CN113968425A - 一种光刻胶储存容器及其储存方法 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种光刻胶储存容器，包括：第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；第二储存容器，其底部与第一储存容器底部组成连通结构，第二储存容器外壁设置有光电传感器。本申请还提供一种光刻胶储存容器的储存方法。在补液的过程中由于第二储存容器底部与第一储存容器底部组成连通结构的存在，使流入第二储存容器内的光刻胶不存在气泡，因此解决了光刻胶储存容器由于气泡干扰光电传感器发生设备频繁报警的问题。
Description
技术领域
本申请涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种光刻胶储存容器及其储存方法。
背景技术
在半导体集成电路制造过程中，需要频繁使用光刻胶涂布设备，光刻胶中的气泡会影响光刻胶的涂布质量，光刻胶储存容器用于储存光刻胶，光刻胶从光刻胶储存容器底部的光刻胶排出口流出用于光刻胶涂布设备。图1为当前光刻胶储存容器的立体结构示意图；图1a为当前光刻胶储存容器需要补液前剖面结构示意图；图1b为当前光刻胶储存容器补液中剖面结构示意图；图1c为当前光刻胶储存容器正常补液完成后的剖面结构示意图；参照图1以及图1a至图1c，随着光刻胶的使用，需要随时对光刻胶储存容器10进行补液，光刻胶储存容器10顶部设置有光刻胶进口管11以及气泡排出口16，光刻胶12通过光刻胶进口管11进行补液，光刻胶储存容器10外壁设置有三个光电传感器，包括靠近光刻胶进口管11设置的第一光电传感器13、远离光刻胶进口设置的第三光电传感器15以及位于第一光电传感器13和第三光电传感器15之间的第二光电传感器14，当光刻胶储存容器10内的光刻胶液面低于第二光电传感器14所处平面时，第二光电传感器14在其所处位置平面内感应不到有液体，第二光电传感器14所对应的逻辑显示为0，触发补液机制系统开始补液，当所补液面超过第二光电传感器14所处平面时，第二光电传感器14在其所处位置平面内感应到有液体，第二光电传感器14所对应的逻辑显示为1，此时液面还没有到达第一光电传感器13所处位置平面，第一光电传感器13所对应的逻辑显示为0，继续补液，直到液面超过第一光电传感器13所处位置平面，第一光电传感器13对应的逻辑显示为1，即补液完成。
然而在实际操作中在补液的过程中常常会出现光电传感器误报警的情况，图1d为当前光刻胶储存容器在补液过程中液面产生气泡干扰的剖面结构示意图。参照图1d，当光刻胶储存容器10开始补液时，使用气体压力将光刻胶12从光刻胶瓶通过光刻胶储存容器10的光刻胶进口管11输送至光刻胶储存容器10内，由于重力作用，光刻胶12在从光刻胶进口管道滴落至光刻胶储存容器10的补液面时，会在补液面处产生大量气泡，有些气泡黏附在光刻胶储存容器10内壁上，并且有气泡刚好黏附在第二光电传感器14所在位置处，使第二光电传感器14感应不到液体，这时第二光电传感器14所对应的逻辑显示为0，导致第二光电传感器14对应的逻辑显示与实际不符，设备报警供液错误，报警时产品需要返工并且需要定时进行排泡处理，增加产品成本。
发明内容
本申请提供了一种光刻胶储存容器及其储存方法，以解决相关技术中光刻胶储存容器在补液过程中液面容易产生气泡导致光电传感器误感应的问题。
一方面，本申请实施例提供了一种光刻胶储存容器，包括：第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；第二储存容器，其底部与第一储存容器底部组成连通结构，所述第二储存容器外壁设置有光电传感器。
可选择的，所述第二储存容器顶部设置有第二气泡排出口。
可选择的，所述第二储存容器外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器以及位于所述第一光电传感器和所述第三光电传感器之间的第二光电传感器，当光刻胶储存容器内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
可选择的，光刻胶储存容器还包括一传输管道，所述传输管道的管口与所述光刻胶进口相匹配。
可选择的，所述光刻胶储存容器选用不造成额外颗粒物污染的材质。
可选择的，所述光刻胶储存容器选用不与光刻胶反应的材质。
可选择的，所述第二储存容器底部设置有光刻胶排出口。
为解决上述技术问题，另一方面，本发明还提供光刻胶储存容器的储存方法，包括：通过第二储存容器外壁设置的光电传感器判断是否进行补液，补液时光刻胶从第一储存容器的光刻胶进口滴入；所述第一储存容器光刻胶液面出现气泡，气泡以下的光刻胶通过所述第一储存容器底部和所述第二储存容器底部组成的连通结构进入所述第二储存容器。
可选择的，所述第二储存容器外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器以及位于所述第一光电传感器和所述第三光电传感器之间的第二光电传感器，当光刻胶储存容器内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
可选择的，所述第一储存容器顶部设置有第一气泡排出口，所述第一储存容器内的气泡通过所述第一气泡排出口排出。
本申请技术方案，至少包括如下优点：
本发明提供的光刻胶储存容器在进行光刻胶补液时，光刻胶从第一储存容器的光刻胶进口进入，滴入的过程中导致光刻胶液面产生泡沫，泡沫浮在第一储存容器的上层，下层无泡沫的光刻胶通过由第一储存容器和第二储存容器组成的连通结构流向第二储存容器，在需要使用光刻胶的情况下，光刻胶通过第二储存容器底部的光刻胶排出口流出，在补液的过程中由于连通器的存在使流入第二储存容器内的光刻胶不存在气泡，因此解决了光刻胶储存容器由于气泡干扰光电传感器发生设备频繁报警的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为当前光刻胶储存容器的立体结构示意图；
图1a为当前光刻胶储存容器需要补液前剖面结构示意图；
图1b为当前光刻胶储存容器补液中剖面结构示意图；
图1c为当前光刻胶储存容器正常补液完成后的剖面结构示意图；
图1d为当前光刻胶储存容器在补液过程中液面产生气泡干扰的剖面结构示意图；
图2是本申请一个示例性实施例提供的光刻胶储存容器立体结构示意图；
图3是本申请一个示例性实施例提供的光刻胶储存容器剖面结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
图2是本申请一个示例性实施例提供的光刻胶储存容器立体结构示意图；图3是本申请一个示例性实施例提供的光刻胶储存容器剖面结构示意图。参照图2以及图3，提供了一种光刻胶储存容器20，包括：第一储存容器20a，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口22；第二储存容器20b，其底部与第一储存容器20a底部组成连通结构20c，所述第二储存容器20b外壁设置有光电传感器。
光刻胶储存容器20选用不造成额外颗粒物污染的材质，进一步地，光刻胶储存容器20选用不与光刻胶反应的材质。
在本发明实施例中，第二储存容器20b外壁设置有多个光电传感器，包括靠近光刻胶进口设置的第一光电传感器23、远离光刻胶进口设置的第三光电传感器25以及位于第一光电传感器23和第三光电传感器25之间的第二光电传感器24，当光刻胶储存容器20内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器24所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
光刻胶储存容器20包括一传输管道21，传输管道21的管口与光刻胶进口相匹配，光刻胶从光刻胶瓶通过传输管道21进入光刻胶储存容器20内，进一步地，光刻胶从光刻胶瓶通过第一储存容器20a顶部的光刻胶进口处的传输管道21进入第一储存容器20a，由于第一储存容器20a的底部和第二储存容器20b的底部组成连通结构20c，即第一储存容器20a和第二储存容器20b组成连通器，因此从第一储存容器20a进入的光刻胶，通过连通的底部也会进入第二储存容器20b，使得两个容器内的液面保持齐平。
无特殊情况下的第三光电传感器25所对应的逻辑显示始终为1，即光刻胶的液面略低于第二光电传感器24所处位置的平面时，第二光电传感器24所对应的逻辑显示为0，此时触发系统开始进行补液，因此，光刻胶液面的最低液面始终维持在略低于第二光电感应器24所处位置平面。
当系统开始补液时，使用气体压力将光刻胶从光刻胶瓶通过第一储存容器20a顶部的光刻胶进口处的传输管道21进入第一储存容器20a内，在本发明实施例中，使用氮气作为气体压力媒介。由于重力作用，光刻胶在从传输管道21滴落至第一储存容器20a的补液面时，会在补液面处产生大量气泡，有些气泡黏附在第一储存容器20a内壁上，第一储存容器20a的外壁上并未安装光电传感器，因此黏附在第一储存容器20a内部上的气泡不会对光电传感器产生负面效应，进而影响到系统补液。随着补液的进行，没有气泡的光刻胶通过第一储存容器20a和第二储存容器20b连通的底部，不断地从第一储存容器20a的底部进入第二储存容器20b，液面上产生大量气泡的光刻胶被留在了第一储存容器20a内，第二储存容器20b内的液面超过第二储存容器20b外壁上设置的第二光电传感器24时，所述第二光电传感器24所对应的逻辑显示由0变为1，继续加液使液面超过第二储存容器20b外壁上设置的第一光电传感器23，当所述第一光电传感器23所对用的逻辑显示由0变为1，加液完成。第二储存容器20b底部设置有光刻胶排出口，光刻胶从该光刻胶排出口流出用于光刻胶涂布设备。
本发明还提供一种光刻胶储存容器的储存方法，其包括：通过第二储存容器20b外壁设置的光电传感器判断是否进行补液，补液时光刻胶从第一储存容器20a的光刻胶进口滴入；具体地，所述第二储存容器20b外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器23、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器25以及位于所述第一光电传感器23和所述第三光电传感器25之间的第二光电传感器24，当光刻胶储存容器20内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器24所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
第一储存容器20a光刻胶液面出现气泡，气泡以下的光刻胶通过所述第一储存容器20a底部和所述第二储存容器20b底部组成的连通结构20c进入所述第二储存容器20b。随着补液的不断上升，第一储存容器20a光刻胶液面出现的气泡，最后从第一储存容器20a顶部设置的第一气泡排出口22排出，去除第一储存容器20a内光刻胶表面的气泡。在第二存储容器20b的顶部设置有第二气泡排出口26，一旦有气泡混入到第二存储容器20b内，可以通过第二气泡排出口26将气泡排出。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本申请创造的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种光刻胶储存容器，其特征在于，包括：
第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；
第二储存容器，其底部与所述第一储存容器底部组成连通结构，所述第二储存容器外壁设置有光电传感器。
2.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述第二储存容器顶部设置有第二气泡排出口。
3.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述第二储存容器外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器以及位于所述第一光电传感器和所述第三光电传感器之间的第二光电传感器，当光刻胶储存容器内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
4.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，还包括一传输管道，所述传输管道的管口与所述光刻胶进口相匹配。
5.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述光刻胶储存容器选用不造成额外颗粒物污染的材质。
6.根据权利要求1或5所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述光刻胶储存容器选用不与光刻胶反应的材质。
7.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述第二储存容器底部设置有光刻胶排出口。
8.一种如权利要求1所述的光刻胶储存容器的储存方法，其特征在于，包括：
通过第二储存容器外壁设置的光电传感器判断是否进行补液，补液时光刻胶从第一储存容器的光刻胶进口滴入；
所述第一储存容器光刻胶液面出现气泡，气泡以下的光刻胶通过所述第一储存容器底部和所述第二储存容器底部组成的连通结构进入所述第二储存容器。
9.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器的储存方法，其特征在于，所述第二储存容器外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器以及位于所述第一光电传感器和所述第三光电传感器之间的第二光电传感器，当光刻胶储存容器内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
10.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器的储存方法，其特征在于，所述第一储存容器顶部设置有第一气泡排出口，所述第一储存容器内的气泡通过所述第一气泡排出口排出。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20220125 |