JP5450617B2 - 薬液供給システムおよびそれに用いる薬液用容器 - Google Patents

Description

本発明は、液体薬品用送液装置に関するものである。特に、本発明は、電子工業用薬品などの流体を貯蔵し、運搬し、かつ分配するワンウェイ方式の容器と、それを利用する液体薬品用送液装置に関するものである。

一般に、半導体材料の製造に用いられる薬品類、例えばフォトレジスト組成物などは、薬品容器に貯蔵されて運搬され、製造工場において開封されて使用される。このような薬品容器の使用方式は、リンク方式と呼ばれる同じ容器を繰返し使用する方式と、ワンウェイ方式と呼ばれる、新しい容器をその都度使用する方式とに大別される。ここで、ワンウェイ方式は、特に薬品の純度が重要である場合に好ましいものである。しかし、経済的な観点からは改良の余地があり、前記両方式を組み合わせ、薬液が直接接触する内側容器をワンウェイ方式とした複式格納型の容器も利用されている。

このような複式格納型の容器は、内側容器として、不活性材料からなる可撓性フィルムからなるバッグを用いるものが一般的である。この内側容器は外側容器の中に配置され、薬液はこの内側容器内に充填される。容器の使用後、すなわち内側容器から薬液を排出させた後、この内側容器は外側容器から取り外され廃棄され、新たな内側容器が外側容器に装着される。このようにして薬液用容器として再生され、改めて内側容器内に薬液が充填される。

このような複式格納型の容器は、種々のものが検討されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、外側容器の回収や、継ぎ手や外側容器を洗浄し、新たにバッグを装着する再生等の作業にはかなりの時間と費用を要するために、全体としてコストの低減効果は小さく、むしろ複式格納型の容器を用いた場合にはコストが比較的高くなる傾向にある。

他方、ワンウェイ方式の容器には、一般的に、成形された耐薬合成樹脂製で成型された樹脂容器と、成形された耐薬合成樹脂製の内側容器が金属製の外側容器で囲われた二重構造を有する複合容器とがある。樹脂容器は、廉価に製造でき、使用後は容易に廃棄できるため、比較的広範に利用されている。一方、複合容器としては、例えば廉価に製造でき、使用後は金属と合成樹脂とが容易に分離及び解体し廃棄される液体薬品用ペール缶が開発されている（例えば、特許文献２参照）。

しかしながら、従来知られている樹脂容器及び複合容器は、薬液供給の際にはその容器に液体薬品容器に送液チューブ付コネクタを装着し、送液チューブを容器内に挿入して液体薬品を排出する方式のものが一般的であった。この方法では、送液チューブが接続された容器が空になった場合には、薬液を含む容器に送液チューブを接続しなおすことが必要である。このとき、送液チューブが使用後の空容器から薬液が入った新たな容器に移設される間に、送液チューブが空気中に浮遊する埃などの不純物により汚染されたり、操作の誤りにより送液チューブが床面や容器表面などに接触したときに異物が送液チューブに付着したりすることがあった。この結果、これらの不純物や異物が送液チューブとともに容器内に持ち込まれることがあった。

また、予め内部に送液チューブが装着されている容器を用いる場合は、送液チューブ内面全体に薬液が付着している為、キャップを開封する際に送液チューブに付着した薬液が空気中不純物に汚染され、異物が装置内に持ち込まれてしまう可能性が高いという欠点があった。

また、従来の薬液容器は、送液チューブを挿入する際に容器のふたをはずして開放するので容器内の薬液が空気に接触する時間が比較的長く、また、送液チューブを挿入する際に薬液が撹拌されるために、薬液と空気との接触が比較的多い。このため、酸化などの空気接触に起因する薬液の劣化が大きい傾向があった。

さらに、従来の薬液用容器は何れも、輸送途中に誤って又は故意に容器のキャップが開封されても、薬液の使用者がそれを使用前に確認することができない。例えばキャップが緩んでいた場合、容器内に酸素が供給されて中の薬液が酸化などによって劣化する可能性があるが、使用時に劣化しているかどうかを確認するのは容易ではない。

特開平６−１０００８７号公報 特開２００８−１００７１５号公報

本発明の目的は、廉価に製造でき、容器使用時に未開封であることの確認も可能であり、容器交換時、薬液と空気との接触の機会を軽減することができる液体薬品用送液チューブ及びその供給容器を提供することにある。

本発明による薬液供給システムは、
薬液が充填された薬液用容器から前記薬液を供給するための薬液供給システムであって、前記薬液用容器が、
開口部を有する容器本体と、
前記開口部の内側に嵌合する中空円筒状の内側キャップ本体と、前記内側キャップ本体の内側中空部から前記容器本体の内側底部近傍まで伸びる液体通路を有する送液チューブと、前記内側キャップ本体の外側開口端を封止する封止部材であって、それを破断または除去することにより前記外側開口端を不可逆に開口することができる封止部材とを有する内側キャップ部材と、
を具備してなり、
送液用配管と気体導入用配管とを具備してなる接続プラグが前記内側キャップ部材に接続され、このとき前記内側キャップ本体の内側中空部にある、前記送液チューブの末端に設けられたヘッダ部に、前記封止部材を破断または除去して挿入される前記送液用配管の先端部が接続され、
（ａ）前記気体導入用配管から、前記内側キャップ部材に設けられた、前記内側キャップ本体の内側中空部から容器本体内部に貫通する導孔を通過して前記容器本体内に気体が導入され、前記気体の圧力によって、前記薬液が前記送液チューブと前記送液用配管を経由して前記容器本体内から外部に押し出されて供給される、または
（ｂ）前記送液用配管および前記送液チューブを経由して前記容器本体内から前記薬液を吸引して供給する
ことを特徴とするものである。

本発明による薬液用容器は、
開口部を有する容器本体と、
前記開口部の内側に嵌合する中空円筒状の内側キャップ本体と、前記内側キャップ本体の内側中空部から前記容器本体の内側底部近傍まで伸びる液体通路を有する送液チューブと、前記内側キャップ本体の外側開口端を封止する封止部材であって、それを破断または除去することにより前記外側開口端を不可逆に開口することができる封止部材とを有する内側キャップ部材と、
を具備してなるものであって、
前記容器本体に充填された薬液を排出させるために、送液用配管と気体導入用配管とを有するプラグを前記内側キャップ部材に接続する際に、前記内側キャップ本体の内側中空部にある、前記送液チューブの末端に、前記封止部材を破断または除去して挿入される前記送液用配管の先端部と接続可能なヘッダ部が設けられ、かつ前記内側キャップ部材が前記気体導入用配管から流入する気体を前記容器内に通過させる導孔を有している
ことを特徴とするものである。

本発明による薬液用容器は、送液チューブと一体化されているため、薬液供給システムにおいて利用し、内部の薬液が使用された後の容器を次の新しい容器に切り替える場合に送液チューブが異物または不純物に汚染されること、さらにはそれらが容器内に持ち込まれることが無い。また、切り替えの際には薬液によって濡れた送液チューブを取り扱う必要が無いため、従来の薬液容器または薬液供給システムに比較にして取り扱い性がよい。

さらに、本発明による薬液用容器は、ワンウェイ方式の容器として利用することができ、内部に設置された送液チューブを含めて利用後に廃棄することで、容器本体や送液チューブの洗浄が必要ない。また、従来の二重構造を有する複合容器で必要であった、外側容器へのバッグの詰め替えも必要ない。さらには前記したような薬液汚染の低減による最終製品の歩留まり向上などを考慮すると、総合的に経済的な薬液供給システムを達成できる。

本発明の一実施態様による薬液用容器の概略図である。 本発明の一実施態様による薬液用容器の開口部の概略断面図である。 本発明の一実施態様の薬液用容器に用いられる内側キャップ部材の概略断面図である。 本発明の一実施態様の薬液容器に用いられるフィルム状封止部材の概略平面図である。 本発明の一実施態様の薬液容器に用いられるキャップ状封止部材を含む内側キャップ部材の概略断面図（ａ）および概略斜視図（ｂ）と、その他の実施態様によるキャップ状封止部材の概略断面図（ｃ）および（ｄ）である。 本発明の一実施態様による薬液供給システムの概略図である。 本発明の一実施態様の薬液供給システムに用いられる接続プラグの概略断面図である。 本発明の一実施態様による薬液供給システムの容器接続部分の概略断面図である。 実施例１および比較例１におけるフォトレジスト組成物中の平均微粒子数を示すグラフ。

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。

図面を参照して本発明を実施するための一実施態様を説明する。

図１は、本発明による薬液用容器３の側面図である。容器本体５は、開口部６を具備しており、内部には薬液１２が充填され、外側容器キャップ１０により開口部は封じられている。すなわち、外観上は従来の一般的な薬液用容器と同様である。容器本体や外側容器キャップの材質は樹脂、または金属などから任意に選択することができ、また取り扱い性を改良するために取っ手などを設けることもできる。

本発明における薬液用容器は、その内部構造に特徴を有している。その内部構造の概略断面図は図２に示す通りである。容器本体５の開口部の外側には、外側容器キャップ１０を組み付けるための雄ネジ６ａが切られている。外側キャップの組み付けは必ずしもネジ構造ではなくてもよく、例えば嵌めこみ構造なども利用できるが、本発明においては雄ネジ６ａは後述する接続プラグを固定するためにも用いることができるので、ネジ構造を有することが好ましい。

一方、開口部の内側には内側キャップ部材２０が組みつけられている。内側キャップ部材２０の構造は図３に示す通りである。中空円筒状の内側キャップ本体７は、容器本体の開口部６の内側に嵌合する円筒状の部材である。

その一方の端部には、内部キャップ本体の内側中空部から、容器本体の底部まで届く送液チューブ８が設けられている。前記内側キャップ本体の内側中空部にある、前記送液チューブの末端には、後述する送液配管が接合されるヘッダ部８ａが設けられている。このヘッダ部８ａには、送液配管の接合を容易にし、また接合部の密着性をよくして、液漏れや気体漏れを防ぐために、図３に示すようなテーパー構造を設けることができる。また、密着性を改善するためのカップリングやオーリングなどを設けることもできる。送液チューブの材料は容器本体内の薬液に浸漬されるため、薬液の種類に応じて、その薬液に対する耐性の高いものが選ばれる。例えば、（ａ）ポリオレフィン樹脂、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレン、およびこれらの共重合体、（ｂ）ポリエステル樹脂、例えばポリエチレンテレフタレート、およびポリブチレンテレフタレート、（ｃ）フッ素含有樹脂、例えば四フッ化エチレン、四フッ化エチレン−パーフロロアルキルビニルエーテル共重合体、四フッ化エチレン−エチレン共重合体、三フッ化塩化エチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、および三フッ化塩化エチレン−エチレン共重合体などが用いられる。これらの材料は二種類以上を組み合わせて用いることもできる。また、送液チューブは、剛性の高いものであっても、軟質のものであってもよい。剛性の高いものを用いる場合には、送液チューブの長さは、一般に容器本体の底部近傍までの長さとされる。これは短ければ本体内に残存する薬液が多くなってしまうからである。一方、送液チューブの末端が底部に接触する程度に長いと、送液チューブの末端から薬液の排出が困難になってしまうことがある。このような場合には、送液チューブの末端部の側面に穴を設けることで薬液の排出を容易にすることもできる。また、軟質の送液チューブを用いることもできるが、そのような場合には送液チューブを容器本体の底部に接触する程度に長くすることで、排出時の薬液残存量を減らすことができる。

内側キャップ本体の、送液チューブが設けられていない側の端部、すなわち内側キャップ本体の外側開口端は、封止部材７ａにより封止されている。この封止部材は、それを破断または除去することにより前記外側開口端を不可逆に開口することができるものである。ここで「開口端を不可逆に開口することができる」とは、開口端を開口させた場合には、封止材料が破壊または変形され、実質的に開口させる前の状態に戻すことができないことを意味する。このような封止材料の好ましいものとして、樹脂などのフィルムからなる、フィルム状封止材料が挙げられる。樹脂などのフィルムを開口部に接着または溶着させることにより、開口部を開口させるためには、フィルムを切断または除去することが必要となり、これを元の状態に戻ることは実質的に不可能である。このフィルム状封止部材は、薬液の保存または運搬時には、実質的に薬液用容器の蓋として機能する。一般に運搬時や保存時には、前記した外側容器キャップ１０が開口部に取り付けられるが、この外側容器キャップはフィルム状封止部材を保護する機能も併せ持っている。一方で、フィルム状封止部材は、薬液の供給時に後述する接続用プラグが接続された場合には破断または除去され、内側キャップ部材の内側中空部に送液配管の端部が導入できる。すなわちフィルム状封止部材は、たとえば鋭利な形状に加工された接続用プラグの先端などを貫通させて破断したり、刃物などにより破断してくりぬいたり、あるいは剥離して除去したりすることができる。このようにフィルム状封止部材が破断または除去されることにより開口された開口部に、前記した送液配管の端部が導入され、送液チューブに結合される。このようなフィルム状封止部材の材料は、比較的柔軟な樹脂から選択されることが好ましい。具体的にはこの材料は、前記した送液チューブの材料として挙げたものから選択することができる。より具体的には、ポリエチレン、またはポリプロピレンが価格が安く、接続プラグを接続する際には破断または除去も容易であるので好ましい材料である。このフィルム状封止部材は、内側キャップ本体に、例えば接着剤や熱溶着により固定される。

フィルム状封止部材の形状は特に限定されず、必要に応じて任意の形状とすることができる。このようなフィルム状封止部材の形状の例は図４に示す通りである。フィルム状封止部材７ａは、均一な厚さを有するものであってもよいが、接続用プラグを接続する時に破断が容易となるように、フィルムに線状の薄い部分、いわゆるノッチ１１を設けることができる。ノッチ１１の形状は特に限定されず、フィルム表面に放射状（図４（ａ））に設けてもよいし、円弧状（図４（ｂ））であってもよい。またノッチの断面形状は、Ｖ字型が好ましいが、半円状や矩形であってもよい。また、フィルム状封止部材を使用時に剥離する場合には、剥離を容易にするためにタブ１２を設けたりして、作業者がつかみやすくすることもできる（図４（ｃ））。また、開口部の外径よりもフィルム状封止部材を大きいものとして、外周部全体をタブとすることもできる（図４（ｄ））。

また、封止部材はフィルム状のものには限られず、任意の形状とすることができる。このような封止部材の一実施態様の概念断面図を図５に示す。この例は、内側キャップ本体の内側に嵌合するキャップ状封止部材１０ａが示されている。このキャップ状封止部材１０ａは、図５（ａ）に示されるように、断面が台形である円錐台状を有している。すなわち、キャップ状封止部材１０ａの外周径は、底面に近いほど大きくなっている。このような形状を有することによって、キャップ状封止部材が脱落することを防止するとともに、容器内の薬液が漏れ出ることも防止される。このとき、内側キャップ本体７の内壁にキャップ状封止部材１０ａの外側形状に一致した溝構造を形成させておき、相互に嵌合するようにされていることが好ましい。また、キャップ状封止部材を弾性のある材料で形成させ、内側キャップ本体に嵌めこみによって固定することもできる。キャップ状封止部材１０ａの底面はヘッダ部８ａに接触していてもよい。また、使用時にはキャップ部材が容易に除去または破壊できるように、図５（ｂ）に示すようにキャップ状封止部材にタブ１０ｂおよびノッチ１０ｃを設けておき、タブ１０ｂを引き上げることによって、ノッチ１０ｃに沿ってキャップ部材が破壊されるように形成することが好ましい。さらには、タブ１０ｂまたはノッチ１０ｃのいずれか、あるいはそれら両方の上に、剥離後に再貼着ができないシールを貼り付け、容器の開封確認が容易にできるようにすることもできる。なお、図５（ｂ）に示した例では、ノッチはキャップ状封止部材の底面に直線状に形成され、タブ１０ｂは底面のノッチ端部に形成されていが、このタブおよびノッチの形状は特に限定されず、例えばタブはフィルム状封止部材の底面だけではなく、内側側面や上部に設けてもよく、またノッチは直線状ではなく円形状などであってもよい。また、キャップ部材１０ａを内側キャップ本体の内側に嵌合するようにすることで、運搬時に外側容器キャップ１０を使用する時にも支障がない。

図５に示されたキャップ状封止部材は好ましい態様のひとつであるが、そのほかのキャップ状部材を用いることもできる。例えば、キャップ状封止部材の外周にリム１０ｄを形成させ（図５（ｃ））、内側キャップ本体の内周に設けられた溝に嵌合することにより固定されるようにしたり、内側キャップ部材に接着または熱溶着して固定されるようにしたりすることができる。また、キャップ状封止部材の上面外周にストッパー１０ｅを形成させることもできる（図５（ｄ））。このストッパー１０ｅは内側キャップ本体の上面リム部の表面に接触し、キャップ状封止部材の固定に寄与する。必要に応じてこのストッパー部を内側キャップ本体に接着または熱溶着させることもできる。さらには、内側キャップ本体の上面リム部や開口部の外側に嵌合して、開口部を覆蓋するとともに容器を密閉するキャップ状封止材料を用いることもできる。なお、これらのキャップ状部材は、内側キャップ本体や容器開口部に物理的に嵌合する形状であれば、接着や熱溶着などによらずに固定することもができ、開口時にはキャップ状封止部材が不可逆に変形または破損するので好ましい。また、接着をする場合には、一度剥離すると粘着力が低下して、再貼着できないシールなどを使用することもできる。

また、内側キャップ部材には、内側キャップ部材が容器本体に嵌合された場合に、キャップ本体内側中空部から容器本体内部に貫通する導孔９が設けられている。この導孔９は、（ａ）後述する気体導入配管から導入される気体を容器本体に通過させて容器本体内の圧力を上昇させ、それによって容器本体内の薬液を排出させるためのもの、または
（ｂ）後述する送液用配管および送液チューブを経由して、外部に設けられたポンプなどにより容器本体内の薬液を吸引する場合には、どの導孔を通じて外部の空気を容器内に流入させ、吸引によって容器内部に生じる負圧を調整するためのもの
である。

このような構造を有する内側キャップ部材２０は、容器本体５の開口部６に嵌合される。このとき、内側キャップ部材２０に、開口部６から内側キャップ部材２０が脱落するのを防止するためのストッパー７ｂを設けることができる。このような構造とすることにより、内側キャップ部材は特別な治具を用いないと取り外すことが困難となる。また、内側キャップ部材２０を接着剤などにより開口部６に固着させることもできる。このように内側キャップ部材２０の脱落を困難にすることによって、故意または事故により、容器が不必要に開封されることを防ぐことができる。

このように内側キャップ部材２０は一度容器本体に結合されると脱離させることが困難であるため、一般的には、容器本体５に薬液を充填した後、開口部６に取り付けられる。
ただし、送液チューブ８を具備した内側キャップ本体７を開口部６に組み付けた後、薬液を充填し、その後にフィルム状封止部材を内側キャップ本体７に熱溶着させることもできる。

次に、このような本発明による薬液用容器を用いた薬液供給システムについて説明すると以下の通りである。このような薬液供給システムの全体的な概念図は図６に示す通りである。ここに示したシステムは、気体導入用配管から、内側キャップ部材に設けられた、内側キャップ本体の内側中空部から容器本体内部に貫通する導孔を通過して容器本体内に気体が導入され、気体の圧力によって、薬液が送液チューブと送液用配管を経由して容器本体内から外部に押し出されて供給されるものである。薬液用容器３には、外側容器キャップ１０に代えて、接続プラグ３１が結合される。この接続プラグ３１には、気体導入用配管３２と、送液用配管３３が結合されている。気体導入用配管は、例えばガスタンク４に連結され、バルブ４１を開放することによって、容器本体内に気体が導入され、その気体の圧力によって容器本体内の薬液が押し出され、送液チューブ８および送液用配管３３を経て薬液容器外に供給される。

ここで、接続プラグ３１の概念断面図は図７に示す通りである。接続プラグには、送液用配管３３と気体導入用配管３２とが設けられている。送液用配管３３の先端部３３ａは、内側キャップ部材のヘッダ８ａに接続できる形状とされている。ここで、先端部３３ａは、ヘッダ８ａの形状に合わせてテーパー状になっていると、フィルム状封止部材を破断するのに有利である。また、気体導入用配管３２も図７に示すようにフィルム状封止部材を貫通するように鋭利な形状とすることができる。しかしながら、気体導入用配管３２は、必ずしも内側キャップ本体７の内側まで貫通する必要はなく、接続プラグ３１に単なる開口を有するだけでもよい。これは気体導入用配管から導入される気体が、送液用配管が貫通した際に形成される裂け目から容器内部に流入できるからである。また、フィルム状封止部材が除去された場合には、気体導入用配管から気体が導入される際に障害となるものはない。

図８には、接続キャップ３１が内側キャップ部材８に接続された状態を示す概念断面図が示されている。送液用配管３３の先端部３３ａは送液チューブ８のヘッダ部８ａに接続され、その状態で固定するために接続プラグ固定ネジ３０によって、開口部６の雄ネジ６ａに組みつけられる。このとき、内側キャップ本体７のフィルム状封止部材が送液用配管３３の貫通により破断される。このとき、フィルム状封止部材をあらかじめ剥離して除去しておいてもよい。

そして、気体導入用配管３２から導入された気体が、導孔９を経由して容器本体の内部に導入され、その圧力で薬液が送液チューブ８および送液用配管３３を経由して、容器本体から外部に供給される。

供給される薬液は、例えば受け入れ容器１に一時的に貯留され、適切な計量手段などによって計量され、利用される。ここで、気体導入用配管には一般的には不活性なガスを収容するガスタンクが接続される。ガスの種類は特に限定されないが、容器内の薬液の品質を維持するために、一般的には不活性なガス、例えば窒素などが用いられる。しかしながら、薬液の種類によっては、空気を用いることも可能であり、そのような場合にはポンプなどを用いて空気を容器内に導入することもできる。

また、図６においては、供給される薬液を受け入れ容器に貯留する例を示したが、これ以外の供給方法も可能である。例えば、送液用配管を薬液を利用する装置に直接接続し、定量的に装置に供給することも可能である。ただし、薬液用容器が空になったとき装置に薬液が供給できなくなってしまったり、気体を介して圧力をかけるために供給量が不安定になったりすることがあるため、受入れ容器を設けるのが好ましい。

また、図６においては、気体を容器内に導入して、その圧力により容器内の薬液を排出するものであるが、送液用配管および送液チューブを経由して容器本体内から薬液を吸引して供給することもできる。この場合には、送液用配管の途中にポンプを設けて容器内の薬液を吸引したり、排出された薬液を受ける受け入れ容器とそれに接続する送液用配管を密閉し、受け入れ容器内を減圧することにより容器内の薬液を吸引したりすることができる。このとき、導孔は、気体導入用配管を経由して外気を容器内に流入させ、容器本体内の圧力を調整する機能を有する。

実施例１
クリーンエアでブロー成型された高密度ポリエチレンを内袋として具備する内容積２０リットルのペール缶（株式会社ジャパンペール製）を準備した。このペール缶は購入した状態のまま洗浄を行わないで用いた。

フォトレジスト組成物をこのペール缶にろ過充填し、図２に示すようなフィルム状封止部材付送液チューブを有する内側キャップ部材及び外側容器キヤップを設置して密閉した。このフィルム上封止部材には図４（ａ）のようにフィルム表面に放射線状のノッチ１１が設けられていた。このようにフォトレジスト組成物が封入された容器を１０個準備した。

準備された１０個の容器を室温（約２５℃）で１時間静置した。その後、最初の容器の外側容器キャップを取り除いた後、送液チューブに設けられたフィルム状封止部材を接続プラグで破断して送液用配管を容器に装着し、容器内を加圧してフォトレジスト組成物を採取した。引き続き同じ送液用配管を洗浄せずに連続的に使用して、すべての容器から順次フォトレジスト組成物を採取した。

比較例１
実施例１と同様にしてペール缶にフォトレジスト組成物をこのペール缶にろ過充填し、上記ペール缶にあらかじめ設置されている内栓及び外側容器キャップを設置して密閉した。このようにフォトレジスト組成物が封入された容器を１０個準備した。

準備された１０個の容器を実施例１と同様に、室温（約２５℃）で１時間静置した。その後、最初の容器の外側容器キャップ及び内栓を取り除いた後、送液チューブ付コネクタを容器に装着し、容器内を加圧してフォトレジスト組成物を採取した。引き続き同じ送液チューブ付コネクタを洗浄せずに連続的に使用して、すべての容器から順次フォトレジスト組成物を採取した。

評価
実施例１および比較例１において採取されたフォトレジスト組成物中の微粒子数の測定を、パーティクルカウンターを用いて行った。それぞれの組成物について、０．２３μｍを超える微粒子数、０．３μｍを超える平均微粒子数を測定した。得られた結果は表１および図９に示す通りであった。なお、表中の「容器番号０」に対応する平均微粒子数は容器充填直後、密閉する前のフォトレジスト組成物について測定した平均微粒子数を意味する。

得られた結果から、比較例においては同じ送液チューブ付コネクタを連続的に使用することでフォトレジスト組成物中の微粒子数が増大するのに対して、本願発明では連続的に同じ送液用配管を用いても微粒子数は増大しなかった。以上のように、本発明の薬液供給システムを使用することにより、薬液を安定的に供給することが出来ることがわかった。

１ 受け入れ容器
３ 薬液用容器
４ ガスタンク
５ 容器本体
６ 開口部
６ａ 開口部雄ネジ
７ 内側キャップ本体
７ａ フィルム状封止部材
７ｂ ストッパー
８ 送液チューブ
８ａ ヘッダ
９ 導孔
１０ 外側容器キャップ
１０ａ キャップ状封止部材
１０ｂ タブ
１０ｃ ノッチ
１０ｄ リム
１０ｅ ストッパー
２０ 内側キャップ部材
３０ 接続プラグ固定ネジ
３１ 接続プラグ
３２ 気体導入用配管
３３ 送液用配管
３３ａ 送液用配管先端部

Claims (7)

1. 薬液が充填された薬液用容器から前記薬液を供給するための薬液供給システムであって、前記薬液用容器が、
   開口部を有する容器本体と、
   前記開口部の内側に嵌合する中空円筒状の内側キャップ本体と、前記内側キャップ本体の内側中空部から前記容器本体の内側底部近傍まで伸びる液体通路を有する送液チューブと、前記内側キャップ本体の外側開口端を封止する封止部材であって、それを破断または除去することにより前記外側開口端を不可逆に開口することができる封止部材とを有する内側キャップ部材と、
   を具備してなり、
   送液用配管と気体導入用配管とを具備してなる接続プラグが前記内側キャップ部材に接続され、このとき前記内側キャップ本体の内側中空部にある、前記送液チューブの末端に設けられたヘッダ部に、前記封止部材を破断または除去して挿入される前記送液用配管の先端部が接続され、
   （ａ）前記気体導入用配管から、前記内側キャップ部材に設けられた、前記内側キャップ本体内側中空部から容器本体内部に貫通する導孔を通過して前記容器本体内に気体が導入され、前記気体の圧力によって、前記薬液が前記送液チューブと前記送液用配管を経由して前記容器本体内から外部に押し出されて供給される、または
   （ｂ）前記送液用配管および前記送液チューブを経由して前記容器本体内から前記薬液を吸引して供給する
   ことを特徴とする、薬液供給システム。
2. 前記気体が、不活性気体である、請求項１に記載の薬液供給システム。
3. 前記容器本体内から外部に押し出された薬液が、受け入れ容器に一時的に貯留される、請求項１または２に記載の薬液供給システム。
4. 開口部を有する容器本体と、
   前記開口部の内側に嵌合する中空円筒状の内側キャップ本体と、前記内側キャップ本体の内側中空部から前記容器本体の内側底部近傍まで伸びる液体通路を有する送液チューブと、前記内側キャップ本体の外側開口端を封止する封止部材であって、それを破断または除去することにより前記外側開口端を不可逆に開口することができる封止部材とを有する内側キャップ部材と、
   を具備してなる薬液用容器であって、
   前記容器本体に充填された薬液を排出させるために、送液用配管と気体導入用配管とを有するプラグを前記内側キャップ部材に接続する際に、前記内側キャップ本体の内側中空部にある、前記送液チューブの末端に、前記封止部材を破断または除去して挿入される前記送液用配管の先端部と接続可能なヘッダ部が設けられ、かつ前記内側キャップ部材が前記気体導入用配管から流入する気体を前記容器内に通過させる導孔を有している
   ことを特徴とする、薬液用容器。
5. 前記封止部材が、破断可能または除去加工なフィルム状封止部材である、請求項４に記載の薬液用容器。
6. 前記開口部の外周に嵌合し、前記フィルム状封止部材を保護する外側容器キャップをさらに具備してなる、請求項５に記載の薬液用容器。
7. 前記フィルム状封止部材が、ポリエチレンまたはポリプロピレンからなるものである、請求項４〜６のいずれか１項に記載の薬液用容器。

Images