JP2003307660A - 光学素子保持装置およびそれを用いた露光装置 - Google Patents
光学素子保持装置およびそれを用いた露光装置Info
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- JP2003307660A JP2003307660A JP2002114453A JP2002114453A JP2003307660A JP 2003307660 A JP2003307660 A JP 2003307660A JP 2002114453 A JP2002114453 A JP 2002114453A JP 2002114453 A JP2002114453 A JP 2002114453A JP 2003307660 A JP2003307660 A JP 2003307660A
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】振動や温度変化等の外乱に強い光学素子保持装
置およびそれを用いた露光装置を提供する。 【解決手段】光学素子を保持する第１の保持部材と、該
第１の保持部材を保持する第２の保持部材を用いて該光
学素子を所定の位置に保持する光学素子保持装置におい
て、前記第１の保持部材は前記第２の保持部材に接着保
持されるように構成する。
置およびそれを用いた露光装置を提供する。 【解決手段】光学素子を保持する第１の保持部材と、該
第１の保持部材を保持する第２の保持部材を用いて該光
学素子を所定の位置に保持する光学素子保持装置におい
て、前記第１の保持部材は前記第２の保持部材に接着保
持されるように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光学素子保持装置お
よびそれを備えた半導体の製造等に用いられる露光装置
に関するものである。
よびそれを備えた半導体の製造等に用いられる露光装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】極微細パターンから形成される半導体素
子の製造工程において、マスクに描かれた回路パターン
を、感光剤が塗布された基板上に縮小投影して焼き付け
形成する縮小投影露光装置が用いられている。パターン
のより一層の微細化を図るため、レジストプロセスの発
展と同時に露光装置への微細化対応が進められてきてい
る。また、露光装置の解像力を向上するため、投影光学
系の精度向上が必要であり、それを構成する複数のレン
ズの高精度化とともに、これら複数のレンズを所定の位
置に高精度に位置決めすることが要求される。
子の製造工程において、マスクに描かれた回路パターン
を、感光剤が塗布された基板上に縮小投影して焼き付け
形成する縮小投影露光装置が用いられている。パターン
のより一層の微細化を図るため、レジストプロセスの発
展と同時に露光装置への微細化対応が進められてきてい
る。また、露光装置の解像力を向上するため、投影光学
系の精度向上が必要であり、それを構成する複数のレン
ズの高精度化とともに、これら複数のレンズを所定の位
置に高精度に位置決めすることが要求される。
【０００３】露光装置に搭載される高精度の光学系を構
成するための光学素子の位置決めは、特開２００１−１
２４９６８号公報に開示されているように、セル構造に
よる組み立て方式が採用されている。以下、セル構造に
よる投影光学系について図７を用いて説明する。図７に
おいて、１０２は、屈折式投影光学系を構成するレンズ
１０１を保持するリング状の保持部材（以下、セルとい
う）であり、真鍮やアルミニウムなどの快削性の材料、
またはセラミックスに快削性の材料を接合した部材によ
り構成されている。１０５は複数のセル１０２を鏡筒１
０４の下部に設けられた突出部１０４ａに突き当てて固
定するための押さえ環である。
成するための光学素子の位置決めは、特開２００１−１
２４９６８号公報に開示されているように、セル構造に
よる組み立て方式が採用されている。以下、セル構造に
よる投影光学系について図７を用いて説明する。図７に
おいて、１０２は、屈折式投影光学系を構成するレンズ
１０１を保持するリング状の保持部材（以下、セルとい
う）であり、真鍮やアルミニウムなどの快削性の材料、
またはセラミックスに快削性の材料を接合した部材によ
り構成されている。１０５は複数のセル１０２を鏡筒１
０４の下部に設けられた突出部１０４ａに突き当てて固
定するための押さえ環である。
【０００４】レンズ１０１とセル１０２は、レンズ１０
１の光軸１０６とセル１０２の外径が所定の同軸度にな
るように固定されており、また、複数のセル１０２を内
部に固定する鏡筒１０４の内径は、各セル１０２を光軸
１０６に対して所望の同軸度で配列させることができる
ように、所定の円筒度で加工されており、複数のセル１
０２はレンズ１０１の間隔が所望の精度となるように高
さが決められたスペーサー１０３を挟んで積み重ねられ
ている。このように、投影光学系を構成する複数のレン
ズ１０１は、互いに所望の間隔と同軸度を保った状態で
鏡筒１０４内に位置決め・保持されている。
１の光軸１０６とセル１０２の外径が所定の同軸度にな
るように固定されており、また、複数のセル１０２を内
部に固定する鏡筒１０４の内径は、各セル１０２を光軸
１０６に対して所望の同軸度で配列させることができる
ように、所定の円筒度で加工されており、複数のセル１
０２はレンズ１０１の間隔が所望の精度となるように高
さが決められたスペーサー１０３を挟んで積み重ねられ
ている。このように、投影光学系を構成する複数のレン
ズ１０１は、互いに所望の間隔と同軸度を保った状態で
鏡筒１０４内に位置決め・保持されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述したような従来技
術においては、レンズを保持するセルは、鏡筒内に位置
決め固定されるため、鏡筒との嵌合部に生じる締め付け
力や、押さえ環による押し付け力により外力を受ける。
この外力によってレンズとセルとの接触部は微小な弾性
変形を起こし、レンズ面精度が損なわれるため、光学性
能が悪化する可能性がある。
術においては、レンズを保持するセルは、鏡筒内に位置
決め固定されるため、鏡筒との嵌合部に生じる締め付け
力や、押さえ環による押し付け力により外力を受ける。
この外力によってレンズとセルとの接触部は微小な弾性
変形を起こし、レンズ面精度が損なわれるため、光学性
能が悪化する可能性がある。
【０００６】従って、レンズ面精度を損なわず、高精度
の光学性能を満足するためには、セル外径と鏡筒内径と
の嵌合部は極小のすき間嵌めであることが望ましく、押
さえ環による押し付け力も必要最低限であることが望ま
しい。しかし、セル外径と鏡筒内径との嵌合部のすき間
を完全に０または極小にすることは部品加工上困難であ
る。図８に示すように、従来の方法では嵌合部の微小す
き間Δｄが発生する。また、押さえ環による締め付け力
を小さくすると、セルを鏡筒に位置決め固定した後にΔ
ｄに相当する位置ずれを生ずる可能性がある。
の光学性能を満足するためには、セル外径と鏡筒内径と
の嵌合部は極小のすき間嵌めであることが望ましく、押
さえ環による押し付け力も必要最低限であることが望ま
しい。しかし、セル外径と鏡筒内径との嵌合部のすき間
を完全に０または極小にすることは部品加工上困難であ
る。図８に示すように、従来の方法では嵌合部の微小す
き間Δｄが発生する。また、押さえ環による締め付け力
を小さくすると、セルを鏡筒に位置決め固定した後にΔ
ｄに相当する位置ずれを生ずる可能性がある。
【０００７】近年、露光装置の解像力向上のため、露光
装置に搭載される投影光学系の結像性能向上が求められ
る。そのため、投影光学系を構成する複数のレンズは高
精度の加工が施され、これらのレンズは各々の面形状の
組み合わせや、レンズ同士の間隔の調整や、各々の光軸
の合わせ込み調整作業を経て、所望の投影光学系性能を
得ている。
装置に搭載される投影光学系の結像性能向上が求められ
る。そのため、投影光学系を構成する複数のレンズは高
精度の加工が施され、これらのレンズは各々の面形状の
組み合わせや、レンズ同士の間隔の調整や、各々の光軸
の合わせ込み調整作業を経て、所望の投影光学系性能を
得ている。
【０００８】通常、投影光学系は１つのユニットとして
製造・検査され、露光装置に搭載される。完成した露光
装置は、工場より出荷され、ユーザ先に搬送・設置され
る。本来、投影光学系が製造・検査された性能をそのま
ま露光装置上で再現され、ユーザ先でも性能保証されて
いなければならない。しかし、上記の如く、高精度の組
み立て・調整作業を経て得られた光学性能はデリケート
で振動や温度変化等の外乱に対し、変化しやすい側面を
併せ持ちやすい。
製造・検査され、露光装置に搭載される。完成した露光
装置は、工場より出荷され、ユーザ先に搬送・設置され
る。本来、投影光学系が製造・検査された性能をそのま
ま露光装置上で再現され、ユーザ先でも性能保証されて
いなければならない。しかし、上記の如く、高精度の組
み立て・調整作業を経て得られた光学性能はデリケート
で振動や温度変化等の外乱に対し、変化しやすい側面を
併せ持ちやすい。
【０００９】露光装置は、工場より出荷されユーザ先に
設置されるまでの間、輸送による衝撃や温度変化の影響
を受けることが避けられない。まれに、想定した輸送環
境を超える外乱が生じることも予想され、初期の光学性
能が損なわれる可能性がある。
設置されるまでの間、輸送による衝撃や温度変化の影響
を受けることが避けられない。まれに、想定した輸送環
境を超える外乱が生じることも予想され、初期の光学性
能が損なわれる可能性がある。
【００１０】輸送等によって生じた光学性能の変化は、
光学性能補正のための調整手段により、ユーザ先にて再
調整を行うことが可能であるが、ユーザ先での設置日程
を延ばしてしまうという問題がある。従って、輸送時等
の外乱に対して、より強い投影光学系が求められる。
光学性能補正のための調整手段により、ユーザ先にて再
調整を行うことが可能であるが、ユーザ先での設置日程
を延ばしてしまうという問題がある。従って、輸送時等
の外乱に対して、より強い投影光学系が求められる。
【００１１】そこで、本発明は、上記課題を解決し、振
動や温度変化等の外乱に強い光学素子保持装置およびそ
れを用いた露光装置を提供することを目的とするもので
ある。
動や温度変化等の外乱に強い光学素子保持装置およびそ
れを用いた露光装置を提供することを目的とするもので
ある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するため、つぎの（１）〜（９）のように構成した光
学素子保持装置およびそれを用いた露光装置を提供する
ものである。 （１）光学素子を保持する第１の保持部材と、該第１の
保持部材を保持する第２の保持部材を用いて該光学素子
を所定の位置に保持する光学素子保持装置において、前
記第１の保持部材は前記第２の保持部材に接着保持され
ることを特徴とする光学素子保持装置。 （２）前記第１の保持部材は、前記光学素子の外周部を
保持して位置決めすることを特徴とする上記（１）に記
載の光学素子保持装置。 （３）前記第１の保持部材は、前記光学素子の外周部を
接着により保持して位置決めすることを特徴とする上記
（１）または上記（２）に記載の光学素子保持装置。 （４）前記第１の保持部材は、前記第２の保持部材に嵌
合により位置決めされていることを特徴とする上記
（１）〜（３）のいずれかに記載の光学素子保持装置。 （５）前記第１の保持部材は、前記第２の保持部材にね
じ環または板ばねにより保持されていることを特徴とす
る上記（４）に記載の光学素子保持装置。 （６）前記第１の保持部材と前記第２の保持部材との接
着は、前記第１の保持部材の外周部全周において行われ
ることを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記
載の光学素子保持装置。 （７）前記第１の保持部材と前記第２の保持部材との接
着は、前記第１の保持部材の外周部のいずれか１箇所ま
たは複数箇所において行われることを特徴とする上記
（１）〜（５）のいずれかに記載の光学素子保持装置。 （８）前記光学素子は、レンズまたはミラーであること
を特徴とする上記（１）〜（７）のいずれかに記載の光
学素子保持装置。 （９）上記（１）〜（８）のいずれかに記載の光学素子
保持装置を備えたことを特徴とする露光装置。
成するため、つぎの（１）〜（９）のように構成した光
学素子保持装置およびそれを用いた露光装置を提供する
ものである。 （１）光学素子を保持する第１の保持部材と、該第１の
保持部材を保持する第２の保持部材を用いて該光学素子
を所定の位置に保持する光学素子保持装置において、前
記第１の保持部材は前記第２の保持部材に接着保持され
ることを特徴とする光学素子保持装置。 （２）前記第１の保持部材は、前記光学素子の外周部を
保持して位置決めすることを特徴とする上記（１）に記
載の光学素子保持装置。 （３）前記第１の保持部材は、前記光学素子の外周部を
接着により保持して位置決めすることを特徴とする上記
（１）または上記（２）に記載の光学素子保持装置。 （４）前記第１の保持部材は、前記第２の保持部材に嵌
合により位置決めされていることを特徴とする上記
（１）〜（３）のいずれかに記載の光学素子保持装置。 （５）前記第１の保持部材は、前記第２の保持部材にね
じ環または板ばねにより保持されていることを特徴とす
る上記（４）に記載の光学素子保持装置。 （６）前記第１の保持部材と前記第２の保持部材との接
着は、前記第１の保持部材の外周部全周において行われ
ることを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記
載の光学素子保持装置。 （７）前記第１の保持部材と前記第２の保持部材との接
着は、前記第１の保持部材の外周部のいずれか１箇所ま
たは複数箇所において行われることを特徴とする上記
（１）〜（５）のいずれかに記載の光学素子保持装置。 （８）前記光学素子は、レンズまたはミラーであること
を特徴とする上記（１）〜（７）のいずれかに記載の光
学素子保持装置。 （９）上記（１）〜（８）のいずれかに記載の光学素子
保持装置を備えたことを特徴とする露光装置。
【００１３】
【発明の実施の形態】上記構成を適用することにより、
鏡筒とセルとの微小すき間の中で、光学素子が移動する
ことを防止し、振動や温度変化等の外乱に対し強く高精
度な光学性能を保証することのできる光学素子保持装置
およびそれを備えた露光装置を実現することができる。
鏡筒とセルとの微小すき間の中で、光学素子が移動する
ことを防止し、振動や温度変化等の外乱に対し強く高精
度な光学性能を保証することのできる光学素子保持装置
およびそれを備えた露光装置を実現することができる。
【００１４】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
［実施例１］図１は、本発明の実施例１における露光装
置の概略図である。同図において、５１は原版となるパ
ターンが描かれたレチクルであり、レチクルチャック５
５により保持されている。５３は感光剤が塗布された半
導体ウエハであり、ウエハチャック５６を介して、精密
な位置決め性能を有するウエハステージ５７上に支持さ
れている。５２は投影光学系であり、照明光学系５４か
らの露光光で照明されたレチクル５１面上のパターンを
所定倍率（例えば１／４または１／５）でウエハ面上に
投影露光する。
置の概略図である。同図において、５１は原版となるパ
ターンが描かれたレチクルであり、レチクルチャック５
５により保持されている。５３は感光剤が塗布された半
導体ウエハであり、ウエハチャック５６を介して、精密
な位置決め性能を有するウエハステージ５７上に支持さ
れている。５２は投影光学系であり、照明光学系５４か
らの露光光で照明されたレチクル５１面上のパターンを
所定倍率（例えば１／４または１／５）でウエハ面上に
投影露光する。
【００１５】図２および図３を用いて、本発明の第１の
実施例について説明する。図２は上記投影光学系を構成
する、光学素子保持装置の概略である。図２において、
従来例と同様に、２は、屈折式投影光学系を構成するレ
ンズ１を保持するリング状の保持部材（以下、セルとい
う）であり、真鍮やアルミニウムなどの快削性の材料、
またはセラミックスに快削性の材料を接合した部材によ
り構成されている。５は複数のセル２を鏡筒４の下部に
設けられた突出部４ａに突き当てて固定するための押さ
え環である。
実施例について説明する。図２は上記投影光学系を構成
する、光学素子保持装置の概略である。図２において、
従来例と同様に、２は、屈折式投影光学系を構成するレ
ンズ１を保持するリング状の保持部材（以下、セルとい
う）であり、真鍮やアルミニウムなどの快削性の材料、
またはセラミックスに快削性の材料を接合した部材によ
り構成されている。５は複数のセル２を鏡筒４の下部に
設けられた突出部４ａに突き当てて固定するための押さ
え環である。
【００１６】レンズ１とセル２は、レンズ１の光軸とセ
ル２の外径が所定の同軸度になるように接着やかしめな
どにより固定されており、また、複数のセル２を内部に
固定する鏡筒４の内径は、各セル２を光軸６に対して所
望の同軸度で配列させることができるように、所定の円
筒度で加工されており、複数のセル２はレンズ１の間隔
が所望の精度となるように高さが決められたスペーサー
３を挟んで積み重ねられている。このように、投影光学
系を構成する複数のレンズ１は、互いに所望の間隔と同
軸度を保った状態で鏡筒４内に位置決め・保持される。
ル２の外径が所定の同軸度になるように接着やかしめな
どにより固定されており、また、複数のセル２を内部に
固定する鏡筒４の内径は、各セル２を光軸６に対して所
望の同軸度で配列させることができるように、所定の円
筒度で加工されており、複数のセル２はレンズ１の間隔
が所望の精度となるように高さが決められたスペーサー
３を挟んで積み重ねられている。このように、投影光学
系を構成する複数のレンズ１は、互いに所望の間隔と同
軸度を保った状態で鏡筒４内に位置決め・保持される。
【００１７】図３は、セルが鏡筒に位置決め固定される
部分の詳細図である。鏡筒４には、接着剤充填穴２２が
開けられ、この充填穴を使用して、微小すき間Δｄ（２
〜３μｍ程度）の部分に接着剤２１を充填する。２３は
接着剤が不要な場所、例えば鏡筒４の下部に設けられた
突出部４ａやスペーサー３とセルとの接触面に接着剤が
回り込むことを防止するための、逃げ溝である。
部分の詳細図である。鏡筒４には、接着剤充填穴２２が
開けられ、この充填穴を使用して、微小すき間Δｄ（２
〜３μｍ程度）の部分に接着剤２１を充填する。２３は
接着剤が不要な場所、例えば鏡筒４の下部に設けられた
突出部４ａやスペーサー３とセルとの接触面に接着剤が
回り込むことを防止するための、逃げ溝である。
【００１８】鏡筒４とセル２との通常の嵌合状態におい
ては、微小すき間Δｄがいずれの箇所に発生するか特定
できない。この場合には、接着剤充填穴２２を円周方向
になるべく等間隔に複数個（例えば２〜３個）構成し、
接着剤２１をこれら複数の充填穴より充填することが望
ましい。または、鏡筒４に対してセル２を片側に位置決
めすることにより、微小すき間Δｄが片側にしか発生し
ないようにし、充填穴をΔｄの発生する側に１個のみ構
成するようにしても良い。
ては、微小すき間Δｄがいずれの箇所に発生するか特定
できない。この場合には、接着剤充填穴２２を円周方向
になるべく等間隔に複数個（例えば２〜３個）構成し、
接着剤２１をこれら複数の充填穴より充填することが望
ましい。または、鏡筒４に対してセル２を片側に位置決
めすることにより、微小すき間Δｄが片側にしか発生し
ないようにし、充填穴をΔｄの発生する側に１個のみ構
成するようにしても良い。
【００１９】ここで、接着剤２１は硬化によるセルの位
置ずれやセルの変形を考慮して、硬化収縮が小さく、弾
力性が大きいものを用いた方が良い。また、鏡筒に対し
て、セルを分解する必要がある場合においては、接着剤
の保持力が小さいものを使用した方が良い。
置ずれやセルの変形を考慮して、硬化収縮が小さく、弾
力性が大きいものを用いた方が良い。また、鏡筒に対し
て、セルを分解する必要がある場合においては、接着剤
の保持力が小さいものを使用した方が良い。
【００２０】本実施例の構成によれば、光軸６に対して
直交方向のセルの位置ずれを防止できるので、押さえ環
５による押さえ力は光軸方向の位置ずれを防止するのに
必要な力のみで良い。本実施例では、螺旋ねじを用いた
押さえ環により光軸と平行な方向に押さえ力を発生させ
ているが、代わりに板ばね等の弾性変形を利用した押さ
え方法を用いても良い。
直交方向のセルの位置ずれを防止できるので、押さえ環
５による押さえ力は光軸方向の位置ずれを防止するのに
必要な力のみで良い。本実施例では、螺旋ねじを用いた
押さえ環により光軸と平行な方向に押さえ力を発生させ
ているが、代わりに板ばね等の弾性変形を利用した押さ
え方法を用いても良い。
【００２１】また、図２では鏡筒４内に保持されるセル
２すべてに対し接着剤を充填できる構成としているが、
光軸６に対する各レンズの軸ずれが光学性能に及ぼす影
響度（軸ずれ敏感度）に応じて、接着剤を充填するセル
を限定しても良い。本実施例による構成によれば、投影
光学系を構成する空間に対して、接着剤の表面積を極小
にすることができるため、接着剤からの脱ガスによる光
学素子への汚染を防止することができる。
２すべてに対し接着剤を充填できる構成としているが、
光軸６に対する各レンズの軸ずれが光学性能に及ぼす影
響度（軸ずれ敏感度）に応じて、接着剤を充填するセル
を限定しても良い。本実施例による構成によれば、投影
光学系を構成する空間に対して、接着剤の表面積を極小
にすることができるため、接着剤からの脱ガスによる光
学素子への汚染を防止することができる。
【００２２】［実施例２］次に、本発明の実施例２につ
いて、図２および図４を用いて説明する。本実施例の基
本構成は実施例１と同様であり、セルが鏡筒に位置決め
固定される部分の形態のみ異なる。図４は、セルが鏡筒
に位置決め固定される部分の詳細図である。鏡筒４に
は、接着剤充填穴２２が開けられ、さらに鏡筒４の内径
側に接着剤充填溝２４が鏡筒全周に渡って設けられてい
る。この充填穴を使用して、充填溝の部分に接着剤２１
を充填する。接着剤の充填は、充填溝に対して全周に渡
って行われる。その際、接着剤充填溝の幅や深さや充填
穴の個数は使用する接着剤の粘度や硬化時の特性などに
よって最適化すれば良い。
いて、図２および図４を用いて説明する。本実施例の基
本構成は実施例１と同様であり、セルが鏡筒に位置決め
固定される部分の形態のみ異なる。図４は、セルが鏡筒
に位置決め固定される部分の詳細図である。鏡筒４に
は、接着剤充填穴２２が開けられ、さらに鏡筒４の内径
側に接着剤充填溝２４が鏡筒全周に渡って設けられてい
る。この充填穴を使用して、充填溝の部分に接着剤２１
を充填する。接着剤の充填は、充填溝に対して全周に渡
って行われる。その際、接着剤充填溝の幅や深さや充填
穴の個数は使用する接着剤の粘度や硬化時の特性などに
よって最適化すれば良い。
【００２３】この場合、接着剤が鏡筒の内径とセルの外
径部全周に渡って充填され、例えば、特定のレンズの上
部空間と下部空間に異種のガスを充填して光学特性を満
足させる光学系や、上部空間と下部空間の気圧を変化さ
せて光学特性を満足させる光学系においては、鏡筒とセ
ルのすき間を密閉できるため、ガスの混入を防止した
り、空間の圧力を精度良くコントロールするのに有効で
ある。
径部全周に渡って充填され、例えば、特定のレンズの上
部空間と下部空間に異種のガスを充填して光学特性を満
足させる光学系や、上部空間と下部空間の気圧を変化さ
せて光学特性を満足させる光学系においては、鏡筒とセ
ルのすき間を密閉できるため、ガスの混入を防止した
り、空間の圧力を精度良くコントロールするのに有効で
ある。
【００２４】ここで、接着剤２１は硬化によるセルの位
置ずれやセルの変形を考慮して、硬化収縮が小さく、弾
力性が大きいものを用いた方が良い。また、鏡筒に対し
て、セルを分解する必要がある場合においては、接着剤
の保持力が小さいものを使用した方が良い。
置ずれやセルの変形を考慮して、硬化収縮が小さく、弾
力性が大きいものを用いた方が良い。また、鏡筒に対し
て、セルを分解する必要がある場合においては、接着剤
の保持力が小さいものを使用した方が良い。
【００２５】本実施例の構成によれば、光軸６に対して
直交方向のセルの位置ずれを防止できるので、押さえ環
５による押さえ力は光軸方向の位置ずれを防止するのに
必要な力のみで良い。本実施例では、螺旋ねじを用いた
押さえ環により光軸と平行な方向に押さえ力を発生させ
ているが、代わりに板ばね等の弾性変形を利用した押さ
え方法を用いても良い。または、接着剤により、光軸方
向に十分な拘束力が得られる場合には、押さえ環や板ば
ねを使用しない構成としても良い。
直交方向のセルの位置ずれを防止できるので、押さえ環
５による押さえ力は光軸方向の位置ずれを防止するのに
必要な力のみで良い。本実施例では、螺旋ねじを用いた
押さえ環により光軸と平行な方向に押さえ力を発生させ
ているが、代わりに板ばね等の弾性変形を利用した押さ
え方法を用いても良い。または、接着剤により、光軸方
向に十分な拘束力が得られる場合には、押さえ環や板ば
ねを使用しない構成としても良い。
【００２６】また、図２では鏡筒４内に保持されるセル
２すべてに対し接着剤を充填できる構成としているが、
光軸６に対する各レンズの軸ずれが光学性能に及ぼす影
響度（軸ずれ敏感度）に応じて、接着剤を充填するセル
を限定しても良い。本実施例による構成によれば、投影
光学系を構成する空間に対して、接着剤の表面積を極小
にすることができるため、接着剤からの脱ガスによる光
学素子への汚染を防止することができる。
２すべてに対し接着剤を充填できる構成としているが、
光軸６に対する各レンズの軸ずれが光学性能に及ぼす影
響度（軸ずれ敏感度）に応じて、接着剤を充填するセル
を限定しても良い。本実施例による構成によれば、投影
光学系を構成する空間に対して、接着剤の表面積を極小
にすることができるため、接着剤からの脱ガスによる光
学素子への汚染を防止することができる。
【００２７】［実施例３］次に、本発明の実施例３につ
いて、図５および図６を用いて説明する。図５に本実施
例の概略を示す。基本構成は第１および第２の実施例と
同様であるが、セルが鏡筒に位置決め固定される部分の
形態と、鏡筒に接着剤充填穴を構成していないことが異
なる。
いて、図５および図６を用いて説明する。図５に本実施
例の概略を示す。基本構成は第１および第２の実施例と
同様であるが、セルが鏡筒に位置決め固定される部分の
形態と、鏡筒に接着剤充填穴を構成していないことが異
なる。
【００２８】図６は、セルが鏡筒に位置決め固定される
部分の詳細図である。セル２には、接着剤充填溝２５が
セル全周に渡って設けられている。この充填溝の部分に
接着剤２１を全周に渡って充填する。その際、接着剤充
填溝の幅や深さは使用する接着剤の粘度や硬化時の特性
などによって最適化すれば良い。この場合、接着剤がセ
ルの外径部全周に渡って充填され、例えば、特定のレン
ズの上部空間と下部空間に異種のガスを充填して光学特
性を満足させる光学系や、上部空間と下部空間の気圧を
変化させて光学特性を満足させる光学系においては、鏡
筒とセルのすき間を密閉できるため、ガスの混入を防止
したり、空間の圧力を精度良くコントロールするのに有
効である。
部分の詳細図である。セル２には、接着剤充填溝２５が
セル全周に渡って設けられている。この充填溝の部分に
接着剤２１を全周に渡って充填する。その際、接着剤充
填溝の幅や深さは使用する接着剤の粘度や硬化時の特性
などによって最適化すれば良い。この場合、接着剤がセ
ルの外径部全周に渡って充填され、例えば、特定のレン
ズの上部空間と下部空間に異種のガスを充填して光学特
性を満足させる光学系や、上部空間と下部空間の気圧を
変化させて光学特性を満足させる光学系においては、鏡
筒とセルのすき間を密閉できるため、ガスの混入を防止
したり、空間の圧力を精度良くコントロールするのに有
効である。
【００２９】ここで、接着剤２１は硬化によるセルの位
置ずれやセルの変形を考慮して、硬化収縮が小さく、弾
力性が大きいものを用いた方が良い。また、鏡筒に対し
て、セルを分解する必要がある場合においては、接着剤
の保持力が小さいものを使用した方が良い。
置ずれやセルの変形を考慮して、硬化収縮が小さく、弾
力性が大きいものを用いた方が良い。また、鏡筒に対し
て、セルを分解する必要がある場合においては、接着剤
の保持力が小さいものを使用した方が良い。
【００３０】本実施例の構成によれば、光軸６に対して
直交方向のセルの位置ずれを防止できるので、押さえ環
５による押さえ力は光軸方向の位置ずれを防止するのに
必要な力のみで良い。本実施例では、螺旋ねじを用いた
押さえ環により光軸と平行な方向に押さえ力を発生させ
ているが、代わりに板ばね等の弾性変形を利用した押さ
え方法を用いても良い。または、接着剤により、光軸方
向に十分な拘束力が得られる場合には、押さえ環や板ば
ねを使用しない構成としても良い。また、図６では鏡筒
４内に保持されるセル２すべてに対し接着剤を充填でき
る構成としているが、光軸６に対する各レンズの軸ずれ
が光学性能に及ぼす影響度（軸ずれ敏感度）に応じて、
接着剤を充填するセルを限定しても良い。
直交方向のセルの位置ずれを防止できるので、押さえ環
５による押さえ力は光軸方向の位置ずれを防止するのに
必要な力のみで良い。本実施例では、螺旋ねじを用いた
押さえ環により光軸と平行な方向に押さえ力を発生させ
ているが、代わりに板ばね等の弾性変形を利用した押さ
え方法を用いても良い。または、接着剤により、光軸方
向に十分な拘束力が得られる場合には、押さえ環や板ば
ねを使用しない構成としても良い。また、図６では鏡筒
４内に保持されるセル２すべてに対し接着剤を充填でき
る構成としているが、光軸６に対する各レンズの軸ずれ
が光学性能に及ぼす影響度（軸ずれ敏感度）に応じて、
接着剤を充填するセルを限定しても良い。
【００３１】本実施例による構成では、投影光学系を構
成する空間に対して、接着剤の表面が露出するため、接
着剤からの脱ガスによる光学素子への汚染を考慮して、
できるだけ脱ガスの少ない接着剤を使用することが好ま
しい。または、接着剤からの脱ガスの影響を極力軽減す
るため、接着剤塗布量を必要最低限に留めるか、接着剤
塗布箇所を限定し、１ヶ所または複数箇所の点接着など
にしても良い。本実施例によれば、実施例２および実施
例３と比較して、接着剤の塗布状態を容易に確認できる
という効果がある。
成する空間に対して、接着剤の表面が露出するため、接
着剤からの脱ガスによる光学素子への汚染を考慮して、
できるだけ脱ガスの少ない接着剤を使用することが好ま
しい。または、接着剤からの脱ガスの影響を極力軽減す
るため、接着剤塗布量を必要最低限に留めるか、接着剤
塗布箇所を限定し、１ヶ所または複数箇所の点接着など
にしても良い。本実施例によれば、実施例２および実施
例３と比較して、接着剤の塗布状態を容易に確認できる
という効果がある。
【００３２】上記の実施例１〜３において、光学素子と
してレンズを用いた光学系の場合について説明したが、
適用される光学素子はレンズ（屈折光学素子）に限ら
ず、ミラー（反射光学素子）でも良い。
してレンズを用いた光学系の場合について説明したが、
適用される光学素子はレンズ（屈折光学素子）に限ら
ず、ミラー（反射光学素子）でも良い。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、鏡筒とセルとの微小す
き間の中で、光学素子が移動することを防止し、振動や
温度変化等の外乱に対し強く高精度な光学性能を保証す
ることのできる光学素子保持装置およびそれを備えた露
光装置を提供することができる。
き間の中で、光学素子が移動することを防止し、振動や
温度変化等の外乱に対し強く高精度な光学性能を保証す
ることのできる光学素子保持装置およびそれを備えた露
光装置を提供することができる。
【図１】本発明の実施例１に係わる半導体の製造等に用
いられる露光装置の概略を説明する図である。
いられる露光装置の概略を説明する図である。
【図２】本発明の実施例１および実施例２に係わる光学
素子保持装置を説明する図である。
素子保持装置を説明する図である。
【図３】本発明の実施例１に係わる光学素子保持装置の
詳細を説明する図である。
詳細を説明する図である。
【図４】本発明の実施例２に係わる光学素子保持装置の
詳細を説明する図である。
詳細を説明する図である。
【図５】本発明の実施例３に係わる光学素子保持装置を
説明する図である。
説明する図である。
【図６】本発明の実施例３に係わる光学素子保持装置の
詳細を説明する図である
詳細を説明する図である
【図７】従来の光学素子保持装置の実施形態を説明する
図である。
図である。
【図８】従来の光学素子保持装置の課題を説明する図で
ある。
ある。
１：レンズ
２：セル
３：スペーサー
４：鏡筒
５：押さえ環
２１：接着剤
２２：接着剤充填穴
２３：逃げ溝
２４、２５：接着剤充填溝
５１：レチクル
５２：投影光学系
５３：ウエハ
５４：照明光学系
Claims (9)
- 【請求項１】光学素子を保持する第１の保持部材と、該
第１の保持部材を保持する第２の保持部材を用いて該光
学素子を所定の位置に保持する光学素子保持装置におい
て、前記第１の保持部材は前記第２の保持部材に接着保
持されることを特徴とする光学素子保持装置。 - 【請求項２】前記第１の保持部材は、前記光学素子の外
周部を保持して位置決めすることを特徴とする請求項１
に記載の光学素子保持装置。 - 【請求項３】前記第１の保持部材は、前記光学素子の外
周部を接着により保持して位置決めすることを特徴とす
る請求項１または請求項２に記載の光学素子保持装置。 - 【請求項４】前記第１の保持部材は、前記第２の保持部
材に嵌合により位置決めされていることを特徴とする請
求項１〜３のいずれか１項に記載の光学素子保持装置。 - 【請求項５】前記第１の保持部材は、前記第２の保持部
材にねじ環または板ばねにより保持されていることを特
徴とする請求項４に記載の光学素子保持装置。 - 【請求項６】前記第１の保持部材と前記第２の保持部材
との接着は、前記第１の保持部材の外周部全周において
行われることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項
に記載の光学素子保持装置。 - 【請求項７】前記第１の保持部材と前記第２の保持部材
との接着は、前記第１の保持部材の外周部のいずれか１
箇所または複数箇所において行われることを特徴とする
請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学素子保持装
置。 - 【請求項８】前記光学素子は、レンズまたはミラーであ
ることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載
の光学素子保持装置。 - 【請求項９】請求項１〜８のいずれか１項に記載の光学
素子保持装置を備えたことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002114453A JP2003307660A (ja) | 2002-04-17 | 2002-04-17 | 光学素子保持装置およびそれを用いた露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002114453A JP2003307660A (ja) | 2002-04-17 | 2002-04-17 | 光学素子保持装置およびそれを用いた露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003307660A true JP2003307660A (ja) | 2003-10-31 |
Family
ID=29396256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002114453A Pending JP2003307660A (ja) | 2002-04-17 | 2002-04-17 | 光学素子保持装置およびそれを用いた露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003307660A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203283A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Shicoh Eng Co Ltd | レンズ駆動装置、カメラ及びカメラ付き携帯電話 |
| WO2010116687A1 (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-14 | パナソニック株式会社 | レンズユニット |
| JP7536534B2 (ja) | 2020-07-07 | 2024-08-20 | キヤノン株式会社 | レンズ鏡筒、撮像装置、及び撮像システム |
| WO2024209897A1 (ja) * | 2023-04-03 | 2024-10-10 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | レンズユニット |
-
2002
- 2002-04-17 JP JP2002114453A patent/JP2003307660A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203283A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Shicoh Eng Co Ltd | レンズ駆動装置、カメラ及びカメラ付き携帯電話 |
| WO2010116687A1 (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-14 | パナソニック株式会社 | レンズユニット |
| US8405737B2 (en) | 2009-04-06 | 2013-03-26 | Panasonic Corporation | Lens unit |
| JP5320461B2 (ja) * | 2009-04-06 | 2013-10-23 | パナソニック株式会社 | レンズユニット |
| JP7536534B2 (ja) | 2020-07-07 | 2024-08-20 | キヤノン株式会社 | レンズ鏡筒、撮像装置、及び撮像システム |
| WO2024209897A1 (ja) * | 2023-04-03 | 2024-10-10 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | レンズユニット |
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