TW457215B - Apparatus for storing and moving a cassette - Google Patents

Description

4572 1 5 A7 ___B7 經濟部智慧財產局員工消費合#-社印製 五、發明説明（） 發明領域 本發明係有關於一種基板處理設備，特別是一種存放 與移動晶盒之設備。 發明背景： 半導體元件係形成於諸如矽晶圓或是玻璃平板之類 的基板上，以供電腦、監視器或其他類似的東西使用。這 些元件係依一序列的製程步驟所形成的，例如绰膜沉積、 氧化或氮化、蝕刻、熱處理以及微影等步驟β雖然可能可 以單一處理機台（station)進行多個製程步驟，但是，至.少 在某些製租步驟中必須將基板轉移至不同的處理機台。 在轉移基板至不同的處理機台時，基板係儲存於—晶 盒（cassette)之中，雖然可以人工攜帶的方式將晶盒轉移至 不同的處理機台，但一般是以自動化的設備將其轉移β例 如，將晶盒自處理機台轉移至一自動導引載具（aut〇matic guide vehicle ; AGV)，然後再以一機械手臂將晶盒由自動 導引載具卸載至處理機台的裝載平台上。接著，以另一機 械手臂自晶盒中抽取出一基板，然後將該基板移至一處理 機台的處理腔體中。當此製程步驟完成之後，再將此基板 裝回晶盒中。當所有基板皆處理完畢並裝回晶盒之後，再 以AGV將此晶盒自裝載平台卸下以轉移至另一處理機 台。 為確認該處理設備並未處於閒置狀態，將基板以幾乎 連績的方式供給至該處理設備是吾人想要的。然而，不幸 ------：------ {诗先閲請背面之注意事項再填寫本頁) 張 紙 本 Μ \J* Ns 6 準 標 家 國 國 T 用 通 7 9 2 Α7 Β7 4572 1 5 五、發明説明（） (請先閲請背面之注項再填寫本頁) 的是’許多處理機台的載入平台（l〇ading platf〇rm) 一次僅 能裝載一個晶盒，因此，一旦該晶盒中所有的基板皆已處 理完畢之後’就必須迅速地以人工或是AGV將原來的晶 益抽換成含未處理基板的另一晶盒》然而，不幸的是，操 作一即時晶盒存貨系統（cassette inventory system)時，操 作者需要仔細地監督（oversight)或是需要許多的agV，因 此’製造成本也隨之增加了。 因此’亟需一種可連績供給晶盒至處理機台的設備與 方法’以便降低或是減少機台的間置時間（d〇wii time)。 發明目的及概述： 經濟部智慧財產局員工消費合it·社印製. 本發明提供一種可將多個晶盒儲存於一處理機台中 之設備與方法，以幾乎連續的方式供給待處理之.基板，使 處理機台不至於閒置。本發明可將多個晶盒儲存於_處理 機台的前端補給框架上’並且可將其中一晶盒移至裝卸機 σ 於該裝卸機台處將基板抽離或是移入一處理機台。— 自動系統固定或是設置於該框架上，用以於裝卸機台與處 理機台之間移轉晶盒。該設備並不會增加處理機台的底面 積（例如將該設備置於無塵室地板上時所需之底面積）。本 發明之另一目的係在不使用AGV的情沉下於不同處理機 台間移轉晶盒。 在本發明中’所提供之設備包含—前端框架，其具有 一個或多個基板移轉機台以及多個晶盒儲存台。將—自動 移轉組件緊鄰該移轉機台設置是較佳的。並且，將該自動 期耳.. ET E /A. < έ Λ. J- s " Α7 Β7 4572 1 5 五、發明説明（） 移轉組件設置於不同機台之間，可在不使用人工或是AGV 的情況下於不同處理機台間移轉晶盒。 本發明之另一目的係提供—種對處理機台連績供給 晶盒之方法。該方法包含：提供至少一個移轉機台以及多 個儲存台，於移轉機台與儲存台之間移轉晶盒，以確保晶 盒係連績地被供給至該處理機台a並且，本發明亦提供一 種不需使用人工或是AGV，而可於不同處理機台間移轉晶 盒使製程連貫之方法。 圖式簡單說明： 第1圖為本發明之處理機台的結構俯視圖。 第2圖為一儲存數個基板之晶盒的結構俯視圖β 第3圖為本發明之晶盒儲架的結構俯視圖。 第4Α圖為第3圖之晶盒儲架的結構前視圖。 第4Β圖為第4Α圖之晶盒儲架的結構前視圖，其中具有複 數個晶盒。 第5 Α圖為第3圖之晶盒儲架的結構侧視囷。 第5B圖為第4A圖之晶盒儲架的結構側視囷，其中具有複 數個晶盒。 第6圖為裝卸機台上之抓取器的結構俯視圖β 第7Α、7Β以及7C圖係用以說明抓取器如何將晶盒舉起 及移動= 第8Α以及8Β圖為晶盒儲架之結構前視圖，用以說明抓取 器將晶盒於載入平台與裝卸機台之間移動的路 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210)<297公釐） I--------^.-^-装一^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •Ρ 經濟部智慧財產局員工消費合价社印製· A7 B7 4572 1 5 五、發明説明（） 徑。 (請先閲讀背面之注意事碩再填寫本頁) 第9圖為裝卸機台與晶盒儲存台藉由一跨機台移轉機構而 連結之結構前視圖β 第10圖為本發明晶盒儲存台的另一實施例。 圖號對照說明： 10 基板 20 半導體處理機台 22 前端裝載區域 24 載入及儲存區域 26 無塵室牆板 28 無塵室 30 灰色區域 32 處理系統 34 載鎖腔體 36 中央轉換腔體 38 處理腔體 39 機械手臂 40 裝卸機台 42 裝卸平台 44 可動門 46 開口 48 晶圓抓取臂 50 晶盒儲架 52 晶盒載入平台 54 支撐卡榫 56 自動晶盒移動裝置 58 掛架 60 框架 62a-62h 支撐擱板 64 支撐卡榫 66 護攔 72 抓取器 74 支撐桿 76 橫向滑塊 78 水平導軌 80 水平螺桿 82 水平驅動馬達 84 .垂直滑塊 86 垂直導軌 87 垂直螺桿 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製- 第5育 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 合 社 印 製 A7 B7 五、發明説明 88 #直驅動馬達 90 勾型指狀部件 92 矩形缺口 94 内緣 100 晶索 102 狹槽 103 出入口 104 晶盒門 106 前端平坦面 108 凹痕 110 底面 112 握把 114 側邊 116 凸緣 117 基部 118 上表面 119 底面 120 跨機台移轉裝置 122 頂置支撐橫樑 124 輸送臂 126 滑板 127 導軌 128 抓取器 130 虫累捧 132 水平驅動馬達 134 氣動裝置 132 水平驅動馬達 發明詳細說明： 在下列的描述中，"基板"一詞係泛指任何能在半導體 設備處理系統令進行處埋之物。例如，該"基板"一詞包括 半導體晶圓、平板顯示器、玻璃平板或是媒片，以及塑膝 部件- 第一圖係本發明之半導體處理機台2〇的俯視圖’一 個或多個基板10於該機台處理中進行處理。該處理機台 20具有一前端裝載區域22,並以一無塵室牆板26將該前 端裝載區域22與一載入及儲存區域24隔離。該無塵室牆 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公资） 广请先Έ读背齒之注意事續真填寫本

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4572 1 5 A7 B7 ~ ----... ___ 五、發明説明（） 板26將無塵室28(載入及儲存區域24位於其中）與灰色區 域（一處理系統32被其所包覆）隔離開來。該載入及儲存區 域24即為將基板之晶盒傳遞、裝載入/卸載出該處理機台 20之處。處理系統32可能包含一個或多個載鎖腔體（i〇ad lock Chamber)34、.中央轉換腔髏（⑽加丨uansfer Chamber)36以及複數個處理腔髏38β在處理腔體38中的 基板會經歷數種製程步驟，例如薄膜沈積、氧化、氮化、 蝕刻、熱處理或是微影等步驟。為簡化起見，描燴於第一 圖之該處理系統及該前瑞裝載區域僅為一示意之表示。該 處理系統可僅為單一的處理腔體，或是一不含任何處理腔 體之裝置’例如化學機械研磨機等等。並且，該處理系統 亦可用以量測，而不是僅能執行製程步驟。 請參閲第2圖，以晶盒100將一個或多個基板1〇攜 至處理機台之該載入及儲存區域24«藉由狹槽（sl〇t ridge)102,基板10可以大致水平平行的方式置於晶盒100 中。基板10可經由一出入口（entry port) 1 03裝入或移出該 晶盒100，並且該出入口 103係位於該晶盒的前端平坦面 106 - —可動式晶盒門1 〇4位於該出入口 103處，以便使 基板於機台之間移動，或置於機台之外時不受外界汙染。 每一晶盒100均包含三個柱狀的凹痕（indentation)108，其 形成於該晶盒1 00之底面1 1 0，但在第2圖中僅以虛線:表 示兩個看得見的凹痕108。當該·晶盒1〇〇置於處理機台中 時，會有三個支撐卡榫與該凹痕.108契合以支撐該晶盒 100。兩個握把112(在此立體圖中僅顯示一個）凸起於該晶 ____Π----- 本紙張尺皮適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

4572 1 5 Α7 _ Β7 五、發明説明（） 盒100的側邊1M上，用於人工攜帶用。一外觀大致為矩 形之凸緣（flange)116凸起於該晶盒的上表面118，並 且該凸緣具有一 L型之剖面。處理機台之自動晶盒移動裝 置（請參見以下之說明）可藉由該凸緣116操縱該晶盒。 請參閱第1及3-5B圖，處理機台2〇之載入及儲存區 域24包含一晶盒載入平台52、兩個晶盒裝卸機台或是基 板移轉台40(分別位於該載入平台52兩侧）、以及晶盒儲 架或是儲.存台5〇(在第一圖中僅顯示其部份，以至於可看 見基板移轉台）》其中該晶盒儲架係用以儲存處理機台之 晶盒，或疋將晶盒移至/移出該載入平台52及移轉台40。 可以人工或是藉由AGV將晶盒移至或是移出於該载 入平台52。自載入平台52移出之後，該晶盒可移入—個 或多個基板移轉台40’或是晶盒儲架載入平台52與 晶盒有大致相同的週邊外觀。上述三個支撐卡榫54( 圖中僅顯π兩個）垂直地凸起於載入平台52上，其與晶盒 底面之凹痕1⑽契合之後，可支撐晶盒於載入平台52之 上。 為由經無塵宣牆板移轉基板，晶盒1〇〇(第1圖之虚線 部份）被置於一個或兩個裝卸機台4〇上，每一裝卸機台4〇 包含一裝卸平台（docking Platf0rm)42、開口 46、一可動門 44以及一門鎖解除機構。其中，裝卸平台42係用以支撐 該晶盒；開口 46形成於無塵室牆板26中，當未以開口 46 移轉基板或是晶盒未置於裝卸平台42之上時以該可動 門44封閉開口 46 ;門鎖解除機構係用以開啟該晶盒門 t if ^ ( CNS ) Α4^Μ· ( 210 X 291^^ ) -~~ -- (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) •裝· I訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製. A7 B7 4572 1 5 五、發明説明（） 1 04，並且使晶盒門1 04縮入至前端裝載區域22中，以便 使基板可以被取出。關於裝卸機台40之說明可參見申請 號0 9/0123 23之美國專利’其名稱為，，a WAFER CASSETTE LOAD STATION"，申請日為1998年1月23日，申請人 為Eric A. Nering ’並且由本案之代理人代理之。此篇專 利之全部揭示已被本案引入作為參考文獻。 晶盒儲架50包含一框架（frame) 60以及一自動晶盒移 動裝置.56。其中，框架60用以支撐一個或多個掛架 (rack) 5 8(第一圖未顯示，所以可看見裝卸機台）；自動晶盒 移動裝置56用以使晶盒100於掛架、載入平台以及裝卸 平台之間相互輸送；框架係栓於無塵室28的地板上，並 且/或是牢固於無塵室牆板26上。該框架60至少部份低於 装卸平台42及晶盒載入平台52，以便使該處理機台20 的底面積（footprint)不至增加。 掛架58可包含位於數個裝卸機台40之上並由支撐搁 板（shelve)所構成之垂直柱狀物（column)51例如，每一該柱 狀物包含一個、兩個或三個個別的支撐擱板a因此，第3-5b 圖所示之掛架58可提供一儲放六個晶盒1 00之空間，其 為如第4B圖所示之支撐擱板62a-62h。每一支撐擱板（例 如支撐擱板62 a)可能是一水平方向的托盤，，其與晶盒100 有大致相同的週邊形狀（perimeter shape)。三個‘撑卡榫 64(但僅顯示由第圖之側視所見的兩個）垂直凸起於支 撐擱板上，並且位於晶盒底面可與凹痕1〇8契合之處。以 兩個垂直方向的護欄66使每一支撐擱板62 a-62h的外緣均 本紙張尺度適用中國，國家標準（CNS >A4規格（210X297公釐） ji—---^裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合体社印製 457215 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製. 五、發明説明（） 固定於框架60上，並且，可將支撐擱板固定於無塵室牆 板上以增加額外的支播。 自動晶盒移動裝置56係用以使晶盒100於支撐搁 板、載入平台以及裝卸平台之間移動。此自動晶盒移動裝 置56包含一可垂直移動之抓取器（end effector)72，其附 於一可水平移動之支撐桿（strut)74。此支轉桿（strut)74使 抓取器72可在平行於無塵室牆板26之平面上任意地水平 移動。支撐桿74的底部固定於一橫向滑塊（slider)76上， 此滑塊76可沿著一水平導軌78水平移動，並且此水平導 轨78係框架60之部份組件或是裝設於框架60之上。此 水平滑塊76可藉由一水平螺桿（lead serew)80的帶動下由 一侧移至另一侧，並且該水平螺桿8 0係由一水平驅動馬 達82所轉動，且該水平驅動馬達82可固定於框架60之 上。同樣地，抓取器72可附設於一垂直滑塊84上，此垂 直滑塊84可沿著一垂直導軌86做垂直方向的滑動，並且 此垂直滑塊84係支撐桿74之部份組件或是裝設於支樓桿 74之上。在垂直螺桿87(以第4A至5B圖之虛線表示）的 帶動下’垂直滑塊84可上移或下移，而該垂直螺桿87則 是被一垂直驅動馬達88所轉動，並且此垂直驅動馬達88 係被該橫向滑塊76所支撐。該水平驅動馬達82以及垂直 驅動馬達8 8受控於一控制系統（未顯示），例如一可程式化 之數位電腦，以其帶動抓取器72的水平及垂直運動。驅 動抓取器72之促動器（actuator)包含數個步進馬達、氣動 裝置以及其他已知可控制促動的裝置。並且，亦可以一皮 笫10頁 (請先閩讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝·

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 帶驅動組件以及其他機構驅動滑塊的水平及垂直運動。 請參閲第6圖，抓取器72水平地突出於該支撐桿74 外’並且朝向無塵室牆板26，此抓取器72包含一大致平 直的勾型指狀部件90，其形成一開口朝向抓取器72之一 側的矩形缺口 92。藉由此矩形缺口 92，該抓取器72可與 晶盒的_部份嚜和。 請參閱第7A圖，為移轉晶盒1 〇〇，該抓取器72係位 於凸緣116與晶盒1〇〇之上表面us.間的垂直位置中。請 參閲第7B圖，該抓取器72以一橫向移動使凸緣116的基 部1 1 7卡入該矩形斂口 92之中"最後，請參間第7尤圖’ 抓取器72垂直上移，使其内緣94與凸緣116的底面119 接觸以便將該晶盒舉起。然後移動該抓取器72以將該晶 盒攜至其他支撐擱板或是平台。 請參閲第8A圖，可將晶盒由載入平台52移至一支撐 擱板’例如支撐搁板62c ^藉由載入平台52處的支撐桿 74，可將晶盒1〇〇裝載至載入平台52上，或者是以人工 或是藉由AGV的方式裝載至載入平台52之上。為將該晶 盒自該載入平台52舉起，該抓取器72須位於晶盒之左 側、以及介於晶盒上表面118與凸緣116下表面之間的垂 直高度。接著，該支撐桿74向右移動（如虛線A所示）直 到該抓取器72與凸緣116嚙和。然後，該抓取器72上移 (如虚線B所示）以將晶盒自該載入平台52上舉起。為將 晶盒移至支撐擱板的其中之一上（.例如支撐搁板62c)，該 抓取器72繼續將晶盒上升直到晶盒對準支撐搁板62c的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

45721 5 A7 B7 五、發明説明（） I------— ~裝-- (請先閲讀背面之注意事碩再填寫本頁) 上方’並且保有一足夠的垂直空隙使晶盒之底面可水平地 移至支撐卡榫64之上（如虛線c所示）為止。然後，該支 撐桿74再左移使晶盒位於支撐擱板之上。接著，該抓取 器72下降（如虛線D所示）直到該晶盒落於支撐卡榫64之 上為止。此後，為抽回該抓取器72，該抓取器72向左動 移直到脫離凸緣為止’然後’其繼績在凸緣上方與支撐摘 板底部之間向上向右移動（如虛線E所示）。 請參閱第8B圖’將上述步驟以相反順房進行之，即 可將晶盒自支樓摘板62c上移除。特別是，抓取器72在 凸緣上方與支撐擱板62b底部之間左移（如虛線ρ所示）， 向下移動’直到抓取.器72位於晶盒上表面與凸緣底面之 間的垂直位置為止（如虛線G所示）。之後，抓取器72向 右移動’直.到抓取器7 2與凸緣嚷和為止（如虛線η所示）。 接著，該抓取器72上升以便將晶盒自支撐擱板上舉起。 然後，該抓取器72右移以便將晶盒攜至掛架之間的垂直 通道（如虛線I所示）。至此位置之後，該晶盒即可上下左 右地移動至另一支撐搁板、裝卸平台或是載入平台Β 經 濟 部 智 憨 財 產 局 員 工 消 費 合 作- 社 印 製 在第7Α-8Β圖所述之實施例中，抓取器72之勾型指 狀部件90係向右勾所以其缺口朝右β當然，若勾型指狀 部件90向左勾則缺口將會朝左’並且相關之横向運動（抓 取器· 72與晶盒之嚙和與脫離）也必須反向。例如，將晶盒 自支撐擱板舉起時’抓取器72必須位於晶盒之右侧並且 向左移動以與該凸緣11和。 在操作時’以人工或是藉由AGV的方式，可輸送一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210ΧΖ97公釐） A7 B7 457215 五、發明説明（） 晶盒1 00至處理機台20然後置於載入平台52。該自動晶 盒移動裝置56將晶盒自載入平台52輸送至裝卸機台4〇, 該裝卸機台之可動門44對準晶盒前端平坦面，然後將可 動門44以及晶盒門1〇4縮回，以便使出入口 ι〇3與無塵 室赌板26之開口 46緊密配合。位於前端裝載區域22之 晶圓抓取臂48由.開口 4 6將基板自晶盒中抽出，然後將基 板送入至載鎖腔體（load lock chamber)34。位於中央轉換 腔禮36中之機械手臂39再將基板由載鎖腔體，34移至處 理腔體。當製程步驟完畢之後’晶圓抓取臂48自載鎖腔 體抽回基板’然後由開口 46將基板送回晶盒1〇〇中。一 旦所有的基板皆處理完畢之後’晶盒門即關閉，晶盒被送 回掛架58或疋載入平台52’並且另一個裝有待處理基板 之新晶盒又被載入至裝卸機台。 請參閱第9囷’一跨機台移轉裝置丨2〇可使晶盒於相 鄰之處理機台20’與20”間相互移轉，因此不再需要人工 搬運或是使用數台AGV=該跨機台移轉裝置12〇包含一頂 置支撐橫樑（overhead support beam) 122，其固定於兩相鄰 晶盒儲架50與50”的護攔66’與66"上。一附於滑板126 上之輸送臂124可沿著導軌127水平地移動，並且該導軌 127可為支撐橫樑122的部份組件或是附於其上β該滑板 126以一嫘桿130帶動之，並且該螺桿13〇係被—水平驅 動馬達132所轉動《—抓取器丨28藉由一氣動裝置 (pneumatic actuator) 134連結至該輸送臂！ 24,以提供該抓 取器128 —短且垂直之往復行程運動（strike)。 _:___第 13 育____一 本纸張纽適用中@國家擦準（CNS )八4麟（21QX297公釐)~~~ 一 ---------〇裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合$社印製 457215 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 為達成於相鄰處理機台間輸送晶盒之目的’以一自動 晶盒移動裝置56,將晶盒移至位於右手邊上方的支撐擱 板，例如晶盒儲架50'之支撐擱板62e*。抓取器128於凸 緣116上方處水平移動，然後下降至位於凸緣116底部與 晶盒上方之間的垂直位置。接著，抓取器128向右移動直 到其與晶盒凸緣嚆和為止。然後，抓取器128將晶盒自支 撐擱板62e’上舉起，此時水平驅動馬達帶動輸送臂124向 右移動，直到晶盒位於左手邊上方之晶盒儲架50”的支撐 擱板62a”上方為止。最後，該抓取器128將晶盒降下至支 撐擱板62a"上，然後該抓取器128抽回。 該跨機台移轉裝置120可提供一"使晶盒於相鄰數台 處理機台間之相互移轉極度簡化之方法"。當其中—處理 機台為量測機台時，該方法更特別適用，因為藉由該跨機 台移轉裝置120’不須在處理機台中内建一量測機台即可 進行量測’而且不須使用工廠自動化系統。 雖然所示範之晶盒儲架50’與50”係緊鄰於同一無塵 室牆板，但是該跨機台移轉裝置120亦可包含一轉動機 構，該轉動機構使得不同支撐橫樑之抓取器間相互傳遞晶 盒（handoff)成為可能。亦即，處理機台20,與20”可為中心 環繞配置，或是設於無塵室攝板之相反兩侧β 上述之實施例包含兩個位於裝卸機台42上方的掛架 58，以及位於兩裝卸機台42之間的晶盒載入平台52。將 六個支撑搁板62a-62h設置於兩個裝卸機台42之上是於佳 的》在確信以上述配置可在有限空間内提供最高的基板生 第U頁 木紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公兹） f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I--^丨訂----

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P 4572 1 5 A7 B7 經 濟 部 智 慧' 財 產 局 五、發明說明（ 產力之後’本發明亦可僅包含單一個裝卸機台，其具有 個或多個鄭接該裝卸機台之支撐擱板。第10圖係本發这 之單一個裝卸機台實施例的透視圖，其上具有單一個裳去 機台以及二個支撐摘板62 a· c。為表示僅使用一個支护!糊 板62a，故圖中之支撐擱板62b-c以虛線表示β組成元件 仍沿用與前述實施例相同之圖號。 可將基板載入至該系統，不論是裝卸機台、任—個支 撐擱板或是晶盒載入平台52 〇該晶盒載入平台52可設置 於鄰接一支撐擱板處或是裝卸機台。其他實施例中所述之 基板移動裝置亦使用於此單一裝卸機台的實施例中，並且 除支撐擱板係成單一堆疊配置外，其餘均以相同方式操作 之。 以上所述之每一實施例均對裝卸機台上方的可用空 間加以利用，因此欲增加該系統的儲存能力時，不需增加 底面積（系統所占地板空間的面積）。並且，製程系統可 採用本發明之任—種組態（包含支撐擱板緊鄰於裝卸機台 之組態）。最好晶盒移動裝置亦緊鄰於支撐搁板以及裝 卸機台，以便有效地於於兩者間搬運晶盒。 本發明雖已以數個實施例說明之，然而，本發明並未 限定於上述之實施例，相反地，本發明應以專利申請範園 定義之。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V*裝 訂V-- 消 作 社 印 製 第15頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐）

Claims (1)

1. 4572 1 5 A8B8C8D8 六、申請專利範

   1. 一種晶盒儲壤簿匕備，該設備至少包含： 複數個晶搁板；以及 一晶盒移動，用以於該晶盒儲存摘板與一裝卸 機台之間搬運晶盒，該晶盒移動裝置包含—支撐元件以 及一抓取器（end effector)，其中該支撐元件係設置於該 晶盒儲存擱板之前，並且該支撐元件可在一平行該晶盒 儲存擱板之路徑上移動，該抓取器係用以與該晶盒嘴 合，並且係以可移動之方式連結於該支撐元件。 2.如申請專利範圍第1項所述之設備’其中上述晶盒儲存 擱板係緊鄰於一無塵.室嫱板設置。 ’3.如申請專利範圍第2項所述之設備’其中上述晶盒儲存 擱板係設置於上述裝卸機台之上° 4.如_請專利範圍第1項所述之設備，更包含一框架 (frame)，用以支撑上述晶盒微存擱板以及上述支撐元 件。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ----^訂 ί--- Λτ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5, 如申請專利範圍第 上係低於上述裝卸 6. 如_請專利範圍第 賓所述之設備’其中上述框架大致

   所述之設備’其中上述抓取器係 以可滑動之方式聯結於上述框孥 笫仂耳... 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇x 297公釐） A8B8C8D8 457215 、申請專利範圍 7.如申請專利範圍第6項所述之設備，其中上述抓取器係 連結於一第一滑塊，該第一滑塊係以可潸動之方式與第 一垂直導軌嚙合。 8，如申請專利範圍第7項所述之設備’其中上述支撐尤件 係連結於一第二滑塊，該第二滑塊係以外滑動之方式與 第二水平導軌嚙合，並且該第二水平導軌係連結於上述 框架。 9. 如申請專利範圍第8項所述之設備’更包含/第一螺桿， 該第一螺桿與上述第一滑塊以及一第一驅動馬達嚙合， 該第一驅動馬達係用以轉動該第一螺桿，以及驅動上述 第一滑塊沿著上述第一導軌垂直地移動上述抓取器。 10. 如申請專利範圍第9項所述之設備’更包含一第一螺 桿，該第二螺样與上述第二滑塊以及一第二驅動馬達嚙 合，該第二驅動馬達係用以轉動該第二螺桿，以及驅動 上述第二滑塊沿著上述第二導軌水平地移動上述支撐元 件以及上述抓取器， 11 ·如申請專利範圍第丨項所述之設備，其中上述晶盒儲存 搁板係以成垂直列（column)之方式配置於上述裝P機13 上方。 _第 17頁 一；------— ί適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i a— n n n l t— n n 經濟部智慧財產局員X消費合作杜印製 4572 V5 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 12.如申請專利範園第1項所述之設備，其中上述抓取器包 含一勾型指狀部件，用以與晶盒上表面之凸緣的底面嘴 合。 1 3 ·如申請專利範圍第1項所述之設備，其中上述晶盒儲存 搁板包含複^固卡榫，該卡榫垂直突起於上述晶盒儲存 摘板之上’ 與晶盒底部相對應之凹陷嚙合。 1 4 一種晶盒儲，該設備至少包含 複數値晶盒綱板，該晶盒儲存搁板係緊鄰於一 牆·板’並JL位於複數個裝卸機台之上；以及 一晶盒移動裝置，用以於該晶盒儲存擱板與該裝卸 機台之間搬運晶盒，該晶盒移動裝置包含一支撐元件以 及一抓取器（end effector)，其中該支揮元件係設置於該 晶盒儲存搁板之前，並且該支撐元件可在一平行該播板 之路徑上移動，該抓取器係用以與該晶盒嚙合，並且係 以可移動之方式連結於該支撐元件。 I 5 .如申請專利範圍第14項所述之設備，其中上述晶盒儲 存搁板係成直列（column)配置於每一裝卸機台之上。 1 6.如申諳專利範園第14項所述之設備，其中上述相鄰晶 盒儲存搁板所成之直列係被一垂直通道所隔離，旅且上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 1 訂 ί--------^ο·. .經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 5 4

   申請專利範圍 述晶盒移動裝置藉由該垂直通道垂直地將一晶盒搬運至 —選定之晶盒儲存擱板，以便將該晶盒置於鄰近該選定 之晶盒儲存搁板的上方，然後水平地將該晶盒置於該選 定之晶盒儲存掷板的上方， 1 7. —種製造系統，至少包含： 一第一處埋機台，用以執行第一製程步驟於一基板 上，該第一處理機台包含第一裝卸機台、複數個第一晶 盒儲存搁板以及第一晶盒移動裝置，其中該第一晶盒儲 存搁板係位於該第一裝卸機台之上，該第—晶盒移動裝 置係用以於該第一晶盒儲存搁板與該第一裝卸機台之間 搬運晶盒； 一第二處理機台，用以於該基极上執行第二製程步 驟’該第二處理機台包含第二裝卸機台、複數個第二晶 盒儲存棚板以及第二晶盒移動裝置，〇該帛三晶盒儲 存擱板係位於該第二裝卸機台之上，該第二晶盒移動裝 置係用以於該第二晶盒儲存搁板與該第二裝卸機台之間 搬運晶盒； 一跨機台晶盒移動裝置，用私兮 a . ^ 用以於菡第一晶盒儲存搁 板與該第二晶盒儲存擱板之間i運晶盒。 1 8，如申請專利範圍第1 7項所述 理機台係用以執行第一製程步驟 第19耳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297^" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -Λ'--·.—--------訂 i.------- 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 X 消 費 合 作 社 印 製

   其中上述第一處 4572 1 5 A8 B8 C8 D8 六 申請專利範圍 1 9 ·如申請專利範圍第1 8項所述\ 理機台係一量測機台

   其中上述第二處 2〇.如申請專利範圍第17項所述左^統，其中上述晶盒儲 存擱板係成直列（column)配置於裝卸機台之上，並且上 述跨機台晶盒移動裝置係於該複數個第一晶盒儲存搁板 之最上層擱板與該複數個第二晶盒儲存搁板之最上層擱 板間搬運晶盒。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 杜 印 製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   支撐元件以及 21·如申請專利範園第17項所述：其中上述跨機台 晶盒移動裝置包含一晶盒移動 抓取器（end effector)，其中該支@件係設置於該晶盒 儲存擱板之前，並JL該支撐元件可在一平行該牆板之路 徑上移動，該抓取器係用以與該晶盒嚙合，並且該抓取 器可以一相位垂直於該支撐元件之方式移動。 / . 22.—種半導體處理機台，至少包含： —處理系統，用以執行第一製程步驟於一基板上 牆板介面，用以使該處理系統與一無塵室隔離 —裝卸機台，位於該無塵室中，用以支撐一晶盒 一開口，位於該牆板介面上； 一基板輸送臂’經由讀開口將基板於該處理系統與該 裝卸機台之間相互轉移； 一載入平台’位於該無塵室中且鄰近該裝卸機台；及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210^7¾ 裝！----^訂 i------- 4572 1 5 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 一晶盒儲架’位於該無塵室中，該晶盒儲架至少包 含： i)複數個搁板（s h e 1 v e s)，以成一直列的方式設 置於該裝卸機台之上；及 Π) —晶盒移動裝置，用以於該搁板、該載入平台 與該裝卸機台之間搬運晶盒，該晶盒移動裝置包含一支 撐元件以及一抓取器（end effector)，其中該支撐元件係 設置於該擱板之前，並且該支撐元件可在一平行該摘板 之路徑上移動’該抓取器係用以與該晶盒嚙合，並且該 抓取器係以一可滑動之方式與該支撐元件連結。 23‘一種操作處理機台之方法，該方法至少包含下列步驟： 儲存複數個晶盒於複數個晶盒儲存擱板上，該晶盒館 存擱板鄰近於一無塵室牆板且位於一裝卸機台上方； 以一晶盒移動裝置將晶盒攜至該裝卸機台； 將一基板自該晶盒移出；且 以該晶盒移動裝置將該晶盒送回該晶盒儲存擱 24.—種儲存晶盒之設備，至少包含： —個或多個裝卸機台，該裝卸機台鄰近於一無塵室 牆板；及 一個或多個晶盒儲存擱板’該晶盒儲存擱板係鄰 於該無塵室牆板以及該裝卸機台設置β 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公爱了 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ο裝 訂------- 六、申請專利範圍 3 5.如申請專&範圍第24項所述工設備1其中上述晶盒儲 存擱板係設置該裝卸機台上方。 26.如申請專利範圍第25項所述之設備，更包含一晶盒移 動裝置，該晶盒移動裝置係鄰近於該裝卸機台以及該晶 盒儲存擱板設置。 2 7.如申請專利範圍第2 6項所述之設備，其中上述晶盒移 動裝置包含一垂直滑塊以及一橫向滑塊° 28. 如申請專利範圍第27項所述之設備，更包含一載入平 台，該載入平台係鄰近於該装卸機台設置。 29. 如申請專利範圍第28項所述之設備，更包含一圍牆圍 繞於該裝卸機台、該載入乎台以及該晶盒儲存擱板的四 周。 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐)