KR20220106900A - 기판 적재용 카세트 및 이를 이용한 기판 처리 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트는 제1 프레임, 제2 프레임, 상기 제1 프레임에 결합되는 제1 지지부, 및 상기 제1 프레임에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1 지지부 아래에 배치되는 제2 지지부를 포함할 수 있다. 상기 제1 지지부는 제1 지지대 및 복수의 제1 가지부들을 포함하고, 상기 제2 지지부는 제2 지지대 및 복수의 제2 가지부들을 포함하며, 상기 복수의 제2 가지부들은 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동할 수 있다.

Description

기판 적재용 카세트 및 이를 이용한 기판 처리 방법{CASSETTE FOR LOADING PANEL AND SUBSTRATE PROCESSIGN METHOD USING THE SAME}
본 발명은 신뢰성이 향상된 기판 적재용 카세트 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 관한 것이다.
텔레비전, 휴대폰, 네비게이션, 컴퓨터 모니터, 또는 게임기 등과 같은 멀티 미디어 장치에 사용되는 다양한 표시 장치들이 개발되고 있다. 표시 장치들은 기판을 포함할 수 있다.
기판은 표면 경도, 내충격성, 및 가공성 등을 향상시키기 위해 강화 공정이 진행될 수 있다. 강화 공정은 물리적 강화 및 화학적 강화를 포함할 수 있다. 강화 공정 중 보관 및 운반을 용이하게 하기 위해 기판을 적재하기 위한 카세트가 제공될 수 있다.
본 발명은 신뢰성이 향상된 기판 적재용 카세트 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트는 제1 프레임, 상기 제1 프레임과 마주하고, 상기 제1 프레임으로부터 제1 방향으로 이격된 제2 프레임, 상기 제1 프레임에 결합되는 제1 지지부, 및 상기 제1 프레임에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1 지지부 아래에 배치되는 제2 지지부를 포함할 수 있다.
상기 제1 지지부는 상기 제1 프레임에 결합되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제1 지지대 및 상기 제1 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 복수의 제1 가지부들을 포함하고, 상기 제2 지지부는 상기 제1 프레임에 결합되고, 상기 제2 방향으로 연장된 제2 지지대 및 상기 제2 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 복수의 제2 가지부들을 포함하며, 상기 복수의 제2 가지부들은 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향에서 보았을 때, 상기 복수의 제1 가지부들 및 상기 복수의 제2 가지부들은 서로 비중첩할 수 있다.
상기 복수의 제2 가지부들은 제1 상태 또는 제2 상태로 동작하고, 상기 제1 상태에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향에서 보았을 때, 상기 복수의 제1 가지부들 중 하나의 제1 가지부 및 상기 제1 가지부와 인접한 상기 복수의 제2 가지부들 중 하나의 제2 가지부 사이의 상기 제2 방향으로 나란한 최대 간격은 제1 간격을 갖고, 상기 제2 상태에서 상기 최대 간격은 제2 간격을 가지며, 상기 제1 간격은 상기 제2 간격보다 클 수 있다.
상기 복수의 제1 가지부들 각각은 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제1 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출되고, 상기 복수의 제2 가지부들 각각은 상기 제2 지지대로부터 상기 제1 교차 방향과 교차하는 제2 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다.
상기 복수의 제1 가지부들 중 하나의 제1 가지부 및 상기 제1 가지부와 인접한 복수의 제2 가지부들 중 하나의 제2 가지부 사이의 거리는 상기 제1 프레임에서 상기 제2 프레임으로 갈수록 증가할 수 있다.
상기 복수의 제1 가지부들 각각은 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향과 나란한 방향으로 돌출되고, 상기 복수의 제2 가지부들 각각은 상기 제2 지지대로부터 상기 제1 방향과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다.
상기 제2 프레임에 결합되는 제3 지지부 및 상기 제2 프레임에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제3 지지부 아래에 배치되는 제4 지지부를 더 포함하고, 상기 제3 지지부는 상기 제2 프레임에 결합되고, 상기 제2 방향으로 연장된 제3 지지대 및 상기 제3 지지대로부터 상기 제1 프레임을 향해 돌출된 복수의 제3 가지부들을 포함하고, 상기 제4 지지부는 상기 제2 프레임에 결합되고, 상기 제2 방향으로 연장된 제4 지지대 및 상기 제4 지지대로부터 상기 제1 프레임을 향해 돌출된 복수의 제4 가지부들을 포함할 수 있다.
상기 복수의 제4 가지부들은 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동할 수 있다.
상기 복수의 제1 가지부들 중 하나의 제1 가지부 및 상기 제1 가지부와 인접한 복수의 제2 가지부들 중 하나의 제2 가지부 사이의 간격에 대응하여 상기 복수의 제3 가지부들 중 하나의 제3 가지부 및 상기 제3 가지부와 인접한 복수의 제4 가지부들 중 하나의 제4 가지부 사이의 간격이 동시에 조절될 수 있다.
상기 복수의 제1 가지부들은 상기 복수의 제3 가지부들과 상기 제1 방향으로 각각 마주하고, 상기 복수의 제2 가지부들은 상기 복수의 제4 가지부들과 상기 제1 방향으로 각각 마주할 수 있다.
상기 제1 프레임, 상기 제2 프레임, 상기 제1 지지부, 및 상기 제2 지지부는 스테인리스 스틸을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법은 제1 프레임, 상기 제1 프레임과 제1 방향으로 이격된 제2 프레임, 상기 제1 프레임에 결합되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제1 지지대, 상기 제1 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 제1 가지부, 상기 제1 지지대 아래에 배치되는 제2 지지대, 및 상기 제2 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 제2 가지부를 포함하는 카세트를 제공하는 단계, 로봇암에 기판을 고정하는 단계, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향에서 보았을 때, 상기 제1 가지부 및 상기 제2 가지부 사이의 상기 제2 방향과 나란한 간격을 제1 간격으로 조절하는 단계, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 사이에 상기 기판을 적재하는 단계, 상기 간격을 상기 제1 간격보다 좁은 제2 간격으로 조절하는 단계, 및 상기 기판을 강화하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 간격의 최대 간격은 상기 로봇암의 상기 제2 방향 폭보다 클 수 있다.
상기 제2 간격의 최대 간격은 상기 제2 방향과 나란한 방향의 상기 기판의 두께보다 클 수 있다.
상기 제2 간격의 최대 간격은 상기 로봇암의 상기 제2 방향과 나란한 폭보다 작을 수 있다.
상기 간격은 상기 제1 간격으로 조절하는 단계는 상기 제2 가지부를 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 간격을 상기 제2 간격으로 조절하는 단계는 상기 제2 가지부를 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 기판을 강화하는 단계는 상기 카세트 및 상기 기판을 예열하는 단계, 상기 카세트 및 상기 기판을 화학 강화 처리하는 단계, 및 상기 카세트 및 상기 기판을 냉각하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 가지부는 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제1 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출되고, 상기 제2 가지부는 상기 제2 지지대로부터 상기 제1 교차 방향과 교차하는 제2 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다.
상기 제1 가지부는 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향과 나란한 방향으로 돌출되고, 상기 제2 가지부는 상기 제1 가지부와 평행할 수 있다.
상술한 바에 따르면, 로봇암에 고정된 기판은 카세트의 제1 가지부 및 제2 가지부 사이에 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 가지부 및 제2 가지부 사이의 간격은 로봇암의 크기를 고려하여 조절될 수 있다. 따라서, 로봇암을 이용한 자동화 공정의 신뢰성이 향상될 수 있고, 기판을 적재할 때 발생할 수 있는 기판의 손상이 감소할 수 있다. 카세트에 기판이 적재되는 단계 이후에 제1 가지부 및 제2 가지부 사이의 간격은 기판의 두께를 고려하여 조절될 수 있다. 따라서, 기판을 강화하는 단계에서 기판이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 기판에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 적재용 카세트 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법을 도시한 흐름도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 측면도이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 강화하는 공정을 도시한 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 화학 강화 처리하는 공정을 개략적으로 도시한 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의될 수 있다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 적재용 카세트(CST)는 제1 프레임(FR1), 제2 프레임(FR2), 제1 지지부(SP1), 제2 지지부(SP2), 제3 지지부(SP3), 및 제4 지지부(SP4)를 포함할 수 있다.
제1 프레임(FR1) 및 제2 프레임(FR2)은 서로 마주할 수 있다. 제2 프레임(FR2)은 제1 프레임(FR1)으로부터 제1 방향(DR1)으로 이격될 수 있다.
제1 지지부(SP1)는 제1 프레임(FR1)에 결합할 수 있다. 제1 지지부(SP1)는 제1 지지대(SR1) 및 복수의 제1 가지부들(BR1)을 포함할 수 있다.
제1 지지대(SR1)는 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다.
복수의 제1 가지부들(BR1)은 제1 지지대(SR1)로부터 제2 프레임(FR2)을 향해 돌출될 수 있다.
제2 지지부(SP2)는 제1 프레임(FR1)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 제2 지지부(SP2)는 제1 지지부(SP1) 아래에 배치될 수 있다. 제2 지지부(SP2)는 제2 지지대(SR2) 및 복수의 제2 가지부들(BR2)을 포함할 수 있다.
제2 지지대(SR2)는 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다.
복수의 제2 가지부들(BR2)은 제2 지지대(SR2)로부터 제2 프레임(FR2)을 향해 돌출될 수 있다. 복수의 제2 가지부들(BR2)은 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 이동할 수 있다. 제1 제어부(CT1)는 복수의 제2 가지부들(BR2)의 이동을 조절할 수 있다.
제1 지지부(SP1) 및 제2 지지부(SP2) 각각은 복수로 제공될 수 있다. 복수의 제1 지지부들(SP1) 및 복수의 제2 지지부들(SP2)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 교차하는 제3 방향(DR3)으로 하나씩 교대로 배열될 수 있다. 도 1에서는 예시적으로 각각 3개의 제1 지지부들(SP1) 및 제2 지지부들(SP2)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제1 지지부들(SP1) 및 복수의 제2 지지부들(SP2) 각각의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 복수의 제1 지지부들(SP1) 및 복수의 제2 지지부들(SP2)은 각각 2개씩 제공되어 제3 방향(DR3)으로 순차적으로 배열될 수 있다.
제3 지지부(SP3)는 제2 프레임(FR2)에 결합될 수 있다. 제3 지지부(SP3)는 제3 지지대(SR3) 및 복수의 제3 가지부들(BR3)을 포함할 수 있다.
제3 지지대(SR3)는 제2 프레임(FR2)에 결합될 수 있다. 제3 지지대(SR3)는 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 제3 지지대(SR3)는 제1 지지대(SR1)와 제1 방향(DR1)으로 마주할 수 있다.
복수의 제3 가지부들(BR3)은 제3 지지대(SR3)로부터 제1 프레임(FR1)을 향해 돌출될 수 있다. 복수의 제3 가지부들(BR3)은 복수의 제1 가지부들(BR1)과 제1 방향(DR1)으로 각각 마주할 수 있다.
제4 지지부(SP4)는 제2 프레임(FR2)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 제4 지지부(SP4)는 제3 지지부(SP3) 아래에 배치될 수 있다. 제4 지지부(SP4)는 제4 지지대(SR4) 및 복수의 제4 가지부들(BR4)을 포함할 수 있다.
제4 지지대(SR4)는 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 제4 지지대(SR4)는 제2 지지대(SR2)와 제1 방향(DR1)으로 마주할 수 있다.
복수의 제4 가지부들(BR4)은 제4 지지대(SR4)로부터 제1 프레임(FR1)을 향해 돌출될 수 있다. 복수의 제4 가지부들(BR4)은 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 이동할 수 있다. 제2 제어부(CT2)는 복수의 제4 가지부들(BR4)의 이동을 조절할 수 있다. 복수의 제4 가지부들(BR4)은 복수의 제2 가지부들(BR2)과 제1 방향(DR1)으로 각각 마주할 수 있다.
제3 지지부(SP3) 및 제4 지지부(SP4) 각각은 복수로 제공될 수 있다. 복수의 제3 지지부들(SP3) 및 복수의 제4 지지부들(SP4)은 제3 방향(DR3)으로 하나씩 교대로 배열될 수 있다. 도 1에서는 예시적으로 각각 3개의 제3 지지부들(SP3) 및 제4 지지부들(SP4)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제3 지지부들(SP3) 및 복수의 제4 지지부들(SP4) 각각의 개수는 이에 제한되지 않는다.
제1 프레임(FR1), 제2 프레임(FR2), 제1 지지부(SP1), 제2 지지부(SP2), 제3 지지부(SP3), 및 제4 지지부(SP4)는 내열성 및 내화학성을 가지는 물질을 포함할 수 있다. 제1 프레임(FR1), 제2 프레임(FR2), 제1 지지부(SP1), 제2 지지부(SP2), 제3 지지부(SP3), 및 제4 지지부(SP4)는 스테인리스 스틸을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 프레임(FR1), 제2 프레임(FR2), 제1 지지부(SP1), 제2 지지부(SP2), 제3 지지부(SP3), 및 제4 지지부(SP4)는 SUS 304 또는 SUS 316을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 프레임(FR1), 제2 프레임(FR2), 제1 지지부(SP1), 제2 지지부(SP2), 제3 지지부(SP3), 및 제4 지지부(SP4)는 기판 처리 공정에서 카세트(CST)에 발생할 수 있는 부식 및 화학적 반응을 감소시킬 수 있다. 또한, 기판 처리 공정을 반복해서 진행함에 의한 열팽창 및 열수축에 의해 발생할 수 있는 카세트(CST)의 변형을 감소시킬 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 카세트(CST) 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법을 도시한 흐름도이고, 도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다.
도 1 내지 도 3a을 참조하면, 기판(GL)을 처리하는 공정에서 충격, 오염, 긁힘, 먼지 등의 변화의 영향으로 손상되지 않도록 기판(GL)을 적재할 수 있는 카세트(CST)가 제공될 수 있다(S100).
카세트(CST)는 제1 프레임(FR1), 제2 프레임(FR2), 제1 지지대(SR1), 복수의 제1 가지부들(BR1), 제2 지지대(SR2), 복수의 제2 가지부들(BR2), 제3 지지대(SR3), 복수의 제3 가지부들(BR3), 제4 지지대(SR4), 및 복수의 제4 가지부들(BR4)을 포함할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 복수의 제1 가지부들(BR1) 각각은 제1 지지대(SR1)로부터 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 교차하는 제1 교차 방향(DRa)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 복수의 제2 가지부들(BR2) 각각은 제2 지지대(SR2)로부터 제1 교차 방향(DRa)과 교차하는 제2 교차 방향(DRb)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제1 지지대(SR1) 및 제2 지지대(SR2)는 서로 중첩할 수 있고, 복수의 제1 가지부들(BR1) 및 복수의 제2 가지부들(BR2)은 서로 비중첩할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 복수의 제1 가지부들(BR1) 중 하나의 제1 가지부 및 상기 제1 가지부와 인접한 복수의 제2 가지부들(BR2) 중 하나의 제2 가지부 사이의 거리는 제1 프레임(FR1)에서 제2 프레임(FR2)으로 갈수록 증가할 수 있다.
제3 방향에서 보았을 때, 복수의 제3 가지부들(BR3) 각각은 제3 지지대(SR3)로부터 제1 교차 방향(DRa)과 반대되는 제3 교차 방향(DRc)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 복수의 제4 가지부들(BR4) 각각은 제4 지지대(SR4)로부터 제3 교차 방향(DRc)과 교차하고, 제2 교차 방향(DRb)과 반대되는 제4 교차 방향(DRd)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제3 지지대(SR3) 및 제4 지지대(SR4)는 서로 중첩할 수 있고, 복수의 제3 가지부들(BR3) 및 복수의 제4 가지부들(BR4)을 서로 비중첩할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 복수의 제3 가지부들(BR3) 중 하나의 제3 가지부 및 상기 제3 가지부와 인접한 복수의 제4 가지부들(BR4) 중 하나의 제4 가지부 사이의 거리는 제2 프레임(FR2)에서 제1 프레임(FR1)으로 갈수록 증가할 수 있다.
본 발명에 따르면, 카세트(CST)는 제1 프레임(FR1) 및 제2 프레임(FR2) 사이의 제1 방향(DR1)과 나란한 거리를 조절하여 기판(GL)의 크기에 관계없이 기판(GL)을 적재할 수 있다. 따라서, 기판(GL)에 따라 카세트(CST)를 교체하는데 발생할 수 있는 비용을 감소시킬 수 있고, 기판(GL)을 처리하는 공정의 수율을 향상시킬 수 있다.
기판(GL)은 글라스일 수 있다. 기판(GL)은 박형 글라스(thin glass)일 수 있다. 예를 들어, 기판(GL)의 제2 방향(DR2)으로 나란한 두께(GW)는 70μm(micrometer) 이하의 글라스일 수 있다. 기판(GL)은 화학 처리 공정을 통해 강화되고, 강화된 기판은 표시 장치의 윈도우에 적용될 수 있다.
기판(GL)을 처리하는 공정에서 로봇암(RA)이 이용될 수 있다. 기판(GL)은 로봇암(RA)에 고정될 수 있다(S200). 본 발명과 달리 로봇암(RA)을 사용하지 않고 기판(GL)을 카세트(CST)에 적재하거나 처리하는 경우, 기판(GL)의 두께(GW)에 의해 기판(GL)을 처리하는 과정에서 기판(GL)에 손상이 발생하거나 깨질 수 있다. 하지만, 본 발명에 따르면, 로봇암(RA)을 이용하여 기판(GL)에 손상이 발생하지 않도록 일정한 힘으로 고정할 수 있고, 기판(GL)을 용이하게 처리할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
로봇암(RA)은 기판(GL)을 처리하는 공정을 자동화할 수 있다. 로봇암(RA)은 기판(GL)을 처리하는 공정에 사용되는 인력 및 시간을 감소시킬 수 있고, 수율을 향상시킬 수 있다.
로봇암(RA)은 복수로 제공될 수 있다. 복수의 로봇암들(RA)은 제1 방향(DR1)을 따라 배열되어 기판(GL)을 고정할 수 있다. 도 3a에서는 예시적으로 3개의 로봇암들(RA)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 로봇암들(RA)의 개수는 기판(GL)을 고정할 수 있다면, 제한되지 않는다. 예를 들어, 복수의 로봇암들(RA)은 2개로 제공될 수 있고, 2개의 로봇암들(RA)은 제1 프레임(FR1) 및 제2 프레임(FR2) 각각에 인접하게 배치되어 기판(GL)을 고정할 수 있다.
제1 제어부(CT1)는 복수의 제2 가지부들(BR2) 중 하나의 제2 가지부(BR2, 이하 제2 가지부)를 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1 제어부(CT1)는 복수의 제1 가지부들(BR1) 중 제2 가지부(BR2)와 인접한 제1 가지부(BR1, 이하 제1 가지부) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격을 조절할 수 있다. 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 간격의 최대 간격은 제1 간격(BW1a)으로 조절될 수 있다(S300). 상기 간격이 제1 간격(BW1a)으로 조절된 카세트(CST)는 제1 상태로 동작한다고 지칭될 수 있다.
제1 간격(BW1a)은 로봇암(RA)의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 폭(RW)보다 클 수 있다. 따라서, 로봇암(RA)은 기판(GL)을 적재할 때, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)와 충돌 또는 간섭이 방지될 수 있다.
본 발명에 따르면, 로봇암(RA)이 기판(GL)을 적재할 때, 로봇암(RA)은 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)와 이격될 수 있다. 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 로봇암(RA)은 제1 가지부(BR1)와 제2 가지부(BR2) 사이에 기판(GL)을 용이하게 삽입할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 간격의 최소 간격은 제1 최소 간격(BW2a)일 수 있다. 제1 최소 간격(BW2a)은 기판(GL)의 두께(GW)보다 클 수 있다.
본 발명에 따르면, 로봇암(RA)이 기판(GL)을 적재할 때, 기판(GL)은 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)와 이격될 수 있다. 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 기판(GL)은 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이에 용이하게 삽입될 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제2 제어부(CT2)는 복수의 제4 가지부들(BR4) 중 하나의 제4 가지부(BR4, 이하 제4 가지부)를 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 이동시킬 수 있다. 제2 제어부(CT2)는 복수의 제3 가지부들(BR3) 중 제4 가지부(BR4)와 인접한 제3 가지부(BR3, 이하 제3 가지부) 및 제4 가지부(BR4) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격을 조절할 수 있다. 제3 가지부(BR3) 및 제4 가지부(BR4) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격은 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격에 대응하여 동시에 조절될 수 있다.
로봇암(RA)에 고정된 기판(GL)은 카세트(CST)에 적재될 수 있다(S400). 기판(GL)은 복수로 제공될 수 있다. 카세트(CST)는 복수의 기판들(GL)을 적재할 수 있다. 복수의 기판들(GL)은 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 서로 이격되어 적재될 수 있다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다. 도 3b를 설명함에 있어서, 도 3a를 통해 설명된 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다.
도 2 및 도 3b를 참조하면, 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 복수의 제1 가지부들(BR1-1) 각각은 제1 지지대(SR1)로부터 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 복수의 제2 가지부들(BR2-1) 각각은 제2 지지대(SR2, 도 1 참조)로부터 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 복수의 제1 가지부들(BR1-1) 및 복수의 제2 가지부들(BR2-1)은 서로 평행할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 복수의 제1 가지부들(BR1-1) 및 복수의 제2 가지부들(BR2-1)은 서로 비중첩할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 복수의 제3 가지부들(BR3-1) 각각은 제3 지지대(SR3)로부터 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 복수의 제4 가지부들(BR4) 각각은 제4 지지대(SR4, 도 1 참조)로부터 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 복수의 제3 가지부들(BR3-1) 및 복수의 제4 가지부들(BR4-1)은 서로 평행할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 복수의 제3 가지부들(BR3-1) 및 복수의 제4 가지부들(BR4-1)은 서로 비중첩할 수 있다.
제1 제어부(CT1)는 복수의 제2 가지부들(BR2-1) 중 하나의 제2 가지부(BR2-1, 이하 제2 가지부)를 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1 제어부(CT1)는 복수의 제1 가지부들(BR1-1) 중 제2 가지부(BR2-1)와 인접한 제1 가지부(BR1-1, 이하 제1 가지부) 및 제2 가지부(BR2-1) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격을 조절할 수 있다. 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격은 제1 간격(BWa-1)으로 조절될 수 있다(S300).
제1 간격(BWa-1)은 로봇암(RA)의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 폭(RW)보다 클 수 있다.
본 발명에 따르면, 로봇암(RA)이 기판(GL)을 적재할 때, 로봇암(RA)은 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1)와 이격될 수 있다. 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 로봇암(RA)은 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1) 사이에 기판(GL)을 용이하게 삽입할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제2 제어부(CT2)는 복수의 제4 가지부들(BR4-1) 중 하나의 제4 가지부(BR4-1, 이하 제4 가지부)를 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 이동시킬 수 있다. 제2 제어부(CT2)는 복수의 제3 가지부들(BR3-1) 중 제4 가지부(BR4-1)와 인접한 제3 가지부(BR3-1, 이하 제3 가지부) 및 제4 가지부(BR4-1) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격을 조절할 수 있다. 제3 가지부(BR3-1) 및 제4 가지부(BR4-1) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격은 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격에 대응하여 동시에 조절될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 측면도이다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 기판(GL)은 카세트(CST)에 적재될 수 있다.
제1 지지부(SP1), 제2 지지부(SP2), 제3 지지부(SP3), 및 제4 지지부(SP4) 각각은 복수로 제공될 수 있다. 복수의 제1 지지부들(SP1) 및 복수의 제2 지지부들(SP2)은 제3 방향(DR3)과 나란한 방향을 따라 순차적으로 배열될 수 있다. 복수의 제3 지지부들(SP3) 및 복수의 제4 지지부들(SP4)은 제3 방향(DR3)과 나란한 방향을 따라 순차적으로 배열될 수 있다.
제2 가지부(BR2)은 제1 가지부(BR1) 아래에 배치될 수 있고, 제4 가지부(BR4)은 제3 가지부(BR3) 아래에 배치될 수 있다.
제1 가지부(BR1) 및 제3 가지부(BR3)는 기판(GL)의 제1 면을 지지할 수 있다. 제2 가지부(BR2) 및 제4 가지부(BR4)는 기판(GL)의 상기 제1 면과 제2 방향(DR2)으로 대향하는 제2 면을 지지할 수 있다.
도 4에서는 예시적으로 각각 3개의 제1 지지부들(SP1), 제2 지지부들(SP2), 제3 지지부들(SP3), 및 제4 지지부들(SP4)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 지지부들(SP1), 제2 지지부들(SP2), 제3 지지부들(SP3), 및 제4 지지부들(SP4) 각각의 개수는 기판(GL)을 지지할 수 있는 정도라면 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제1 지지부들(SP1), 제2 지지부들(SP2), 제3 지지부들(SP3), 및 제4 지지부들(SP4) 각각의 개수는 2개로 제공되어 기판(GL)을 지지할 수도 있다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다. 도 5a를 설명함에 있어서, 도 3a를 통해 설명된 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다.
도 2 및 도 5a를 참조하면, 기판(GL)은 카세트(CST)에 적재될 수 있다. 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 간격의 최대 간격은 제2 간격(BW1b)으로 조절될 수 있다(S500). 상기 간격이 제2 간격(BW1b)으로 조절된 카세트(CST)는 제2 상태로 동작한다고 지칭될 수 있다.
제2 간격(BW1b)은 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 기판(GL)의 두께(GW)보다 클 수 있다. 제2 간격(BW1b)은 로봇암(RA, 도 3a 참조)의 제2 방향(DR2)과 나란한 폭(RW)보다 작을 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)는 기판(GL)과 인접하게 배치될 수 있다. 기판(GL)을 강화하는 단계(S600)를 진행할 때, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)는 기판(GL)을 지지할 수 있다. 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)는 기판(GL)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(GL)을 강화하는 공정(S600)을 용이하게 진행할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판(GL) 적재용 카세트(CST) 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 간격의 최소 간격은 제2 최소 간격(BW2b)일 수 있다. 제2 최소 간격(BW2b)은 기판(GL)의 두께(GW)보다 작을 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 거리는 제1 프레임(FR1)에서 제2 프레임(FR2)으로 갈수록 증가할 수 있다. 카세트(CST)에 적재된 기판(GL)은 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)에 의해 지지될 수 있다. 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)는 기판(GL)이 흔들거리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(GL)을 강화하는 공정(S500)을 용이하게 진행할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판(GL) 적재용 카세트(CST) 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 간격(BW1a, 도 3a 참조)은 제2 간격(BW1b)보다 클 수 있다. 기판(GL)을 적재하는 단계(S400) 이전에 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 간격은 제1 간격(BW1a, 도 3a 참조)으로 조절될 수 있다(S300). 카세트(CST)는 로봇암(RA, 도 3a 참조)에 고정된 기판(GL)을 적재하기 위한 공간을 확보할 수 있다. 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 간격은 제1 간격(BW1a, 도 3a 참조)은 로봇암의 크기를 고려하여 조절될 수 있다. 로봇암(RA, 도 3a 참조)을 이용하여 기판(GL)을 적재하는 공정 중에 로봇암(RA, 도 3a 참조)이 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)에 충돌 또는 간섭하는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 기판 처리 방법의 자동화 공정의 신뢰성이 향상될 수 있다. 따라서, 로봇암(RA, 도 3a 참조)을 이용한 자동화 공정의 신뢰성이 향상될 수 있고, 기판(GL)을 적재할 때 발생할 수 있는 기판(GL)의 손상이 감소할 수 있다.
카세트(CST)에 기판(GL)이 적재되는 단계(S400) 이후에 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2) 사이의 간격은 제2 간격(BW1b)으로 조절될 수 있다(S500). 카세트(CST)는 제1 간격(BW1a, 도 3a 참조)보다 작은 제2 간격(BW1b)을 갖는 제1 가지부(BR1) 및 제2 가지부(BR2)를 통해 기판(GL)을 지지할 수 있다. 따라서, 기판(GL)을 강화하는 단계(S600)에서 기판(GL)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 기판(GL)에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판(GL) 적재용 카세트(CST) 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 평면도이다. 도 5b를 설명함에 있어서, 도 3b 및 도 5a를 통해 설명된 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하고 이에 대한 설명은 생략된다.
도 2 및 도 5b를 참조하면, 제3 방향(DR3)에서 보았을 때, 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1) 사이의 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 간격은 제2 간격(BWb-1)으로 조절될 수 있다(S500).
제2 간격(BWb-1)은 제2 방향(DR2)과 나란한 방향의 기판(GL)의 두께(GW)보다 클 수 있다. 제2 간격(BWb-1)은 로봇암(RA, 도 3b 참조)의 제2 방향(DR2)과 나란한 폭(RW)보다 작을 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1)는 기판(GL)과 인접하게 배치될 수 있다. 기판(GL)을 강화하는 단계(S500)를 진행할 때, 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1)는 기판(GL)을 지지할 수 있다. 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1)는 기판(GL)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판(GL)을 강화하는 공정(S600)을 용이하게 진행할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판(GL) 적재용 카세트(CST-1) 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1 간격(BWa-1, 도 3b 참조)은 제2 간격(BWb-1)보다 클 수 있다. 카세트(CST-1)는 기판(GL)을 적재하는 단계(S400) 이전에 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1) 사이의 간격은 제1 간격(BWa-1, 도 3b 참조)으로 조절될 수 있다(S300). 카세트(CST-1)는 로봇암(RA, 도 3b 참조)에 고정된 기판(GL)을 적재하기 위한 공간을 확보할 수 있다. 따라서, 로봇암(RA, 도 3b 참조)을 이용한 자동화 공정의 신뢰성이 향상될 수 있고, 기판(GL)을 적재할 때 발생할 수 있는 기판(GL)의 손상이 감소할 수 있다. 카세트(CST-1)에 기판(GL)이 적재되는 단계(S400) 이후에 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1) 사이의 간격은 제2 간격(BWb-1)으로 조절될 수 있다(S500). 카세트(CST-1)는 제1 간격(BWa-1, 도 3b 참조)보다 작은 제2 간격(BWb-1)을 갖는 제1 가지부(BR1-1) 및 제2 가지부(BR2-1)를 통해 기판(GL)을 지지할 수 있다. 따라서, 기판(GL)을 강화하는 단계(S600)에서 기판(GL)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 기판(GL)에 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 향상된 기판(GL) 적재용 카세트(CST-1) 및 이를 이용한 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 강화하는 공정을 도시한 흐름도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 화학 강화 처리하는 공정을 개략적으로 도시한 것이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 기판을 강화하는 단계(S600)는 카세트(CST) 및 기판(GL)을 예열하는 단계(S610), 카세트(CST) 및 기판(GL)을 화학 강화 처리 하는 단계(S620), 카세트(CST) 및 기판(GL)을 냉각하는 단계(S630), 및 카세트(CST) 및 기판(GL)을 세정하는 단계(S640)를 포함할 수 있다.
카세트(CST) 및 기판(GL)을 예열하는 단계(S610)는 기판(GL)을 화학 강화를 위해 일정 수준의 온도로 예열 및 가열하는 과정일 수 있다. 기판(GL)을 예열하는 단계(S610)는 승온과 정온 과정을 반복하여 갑작스러운 가열에 의한 열팽창으로 기판(GL)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 예열 단계(S610)는 화학 강화 처리 단계(S62)에서의 반응성을 향상시킬 수 있다.
카세트(CST) 및 기판을 화학 강화 처리하는 단계(S620)는 카세트(CST) 및 기판(GL)을 강화로(CB) 내에 투입할 수 있다. 강화로(CB)에는 화학 강화 처리를 위한 용융액(MS)이 수용될 수 있다. 기판(GL)은 용융액(MS)과 이온치환반응을 하여 화학 강화 처리될 수 있다. 예를 들어, 용융액(MS)은 질산칼륨 용액을 포함할 수 있다.
강화로(CB)는 내화학성 및 내열성을 가질 수 있다. 예를 들어, 강화로(CB)는 스테인리스 스틸을 포함할 수 있다. 강화로(CB)는 용융액(MS)의 온도를 일정하게 유지시키고, 열 손실을 막을 수 있다.
기판(GL)은 예열 단계(S610)에 의해 예열되어, 기판(GL) 표면의 나트륨 이온 및 용융액(MS)인 질산칼륨 용액의 이온치환반응이 용이할 수 있다.
고온의 용융액(MS)에 제공된 기판(GL)은 이온치환반응이 진행될 수 있다. 예를 들어, 상기 고온은 400℃ 내지 500℃일 수 있다. 화학 강화 처리하는 단계(S620)에서 기판(GL) 표면의 작은 입자는 용융액(MS)의 큰 입자로 이온 교환될 수 있다. 예를 들어, 상기 작은 입자는 나트륨 이온일 수 있고, 상기 큰 입자는 칼륨 이온일 수 있다. 용융액(MS)의 액화된 질산칼륨(KNO3) 용액을 포함할 수 있다. 기판(GL)의 표면에 분포하는 이온 반경이 작은 나트륨 이온(Na+)은 질산칼륨 용액의 이온 반경이 큰 칼륨 이온(K+)과 서로 치환될 수 있다. 기판(GL)의 표면에는 이온치환 반응에 의한 압축응력층이 형성되어 표면 밀도가 향상될 수 있다.
카세트(CST) 및 기판(GL)을 냉각하는 단계(S630)는 기판(GL)을 서냉시킬 수 있다. 기판(GL)을 냉각하는 단계(S630)는 이온 치환된 기판(GL)의 변형을 방지할 수 있고, 잔류하는 응력을 제거할 수 있다.
서냉 단계(S630)는 고온의 불안정한 이온 치환된 기판(GL)의 표면에 용융액(MS)의 질산칼륨과 결합된 부분이 응고되면서 발생할 수 있는 충격을 방지할 수 있다. 또한, 급격히 냉각하는 경우에 기판(GL)의 부분적 냉각 속도의 차이로 인해 기판(GL)의 내부에 발생할 수 있는 충격을 방지하고 내부 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
카세트(CST) 및 기판(GL)을 세정하는 단계(S640)는 기포를 이용하여 기판(GL)을 버블 세척할 수 있다. 세정하는 단계(S640)는 기판(GL)을 세정함과 동시에 냉각시켜 화학 강화 처리 단계(S520)에서 형성된 기판(GL)의 잔류응력을 제거하여 기판(GL)의 안정화를 향상시킬 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
CST: 카세트 SR1: 제1 지지대
BR1: 복수의 제1 가지부들 SR2: 제2 지지대
BR2: 복수의 제2 가지부들 GL: 기판
BW1a: 제1 간격 BW1b: 제2 간격

Claims (20)

  1. 제1 프레임;
    상기 제1 프레임과 마주하고, 상기 제1 프레임으로부터 제1 방향으로 이격된 제2 프레임;
    상기 제1 프레임에 결합되는 제1 지지부; 및
    상기 제1 프레임에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1 지지부 아래에 배치되는 제2 지지부를 포함하고,
    상기 제1 지지부는,
    상기 제1 프레임에 결합되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제1 지지대; 및
    상기 제1 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 복수의 제1 가지부들을 포함하고,
    상기 제2 지지부는,
    상기 제1 프레임에 결합되고, 상기 제2 방향으로 연장된 제2 지지대; 및
    상기 제2 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 복수의 제2 가지부들을 포함하며,
    상기 복수의 제2 가지부들은 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동하는 기판 적재용 카세트.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향에서 보았을 때, 상기 복수의 제1 가지부들 및 상기 복수의 제2 가지부들은 서로 비중첩하는 기판 적재용 카세트.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제2 가지부들은 제1 상태 또는 제2 상태로 동작하고,
    상기 제1 상태에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향에서 보았을 때, 상기 복수의 제1 가지부들 중 하나의 제1 가지부 및 상기 제1 가지부와 인접한 상기 복수의 제2 가지부들 중 하나의 제2 가지부 사이의 상기 제2 방향으로 나란한 최대 간격은 제1 간격을 갖고,
    상기 제2 상태에서 상기 최대 간격은 제2 간격을 가지며,
    상기 제1 간격은 상기 제2 간격보다 큰 기판 적재용 카세트.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 가지부들 각각은 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제1 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출되고,
    상기 복수의 제2 가지부들 각각은 상기 제2 지지대로부터 상기 제1 교차 방향과 교차하는 제2 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출되는 기판 적재용 카세트.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 가지부들 중 하나의 제1 가지부 및 상기 제1 가지부와 인접한 복수의 제2 가지부들 중 하나의 제2 가지부 사이의 거리는 상기 제1 프레임에서 상기 제2 프레임으로 갈수록 증가하는 기판 적재용 카세트.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 가지부들 각각은 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향과 나란한 방향으로 돌출되고,
    상기 복수의 제2 가지부들 각각은 상기 제2 지지대로부터 상기 제1 방향과 나란한 방향으로 돌출되는 기판 적재용 카세트.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 프레임에 결합되는 제3 지지부 및 상기 제2 프레임에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제3 지지부 아래에 배치되는 제4 지지부를 더 포함하고,
    상기 제3 지지부는,
    상기 제2 프레임에 결합되고, 상기 제2 방향으로 연장된 제3 지지대; 및
    상기 제3 지지대로부터 상기 제1 프레임을 향해 돌출된 복수의 제3 가지부들을 포함하고,
    상기 제4 지지부는,
    상기 제2 프레임에 결합되고, 상기 제2 방향으로 연장된 제4 지지대; 및
    상기 제4 지지대로부터 상기 제1 프레임을 향해 돌출된 복수의 제4 가지부들을 포함하는 기판 적재용 카세트.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 복수의 제4 가지부들은 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동하는 기판 적재용 카세트.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 가지부들 중 하나의 제1 가지부 및 상기 제1 가지부와 인접한 복수의 제2 가지부들 중 하나의 제2 가지부 사이의 간격에 대응하여 상기 복수의 제3 가지부들 중 하나의 제3 가지부 및 상기 제3 가지부와 인접한 복수의 제4 가지부들 중 하나의 제4 가지부 사이의 간격이 동시에 조절되는 기판 적재용 카세트.
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 가지부들은 상기 복수의 제3 가지부들과 상기 제1 방향으로 각각 마주하고,
    상기 복수의 제2 가지부들은 상기 복수의 제4 가지부들과 상기 제1 방향으로 각각 마주하는 기판 적재용 카세트.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 프레임, 상기 제2 프레임, 상기 제1 지지부, 및 상기 제2 지지부는 스테인리스 스틸을 포함하는 기판 적재용 카세트.
  12. 제1 프레임, 상기 제1 프레임과 제1 방향으로 이격된 제2 프레임, 상기 제1 프레임에 결합되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 제1 지지대, 상기 제1 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 제1 가지부, 상기 제1 지지대 아래에 배치되는 제2 지지대, 및 상기 제2 지지대로부터 상기 제2 프레임을 향해 돌출된 제2 가지부를 포함하는 카세트를 제공하는 단계;
    로봇암에 기판을 고정하는 단계;
    상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향에서 보았을 때, 상기 제1 가지부 및 상기 제2 가지부 사이의 상기 제2 방향과 나란한 간격을 제1 간격으로 조절하는 단계;
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 사이에 상기 기판을 적재하는 단계;
    상기 간격을 상기 제1 간격보다 좁은 제2 간격으로 조절하는 단계; 및
    상기 기판을 강화하는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 간격의 최대 간격은 상기 로봇암의 상기 제2 방향 폭보다 큰 기판 처리 방법.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 제2 간격의 최대 간격은 상기 제2 방향과 나란한 방향의 상기 기판의 두께보다 큰 기판 처리 방법.
  15. 제12 항에 있어서,
    상기 제2 간격의 최대 간격은 상기 로봇암의 상기 제2 방향과 나란한 폭보다 작은 기판 처리 방법.
  16. 제12 항에 있어서,
    상기 간격은 상기 제1 간격으로 조절하는 단계는 상기 제2 가지부를 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동시키는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  17. 제12 항에 있어서,
    상기 간격을 상기 제2 간격으로 조절하는 단계는 상기 제2 가지부를 상기 제2 방향과 나란한 방향으로 이동시키는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  18. 제12 항에 있어서,
    상기 기판을 강화하는 단계는,
    상기 카세트 및 상기 기판을 예열하는 단계;
    상기 카세트 및 상기 기판을 화학 강화 처리하는 단계; 및
    상기 카세트 및 상기 기판을 냉각하는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  19. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 가지부는 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제1 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출되고,
    상기 제2 가지부는 상기 제2 지지대로부터 상기 제1 교차 방향과 교차하는 제2 교차 방향과 나란한 방향으로 돌출되는 기판 처리 방법.
  20. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 가지부는 상기 제1 지지대로부터 상기 제1 방향과 나란한 방향으로 돌출되고,
    상기 제2 가지부는 상기 제1 가지부와 평행한 기판 처리 방법.
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