JP2008309903A - 光学素子保持構造、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】外力に起因する光学素子の偏心移動を低減させ、収差変化が小さく、高い解像力が得られる光学素子保持構造の実現。
【解決手段】光学素子保持構造は、光学素子を保持する第1の保持部材と、前記第1の保持部材の外径側に位置し前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、前記第2の保持部材の外径側に位置し前記第2の保持部材を保持する第3の保持部材と、前記第1の保持部材と前記第2の保持部材の径方向の間に位置し、径方向に弾性変形が可能な複数の第1の弾性部材と、前記第2の保持部材と前記第3の保持部材の径方向の間に位置し、径方向に弾性変形が可能な複数の第2の弾性部材と、を備え、前記第1の弾性部材及び前記第2の弾性部材を前記光学素子の光軸を中心とする円周方向に配置し、前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材の前記光学素子の光軸を中心とする円周方向の位相を互いにずらして配置している。
【選択図】図1
【解決手段】光学素子保持構造は、光学素子を保持する第1の保持部材と、前記第1の保持部材の外径側に位置し前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、前記第2の保持部材の外径側に位置し前記第2の保持部材を保持する第3の保持部材と、前記第1の保持部材と前記第2の保持部材の径方向の間に位置し、径方向に弾性変形が可能な複数の第1の弾性部材と、前記第2の保持部材と前記第3の保持部材の径方向の間に位置し、径方向に弾性変形が可能な複数の第2の弾性部材と、を備え、前記第1の弾性部材及び前記第2の弾性部材を前記光学素子の光軸を中心とする円周方向に配置し、前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材の前記光学素子の光軸を中心とする円周方向の位相を互いにずらして配置している。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学素子保持構造、露光装置及びデバイス製造方法に関する。
露光装置は、原版(レチクル)に形成された回路パターンを基板(シリコンウエハ)に露光し転写する装置である。転写する際には、レチクルのパターンをウエハ上に結像させるために光学系が用いられるが、高集積な回路を作成するために、光学系には高い解像力が要求される。そのために、露光装置用の光学系は、光学収差を小さく抑える必要がある。このようなことから、露光装置用の光学系においては、光学系を構成するレンズ、ミラー等の光学素子の材質や膜に関する諸特性の均一性や、光学素子の光学面形状の加工精度、組立精度が必要である。光学系に用いられる光学素子を保持する保持部材は、金属等で形成されるのが一般的であり、光学素子と異なる材質のものが使用される。
図6は、従来の露光装置用の光学素子保持構造を中心から半分を示したものである。
図6において、複数のレンズ101,102がそれぞれ,リング状の第1の保持部材103,104に保持されている。更に、この保持部材103,104が筒状の第2の保持部材105の中に組み付けられて、上部から押さえネジ環106,107によって押圧固定されている。
しかし、上記光学素子保持構造では、環境温度等の変化があると、光学素子や構成部品がそれぞれ温度によって形状変化するために、収差が変化することがある。特に、短波長の光源を用いる露光装置では、光学素子に石英や螢石のガラスを用いるが、これらの光学素子の材質とそれを保持する部材の材質では、熱膨張係数が異なる。そのため、それぞれが他から影響を受けることなく、自由に膨張、収縮することができず、結果的に環境温度等によって光学素子の光学面形状が大きく変化することとなる。このような温度に起因する変形が、光学系の収差に大きな影響を与える原因となっていた。
また、通常は複数の第2の保持部材105が軸方向に重ねて配置されるが、重ねて結合する際や、他の要因で外力を受けると、光学素子を保持する第1の保持部材103,104が押さえネジ環106,107等から外力を受ける。これにより光学素子の光学面形状が変化し、光学系の性能を劣化させる要因ともなっている。
これに対して、特許文献1では、環境温度変化や外力等により生じる光学素子の光学面形状の変化を低減させる光学素子保持構造が記載されている。
図7は、特許文献1を適用した光学素子保持構造を概念的に示したものである。
図7において、111は光学素子の1つであるレンズ、112はレンズ111を保持する第1の保持部材であり、レンズ111の材質と略同じ熱膨張係数を有する材質で構成されている。レンズ111は第1の保持部材112に対して接着により固定されている。
113は、レンズ111を同軸上に保持するための第2の保持部材であり、第1の保持部材112とは熱膨張係数の異なる材質で構成されている。第1の保持部材112の周辺部分は、複数箇所切り欠かれ、この部分に板状のばねを構成する弾性部材114が設けられている。この弾性部材114は、両端部が第1の保持部材112に結合され、中央部が第2の保持部材113に結合されている。このような保持構造によって、弾性部材114は光学素子に対し、径方向に低い弾性を有する構造となっている。
このような光学素子保持構造において、環境温度が変化すると、第1の保持部材112と第2の保持部材113とは熱膨張係数が異なるので、異なる膨張或いは収縮を起こすことになる。ここで、弾性部材114の板状のばねが曲げ変形することによって、熱膨張差を吸収し、第1の保持部材112が略自由に単純膨張或いは単純収縮となる変形を起こすことができる。
また、レンズ111と、その周囲の第1の保持部材112とはそれぞれ、略同じ熱膨張率であるから、レンズ111が単純膨張或いは単純収縮に近い形状変化となり、光学性能に有害な面形状の変化を抑えることができる。
また、第1の保持部材112は第2の保持部材113とは軸方向及び径方向において直接的には非接触であり、両者共、弾性部材114を介して保持される。このことは、第2の保持部材113への外力や自重による変形を、直接的に第1の保持部材112へは伝えず、第1の保持部材112の変形によるレンズ111の面形状の変化を抑える効果を生み出している。
特開2001−343576号公報
しかしながら、上記特許文献1の光学素子保持構造では、第2の保持部材113が外径側より半径方向に押されて変形を受けたとき、光学素子111を保持する第1の保持部材112が偏心移動するという問題がある。
図8は、特許文献1の光学素子保持構造を光学素子の光軸方向より見た状態を示している。
図8において、111〜114は図7と同一の部材を示している。弾性部材114については、円周上に3ヶ所120°間隔に配置されているとし、図中右上の部材より反時計回りに114a,114b,114cとする。また、図8のように、光学素子111の光軸上の任意の点を原点とし、光軸をz軸とした直交座標系x−y−zと、x軸をθ=0とした円筒座標系r−θ−zを設定する。更に、弾性部材114の弾性定数のr−θ−z座標系に関する成分を(Kr、Kθ,Kz)とし、3ヶ所の弾性部材114a,114b,114cの弾性定数は同じとする。
ここで、図8の光学素子保持構造において、第2の保持部材113が、外力等の作用で、図示の破線のようにy方向に押しつぶされたような楕円形状に変形した場合を考える。
各弾性部材114a,114b,114cの弾性定数のy方向の成分をKyとすると、114cはKy=Krであり、114a及び114bは共に、次式のようになる。
Ky=Kr・sin30°+Kθ・cos30°=(1/2)Kr+(√3/2)Kθ)
図8のx軸に対して、y軸のプラス側にある弾性部材114a,114bの弾性定数のy方向成分を合計すると、Kr+√3Kθとなり、y軸のマイナス側にある弾性部材114cの弾性定数のy方向成分Krよりも大きい。特に、この光学素子保持構造では、前述のように、半径方向に低い弾性を有するような構造になっている、即ち、Kr<Kθとなるように構成されているので、y軸のプラス側とマイナス側の弾性部材114の弾性定数のy方向成分の差は大きい。従って、第2の保持部材113の変形により、弾性部材114は変形するが、第2の保持部材113の変形に起因する弾性部材の変形のy方向成分は、114a及び114bよりも114cの方が大きくなる。それにより、弾性部材114に結合された第1の保持部材112は、第2の保持部材113に対してy軸のマイナス方向に偏心移動する。それに伴って、第1の保持部材112に保持された光学素子111も偏心移動する。
図8のx軸に対して、y軸のプラス側にある弾性部材114a,114bの弾性定数のy方向成分を合計すると、Kr+√3Kθとなり、y軸のマイナス側にある弾性部材114cの弾性定数のy方向成分Krよりも大きい。特に、この光学素子保持構造では、前述のように、半径方向に低い弾性を有するような構造になっている、即ち、Kr<Kθとなるように構成されているので、y軸のプラス側とマイナス側の弾性部材114の弾性定数のy方向成分の差は大きい。従って、第2の保持部材113の変形により、弾性部材114は変形するが、第2の保持部材113の変形に起因する弾性部材の変形のy方向成分は、114a及び114bよりも114cの方が大きくなる。それにより、弾性部材114に結合された第1の保持部材112は、第2の保持部材113に対してy軸のマイナス方向に偏心移動する。それに伴って、第1の保持部材112に保持された光学素子111も偏心移動する。
以上のように、特許文献1の光学素子保持構造において、第2の保持部材113が外径側より半径方向に押されて変形を受けると、光学素子111が偏心移動し、該光学素子保持構造を含む光学系の光学性能が劣化するという問題が生じる。
本発明は、上記課題に鑑みてなされ、その目的は、外力に起因する光学素子の偏心移動を低減し、収差変化が小さく、高い解像力が得られる光学素子保持構造を実現することである。
上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明の光学素子保持構造は、光学素子を保持する第1の保持部材と、前記第1の保持部材の外径側に位置し前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、前記第2の保持部材の外径側に位置し前記第2の保持部材を保持する第3の保持部材と、前記第1の保持部材と前記第2の保持部材の径方向の間に位置し、内径側が前記第1の保持部材と結合し、外径側が前記第2の保持部材と結合し、径方向に弾性変形が可能な複数の第1の弾性部材と、前記第2の保持部材と前記第3の保持部材の径方向の間に位置し、内径側が前記第2の保持部材と結合し、外径側が前記第3の保持部材と結合し、径方向に弾性変形が可能な複数の第2の弾性部材と、を備え、前記第1の弾性部材及び前記第2の弾性部材を前記光学素子の光軸を中心とする円周方向に配置し、前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材の前記光学素子の光軸を中心とする円周方向の位相を互いにずらして配置している。
また、本発明の露光装置は、原版のパターンを照明する照明光学系と、前記原版からの光を前記基板に導き露光する投影光学系とを有する露光装置であって、前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくともいずれかは、上記光学素子保持構造を用いて光学素子が保持されている。
また、本発明のデバイス製造方法は、上記露光装置を用いて基板を露光するステップと、露光された前記基板を現像するステップと、を有する。
本発明によれば、外力に起因する光学素子の偏心移動を低減し、収差変化が小さく、高い解像力が得られる光学素子保持構造を実現できる。
以下に、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
尚、以下に説明する実施の形態は、本発明を実現するための一例であり、本発明が適用される装置の構成や各種条件によって適宜修正又は変更されるべきものであり、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
図1は、本発明に係る実施形態の光学素子保持構造を示す図であり、光学素子の中心より半分を示したものである。
図1において、1はレンズあるいはミラー等の光学素子であり、2は光学素子1を保持する第1の保持部材である。光学素子1は第1の保持部材2に接着により固定されている。3は第1の保持部材2の外周側に配置されたリング状の第2の保持部材であり、4は第2の保持部材3の外周側に配置されたリング状の第3の保持部材である。
第1の保持部材2の周辺部分は、複数箇所切り欠かれ、この部分に板状のばねを構成する弾性変形可能な第1の弾性部材5が設けられている。この第1の弾性部材5は、板の両端にて第1の保持部材2に結合され、中央部にて第2の保持部材3に結合されている。
図2は、図1に示す光学素子保持構造の一部であり、第1の保持部材2に第1の弾性部材5を取り付けた状態を示している。
図2に示すように、第1の弾性部材5は略等しい角度ピッチで第1の保持部材2の周囲に複数個設けられており、その内径側の両側5aにて第1の保持部材2とはネジ結合される。また、第1の弾性部材5はその外径側の中央位置5bにて第2の保持部材3とネジ結合されている。
第2の保持部材3の周辺部分は、複数箇所が切り欠かれ、この部分に板状のばねを構成する弾性変形可能な第2の弾性部材6が設けられている。この第2の弾性部材6は、板の両端にて第2の保持部材3に結合され、中央部にて第3の保持部材4に結合されている。
図3は、第2の保持部材3に第2の弾性部材6が取り付く位置を示している。
図3に示すように、第2の弾性部材6は略等しい角度ピッチで第2の保持部材3の周囲に複数個設けられており、その内径側の両側6aにて第2の保持部材3とはネジ結合される。また、第2の弾性部材6はその外径側の中央位置6bにて第3の保持部材4とネジ結合されている。
尚、第1の弾性部材5と第2の弾性部材6は同数であり、光学素子1の光軸中心に対して円周方向に第1の弾性部材5と第2の弾性部材6が交互に略等間隔で配置されている。
上述した光学素子保持構造において、第3の保持部材4が外径側より半径方向に押されて変形を受けた場合を想定する。
図4は、本実施形態の光学素子保持構造を光学素子1の光軸側より見た状態を示した図である。
図4において、第1の弾性部材5と第2の弾性部材6は共に、円周上に3箇所に略120°間隔で配置されているものとし、第1の弾性部材5と第2の弾性部材6はそれぞれ、光軸を中心として円周方向に位相が略60°の間隔でずれて配置されいるものとする。また、光学素子1の光軸上の任意の点を原点とし、光軸をz軸とした直交座標系x-y-zを設定する。
図4において、第3の保持部材4が、外力等の作用で、図中の破線のようにy方向に押しつぶされたような楕円形状の変形をした場合、第3の保持部材4が変形すると、第2の弾性部材6が変形する。このとき、特許文献1の光学素子保持構造と同様に、図4のx軸に対して、y軸のマイナス側にある第2の弾性部材6の弾性定数のy方向成分の合計が、y軸のプラス側にある第2の弾性部材6の弾性定数のy方向成分よりも大きい。そのため、y軸のプラス側にある第2の弾性部材6の変形のy方向成分が、y軸のマイナス側にある第2の弾性部材6の変形のy方向成分よりも大きくなる。よって、第2の弾性部材6と連結された第2の保持部材3は、第3の保持部材4に対して、y軸のプラス方向に偏心移動する。
次に、第2の保持部材3は、第2の弾性部材6の変形のy方向成分の差によって偏心移動すると共に、第2の弾性部材6よりy方向に押しつぶされる力を受ける。第2の保持部材3は中空のリング状をしており、内径側に光学素子1を保持した第1の保持部材2と比較してx,y方向の剛性が低い。従って、第2の保持部材3は、第2の弾性部材6からの力により、y方向に押しつぶされたような形状に変形する。
第2の保持部材3が変形すると、第1の弾性部材5が変形する。このとき、前述の特許文献1の光学素子保持構造と同様に、図4のx軸に対して、y軸のプラス側にある第1の弾性部材5の弾性定数のy方向成分の合計が、y軸のマイナス側にある第1の弾性部材5の弾性定数のy方向成分よりも大きい。そのため、y軸のマイナス側にある第1の弾性部材5の変形のy方向成分が、y軸のプラス側にある第1の弾性部材5の変形のy方向成分よりも大きくなる。よって、第1の弾性部材5と連結された第1の保持部材2は、第2の保持部材3に対して、y軸のマイナス方向に偏心移動する。
こうして、第3の保持部材4がy方向に押されて変形を受けると、第2の保持部材3は第3の保持部材4に対してy軸のプラス方向に偏心移動し、第1の保持部材2は第2の保持部材3に対してy軸のマイナス方向に偏心移動することになる。第2の保持部材3の移動方向と第1の保持部材2の移動方向は逆向きであるので、互いに相殺するように作用し、第1の保持部材2が第3の保持部材4に対して偏心移動する量は、特許文献1の光学素子保持構造よりも小さくなる。更に、第1の保持部材2に保持された光学素子1の偏心移動量も低減される。
以上のように、本実施形態の光学素子保持構造によると、第3の保持部材4が半径方向の変形を受けた場合に起こる光学素子1の偏心移動を低減することができる。
更に、本実施形態の光学素子保持構造により光学素子が保持された光学系が半径方向の変形を受けたとき、光学素子が偏心移動することによる光学性能の劣化の起こり難い光学系を得ることができる。
[露光装置]
図5は、本発明に係る実施形態の光学素子保持構造を適用した露光装置を模式的に示す図である。
図5は、本発明に係る実施形態の光学素子保持構造を適用した露光装置を模式的に示す図である。
図5において、レチクルステージ51に搭載されたレチクル50に照明光学系54から露光用の照明光が照射される。レチクル50のパターンは、露光装置のフレーム56に搭載されている投影光学系52によって、ウエハステージ53に搭載されたウエハ55上に投影され、ウエハ55上の感光剤に転写する。高精度の半導体製品を得るには、投影光学系52には、高い解像性能が必要である。
従って、投影光学系52の光学素子を本実施形態の光学素子保持構造により保持することで、投影光学系52がフレーム56からの外力等により変形した場合であっても、光学素子の偏心移動による光学性能の劣化が起こり難く、高性能な露光装置となる。
尚、上記投影光学系の他、照明光学系にも適用できることは言うまでもない。
外力による変形に起因する光学素子の偏心移動による光学性能の劣化の起こり難く、高性能な露光装置を実現することができ、高品質な半導体デバイスの製造が可能となる。
[デバイス製造方法]
次に、本実施形態の露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスについて説明する。
次に、本実施形態の露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスについて説明する。
図9は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップS1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(レチクル作製)では設計した回路パターンに基づいてレチクルを作製する。一方、ステップS3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップS4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記のマスクとウエハを用いて、上述の露光装置によりリソグラフィー技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップS5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップS4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップS6(検査)ではステップS5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップS7でこれを出荷する。
上記ステップS4のウエハプロセスは以下のステップを有する。すなわち、ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を成膜するCVDステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップを有する。また、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によってレジスト処理ステップ後のウエハに潜像パターンを形成する露光ステップ、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップを有する。更に、現像ステップで現像した潜像パターン以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップを有する。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
1 光学素子
2 第1の保持部材
3 第2の保持部材
4 第3の保持部材
5 第1の弾性部材
6 第2の弾性部材
50 レチクル
51 レチクルステージ
52 投影光学系
53 ウエハステージ
54 照明光学系
55 ウエハ
56 露光装置のフレーム
2 第1の保持部材
3 第2の保持部材
4 第3の保持部材
5 第1の弾性部材
6 第2の弾性部材
50 レチクル
51 レチクルステージ
52 投影光学系
53 ウエハステージ
54 照明光学系
55 ウエハ
56 露光装置のフレーム
Claims (7)
- 光学素子を保持する第1の保持部材と、前記第1の保持部材の外径側に位置し前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、前記第2の保持部材の外径側に位置し前記第2の保持部材を保持する第3の保持部材と、前記第1の保持部材と前記第2の保持部材の径方向の間に位置し、内径側が前記第1の保持部材と結合し、外径側が前記第2の保持部材と結合し、径方向に弾性変形が可能な複数の第1の弾性部材と、前記第2の保持部材と前記第3の保持部材の径方向の間に位置し、内径側が前記第2の保持部材と結合し、外径側が前記第3の保持部材と結合し、径方向に弾性変形が可能な複数の第2の弾性部材と、を備え、
前記第1の弾性部材及び前記第2の弾性部材を前記光学素子の光軸を中心とする円周方向に配置し、前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材の前記光学素子の光軸を中心とする円周方向の位相を互いにずらして配置していることを特徴とする光学素子保持構造。 - 前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材が同じ数だけ設けられ、前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材が、前記光学素子の光軸を中心とする円周方向に交互に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学素子保持構造。
- 前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材の少なくともいずれかが、前記光学素子の光軸を中心とする円周方向に等間隔で配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光学素子保持構造。
- 前記第1の弾性部材及び前記第2の弾性部材のいずれもが、前記光学素子の光軸を中心とする円周方向に等間隔で配置されていることを特徴とする請求項2に記載の光学素子保持構造。
- 前記第2の弾性部材が、隣り合う2つの前記第1の弾性部材の間の中央に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の光学素子保持構造。
- 原版のパターンを照明する照明光学系と、前記原版からの光を前記基板に導き露光する投影光学系とを有する露光装置であって、
前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくともいずれかは、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光学素子保持構造を用いて光学素子が保持されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (4)
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