TWI305689B - Contactor for electronic parts and a contact method - Google Patents

Description

1305689 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 發明領域 5 轉明係有關於—種用於電子零件之接觸件，更詳言 5之，係有關於—種用於電子零件之接觸件，其使用於電; 零件之特性測試，例如半導體積體電路裝置，以及使用此 接觸件之接觸方法。 C 前冬好；3 發明背景 10 近年來，已朝向微型化、厚度減小及重量減輕之可攜 式電子設備（電話、照相機、個人電腦等）發展，且亦對 構成此可攜式電子設備的電路之半導體積體電路裝置（以 下是以1C來表示）朝向性能的改良、微型化及高整合性發 展。在許多例子中，作為一1(:封裝的形式，可使用—球閘 15陣列封裝（BGA )式，其具有較小間距的端子以節省空間。 此外，於高性能CPU或網路設備（伺服器或操作台） 的領域中，需要高速操作。因此，即需要藉内部電路的高 度整合改善處理速度，如此造成電力消耗的增加。 如1C封裝的形式中，需要許多的輸入與輪出電極及電 20力用電極，且亦有將許多電極設置於有限空間内之需求。 因此’ B G A式封裝因具有較多數量的插針可用以許多情形。 1C於製程中的裝運之前需進行最後的檢查工作，且將 最後檢查工作中判定為良品的1(：運送。於此最後檢查工作 中，使用一 1C檢驗器來進行特性檢驗而供應電力及來自該 5 1305689 ic檢驗器的電子訊號以作判定IC的好壞。一接觸件如1(：插 座可使用來作為連接1C與該1C檢驗器之界面。1C可經由接 觸件與該1C檢驗器連接，且可再連接於該IC檢驗器的電子 檢驗電路。 5 一種習用接觸件之例示如第1圖所示。第2圖是第1圖所 示該接觸件的部分放大圖。 該接觸件包含數接觸件1與1(：的端子接觸。該等接觸件 1配置於一基底2内，且該基底2固定於一基板3上。 一蓋體4配置於該基底2的上部。該蓋體4内設有—開口 1〇以納置1C。藉由將1C納置於該蓋體4的開口内及推壓甿的背 面’該1C的電極可與該等接觸件丨相接觸，以達到導電效果。 作為各接觸件卜例如第2圖所示，通常是使用—探針 結合-螺旋彈簧而成。吾人需注意的是第2圖所示是將該蓋 體4 ,略。 15 該等接觸件1是併入於該基底2内，以致於該等接觸件！ 的第二接觸料於-連續加壓狀料可與該基板3的端子 3a相接觸 該IC5的檢驗及測量工作是當使該IC5的電極端子減 =接觸件i的第-接觸部相接觸，且使電極端子^推鼓 4接觸件㈣達到的電接觸時進行。各接觸件 =，其包含一螺旋彈簧，以致於藉該彈簧機構: 無力可達到適當接觸壓力。 。第3圖所示的習 而是將一接觸銷6 第3圖顯示另一種習用接觸件的部分 用接觸件並沒有如螺旋彈簧之彈簧機構， 20 1305689

本身是—以f折彈簧所構成之探針。該接觸鎖6本身 以可彈性變形來產生接觸壓力。 U 亦即’销狀接觸鎖6的„端61)固定於該基板3，且一 接觸部設置於另一戚卜，以鉍认木Μ 知上以致於當將1C5的電極端子5a與該 接觸部6a接觸且將其推靠於該接觸部如時該接觸銷6會彈 性幫折，以藉-彈性回復力產生該電極端子％與該接觸部 6a之間的接觸壓力。 吾人需注意的是該接觸銷6的_端61)插入於該基板祕 10 接 穿孔内，且可與該穿孔内一導電層（未示於圖中）電連 〇 第4圖是顯示習用接觸件的另—種形式。於第4圖所示 之習用接觸件中，一導板7是受於一基底2上的一桿體9與配 設於該桿體9上的一螺旋彈簧8所彈性支撐。該桿體9貫穿一 導板7且插入於該基底2内。根據此構形及配置，該導板7可 15相對於該基底2以—垂直方向（如圖中之箭頭所指）移動。 接觸件被直立支持於該基底2上之第„接觸部u插入 於該導板7的孔内且連接於電極端子導部卯。各孔的内徑大 於該等接觸件1的各第一接觸部1&的外徑以及各電極端子 導部90者。 2〇 於具有上述構造之接觸件中，該IC5的電極端子5a與該 等接觸件1的第一接觸部la之間的電連接可由以下所達到。 首先，將固持該IC5的一 1C固持推壓部22移動，以使該 勺電極知子5a貫貝上定位於该等電極端子導部9〇上 方。然後，將以該1C固持推壓部22的固持力取消且使該IC5 !3〇5689 2重力落下以使該IC5的電極端子5晴入對應 子導部90内。 而 該IC5的電極端子以利用重力滑入於該等電極端子導 内’且該等電極端子5a被帶至與對應的第-接觸部la

%咏化因付雅壓邵22或其他推壓夾具推/ h 5㈣等電極端子5a減該等接觸件1的第一接觸4 :。藉此’可根據該螺旋彈簧8及結合於該等接觸件响 =機構之彈力，達的接觸壓力，且可達到該奶的1 玉端子5a與該等接觸件i的第一接觸部ia之間的電連接。 10

ά於每—種習用接觸件例子中，該第-接觸部U或接觸 美的變形方向是受限於僅在實f上與被推壓方向相同的 向（圖中所7F疋在構造的垂直方向），且此變形僅容許在 =應於相對於與被推壓方向不同之方向（圖中所示是在構 造的橫向方向或水平方向）的組裝公差之距離。 因發展電子零件的性能及微型化之改良，例如上述

lc，需增加數端子及縮小端子之間的節距。因此，要將IC 所有端子帶至與—接觸件中對應的接觸件以適#定位關係 轾觸會變得困難。 亦即，若試著要將接觸件的數接觸件配置於對應10的 電極端子Μ聽時，就的各電_子無純合對應的 ^觸件，此是®接觸件的位置會有誤差且職電極端子亦 曰有誤差。據此，將難以達到良好的接觸且要進行所要的 電性檢驗亦可能產生困難。 8 1305689 具體而言，該等電極端子的大部分會與對應接觸件的 接觸部以低接觸阻力接觸，而該等電極端子的一部分被帶 至與該等接觸件的接觸部於遠離其中心之位置處，此曰因 1C的電極端子及接觸件的數接觸件的位置誤差之故，如此 - 5所造成的問題是該接觸件僅能達到低接觸阻力之狀態。 • 儘管藉由增加該接觸件的接觸部面積可減輕所需的位 置精確度，然而因為使1C的電極端子的節距進一步減小是 ^ 實際發展的趨勢。 疋 此外，第1 2及3_所㈣探針型錢觸件的接觸部僅以 10垂直方向移動（縱向方向而難以移動於一水平方向 向方向）。 頁 為此原因，即使IC的電極端子的中心及該接觸件的接 觸部的中心不耦合時，於此狀態時必須形成接觸。需考慮 的是該等接觸件可被移動而須藉影像辨識來準確辨識電極 15端子的位置，實在難以藉個別移動各接觸件來形成定位。 • 此外，於第4圖所示的構造中，細5的重量很小，則 可能因該1C5與該等電極端子導物之間的摩擦使得該心 1 停止於落下途中’而無法僅藉由重力落到終點。於此情況， - 料IC5在該IC5個重力落下之後藉顧持推壓部22強力 2 〇推壓，則該等電極端子Sa可能會因對該等電極端子使力 3 以完成與該等第-接觸部la接觸之壓力而損壞，而不管該 4 等電極端子5a與該等電極端子導部9〇或該等第一接觸部ia 之間是否未對準。 5 此外，當使们利用重力落下時，該奶會自該固持推 1305689 壓部22鬆釋且使其落下以使該IC5的電極端子5a經由該等 %極鳊子導部9〇與該等第一接觸部la接觸，其需要一預定 洛下時程。此落下時程耗費時間，且可能造成工作效率的 不良影響。 5 此外，當在非為從一晶圓個別處理的一晶片，而是數 ' 裝置（晶片）相互連接，例如於一晶圓級晶片尺寸構裝 (wafer-levei CSP(Chip Size package))或一晶圓凸塊伽叫 參 wafer)上的狀態所進行的调m量測時，由於數相互連接的裝 置之尺寸與重I較大於一接觸件，因此於第4圖所示的構造 10中難以將该等裝置的電極端子藉由移動該等裝置而定位於 該等電極端子導部90或該等第—接觸部la。 再者，儘管該等數裝置的接觸電極的位置可能沒有對 齊，各連接的裝置無法被相對於該等接觸件〗的第一接觸部 la個別移動。因此，根據移動該裝置側之定位，可能使其 15中之一的該等接觸件i的第一接觸部u準確地定位但是仍 # 無法避免其他接觸件！的第-接觸部1&無法對__1 此，難以藉由準確定位數裝置的所有電極端子於該等接觸 . 件1的第一接觸部la而形成電接觸。 — 此外，對於具有兩側或更多的端子面之裝置，例如封 20裝層疊（P〇P(Package On package))等，由於該裝置在—曰上 接觸件被定位於其中-側上的電極端子之後即益銘 動，因此該裝置另-側上的電極端子即無法準確地定位於 其他接觸件。 ' 【發明内容】 !3〇5689 •本發明的大致目的在於提供一種改 電子零件之接觸件及接觸方法，以克服々式且有用之用於 本發明的更特定目的在、問題。 觸件及接觸方法，其可用於電子零件之接 極端子，提供適當及—致的接觸效果。W如—1C的數電 為達到上述目的，根據本發明的 於電子零件之接觸件，其構形是可對—番點，提供-種用 10 端子形成電連接，包括：數接觸構件子零件的數電極 部於—端上，及一第二接觸部於另―蠕上具有—第—接觸 具有-凹部，可納置該電子零件的 ’該第一接觸部 f底，其可納置及支撐該等數接觸構件:::端子，·及-部是可以水平方向移動。 、中5亥第一接觸 15 除此之外，根據本發明的另—特點 子零件之接觸件，其構形是可對-電子零於電 ::上所設置的數電極端子形成電連接，包括:4表* 觸件，其構形成可與設置於該電子零件 ^接 的電極端子形成接觸，該第_接觸件包面上 20 —八有第一接觸部於一端上，及一第二接毒 、上，該第一接觸部具有一 挪另 其中-第一電極端子；及—第一二广=置该電子零件的 等第-接觸構件，其中^ —_其可納置及切該 動，及-弟二接觸件，其構形成可與:移 —主要表面上的電極端子形成接觸，該第二接觸另 11 !3〇5689 數第—接觸構件，各呈 —_ ^ 八 弟二接觸部於~端上，及—第 四接觸。P於另一端上， 弟 弟一接觸4具有一凹部，可納置 及電子零件的其中—第二電極端子；及—第二基底，= 納置及支禮兮笙笸_拉 土—’、可 與朝向件，其中該第三接觸部是可以 方向移動。科的—第二電極端子的方向實質上垂直之

除此之外’根據本發明的另—柱赴ig 電子零件的電極料^ 形成與 + Μ電糾子電連接之接觸方法，包括：推壓 :=靠於數接觸構件的接觸部内之凹部上，以藉由此 六作產生的推壓力之—分力來移動該等接觸部，此分 疋如與該推壓力的方向實質上垂直之方向；及將該等 -極端子容納於鱗凹部内，以使各電極端子於橫向方向 的中^與3亥等接觸部的對應凹部的中心對齊。 ^ 15

20 _進步地，根據本發明的另一特點，提供一種形成與 ^零件的Μ極端子電連接之賴方法，鱗電極端子 L又置於錢子零件的二主要表面上，該接觸方法包括： (又置於該電子零件其中—主要表面上之電極端子靠於 數第-接觸構件的第—接觸部内之第一凹部上，以藉由此 推，動作產生的推壓力之—分力來移動該等接觸部，此分 力疋朝向與雜壓力的方向實質上垂直之方向；將該等電 極端子容納於該等第—凹部内，以使各電極端子的中心與 專第接觸。p的對應第一凹部的中心對齊；推壓設置於 β亥電子令件另—主要表面上之電極端子靠於數第二接觸構 件的第二接觸部内之第二凹部上，以藉由此推壓動作產生 12 1305689 的推壓力之一分力來移動該等第二接觸部，此分力是朝向 與該推壓力的方向實質上垂直之方向；及將該等電極端子 容納於該等第二凹部内，以使各電極端子於橫向方向上的 中心與該等第二接觸部的對應第二凹部的中心對齊。 5 如上所述，根據本發明，即可對一電子零件，例如一 1C的數電極端子，形成適當及一致的接觸效果。 本發明的其他目的、特徵及優點將可由以下詳細說明 並同時配合參考圖式而得以瞭解。 圖式簡單說明 10 第1圖是一種習用接觸件之透視圖； 第2圖是第1圖所示接觸件的部分之放大橫剖圖； 第3圖是另一種習用接觸件之橫剖圖； 第4圖是另一種習用接觸件的部分之橫剖圖； 第5圖是根據本發明第一實施例的接觸件的整體構造 15 之透視圖； 第6圖是接觸件在將1C附接之前的狀態之橫剖圖； 第7圖是用以說明第6圖所示中1C的電極端子與接觸件 的數接觸件的接觸部之間的位置關係之示圖； 第8圖是接觸件於IC的電極端子與該等接觸件接觸時 20 的狀態之橫剖圖； 第9圖是用以說明第8圖所示中1C的電極端子與接觸件 的數接觸件的接觸部之間的位置關係之示圖； 第1 〇圖是接觸件於IC的電極端子與該等接觸件完全接 觸時的狀態之橫剖圖； 13 1305689 第11圖是用以說明第10圖所示中1C的電極端子與接觸 件的數接觸件的接觸部之間的位置關係之示圖； 第12圖是接觸件於與ic完全結合的狀態之橫剖圖； 第13圖是根據本發明第二實施例的接觸件之透視圖； 5 第14圖是根據本發明第二實施例的接觸件之橫剖圖； 第15圖是用以說明第14圖中一導板的功能之示圖； 第16圖是根據本發明第三實施例的接觸件之透視圖； 第17A及17B圖是一第一接觸部的變化圖； 第18A及18B圖是一第一接觸部的變化圖； 10 第19A及19B圖是一第一接觸部的變化圖； 第20圖是根據本發明第四實施例的接觸件，在形成接 觸之前的狀態之橫剖圖； 第21圖是根據本發明第四實施例的接觸件，在形成接 觸之後的狀態之橫剖圖； 15 第22圖是顯示當接觸作業起動時一接觸件相對於一電 極端子的位置之示圖； 第23圖是顯示於接觸作業完成的狀態時接觸件相對於 電極端子的位置之示圖； 第24圖是一上側接觸件的數接觸件以探針式接觸件所 20取代時的一例示之橫剖圖； 第25圖是顯示一基底向下移動且將一接觸件與—π的 上側一電極端子接觸時的狀態之示圖； 第26圖是顯示電極端子伸入該第一接觸部内之示圖· 第27圖是顯示將一基板的一端子與一接觸件的—第一 14 1305689 接觸部接觸且完成接觸時的狀態之示圖. 第28圖是將用以納置-探針式接觸件的一穿孔放大的 一例示之示圖； 第29圖是顯示被第27圖所示的探針式接觸件移動之一 5第一接觸部的接觸位置被偏斜的構造之示圖； ‘ f 30圖是將用以插設-下基底的桿體於内的一穿孔内 徑放大的一例示之示圖； f 31圖是根據本發明第五實施例的接觸件於ic附接之 前的狀態之橫剖圖； 10 帛32圖是用以說明1C的電極端子與第31圖所示之電極 端子導孔及第一接觸部之間的位置關係圖； 第33圖是該接觸件於〗〇的電極端子與電極端子導孔的 内表面接觸的狀態之橫剖圖； 第34圖是用以說明第33圖所示Ic的電極端子與電極端 15 子導孔之間的位置關係圖； . ㈣岐該接锻於IC的電極料容置於電極端子導 孔内的狀態之橫剖圖； 第36圖是用以說明1(：的電極端子與第35圖所示之電極 端子導孔及第一接觸部之間的位置關係圖； 20 第37圖是該接觸件於IC的電極端子完全與接觸件接觸 的狀態之橫剖圖； 第38圖是用以說明第37圖所示IC的電極端子與接觸件 的第一接觸部之間的位置關係圖； 第39圖是該接觸件於IC完全結合的狀態之橫剖圖； 15 1305689 第40圖是用以說明第39圖 觸部之間的位置關係圖； 所示1C的電極端子與第/接 第41圖疋顯示電極端子導孔的變化例之橫剖圖； 第4 2圖是根據本發明第六實施例的接觸件之橫剖圖； 第43圖是根據本發明第七實施例的接觸件於襄載/lC 的狀態之橫剖圖； 第44圖是顯示1C下表面上該等電極端子被設定於下側 接觸件的狀態之示圖； 第45圖是顯示該等電極端子與形成於—上側接觸件的 1〇電極端子導孔接觸的狀態之示圖； 第46圖是顯示形成於一上側接觸件的電極端子導孔反 應電極端子的位置而移動的狀悲之示圖； 第47圖是顯示設於上側及下側接觸件的電極端子的位 置與接觸件的位置相互對齊的狀態之示圖；及 15 第48圖是顯示於上側接觸件與下側接觸件形成接觸之 後的狀態之橫剖圖。 【實施方式】 較佳實施例之詳細說明 茲將根據本發明的實施例，配合參考圖式詳細說明於 20 后。 首先，參考第5圖至第12圖所示，將根據本發明第一實 施例，詳細說明一接觸件。第5圖顯不根據本發明第—實施 例的接觸件10的整體構造。 根據本發明第一實施例的接觸件比包含數接觸件u , 16 1305689 其可與一半導體積體電路裝置（以下稱為ic)的外部連接 電極端子接觸，作為一電子零件。該等接觸件^配置於一 基底12上，且一蓋體設置於該基底12的上部内。 蓋體14上形成一開口，以供作為電子零件的一IC15(如 5第6圖所示）插設於内。IC15容置於該蓋體14的開口内，使 形成有電極端子15a的表面面向下。該等電極端子藉由 推壓該IC15經由該蓋體14可與該等接觸件丨丨接觸，以達到 電接觸作用。 該基底12宜以塑膠材質所形成，例如可用液晶聚合體 10 (LCP)、聚醯胺樹脂或聚醚醚酮(PEEK)。亦可使用如為絕緣 基質的基板13,例如陶瓷基板、環氧玻璃基板或其類似物。 固持該等接觸件11之該基底12是被數垂直設置於該基 板13上的桿體20可以一垂直方向移動地支撐。 第6圖是顯示該接觸件1〇於容置有1〇5之前的狀態。第 15 7圖則疋顯不該IC15的電極端子15a與該接觸件川上接觸件 11的接觸部11a之間的位置關係。 如第6圖所示，各接觸件U包含—接觸銷Uc及一第一 接觸部iu設置於相對接觸銷llc的上部。該接觸鎖uc的下 端作為第二接觸部iib，其可與形成且配置於該基板13上的 2〇端子13a接觸。該接觸銷llc事先彎折成肘狀以當被從兩端 推壓時可輕易變形。 儘管該接觸鎖η宜以-具導電性的彈性材質形成，例 如鑛金鈹銅合金。亦可使用其他材質，例如金合金、銘基 合金或鈀基合金。 17 1305689 於上述構造中，數桿體2〇設置以自該基板13垂直延 伸，且螺旋彈簧21分別配繞於該等桿體2〇上。該基底^具 有穿孔12A於對應該等桿體2〇的位置處。該等桿體2〇分別插 入於該等穿孔12A内，以致於該基底12被該等螺旋彈簧以 5彈性支撐°於—卸載航時，縣底12被該等螺旋彈簧21 支撐且固持於與該基板13分離的位置處。 各接觸件11的接觸部lla是容置於形成在該基底12上 的接觸°卩孔12a内，且該接觸銷iic是容置於一接觸銷孔 12b内 隔離壁部12c s史置於該接觸部孔12a與該接觸銷孔 10 i2b之間。一連接孔12d形成於該隔離壁部12c内。該連接孔 12c的内徑小於該接觸件η的第一接觸部Ua的外徑，但大 於該接觸鎖11C的外徑。 除此之外，該接觸銷孔12b是形成具有較大空間，以容 許該接觸銷lie變形、彎曲或旋轉。據此，藉將該接觸件^ 15的接觸銷1 lc從該接觸部孔12a的側部經由該連接孔12d插 入於該接觸銷孔12b内，將該接觸銷lie容置於該接觸銷孔 12b内，且將該第一接觸部lla容置於該接觸部孔12a内。該 接觸銷lie的長度是設定成使該第二接觸部llb的預定長度 可凸伸出該接觸銷孔12b。 20 在此，該接觸部孔12a(供該接觸件11的第一接觸部lla 容置於内）的内徑是設定成較大於該第一接觸部的外徑 大。因此，可於該第一接觸部lla的外表面與該接觸部孔i2a 的内表面之間提供充分大的間隙，其較大於因尺寸公差所 形成的間隙。據此’於圖中所示的狀態時，該第一接觸部 18 1305689 11a可於該接觸部孔l2a中以—橫向方向移動。 5

10 亦即’如圖所示’當要測試的IC15被預設成於該接觸 鎖11c延伸的方向日| 實質上與―推壓方向垂直（於圖中 所不狀狀-橫向方向）之—分力產生於該接觸銷Uc的第 接觸部11a上’則該第_接觸部他會以一橫向方向移 動。據此’根據該接觸件11因該第-接觸部11a的移動而自 動對背作帛’將可達到該第—接觸部lla與要測試的之 間的定位’亦即，達到對中心處理。 該IC15的電極端子15a概為球狀或半球狀電極端子，以 焊料球或類似物_彡成。該等焊料球納置於形成在該第一 接觸部11a的端面（頂面）上之圓錐凹部内，且其表面與該 等凹部的尖_面_。據此，若該IC15崎電極端子… 之間間距配置並不均勻時，則由於本發明的功效仍可毫無 問題地形成接觸。 亦即，舉例來說，如第9圖所示，從三電極端子15a之 中，該電極端子l5aa實質上與該對應的第—接觸件心的 位置相同，但中央的電極端子15ab些微偏離到該電極端子 —側，且相對於該對應的接觸件n的第-接觸部㈣偏 離到左側。據此，右側上的電極端子15狀是偏離於該對應 2〇的接觸件11的第一接觸部llac之位置。 亦即，於該IC15的電極端子15a被帶至與該等接觸件“ 的第-接觸部接觸之階段時，該數電極端子…與該數接觸 部11a之間的位置關係與接觸狀況相互不同。 根據本發明實施例的構造，若該IC15被進—步向下移 19 1305689 動時，如第10及11圖所示，則該數電極端子15a被納置於該 等個別第-接觸部lla的圓錐凹部内。此係因如上所述，該 等第-接觸部11a可以與要測試的IC15被推壓的方向呈實 負上垂直之方向移動。亦即’右側上對應於該電極端子心 5的該第一接觸部Uac會向右移動，此係因該電極端子15ac 施加於該圓錐凹部的内面上的推力之橫向方向分力所致。 據此’該電極端子15ac可被該第一接觸部心的圓錐凹部 容納。 同理，中央處對應於該電極端子15ab的該第一接觸部 10 llab亦會向左移動，此係因該電極端子I5ab施加於該圓錐 凹部的内面上的推力之橫向方向分力所致。據此，該電極 知子15ab可被該第一接觸部丨丨北的圓錐凹部容納 亦即，該數電極端子15a的個別位置偏離可藉對應的第 一接觸部lla所吸收，且各電極端子15a被個別圓錐凹部適 15當地容納。據此，要測試的IC15的所有電極端子15a之位置 皆可配合於該接觸件1〇的第一接觸部lla，如此可達到所有 電極端子15a的良好接觸狀況。 納置於凹部内的各電極端子15a被帶至與對應的第— 接觸件lla的圓錐凹部之内表面接觸，其中該1匸15的電極端 子15a的外开》之橫向方向（寬度方向）上的中心軸配合於 5亥第一接觸件lla的圓錐凹部的橫向方向（直徑方向）上的 中、輛。因此，根據本發明實施例，可產生無點接觸狀況， 如此達到較低接觸阻力之接觸效果。 如上所述，能使該第一接觸部lla移動者，亦即對中功 20 1305689 月匕，是在於該接觸件丨丨被該基底12容置且支撐，藉將該接 觸件11的第一電極部lla外徑與該基底12的接觸件孔12b内 杈之間的差距有意地設定成較大尺寸，俾以提供相對於該 接觸件11之移動自由度。 5 必須注意的是，如第10及11圖所示的狀態，該接觸件 U的接觸銷11c端部之第二接觸部llb並不與設置於該基板 13上的端子13a接觸，且具有很大的自由度。因此，該接觸 件11的移動自由度很大，如此使該第一接觸部lla容易以水 平方向移動。據此，若該接觸銷llc端部之第二接觸部nb 10與該舒13a制時，該制件n可與—作為支撐點的接觸 部移動，藉以維持該接觸件11的移動自由度。 藉由將該IC15從第10及11圖所示的狀態進—步向下移 動，該等彈簧21被經由該IC15的推力壓縮，且該基底12向 下移動。之後，如第11圖所示，該等接觸件u的第二部最 15後會與設置於該基板13上的端子13a接觸，且藉此，該扣15 會與該基板13電接觸。於第12圖所示的狀態，電力及電子 訊號可經由該基板供應，以進行該扣15的最後測試工作（電 測試）。 如上所述，根據本發明實施例，當_雷早吩从 屯卞芩件，例如 2〇 — 1C的端子被與一測試裝置的接觸件接觸時，該等接觸件 會反應於一推力被移動至適當位置，如此可達到自動對 功能。據此，本發明實施例可應用於以小節甜 | n 罝的電極 端子上’而無須使用複雜的對中機構或類似物。 精此’該 測試裝置的接觸件可與電子零件的所有端子作良好妾 21 1305689 觸，如此可達到電子零件的良好電測試工作。 以下將配合參考第13至15圖，詳細說明本發明的第二 實施例。第13圖是根據本發明第二實施例的接觸件3〇之透 視圖。第14圖是根據本發明第二實施例該接觸件3〇之橫剖 5圖。於第13及14圖，對應於第5及6圖的部件以相同標號表 示，且將省略詳細説明。 根據第二實施例的接觸件30於該基底12上並不設有接 觸部孔12a ’取而代之者’如第12及13圖所示，將一導板32 設置於該基底12上方。該導板32定位於該基底12與蓋體14 1〇 之間，且可以一橫向方向移動。 接觸部孔3 2 a是根據於設置在該基底丨2上的接觸銷孔 12b而設置於該導板32上。因此，該等接觸部孔32a是根據 於該等接觸件11的接觸部11a設置。 於根據上述第一實施例的接觸件中，各接觸部孔12a大 15於各接觸部lla ,且當該等第一接觸部11a是位於該等接觸 部孔12a任意位置時，該等電極端子15a的位置與該等接觸 件11的第一接觸部lla的位置於接觸起始狀態時會大幅度 地變動。若該等位置的偏離量極大時，則可能會使該等電 極端子15a無法被該等第一接觸部ila的圓錐凹部所容納。 20 另一方面，於根據本實施例的接觸件30中，該導板於 起始階段時，亦即在要測試的IC15被納置之前，是被以一 方向（第15圖的向右方向）移動一預定距離，以建立一對 齊狀態’其中該數第一接觸部被以一方向（該導板32被移 動的方向）略為移動。於此狀態時，該數第一接觸部丨丨a是 22 !305689 根據於該導板32上接觸部孔32a的位置配置，藉以修正該等 位置的分散。 然後，該導板32被以與上述方向相反的方向（第15圖 的向左方向）略為移動，以移動於一預定位置處，俾以建 5立-狀態’其中各第一接觸部na並不與該第一接觸部所容 . 、納的該接觸部孔32a的内表面接觸。藉此，該等第—接觸部 11a可於料板32的接騎孔似㈣任何橫向方向移動。 • 其後，欲測試1C15被向下移動以將其容置於該開口 内’且該等電極端子15a被帶至與對應的第-接觸部lla接 W觸。此時’各電極端子15a與已適當配置之對應的第一接觸 部lla對齊。當該IC15進一步向下移動時，各接觸部心根 據對應的電極端子15a的位置移動，藉以將該等電極端子 15a納置於圓錐凹部内。 必須注意的是，用於該導板以與起始狀態的方向相反 15的方向移動之計時可為當IC15的電極端子15a被移動一位 _ 置或接賴等電極端子15碰帶至與料第-接觸部lla接 觸之位置^的時間’如第8圖所示。除此之外，該導板32於 ' 起始1^又時的移動量可適意地決定，該移動的最後位置可 設定於七轉細件Ue與縣底絕壁部仏形成接 , 20 觸時的時間。 以下將配合參考第16圖，詳細說明根據本發明的第三 實施例之接觸件。 根據第二實施例之該接觸件40具有一致動器42，其對 該基底12施予一震動。舉例來說，該致動器42是由一超音 23 1305689 波震動器或一機械震動器構成。該致動器42是從當欲測試 IC15的電極端子15a開始與該等接觸件u的第一接觸部丨^ 形成接觸時及細建立最後的賤狀H為止作動-段時 .間’以可對該基底12施予一震動。 由於基底被震動，該等第一接觸部lla亦被震動。藉 • 此’該等第一接觸部山與該基底12之間的摩擦係數會明 ‘4降低’且轉第—接觸部Ua會變得更容易移動。亦即， • 精由對該基底12施予震動，可根據該等第一接觸部山與 該等電極端子15a之間的自動對齊而更容易進行定位，且 10更容易將該等電極端子15a容納於該等第一接觸部山。 該致動器42.亦可應用於上述第一及第二實施例十。 於上述第—至第三實施例，設置於該等第-接觸部lla 之各凹部是呈圓錐狀。然而’該凹部的形狀並不限制為圓 錐狀’任何其他的形狀，可容納該等電極端子且給予對中 15 功能者皆可使用。 牛例來說’如冑17A及17B圖所示，該凹部可具有一 形式’其中在—圓錐凹部的環周上設有緣邊。第17八圖； 〆第接觸#1 la-Ι的透視圖，及第17B圖是該第—接角 部lla-1的橫剖圖。 20 除此之外’如第m及18β圖所示，該凹部可具有 置四凸部各具有_斜面的形式。第18a圖是該第—接觸 山―2的透視圖’及第⑽圖是該第一接觸部lla_2的橫 再者’如第19A及⑽圖所示’該凹部可具有以二個 24 1305689 四分之一圓以相反位置互相層疊的形式。第19A圖是該第 一接觸部lla_3的透視圖，及第19B圖是該第一接觸部 1 la-3的橫杳彳圖。 如上所述，藉由將設置於該第一接觸部lla的凹部形成 5為可容易容納該電極端子的形狀，各接觸件可個別地移動 以相對不對齊的電極端子作位置修正，藉以在對於所有電 極端子形成準確定位的狀態時達到二者的接觸。 以下將配合參考第20及21圖，詳細說明根據本發明的 第四實施例。 10 根據本發明的第四實施例的接觸件50是一種用以形成 與一電子零件如一ic之接觸的接觸件，該IC設有電極端子 於一頂面與一底面（一前面及一背面）二者上，例如一封 裝層疊（POP(Package On Package))。 第2 0圖是顯示該接觸件5 0在形成與欲測試〗c接觸之前 15的狀悲。第21圖是顯示該接觸件50在形成與欲測試1C接觸 之後的狀態。 於第20圖所示的接觸件的構造中，一下側接觸件5〇八， 其是與欲測試IC16底面上的電極端子16a形成接觸，具有與 上述第一實施例的接觸件1〇相同的構造。該下側接觸件5〇a 2〇包含接觸件51A、一基底52A、一基板53A，及一蓋體54。 於該接觸件的構造中，除了上述下側接觸件5〇A外，另 具有一上側接觸件50B，其與欲測試1〇6頂面上的電極端子 麻形成接觸。相似於上述下側接觸件5〇A，該上側接觸件 50B的一基底52B是被自一基板53B垂直延伸之桿體犯所導 25 1305689 引，且被彈簧63可以朝上及朝下方向移動地支撐。 該上側接觸件50B的各接觸件51B包含一第三接觸部 51Ba於底側上、一軸環部51Bd形成於該第三接觸部51]^的 上端部上，及一接觸銷51Bc自該軸環部51Bd向上延伸。該 5接觸銷51BcS形成為一肘狀以可易於彎折，且其一極端（上 端）51Bb提供作為一第四接觸部。 該軸環部51Bd及該接觸銷51Bc納置於該基底52B上所 形成的一接觸銷孔52Ba内。該接觸銷孔52Ba的内徑大於該 軸環部51Bd的外徑’且—接觸部孔52Bb，其供該第三接觸 1〇部51BW#入於内，其内徑是設定為大於該第三接觸部51Ba 的外徑。 因此，類似於該下側接觸件5〇A的接觸件51A，該第三 接觸部51Ba是可於該接觸部孔52Bb内以橫向方向移動。亦 即，當與IC16的電極端子16b形成接觸時，該第三接觸部 15」1Ba可根據該電極端子邊的位置以橫向方向移動，且該等 電極端子16可被該圓錐凹部所容納。

藉由以該基底52B的隔絕壁528!3來支撐該接觸件51B 的軸環部51Bd，可固持該接觸件51B而不會從該基底52B掉 下。 2〇 &外，於上述接觸件50中，-接觸件機構設置繞於該 下側接觸件50A且繞於該上側接觸件5〇B，以可經由該上側 接觸件5〇B的基板53B與該下側接觸件5〇A的基板53A，形成 欲測41(：16的电極端子l6b與恤之間的電連接。設置繞於 該下側接觸件氣的接觸件機構包含—架形基底S6A及數 26 1305689 接觸件57，其各概呈肘狀。該架形基底湯設置於該基 53A上。各接觸件57容置於形成在該基底56a的—孔$心 内。設置繞於該上側接觸件則的接觸件機構包含—設置於 該基板53B内的架形基底56β，及受該基底所支撐的探 5 針58。 於》亥下側基板53A中，-電極53a延伸於該接觸件57的 一端（下端）57a。另一方面，具有圓錐凹部的接觸部π 6又置於§亥接觸件57的另一端上。 除此之外，於該上側基板53B中，一導電圖案53Ba設 ίο置於相對於該基底52的—表面上。該導電圖案53Ba的一端 連接於該探針58，且另一端延伸至該接觸件51B的端部 51Bb。 於上述接觸件機構中，當該基板53B於欲測試1(：16容納 於該下側接觸件50A的蓋體54開口内之後被向下移動（下 15壓）時，該基底52B於起始階段亦向下移動。然而，當該等 桿體62的端部62A與該下側接觸件5〇A的蓋體54形成接觸 時，該基板53B、該基底56B及該探針58會向下移動而壓縮 該等彈簧63。在該基板536與該基底52B形成接觸之後，該 下側接觸件50A的基底52A會與該基板53B及該基底52B- 20起向下移動。在完成接觸之後，即可建立成如第20圖所示 的狀態。 當該上側接觸件50B向下移動且達到如第2〇圖所示的 接觸時，該上側接觸件5 〇 B的探針5 8下端是納置於該下側接 觸件50A的接觸件57的接觸部57c之圓錐凹部内。 27 1305689 因此，該上側接觸件50B的基板53B之電極配線與該下 側接觸件50A的基板53A之電極配線相互電連接。除此之 外這一電極配線可經由該等接觸件51A與該等接觸件51B 與該IC16的電極端子16a及16b電連接。據此，用以測試及 5驅動電力的電子訊號可同步提供至設在該1C於前面及背面 (頂及底面）的二表面上所形成的電極端子。 必須注意的是，用於測試及驅動電力的電子訊號之外 部連接端子（圖中未示）亦可設置於其中一基板53A及53B 上。 10 在此，將詳細說明藉由該下侧接觸件5 0 A及該上側接觸 件50B兩者提供的自動對齊所達到的對中功能之優點。 於在頂及底面（前及背面）二者上設有電極端子16a及 16b之IC16中，形成於底面上的電極端子16a及形成於頂面 上的電極端子16b宜成準確的對應位置關係。然而，因受影 15響例如該等電極端子16a及該等電極端子i6b是在不同製程 中形成’該位置關係可能會產生誤差。 即使如此’該等上側及下側接觸件的接觸件51A及接觸 件51B可分別移動至適當接觸位置以配合於對應的電極端 子16a及16b，且因此，可對於該等前及背面兩者的電極端 20子16a及16b達到適當的接觸狀況。 以下將配合參考第22及23圖，詳細說明定位及接觸狀 況。第22圖是顯示在該等接觸件51A及51B相對於設在欲測 試IC16的兩面的電極端子i6a及16b之接觸作業開始之前的 接觸狀態。 28 1305689 於欲測試IC16中，可能會有以下的情況，即設於其中 -主表面上的電極料16a及設於另—主表面上的電極端 子，其中心軸應相互對齊，兩者於製造過程時會相互形 成有-些微偏離或移位。於第η圖所示的狀態中，設於其 5中一主表面（底面）上的電極端子16a偏向右側，且設於另 一主表面（頂面）上的電極端子16b偏向左側。據此，在接 觸作業開始之前的狀態時，該電極端子他是相對於下側接 觸件中該接觸件51A的電極MAa偏向右側，而該電極端子 16b是相對於下側接觸件中該接觸件51B的電極5收偏向左 10 側。 於具上述電極端子構造的IC16經由該蓋體54的開口容 置於该下側接觸件51A内之後，藉由向下移動該上側接觸件 51B，可經由該接觸銷51B及該接觸部51Ba對該冚16施予一 下壓力。 15 根據因該上側接觸件的向下移動之壓力，一分力，其 會造成該接觸部51Aa移向右側，會產生在該下電極端子16a 與該對應的接觸部51Aa之間。另一方面，一分力，其會造 成該接觸部51Ba移向右側，會產生在該上電極端子16b與該 對應的接觸部51Ba之間。此二分力會同時產生。 10 根據該等分力’二接觸部51Aa及51Ba以橫向方向移 動，且因此，IC16的電極端子16a及16b被容置於該等接觸 件51A及51B的個別接觸部51Aa及51Ba的圓錐凹部内。此接 觸狀態顯示於第23圖。 亦即’根據本實施例，即使當欲測試1C的前及背面上 29 1305689 ttr的相對位置有些微的偏離時，該接觸件與該等 變其=軸接觸之接觸件可根據該㈣極端子移動以改 適當的接觸狀態。伙兩表面上的電極端子有效地達到

亦即’各電極端子，其被容置於該等圓錐凹部内並使 -中心軸與該等圓錐凹部的中心軸以自動對中方式對齊， 破帶至與對應接觸件的圓錐凹部於該圓錐凹部的表面的_ 連續概呈環狀區域接觸。據此，該等電極端子與該等接觸 件之間並無點接觸，如此可達到低阻力接觸。 10 。必須注意的是，儘管該等接觸件51A被該等彈簧61所支 2，且於起始階段時，亦即在形成接觸之前，相對於上述 實施例中該下顺觸件51A，是與縣板分離，然而該基底 5lA可成固定，以致於該上側接觸件5〇B僅可以垂直方向移 動於此情況時，該接觸件51A的第一接觸部5iAa可以一 15横向方向移動，以該第二接觸部51Ab提供作為一支撐點。 除此之外’儘管上述實施例中該下側接觸件5〇A及該上 側接觸件5 0 B中各接觸件是可以橫向方向移動，然而該等接 觸件以橫向方向的移動亦可於該下側接觸件50A及該上側 接觸件50B其中一者。 〇 舉例來說’若該IC16的數上電極端子16b較小或電極端 子16b之間的間距較大時’習用的接觸機構可使用於該上側 接觸件中，而無須使用該等接觸件51B的端部是可以橫向方 向移動之構造。

必須注意的是，可達到對中功能的構形，例如第17A 30 1305689 :圖所示的構形，可適意地選擇用於上述實施例中該接 5U的第一接觸部MAa及該接觸件训的第三接觸部 51Ba。 如上所述，根據本實施例，即使形成於上及下表面兩 、電極k子有不對齊情況時，仍可僅以將該等接觸件 推壓於該等電極端子上’藉使該等接觸件以水平方向移 動以董f於該等上及下表面兩者來進行自動對中作用。 必項注意的是，儘管已詳細說明電極端子形成於〗匸的 兩側上之例，本發明並不限制於此構造。亦即，本發明亦 可應用於當電極端子是形成於1C的多於三面上的情況。於 此情況，三接觸件可進行對中作用且可帶至與形成於該1C 各表面上的電極端子接觸。 以下將配合參考第24及25圖，詳細說明上述實施例中 «亥上側接觸件的另L第糊是顯示該上側接觸件 15 50B的接觸件51B以所謂探針式接觸件7〇所取代的例示。 於該接觸件70中，一螺旋彈簧7〇c設置於一第一接觸部 7〇a (對應於第2〇圖中的第三接觸部51Ba)與一第二接觸部 7〇b (對應於第20圖中的第四接觸部51Ba)之間，以致於因 該螺旋彈簧70c的伸縮該第一接觸部7〇a及該第二接觸部 20 70b可以一垂直方向（縱向方向）移動。 該螺旋彈簧7〇c容置於一彈簧容置部7〇d内，其是容置 於s亥基底52B上形成的一穿孔71内。該第二接觸部設有 一軸環部73，其外經大於該彈簧容置部7〇d的外徑，因此該 接觸件70可被該軸環部73支撐固持於該穿孔71内。 31 1305689 S亥穿孔71的内徑大於該彈簧容置部70d的外徑，且因 此’ §亥接觸件70可於該穿孔71以橫向方向移動。藉此，欲 測試IC16的電極端子鳩之定位及納置可輕易地達到。 必須注意的是，該電極端子16b的納置藉該穿孔71的一 5下端部（該接觸部他所安置之部位處）上設置一斜面W - 可更容易達到。

第25圖是顯示該基底52B向下移動且將該第—接觸部 鲁 /、C16的上電極端子16B接觸時的狀態。當該基底52B 從第25圖的狀態進—步向下移動時，該第-接觸部70a的圓 1〇錐凹部以-橫向方向（圖式的向左方向）移動，且之後， 該電極端子16b即可容納於該第一接觸部7〇a，如第％圖所 示。 當該基板53B被自第26圖所示的狀態進一步向下推壓 時，該基板53B的端子53Ba被帶至與該接觸件7〇的第二接觸 15部70b接觸，且即完成接觸作業。 • 以下將配合參考第28及29圖，詳細說明該探針式接觸 件應用於該下側接觸件50A時的情況。 ' ⑨第_中’設置於該下側基底82内之該探針式接觸 - 件80包含一第一接觸部80a、—第二接觸部8〇b及—延伸於 X第接觸部8〇3與該弟二接觸部80b之間的彈簧容置部 80c。一螺旋彈簧容置於該彈簧容置部8〇c内。 該第一接觸部80a包含一頸部8〇d於該第_接觸部8如 與該彈簧容置部8〇c之間》該頸部8〇d的外徑小於該第一接 觸部80a及該彈簧容置部80c者。該頸部8〇d容置於該基底幻 32 1305689 的一頌孔82a内。該頸孔82a的内徑小於該第—接觸部咖的 外技，但大於該頸部編的外徑。除此之外，該接觸件_ 彈簣容置部·容置於-穿孔82b内。該穿孔咖的内徑大於 該彈簧容置部80c的外徑。 5 _上述部位的尺寸關係，即可容許該接觸件80以橫 向（水平）方向移動。 第29圖是顯示藉使設置於該下側基底82内，該探針式

10 接觸細之第—接觸部_可沿1弧路徑移動，以容許一 接觸位置的實質移動之構造。亦即，供該接觸細的頸部 8〇d容置之_孔咖_徑之狀是使觸部謝可垂直 上下移動。 另—方面，供該彈簧容置部8〇c容置之該穿孔8%内徑 ^乍變化為數階部或呈連續者，以致於其接近該基板^的 ，大於接近該頸部8_内徑。根據上述構造，於該接觸 0中’容許該第一接觸部80a可進行—旋轉移動或一圓形 -動’叫頸部8_為—支撲點1此，類減第28圖所 ^例不中的橫向移動，觸5的電極端子15 圓錐凹部内。 20 動，^28_所示的橫向移動、第29圖所示的旋轉或圓形移 ㈣=其結合者可根據數欲接觸之電極端子、該接觸件 ㈣者’而適當地選定。 及彈箬支^卜，於本發明的實施例中，該下側基底被桿體 接觸件^tr/上而可以^及向下方向移動，且該 /基底上之接觸件疋形成可以一橫向方向移 33 1305689 動。 本發明並不侷限於此構造，藉使供該桿體20插入於該 下側基底12内之該穿孔12A形成較大的内徑，如第30圖所 不’可使實質上垂直於該桿體20延伸方向的方向之空間變 5得較大’藉以確保當容置及推壓欲測試1C時該下侧基底12 本身可以一橫向方向之移動。根據此構造，該等電極端子 谷置於該接觸件的圓錐凹部可更為容易，即使當該等電極 端子的配置有很大的偏離或移位。 亦即’被一IC支撐推壓部件22所支撐之IC15被插入於 10设置於該蓋體14的一開口内，且當該1(：15的電極端子15a被 帶至與該基底12上表面的開口邊緣接觸時，由於該電極端 子15a的向下移動所產生的橫向分力，該蓋體14被以一橫向 方向移動。若該IC15被進一步向下移動且該等電極端子15a 被*至與該等第一接觸部ua接觸時，該等第一接觸部15a 15若需要時會以一橫向方向移動，以致於該等電極端子i5a可 分別容納於該等圓錐凹部内。 根據上述兩·^又式彳呆作，§亥IC 15的電極端子15a可更為迅 速地容納於該等第一接觸部11a的圓錐凹部内。 同理，當該上側基底容置及推壓一欲測試1(：時，藉以 20實質垂直於該等桿體延伸方向的方向上設置較大的空間， β亥上側基底本身亦可以橫向方向移動。根據此構造，當該 等電極端子16b被帶至與第25至27圖所示的構造中該基底 52B上所形成的斜面71a接觸時，該基底52B本身可以橫向方 向移動，藉此該等電極端子16b即可容易地容納於該等第一 34 1305689 接觸部7〇a的凹部。 —以下將配合參考第31至40圖，詳細說明根據本發明的 第五實施例。於第五實施例中，與第一實施例所述相同的 元件疋以相同標號表示，且省略其詳細說明。 5生第31圖是顯示根據本發明第五實施例的接觸件ι〇〇之 也、韻。更具體地，第31圖是顯示該接觸件100是在容置有 1⑴時的狀態。第32圖是IC15的電極端子15a與該等接觸件 • U的電極端子導孔⑽及第一接觸部山之間的位置關係之 放大圖。 10 15 20 於述第一實施例中，該等接觸部孔m，其各内徑大 觸=觸件η的第-接觸部lla的外徑以可容置該第一接 形成於該基底12的上部中。另-方面，於本 接觸部孔12a的上側上，亦即， T於料 的側邻卜^ 隹4荨電極端子15&插設 4上。忒專接觸部孔12a及該 接。除!t卜夕冰办 電極導孔110相互連 示此之外，各電極導孔11〇的内押 〜 3孔12a的内徑’且各電極導孔11。的：沿深 直方向）上的任何^料_致^度方向 於苐31及32圖所示的狀態中， 15a .,,, r _ , μ IC15的數電極端子 中“軸（圖中以雙點鏈線表示） 對應第一接觸1 M ^ ± )及该專接觸件11的 接觸邛1 la之中心軸（圖 於所有電極端子15a並不相互對齊。=點鏈線表示)對 I5a盥兮亦13，該等電極端子 形。Ml 的部分會產生不對齊情 爲，於第32圖中’除了從左手邊的第二位置的 35 1305689 電極端子15a外， 以寺电極端子15a的中心軸與該等對應 第接觸部山的令心轴皆形成不對齊情形。 及it錢態時姻1持減件22_持之該IC15 及S亥接觸件1〇〇 員心距離相對安置。該接觸件100的 基们2可以圖中的橫向方向移動。 10 移動固持们C15之該IC固持推壓件22，當該 、$極端子15a被帶至與該等電極端子 日，形成有該等電極端子導孔版該基底12被移動以跟 隨於該等電叫W置，且藉此爾t極端子i5a γ被納置於料電極料導孔11G β。讀冑該等電極 端子15a與該等第一接觸部Ua接觸時，相似於第一實施 丨可達到該等第一接觸冑lla與該等電極端子伽之間 的對齊，亦即可根據藉該等第一接觸部Ua的移動之自動 對齊，達到對中作用。

15 於該基底120中，藉使供該桿體20穿設之該穿孔12A 形成較大的内徑，擴大實質上垂直該桿體2〇延伸方向的方 向之空間或間隙，與上述第四實施例相似，藉以當容置及 推壓該IC15時使該基底120本身可以橫向方向移動。 根據上述構形及配置，即使該等電極端子的配置有很 20大的移位或變化，該等電極端子仍可輕易地達到容納於該 荨接觸部的圓錐凹部。 當該1C固持推壓件22自第31及32圖所示的狀態進 一步向下移動時，該IC15的電極端子15a可被帶至與該等 電極端子導孔110的内面接觸。於此狀態，該IC15的數電 36 1305689 極端子15a與該等接觸件u的對應第一接觸部Ua之間的 不對齊情形仍未消除。必須注意的是，第34圖是顯示該 IC15的電極端子i5a與第33圖所示之該接觸件1〇〇中該等 接觸件11的第-接觸部lla之間的位置關係之放大圖。 5 當該IC固持推壓件22自第34及35圖所示的狀態進一步 向下移動時，形成有該等電極端子導孔n〇之該基底12是以 與該IC15被推壓以跟隨該等電極端子15a位置的方向實質 上垂直之方向移動，亦即，於第35圖所示的狀態之橫向方 向。必須注意的是，第36圖是顯示該iCi5的電極端子15a與 1〇第35圖所示之該接觸件1〇〇中該等接觸件n的電極端子導 孔110及第-接觸部lla之間的位置關係之放大圖。 亦即，該料極端子導孔11G可與料電極端子15a接 觸之内面會因料電極端子祕該等電極端子導孔11〇的 推壓力之分力，被以橫向方向推壓。因此，該基底12可以 u橫向方向移動’且該等電極端子15a可容置於該等電極端子 導孔110内。 口此即使开/成於該IC15的數電極端子i5a的位置有變 異’因該等第-接觸部lla可達到自動對齊作用，該等接觸 件11的第-接觸部lla仍可安置於該等對應電極端子i5a下 2〇方。亦即，藉根據該IC15的電極端子15a的位置使該接觸件 100的基底120的電極端子導孔11()以橫向方向移動，即可設 立使該等接觸件11的第一接觸部與該等電極端子i5a準確 相互對齊之狀態。 當該1C固持推壓件22自第35及36圖所示的狀態進一步 37 1305689 向下移動日$，§亥等數電極端子j5a被納置於該等第一接觸部 仏的對應圓錐凹部内，如第37及38圖所示。亦即，該等第 接觸部被以與該iC15被推壓於該基底12的接觸部孔i2a 中的方向貫質上垂直之方向移動。根據此移動，即可吸收 5各電極端子15a的不對齊現象，且料數電極端子⑸可被 納置於該等第一接觸部lla的對應圓錐凹部内。必須注意的 疋，第38圖是顯示該iC15的電極端子15a與第37圖所示之該 接觸件100中該等接觸件_電極端子導孔11〇及第一接觸 部lla之間的位置關係之放大圖。 10 因此，該IC15的電極端子15a的中心軸與該等第一接觸 部lla的中心轴可相互對齊（對中），且被納置的電極端子 15a被▼至與該等第一接觸部iia的連續圓錐凹部的内面以 概呈環狀區域接觸。藉此，即可設立使該1(：15的電極端子 15a與其上部具有該等第一接觸部lla之該等接觸件η準確 15 相互對齊之狀態。 當該IC15自第37及38圖所示的狀態進一步向下移動 時，因一推壓力經由該IC15且該基底12向下移動，該等彈 簧21被壓縮如第39及40圖所示。之後，該等接觸件η的第 二接觸部lib即被帶至與配置於該基板13上的端子13a接 20 觸，藉以使該IC15與基板13相互電連接。 於第39圖所示的狀態中，電力及電子訊號經由該基板 13提供予該IC15，以進行該IC15的最後測試工作（電測 試）。必須注意的是，第40圖是顯示該IC15的電極端子15a 與第39圖所示之該接觸件100中該等接觸件11的電極端子 38 1305689 導孔110及第一接觸部lla之間的位置關係之放大圖。 如上所述，根據本實施例，該K：15並不因重力落下而 是於該IC15以該1C固持推壓部件22所固持的狀態時移動靠 近且插入於該接觸件100的接觸部内。藉此，藉根據形成於 - 5該1C15的電極端子15a的位置來移動該等電極端子導孔 . 110’來進行位置對齊工作，以此形成該IC15的電極端子15a 與該等接觸件11的第一接觸部Ha之間的接觸。 % 因此，相較於以重力落下的方式，可消除落下時間的 浪費，如此即可改善工作效率。 10 必外根據本貫施例，g亥專·接觸件11的第一接觸部11 a 與°亥1C的電極端子15a可僅僅藉由將該等電極端子15a容納 於該等電極端子導孔11〇内，而準確地相互對齊，即使當形 成於該IC15的電極端子的位置有相當大的移位情形時，此 15係因該等電極端子導孔110是形成於該接觸件的基底12中 5於該等接觸部孔12a的上部，亦即，於該等電極端子15a所 _ 插设之側部上。因此，即可達到二者穩定的接觸。

各電極料導孔1_内妓形餘切各接觸部孔 2a的内。據此’相較於未形成有料電極端子導孔HQ 扣之例，用以使該等電極端子15a與該等接觸件u相互對齊之 修正範圍即可增大。 夏當該等電極端子15a與該等接觸件_位置有很大變 異的情況時’若沒有形成該等電極端子導孔⑽，則可能會 發生當該等電極端子15a”至與該等朗件U的第一接 觸部lla接觸時被強力推壓於該等第一接觸部❿内的情 39 1305689 形，如此會造成該等電極端子15a的損害。 而於本貝施例中，該等電極端子15a的位置之大變 異現象可當將該等電極端子15a納置於該等電極端子導孔 110内時藉該基底12的移動來吸收’如此有助於該等電極端 5子Ua被帶至與該等接觸件U的第一接觸部Ua接觸。因 此，即不會有損害該等電極端子158的可能性發生。 同時’儘管於本實蘭巾，各電極端子導孔UQ的内徑 是設定成較大於各接觸部孔12a的内徑， (脚的垂直方向)於任何位置皆—致，然= 10不偈限於此構造。舉例來說，該等電極端子導孔ιι〇可具有 如第41圖所示的形狀。在此，第41圖是該電極端子導孔的 變化例之橫剖圖。 於第41圖所示的例示中，該等電極端子導孔110是形成 尖錐形狀，其供該等電極端子15a插入的一側（第姻的上 15侧）具有較大直徑，而與該等接觸部孔120連接的一側（第 41圖的下側）具有較小直徑。根據此構形，該等電極端子 15a當滑動於其-尖錐部（斜部）⑼時接觸該電極端子導 孔190 ’且因此，由於是受該電極端子導孔190的内面卡住’ 該電極端子⑸可«且㈣地納置於該電㈣子導孔· 20 内而不受損害。 更詳言之，若該蓋體14上的開口尺寸於大於該腿的 外部尺寸.職如該細綱引及對齊侧，然而， 在納置該IG⑽電極料⑸之該f極端子導孔⑽上形成 該尖錐部191可使該電極端子1_容置更為«。舉例來 40 1305689 說’該尖錐部191的寬度X可設定為等於或大於該蓋體14開 口的尺寸W2與該IC15的外部尺寸W1之間的差距之1/2。 以下將配合參考第42圖，詳細說明根據本發明的第六 實施例。在此，第42圖是根據本發明第六實施例的接觸件 5 之橫剖圖。 於第六實施例中，具有與上述第四實施例的接觸件100 相同構造的接觸件，被帶至與形成在各數半導體元件（晶 片）上的電極接觸’該等半導體元件是形成於半導體基板 (晶圓）的單片其中一主表面上，例如晶圓級晶片尺寸構 10 裝（wafer-level CSP(Chip Size Package))或一晶圓凸塊(bump wafer)等。 參考第42圖所示，一半導體基板120放置且固定於一基 板放置部116上，如一夾盤面或類似物，以使該等半導體元 件的電極端子121面朝上的狀態。除此之外，數接觸件190-1 15及190-2根據該等半導體元件被一基板113固持，例如一探 針卡’且配置於該半導體基板120上方的位置處。 該接觸件190-1及該接觸件190-2具有相同的構造。於所 提的接觸件190-1 ( 190-2)中，一基底92是受直立設置於該 基板113上的桿體93所導引，且受彈簧94可以垂直方向移動 20 地支撐。 此外，各接觸件211由一下側的第三接觸部211&、一形 成於該第三接觸部211a上端上的軸環部2lld、一呈肘狀且 自该軸環部211d向上延伸的接觸銷21ic，及一為該接觸銷 211上部的第四接觸部21比。 41 1305689 該軸環部211d及該接觸銷211C是容置於形成在該基底 92内的一接觸銷孔212内。另一方面，該接觸銷孔212的内 控大於该軸環部21 Id的外徑，且供該第三接觸部21 ia插設 之該接觸部孔215的内徑大於該第三接觸部2Ua的外徑。據 5此，該第三接觸部211a可於該接觸部孔215中以橫向方向移 動0 除此之外，該接觸件211的軸環部2lld被支撐於該基底 92的接觸部孔215處，且該接觸件211受到固持而不會掉出 該基底92。 10 此外，一板構件115設置於該基底92的下方，亦即，於 欲處理的半導體基板之側部上，且該等電極端子導孔21〇形 成於該板構件115内。該等第三接觸部211&的下端是安置於 該等電極端子導孔210中。 該板構件115是受自該基底92直立延伸的桿體95所導 15引，且受彈簧96可以垂直方向移動地支撐。因此，該等接 觸部孔215及該等電極端子導孔21〇是經由該基底％與該板 構件115之間的空間相互連通。除此之外，該電極端子導孔 210的内徑是設定為大於該第三接觸部2113的外徑。 於上述構造中，該板構件115單獨上下移動，而與該基 20 底92以橫向方向一起移動。 於此構造中，為使該等接觸件1〇9_1及19〇_2的接觸件 211的第三接觸部211a與該晶圓12〇的電極端子121接觸，以 使該等電極端子121與該接觸件中的第三接觸部2Ua電連 接，先使δ亥基板113向下移動，然後再使該等接觸件⑺^ 42 1305689 及19〇_2移動接近該半導體基板120 (第42圖-⑷）。 …當該等接觸件购及腦被進_步向下移動以致於 «亥等接觸件卿巧及彻2的板構件出中的電極端子導孔 210與該等電極端子121接觸時，該等電極端子導孔，亦 5即該等板構件115及《底92因該等電極端子121施於該等 電極k子導孔210的推壓力之—橫向分力可以橫向方向移 動。藉此’該等電極端子121是納置於該等電極端子導孔210 内。藉此，該等第三接觸部211&與該等電極端子i2i之間的 對齊是經由該等電極端子導孔210進行。 在此，於該基底92中，藉與上述第四實施例或第五實 %例相同方式擴大供該桿體93插設的穿孔内徑，可擴張於 與該桿體93延伸方向實質上垂直之方向（圖中的橫向方向） 的空間或間隙，藉以當容置及推壓該IC120時使該基底92可 以橫向方向移動。 5 當該等接觸件109-1及190-2被進一步向下移動時，該等 第三接觸部211a根據該等電極端子121的位置以橫向方向 移動’且該等電極端子121被容置於該等第三接觸部211a的 圓錐凹部内，藉以使該等第三接觸部211a與該等電極端子 121接觸（第42圖-(b))。 ：〇 此時或當該等接觸件109-1及190-2被稍微再進一步向 下移動時’該等接觸銷211的另端211b被帶至與配置於該基 板113上的電極na接觸，如此可藉由該等電極13a形成與_ 測試裝置電連接。 根據本實施例，即使當該半導體元件用以連接該接觸 43 1305689 件19(M的電極端子之移位量，與該 接觸件，電極端子之移位量不同的情：:= 基底可分別獨立移動，_ = «工作，極端子的不對齊㈣時可進行 ❹工作冑此可達到適當的接 地進行準確且穩定的接觸作用。 匕，即可輕易

10 第七=Γ合參考第43圖至第48圖，詳細說明本發明的 第七實施例。 根據第七實施例的接觸件是用以與設置於電子零件的 Γ置容11 (封裝）内的電極端子形成接觸者，例如封裝層 豐’Package On Package))，或將電極端子設置於一安裝 基板的兩側（上及下表面）上的構造。

於具有電極端子於其前及背面上的電子零件中，為使 當進行-電子特性測試時方便操作，宜使設置於前及背面 15上的電極端子配置於對應位置。然而，由於前及背面上的 該等電極端子是於不同製程中形成，因此難以對於在不同 製程中所形成於前及背面上的所有電極端子，使前及背面 上的位置相互對應。 因此，接觸件會有使开> 成在一電子零件的前及背 面兩 20者上的電極端子達到良好接觸效果的需求。 第43圖是根據本貫施例的接觸件35〇於裝載一 1(：：316的 狀態。於第43圖中，該IC316是藉該IC固持推壓部件22，如 一真空失盤或類似物，以箭頭P所指的方向（從右至左）負 載於该接觸件350 該1〇316具有電極端子316a形成於其一 44 1305689 下表面上，及電極端子316b形成於其一上表面上。 所述該接觸件350包含一下側接觸件350A及一上側接 觸件350B。 该下側接觸件35〇A用以與該IC316下表面上的電極端 5子31如形成接觸，其與根據上述第五實施例的接觸件1〇〇相 似，是包含接觸件351、一基底352、一基板353及電極端子 導孔390。 另一方面，該上側接觸件350B用以與該IC316上表面上 的電極端子316b形成接觸，其與根據上述第六實施例的接 10觸件丨9〇相似，是包含接觸件211、一基底352B、一基板113 及電極端子導孔21〇。 於具有上述構造之該接觸件35〇中，為藉由該上側接觸 件350B的基板113及該下側接觸件35〇A的基板353形成該 IC316的電極端子316b與電極端子316a之間的電連接，設置 15 一接觸機構環繞於各該下側接觸件3 50A及上側接觸件 350B。 該下側接觸件350A的接觸機構是相似於根據上述第四 實施例的接觸機構，包含一架體狀基底356A，其設置於該 基板353上，及數肘狀接觸件357，其容置於該基底356内所 20形成的孔356&内。該上側接觸件350B的接觸機構包含一架 體狀基底356B，其設置於該基板113上，及被該基底356B 固持之探針358。 於該下側接觸件350A中，電極353a延伸於該等接觸件 357的一端（下端）下方的位置，且具有圓錐凹部的接觸部 45 13〇5689 是設置於該等接觸件357的另一端（上端）。於該上側接觸 件350B的基板113中，導電圖案353]Ba是設置於面向該基底 352的一面上。各導電圖案3536&以其一端連接於一探針 358 ’及另一端延伸於該接觸件211的一第四接觸部上方的 5 位置。 於第43圖所示的狀態中，各該下側接觸件350A及該上 側接觸件350B並不在接觸狀態。當該IC固持推壓部件22被 從第43圖所示的狀態進一步向下移動時，該1(：316被設定於 該下侧接觸件350A，如第44圖所示。 10 具體來說’與上述第五實施例相似，當該IC316的電極 端子316a被帶至與該基底352的電極端子導孔390接觸而該 IC316被該1C固持推壓部件22固持時，具有該等電極端子導 孔390的該基底因該等電極端子316a施於該等電極端子導 孔390的一推壓力之一橫向分力而以橫向方向移動。因此， 15 該等電極端子316a可容納於該等電極端子導孔390内，且可 進行經由該等電極端子導孔390之該等電極端子316a與該 等第一接觸部351a之間的對齊工作。 在此，於該基底352中，與上述第四或第五實施例相 似，藉由設定供一桿體360插設之各穿孔352A具有較大的内 20 徑，於與該桿體360延伸方向實質上垂直的方向（圖中的橫 向方向）之空間或間隙可擴張，藉以使該基底352本身當容 置及推壓該IC316時可於橫向方向移動。 接著’藉以該IC316的進一步向下移動，該等接觸件351 的第一接觸部351a對應於該IC316的電極端子316a的位置 46 1305689 以橫向方向移動，且該等電極端子316a被納置於該等第一 接觸部351a的凹部内，且藉此，該IC316的電極端子31如及 該等接觸件351的第一接觸部351a可相互接觸。 之後’可解決該IC316被1C維持加壓部件22之維持工 5作，其是形成可以第44圖中箭頭Q所示的方向（從左至右） 移動’且所述該1C維持加壓部件22再自該接觸部件移除。 其後，消除該1C固持推壓部件22對該IC316之固持，且 該1C固持推壓部件22被以第44圖中箭頭〇所示的方向（從左 至右）移動，以自該接觸部件移除。 其後，該上側接觸件350B被向下移動’如第45圖所示， 以可將該上側接觸件35〇B帶近形成於該IC316上表面上的 電極端子316b。藉該上側接觸件35〇b的向下移動，形成於 該上側接觸件350B的板構件115内的該等電極端子導孔21〇 及該IC316的電極端子316b可相互接觸，且如第牝圖所示， 15該上側接觸件350B的基底352B會對應於形成在該1(：316上 表面上的電極端子316b的位置，與該板構件115以橫向方向 移動。 即’與上述第六實施例相似，藉該等電極端子316b施 於該等電極端子導孔21〇的推壓力之一橫向分力，該等電極 2〇端子導孔210與該等電極端子316b接觸的内面被以橫向方 向推壓，且因此，該板構件115及該基底352B可以橫向方向 移動’且該等電極端子316b可容置於該等電極端子導孔21〇 内。 在此’於該基底352B中，與上述第六實施例相似，藉 47 1305689 由設定供該桿體93插設之穿孔352Ba具有較大的内徑，於與 該桿體93延伸方向垂直的方向（圖中的橫向方向）之空間 或間隙可擴張’藉以使該基底352B本身當容置及推壓該 IC316時可於橫向方向移動。 5 因此，即使形成於該IC316的電極端子316b的位置具有 憂動時，e亥專接觸件211的第三接觸部211 a可被移動於該等 電極端子316b上方的位置以進行自動對齊。 § β亥上側接觸件350B自第46圖所示的狀態進一步向下 移動時，该4電極端子316b會被納置於該等接觸件211的第 10三接觸部211a的圓錐凹部内。亦即，該等第三接觸部2Ua 是以與該1C316被推壓於該基底352B的接觸部孔215内的方 向貝貝上垂直的方向（左右方向）移動。該等第三接觸部 211a的移動可吸收該等電極端子316b的各個位置的變異， 且該等電極端子316b可被納置於該等第三接觸部211a的圓 15 錐凹部内。 之後，該IC316的電極端子316b的中心軸與該等第三接 觸部211a的中心軸相互對齊（對中），且該等受納置的電極 端子316b被帶至與該等第三接觸部2Ua的圓錐凹部内表面 以於其表面上連續概呈環狀區域接觸。 Z〇 因此，形成於該1C316上表面之該等電極端子316b的位 置及設置於該上側接觸件350B之該等接觸件211的位置可 相互準確地對齊，並且形成於該疋316下表面之該等電極端 子316a的位置及設置於該下側接觸件35〇A之該等接觸件 351的位置亦可相互準確地對齊。 48 1305689 當該上側接觸件350B自第47圖所示的狀態再進一步向 下移動時，該等接觸件211的端部21比會與該等電極配線 353Ba接觸，且該等彈簧94被壓縮，並且該基板113、該基 底352B及該等探針358被向下移動。 5 之後，在該等探針358的下端被納置於該下側接觸件 350A的接觸件357的接觸部357c之圓錐凹部之後，該上側接 觸件350B的基板113上的電極配線353Ba及該下侧接觸件 350A的基板353上的電極配線353a可相互電連接（第48圖）。 該等電極配線是經由該等接觸件211及351與該IC3l6 10的電極端子3i6a及316b電連接。亦即，該等接觸件211可經 由該等電極配線353Ba、該等探針358、該等接觸件357及該 等電極配線353a與該等接觸件351電連接。 因此，有關於具有電極端子於前及背表面（上及下表 面）者上之1C ,用以測試極驅動電力之電子訊號可同步 15提供於兩側的電極端子。 亦即，用於測試及驅動電力的電子訊號用之外部連接 端子（圖中未顯示）可設置於該基板113與該基板353其中 之一上。藉此，若具有電極端子於前及背表面上之一冗， 】如封裂層疊(p〇p(package 〇n Package》，若前及背表面上 20的電極端子的位置之間有差異時，各接觸件的數接觸件可 準確^對齊於對應的電極端子之位置，其是根據該基底部 ~ 4向方向的移動，該基底部件具有電極端子導孔於該 等接觸件内以對應於該1C的前及後表面。 此外，該等接觸件的數接觸件可改變（移動）其位置 49 l3〇5689 以對於財電極端子進行自動對齊工作 (對中）。 因此’根據第七實施例，相較於上述第四實施例之接 觸件’可更有效地達到適當的穩定接觸狀態，且可完成準 確及可靠的電特性測試工作。 必須注意的是，於本發明的第五至第七實施例任一例 中，叹置於該等第一接觸部11a及351a及第三接觸部211a内 的凹部可形成如第17A至⑽圖所示的形狀。除此之外，該 等電極端子導孔110,210及39〇的形狀可為如第41圖所示者。 10 15 20 此外，儘管本發明的實施例中以具有肘狀的構件或— 累知彈貪（彈簧構件）來作為支撐該接觸件的接觸部之構 牛然而可彈性支撐該接觸部的構造並不偈限於此構造。 此外，該接觸件的接觸部並不一定需要與彈性支撐鲸 接觸部的構件(彈簧構件)形成單件體，該彈簧構件二 接觸部亦可形成分_部件，只要可使彈簧構件與該接 部形成接觸且轉㈣件可雜切該接觸部。 此外，儘管為了方便舉例說明，於上述實施例中 底部件的移動方向是表示為，’橫向方向，，，然、而舉例來= 該基底部件亦可對應於料電極端子的位置，以° 平面垂直之方向移動。 、 的 必須注意的是，儘管於上述實施例中以半導 路裝置(IC)作為電子零件，然而本發明並不侷限於忙，、且電 應用於其他電子零件。 可 本發明並不侷限於特定揭露的實施例，且可對本發日 加以變化及變更而不脫離本發明的範圍。 月 50 1305689 本發明是基於在2005年2月22日所申請之日本專利優 先權申請號碼2005-046145，及在2005年10月7日所申請之 曰本專利優先權申請號碼2005-295639，其全文在此需併入 參考。 5 【圖式簡單說明】 第1圖是一種習用接觸件之透視圖； 第2圖是第1圖所示接觸件的部分之放大橫剖圖； 第3圖是另一種習用接觸件之橫剖圖； 第4圖是另一種習用接觸件的部分之橫剖圖； 10 第5圖是根據本發明第一實施例的接觸件的整體構造 之透視圖， 第6圖是接觸件在將1C附接之前的狀態之橫剖圖； 第7圖是用以說明第6圖所示中IC的電極端子與接觸件 的數接觸件的接觸部之間的位置關係之示圖； 15 第8圖是接觸件於1C的電極端子與該等接觸件接觸時 的狀態之橫剖圖； 第9圖是用以說明第8圖所示中1C的電極端子與接觸件 的數接觸件的接觸部之間的位置關係之示圖； 第10圖是接觸件於1C的電極端子與該等接觸件完全接 20 觸時的狀態之橫剖圖； 第11圖是用以說明第10圖所示中1C的電極端子與接觸 件的數接觸件的接觸部之間的位置關係之示圖； 第12圖是接觸件於與IC完全結合的狀態之橫剖圖； 第13圖是根據本發明第二實施例的接觸件之透視圖； 51 1305689 第14圖是根據本發明第二實施例的接觸件之橫剖圖； 第15圖是用以說明第14圖中一導板的功能之示圖； 第16圖是根據本發明第三實施例的接觸件之透視圖； 第17A及17B圖是一第一接觸部的變化圖； 5 第18A及18B圖是一第一接觸部的變化圖； 第19A及19B圖是一第一接觸部的變化圖； 第20圖是根據本發明第四實施例的接觸件，在形成接 觸之前的狀態之橫剖圖；

第21圖是根據本發明第四實施例的接觸件，在形成接 10 觸之後的狀態之橫剖圖； 第22圖是顯示當接觸作業起動時一接觸件相對於—電 極端子的位置之示圖； 第23圖是顯示於接觸作業完成的狀態時接觸件相對於 電極端子的位置之示圖； 15 20 第24圖是一上側接觸件的數接觸件以探針式接觸件所 取代時的一例示之橫剖圖； 第25圖是顯示一基底向下移動且將一接觸件與一冗的 上側一電極端子接觸時的狀態之示圖； 第26圖是顯示電極端子伸入該第—接觸部内之示圖； 第27圖是顯示將一基板的一端子與一接觸件的一第二 接觸部接觸且完成接觸時的狀態之示圖； 第28圖是將用以納置一探 , 料式細件的-f孔放大的 一例示之示圖； 第，是顯示被第27圖所示的探針式接觸件移動之— 52 1305689 第一接觸部的接觸位置被偏斜的構造之示圖； 第30圖是將用以插設一下基底的桿體於内的一穿孔内 控放大的一例示之示圖； 第31圖是根據本發明第五實施例的接觸件於冗附接之 5前的狀態之橫剖圖； 第32圖是用以說明IC的電極端子與第31圖所示之電極 端子導孔及第一接觸部之間的位置關係圖； 第33圖是該接觸件於冗的電極端子與電極端子導孔的 内表面接觸的狀態之橫剖圖； 10 第34圖是用以說明第33圖所示1C的電極端子與電極端 子導孔之間的位置關係圖； 第35圖是該接觸件於1C的電極端子容置於電極端子導 孔内的狀態之橫剖圖； 第36圖是用以說明1C的電極端子與第35圖所示之電極 15端子導孔及第一接觸部之間的位置關係圖； 第37圖是該接觸件於K：的電極端子完全與接觸件接觸 的狀態之橫剖圖； 第38圖是用以說明第37圖所示IC的電極端子與接觸件 的第一接觸部之間的位置關係圖； 2〇 第39圖是該接觸件於1C完全結合的狀態之橫剖圖； 第40圖是用以說明第39圖所示1C的電極端子與第一接 觸部之間的位置關係圖； 第41圖是顯示電極端子導孔的變化例之橫剖圖； 第4 2圖是根據本發明第六實施例的接觸件之橫剖圖； 53 1305689 第43圖是根據本發明第七實施例的接觸件於裝載一IC 的狀態之橫剖圖； 第44圖是顯示1C下表面上該等電極端子被設定於下側 接觸件的狀態之示圖； 5 第45圖是顯示該等電極端子與形成於一上側接觸件的 電極端子導孔接觸的狀態之示圖； 第46圖是顯示形成於一上側接觸件的電極端子導孔反 應電極端子的位置而移動的狀態之示圖； 第47圖是顯示設於上側及下側接觸件的電極端子的位 10 置與接觸件的位置相互對齊的狀態之示圖；及 第48圖是顯示於上側接觸件與下側接觸件形成接觸之 後的狀態之橫剖圖。 【主要元件符號說明】

習知部分： l·..接觸件 5…1C la…第一接觸部 5a…電極端子 lb…第二接觸部 6…接觸銷 lc…彈簧機構 6a…接觸部 2…基底 6b…一端 3…反 7…導板 3a…端子 8…螺旋彈簧 4...蓋體 9."桿體 54 1305689 22···Κ固持推壓部 本發明部分： 10,30,50…接觸件 11，51Α，51Β…接觸件 llajlaa,llab,llac···第一接觸部 lla-l，lla-2,lla-3 …第一接觸部 lib…第二接觸部 11c…接觸鎖 12,52A,52B …基底 12A…穿孔 12a,32a…接觸部孔 12b…接觸銷孔 12c…隔絕壁部 12d…連接孔 13,53A"·；^反 13a…端子 14,54…蓋體

15,16 …1C 15a,15aaJ5ab,15ac···電極端子 16a,16b…電極端子 20,62…桿體 90…電極端子導部 21,63···螺旋彈簧 22· "1C支撐推壓部件 32…導板 50A···下側接觸件 50B…上側接觸件 51Ba…第三接觸部 51Bb…極端（第四接觸部） 51Bc…接觸銷 51Bd…軸環部 52Ba".接觸銷孔 52Bb…接觸部孔 53A，53B…基板 53a…電極 53Ba···導電圖案 56A，56B…基底 56Aa"·孔 57…接觸件 57a…下端 57c…接觸部 55 1305689 58…探針 96…彈簧 62A…桿體端部 100…接觸件 70…接觸件 110…電極端子導孔 70a…第一接觸部 113…反 70b…第二^妾觸部 115…板構件 70c…螺旋彈簧 116…基板放置部 7〇d…彈簧容置部 120…半導體基板 Ή…穿孔 121…電極端子 71a···斜面 190··電極端子導孔 80“探針式接觸件 190-1,190-2…接觸件 80a…第一接觸部 19l···尖錐部 80b…第二ί妾觸部 210…電極端子導孔 8〇c…彈簧容置部 211…接觸件 80d…頸部 211a…第三接觸部 82…下側基底 21 lb…第四接觸部 82a…頸孔 211c…接觸銷 82b…穿孔 211d...軸環部 92…基底 212…接觸銷孔 93…桿體 215···接觸部孔 94…彈簧 316". 1C 95…桿體 316a>••電極端子 56

1305689 350…接觸件 350A，B…下，上側接觸件 351…接觸件 352,352B…基底 352Ba...穿孔 353…勒反 353a…電極 353Ba".導電圖案 356A,B…基底 356a…孔 357…接觸件 358…探針 390…電極端子導孔

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Claims (1)

1305689第95103092號專利申請案申請專利範圍修正本97.08. 11«. 丨丨 IMI I 丨丨 1·^—·Ι· . . .. W年义月β日修(更)^|⑽八叫 1.一種用於電子零件之接觸件，該接觸件係可與一電子零 件的多數電極端子形成電性連接，該接觸件包括： 多數接觸構件，每一接觸構件在其一端上具有一第一 5 接觸部，且於另一端上具有一第二接觸部，該第一接觸部 具有一凹部，該凹部可納置該電子零件之該等電極端子中 之一者；及 一基底，其可納置及支撐該等多數接觸構件， 其中該等接觸構件中的每一者係整體可在所有水平 10 方向上移動。 2.如申請專利範圍第1項之用於電子零件之接觸件，其中該 接觸構件的第一接觸部具有一概呈圓柱形的接觸銷，其自 該接觸部的一端延伸，該接觸銷的一端是作為該第二接觸 部。 15 3.如申請專利範圍第1項之用於電子零件之接觸件，進一步 包括： 一基板，其具有一端子以與該第二接觸部接觸；及 一桿體，其垂直延伸於該基板上， 其中該基底是可沿該桿體移動。 20 4.如申請專利範圍第3項之用於電子零件之接觸件，其中該 接觸構件的第二接觸部是自該基底的一穿孔凸伸於該基 底與該基板分離時的狀態。 5.如申請專利範圍第3項之用於電子零件之接觸件，其中該 基底包含： 58 1305689 一接觸部孔，其容置該第一接觸部； 一接觸銷孔，其容置該接觸銷； 一隔絕壁，其設於該接觸部孔與該接觸銷孔之間；及 一穿孔，其設於該隔絕壁内， 5 其中該穿孔的内徑小於該第一接觸部的外徑。 6. 如申請專利範圍第5項之用於電子零件之接觸件，其中該 接觸銷具有彈性的構造。 7. 如申請專利範圍第1項之用於電子零件之接觸件，其中該 第一接觸部的凹部具有一斜面，其斜向該第一接觸部的中 10 心。 8. 如申請專利範圍第1項之用於電子零件之接觸件，其中該 第一接觸部的凹部具有圓錐形狀，其是構形成可容置該電 子零件的其中一電極端子之一部分。 9. 如申請專利範圍第1項之用於電子零件之接觸件，進一步 15 包括一導板，其具有一穿孔可容置該第一接觸部的至少部 分，其中該導板是可以橫向方向移動於該第一接觸部被容 置於該穿孔内時的狀態。 10. 如申請專利範圍第1項之用於電子零件之接觸件，進一 步包括一致動器，_可對該基底施予震動。 2〇 11.如申請專利範圍第1項之用於電子零件之接觸件，其中該 基底包含一可容置該第一接觸部之接觸部孔及一電極端 子導孔，且其中該電極端子導孔的内徑大於該接觸部孔的 内徑。 12.如申請專利範圍第11項之用於電子零件之接觸件，其中 59 1305689 該電極端子導孔是呈尖錐狀 搞轳工把 邊罨極鈿子導孔可供該電 偽 入的開口部之內後是大於該電極端子 與該接觸部孔連通的部位之内徑。 导孔於 5 10 15 20 13-種用於電子零件之接觸件，从構形成可與 件的二主要表面上所設置的多數電極端零 接，包括： 〜战電性連 一第一接觸件，其構形成可與設置於該電子％ -主要表面上的電極端子形成接觸，該第_接觸件件其中 多數第-接觸構件，各具有—第_接觸部於—端上包含： 第二接觸部於另—端上，該第-接騎具有-四邹、、 置該電子料的其巾—第—f極端子；及_第—心、 可納置及支撐該等第—接觸構件，其巾該第—接^艮’其 以水平方向移動；及 邰是圩 一第二接觸件，其構形成可與設置於該電子零件 主要表面上的電極端子形成接觸，該第二接觸件包夂另〜 數第二接觸構件，各具有一第三接觸部於一端上，.多 四接觸部於另一端上，該第三接觸部具有一凹部，。〜单 該電子零件的其中一第二電極端子；及一第二基扈i、、内复 納置及支標該等第三賴構件，其巾該第三朗邹是其可 與朝向該電子零件的一第二電極端子的方向實質上可4 之方向移動。 愛息 s 14.如申請專利範圍第13項之用於電子零件之接觸件 該等第三接觸部概呈圓柱形，且具有一軸環形成於 接觸部的一端上，其直徑大於該第三接觸部的外後 60 ,1305689 接觸銷自該軸環部延伸，該上接觸銷的 接觸部。 端是作為該第四 5 a如申請專利範圍扣項之胁電切件之接觸件，進一 步包括—上基板及-上桿體，其垂直延伸於該上基板上， 其中”二基底與該上基以可⑽直方向沿該上桿體 10 15 16.如申請專利範圍第13項之電子零件之接觸件，直中 該第-與第二基底至少其中之一包含：一接觸部孔，盆可 容置該第-接㈣或該第三翻部；及—電極端子導孔， 其與該接觸部⑽接，且其㈣電極端子導孔的内徑大於 該接觸部孔的内徑。 =如申請專·圍第14項之用於電子零件之接觸件，其中 5亥上接觸銷具有彈性的構造。 申請專職_13項之歸電子零件之接觸件，盆中 :接觸部的凹部具有-斜面，其斜向該第三接觸部的 20 ^申請專利範圍第18項之用於電子零件之接觸件，其中 電ς接觸部的凹部具有圓錐形狀，其是構形成 零件的-第二電極端子之一部分。 種形成與電子零件的雪 法 电極鳊子％性連接之接觸方 包括： 推麼該等電極端子頂#於多數接觸構件的接觸奇 診以藉由此推壓動作產生的推壓力之—分力來 妾觸部’此分力是朝向與該推壓力的方向實質上 P内之 分力來移動 垂直 .1305689 10 15 20 之方向，每一接觸構件係整體可在水 ^ ^ , 平方向上移動，·及 使料电極端子容納於該等凹部内 於橫向杨使各讀端子 齊。 …㈣接觸心對應凹部的中心對 21·如申請專利範圍第2〇項之方法 壓靠於-電極端子導部上，該電極端子是被推 件的，以可__所==接觸構 的一分力來銘生的推壓力實質上垂直 刀刀不移動該電極端子導部， 該接觸構相㈣接觸。 胃使該電極端子可與 22·如申請專利範圍第2〇項 方向》其中該等接觸部於水平 方向上的移動是藉由將該電R十 該等凹部上來軸，而Μ 電極端子推壓靠於 觸部内。 〃凹°Ρ包含有斜面形成於該等接 二:種=與電子零件的多數電極 :去，該等電極端子是設置於讀 = 上，該接觸方法包括： 午的-主要表面 推壓設置於該電子零件其中〜 頂靠於多數第—接觸構件的第„4要觸表二上之電極端子 上，以藉由此推壓動作產生的推°内之第一凹部 接觸部，此分«二來移動該等 向； 之力的方向實質上垂直之方 使該等電極端子容納於該等 :子的中心與該等第一接觸部的:::内’以使各電極 齊； 凹部的中心對 62 1305689 推壓設置於該電子零件另一主要表面上之電極端子頂 靠於數第二接觸構件的第二接觸部内之第二凹部上，以藉 由此推壓動作產生的推壓力之一分力來移動該等第二接 觸部，此分力是朝向與該推壓力的方向實質上垂直之方 5 向，每一接觸構件係整體可在水平方向上移動；及 使該等電極端子容納於該等第二凹部内，以使各電極 端子於橫向方向上的中心與該等第二接觸部的對應第二 凹部的中心對齊。 24.如申請專利範圍第23項之方法，其中該等電極端子是被 10 分別推壓靠於第一及第二電極端子導部上，其分別導引該 電極端子於該等第一及第二接觸構件的第一及第二凹 部，以可分別藉因推壓作用所產生的推壓力之分力來移動 該等第一及第二電極端子導部，藉以使該等電極端子可與 該等第一及第二凹部接觸。 15 25.如申請專利範圍第23項之方法，其中該第一接觸部於水 平方向上的移動是藉由將設置於其中一主要表面上的電 極端子推壓靠於該等第一凹部上來進行，而該等第一凹部 包含有第一斜面形成於該等第一接觸部内，且該第二接觸 部於水平方向上的移動是藉由將設置於另一主要表面上 20 的電極端子推壓靠於該等第二凹部上來進行，而該等第二 凹部包含有第二斜面形成於該等第二接觸部内。 63