TWI381168B - 通用探針模組 - Google Patents

Description

通用探針模組

本發明是有關於一種液晶顯示面板測試裝置，且特別是有關於一種探針模組。

在液晶顯示面板的製造過程中，為使製程良率以及元件品質能夠達到最佳水準，因此在製程的不同階段皆會進行產品測試。舉例來說，在驅動積體電路與液晶面板組裝之前，會對液晶面板及其上的薄膜電晶體陣列電路(TFT陣列電路)進行短路桿測試法(shorting bar)測試，其中短路桿測試法是指為降低測試成本而將共性電路短接成一點以減少測試點的測試方法。利用精密的分析儀器在整個製程中作各種不同有關品質管制的檢驗，藉以檢測液晶顯示面板在製造過程中所發生的瑕疵，以及找出造成瑕疵的原因，而確保產品品質符合標準，更進一步地提高生產良率。因此，在液晶顯示面板的製造過程中，產品測試是確保液晶顯示面板上之電路元件之良率，並建立有效的資料以提供工程分析的重要步驟。

對液晶顯示面板進行測試時，先利用測試機台發出待測液晶顯示面板所需的電性訊號，並透過與測試機台電性連接之測試頭上的探針將上述之電性訊號傳輸至待測液晶顯示面板上，特別是位於液晶顯示面板上的薄膜電晶體陣列電路。當接收測試機台所傳來之電性訊號後，液晶顯示面板會產生對應的反應，例如顯示畫面。檢測人員可根據液晶顯示面板的畫面檢查是否有異常的光點、暗點或斷線等。

請參考第1圖，其繪示傳統測試頭的示意圖。測試頭10上設有數個探針12。探針12可用來接觸液晶顯示面板上的接墊，以電性連接待測液晶顯示面板。

一般來說，一個測試頭10上的每個探針12的水平間距均為固定的，適用於具有與其相同之間距的待測液晶顯示面板之接墊上。所以，當液晶顯示面板上接墊的間距改變成另一種間距時，原本的測試頭10的探針12間距與液晶顯示面板上的接墊的間距不同，因此無法使用此測試頭10。此時，必須更換測試頭10以對具有不同接墊間距的液晶顯示面板進行測試。測試頭10的更換不僅費時，而且針對不同間距的接墊需準備數套測試頭10，測試頭10價錢昂貴，所費不貲。

有鑑於此，需要一種新的通用探針模組，可以適用於各種具有不同間距的接墊。

本發明一方面提供一種通用探針模組，其包含承載頭。承載頭內設置有滑道模組，其具有數個滑道。各個滑道成上下走向，且朝向一側延伸並交會於一點。換句話說，各個滑道以其延伸交會的點為中心，成放射狀排列。

通用探針模組還包含有數個懸臂和數個探針。每一懸臂的一端以軸承固設於承載頭的側內壁，並穿過其中一個滑道，且每一懸臂的另端凸出於承載頭之外。每一探針設置於每一懸臂凸出於承載頭之外的一端。探針之間係彼此平行設置。

由此可知，藉由滑道模組上下移動，使得懸臂沿著滑道移動而改變懸臂之間的間距，以改變兩兩探針間的間距。

在本發明一實施例中，調節裝置連結滑道模組，以調節滑道模組的位置。調節裝置透出承載頭。在本發明另一實施例中，調節裝置為調節螺絲。藉由將螺絲轉入或轉出承載頭，而帶動滑道模組移動。

在本發明一實施例中，每一個探針均包含有本體、彈性構件、探針頭和訊號線。本體具有一腔室。彈性構件和探針頭設置於腔室內。探針尖端位於探針頭的一端，探針頭尾端抵住彈性構件，而探針尖端自腔室的一開口透出。訊號線電性連接探針頭。由此可知，探針尖端可相對於本體移動。

本發明另一方面提出一種通用探針模組，其具有一承載臂、一滑道模組和數個探針。滑道模組具有數個滑道，滑道向一側延伸交會於一點。換句話說，各個滑道是以交會的點為中心，以放射狀排列。每一探針對應一個滑道設置於其中。每一個探針的探針固定端連接承載臂，且探針尖端透出滑道之外。

藉由承載臂上下移動，帶動探針沿著滑道移動。由於滑道的走向，使得兩兩探針間的間距得以改變。

在本發明一實施例中，每一個探針的本體具有一腔室。彈性構件和探針頭設置於腔室內。位於探針頭一端的探針尖端自腔室的一開口透出，而探針頭尾端抵住彈性構件。訊號線電性連接探針頭。由此可知，探針尖端可相對於本體移動。

在本發明之另一實施例中，每一探針尖端與探針頭間有一夾角，夾角之角度等於探針所設置之滑道與水平面夾角的補角角度。如此一來，探針尖端可約略垂直於水平面，有助於使每個探針與接墊的接觸面積保持一致，以維持量測的一致性和穩定性。

請同時參考第2A圖和第2B圖，其分別繪示根據本發明一實施例的一種通用探針模組100的側視示意圖和正視示意圖。通用探針模組100具有數個探針150。探針150之間的間距可調動，以因應各種具有不同間距的接墊。請注意，後續說明雖以液晶顯示面板20為例，然而本發明所揭露的通用探針模組100可應用在面板、晶片、電路板等各種半導體製品上。

在本發明之實施例中，通用探針模組100具有一承載頭110。其可連接或固定在測試機台(未繪示)上。承載頭110具有一上壁112、一側壁114和一底板116，三者包圍形成一容置空間118。承載頭110內設置有一滑道模組120。其中，底板116上設置有孔119，可供滑道模組120穿過。

滑道模組120具有一載體124，載體124上設置有數個滑道122。載體124可為一平板、一曲板或一錐狀塊材等。在本發明之實施例中，載體124為一平板，且滑道122位於同一平面上。

滑道122貫穿載體124。每個滑道122均呈上下走向，亦即大約沿著如第2A圖和第2B圖所繪示的Z軸方向，且滑道122朝向一側延伸交會於一點。請同時參考第2B圖和第2D圖，第2D圖係繪示通用探針模組100的滑道模組120的正視示意圖。具體來說，滑道122排列成放射狀，且每個滑道122的延伸線交會於同一點，如交會點126上。在本發明之實施例中，交會點靠近載體124的下緣，使得滑道122靠近載體124下緣的一端的間距t1小於滑道122靠近載體124的上緣的一端的間距t2。在本發明之另一實施例中，交會點126是靠近載體124的上緣。

請同時參考第2A圖和第2B圖。調節裝置160連結滑道模組120，用以調節滑道模組120的位置。具體來說，調節裝置160連接滑道模組120的載體124和承載頭110，用以改變滑道模組120和承載頭110之間的相對位置，尤其是使滑道模組120和承載頭110的相對垂直位置。舉例來說，如第2A圖所示，調節裝置160用以使滑道模組120沿著方向300或方向300之反向移動。

調節裝置160部分透出承載頭110，以便使用者或機台抓取使用。在本發明之實施例中，調節裝置160是一調節螺絲，其一端固定在滑道模組120的載體124上，另一端穿過承載頭110上的螺孔162而凸出於承載頭110之外。藉由轉動調節螺絲，使得載體124沿著方向300或其反方向移動。在本發明之實施例中，調節螺絲是連接載體124的上緣，且螺孔162位於承載頭110的上壁112。

數個旋臂130一一穿過滑道122。每一個旋臂130的第一端132透過軸承140固設在承載頭110的內壁，且第二端134穿過滑道122而凸出於承載頭110之外，如第2A圖所示。如前所述，滑道122排列成放射狀，故每個滑道122相對於Y軸傾斜。旋臂130的傾斜角度約略等於其所對應的滑道122的傾斜角度，故可穿過滑道122。換言之，旋臂130亦排列成放射狀。

請同時參考第2A圖和第2C圖，第2C圖繪示通用探針模組100部分元件的上視示意圖。在本發明之實施例中，旋臂130的第一端132透過軸承140固設在承載頭110的側壁114的內壁。透過軸承140的設置，旋臂130可以軸承140為中心水平轉動，例如沿著方向320來回轉動。旋臂130的第二端134可大約沿著X軸方向且順著一圓弧線移動，亦即旋臂130的第二端134呈現扇形的開合。如此一來，各個旋臂130的第二端134之間的間距便可變動。詳細的作動方法請見後續說明。

請同時參考第2A圖和第2B圖，在本發明之實施例中，通用探針模組100還包含一固定件170，用來固定旋臂130。固定件170可設置在承載頭110的上內側和旋臂130的上緣之間。具體來說，固定件170固定於承載頭110上，且抵接旋臂130的上緣，以固定旋臂130和承載頭110相對垂直位置。換言之，當探針150與接墊(未繪示)接觸時，接墊可提供探針150及旋臂130一個向上的推力。旋臂130受固定件170抵擋而不至於順著滑道122沿著方向300移動。其中，固定件170可為擋塊。

在本發明之實施例中，旋臂130的下緣係抵接到承載頭110的底板116，亦即透過底板116和固定件170夾持旋臂130的上下緣，以限制旋臂130無法沿著方向300或其反向移動。在本發明之另一實施例中，通用探針模組100更可以選擇性的包含一另一固定件(未繪示)設置位於承載頭110的下內側和旋臂130的下緣之間。

在本發明之實施例中，固定件170和底板116可用來夾持住或鬆開旋臂130的上下緣。具體來說，固定件170可裝設在旋臂130的上緣或被卸下。當固定件170卸下而鬆開旋臂130時，旋臂130可調動其水平位置。當欲固定旋臂130時，可將固定件170裝上，使得固定件170和底板116分別抵接旋臂130的上下緣，進而固定住旋臂130和滑道122的相對垂直位置。

通用探針模組100的探針150分別固定在旋臂130的第二端134上。探針150可以樞接的方式固定在第二端134上，使得探針150可相對於旋臂130轉動，例如透過固定於旋臂130第二端134上的樞接構件(未繪示)連接探針150。另選地，探針150也可透過其他方式固定於第二端134。當各個旋臂130的第二端134之間的間距變動時，探針150之間的間距也隨之改變。在本發明之實施例中，探針150之間互相平行設置，且等間距排列。在本發明之實施例中，探針150與旋臂130的第二端134為電性隔絕。

請參考第2A圖和第3圖，第3圖繪示探針150的剖面示意圖。每一探針150包含有一本體151和一探針頭156。探針尖端158在探針頭156的一端，用以接觸液晶顯示面板20。探針頭156電性連接一訊號線180，以電性連接到測試機(未繪示)。探針頭156的另一端為尾端。

每個探針150的本體151上設有腔室152。探針頭156設於腔室152內，且自腔室152的開口透出。具體來說，探針頭156的尾端位於腔室152內，探針尖端158則從腔室152的開口透出。

腔室152內設置有彈性構件154。探針頭156的尾端抵住彈性構件154。由此可知，當使用探針150接觸液晶顯示面板20上的接墊時，探針尖端158可略微朝向腔室152移動，可避免碰撞液晶顯示面板20而導致液晶顯示面板20或探針150的損毀。另一方面，當探針尖端158因推擠而朝向腔室152移動時，彈性構件154可提供探針頭156反向的彈性力，使得探針尖端158與液晶顯示面板20上的接墊的接觸穩固。

彈性構件154的種類與形式有很多種，例如彈片、彈簧氣壓或液壓模組等。在本發明之實施例中，彈性構件154為彈簧。

第4A圖和第4B圖分別繪示通用探針模組100兩種不同的使用狀態。為了方便說明，第4A圖和第4B圖所繪示的通用探針模組100的固定件170以虛線框表示。

藉由調節裝置160移動滑道模組120，使其沿著方向300或方向310移動。如前所述，在本發明之實施例中，可透過調節螺絲的轉動，帶動載體124沿著方向300或方向310移動。當滑道模組120移動時，旋臂130會相對應的水平移動。詳細來說，滑道122係排列成放射狀，故當滑道122上下移動時，旋臂130相對於滑道122移動，其水平位置也隨之改變。另外，由於固定件170和承載頭110的底板116夾持了旋臂130，故限制了旋臂130的垂直位置。

當滑道模組120朝向方向310移動時，由於滑道122的走向，滑道122之間的間距增加，使得旋臂130的水平位置向外展開，而使探針150的間距變寬。反之，當滑道模組120沿著方向300移動時，旋臂130的水平位置向內收縮，而使探針150的間距變窄。

第5A圖到第7B圖分別繪示通用探針模組100三種不同的使用狀態。第5A圖和第5B圖分別為通用探針模組100在第一種狀態下的側視示意圖和上視示意圖。第6A圖和第6B圖分別為通用探針模組100在第二種狀態下的側視圖和俯視圖。第7A圖和第7B圖分別為通用探針模組100在第三種狀態下的側視圖和俯視圖。

如前所述，旋臂130的一端透過軸承140樞接承載頭110，因此當滑道模組120沿著方向300或方向310移動時，旋臂130可以軸承140為中心水平轉動，使得旋臂130的第二端134可在XY平面上順著一圓弧線移動。

為了減少探針150在沿著Y軸的方向上的位移，可當旋臂130穿過滑道模組120中間區段時，設定探針150排列於同一直線上，如第6A圖和第6B圖所示。如此一來，當旋臂130穿過滑道模組120靠近其下緣的部分時(如第5A圖和第5B圖)，或者當旋臂130穿過滑道模組120靠近其上緣的部分時(如第7A圖和第7B圖)，探針150沿著Y軸方向的位移可較小。

請參考第8A圖和第8B圖，其分別繪示根據本發明另一實施例的通用探針模組100的側視示意圖和正視示意圖。通用探針模組100具有一承載頭110和數個探針150。承載頭110內設置有承載臂210和滑道模組120。承載頭110和探針150的結構均已詳述如上，在此不再多加贅述。

滑道模組120具有一載體124，載體124上設置有數個滑道122。載體124可為一平板，且滑道122位於同一平面上。滑道122可貫穿或不貫穿載體124。

每個滑道122均成上下走向，亦即大約沿著如第8A圖和第8B圖所繪示的Z軸方向，且滑道122朝向一側延伸交會於一點。請參考第8B圖和第8D圖，第8D圖係繪示通用探針模組100的滑道模組120的正視示意圖。具體來說，滑道122排列成放射狀，且每個滑道122的延伸線交會於同一點上，如交會點126。在本發明之實施例中，交會點靠近載體124的下緣，使得滑道122靠近載體124下緣的一端的間距小於滑道122靠近載體124的上緣的一端的間距。在本發明之另一實施例中，交會點126是靠近載體124的上緣。

在本發明之實施例中，每一個探針150設置位於一個滑道122內，且可沿著滑道122移動。如前所述，滑道122朝向一側延伸交會於一點，而呈現放射狀的排列。

當探針150均朝該交會點移動時，探針150之間的間距會縮小。反之，當所有探針150均朝向遠離該交會點移動時，探針150的間距會增加。

探針150位於滑道122內，且探針150的探針尖端158透出滑道122之外，以接觸液晶顯示面板20上的接墊。如前所述，探針頭156電性連接訊號線180，以電性連接到測試機(未繪示)。在本發明之實施例中，探針150和滑動模組120電性隔絕。

探針150連接承載臂210，透過承載臂210帶動而相對於滑道122移動。具體而言。探針150具有固定端159，固定端159連接承載臂210。探針150的固定端159可固定於承載臂210上，或滑動連接承載臂210。在本發明之實施例中，固定端159是滑動連接承載臂210，詳細說明如下。

請參考第8B圖和第8C圖，第8C圖繪示通用探針模組100的部分元件的上視示意圖。固定端159和承載臂210是滑動連接。固定端159和承載臂210的垂直相對位置為固定的，且固定端159可相對於承載臂210水平滑動。其中，垂直方向是指大約沿著如第8B圖所繪示的Z軸方向，水平方向是指大約沿著X軸方向。如此一來，當承載臂210沿著方向300上下移動時，承載臂210會帶動探針150沿著方向300上下移動。同時，探針150的固定端159會相對於承載臂210水平移動，例如沿著第8C圖繪示的方向340來回滑動，進而改變探針150之間的間距。

達成探針150的固定端159和承載臂210滑動連接的結構有很多種。舉例來說，固定端159可設置水平走向的貫穿孔，承載臂210一一穿過各個探針150上的貫穿孔。另外，承載臂210可設置水平走向的滑槽，固定端159則設置卡扣以扣入滑槽中。

請參考第8A圖和第8B圖，調節裝置160連結承載臂210，以調節承載臂210的位置。在本發明之實施例中，調節裝置160用以調整承載臂210的垂直位置，亦即調節承載臂210沿著方向300上下移動。調節裝置160部分透出承載頭110，以便使用者或機台抓取使用。

在本發明之實施例中，調節裝置160是一調節螺絲，其一端固定在承載臂210上，另一端穿過承載頭110上壁112的螺孔162而凸出於承載頭110之外。藉由轉動調節螺絲，使得承載臂210沿著方向300或其反方向移動。

在本發明之實施例中，通用探針模組100更設置有導向柱220，以導引承載臂210移動。導向柱220一端連接承載臂210，另一端穿透承載頭110的上壁112。在本發明之實施例中，承載頭110的上壁112設有導向孔222，導向柱220的一端穿過導向孔222。

請同時參考請同時參考第8B圖和第9圖，第9圖係繪示探針150的局部放大示意圖。在本發明之實施例中，所有的探針150的探針尖端158均排列在相同的高度上。透過承載臂210的設置，當探針150相對於滑道122移動時，所有探針150的探針尖端158會一起移動，且均位於同一高度上。

由於探針150位於滑道122內，隨著滑道122的傾斜而傾斜。為了避免因為探針150傾斜導致探針尖端158與接墊的接觸面積改變，本發明之實施例中將探針尖端158彎折，使得探針尖端158與探針頭156間夾角θ₁ 的角度約等於探針尖端158的延伸方向與接墊的夾角的補角θ₂ 的角度。如此一來，探針尖端158會約略垂直於接墊。

請同時參考第8B圖和第10圖，其分別繪示通用探針模組100兩種不同的使用狀態。

藉由調節裝置160移動承載臂210，使其沿著方向300或方向310移動。當承載臂210移動時，其帶動探針150沿著滑道122移動。由於滑道122為傾斜的，故當探針150沿著滑道122上下移動時，探針150之間的水平間距也隨之改變。

詳細來說，當承載臂210帶著探針150朝向方向300移動時，由於滑道122的走向，滑道122之間的間距增加，使得探針150的水平位置向外展開，而使探針150的間距變寬。反之，當承載臂210帶著探針150沿著方向310移動時，探針150的水平位置向內收縮，而使探針150的間距變窄。

由上述本發明各個實施例可知，透過滑道模組120上滑道122的排列，使得當探針150相對於滑道122上下移動時，兩兩探針150之間的間距也隨之改變。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧測試頭

12‧‧‧探針

20‧‧‧液晶顯示面板

100‧‧‧通用探針模組

110‧‧‧承載頭

112‧‧‧上壁

114‧‧‧側壁

116‧‧‧底板

118‧‧‧容置空間

119‧‧‧孔

120‧‧‧滑道模組

122‧‧‧滑道

124‧‧‧載體

130‧‧‧旋臂

126‧‧‧交會點

134‧‧‧第二端

132‧‧‧第一端

150‧‧‧探針

140‧‧‧軸承

152‧‧‧腔室

151‧‧‧本體

156‧‧‧探針頭

154‧‧‧彈性構件

159‧‧‧固定端

158‧‧‧探針尖端

162‧‧‧螺孔

160‧‧‧調節裝置

180‧‧‧訊號線

170‧‧‧固定件

220‧‧‧導向柱

210‧‧‧承載臂

300‧‧‧方向

222‧‧‧導向孔

310‧‧‧方向

320‧‧‧方向

340‧‧‧方向

t1、t2‧‧‧間距

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：

第1圖繪示傳統測試頭的示意圖。

第2A圖係繪示根據本發明一實施例的通用探針模組的側視示意圖。

第2B圖係繪示如第2A圖所繪示的通用探針模組的正視示意圖。

第2C圖係繪示如第2A圖所繪示的通用探針模組的局部上視示意圖。

第2D圖係繪示如第2A圖所繪示的通用探針模組的滑道模組的正視示意圖。

第3圖繪示探針的剖面示意圖。

第4A圖和第4B圖繪示通用探針模組的正視示意圖，分別表示通用探針模組兩種不同的使用狀態。

第5A圖和第5B圖分別為通用探針模組的側視示意圖和上視示意圖。

第6A圖和第6B圖分別為通用探針模組的側視圖和俯視圖。

第7A圖和第7B圖分別為通用探針模組的側視圖和俯視圖。

第8A圖繪示根據本發明另一實施例的通用探針模組的側視示意圖。

第8B圖繪示如第8A圖所繪示的通用探針模組的正視示意圖。

第8C圖繪示如第8A圖所繪示的通用探針模組的局部示意圖。

第8D圖係繪示如第8A圖所繪示的通用探針模組的滑道模組的正視示意圖。

第9圖繪示如第8B圖所繪示的探針的局部示意圖。

第10圖繪示如第8B圖所繪示的通用探針模組的正視示意圖，表示通用探針模組另一種不同的使用狀態。

100．．．通用探針模組

110．．．承載頭

112．．．上壁

116．．．底板

120．．．滑道模組

122．．．滑道

124．．．板

130．．．旋臂

150．．．探針

160．．．調節裝置

162．．．螺孔

170．．．固定件

180．．．訊號線

Claims (15)

1. 一種通用探針模組，至少包含：一承載頭；一滑道模組，設置於該承載頭內，該滑道模組具有複數個滑道成上下走向，該些滑道向一側延伸交會於一點；複數個懸臂，每一該些懸臂一端以一軸承固設於該承載頭的側內壁，並穿過一滑道而使每一該些懸臂的另端凸出於該承載頭之外；以及複數根探針，每一該些探針設置於每一該些懸臂的該另端，該些探針係彼此平行設置，其中，藉由該滑道模組上下移動，以改變兩兩該些探針間的間距。
2. 如申請專利範圍第1項所述之通用探針模組，其中更包括一調節裝置連結該滑道模組，以調節該滑道模組的位置，該調節裝置透出該承載頭。
3. 如申請專利範圍第2項所述之通用探針模組，其中該調節裝置為一調節螺絲。
4. 如申請專利範圍第1項所述之通用探針模組，其中更包括一固定件，設置於該些懸臂上緣與該承載頭上內側之間，以固定該些懸臂。
5. 如申請專利範圍第4項所述之通用探針模組，其中該固定件為一擋塊。
6. 如申請專利範圍第1項所述之通用探針模組，其中每一該些探針包括：一本體，具有一腔室；一彈性構件，設置於該腔室內；一探針頭，設置於該腔室內，一探針尖端位於該探針頭的一端，該探針頭的尾端抵住該彈性構件而該探針尖端自該腔室的一開口透出；以及一訊號線，電性連接該探針頭。
7. 如申請專利範圍第6項所述之通用探針模組，其中該彈性構件為一彈簧。
8. 一種通用探針模組，至少包含：一承載臂；一滑道模組，該滑道模組具有複數個滑道，該些滑道向一側延伸交會於一點；以及複數根探針，分別設置於該些滑道內，每一該些探針連接該承載臂，每一該些探針的一探針尖端透出滑道之外；其中，藉由該承載臂上下移動，以改變兩兩該些探針間的間距。
9. 如申請專利範圍第8項所述之通用探針模組，其中更包括一承載頭，該承載臂、該滑道模組均設置於該承載頭之內。
10. 如申請專利範圍第9項所述之通用探針模組，其中更包括一調節裝置連結該承載臂，以調節該承載臂的位置，該調節裝置透出該承載頭。
11. 如申請專利範圍第9項所述之通用探針模組，其中更包括一導向柱，該導向柱一端連接該承載臂，另端穿透該承載頭的上壁。
12. 如申請專利範圍第10項所述之通用探針模組，其中該調節裝置為一調節螺絲。
13. 如申請專利範圍第8項所述之通用探針模組，其中每一該些探針包括：一本體，具有一腔室；一彈性構件，設置於該腔室內；一探針頭，設置於該腔室內，該探針尖端位於該探針頭的一端，該探針頭的尾端抵住該彈性構件而該探針尖端自該腔室的一開口透出；以及一訊號線，電性連接該探針頭。
14. 如申請專利範圍第13項所述之通用探針模組，其中每一該些探針的該探針尖端與該探針頭間有一夾角，該夾角之角度等於該探針所設置之該滑道與水平面夾角的補角角度。
15. 如申請專利範圍第8項所述之通用探針模組，其中每一該些探針固定端係滑動連接該承載臂。