TW536805B - Semiconductor device, and method and apparatus for manufacturing semiconductor device - Google Patents

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TW536805B
TW536805B TW90101158A TW90101158A TW536805B TW 536805 B TW536805 B TW 536805B TW 90101158 A TW90101158 A TW 90101158A TW 90101158 A TW90101158 A TW 90101158A TW 536805 B TW536805 B TW 536805B
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TW
Taiwan
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bulk material
amplification
frequency power
coil
bulk
Prior art date
Application number
TW90101158A
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English (en)
Inventor
Toshihiko Kyogoku
Tadashi Kodu
Kiyoharu Mochiduki
Sakae Kikuchi
Akio Ishidu
Original Assignee
Hitachi Ltd
Akita Electronics Co Ltd
Hitachi Tobu Semiconductor Ltd
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Description

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五、發明說明（1) 技術領域 本發明係關於半導體裝置及其製造方法、以及半導體 製造裝置，例如係關於適用在半導體裝置之多段串接接續 複數之放大器（半導體放大元件）之多段構成的高頻電力 放大裝置（高頻電力放大模組）之製造技術、以及組裝該 商頻電力放大裝置之行動電話機等之無線電通訊裝置（電 子裝置）有效之技術。 背景技術 被使用於汽車、行動電話機等之無線電通訊裝置之高 頻電力放大裝置係將以半導體放大元件（電晶體）構成之 複數之放大器串列接續爲2段或3段等多段之多段構成。 多段構成之最終段之放大器（最終放大器）成爲輸出段， 其之前的各段之放大器（放大段）成爲驅動段。又，電路 阻抗調整用’於各段組裝有電感器（inductor )。 高頻電力放大裝置之特性被要求高效率而且高增益、 小型而且低成本。進而，由攜帶使用之特異性，天線之阻 抗由於使用條件大爲變化，成爲負荷不匹配而引起反射， 產生於最終段之放大元件（半導體放大元件）施加大電壓 之情形。放大元件也須考慮耐得住其之破壞電壓。 第3 3圖係顯示本發明者等先於本發明而檢討之高頻 電力放大裝置之電路溝方塊圖。此高頻電力放大裝置係可 以進行被稱爲 G S M ( Global System for Mobile Communication :行動通訊全球系統）與D C S ( Digital 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂---------^9— 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 -4- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805
五、發明說明（2)
Cellule System :數位話機系統）之2種通訊系統之放大之 雙頻用的高頻電力放大裝置。 此高頻電力放大裝置1作爲外部電極端子具有： GSM用輸入端子（PinGSM①）、控制端子（ Vapc②）、電源電壓Vdd之一方之電源電壓端子（ Vddl③）、GSM用輸出端子（PoutGSM④） 、DCS用輸出纟而子（P 〇 u t DCS⑤）、電源電壓 Vdd之另一方之電源電壓端子（Vdd2⑥）、通訊頻 帶切換用端子（Vc t 1⑦）、DCS用輸入端子（ P 1 nDCS⑧）、未圖示出之接地電壓端子（GND) D C S以及G SM其之放大系統皆是3段放大構成。 D C S放大系統係由以1 s t 、2 n d、3 r d所顯示之放: 大段（311101、3 11102、3 11103)構成，〇8以放 大系統係由以1 s t 、2 n d、3 r d所顯示之放大段（ a m p 4、a m p 5、a m p 6 )構成。各放大段雖然未 圖示出，但是係藉由場效電晶體（F E T )而形成。 於此種構成中，P i n D C S⑧被接續於a m p 1 ， P o u t D C S⑤被接續於a m p 3。又， P i n G S M①被接續於a m p 4 ，P〇u t G S M④被 接續於a m p 6。V a p c②被接續於偏壓電路2之同時 ，藉由被輸入此Vapc②之信號，ampl〜amp6 被控制。 V d d 1 ③透過微導波線（microstripline) MS 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 裝--------訂---------^9. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5- 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（3) 被接續於a m p 4，透過微導波線μ S 4被接續於 amp5，透過電感器L2被接續於amp6。又，爲了 高頻特性之安定化，以外加方式在V d d 1③被接續一端 被接地於G N D之電容器c 1。 V d d 2⑥透過微導波線M S 1被接續於a m p 1， 透過微導波線M S 2被接續於a m p 2，透過電感器L 1 被接續於a m p 3。又，爲了高頻特性之安定化，以外加 方式在V d d 2⑥被接續一端被接地於GND之電容器 C 2。 V c t 1⑦被接續於頻帶選擇電路3。此頻帶選擇電 路3係以被接地之3個η通道型場效電晶體（F E 丁） Q8、Q9、Q10與1個之電阻R1構成。Q8與Q9 之閘極端子被接續於V c t 1⑦。Q 1 〇之閘極端子被接 續於Q 9之汲極端子，汲極端子透過電阻R 2被接續於 a m p 5之輸出側。Q 9之汲極端子透過電阻R 1被接續 於V d d 2⑥。Q 8之汲極端子透過電感器L 3被接續於 a m p 3之輸入側。 藉由被供給V c t 1⑦之信號，進行頻帶之切換，進 行D C S通訊用之放大或G SM通訊用之放大。 在顯示於圖3 3之電路構成中，G S Μ電路鏈以及 D C S電路鏈之電源線係共通使用。此結果爲：由 3 r d F Ε Τ之洩漏信號通過電源線形成回到 1 s t F E T之反饋（feed back loop )迴路（參考於第 3 3圖中所示之粗線箭頭），知道容易引起振盪。 -----------裝--------訂---------^9. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 ___ B7 五、發明說明（4) 另一方面，在習知上，電感器係使用小片式電感器（ chip inductor)。但是，小片式電感器其直流電阻（D C電 阻）大，例如，於行動電話機用之高頻電力放大裝置（高 頻功率放大模組）中，成爲妨礙輸出以及效率之提升的原 因。即，小片式電感器使用於高頻電力放大裝置之電源線 之情形，例如，需要2 A以上之電流容量而成爲特別規格 ，價格局，又，緊急之供應有其困難。 又，市售之空心線圈之外形尺寸大，由於模組之高度 限制而無法搭載。即，組裝於高頻電力放大裝置之小片式 電阻或小片式電容器等之小片式電子零件被稱爲1 0〇5 製品，長度小至1 m m、寬度以及高度爲〇 · 5 m m，市 售之空心線圈大於此。 又，習知之小片式電感器成本也高，妨礙混成積體電 路裝置之低成本化。即，小片式電感器雖有種種構造者， 但是被使用於高頻電力放大裝置之小片式電感器係以於由 陶瓷形成之基部零件捲繞線材之構造者、以陶瓷爲基部堆 疊A g、N i等之導體以形成螺旋構造者、以及在陶瓷鐵 心之表面施行電鍍等形成金屬層，將此金屬層以雷射光切 割爲螺旋狀之構造者爲主流。 因此，本案申請人爲了謀求小型化以及成本降低，進 而爲了謀求D C電阻之降低，就使導電性良好之金屬線捲 繞成螺旋狀之線圈加以檢討，提案新的線圈（線圈電感器 )(特願2000 — 367762號公報）。 此線圈例如如舉其一例，爲將以絕緣膜（例如，聚乙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · I I I---I ^ . I------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 536805 A7 B7 五、發明說明（5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 儲te )被覆表面之直徑〇 · 1 m m之銅線捲繞成螺旋狀之 構造，外徑爲〇 · 5 6 m m程度、長度爲〇 · 9 m m程度 。在捲繞爲螺旋之前，一定長度去除銅線之兩端部份之絕 緣S吴，或不覆蓋絕緣膜。因此，未被覆蓋絕緣膜之1至複 數圈之捲線部份成爲電極。此線圈之重量極爲輕至 〇· 0 7 2 5 m g程度。又，此線圈係捲繞銅線而製造之 故’習知之小片式電感器（例如，將小金屬層以雷射光切 割爲螺旋狀之構造之1 〇 〇 5製品）其阻抗爲8 η Η，直 流電阻成爲1 〇 ΟιώΩ。 相對於此，本按申請人提案之空心線圏其阻抗爲8 ηΗ ’直流電阻爲2 ΟιηΩ，成爲習知之1/5，同時， 成本也變得比較佔上風。 本案申請人使用習知之散裝物供料器將此種線圈（空 心線圈）組裝於混成機體電甕裝置之高頻電力放大裝置進 行組裝。 但是，在習知之散裝物供料器中，知道安定供給重量 極爲輕之線圈（空心線圈）有其困難。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 半導體製造裝置之散裝物供料器例如被記載於「
Matsushita Technical Journal」、Vol. 45，No.4, Aug.1 999， P86〜P90。於此文獻中記載：適用於疊層小片式電容器或四 方板形小片式電阻等之表面構裝型電子零件之構裝之漏斗 式之散裝物供料器。 第3 4至第4 2圖係習知之散裝物供料器圖。如第 3 4圖所示般地，習知之散裝物供料器具有··收容散裝物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -8 - 536805
五、發明說明（6) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之散裝物收容盒1 〇，以及被設置於此散裝物收容盒1〇 之下部之漏斗1 1 ，以及由此漏斗1 1將被置入其內之散 裝物導引至前端之散裝物供給部1 2爲止之搬運軌道1 3 散裝物收容盒1 0係薄箱形構造，其之內底面成爲由 兩側朝向中央匯集散裝物之傾斜體1 4。貫穿此傾斜體 1 4之中心被配置’將被匯集於傾斜體1 4之內底面部份 之散裝物以一列狀態由散裝物收容盒1 〇取出之漏斗1 1 如第3 5圖所示般地，係由：上端具有圓錐梯形孔1 5之 導引部1 6 ;以及由具有沿著貫穿此導引部1 6之中心軸 ’ 1個導引散裝物之導引孔1 7之方管形成之供給軸1 8 所構成。形成爲散裝物由供給軸1 8之上端進入導引孔 1 7地，前述導引部1 6上下振動之構造。例如，具有散 裝物之長度（1衝程·· 1 s t )之略3倍程度之振幅而振 動。 又，導引孔1 7如第3 6圖所示般地，成爲矩形剖面 。供給軸1 8爲2 · 6 m m直徑，於其之中心設置寬 0 · 6 3 m m長度〇 · 8 7 m m之四角形之導引孔1 7。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以此種散裝物供料器供給散裝物爲〇 . 5 6 m m X Ο · 8 5 m m之大小之線圈（空心線圈）9之情形，如第 3 5以及第3 6圖所示般地，了解到產生幾個之供給不良 〇 其一：筒狀之供給軸1 8之肉厚相當厚之故，空心線 圈9載於供給軸1 8之上端，不進入導引孔1 7內之供給 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 B7 五、發明說明（7) 不良A。 其一：導引部1 6在向下下降之時間點，於圓錐梯形 孔1 5之傾斜面與供給軸1 8之外圓周面之間產生間隙 1 9 ，空心線圈9被夾住在此間隙1 9之供給不良B。 其一：空心線圈9本身也有尺寸上偏差，0 . 53 m m X 0 · 8 5 m m之大小之空心線圏9在0 . 6 3 m m X0 · 8 7mm之大小之導引孔1 7之中途成爲橫向而卡 住之供給不良C。 另一方面，習知之散裝物供料器之搬運軌道1 3如第 3 4圖所示般地，在中途存在連接痕D之故，也有由於該 連接痕而使空心線圈9鉤住，而產生供給不良。 另一方面，散裝物供給部1 2係成爲如第3 7圖所示 之構造，做第3 7圖至第4 2圖所示之動作。即，如第 3 7圖所示般地，在搬運軌道1 3之前端側，搬運軌道本 體2 5之前端上面側變成低一截，滑動件2 6沿著空心線 圈9之移送方向可以往復移動地被安裝於此低的部份。 設置導引空心線圈9之導引孔1 7之軌道2 7延伸存 在至前述搬運軌道本體2 5之含段差部份爲止。在搬運軌 道本體2 5具有使進入前述軌道2 7之導引孔1 7而移動 之空心線圏9之前端停止之阻擋部2 8。此阻擋部2 8雖 然成爲接觸空心線圈9之上側，但是其下部成爲部份被開 放之空間。此形成真空吸引空心線圈9使之抵接於阻擋部 2 8用之真空吸引通路3 0 a。 滑動件2 6藉由彈簧2 9，其之左端面成爲接觸含段 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10- 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（8) 差部份之側面。滑動件2 6之左端面接觸含段差部份之側 面之狀態變成阻擋部2 8之空心線圈9之定位位置，即形 成定位基準面。 又，開閉器3 1重疊於滑動件2 6上，而且，對於滑 動件2 6爲可以移動。開閉器3 1沿著空心線圈9之移送 方向往復移動，覆蓋比移動在軌道2 7之導引孔1 7內之 前端之空心線圈9之長度還常少許之距離部份。因此，在 軌道2 7之前端部份成爲導引孔1 7之上面之軌道2 7部 份被削除之構造。關閉器3 1與滑動件2 6之間形成真空 吸引通路3 0 b。又，於開閉器3 1、滑動件2 6以及搬 運軌道本體2 5分別設置孔，形成真空吸引通路3 0 c、 3〇d、3 0 e。滑動件2 6靠近左端，開閉器3 1覆蓋 導引孔1 7之上側之狀態時，這3個孔重疊，如第3 7圖 所示般地，如以粗線箭頭所示般地，真空吸引空心線圈9 ，使前端之空心線圈9抵接阻擋部2 8。藉由此真空吸引 ，如第3 8圖所示般地，後續之空心線圈9也成爲在導引 孔1 7內排列爲一列。 如第3 9圖所示般地，使開閉器3 1往右側，即由導 引孔1 7之尾端遠離的做開動作，前端之空心線圈9以及 第2個之空心線圈9之前端部份之少許長度部份成爲露出 狀態。又’藉由此時之開動作，真空吸引通路3 0 d藉由 開閉器3 1被塞住之故，真空吸引動作停止。開閉器3 1 之移動例如爲空心線圈9之長度之3倍（3 s t )程度的 被移動。第4 0圖係顯不這些之關係之放大剖面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） «^--------1T--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 __ B7 五、發明說明（9) 接著，筒夾移動，真空吸引保持前端之空心線圈9， 搬運於模組基板上，進行空心線圈9之搭載。 可是如前述般地，空心線圈極爲輕之故，由於真空吸 引之切換時之氣流（氣壓）變動或振動而容易移動，例如 ，如第4 4圖所示般地，前後之空心線圈9之端部彼此重 疊。在此情形，筒夾3 2變成無法確實真空吸引保持空心 線圈9而搬運，空心線圈9之往模組基板之搭載變成無法 進行。又，如使藉由筒夾之真空吸引力提高而使真空吸引 力變大，由於該真空吸引力之影響，線圏列也會錯亂，無 法使筒夾之真空吸引力大致必要以上，控制很微妙。又， 第4 3圖係顯示無障礙地排成一列之空心線圈9之圖。 本發明之目的在於提供：高頻特性優異，能夠謀求輸 出以及效率之提升，而且，可以達成製造成本之降低之半 導體裝置以及組裝該半導體裝置之電子裝置。 本發明之其它目的在於提供：高頻特性優異，能夠謀 求輸出以及效率之提升，可以達成製造成本之降低之高頻 電力放大裝置以及組裝該高頻電力放大裝置之無線電通訊 裝置。 本發明之其它目的在於提供：構裝直流電阻小之空心 線圈之半導體裝置以及組裝該半導體裝置之電子裝置。 本發明之其它目的在於提供：構裝直流電阻小之空心 線圈之高頻電力放大裝置以及組裝該高頻電力放大裝置之 無線電通訊裝置。 本發明之其它目的在於提供：可以改善振盪裕度之高 -----------裳--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12- 536805 A7 B7 五、發明說明（10) 頻電力放大裝置以及組裝該高頻電力放大裝置之通話性能 良好之無線電通訊裝置。 本發明之其它目的在於提供：可以將散裝物正確而且 確實構裝於配線基板之半導體裝置之製造方法。 本發明之其它目的在於提供：可以將散裝物之線圈正 確而且確實構裝於配線基板之半導體裝置之製造方法。 本發明之其它目的在於提供：可以達成散裝物之安定 供給之半導體製造裝置。 本發明之其它目的在於提供：可以達成散裝物之線圈 之安定供給之半導體製造裝置。 本發明之前述以及其它之目的與新的特徵，由本詳細 說明書之記載以及所附圖面理應可以變得明白。 發明之揭示 如簡單說明於本申請案所揭示之發明之中代表性者之 槪要，則如下述。 於行動電話機組裝以下之構成之高頻電力放大裝置。 高頻電力放大裝置係具有2個放大系統之雙頻構成。放大 系統爲複數串列接續半導體放大元件之多段構成’係在輸 出最終放大段之半導體放大元件之信號之第1端子與電源 電壓端子間串列接續直流電阻小之線圈（空心線圈）之構 成。空心線圈被搭載於高頻電力放大裝置之模組基板。 供給電源電壓之電源電壓端子被2端子設置’ 一方之 電源電壓端子分別被接續於一方之放大系統之出段放大段 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _裝---- 1T--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 536805 A7 B7 五、發明說明（11) 與另一方之放大系統之剩餘之放大段，另一方之電源電壓 端子分別被接續於另一方之放大系統之出段放大段與一方 之放大系統之剩餘之放大段之構成（稱呼爲肩上斜掛著帶 子構成）。 前述空心線圈係成爲將表面被以絕緣膜覆蓋之0 . 1 m m直徑之銅線緊密捲繞爲螺旋狀之構成之同時，兩端之 成爲電極之部份不存在絕緣膜之構成，最大外徑爲 〇·56mm程度，全長爲〇·9mm程度，阻抗爲8 η Η ’直流電阻爲2 0 m Ω程度，與習知之小片式電感器 之阻抗8 η Η、直流電阻1 〇 〇 m Ω比較爲較小。 前述高頻電力放大裝置之製造之空心線圈的搭載係以 筒夾真空吸引保持被移送於散裝物供料器之散裝物供給部 排成一列之空心線圈之前端之空心線圈後，運至模組基板 之指定位置，之後藉由暫時之加熱處理，熔解預先設置於 模組基板或空心線圈之銲料而固定。又，被搭載於模組基 板之電子零件，筒度比空心線圈還低。即，小片式零件爲 長度1mm、寬以及高爲〇 · 5 mm之零件，或其以下之 零件。又，形成半導體放大元件之半導體晶片之厚度也薄 。因此，直徑大至0 · 5 6 m m之空心線圈在其它構裝零 件之搭載之最後進行。 半導體製造裝置之散裝物供料器係由··散裝物收容盒 、漏斗、搬運軌道以及散裝物供給部形成，將被收容在散 裝物收谷盒之空心線圈以漏斗排成一列地匯集，使之在搬 運軌道內移動，運至散裝物供給部。空心線圈到達散裝物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 -----B7 五、發明說明（1刁 供給部地，在散裝物供給部未圖示出之真空吸引機構暫時 地動作。真空吸引機構之真空吸引動作停止之肩，散裝物 供給部之開閉器打開，以筒夾保持露出之空心線圈列之前 端的空心線圈。 漏斗係由：上端具有圓錐梯形孔之筒狀之導引部；以 及由具有沿者貝芽此導引部之中心軸’以縱列狀態一列地 導引散裝物之導引孔之供給軸所構成。導引部上下振動， 散裝物匯集於導引部之圓錐梯形孔，進入供給軸。供給軸 之肉厚薄至散裝物不會停止在上端。導引部在下降至最低 之狀態下，供給軸之外圓周面與導引部之圓錐梯形孔面之 間成爲不會產生夾住散裝物之間隙之位置關係。導引孔成 爲比空心線圈之全長短，比空心線圈之外形稍大之圓形剖 面之孔，使得散裝物之空心線圈不會橫向進入供給軸之導 引孔內。因此，供給軸以圓筒體形成。 搬運軌道係以沿著導引孔移動之散裝物不會鉤住地以 無接痕之1個之構件形成。 散裝物供給部具備：具有使沿著搬運軌道之導引孔移 動而來之散裝物定位停止之阻擋部之同時，沿著散裝物移 送方向往復運動自如地被安裝於搬運軌道之滑動件；以及 對於前述滑動件，在散裝物之移送方向可以往復運動自如 地被安裝，而且使導引孔之上面開閉之開閉器·，以及被設 置於前述搬運軌道以及導引部以及開閉器’而且構成使前 述導引孔內之散裝物朝向阻擋部藉由真空吸引進行用之真 空吸引機構之一部份之真空吸引通路；以及開閉前述真空 --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 ----- B7 五、發明說明（q 吸引通路之開閉手段。 在散裝物供給部中，在導引孔前端部上面藉由開閉器 被塞住之狀態，開閉手段做開動作，使導引孔內之散裝物 朝向阻擋部前進。接著，開閉器做比散裝物之長度還短距 離之開動作，使開閉手段做閉動作。接著，開閉器與滑動 件一齊地進而做開動作，使前端之散裝物與後續之散裝物 之間產生指定之距離。接著，開閉器進而做開動作，使前 端之散裝物露出。在此狀態，進行前端之散裝物之藉由筒 夾之真空吸引保持。 如依據前述之手段，（a )空心線圈與小片式電感器 相比，直流電阻（D C電阻）小。因此，當成接續於多段 構成之放大系統之最終放大段之電感器使用之情形，D C 損失變低，減少損失可以提高阻抗。因此，可以達成由最 終放大段對其之前之放大段之高頻信號之反饋之降低，能 夠謀求振盪裕度之提升。此結果爲：以R F模組振盪裕度 被改善之故，行動電話機之通話性能變良好。 (b )於雙頻構成中，被供給於2個之放大系統之電 源電壓成爲肩上斜掛著帶子構成之故，可以抑制由後段放 大段（特別是最終放大段）之往初段放大段之洩漏信號之 通過電源線之反饋之故，可以改善振盪裕度。此藉由使用 如前述（a )之空心線圈可以構謀求振盪裕度之提升。 (c )空心線圈係將表面以絕緣膜被覆之銅線緊密捲 繞爲螺旋狀之構成之故，製造成本與習知之小片式電感器 相比，便宜至1 / 7〜1 / 2之程度。因此，與被接續於 -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 B7 五、發明說明（1今 最終放大段之成本高之小片式電感器相比，可以使成本小 至1 / 7之程度。改變使用於其它部份之小片式電感器而 使用依據本發明之空心線圈，其成本可以成爲1 / 2程度 。藉由此’可以g某求商頻電力放大裝置之成本之降低。因 此，也可以降低組裝此高頻電力放大裝置之行動電話機（ 無線電通訊裝置）之製造成本。 (d )空心線圈最大外徑成爲〇 · 5 6 m m程度，長 度成爲0 · 9 m m程度之故，比習知之寬以及高度〇 · 5 m m、長度1 m m之小片式電感器，其構裝長度可以變短 0 (e )於局頻電力放大裝置之製造之空心線圈之搭載 (半導體裝置之製造方法）中，具有以下之效果。 ① 搭載於模組基板之電子零件中，空心線圈雖然高度 最局，但是在其它電子零件之搭載後進行構裝。因此，真 空吸引保持空心線圈之筒夾不會接觸已經被搭載於模組基 板之電子零件，不會損及其它之電子零件之搭載。此結果 :可以謀求構裝良率之提升。 ② 以筒夾真空吸引保持被移送於散裝物供料器之散裝 物供給部排列爲一列之空心線圈之前端之空心線圈後，運 至模組基板之指定位置，之後藉由暫時之加熱處理，熔解 預先設置於模組基板或空心線圈之銲料而固定之，在散裝 物供給部中，前端之空心線圈由後續之空心線圈分離而被 供給之故，不會有後續之空心線圈重疊於前端之空心線圈 或鉤住而產生之筒夾之真空吸引錯誤，可以正確而且確實 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 536805 A7 _____________ B7 五、發明說明（” 進行構裝’同時，構裝作業也可以有效率地進行。因此， 不易引起構裝不良或機械停止，構裝成本之降低變成可能 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ③ 在漏斗部份，筒狀之供給軸之肉厚變薄之故，散裝 物不會停止於上端，對散裝物供給部之空心線圈之供給變 得確實，可以進行安定供給。 ④ 在漏斗部份，導引部在下降爲最低之狀態中，在供 給軸之外圓周面與導引部之圓錐梯形孔面之間，不會產生 夾住散裝物之間隙之位置關係之故，空心線圈不會被夾住 在供給軸外圓周面與導引部之圓錐梯形孔面之間。因此， 空心線圈之變形可以防止，也沒有變形之空心線圈之構裝 ’能夠謀求構裝良率之提升。又，可以安定將空心線圈供 給於散裝物供給部。 ⑤ 供給軸之導引孔大而且成爲圓形剖面之孔之故，空 心線圈不會塞住導引孔，可以安定將空心線圈供給於散裝 物供給部。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ⑥ 搬運軌道係由無接痕之1個之構件形成之故，空心 線圈不會在導引孔之中途被鉤住，可以安定將空心線圈供 給於散裝物供給部。 實施發明用之最好形態 以下，參考圖面詳細說明本發明之實施形態。又，於 說明發明之貫施形態用之全圖中’ g具有问一'機通者賦予 相同標號，省略其之重複說明。 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 536805 A7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（％ (實施形態1 ) 第1圖至第3 1圖係本發明之一實施形態（實施形態 1)之半導體裝置（高頻電力放大裝置）以及其之製造技 術以及無線電通訊裝置（電子裝置）之圖。 在本實施形態1中，半導體裝置係就在高頻電力放大 裝置（混成積體電路裝置）適用本發明之例做說明。本實 施形態1之高頻電力放大裝置係雙頻用，例如係組裝 G S Μ週日?1系統與D C S通訊系統被組裝入之行動電話機 (無線電通訊裝置）之雙頻用之高頻電力放大裝置。 本實施形態1之高頻電力放大裝置（高頻功率放大模 組）1如第2圖所示般地，外觀上成爲扁平之矩形體構造 〇 高頻電力放大裝置1係藉由由陶瓷配線板形成之模組 基板5以及被重疊安裝於此模組基板5之一面側（主面側 )之外蓋6而構成扁平矩形體構造之封裝7之構造。外蓋 6係具有電磁屏蔽效果之任務之金屬製，爲藉由沖壓之成 形品。 第4圖係顯示本實施形態1之高頻電力放大裝置之電 路構成之方塊圖。此高頻電力放大裝置1作爲外部電極端 子具有：GSM用輸入端子（Ρ 1 nGSM①）、控制端 子（Vapc②）、電源電壓Vdd之一方之電源電壓端 子（Vddl③）、GSM用輸出端子（
PoutGSM④）、DCS用輸出端子（ 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -19- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 _ B7 五、發明說明（17) p〇utDCS⑤）、電源電壓Vdd之另一方之電源電 壓端子（V d d 2⑥）、通訊頻帶切換用端子（
Vctl⑦）、DCS用輸入端子（PinDCS⑧）、 未圖示出之接地電壓端子（G N D )。單子排列如第1圖 般地，由模組基板5之眼前側左朝向右，排列爲端子①② ③④，由後方右朝向左，成爲端子⑤〜⑧。DC S與 G S Μ皆係其放大系統爲3段放大構成。 D C S放大系統係由以1 s t、2 n d、3 r d所顯 示之放大段（811101、311102、3 11103)構成， G S M放大系統係由以1 s t、2 n d、3 r d所顯示之 放大段（amp4、amp5、amp6)構成。各放大 段雖然未圖示出，但是係藉由場效電晶體（F E T )而形 成。 於此種構成中，P i n D C S⑧被接續於a m p 1 ， Pou tDCS①被接續於amp3。P i nGSM④被 接續於a m p 4，P 〇 u t G S M④被接續於a m p 6。 V a p c②被接續於偏壓電路2之同時，藉由被輸入 此V a p c②之信號，a m p 1〜a m p 6被控制。 V d d 1 ③透過微導波線（microstripline) MS 1 被接續於a m p 1 ，透過微導波線M S 4被接續於 a m p 5，透過電感器L 2被接續於a m p 6。又，爲了 高頻特性之安定化，以外加方式在V d d 1③被接續一端 被接地於G N D之電容器C 1。 V d d 2⑥透過微導波線M S 3被接續於a m p 4， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20- -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 536805
五、發明說明（18) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 透過微導波線M S 2被接續於a m p 2，透過電感器L 1 被接續於a m p 3。又，爲了高頻特性之安定化’以外力口 方式在V d d 2⑥被接續一端被接地於GND之電容器 C 2 ° 如此，電源電壓準備2個之端子（V d d 1③、 Vdd2⑥），成爲一方之電源電壓端子對一方之放大系 統之初段放大段與另一方之放大系統之2段以及3段放大 段供給電源電壓，另一方之電源電壓端子對另一方之放大 系統之初段放大段與一方之放大系統之2段以及3段放大 段供給電源電壓之所謂的肩上斜掛著帶子構成之故，可以 抑制由後段放大段（特別是最終放大段）之往初段放大段 之洩漏信號之通過電源線之反饋之故，可以改善振盪裕度 0 又，前述L 1〜L 3係以阻抗8 η Η者，直流電阻爲 2 0 m Ω，與習知之小片式電感器之阻抗8 η Η，直流電 阻爲1 0 0 m Ω相比，直流電阻大幅降低之空心線圈所形 成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 V c t 1⑦被接續於頻帶選擇電路3。此頻帶選擇電 路3係以被接地之3個η通道型場效電晶體（F E T ) Q8、Q9、Q1〇與1個之電阻R1構成。Q8與Q9 之閘極端子被接續於V c t 1⑦。Q 1 0之閘極端子被接 續於Q 9之汲極端子，汲極端子透過電阻R 2被接續於 a m p 5之輸出側。Q 9之汲極端子透過電阻R 1被接續 於V d d 2⑥。Q 8之汲極端子透過電感器L 3被接續於 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 __B7 五、發明說明（ a m p 3之輸入側。藉由被供給V c t 1⑦之信號，進行 頻帶之切換’進行D C S通訊用之放大或G S Μ通訊用之 放大。 桌1圖例如係顯不被搭載於由積層玻璃陶瓷之低溫熟 成之陶瓷配線板所形成之模組基板5之表面之各電子零件 之平面圖。 如第1圖所示般地，在模組基板5之表面搭載有：4 個之半導體晶片8 a〜8 D ;以及3個之空心線圏9 a〜 9 c ;以沒有賦予標號之多數之小片式電阻與小片式電容 器。 模組基板5之表裏面不用說導體也被選擇性地形成在 內部。而且，藉由這些導體形成配線4。此配線4之一部 份成爲固定前述半導體晶片8 a〜8 d用之搭載焊墊4 a ，成爲固定小片式電阻或小片式電容器等之小片式電子零 件或空心線圈9 a〜9 c之電極之電極固定用焊墊4 b， 或構成接續一端被接續於半導體晶片8 a〜8 d之未圖示 出之電極之銲線2 0之另一端之黏晶焊墊（w i r e b ο n d i n g pad ) 4 c等。表面構裝型之電極藉由前述配線4被形成在 模組基板5之裏面，形成前述①〜⑧之外部電極端子。這 些外部電極端子爲L G A ( land gnd array )構造。 半導體晶片8 a〜8 d被固定在設置於模組基板5之 主面之凹孔底部。又，在動作時發熱量大之半導體晶片中 ，在其下之模組基板5形成中介孔（vm hole )之同時’前 述導體被塡充於此中介孔，將熱傳達於模組基板5之裏面 · I------^ ----I--I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -22- 536805 A7 ______B7____ 五、發明說明（2〇) 〇 於半導體晶片8 a〜8 d中，DC S用之1 s t與 2 n d之半導體放大元件被組裝在半導體晶片8 a ， D C S用之3 r d之半導體放大元件被組裝在半導體晶片 8b。又，GSM用之1 s t與2nd之半導體放大元件 被組裝在半導體晶片8 c，GSM用之3 r d之半導體放 大元件被組裝在半導體晶片8 d。 另一方面，此係本發明之特徵之一，如第4圖之方塊 圖所示般地，高頻電力放大裝置1之電感器L 1〜L 3如 第1圖所示般地，以線圈（空心線圈9 a〜9 c )所形成 〇 第3圖（b )係顯示被搭載於模組基板5之空心線圈 9 a ( 9 )。空心線圈9係由：表面被以絕緣膜披覆之電 感器部2 2以及兩端之不以絕緣膜披覆之電極2 3形成。 此空心線圈9爲電感器部2 2係6圈，電極2 3係2圈。 空心線圈9其電極2 3藉由銲料2 4被固定於模組基板5 之配線4 b而被構裝。又第3圖（a )之空心線圈9係電 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ， 之繞，緣圏 如狀捲膜絕線 例旋在緣以心 {螺。絕被空 。 膜爲m之。此 例緣繞ΠΊ份 3 。 裝絕捲 9 部 2 2 構以線 ·端極 2 之面銅 ο 兩電部 圈表之爲之部器 1 將111度線外感 爲：m長銅爲電 3 爲 1 、 除成爲 2 ， .m去份成 極例 om度部份 電一徑 6 長線部 ， 舉直 5 定捲線 圈如之 ·一 之捲 8 9 覆 ο ， 份的 爲圈披爲前部份 2 線 } 徑之除部 2 心膜外狀去之 部空烯，旋該覆 器 乙造螺由披 感 聚構爲藉膜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -23- 5368〇5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 1、發明說明（21) 9之重量爲〇 · 〇 〇 7 2 5 m g ’極爲輕。此線圈係捲繞 銅線而製造之故，與習知之小片式電感器（例如，電流容 量2 · 1A之程度，阻抗8nH者’直流電阻爲100 m Ω之小片式電感器）相比，其成本低至1 / 7程度。又 ，在電流容量小之小片式電感器中’其之成本成爲1 / 2 程度。 此種高頻電力放大裝置1如下述般地’振盪裕度被改 善之同時，傳送損失被降低。 (1 )振盪裕度對策 於第3 3圖所示之電路中，爲了共通使用G SM/ D C S各電路鏈之電源線，形成由3 r d F E T來之洩漏 信號通過電源線回到1 s t F E T之反餽迴路（feed back loop)，容易引起振盪。 相對於此，在依據本實施形態1之第4圖所示之電路 中，爲了改善此feed back loop之影響’設置2個電源電壓 端子（V d d 1、2 )，以由別的電源電壓端子供給放大 增益最高之1 s t F E T之電源線，可以抑制對 1 s t F E T之feed back，能夠改善振盪裕度。 又，於G S Μ以及D C S之放大系統中，以D C電阻 小之空心線圈9形成往3 r d F Ε Τ之電源線部份之電感 器之故，D C損失變小，減少電力損失可以提高阻抗。此 結果爲由3 r dFET對2ndFET之RF信號之反餽 被降低，配上前述肩上斜掛著帶子構成之效果，可以更提 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24- 536805 A7 _ B7___ 五、發明說明（2刁 升振盪裕度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (2 )藉由對電源線之空心線圈之適用之傳送損失之降低 伴隨電路之高集成化之小型.多機能化，有必要提高 構件之構裝密度，導波線等有必要往基板之內層佈置。但 是，電源線之往內層之佈置存在以下之問題。 ① 由於特性阻抗之降低’尚頻傳送損失（R F損失） 增加。 ② 在作爲R F損失之對策而使導波線變長之情形， D C損失增加。 ③ 在使導波線變長之情形，佔有面積增加，有礙模組 基板5之小型化，即高頻電力放大裝置1之小型化。 在電源線之損失可以大略分別爲由於配線電阻部份之 D C損失與由於阻抗成分之R F損失。爲了降低D C損失 ，雖然使電源線長（導波線）變短即可，但是電源線之阻 抗降低，R F損失會增加。 此處，說明電源線之損失。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (1 ) D C損失 電流流過電源線之情形’由於配線導體之寄生電阻部 份，產生電壓降低，被施加於F E T之汲極端子之電壓降 低，引起輸出降低、效率降低。損失（D C損失：d B ) 由以下之公式被給予。 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 536805 A7 B7 五、發明說明（2习 【數1】 損失=10 log(Vddl.Idd)-l〇 l〇g{[vdd-(L/W).RsMdd].Idd} 【數2】 電壓降低=(L/W).Rs·Idd 此處，L係線長、W係線寬、r s係導體電阻。 (2 ) R F損失 於藉由電源線之阻抗與F E T之汲極阻抗之關係之傳 送損失解析中’使用模擬器M D S ( Microwave Design System ) ° 以F E T爲輸入信號源之情形，以輸入爲非匹配、輸 出爲匹配’可以加以計算，以可見到F E T之電源線之影 響之G a (有效電力增益）進行計算。g a係由下式被給 予。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 【數L G a 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 sl2)/{l-|S22|2+|rs l2*〔（|Sll I2 一 |d|2) - 2Rp 〇 i η n 1 1 ) ZKe(Sll — D.S22 氺）〕} 【數4】 D=S11-S22-S12-S2 【數
R F損失（d B 1〇 〇 g ( G a 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -26- 536805 A7 B7 — —五、發明說明（2今 此處，S11 ·322·312·321 係 S 參數， S 1 1係輸入阻抗、S 1 2係隔離，S 2 1係傳送增益、 S 2 2係輸出阻抗，S 2 2 *係輸出阻抗複數共軛、R e 係實數部、Γ s係輸入反射係數。 於減少電源線之R F損失上，於第5圖所示；^傳$線 以及電源線之等效電路中，需要使電源線之阻抗（z 2 > 大。於第5圖中，設計在傳送線之輸入（I N )與輔j & f 〇U T )之間電源線長成爲L之電源線，V d d被供給於 電源線之端邰。於第5圖中，Z 〇爲電源線特性阻抗、 Z 1爲傳送線之電源線接續部阻抗、Z 2爲電源線阻抗、 L爲電源線長度。於此種等效電路中，存在下列公式。 6 數
Z a b 7 數 L 5· η a t ο ζ * -—> + L ζ /IV ο ζ - 2 ζ
+ 〇 Z 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) L η 3 t L ζ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇 .11· \)/ 抗 阻 線 截 短 Γν L ζ 處 此 8 數 2 z 9 數
7r 2 II L op η a t o z λ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 B7 五、發明說明（25) 藉由此δ十昇結果’在導波線中如使長度爲λ / 4，對 於基本波，電源線阻抗（Ζ 2 )成爲開放，阻抗成爲無限 大，傳送於電源線之信號在短路面（旁路電容器）反射而 回，開始可視爲開放，產生傳送損失，損失不成爲零。因 此，於電源線之設計中，由D C損失與R F損失兩面檢討 ，必須設計損失變少之條件。 第6圖顯示導波線之Ζ 2與電源線損失之關係，了解 到R F損失與D C損失間存在最適當點。即，頻率f爲 9 0 0MHz、線寬W爲〇 · 3 111111、基板1 (內層）爲 〇 · 3 m m、基板介電常數ε r爲8 . 1之情形，前述最 適當點爲導波線之長度成爲1 2 m m。 但是，將導波線配置於基板內層之情形，傳送損失約 大至0 · 4dB，存在電力效率降低之不良。 第7圖以及第8圖顯示於電源線使用小片式電感器以 及空心線圈之情形之傳送損失。在小片式電感器中，與內 層導波線相比，傳送損失可以降低爲1 / 4程度，進而在 空心線圈中，與小片式電感器相比，可以降低D C損失爲 約1 / 2程度。第9凸顯式空心線圈與小片式電感器之 D C電阻之比較。藉由空心線圈適用之損失之降低如換算 爲電力效率，與內層導波線比較，相當於約+ 5 %之提升 〇 接著，說明組裝高頻電力放大裝置1之行動電話機（ 電子裝置）。第1 0圖係顯示組裝有本實施形態1之高頻 -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -28- 536805 A7 _____ B7 五、發明說明（叫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 電力放大裝置1之行動電話機（無線電通訊裝置）之系統 構成方塊圖。具體係顯示行動電話機（移動體通訊終端） 之系統構成。 第1 0圖係顯示雙頻無線電通訊機之一部份之方塊圖 ，顯示由高頻信號處理I C ( RF llnear ) 5 〇至天線（ Antenna ) 5 1爲止之部份。又，在第1〇圖中，高頻電力 放大裝置之放大系統係分別爲G S Μ用放大系統與D C S 用放大系統之2種而顯示，將此放大器顯示爲p a (功率 放大器）58a、58b。 天線5 1係被接續於天線傳送接收切換器5 2之天線 端子A n t e η n a。天線傳送接收切換器5 2具有輸入 PA58a、58b之輸出之端子P〇u t 1、 P 〇 u t 2，以及接收端子R x 1、R x 2，以及控制端 子 controll、c ο η t r ο 12 ° 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由高頻信號處理I C 5 0來之G SM用信號被送至 PA58a ，被輸出於Pout 1 。PA58a之輸出藉 由耦合器5 4 a被檢測，此檢測信號被反餽於自動輸出控 制電路（A P C電路）5 3。A P C電路5 3以上述檢測 信號爲基礎而動作，控制P A 5 8 a。 又，同樣地，由高頻信號處理I C 5 0來之D C S用 信號被送至PA58b，被輸出於Pou t 2。 P A 5 8 b之輸出藉由耦合器5 4 b被檢測，此檢測信號 被反餽於A P C電路5 3。A P C電路5 3以上述檢測信 號爲基礎而動作，控制P A 5 8 b。 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 536805 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 五、發明說明（ 天線傳送 duplexer ) 5 子被接續於上 被接續於G S 接續於D C S 傳送接收 被接續於P 〇 透過電容器C 開關5 6 a藉 與a接點或b 又，傳送 5 7 b被接續 b接點透過電 收切換開關5 ，進行與a接 濾波器6 被接續於接收 又，濾波器6 被接續於接收 藉由此無 可能。 接著，說 之構裝技術。 之半導體製造 A7 B7 接收切換益5 2具有收發自動轉換開關（ 5。此收發自動轉換開關5 5具有端子，1端 述天線端子Antenna ’其它2端子之內之一方 Μ用之傳送接收切換開關5 6 a ，另一方被 用之傳送接收切換開關5 6 b。 切換開關5 6 a之a接點透過濾波器5 7 a u t 1。傳送接收切換開關5 6 a之b接點 1被接續於接收端子R x 1。傳送接收切換 由被輸入控制端子control 1之控制信號，進行 接點之電器接續之切換。 接收切換開關5 6 b之a接點透過濾波器 於P 〇 u t 2。傳送接收切換開關5 6 b之 容器C 2被接續於接收端子r X 2。傳送接 6 b藉由被輸入控制端子control2之控制信號 點或b接點之電器接續之切換。 〇a與低雜訊放大器（L N A ) 6 1 a依序 端子R X 1與高頻信號處理I C 5 0之間。 〇b與低雜訊放大器（L N A ) 6 1 b依序 端子R X 2與高頻信號處理I C 5 0之間。 線電通訊機，G S Μ通訊與D C S通訊成爲 明高頻電力放大裝置1之製造之空心線圈9 於空心線圈9之構裝中，使用第1 1圖所示 裝置之散裝物供料器2 1。本實施形態1之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） *t--------IT--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（2吻 散裝物供料器2 1係改良第3 4圖所示之散裝物供料器使 得可以安定供給空心線圈9者。 散裝物供料器2 1在具有：散裝物收容盒1 〇、漏斗 1 1、搬運軌道1 3、散裝物供給部1 2之方面係與習知 品相同’但是’爲了安定供給空心線圈，①在漏斗1 1部 份’進行分別可以達成：供給軸1 8上之空心線圈9之停 止抑止、往供給軸1 8與圓錐梯形孔1 5之間之空心線圈 9之捲入抑止、供給軸1 8之在導引孔1 7之空心線圈9 之塞住抑止之改良。 ② 又’在搬運軌道1 3中，爲了使在接痕部份之空心 線圈9之鉤住消失，以單一構件形成導引孔1 7。 ③ 又，在散裝物供給部1 2中，爲了解除以縱列狀態 排成一列前進之空心線圈9之前端的空心線圈9與後續之 第2個之空心線圈9之端部部份之纏在一齊，導入在筒夾 3 2於保持空心線圈9之則的階段，使前端之空心線圈9 由後I買之空心線圈9分離之手段。 使用此種散裝物供料器2 1之空心線圈9之構裝（半 導體裝置之製造方法）如弟1 1圖所不般地》將被設置於 移動臂3 3之前端之筒夾3 2如箭頭所示般地移動於散裝 物供給部1 2與載置模組基板5之工作台3 4之間，進行 空心線圈9之構裝。在此情形，以後述之機構在使前端之 空心線圈9由後續之空心線圈9分離後，以筒夾3 2真空 吸引保持空心線圈9。 又，此空心線圈9之構裝係在比空心線圈9構裝高度 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -31 - 536805 A7 B7 五、發明說明（2今 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 低之小片式電阻或小片式電容器等其它之電子零件之搭載 後進行。此係如果先進行空心線圈9之構裝，比空心線圈 9之構裝高度還低之電子零件之構裝時，筒夾會有接觸被 構裝之空心線圈9之情形。藉由此接觸，例如，在接續空 心線圈9之電極2 3與電極固定用焊墊4 b之銲料2 4部 份會發生龜裂、或產生斷裂。乃爲了避免產生此情形之故 〇 第1 2圖（a )〜（C )係顯示空心線圈9之構裝狀 態之模型圖。將由散裝物供料器2 1之散裝物供給部1 2 被供給之空心線圈9真空吸引保持於筒夾3 2之下端之吸 引面後，如第1 2圖（a )所示般地，運送至模組基板5 之空心線圈之安裝位址爲止（參考第1 2圖（a ))。又 ，筒夾3 2之吸引面對應圓筒形狀之空心線圈之外圓周地 ，成爲圓弧狀剖面之吸引面。 接著，如第1 2圖（b )所示般地，空心線圈9之一 對之電極2 3分別重疊於模組基板5之一對之電極固定用 焊墊4 b上，進行定位，使空心線圈9載置於模組基板5 上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，藉由逆流（reflow )使預先設置在電極固定用 焊墊4 b上之銲料2 4暫時熔解，將電極2 3固定在銲料 2 4上，如第1 2圖（c )所示般地，完成構裝。 接著，參考第1 1圖至第2 5圖說明散裝物供料器 2 1。第1 1圖以及其它圖也係省略一部份，簡略化之圖 ，於以下，只以習知之散裝物供料器之改良部份爲主進行 -32- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 536805 A7 —-—----—_____一
五、發明說明（3CD 說明。 ί請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 如第1 1圖所示般地’本實施形態1之散裝物供料器 2 1具有：收容散裝物之散裝物收容盒1 〇、以及被設置 於此散裝物收容盒1 〇之下部之漏斗1 1、以及由此漏斗 1 1將被置入其內之散裝物導引至前端之散裝物供給部 1 2爲止之搬運軌道1 3。 散裝物收容盒1 0係薄箱形構造，其之內底面成爲由 兩側朝向中央匯集散裝物之傾斜體1 4。漏斗1 1上下貫 穿其之中心部份地被配在此傾斜體1 4之中心。此漏斗 1 1成爲將被匯集於傾斜體1 4之內底面部份之散裝物以 縱列狀態排列爲一列之散裝物收容盒1 〇取出之構造。在 本實施形態1中，說明將空心線圈當成散裝物供給之例。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 漏斗1 1如第1 3圖以及第1 4圖所示般地，係以： 上端具有圓錐梯形孔1 5之導引部1 6 ;以及具有沿著貫 穿此導引部1 6之中心軸，使空心線圈9在縱列狀態（後 續之空心線圈9之前端之電極接觸先進入之空心線圈9之 後端之電極而排列之狀態）排成一列導引之導引孔1 7之 供給軸1 8所構成。供給軸1 8以圓筒體形成，在中央具 有圓形剖面之導引孔1 7。空心線圈9之最大外形成爲 0 · 5 6 πί m ’ 長度成爲 〇 · 9 m m。 此處，在本實施形態1中，爲了在導引孔1 7內，空 心線圈以橫向進入而不塞住，導引孔1 7之直徑成爲比空 心線圈9之長度0 · 9 m m其直徑還小，空心線圈9之最 大外形之0 . 5 6 m m還大之尺寸。例如，導引孔1 7成 33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 536805 A7 __ B7 五、發明說明（31) 爲0 · 6 8 m m。藉由此，空心線圈9不會以橫向塞住導 引孔1 7。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，如第1 3圖所示般地，導引部1 6例如上下以空 心線圈9之長度（0 . 9 m m )之3倍之衝程振動，導引 散裝物收容盒1 0內之空心線圈9於圓錐梯形孔1 5之中 心。在此振動中，供給軸1 8之上端成爲不突出於供給軸 1 8之圓錐梯形孔1 5內之構造。圖中，導引部1 6在下 死點之狀態下，在圓錐梯形孔1 5之底部與供給軸1 8之 上端一致。 藉由此，不會引起如習知般地，在供給軸1 8之外圓 周面與圓錐梯形孔1 5之面之間夾住空心線圈9之現象， 不會引起由於夾住之拉拔所導致之空心線圈9之變形或裝 置之故障。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 5圖係搬運軌道1 3之放大模型圖。於搬運軌道 1 3也設置與前述供給軸1 8之導引孔1 7相連之導引孔 1 7 a。此導引孔1 7 a在第1 5圖中，雖然模型地記載 ，但是於指定之構件設置溝之同時，藉塞住此溝以形成導 引孔1 7 a。又，搬運軌道1 3之前端成爲散裝物供給部 1 2。而且，由供給軸1 8至散裝物供給部1 2之導引孔 1 7 a係以單一構件形成。搬運軌道1 3以組合複數之構 件而形成。關於這些構件之說明雖然省略，但是，例如構 件之組合如第1 6圖所示。又，在第1 6圖雖然真空吸引 通路以管子被形成，但是此也被省略。 如依據本實施形態1之散裝物供料器2 1，在搬運軌 -34- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 536805 A7 _____B7 五、發明說明（3刁 道1 3之中途，空心線圈9由於沒有鉤住之接痕之故，藉 由導引孔1 7 a ’空心線圈9圓滑地被移送於散裝物供給 部1 2。此移送藉由未圖示出之真空吸引機構進行。接續 於真空吸引機構之管子3 5被安裝於搬運軌道1 3之左端 。此管子3 5通過構成搬運軌道1 3之搬運軌道本體2 5 之下部內部，延伸至散裝物供給部1 2，連通於後述之真 空吸引通路。而且，由散裝物供給部1 2側真空吸引將空 心線圈9移送於散裝物供給部1 2側。因此，各空心線圈 9藉由真空吸引之移動之故，前述之空心線圈9緊緊接觸 ，也成爲相互之端部纏繞之原因。 於第1 5圖至第1 7圖中，爲了檢測通過在導引孔 1 7 a之一部份之空心線圈9，設置發光元件3 6，以及 接收由此發光元件3 6所發之光3 7之受光元件3 8。空 心線圈9如滿至此傳感器位址爲止，漏斗之升降停止，線 圈成爲不會進入供給軸之狀態。 散裝物供給部1 2成爲如第1 8圖所示之構造，進行 第1 8圖至第2 5圖所示之動作。散裝物供給部1 2如第 1 8圖所示般地，在搬運軌道1 3之前端側，搬運軌道本 體2 5之前端上面側具有低一截之凹孔。而且，滑動件 2 6沿著空心線圈9之移送方向可以往復移動地被安裝於 此凹部。此往復移動之衝程例如成爲空心線圈9之長度之 約一半（0.5st)(參考第23圖）。 導引空心線圈9之導引孔1 7 a延伸至前述滑動件 2 6之左端爲止。又，如第1 9圖所示般地，空心線圈9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 裝--------訂---------^9— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -35- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 __B7__ 五、發明說明（3习 可以1個進入之承受部4 0被設置於滑動件2 6之左端。 在此承受部4 0之一端，即遠離導引孔1 7 a之端部之右 端設置有阻擋部2 8，接近導引孔1 7 a之端部之左端設 置突出部4 1。 阻擋部2 8具有決定前進於導引孔1 7 a內而至落入 承受部4 0之前端之空心線圈9之前端位置之基準面。又 ，突出部4 1如前述般地，在滑動件2 6在往由導引孔 1 7 a之端部分離之方向移動（前進）之際，使前端之空 心線圈9確實前進地擔任後推之任務（關於突出部4 1， 參考第2 3圖）。 關於滑動件2 6，阻擋部2 8成爲接觸於空心線圈9 之前端之上側，其之下部成爲部份地開放之空間。此空間 部份形成真空吸引空心線圈9 ’使抵接於阻擋部2 8用之 真空吸引通路3 0 a。 在本實施形態1中，由藉由使前端之空心線圈9往交 叉於進行方向之方向移動’使前端之空心線圈9由後續之 空心線圈9分離以斷絕兩者之纏繞之思想，採用使導引孔 1 7 a低一截之構成。又’由使前端之空心線圈9由後續 之空心線圈9分離以斷絕兩者之纏繞之思想’採用使滑動 件26前進0.5st之構成。 因此，如依據使前端之空心線圈9由後續之空心線圈 9分離以斷絕兩者之纏繞之思想’也可以爲不設置突出部 4 1 ，承受部4 0維持原樣設置於導引孔1 7 a之延長線 上，而且，只具有阻擋部2 8之構成。即’導引孔1 7 a 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） .36 - -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 __ B7 五、發明說明（3今 之底面與承受部4 0之支撐空心線圈9之面爲同一平面。 此也是本發明之其它之構成。 在本實施形態1中，承受部4 0比導引孔1 7 a之高 度低一截之故，藉由真空吸引前進至承受部4 0爲止之前 端之空心線圈9落下承受部4 0內，前端接觸阻擋部2 8 ，進行定位。藉由此，前端之空心線圈9由後續之空心線 圈9分離。 滑動件2 6雖然成爲框構造，但是，開閉器3 1涵蓋 此滑動件2 6之框內以及上面地被安裝。彈簧4 2被安裝 於進入滑動件2 6之框內之開閉器部份與此開閉器部份之 間，經常藉由該彈簧4 2之彈力將開閉器3 1壓靠於導引 孔1 7 a之端側。 開閉器3 1之左端之部份成爲塞住導引孔1 7 a之前 端上側。因此，開閉器3 1在移動（前進）於右側之情形 ，導引孔1 7 a之前端側之數個之空心線圈9成爲露出之 同時，藉由其之前進長度，也使滑動件2 6之承受部4 0 上之空心線圏9 (前端之空心線圈9 )露出。 在開閉器3 1以及搬運軌道本體2 5也設置真空吸引 通路3〇b 、3〇c 、3〇d 、30e 。真空吸引通路 3〇d成爲圓形剖面之孔，轉動於搬運軌道本體2 5之凹 孔底部之球體4 3進入此孔，可以塞住孔，即真空吸引通 路3 0 d。如第1 8圖以及第1 9圖所示般地，開閉器 3 1後退，最靠近左端時，爲了以被設置於開閉器3 1之 球體控制面4 4使球體4 3往左側移動（後退），球體 -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -37- 536805 A7 _ B7 五、發明說明（3句 4 3由孔脫離’成爲真空吸引狀態。同圖粗線箭頭係顯示 真空吸引用之空氣之流動。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第2 0圖以及第2 1圖所示般地，開閉器3 1往右 側移動（前進）0 · 5 s t時，前述球體控制面4 4由孔 往右側離開之故’球體4 3由於真空吸引力而移動，一部 份進入孔內，塞住真空吸引通路3 0 d，成爲使真空吸引 動作停止。真空吸引動作一停止，空心線圈9相互間之由 於真空吸引之密接力解除。又，真空吸引通路3 0 e接續 於真空吸引機構之管子3 5。而且，藉由真空吸引，後續 之空心線圈9也於導引孔1 7內排列爲一列。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接著，說明此種散裝物供給部1 2之空心線圈9之供 給方法。在空心線圈9之供給開始狀態中，如第1 8圖以 及其之放大圖之第1 9圖所示般地，滑動件2 6也與開閉 器3 1 —齊地成爲往左側移動之後退狀態。在此狀態中， 如以粗線箭頭所示般地，成爲真空吸引，導引孔1 7 a內 之空心線圈9在前端之空心線圈9接觸於阻擋部2 8之狀 態，以縱列狀態排列爲1列。圖中，以及以下之圖也同樣 ，設空心線圈9由前端起顯示3個者。前端之空心線圏9 進入承受部4 0內，如第1 9圖所示般地’前端之空心線 圈9與後續之空心線圈9成爲纏繞被分開之狀態。 接著，如第2 0圖以及其之放大圖之第2 1圖所示般 地，如箭頭所示般地朝向右側，由於真空吸引停止之故而 前進。此真空吸引停止之故之前進長度爲空心線圏9之長 度之約一半，即，〇 · 5 s t。開閉器3 1前進之故，球 -38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 一 B7 五、發明說明（3句 體4 3由球體控制面4 4之控制離開而成爲自由，藉由真 空吸引力轉動，塞住真空吸引通路3 0 d。此際，開閉器 3 1之左端與覆蓋導引孔1 7 a之搬運軌道本體2 5部份 之端部’即開口端4 6之間之間隔成爲〇 · 5 s t ，被蓋 住之空心線圈9之上面側成爲一部份露出之狀態。但是， 承受部4 0上之前端之空心線圈9藉由開閉器3 1被塞住 〇 接著，如第2 2圖以及其之放大圖之第2 3圖所示般 地，如箭頭所示般地朝向右側，滑動件2 6前進。此前進 長度成爲空心線圈9之長度之一半，即0 . 5 s t 。開閉 器3 1由於載於滑動件2 6之狀態之故，開閉器3 1也移 動0 · 5 s t ，開閉器3 1之左端與覆蓋導引孔1 7 a之 搬運軌道本體2 5部份之端部，即開口端4 6之間之間隔 成爲1 s t 。滑動件2 6即使移動，真空吸引被停止之故 ，前端之空心線圈9獨立前進搬運份，後續（第2個）之 空心線圈9原樣地殘留在導引孔1 7 a內。藉由此，前端 之空心線圈9與後續之空心線圈9成爲完成分離。於此狀 態中承受部4 0上之前端之空心線圈9也藉由開閉器3 1 被塞住。 接著，如第2 4圖以及其之放大圖之第2 5圖所示般 地，如以箭頭所示般地朝向右側，開閉器3 1前進。此前 進係使藉由開閉器3 1被塞住之承受部4 0上之前端之空 心線圈9露出用之前進，並無特別限制’例如’開閉器 3 1之左端與前述開口端4 6之間之間隔成爲3 s t地前 -----------裝--------訂---------^9— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -39- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 ---__ B7 五、發明說明（37) 進。 一成爲此種狀態，筒夾3 2移動而至，真空吸引保持 承受部4 0上之空心線圈9。在此情形，空心線圈9不會 與其它之空心線圈9纏繞之故，正確而且確實被保持在筒 夾32。筒夾32如第1 1圖以及第12圖（a)〜（c )所示般地，將空心線圈9運送供給於模組基板5上。 第2 6圖以及第2 7圖係顯示使用本實施形態1之散 裝物供料器搭載於模組基板5之其它構造之空心線圈9。 而且’此搭載之空心線圈9成爲第2 8圖至第3 0圖所示 者。如第2 9圖所示般地，爲將在銅線4 7之一部份之表 面披覆由聚乙烯等形成之絕緣膜4 8之線材使各捲繞部份 相互接觸地緊密捲繞爲螺旋狀者。如第3 0圖所示般地， 銅線4 7之直徑a例如爲〇 · 1 m m，線圈之內徑d例如 爲0 · 3 m m。此結果爲線圈之最大値徑D例如成爲 0 · 5 6 m m。又，線圈端部之由捲繞部份之線圈之最大 値徑D突出之部份之長度α爲0 · 30// m程度。進而， 如第2 9圖所示般地，空心線圈9之長度（全長）L爲 0 · 8 m m程度。 此空心線圈9係以3圈部份形成電感器部2 2，其之 兩端之電極2 3成爲2圈程度。在改變阻抗、改變電極之 接續長方面，只要改變個別之圈數即可。第3 1圖（a ) 、（b )係顯示電感器部2 2成爲2圈與1圈之空心線圈 9之例。 如依據本實施形態1，具有以下之效果。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -40- 裳--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（吟 (1 )空心線圈9與小片式電感器相比，直流電阻（ D C電阻）小。因此，當成接續於多段構成之放大系統之 最終放大段之電感器使用之情形，D C損失變少，減少損 失可以使阻抗提高。因此，可以達成由最終放大段對其之 前面之放大段之高頻信號之反餽之降低，能夠謀求振盪裕 度之提升。組裝振盪裕度被改善之本實施形態1之高頻電 力放大裝置之行動電話機其通話性能變好。使用本實施形 態1之線圈之情形，例如，如舉一例，對於電源線之損失 之特性之影響對於損失0 . 1 d B之改善，輸出爲 +〇· 1 d B、電力效率約+ 1 %提升。 (2 )於雙頻構成中，被供給於2個放大系統之電源 電壓成爲肩上斜掛著帶子構成之故，可以抑制由後段放大 段（特別是最終放大段）之往初段放大段之洩漏信號之通 過電源線之反饋之故，可以改善振盪裕度。此藉由使用如 前述（1 )之空心線圈可以構謀求振盪裕度之提升。 (3 )空心線圈9係將表面以絕緣膜4 8被覆之銅線 4 7緊密捲繞爲螺旋狀之構成之故，製造成本與習知之小 片式電感器相比，便宜至1/7〜1/2之程度。因此， 與被接續於最終放大段之成本高之小片式電感器相比，可 以使成本小至1 / 7之程度。改變使用於其它部份之小片 式電感器而使用依據本發明之空心線圈，其成本可以成爲 1/2程度。藉由此，可以謀求高頻電力放大裝置之成本 之降低。因此，也可以降低組裝此高頻電力放大裝置之行 動電話機（無線電通訊裝置）之製造成本。 -----------•裝--------訂---------1» (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -41 - 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 i、發明說明（39) (4 )空心線圈9最大外徑成爲〇 · 5 6 m m程度’ 長度成爲Ο . 9 m m程度之故，比習知之寬以及高度〇· 5 m m、長度1 m m之小片式電感器，其構裝長度可以變 短。 (5 )於高頻電力放大裝置之製造之使用散裝物供料 器2 1之空心線圈之搭載中，具有以下之效果。 ① 搭載於模組基板5之電子零件中，空心線圈9雖然 高度最高，但是在其它電子零件之搭載後進行構裝。因此 ’真空吸引保持空心線圏9之筒夾3 2不會接觸已經被搭 載於模組基板5之電子零件，不會損及其它之電子零件之 搭載。此結果：可以謀求構裝良率之提升。 ② 以筒夾真空吸引保持被移送於散裝物供料器2 1之 散裝物供給部1 2排列爲一列之空心線圈9之前端之空心 線圈9後’運至模組基板5之指定位置，之後藉由暫時之 加熱處理’熔解預先設置於模組基板5或空心線圈9之銲 料2 4而固定之，在散裝物供給部中，前端之空心線圈9 由後續之空心線圈9分離而被供給之故，不會有後續之空 心線圈9鉤住前端之空心線圈9而產生之筒夾3 2之真空 吸引保持錯誤’可以正確而且確實進行構裝，同時，構裝 作業也可以有效率地進行。因此，不易引起構裝不良或機 械停止’構裝成本之降低變成可能。 ③ 在漏斗部份，筒狀之供給軸1 8之肉厚變薄之故， 空心線圈9 (散裝物）不會停止於上端，對散裝物供給部 之空心線圈9之供給變得確實。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G x 297公髮） -42· -------------------訂·-------1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7
五、發明說明（4CD ④ 在漏斗部份，導引部1 6在下降爲最低之狀態中， 在供給軸1 8之外圓周面與導引部1 6之圓錐梯形孔1 5 之間，不會產生夾住散裝物之間隙之位置關係之故，空心 線圈9不會被夾住在供給軸外圓周面與導引部1 6之圓錐 梯形孔1 5之間。因此，空心線圏9之變形可以防止，也 沒有變形之空心線圈9之構裝，能夠謀求構裝良率之提升 。又，可以安定將空心線圈9供給於散裝物供給部。 ⑤ 供給軸1 8之導引孔1 7大而且成爲圓形剖面之孔 之故，空心線圈9不會塞住導引孔1 7，可以安定將空心 線圈9供給於散裝物供給部。 ⑥ 搬運軌道1 3係由無接痕之1個之構件形成之故， 空心線圈9不會在導引孔1 7 a之中途被鉤住，可以安定 將空心線圈9供給於散裝物供給部。 ⑦ 於散裝物供料器2 1之散裝物供給部1 2中，移動 於導引孔1 7 a內之前端之空心線圈9進入滑動件2 6之 承受部4 0內，以及滑動件2 6由後續之空心線圈9拉開 前端之空心線圈9而動作後，開閉器3 1打開，前端之空 心線圈9成爲供給態勢之故，前端之空心線圈9正確確實 被真空吸引保持在筒夾3 2。因此，可以進行空心線圈9 之正確而且確實之搭載（構裝）。 ⑧ 藉由前述①至⑦，藉由本實施形態1之散裝物供料 器2 1之使用等，可以安定進行以空心線圈9爲始之電子 零件之搭載。 (6 )可以提供能夠達成高頻特性優異，能夠謀求輸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -43- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 ________ B7 五、發明說明（41) 出以及效率之提升，而且，製造成本之降低之高頻電力放 大裝置（混成積體電路裝置）以及組裝該高頻電力放大裝 置（混成積體電路裝置）之行動電話機（電子裝置）。又 ，高頻電力放大裝置之振盪裕度被改善之故，行動電話機 之通話性能變良好。 (7 )能夠提供構裝直流電阻小之空心線圏之高頻電 力放大裝置（混成積體電路裝置）以及組裝該高頻電力放 大裝置（混成積體電路裝置）之行動電話機（電子裝置） 〇 (8 )可以提供將空心線圈9等之散裝物正確而且確 實構裝於模組基板之散裝物供料器2 1。 又，依據本發明之散裝物供料器在空心線圈以外，可 以供給與空心線圈同樣地移送中前後之物品纏繞之構成者 。又，當然也可以供給小片式電阻或小片式電容器等之小 片式零件等。 (實施形態2 ) 第3 2圖係顯示本發明之其它之實施形態（實施形態 2 )之散裝物供料器2 1部份之模型圖。如同圖所示般地 ，設置連通於管子3 5之空氣供給路徑4 9。此空氣供給 路徑4 9連通於於供給軸1 8之導引孔1 7。而且，如第 3 2圖所示般地，被送入供器導引孔1 7內。藉由此，空 心線圈9堵塞於導引孔1 7內之情形，可以容易解除該堵 塞。 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -44- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A7 __ B7 五、發明說明（4刁 以上依據實施形態具體說明由本發明者所完成之發明 ’但是本發明並不限定於上述實施形態，在不脫離其之要 旨之範圍內，不用說可以有種種之變更可能。又，在上述 實施形態中，雖係於3段構成之高頻電力放大裝置適用本 發明’但是其它構成之高頻電力放大裝置也可以同樣適用 。例如，也可以適用於由初段半導體放大元件，以及最終 段半導體放大元件所形成之2段構成之高頻電力放大模組 ，能夠獲得同樣之效果。 在以上之說明中，雖然主要就由本發明者所完成之發 明適用於成爲其之背景之利用領域之行動電話機之情形而 做說明，但是並不被限定於此，也可以同樣適用於其它之 電子裝置或其它之半導體裝置（混成積體電路裝置）。 產業上之利用可能性 如上述般地，本發明之高頻電力放大裝置可以使用於 移動體通訊終端等之行動電話機以及各種之無線電通訊裝 置之電力放大器。又，可以提供可以達成安定之通話之無 線電通訊裝置。進而，藉由高頻電力放大模組或無線電通 訊裝置之製造良率提升，可以降低高頻電力放大裝置或無 線電通訊裝置之製造成本。 圖面之簡單說明 第1圖係顯示本發明之一實施形態（實施形態1 )之 高頻電力放大裝置之被搭載於模組基板之電子零件之佈置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -45- I ^--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 536805 A7 ___B7___ 五、發明說明（θ 之平面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第2圖係顯示本實施形態1之高頻電力放大裝置之外 觀之斜視圖。 第3圖係顯示被搭載於前述模組基板之線圈之模型圖 0 第4圖係顯示本實施形態1之高頻電力放大裝置之電 路構成之方塊圖。 第5圖係本實施形態1之高頻電力放大裝置之被形成 在模組基板之電源線之等效電路圖。 第6圖係顯示導波線之損失之曲線圖。 第7圖係顯示小片式電感器之損失之曲線圖。 第8圖係顯示線圈之損失之曲線圖。 第9圖係顯示線圈與小片式線圈之D C電阻與電感器 之相關之曲線圖。 第1 0圖係顯示本實施形態1之高頻電力放大裝置被 組裝之行動電話機之一部份之構成之方塊圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 1圖係顯示在本實施形態1之高頻電力放大裝置 之製造中，使用本發明之散裝物供料器或筒夾等在模組基 板構裝線圈之狀態之模型圖。 第rt®係靡示前述線圈之構裝狀態之模型圖。 第1 3圖#顯示前述散裝物供料器之漏斗部份之模型 剖面圖。 第14圖係前述漏斗之平面圖。 第1 5圖係顯示連接於前述漏斗，搬運線圈之線圈搬 -46- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 _B7 _ 五、發明說明（4今 運軌道之正面圖。 第1 6圖係顯示前述漏斗之線圈之檢測部份之剖面圖 〇 第1 7圖係顯示第1 6圖之一部份之放大剖面圖。 第1 8圖係前述線圈搬運軌道之前端之散裝物供給部 之真空吸引狀態之放大剖面圖。 第1 9圖係顯示第1 8圖之一部份之更放大之放大咅[J 面圖。 第2 0圖係在使前述散裝物供給部之真空吸引停止之 狀態之放大剖面圖。 第2 1圖係顯示第2 0圖之一部份之更放大之放大剖 面圖。 第2 2圖係將前述散裝物供給部之前端之線圈由其它 線圈拉開之狀態之放大剖面圖。 第2 3圖係顯示第2 2圖之一部份之更放大之放大剖 面圖。 第2 4圖係將前述散裝物供給部之前端之線圈以筒夾 保持之狀態之放大剖面圖。 第2 5圖係顯示第2 4圖之一部份之更放大之放大剖 面圖。 第2 6圖係顯示將其它構造之線圈搭在於模組基板之 狀態之放大模型圖。 第2 7圖係由側方觀看第2 6圖之線圈等之放大模型 圖。 -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -47- 536805 A7 B7 五、發明說明（45) 第2 8圖係顯示於第2 6圖之線圈之放大平面圖。 第2 9圖係顯示於第2 6圖之線圈之放大剖面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第圖係顯示於第2 6圖之線圈之放大側面圖。 胃，示其它構造之線圈之放大平面圖。 第3 2係顯1本發明之其它之實施形態（實施形態2 )之散裝物供料器之一部份之模型圖。 第3 3圖係顯示本發明者等先於本發明檢討之高頻電 力放大裝置之電路構成之方塊圖。 第3 4圖係顯示習知之散裝物供料器之模型圖。 第3 5圖係顯示習知之散裝物供料器之漏斗部份之模 型剖面圖。 第3 6圖係習知之漏斗部份之平面圖。 第3 7圖係習知之散裝物供料器之散裝物供給部之真 空吸引狀態之放大剖面圖。 第3 8圖係顯示第3 7圖之一部份之更放大之放大剖 面圖。 第3 9圖係習知之前述散裝物供給部之開閉器打開之 狀態之放大剖面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 桌4 0圖係顯不第3 9圖之一部份之更放大之放大剖 面圖。 第4 1圖係由習知之散裝物供料器之前述散裝物供給 部以筒夾保持線圈之狀態之放大剖面圖。 第4 2圖係顯示第4 1圖之一部份之更放大之放大咅fj 面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -48- 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（叫 第4 3圖係顯示於散裝物供給部中，沒有產生相互鉤 住而排列之J泉圈之模型圖。 第41¾¾露^^排列於散裝物供給部之前端線圈與其 销 之後方之線圈相^句住之狀態之模型圖。 主要元件對照表 1 局頻電力放大裝置 2 偏壓電路 3 頻道選擇電路 5 模組基板 8a〜8d 半導體晶片 9 空心線圈 10 散裝物收容盒 11 漏斗 12 散裝物供給部 13 搬運軌道 15 圓錐梯形孔 16 導引部 18 供給軸
21 散裝物供料器 5 0 高頻信號處理I C 5 1 天線 5 2 天線傳送接收切換器 5 3 A P C電路 -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -49- 536805 A7 B7 五、發明說明（47) 5 5 收發自動轉換開關 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -50-

Claims (1)

  1. 536805 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 附件1 : (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第90101 1 58號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國91年6月修正 1.一種高頻電力放大裝置，其特徵包含： 在其主面具有複數個配線的模組基板；以及 包含被搭載於該模組基板上的電感器的複數個電子構 件； 該複數個電子構件係藉由該複數個配線互相電氣導通 接續，形成高頻放大電路； 該電感器具有將其的表面以絕緣膜披覆的線材複數捲 繞成螺旋狀的線圏形狀； 該線材於其兩端部具有由該絕緣膜露出的部份； 該模組基板的複數個配線被電氣導通接續於該線材的 由該絕緣膜露出的部份。 2 .如申請專利範圍第1項記載的高頻電力放大裝置 ，其中該線圏係將0 · 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲繞 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 成內徑0 . 3 m m直徑左右的螺旋狀，兩端係使該絕緣膜 不存在的一至複數圈的銅線部份當成電極的構成。 3 · —種高頻電力放大裝置，其特徵包含： 輸入端子； 輸出端子； 電源電壓端子；以及 被串聯接續於該輸入端子與輸出端子間的同時，由上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 述電源電壓端子被供給電源電壓的複數個放大段，其中 被電氣導通接續於該放大段的電感器的中一至全部係 以將表面被以絕緣膜披覆的線材捲繞成螺旋狀，使兩端成 爲電極的線圏構成。 4 ·如申請專利範圍第3項記載的高頻電力放大裝置 ，其中該線圏係將0 . 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲繞 成內徑爲0 · 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有 該絕緣膜的一至複數圈的銅線部份爲電極的構成。 5 . —種高頻電力放大裝置，其特徵包含： 輸入端子； 輸出端子； 電源電壓端子；以及 被串聯接續於該輸入端子與輸出端子間的同時，由上 述電源電壓端子被供給電源電壓的複數個放大段， 將以絕緣膜披覆表面的線材捲繞成螺旋狀，令兩端爲 電極的線圏串聯接續於最終放大段與該電源電壓端子之間 〇 6 .如申請專利範圍第5項記載的高頻電力放大裝置 ，其中該線圏係將0 · 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲繞 成內徑0 · 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有該 絕緣膜的一至複數圈的銅線部份爲電極的構成。 7·—種高頻電力放大裝置，其特徵爲： 具有複數個放大系統； 各放大系統爲串聯接續複數個放大段的多段構成； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -一口 -2- 536805 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍 將以絕緣膜披覆表面的線材捲繞成螺旋狀，令兩端爲 電極的線圏串聯接續於各放大系統的最終放大段與電源電 壓端子之間。 8 .如申請專利範圍第7項記載的高頻電力放大裝置 ，其中該線圏係將0 · 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲繞 成內徑0 . 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有該 絕緣膜的一至複數圈的銅線部份爲電極的構成。 9 . 一種高頻電力放大裝置，其特徵包含： 兩個放大系統； 該各放大系統的輸入端子； 該各放大系統的輸出端子；以及 兩個電源電壓端子，其中 該各放大系統爲串聯接續複數個放大段的多段構成， 該一方的電源電壓端子分別被接續於該一方的放大系 統的初段放大段與該另一方的放大系統的殘餘的放大段， 該另一方的電源電壓端子.分別被接續於該另一方的放 大系統的初段放大段與該一方的放大系統的殘餘的放大段 ， 將以絕緣膜披覆表面的線材捲繞成螺旋狀，令兩端爲 電極的線圏串聯接續於該各放大系統的最終放大段與該電 源電壓端子之間。 1〇.如申請專利範圍第9項記載的高頻電力放大裝 置，其中該線圈係將0 . 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲 繞成內徑0 · 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ---------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-口 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -3- 536805 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 該絕緣膜的一至複數圏的銅線部份爲電極的構成。 1 1 . 一種電子裝置，其特徵爲： 由組裝包含： 在其主面具有複數個配線的模組基板；以及 包含被搭載於該模組基板上的電感器的複數個電子構 件； 該複數個電子構件係藉由該複數個配線互相電氣導通 接續，形成高頻放大電路； 該電感器具有將其的表面以絕緣膜披覆的線材複數捲 繞成螺旋狀的線圏形狀； 該線材於其兩端部具有由該絕緣膜露出的部份； 該模組基板的複數個配線被電氣導通接續於該線材的 由該絕緣膜露出的部份， 的半導體裝置而成。 1 2 · —種無線電通訊裝置，其係一種於傳送部具有 高頻電力放大裝置，將該高頻電力放大裝置的輸出輸出於 天線的無線電通訊裝置，其特徵爲： 該高頻電力放大裝置具有： 輸入端子；以及 輸出端子；以及 電源電壓端子；以及 被串聯接續於該輸入端子與輸出端子間的同時，由上 述電源電壓端子被供給電源電壓的複數個放大段； 被電氣導通接續於該放大段的電感器的中一至全部係 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " " -4 - --------------訂------^0, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 由令將以絕緣膜披覆表面的線材捲繞成螺旋狀的兩端爲電 極的線圏構成。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項記載的無線電通訊裝 置，其中該線圈係將0 · 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲 繞成內徑0 · 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有 該絕緣膜的一至複數圈的銅線部份爲電極的構成。 1 4 · 一種無線電通訊裝置，其係一種於傳送部具有 尚頻電力放大裝置’將g亥局頻電力放大裝置的輸出輸出於 天線的無線電通訊裝置，其特徵爲： 該高頻電力放大裝置具有： 輸入端子； 輸出端子； 電源電壓端子；以及 被串聯接續於該輸入端子與輸出端子間的同時，由上 述電源電壓端子被供給電源電壓的複數個放大段，其中 將以絕緣膜披覆表面的線材捲繞成螺旋狀，令兩端爲 電極的線圈串聯接續於最終放大段與該電源電壓端子之間 〇 1 5 .如申請專利範圍第1 4項記載的無線電通訊裝 置，其中該線圏係將0 . 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲 繞成內徑0 · 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有 該絕緣膜的一至複數圏的銅線部份爲電極的構成。 1 6 . —種無線電通訊裝置，其係一種於傳送部具有 高頻電力放大裝置，將該高頻電力放大裝置的輸出輸出於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " -5- ---------AW.-----訂------線，-φ- (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 536805 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 天線的無線電通訊裝置，其特徵爲： 該高頻電力放大裝置係： 具有複數個放大系統； 各放大系統爲串聯接續複數個放大段的多段構成； 將以絕緣膜披覆表面的線材捲繞成螺旋狀，令兩端爲 電極的線圏串聯接續於各放大系統的最終放大段與電源電 壓端子之間。 1 7 ·如申請專利範圍第1 6項記載的無線電通訊裝 置，其中該線圈係將0 · 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲 繞成內徑0 · 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有 該絕緣膜的一至複數圈的銅線部份爲電極的構成。 1 8 . —種無線電通訊裝置，其係一種於傳送部具有 高頻電力放大裝置，將該高頻電力放大裝置的輸出輸出於 天線的無線電通訊裝置，其特徵爲： 該高頻電力放大裝置具有： 兩個放大系統； 該各放大系統的輸入端子； 該各放大系統的輸出端子；以及 兩個電源電壓端子，其中 該各放大系統爲串聯接續複數個放大段的多段構成， 該一方的電源電壓端子分別被接續於該一方的放大系 統的初段放大段與該另一方的放大系統的殘餘的放大段， 該另一方的電源電壓端子分別被接續於該另一方的放 大系統的初段放大段與該一方的放大系統的殘餘的放大段 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） 訂 ^ ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6- 536805 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 將以絕緣膜披覆表面的線材捲繞成螺旋狀，令兩端爲 電極的線圏串聯接續於該各放大系統的最終放大段與該電 源電壓端子之間。 1 9 ·如申請專利範圍第1 8項記載的無線電通訊裝 置，其中該線圏係將0 . 1 m m左右的直徑的銅線緊密捲 繞成內徑0 . 3 m m直徑左右的螺旋狀，令兩端不存在有 該絕緣膜的一至複數圈的銅線部份爲電極的構成。 2 0 · —種半導體裝置的製造方法，其係一種以筒夾 真空吸引保持以縱列狀態排成一列被供給於散裝物供料器 的散裝物供給部的電子零件的前端的電子零件，移送於模 組基板上，的後藉由逆流熔解預先被披覆在該模組基板等 的銲料，使該電子零件固定於模組基板的半導體裝置的製 造方法，其特徵爲： 將以縱列狀態被供給的該電子零件的前端的電子零件 由後I買的電子零件分離爲指定間隔，的後，以該筒夾真空 吸引保持該電子零件，將作爲該電子零件的把表面被以絕 緣膜披覆的線材緊密捲繞成螺旋狀的同時，使兩端成爲電 極的線圈供給於該散裝物供給部。 2 1 ·如申請專利範圍第2 〇項記載的半導體裝置的 製造方法，其中使該前端的電子零件沿著其的縱列方向前 進指定間隔，由後續的電子零件分離。 2 2 ·如申請專利範圍第2 0項記載的半導體裝置的 製造方法，其中使該前端的電子零件於交叉於其的縱列方 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 訂 ^ ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -7- 536805 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 向的方向移動指疋間隔，由後續的電子零件分離。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 3 _如申5R專利範圍第2 〇項記載的半導體裝置的 製造方法，其中使該前端的電子零件於交叉於其的縱列方 向的方向移動指定間隔後，沿著該縱列方向該指定間隔， 由後續的電子零件分離。 2 4 ·如申請專利範圍第2 〇項記載的半導體裝置的 製造方法，其中在將該線圈固定於該模組基板的前，先將 比該線圏的構裝高度還低的其它電子零件固定於該模組基 板。 2 5 ·如申請專利範圍第2 〇項記載的半導體裝置的 製造方法，其中於該模組基板固定1至複數個的半導體放 大元件被組裝入的半導體晶片，以製造高頻電力放大裝置 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 6 · —種半導體製造裝置，其係具有：收容散裝物 的散裝物收容盒；以及設置在該散裝物收容盒的下部的漏 斗；以及引導由該漏斗被取入的散裝物的搬運軌道；以及 被形成在該搬運軌道的前端部份的散裝物供給部的半導體 製造裝置，其特徵爲： 該漏斗係以：上端具有匯集被收容於該散裝物收容盒 的該散裝物的圓錐梯形孔的筒狀的導引部；以及具有沿著 貫穿該導引部的中心軸，1個導引散裝物的導引孔的供給 軸構成的同時，該導引部對於該供給軸係相對地上下振動 而被控制的構成； 該供給軸係在該散裝物不會安定載於其的上端地，肉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 536805 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 厚薄的筒體。 2 7 .如申請專利範圍第2 6項記載的半導體製造裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) s ’其中該散裝物是緊密地將以絕緣膜披覆表面的電阻小 的線材捲繞成螺旋狀，並且可供給令兩端爲電極的線圏而 構成。 2 8 · —種半導體製造裝置，其係一種具備：收容散 裝物的散裝物收容盒；以及設置在該散裝物收容盒的下部 的漏斗；以及引導由該漏斗被取入的散裝物的搬運軌道； 以及形成在該搬運軌道的前端部份的散裝物供給部的半導 體製造裝置，其特徵爲： 該漏斗係以：上端具有匯集被收容於該散裝物收容盒 的該散裝物的圓錐梯形孔的筒狀的導引部；以及具有沿著 貫穿該導引部的中心軸，1個導引散裝物的導引孔的供給 軸構成的同時，該導引部對於該供給軸係相對地上下振動 而被控制的構成； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該導引部的相對的上下動係以：該導引部在下降爲最 低的狀態下，在該供給軸的外圓周面與該導引部的圓錐梯 形孔面之間不會產生夾住該散裝物之間隙的位置關係而上 下動。 2 9 ·如申請專利範圍第2 8項記載的半導體製造裝 置，其中該散裝物是用以可供給緊密地將以絕緣膜披覆表 面的電阻小的線材捲繞成螺旋狀，並且令兩端爲電極的線 圈而構成。 3 0 . —種半導體製造裝置，其係一種具備：收容散 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) " -9 _ ABCD 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 作 社 印 製 536805 六、申請專利範圍 裝物的散裝物收容盒；以及設置在該散裝物收容盒的下部 的漏斗；以及引導由該漏斗被取入的散裝物的搬運軌道； 以及被形成在該搬運軌道的前端部份的散裝物供給部的半 導體製造裝置，其特徵爲： 該漏斗係以：上端具有匯集被收容於該散裝物收容盒 的該散裝物的圓錐梯形孔的筒狀的導引部；以及具有沿著 貫芽δ亥導引部的中心軸，1個導引散裝物的導引孔的供給 軸構成的同時，該導引部對於該供給軸係相對地上下振動 而被控制的構成； 該散裝物不會堵塞在該供給軸的導引孔內地，該導引 孔成爲比該散裝物還大的圓形剖面的孔。 3 1 .如申請專利範圍第3 〇項記載的半導體製造裝 置’其中該散裝物是用以可供給緊密地將以絕緣膜披覆表 面的電阻小的線材捲繞成螺旋狀，並且令兩端爲電極的線 圈而構成。 32 _ —種半導體製造裝置，其係一種具備：收容散 裝物的散裝物收容盒；以及設置在該散裝物收容盒的下部 的漏斗；以及引導由該漏斗被取入的散裝物的搬運軌道； 以及被形成在該搬運軌道的前端部份的散裝物供給部的半 導體製造裝置，其特徵爲： 开》成導引該散裝物的導引孔的搬運軌道構件不會鉤住 沿著該導引孔移動的散裝物地，以無接痕的1個構件形成 〇 3 3 ·如申請專利範圍第3 2項記載的半導體製造裝 本^^尺度適用巾國國家標準（€叫八4規格（210乂297公缝） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
    •10- 536805 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 置，其中該散裝物是用以可供給緊密地將以絕緣膜披覆表 面的電阻小的線材捲繞成螺旋狀，並且令兩端爲電極的線 圈而構成。 3 4 · —種半導體製造裝置，其係一種具備··收容散 衣物的散裝物收谷盒，以及設置在該散裝物收容盒的下部 的漏斗；以及引導由該漏斗被取入的散裝物的搬運軌道； 以及被形成在該搬運軌道的前端部份的散裝物供給部；以 及通過導引孔將該散裝物移動至該散裝物供給部爲止的真 空吸引機構的半導體製造裝置，其特徵爲： 該散裝物供給部具有：具有定位停止使在該搬運軌道 的該導引孔內以縱列狀態排成一列移動而至的前端的散裝 物的阻檔部以及承受該前端的散裝物的承受部的同時，沿 著散裝物移送方向往復運動自如地被安裝在該搬運軌道的 滑動件；以及 對於δ亥滑動件’沿者散裝物移送方向往復運動自如地 被安裝，而且使該導引孔的上面開閉的開閉器； 該前端的散裝物進入該承受部後，使該真空吸引停止 ，接著，使該前端的散裝物由後續的散裝物拉開地使該滑 動件移動指定距離，接著，使該開閉器移動，使位於該承 受部上的前端的散裝物露出，以成爲可以供給狀態的構成 Ο 3 5 .如申請專利範圍第3 4項記載的半導體裝置， 其中該承受部被設置在導引孔的延長線上。 3 6 ·如申請專利範圍第3 4項記載的半導體裝置， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -11 - 536805 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 其中該承受部比該散裝物被移送的導引孔的底面還低一截 〇 3 7 .如申請專利範圍第3 1項記載的半導體製造裝 置’其中在該承受部的後端具有：突出於收容在該承受部 的該散裝物的端側的突出部。 3 8 ·如申請專利範圍第3 4項記載的半導體裝置， 其中該散裝物的真空吸引的設定與解除係藉由以該開閉器 的移動而開放或塞住被設置於搬運軌道本體的真空吸引通 路的球體而進行地構成。 3 9 ·如申請專利範圍第3 4項記載的半導體裝置， 其中I亥漏斗係以：上端具有匯集被收容於該散裝物收容盒 的該散裝物的圓錐梯形孔的筒狀的導引部；以及具有沿著 貫穿該導引部的中心軸，以縱列狀態一列地導引散裝物的 導引？L的供給軸構成，設置連通於該導引孔的空氣供給路 徑’空氣被吹入該空氣供給路徑地構成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -12-
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