JP6765529B2 - 導電性接触子ユニット - Google Patents
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Description
を満たすことを特徴とする。
を満たすことを特徴とする。
まず、実施の形態1にかかる導電性接触子ユニットについて説明する。本実施の形態1にかかる導電性接触子ユニットは、半導体集積回路等の所定の回路構造に対して電気信号の入出力、電力供給およびアース電位供給を行うためのものであり、特に安定したアース電位供給を行うため、アース電位供給を行うアース用導電性接触子と、導電性材料で形成された導電性接触子ホルダとを電気的に接続させた構成を有する。なお、本明細書におけるコアキシャル構造とは、信号用の導電性接触子の中心軸と、円筒状のグランド内面の中心軸とが一致した同軸構造のことをいう。
共振周波数は、検査対象である半導体集積回路1を作動させる際に使用する周波数領域のうち、例えば共振が生じる周波数である。なお、共振周波数以外の周波数に設定することも可能である。
図5は、本発明の実施の形態1の変形例1にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態1では、スタブ30が、ホルダ基板11を構成する第1基板6と第2基板7と形成された切欠き部30a、30bからなるものとして説明したが、これに限らない。図5に示すように、第1基板6側のみを切り欠いてなるスタブ30Aとしてもよい。このように、スタブは、形成位置に応じて、ホルダ基板11を構成する第1基板6と第2基板7とのうちの一方の基板に形成することが可能である。
図6は、本発明の実施の形態1の変形例2にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態1では、一端が第1開口部8に連なり、他端が閉塞されているスタブ30(ショートスタブ)について説明したが、これに限らない。図6に示すように、スタブ30の他端が、ホルダ基板11の外表面に達しているオープンスタブであってもよい。
図7は、本発明の実施の形態1の変形例3にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した変形例2にかかるオープンスタブに対し、ホルダ基板11の外表面側から調整部材を挿入して、オープンスタブの一端を封止することによって、ショートスタブを形成してもよい。具体的には、図7に示す調整部材300を用いることによって、上述したスタブ30の長さL1を調整することが可能である。
図8は、本発明の実施の形態1の変形例4にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態1では、スタブ30が、第1開口部8の貫通方向で一つ形成されているものとして説明したが、これに限らない。図8に示すように、第1開口部8の貫通方向に沿って複数(図8では二つ)のスタブ(スタブ31、32)を形成してもよい。この際、ホルダ基板11Aは、三つの基板(第1基板11a、第2基板11bおよび第3基板11c)からなり、積層方向の中央部に位置する基板(第3基板11c)の表面には、絶縁部材13aが形成されている。このように、スタブは、減衰させる周波数に応じて、複数形成することが可能である。
図9は、本発明の実施の形態2にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態1では、金属材料を用いてホルダ基板11を形成し、その外表面に絶縁部材13、14を設けた導電性接触子ホルダについて説明したが、本実施の形態2では、ホルダ基板が絶縁性材料からなる。
図10は、本発明の実施の形態3にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態1、2では、導電性接触子ホルダ側にスタブを形成するものとして説明したが、本実施の形態3では、導電性接触子側にスタブを設ける。
共振周波数は、実施の形態1と同様に、検査対象である半導体集積回路1を作動させる際に使用する周波数領域のうち、例えば共振が生じる周波数である。なお、共振周波数以外の周波数に設定することも可能である。
図11は、本発明の実施の形態3の変形例1にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態3では、保持プレート60の大径部61bのみによって、スタブ21aが移動する針状部材21Aのストロークを確保する例を説明したが、これに限らない。本変形例1では、保持プレート60Aと、絶縁部材14Bとにそれぞれ形成される孔によって、針状部材21Aのストロークを確保する。
図12は、本発明の実施の形態3の変形例2にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態3では、針状部材21Aに一つのスタブ21aを形成する例を説明したが、これに限らない。本変形例2では、針状部材21Bが、二つのスタブ(スタブ21a、21b)を備える。
図13は、本発明の実施の形態3の変形例3にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した実施の形態3では、スタブ21aが、フランジ部よりも、針状部材21Aの先端側に設けられ、スタブが抜止機能を有する例(図10参照)を説明したが、これに限らない。本変形例3では、針状部材21Cにおいて、フランジ部21cよりも基端側(バネ部材22側)にスタブ21aが形成されている。
図14は、本発明の実施の形態3の変形例4にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。上述した変形例3では、スタブ21aとフランジ部21cとが離間して設けられている例を説明したが、減衰させる定在波の周波数によっては、フランジ部21cとスタブ21aとが接する場合もある。
図15は、本発明の実施の形態3の変形例5にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子ホルダおよび導電性接触子の詳細な構造を示す部分断面図である。
2 回路基板
3、3A、3B、3C、40 導電性接触子ホルダ
4、18 導電性接触子
6 第1基板
7 第2基板
8 第1開口部
9 第2開口部
10 第3開口部
11 ホルダ基板
15、15a、15b、15A、15B、15C、15D、15E 信号用導電性接触子
16 アース用導電性接触子
17 給電用導電性接触子
20、21、21A、21B、21C、21D、21E 針状部材
22 バネ部材
13、14、14A、14B 絶縁部材
21a、21b、21f、30、30A、55 スタブ
50 保持部材
60 保持プレート
Claims (8)
- 所定回路構造に対して信号を入出力する信号用導電性接触子であって、前記所定回路構造と接触する第1プランジャ、前記所定回路構造に対する前記信号の入出力を行う回路基板に接続する第2プランジャ、ならびに前記第1および第2プランジャを伸縮自在に連結するバネ部材を有する信号用導電性接触子と、
前記所定回路構造に対する信号入出力に用いられる前記信号用導電性接触子を収容し、コアキシャル構造を有する導電性接触子ホルダと、
を備え、
前記導電性接触子ホルダは、
前記信号用導電性接触子を挿通可能な開口部が形成されたホルダ基板と、
前記開口部に収容されており、一つまたは複数の前記信号用導電性接触子を保持する保持孔が形成されている保持部材と、
を備え、
前記保持孔から、該保持孔の中心軸と直交する方向に延びる中空空間を形成するスタブを有し、
前記スタブは、前記保持孔の中心軸方向の位置であって、前記信号入力時における前記第1プランジャ先端から当該スタブまでの長さをD 1 、前記保持孔の中心軸からの当該スタブの延伸方向の長さをL 1 としたとき、
を満たす
ことを特徴とする導電性接触子ユニット。 - 前記ホルダ基板および前記保持部材は、各々が、前記開口部の軸線方向と交差する方向に沿った境界を形成して当該導電性接触子ホルダを分割する二つの構成部材からなり、
前記二つの構成部材の間に前記スタブが形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性接触子ユニット。 - 前記スタブは、延伸方向の先端が、前記ホルダ基板の外周面に接している
ことを特徴とする請求項1または2に記載の導電性接触子ユニット。 - 前記スタブの延伸方向の先端側に挿入されてなり、該スタブの延伸方向の長さを調整可能な調整部材、
をさらに備えることを特徴とする請求項3に記載の導電性接触子ユニット。 - 前記ホルダ基板および前記保持部材は、各々が、前記開口部の軸線方向と交差する方向に分割する二つの構成部材からなり、
前記スタブは、前記二つの構成部材のうちの一方に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の導電性接触子ユニット。 - 前記スタブは、前記保持孔の中心軸に対して回転対称な円盤状の中空空間を形成している
ことを特徴とする請求項5に記載の導電性接触子ユニット。 - 所定回路構造に対して信号を入出力する信号用導電性接触子であって、前記所定回路構造と接触する第1プランジャ、前記所定回路構造に対する前記信号の入出力を行う回路基板に接続する第2プランジャ、ならびに前記第1および第2プランジャを伸縮自在に連結するバネ部材を有する信号用導電性接触子と、
複数の前記信号用導電性接触子をそれぞれ収容する複数の収容部が形成されたホルダ基板と、
を備え、
前記第1プランジャおよび前記第2プランジャのうちの少なくとも一方のプランジャには、外表面から、前記プランジャの軸線方向と直交する方向に突出してなるスタブが形成され、
前記スタブは、該第1プランジャの軸線方向の位置であって、前記第1プランジャの先端から当該スタブまでの長さをD 2 、前記第1プランジャの中心軸からの長さであって、前記軸線方向と直交する方向の長さをL 2 としたとき、
を満たす
ことを特徴とする導電性接触子ユニット。 - 前記スタブは、当該スタブが形成されているプランジャの軸線に対して回転対称な円盤状である
ことを特徴とする請求項7に記載の導電性接触子ユニット。
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