JP3201183B2 - 電子部品の特性測定装置 - Google Patents
電子部品の特性測定装置Info
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- JP3201183B2 JP3201183B2 JP28587794A JP28587794A JP3201183B2 JP 3201183 B2 JP3201183 B2 JP 3201183B2 JP 28587794 A JP28587794 A JP 28587794A JP 28587794 A JP28587794 A JP 28587794A JP 3201183 B2 JP3201183 B2 JP 3201183B2
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品の電気的特性を
測定する装置、特にチップコンデンサやチップ抵抗のよ
うなチップ部品の特性測定に適した装置に関するもので
ある。
測定する装置、特にチップコンデンサやチップ抵抗のよ
うなチップ部品の特性測定に適した装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】小型高密度化，高信頼性，自動マウント
への適合性などのメリットにより、チップコンデンサや
チップ抵抗などのチップ部品が広く使用されている。こ
の種のチップ部品の場合、基板へ実装する前にその電気
的特性を測定し、品質検査を行う必要がある。
への適合性などのメリットにより、チップコンデンサや
チップ抵抗などのチップ部品が広く使用されている。こ
の種のチップ部品の場合、基板へ実装する前にその電気
的特性を測定し、品質検査を行う必要がある。
【０００３】従来、チップ部品の特性測定に際し、図１
に示すような保持治具を用いていた。この保持治具は、
エポキシ樹脂などからなるプレート１に電子部品の保持
のための多数の保持穴２を配列形成したものである。こ
の保持治具を用いて積層コンデンサ３の静電容量値を測
定する際には、図２のように積層コンデンサ３を保持穴
２に収納し、積層コンデンサ３の端子部３ａに上下から
プローブ４を接触させることで測定していた。
に示すような保持治具を用いていた。この保持治具は、
エポキシ樹脂などからなるプレート１に電子部品の保持
のための多数の保持穴２を配列形成したものである。こ
の保持治具を用いて積層コンデンサ３の静電容量値を測
定する際には、図２のように積層コンデンサ３を保持穴
２に収納し、積層コンデンサ３の端子部３ａに上下から
プローブ４を接触させることで測定していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来技術では、プレート１を介して接近する積層コ
ンデンサ３間で仮想キャパシタンスが形成され、浮遊容
量が発生するとともに、プローブ４自体にシールド性が
ないため、高精度な測定を行うことが不可能であった。
そこで、本発明の目的は、互いに接近した状態の複数の
電子部品の個々の電気的特性を正確に測定することがで
きる、シールド性の高い電子部品の特性測定装置を提供
することにある。
うな従来技術では、プレート１を介して接近する積層コ
ンデンサ３間で仮想キャパシタンスが形成され、浮遊容
量が発生するとともに、プローブ４自体にシールド性が
ないため、高精度な測定を行うことが不可能であった。
そこで、本発明の目的は、互いに接近した状態の複数の
電子部品の個々の電気的特性を正確に測定することがで
きる、シールド性の高い電子部品の特性測定装置を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、内面が絶縁され、上記電子部品を１個ず
つ収納する多数の保持穴を有し、かつ保持穴の周囲に導
電部を有する保持治具と、上記電子部品の端子部に弾性
的に当接する接触端子と、接触端子の周囲を接触端子と
電気的に絶縁した状態で覆い、その先端開口部が保持治
具の導電部に弾性的に当接するガードシールドとを有す
るプローブと、を備えたものである。なお、ガードシー
ルドの開口部に保持治具と当接することにより弾性変形
可能なばね弾性部を形成するのが望ましい。また、保持
治具としては、複数の取付穴を一定間隔で配列形成した
金属製プレートと、取付穴の内壁に取り付けられ、電子
部品を弾性的に保持する保持穴を形成する弾性体とで構
成したものが望ましい。さらに、プローブに、接触端子
の外側を覆いかつガードシールドの内側に配置された内
周導体を設けるのが望ましい。この内周導体は接触端子
と電気的に接続され、ガードシールドと絶縁される。
め、本発明は、内面が絶縁され、上記電子部品を１個ず
つ収納する多数の保持穴を有し、かつ保持穴の周囲に導
電部を有する保持治具と、上記電子部品の端子部に弾性
的に当接する接触端子と、接触端子の周囲を接触端子と
電気的に絶縁した状態で覆い、その先端開口部が保持治
具の導電部に弾性的に当接するガードシールドとを有す
るプローブと、を備えたものである。なお、ガードシー
ルドの開口部に保持治具と当接することにより弾性変形
可能なばね弾性部を形成するのが望ましい。また、保持
治具としては、複数の取付穴を一定間隔で配列形成した
金属製プレートと、取付穴の内壁に取り付けられ、電子
部品を弾性的に保持する保持穴を形成する弾性体とで構
成したものが望ましい。さらに、プローブに、接触端子
の外側を覆いかつガードシールドの内側に配置された内
周導体を設けるのが望ましい。この内周導体は接触端子
と電気的に接続され、ガードシールドと絶縁される。
【０００６】
【作用】保持治具の保持穴に電子部品を１個ずつ収納
し、この電子部品の端子部にプローブの接触端子を当接
させる。この時、接触端子は電子部品に弾性的に当接す
るので、接触信頼性が高く、かつ電子部品に無理な圧力
を与えることがない。接触端子が電子部品に接触すると
共に、プローブのガードシールドが保持治具の導電部に
当接する。この時、ガードシールドの先端部は保持治具
の導電部に対して弾性的に当接するので、ガードシール
ドと保持治具の導電部との導通信頼性も高い。保持治具
の導電部は電子部品の周囲を覆っており、かつガードシ
ールドが接触端子の周囲を覆っているので、電子部品の
周囲は完全にシールドされる。そのため、隣合う電子部
品間の相互干渉の影響を排除できる。また、ガードシー
ルドによってプローブ自身にシールド性が付与されるた
め、高精度な測定を行うことができる。
し、この電子部品の端子部にプローブの接触端子を当接
させる。この時、接触端子は電子部品に弾性的に当接す
るので、接触信頼性が高く、かつ電子部品に無理な圧力
を与えることがない。接触端子が電子部品に接触すると
共に、プローブのガードシールドが保持治具の導電部に
当接する。この時、ガードシールドの先端部は保持治具
の導電部に対して弾性的に当接するので、ガードシール
ドと保持治具の導電部との導通信頼性も高い。保持治具
の導電部は電子部品の周囲を覆っており、かつガードシ
ールドが接触端子の周囲を覆っているので、電子部品の
周囲は完全にシールドされる。そのため、隣合う電子部
品間の相互干渉の影響を排除できる。また、ガードシー
ルドによってプローブ自身にシールド性が付与されるた
め、高精度な測定を行うことができる。
【０００７】多数個の電子部品の特性を同時に測定する
場合、各接触端子を電子部品に、各ガードシールドを保
持治具にそれぞれ確実に導通させる必要がある。この場
合、接触端子は電子部品に、ガードシールドは保持治具
にそれぞれ弾性的に接触するので、接触端子やガードシ
ールドの位置のばらつきを吸収でき、確実に導通させる
ことができる。
場合、各接触端子を電子部品に、各ガードシールドを保
持治具にそれぞれ確実に導通させる必要がある。この場
合、接触端子は電子部品に、ガードシールドは保持治具
にそれぞれ弾性的に接触するので、接触端子やガードシ
ールドの位置のばらつきを吸収でき、確実に導通させる
ことができる。
【０００８】
【実施例】図３は本発明にかかる特性測定装置の一実施
例を示す。この実施例では、電子部品Ａとして両端部に
端子電極（端子部）ａを有する積層コンデンサを使用し
ているが、他の如何なるチップ部品でも使用可能であ
る。保持治具１０は、図４のように複数の取付穴１２を
一定間隔で配列形成した金属製プレート１１よりなり、
取付穴１２の内壁には、電子部品Ａを弾性的に保持する
ための保持穴１３を形成する弾性体１４が取り付けられ
ている。上記保持穴１３には電子部品Ａが弾性的に保持
され、電子部品Ａの両端の端子部ａが保持穴１３の上下
部に露出している。なお、プレート１１の材料として
は、導電性金属であればよく、例えばアルミニウムを使
用できる。また、弾性体１４としては弾性ゴムが使用さ
れ、特に耐摩耗性，絶縁性，耐熱性を備えたものとして
シリコーンゴムが望ましい。
例を示す。この実施例では、電子部品Ａとして両端部に
端子電極（端子部）ａを有する積層コンデンサを使用し
ているが、他の如何なるチップ部品でも使用可能であ
る。保持治具１０は、図４のように複数の取付穴１２を
一定間隔で配列形成した金属製プレート１１よりなり、
取付穴１２の内壁には、電子部品Ａを弾性的に保持する
ための保持穴１３を形成する弾性体１４が取り付けられ
ている。上記保持穴１３には電子部品Ａが弾性的に保持
され、電子部品Ａの両端の端子部ａが保持穴１３の上下
部に露出している。なお、プレート１１の材料として
は、導電性金属であればよく、例えばアルミニウムを使
用できる。また、弾性体１４としては弾性ゴムが使用さ
れ、特に耐摩耗性，絶縁性，耐熱性を備えたものとして
シリコーンゴムが望ましい。
【０００９】プローブ２０は、電子部品Ａの端子部ａに
当接するピン型の接触端子２１と、接触端子２１の後端
部に連結された絶縁性のガイド軸２２とを備えている。
接触端子２１の周囲は下端側が開口した導電性の内周導
体２３で覆われており、接触端子２１はガイドブッシュ
２３ａを介して内周導体２３の中心部に摺動自在に支持
されている。上記ガイド軸２２は内周導体２３の上端部
を貫通しており、ガイド軸２２にはスプリング２４が挿
通されている。このスプリング２４は、内周導体２３の
上端部と接触端子２１との間に介装され、接触端子２１
を下方へ付勢している。接触端子２１と内周導体２３と
はスプリング２４を介して、あるいはガイドブッシュ２
３ａを介して導通している。
当接するピン型の接触端子２１と、接触端子２１の後端
部に連結された絶縁性のガイド軸２２とを備えている。
接触端子２１の周囲は下端側が開口した導電性の内周導
体２３で覆われており、接触端子２１はガイドブッシュ
２３ａを介して内周導体２３の中心部に摺動自在に支持
されている。上記ガイド軸２２は内周導体２３の上端部
を貫通しており、ガイド軸２２にはスプリング２４が挿
通されている。このスプリング２４は、内周導体２３の
上端部と接触端子２１との間に介装され、接触端子２１
を下方へ付勢している。接触端子２１と内周導体２３と
はスプリング２４を介して、あるいはガイドブッシュ２
３ａを介して導通している。
【００１０】内周導体２３の周囲は、外周導体を構成す
るガードシールド２５で覆われている。内周導体２３は
ガードシールド２５の中心部に絶縁性のスペーサ２６を
介して支持されている。ガードシールド２５は下方に向
かって徐々に径方向に拡開する形状の開口部２５ａを有
しており、この開口部２５ａが保持治具１０の導電部で
あるプレート１１に接触するように、その内径は弾性体
１４の外径より大きい。しかも、開口部２５ａがプレー
ト１１に対して、多点でかつ確実に接触できるように、
開口部２５ａの先端からガードシールド２５の中間部ま
で軸方向のスリット２５ｂを多数形成してある。そのた
め、開口部２５ａは保持治具１０と当接することにより
容易に弾性変形できるようばね弾性を付与されている。
るガードシールド２５で覆われている。内周導体２３は
ガードシールド２５の中心部に絶縁性のスペーサ２６を
介して支持されている。ガードシールド２５は下方に向
かって徐々に径方向に拡開する形状の開口部２５ａを有
しており、この開口部２５ａが保持治具１０の導電部で
あるプレート１１に接触するように、その内径は弾性体
１４の外径より大きい。しかも、開口部２５ａがプレー
ト１１に対して、多点でかつ確実に接触できるように、
開口部２５ａの先端からガードシールド２５の中間部ま
で軸方向のスリット２５ｂを多数形成してある。そのた
め、開口部２５ａは保持治具１０と当接することにより
容易に弾性変形できるようばね弾性を付与されている。
【００１１】上記構造のプローブ２０は、スライダ２７
に保持穴１３と同一配列ピッチで多数個取り付けられて
いる。プローブ２０を備えたスライダ２７は、保持治具
１０の上側（片側）だけでなく、下側（反対側）にも対
向するように配置されている。いずれか一方、または双
方のスライダ２７が保持治具１０方向に移動すると、プ
ローブ２０の接触端子２１が電子部品Ａの端子部ａに弾
性的に当接するとともに、ガードシールド２５が保持治
具１０のプレート１１に弾性的に接触する。そのため、
接触端子２１が電子部品Ａの端子部ａと電気的に導通す
るとともに、ガードシールド２５はプレート１１と電気
的に導通する。上記のように測定のためにスライダ２７
を保持治具１０方向へ移動させた時、全てのガードシー
ルド２５の先端部の位置が一定しない場合があるが、ガ
ードシールド２５の先端部はプレート１１に当たって弾
性変形できるので、先端位置のバラツキを吸収でき、確
実にプレート１１に接触させることができる。
に保持穴１３と同一配列ピッチで多数個取り付けられて
いる。プローブ２０を備えたスライダ２７は、保持治具
１０の上側（片側）だけでなく、下側（反対側）にも対
向するように配置されている。いずれか一方、または双
方のスライダ２７が保持治具１０方向に移動すると、プ
ローブ２０の接触端子２１が電子部品Ａの端子部ａに弾
性的に当接するとともに、ガードシールド２５が保持治
具１０のプレート１１に弾性的に接触する。そのため、
接触端子２１が電子部品Ａの端子部ａと電気的に導通す
るとともに、ガードシールド２５はプレート１１と電気
的に導通する。上記のように測定のためにスライダ２７
を保持治具１０方向へ移動させた時、全てのガードシー
ルド２５の先端部の位置が一定しない場合があるが、ガ
ードシールド２５の先端部はプレート１１に当たって弾
性変形できるので、先端位置のバラツキを吸収でき、確
実にプレート１１に接触させることができる。
【００１２】電子部品Ａを挟んで上下に対向する接触端
子２１は、内周導体２３とともに、図示しない測定器に
接続されている。一方、ガードシールド２５はアースさ
れている。このように接触端子２１の周囲が内周導体２
３によって覆われているため、上下に可動する接触端子
２１とガードシールド２５との間に働く浮遊容量の変化
が少なくなり、測定精度を高めることができる。上記の
ように、本特性測定装置を積層コンデンサＡの測定に用
いた場合、保持治具１０の金属プレート１１により積層
コンデンサＡ間に浮遊容量が発生するのを防止できると
ともに、プローブ２０のガードシールド２５が浮遊容量
の影響を排除することができる。その結果、個々の積層
コンデンサＡの静電容量値を高精度に測定することが可
能となる。
子２１は、内周導体２３とともに、図示しない測定器に
接続されている。一方、ガードシールド２５はアースさ
れている。このように接触端子２１の周囲が内周導体２
３によって覆われているため、上下に可動する接触端子
２１とガードシールド２５との間に働く浮遊容量の変化
が少なくなり、測定精度を高めることができる。上記の
ように、本特性測定装置を積層コンデンサＡの測定に用
いた場合、保持治具１０の金属プレート１１により積層
コンデンサＡ間に浮遊容量が発生するのを防止できると
ともに、プローブ２０のガードシールド２５が浮遊容量
の影響を排除することができる。その結果、個々の積層
コンデンサＡの静電容量値を高精度に測定することが可
能となる。
【００１３】上記実施例では、ガードシールド２５に多
数のスリット２５ｂを形成することにより、ガードシー
ルド２５の開口部２５ａにばね弾性を付与したが、これ
に代えて、図５のようにガードシールド２５の開口部に
蛇腹状の湾曲部２５ｃを形成してもよい。また、金属板
よりなるガードシールド２５に代えて、図６のように網
目状の金属線の集合体で構成してもよい。金属線として
は、例えば同軸ケーブルのシールド線と同等のものを使
用すればよい。この場合には、ガードシールド２５の全
体が撓むので、保持治具１０のプレート１１に多点でか
つ弾性的に接触させることができる。
数のスリット２５ｂを形成することにより、ガードシー
ルド２５の開口部２５ａにばね弾性を付与したが、これ
に代えて、図５のようにガードシールド２５の開口部に
蛇腹状の湾曲部２５ｃを形成してもよい。また、金属板
よりなるガードシールド２５に代えて、図６のように網
目状の金属線の集合体で構成してもよい。金属線として
は、例えば同軸ケーブルのシールド線と同等のものを使
用すればよい。この場合には、ガードシールド２５の全
体が撓むので、保持治具１０のプレート１１に多点でか
つ弾性的に接触させることができる。
【００１４】図７はプローブ２０のさらに他の例を示
す。この場合には、内側導体２３の上端部に絶縁性のス
リーブ３０を連結し、このスリーブ３０の内側にガイド
軸２２を挿通してある。スリーブ３０の外側にはガード
シールド２５が摺動自在に挿通されている。スリーブ３
０の上端部はスライダ２７と連結されており、スリーブ
３０の上鍔部３０ａとガードシールド２５との間にスプ
リング３１が介装されている。なお、内側導体２３の上
端部には、ガードシールド２５の上端部下面を位置規制
するためのストッパを兼ねるスリーブ３０の下鍔部３０
ｂが位置している。また、ガードシールド２５と内側導
体２３との間に配置されたスペーサ２６は、ガードシー
ルド２５または内側導体２３に対して摺動自在であり、
ガードシールド２５を上下動自在にガイドしている。
す。この場合には、内側導体２３の上端部に絶縁性のス
リーブ３０を連結し、このスリーブ３０の内側にガイド
軸２２を挿通してある。スリーブ３０の外側にはガード
シールド２５が摺動自在に挿通されている。スリーブ３
０の上端部はスライダ２７と連結されており、スリーブ
３０の上鍔部３０ａとガードシールド２５との間にスプ
リング３１が介装されている。なお、内側導体２３の上
端部には、ガードシールド２５の上端部下面を位置規制
するためのストッパを兼ねるスリーブ３０の下鍔部３０
ｂが位置している。また、ガードシールド２５と内側導
体２３との間に配置されたスペーサ２６は、ガードシー
ルド２５または内側導体２３に対して摺動自在であり、
ガードシールド２５を上下動自在にガイドしている。
【００１５】この場合には、ガードシールド２５がスリ
ーブ３０に対して上下に移動可能であり、かつスプリン
グ３１によって常時先方（下方）へ付勢されている。そ
のため、ガードシールド２５の開口部にばね弾性部を設
ける必要はない。スライダ２７を保持治具１０方向に移
動させると、接触端子２１がスプリング２４によって電
子部品Ａの端子部ａに弾性的に接触するとともに、ガー
ドシールド２５もスプリング３１によってプレート１１
に弾性的に接触する。
ーブ３０に対して上下に移動可能であり、かつスプリン
グ３１によって常時先方（下方）へ付勢されている。そ
のため、ガードシールド２５の開口部にばね弾性部を設
ける必要はない。スライダ２７を保持治具１０方向に移
動させると、接触端子２１がスプリング２４によって電
子部品Ａの端子部ａに弾性的に接触するとともに、ガー
ドシールド２５もスプリング３１によってプレート１１
に弾性的に接触する。
【００１６】なお、本発明で使用される保持治具として
は、図４のように金属プレートの取付穴に内壁に弾性体
を取り付け、弾性体の穴で電子部品を弾性的に保持する
ものに限らず、図１のような形状の保持治具を用いるこ
とも可能である。但し、この場合には、保持治具を金属
などの導電性材料で形成するとともに、保持穴の内面を
絶縁材料で被覆する必要がある。また、電子部品の特性
を測定する場合、図３のように保持治具の両面からプロ
ーブを当接させる場合に限らず、一面側にのみプローブ
を配置し、多面側には固定側端子を配置してもよい。
は、図４のように金属プレートの取付穴に内壁に弾性体
を取り付け、弾性体の穴で電子部品を弾性的に保持する
ものに限らず、図１のような形状の保持治具を用いるこ
とも可能である。但し、この場合には、保持治具を金属
などの導電性材料で形成するとともに、保持穴の内面を
絶縁材料で被覆する必要がある。また、電子部品の特性
を測定する場合、図３のように保持治具の両面からプロ
ーブを当接させる場合に限らず、一面側にのみプローブ
を配置し、多面側には固定側端子を配置してもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、電子部品の周囲は保持治具の導電部とガードシ
ールドとで完全にシールドされるので、隣合う電子部品
間の相互干渉の影響を排除できるとともに、プローブ自
身がガードシールドでシールドされるため、高精度な測
定を行うことができる。また、接触端子だけでなくガー
ドシールドも弾性的に変位するため、多数個の電子部品
の特性を同時に測定する場合、接触端子を電子部品に、
ガードシールドを保持治具の導電部にそれぞれ確実に接
触させることができる。
よれば、電子部品の周囲は保持治具の導電部とガードシ
ールドとで完全にシールドされるので、隣合う電子部品
間の相互干渉の影響を排除できるとともに、プローブ自
身がガードシールドでシールドされるため、高精度な測
定を行うことができる。また、接触端子だけでなくガー
ドシールドも弾性的に変位するため、多数個の電子部品
の特性を同時に測定する場合、接触端子を電子部品に、
ガードシールドを保持治具の導電部にそれぞれ確実に接
触させることができる。
【図１】従来の保持治具の一例の斜視図である。
【図２】図１の保持治具を用いた特性測定方法を示す断
面図である。
面図である。
【図３】本発明にかかる特性測定装置の一例の断面図で
ある。
ある。
【図４】図３で使用される保持治具の一例の斜視図であ
る。
る。
【図５】本発明のプローブの第２実施例の側面図であ
る。
る。
【図６】本発明のプローブの第３実施例の側面図であ
る。
る。
【図７】本発明のプローブの第４実施例の側面図であ
る。
る。
Ａ 電子部品 １０ 保持治具 １１ 金属プレート １３ 保持穴 ２０ プローブ ２１ 接触端子 ２３ 内周導体 ２５ ガードシールド ２５ａ 開口部（ばね弾性部）
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/00 G01R 1/067 G01R 27/26 G01R 31/26 H01G 13/00 361
Claims (4)
- 【請求項１】電子部品の電気的特性を測定する装置であ
って、 内面が絶縁され、上記電子部品を１個ずつ収納する多数
の保持穴を有し、かつ保持穴の周囲に導電部を有する保
持治具と、 上記電子部品の端子部に弾性的に当接する接触端子と、
接触端子の周囲を接触端子と電気的に絶縁した状態で覆
い、その先端開口部が保持治具の導電部に弾性的に当接
するガードシールドとを有するプローブと、を備えたこ
とを特徴とする電子部品の特性測定装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の特性測定装置において、 上記ガードシールドの開口部には保持治具と当接するこ
とにより弾性変形可能なばね弾性部が形成されているこ
とを特徴とする特性測定装置。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の特性測定装置に
おいて、 上記保持治具は、複数の取付穴を一定間隔で配列形成し
た金属製プレートと、上記取付穴の内壁に取り付けら
れ、電子部品を弾性的に保持する上記保持穴を形成する
弾性体とで構成されていることを特徴とする特性測定装
置。 - 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかに記載の特性
測定装置において、 上記プローブは、接触端子の外側を覆いかつガードシー
ルドの内側に配置された内周導体を有し、この内周導体
は接触端子と電気的に接続され、かつガードシールドと
絶縁されていることを特徴とする特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28587794A JP3201183B2 (ja) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | 電子部品の特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28587794A JP3201183B2 (ja) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | 電子部品の特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122386A JPH08122386A (ja) | 1996-05-17 |
| JP3201183B2 true JP3201183B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=17697193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28587794A Expired - Lifetime JP3201183B2 (ja) | 1994-10-25 | 1994-10-25 | 電子部品の特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3201183B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI223084B (en) | 2002-04-25 | 2004-11-01 | Murata Manufacturing Co | Electronic component characteristic measuring device |
| JP4121870B2 (ja) * | 2003-02-25 | 2008-07-23 | 株式会社 東京ウエルズ | ワーク測定装置 |
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-
1994
- 1994-10-25 JP JP28587794A patent/JP3201183B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH08122386A (ja) | 1996-05-17 |
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