KR101339636B1 - 반도체 제조장비의 약액 검증시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조장비의 약액 검증시스템에 관한 것으로, 약액통과; 상기 약액통의 상부 개구부를 개폐하도록 설치된 두껑과; 상기 두껑을 관통하여 이격 설치된 제 1 및 제 2 튜브와; 상기 약액통의 측면에 제공된 제 1 태그와; 상기 약액통의 내부에 위치되는 제 2 튜브의 하단에 설치된 제 2 태그와; 상기 제 1 태그 및 제 2 태그를 동시에 감지하도록 상기 약액통을 감싸도록 제공된 안테나를 포함하여 구성됨으로써, 태그 감지능이 우수하며, 안테나 설치에 대한 장소 구애를 받지 않는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조장비의 약액 검증시스템에 관한 것이다.
반도체 공정은 매우 복잡한 화학 공정을 진행하며, 이러한 공정 중 PR(Photo Resist) 도포 공정은 약액통에 질소가 고압으로 퍼지되면 PR액이 분출되어 공정이 수행된다.
여기서, 약액통과 두껑에는 각기 식별을 위한 바코드가 부착되어 있으며 이러한 바코드들은 바코드 식별기를 통해 식별된다. 그러나, 이러한 식별 과정에서 에러가 발생될 가능성이 항상 상존하고 있는 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하고자 창출된 본 발명의 목적은, 감지능이 우수하고 설치 동선에 구애받지 않는 반도체 제조장비의 약액 검증시스템을 제공함에 있다.
이러한 본 발명의 목적은, 약액통과; 상기 약액통의 상부 개구부를 개폐하도록 설치된 두껑과; 상기 두껑을 관통하여 이격 설치된 제 1 및 제 2 튜브와; 상기 약액통의 측면에 제공된 제 1 태그와; 상기 약액통의 내부에 위치되는 제 2 튜브의 하단에 설치된 제 2 태그와; 상기 제 1 태그 및 상기 제 2 태그를 동시에 감지하기 위하여 상기 약액통을 감싸도록 제공된 안테나를 포함하여 구성된 반도체 제조장비의 약액 검증시스템에 의해 달성될 수 있다.
본 발명의 다른 목적은, 약액통과; 상기 약액통의 상부 개구부를 개폐하도록 설치된 두껑과; 상기 두껑을 관통하여 이격 설치된 제 1 및 제 2 튜브와; 상기 약액통의 측면에 제공된 제 1 태그와; 상기 약액통의 내부에 위치되는 제 2 튜브의 하단에 설치된 제 2 태그와; 상기 제 1 태그를 감지하기 위하여 인접 설치된 제 1 안테나와; 상기 제 2 태그를 감지하기 위하여 상기 약액통 하부에 인접 설치된 제 2 안테나를 포함하여 구성된 반도체 제조장비의 약액 검증시스템에 의해 달성될 수 있다.
바람직하게는, 본 발명의 상기 제 2 안테나는 적어도 2 이상으로 분할된 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 본 발명의 구성은 태그 감지능이 우수하며, 안테나 설치에 대한 장소 구애를 받지 않는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 제조장비의 약액 검증시스템을 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체 제조장비의 약액 검증시스템을 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 2의 하부 안테나를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 반도체 제조장비의 약액 검증시스템을 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 2의 하부 안테나를 나타내는 평면도이다.
이하, 본 발명의 구성을 실시예를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 반도체 제조장비의 약액 검증시스템(10)은 약액통(1)과, 약액통(1)의 상부 개구부를 개폐하도록 설치된 두껑(2)과, 두껑(2)을 관통하여 이격 설치된 제 1 및 제 2 튜브(3)(4)와, 약액통(1)의 측면에 제공된 제 1 태그(6)와, 약액통(1)의 내부에 위치되는 제 2 튜브(4)의 하단에 설치된 제 2 태그(5)와, 제 1 태그(6) 및 제 2 태그(5)를 동시에 감지하기 위하여 약액통(1)을 감싸도록 제공된 안테나(8)로 구성되어 있다.
약액통(1)은 상부가 개방된 구조를 갖으며, 내화학성이 우수한 재질로 제작되어 있으며, 내부에는 PR이 충전되어 있다. 여기서, 약액통(1)에 충전된 약액은 포토 레지스트(Photo Resist)에 한정되지 않음을 미리 밝혀둔다.
두껑(2)은 약액통(1)의 상부 개구부를 밀폐 또는 개방할 수 있는 구조를 갖으며, 제 1 및 제 2 튜브(3)(4)가 각기 이격되어 설치될 수 있도록 이에 대응된 관통공(번호 없음)이 형성되어 있다. 여기서, 두껑(2)에 형성된 관통공은 제 1 및 제 2 튜브(3)(4)가 설치시 가스 또는 액상의 PR이 분출되지 않도록 기밀 유지용 고무 재질의 패드(도시 안됨)가 제공되어 있다.
제 1 튜브(3)는 N2 가스를 유입시키기 위해 제공된 내화학성 재질의 관체로써, 두껑(2)을 관통한 하단부는 약액통(1)의 내부에 충전된 약액과 일정 거리 이격되도록 설치되어야 한다.
제 2 튜브(4)는 비스틈하게 두껑(2)에 설치되며, 그 하단부는 약액통(1)의 바닥면에 인접되도록 위치된다. 그리고, 약액통(1)에 충전된 PR은 제 1 튜브(3)로부터 유입된 N2 가스의 압력에 의해 제 2 튜브(4)를 통해 분출된다.
제 1 태그(6)는 약액통(1)의 측면에 취부되어 있으며, 제 2 테그(5)는 약액통(1)의 내부에 위치된 제 2 튜브(4)의 하단부에 설치되어 있으며, 태그(6)(5)에는 각기 약액에 대한 정보를 포함하고 있다.
안테나(8)는 제 1 및 제 2 태그(6)(5)를 동시에 감지하도록 약액통(1)을 감싸도록 제공되어 있다. 그리고, 미설명부호 Rb는 약액통과 튜브 감지 리더이다.
여기서, 태그들(6)(5)은 일반적인 RF 테그이다.
또한, 미설명부호 "B"는 바스켓이다.
도 2를 참조하면, 도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 반도체 제조장비의 약액 검증시스템(10)은 약액통(1)과, 약액통(1)의 상부 개구부를 개폐하도록 설치된 두껑(2)과, 두껑(2)을 관통하여 이격 설치된 제 1 및 제 2 튜브(3)(4)와, 약액통(1)의 측면에 제공된 제 1 태그(6)와, 약액통(1)의 내부에 위치되는 제 2 튜브(4)의 하단에 설치된 제 2 태그(5)와, 제 1 태그(6)를 감지하기 위하여 인접 설치된 제 1 안테나(8)와, 제 2 태그(5)를 감지하기 위하여 약액통(1)의 하부에 인접 설치된 제 2 안테나(9)로 구성되어 있다.
약액통(1)은 상부가 개방된 구조를 갖으며, 내화학성이 우수한 재질로 제작되어 있으며, 내부에는 PR이 충전되어 있다. 여기서, 약액통(1)에 충전된 약액은 포토 레지스트(Photo Resist)에 한정되지 않음을 미리 밝혀둔다.
두껑(2)은 약액통(1)의 상부 개구부를 밀폐 또는 개방할 수 있는 구조를 갖으며, 제 1 및 제 2 튜브(3)(4)가 각기 이격되어 설치될 수 있도록 이에 대응된 관통공(번호 없음)이 형성되어 있다. 여기서, 두껑(2)에 형성된 관통공은 제 1 및 제 2 튜브(3)(4)가 설치시 가스 또는 액상의 PR이 분출되지 않도록 기밀 유지용 고무 재질의 패드(도시 안됨)가 제공되어 있다.
제 1 튜브(3)는 N2 가스를 유입시키기 위해 제공된 내화학성 재질의 관체로써, 두껑(2)을 관통한 하단부는 약액통(1)의 내부에 충전된 약액과 일정 거리 이격되도록 설치되어야 한다.
제 2 튜브(4)는 비스틈하게 두껑(2)에 설치되며, 그 하단부는 약액통(1)의 바닥면에 인접되도록 위치된다. 그리고, 약액통(1)에 충전된 PR은 제 1 튜브(3)로부터 유입된 N2 가스의 압력에 의해 제 2 튜브(4)를 통해 분출된다.
제 1 태그(6)는 약액통(1)의 측면에 취부되어 있으며, 제 2 테그(5)는 약액통(1)의 내부에 위치된 제 2 튜브(4)의 하단부에 설치되어 있으며, 태그(6)(5)에는 각기 약액에 대한 정보를 포함하고 있다.
제 1 및 제 2 안테나(8)(9)는 각기 대응된 제 1 및 제 2 태그(6)(5)에 인접된 위치에 설치되어 있다. 그리고, 미설명부호 Rb는 각기 약약통 감지 리더이고, Rt는 튜브 감지 리더이다. 제 1 안테나(8)는 약액통(1)을 감싸도록 제공되어 있다.
여기서, 태그들(6)(5)은 일반적인 RF 테그이다.
또한, 미설명부호 "B"는 바스켓이다.
그리고, 제 2 안테나(9)는 도너츠 형상을 갖는다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 제 1 안테나(8)는 적어도 2 이상의 분할형으로 제작되어 있다(도 1의 안테나 8도 동일한 형상임).
이상과 같은 구성을 갖는 본 발명은 3가지 실시예에 한정되어 설명되어 있으며, 이에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 사상을 토대로 변형 실시되는 발명은 본 발명의 권리 범위에 당연히 속하게 됨을 미리 밝혀둔다.
1 : 약액통 2 : 두껑
3, 4 : 튜브 5, 6 : 태크
7, 8 : 안테나
10 : 반도체 제조장비의 약액 검증시스템
3, 4 : 튜브 5, 6 : 태크
7, 8 : 안테나
10 : 반도체 제조장비의 약액 검증시스템
Claims (3)
- 약액통과;
상기 약액통의 상부 개구부를 개폐하도록 설치된 두껑과;
상기 두껑을 관통하여 이격 설치된 제 1 및 제 2 튜브와;
상기 약액통의 측면에 제공된 제 1 태그와;
상기 약액통의 내부에 위치되는 제 2 튜브의 하단에 설치된 제 2 태그와;
상기 제 1 태그 및 상기 제 2 태그를 동시에 감지하도록 상기 약액통을 감싸도록 제공된 안테나를 포함하여 구성된 반도체 제조장비의 약액 검증시스템.
- 약액통과;
상기 약액통의 상부 개구부를 개폐하도록 설치된 두껑과;
상기 두껑을 관통하여 이격 설치된 제 1 및 제 2 튜브와;
상기 약액통의 측면에 제공된 제 1 태그와;
상기 약액통의 내부에 위치되는 제 2 튜브의 하단에 설치된 제 2 태그와;
상기 제 1 태그를 감지하기 위하여 상기 약액통을 감싸도록 제공된 제 1 안테나와;
상기 제 2 태그를 감지하기 위하여 상기 약액통 하부에 인접 설치된 제 2 안테나를 포함하여 구성된 반도체 제조장비의 약액 검증시스템.
- 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 안테나는 적어도 2 이상으로 분할된 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 약액 검증시스템.
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR102414546B1 (ko) * | 2022-03-22 | 2022-06-30 | 주식회사 엔이아이디 | 반도체 제조 공정에 사용되는 원료가 포함된 저장용기를 결합 고정하는 용기 홀더 |
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| JP2004093519A (ja) | 2002-09-04 | 2004-03-25 | Srl Inc | 試験管及び分注システム |
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| KR20230137790A (ko) * | 2022-03-22 | 2023-10-05 | 주식회사 엔이아이디 | 원료가 포함된 저장용기에 연결되는 결합부를 가지는 용기 홀더 |
| KR102700454B1 (ko) | 2022-03-22 | 2024-08-29 | 주식회사 엔이아이디 | 원료가 포함된 저장용기에 연결되는 결합부를 가지는 용기 홀더 |
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