JPS6238232A - 薬品圧送装置 - Google Patents
薬品圧送装置Info
- Publication number
- JPS6238232A JPS6238232A JP17553785A JP17553785A JPS6238232A JP S6238232 A JPS6238232 A JP S6238232A JP 17553785 A JP17553785 A JP 17553785A JP 17553785 A JP17553785 A JP 17553785A JP S6238232 A JPS6238232 A JP S6238232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- chemicals
- pressure
- pipe
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/02—Feed or outlet devices therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は薬品圧送装置に関し、より具体的には非耐圧、
低強度の薬品容器を破壊あるいは変形させることなく、
加圧により内部の液体状薬品を取出して移送することが
可使なこの種装置に関する。
低強度の薬品容器を破壊あるいは変形させることなく、
加圧により内部の液体状薬品を取出して移送することが
可使なこの種装置に関する。
［従来の技術］
ＩＣ，ＬＳＩ等の製造工程においては、感光材料、現像
液、′Ａｓ液、洗浄液、エツチング液等の種々の高純度
の液体状薬品が用いられている。これらの薬品はガラス
、ポリエチレンあるいはステンレス鋼等の容器に充填さ
れた状態で工場に運び込まれ、さらに薬品を使用するク
リーンルーム内のプロセス機器の傍らまで人手により運
ばれる。
液、′Ａｓ液、洗浄液、エツチング液等の種々の高純度
の液体状薬品が用いられている。これらの薬品はガラス
、ポリエチレンあるいはステンレス鋼等の容器に充填さ
れた状態で工場に運び込まれ、さらに薬品を使用するク
リーンルーム内のプロセス機器の傍らまで人手により運
ばれる。
持ち込まれた薬品容器は、キャップを外し、吸引ポンプ
等に連結された吸引ノズル等を装着して利用されている
。
等に連結された吸引ノズル等を装着して利用されている
。
ｃ発ＩＪＩが解決しようとする問題点］上記薬品の取扱
い方法にあっては、人手がかかるだけでなく、容器およ
びこれを持ち込む人間から発生する塵埃がクリーンルー
ム内を汚染し、ＬＳＩの高集積度化に伴うクリーンルー
ムの清節度向上の要請に反するという問題があった。
い方法にあっては、人手がかかるだけでなく、容器およ
びこれを持ち込む人間から発生する塵埃がクリーンルー
ム内を汚染し、ＬＳＩの高集積度化に伴うクリーンルー
ムの清節度向上の要請に反するという問題があった。
また、薬品容器の材料としては上記の如く種々の素材が
用いられているが、ガラス製の場合は、Ｎａ、に、Ｃａ
等の金属イオンが溶出するという欠点があり、ステンレ
ス鋼製の場合には高価であるため使い捨てができないと
いう欠点がある。容器は汚染の関係」−１使い捨て方式
が好ましく、これらの点を考慮すると、安価で金属イオ
ン等の溶出のないポリエチレン製容器が最適であるが、
これもまた薬品を圧送するために必要な耐圧強度が不充
分であるという欠点がある。
用いられているが、ガラス製の場合は、Ｎａ、に、Ｃａ
等の金属イオンが溶出するという欠点があり、ステンレ
ス鋼製の場合には高価であるため使い捨てができないと
いう欠点がある。容器は汚染の関係」−１使い捨て方式
が好ましく、これらの点を考慮すると、安価で金属イオ
ン等の溶出のないポリエチレン製容器が最適であるが、
これもまた薬品を圧送するために必要な耐圧強度が不充
分であるという欠点がある。
本発明は上記従来技術の欠点を解消し、薬品容器を薬品
使用場所に持込まなくても済み、ポリエチレン８泰等の
非耐圧性の薬品容器であっても使用可能な薬品圧送装置
を提供することを目的としている。
使用場所に持込まなくても済み、ポリエチレン８泰等の
非耐圧性の薬品容器であっても使用可能な薬品圧送装置
を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
この目的を達成するため本発明においては、液体状薬品
の入った薬品容器を耐圧外包容器内に密閉状態で収容す
るように構成し、この耐圧外包容器には加圧気体を導入
する気体導入管を設けるとともに、耐圧外包容器内に収
容された薬品容器から薬品を耐圧外包容器の外部へ移送
する薬品移送管を、役け、さらに薬品移送管には薬品容
器内の薬品中に挿入するサイホン管を連設し、このサイ
ホン管から薬品容器内の液体状薬品を圧送するようにし
た。
の入った薬品容器を耐圧外包容器内に密閉状態で収容す
るように構成し、この耐圧外包容器には加圧気体を導入
する気体導入管を設けるとともに、耐圧外包容器内に収
容された薬品容器から薬品を耐圧外包容器の外部へ移送
する薬品移送管を、役け、さらに薬品移送管には薬品容
器内の薬品中に挿入するサイホン管を連設し、このサイ
ホン管から薬品容器内の液体状薬品を圧送するようにし
た。
［作用］
上記構成により未発ＩＪＩの薬品圧送装置にあっては、
耐圧外包容器内に薬品容器を収容し、薬品中にサイホン
管を挿入した後、外包容器を密閉し。
耐圧外包容器内に薬品容器を収容し、薬品中にサイホン
管を挿入した後、外包容器を密閉し。
外包容器内に加圧気体を導入すれば、薬品容器内、佼薬
品は加圧気体に押されてサイホン管さらに薬ん移送管を
介して外部に圧送される。この際、薬品容器の内外の気
体圧力は同一になっている。
品は加圧気体に押されてサイホン管さらに薬ん移送管を
介して外部に圧送される。この際、薬品容器の内外の気
体圧力は同一になっている。
［実施例］
第１図は本発明にかかる薬品圧送装置の一実施例の使用
状態を示す縦断側面図である０本実施例の薬品圧送装２
２１０は架台１２を具備し、この架台１２の底部に配設
されたサポー）１４に耐圧外包容器１６が支持される。
状態を示す縦断側面図である０本実施例の薬品圧送装２
２１０は架台１２を具備し、この架台１２の底部に配設
されたサポー）１４に耐圧外包容器１６が支持される。
耐圧外包容器１６はＬ側に薬品容器１８を出し入れする
開口を具備し、該開口はフランジ２０により若２２で閉
鎖される。また４２２は架台１２の頂部に配設されたエ
アシリンダ２４によりｎ１Ｉ−可ｔｍとなっている。
開口を具備し、該開口はフランジ２０により若２２で閉
鎖される。また４２２は架台１２の頂部に配設されたエ
アシリンダ２４によりｎ１Ｉ−可ｔｍとなっている。
耐圧外包容器１６の内底部には薬品容器１８を載置して
その重量を計量するための計量台２６が配設され、この
計量台２６は耐圧外包容器１６の外壁に付設された発信
器２８に接続されている。
その重量を計量するための計量台２６が配設され、この
計量台２６は耐圧外包容器１６の外壁に付設された発信
器２８に接続されている。
また耐圧外包容器１６の頂部すなわち蓋２２の外側には
加圧気体を導入するフレキシブルな気体導入管３０と薬
品を耐圧外包容器１６の外部に移送するフレキシブルな
薬品移送管３２Ａとがシール状態で接続され、導入管３
０は清浄窒素ガスまたは空気を供給する気体供給源３４
に、移送管３２Ａは薬品使用場所３６と連通される。ま
た移送管３２Ａには外包容器１６の内部においてこれと
連通ずる移送管３２Ｂが設けられ、この移送管３２Ｂの
先端には薬品容器１８の内部に挿通されるサイホン管３
８が連設される。
加圧気体を導入するフレキシブルな気体導入管３０と薬
品を耐圧外包容器１６の外部に移送するフレキシブルな
薬品移送管３２Ａとがシール状態で接続され、導入管３
０は清浄窒素ガスまたは空気を供給する気体供給源３４
に、移送管３２Ａは薬品使用場所３６と連通される。ま
た移送管３２Ａには外包容器１６の内部においてこれと
連通ずる移送管３２Ｂが設けられ、この移送管３２Ｂの
先端には薬品容器１８の内部に挿通されるサイホン管３
８が連設される。
サイホン管３８は第２図に示すように、薬品容器１８の
口に冠着するキャップ４０と一体的に取付けられており
、移送管３２Ｂとサイホン管３８とはそれぞれの端部に
付設されたソケツ）４２Ａおよびプラグ４２Ｂにより適
宜ワンタッチ式で連結可能となっている。キャップ４０
は、天板に相当する部分が、押え板４４およびビス４６
によって固定されたフィルタ４８からなっており、キャ
ップ４０を薬品容器１８に冠着した後も薬品容器１８の
内部空間はその外部と気体連通状態となっている。
口に冠着するキャップ４０と一体的に取付けられており
、移送管３２Ｂとサイホン管３８とはそれぞれの端部に
付設されたソケツ）４２Ａおよびプラグ４２Ｂにより適
宜ワンタッチ式で連結可能となっている。キャップ４０
は、天板に相当する部分が、押え板４４およびビス４６
によって固定されたフィルタ４８からなっており、キャ
ップ４０を薬品容器１８に冠着した後も薬品容器１８の
内部空間はその外部と気体連通状態となっている。
上記構成の本発明装置ｌＯは、例えば第３図に＾すＬＳ
Ｉ製造工場の概略平面図に基づいて説明すると５ プロ
セス機器ライン５０のクリーンルーム５２（従来は薬品
容器を人手によりここまで持ち込んでいた。）から離れ
た薬品供給室５４内に配設し、」ニ記移送管３２Ａとｉ
Ｊ！通する供給配管５６を介してクリーンルーム５２と
接続することにより用いられる。
Ｉ製造工場の概略平面図に基づいて説明すると５ プロ
セス機器ライン５０のクリーンルーム５２（従来は薬品
容器を人手によりここまで持ち込んでいた。）から離れ
た薬品供給室５４内に配設し、」ニ記移送管３２Ａとｉ
Ｊ！通する供給配管５６を介してクリーンルーム５２と
接続することにより用いられる。
使用に際しては、まず、エアシリンダ２４を作動させて
外包容器１６の７ｉ２２を開け、外包容器１６内部の計
量台２６」二に薬品容器１８を載置する１次に薬品容器
１８にもともと付いているキャツブを外し、その代りに
キャップ４０を冠着するとともに、サイホン管３８と移
送管３２Ｂとをプラグ４２Ｂおよびソケット４２Ａを介
して接続する。その後、再びエアシリンダ２４を作動さ
せて惹２２を閉じ、フランジ２０により密閉状態とした
後、図示しない弁を開けて外包容器１６内に気体導入管
３０から清詐窒素ガス等の加圧気体を導入する。この気
体圧力はキャップ４０のフィルタ４８を通して薬品容器
１８内の薬品の液面に負荷され、薬品はサイホン管３８
、移送管３２Ｂ、移送り３２ｐ、を通って外部に圧送さ
れ、供給配管５６を介してクリーンルーム５２等の薬品
使用場所へと移送される。薬品の移送酸は、薬品容器１
８が載置されている計量台２６に接続された発信器２８
を以って例えば操作室側に刻々と伝送され、したがって
残液量を適宜把握できるとともに、所９！の量で薬品の
移送を自動的に停止ヒすることも可能となる。
外包容器１６の７ｉ２２を開け、外包容器１６内部の計
量台２６」二に薬品容器１８を載置する１次に薬品容器
１８にもともと付いているキャツブを外し、その代りに
キャップ４０を冠着するとともに、サイホン管３８と移
送管３２Ｂとをプラグ４２Ｂおよびソケット４２Ａを介
して接続する。その後、再びエアシリンダ２４を作動さ
せて惹２２を閉じ、フランジ２０により密閉状態とした
後、図示しない弁を開けて外包容器１６内に気体導入管
３０から清詐窒素ガス等の加圧気体を導入する。この気
体圧力はキャップ４０のフィルタ４８を通して薬品容器
１８内の薬品の液面に負荷され、薬品はサイホン管３８
、移送管３２Ｂ、移送り３２ｐ、を通って外部に圧送さ
れ、供給配管５６を介してクリーンルーム５２等の薬品
使用場所へと移送される。薬品の移送酸は、薬品容器１
８が載置されている計量台２６に接続された発信器２８
を以って例えば操作室側に刻々と伝送され、したがって
残液量を適宜把握できるとともに、所９！の量で薬品の
移送を自動的に停止ヒすることも可能となる。
［発明の効果］
以」二説明した通り、本発明の薬品圧送装置によれば、
外包容器内において薬品容器の内外に同圧を負荷して薬
品を圧送するため、ポリエチレンのような耐圧強度の低
い材料からなる容器であっても、破壊あるいは変形させ
ることなく使用することができ、したがって容器単価を
低く押えることが可能となる。また工場のクリーンルー
ムまで薬品容器を迂ばずに自動的に薬品を圧送するため
、人手を省略できるとともに、危険な薬品に対しても安
全に処理でき、しかもクリーンルーム内の清デー化を図
る上でも有効なものである。
外包容器内において薬品容器の内外に同圧を負荷して薬
品を圧送するため、ポリエチレンのような耐圧強度の低
い材料からなる容器であっても、破壊あるいは変形させ
ることなく使用することができ、したがって容器単価を
低く押えることが可能となる。また工場のクリーンルー
ムまで薬品容器を迂ばずに自動的に薬品を圧送するため
、人手を省略できるとともに、危険な薬品に対しても安
全に処理でき、しかもクリーンルーム内の清デー化を図
る上でも有効なものである。
第１図は本発明にかかる薬品圧送装置の一実施例の使用
状態を示す縦断側面図、第２図は同実施例のキャップ部
分の拡大断面図、第３図は同実施例の使用の態様を示す
ＬＳＩ製造工場の概略平面図である。 ｌＯ・・・薬品圧送装置 １６・・・耐圧外包容器 １８・・・薬品容器 ３０・・・気体導入管 ３２Ａ、３２Ｂ・・・薬品移送管 ３８・・・サイホン管 ４０・・・キャップ ４８・・・フィルタ 出願人 日立プラント建設株式会社 第１図 策２図
状態を示す縦断側面図、第２図は同実施例のキャップ部
分の拡大断面図、第３図は同実施例の使用の態様を示す
ＬＳＩ製造工場の概略平面図である。 ｌＯ・・・薬品圧送装置 １６・・・耐圧外包容器 １８・・・薬品容器 ３０・・・気体導入管 ３２Ａ、３２Ｂ・・・薬品移送管 ３８・・・サイホン管 ４０・・・キャップ ４８・・・フィルタ 出願人 日立プラント建設株式会社 第１図 策２図
Claims (2)
- （１）液体状薬品の入った薬品容器を収容するための耐
圧外包容器と、耐圧外包容器に加圧気体を導入する気体
導入管と、耐圧外包容器内に収容された薬品容器から薬
品を耐圧外包容器の外部へ移送する薬品移送管と、該薬
品移送管に連設され薬品容器内の薬品中に挿入するサイ
ホン管とを有することを特徴とする薬品圧送装置。 - （２）サイホン管が、薬品容器の口に冠着するフィルタ
付きキャップに挿着されている特許請求の範囲第（１）
項に記載の薬品圧送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17553785A JPS6238232A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 薬品圧送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17553785A JPS6238232A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 薬品圧送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6238232A true JPS6238232A (ja) | 1987-02-19 |
Family
ID=15997806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17553785A Pending JPS6238232A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 薬品圧送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6238232A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015157286A (ja) * | 2005-04-25 | 2015-09-03 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 空検出機能付きライナ式液体保存・分配システム |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP17553785A patent/JPS6238232A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015157286A (ja) * | 2005-04-25 | 2015-09-03 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 空検出機能付きライナ式液体保存・分配システム |
| JP2015163401A (ja) * | 2005-04-25 | 2015-09-10 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 空検出機能付きライナ式液体保存・分配システム |
| US9802749B2 (en) | 2005-04-25 | 2017-10-31 | Entegris, Inc. | Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability |
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