
  112. 一種供應材料之方法，包含以下步驟：該材料之輸送係藉由加壓配送該材料之方式，從在一材料儲存及配送包裝中的一襯墊處輸送材料至一利用材料之工具處，該輸送步驟包括從該包裝泵送材料至該工具；以及監測該幫浦上游所配送之材料之壓力，以決定該幫浦上游所配送之材料之壓力漸進快速下降的發生，以作為該包裝中材料耗盡的起點的指示，該方法進一步包含以下步驟：隔離步驟，係在該發生產生之後將該包裝與該材料的輸送隔離，以及變換步驟，係變換被隔離的該包裝，來導入一新的材料儲存及該輸送之配送包裝。
  113. 如申請專利範圍第112項之方法，其中該襯墊容納一半導體製造試劑。
  114. 如申請專利範圍第112項之方法，其中該襯墊容納一光阻劑。
  115. 一種供應材料之方法，包含以下步驟：該材料之輸送係藉由加壓配送該材料之方式，從在一材料儲存及配送包裝中的一襯墊處輸送材料至一利用材料工具處，該輸送步驟包括以下步驟：材料從該包裝流至一配送器，而該配送器係設置用來按照一週期性補充之時間表而接收來自於該包裝而流至該工具之抗蝕劑；監測該配送器的補充時間；以及偵測到補充該配送器所需時間漸進快速增加之後，響應地產生一輸出作為該包裝中之材料用盡的起點的指示，其中該襯墊容納一半導體製造試劑。
  116. 如申請專利範圍第115項之方法，其中該半導體製造試劑容納一光阻劑。
  117. 如申請專利範圍第115項之方法，進一步包含以下步驟：隔離步驟，係在該偵測產生之後，將該包裝與該材料的輸送隔離；以及變換步驟，係變換被隔離的該包裝，來導入該輸送之一新的材料儲存及配送包裝。
  118. 一種壓力配送系統，包含：一容器，該容器圍成一內部容積；一襯墊，該襯墊佈置於該內部容積中且適合保持材料在該襯墊中以用於加壓配送；以及一加壓裝配件，該加壓裝配件適於施加外部流體壓力於 該襯墊以用於該加壓配送裝配件；其中該加壓配送系統包括該材料之一次要容積，該次要容積構成該襯墊的一次容積，並具有與從不包括該次容積之該襯墊的一主容積加壓配送材料所需的壓力不同的壓力需求；以及其中該加壓裝配件包括一流體加壓傳動串列，適合在從該主容積配送材料之期間，及從該次要容積配送材料之期間，輸送加壓流體進入該內部容積來施加壓力於該襯墊，因此於從該主容積和該次要容積之該配送的整個過程中，能將所配送的材料維持於一相同壓力。
  119. 如申請專利範圍第118項之系統，其中該流體加壓傳動串列包含一流量迴路，該流量迴路包括一空氣壓縮器或流體幫浦，該空氣壓縮器或流體幫浦適合於從主容積和該次要容積之該配送的整個過程中維持該相同之壓力。
  120. 如申請專利範圍第118項之系統，其中該襯墊容納用於製造一微電子產品之一材料。
  121. 如申請專利範圍第118項之系統，進一步包含：當從該襯墊之該內部容積之該液體介質用盡時，偵測在一傳動串列壓力與配送管線壓力之間發生的一差異。
  122. 一種微電子產品製造設備，包含：如申請專利範圍第118項之加壓配送系統，以及一微電子產品製造工具，該微電子產品製造工具耦接至該加壓配送系統來接收從該加壓配送系統中該配送的材料。
  123. 一種供應一材料之方法，包含以下步驟：提供申請 如專利範圍第118項之加壓配送系統；致動該加壓裝配件以用於配送；從該襯墊的該主容積配送材料；以及，隨後從該襯墊的該次要容積配送材料；其中於從該襯墊的該主容積配送及從該襯墊的該次要容積配送期間，材料係以一相同壓力配送。
  124. 如申請專利範圍第123項之方法，其中該所配送之材料包含用於製造一微電子產品之一材料。
  125. 一種製造微電子產品之方法，包含以下步驟：經由如申請專利範圍第123項之方法供應該材料，以及，在一微電子產品之製造程序中利用來自於該配送之材料。
  126. 一種流體供應系統，包含：一襯墊式流體儲存及配送包裝，該襯墊式流體儲存及配送包裝包括適合容納一液體介質之一襯墊；一加壓元件，該加壓元件適於在該襯墊上外部施加壓力以用於來自該襯墊之該液體介質之調解壓力配送；一耗盡偵測感測器，該耗盡偵測感測器經設置以在該調解壓力配送期間監測從該襯墊配送之該液體介質，並產生一輸出信號指示該包裝中之材料用盡的起點，其中該耗盡偵測感測器包含以下至少之一者：(a)一壓力開關或轉換器，該壓力開關或轉換器適於監測從該襯墊配送之液體介質之壓力，以偵測壓力衰退(droop)或衰減；以及(b)一整合式流量計，該整合式流量計經設置以監測從該襯墊所配送之液體介質之流速。
  127. 如申請專利範圍第126項之流體供應系統，其中該耗盡偵測感測器包含一壓力開關或轉換器，該壓力開關或轉換器適於監測從該襯墊所配送之液體介質之壓力，以偵測壓力衰退或衰減。
  128. 如申請專利範圍第126項之流體供應系統，其中該耗盡偵測感測器包含一整合式流量計，該整合式流量計經設置以監測從該襯墊所配送之液體介質之流速。
  129. 如申請專利範圍第126項至第128項之任意一項之流體供應系統，其中該加壓元件包含一加壓氣體源。
  130. 如申請專利範圍第126項至第128項之任意一項之流體供應系統，其中該加壓元件包含一流體加壓傳動串列，該流體加壓傳動串列適於輸送加壓流體進入一內部容積來施加壓力於該襯墊。
  131. 如申請專利範圍第126項至第128項之任意一項之流體供應系統，其中該耗盡偵測感測器係運作耦接至一控制器以隔離該流體儲存及配送包裝，以允許在偵測到一狀態指示來自該襯墊之該液體介質用盡之起點時，變換該流體儲存及配送包裝。
  132. 如申請專利範圍第131項之流體供應系統，進一步包含一第二流體儲存及配送包裝，該第二流體儲存及配送包裝包括適合容納一液體介質之一襯墊，其中該第二流體儲存級及配送包裝經設置以連續配送。
  133. 如申請專利範圍第126項至第128項之任意一項之流體供應系統，其中該襯墊容納使用在微電子裝置製造上 之一含液體組成物，該含液體組成物係選自於下列所組成之群組：光阻劑、蝕刻劑、化學氣相沉積試劑、溶劑、晶圓與工具清潔配方、及化學機械拋光組成物。
  134. 如申請專利範圍第126項至第128項之任意一項之流體供應系統，其中該流體儲存及配送包裝包含一RFID標籤，經設置以與下列之至少一者連通：(a)該耗盡偵測感測器與(b)一程序控制器。
  135. 一種流體儲存及配送系統，包含：一第一流體儲存及配送包裝，該第一流體儲存及配送包裝包括保持一液體介質之一第一襯墊；一第二流體儲存及配送包裝，該第二流體儲存及配送包裝包括保持一液體介質之一第二襯墊；一耗盡偵測感測器，該耗盡偵測感測器經設置以感應相關於來自該第一流體儲存及配送包裝之液體介質之配送之一狀況，並產生一輸出信號以指示來自該第一流體儲存及配送包裝之液體介質之耗盡之起點；其中該系統係適於回應於該輸出信號，來執行從該第一流體儲存及配送包裝到該第二流體儲存及配送包裝之一更換，以提供連續配送操作。
  136. 如申請專利範圍第135項之流體儲存及配送系統，其中該耗盡偵測感測器包含下列之至少一者：(a)一壓力開關或轉換器，該壓力開關或轉換器適於監測從該襯墊配送之液體介質之壓力，以偵測壓力衰退或衰減；以及 (b)一整合式流量計，該整合式流量計經設置以監測從該襯墊配送之液體介質之流速。
  137. 一種材料配送系統，包括容納一襯墊之一材料儲存及配送包裝，該材料儲存及配送包裝適於保持一材料以供該材料儲存及配送包裝之加壓配送，其中該包裝係藉由一配送管線而耦接至一配送之利用材料之工具，以及該配送管線係耦接至一配送器，該配送器係設置用來按照一週期性補充之時間表而接收來自於該包裝而流至該工具的一程序液體；以及一監視器，該監視器適於偵測補充該配送器所需時間以指示趨近於該包裝的一耗盡狀態，且該監視器響應地提供趨近於該包裝的該耗盡狀態的一輸出。
  138. 如申請專利範圍第137項之材料配送系統，其中該程序液體包含一微電子裝置製造試劑。
  139. 如申請專利範圍第138項之材料配送系統，適於回應於該輸出而結束程序液體之配送。
  140. 一種流體儲存及配送系統，包含：一容器，該容器具有一內部容積；該內部容積內之一襯墊，該襯墊經設置以容納一液體介質；適合與該容器銜接之一配送裝配件，在配送操作期間從該襯墊中撤出液體介質；以及至少一壓力感測器，該至少一壓力感測器經設置以監測在配送操作期間指示從該襯墊撤出之該液體介質之至少一狀況，且出現一耗盡偵測狀況之後，產生與該耗盡偵測 狀況有交互關聯之一輸出；一配送管線，該配送管線運作耦接至該配送裝配件，以在一配送管線壓力下配送該液體介質；以及一傳動串列，該傳動串列適於產生施加至該襯墊之傳動串列壓力，以用於來自該襯墊之該液體介質之加壓配送；其中該至少一壓力感測器係經設置以回應於在該傳動串列壓力與該配送管線壓力之間之一差異而產生指示一耗盡偵測狀況之一輸出，且該傳動串列係適合回應於該輸出增加該傳動串列壓力以便維持一所欲的配送管線壓力。
  141. 如申請專利範圍第140項之流體儲存及配送系統，其中該至少一壓力感測器包含複數個壓力感測器。
  142. 一種襯墊式包裝配送系統，包含：一容器，該容器具有一內部容積；該內部容積中之一襯墊，該襯墊經設置以容納一液體介質主體，該液體介質主體上方罩有一頂上空間；一貯器，該貯器經設置以當該液體介質出現在該貯器中時，容納該液體介質而於該貯器中或該貯器之上定義液體介質液面；一配送管線，該配送管線耦接至該襯墊並與該貯器成流體連通；一液體介質流管線，該液體介質流管線與該貯器耦接以從該貯器中排放液體介質；至少一感測器，該至少一感測器經設置以偵測該貯器中或該貯器之上之該液體介質之至少一液面； 至少一氣體連通管線，係耦接該貯器至：(i)一第一流量控制閥並與一通風孔成流體連通，及(ii)一第一流量控制閥並與一加壓氣體源成流體連通，其中該第一流量控制閥與該第二液面感測器運作耦接以從該至少一感測器接收一信號，並響應地調解來自該貯器之液體介質之配送；以及與該配送管線感應連通之一壓力開關或轉換器，經運作設置以(a)偵測該襯墊的一耗盡或接近耗盡狀況，且(b)偵測到該襯墊的該耗盡或接近耗盡狀況之後，實行該第一和第二流量控制閥中之一者之操作，以用於在已經偵測到該耗盡或接近耗盡狀況之後從該貯器連續配送液體介質。
  143. 一種從一襯墊式流體儲存及配送包裝供應一液體介質至一使用位置之方法，該襯墊式流體儲存及配送包裝包括保持該液體介質之一襯墊，該方法包含以下步驟：在該襯墊上施加外部壓力以從該襯墊配送該流體；以及在該調解壓力配送期間利用一耗盡偵測感測器監測從該襯墊配送之該液體介質，並產生一輸出信號指示該包裝中之材料用盡的起點，其中該耗盡偵測感測器包含以下至少之一者：(a)一壓力開關或轉換器，適合監測從該襯墊配送之液體介質之壓力，以偵測壓力衰退或衰減；以及(b)一整合式流量計，經設置以監測從該襯墊配送之液體介質之流速。
  144. 如申請專利範圍第143項之方法，包含以下步驟： 使用一壓力開關或轉換器來監測從該襯墊配送之液體介質之壓力，以偵測壓力衰退或衰減。
  145. 如申請專利範圍第143項之方法，包含以下步驟：一整合式流量計之使用，該整合式流量計經設置以監測從該襯墊配送之液體介質之流速。
  146. 如申請專利範圍第143項之方法，進一步包含以下步驟：切換另一襯墊式流體儲存及配送包裝，以執行連續配送液體介質至該使用位置。
  147. 一種用於流體配送之方法，該方法利用(i)具有一內部容積之一容器；(ii)該內部容積中之一襯墊，經設置以容納一液體介質主體，該液體介質主體上方罩有一頂上空間；(iii)一貯器，該貯器經設置以容納該液體介質而於該貯器內定義一液體介質液面；(iv)一配送管線，該配送管線耦接該襯墊並與該貯器成流體連通；(v)一液體介質流管線，該液體介質流管線與該貯器耦接以從該貯器中排放液體介質；(vi)一第一液面感測器，該第一液面感測器經設置以偵測該貯器中之該液體介質之一第一液面；(vii)一第二液面感測器，第二液面感測器經設置以偵測該貯器中之該液體介質之一第二液面，其中該貯器中之該液體介質之該第二液面係比該貯器中之該液體介質之該第一液面更高；(viii)一氣體連通管線，係耦接該貯器至：(a)一與一通風管線成流體連通之第一流量控制閥，該通風管線與該貯器之一周圍環境之氣體連通管線接合，以及(b)一與一加壓氣體源成流體連通之第二流量 控制閥，該第二流量控制閥經運作配置以從該貯器加壓配送液體介質，並藉由一加壓管線與該加壓氣體源接合成流體連通之該氣體連通管線；其中該第一流量控制閥與該第二液面感測器係運作耦接，可開啟該第一流量控制閥且調整該貯器填充至該液體介質之該第二液面，以及，為了隨後從該貯器配送液體介質，當已經到達該液體介質之該第二液面時可關閉該第一流量控制閥；以及(ix)與該配送管線感應連通之一壓力開關或轉換器，該方法包含以下步驟：開啟該第一流量控制閥以迫使該頂上空間氣體從該襯墊通過該配送管線，並透過該通風孔通風該頂上空間氣體；從該襯墊通過該配送管線配送液體介質進入該貯器以到達該第二液面；通過該液體介質流管線在壓力下從該貯器排放該液體介質；利用該壓力開關或轉換器偵測該襯墊之一耗盡或接近耗盡狀況，偵測到該襯墊的該耗盡或接近耗盡狀況之後，響應地操作該第一和第二流量控制閥中之一者，以從該貯器連續配送液體介質。
  148. 如申請專利範圍第147項之方法，進一步包含以下步驟：偵測到該襯墊的該耗盡或接近耗盡狀況之後，在從該貯器連續配送液體介質期間，切換一新的襯墊。
  149. 如申請專利範圍第147項之方法，其中從該襯墊配 送的該液體介質包含藉由施加至該襯墊的傳動串列壓力來加壓配送。
  150. 一種用於流體配送之方法，該方法利用(i)具有一內部容積之一容器；(ii)該內部容積中之一襯墊，該襯墊具有一主要容積，該主要容積經設置以容納一液體介質之一第一部分，且該襯墊具有一次要容積，該次要容積經設置以容納該液體介質之一第二部分，該液體介質之該第二部分與該第一部分不同；(iii)適合與該容器銜接之一配送裝配件，在配送操作期間從該襯墊撤出液體介質；(iv)流量迴路，與該配送裝配件耦接且經設置用以在該配送操作期間讓液體介質流經該流量迴路；以及(v)一耗盡偵測器，經設置以監測該配送操作；該方法包含以下步驟：從該襯墊通過該配送裝配件配送該第一部分；隨著在該第一部分之配送之後，開始從該襯墊通過該配送裝配件配送該第二部分；以及當該第二部分之配送開始時，利用該耗盡偵測器產生一耗盡偵測輸出。
  151. 一種使用一程序工具製造一產品之方法，該程序工具利用一液體介質，該方法包含以下步驟：根據如申請專利範圍第143項至150項之任意一項之用於流體配送之方法配送一液體介質。
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