CN103250238B - 搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置 - Google Patents

搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置 Download PDF

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Abstract

搬运机器人（50）具备：具有分别保持基板（6）的两个刀片（55、56）的第一手部及第二手部（52、53）；和具有转动单元（57）、第一进退单元（58）、第二进退单元（59）、及升降单元（60）的移动装置，通过该移动装置可以使第一手部及第二手部（52、53）分别移动至载置有基板（6）的基板搬运中转装置（25）及四个处理腔室（23）中。

Description

搬运机器人、其基板搬运方法、以及基板搬运中转装置
技术领域
本发明涉及搬运基板的搬运机器人、以及其基板搬运方法。
又，本发明涉及将在两个搬运机器人之间被传递的基板进行中转的基板搬运中转装置。
背景技术
对基板实施加工处理的基板处理系统是已知的。基板处理系统具备移送机器人、搬运机器人和基板搬运中转装置。移送机器人形成为在FOUP（front opening unifiedpod；前开式晶圆传送盒）和基板搬运中转装置之间移送基板的结构，并且搬运机器人形成为在进行加工处理的腔室和基板搬运中转装置之间搬运基板的结构。而且，基板搬运中转装置可载置移送及搬运过来的基板地构成，并且辅助在移送机器人和搬运机器人之间的基板的传递。
作为这样的基板处理系统的搬运机器人的一个示例，具有例如像专利文献1记载的那样的基板搬运用机器人。该基板搬运用机器人具有两个手部，并且在这两个手部上可以分别放置一个基板并保持。基板搬运用机器人用一方的手部接收例如位于基板搬运中转装置上的一个基板，而使另一方的手部处于空闲状态。之后，基板搬运用机器人使另一方的手部移动至腔室并接收位于腔室内的处理后的基板，接着将一方的手部上保持的基板放置到该腔室内。而且，使两个手部再次返回至基板搬运中转装置，并且使另一方的手部上保持的基板返回至传递装置，并且用一方的手部接收基板。
又，作为基板处理系统的搬运机器人的又一示例，具有例如像专利文献2记载的那样的基板处理装置。该基板处理装置具备加载锁定腔室（load lock chamber）部。加载锁定腔室部具有相当于基板搬运中转装置的缓冲单元，通过该缓冲单元的板载置从FOUP搬运过来的基板。又，板在上下方向上可升降，并且通过使板上升，转送室部所具备的转送模块能够接收载置于板上的基板。
现有技术文献：
专利文献1：日本特开2003-179119号公报；
专利文献2：日本特开2010-206139号公报。
发明内容
发明要解决的问题：
在基板处理系统中，要求缩短基板制造工序中所花费的制造时间。然而，缩短处理基板的处理时间是困难的，因此要求通过缩短基板的搬运时间而缩短制造时间。作为专利文献1记载的基板搬运用机器人中缩短搬运时间的方法，想到了通过提高两个手部的移动速度而缩短时间的方法。但是，从位置精度和控制精度等的观点考虑时移动速度也有上限值，并且通过提高移动速度能够缩短的搬运时间也有限度。然而，在基板处理系统中，要求进一步缩短搬运时间。
又，作为专利文献2记载的基板处理装置中缩短搬运时间的方法，想到了通过提高移送机器人及搬运机器人的移动速度缩短时间的方法。然而，从位置精度和控制精度等的观点考虑时移动速度也有上限值，并且通过提高移动速度能够缩短的搬运时间也有限度。
因此，本发明的目的是提供即使不提高移动速度也可以缩短搬运时间的搬运装置、使用该装置的搬运方法、以及基板搬运中转装置。
解决问题的手段：
本发明的搬运机器人具备：具有用于分别保持基板的多个保持部的第一手部；具有用于分别保持基板的多个保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的移动装置。
根据本发明，在待机位置上，例如通过第一手部的多个保持部可以一次接收多个基板，并且通过第二手部的多个保持部可以一次转移多个基板。因此，例如可以连续地转移保持在第一手部上的基板，或者可以通过第二手部连续地接收基板，而在多个位置上传递结束后再次回到待机位置上即可。借助于此，在整个搬运过程中的第一手部及第二手部的移动距离可以变短，可以缩短直至对整个搬运位置搬运基板的搬运时间。
在上述发明中，优选的是所述移动装置形成为在所述第一手部的多个保持部上保持并接收置于所述待机位置上的多个基板，之后，将保持在所述保持部上的所述多个基板对各搬运位置依次转移，同时通过所述第二手部的保持部接收置于所述各搬运位置上的基板的结构。
根据上述结构，可以对其他的多个搬运位置连续地执行基板的接收作业。因此，无需每当进行向各搬运位置的搬运作业时返回到待机位置并在第一手部上保持基板，或者每当此时将在第二手部上保持的基板放到待机位置，而能够对各搬运位置连续地进行接收作业。因此，可以缩短第一手部及第二手部的移动距离，可以缩短直至对所有搬运位置搬运基板的搬运时间。
在上述发明中，优选的是所述待机位置是能够使所述多个基板处于待机状态，并且用于在与FOUP之间通过移送机器人传递所述基板的位置，所述移动装置使所述第一手部及所述第二手部运动而将由所述第二手部的多个保持部保持的所述多个基板放置于所述待机位置上。
根据上述结构，可以通过移送机器人事先将多个基板从FOUP移送至待机位置而在待机位置上处于待机状态。借助于此，通过第一手部可以一次保持多个基板，可以缩短搬运时间。又，相反地，可以将保持在第一手部上的多个基板放下至待机位置并通过移送机器人返回至FOUP。因此，不需一个一个卸载基板，可以缩短搬运时间。
在本发明中，如上所述，可以在相同的待机位置上进行第一手部的传递作业和第二手部的接收作业，因此可以缩短第一手部及第二手部的移动距离，可以缩短搬运时间。
在上述发明中，优选的是所述移动装置形成为在一个搬运过程中，向预先规定的N个所述搬运位置分别转移所述基板的结构；所述第一手部具有所述N以上的所述保持部；所述第二手部具有所述N以上的所述保持部。
根据上述结构，可以连续地进行在一个搬运过程中应转移基板的N个搬运位置上的接收作业，可以更加缩短搬运时间。
在上述发明中，优选的是所述移动装置形成为一起转动所述第一手部及第二手部的结构，相对于所述待机位置所述转动方向的一方侧和另一方侧上分别具有N个搬运位置，所述移动装置形成为以下结构，在第一搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后向所述一方侧转动所述第一手部及第二手部并将所述基板依次分别转移至位于所述一方侧上的所述N个搬运位置上，并且在第二搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后向所述另一方侧转动所述第一手部及第二手部并将所述基板依次分别转移至位于所述另一方侧上的所述N个搬运位置上。
根据上述结构，可以抑制保持部的数量的同时抑制第一手部及第二手部的移动距离。借助于此，可以抑制部件数量的增加的同时可以实现搬运时间的缩短。
在上述发明中，优选的是所述搬运位置的数量N为2。
根据上述结构，可以同时实现部件数量的增加的抑制和搬运时间缩短。
在上述发明中，优选的是所述移动装置形成为使所述第一手部及第二手部运动以通过所述第一手部的所述多个保持部一次保持并接收置于所述待机位置上的多个基板，同时由所述第二手部的所述多个保持部分别保持的多个基板一次放置在所述待机位置上而进行转移的结构。
根据上述结构，在待机位置上可以通过第一手部一次保持多个基板，且通过第二手部可以一次放置多个基板。因此可以缩短保持的时间及放置的时间。
在上述发明中，优选的是所述移动装置具备使所述第一手部及所述第二手部在各自的延伸方向上独立地进退的进退单元、和使所述第一手部及所述第二手部一起升降的升降单元；并形成为以下结构，通过所述进退单元使所述第一手部的所述多个保持部分别向放置于所述待机位置上的多个基板的下方行进后，通过所述升降单元使所述第一手部及所述第二手部上升，以此由所述第一手部的所述多个保持部一次保持放置在所述待机位置上的多个基板，之后，通过所述进退单元使所述第一手部后退而从所述待机位置接收该多个基板；通过所述进退单元使所述第二手部的所述多个保持构件向所述待机搬运位置的上方行进后，通过所述升降单元使所述第一手部及所述第二手部下降，以此将由所述保持构件保持的多个基板一次放置在所述待机位置上，之后，通过所述进退单元使所述第二手部后退而将该多个基板转移至所述待机位置上。
根据上述结构，仅通过使第一手部进退及升降，就可以在待机位置上保持多个基板，又仅通过使第二手部进退及升降，就可以将多个基板放置在待机位置上。
本发明的基板搬运方法是具备：具有用于分别保持基板的多个保持部的第一手部；具有用于分别保持基板的多个保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的移动装置的搬运机器人的基板搬运方法，该基板搬运方法具有：所述移动装置使置于所述待机位置上的多个基板保持在所述第一手部的多个保持部上而接收的接收工序；和保持工序后，将保持在所述保持部上的所述多个基板对各搬运位置依次转移，同时通过所述第二手部的保持部搬运置于所述各搬运位置上的基板的搬运工序。
根据上述结构，第一手部可以保持多个基板，因此在待机位置上可以通过第一手部保持多个基板。又，第二手部也可以保持多个基板，因此通过第一手部及第二手部对多个搬运位置连续进行基板的接收。因此，可以使多个基板集中地进行第一手部上保持基板后卸载的作业、将基板放下至第二手部上后保持的作业等，可以缩短搬运时间。
在上述发明中，优选的是所述待机位置是能够使所述多个基板处于待机状态，并且用于在与FOUP之间通过移送机器人传递所述基板的位置，所述移动装置具有使所述第一手部及所述第二手部运动而将由所述第二手部的多个保持部保持的所述多个基板放置于所述待机位置上的转移工序。
根据上述结构，可以在待机位置上进行第一手部的转移作业和第二手部的接收作业，因此不需要在传递作业中使第一手部及第二手部运动。因此可以缩短第一手部及第二手部的移动距离，可以缩短搬运时间。
又，根据上述结构，通过移送机器人从FOUP取出的基板在待机位置上处于待机状态，之后，通过第一手部连续地转移至各搬运位置。又，转移之前，通过第一手部接收位于该搬运位置上的基板并保持，在转移至各搬运位置后，被转移至待机位置。而且，转移至待机位置的基板通过移送机器人可以返回至FOUP。因此，可以省略待机位置和FOUP之间的传递时间，因此可以谋求搬运时间的缩短。
在上述发明中，优选的是所述接收工序和所述转移工序同时进行。
根据上述结构，可以省略接收基板之前的等待时间及转移之前的等待时间。因此可以更加缩短搬运时间。
在上述发明中，优选的是在所述搬运工序中，将所述基板依次转移至相邻的所述搬运位置。
根据上述结构，可以缩短第一手部及第二手部的移动距离。借助于此，可以进一步缩短搬运时间。
本发明的基板搬运中转装置是在具备用于保持基板的手部的两个机器人之间传递所述基板时中转所述基板的基板搬运中转装置，该基板搬运中转装置具备：具有用于支持所述基板的第一支持部，通过上升由所述第一支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通过下降将由所述第一支持部支持的基板转移至所述手部上的第一支持体；在所述第一支持部的上方具有用于支持所述基板的第二支持部，通过上升由所述第二支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通过下降将由所述第二支持部支持的基板转移至所述手部上的第二支持体；形成为使所述第一支持体升降的结构的第一升降机构；和形成为使所述第二支持体升降的结构的第二升降机构；所述第二升降机构形成为在所述第一升降机构使所述第一支持体向上方移动时使所述第二支持体向下方移动，而在所述第一升降机构使所述第一支持体向下方移动时使第二支持体向上方移动的结构。
根据本发明，通过使第一支持体下降，将由第一支持体支持的基板转移至手部，且通过使第二支持体上升，可以由第二支持部接收保持在手部上的基板并支持。相反地，通过使第一支持体上升，可以由第一支持部接收保持在手部上的基板并支持，且通过使第二支持体下降，可以将由第二支持部支持的基板转移至手部。因此，可以同时进行从基板搬运中转装置向手部的基板的转移、和从手部向基板搬运中转装置的基板的接收。借助于此，可以缩短手部和基板搬运中转装置之间的传递时间，从而可以缩短搬运时间。
在上述发明中，优选的是至少一方的所述机器人至少具有第一手部及第二手部的两个手部；所述第一手部及第二手部在上下方向上以规定间隔并列设置，并且各自具有分别保持所述基板的N（N为2以上的整数）个保持部；所述第一支持体具有在上下方向上以规定间隔并列设置，并且用于在上下方向上排列地分别支持所述基板的N个第一支持部；所述第二支持体具有在上下方向上以规定间隔并列设置，并且能在上下方向上排列地分别支持所述基板的N个第二支持部；N个所述第一支持部形成为与所述第一手部的N个保持部相对应地设置，并且通过所述第一支持体升降而在与所述相对应的保持部之间传递所述基板的结构；N个所述第二支持部形成为与所述第二手部的N个保持部相对应地设置，并且通过所述第二支持体升降而在与所述相对应的保持部之间传递所述基板的结构。
根据上述结构，可以将多个基板同时从中转装置转移至手部，且中转装置从手部同时接收多个基板。因此，通过一个作业可以传递多个基板。借助于此，可以缩短搬运时间。
在上述发明中，优选的是所述第一支持部及第二支持部是在水平的规定方向上夹入空间配置，并且是分别形成于所述第一支持体及第二支持体上的一对爪状的部分，以支持所述基板的外缘部。
根据上述结构，由于在一对爪状的部分之间存在空间，因此在一对爪状的部分上支持基板的状态下，使手部的保持部位于其下方并使第一支持体下降，以此可以将基板从一对爪状的部分转移至手部，相反地，通过使手部的保持部位于一对爪状的部分及上方并使第一支持体上升，以此可以由一对爪状的部分从手部接收基板。对于第二支持体也是同样的，从而在机器人和基板搬运中转装置之间的基板的传递变得容易。
在上述发明中，优选的是所述第一升降机构是使所述第一支持体升降的升降气缸机构，所述第二升降机构是与所述第一支持体的升降相配合且其升降反方向地使第二支持体升降的齿轮齿条机构。
根据上述结构，通过简单的结构可以实现，可以抑制部件数量。借助于此，可以抑制基板搬运中转装置的制造成本。
发明效果：
根据本发明，即使不提高移动速度也可以缩短搬运时间。
本发明的上述目的、其他目的、特征及优点是参照附图的基础上，从以下优选的实施形态的详细说明中变得清楚。
附图说明
图1是示出具备根据本发明的实施形态的搬运机器人的基板处理系统的俯视图；
图2是示出图1所示的基板处理系统的电气结构的框图；
图3是示出图1所示的基板处理系统所具备的基板搬运中转装置的主视图；
图4是从右侧方观察图3所示的基板搬运中转装置的侧视图；
图5是示出使图4所示的基板搬运中转装置的第一支持体及第二支持体分别上升及下降的状态的主视图；
图6是将图1所示的搬运机器人所具备的第一手部及第二手部放大示出的放大立体图；
图7是示出通过搬运机器人进行的搬运处理的步骤的流程图；
图8是示出向基板搬运中转装置传递基板时的第一手部及第二手部及基板搬运中转装置的支持体的动作的概略图；
图9是放大示出实施搬运处理时的搬运机器人的动作的放大俯视图；
图10是示出在第二实施形态的基板处理系统中，向基板搬运中转装置传递基板时的第一手部及第二手部及基板搬运中转装置的支持体的动作的概略图。
具体实施方式
以下，参照上述附图说明具备根据本发明的实施形态的搬运机器人50的基板处理系统1。另外，实施形态中的上下、左右以及前后等的方向的概念是便于说明而使用的，关于搬运机器人50及基板处理系统1，并不是用于启示将这些结构的配置及朝向等限定在该方向上。又，以下说明的搬运机器人50及基板处理系统1只是本发明的一个实施形态，本发明并不限于实施形态，在不脱离发明的主旨的范围内可以增加、删除、变更。
＜基板处理系统＞
基板处理系统1是用于对半导体晶圆和玻璃基板等的基板，实施热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理及平坦化处理等各种加工处理的装置。基板处理系统1具备如图1所示的前端模块（简称：EFEM；equipment front end module）2、处理模块3和控制装置4。
[EFEM]
前端模块2是用于将基板6移送至处理模块3的装置，并且具备外壳7及移动机器人8。外壳7在俯视下形成为大致矩形状，在外壳7的一方的侧面部（图1的右侧面部）上安装有多个FOUP 9（本实施形态中为四个FOUP 9）。FOUP 9形成为能够将多个基板6堆积在上方并容纳的结构，并且其中的基板6通过微环境（mini-environment）保持清洁度。又，FOUP 9上形成有连接口9a，与该连接口9a相对应地在外壳7上也形成有连接口7a。借助于此，各FOUP9内和外壳7内通过连接口9a、7a相连接。又，在各连接口7a、9a上设置有门，通过该门能够开闭连接口7a、9a。这样构成的外壳7内容纳移送机器人8。
移送机器人8是用于将基板6移送至处理模块3中的机器人，例如由水平三轴机器人构成。移送机器人8具备基台11、三个臂部12、13、14和手部15。基台11固定于外壳7上，在基台11上设置有在上下方向上可升降或可伸缩的轴构件（未图示）。又，在轴构件的上端部设置有第一臂部12。
又，第一臂部12形成为其基端部安装于轴构件上，而相对于轴构件可转动的结构。又，在第一臂部12的梢端部上，可转动地安装有第二臂部13的基端部，在第二臂部13的梢端部上可转动地安装有第三臂部14。此外，在第三臂部14的梢端部上固定有手部15。手部15从固定于第三臂部14的基端部向梢端部宽度变宽地形成，并且从手部15的中间部至梢端部分叉为二股状。此外，在手部15的上表面安装有用于在其上放置基板6并进行夹持的夹持机构（未图示），并且能够在手部15上放置并保持基板6。
又，移送机器人8具备如图2所示的升降单元16、及第一转动单元至第三转动单元17～19。升降单元16设置于基台11上。升降单元16具有使轴构件在上下方向上升降或者伸缩的功能，例如由气缸机构和泵构成。另一方面，第一转动单元至第三转动单元17～19分别设置于基台11、第一臂部12及第二臂部13内。第一转动单元至第三转动单元17～19形成为分别转动第一臂部12、第二臂部13及第三臂部14的结构，例如由电动机以及齿轮机构和皮带机构等的传递机构构成。这四个单元16～19与控制装置4连接，其动作由控制装置4控制。
具有这样的结构的移送机器人8通过升降单元16使轴构件上下运动而使手部15升降，并且通过第一转动单元至第三转动单元17～19转动三个臂部12、13、14能够使手部15移动到任意的位置上。通过组合这些动作，移送机器人8可以在手部15上保持位于FOUP 9内的基板6，而且可以将基板6移送至处理模块3。像这样，被移送过来基板6的处理模块3设置于前端模块2的另一方侧的侧面部（图1的左侧面部）上。
[处理模块]
处理模块3具备加载锁定腔室21、机器人腔室22和处理腔室23。加载锁定腔室21是形成加载锁定室24的真空腔室，设置于前端模块2内。在前端模块2和加载锁定腔室21之间设置有第一闸门71，并且通过该第一闸门71，前端模块2内和加载锁定室24相连接。加载锁定室24形成为移送机器人8的手部15通过第一闸门71能够行进至其中间，并且在其中间设置有基板搬运中转装置25。基板搬运中转装置25是用于中转基板6的装置，并且形成为能够放置多个基板6并支持的结构。以下，说明基板搬运中转装置25的具体结构。
基板搬运中转装置25如图3及图4所示，具备底架26、升降驱动单元27和两个支持体28、29。底架26形成为大致长方体状，其中设置有升降驱动单元27的结构的至少一部分。升降驱动单元27具有升降用气缸机构30、升降板31、第一升降机构32、联动机构33、第二升降机构34和压力供给源45。
升降用气缸机构30具有气缸30a和杆30b。气缸30a固定于底架26上，杆30b可进退地设置于气缸30a中。又，气缸30a与设置于底架26外的泵等的压力供给源45连接，并且通过接收来自于压力供给源45的压力供给，杆30b在上下方向上能够伸缩。在该杆30b的梢端部上固定有升降板31。
升降板31是在底架26的长度方向（图3的左右方向）上延伸的平板，并且与杆30b联动而能够升降。在升降板31上安装有升降引导机构35。升降引导机构35是固定于底架26的滑动机构，并且具有向上下方向引导升降的升降板31的功能。又，在升降板31的长度方向两端部上分别设置有第一升降机构32。即，在升降板31上设置有一对第一升降机构32。另外，一对第一升降机构32分别设置于彼此成为旋转对称的位置上，以下仅说明配置于图3的右侧的第一升降机构32的结构，对于配置在左侧的第一升降机构32的结构，标以相同的符号并省略说明。
第一升降机构32具有第一升降可动部36、和第一滑动机构37。第一升降可动部36是从右侧面观察时形成为L字状的板状构件，并且竖立设置于升降板31上。竖立设置的第一升降可动部36具有从升降板31向上方延伸的第一延伸部36a、和从其上侧部分向前方屈曲的第一屈曲部36b，该第一屈曲部36b上设置有第一滑动机构37。
第一滑动机构37具有导轨37a和滑动部37b。导轨37a竖立设置于底架26的上部以在上下方向上延伸，在导轨37a上设置有滑动部37b。滑动部37b形成为大致长方体状，并且沿着导轨37a在上下方向上能够移动。第一升降可动部36固定于该滑动部37b上，并且在上下方向上由第一滑动机构37引导。又，在第一升降可动部36的第一延伸部36a上设置有图3所示的第一支持体28。
第一支持体28具有两个第一支持部38、39。两个第一支持部38、39在俯视下形成为大致圆弧状，其两端部上分别设置有爪部38a、39a。作为爪状的构件的爪部38a、39a设置于两端部而成对，并且第一支持部38、39形成为通过该一对爪部38a能够支持基板6的外缘部的结构。这两个第一支持部38、39在俯视下相互重叠，且在上下方向上隔着间隔配置，并且其间隔为能够插入手部15及下述的刀片55、56的程度。
第一支持体28设置于左右两侧的第一升降可动部36上并成对，并且该一对第一支持体28彼此相对，并且配置为左右远离。借助于此，两个第一支持部38、39在其之间夹入空间配置并成对，通过一对第一支持部38、39分别支持基板6的外缘部的旋转对称的位置，并且通过第一支持体28可以同时支持两个基板6。
这样构成的一对第一支持体28固定于左右两侧的第一升降可动部36上，而一对第一升降可动部36能够与升降板31一起运动。因此，一对第一支持体28形成为通过使升降用气缸机构30工作而彼此联动地升降，并且在保持基板6的平行状态下能够升降的结构。为了使第二升降机构34与像这样构成的第一升降机构32的升降动作联动地工作，在第一升降可动部36上设置有联动机构33。
联动机构33由所谓的齿轮齿条机构构成，并且如图4所示具有两个齿条构件33a、33b和小齿轮构件33c。第一齿条构件33a设置于第一升降可动部36的背面侧，并且与小齿轮构件33c啮合。小齿轮构件33c可转动地安装于设置于底架26的安装台40上，并且通过第一齿条构件33a升降，小齿轮构件33c能够转动。又，小齿轮构件33c与第二齿条构件33b啮合。第二齿条构件33b位于第一齿条构件33a的相反侧（即，后侧）上并且其间夹入小齿轮构件33c，形成为小齿轮构件33c转动时与第一齿条构件33a反方向移动的结构。即，第二齿条构件33b形成为当第一齿条构件33a下降时上升，并且当第一齿条构件33a上升时下降的结构。这样构成的第二齿条构件33b与第二升降机构34一体地设置。
第二升降机构34具有第二升降可动部41和第二滑动机构42。第二升降可动部41是从右侧面观察时形成为L字状的板状构件，并且具有在上下方向上延伸的第二延伸部41a、和从其上侧部分向前方屈曲的第二屈曲部41b。第二延伸部41a与第一升降可动部36的延伸部36a并列设置，并且在朝向该延伸部36a的一侧的前面部的下端侧上一体地设置有第二齿条构件33b。第二屈曲部41b上，在与第二延伸部41a连接的基部的部分上设置有第二滑动机构42。
第二滑动机构42与第一滑动机构37相同地，具有导轨42a和滑动部42b。导轨42a竖立设置于底架26的上部以在上下方向上延伸，在该导轨42a上设置有沿着该导轨42a可移动的滑动部42b。该滑动部42b固定于第二屈曲部41b的基部的部分上。又，第二屈曲部41b的梢端部延伸至第一滑动机构37的导轨37a，并且固定有滑动部37c。该滑动部37c沿着第一滑动机构37的导轨37a可升降地设置。像这样，第二升降可动部41由第一滑动机构37及第二滑动机构42可升降地引导，并且在其第二屈曲部41b的中间部分上设置有第二支持体29。
第二支持体29具有两个第二支持部43、44。第二支持部43、44在俯视下形成为大致圆弧状，并且在其两端部上分别设置有爪部43a、44a。作为爪状的构件的爪部43a、44a设置于两端部并成对，第二支持部43、44形成为通过该一对爪部43a、44a能够支持基板6的外缘部的结构。这些第二支持部43、44在俯视下彼此重叠且在上下方向上隔着间隔配置，其间隔为能够插入手部15及下述的刀片55、56的程度。
第二支持体29设置于左右两侧的第二升降可动部41上并成对，并且该一对第一支持体29彼此相对，并且配置为左右远离。借助于此，两个支持部43、44在其之间夹入空间配置并成对，通过一对第二支持部43、44分别支持基板6的外缘部的旋转对称的位置，并且通过第二支持体29可以同时支持两个基板6。
这样构成的一对第二支持体29固定于左右两侧的第二升降可动部41上，第二升降可动部41与第一升降可动部36联动地工作。因此，一对第二支持体29，与一对第一升降可动部36联动的情况相同地彼此联动地升降，并且保持基板6平行的状态下能够升降。又，第二升降可动部41在与第一升降可动部36运动的方向的反方向上运动，因此一对第二支持体29也能够在与一对第一支持体28运动的方向的反方向上运动。例如，如图5所示，当使一对第一支持体28向下方移动时，可以使一对第二支持体29向上方移动。因此，一对第一支持体28和一对第二支持体29形成为使其上下方向的间隔在上下方向上最接近的基准间隔和与其相比在上下方向上远离的分开间隔之间能够改变的结构。
像这样构成的基板搬运中转装置25通过驱动压力供给源45使气压供给至升降用气缸机构30，以此使第一支持体28及第二支持体29各自向反方向上升及下降。包含该压力供给源45的升降驱动单元27与控制装置4连接，其动作（具体的是压力供给源45的供给动作）由控制装置4控制。
此外，基板搬运中转装置25如图2、图3及图5所示具有四个激光传感器46～49。四个激光传感器46～49分别与第一支持部38、39及第二支持部43、44对应地设置。第一激光传感器至第四激光传感器46～49分别设置于对应的支持部38、39、43、44的中间部分。激光传感器46～49是所谓的透过型激光传感器或反射型激光传感器，并且具有检测基板6是否载置于各支持部38、39上的功能。激光传感器46～49与控制装置4连接，而将检测结果发送至控制装置4。
这样构成的基板搬运中转装置25如图1所示从第一闸门71进入并位于加载锁定腔室21的中间。从该中间进一步向前行进时，设置有可开闭的第二闸门72，并且在该第二闸门72的前面设置有机器人腔室22。机器人腔室22是抽真空的真空腔室，其中容纳搬运机器人50。
搬运机器人50具备基台51、和两个手部52、53。基台51可转动地安装于机器人腔室22内，其上设置有两个手部52、53。第一手部52及第二手部53具有相同的结构。以下只对第一手部52的结构进行说明，而关于第二手部53的结构，标以相同的符号并省略说明。
第一手部52具有手部主体54、和两个刀片55、56。手部主体54在俯视下形成为大致平板形状，并且相对于基台51可进退地构成。手部主体54形成为通过进退能够在至少一部分从基台51突出的传递位置和俯视下与基台51重叠地被缩回的转动位置之间移动的结构。进一步详细地说，手部主体54形成为例如其基端部通过未图示的滑块机构安装于基台51上，并且通过该滑块机构能够进退的结构。又，在手部主体54的梢端部上一体地安装有两个刀片55、56。
两个刀片55、56如图6所示在与手部主体54的行进方向相同的方向延伸，从其中间部分至梢端部分叉为二股状而在俯视下具有大致U字形状。另外，图6是为了便于说明，从第一手部52及第二手部53的手部主体54中仅示出前部分。两个刀片55、56在上下方向上隔着间隔且彼此在俯视下重叠地安装于手部主体54上。又，两个刀片55、56在上下方向上隔着其之间至少能够插入基板6的程度的间隔并配置。另外，优选的是刀片55、56的间隔与两个第一支持部38、39的间隔以及两个第二支持部43、44的间隔相等。又，两个刀片55、56形成为能够在其上分别载置基板6的结构，并且在其上表面上安装有夹持载置的基板6并保持的未图示的保持机构。这样构成的第一手部52可以在两个刀片55、56上同时载置基板6，并且可以同时保持两个基板6。
另一方面，第二手部53与第一手部52在俯视下重叠并位于其下方，并且在与第一手部52之间至少具有能够在第二手部53的上侧的刀片55上插入基板6的程度的间隔并安装于基台51上。像这样安装的第二手部53形成为能够与第一手部52相同方向且彼此独立地进退的结构。又，搬运机器人50中如图2所示具备转动单元57、第一进退单元58、第二进退单元59及升降单元60，并且形成为通过这些单元57～60使第一手部52及第二手部53转动、进退及升降的结构。以下，说明各单元的动作。
转动单元57设置于机器人腔室22中。转动单元57是所谓的电动机，具有转动驱动基台51的功能。又，第一进退单元58及第二进退单元59设置于基台51上。第一进退单元58具有使第一手部52进退的功能，并且第二进退单元59具有使第二手部53进退的功能。第一进退单元58及第二进退单元59例如由电动机、皮带等的动力传递机构、下述的滑动机构构成。又，升降单元60设置于基台51上。升降单元60例如由气缸机构及压力供给源构成，具有使第一手部52及第二手部53升降的功能。这四个单元57～60与控制装置4连接，其动作由控制装置4控制。
这样构成的搬运机器人50通过由转动单元57使基台51转动以改变第一手部52及第二手部53的可进退方向（即，朝向），并且通过第一进退单元58及第二进退单元59可以使第一手部52及第二手部53进退。通过组合这些动作，可以将第一手部52及第二手部53移动至具有基板搬运中转装置25的待机位置并接收由基板搬运中转装置25支持的基板6，并且可以将接收的基板6搬运至设置于机器人腔室22的周围的多个处理腔室23内。
处理腔室23是抽真空的腔室，其中具备用于载置基板6并实施上述的各种加工处理的装置。处理腔室23设置于机器人腔室22的外周部，并且相对于基台51的转动中心L1辐射状配置。在本实施形态中，处理模块3具有四个处理腔室23，并且相对于基板搬运中转装置25在基台51的转动方向一方侧及另一方侧上分别设置有两个。
在本实施形态中，第一手部52及第二手部53的刀片55、56与分别设置于该转动方向一方侧及另一方侧上的处理腔室23的数量及基板搬运中转装置25的各支持体28、29所具有的支持部38、39、43、44的数量相对应地被设置。即，分别设置于转动方向一方侧及另一方侧上的处理腔室23的数量为两个，又，各支持体28、29所具有的支持部的数量为三个，因此刀片55、56的数量也成为两个。另外，四个处理腔室23中，相对于基板搬运中转装置25位于转动方向一方侧上的两个处理腔室23为第一处理腔室23A及第二处理腔室23B，其两个之中靠近基板搬运中转装置25的一方为第一处理腔室23A。另一方面，相对于基板搬运中转装置25位于转动方向另一方侧上的两个处理腔室23为第三处理腔室23C及第四处理腔室23D，其两个之中靠近基板搬运中转装置25的一方为第三处理腔室23C。
又，处理腔室23通过第三闸门73设置于机器人腔室22中，通过打开第三闸门73处理腔室23内和机器人腔室22内相连通，通过关闭阻断处理腔室23内和机器人腔室22内。该第三闸门73形成为朝向基台51的转动中心L1，并且在第一手部52及第二手部53上放置基板6的状态下能够通过其中的结构。因此，通过转动基台51使第一手部52及第二手部53的行进方向适合于第三闸门73的开口面，并使第一手部52及第二手部53前进，以此将位于其上的基板6搬运至位于搬运位置上的处理腔室23内的载置台（未图示）上，并且将处理腔室23内的载置台上的基板可以放置在其上。又，放置后，通过使手部主体54后退，可以将基板6搬出至处理腔室23外。
[控制装置]
这样构成的基板处理系统1具备控制装置4，通过该控制装置4控制各机器人8、50及装置25的动作。控制装置4具有存储部62、控制部63、移送机器人驱动部64、中转装置驱动部65和搬运机器人驱动部66。存储部62具有存储程序和各种信息等的功能，并且与控制部63连接。控制部63与第一激光传感器至第四激光传感器46～49连接，并且判定通过哪一个支持部38、39、43、44支持基板6，并且还具有将该结果存储至存储部62中的功能。又，控制部63与移送机器人驱动部64、中转装置驱动部65、搬运机器人驱动部66和闸门驱动部67连接，并且具有基于存储于存储部62中的程序控制所述驱动部64～67的动作的功能。
移送机器人驱动部64与移送机器人8的升降单元16连接，并且具有通过驱动升降单元16使手部15升降的功能。又，移送机器人驱动部64还与移送机器人8的第一转动单元至第三转动单元17～19连接，并且具有通过驱动第一转动单元至第三转动单元17～19使移送机器人8的臂部12～14转动的功能。
中转装置驱动部65与基板搬运中转装置25的升降驱动单元27连接，并且具有通过驱动升降驱动单元27使支持部38、39、43、44升降的功能。又，搬运机器人驱动部66与搬运机器人50的转动单元57、第一进退单元58、第二进退单元59和升降单元60连接。搬运机器人驱动部66具有通过转动单元57改变第一手部52及第二手部53的方向，并且通过第一进退单元58及第二进退单元59使第一手部52及第二手部53分别独立地进退，进一步通过升降单元60使手部主体54升降的功能。
此外，控制部63与闸门驱动部67连接，该闸门驱动部67具有驱动开闭第一闸门至第三闸门71～73的开闭单元（未图示）而开闭所述第一闸门至第三闸门71～73的功能。基板处理系统1中具有这样的功能的控制装置4基于存储在存储部62中的程序控制移送机器人8、基板搬运中转装置25及搬运机器人50的动作，以执行以下那样的移送处理及搬运处理。以下，首先，参照图1至图6说明移送处理。
[移送处理]
当在外壳7上安装FOUP 9并运行基板处理系统1时，在处理腔室23等的抽真空结束后，实施移送处理。在移送处理中，首先，控制装置4控制第一转动单元至第三转动单元17～19的动作以转动第一臂部至第三臂部12～14而使手部15移动至FOUP 9面前。接着，控制装置4为了使手部15配置于所述FOUP 9内的所指定的基板6的正下方，而控制升降单元16的动作以调节手部15的高度。之后，控制装置4转动第一臂部至第三臂部12～14而将手部15插入到FOUP 9内，进而通过升降单元16使手部15上升并在手部15上放置基板6并保持。保持后，控制装置4转动第一臂部至第三臂部12～14并将手部15从FOUP 9内拔出，并且打开第一闸门71而通过升降单元16使手部15下降的同时移动至基板搬运中转装置25。
在将手部15移动至基板搬运中转装置25时，控制装置4控制第一臂部至第三臂部12～14的动作以使该手部15在俯视下位于一对第二支持部44、44之间，且手部15上的基板6的外周缘部的至少一部分与一对第二支持部44、44的两端部重叠。此外，手部15的高度配置为位于比一对第二支持部44、44稍微高的位置上。当这样配置手部15时，控制装置4使升降单元16工作而使手部15下降。借助于此，手部15上的基板6被放置在一对第二支持部44、44上，并且基板6被转移至一对第二支持体29上。
之后，控制装置4转动第一臂部至第三臂部12～14并从基板搬运中转装置25中拔出手部15。此时，控制装置4通过第一激光传感器46及第二激光传感器47检测出基板6放置在第一支持体28上的情况时，控制装置4转动第一臂部至第三臂部12～14而将手部15配置在该基板6的正下方。配置后，控制装置4使升降单元16工作以使手部15上升，并将基板6放置在手部15上并接收，再次从基板搬运中转装置25中拔出手部15。拔出的手部15返回至用于容纳处理后的基板6的又一FOUP 9的面前，从而将被放置的基板6容纳于所述FOUP 9内。之后，控制装置4还使手部15工作并将又一指定的基板6与上述相同的方法转移至一对第二支持部43、43上，或者通过手部15接收一对第一支持体28上的基板6。控制装置4控制移送机器人驱动部64的动作以重复进行这样的传递作业；
[搬运处理]
又，控制装置4，与通过移送机器人8移送基板6的移送处理并进地，执行图7记载的流程图中所示的那样的搬运处理。搬运处理与移送处理相同地，在处理腔室23等的抽真空结束后实施。开始搬运处理并转到步骤S1时，第一搬运过程开始进行，并且控制装置4首先转动基台51而使第一手部52及第二手部53朝向基板搬运中转装置25的方向，从而能够将第一手部52及第二手部53插入至基板搬运中转装置25内。达到该状态时，转到步骤S2。
在步骤S2中，控制装置4基于来自第一激光传感器至第四激光传感器46～49的信号检测在基板搬运中转装置25的第一支持体28及第二支持体29上是否有基板6，并且判定是否满足可搬运条件。在这里可搬运条件是指基板6未载置于第一支持体28上，且在第二支持体29上载置有两个基板6的情况。控制装置4判定为不满足可搬运条件时使搬运机器人50待机，并且重复进行判定直至满足可搬运条件。判定为满足可搬运条件时，转到步骤S3。
在步骤S3中，首先控制装置4打开第二闸门72，接着使第一进退单元58及第二进退单元59工作而使第一手部52及第二手部53前进至基板搬运中转装置25所在的待机位置。此时，在基板搬运中转装置25中，一对第一支持体28及一对第二支持体29位于分开位置（参照图5），并且第一手部52的两个刀片55、56分别位于一对第二支持部43、43及一对第二支持部44、44上的基板6的正下方，而在下述的工序中被放置在第二手部53的两个刀片55、56上的基板6分别位于一对第一支持部38、38及一对第一支持部39、39的正上方（参照图8（a））。像这样使第一手部52及第二手部53前进至待机位置时，转到步骤S4。
在步骤S4中，控制装置4使基板搬运中转装置25的升降驱动单元27工作而使一对第一支持体28上升。借助于此，第二手部53上的两个基板6被放置在一对第一支持部38、38及第一支持部39、39上并被提升（参照图8（b）），从而两个基板6从第二手部53转移至一对第一支持体28上。又，一对第二支持体29与一对第一支持体28的上升联动地下降，从而一对的第二支持部43、43及第二支持部44、44上的基板6被放置在第一手部52的两个刀片55、56上（参照图8（c））。借助于此，一对第二支持体29上的两个基板6转移至第一手部52上。在基板搬运中转装置25和搬运机器人50之间的基板6的传递结束时，转到步骤S5。
在步骤S5中，控制装置4通过第一进退单元58及第二进退单元59使第一手部52及第二手部53后退并从基板搬运中转装置25中拔出。而且，控制装置4使第一手部52及第二手部53后退至基台51和手部主体54重叠的转动位置，并且关闭第二闸门72。当第一手部52及第二手部53返回至转动位置时，转到步骤S6。
在步骤S6中，控制部63对存储于存储部62中的变量X（初始值0）进行加1运算。对变量X加1后，转到步骤S7。在步骤S7中，控制装置4转动基台51并改变第一手部52及第二手部53的朝向，使第一手部52及第二手部53朝向第X处理腔室23（X=1、2、3、4）的第三闸门73。例如X=1时，第一手部52及第二手部53朝向第一处理腔室23A的第三闸门73。像这样朝向被改变后，转到步骤S8。
在步骤S8中，控制装置4首先打开第三闸门73，接着使第二手部53前进并移动至第一处理腔室23A的载置台（未图示）。在该载置台上载置有在第一处理腔室23A中被处理的处理后的基板6，第二手部53的高度由控制装置4调节以使其上侧的刀片55位于处理后的基板6的下侧。另外，第二手部53的高度的调节也可以在使其前进之前及在前进中的任意情况下执行。移动至载置台后，控制装置4通过升降单元60使第二手部53上升，从而使置于载置台上的基板6放置在上侧的刀片56上并提升。这样，搬运机器人50通过第二手部53接收第一处理腔室23A内的处理后的基板6。接收后，控制装置4通过第二进退单元59使第二手部53后退，当第二手部53返回至转动位置时，转到步骤S9。
在步骤S9中，通过第一进退单元58使第一手部52前进并移动至第一处理腔室23A的载置台。第一手部52的高度由控制装置4调节以使其下侧的刀片55上的未处理的基板6位于比载置台高的位置上。另外，第一手部52的高度的调节也可以在使其前进之前及在前进中的任意情况下执行。移动至载置台后，控制装置4通过升降单元60使第一手部52下降而将下侧的刀片55上的基板6放置在载置台上并离开。借助于此，在第一处理腔室23A内未处理的基板6从第二手部53转移至载置台。转移后，控制装置4通过第一进退单元58使第一手部52后退并关闭第三闸门73。而且，当第一手部52返回至转动位置时，转到步骤S10。
在步骤S10中，判定变量X到底满足第一条件至第三条件中的哪一个条件。第一条件是X≠N、X≠N×2，第二条件是X=N，第三条件是X=N×2。在这里，N是第一手部52及第二手部53分别具有的刀片数量，在本实施形态中为N=2。例如X=1时，判定为满足第一条件，并返回到步骤S6。在步骤S6中，对X进行加1运算后转到步骤S7。在步骤S7中，使第一手部52及第二手部53按照图9的箭头A转动并朝向第X+1处理腔室23的第三闸门73、即第二处理腔室23B的第三闸门73，而转到步骤S8。
在步骤S8中，控制装置使第二手部53前进并接收第二处理腔室23B的载置台上的处理后的基板6。此时，在第二手部53的上侧的刀片56上已载置有处理后的基板6。因此，第二手部53的高度由控制装置4调节而使其下侧的刀片55位于载置台上的处理后的基板6的下侧。而且，控制装置4使第二手部53移动至载置台，并且使其移动后上升而将载置台上的基板6放置在下侧的刀片55上并提升。像这样，搬运机器人50通过第二手部53接收在第二处理腔室23B内的处理后的基板6。接收后，控制装置4使第二手部53后退，当第二手部53返回至转动位置时，转到步骤S9。
在步骤S9中，控制装置4使第一手部52前进并将未处理的基板6转移至第二处理腔室23B的载置台上。此时，只有在第一手部52的上侧的刀片56上载置有未处理的基板6。因此，第一手部52的高度由控制装置4调节而使其上侧的刀片56上的未处理的基板6位于比载置台高的位置上。而且，控制装置4使第一手部52移动至载置台，并且移动后使第一手部52下降而将上侧的刀片56上的基板6放置在载置台上并离开。借助于此，未处理的基板6从搬运机器人50转移至第二处理腔室23B的载置台上。控制装置4使第一手部52后退并关闭第三闸门73。而且，当第一手部52返回至转动位置时，将基板6搬运至第一处理腔室23A及第二处理腔室23B的第一搬运过程结束。当第一搬运过程结束时，再次转到步骤S10。
此时的步骤S10中，由于变量X为2，因此控制部63判定为满足第二条件，并返回至步骤S1，开始第二搬运过程。在步骤S1中，控制装置4使第一手部52及第二手部53从第二处理腔室23B按照图9的箭头B转动并使第一手部52及第二手部53朝向基板搬运中转装置25。而且，在步骤S2中，判定是否满足可搬运条件，在判定为满足的情况下，通过步骤S3使第一手部52及第二手部53前进，并且通过步骤S4使基板搬运中转装置25的第一支持体28及第二支持体29升降并在基板搬运中转装置25和第一手部52及第二手部53之间进行未处理的基板6和处理后的基板6的传递。此外，当通过步骤S5使第一手部52及第二手部53后退时，转到步骤S6。
在步骤S6中，对X进行加1运算而转到步骤S7，在步骤S7中使第一手部52及第二手部53按照图9的箭头C转动并朝向第三处理腔室23C。而且，与在第一处理腔室23A中传递处理后的基板6及未处理的基板6的方法相同地，在第三处理腔室23C中进行基板6的传递（步骤S8及S9），当结束时转到步骤S10。
在此时的步骤S10中，由于变量X为3，因此控制部63判定为满足第一条件，并返回至步骤S6。在步骤S6中，对X加1后转到步骤S7，并且在步骤S7中使第一手部52及第二手部53按照图9的箭头D转动并朝向第四处理腔室23D。而且，与在第一处理腔室23A中传递处理后的基板6及未处理的基板6的方法相同地，在第四处理腔室23D中进行基板6的传递（步骤S8及S9），当传递结束时，将基板6搬运至第三处理腔室23C及第四处理腔室23D的第二搬运过程结束。当第二搬运过程结束时，转到步骤S10。
此时的步骤S10中，由于变量X为4，因此控制部63判定为满足第三条件，并转到步骤S11。在步骤S11中，从X中减去N，即执行X=X－N的减法运算而使X=0。当执行该减法运算时，返回至步骤S1，再次开始第一搬运过程。
像这样本实施形态的搬运机器人50，在位于待机位置的基板搬运中转装置25中通过第一手部52的两个刀片55、56同时接收两个基板6，并且可以通过第二手部53的两个刀片55、56同时转移两个基板6。又，可以将保持在第一手部52上的两个基板6连续地转移至两个处理腔室23中，又通过第二手部53从两个处理腔室23内连续地接收两个处理后的基板6。借助于此，在两个处理腔室23中进行基板6的传递后返回至基板搬运中转装置25即可，可以缩短一个搬运过程中的第一手部52及第二手部53的移动距离，并且可以缩短直至对所有的搬运位置搬运基板为止的搬运时间。
又，在本实施形态的基板处理系统1中，与搬运机器人50的搬运处理并进地执行移送机器人8的移送处理，在执行搬运处理的期间通过移送处理两个基板6从FOUP 9移送至基板搬运中转装置25。因此，可以省略基板搬运中转装置25和FOUP 9之间的传递的时间，因此可以缩短搬运时间。又，在进行搬运处理的期间移送机器人8通过移送处理接收载置在基板搬运中转装置25上的处理后的两个基板6，因此将由第二手部52的刀片55、56保持的处理后的基板6在基板搬运中转装置25中与接收同时地进行转移，以此不需要从基板搬运装置25到FOUP 9的移送。因此，可以缩短搬运时间。
又，在本实施形态的搬运机器人50中，在第一搬运过程及第二搬运过程中应搬运的处理腔室23的数量、和第一手部52及第二手部53所具有的刀片55、56的数量成为相同数量，从而对在第一搬运过程及第二搬运过程中需分别搬运的所有处理腔室23可以连续地进行传递作业。借助于此，每当结束对于各处理腔室23的传递作业时不需要返回至基板搬运中转装置25，可以缩短搬运时间。
此外，相对于基板搬运中转装置25在转动方向一方侧和另一方侧上形成相同数量的处理腔室23，并且将面向配置在一方侧上的处理腔室23A、23B的搬运过程作为第一搬运过程，而将面向配置在另一方侧上的处理腔室23C、23D的搬运过程作为第二搬运过程以进行划分，以此可以防止搬运机器人50旋转一次，而连接搬运机器人50的各结构和控制装置的未图示的电缆等被缠绕的情况。又，通过在基板搬运中转装置25的转动方向两侧上配置相同数量，以此使第一搬运过程及第二搬运过程的移动距离大致相同，并且可以缩短第一搬运过程及第二搬运过程中的总移动距离。借助于此，可以实现搬运时间的缩短。此外，通过分为两个搬运过程，可以抑制刀片55、56的数量，并且可以抑制移动距离。因此，可同时实现抑制部件数量的增加和搬运时间的缩短。
又，在本实施形态中，可以在第一手部52及第二手部53和基板搬运中转装置25之间同时进行传递作业，因此可以缩短第一手部52及第二手部53和基板搬运中转装置25之间的传递时间。又，通过在第一手部52及第二手部53和基板搬运中转装置25之间同时进行传递作业，不需使第一手部52及第二手部53运动。因此，可以缩短第一手部52及第二手部53的移动距离，并且可以缩短搬运时间。
此外，在本实施形态的基板搬运中转装置25中，通过齿轮齿条机构实现第一支持体28及第二支持体29的连动，以此可以抑制部件数量。借助于此，可以抑制基板搬运中转装置25的制造成本。
＜其他实施形态＞
在本实施形态中，尽管使搬运机器人50的第一手部52及第二手部53同时向基板搬运中转装置25前进，但是也可以如图10所示首先使第二手部53前进并接收基板搬运中转装置25的一对第一支持体28上的两个基板6（图10（a）），之后使第一手部52前进并将其上的基板6转移至基板搬运中转装置25（图10（b））。此时，基板搬运中转装置25不需要具有升降驱动单元27，只要在从基板搬运中转装置25接收两个基板6时使第二手部53上升，并且向基板搬运中转装置25传递两个基板6时使第一手部52下降即可。
像这样，通过使第一手部52进退及升降，可以从基板搬运中转装置25接收两个基板6，又，仅通过使第二手部53进退及升降以将两个基板6放置在基板搬运中转装置25上。因此，可以缩短保持的时间及放置的时间。
又，第一手部52及第二手部53的数量及其具有的刀片的数量和处理腔室23的数量以及配置位置并不限于上述数量及配置位置，手部和刀片等也可以是两个以上，又，处理腔室23也可以是四个以上。又，即使刀片数量、处理腔室23的数量和基板搬运中转装置25的支持部的数量无上述那样的关系也是可以的，只要刀片及支持部的数量多于至少一个搬运过程中进行搬运的处理腔室23的数量即可。
由上述说明，本领域技术人员明白本发明的较多改良和其他实施形态等。因此，上述说明仅作为例示解释，并且以向本领域技术人员教导实施本发明的最优选的形态为目的而提供的。在不脱离本发明的精神的范围内，能够实质上改变其结构和/或功能的具体内容。
符号说明：
4 控制装置；
6 基板；
8 移送机器人；
9 FOUP（前开式晶圆传送盒）；
15 手部；
23 处理腔室；
23A 第一处理腔室；
23B 第二处理腔室；
23C 第三处理腔室；
23D 第四处理腔室；
25 基板搬运中转装置；
28 第一支持体；
29 第二支持体；
30 升降用气缸机构；
33 联动机构；
32 第一升降机构；
34 第二升降机构；
38、39 第一支持部；
43、44 第二支持部；
50 搬运机器人；
52 第一手部；
53 第二手部；
54 手部主体；
55 刀片；
56 刀片；
57 转动单元；
58 第一进退单元；
59 第二进退单元；
60 升降单元；
66 搬运机器人驱动部。

Claims (13)

1.一种搬运机器人，具备：
具有用于分别保持基板的预先规定的N以上的保持部的第一手部，其中N为2以上的整数；
具有用于分别保持基板的所述N以上的保持部的第二手部；和
以使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的形式一起转动所述第一手部及第二手部，且形成为所述第一手部的保持部接收置于所述待机位置上的N个基板，之后所述第二手部的保持部接收置于各所述搬运位置上的基板，同时将分别保持在所述第一手部的保持部上的基板对各搬运位置依次转移的结构的移动装置，
所述第一手部及所述第二手部各自在所述待机位置上作为接收用和传递用而分别被使用，转动方向中所述待机位置的一方侧和所述待机位置的另一方侧上分别具有N个所述搬运位置，
所述移动装置形成为以下结构：在第一搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后，使所述第一手部及第二手部向所述一方侧转动并向位于所述一方侧上的N个所述搬运位置依次移动，且将所述基板依次分别转移至各所述搬运位置上，并且在第二搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后，使所述第一手部及第二手部向所述另一方侧转动并向位于所述另一方侧上的N个所述搬运位置依次移动，且将所述基板依次分别转移至各所述搬运位置上。
2.根据权利要求1所述的搬运机器人，其特征在于，所述待机位置是能够使所述N个基板处于待机状态，并且用于在与FOUP之间通过移送机器人传递所述基板的位置；
所述移动装置使所述第一手部及所述第二手部运动而将由所述第二手部的保持部保持的所述N个基板放置于所述待机位置上。
3.根据权利要求1所述的搬运机器人，其特征在于，所述搬运位置的数量N为2。
4.根据权利要求1所述的搬运机器人，其特征在于，所述移动装置形成为使所述第一手部及第二手部运动以通过所述第一手部的所述保持部一次保持并接收置于所述待机位置上的N个基板，同时将由所述第二手部的所述保持部分别保持的N个基板一次放置在所述待机位置上而进行转移的结构。
5.根据权利要求4所述的搬运机器人，其特征在于，所述移动装置具备使所述第一手部及所述第二手部在各自的延伸方向上独立地进退的进退单元、和使所述第一手部及所述第二手部一起升降的升降单元；
并形成为以下结构，通过所述进退单元使所述第一手部的所述保持部分别向放置于所述待机位置上的N个基板的下方行进后，通过所述升降单元使所述第一手部及所述第二手部上升，以此由所述第一手部的所述保持部一次保持置于所述待机位置上的N个基板，之后，通过所述进退单元使所述第一手部后退而从所述待机位置接收该N个基板；
通过所述进退单元使所述第二手部的所述保持部向所述待机位置的上方行进后，通过所述升降单元使所述第一手部及所述第二手部下降，以此将由所述保持部保持的N个基板一次放置在所述待机位置上，之后，通过所述进退单元使所述第二手部后退而将该N个基板转移至所述待机位置上。
6.一种基板搬运方法，是具备：具有用于分别保持基板的预先规定的N以上的保持部的第一手部，其中N为2以上的整数；具有用于分别保持基板的所述N以上的保持部的第二手部；和以使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的形式一起转动所述第一手部及第二手部，且形成为所述第一手部的保持部接收置于所述待机位置上的N个基板，之后所述第二手部的保持部接收置于各所述搬运位置上的基板，同时将分别保持在所述第一手部的保持部上的基板对各搬运位置依次转移的结构的移动装置的搬运机器人的基板搬运方法，该基板搬运方法具有：
所述第一手部及所述第二手部各自在所述待机位置上作为接收用和传递用而分别被使用，转动方向中所述待机位置的一方侧和所述待机位置的另一方侧上分别具有N个所述搬运位置，
所述移动装置使置于所述待机位置上的N个基板保持在所述第一手部的各保持部上而接收的第一接收工序；和
在所述第一接收工序之后，所述移动装置使所述第一手部及第二手部向所述一方侧转动并向位于所述一方侧上的N个所述搬运位置依次移动，且将所述基板依次分别转移至各所述搬运位置上的第一搬运工序，
在所述第一搬运工序之后，所述移动装置使所述第一手部及第二手部返回至所述待机位置，且使置于所述待机位置上的N个基板保持在所述第一手部的各保持部上而接收的第二接收工序，
从所述待机位置接收N个基板之后，使所述第一手部及第二手部向所述另一方侧转动并向位于所述另一方侧上的N个所述搬运位置依次移动，且将所述基板依次分别转移至各所述搬运位置上的第二搬运工序。
7.根据权利要求6所述的基板搬运方法，其特征在于，
所述待机位置是能够使所述N个基板处于待机状态，并且用于在与FOUP之间通过移送机器人传递所述基板的位置；
所述移动装置具有使所述第一手部及所述第二手部运动而将由所述第二手部的保持部保持的所述N个基板放置于所述待机位置上的转移工序。
8.根据权利要求7所述的基板搬运方法，其特征在于，所述第一接收工序或所述第二接收工序和所述转移工序同时进行。
9.根据权利要求6所述的基板搬运方法，其特征在于，在所述第一搬运工序及所述第二搬运工序中，将所述基板依次转移至相邻的所述搬运位置。
10.一种基板搬运中转装置，是在具备用于保持基板的多个手部的两个搬运机器人之间传递所述基板时中转所述基板的基板搬运中转装置，该基板搬运中转装置具备：
具有用于支持所述基板的第一支持部，通过上升由所述第一支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通过下降将由所述第一支持部支持的基板转移至所述手部上的第一支持体；
具有用于以与由所述第一支持部支持的所述基板在俯视下重叠的形式支持所述基板的第二支持部，通过上升由所述第二支持部接收支持于所述手部上的基板并支持，通过下降将由所述第二支持部支持的基板转移至所述手部上的第二支持体；
形成为使所述第一支持体升降的结构的第一升降机构；和
形成为使所述第二支持体升降的结构的第二升降机构；
所述第二升降机构形成为在所述第一升降机构使所述第一支持体向上方移动时使所述第二支持体向下方移动，而在所述第一升降机构使所述第一支持体向下方移动时使第二支持体向上方移动的结构，
所述第一升降机构及第二升降机构形成为：上升所述第一支持体及第二支持体中的一方而由所述一方的支持体接收支持于所述手部上的基板，同时下降所述第一支持体及第二支持体中的另一方而使支持于所述另一方的支持体上的基板传递至另外的所述手部。
11.根据权利要求10所述的基板搬运中转装置，其特征在于，
至少一方的所述搬运机器人至少具有第一手部及第二手部两个手部；
所述第一手部及第二手部在上下方向上以规定间隔并列设置，并且各自具有分别保持所述基板的N个保持部，其中N为2以上的整数；
所述第一支持体具有在上下方向上以规定间隔并列设置，并且用于在上下方向上排列地分别支持所述基板的N个所述第一支持部；
所述第二支持体具有在上下方向上以规定间隔并列设置，并且能在上下方向上排列地分别支持所述基板的N个所述第二支持部；
N个所述第一支持部形成为与所述第一手部的N个保持部相对应地设置，并且通过所述第一支持体升降而在与所述相对应的保持部之间传递所述基板的结构；
N个所述第二支持部形成为与所述第二手部的N个保持部相对应地设置，并且通过所述第二支持体升降而在与所述相对应的保持部之间传递所述基板的结构。
12.根据权利要求11所述的基板搬运中转装置，其特征在于，所述第一支持部及第二支持部是在水平的规定方向上夹入空间配置，并且是分别形成于所述第一支持体及第二支持体上的一对爪状的部分，以支持所述基板的外缘部。
13.根据权利要求10所述的基板搬运中转装置，其特征在于，
所述第一升降机构是使所述第一支持体升降的升降气缸机构；
所述第二升降机构是与所述第一支持体的升降相配合且与其升降反方向地使第二支持体升降的齿轮齿条机构。
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