TW521317B - Optical element holding device - Google Patents

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TW521317B
TW521317B TW090120168A TW90120168A TW521317B TW 521317 B TW521317 B TW 521317B TW 090120168 A TW090120168 A TW 090120168A TW 90120168 A TW90120168 A TW 90120168A TW 521317 B TW521317 B TW 521317B
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holding
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TW090120168A
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Yuichi Shibazaki
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Nikon Corp
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Description

521317 A7 _____B7__ 五、發明說明（/ ) [技術領域] 本發明係關於用來保持光學元件的光學元件保持裝置 ，詳言之，‘係關於在半導體元件、液晶顯示元件、攝影元 件、薄膜磁頭等微元件之製程，或標線片、光罩等光罩製 程中，於製程中所使用之曝光裝置之投影光學系統之光學 元件保持裝置。 [習知技術] 如圖1及圖2所示，習知之光學元件保持裝置200， 具有用來收容透鏡等光學元件201之圓環狀框體202。在 框體202之內周面，相隔等角間隔配置有三個用來支撐光 學元件201之座面204。在對應座面204之框體202上面 ，形成有螺絲孔205。又，在三個螺絲孔205上，透過三 個挾持構件206，來螺合螺栓207。 藉由鎖緊螺栓207，光學元件201之外周凸緣201a被 挾在挾持構件206與座面204之間，光學元件201被保持 在框體202內之既定位置。即使對光學元件201施加朝與 光學元件201光軸交叉方向之力量時，亦將因挾持構件 206而不致使光學元件201產生位置偏移，能穩定保持光 學元件201。 又，例如，在半導體元件製造用曝光裝置中，由於半 導體元件之圖案微細化，投影光學系統要求具有更高解析 度。爲了得到高解析度，重要的是要如何一面維持投影光 學系統之光學元件201之光學性能，一面保持光學元件 201。即，爲了維持光學元件201之光學性能，當光學元件 3 本紙張尺度適用中ΐ國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ' f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^0:——Ί——訂---------線」 -I n n ϋ I ϋ ϋ n It I n - B7 五、發明說明（i) 201被支撐在曝光裝置之鏡筒內時，必須極力抑制該光學 元件201光學面之面精度變化。 光、學元件201係配置在三個座面204上，藉由挾持構 件206加以挾持。此處，被挾持之光學元件201之面形狀 會因座面204(各座面204之位置關係）、挾持構件206及光 學元件201之外周凸緣部201a之加工精度，而受到大的影 響。換言之，除了須使各座面204之形狀一致以能忽視此 一影響，且爲了將各座面204配置在接近理想位置，必須 進行極嚴密之加工。又，不僅座面204，且挾持構件206、 及外周凸緣部201a也必須進行極嚴密加工。因此，各構件 之加工非常費時，增大製造成本。 又，即使極嚴密加工各座面204、挾持構件206、及 外周凸緣部201a，當把挾持光學元件201之框體202裝著 在鏡筒內時，在框體201，有時會產生些微變形。這種變 形使各座面204之位置關係微妙變化，使光學元件201之 光學面發生變形，而降低該光學元件201之光學性能。 又，爲了圖案之微細化，要求波面像差及變形極少之 投影光學系統。爲了對應這種要求，必須在鏡筒內，將光 學元件201之光軸更嚴密地定位。 爲了正確定位光學元件201，接合框體202之外周面 及底面202a、鏡筒之內周面及接受部，藉此來定位光學元 件201之光軸。因此，框體202裝著至鏡筒內時幾乎沒有 自由度。因此，將框體202安裝在鏡筒時，必須細心注意 很費時。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） 521317 A7 ___B7____ 五、發明說明（5 ) 又，例如，將框體202對鏡筒稍微傾斜插入，在該框 體202中，因施加過剩之荷重，故當想把框體202裝著在 鏡筒內峙，1在框體202中，有時會產生變形。當框體2〇2 產生變形時，將會因該變形而使光學元件201產生不可預 測之應力，導致該光學元件201之光學面精度降低。 [發明之揭示] 本發明之第1目的，係提供一能良好地維持光學元件 之光學性能的光學元件保持裝置。 本發明之第2目的，係提供一能容易且高精度定位光 學元件的光學元件保持裝置。 本發明提供一光學元件保持裝置，該光學元件保持裝 置係具備有保持部。該保持部係保持光學元件之凸緣部。 保持部，包含：具有與凸緣部接觸之座面的座面塊，及以 光學元件切線方向之軸爲中心將座面塊支撐爲能旋轉之座 面塊支撐機構。 本發明提供一光學元件保持裝置，其具備用以保持光 學元件之凸緣部的保持部，及用以固定保持部的固定部。 該保持部，具備：具有與光學元件周緣部接觸之座面的座 面塊’固定於固定部的基台部，以及用以限制座面塊相對 .基台部朝互異之複數方向移動、且以彼此相異複數方向之 各軸爲中心將基台部及座面塊連結成能旋轉的一對連桿機 構。 本發明提供一保持裝置，其具備用以保持被保持構件 的保持部。該保持部包含驅動機構，該驅動機構能進行被 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐）
V (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---訂---------線丨 -ϋ 19 n I βΛΊ n ·ϋ ϋ 521317 A7 _____B7____ 五、發明說明（> ) 保持構件的三個移動(沿以被保持構件之大致中心爲原點之 三個座標軸）及二個旋轉（以前述三個座標軸中之至少二個 座標軸爲中心的旋轉）。 本發明提供一光學元件保持裝置，其具備：用以保持 光學元件之周緣部的保持構件，以三個位置保持保持構件 的三個彎曲構件，以及至少連接於一個彎曲構件、用以操 作至少一個彎曲構件的第1及第2操作構件。保持部係被 保持成，藉由第1操作構件之操作，至少一個彎曲構件係 使光學元件朝第1方向移動，藉由第2操作構件之操作， 至少一個彎曲構件係使光學元件朝與第1方向不同之第2 方向移動。 [圖式之簡單說明] 圖1係習知之光學元件保持裝置之截面圖。 圖2係光學元件保持裝置之分解立體圖。 圖3係曝光裝置之槪略構成圖。 圖4係本發明第1實施形態之光學元件保持裝置之立 體圖。 圖5係從圖4之光學元件保持裝置之另一角度所看之 立體圖。 圖6係圖4之光學元件保持裝置之保持部之立體圖。 圖7係圖6之保持部之基台構件之立體圖。 圖8係圖7之基台構件之前視圖。 圖9係沿圖8之9-9線之截面圖。 圖1〇係圖6保持部之挾持構件之立體圖。 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) * —訂---------線— ' n ΊΚ H «ϋ Λύ§ n n I— A7 521317
V 五、發明說明（夕） 圖11係從圖6保持部之挾持構件之另一角度所看之立 體圖。 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 圖、12係沿圖之12_12線之截面圖。 圖13係圖6保持部之墊件之仰視圖。 圖14係沿圖13之14-14線之截面圖。 圖15係圖6保持部之放大俯視圖。 圖16係沿圖15之16-16線之截面圖。 圖17係沿圖15之17-17線之截面圖。 圖18係圖4之光學元件保持裝置之元件重量支撐機構 之放大俯視圖。 圖19係圖6之保持部之示意圖。 圖20係表示放大第2實施形態之光學元件保持裝置之 墊件之仰視圖° 圖21係沿圖20之21-21線之截面圖。 線· 圖22係表示放大第2實施形態之光學元件保持裝置之 基台構件之立體圖。 圖23係依本發明之第3實施形態之光學元件保持裝置 之立體圖。 圖24係圖23之光學元件保持裝置之俯視圖。 圖25係圖23之光學元件保持裝置之側視圖。 圖26係沿圖24之26-26線之截面圖。 圖27係表示圖23之光學元件保持裝置之透鏡室及保 持部之部分放大立體圖。 圖28係圖23之光學元件保持裝置框體之立體圖。 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 _B7___ 五、發明說明（έ ) 圖29係圖23之光學元件保持裝置框體之部分放大俯 視圖。 圖30係圖23之光學元件保持裝置框體之部分放大側 視圖。 圖31係圖23之光學元件保持裝置框體之彎曲本體之 部分放大側視圖。 圖32係沿圖29之32-32線之截面圖。 圖33係沿圖29之33-33線之截面圖。 圖34係表示圖23之光學元件保持裝置之積層狀態之 立體圖。 圖35係表示圖23之光學元件保持裝置之示意說明圖 〇 圖36係圖23之光學元件保持裝置之示意圖。 圖37係用以說明光學元件之平行移動之圖。 圖38係圖23之光學元件保持裝置之透鏡室及基台構 件之立體圖。 圖39係圖23之光學元件保持裝置之框體及彎曲本體 之立體圖。 圖4〇係表示本發明之第4實施形態之光學元件保持裝 .置之示意說明圖。 圖41係表示圖40剛體之截面圖。 圖42係沿圖41之42-42線之截面圖。 圖43係表示本發明之第5實施形態之光學元件保持裝 置之示意說明圖。 8 家鮮（CNS)A4規格⑽χ 297公餐 Ψ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----~1---訂-丨 MM MV MW HMt MW Μ···蜃 線丨_ «I n n n ϋ ϋ I n —h n n - 521317 A7 _ B7__ 五、發明說明（7 ) 圖44係表示本發明之第6實施形態之光學元件保持裝 置之模式說明圖。 »45係表示本發明之第7實施形態之光學元件保持裝 置之示意說明圖。 圖46係表示圖45剛體之截面圖。 圖47係沿圖46之47-47線之截面圖。 圖48係表示半導體元件製程一例之流程圖。 圖49係半導體元件製程之基板處理之流程圖。 [符號說明] f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - EL 曝光光 Fl，F2 驅動力 IP 交點 Ll，L2 中心線 Ml，M2. 旋轉力 TL 切線 31 曝光裝置 32 光源 33 照明光學系統 34 標線片載台 35 投影光學系統 36 晶圓載台 37 鏡筒 37a，420 鏡筒模組 38 透鏡 9
n n I n n I n ϋ n I I 1 ϋ n n ϋ n ϋ K n L·· n 1 -I n ϋ €1 n n of I n n n I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 _B7 五、發明說明（S ) 38a 凸緣部 39, 121，131，136, 139, 141，200 光學元件保持裝置 40、，42，· 122 透鏡框體 41 彎曲構件 43 保持部 44 安裝槽 45 基台構件 46, 206 挾持構件 47 墊件 48, 68, 207 螺栓 49 座面 50a 座面塊 50b 支撐構件 51 座面塊支撐機構 53 縫隙 55a〜55d 頸部 56 固定部 57 切線方向限制連桿 57a 第1構件 58 光軸方向限制連桿 58a 第2構件 59, 67 安裝部 62 挾持本體 63 塊件 10 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -n I J- n n n 訂---------線— 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 Ψ B7 五、發明說明（^ ) 64 65 65'a * 66 68, 79 71 72 73 74 76 .77 78 78a 78b 78c 80 81 81a 81b 82 83 84 84a 84b 塊件支撐機構 壓緊面 稜角 腕部 螺栓 挾持部 作用部 薄板部 作用面 位置檢測用凸部76 重量支撐機構 板彈簧 抵接部 支撐部. 屈曲部 彎曲安裝部 彎曲收容凹部 本體收容部 桿收容部 透鏡室位置檢測機構 安裝座 彎曲本體 連接塊 彎曲支撐構件 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) w— · -----Γ---訂---------線 — . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 _ B7 五、發明說明（r ) 84c 基準孔 85a，85b 驅動桿 86 . 第1縫隙 86a 刻入部 87 第2縫隙 88a 矩形貫通孔 89a 第1彎曲頸部 89b 第2彎曲頸部 89c 第3彎曲頸部 89d 第4彎曲頸部 90a 第1細薄部 90b 第2細薄部 91 座面(彎曲固定部） 92 作用面. 93 垂直方向限制連桿 93a 第1限制塊件 93b 第2限制塊件 94 水平方向限制連桿 94a 第2限制塊件 95a 第1驅動塊件 96 水平方向驅動連桿 96a 第2驅動塊件 97, 98 螺栓 99 調整墊片 12 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 響· 訂---------線丨 _ •I n n n I n I n —L ϋ n . -an «Μ— n i MJy emernt «ϋ Hi 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 _ B7_ 五、發明說明（（I ) 100 調整紐 101 交換構件 1G2 * 升降桿 103 復原彈簧 104 連桿機構 104a，104b連桿機構 106a，106b，123, 146 剛體 107a，107b，107c，107d 旋轉支點 108 位置調整機構(挾持構件） 109 肩墊件 121，131，136，139，141 光學兀件保持裝置 124, 142, 202 框體 125, 144 旋轉支點 126 安裝構件. 143 長度調整機構 145 主控制裝置 177 彎曲接合部 201 光學元件 201a 外周凸緣 204 座面 205 . 螺絲孔 [發明之實施形態] (第1實施形態） 以下，參照圖3〜圖19，說明本發明之第1實施形態 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *-----I--訂--------· 丨» ϋ ϋ n n I .1 «I n —L ϋ n · 521317 A7 ____— B7____ 五、發明說明（A ) 之光學元件保持裝置39。如圖3所示，光學元件保持裝置 39係用來保持半導體元件製造用之曝光裝置31之投影光 學系統、35之透鏡38。 如圖3所示，曝光裝置31，包含：光源32、照明光 學系統33、標線片載台34(保持作爲光罩之標線片R)、投 影光學系統35及晶圓載台36(保持作爲基板之晶圓W)。 光源32，例如，係振盪波長193nm之ArF準分子雷 射。照明光學系統33，包含：未圖示之複眼透鏡或棒型透 鏡等光學積分器、中繼透鏡、聚光透鏡等各種透鏡系統、 及孔徑光闌。從光源32射出之曝光光EL，係藉由照明光 學系統33，將其調整爲能均勻照明標線片R上之圖案的光 〇 標線片載台34係配置在照明光學系統33之射出側(投 影光學系統35之曝光光.EL之射入側），以使標線片R之 載置面與投影光學系統35之光軸方向大致正交。投影光學 系統35包含有鏡筒37(由複數個鏡筒模組420所構成），在 各鏡筒模組420內，藉由後述之光學元件保持裝置39，將 透鏡38大致保持水平。
晶圓載台36係配置在投影光學系統35之曝光光EL .之射出側。配置晶圓載台36之晶圓載置面，以使與投影光 學系統35之光軸方向交叉。當曝光光EL通過投影光學系 統35時，標線片R上之圖案像係被既定之縮小倍率縮小 。然後，將縮小之圖案像轉印在晶圓載台36上之晶圓W 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 參 -II ·1 1^ II n n ^ · I l_i n I 1 I— —.1 I 1BH1 ·1_— n n I n in n n · -ϋ n* 521317 A7 一丨一 1一 - B7 五、發明說明（〇 ) 其次’就光學元件保持裝置39之詳細，加以說明。 圖4係光學元件保持裝置39之部分截面分解立體_， 圖5係從圖4之光學元件保持裝置39之下方所看之立體瞻j ’圖6係光學元件保持裝置39之部分放大立體圖。 光學元件38係由合成石英(具有較大之破壞強度)等敏 璃材料所構成，其周緣部形成有凸緣部38a(參照圖6)。光 學元件保持裝置39，包含有透鏡框體42及三個保持部43 。透鏡框體42具有作爲外部裝置之鏡筒模組420功能，二 個保持部43係相隔等角度間隔配設在透鏡框體42上，以 保持光學元件38之凸緣部38a。保持部43包含有基台擒 件45及挾持構件46。透鏡框體42係由鋁等金屬材料所檎 成，形成圓環狀。在透鏡框體42之表面，用來安裝挾持擒 件46之安裝槽44，係相隔等角度間隔來形成。在透鏡框 體42之內周面，用來收容後述之基台構件45之座面塊之 收容凹部60(參照圖6)係形成在與安裝槽44對應之位置。 藉由這個收容凹部60，能防止透鏡框體42之大口徑化。 在安裝槽44內，挾持構件46藉由一對螺栓68安裝 在透鏡框體42。此時，一對螺栓68之頭，不從透鏡框體 42之表面凸出。因此，當使一個透鏡框體42之表面與另 .一個透鏡框體42之裏面不接觸時，另一個透鏡框體42之 裏面係不與螺栓68接觸。又，在一個透鏡框體42之表面 與另一個透鏡框體42之裏面之間，爲了決定保持各透鏡框 體42之光學元件光軸方向之位置，配置墊板(調整透鏡框 體42間之間隔）。因此，即使光學元件從透鏡框體42表面 15 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) m: · •線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 —------- B7___ 五、發明說明（〜） 凸出若干，只要是在墊板厚度以內的話，光學元件即不會 與另一個透鏡框體42之裏面接觸。基台構件45係藉由一 對螺栓、48(參照圖5)，固定在透鏡框體42裏面。 其次’說明保持部43。首先，就基台構件45加以說 明。圖7係基台構件45之放大立體圖，圖8係基台構件 45之視圖，圖9係沿圖8之基台構件45之9-9線之截 面圖。基台構件45上，形成一對螺栓48用之貫通孔52。 基台構件45包含有座面塊50a及支撐構件5〇b。座面塊 50a，具有座面49，座面49係卡合於光學元件38之凸緣 部38a之第1凸緣面。支撐構件5〇b，具有座面塊支撐機 構51，座面塊支撐機構51可調整支撐座面塊5〇a之位置 〇 座面塊50a ’係以其長方向沿光學元件38之切線方向 的方式配置。座面49形成於座面塊50a長方向之兩端部。 即，座面49係從座面塊50a之表面凸出。座面49包含有 平面（具有既定面積）及曲面部（形成於該平面之凸緣，具有 既定之曲率）。曲面部係迴避對光學元件38之凸緣部38a 之角之碰撞所造成之損傷。藉由電鍍或蒸鍍，在座面49之 表面形成金層。該金層係用來提高對凸緣部38a之摩擦係 .數。 又，爲提高座面49與凸緣部38a之摩擦係數，在凸緣 部38a之表面，形成與光學元件38之表面所形成之反射防 止膜相同之金屬膜。例如，藉由真空蒸鍍法，使用MgF2( 氟化鎂）、A1F3(氟化鋁）、Zr02(氧化锆）、Al2〇3(氧化鋁）等 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --訂---------線丨- 521317 A7 _______ ___ 五、發明說明（rr ) ’在凸緣部38a之表面形成單層或複數層(2層、4層或4 層以上之層)金屬層。又，爲了提高座面49與凸緣部38a 之摩擦係數‘，也可將凸緣部38a之表面積沿座面塊5〇a之 長方向增加。 在座面塊50a與支撐構件50b之間，及支撐構件50b 上，形成貫通於圖7之X軸方向(即，光學元件38之徑方 向）之複數縫隙53。又，在座面塊5〇a與支撐構件5〇b之 間，及支撐構件50b上，形成複數個頸部55a〜55d(屈曲 部）。頸部55a〜55d係形成如下。首先，在相鄰之縫隙53 間留下未加工部分並形成複數縫隙53。其次，對未加工部 分施以來自+X方向及—X方向之刻入加工，藉此加工形 成刻入部54及頸部55a〜55d。此處，一X方向之刻入部 ，因頸部55a〜55d之加工距離長，因此暫時形成一較大的 孔。 爲了避免在頸部55a〜55d殘存不可預測的變形，例如 ，係藉由刻模放電加工、機械切削加工等相同切削加工方 法，來形成頸部之兩側。 支撐構件50b係藉由複數縫隙53，如圖7所示，被分 割成固定部56、第1構件57a、及第2構件58a。固定部 .56係固定在透鏡框體42。第1頸部55a係連結固定部56 及第1構件57a，第2頸部55b係連結固定部56及第2構 件58a，第3頸部55c係連結第1構件57a及第2構件58a ，第4頸部55d係連結第2構件58a與座面塊50a。各頸 部55a〜55d具有正方形之截面。 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
n n 一-0, I i n ϋ i I n n I I n n n n n n n I— I n n n n <1 n I Jt n n n ϋ I 521317 A7 ---— _ __ 五、發明說明（ 第1構件57a係藉由第1頸部55a及第3頸部55c， 固定在第2構件58a及固定部56。第1構件57a係藉由第 1頸部、55a及第3頸部55c，可旋轉保持在γ方向(光學元 件之切線方向）之周圍，限制向γ方向位移。第1構件57a 、第1頸部55a及第3頸部55c，係形成切線方向限制連 桿57。切線方向限制連桿57係限制向光學元件之切線方 向位移。 第2構件58a係藉由第2頸部55b及第4頸部55d， 固定在座面塊50a及固定部56。第2構件58a係藉由第2 頸部55b及第4頸部55d，可旋轉保持在z方向(與光學元 件之光軸平行之方向）之周圍，限制向Z方向位移。第2構 件58a、第2頸部55b及第4頸部55d係形成光軸方向限 制連桿58。光軸方向限制連桿58係限制向與光學元件38 之光軸平行之方向位移。. 切線方向限制連桿57之限制方向與光軸方向限制連桿 58之限制方向係實質正交。換言之，切線方向限制連桿57 之旋轉軸與光軸方向限制連桿58之旋轉軸係實質正交。 座面塊50a係透過第4頸部55d，連結於支撐構件50b 。即，座面塊50a係對固定部56，藉由切線方向限制連桿 ,57與光軸方向限制連桿58來支撐。 如圖8所示，第2及第4頸部55b，55d係配置在通過 兩座面49之中間位置之線上。該線與連接一對之座面49 線正交，同時與Z軸平行。第1及第3頸部55a，55c係配 置在與連接一對座面49線平行之線上。第3頸部55c係配 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------〆-----*---Ί Κ-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^: .線· 521317 A7 _____B7___ 五、發明說明（I?) 置在第4頸部55d之附近。 座面塊50a係藉由切線方向限制連桿57與光軸方向限 制連桿、58 ;支撐在固定部56，以使可旋轉於X方向、Y 方向、Z方向周圍，且抑制向Y方向、Z方向之位移。又 ，座面塊50a係藉由第4頸部55d，可位移支撐於X方向 。亦即，座面塊支撐機構51之構成，包含切線方向限制連 桿57、光軸方向限制連桿58及第4頸部55d(可向X方向 位移）。 座面塊50a，具有安裝部59。安裝部59具有配置於較 座面49更高位置之面。 .如圖6所示，挾持構件46係配置在座面塊50a之上方 ，其包含有挾持本體62及墊件47。參照圖10、圖11、圖 12來說明挾持本體62。圖10係挾持本體62之放大立體圖 ，圖11係從下方看挾持本體62之放大立體圖，圖12係沿 圖1〇之挾持本體62之13-13線之截面圖。 挾持本體62，包含塊件63、塊件支撐機構64。塊件 支撐機構64係與該塊件63 —體形成。在塊件63之下面兩 端，形成壓緊面65。該壓緊面65係與座面塊50a之座面 49相對面。壓緊面65具有稜線65a(大致沿光學元件38之 .切線方向），形成屋頂形狀。連接兩壓緊面65之2稜線65a 之直線中點，係位於第4頸部55d之上方。 塊件支撐機構64，包含有一對腕部66與安裝部67。 安裝部67與塊件63係相隔既定之間隔配置。安裝部67係 透過墊件47，藉由螺栓68鎖緊在安裝部59，挾持構件46 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
W— · II I I J I I I 訂---------線丨---------1-----4 II 521317 A7 _____B7____ 五、發明說明（# ) 係固定在座面塊50a。一對腕部66係一體形成設置在塊件 63及安裝部67之兩側。各腕部66係形成大致u字形，具 有可彈性變形之長度。腕部66係隔既定間隔，配置在透鏡 植體42之安裝槽44之內周面。 其次，根據圖13及圖14，說明墊件47。圖13係墊 件47之放大仰視圖，圖14係沿圖13之14-14線之截面圖 。墊件47，包含有挾持部71、作用部72、及薄板部73。 挾持部71係挾持在安裝部59與67之間，作用部72係配 置在壓緊面65與光學元件38之凸緣部38a之間，薄板部 73係連結挾持部71與作用部72，且可彈性變形。在作用 部.72下面，與光學元件38之凸緣部38a接合之作用面74 係與座面49對應來形成。作用面74係具有平面部、及凸 緣部(具有既定曲率）。作用面74之凸緣部係迴避對凸緣部 38a之角碰撞所造成之損傷。藉由電鍍、蒸鍍等，在作用 面74之表面形成金層，該金層係用來對光學元件38之凸 緣部38a提高摩擦係數。 以此方式構成之挾持構件46，如圖15及圖16所示， 係藉由鎖入螺栓68，使腕部66彈性變形，對塊件63之壓 緊面65賦予朝向座面塊50a之壓緊力。壓緊力係透過墊件 47之作用面74，作用於光學元件38之凸緣部38a。藉由 這種作用，光學元件38之凸緣部38a被挾持在座面49與 壓緊面65之間。 如圖4〜圖6所不，相鄰之保持部43間，在透鏡框體 42上設有複數個重量支撐機構77。重量支撐機構77之數 20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0. 訂： 線- A7 521317 五、發明說明（β ) 量，係對應光學元件38之重量、厚度、直徑、形狀、材質 及保持部43之數量中至少一個要素來加以設定。第1實施 形態中、，栢鄰之保持部43間，設置了三個重量支撐機構 77 0 如圖18所示，各重量支撐機構77包含有板彈簧78。 板彈賛’包含有抵fee部78a、一封支撑部78b、及一^對屈曲 部78c。抵接部78a係抵接於光學元件38之凸緣部38a之 下面，一對支撐部78b係藉由一對螺栓79，安裝在透鏡框 體，一對屈曲部78c係連接抵接部78a與一對支撐部78b 。藉由板彈簧78之彈性作用，來支撐光學元件38之一部 分·。 其次，就使用光學元件保持裝置39之光學元件38之 保持步驟加以說明。 如圖4及圖15〜圖17所示，基台構件45係藉由螺栓 48，安裝在透鏡框體42之三個安裝槽44，座面塊50a係 配置在收容凹部60。其次，爲了防止座面塊50a相對固定 部產生意外之變形，以一對平板狀之挾持構件來挾持座面 塊50a兩側面之一部分，將其暫時固定在該基台構件45。 該暫時固疋，係爲了防止意外的對座面塊支撐機構51之各 頸部55a〜55d產生載重。 其次，在透鏡框體42內插入光學元件38，將光學元 件38周緣之凸緣部38a配置在各座面塊50a上之座面49 。然後，將暫時固定板從座面塊支撐機構51拆下。如此， 座面塊50a藉由座面塊支撐機構51之作用，沿光學元件 21 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · Ml· ϋ I —J n I 1 · ϋ n n n ϋ ϋ 1 I I n I n —.1 n ϋ n n ϋ ϋ n n ϋ 1· 4— n ϋ -I ϋ n A7 521317 五、發明說明（/ ) 38之凸緣部38a之下面’以該光學元件38之切線方向(Y 方向）及徑方向(X方向）爲中心旋轉。藉此旋轉，對應光學 元件38之凸緣部38a之傾斜狀態或扭曲等狀態，調整座面 塊50a之位置，將光學元件38與凸緣部38a間之接觸面積 確保在最大限度。 然後，在光學元件38之凸緣部38a之上面，配置墊件 47，在座面塊50a之安裝部59之上面，配置挾持本體62 ，墊件47之作用面74係接合在光學元件38之凸緣部38a 之上面。在這種狀態下，藉由一對螺栓68，來鎖緊固定墊 件47及挾持本體62。此時，塊件63之壓緊面65係抵接 在墊件47之墊件47之上面，使腕部66彈性變形，墊件 47之作用面74係壓緊光學元件38。 藉由這種壓緊，光學元件38之凸緣部38a被夾在座面 49與作用面74之間。此時，凸緣部38a與座面49及作用 面74之接觸面積被確保在最大限度。因此，能穩定保持光 學元件38。 因此，光學元件38藉由光學元件保持裝置39之透鏡 框體42，在被保持之狀態下，如圖3所示，進行積層。光 學元件38、透鏡框體42係分別由不同之材質所形成，在 .光學元件38、及透鏡框體42間，在線膨脹係數方面，有 時產生差異。因此，當從光源照射曝光光EL，藉此使光學 元件38發熱時，光學元件38、透鏡框體42係對光學元件 38之徑方向，其伸縮長度產生差異。 當伸縮長度產生差異時，係藉由各座面塊支撐機構51 22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
--------訂--------- I 521317 A7 ______Β7 _ 五、發明說明（ >丨） 之限制連桿57, 58及頸部55a〜55d之相互作用，挾持光學 元件38之座面塊50a及塊件63，係對透鏡框體42，向光 學元件、38之徑方向相對地移動。藉由這種移動，來吸收伸 縮長度之差異，不是對光學元件38直接施加大的伸縮荷重 〇 當積層透鏡框體42時，該透鏡框體42有可能產生些 微的變形。當透鏡框體42產生變形時，藉由各座面塊支撐 機構51之限制連桿57, 58及頸部55a〜55d之相互作用， 光學元件係對透鏡框體42保持成動態，故能抑制該變形對 光學元件38之影響。 .其次，就用來動態保持光學元件38之機構加以說明。 圖19係光學元件38之保持部43之示意圖。圖19中 ，位於光學元件38周緣之矩形係表示座面塊50a及塊件 63，L字形係表示基台構件45之固定部56，2條直線係表 示切線方向限制方向連桿57及光軸方向連桿58，直線上 之點係表示各頸部55a〜55d。 固定部56，係具有2個直角剛體部56a，56b之屈曲剛 體，切線方向限制連桿57之第1端透過第1頸部55a，連 結在一側之直角剛體部56a上。光軸方向限制連桿58之第 ,1端係透過第2頸部55b，連結在另一側之直角剛體部56b 上。切線方向限制連桿57之第2端係透過第3頸部55c， 連結在光軸方向限制連桿58上。光軸方向限制連桿58之 第2端透過第4頸部55d，連結在座面塊50a上。 此處，各限制連桿57，58於長方向係作用爲剛體，在 23 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 霉· --------訂---------線丨. ' I f— ft— n Lrw I ϋ I _ 521317 A7 B7_ ----- -------- _ 五、發明說明（V>) 長方向不伸縮。各直角狀剛體56a，56b，57, 58係藉由頸部 55a〜Md(具有作爲旋轉支點之作用）來達結。各頸部55a〜 55d之截面積較各直角狀剛體之截面積小很多，該頸部55a 〜55d，在不塑性變形之範圍內，能視剛體之位移容易地在 所有方向彎曲或扭曲變形。因此，座面塊支撐機構51中， 把固定部56當作固定連桿，藉由各限制連桿57、58之相 互作用，形成作動的連桿機構8〇 ° 此處，考慮以光學元件38爲光軸爲Z軸之極座標系 統R- 0 -Z。根據此連桿機構80，第4類部55d(光學元件 38與連桿機構80之連接點所形成)在既定範圍內，僅能於 R方向位移。亦即，對光學元件38，在所固定的3點(第4 頸部55d)之各點中，光學元件38之自由度分別被限制爲2 種，光學元件38之位置(6自由度)根據機構學受到限制。 亦即，光學元件38被保持成動態。 其次，就以連桿機構80來吸收光學元件38所產生之 熱變形作用，加以說明。當光學元件38產生熱變形時，該 光學元件38就會向徑方向膨脹或收縮，第4頸部55a上即 產生使光學元件38朝徑方向位移之力。相對此力量’各限 制連桿57, 58以連接第1頸部55a與第2頸部55b之線爲 ，中心旋轉，藉由該旋轉運動，吸收光學元件38之位移’能 抑制光學元件38之變形。 第1實施形態之光學元件保持裝置39，有以下之優點 〇 (1)光學元件保持裝置39，其保持光學元件38之保持 24 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-t— _1 Jy i n n 一OJ· t— n n n ϋ n ·1_1 I MMMm I n n i n ϋ i i ·ϋ n n ϋ t—· n fc— in n -ϋ —ϋ I 521317 A7 B7 五、發明說明（W ) 部43係包含有座面塊50a。座面塊50a具有座面49，座面 49係卡合光學元件38之凸緣部38a。保持部43又包含有 座面塊支撐機構51。座面塊支撐機構51係在光學元件38 之切線方向周圍、其光軸方向周圍、及其徑方向周圍，可 旋轉支撐座面塊50a。 藉由座面塊支撐機構51，配合光學元件38之凸緣部 38a之形狀，變化座面49之位置，故當凸緣部38a抵接在 座面49時，能抑制光學元件38所產生之應力。其結果， 一面良好保持光學元件38之光學面精度，一面穩定保持光 學元件38。又，保持部43不必施以極嚴密之加工，能維 持光學元件38之良好成像性能。 (2) 座面塊支撐機構51係將座面塊50a支撐爲能於光 學元件38之徑方向移動。因此，光學元件38之熱變形被 座面塊支撐機構51吸收，能良好保持其光學面之精度，減 低光學元件38熱變形時之成像性能之變化。 (3) 在保持部43設置了切線方向限制連桿57及光軸方 向限制連桿58。切線方向限制連桿57限制朝固定部56(固 定於透鏡框體42)與座面塊50a之光學元件38切線方向之 移動，容許向切線方向周圍旋轉。光軸方向限制連桿58限 .制固定部56及座面塊50a之光學元件38之光軸方向之移 動，容許向光軸方向周圍旋轉。切線方向限制連桿57與光 軸方向限制連桿58，係連結成能相互旋轉。 在連桿57, 58之連結點，容許朝複數方向之位移，或 繞該等方向之旋轉。亦即，容許朝座面塊50a之複數方向 25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ —A n 訂---------線— 521317 B7 五、發明說明（綷） 移動’或繞該等方向旋轉。因此，例如，當透鏡框體42產 生變形時，容許座面塊50a之移動或旋轉，以使連結點能 消除其變形‘，三個座面塊50a係分別保持在既定之位置。 具有此種連桿之保持部43，不要求極爲嚴密之加工，能維 持光學元件38之良好成像性能。 座面塊支撐機構51之連桿57、58，係沿光學元件38 之切線方向及光軸方向設置。因此，連桿機構之構成簡單 ，容易設計。 (4) 固定部56、座面塊50a、切線方向限制連桿57及 光軸方向限制連桿58係透過頸部55a〜55d(具有作爲旋轉 支點之作用）來連結。頸部55a〜55d之截面積較固定部56 、座面塊50a、切線方向限制連桿57及光軸方向限制連桿 58之截面積小。 因此，能一體形成頸部55a〜55d、固定部56、座面塊 50a、切線方向限制連桿57及光軸方向限制連桿58。因此 ，不增大零件點數，能簡單構成保持部。 (5) 連結於座面塊50a之第4頸部55d，係通過兩座面 49之中間位置，且配置在與光學元件38之光軸平行的線 上。因此，能穩定變化座面49之位置。 (6) 座面塊50a具有2個座面49，該2個座面49係相 隔既定間隔，形成於與光學元件38之凸緣部38a對向位置 。因此，例如，藉由2個座面49，能確實且穩定保持光學 元件38。光學兀件38係由玻璃材料所構成，該玻璃材料 係具有較大之破壞強度之合成石英等。 26 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公爱) ------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —^—訂--------- 線！ -Ji ϋ n «I n , 521317 A7 ___B7 _ 五、發明說明（β ) (7) 在座面塊50a之座面49與墊件47之作用面74，形 成鍍金層或蒸鍍層，該鍍金層或蒸鍍層係用來對光學元件 38提高摩擦係數。因此’能抑制座面49及作用面74、光 學元件38之凸緣部38a間之滑動產生，能更穩定保持光學 元件38。 (8) 挾持構件46之塊件63，包含有壓緊面65。壓緊面 65具有向光學元件38之切線方向延伸之稜線65a。壓緊面 65透過墊件47之作用部72，來壓緊光學元件38之凸緣部 38a。因此，光學元件38之凸緣部38a被挾持在塊件63及 座面塊50a之間。此時，在連接一對壓緊面65之稜線65a 之直線下方，配置第4頸部55d。 因此，第4頸部55d，能抑制因壓緊力而產生之力矩 ，能穩定保持光學元件38。 (9) 座面塊50a及座面49係與各限制連桿57, 58，各 頸部55a〜55d及固定部56—體形成。 因此，座面塊50a與支撐構件50b係用同一材質一體 形成。因此，在座面塊50a與支撐構件50b間，不形成接 合部（由其他材質所構成），不易產生變形。藉由座面塊50a 與支撐構件50b之一體化，保持部43較小。 (10) 藉由積層鏡筒模組420(收容光學元件保持裝置39 所保持之光學元件38)，形成鏡筒37。因此，一面能防止 降低複數光學元件38之成像性能，一面能穩定保持光學元 件38，能維持良好整體鏡筒37之成像性能。 (11) 由於曝光裝置31具有投影光學系統35(包含鏡筒 27 ί紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- •線 521317 A7 ____B7__ 五、發明說明（4) 37)，故能提高曝光裝置31之曝光精度。 (第2實施形態） 其次，4就本發明之第2實施形態之光學元件保持裝置 39，以與第1實施形態不同之部分爲中心加以說明。 第2實施形態中，如圖20〜圖22所示，座面塊50a 之座面91及墊件47之作用面92，係形成爲延伸於光學元 件38之切線方向。 座面91及作用面92之中央，形成有收容孔93。在收 容孔93中，收容有收縮性黏著劑(於硬化階段其體積稍微 收縮者）。藉由收容孔93所收容之黏著劑，將光學元件38 之凸緣部38a接合在座面91及作用面92。又，也可如圖 21之虛線所示，在收容孔93之底面，形成黏著劑注入孔( 穿過該收容孔93)。 第2實施形態之光學元件保持裝置39，除第1實施形 態之（1)〜（5)及(7)〜（11)之優點外，亦有以下之優點。 (1) 座面91及作用面92，係形成爲延伸於光學元件38 之切線方向。 因此，例如，當保持光學元件38(由具有較弱破壞強 度之螢石等玻璃所構成)時，能分散其保持所產生之應力。 .因此，能防止應力集中而破壞光學元件38。 (2) 座面91及作用面92之中央，形成有用以收容黏著 劑之收容孔93。 因此，藉由收容孔93所充塡之黏著劑來接合光學元件 38之凸緣部38a與座面91及作用面92，使黏著劑硬化， 28 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 線- 521317 A7 ____B7___ 五、發明說明（>7) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 據以確實卡合凸緣部38a與座面91及作用面92。此時， 使用收縮性之黏著劑’即不致因黏著劑使光學元件38之凸 緣部38a受到壓迫，能穩定保持光學元件38。 第1及第2實施形態中，亦可省略墊件47，而將塊件 63直接壓緊凸緣部38a。此時，塊件63之壓緊面65最好 是能形成爲與座面49同樣之平面狀。 第1實施形態中，座面49，亦可形成在與座面塊50a 之光學元件38對向面之全體。或者，座面49亦可形成三 個以上。塊件63之壓緊面63，亦同樣可形成在與塊件63 之光學元件38對向面之全體。或者，壓緊面65亦可形成 三個以上。 亦可取代挾持本體62之腕部66，例如使用板彈簧、 線圏型彈簧等之彈性構件來彈壓塊件63。 .線 重量支撐機構77，亦可是由抵接部78a及支撐部78b 所形成之板彈簧。 不在座面49及作用面74施以鍍金，而例如藉由金屬 蒸鍍、電鍍、濺射等來形成銦、鋁、黃銅等金屬亦可。又 ’也可藉由蝕刻、硏削等、來破壞座面49及作用面74之 表面，藉此提高摩擦係數。 、(第3實施形態） 以下’參照圖式，說明本發明之第3實施形態之光學 元件保持裝置139。 圖23係光學元件保持裝置139之立體圖，圖24係光 學兀件保持裝置139之俯視圖，圖25係光學元件保持裝置 29 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 521317 A7 ___B7___ 五、發明說明（><?) 之側視圖，圖26係沿圖24之26-26線之截面圖。光學元 件保持裝置139，包含框體142、三個彎曲構件41、透鏡 框體40及保持部43。框體142上，相隔等角度間隔固定 有三個彎曲構件41。在三個彎曲構件41上面，固定透鏡 框體40，在該透鏡框體40上’相隔等角度間隔設有三個 保持部43。 此處，透鏡框體40係與前述第1實施形態或第2實施 形態所說明之光學元件保持裝置39之透鏡框體42同樣之 構成，與第1實施形態或第2實施形態之相異處，係第3 實施形態中，如圖38所示，在安裝槽44附近之透鏡框體 40之外周面形成四角柱狀之位置檢測用凸部76。又，在鄰 接之保持部43間之框體40上面，配置了平板狀之彎曲接 合部177。彎曲接合部177係用來接合彎曲構件41。彎曲 接合部177從透鏡框體40向外方延出之點也不同。又，保 持部43之構成與第1實施形態及第2實施形態同樣。 其次，參照圖28〜圖33，就框體142之構造加以說 明。圖28係框體142之立體圖，圖29係框體142之部分 放大俯視圖，圖30係框體142之部分側視圖。 如圖28所示，框體I42係由鐵、鋁等金屬材料所構 .成，形成爲圓環狀。如圖28〜圖30所示，在框體142上 面，以等角度間隔形成有用來安裝彎曲構件41的三個彎曲 安裝部80。框體M2上，在積層框體142時，用來收容彎 曲構件41之三個彎曲收容凹部81，係形成於各鄰接彎曲 安裝部80間。彎曲收容凹部81包含有本體收容部81 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •i——.——tr---------線 30 521317 A7 B7 五、發明說明（4 ) 容彎曲本體84)、及桿收容部81b(收容各驅動桿85a，85b) 。彎曲安裝部80及彎曲收容凹部81係交互形成於框體 142之周圍1 方向。即，彎曲收容凹部81係形成於相互鄰接 之彎曲安裝部80間。 如圖28所示，在彎曲收容凹部81附近之框體142之 外周面上，形成有用來安裝透鏡室位置檢測機構82的安裝 座83。安裝座83，例如係用靜電容量檢測型，安裝具有l 字形之透鏡室位置檢測機構82(參照圖24)。當透鏡框體4〇 透過彎曲構件41安裝於框體142上時，透鏡室位置檢測機 構82與透鏡框體40之位置檢測用凸部76，係相隔既定間 隙對向配置。若透鏡框體40對框體142相對移動的話，位 置檢測用凸部76則對透鏡室位置檢測機構82位移，藉由 透鏡室位置檢測機構82來檢測該位移量。 其次，參照圖29〜圖33，就彎曲構件41加以說明。 如圖28〜圖30所示’彎曲構件41包含有彎曲本體84。於 彎曲本體84上，垂直方向驅動桿85a與水平方向驅動桿 85b相互連結。垂直及水平方向驅動桿85a，85b，係形成位 移構件及傳達部。 彎曲本體84 ’被挟持在透鏡框體40之彎曲接合部 .177、及框體142之彎曲安裝部80間。彎曲本體84包含有 連接塊84a及彎曲支撑構件84b。連接塊84a係透過螺栓 98，用來固定透鏡框體40之彎曲接合部177。彎曲支撐構 件84b包含有連接塊支撐機構92，連接塊支撐機構92可 調整支撐連接塊84a之位置。 31 本紙張尺度巾關家標準（CNS)A4規格（21Q χ 297公爱） 一 *— - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： -線· 521317 A7 ___——__B7____ 五、發明說明（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖31係彎曲本體84之安裝部分之部分放大側視圖， 圖32係沿圖29之32 - 32線之部分截面圖，圖33係表示 彎曲構件心及框體142截面之部分放大截面圖。 如圖31〜圖33所示，彎曲本體84係形成大致長方體 狀，在連接塊84a及彎曲支撐構件84b間，及彎曲支撐構 件84b中，形成貫通圖31之X軸方向之複數個第1縫隙 86及第2縫隙87。在彎曲本體84之下部，形成基準孔 84c ’各第1縫隙86係形成在基準孔84c上方，各第2縫 隙86係形成在該基準孔84c下方。連接塊84a及彎曲支撐 構件84b間，及彎曲支撐構件84b中，形成複數個彎曲頸 部89a〜89d(具有作爲旋轉支點及缺口彈簧之作用）。彎曲 頸部89a〜89d係形成如下。 首先，在相鄰縫隙86, 87之間留下未加工部分並形成 縫隙86，87。其次，對第1縫隙86之未加工部分，從+ X 方向（圖31之紙面前方向)及一 X方向（圖31之紙面深度方 向），施以刻入加工，形成刻入部86a及彎曲頸部89a〜89d 。刻入部86a如圖33所示，係包含有矩形貫通孔88a。矩 形貫通孔88a係關於光學元件38之徑方向，形成在彎曲頸 部89a〜89d之兩側，貫通於光學元件38之徑方向。此處 .，爲了形成刻入部86a及彎曲頸部89a〜89d，在彎曲支撐 構件84b之兩側，形成爲較刻入部86a及彎曲頸部89a〜 89d大的孔。 爲了避免在彎曲頸部89a〜89d殘存不可預測之變形， 例如係以刻模放電加工、機械切削加工等相同切削加工方 32 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 ---------- B7___ 五、發明說明（》丨） 法來形成貫通孔88a之深度方向之彎曲頸部89a〜89d之兩 側。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在第2‘縫隙87之2處未加工部分，相隔既定間隔形成 有一對圓形貫通孔88b(貫通光學元件38之徑方向）。在一 對圓形貫通孔88b間，形成有第1及第2細薄部90a，90b( 具有作爲轉換機構及第1缺口彈簧之作用）。 彎曲支撐構件84b，被第1及第2縫隙86, 87分割爲 彎曲固定部91、第1限制塊件93a、第2限制塊件94a、 第1驅動塊件95a及第2驅動塊件96a。彎曲固定部91係 透過螺栓97，固定在框體142之彎曲安裝部80(參照圖28 、.圖 29) 〇 第1彎曲頸部89a係連結第1驅動塊件95a及第1限 制塊件93a，第2彎曲頸部89b係連結第2驅動塊件96a 及第2限制塊件94a，第.3彎曲頸部89c係連結第1限制 塊件93a及第2限制塊件94a，第4彎曲頸部89d係連結 第1限制塊件93a及連接塊84a。各彎曲頸部89a〜89d具 有較各驅動塊件95a，96a及連接塊84a之截面小很多之正 方形截面。 第1限制塊件93a，係以第1彎曲頸部89a及第4彎 .曲頸部89d，固定在第1驅動塊件95a及連接塊8如。第1 限制塊件93a，係藉由第1彎曲頸部89a及第4彎曲頸部 89d，保持成能繞Z方向(光學元件38之光軸方向)旋轉， 被限制朝Z方向位移。第1限制塊件93a、第1彎曲頸部 89a及第4彎曲頸部89d，係形成垂直方向限制連桿93。 33 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 —____ _ B7_ 五、發明說明（Θ) 垂直方向限制連桿93係限制光學元件38朝垂直方向(光軸 方向）之位移。 第、2晾制塊件94a，係以第2彎曲頸部89b及第3彎 曲頸部89c，固定在第2驅動塊件96a及第1限制塊件93a 。第2限制塊件94a，係以第2彎曲頸部89b及第3彎曲 頸部89c，保持成能繞γ方向(光學元件38之切線方向)旋 轉，被限制朝Y方向位移。第2限制塊件94a、第2彎曲 頸部89b及第3彎曲頸部89c，係形成水平方向限制連桿 94。水平方向限制連桿94係限制光學元件38朝水平方向（ 切線方向）之位移。 垂直方向限制連桿93之限制方向與水平方向限制連桿 94之限制方向係實質正交。換言之，垂直方向限制連桿93 之旋轉軸與水平方向限制連桿94之旋轉軸係實質相互正交 〇 連接塊84a，係透過第4彎曲頸部89d連結在彎曲支 撐構件84b。亦即，連接塊84a係藉由垂直方向限制連桿 93與水平方向限制連桿94來支撐。 如圖31〜圖33所示，第1及第4彎曲頸部89a，89d 係通過連接塊84a之大致中心，且配置在與Z軸平行之線 ，上。第2及第3彎曲頸部89b，89c係配置在與連接塊84a 之表面大致平行之線上。第3彎曲頸部89c係配置在第4 彎曲頸部89d之附近。 上述彎曲本體84中，連接塊84a係藉由垂直方向限制 連桿93及水平方向限制連桿94，相對第1及第2驅動塊 34 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) n n ϋ n n i 一：0, · n n ·ϋ 1« 1 ft— ϋ I tm 521317 A7 ______Β7__ 五、發明說明（W ) 件95a，96a，支撐爲能繞X方向、Y方向及Z方向旋轉， 且抑制朝Z方向之位移。又，連接塊84a係藉由第4彎曲 頸部89d支撐爲能於X方向位移。 第1驅動塊件95a，係藉由第1彎曲頸部89a連結在 第1限制塊件93a，藉由第1細薄部90a連結在彎曲固定 部91。第1細薄部90a係具有作爲轉換機構及第1缺口彈 簧之作用。於第1驅動塊件95a上，一體形成有沿光學元 件38之切線方向延伸之垂直方向驅動桿85a。第1細薄部 90a，係將朝與垂直方向驅動桿85a之光學元件38之光軸 平行方向（上下方向）之移動，傳達到第1彎曲頸部89a。第 1 .彎曲頸部89a具有作爲第2缺口彈簧之作用。第1驅動 塊件95a、第1彎曲頸部89a及第1細薄部90a係形成垂 直方向驅動連桿95。垂直方向驅動連桿95，係將垂直方向 驅動桿85a之上下方向之移動傳達給垂直方向限制連桿93 〇 第2驅動塊件96a，係藉由第2彎曲頸部89b連結在 第2限制塊件94a，藉由第2細薄部90b連結在彎曲固定 部91。於第2驅動塊件96a上，一體形成有沿光學元件38 之切線方向延伸之水平方向驅動桿85b。第2細薄部90b， .具有作爲轉換機構及第3缺口彈簧之作用。第2細薄部 9〇b，係將朝與水平方向驅動桿85b之光學元件38之光軸 平行方向（上下方向）之移動，傳達到第2彎曲頸部89b。第 2彎曲頸部89b具有作爲第4缺口彈簧之作用。第2驅動 塊件96a、第2彎曲頸部89b及第2細薄部90b，係將水平 35 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線丨- 521317 A7 _____ _ _ B7___ 五、發明說明（W ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 方向驅動桿85b之上下方向之移動轉換爲水平方向之移動 ，形成水平方向驅動連桿96。水平方向驅動連桿96係將 該水平、方向之移動傳達給水平方向限制連桿94。 第1彎曲頸部89a，係通過第1細薄部90a之中央且 配置在沿光學元件38之切線方向之假想直線上。第2彎曲 頸部89b，係通過第2細薄部90b之中央且配置在沿光學 元件38之光軸方向之假想直線上。 如圖28〜圖30及圖32所示，在驅動桿85a，85b之前 端，藉由交換構件(例如，螺栓、插頭等）1〇1以能更換之方 式固定有調整墊片99及調整鈕100。調整墊片99及調整 鈕1〇〇係形成移動量設定裝置。複數片之調整墊片99，其 厚度例如能以Ιμιη單位預先調整。複數片之調整鈕100， 其厚度例如能以ΙΟμπι單位預先調整。亦即，調整墊片係 用來作爲微調整用，又，調整鈕則係用來作爲粗調整用。 藉由選擇組合這些調整墊片99及調整鈕100，調整驅動桿 85a，85b與框體142間之間隔，以設定驅動桿85a，85b之 移動量。因驅動桿85a，85b具有既定之長度，故驅動桿 85a，85b基端部之移動量較其前端部之移動量小。 在調整墊片99及調整鈕100之附近，且在框體142 .之上面設有具操作部之功能的升降桿102,該升降桿1〇2 能上下移動、且能接觸及離開驅動桿85a，85b。升降桿1〇2 附近，在驅動桿85a，85b及框體142之間，安裝有復原彈 簧(拉伸彈簧）1〇3。驅動桿85a，85b係藉由復原彈簧103彈 壓向框體142側，當升降桿102不抵接在驅動桿85a，85b 36 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 ____B7____ 五、發明說明（U ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 時，驅動桿85a，85b之前端抵接在調整鈕1〇〇上面。使該 升降桿102在接觸驅動桿85a，85b的狀態下，朝離開框體 142方向移動，亦即，朝上方移動，即能使驅動桿85a，85b 抵抗拉伸彈簧之彈壓力，從框體142離開。因此，驅動桿 85a，85b從調整鈕1〇〇離開。如此，在驅動桿85a，85b從 調整鈕100離開之狀態下，進行調整鈕100及調整墊片99 之交換。調整鈕100及調整墊片99之交換完成後，使升降 桿回到原來位置，驅動桿85a，85b即藉由拉伸彈簧之彈壓 力，抵接在調整鈕上面。 線. 如圖23及圖28所示，在框體142中，定義與另一框 體142之接合面40a。複數個光學元件保持裝置139，係在 彼此偏移180°相位之狀態下，各框體142之接合面40a 透過間隔調整用墊片相互積層。此時，下方之光學元件保 持裝置139之透鏡框體40，係被收容在上方之光學元件保 持裝置139之框體142中。又，下方之光學元件保持裝置 139之彎曲構件41，係被收容在上方之光學元件保持裝置 139之框體142之彎曲收容凹部81中。 其次’說明光學元件保持裝置139之作用。第3實施 形態之光學元件保持裝置139，如同前述，在透鏡框體40( •形成支撐光學元件38之支撐構件)與框體142(形成固定部 ’該固定部係將該透鏡框體40固定在鏡筒模組37a)間，用 三個彎曲構件41來連接。該鏡筒模組37a係表示相互積層 之另一框體142，所有框體142積層後始構成鏡筒。若用 另一形態來表示這種光學元件保持裝置139之彎曲構件41 37 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 __-________B7___ _ 五、發明說明（4) 的話，則如圖35所示。如該圖35所示，各彎曲構件41， 係分別具有2根剛體106a，106b、剛體l〇6a兩端所設置之 旋轉支點107b、及剛體i〇6b兩端所設置之旋轉支點 107c，l〇7d。也就是說，光學元件保持裝置139全體係配設 6根剛體、及在該各剛體兩端分別配設旋轉支點。又，此 處所謂的3方向旋轉係指穿過各剛體1〇6長方向之軸線、 及與該軸線正交且同時相互正交之三個軸線周圍之旋轉。 又，當前述剛體106a，106b係假定連結剛體l〇6a之旋 轉支點l〇7a，107b之直線及連結剛體l〇6b之旋轉支點 107c，107d之直線時(本實施形態，因剛體l〇6a，106b之組 合有3種，故假定6條直線），係使3條以上之直線不在同 一點交叉之配置。又，剛體l〇6a之一端之旋轉支點l〇7b 與剛體106b之旋轉支點i〇7b係非常接近配置，故整體來 看，大致係由同一旋轉支點107b，l〇7d所構成。換言之， 2根剛體106a，106b係共有一個旋轉支點。 又，在各剛體106a，l〇6b之另一端，備有位置調整機 構108。位置調整機構1〇8係作爲距離調整機構，距離調 整機構係調整與該各剛體106a，106b之筐體142之相對位 置。又，藉由這種位置調整機構108，使前述各剛體l〇6a， .106b之端部位置位移，藉此調整框體142與透鏡框體40 間之距離。 此處，若考慮對比前述另一形態與第3實施形態之彎 曲構件41的話，則在前述剛體i〇6a中，係對應第2限制 塊件94a，在剛體106b中，係對應第1限制塊件94b。又 38 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------訂---------線— · 521317 A7 ______ 五、發明說明（) ，旋轉支點l〇7a係對應第2彎曲頸部89b，旋轉支點l〇7b 係對應第1彎曲頸部89a，旋轉支點i〇7c係對應第3彎曲 頸部89c，旋轉支點107d係對應第4彎曲頸部89d。又， 前述第2限制塊件94a —端之第3彎曲頸部89c係連接在 前述第1限制塊件94a —端之第4彎曲頸部89d之附近。 因此，就全體而言，該兩彎曲頸部89c，89d係能看作一體 之旋轉支點l〇7b，107d。又，在前述位置調整機構1〇8中 ，係對應調整墊片99、調整鈕1〇〇、垂直方向驅動桿85a 、水平方向驅動桿85b、第1驅動塊件95a、及第2驅動塊 件 96a 〇 又，在設計理由上，各限制塊件93a，94a之位移方向 係成爲上下或左右方向，與前述模式之2根剛體106a， 106b之斜方向相異、但實質上之組合係相同。 其次，就這種光學元件保持裝置139之彎曲本體84 之動作，進一步詳細加以說明。圖36係表示只一個彎曲本 體84之連桿機構104之示意圖。 若藉由既定之驅動力F1，將垂直方向驅動桿85a之前 端部驅動到垂直方向的話，第1細薄部9〇a係將其驅動力 轉換爲以光學元件38之徑方向軸爲中心之旋轉力Ml。旋 .轉力Ml係透過第1驅動塊件95a，轉換爲向第1彎曲頸部 89a(位於第1細薄部90a之中心線L1之延長線上)之垂直 方向之直線驅動力。直線驅動力係透過第1限制塊件93a 及第4彎曲頸部89d，傳達給連接塊84a，透鏡框體40內 之光學元件38係沿光軸方向移動。 39 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • ^-1 n an n an n n 一OJ· ϋ ϋ 1 an a— in ϋ I ϋ I n n l 11 ·ϋ ϋ n ϋ n ϋ n n n ϋ n *-n n 1_1 A7 521317 五、發明說明（u) 其次，若藉由既定之驅動力F2，將水平方向驅動桿 85b之前端部驅動到垂直方向的話，第2細薄部90b係將 其驅動、力轉換爲以光學元件38之徑方向軸爲中心之旋轉力 M2。旋轉力M2係透過第2驅動塊件96a，轉換爲向第2 彎曲頸部89b(位於第2細薄部90b之中心線L2之延長線 上)之水平方向之直線驅動力。直線驅動力係透過第2限制 塊件93a、第3彎曲頸部89c、及第4彎曲頸部89d，傳達 給連接塊84a，透鏡框體40內之光學元件38係沿切線方 向移動。 又’右藉由既疋之驅動力Fl，F2 ’將驅動桿85a，85b 之前端部驅動到垂直方向的話，則藉由第1限制塊件93a 、第2限制塊件94a及第3彎曲頸部89c，合成2種之驅 動力。此處，係就以光學元件38之光軸爲Z軸之極座標 R-0 -Z系統來考慮。第3彎曲頸部89c之0座標、Z座標 係對應驅動桿85a，85b之動作來變化。藉由第1限制塊件 93a、第2限制塊件94a，來限制向第3彎曲頸部89c之X 方向及Y方向移動，故第3彎曲頸部89c係以連接第1彎 曲頸部89a與第2彎曲頸部89b之直線L3爲中心，能稍微 旋轉。即，第3彎曲頸部89c係向R座標方向(光學元件 .38之徑方向)移動，具有自由度。因此，對透鏡框體4〇， 係不動點之第3彎曲頸部89c之座標0、z之並進移動被 限制在既定位置，容許極座標R之並進移動。由於第3彎 曲頸部89c係旋轉支點，故第3彎曲頸部89c具有繞R， Θ，Z之旋轉自由度。 40 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4 297公爱）--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) U--------訂---------線— » A7 521317 五、發明說明（Ο ) 上述之動作及限制，係於三個彎曲本體84分別獨立產 生。因此，朝固定三個點(第3彎曲頸部89c)之各2個方向 之自由、度受到限制。亦即，透鏡框體40之姿勢(6自由度) 係根據機構學受到限制。由於透鏡框體40之姿勢，係與驅 動桿85a，85b之移動量成1 : 1對應，故不會對光學元件 38施加過大之力，使光學元件38變形，可自由調節透鏡 框體40所保持之光學元件38之姿勢。 透鏡框體40，係藉由各彎曲構件41動態支撐在框體 142。此處，考慮以光學元件38之中心爲原點，以該光學 元件38之光軸方向爲Z軸，以該光學元件38之徑方向爲 R.軸，及該光學元件38之周方向爲Q軸之極座標系統R-Q-Z。至於連桿機構104，第3彎曲頸部89c能在既定範圍 內於RQZ軸之各方向位移。又，在各連桿機構104中，適 當變更離第3彎曲頸部89c之框體142之高度，藉此能相 對框體142，使透鏡框體40傾斜於任意之方向。因此，透 鏡框體40係以能向RQZ軸之各方向移動、且能繞R軸、 Q軸及Z軸旋轉之方式支撐於框體142。 藉由三個連桿機構104，參照圖37，就使光學元件38 在與其光軸垂直之面內移動之例，加以說明。此處，係假 .設連桿機構104c之第3彎曲頸部89c，係距離點MP僅移 動既定之距離。隨著此移動，透鏡框體40之中心0，係以 連桿機構l〇4a，l〇4b之第3彎曲頸部89c之切線TL之交 點IP爲中心，僅移動連桿機構104c之既定移動距離之2/3 之距離。 41 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· -線 521317 A7 __—__B7____ 五、發明說明（V) 其理由係如下。此處，係考慮透鏡框體40之中心0、 各連桿機構104a，104b的第3彎曲頸部89c、及切線TL之 交點IP之4個點之位置關係。藉由4個點，具有30。，60 °，90°之內角，且形成相互合而爲一之2個直角三角形 。當透鏡框體40之中心〇與各第3彎曲頸部89c之距離( 半徑)設定爲1時，透鏡框體40之中心Ο與交點IP之距離 爲半徑之2倍。因此，交點IP與連桿機構104c之第3彎 曲頸部89c之距離爲半徑之3倍。因此，僅移動連桿機構 l〇4c之第3彎曲頸部89c之移動距離之2/3之距離，光學 元件38之中心Ο移動到點MP，。 其次，就光學元件保持裝置139之組裝步驟加以說明 〇 首先，如圖38所示，所謂透鏡框體40之安裝槽44 係在相反側之表面，藉由未圖示之螺栓，鎖緊固定保持部 43之基台構件45。基台構件45之座面塊支撐機構51，係 藉由挾持構件108，暫時固定在基台構件45上。挾持構件 108，係在組合光學元件38期間，防止意外的將負載施加 到座面塊支撐機構51之各限制連桿57, 58及各頸部55a〜 55d 中。 其次，將光學元件38收容在透鏡框體40內，且將光 學元件38之凸緣部38a載置在基台構件45之座面塊50a 上之座面49。使用定心裝置，對透鏡框體4〇進行光學元 件38之定位’在基台構件45之安裝部59上，用螺栓69 來鎖緊固定墊件47及挾持構件46。以此方式，將光學元 42 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(！10 x 297公餐) ----~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 9: ---訂---------線！ 521317 A7 _____B7___ 五、發明說明（W ) 件38之凸緣部38a挾持在座面49與壓緊面65之間。其次 ，從基台構件45拆下挾持構件1〇8，藉由座面塊支撐機構 51，對、應光學元件38之凸緣部38a之形狀，調整座面塊 5〇a，使光學元件38之保持狀態穩定。 其次，檢查光學元件38之光學面精度。此檢查中，當 出現既定値以上之光學面變化時，再度藉由挾持構件108 ，暫時固定座面塊支撐機構51，再度進行光學元件38之 組裝作業。 其次，如圖28所示，藉由螺栓97，將彎曲本體84鎖 緊固疋在彎曲安裝部80。其次’如圖39所示，以包挾彎 曲本體84之連接塊84a的方式，安裝肩墊件1〇9。肩墊件 109，係在組裝透鏡框體40期間，防止意外的對彎曲本體 84之限制連桿93, 94、驅動連桿95, 96、頸部89a〜89d及 細薄部90a，90b造成之負載。 其次，用螺栓98，將彎曲接合部177鎖緊固定在彎曲 本體84之連接塊84a上，將透鏡框體40暫時固定在框體 142上。在這種狀態下.，將框體142搭載在定心裝置，使 框體142旋轉’觀察光學元件38之光軸擺動情形。根據此 ΪΙ察結果’ fe開螺检98 ’ g周整透鏡框體40之位置，再度 ‘用螺栓98來加以暫時固定。然後，反復這種調整，直到幾 乎沒有光學元件38之光軸擺動。待大致消除光學元件38 之光軸擺動後，完全鎖入螺栓98，透過彎曲本體84，將透 鏡框體40固定在框體142上。 其次，拆下肩墊件109，構成圖24所示之光學元件保 43 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) m -線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱） 521317 A7 B7 五、發明說明（Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 持裝置139。然後，在這種狀態下，再度在定心裝置上， 旋轉框體142，平行移動或傾斜定心裝置之載台，以使光 學元件38 ‘之光軸擺動完全消除。此時，記錄透鏡框體4〇 外徑之偏心量（藉由定心裝置所檢測）、端面之傾斜量。使 用這些資訊，根據專用之軟體程式，藉由電腦，計算消除 偏心量及傾斜量之調整墊板99及調整鈕1〇〇數之組合。然 後’根據其計算結果，選擇安裝調整墊板99及調整鈕1〇〇 。最後，再一次，藉由定心裝置，使全體旋轉，確認光學 元件38之之光軸擺動。 然後，如圖34所示，將複數個光學元件保持裝置139 之相位相互錯開180° ，藉由積層來形成鏡筒37。 因此，第3實施形態之光學元件保持裝置139有以下 之優點。 -線 (1)保持光學元件38.之透鏡框體40與框體142係透過 三個彎曲本體84來連結。於彎曲本體84，設有驅動桿 85a，85b。驅動桿85a，85b係供應3種移動及繞三個座標 軸RQZ之旋轉。該3種移動係以光學元件38之光軸方向 爲原點，沿以該光學元件38之光軸方向爲Z軸，徑方向 爲R軸，周方向爲Q軸之座標系統RQZ。 當將既定之驅動力供應給驅動桿85a，85b時，藉由彎 曲本體84之作用，對光學元件38賦予沿座標軸RQZ之3 種移動、及繞3個座標軸RQZ旋轉之6種運動自由度。也 就是說，光學元件38係動態支撐。因此，藉由彎曲本體 84之作用，能微細地調整光學元件38之位置，不需對框 44 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 ______B7 _ _ 五、發明說明（Ο ) 體142進行嚴密加工，即能容易且精度準確進行光學元件 38之定位。 (2) 三個彎曲本體84係以等間隔配置在光學元件38之 周圍。因此，藉由三個彎曲本體84，光學元件38用來定 位之構成變成簡單，能穩定保持該光學元件38。 (3) 各三個彎曲本體84係具有彎曲固定部91(固定在框 體142)、及連接塊84a(連結在透鏡框體40)。限制向彎曲 固定部91及連接塊84a彼此不同方向(垂直方向與水平方 向）之位移，且設置垂直方向限制連桿93與水平方向限制 連桿94。垂直方向限制連桿93與水平方向限制連桿94係 能旋轉支撐在彎曲固定部91及連接塊84a相互不同方向之 周圍。藉由彎曲固定部91及限制連桿93, 94，在連接塊 84a中，提供6種運動自由度。藉由這種構成，能容易且 胃度準確進行光學元件3.8之定位。 (4) 水平方向限制連桿94係限制向彎曲固定部91及連 接塊84a之水平方向之位移，且能將彎曲固定部91及連接 塊84a旋轉支撐於水平方向之周圍。垂直方向限制連桿93 係限制向彎曲固定部91及連接塊84a之垂直方向之位移， 且能將彎曲固定部91及連接塊84a旋轉支撐於垂直方向之 .周瞻1。由水平方向限制連桿94及垂直方向限制連桿93所 構成之連桿機構能簡化彎曲本體84之構成。 (5) 彎曲固定部91及連接塊84a係藉由彎曲頸部89a〜 89(1，連接限制連桿93, 94。因此，限制連桿93, 94之動作 係用簡單的構成傳達給彎曲固定部91及連接塊84a。 45 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格⑽X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0. -ϋ a— n --訂---------線- » A7 521317 _____B7___ 五、發明說明（艸） (6)賦予水平方向驅動桿85b之上下方向之驅動力，係 藉由轉換機構（由第2細薄部90b與第2彎曲頸部89b所構 成），轉換爲水平方向之驅動力。因此，增大彎曲本體84 設計之自由度。又，藉由彎曲本體84外部之上下方向之移 動，使光學元件38向水平方向移動。因此，當光學元件 38被收容在透鏡框體40時，上述轉換機構特別有效。 (Ό賦予垂直方向驅動桿85a之上下方向之驅動力，係 藉由轉換機構（由第1細薄部90a與第1彎曲頸部89a所構 成），轉換爲上下方向之驅動力。因此，藉由彎曲本體84 外部之上下方向之移動，使光學元件38向上下方向移動。 因此，當光學元件38被收容在透鏡框體40時，上述轉換 機構特別有用。 (8) 彎曲固定部91、連接塊84a及限制連桿93, 94係 藉由單一構件來形成。限制連桿93, 94，係藉由頸部連結 在彎曲固定部91及連接塊84a。因此，不增加零件點數， 且能用簡單之構成來形成連桿機構。 (9) 第1細薄部90a與第1彎曲頸部89a係配置在水平 方向之同一面。藉由這種配置，當將驅動力賦予垂直方向 驅動桿85a時，能防止產生第1彎曲頸部89a之旋轉力矩 上下方向之驅動力能正確轉換爲光學元件38上下方向之 驅動力。 (10) 第2細薄部90b與第2彎曲頸部89b係配置在垂 直方向之同一面上。藉由這種配置，當把驅動力賦予水平 方向驅動桿85b時，能防止產生第2彎曲頸部89b之旋轉 46 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ϋ ϋ n —l· n ϋ n 一· n n n n n n n I I · 521317 A7 _____B7____ — 五、發明說明（β ) 力矩，上下方向之驅動力能正確轉換爲光學元件38水平方 向之驅動力。 (U)由.於較驅動桿85a，85b前端之移動量少之移動量 係傳達給彎曲本體84之連桿機構，故光學元件38能微小 移動。又，能對應移動量之減低，正確控制光學兀件38之 移動量。 (12) 驅動桿85a，85b之移動量係藉由調整墊片99及調 整鈕100來調整，因此，驅動桿85a，85b之移動量不變動 ，能正確控制光學元件38之位置。 (13) 調整墊片99及調整鈕100係配置在驅動桿85a， 85b與框體142之間。驅動桿85a，85b與框體142之間隔( 即，驅動桿85a，85b之移動量)係藉由調整墊片99及調整 鈕100之數來進行調整。因此，能用簡單之構成，來正確 控制光學元件38之位置。 (14) 藉由水平方向驅動桿85b之操作，使光學元件38 向其切線方向移動，藉由垂直方向驅動桿85a之操作，使 光學元件38向其光軸方向移動。因此，藉由2個驅動桿 8Sa，85b之操作，能容易且更正確控制光學元件38之位置 〇 (15) 彎曲本體84係配置在相鄰座面塊5〇a間。因此， 能將光學元件保持裝置139小型化。 (16) 連結限制連桿93, 94之旋轉支點，係具有較小截 面積之彎曲頸部89a〜89d。藉由這種構成，彎曲固定部91 、連接塊84a、限制連桿93，94係簡單之構成，且用一體 47 才、紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^^〜---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) n n If ϋ n n 一OJI n n n n I ϋ 1 I n ϋ n I n ϋ n n ϋ n *1— n ϋ n · A7 521317 ______B7____ 五、發明說明（A) 之構件來形成。 (17) 驅動桿85a，85b係藉由復原彈簧1〇3彈壓向框體 142側。藉由復原彈簧103之彈壓力，驅動桿85a，85b抵 接在調整鈕1〇〇，藉此規定驅動桿85a，85b之位置。亦即 ，驅動桿85a，85b之位置係藉由調整墊片99及調整鈕1〇〇 之厚度來規定。調整墊片99及調整鈕1〇〇藉由螺絲之鎖入 量，與規定桿位置時比較，能更正確進行桿位置之設定。 (18) 在鄰接之彎曲本體84間，設置了彎曲收容凹部81 。彎曲收容凹部81係用來收容另一光學元件保持裝置139 之彎曲本體84。藉此構成，來積層複數個光學元件保持裝 置139時，能將積層之光學元件保持裝置139小型化。 (19) 彎曲收容凹部81係對彎曲本體84，配置在只偏移 180°之位置。因此，將複數個光學元件保持裝置139只相 互錯開180° ，藉由積層，能將積層之光學元件保持裝置 139小型化。 (20) 在框體142之端面，定義另一光學元件保持裝置 139之框體142與接合面40a。在該接合面40a間，配置間 隔調整用之墊片，能調整光學元件保持裝置139之相互位 置。即，用間隔調整用之墊片，能粗調整光學元件(保持光 .學元件保持裝置139)之位置。然後，驅動光學元件保持裝 置139之驅動桿85a，85b，同時，變更調整用墊片及調整 用鈕之厚度，藉此能將光學元件移動到目的位置。又，該 間隔調整用之墊片也可以是與接合面40a大致同一形狀之 環狀墊片，也可以是接合面40a之複數處所配置之分割墊 48 本紙張ϋ適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " " {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) m: ·11111 線丨· 521317 A7 _________B7__ 五、發明說明（叼） 片(例如，墊片）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (21) 在各鏡筒模組420中，藉由光學元件保持裝置139 ，來保持複數個光學元件38。在各鏡筒模組420中，光學 兀件3 8被正確定位，能提商鏡筒3 7整體之成像性能。 (22) 曝光裝置31係使用投影光學系統(包含有鏡筒37 ，鏡筒37係藉由光學元件保持裝置139，來保持光學元件 38)，來進行曝光。因此，能提高投影光學系統之成像性能 ，且提高曝光精度。 (23) 在這種曝光裝置31中，驅動桿85a，85b(驅動彎曲 構件41)係配置在透鏡框體40(支撐光學元件38)與框體 142之間。因此，使驅動桿85a，85b動作，藉此能具有前 述6種自由度，使光學元件38移動。因此，不必嚴密加工 框體142與透鏡框體40等，能容易且精度準確進行光學元 件38之定位。 (24) 此曝光裝置31中，三個彎曲構件41具有分別爲 既定長度之剛體的第1限制塊件93a及第2限制塊件94a 。又，透鏡框體40，其整體係透過6根剛體支撐在框體 142上。而且，由於各剛體具有前述6種運動自由度，故 能對前述框體142進行旋進運動。因此，能用簡單之構成 ’在以其中心爲原點’徑方向爲R，周方向爲0，光軸方 向爲Z之三個座標軸系統R_0 -Z中動態支撐光學元件38( 被支撐在前述透鏡框體40)。 (25) 此曝光裝置31中，彎曲構件41具有位置調整機 構108。位置調整機構108係調整透鏡框體40與框體142 49 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐厂 A7 521317 五、發明說明（Μ ) 間之距離。因此，調整透鏡框體40與框體142間之距離， 藉此能擴大光學元件38之移動範圍。又’將此用來修正投 影光學系統35之殘存像差，能大大提高投影光學系統35 之成像特性，且能提高曝光裝置31之曝光精度。 (26) 此曝光裝置31中，能藉由使驅動桿85a，85b(安裝 於三個彎曲構件41之彎曲本體84)位移’來使該彎曲本體 84位移。然後，藉由該彎曲本體84位移，來進行光學元 件38之定位。因此，光學元件38之移動係透過彎曲構件 41來進行，在光學元件38中，能抑制預料不到之變形產 生。因此，能一面確保光學元件38之精度，一面能更正確 移動該光學元件38。 (27) 當對既定之固定部，透過6根剛體來動態保持某 物體時，若在此6根剛體之延長線中3根以上在同一點相 交的話，就會產生動態之特異點。此特異點，使前述物體 之保持不穩定，該物體之正確定位變得非常困難。相對於 此，此曝光裝置31中，當假定連接兩端(形成各彎曲構件 41之剛體之各限制塊件93a，94a)的彎曲頸部89a〜89d之6 條直線時，3條以上之直線在同一點不相交。因此，不產 生動態之特異點，能更正確進行光學元件38之定位。 .(第4實施形態） 其次，參照圖40〜圖42，就本發明之光學元件保持 裝置之第4實施形態，以與前述第1實施形態相異之部分 爲中心，加以說明。 圖40係以示意方式顯示本發明之第4實施形態之光學 50 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) n n n il· n n n^OJ_ n n - ϋ I n ϋ I I n ϋ n n n ϋ n n n ϋ ϋ I n ϋ n ϋ ϋ n n n n m 521317 A7 ______B7_______ 五、發明說明（0 ) 元件保持裝置121的立體圖。如圖40所示，該光學元件保 持裝置121，係透過分別獨立之6根（圖中記載5根）之剛體 123，將透鏡框體122(保持光學元件)保持在框體124上。 圖41係表示剛體123之截面圖，圖42係沿圖41之 42-42線之截面圖。如圖41及圖43所示，剛體123係由 金屬製之四角柱形成，在其兩端之附近，缺口形成與第3 實施形態之彎曲頸部89a〜89d同樣構成之旋轉支點125。 又，各剛體123之一端係直接固定在前述框體124，另一 端係透過安裝構件126，固定在前述透鏡框體122。又，當 該6根剛體123也假定連接各剛體123兩端之旋轉支點 125之6條直線時，配置成3條以上之直線不在同一點相 交。 若依這種構成之第4實施形態的話，除了與前述第3 實施形態所記載之（1)、（5)、（8)、（22)、（24)、（27)之效果 大致同樣地效果外，亦能得到下列效果。 (第5實施形態） 其次，就本發明之光學元件保持裝置之第5實施形態 ，以與前述各實施形態相異之部分爲中心加以說明。如圖 43之示意圖所示，該第5實施形態之光學元件保持裝置 131係省略第4實施形態之光學元件保持裝置121之透鏡 框體122。又，在剛體123 —側之端部，安裝座面塊機構 及挾持構件，形成直接挾持光學元件38。 因此，能得到與第4實施形態之光學元件保持裝置 121大致同樣之效果。 51 本紙張尺^適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0. .«I I— n n n 一 I 11 n n l_i —ϋ I in I n n an ·ϋ n n I an n in 11 I m ·_ϋ —.1 n I— I n in 521317 A7 ____ B7 __ 五、發明說明（如） (第6實施形態） 其次，就本發明之光學元件保持裝置之第6實施形態 ，以與前述第3〜5實施形態相異之部分爲中心加以說明。 圖44係以示意方式顯示本發明之第6實施形態之光學 元件保持裝置136的立體圖。如圖44所示，該光學元件保 持裝置136係在前述第3實施形態之光學元件保持裝置 139中，省略位置調整機構108。具體而言，在前述第3實 施形態之光學元件保持裝置139中，省略垂直方向驅動桿 85a及水平方向驅動桿85b、調整墊片99及調整鈕1〇〇(調 整兩驅動桿85a，85b之位移），等之周邊構成。 .即使是這種構成，當將光學元件38載置於透鏡框體 40時，藉由彎曲構件41之作用，能確保6種運動自由度 。該6種運動自由度係沿前述極座標R-6> -Z系統之3種移 動與前述三個座標軸R、θ、Z周圍之旋轉。因此，能將 光學元件38動態保持在前述框體142上，光學元件38之 位置調整範圍雖變小，但能得到與前述第3實施形態之光 學元件保持裝置139大致同樣之效果。 (第7實施形態） 其次，就本發明之光學元件保持裝置之第7實施形態 .，以與前述第3〜6實施形態相異之部分爲中心加以說明。 圖45係以示意方式顯示本發明之第7實施形態之光學 元件保持裝置141的立體圖。如圖45所示，該光學元件保 持裝置141，係變更前述第4實施形態之光學元件保持裝 置121中剛體146之形狀，同時，在各剛體146之途中， 52 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) l·-------訂--------« I · 521317 A7 ----------B7 五、發明說明（Π ) 配置長度調整機構143(形成距離調整機構）。又，各剛體 146係各2根，其一端側之旋轉支點144係非常接近配置 ，2根剛體\46係大致共有一個旋轉支點。 圖46係表示1根前述剛體146之截面圖，圖47係沿 圖46之47-47線之截面圖。如圖46及47所示，剛體146 係由金屬製之圓柱來形成，在其兩端附近’缺口形成旋轉 支點144(由截面大致u字形之環狀槽所構成）。這種旋轉 支點144係具有與第3實施形態之彎曲頸部89a〜89d同樣 之作用。在這種旋轉支點144之附近，連接另一剛體146 之旋轉支點144。然後，各剛體146係直接固定前述框體 i24(其一端當作在固定部），另一端係通過安裝構件126， 固定在前述透鏡框體122。 長度調整機構143，例如，係由壓電元件所構成，連 接在主控制裝置H5。主控制裝置145係作爲控制曝光裝 置31整體動作之控制裝置。該主控制裝置145係根據曝光 裝置31之投影光學系統35像面上所形成之前述標線片Rt 上之圖案像，檢測投影光學系統35之像差資訊。又，主控 制裝置M5係從長度調整機構M3，輸入本身伸長長度之 資訊，根據來自長度調整機構143之伸長長度之資訊，求 .出透鏡框體122與框體124之距離。然後，主控制裝置 145係根據前述像差資訊、透鏡框體122與124之距離， 來控制各長度調整機構143之伸長長度。藉此調整透鏡框 體122與框體124間之距離，修正投影光學系統35之像差 〇 53 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 馨· l·---一---訂---------丨 ϋ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 521317 A7 _ B7__ 五、發明說明（>) 若依這種構成之第7實施形態的話，除能得到與前述 第3實施形態所記載之（1)、（5)、（8)、（22)、（24)、（27)之 大致相同效果外，亦能得到下列效果。 (1) 光學元件保持裝置141中，係由主控制裝置145檢 測透鏡框體122與框體124間之距離。然後，主控制裝置 145根據該其檢測結果與像差資訊（包含投影光學系統35 所形成之圖案像），調整透鏡框體122與框體124之距離， 來控制長度調整機構143。 因此，能更正確修正投影光學系統35所殘存之像差， 能進一步提高曝光精度。而且，在長度調整機構143中， 採用壓電元件，能即時進行電氣調整透鏡框體122與框體 124間之距離，能一面追蹤該投影光學系統35之狀態變化 ，一面修正投影光學系統35之像差。 (2) 光學元件保持裝置141中，係藉由長度調整機構 143，調整連接這些之剛體146之長度，來進行調整透鏡框 體122與框體124間之距離。如此，即能以簡單之構成調 整透鏡框體122與框體124間之距離，擴大光學元件38上 下移動及傾斜移動之範圍。 本發明也可變更如下。 在第3實施形態中，例如，也可使用壓電等致動器， 取代調整墊片99及調整鈕100，來設定驅動桿85a，85b之 移動量。也可使用感測器(檢測透鏡框體40之位置），即時 控制光學元件38之位置。 在第3實施形態中，也可不設置保持部43，藉由透鏡 54 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 鬌· K----^---訂--------線 — 521317 A7 _____Β7___ 五、發明說明（θ ) 框體40，來保持光學元件38。 光學元件38也可是平行平板、反射鏡或半反射鏡，以 取代透鏡。‘此外，亦可使用使曝光光偏光之偏光構件、具 備用以反射曝光光之反射面的反射光學構件。 本發明也能適用曝光裝置31之照明光學系統30之光 學元件保持裝置、光學元件縱置型之光學元件保持裝置。 而且，本發明也適用於顯微鏡、干涉計等光學機械之光學 系統之光學元件保持裝置。 本發明也適用於接觸曝光裝置(使光罩與基板密接，將 光罩之圖案曝光）’及近接曝光裝置（使光罩與基板接近， 將光罩之圖案曝光)之光學系統。投影光學系統不僅是全折 射型，也可是反射折射型。 本發明不僅適用於縮小曝光型之曝光裝置，例如，亦 能適用於等倍曝光型、擴大曝光型之曝光裝置。 本發明也適用於曝光裝置，該曝光裝置係爲了製造光 曝光裝置、EUV曝光裝置、X射線曝光裝置、及電子線曝 光裝置等所使用之標線片或光罩，從母標線片，將電路圖 案轉印到玻璃基板與砂晶圓。此處，使用DUV(深紫外)與 VUV(真空紫外）光等之曝光裝置，一般係使用穿透型標線 ,片基板。就標線片基板而言，使用石英玻璃、摻螢石英玻 璃、螢石、氟化鎂、或水晶等。又，近接方式之X射線曝 光裝置與電子線曝光裝置，使用透射型光罩基板(模板光罩 、隔膜光罩）。使用矽晶圓來作爲光罩基板。 本發明不僅適用於製造半導體元件所使用之曝光裝置 55 本紙張尺度適用f關家鮮（CNS)A4規格（21G X 297公爱) ----— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
0 i-i n I— l n n n 一OJ· ϋ n I n n n I— I n n n n n n n ϋ n ϋ i n ·ϋ n n i·— n n n I 521317 A7 _____B7 ____ 五、發明說明（饵） ，而且也適用於製造顯不器(包含液晶顯示元件(LCD)等)所 使用，將元件圖案轉印到玻璃板上之曝光裝置，製造薄膜 磁頭所使用，將元件圖案轉印到陶瓷晶圓之曝光裝置，及 製造CCD攝影元件所使用之曝光裝置。 本發明也適用於掃描步進器、及步進與重複方式之步 進器。掃描步進器係在光罩與基板相對移動之狀態下，將 光罩之圖案轉印到基板，依序使基板步進移動。步進與重 複方式之步進器係光罩與基板在靜止之狀態下，將光罩之 圖案轉印到基板，依序使基板步進移動。 曝光裝置，例如，也可使用g線(436nm)、i線(365nm) 、.KrF準分子雷射（248nm)、F2雷射（157nm)、Kr2雷射 (146nm)、An雷射（126nm)等光源。又，也可使用從DFB 半導體雷射或光纖雷射所振盪之紅外線範圍、.或可視光範 圍之單一波長雷射光，例如，用摻餌（或餌與鏡兩者）之光 纖放大器來放大，使用非線性光學結晶，將其放大之雷射 光波長轉換爲紫外光，藉此所得到之高次諧波作爲光源。 曝光裝置31，例如係以下述方式製造。 首先’複數個透鏡(構成投影光學系統35)或反射鏡等 光學元件38中之至少一部分藉由光學元件保持裝置39, .139來保持，將照明光學系統33及投影光學系統35組裝 在曝光裝置31本體，進行光學調整。其次，由多數的機械 零件所構成之晶圓載台36(若爲掃描型曝光裝置時，包含 標線片載台)係安裝在曝光裝置31之本體，進行配線連接 。然後，在曝光光EL之光程內，連接氣體供應配管(供應 56 本紙張尺度適用中國國石票準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公餐） 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1 l·---.---訂---------線丨· 521317 A7 -------B7 _ 五、發明說明（灯） 氣體），又’進行綜合調整(電氣調整、動作確認等）。 此處’構成光學元件保持裝置39之各零件係藉由超音 波洗淨等，‘將加工油、及金屬物質等雜質除去後，進行組 裝。又’曝光裝置31之製造，最好是能在溫度、濕度與氣 壓受到控制，且潔淨度受到調整之無塵室內進行。 實施形態之玻璃材料，不限定在螢石(CaF2)、石英， 亦可是氟化鋰、氟化鎂、氟化鋸、鋰_鈣_鋁-氟化物合金、 及鋰-總-錦-氟化物合金等之結晶、由锆_鋇-鑭-鋁所構成之 氟化玻璃、摻氟之石英玻璃、摻氟及氫之石英玻璃、含有 0H基之石英玻璃、及含有氟及〇H基之石英玻璃等改良石 英。 其次’就微影製程使用曝光裝置31來製造元件之方法 加以說明。 圖48係表示元件(1C與LSI等半導體元件、液晶顯示 元件、攝影元件(CCD等）、薄膜磁頭、微機械等）之製程流 程圖。如圖48所示，首先，在步驟S151 (設計步驟）中，進 行元件(微元件）之功能、性能設計(例如，半導體元件之電 路设g十等），進行圖案設g十（用來實現其功能）。其次，在步 驟S152(光罩製作步驟）中，製作光罩(標線片R)(形成所設 .計之電路圖案）。另一方面，在步驟S153(基板製造步驟）中 ，係使用矽、玻璃板等材料，來製造基板(當使用矽材料時 ，成爲晶圓W)。 其次，在步驟S154(基板處理步驟）中，係用步驟Sl5i 〜步驟S153所準備之光罩及基板，藉由微影技術等，將電 57 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） ----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----i---訂--------- 丨 » 521317 A7 —___B7____ 五、發明說明（Jrt ) 路形成在基板上。其次，在步驟S155(元件組裝步驟）中， 使用步驟S154處理之基板，進行元件組裝。在該步驟 S155中，親需要，進行切割製程、接合製程、及封裝製程 〇 最後，在步驟S156(檢查步驟）中，進行步驟S155所 製作之元件之動作確認試驗、及耐久性試驗等檢查。經過 這些製程後，完成元件。 圖49係半導體元件之製程中，圖48之步驟S154之 詳細流程圖。圖40中，步驟S161(氧化步驟)係使晶圓W 之表面氧化。步驟S162(CVD步驟)係在晶圓W5之表面， 形成絕緣膜。步驟S163(形成電極步驟），係藉由蒸鍍，在 晶圓W上形成電極。步驟S164(植入離子步驟），係將離子 植入晶圓W。以上之步驟S161〜步驟S164之各步驟係構 成晶圓處理各階段之前處理製程，在各階段中，依所需要 之處理來選擇執行。 在晶圓製程之各階段，完成上述前處理製程後，執行 以下之後處理製程。在後處理製程中，首先，在步驟 S165(形成光阻步驟）中，係在晶圓W上，塗敷感光劑。其 次，在步驟S166(曝光步驟）中，係藉由微影系統(曝光裝置 ,31)，將光罩(標線片R)之電路轉印到晶圓w上。其次，在 步驟S167(顯影步驟）中，將所曝光之晶圓以顯影，在 步驟S168(鈾刻步驟）中，係藉由蝕刻，除去部分(除了殘存 光阻之部分）之露出構件。然後，在步驟S169(除去光阻步 驟）中，除去不要之光阻。反覆進行這些前處理製程與後處 58 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） "一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ I n n 一^I n I —i I n ·ϋ ϋ 1 I- ^ ft— ϋ n n n ϋ n n - 521317 A7 _B7 _ 五、發明說明（^7) 理製程，藉此能在晶圓上形成多重電路圖案。 上述之元件製造方法，係在曝光製程(步驟S166中）， 使用曝光裝置31，藉由真空紫外領域之曝光光EL，來提 高解析度，且能高精度進行曝光量控制。其結果，能高良 率生產最小線寬爲Ο.ΐμπι左右之高集積度元件。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) m -Μ_ϋ US n n i 59 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
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Claims (1)

  1. 521317 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍
    第90120168號申請案，申請專利範圍修正本 91年10月 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 1、 一種光學元件保持裝置，其具備用以保持圓形光學 元件之周緣部的保持部，其特徵在於，前述保持部包含： 座面塊，具有與前述光學元件之周緣部接觸之座面； 以及 座面塊支撐機構，係以前述光學元件切線方向之軸爲 中心將前述座面塊支撐爲能旋轉。 2、 如申請專利範圍第1項之光學元件保持裝置，其中 ，前述座面塊支撐機構係以前述光學元件之徑方向軸爲中 心，將前述座面塊支撐爲能旋轉。 3、 如申請專利範圍第2項之光學元件保持裝置，其中 ，前述座面塊支擦機構係將前述座面塊支撐爲能在前述光 學元件之徑方向移動。 4、 一種光學元件保持裝置，其特徵在於，具備： 保持部，用以保持光學元件之周緣部；及 固定部，用以固定保持部； 前述保持部，具備 座面塊，具有與前述光學元件周緣部接觸之座面； 基台部，係固定於前述固定部；及 一對連桿機構，係用以限制前述座面塊相對前述基台 部朝互異之複數方向移動、且以前述彼此相異複數方向之 各軸爲中心將前述基台部及前述座面塊連結成能旋轉。 5、 如申請專利範圍第4項之光學元件保持裝置，其中 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 521317 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 前述光學元件之外形爲圓形，前述一對連桿機構包含： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 切線方向限制連桿’係用以限制則述座面塊於則述光 學元件之切線方向之移動，且以切線方向之軸爲中心將前 述座面塊連結成能旋轉；以及 光軸方向限制連桿，係用以限制前述座面塊於前述光 學元件之光軸方向之移動，且以光軸方向之軸爲中心將前 述座面塊連結成能旋轉。 6、 如申請專利範圍第4項之光學元件保持裝置，其中 ，前述保持部包含將前述基台部、前述座面塊及前述一對 連桿機構加以彼此連結的旋轉支點。 7、 如申請專利範圍第6項之光學元件保持裝置，其中 ，前述旋轉支點，係配置在與垂直前述座面之垂線平行， 且通過座面中間位置之線上或該線附近。 8、 如申請專利範圍第6項之光學兀件保持裝置’其中 ，前述座面塊係與前述一對連桿機構、前述旋轉支點、及 前述基台部一體形成。 9、 如申請專利範圍第1〜3、5項中任一項之光學元 件保持裝置，其中，前述座面塊係沿前述光學元件之切線 方向形成爲既定之長度，且具有相隔既定間隔配置之複數 個座面。 10、 如申請專利範圍第1〜3、5項中任一項之光學元 件保持裝置，其中，前述座面塊係沿前述光學元件之切線 方向形成爲既定之長度，且具有與座面塊之長邊方向大致 相同長度的座面。 --------7__ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 521317 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項、再塡寫本頁} π、如申請專利範圍第1項〜第8項中任一項之光學 元件保持裝置’其中，前述座面上施有用以提高對前述光 學元件的摩擦係數之處理。 12、 一種鏡筒，係用以收容複數個光學元件，其特徵 在於，具備： 用以保持前述複數個光學元件中至少一個光學保持元 件的申請專利範圍第1〜11項中任一項之光學元件保持裝 置。 13、 一種鏡筒，其具有收容一個以上光學元件之至少 一個鏡筒模組，其特徵在於： 前述至少一個鏡筒模組，係具備用以保持前述一個以 上之光學元件的申請專利範圍第1〜11項中任一項之光學 元件保持裝置。 14、 一種曝光裝置，係透過投影光學系統，將光罩上 形成之圖案像轉印在基板上，其特徵在於： 前述投影光學系統，具有用以收容複數個光學元件之 鏡筒； 該鏡同’具備用以保持即述複數個光學兀件中至少一' 個的申請專利範圍第1〜11項中任一項之光學元件保持裝 置。 15、 一種保持裝置，其具備用以保持被保持構件的保 持部，其特徵在於： 前述保持部包含驅動機構，該驅動機構能進行被保持 構件沿以被保持構件之大致中心爲原點之三個座標軸的三 _______3__ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4规格(210 X 297公釐） 521317 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 個移動，以及以前述三個座標軸中之至少二個座標軸爲中 心的二個旋轉。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 16、 如申請專利範圍第15項之保持裝置，其中，〜 ，_ 述保持構件包含用以支撐前述被保持構件的支撐構件，_ 安裝前述保持部的固定部； ^ 前述驅動機構，係配置在前述支撐構件與前述 之間。 θ 17、 如申請專利範圍第16項之保持裝置，其中 前 述驅動機構具有6根剛體，該6根剛體具有既定長度。 1S、如申請專利範圍第Π項之保持裝置，其具備用 以調整前述支撐構件與固定部間之距離的距離調整機擒。 19、 如申請專利範圍第18項之保持裝置，其中，& 述距離調整機構具備用以調整前述6根剛體中特定 長度的長度調整機構。 ^ 線 20、 如申g靑專利範圍第15項之保持裝置’其中，^ 述驅動機構具有： 複數個彎曲構件，係安裝於前述被保持構件以& 位移構件，係安裝於前述複數個彎曲構件中之_少％ 個構件上，爲了將前述三個移動及前述二個旋轉賦，前_ 被保持構件，使前述彎曲構件位移。 21、 如申請專利範圍第20項之保持裝置，其中，前 述複數個彎曲構件包含以等間隔配置在前述被保持構件之 周圍的三個彎曲構件。 22、 如申請專利範圍第20項之保持裝置，其中，前 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 521317 b Co D8 六、申請專利範圍 述至少一個彎曲構件包含： 基台部，係固定在前述連結部； 連接塊，係連接於前述被保持構件；以及 一對連桿機構，係限制前述固定部及前述連接塊朝互 異之複數方向的移動，且以前述互異之複數方向之軸爲中 心，將前述固定部及前述連接塊支撐爲能旋轉。 23、 如申請專利範圍第22項之保持裝置’其中’則 述一對連桿機構包含： 水平方向限制連桿，係限制前述基台部及前述連接塊 朝水平方向之移動，且以前述水平方向之軸爲中心連結成 能旋轉；以及 交叉方向限制連桿，係限制前述固定部及前述連接塊 朝與前述水平方向交叉之方向的移動，且以前述交叉方向 之軸爲中心連結成能旋轉。 24、 如申請專利範圍第22項之保持裝置，其中’前 述至少一個彎曲構件包含有將前述基台部、前述連接塊及 前述一對連桿機構加以連結的旋轉支點。 25、 如申請專利範圍第23項之保持裝置，其中’前 述至少一個彎曲構件具備有轉換機構，該轉換機構係將對 前述位移構件賦予之既定方向之驅動力，轉換爲與前述既 定方向相異方向之驅動力。 26、 如申請專利範圍第25項之保持裝置，其中，前 述轉換機構係將對前述位移構件賦予之相對前述被保持構 件垂直方向之驅動力，轉換爲相對前述被保持構件水平方 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) -\口 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 521317 ab C8 D8 六、申請專利範圍 向之驅動力。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 27、 如申請專利範圍第25項之保持裝置，其中，前 述至少一個彎曲構件，係將對前述位移構件賦予之相對前 述被保持構件朝第1垂直方向之驅動力，轉換爲相對前述 被保持構件朝與第1垂直方向不同之第2垂直方向之驅動 力。 28、 如申請專利範圍第23項之保持裝置，其中，前 述基台部、前述連接塊及前述一對連桿機構係由單一構件 形成，前述至少一個彎曲構件係由前述單一構件形成，其 包含用以連結前述基台部、前述連接塊及前述水平方向與 垂直方向限制連桿的複數個連桿缺口彈簧。 29、 如申請專利範圍第28項之保持裝置，其中，前 述轉換機構包含形成於前述基台部之複數個轉換缺口彈簧 ， 線 複數個連桿缺口彈簧包含連結於前述交叉方向限制連 桿之第1連桿彈簧； 複數轉換缺口彈簧，包含第1轉換缺口彈簧，以將對 前述位移構件賦予之相對前述被保持構件朝第1垂直方向 之驅動力，轉換爲相對前述被保持構件朝與第1垂直方向 不同之第2垂直方向之驅動力； 前述第1連桿缺口彈簧及前述第1轉換缺口彈簧’係 配置在相對前述被保持構件之水平方向的同一面。 30、 如申請專利範圍第29項之保持裝置，其中’複 數個連桿缺口彈簧包含有用以連結前述連接塊與交叉方向 __________ ^紙張尺ϋΓ用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） 521317 A8B8C8D8 、申凊專利範圍 限制連桿的第2連桿缺口彈簧，第1及第2連桿缺口彈簧 係配置在相對前述被保持構件之垂直方向之同一面。 31、 如申請專利範圍第22〜30項中任一項之保持裝 置’其中，前述位移構件具有傳達部，該傳達部係連結於 前述一對連桿機構，以將驅動力傳達給前述一對連桿機構 〇 32、 如申請專利範圍第31項之保持裝置，其中，前 述傳達部及前述一對連桿機構係藉由所賦予之驅動力來移 動，前述傳達部係形成爲長尺狀，以使一對連桿機構之移 動量較傳達部之移動量少。 33、 如申請專利範圍第32項之保持裝置，其具備用 以規定前述傳達部之移動量的移動量規定構件。 34、 如申請專利範圍第32項之保持裝置，該保持裝 置係配置在支撐保持裝置的支撐構件上，前述移動量規定 構件係與前述傳達部對向配置在前述支撐構件上。 35、 一種光學元件保持裝置，其特徵在於，具備： 保持構件，用以保持光學元件之周緣部； 三個彎曲構件，係於三個位置保持前述保持構件；以 及 第1及第2操作構件，係連接於前述至少一個彎曲構 件，用以操作前述至少一個彎曲構件； 前述保持構件係被保持成，藉前述第1操作部之操作 ，前述至少一個彎曲構件使前述光學元件朝第1方向移動 ，藉由前述第2操作部之操作，前述至少一個彎曲構件使 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁} 、=口 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 521317 A8 C8 D8 申請專利範圍 則述光學兀件朝與前述第1方向相異之第2方向移動。 36、 如申請專利範圍第35項之光學元件保持裝置， 其中’即述光學兀件之外形爲圓形，前述第1方向係前述 光學元件之切線方向，前述第2方向係前述光學元件之光 軸方向。 37、 一種光學元件保持裝置，其特徵在於，具備： 保持構件，係包含用以保持光學元件周緣部之保持部 :以及 保持裝置，係用以保持保持構件之申請專利範圍第15 〜34項中任一項之保持裝置。 38、 如申請專利範圍第35〜37項中任一項之光學元 件保持裝置，其中，前述保持部具備有複數個座面塊，該 複數個座面塊具有各與前述光學元件周緣部接觸之座面， 前述各彎曲構件係配置在相鄰座面塊之間。 39、 一種鏡筒，其具有收容一個以上光學元件之至少 一個鏡筒模組，其特徵在於： 前述至少一個鏡筒模組，係具備用以保持前述一個以 上之光學元件的申請專利範圍第35〜38項中任一項之光學 元件保持裝置。 4〇、一種曝光裝置，係透過投影光學系統，將光罩上 形成之圖案像轉印到基板上，其特徵在於； 前述投影光學系統，具有用以收容複數個光學元件之 鏡筒； 前述鏡筒，具備用以保持前述複數個光學元件中至少 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 、1T: 線 521317 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 一個元件之申請專利範圍第35〜38項中任一項之光學元件 保持裝置。 41、如申請專利範圍第40項之曝光裝置，其中，前 述光學元件保持裝置具有用以控制前述驅動機構的控制機 構，以檢測前述保持部與固定部間之距離，根據該檢測結 果及前述投影光學系統之像面側所形成之前述圖案像中所 含之像差資訊，來調整前述保持部與前述固定部間之距離 2_ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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