CN104925413A - 一种实时检测集液罐液位系统及检测方法 - Google Patents

一种实时检测集液罐液位系统及检测方法 Download PDF

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胡可绿
何雅彬
解毅
王华钧
忻圣波
郑修锋
朱义党
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    • B65D90/00Component parts, details or accessories for large containers
    • B65D90/48Arrangements of indicating or measuring devices

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明公开了一种实时检测集液罐液位系统,包含:液位传感器,其位于集液罐内;加工机台,其与液位传感器相连;设备自动化系统,其与加工机台相连;液位传感器采集集液罐已空信号经由加工机台传送至设备自动化系统,设备自动化系统发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。本发明可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。

Description

一种实时检测集液罐液位系统及检测方法
技术领域
本发明涉及半导体中双储罐液体补充系统,特别涉及一种实时检测集液罐液位系统及检测方法。
背景技术
双储罐液体补充系统有包含处理罐、集液罐,当处理罐内的液体低时,集液罐自动将液体输送至处理罐中,最终集液罐将会空置,这时我们需要更换一个新的集液罐,但是我们不能准确及时的检测出集液管空置的工况。
发明内容
本发明的目的是提供一种实时检测集液罐液位系统及检测方法,可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。
为了实现以上目的,本发明是通过以下技术方案实现的:
一种实时检测集液罐液位系统,其特点是,包含:
液位传感器,其位于集液罐内;
加工机台,其与液位传感器相连;
设备自动化系统,其与加工机台相连;
所述的液位传感器采集集液罐已空信号经由加工机台传送至设备自动化系统,所述的设备自动化系统发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
一种利用上述的实时检测集液罐液位系统的检测方法,其特点是,该方法包含:
液位传感器采集集液罐已空信号;
加工机台接收集液罐已空信号并将集液罐已空信号传输到设备自动化系统;
设备自动化系统发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
本发明与现有技术相比,具有以下优点:
本发明可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。
附图说明
图1为本发明一种一种实时检测集液罐液位系统的系统框图。
具体实施方式
以下结合附图,通过详细说明一个较佳的具体实施例,对本发明做进一步阐述。
如图1所示,一种实时检测集液罐液位系统,包含:液位传感器1,其位于集液罐内,本实施例中液位传感器型号为CSHQ77-ZQ-YW;加工机台2,其与液位传感器1相连;设备自动化系统3(EAP),其与加工机台2相连;所述的液位传感器1采集集液罐已空信号经由加工机台2传送至设备自动化系统3,所述的设备自动化系统3发送集液罐已空的警告信号到加工机台2上,使得加工机台2停止。
一种利用上述的实时检测集液罐液位系统的检测方法,该方法包含:
液位传感器1采集集液罐已空信号;
加工机台2接收集液罐已空信号并将集液罐已空信号传输到设备自动化系统;
设备自动化系统3发送集液罐已空的警告信号到加工机台2上,使得加工机台2停止,并且控制停止下一道工序。
综上所述,本发明一种实时检测集液罐液位系统及检测方法,可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍,但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后,对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此,本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (2)

1.一种实时检测集液罐液位系统,其特征在于,包含:
液位传感器,其位于集液罐内;
加工机台,其与液位传感器相连;
设备自动化系统,其与加工机台相连;
所述的液位传感器采集集液罐已空信号经由加工机台传送至设备自动化系统,所述的设备自动化系统发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
2.一种利用如权利要求1所述的实时检测集液罐液位系统的检测方法,其特征在于,该方法包含:
液位传感器采集集液罐已空信号;
加工机台接收集液罐已空信号并将集液罐已空信号传输到设备自动化系统;
设备自动化系统发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
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