J250283 ▼ 九、發明說明： [發明所屬之技術領域] 本發明係關於-種導電接觸固定架，其容納至少 號之導電接觸用來輸出以及輸入—信號至以及自一: 構’以及容納一接地導體接觸用來供給接地電： 元：預疋電路組配結構；本發明亦係關於一種導電接觸單 [先前技術] 於半導體積體電路之雷转松、、目彳4 種用於如下導電接觸單元：=域中’已知一 個導電接觸，且㈣Γ 電接觸單元包括複數 連結電極而配置。導電接中外部裝置用之 成於其中來容納該導電接括導電接觸、有開口形 連接至該導電接:二之路導:接觸固以^ 2002-124552號）。 电(麥考日本專利公開案第 §括於5※導電接觸單元之恭 一 一 接觸。三類型之-為信號勺:卜"刀成三類型導電 預定信號至以及自—作^ 1电安觸，其輪出以及輸入、 一類型為接地導體接觸二^標之半導體積體電路。另 電路，以及電源供應用導電接；接:電位至該半導體積題 導體積體電路。這些 f，，、供給驅動電力至該半 試電::信號產"路來:達性料^ 速度加快。A:種趨勢心之尺寸已微縮化，而操作 要¥电接觸單元採用-種結構，允 316468 5
V 1250283 許導電接觸單元微缩 化佰化且攸事同速插作，但習知導電 早几無法充分滿足這些需要。 半導二二=導體積體電路之微縮化，複數個含括於 ，-積^路巾外縣置用之連結電極微縮化。由於 、:匕結果’導電接觸之外徑尺寸縮小至約1毫米或以下： 成導電接觸與設置於導電接觸固^架下方之 二二:ΓΛ。因此變成難以供咖 ，电接觸’/、（、給接地電位至該半導體積體電路。 +要為了供給穩定接地電位至該半導體積體電路， 吊要有ι使接地料電接觸具有 但若接地用導兩蛀鈣命丄+ j使也見位之狀怨。 也用^接觸與由電路結構延伸出之供給接 給该接地用導電接觸之電極間 〇 aa L Π之接觸面積小，則難以提供 足夠的接地電位給該接地用導電接觸。 萨神1匕外，當ί導體積體電路之操作速度加快時，半導體 eg ^間之阻抗匹配之精度即成為 三換吕之’當高頻電信號輪入或輸出時，通常已知的 电k號輸入效率會根據内在 猝+ 4， 机間之差減小。因此，為了 备疋地進行測試等，需要使用其中 信號用導電接觸。但信號^ 在^几精確地匹配之 體電路之計备p 4 觸之外徑隨著半導體積 月旦私路之你化尺寸縮小至約J毫 整信號微導電接觸本身之内在阻抗Γ ，造成難以調 [發明内容] 本發明之—目的係至少解決習知技術之問題。 根據本發明之一形離 〜 種導電接觸固定架至少容納 316468 6 .1250283 ^ 信號導體作為信號用導電接觸，以及容納接地導體，為接 地用導電接觸’該信號導體係用來輸出/入信號至/自預定 電路組配結構，以及該接地導體係用來供給接地電位給該 預定電路組配結構。該導電接觸固定架包括固定架底座， 其係由導電材料製成，且包括第一開口，供容納該信號導 體，以及包括第二開口，供容納該接地導體，同時維持與 該接地導體之電性連接；以及用作為於該第一開口内面之 塗層的絕緣件。 根據本發明之另一形態，一種導電接觸固定架容納至 少一信號導體，該信號導體係用於輸出/入信號至/自一預 定電路組配結構。該導電接觸固定架包括'--固定架底座’ 該固定架底座包括一開口供容納該信號導體；以及一阻抗 校正件，其係由介電材料製成，且係沿該信號導體外周邊 設置成形，而信號導體係容納於該開口中，且該阻抗校正 件校正信號導體之内在阻抗。 根據本發明之又另一形態，一種導電接觸單元包括一 信號導體，其係用於輸出/入信號至/自一預定電路組配結 構；接地導體，係用來供給接地電位至該預定電路組配結 構；導電接觸固定架，包括固定架底座，係由導電材料製 成，且包括第一開口供容納該信號導體，以及包括第二開 口供容納該接地導體，同時維持與該接地導體之電性連 接；以及用作為於該第一開口内面之塗層的絕緣件；以及 電路板，其包括一電路，其係電性連接至少至該信號導體， 且產生欲輸入該預定之電路組配結構之信號。 7 316468 1250283 ’言兒明本=之其它目的、特色及優點特別陳述於後文詳細 [資施方=4文詳細說明連同_研讀將更為彰顯。 根據本發明 < 導電接觸固定 貧施例將夫pv v电接觸早兀之具體 :將η附圖詳細說明如後。須 闯，零組件之厚度盥 口局不思視 度間之比例可與實二 關：、以及個別零組件之厚 K~i~ βη 、丁、卜鬥。進一步須注意附圖可包括1山 寸間之關係與比例彼此不同之部份。 匕括其Τ 根據本發明之第—具體例 1 預定電路組配結構，且用來供應電力==電路等 略叙配結構。詳言之， 接地电位給該電 軍元有下述結構，定接地電位，導電接觸 電性連接。更詳言之與導電接觸固定架彼此 導電接觸固定架係由用導電接觸供給接地電位，而 第1圖為根據第=料製成。 意圖。根據第一具體例：；：一種導電接觸單元結構之示 括產生欲供給該半導體積體3觸單=包括電路板2，包< 觸單元也包括導電接觸包1之信號的電路。導電接 且包括預定開口 (未顯示於：3 ’設置於該電路板2上， 於該導電接觸固定架3乐1圖）’以及導電接觸4容纳 體積體電路1於使用期間^中m牛5用來抑制半導 2上，且圍繞導電接觸固定？ ’ 5亥固定件係設置於電路板 電路板2包括測試電？3之外周邊。 測試料測試半導體 J250283 '積體電路i之電特性。電路板 圖）於電路板2與導電接加① 电極（未顯示於第1 來電性連接含括於導電/ ·^ 3接觸之表面上。電極用 兒接觸4之電路。 導電接觸固定架3交〜_ 觸固定架3包括由導才m4。詳言之，導電接 座，以及絕緣件，供塗如金屬）製成之固定架底 固定架底座於對應導電接之需要的區域。 觸4分別容納於開口内部之配置區有開口，故導電接 積體電性連接於電路板2之電路與半導體囊 之作“型二二接觸4根據欲供給半導體積體電路1 七號用w接觸用來輸出/入電 電路1，接地用導電接觸田办似 目午蜍組積肢 、 、、 來七、給接地電位至半導體積體， 導 卩及％源供應料電接觸用來供應電力。信號用 為=带觸接地用導電接觸、及電源供應用導電接觸通稱 為h接觸’而當個別稱呼時則使用其個別的名稱。 —立第2圖為導電接觸固定架3及導電接觸4之詳細結構籲 =圖。導電接觸固^架3包括固^架底座n，組配成使 用螺絲接合由導電材料製成之第一基板6以及第二基板 〜口疋木底座11具有貝穿第—基板6及第二基板7之第 ’ 8第—開口 9及第三開口 1〇。導電接觸固定架3 :包括絕緣件u及絕緣件14，供塗覆該固定架底座u_^ 羊開口 8及第三開口 10之内表面及固定架底座u之表 运〇 316468 050283 / 固定架底座11(第一基板6及第二基板7)係由導電材 料製成，且係用作為導電接觸固定架3之基板。詳言之， 固定架底座11係由導電金屬或導電樹脂製成。由有效發揮 接地功能及電場屏蔽功能觀點，較佳者係使用一種導電材 料，其體積電阻率係等於或小於1〇1G歐姆_厘米，·或2可 使用砲銅（gUnmetal)或鈹銅作為固定架底座n之特定材 弟一開口 8容納信號用導電接觸15，輸出/入信號至/ 自含括―於半導體積體電路丨之任一連結電極23a至(第 3圖）。第二開口 9容納接地用導電接觸16，供給接地電位 ，:連結電極23…3c之另一者，以及第三開口 ι〇容納電 =供應料電接觸17，供電給該電極…至η之盆餘 二。此等開口成形為圓柱體形，因而貫穿過固定架底座 一 ’且用作為容納於其中之導電接觸之定位單元及導引單 口、第二開口及第三開口係藉姓刻或衝穿第- 基板7而形成；或使用雷射、電子束、離子 束成v線放電切削第—基板6及第二基板7而形成。 J二T開口 9具有電性接觸接地用導電接觸16之功能 η :二者係第二開° 9之内表面如後湖 第二開口9與容納於其中之接地用 16=觸16有較小電性接觸電阻，且對接地用導電接觸 6之伸縮操作有抗磨蝕性。嘩^ ’ 導電接觸單元，對第二開口：内第-具體例之 二開，地用導電接觸16間内之 %性接觸電阻降低，以及 316468 10 1250283 抗磨I虫性改良。 形成第一開D 8及繁一 pq Γ7 1 Λ丄 弟二開1〇,由於設置在該等開口 緣件14的厚度，使該等開口之個別内 乎等於接二徑:第二開，成形為幾 能。第—開口 8^ η Γ 引錢及接地功 具有經崎件13::==成形之理由為此等開口 巴味仵刀別容納信號用導電接觸 及电源仏應用導電接觸17之功能。 頂面】=口 8、第二開口 9及第三開口 1〇係成形為於其 咖& ’，於接近固定架底座11之外表面之内部直徑縮 :么揮作為防止導電接觸滑脫的防滑脫裝置功能 二:=凸：為防滑脫裝置(容後詳述)，各開口之内徑 乙"下表面之處縮窄，讓該凸部與該開口彼此 接觸：因各開口於上表面及下表面之内徑縮窄，故採用: 架底座11之結構。為了於製造時允許容納 於弟-第—基板6及第二基板 成固定架底座Π。 按口木形 巴’象件13及14形成於第一開口 8及第三開口 10内 部’來電性絕緣信號用導電接觸15與固定架底座u，以 及電絕緣接地科電接觸16與固定架底座η。絕緣件13 及14也形成於固定架底座11之外表面，纟電性絕緣半導 體積體電路1及電路板2與固定架底座11。第一具體例 中’形成絕緣件13及14之材料與厚度並無特殊規定二因 此有任何厚度之任何材料只要可充分發揮絕緣功能，即可 316468 ,125.0283 ，用4=緣:牛13及14。注意絕緣件13及14係利用塗 後又y成為溥胰。至於塗覆的特定例子，可包含使用滾 軋、擠塑、浸塗、噴塗、展開塗覆及電沉積。絕緣件= 2❹化學氣相沈積（CVD)方法形成。此外，絕緣件 及14可由陽極化鋁等之氧化膜製成。 用導觸广結構說明如後。信號用導電接觸15、接地 丄 = 源供應用導電接觸17之特定結構可視 為彼此相同，但有不同功能。目此信號用導電接觸15之处 構當作為代表例於後文解說。 、° 電路電接觸15包括針件19供電性連接至設置於 * 及包括針件2〇供於使用時電性連接至 叹置於半導體積體電路丨之連結電極。传穿♦ 也包括彈簣件21設置於針件19與針件;;間，用;電= ^針，19與針件2G，也用來於縱向伸縮信號用導電接觸 、，十件19、針件20及彈簧件21係、容納於第—開口 ％ 向::::係對應第—開…線’這三個構件係可沿轴 極：十件19設置成電性連接至設置於電路板2表面之電 •接;Γ之，針件19具有「梢端」於電路板2該側，該 ο而接觸設置於電路板2之電極。料件19可藉彈 1的伸縮而沿軸向方向移動’故針件19可對摩於★極 :規則，以最適當狀態接觸該設置於電路板2之電：，且 m電阻降低之狀態，藉彈簧件21於延伸方向 人接觸該電極。 316468 12 .1250283 v 1 1十〇有凸邱几士 示。如前文說明，。因二於與軸線垂直的方向，如9 2圖所 11之下表面縮窄，隨I針:口198=崎近固定架底座 置於第-開口 8内側之絕緣 ' 下移動’該凸部與設 針件19的滑脫。 〆3彼此接觸，因而可防止 電性：：:根據第一具體例之導電接觸時，針件2。"义 連接至設置於半導體積 t件20係用來 之，針件20係藉針件2〇 电、/之連結電極。詳言 上之接觸連結電極 於半導體積體電路1該側 同方式，於軸=1針件20係以與針件19移動之相 凸起於其垂直；件21之伸縮移動，具有凸部 導電接觸電性連接脫裝置。使用該結構， 牧#、弘路扳2之電極盥本1脚 之連結電極間。 电往/、牛泠肢積體電路1 根據弟一具體例之導電接 3圖為示意圖，說明當使用新_ 兄明如後。第 元時，導電接例之導電接觸單 # W接碣與導電接觸固定架間之「電交 弟3圖所示，信號用導兩 」如 W接觸15a及信號用導電接觸15b °又為彼相來辅助解說導電接觸單元之優點。 =地用導電接觸16之電作用解說如後。根據第一具體 9之妾地料電接觸16餘配經電極22。提供來自電路板 2之^位給半導體積體電路1，以及接受來自固定架底座 11之電位以供給接地電位給半導體積體電路丨。換言之， 也如第2圖所示，於固定架底座n’於容納接地用導電接 觸16之第二開σ 9内表面上並未形成絕緣件塗層。因此第 316468 13 1250283 '—開口 9内表面直接接觸接地用導 別如第3圖所示，第二開口 9之 ：6之外周邊。特 操作而彎曲的彈簧件21。因二 #妾接觸處於收縮 製成，故接地用導電接觸16與固係由導電材料 接。因此，内部電荷可於接地 =^ 11彼此電性連 11間自由移動，因此由接地用導：6與固定架底座 U此由接地用導電接觸 固定架底座11之電位變成相等。 仪，、、。之-电位與 接地用導電接觸16隨著半導體 具有極為精密結構，同時固定架底座^ 縮化而 個至婁i;千個罝；·>、曾+ 有了谷内達數百 數千们早兀之導電接觸的程度之 接觸之尺寸太小，對固定架底座u而言為可=別¥電 藉由此種微小導電接觸所施加之電荷而彦、° ^。因此， 11電位之起伏波動可假設幾乎等於零。當預定 ft二1流經接地用導電接觸16時，電荷瞬間放電且 刀政至固定架底座η。結果接地用導電接觸16及固定年 底座11之電位可維持於接地電位。基於此種結構，接地用 導電接觸16電性接觸由導電材料製成之固定架底座^， 允許接地科電接觸16之電位穩定地維持於接地電位。 接地用導電接觸16整體外周邊接觸形成於固定架底 座11之第二開口 9有另一優點。具體地來說，接地用導電 接觸16整體成形為圓柱體，如第2圖所示，其外周邊面積 比其垂直於軸線之截面積顯著更大。因此經由外周邊提供 接地:位至接地用導電接觸16，可使接地電位供應源（亦 即固疋木底座11)之接觸面積加大。結果根據第一具體例 316468 14 1250283 ,之導電接觸單元有下述優點，接地電位 電接觸16間之電性接觸電阻下降，因此接地電位 給接地用導電接觸16。 7有放供 於信號用導電接觸15a及15b以 作用解說如後。信號用導電 t b寺接觸之電 〒弘接觸15a及15b係用來經由带 極22a及=接收於電路板"產生之電信號，以及輸二 入接收之電彳§號至/自半導體積體電路卜 ㈣導電接觸15^，對應於所通過之電信號^:^ 仏唬用導電接觸15a内部產生 磁波輸入至信號用導電接鈣± 卜°卩§此種電 輸入或輸出之;Si = 若導，㈣二 會起伏波動。結果，特別係 …接觸間之空間縮窄’則須提供電磁波屏蔽機構。 目反地，於根據第_具體例之導電接 電性之固定架底座Π係通過絕緣膜13 八有^ 片％ m $ 來勝1 3及、纟巴緣1 4對廡於 k唬用v電接觸15a及15b a、 座11 f — 一 叩此置。因此，可讓固定架底 前文朗，可假設固定架底座11之 ^係、轉於幾乎接地電位，亦即維持純定電位。 L唬用導電接觸15a及15b產生之命 ° 吸收，因此可抑制於作，用導揭座11 生的電磁波傳播!另:二:接 ⑸任—者產 導電接…二即使根據第—具體例之 制影變：；：二:55虎用導電接觸期間空間縮窄，仍可抑 生Ι^Γ 影響係指—側之操作受到另—側產 玍之電磁波的影響。 j座 g電磁波係由導電接觸以外之因素產生的情況亦為如 316468 ]5 .1250283 ‘二二:;二使有電磁波來源(例如行動電話)接近根據第 可抑：!導電接觸單元，環繞導電接觸之固定架底座u p制％磁波流入導電接觸。 電源：=，係以前文有關信號用導電接觸15及 即使、、二Γ妾觸17的解說之相同方式進行。換言之， 它導4: 屏蔽功能控制該電磁波施加至- 用不此外，即使電磁波係由_ 用導電：何導電接觸產生’施加於電源供應 能控制。 不良影響亦可藉固定架底座π之屏蔽功 -項材料製成固定架底座11，可獲得另 二:。固疋架底座係由絕緣樹脂材料製成 且矛貝肢-¾路1之熱膨脹係數不一定符合固定芊 ^ 膨脹係數，根據溫度變化，半導體積 、< =、 與容納於固定架底座η之導電接觸間之位 現位移。 位直關係可能出 但當固定架底座11係由金屬材料 材糊等製成時，固定架底座U之熱膨== 體積:電路1之基底材料’亦㈣之熱膨:絲： 換K，經由使用適當金屬材料製成固定架底座u 地使用導電接觸固定架及導電接觸單元而與溫度； ΐ: 構之熱膨脹係數而言乃為適當 316468 ]6 1250283 者。 製成時有另一項優 當固定架底座11係由金屬 點，即可壓抑因外部空氣的影響造成的變形。換言之，、‘ 使用金屬材料時，可抑制固定架底座u經由吸收^在於夕田卜 界空氣的水分產生之膨脹與收縮，且可抑制因與外界空氣 之預定f分產生化學反應，所造成尺寸之永久性改變。因 此根據第一具體例之導電接觸單 成的變形最小化，也能夠避免連社==界空氣影響造 之充運、、、口包極與導電接觸間之位 置的位。 度。==由使用金屬材料’可改良固定架底座u之強 义之？度，根據第-具體例之導電接觸單元有 導：接Γ:使於固定架底座11製作成大量開口來容納 W接觸’也可藉由導 11之翹曲的發生。 Ί之反作用力防止固定架底座 如鈾文說明，於根播策 導電材料製成之固定4::具體例之導電接觸單元中， 導電接觸固定架3之基=t4u提供作為容納導電接觸之I 於接地用導電接觸16 t…因此可達成供應接地電位 信號用導電接觸15及+犯效率，且可發揮屏蔽可能輸入 效果。此等功能大為二源、供應用導電接觸17之電磁波的 因此經由提升固定C定架底座11之電位的穩定度。 地電位功能與屏蔽電能之電位穩定度，可提高供應接 第4圖為經修改命 進S步改良固定架；^、％接觸單元之示意圖’該單元可 v、-坐11之電位穩定度。於經修改之導電 316468 17 -1250283 、：妾6觸/一元’固定架底座11以螺絲25電性連接至連結缦線 單元2—7端。連結崎26之另—端係連結至接地電位供應 、、見、、泉26供給接地電位給固μ底座u。因此，固定μ ^之電位由外側藉接地電位供應單元27被迫維持於接 導：接角二V使電位更穩定。如此，第4圖之修改後之 二 =下述優點’即可進一步改良供給接地電位 ° 導電接觸16之功能以及屏蔽電磁波之功能。 〜為了改良供給接地電位給接地用導電接觸Μ之功 用導電接觸16之外周邊而設置。第 —圖為經由提供這種改變給根據第—具體例之導電接觸單 ^所^修改後之導電接觸單元之部分結構之示意圖。於 :第圖其之广文後之導電接觸單元，於形成固定架底座28 心弟-基板29及第二基板3〇内製作第二開口 3 二7二成：第2圖所示第二開口 9之内經更大之内徑。： 妾觸單元具有下述結構，導電管件MU插 二37内側與接地用導電接觸16之外周邊間。 /導電管件31及32為圓枉形，且係同轴配置，讓 =側^接地科f接觸16之相邊，柱形外側接 :: 側。換言之’經由接觸第二開口 ”内側 而ill固疋架底座28之電位給導電管件31及32，亦即供 給接地電位。同時，導電管件31及32經由接觸接地用導 316468 18 1250283 笔接觸1 6外周邊，而具有供 命 16之功能。 °接地设給接地㈣電接觸 導電管件31及32具有管狀結構，含有銅鎳、 黃銅或不銹鋼製成之基底材 二夕"銅、 管狀結構内侧。例如此種結構之形成；由金薄被點至 貼金溥板至-片銅鎳板等，捲曲該銅錄板 預先黏 為内側，且拉伸該板形成為有小的直徑之管^^板，成 及32可經由讓管狀結構内側接受鑛金製造而形成电。官件31 使用於弟5圖經修改之導電接觸單元中之導·^ 及32之理由解釋如後。根據第一具體例之導電接^ 結構為電性連接接地用導電 ^接觸早凡之 中之m f 16至形成於固定架底座 之弟一開口内側，藉此供給接地 _ …因此於第-具體例，也如_ 接地用^電接觸 姑細κ a J2圖所不’接地用宴雷 接觸16容納於第二開口 9,呈現 用^ 觸狀態。藉此經由*第-心h 9内側實體接 電位至接地用^心内側接觸部分而供給接地 口9内側接觸之狀態。 心伸细，以維持與第二開f =近年來隨著半導體積體電路 化導電接觸，開口直徑已經 ㊆化、、工由I但 D。即使製造小直徑開口，也 "^此不易形成開 規則。因此若導電接觸係製内 電接觸伸縮造成的電阻以及導角開口内側，則導 間之電性接觸電阻可能會增高接觸之外周邊與開口内側 於弟5圖之經修改之導電接觸單元中，將有光 316468 19 1250283 ‘ Si二導Η電管件31及32插入於第二開口 37與接地用 優:二接Γ使用此種結構’經修改之導電接觸單元之 小：且導電接觸Μ縮造成的操作電阻會減 將，“電接觸16外周邊之電性接觸電阻下降。 :V兒接觸結構及固定架底座 圖為佟改徭夕道干i 僻間化也有用。苐ό 後之導電單元之結構示意圖。於第6圖修改 35及電信號用導電接觸34、接地用導電接觸 將罘2圖設置於接觸雷敗4 刪除，導電接觸盘電 板2側的針件19 行。 1屯極22間之電性接觸係藉彈簧件33執 之理Ϊ =導於電S之結f不含對應第2圖針件B之構件 電路板2之電 圖之結構’針件19之功能係與含括於 直的凸部==?性接觸’並具有位於與軸向方向垂 能。相反地，娘由：作用二為防止導電接觸向下滑脫之功 密接觸，可防：匕：”接觸固定架與電路板2彼此緊 導電接觸單元呈Γ 滑脫。因此第6圖之經修改之 結果經修改之導㈣第2圖針件19之構件的結構。 數目減少因而允之優點為導如
經修改之導電接觸單元之 I 38可經由刪除針件 y 1、占在於固定架底座 將製作於固定架广:座38:早—基板製成。換言之’無需 窄來防止導電接之接近各開口下表面之内徑縮 接觸早兀滑脫。因此不似第2圖之結構，八 316468 20 1250283 導電接觸容納於開口時毫益 固定架底座38底侧嵌合入開口^因此，導電接觸容易由 個基板製成。钍果 此固疋架底座無需由二 底座38係由單―義 ^接觸早兀中’固定架 根據本二製成’如此可減輕製造負擔。 根據本發明之第二具體例 根據第二具體例之導電接觸單元包=早後。 觸。於第二具體例 … 乂 一1虎用¥電接 電接觸之第-開口内側設置於容納剛 抗校正件可校正芦 二笔接觸外周邊之間。阻 第7罔ΓΜ接觸之内在阻抗值。 回為根據第二具體例之導 用導電接觸15之部分結構之示 ㈣早核繞信號 導電接觸單元，電路柘…於根據第二具體例之 觸固定架除外)係 牛5寻，、且成兀件(導電接 述，否則传以i 同，除非於後文另行敘 j係以罘一具體例之相同方式操作。 如第7圖所示，根據第__ 固定架底座49,包括第=二 觸單元包括 作第土板/及第一基板48，其中製 開口 52來容納信號用導雷接 、 例之導雷接勰ϋσ — ^ α 、接觸1:5。根據第二具體 :::觸早兀包括設置於固定架底座49外 側的&緣件50,以及設置於^ :::緣件51。該導電接觸單元也包括設置於第—開：二 件=信號用導電接觸15間的阻抗校正件44及阻抗校正 電材Γ抗校正件44及45係經由將具有預定介電常數之介 4抖以圓柱形製成’且用來校正信號用導電接觸15之内 316468 21 1250283 在阻抗值。特疋έ之’阻抗校正件44及45控制介電材 之介電常數及圓柱形之外徑，來校正信號用導電接觸b 之内在阻抗，以匹配半導體積體電路！之内在阻抗。 阻抗k正件44及45之結構與信號用導電接觸15之内 在阻抗間之更特定的關係係解說如後。信號用導電$ 2内在阻抗&值由下式⑴表示，此處以形成阻抗校正 件44之介電材料之特定的介電常數，屯為圓柱形 di為信號用導電接觸15外徑。 卫 138 1 d， Z0=X1〇g|。芥 …（1) 乙稀用作為阻抗校正件44及45之介， 接觸15之外徑設定為。4毫米，信號用 觸15之内在阻抗設定為5〇歐 何讓信號用導電接觸15之内在阻二：此動…考慮如 1 〇 r ^ ^ ^ 在阻抗匹配半導體積體電路 口來乙烯之特定電常數為〇 3 , 式1，導屮P日/ 、、工由將此寻值页入方程 V出丨且机杈止件44及45之外徑設定 戽 結果經由實現該結構，信號導 毛” 被校正為50歐姆。 ％接觸15之时阻抗值可 第二具體例中，經由使用ρ且浐 號用導雷油κ 便靠抗校正件44及45校正信 號用^接觸15之内在阻抗而獲 德。i禹受P 4 士人士 ro 右》1炎點5兄明如 设逋吊已知於處理交替信號 量#根#名电千电路中，信號反射的 里仏根據在具有不同阻抗之互連件彼 同阻抗間之比率，莊+防L ^ ^、、、。之位置上的不 9 P止该信號的傳播。半導Μ浐麵中 路〗與信號用導電接觸15間之 脰和肢电 W係也有相同情況。如半導 316468 22 -.1250283 體積體電路1之内在 t1 " 在阻抗值與信號用導電接觸15之内在阻 几有重大差異，Ρ丨丨g古— 及輪出電信號。 此電性連接，也難以輸入 反射由内在^抗間之差造成於連結位置上產生之信號 長产相據化號用導電接觸15之「電長度（傳播路徑 於Γ ’ m虎頻率）而可能變成明顯的。換言之，於根 據乐二具體例之導 车道净电接觸早兀，電信號之反射程度會隨著 半‘肢和體電路1之握七 兩 彳木作加速，換言之，隨著半導體積體 : 麟增高而變得明顯。因此當欲製造對應於以高頻 導體積體電路1之導電接觸單元時，讓信號用導 :θ / 15之内在阻抗值匹配半導體積體電路1之内在阻抗 疋很重要的。換言之，進行高精度的阻抗匹
的。 I 彳由阻抗匹配效能觀點來看，不易改變信號用導電接 之形狀。^唬用導電接觸15原先受到數種因素限制， f寺因素例如料徑限駐1毫米或以下，信號科電接 奇匕具有使用針们9及2〇及彈普件^之複雜形狀。因 此由.又计與製造的觀點來看，難以改變形狀成$適用於阻 抗匹配之形狀。 执因此於第二具體例中，信號用導電接觸15之結構不 、交，但由介電材料製成之阻抗校正件44及45圍繞信號用 導電接觸15而設置來校正内在阻抗值。經由以前述方^校 正内在阻抗值，可使用習知信號用導電接觸丨5之結構，因 而可避免設計與製造上組成元件數目的增加。 316468 23 1250283 此外，新設置阻抗校正件44 上的負擔加重。阻抗_ 及45不f使設計與裂造 1且和^又正件44及45夕”斤 52内側成形之圓柱形件。形、4為>口弟—開口 CVD方法積聚介電材料夢"52及經由使用 聚介電薄膜μ m π,、成^圓柱形件。藉CVD方法積 UΜ用於微切削 厚度的技術，如此，容易制/m準確控制薄膜 如前文⑽ 夺易衣造阻抗校正件44及45。 於根據第二具體例之導電产觸單开π 由設置阻抗校正件4 ¥私払觸早兀，經 之半導體積雕+ 了以尚精度地進行與欲使用 導電接觸單元，古姓土十』。 也了，、現一種 1。阻抗校正俥 二呆作更快速之半導體積體電路 據第二且F例之導t4 5係'以簡單的結構實現，允許實現根 成本。/、 ¥氧接觸單元之絕佳特性，而未增加製造 昂8圖為根據第二具體例之導 犯例示意圖。作主雜扣^』平兀正版、乡口構之 構彼此相同。特；: 構’較佳者係讓接近開口之結 觸15、接地用莫？之’該等開口分別容納信號用導電接< 言之n 包接觸16及電源供應用導電接觸17。換1 ;作出二致的開：二而未根據導電接觸個別功能 式製成該結構仍;減:製= 。即使係以前述方 仍了权正k號用蜍電接觸15之内在限技。 根據本發明第三呈體導電 根據第三具㈣夕、/ 接觸早兀解說如後。於 如第—呈^及，Λ電接觸早凡’採用另一型結構，保有 可吾產J及弟二具體例說明之優點。該結構之優點為 ^ 且可防止因製造錯誤造成的不利影響。 316468 24 1250283 第9圖為根據第三具體例之導電接觸單元之結構之示 意圖。根據第三具體例之導電接觸單元包括導電接觸固定 架54，以及容納於導電接觸固定架54之信號用導電接觸 55、接地用導電接觸56、及電源供應用導電接觸57。雖然 電路板2及固定架件5未顯示於第9圖，但根據第三具體 例之導電接觸單元具有與第一具體例及第二具體例之相同 的組成元件。 導電接觸固定架54用來容納接地用導電接觸56等。 特定言之，導電接觸固定架54包括固定架底座61，於其 中製作第一開口 58、第二開口 59及第三開口 60。導電接 觸固定架54也包括第一絕緣管件63及第二絕緣管件64， 二者皆插入第一開口 58，也插入第三開口 60。導電接觸固 定架54進一步包括第一導電管件65及第二導電管件66, 二者皆插入第二開口 59。 固定架底座61係由導電材料製成，其中形成有開口來 容納導電接觸於個別開口。特定言之，於固定架底座61， 信號用導電接觸55係容納於第一開口 58，接地用導電接 觸56係容納於第二開口 59，以及電源供應用導電接觸57 係容納於第三開口 60。 固定架底座61具有多片基板彼此黏貼的結構。基板係 由導電材料以第一具體例及第二具體例之相同方式製成。 特定言之，固定架底座61包括第一基板67及一第二基板 68，二者皆係由導電材料製成。第一基板67有第四個開口 70a形成於對應第一開口 58製作區之區域，也有第四開口 25 316468 1250283 7〇b =成於對應第三開口 60製作區之區域。第一基板67 ，有第五開口 72,形成於對應第二開口 59製作區之區域。 第了基板68有第六個開口 73a形成於對應第一開口 58製 :品，區域也有第六開口 73b形成於對應第三開口 60 衣^區之區域。第二基板68也有第七開口 74，形成於對 應弟—開口 59製作區之區域。第一基板67及第二基板68 /· 口疋而幵y成固定架底座61。特定言之，二基板固定為 ^此接觸’讓第四開口 70a與第六開口 73a彼此同轴相通， 弟開σ 70b與第六開口 73b、以及第五開〇 與第七開 口 74亦如此。 =括第基板67及第二基板68之固定架底座61也具 汾心弟^版例及第二具體例之相同方式供應接地電位之 接=因此較佳者係第—基板67與第二基板68間之電性 接觸電阻儘可能為低。故 ^生 共同接觸之接捫而, 基板67鉍弟一基板68彼此 上進行ηί 者料以光滑切肖彳，且於接觸面 如鲅鎳及鍍金等表面處理。 (R)等约绫：彖Β件63及弟二絕緣管件64為由例如鐵弗龍 )寺圪緣材料製成的管件艰應 及電源供應用導電接觸57二=:用：電接觸55 絕緣ί件tr/ =插入第四開口術及地以及第二 導電接觸5511入^、開口733及7313°經由容納信號用 巾 ❺源供應料電接觸57於個別％巾^ τ可確保信號用導m“ ]甲工权 與固定架底座及電源供應料電接觸π 316468 26 1250283 製成若:;】：:::。第，管件64係由鐵弗龍(R) 且具有低特定介電常二2換/之’鐵弗龍(R)容易切削， 之結構中，心二 。因此於實現相等内在阻抗 稱T ’與使用其它材料 55之外怀H h况相比，信號用導電接觸 當傳卜V m乍成較大，如方程式⑴所示。換言之， 田得輸阿頻信號時，通常要求 使於此種要k下η 接近5Q歐姆。但即 件63 =求之下’經由以鐵弗龍等材料製造第-絕緣管 t外^ 電接觸55之特可製作為較大。經由讓 可降低信號料電接觸55 由以鐵弗龍等材料製造第—絕緣管件 射信號衰減之優點。 年了具有抑制發 面的：：弗ιΛ製成之一弟一絕緣管# 63等之内側可為光滑 應用導電接^ =二降低信號用導電接觸55與電源供 用接觸57伸縮時的滑動阻力。電源供應用導電接觸 與固^^式(⑽s限’於可確保電源供應用導電接觸57 大。^幻&座d @之電絕緣之範圍内’將内徑製作為較 *外’外控可製作成較大’允許供給較大驅動功率。 /一第—絕緣管件63之—端具有止滑凸緣75，且呈有外 :比其它部分更大。第—絕緣管件63插入第一基板67, :裘止滑凸緣75定位於第—基板67與第二基板68間之邊界 則。同理，第二絕緣管件64 一端具有止滑凸緣76 ’且具 有外比其它部分更大。第二絕緣管# Μ插入第二美板 :’讓止滑凸緣76定位於第一基板67與第二基板68間之 ^界侧。 316468 27 1250283 第一絕緣管件63及第二絕緣管件 止滑凸緣75及76形成之各端的另64各自之形狀為於 的。如第一具體例及第二具體彳 力而之内徑係為縮窄 ’、 ^之說明 , 嵌合於其中之信號用導電接觸55 个。此種形狀可防止 57滑脫。 及電源供應用導電接觸 第一導電管件65及第—違 、 久罘—導電管 導電接觸56與固定架底座6丨間有滴去〃用來保持接地用 之，第一導電管件65及第二導電管^田兒性接觸。特定言 成，且插入固定架底座61内部，讓&管件66係由導電材料製 架底座ό 1，而内表面接觸接地用導恭牛的外表面接觸固定❿ 分。 、兒接觸56之至少—部 ，八不—·等電管.. 絕緣管件63之相同方式分 &、午66之一端以與第一 凸緣77及78 *有外徑大於其它^凸=77及78。止滑 插=,8基ί義止滑凸緣”係位於I:::件Μ 一基伋〇8間之邊界側。第二導^ 一 乐基板67與第 68,讓止滑凸緣78位於第；板二：66插入第二基板 界側。此外，第—導電管件65 /_、弟〜基扳68間之邊 形狀為於止滑凸緣77及78 乐—導電管件66個別之 縮窄的，纟防止接地用導：之各端之另一端的内徑為 於第三具體例，第：接觸56的滑脫。 65 π n A 巴緣管件63具有蛊笛... 件;6同的形狀’以及苐二绝緣管導電管件 6不同的形狀。換言之 、有入弟二導電管 導電管件65 ’以使止滑 '成卜絕緣管件63及第— 月凸、，豪75外“及止滑凸緣77外 31 28 1250283 徑d4設定為d4>d3，如第9圄％ 一 ，.d -…d>d 不，及管部外徑、及外徑 6 6 1經由剌該種結構，可將第-導電管件 65插入第五開口 72，以 ：〜件 口 74,而難以將第—導 卜件66插入第七開 以蔣第—導兩总# 件插入第四開口 70a，也難 以將弟一¥兒官件66插入第六開口 73a。 信號用導電接觸55、接 ^ S7 ^ - V电接觸56及電源供應 用寺包接觸57間早說明如後。此 體例及第二具體例之導 妾觸/、有與弟一具 J %掻觸之相同結構 中，特別係接地用導電接觸56 仁弟二/、脰例 特定言之，如第9 θ所，有改良的接地特性結構。 乐圖所不，針件79a呈 凸緣部80的外徑界定為接觸第—導電管件、65表°"0’ -…凸緣部…凸緣部81的外 管㈣。換言之，於第三具體例，觸弟二導電， 固定架底座61之電位作為接地電位經 -二，而 供給半導體積體電路i。 忒4 80及81 由降低接地用導電接觸56與第带 電管件66間之電性接觸電阻觀點來看，較γ :第二導 觸面積變較大。因此於第三具體例， 及為，二接 之外徑製作為儘可能大，凸緣部8〇及81於收卜及/個別 圖之垂直方向）個別之厚度製作為較長， :方向（第9 導電接觸50之伸缩τ ή 要不冒對接地用 <呷、，、倍知作造成不良影響的程 種構想，根據第三具體例之接地用導電接觸56;由“此 由固定架底座61供仏桩从+/ 可以高效率 丄Wi、、·.口接地電位至半導體積體 卞 〜1 ’允許 3】6468 29 1250283 半導體積體電路丨之接地電 用s + 兒议又铋疋。此外，也可將接地 且：：觸56嵌合於一種狀態，該狀態中將降低電性接觸 二：材料例如接觸回復劑’施用於接地用導電接觸56 暮’例如環繞凸緣部80及81外周邊。經由使用 導：: 吏供給半導體積體電路1之信號頻率變高，也可 ¥%接觸單元，而不致增加信號之傳輸耗損。 根據第三具體例之導電接 後。於笛一 B 安扪早兀之右干優點說明如 旻於弗二具體例，導電接 之第一絕緣管件63及第早;;7插入弟一基板π 一美妬α g件65，以及包括插入第 —基板68之第二絕緣管件6 牙 置此箄焚杜 ,,、/叫及弟—導電管件M。經由設 _ 、且抓用各導電接觸插入管件中空部之沣禮， 可實現信號用導電接觸55及電 、'Ό ， 定架底座61(自_ ^ 應用導電接觸57與固 丁四从01(包括弟一基板67 緣。此外，可m田、曾 弟—基板6δ)之絕佳電絕 了只現接地用導電接觸56與固 之絕佳電接觸。 木底座61間 此等管件内側可形成為光 ，縮操作之滑動阻力降低的優點。 令信號用導電接觸55係經由 第：比父/、 括第四開口 70a及第六開口之/，入:—叫包 降低信號用導電接觸5 ° 、，·工由使用管柱可 、乐 開口 5 8間之'^ μ 阻，=及減少隨伸縮操作之滑動阻力。 “接觸電 第-具體例有另—項優 等管件係插入第—基板67及第二二『，'，件“ 元之量產能力改良。換古之， 故冷電接觸單 (、、、°構，導電接觸 316468 30 1250283 單元之組裝進行如後。 對應“牛分別插入例如形成於第一基板Μ及第二其 ?之第四開σ則開口，如信 二 導電接觸係嵌置於管件中*邱甘山 兒接觸55寺 件插入之第—Μ“7 、、肷置狀態係為設置有管 垂直方向之广二使管件之半導體積體電路1側位於 直方向；側):(換5之’與第二基板68接觸面係位於垂 且万向頂側）。此外，苴， 土 設於第一基板67頂上^電接觸之第二基板68鋪 6δ由垂直方6 5 、 妾觸之嵌置狀態為第二基板 ⑽由室直方向頂側覆蓋第一 低 中空部内部。第其4 基板67,讓導電接觸插入管件 1 弟—基板67與第-其^ a， 組裝電路板2及固定竿件5等所H6 8彼此固定。隨後 元。 〃牛寺所萬構件來完成導電接觸單 如前文說明，根撼定二 產組裝技術改良之停點：：粗例之導電接觸單元具有量 滑脫。因此經由解卜’藉止滑凸緣可防止管件的 狀態，容易由開口移開管：與第，基板68彼此固定 件的滑脫。因此經由解：第一：外’精止^滑凸緣可防止管 固定狀態，容易由門梦、土反67與第二基板68彼此 單元具有容易進行維修接觸。如此，該導電接觸 根據第三具體例之導 一導電管件65及第-" 一 1早兀具有優點為可防止第 生。換言之，第 ¥S件66插入錯誤位置之錯誤發 二絕緣管件64之止滑凸/成、卜絕緣管件63及第 之外徑屯小於成形 、及76，使止滑凸緣75及76 於"電管件65及第二導電管細 316468 31 '1250283 . 之止滑凸緣77及78之外徑d4。形成第一絕緣管件63，使 此管件外徑d5小於第一導電管件65之管件外徑d6。 經由採用此種結構，可防止第一導電管件65及第二導 電管件66分別錯誤插入第四開口 70a及第六開口 73a，第 一絕緣管件63及第二絕緣管件64原先應該插入此等開口 内部。換言之，若由於某種錯誤而第一導電管件65即將插 入第四開口 70a時，由於第一絕緣管件63之結構與第一導 電管件65之結構不同，造成實際上第一導電管件65難以 插入第四開口 70a。結果可事先防止第一導電管件65插入 錯誤開口。 由後文說明觀點，防止第一導電管件65及第二導電管 件66插入錯誤部分相當重要。由於防止插入錯誤，可避免 電路板2及做為測試目標之半導體積體電路1受損。特別 可避免電性連接至信號用導電接觸55或電源供應用導電 接觸57，特別係電性連接至電源供應用導電接觸57之電 路板2及半導體積體電路1受損。換言之，若第一導電管 件65係插入欲容納信號用導電接觸55或電源供應用導電 接觸57之開口内部，則電源供應用導電接觸57等經由第 一導電管件65電性連接至固定架底座61。因固定架底座 61電位係維持於接地電位，電源供應用導電接觸57等電 性連接至固定架底座61’因此半導體積體電路1或電路板 2之電源供應器之輸出端變成直接接地。如此大量電流通 過導電接觸，造成載於電路板2之電路破壞導致電路變無 用的程度。因此，第三具體例提供第一導電管件65及第二 32 316468 1250283 ^電管件66 A有實體上無法插入錯誤 免錯誤的發生。 的結構。如此避 由防止第—導電管件65 看，如第10 FI说-& ，决位置之觀點來 /丨、.. 結構也有用。第10圖為根攄笫二盈邮 例之導雪接例结- 像弟—具體 ,,, '妾觸早兀之修改例。於修改後之導 形成止滑凸綾75芬V 丁电接觸早兀， _ 及76以及止滑凸緣77及78M;^d>d 。 处A為於官件插入方向（於第μ 8 7 形於第-絕緣管件63及第二絕緣管件乂:::，^ 75及76之#$ . 卞04個別之止滑凸緣 及第1二L以及d8各自為形成於第-導電管件65. 長Γ 之止滑凸緣77及78於管件插入方向之 一導導電接觸單7"之若干優點將利用第 若第-絕緣管件四開口 7°a之例子說明如後。' 件65及止严凸终 緣外徑75分別與第-導電管 ^ 、象77外徑相等，且若管部外徑被此;ίΉ辇 75長度及二1Γ能插入錯誤開口。但因止滑凸緣| 緣75係由第— 入f四開口 7〇a’至少部分止滑凸 ^ 基板6 7相對於筮- | 。 因此於此種情況下，當件::m凸起。 -其柘μ 4 丁且奴固疋乐一基板67與第 67盥第一1:時’凸起留在接觸面部分，難以將第-基板 10圖二=68固定為接觸面彼此接觸狀態。結果，第 開口 m之導:止製造有第—導電管件65錯誤插入第四 电接觸單元，且可避免半導體積體電路u 316468 33 1250283 電路板2嚴重受損。 〜由防止發生管件插入錯誤位置之觀點來看，管件^ 媒茜限於第9圖或第10圖所示結構。第 牛、、、。構 第一導带总从以成士 、、、巴、，彖g件63盘 圖結二:：二：同—!外部形狀。因此‘9 差異不由外 I 5: %滿足。或者，二者間之 由外仏ki、，反而可由不同截面形狀提供。 及第：夕匕第三具體例採用下述結構，第-導電管件65 广C — V電官件66係插置於接地用導電接觸56與固〜 氏坐61間。因此’接地用導電接觸％與固疋木 ::電阻降低’形成具有光滑面之管件内側，因此可座咸？ 接地用導電接觸56之伸縮操作期間的滑動阻力。減>、 昂三具體例透過凸緣部8〇及81實現接 56與固定架底座61之電性接觸。因此彈箬件82=: 維持與第—導電管件65 …而，、有 82 子0私性接觸功能。結果，彈筈件 含括為了增加表面積之緊密捲繞部分，牛、牛 可4成稀疏捲繞部分。經由採用此 =
供給針件％及79b之彈力加大，彈 U 大。 平戸、仵82之伸縮範圍擴 界疋凸緣件80及81之外徑以實體 65及第二導雷管# V兒官件 導mu: 三具體例具有改良接地用 疋位精度之另-優點。換言之，第三具體例t， 弟—.59之接地料電接觸％係處於下述狀態， 凸緣部80及81外表面與第一導電管件 持 觸。結果於第三具體例，唯—地界定接地用導= 316468 34 1250283 之位置，而可避免移位的發生。 第U圖至第13圖為導電接 示意圖。特定士之估田 纟觸早70之其它修改結構之 分包括-彈簀件。 m ^接觸’其至少部 87 U圖所示，信號用導電接觸83包括針件8“ 87，具有如第一且雕如 > 匕秸計件86及 -管狀本體88,係：成為：：形狀之相同形狀；以及具有 分及彈簀件（圖中未顯復風針件86及87之底緣側之部 柱形。同理，體88之外表面形成為圓 本體91，電卿=觸84包括針件89及9。及管狀 私你供應用導電接鎚β 狀本體94。桶型導*接^觸/包括針件92 * 93及管 做為導電接觸之代表C於文參照接地用導電接觸84 管狀本體91係形成為包括針 一部分及彈簧件。針件89 底、毒側之至少 置於針件89盥90間，且择田有中空内側，彈簧件係設 管狀本雕91夕为A 糸用以猎彈力偏移針件89及90 〇 同，來：二=徑幾乎於針件89及9。之外部直徑相 二二：持與針件89及9〇電性連接之狀態。特， 巨狀本肢91經常性維持於針件 ° 當針件8 9及9 0滑動時亦維持接觸。电性接觸，即使 〇 換5之，如第1 1圖所示，因管狀本俨 91具有圓柱形，於苴插入LJ g狀本月豆 接觸介於管狀本體91盘第/ 度’故桶型導電 大型接觸面積，故電性接觸二或：七開口⑻間有 啁兒阻降低。第五開口 100係形 316468 35 l25〇283 成於弟一基板98,第七開口 1〇1係 結果，如第11圖所示之修改、二；弟二基板99中。 構，接地用導電接觸84 *第—¥ %接觸早70具有下述結 實體接觸，中間未插置導電管^ 98及第二基板99直接 形成桶型導電接觸之信號 用導電接觸85有另—項優點。換接二3及電源供應 狀本體94之位置及形狀於㈣8 °之’官狀本體88及管 第—絕緣管件95及第：^=9=7/動時™ 度。如此’經修改後之導電接 二:需具有光滑 鏠总/生n c 平凡之另一優點為第一絕 ，’吕件95之㈣與材料的選用上有更大彈性。 口月 >主思不似弟1 1圖之情 ， 形為桶型。經由對至少邻八、王^導電接觸皆須成 H Ρ分導電接觸採用桶型，即可獲得 这二4良點。特別係，如第12囝所-、曾 接地¥電接觸單元可包括 二及信號用導電接觸55及電源供 =用h接觸57’導電接觸55及57二者 體例相同之結構。如第13圖所示，導 一二
號用桶型導電接觸83及電源了兀可已括L ?仏I用桶型導電接觸85，以 :接地用導電接觸56,後者具有與第三具體例之相同結 構。 雖然已經參照第-具體例至第三具體例及其修改例說 明本發明’但本發明非僅囿限於此。熟諸此技藝人士可做 出多種修改。例如經由組裝第一具體例及第二呈體例可形 =接觸固定架及導電接觸單元。換言之，第二具體例 之、、.口構可用於信號用導電接觸15，而第—具體例之結構可 316468 36 1250283 用於接地用導電接觸16 第一具體例至第二目雕^外了依所需，可以藉由組裝於 結構，來實現罝二歹及其修改例中說明之結構所得之 由第結構的固定架及導電接觸單元。 本發明係用===定架件5之形狀顯然易知地假設 半月豆晶片的積體帝 ^ 形狀。例如本發明可用、？路。但热需限於此種 導電接觸結構也非限於第—it:面特性之裝置。此外， 使用任一種結構。 /、版例寺之結構，於本發明可 對於第-具體例等之導電接 定輸出/入信號之傳輪方法=’亚未明白說明特 皆可使用。詳言之步妙μ早而傳輪與差分傳輸兩種方法 無論傳輸方法為何體例等之導電接觸單元具有 第三具體例中二頻電信號傳輸特性之優點。 座61形成有與第―：用弟；絕緣管件63及固定架底 相同之外部形狀。此種=弟二具體例之管件外部形狀 因此較佳容易改變接腳的;，：：官件容易彼此置換’ 單元，其各接腳之指定^ 寸^之，對於導電接觸 形狀彼此不同。作於兄、、崔疋且如I產，較佳管件外部 時，較佳第-絕緣二：階，如當欲決定接腳的指定 同外部形狀。此外即使 導電管件65等形成相 1文對夕種不同违g刑 結構之半導體積體電… ^之f不同電路組配 指定為較佳。 、I 以谷易變更接腳的 第：卜’前述具體例中，形成接地用導她 弟-開口’使針件凸緣 -接觸之針件及 /、弟—開口内徑（或當導電其 316468 37 1250283 件係插入第二開口時，導電管件内徑 發明非僅限於此種結構。例如經由設定凸緣 二開口内徑更小值等，接地用導電接觸與第二開：= 滑動阻力降低。另外，形成接地用導電 : 第二開口中心為較佳。 使針件偏離 第14圖為示意圖，說明一種導電接 心：置之針件的接地用導電接觸。雖然第Η圖二對 體例之結構之導電接觸單元’但導電接觸單：： 可應用至弟一具體例等。 平兀也 如弟14圖所示，形成接地用導電接觸1〇 及⑽，使個別針件103*1〇4之凸緣部1〇5及牛10 徑係略小於第一導電管件65及第二導带其 之外 =置於以前述方式結構化之針件1〇3二 : 107具有不含緊密捲繞部及端S部之社構。 早更件 刪：密捲繞部罐部，造成彈菁件1〇7 之中置姿勢的強度降低。結果，針件1〇3及⑽ :中轴相對於弟二開口 59之中軸以固定角度傾斜。藉此傾 =第凸="。…。6之個別部分接觸第—導電管件Μ 弟一h管件66内表面，藉此，針件1〇3及ι〇4 轴離垂直方向中心，造成針件⑻之中 戶、弟一開〇 59中轴以順時針方向傾斜固定的角 ί針方及=成Γ牛104之中轴相對於第二開口59中轴於逆 才針方向傾斜固定的角度。針件103及104之 316468 38 1250283 方式傾斜，允許針件1〇3及ι〇4之凸 14圖之樺向箭藤及106於第 毛、门月"頁U區令電性連接至第 定言之，於第14岡说-道… 十私吕件65。特 4圖所不v電接觸單元 及1〇6之外徑製作成 凸、.豪°卩105 π 1〇,, 风』於弟一導電管件65等之内徑，作 凸緣邵1 05及1 06孙矣品4 “ 件65耸“個別部分確切接觸第-導電管 件65荨。如此，於導雷接 口口一 吕 包接u用‘電接觸i 〇2可充分、 之功能。 充刀叙揮做為接地周導電接觸 於根據本發明之一形態 單亓，桩砧田、曾 〜、之寺电接觸固定架及導電接觸 早兀接地用導電接觸係電性連接至固定加 供給穩定接地電位給予^底座。因此可 定加菸道帝 、私、、且配結構。即使導電接觸固 接觸單元微縮化’仍然可供給穩定接地電位仏 預疋電路組配結構。 、 …《本發明之另—形態，導電接觸㈣架及導電接觸 :兀包括：抗校正件’得校正信號用導電接觸之内在阻 口此』个改’欠彳5號用導電接觸結構而校正内在阻抗 值。如此可實現以高效率輪出/人電信號來/去於預定電路 組配結構之導電接觸單元，該導電接觸單元輕薄短小且可 以而速操作。 …雖然已經蒼照特定具體例說明本發明以供完整清晰的 如不’但1^附之申請專利範圍並非囿限於此，反而須解譯 為熟諳技藝人士顯然易知且落入此處陳述之基本教示範圍 内之全部修改例及替代結構。 [圖式簡單說明] 316468 39 l2s〇283 弟1圖為根據本發明之第一ιμ 整體結構之示意圖； /、収例，導電接觸單元之 第2圖為根據第一具體例， 電接觸固定架及導電接觸之詳細^該ί電接觸單元之導 弟3圖為示意圖，說明根據第_:二圖， 疋之優點； —體例之導電接觸單 第4圖為根據第一具體例之 之示意圖； 、I按觸單元之一修改例 弟5圖為根據第一具體例之 例之示意圖； ν包接觸單元 弟6圖為根據第一具體例 改例之示意圖； ¥电接 之另一修改 觸單元之又另一 修 圖； 第7圖為根據本發明 部分結構之示衰 第-具體例，導電接觸單元 之 2 8圖為根據第二具體例之導 之示意圖； $电接觸單元之整體結構 第9圖為根據本發明 結構之示意圖； 之第一具體例，導電接觸單元 之 第10 示意i 第11 一 圖為根據第三具體例之導+拉細σ 例之示意圖； ¥电接觸皁元之一修改 修 一圖為根據第三具體例之導泰枝A 一 改例之示意圖. 、免接觸举元之另 第12 修改例之示意圖； 根據第三具體例之導電接觸單元 之又另 316468 40 1250283 第13圖為根據第 修改例之示意圖；以及 第14圖為根據第 修改例之示意圖。 [主要元件符號說明] 1 半導體積體電路 2 」54 導電接觸固定架 4 5 固定件 6、 29、47、67、98 第一基板 7、 3〇、48、68、99 第二基板 8、 52、58 第—開口 9， 10、60 第三開口 、38 ' 49、61固定架底座 、50 、 51 、55 > 83 、56 、 84 、 、57 、 85 、79a 、 79b 92至93 針件 21、33、82、107 彈簧件 22、22a〜22c 電極 23a〜23c連結電極 ， 螺絲 26 連結纜線 27 接地電位供應單元 31、3 2 導電營杜 . 件 44、45 阻抗校正件 具體例之暮+ V兔接觸單元之又另 具體例之導雷垃 σσ — 卞兒接觸早兀之又另 15a 電路板 5b 導電接觸 37 、 59 第 開口 11 13 15 16 17 19 28 14 34 35 36 20 絕緣件 信號用導電接觸 102 接地用導電接觸 電源供應用導電接觸 、103 、 1〇4 、 86 至 87 316468 41 1250283 63 第一絕緣管件 64 第二絕緣管件 65 第一導電管件 66 第二導電管件 70a 、 70b 第四開口 72 、 100 第五開口 73a 、 73b 第六開口 74 、 101 第七開口 75 〜78 止滑凸緣 80、81 凸緣部 88 、 91 、 94 管狀本體 95 第一絕緣管件 96 第二絕緣管件 105 、 106 凸緣部 42 316468