KR20090133077A - 액체 공급 시스템 - Google Patents

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KR20090133077A
KR20090133077A KR1020090052448A KR20090052448A KR20090133077A KR 20090133077 A KR20090133077 A KR 20090133077A KR 1020090052448 A KR1020090052448 A KR 1020090052448A KR 20090052448 A KR20090052448 A KR 20090052448A KR 20090133077 A KR20090133077 A KR 20090133077A
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liquid
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liquid crystal
supply system
pipe
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KR1020090052448A
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찌엔 쭈
밍팅 웡
완흐어 뉴우
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인포비젼 옵토일렉트로닉스 (쿤산) 주식회사
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Abstract

본 발명은 액체 컨테이너, 적하 시스템, 액체 모니터 시스템, 액체 컨테이너와 적하 시스템 사이에 위치한 전달 장치 및 액체 컨테이너와 적하 시스템 사이에 위치하며 전달 장치와 연결된 완충 컨테이너를 포함한다. 완충 컨테이너는 액체 주입구 및 액체 배출구를 포함한다. 액체는 액체 주입구를 통하여 완충 컨테이너로 흘러들어 오며 액체 배출구를 통하여 완충 컨테이너로 흘러나가며, 완충 컨테이너의 최대 단면적은 액체 주입구 및 액체 배출구의 단면적보다 더 크다. 본 발명의 액체 공급 시스템은 액체를 완전히 이용할 수 있으며 액체의 낭비를 감소시킬 수 있다.
액체 공급 시스템, 액체 컨테이너, 완충 컨테이너, 적하 시스템, 액체 모니터 시스템

Description

액체 공급 시스템 {Liquid Supply System}
본 발명은 액체 공급 시스템에 관한 것으로서, 특히 제품의 생산 동안 액체의 손실을 감소시킬 수 있는 액체 공급 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 엘시디 패널을 생산하는 동안에 액정(liquid crystal)을 타겟 기판(target substrate) 상으로 분포시키는 것이 액정 공급 시스템이다. 도 1에서 보여지는 액정 공급 시스템은 다음을 포함한다:
액정을 담을 수 있도록 적용된 액정 컨테이너(liquid crystal container, 11);
액정 컨테이너(11)가 충분한 액정을 담을 수 있는지를 모니터할 수 있도록 적용된 센서(12);
액정을 타겟 기판 상에 떨어뜨리도록 구성되고, 제 1 파이프(14)를 통하여 액정 컨테이너와 연결되며, 상기 제 1 파이프(14)의 일단(도에서는 End A로 나타냄)이 액정 컨테이너(11) 내의 액정이 제 1 파이프(14)를 통하여 액정 적하 시스 템(13)으로 이송되도록 액정 컨테이너(11)의 기부 근처에 형성되는 액정 적하 시스템(13);
액정 컨테이너(11)를, 예를 들면 질소 혹은 헬륨과 같은 액정 보호 기체(protective gas)로 채우도록 적용된 기체 이송 파이프(15); 및
액정 컨테이너(11)의 액정을 외부 공기와 분리시키도록 적용된 밀봉 플러그(16).
종래의 액정 공급 시스템에서는, 액정 컨테이너(11) 내의 액정은 액정 적하 시스템(13) 내의 진공펌프(도에는 나타나 있지 않음)에 의해 제 1 파이프(14)를 통하여 액정 적하 시스템으로 이송되며 나아가 액정 적하 시스템(13)에 의해 타겟 기판 상에 균일하게 분포된다. 센서(12)는 액정 컨테이너(11)가 충분한 액정을 담을 수 있는지를 모니터하도록 적용된다. 액정 컨테이너(11) 내의 액정의 액체 레벨이 센서(12)에 의해 모니터되는 임계 레벨(threshold level)보다 낮을 경우, 작동기계는 경보를 울리며 자동으로 멈추는데, 이는 액정 컨테이너(11) 내의 액정이 곧 소모되어 생산 요구를 충족시킬 수 없다는 것을 의미한다. 그러므로, 현재의 액정 컨테이너를 대체하기 위하여 액정으로 가득 찬 새로운 액정 컨테이너가 요구되거나 혹은 액정 컨테이너(11) 내로 더 많은 양의 액정이 추가되어야 한다.
종래의 액정 공급 시스템의 주요한 문제점은 다음과 같다:
센서는 액정 컨테이너(11)의 측벽 상에 형성되기 때문에, 센서에 의해 모니터되는 임계 레벨은 일반적으로 액정 컨테이너(11)의 기부보다 약간 높은 위치에 세팅되는데, 이는 센서(12)에 의해 모니터되는 임계 레벨이 액정 컨테이너(11)의 기부로부터 어느 정도 떨어짐을 의미한다. 액체 레벨이 센서에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 낮을 경우, 센서는 액정 컨테이너(11)의 액정을 모두 소모한 것으로 간주한다. 그러나, 실제로는 액정 컨테이너(11) 내의 액정은 아직도 남아 있게 된다. 그러므로, 임계 레벨보다 아래에 있는 액정을 낭비하게 된다. 그런데, 공장에서 그렇게 낭비되는 액정의 양은 해마다 매우 많아진다.
센서(12)에 의해 모니터되는 임계 레벨이 액정 컨테이너(11)의 기부 근처에 형성되면, 액정을 거의 모두 소모하였을 때, 액체 레벨은 액체 컨테이너(11)의 기부와 매우 가깝게 되며, 반면에 제 1 파이프(14)의 단부 A(End A) 또한 액정 컨테이너(11)의 기부와 가깝게 되는데, 즉, 제 1 파이프(14)의 단부 A는 액정의 액체 레벨과 매우 가깝게 된다. 실제로, 작동 상의 작동기계의 진동으로 인하여 액정 컨테이너 내의 액정이 흔들리며 액정의 액체 레벨을 자주 위 아래로 움직이게 된다. 그러므로, 액정이 거의 다 소모되었을 때, 액정의 액체 레벨은 때때로 제 1 파이 프(14)의 단부 A보다 낮거나 혹은 높게 된다. 액정의 액체 레벨이 제 1 파이프(14)의 단부 A보다 낮을 때, 액정 컨테이너(11) 내의 보호 기체가 제 1 파이프(14)로 들어가는데, 이는 타겟 기판 상에 떨어지는 액정의 양에 에러를 유발하여 결국 질이 나쁜 제품이 생산되게 된다. 또한, 액체 레벨의 빈번한 고저(up-and-down)의 움직임으로 인하여 때때로 액정의 액체 레벨이 센서(12)에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 낮게 되는데, 이는 액정 공급 시스템에 거짓 경보를 야기하며 나아가 액정의 낭비를 초래한다.
더욱이, 액정 컨테이너(11)의 벽은 일반적으로 불투명하여 구동자가 제 1 파이프(14)가 정확하게 밀봉 플러그를 통하여 액정 컨테이너(11)로 삽입되었는지를 점검할 방법이 없다. 따라서, 도 2 및 3에서 나타낸 것과 같이 제 1 파이프(14)가 액정 컨테이너의 기부 근처에 정확히 삽입되지 않거나 혹은 제 1 파이프(14)가 액정 컨테이너(11)로 삽입될 때 제 1 파이프(14)의 부드러운 물질로 인하여 기울어진다. 위의 두 가지 상황에서, 제 1 파이프(14)의 단부 A는 센서(12)에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 높게 세팅된다. 액정 컨테이너(11) 내의 액체 레벨이 제 1 파이프(14)의 단부 A보다 낮을 때, 액체 레벨은 실제로 센서(12)에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 높게 된다. 따라서, 구동 기계는 액정 컨테이너를 대체하라는 경보를 울리지 않게 된다. 그러나, 이때에 제 1 파이프(14)는 액정이 들어가지 않게 되며 따라서 액정 적하 시스템(13)으로부터 액정이 떨어지지 않게 된다. 즉, 빈 액정의 떨어짐이 발생한다. 액정이 떨어지지 않은 타겟 기판은 여전히 다음 단계의 작 업 과정으로 이동하며 결국에는 액정 패널의 손실을 동반하게 된다. 그러므로, 종래의 액정 공급 시스템은 액정 손실의 문제점, 떨어지는 액정의 양에 있어서의 에러 및 빈 액정의 떨어짐으로 인하여 생산 기업의 경제적 손실을 가져온다.
종래의 다른 액체 공급 시스템 또한 액체의 손실 및 빈 액정이 떨어지는 문제점을 갖고 있다.
본 발명은 액체 컨테이너, 적하 시스템, 액체 모니터 시스템, 이송 장치 및 완충 컨테이너를 포함하는 액체 공급 시스템을 제공한다; 이송 장치는 액체 컨테이너와 적하 시스템 사이에 위치하며, 액체를 액체 컨테이너로부터 적하시스템으로 이송하도록 적용되어 있다; 완충 컨테이너는 액체 컨테이너와 적하 시스템 사이에 위치하며, 이송 장치와 연결되어 있다; 완충 컨테이너는 액체 주입구(inlet) 및 액체 배출구(outlet)를 포함하며, 액체는 액체 주입구를 통하여 완충 컨테이너 내로 흘러들어가서 액체 배출구를 통하여 완충 컨테이너 외부로 흘러나가며, 완충 컨테이너의 최대 단면적은 액체 주입구 및 액체 배출구의 단면적보다 크다.
바람직하게는, 이송 장치는 이송 파이프를 포함한다.
바람직하게는, 액체 모니터 시스템은 액체 컨테이너의 측벽에 위치하는 센서 를 포함하며 액체 컨테이너 내의 액체가 충분한지를 모니터하도록 적용되어 있다.
바람직하게는, 액체 모니터 시스템은 이송 장치의 측벽에 위치하는 센서를 포함하며 이송 장치가 액체 공급을 얻을 수 있는지를 모니터하도록 적용되어 있다.
바람직하게는, 액체 모니터 시스템은 완충 컨테이너의 측벽에 위치하는 센서를 포함하며 완충 컨테이너가 액체 공급을 얻을 수 있는지를 모니터하도록 적용되어 있다.
바람직하게는, 이송 파이프는 제 1 파이프를 더 포함하며, 상기 제 1 파이프의 일단은 액체 컨테이너에 삽입되어 있으며 제 1 파이프의 타단은 완충 컨테이너에 연결되어 있다.
바람직하게는, 이송 파이프는 제 2 파이프를 더 포함하며, 상기 제 2 파이프의 일단은 액체 적하 시스템에 연결되어 있으며 제 2 파이프의 타단은 완충 컨테이너에 연결되어 있다.
바람직하게는, 제 1 파이프는 연결 장치에 의해 완충 컨테이너의 액체 주입구에 연결되며 제 2 파이프는 연결 장치에 의해 액체 배출구에 연결된다.
바람직하게는, 액체 모니터 시스템은 완충 컨테이너의 측벽에 위치하는 센서를 포함한다.
바람직하게는, 완충 컨테이너는 원통형이다.
바람직하게는, 압력 릴리프 개구부(pressure relief opening)는 완충 컨테이너의 상부에 형성되며 완충 컨테이너 내의 기압 및 액체 레벨을 조절하도록 적용되어 있다.
바람직하게는, 액체 모니터 시스템은 센서와 연결된 알람 장치를 더 포함한다.
바람직하게는, 액체는 액정이다.
바람직하게는, 액체 모니터 시스템에 의해 모니터되는 임계 레벨에서부터 적하 시스템의 출구까지의 액체 공급 시스템 내의 남아 있는 액정은 하나의 타겟 기판이 요구하는 생산을 충분히 만족시킨다.
선행 기술과 비교하여 본 발명은 다음과 같은 장점을 갖는다;
선행 기술에 따르면, 센서는 액체 컨테이너의 측벽의 기부에 형성되며, 액체 레벨이 모니터되는 임계 수준에 도달하면, 기체 방울은 진동에 의해 이송 장치로 들어가는데, 이는 낮은 품질의 제품을 야기한다. 따라서, 센서는 액체 컨테이너의 측벽 상의 더 높은 위치에 형성되어 모니터되는 임계 레벨보다 아래에 위치한 액체는 손실된다. 상대적으로, 본 발명의 기술적 방법에 따르면, 완충 컨테이너가 기체를 액체로부터 분리하도록 하여, 액체가 거의 다 소모되었을 때 방울에 의해 야기되는 제품의 낮은 질을 예방할 수 있다. 이러한 방법으로, 모니터되는 임계 레벨을 액체 컨테이너의 기부, 이송 장치의 측벽 혹은 완충 컨테이너의 측벽에 세팅할 수 있기 때문에 액체 컨테이너 내의 액체를 모두 이용할 수 있으며, 이로 인하여 손실을 줄임과 동시에 액체의 이용률을 향상시킬 수 있다.
더욱이, 본 발명의 기술적 방법에 따른 액체 공급 시스템은 간단한 구조를 가지며 쉽게 실행할 수 있다.
본 발명의 대상, 특징 및 장점을 더욱 분명하게 나타나기 위하여, 아래에 본 발명의 실시 예를 도면과 함께 자세히 설명한다. 모든 도면에 있어서, 동일한 참조 표시는 시스템의 동일한 부분을 나타낸다. 도면은 시스템의 정확한 비율로 만든 것이 아니며, 본 발명의 원리를 설명하는데 초점을 맞추었다.
아래에, 본 발명의 실시 예 1에 따른 액체 공급 시스템을 도 4와 함께 자세히 설명한다.
도 4에 나타낸 것과 같이, 액체 공급 시스템은 액체 컨테이너(41), 이송 장치(42), 액체 모니터 시스템(43), 적하 시스템(44), 보호 기체 이송 장치(52) 및 완충 컨테이너(60)를 포함한다. 액체 컨테이너(41)는 액정을 유지하도록 적용되었으며 적하 시스템은 액정을 타겟 기판 내로 떨어뜨리도록 구성되었다.
액체 컨테이너(41)는 상부에 개구부를 가지며 개구부에는 밀봉 플러그(50)를 갖는다. 밀봉 플러그(50)는 액체 컨테이너(41) 내의 액정을 외부 공기와 분리되도록 적용되었다. 액체 공급 시스템은 밀봉 플러그(50)를 통하여 액체 컨테이너(41) 내로 삽입된 보호 기체 이송 장치(52)를 더 포함하는데, 액체 컨테이너(41) 내의 액정을 외부 공기로부터 분리하고 액정을 고순도로 유지하고 산화를 방지하기 위하여 질소 및 헬륨과 같은 보호 기체를 액체 컨테이너(41) 내로 이송하도록 적용되었다.
이송 장치(42)는 액체 컨테이너(41)와 적하 시스템(44) 사이에 위치하여 액정을 액체 컨테이너(41)로부터 완충 컨테이너(60)로 이송하도록 적용되었다. 본 실시 예에서는 이송 장치(42)는 이송 파이프를 포함한다. 완충 컨테이너(60)는 액체 주입구(58) 및 액체 배출구(59)를 포함한다. 완충 컨테이너(60)의 최대 단면적은 액체 주입구(58) 및 액체 배출구(59)의 단면적보다 더 크다.
완충 컨테이너(60)는 원통형과 다른 모양일 수도 있으며 예를 들면 각주(prism)형일 수도 있다.
이송 파이프는 제 1 파이프(54) 및 제 2 파이프(55)를 포함한다. 제 1 파이프(54)의 단부 A는 밀봉 플러그(50)를 통하여 액체 컨테이너(41) 내의 액정의 액체 레벨 아래로 삽입되어 있다. 제 1 파이프(54)의 단부 B는 완충 컨테이너(60)의 액체 주입구(58)와 연결되어 있다. 제 2 파이프(55)의 단부 A는 적하 시스템(44)과 연결되어 있으며 제 2 파이프의 단부 B는 완충 컨테이너(60)의 액체 배출구(59)와 연결되어 있다. 제 1 파이프(54) 및 완충 컨테이너(60)의 액체 주입구는 각각 나사와 나삿니 혹은 플러그와 소켓을 구비한다. 제 2 파이프(55) 및 완충 컨테이너(60)의 액체 배출구(59)는 또한 각각 나사와 나삿니 혹은 플러그와 소켓을 구비한다. 액체 컨테이너(41)를 교체할 필요 시, 제 1 파이프(54), 제 2 파이프(55) 및 완충 컨테이너(60)는 액체 컨테이너(41)로부터 편리하게 해체할 수 있는데, 이는 액체 공급 시스템의 실제적 응용을 쉽게 한다.
선택적으로, 제 1 파이프(54)의 단부 B는 고정된 연결에 의해 완충 컨테이너(60)의 액체 주입구(58)와 연결될 수 있으며 제 2 파이프(55)의 단부 B는 고정된 연결에 의해 완충 컨테이너(60)의 액체 배출구(59)와 연결될 수 있다; 혹은 제 1 파이프(54)의 단부 B는 연결 장치에 의해 완충 컨테이너(60)의 액체 주입구(58)와 연결될 수 있으며 제 2 파이프(55)의 단부 B는 연결 장치에 의해 완충 컨테이너(60)의 액체 배출구(59)와 연결될 수 있다
선택적으로, 이송 장치는 제 2 파이프(55)를 포함하지 않을 수도 있으며, 완충 컨테이너(60)는 적하 시스템(44)과 직접 연결된다.
적하 시스템(44)은 진공 펌프(도에는 나타나지 않음)를 포함할 수 있다. 진공 펌프는 이송 장치(42) 내의 기체를 펌핑하여 액체 컨테이너(41) 내의 액정이 제 1 파이프(54) 내로 흘러들어가며 나아가 제 1 파이프(54)를 통하여 완충 컨테이너(60) 내로 흘러들어가도록 한다. 완충 컨테이너(60)는 횡단면이 액체 주입구 및 액체 배출구의 횡단면보다 큰 원통형이기 때문에, 액정이 액체 주입구(58)를 통하여 완충 컨테이너(60)로 들어갈 때, 액정은 중력에 의해 자연적으로 완충 컨테이너(60)의 하부에 떨어진다. 결과적으로, 완충 컨테이너(60)의 하부는 액정으로 가득 차게 되며 완충 컨테이너의 상부는 공동(cavity, 601)이 된다. 그러므로, 완충 컨테이너는 내부에 액정의 액체 레벨을 갖는다.
액정과 혼합된 기포 혹은 적은 양의 기체가 액체 주입구(58)를 통하여 완충 컨테이너(60) 내로 들어오면, 기체는 낮은 밀도를 갖기 때문에 제 2 파이프(55)로 들어가는 대신에 공동(601)으로 떠오른다. 이러한 방법으로, 액정에 혼합된 기포 혹은 기체는 자동으로 액정과 분리되며, 적하 시스템(44)으로 들어가지 않거나 혹은 액정을 포함하는 타겟 기판으로 떨어지지 않게 된다. 그러므로, 불순물이 들어있는 액정에 의한 낮은 질의 생산을 피할 수 있게 된다.
액정은 완충 컨테이너(60)의 액체 배출구(59)로부터 제 2 파이프(55)로 흘러들어가며 나아가 제 2 파이프(55)로부터 적하 시스템(44)으로 들어간다. 그리고 나서 액정은 적하 시스템(44)으로부터 타겟 기판 상으로 균등하게 떨어진다.
그리고 나서, 진공 펌프는 계속해서 기체를 밖으로 펌핑하기 때문에, 액정은 완충 컨테이너(60) 상부의 공동의 기압이 떨어지도록 하기 위하여 계속해서 액체 출구(59)를 통하여 완충 컨테이너(60) 외부로 흘러나간다. 따라서, 액체 컨테이너(41) 내의 액정은 액체 컨테이너(41) 내의 기압에 의해 제 1 파이프(54) 내로 펌핑되며 나아가 완충 컨테이너(60)로 펌핑된다. 이러한 방법으로 완충 컨테이너(60) 내의 액체 레벨은 감소 없이 일정한 레벨로 유지된다.
액정이 액체 컨테이너(41) 외부로 흘러나갈 때, 액체 컨테이너(41) 내의 공동 상부의 기압은 액체 컨테이너(41)가 밀봉 플러그(50)로 밀봉되어 있기 때문에 감소한다. 그러므로, 액정을 외부의 공기와 분리하기 위하여 보호 기체가 보호 기체 이송 장치(52)를 통하여 액체 컨테이너(41)로 들어간다.
본 실시 예에서, 액체 모니터 시스템(43)의 센서(45)는 완충 컨테이너(60)의 측벽 상에 위치하며 완충 컨테이너(60)가 액정 공급을 얻는 지를 모니터하도록 적용되어 있다. 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨은 완충 컨테이너(60) 내의 어느 위치에도 세팅될 수 있는데, 본 실시 예에서는 완충 컨테이너(60)의 거의 기부에 세팅되었다.
액정이 타겟 기판 상에 떨어진 후, 액체 모니터 시스템(43)의 센서(45)가 작동된다. 제 1 파이프(54)의 단부 A가 액체 컨테이너(41) 내의 액체 레벨보다 아래에 위치할 때, 완충 컨테이너(60)는 액체 컨테이너(41)로부터 정상적인 액정 공급을 받으며, 따라서 완충 컨테이너(60) 내의 액체 레벨은 일정한 레벨을 유지한다. 액체 컨테이너(41) 내의 액체 레벨이 제 1 파이프(54)의 단부 A보다 낮으면, 즉, 액체 컨테이너(41) 내의 액정이 충분하지 않을 경우, 완충 컨테이너(60)는 액체 컨테이너(41)로부터 액정을 얻을 수 없으며 완충 컨테이너(60)의 액체 레벨은 감소한다. 완충 컨테이너(60) 내의 액체 레벨이 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 낮을 경우, 센서(45)는 완충 컨테이너(60) 내의 액정 공급이 불충분하다는 것을 감지한다. 액정 모니터 시스템(43)은 나아가 센서(45)와 연결된 경보 장치(61)를 포함한다. 그러므로 완충 컨테이너(60) 내의 액체 레벨이 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 낮을 경우, 센서(45)는 완충 컨테이너(60) 내의 액정 공급이 불충분하다는 것을 감지하고 경보 장치(61)로 신호를 전송하며, 이때 경보 장 치(61)는 조작자가 제때에 상황을 알 수 있도록 경보를 울린다.
본 실시 예에서, 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨은 완충 컨테이너(60) 내에 세팅된다. 제 1 파이프의 단부 A가 액체 컨테이너(41) 내의 기부에 세팅되고 액체 컨테이너(41) 내의 액정이 거의 다 소비되면, 작동 중의 작동 기계의 진동이 액체 컨테이너(41) 내의 액체 레벨을 위로 혹은 아래로 이동시키더라도 센서(45)는 액정이 불충분하다는 것을 감지하지 않는다 즉, 센서(45)는 틀린 경보를 울리지 않는다. 액체 컨테이너(41) 내의 액정이 모두 소비되면, 완충 컨테이너(60)는 액체 컨테이너(41)로부터 액정 공급을 얻을 수 없으며 완충 컨테이너(60) 내의 액체 레벨은 감소한다. 완충 컨테이너(60) 내의 액체 레벨이 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 낮게 떨어지면, 경보 장치(60)는 정확한 경보를 울린다. 그러므로, 본 실시 예의 액체 공급 시스템은 틀린 경보를 예방하며 액정의 낭비를 막기 위하여 액정 컨테이너(41) 내의 액정을 충분히 이용할 수 있다. 더욱이, 본 실시 예의 액체 공급 시스템은 완충 컨테이너(60)를 포함하기 때문에, 제 1 파이프(54)의 단부 A가 액체 컨테이너(41)의 기부에 세팅되더라도 파이프로 들어가는 적은 양의 보호 기체에 의해 야기되는 낮은 질의 제품 생산을 피할 수 있다.
또한, 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨은 완충 컨테이너(60) 내에 세팅된다. 그러므로, 제 1 파이프(54)의 단부 A가 정확하게 삽입되지 않더라도, 즉, 제 1 파이프(54)의 단부 A가 액체 컨테이너(41)의 기부에 삽입되지 않거나 혹은 제 1 파이프(54)의 단부 A가 기울어져서 액체 컨테이너(41) 내의 액체 레벨이 제 1 파이프(54)의 단부 A보다 낮아서 그 결과 완충 컨테이너(60)로부터 정상적인 액정 공급을 얻지 못하게 되어도, 센서(45)는 완충 컨테이너(60) 내의 불충분한 액정 공급을 감지하고 경보 장치(61)에 신호를 보낸다. 경보 장치(61)는 경보를 울린다. 그 때문에, 조작자는 제때에 상황을 알 수 있으며 액정이 없는 상태로 떨어뜨리는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
본 실시 예에 따른 액체 공급 시스템에서, 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨은 실제적 생산 상황에 따라 완충 컨테이너(60) 내의 적절한 위치에 세팅될 수 있다. 그 때문에 센서(45)가 불충분한 액체 공급을 감지하였을 때, 완충 컨테이너(60), 제 2 파이프(55) 및 적하 시스템(44) 내에 남아있는 액정들은 하나의 타겟 기판이 요구하는 정상적인 제품 생산을 충분히 만족시킬 만큼 안전하다. 그러므로, 현재의 타겟 기판은 불충분한 액정 공급 때문에 낭비되지 않는다. 이 방법에 의해, 경보가 울리고 현재의 타겟 기판에 충분한 액정이 떨어진 후에, 작동 기계는 조작자가 액정 컨테이너(41)에 새로운 액정을 대체하거나 혹은 액정을 액정 컨테이너(41) 내로 첨가할 수 있도록 자동으로 정지하게 된다.
또한, 완충 컨테이너(60)는 완충 컨테이너(60)의 상부에 압력 릴리프 개구부(pressure relief opening, 56)를 포함할 수도 있는데, 새로운 액체 컨테이너(41)가 형성된 후에 액체 레벨이 센서(45)에 의해 모니터되는 임계 레벨보다 높 도록 유지하기 위하여 완충 컨테이너(60) 내의 기압과 액체 레벨을 조절하도록 적용되었다. 그러므로, 액체 공급 시스템을 효과적으로 적용할 수 있다.
아래에, 본 발명의 실시 예 2에 따른 액체 공급 시스템을 도 5와 함께 자세히 설명한다.
도 5에서와 같이, 액체 공급 시스템은 액체 컨테이너(41), 이송 장치(42), 모니터 시스템(43), 적하 시스템(44), 보호 기체 이송 장치(52) 및 완충 컨테이너(60)를 포함한다.
액체 컨테이너(41), 이송 장치(42), 적하 시스템(44), 보호 기체 이송 장치(52) 및 완충 컨테이너(60)의 기능 및 연결 방법들은 실시 예 1의 그것들과 유사하므로 여기서는 반복해서 설명하지 않기로 한다.
본 발명의 실시 예에 따라, 완충 컨테이너(60)는 액정으로부터, 액정 내에 혼합된 기체 혹은 기포를 효과적으로 분리할 수 있다. 그러므로, 모니터 시스템(43)에 의해 모니터되는 임계 레벨이 액체 컨테이너(41)의 기부 근처에 세팅될 때, 액체 컨테이너(41) 내의 보호 기체가 액체 컨테이너(41) 내의 액정을 거의 다 소모하여 작동 중의 작동 기계의 진동으로 인하여 이송 장치(42)로 들어가서 애정의 양에 에러를 유발하고 제품의 요구량을 충족시킬 수 없더라도, 완충 컨테이 너(60)는 표적 기판 상에 액정을 떨어뜨리기 전에 액정을 기체로부터 분리하도록 적용되어 있기 때문에 액정 내 기체의 혼합으로 야기되는 낮은 질의 제품 생산을 예방할 수 있다.
그러므로 본 실시 예의 액체 공급 시스템에서, 모니터 시스템(43)에 의해 모니터되는 임계 레벨은 액체 컨테이너(41) 내의 기부 근처에 세팅될 수 있으며 이송 장치(42)의 단부 A가 액체 컨테이너(41)의 기부 근처에 삽입되더라도 액정의 불순물로 인해 야기되는 낮은 질의 제품 생산을 예방할 수 있다. 따라서 임계 레벨을 상대적으로 높은 위치에 세팅해서 생기는 액정의 손실도 감소시킬 수 있다.
아래에, 본 발명의 실시 예 3에 따른 액체 공급 시스템을 도 6과 함께 자세히 설명한다.
도 6에서와 같이, 액체 공급 시스템은 액체 컨테이너(41), 이송 장치(42), 모니터 시스템(43), 적하 시스템(44), 보호 기체 이송 장치(52) 및 완충 컨테이너(60)를 포함한다.
액체 컨테이너(41), 이송 장치(42), 적하 시스템(44), 보호 기체 이송 장치(52) 및 완충 컨테이너(60)의 기능 및 연결 방법들은 실시 예 1의 그것들과 유사하므로 여기서는 반복해서 설명하지 않기로 한다.
차이점은, 실시 예 3의 센서(45)는 제 2 파이프(55)의 측벽에 배열되어 있으며 제 2 파이프(55) 내의 액정의 액체 레벨을 모니터하도록 적용되어 있다는 것이다.
도 7에 관하여, 실시 예 4의 액체 컨테이너(41)의 연결 방법, 이송 장치(42), 적하 시스템(44)들은 실시 예 3의 그것들과 유사하며 여기서는 반복해서 설명하지 않기로 한다. 차이점은, 실시 예 4의 센서(45)는 제 1 파이프(54)의 측벽에 배열되어 있으며 제 1 파이프(54) 내의 액정의 액체 레벨을 모니터하도록 적용되어 있다는 것이다.
본 발명의 센서(45)는 자기 유도 레벨 센서(magnetic induction level sensor), 레이저 센서, 이멀젼 광전자 레벨 센서(immession photoelectric level sensor) 혹은 구형 플로트 액체 센서(ball-float liquid sensor) 등일 수 있다.
더욱이, 본 발명의 기술적 개요는 액정 공급 시스템 이외의 액체 공급 시스템에도 적용할 수 있다.
이상에서 본 발명을 완전하게 이해하기 쉽도록 하기 위하여 상세하게 설명하였다. 그러나, 이상의 상세한 설명은 본 발명의 바람직한 실시 예들에 관한 것이다. 본 발명은 이상에서 기재된 방법보다는 다른 다양한 방법으로 실시될 수 있으며 실시 예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니다. 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
도 1은 종래의 액정 공급 시스템이다.
도 2는 제 1 파이프가 액정 컨테이너 내로 정확하게 삽입되지 않은 종래의 액정 공급 시스템이다.
도 3은 제 1 파이프가 액정 컨테이너 내로 정확하게 삽입되지 않은 종래의 다른 액정 공급 시스템이다.
도 4는 본 발명의 실시 예 1에 따른 액체 공급 시스템이다.
도 5는 본 발명의 실시 예 2에 따른 액체 공급 시스템이다.
도 6은 본 발명의 실시 예 3에 따른 액체 공급 시스템이다.
도 7은 본 발명의 실시 예 4에 따른 액체 공급 시스템이다.

Claims (15)

  1. 액체 컨테이너, 적하 시스템, 액체 모니터 시스템, 이송 장치 및 완충 컨테이너를 포함하는 액체 공급 시스템에 있어서;
    상기 이송 장치는 액체 컨테이너와 적하 시스템 사이에 위치하며 액체를 액체 컨테이너로부터 적하 시스템으로 이송하도록 적용되며;
    완충 컨테이너는 액체 컨테이너와 적하 시스템 사이에 위치하며, 상기 완충 컨테이너는 액체 주입구 및 액체 배출구를 포함하며, 액체는 액체 주입구를 통하여 완충 컨테이너 내로 흘러들어가서 액체 배출구를 통하여 완충 컨테이너 외부로 흘러나가며, 완충 컨테이너의 최대 단면적은 액체 주입구 및 액체 배출구의 단면적보다 큰,
    액체 공급 시스템.
  2. 청구항 1의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 이송 장치는 이송 파이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  3. 청구항 1의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 액체 모니터 시스템은 액체 컨테이너의 측벽에 위치하는 센서를 포함하며 액체 컨테이너 내의 액체가 충분한지를 모니터하도록 적용된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  4. 청구항 1의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 액체 모니터 시스템은 이송 장치의 측벽에 위치하는 센서를 포함하며 이송 장치가 액체 공급을 얻는지를 모니터하도록 적용된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  5. 청구항 1의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 액체 모니터 시스템은 완충 컨테이너의 측벽에 위치하는 센서를 포함하며 완충 컨테이너가 액체 공급을 얻는지를 모니터하도록 적용된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  6. 청구항 2의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 이송 파이프는 제 1 파이프를 포함하며;
    상기 제 1 파이프의 일단은 액체 컨테이너에 삽입되며 제 1 파이프의 타단은 완충 컨테이너로 연결된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  7. 청구항 6의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 제 1 파이프는 연결 장치에 의 해 완충 컨테이너의 액체 주입구와 연결된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  8. 청구항 6의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 이송 파이프는 제 2 파이프를 더 포함하며;
    상기 제 2 파이프의 일단은 적하 시스템에 연결되며 제 2 파이프의 타단은 완충 컨테이너에 연결된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  9. 청구항 8의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 제 2 파이프는 연결 장치에 의해 완충 컨테이너의 액체 출구와 연결된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  10. 청구항 2의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 액체 모니터 시스템은 완충 컨테이너의 측벽에 위치하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  11. 청구항 1 또는 2의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 완충 컨테이너는 원통형인 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  12. 청구항 1 또는 2의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 압력 릴리프 개구부는 완충 컨테이너의 상부에 배열되며 완충 컨테이너 내의 기압 및 액체 레벨을 조절하도록 적용된 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  13. 청구항 3 내지 5중 어느 한 항의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 액체 모니터 시스템은 센서와 연결된 경보 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  14. 청구항 1 또는 2의 액체 공급 시스템에 있어서, 상기 액체는 액정인 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
  15. 청구항 14의 액체 공급 시스템에 있어서, 액체 모니터 시스템이 불충분한 액정 공급을 감지하였을 때, 액체 모니터 시스템에 의해 모니터되는 임계 레벨로부터 적하 시스템의 출구까지의 액체 공급 시스템 내에 남아 있는 상기 액정은 하나의 타겟 기판의 생산 요구를 충분히 만족시키는 것을 특징으로 하는 액체 공급 시스템.
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