KR20080109648A - 광학소자 유지구조, 노광장치, 및 디바이스의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 의한 광학소자 유지구조는 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재, 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재, 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재, 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재의 사이에 위치하고 그 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재, 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고 그 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 배치하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상이 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조이다.
Description
본 발명은, 광학소자 유지구조, 노광장치, 및 디바이스의 제조방법에 관한 것이다.
노광장치는 원판(레티클)에 형성된 회로패턴을 노광에 의해 기판(실리콘 웨이퍼)에 전사한다. 이 전사에서는 레티클의 패턴을 웨이퍼 상에 결상시키기 위해서 광학계가 사용된다. 이 광학계에는 고집적도의 회로를 형성하기 위해 충분히 높은 해상력이 요구된다. 이 때문에 노광장치용의 광학계는 광학수차를 최소화할 필요가 있다. 이러한 관점에서, 노광장치용의 광학계는 광학계의 렌즈 및 미러 등의 광학소자의 재질 및 막에 관련된 제특성의 균일성, 광학소자의 광학면 형상의 가공 정밀도, 및 광학소자의 조립정밀도가 우수해야할 필요가 있다. 광학계에 이용되는 광학소자를 유지하는 유지부재는 광학소자와 다른 재질의 금속 등으로 형성되는 것이 일반적이다.
도 6은, 종래의 노광장치용의 광학소자 유지구조를 그 광학면의 중심으로부터 반을 나타낸 것이다.
도 6을 참조하면, 복수의 렌즈(101) 및 (102)는 링형상의 제 1 유지부재 (103) 및 (104)에 의해 유지되어 있다. 제 1 유지부재 (103) 및 (104)는 원통형상 의 제 2 유지부재(105) 내에 조립되고, 상부로부터 압착 나사링(106) 및 (107)에 의해 압착된 상태에서 고정되어 있다.
그러나, 상기 광학소자 유지구조에서는, 예를들면, 환경 온도 등의 변화가 있으면, 광학소자나 구성부품이 온도에 의해 형상 변화하기 때문에, 수차가 변화하는 일이 있다. 특히, 이것은 비교적 단파장의 광원을 이용하는 노광장치에 적용된다. 상기 노광장치는 석영이나 형석 등의 유리재질로 이루어진 광학소자를 가지며, 이 유리재질은 이들 광학소자를 유지하는 부재의 재질의 열팽창계수와 다른 열팽창계수를 가진다. 이들 광학소자와 부재는 서로로부터 어떤 영향도 받지 않고, 자유롭게 팽창, 수축하지 못한다. 결과적으로, 예를 들면, 환경 온도 등에 의해 이들 광학소자의 광학면 형상이 크게 변화하게 된다. 이러한 온도에 기인하는 변형이, 광학계의 수차에 큰 악영향을 주는 원인이 되고 있다.
통상적으로는, 복수의 제 2 유지부재(105)가 축방향으로 서로 적층 된다. 적층되고 결합할 때나, 다른 요인으로 외력을 받으면, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재(103) 및 (104)가, 예를 들면, 압착나사링(106) 및 (107) 등으로부터 외력을 받는다. 이것에 의해 광학소자의 광학면형상을 변형시켜서, 광학계의 성능의 열화를 초래한다.
이 문제를 해결하기 위해서, 일본국 특개 2001-343576호 공보에서는, 예를 들면, 환경온도 변화나 외력 등에 의한 광학소자의 광학면 형상의 변화를 저감시키 는 광학소자 유지구조를 기재하고 있다.
도 7은, 일본국 특개 2001-343576호 공보를 적용한 광학소자 유지구조를 개념적으로 도시한 것이다.
도 7을 참조하면, 제 1 유지부재(112)는, 광학소자(111)의 하나인 렌즈 (111)를 유지하고, 렌즈(111)의 재질과 대략 동일한 열팽창 계수를 가지는 재질로 구성되어 있다. 렌즈(111)는 제 1 유지부재(112)에 대해서 접착에 의해 고정되어 있다.
제 2 유지부재(113)는, 렌즈(111)를 동축상으로 유지하고, 제 1 유지부재 (112)와는 열팽창 계수가 다른 재질로 구성되어 있다. 제 1 유지부재 (112)의 주변 부분에는 복수의 노치가 형성되어있다. 이들 부분에 판 형상의 스프링을 형성하는 탄성부재(114)가 삽입되어있다. 이 탄성부재(114)의 양단부는 제 1 유지부재(112)와 결합되어 있고, 그 중앙부는 제 2 유지부재 (113)와 결합되어 있다. 이러한 유지구조에 의해, 탄성부재(114)는 광학소자에 대해서 반경방향으로 낮은 탄성을 가진다.
이러한 광학소자 유지구조에 있어서, 환경온도가 변화하면, 제 1 유지부재 (112)와 제 2 유지부재(113)는 열팽창 계수가 다르므로, 다른 팽창 혹은 수축을 일으키게 된다. 탄성부재(114)의 판 형상의 스프링이 휨변형하는 것에 의해 열팽창의 차이를 흡수하기 때문에, 제 1 유지부재 (112)는 대략 자유롭게 팽창 또는 수축을 일으킬 수 있다.
렌즈(111)와 그 주위의 제 1 유지부재 (112)는 대략 동일한 열팽창율을 가지 기 때문에, 렌즈(111)가 단순 팽창 혹은 단순 수축에 가까운 형상 변화를 할 수 있으므로, 광학게의 광학성능에 유해한 면형상의 변화를 억제할 수 있다.
제 1 유지부재(112) 및 제 2 유지부재(113)는 축방향 및 반경방향에 대해서 서로 직접적으로 접촉하지 않고, 양자모두, 탄성부재(114)를 개재하여 유지된다. 이 구성에 의해, 제 2 유지부재 (113)에의 외력이나 자중에 의한 변형을, 직접적으로 제 1 유지부재(112)에는 전하지 않고, 따라서 제 1 유지부재 (112)의 변형에 의한 렌즈(111)의 면형상의 변화를 억제한다.
그러나, 상기한 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조에서는, 이하의 문제가 있다. 즉, 제 2 유지부재 (113)가 외경측으로부터 반경방향으로 가압되어 변형을 받았을 때, 광학소자(111)를 유지하는 제 1 유지부재(112)가 편심 이동한다.
도 8은 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조를 광학소자의 광축 방향으로부터 본 상태를 나타내고 있다.
도 8에서 (111) 내지 (114)는 도 7과 동일한 부재를 나타내고 있다. 탄성부재(114)는 제 1 유지부재(112)의 원주 상의 3개소에서 120˚의 간격으로 배치되고, 도 8에서의 우상의 부재로부터 반시계방향으로 (114a), (114b), 및 (114c)로 나타낸다. 또, 도 8에 도시된 바와 같이, 광학소자(111)의 광축 상의 임의의 점을 원점으로 해서, 광축을 z 축으로 한 직교좌표계 x-y-z와 x축을 θ=O으로 한 원통좌표계 r-θ-z를 설정한다. 또한, 탄성부재(114)의 탄성정수의 r-θ-z좌표계에 관한 성분을 (Kr, Kθ, Kz)로 하고, 3개소의 탄성부재(114a, 114b, 및 114c)의 탄성정수는 동일한 것으로 가정한다.
여기서, 도 8에 도시된 광학소자 유지구조에 있어서, 제 2 유지부재 (113)가, 예를 들면, 외력으로 인해, 도 8의 파선으로 나타낸 바와 같이 y방향으로 압착된 타원 형상으로 변형된 경우를 상정한다.
각 탄성부재(114a), (114b), 및 (114c)의 탄성정수의 y방향의 성분을 Ky로 하면, 탄성부재(114c)는 Ky = Kr을 만족하며, 탄성부재(114a) 및 (114b)는
Ky = Kr·sin30˚+ Kθ·cos30˚= (1/2) Kr + (√3/2) Kθ
의 식을 만족시킨다. 도 8의 x축에 대해서, y축의 플러스 측에 있는 탄성부재(114a) 및 (114b)의 탄성정수의 y방향 성분의 합계는 Kr+ √3Kθ가 되어, y축의 마이너스 측에 있는 탄성부재(114c)의 탄성정수의 y방향 성분 Kr보다 크다. 특히, 이 광학소자 유지구조에서는, 상술한 바와 같이, 반경 방향으로 낮은 탄성을 가진다. 즉, Kr < Kθ 이므로, y축의 플러스측과 마이너스측의 탄성부재(114)의 탄성정수의 y방향 성분 간의 차이는 비교적 크다. 탄성부재(114)는 제 2 유지부재(113)의 변형에 의해 변형해서 제 2 유지부재(113)의 변형에 기인하는 탄성부재(114c)의 변형의 y방향 성분이 제 2 유지부재(113)의 변형에 기인하는 탄성부재(114a) 및 (114b)의 변형의 전체 y방향 성분보다 커진다. 따라서, 탄성부재(114)에 결합된 제 1 유지부재(112)는, 제 2 유지부재(113)에 대해서 y축의 마이너스 방향으로 편심 이동한다. 동시에, 제 1 유지부재(112)에 의해 유지된 광학소자(111)도 편심 이동한다.
이상과 같이, 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조는 이하의 문제가 생긴다. 즉, 제 2 유지부재(113)가 외경측으로부터 반경 방향으로 가압되어 변형하면, 광학소자(111)가 편심 이동한다. 이에 의해 상기 광학소자 유지구조를 포함한 광학계의 광학성능이 열화를 초래한다.
본 발명은, 상기 과제를 고려하여 이루어진 것이며, 외력에 기인하는 광학소자의 편심 이동을 억제하여 수차의 변화를 감소시킴으로써 높은 해상력을 얻을 수 있는 광학소자 유지구조를 달성하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 의하면, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 배치하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조를 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치로서, 상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 한쪽은, 광학소자 유지구조를 이용해서 유지된 광학소자를 가지고, 상기 광학소자 유지구조는, 광학소자를 유지 하는 제 1 유지부재; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 배치하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나는 것을 특징으로 하는 노광장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계, 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치를 이용해서 기판을 노광하는 스텝; 및 노광된 상기 기판을 현상하는 스텝을 가지는 디바이스 제조방법으로서, 상기 노광장치는, 상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 한쪽에 포함되는 광학소자를 유지하는 광학소자 유지구조를 가지고, 상기 광학소자 유지구조는, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재, 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재, 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재, 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재, 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 배치하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나는 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 광학소자 유지구조로서, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄 성부재를 구비하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조를 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치로서, 상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 하나는 광학소자 유지구조를 이용하여 유지된 광학소자를 포함하고, 상기 광학소자 유지구조는, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재와; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재 를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 노광장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치를 사용해서 기판을 노광하는 스텝; 및 노광된 상기 기판을 현상하는 스텝을 가지는 디바이스의 제조방법으로서, 상기 노광장치는 상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 하나에 포함되는 광학소자를 유지하는 광학소자 유지구조를 포함하고, 상기 광학소자 유지구조는, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법을 제 공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 광학소자 유지구조로서, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 광학소자의 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조를 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치로서, 상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 하나는 광학소자 유지구조를 이용해서 유진된 광학소자가 유지되는 광학소자 유지구조를 포함하고, 상기 광학소자 유지구조는, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재 의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 광학소자의 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 노광장치를 제공한다.
또한, 본 발명에 의하면, 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 상기 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치를 이용해서 기판을 노광하는 스텝; 및 노광된 상기 기판을 현상하는 스텝을 가지는 디바이스 제조방법으로서, 상기 노광장치는, 상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 한쪽에 포함된 광학소자를 유지하는 광학소자 유지구조를 포함하고, 상기 광학소자 유지구조는, 상기 광학소자 유지구조는, 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재; 상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재; 상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재; 상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및 상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고, 상기 광학소자의 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 의하면, 외력에 기인하는 광학소자의 편심 이동을 억제하여, 수차의 변화를 감소시킴으로써, 높은 해상력을 얻을 수 있는 광학소자 유지구조를 실현할 수 있다.
본 발명의 다른 특징은 첨부도면을 참조한 이하의 전형적인 실시형태로부터 명백해질 것이다.
이하에, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 상세하게 설명한다.
이하에 설명하는 실시형태는 본 발명을 실현하기 위한 일례이며, 본 발명이 적용되는 장치의 구성이나 각종 조건에 의해 적절하게 수정 또는 변경될 수 있다, 따라서, 본 발명은 이하의 실시의 형태로 특별히 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 광학소자 유지구조를 도시하고, 광학소자의 광학면의 중심으로부터 광학소자의 절반을 도시한다.
도 1을 참조하면, 제 1 유지부재(2)는 렌즈 또는 미러 등의 광학소자(1)를 유지한다. 광학소자(1)는 제 1 유지부재(2)에 접착에 의해 고정되어 있다. 링형상의 제 2 유지부재(3)는 제 1 유지부재(2)의 외주 측에 배치되어 있다. 링형상의 제 3 유지부재(4)는 제 2 유지부재(3)의 외주 측에 배치되어 있다.
제 1 유지부재(2)의 주변 부분에는 노치가 복수개 형성되어 있다. 이들 부분에 탄성변형 가능하고, 판 형상의 스프링을 형성하는 제 1 탄성부재(5)가 삽입되어 있다. 이 제 1 탄성부재(5)의 2개의 단부는, 그 중앙부가 제 2 유지부재(3)에 결합된 상태에서 제 1 유지부재(2)에 결합되어 있다.
제 2 유지부재(3)의 주변 부분에는, 노치가 복수개 형성되어 있다. 이들 부분에 탄성변형 가능하고, 판 형상의 스프링을 형성하는 제 2 탄성부재(6)가 삽입되어 있다. 이 제 2 탄성부재(6)의 2개의 단부는, 그 중앙부가 제 3 유지부재(4)에 결합된 상태에서 제 2 유지부재(3)에 결합되어 있다.
도 2는 도 1에 도시된 광학소자 유지구조의 일부이며, 제 1 유지부재(2)에 제 1 탄성부재(5)를 부착한 상태를 도시한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 탄성부재(5)가 대략 동일한 각도 피치로 제 1 유지부재(2)의 주위에 삽입되어 있다. 제 1 탄성부재(5)는 그 내경측의 양단부(5a)에서 제 1 유지부재(2)와 나사 결합된다. 또한, 제 1 탄성부재(5)는 그 외경측의 중앙 위치(5b)에서 제 2 유지부재(3)와 나사 결합되어 있다.
도 3은 제 2 유지부재(3)에 제 2 탄성부재(6)가 장착되는 상태를 도시한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 제 2 탄성부재(6)는 대략 동일한 각도 피치로 제 2 유지부재(3)의 주위에 삽입되어 있다. 제 2 탄성부재(6)는 그 내경측의 양단부(6a)에서 제 2 유지부재(3)와 나사 결합된다. 또한, 제 2 탄성부재(6)는 그 외경측의 중앙 위치(6b)에서 제 3 유지부재(4)와 나사 결합되어 있다.
제 1 탄성부재(5)와 제 2 탄성부재(6)는 동일 개수이며, 중심으로서 광학소자(1)의 광축에 관하여 원주방향으로 교대로 대략 등간격으로 배치되어 있다.
상술한 광학소자 유지구조에 있어서, 제 3 유지부재(4)가 외경측으로부터 반경 방향으로 가압되어 변형된 경우를 상정한다.
도 4는 본 실시형태에 의한 광학소자 유지구조를 광학소자(1)의 광축 측에서 본 상태를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 제 1 탄성부재(5)와 제 2 탄성부재(6) 양자 모두는, 제 1 유지부재(2) 및 제 2 유지부재(3)의 원주상의 3점에 대략 120˚간격으로 배치되어 있다. 제 1 탄성부재(5)의 위상은 제 2 탄성부재(6)의 위상으로부터 중심으로서 광축에 관하여 원주방향으로 대략 60˚의 간격으로 어긋나 있다. 광학소자(1)의 광축상의 임의의 점을 원점으로 상정하고, 광축이 z축인 x-y-z 직교좌표계를 설정한다.
또, 도 4를 참조하면, 제 3 유지부재(4)가, 예를 들면, 외력에 의해 도 4의 파선으로 표시된 바와 같이 y방향으로 압착된 타원형상의 변형을 했을 경우, 제 3 유지부재(4)의 변형시에 제 2 탄성부재(6)가 변형한다. 이 경우에, 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조와 마찬가지로, 도 4의 x축에 대해서 y축의 마이너스 측에 있는 제 2 탄성부재(6)의 탄성정수의 y 성분의 합계가, y축의 플러스 측에 있는 제 2 탄성부재(6)의 탄성정수의 y 성분보다 크다. 이 때문에, y축의 플러스 측에 있는 제 2 탄성부재(6)의 변형의 y 성분이, y축의 마이너스 측에 있는 제 2 탄성부재(6)의 변형의 전체의 y 성분보다 커진다. 따라서, 제 2 탄성부재(6)와 연결된 제 2 유지부재(3)는, 제 3 유지부재(4)에 대해서, y축의 플러스 방향으로 편심 이동한다.
제 2 유지부재(3)는 제 2 탄성부재(6)의 변형의 y 성분 간의 차이에 의해 편심 이동하고, 제 2 탄성부재(6)로부터 y방향으로 압착되는 힘을 받는다. 제 2 유지부재(3)는 중공의 링형상을 가지고 있으므로, 내경측에 광학소자(1)를 유지한 제 1 유지부재(2)의 강성과 비교해서 x, y방향의 강성이 낮다. 따라서, 제 2 유지부재(3)는 제 2 탄성부재(6)로부터의 힘에 의해, y방향으로 압착된 형상으로 변형된다.
제 2 유지부재(3)가 변형하면, 제 1 탄성부재(5)가 변형한다. 이 때, 상술의 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조와 마찬가지로, 도 4의 x축에 대해서, y축의 플러스 측에 있는 제 1 탄성부재(5)의 탄성정수의 y 성분의 합계가, y축의 마이너스 측에 있는 제 1 탄성부재(5)의 탄성정수의 y 성분보다 크다. 이 때문에, y축의 마이너스 측에 있는 제 1 탄성부재(5)의 변형의 y 성분이, y축의 플러스 측에 있는 제 1 탄성부재(5)의 변형의 전체의 y 성분보다 커진다. 따라서, 제 1 탄성부재(5)와 연결된 제 1 유지부재(2)는 제 2 유지부재(3)에 대해서, y축의 마이 너스 방향으로 편심 이동한다.
제 3 유지부재(4)가 y방향으로 가압되어 변형을 받으면, 제 2 유지부재(3)는 제 3 유지부재(4)에 대해서 y축의 플러스 방향으로 편심 이동하고, 제 1 유지부재(2)는 제 2 유지부재(3)에 대해서 y축의 마이너스방향으로 편심 이동하게 된다. 제 2 유지부재(3)의 이동 방향은 제 1 유지부재(2)의 이동방향과 역방향이므로, 이들의 이동력은 서로 상쇄하도록 작용해서 제 1 유지부재(2)가 제 3 유지부재(4)에 대해서 편심 이동하는 양은, 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조보다 작아진다. 또한, 제 1 유지부재(2)에 의해 유지된 광학소자(1)의 편심 이동량도 감소된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 의한 광학소자 유지구조는 제 3 유지부재(4)가 반경 방향의 변형을 받았을 경우에 일어나는 광학소자(1)의 편심 이동을 억제할 수 있다.
본 실시형태에 의한 광학소자 유지구조에 의해, 광학소자가 유지된 광학계가 반경 방향의 변형을 받은 경우에도, 광학 소자의 편심이동에 기인하는 광학성능의 열화가 거의 발생하지 않는 광학계를 얻을 수 있다.
[노광장치]
도 5는 본 발명의 실시형태에 의한 광학소자 유지구조를 적용한 노광장치를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 레티클스테이지(51)에 탑재된 레티클(50)은 조명광학계(54)로부터 노광용의 조명광이 조사된다. 레티클(50)의 패턴은 노광장치의 프레 임(56)에 탑재된 투영광학계(52)에 의해, 웨이퍼스테이지(53)에 탑재된 웨이퍼(55) 상에 투영되고, 웨이퍼(55) 상의 감광제에 전사한다. 고정밀도의 반도체 제품을 얻기 위해서, 투영광학계(52)는 충분히 높은 해상성능이 필요하다.
투영광학계(52)의 광학소자를 본 실시형태에 의한 광학소자 유지구조에 의해 유지함으로써, 투영광학계(52)가, 예를 들면, 프레임(56)으로부터의 외력에 의해 변형했을 경우에도, 광학소자의 편심이동에 의한 광학성능의 열화가 거의 발생하지않는, 고성능의 노광장치를 달성할수 있다.
본 발명은 상기 투영광학계 이외에, 조명광학계에도 적용할 수 있다.
외력에 의한 변형에 기인하는 광학소자의 편심이동에 의한 광학성능의 열화가 거의 발생하지 않는 고성능의 노광장치를 실현할 수 있고, 따라서 고품질인 반도체 디바이스의 제조가 가능해진다.
[디바이스 제조방법]
다음에, 본 실시형태에 의한 노광장치를 이용한 반도체디바이스의 제조방법을 설명한다.
디바이스(예를 들면, 반도체집적회로 소자, 및 액정 표시소자)는 상기의 실시형태에 의한 노광장치를 사용해서 기판을 노광하는 공정, 상기 노광공정에서 노광된 기판을 현상하는 공정, 및 상기 현상공정에서 현상된 기판을 처리하는 다른 공지의 공정에 의해 제조된다.
본 발명은 전형적인 실시예를 참조하면서 설명하였지만, 본 발명은 상기 개시된 전형적인 실시예로 한정되지 않는 것으로 이해되어야 한다. 이하 특허 청구범 위는 이러한 모든 변경과 등가의 구성 및 기능을 망라하도록 최광의로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 광학소자 유지구조를 나타내는 도면;
도 2는 도 1에 도시된 광학소자 유지구조의 일부를 나타내는 도면;
도 3은 도 1에 도시된 광학소자 유지구조의 일부를 나타내는 도면;
도 4는 본 실시형태에 의한 광학소자 유지구조를 광학소자의 광축 측으로부터 본 도면
도 5는 본 발명의 실시형태에 의한 광학소자 유지구조를 적용한 노광장치를 나타낸 도면;
도 6은 종래의 광학소자 유지구조를 나타내는 도면;
도 7은 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조를 나타내는 도면;
도 8은 일본국 특개 2001-343576호 공보의 광학소자 유지구조를 광학소자의 광축 측에서 본 도면.
[주요부분에 대한 도면부호의 설명]
1: 광학소자 2: 제 1 유지부재
3: 제 2 유지부재 4: 제 3 유지부재
5: 제 1 탄성부재 6: 제 2 탄성부재
50: 레티클 51: 레티클스테이지
52: 투영광학계 53: 웨이퍼스테이지
54: 조명광학계 55: 웨이퍼
56: 프레임 101,102: 렌즈
111: 광학소자 103,104,112: 제 1 유지부재
105,113: 제 2 유지부재 106,107: 압착 나사링
Claims (14)
- 광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 배치하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 탄성부재 및 상기 제 2 탄성부재가 동일한 수이고, 또한 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 교대로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 제 2 항에 있어서,상기 제 1 탄성부재와 상기 제 2 탄성부재 중의 적어도 한쪽은 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 제 2 항에 있어서,상기 제 1 탄성부재 및 상기 제 2 탄성부재의 양자 모두가, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 제 4 항에 있어서,상기 각각의 제 2 탄성부재는 인접하는 2개의 상기 제 1 탄성부재의 중앙에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 제 4 항에 있어서,상기 제 1 탄성부재 및 상기 제 2 탄성부재의 수는 양자 모두 3개이고,상기 제 1 탄성부재와 상기 제 2 탄성부재가 60˚의 간격으로 교대로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치로서,상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 한쪽은, 광학소자 유지구조를 이용해서 유지된 광학소자를 가지고,상기 광학소자 유지구조는,광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 배치하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치를 이용해서 기판을 노광하는 스텝; 및노광된 상기 기판을 현상하는 스텝을 구비한 디바이스 제조방법으로서,상기 노광장치는,상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 한쪽에 포함되는 광학소자를 유지하는 광학소자 유지구조를 가지고,상기 광학소자 유지구조는,광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지 부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고;상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 배치하고, 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나는 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법.
- 광학소자 유지구조로서,광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치로서,상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 하나는 광학소자 유지구조를 이용하여 유지된 광학소자를 포함하고,상기 광학소자 유지구조는,광학소자를 유지하는 제 1 유지부재와;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치를 사용해서 기판을 노광하는 스텝; 및노광된 상기 기판을 현상하는 스텝을 가지는 디바이스의 제조방법으로서,상기 노광장치는 상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 하나에 포함되는 광학소자를 유지하는 광학소자 유지구조를 포함하고,상기 광학소자 유지구조는,광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 광축을 중심으로 하는 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법.
- 광학소자 유지구조로서,광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 광학소자의 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 광학소자 유지구조.
- 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치로서,상기 조명광학계 및 상기 투영광학계의 적어도 하나는 광학소자 유지구조를 이용해서 유지된 광학소자를 포함하고,상기 광학소자 유지구조는.광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 광학소자의 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 원판의 패턴을 조명하는 조명광학계 및 상기 원판으로부터의 광을 기판에 안내하여 상기 기판을 노광하는 투영광학계를 가지는 노광장치를 이용해서 기판을 노광하는 스텝;및 노광된 상기 기판을 현상하는 스텝을 가지는 디바이스 제조방법으 로서,상기 노광장치는 상기 조명광학계와 상기 투영광학계의 적어도 한쪽에 포함된 광학소자를 유지하는 광학소자 유지구조를 가지고,상기 광학소자 유지구조는,광학소자를 유지하는 제 1 유지부재;상기 제 1 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 1 유지부재를 유지하는 제 2 유지부재;상기 제 2 유지부재의 외경 측에 위치하고 상기 제 2 유지부재를 유지하는 제 3 유지부재;상기 제 1 유지부재와 상기 제 2 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 1 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 1 탄성부재; 및상기 제 2 유지부재와 상기 제 3 유지부재와의 반경방향의 사이에 위치하고, 각각의 내경측이 상기 제 2 유지부재와 결합하고, 각각의 외경측이 상기 제 3 유지부재와 결합하고, 반경방향으로 탄성변형이 가능한 복수의 제 2 탄성부재를 구비하고,상기 광학소자의 원주방향에 대해서, 상기 복수의 제 1 탄성부재의 위상은 상기 복수의 제 2 탄성부재의 위상으로부터 어긋나고, 상기 복수의 제 1 탄성부재 및 상기 복수의 제 2 탄성부재를 상기 광학소자의 원주방향으로 등간격으로 배치하는 것을 특징으로 하는 디바이스의 제조방법.
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