KR20130028015A - 로봇 핸드 및 로봇 - Google Patents

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KR20130028015A
KR20130028015A KR1020120099360A KR20120099360A KR20130028015A KR 20130028015 A KR20130028015 A KR 20130028015A KR 1020120099360 A KR1020120099360 A KR 1020120099360A KR 20120099360 A KR20120099360 A KR 20120099360A KR 20130028015 A KR20130028015 A KR 20130028015A
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

본 발명의 과제는 세팅 변경을 용이하게 행할 수 있게 하는 것이다. 좌측 아암(6L) 및 우측 아암(6R)에 마련된 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)는, 액정 유리 기판(W)을 탑재 가능한 3개의 포크(12)와, 포크(12)상에 포크 길이방향으로 서로 이격되어 배치되는 한쌍의 고정 부재(15)와, 한쌍의 고정 부재(15) 사이에 각각 배치되어, 포크(12)에 탑재된 액정 유리 기판(W)의 포크 길이방향의 이동을 규제하는 한쌍의 가이드 부재(13)를 갖고 있고, 한쌍의 가이드 부재(13)중 적어도 한쪽은, 한쌍의 제 1 고정 부재 사이에 있어서의 포크 길이방향 위치가 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하게 구성되고, 또한 상기 제 1 가이드 부재에 가까운 쪽의 제 1 고정 부재에 접촉하는 제 1 접촉면을 구비한다.

Description

로봇 핸드 및 로봇{ROBOT HAND AND ROBOT}
개시된 실시형태는 대상물을 반송하기 위한 로봇 핸드 및 그것을 구비한 로봇에 관한 것이다.
종래에, 대상물을 반송하기 위한 로봇 핸드가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 이러한 종래 기술의 로봇 핸드(기판 반송용 핸드)는 로봇(자동 반송 장치)의 핸드 장착부에 핸드 장착용 플레이트를 거쳐서 장착되어 있다. 그리고, 대상물(기판)의 주연부보다 외측에 배치한 아암과, 이 아암에 장착되어, 대상물의 주연부를 파지하는 기판 파지부(把持部)를 구비하고 있다.
기판 파지부의 기재 파지재는 가이드 부재(파지 모재)와, 이 가이드 부재를 이동·안내하는 가이드와, 대상물의 이면을 지지하는 지지 핀으로 구성되어 있다. 가이드 부재는 아암에 고정된 가이드를 따라 아암의 길이방향으로 이동할 수 있고, 소망의 위치에서 볼트 나사에 의해 고정된다. 또한, 가이드 부재는 기판 가이드부와 기판 대면부를 구비하고 있다. 기판 가이드부는, 대상물의 수취시에 대상물의 위치가 다소 어긋나 있는 경우에도, 기판 대면부에 둘러싸여진 부분에 대상물을 가이드한다. 기판 대면부는 지지 핀상에 파지되어 있는 대상물의 단부면과 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록 배치되어 있어, 대상물이 어긋나는 것을 방지한다.
일본 공개 특허 제 1999-254374 호 공보
상기 종래 기술의 로봇 핸드는, 가이드 부재의 볼트 나사에 의한 고정 위치를 변경함으로써, 대상물의 지지 위치를 변경할 수 있으므로, 서로 치수가 상이한 대상물을 반송하는 환경에 이용할 수 있다. 이와 같이, 대상물을 반송하기 위한 로봇 핸드를, 서로 치수가 상이한 대상물을 반송하는 환경에 이용하는 경우, 반송 대상이 되는 대상물의 치수를 변경할 때마다, 대상물과 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 가이드 부재의 고정 위치를 변경하는 세팅 변경을 행할 필요가 있다. 일반적으로는, 교시(敎示)시에, 대상물의 치수마다 가이드 부재의 고정 위치를 설정해서 표시를 기록하여 두고, 반송 대상이 되는 대상물의 치수를 변경할 때에, 가이드 부재를 상기 교시시에 기록한 표시에 일치하도록 배치하여 고정하는 것에 의해 세팅 변경을 행한다. 이 때문에, 세팅 변경에 시간이 걸려서, 작업성이 양호하다고는 말할 수 없었다.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 세팅 변경을 용이하게 행할 수 있는 로봇 핸드 및 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 하나의 관점에 따르면, 로봇 아암에 마련되어, 대상물을 반송하기 위한 로봇 핸드로서, 상기 대상물을 탑재 가능한 적어도 하나의 포크(fork)와, 상기 포크상에 포크 길이방향으로 서로 이격되어 배치되는 한쌍의 제 1 고정 부재와, 상기 한쌍의 제 1 고정 부재 사이에 각각 배치되고, 상기 포크에 탑재된 상기 대상물의 상기 포크 길이방향의 이동을 규제하는 한쌍의 제 1 가이드 부재를 갖고, 상기 한쌍의 제 1 가이드 부재 중 적어도 한쪽은, 상기 한쌍의 제 1 고정 부재 사이에 있어서의 포크 길이방향 위치가 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하게 구성되고, 또한 상기 제 1 가이드 부재에 가까운 쪽의 상기 제 1 고정 부재에 접촉하는 제 1 접촉면을 구비하는 로봇 핸드가 적용된다.
본 발명의 로봇 핸드 및 로봇에 따르면, 세팅 변경을 용이하게 행할 수 있다.
도 1은 일 실시형태의 로봇의 전체 구성을 나타내는 사시도,
도 2는 가장 치수가 큰 액정 유리 기판을 반송 대상으로 하는 경우의 세팅 변경을 설명하기 위한 설명도,
도 3은 도 2 중의 III-III 단면에 상당하는 단면도,
도 4는 2번째로 치수가 큰 액정 유리 기판을 반송 대상으로 하는 경우의 세팅 변경을 설명하기 위한 설명도,
도 5는 도 4 중의 V-V 단면에 상당하는 단면도,
도 6은 가장 치수가 작은 액정 유리 기판을 반송 대상으로 하는 경우의 세팅 변경을 설명하기 위한 설명도,
도 7은 도 6 중의 VII-VII 단면에 상당하는 단면도,
도 8은 포크의 폭방향으로도 가이드 부재를 배치하는 변형예에 있어서, 가장 치수가 큰 액정 유리 기판을 반송 대상으로 하는 경우의 세팅 변경을 설명하기 위한 설명도,
도 9는 도 8 중의 IX-IX 단면에 상당하는 단면도,
도 10은 2번째로 치수가 큰 액정 유리 기판을 반송 대상으로 하는 경우의 세팅 변경을 설명하기 위한 설명도,
도 11은 도 10 중의 XI-XI 단면에 상당하는 단면도,
도 12는 가장 치수가 작은 액정 유리 기판을 반송 대상으로 하는 경우의 세팅 변경을 설명하기 위한 설명도,
도 13은 도 12 중의 XIII-XIII 단면에 상당하는 단면도.
이하, 일 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시형태의 로봇(1)은, 도시하지 않은 카세트에 수납된 박판형상의 액정 유리 기판(W)(대상물)을 소정의 영역으로 반송하는 다관절 로봇이다. 이 로봇(1)은, 소정의 방향으로 주행 가능한 주행 대차(2)와, 주행 대차(2)에 장착된 고정 베이스(3)와, 승강 아암(4)과, 수평 베이스(5)와, 수평 베이스(5)에 대칭 구조로 연결된 좌측 아암(6L) 및 우측 아암(6R)을 갖고 있다. 또한, 주행 대차(2)는 반드시 필요하지는 않고, 로봇은 가대(架臺) 등에 고정된 것이라도 좋다.
승강 아암(4)은, 선단이 고정 베이스(3)에 연결된 제 1 승강 링크(4a)와, 선단이 수평 베이스(5)에 연결된 제 2 승강 링크(4b)를 갖고 있고, 제 1 승강 링크(4a)가 제 1 선회축(7)을 중심으로 선회하고, 제 2 승강 링크(4b)가 제 2 선회축(8)을 중심으로 선회하여, 승강 아암(4)보다 상측에 배치된 수평 베이스(5), 좌측 아암(6L) 및 우측 아암(6R)을 상하 이동시킨다.
수평 베이스(5)는 제 3 선회축(20)을 중심으로 선회하여, 좌측 아암(6L) 및 우측 아암(6R)을 수평방향으로 선회시킨다.
좌측 아암(6L)은, 수평 베이스(5)에 연결된 제 1 좌측 링크(6La)와, 액정 유리 기판(W)을 반송하기 위한 좌측 핸드(9L)를 선단에 구비한 제 2 좌측 링크(6Lb)를 갖고 있고, 제 1 좌측 링크(6La)가 제 4 선회축(10L)을 중심으로 선회하고, 제 2 좌측 링크(6Lb)가 제 5 선회축(11L)을 중심으로 선회하여, 좌측 핸드(9L)를 진퇴 이동시킨다.
우측 아암(6R)은, 수평 베이스(5)에 연결된 제 1 우측 링크(6Ra)와, 액정 유리 기판(W)을 반송하기 위한 우측 핸드(9R)를 선단에 구비한 제 2 우측 링크(6Rb)를 갖고 있고, 제 1 우측 링크(6Ra)가 제 4 선회축(10R)을 중심으로 선회하고, 제 2 우측 링크(6Rb)가 제 5 선회축(11R)을 중심으로 선회하여, 우측 핸드(9R)를 진퇴 이동시킨다.
좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)는 상하 방향의 위치가 어긋나서 배치되어 있지만[본 예에서는, 좌측 핸드(9L)가 상측, 우측 핸드(9R)가 하측에 배치되어 있음], 기본적으로는 서로 동일한 구조이며, 액정 유리 기판(W)을 탑재 가능한 3개의 포크(12)를 각각 갖고 있다. 또한, 포크(12)의 개수는 본 예와 같이 3개에 한정되지 않고, 1개나 2개, 혹은 4개 이상이어도 좋다.
또한, 좌측 아암(6L) 및 우측 아암(6R)[이하, 이들을 「아암(6)」이라고 총칭함] 각각이 특허청구범위에 기재된 로봇 아암에 상당한다. 또한, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)[이하, 이들을 「핸드(9)」라고 총칭함] 각각이 특허청구범위에 기재된 로봇 핸드에 상당한다.
이상과 같이 기본 구성된 로봇(1)은, 아암(6)을 요동시킴으로써, 핸드(9)를 전방으로 이동시키고, 승강 아암(4)을 상방으로 구동시킴으로써, 핸드(9)를 상방으로 이동시켜, 카세트내의 액정 유리 기판(W)을 포크(12)상에 탑재한다. 그 후, 아암(6)을 요동시킴으로써, 핸드(9)를 후방으로 이동시키고, 수평 베이스(5)를 선회시킴으로써, 아암(6)을 수평방향으로 선회시킨다. 그리고, 아암(6)을 요동시킴으로써, 핸드(9)를 전방으로 이동시키고, 승강 아암(4)을 하방으로 구동시킴으로써, 핸드(9)를 하방으로 이동시켜, 포크(12)상에 탑재한 액정 유리 기판(W)을 소정의 영역에 탑재한다. 이상에 의해, 로봇(1)은 카세트에 수납된 액정 유리 기판(W)을 소정의 영역으로 반송한다.
여기에서, 본 실시형태에서는, 로봇(1)의 반송 대상으로서, 서로 치수가 상이한 3종류의 액정 유리 기판(W)이 준비되어 있다. 본 예에서는, 가장 치수가 큰(예를 들면, 730×920) 액정 유리 기판(W1)(후술하는 도 2 및 도 3 참조)과, 2번째로 치수가 큰(예를 들면, 680×880) 액정 유리 기판(W2)(후술하는 도 4 및 도 5 참조)과, 가장 치수가 작은(예를 들면, 620×750) 액정 유리 기판(W3)(후술하는 도 6 및 도 7 참조)이 준비되어 있다. 포크(12)는 이들 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)을 모두 탑재 가능하게 되어 있다.
또, 도 1 중에서는 도시 생략하고 있지만, 포크(12)상에 탑재된 액정 유리 기판(W)이 포크(12)의 길이방향(이하 적절하게 「포크 길이방향」이라고 칭함)으로 어긋나는 것을 방지하기[포크(12)상에 탑재된 액정 유리 기판(W)의 포크 길이방향의 이동을 규제하기] 위해서, 포크(12)상에, 해당 포크(12)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)의 포크 길이방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극[예를 들면, 0.5㎜의 클리어런스(clearance)]을 거쳐서 대향하도록, 한쌍의 가이드 부재(13)(제 1 가이드 부재, 후술하는 도 2 등 참조)가 고정되게 되어 있다. 따라서, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W)의 치수를 변경할 때마다, 액정 유리 기판(W)과 포크 길이방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 가이드 부재(13)의 고정 위치를 변경하는 세팅 변경이 행해진다. 또한, 상기의 클리어런스는 액정 유리 기판(W)의 치수에 비해서 충분히 작게 설정할 필요가 있다. 클리어런스가 지나치게 크면, 한쌍의 가이드 부재(13) 사이에서 액정 유리 기판(W)이 크게 움직이기 때문에, 액정 유리 기판(W)에 충격이 가해지는 등의 트러블이 생긴다. 한편, 클리어런스가 지나치게 작으면, 액정 유리 기판(W)의 공차나 로봇(1) 등의 기계류의 경시 변화 등이 허용되지 않아, 액정 유리 기판(W)이 한쌍의 가이드 부재(13) 사이에 들어가지 않는 일이 일어날 수 있다.
여기에서, 세팅 변경에 대하여 설명하기 전에, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 3개의 포크(12)에 대하여 설명한다.
도 2 내지 도 7에 있어서, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 3개의 포크(12)는 서로 동일한 구조이며, 포크 길이방향으로 서로 이격된 2개소에, 포크 길이방향을 따라 상면에 구멍 형성된, 나사(14)가 체결되는 복수의 나사 구멍(12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f)을 각각 갖고, 또한 포크 길이방향을 따라 상면에 입설(立設)된, 액정 유리 기판(W)을 지지하는 복수의 핀(12g)을 각각 갖고 있다. 또한, 각 포크(12)상의 포크 길이방향에 대응하는 상기 2개소에는, 한쌍의 고정 부재(15)(제 1 고정 부재)가 포크 길이방향으로 서로 이격되어 배치되어 있다. 상세하게는, 한쌍의 고정 부재(15)는, 각 포크(12)상의, 로봇(1)의 장치 기준 등에 따라서 설정된 포크 길이방향을 따르는 소정의 위치(이하 적절하게 「소정의 길이방향 위치」라고 칭함)에 각각 배치되어 있다.
한쌍의 고정 부재(15)는 포크 길이방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 나사(14)를 관통 삽입시켜 포크(12)상의 나사 구멍(12a)에 체결시키기 위한 긴 구멍(15a)(제 1 관통 삽입 구멍)을 본 예에서는 2개 갖고 있고, 2개의 나사(14)가 각 긴 구멍(15a)에 관통 삽입되어 각 나사 구멍(12a)에 체결됨으로써, 상기 소정의 길이방향 위치에 각각 고정된다. 또한, 상기 「긴 구멍 형상」이란, 단축 방향의 치수보다 장축 방향의 치수쪽이 커지도록 마련된 구멍의 형상을 의미한다. 각 긴 구멍(15a)은, 각각, 포크(12)의 폭방향의 길이가 나사(14)의 축부보다 길고, 또한 나사(14)의 두부(頭部)보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 길이방향의 길이가 적어도 상기 폭방향의 길이보다 길게 설정되어 있다.
또한, 한쌍의 고정 부재(15)는 세팅 변경을 행할 때에도 고정 위치가 변경되지 않는다, 즉 반송 대상이 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중 어떠한 경우에도 동일한 위치에 고정되도록 되어 있고, 상기 한쌍의 가이드 부재(13)의 각각은 상기 소정의 길이방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(15) 사이에 배치되고, 해당 고정 부재(15)를 기준으로 고정 위치가 설정되도록 되어 있다. 구체적으로는, 상기 한쌍의 가이드 부재(13)의 각각은, 포크 길이방향을 따르는 포크 길이방향 위치가 상기 소정의 길이방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(15) 사이의 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하도록 구성되어 있다.
또한, 도 2 내지 도 8에 도시하는 예에서는, 고정 부재(15)의 각 긴 구멍(15a)에 관통 삽입되고, 포크(12)상의 각 나사 구멍(12a)에 체결되어, 고정 부재(15)와 포크(12)를 체결하는 2개의 나사(14)가 특허청구범위에 기재된 제 1 체결 부재에 상당하고, 이들 2개의 나사(14)가 체결되는 각 나사 구멍(12a)이 특허청구범위에 기재된 제 1 체결 구멍에 상당한다.
이하, 세팅 변경에 대하여 설명한다.
우선, 도 2 및 도 3을 이용하여, 상기 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중, 가장 치수가 큰 액정 유리 기판(W1)을 반송 대상으로 하는 경우에 대하여 설명한다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 액정 유리 기판(W1)을 반송 대상으로 하는 경우, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 각 포크(12)상에는, 한쌍의 고정 부재(15)와, 한쌍의 가이드 부재(13)가 각각 배치된다. 한쌍의 고정 부재(15)는 상술한 바와 같이 상기 소정의 길이방향 위치에 각각 고정되어 있다.
한쌍의 가이드 부재(13)는, 포크(12)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)을 지지하는 패드(131a)가 액정 유리 기판(W)측의 상단부에 입설된 평판부(131)와, 평판부(131)상의 패드(131a)보다 고정 부재(15)측에서 나사(16)에 의해 고정된 가이드부(132)로 구성되어 있다. 평판부(131)는, 포크 길이방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 나사(14)를 관통 삽입시켜 포크(12)상의 나사 구멍(12b 내지 12f)중 어느 하나에 체결시키기 위한 긴 구멍(131b)(제 2 관통 삽입 구멍)을 본 예에서는 2개 갖고 있다. 각 긴 구멍(131b)은, 각각, 포크(12)의 폭방향의 길이가 나사(14)의 축부보다 길고, 또한 나사(14)의 두부보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 길이방향의 길이가 적어도 상기 폭방향의 길이보다 길게 설정되어 있다.
액정 유리 기판(W1)을 반송 대상으로 하는 경우, 우선, 한쌍의 가이드 부재(13)가, 상기 소정의 길이방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(15) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 가이드 부재(13)는, 평판부(131)의 액정 유리 기판(W1)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W1)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 2개의 나사(14)가 각 긴 구멍(131b)에 관통 삽입되어 나사 구멍(12b, 12c)에 체결됨으로써, 한쌍의 가이드 부재(13)는 포크(12)상에 각각 고정된다. 이상에 의해, 가이드 부재(13)는, 한쌍의 고정 부재(15) 사이의 복수의 위치중 가이드부(132)의 단부면이, 포크(12)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W1)의 단부면에 대하여 포크 길이방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(12)상의 고정 부재(15)보다 액정 유리 기판(W1)측이 되는 위치에 고정된다.
또한, 도 2 및 도 3에 도시하는 예에서는, 상기 소정의 길이방향 위치에 배치된 한쌍의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W1)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 가이드 부재(13)의 평판부(131)의 액정 유리 기판(W1)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 1 접촉면에 상당한다. 또한, 가이드 부재(13)의 평판부(131)의 각 긴 구멍(131b)에 관통 삽입되고, 포크(12)상의 나사 구멍(12b, 12c)에 체결되어, 가이드 부재(13)와 포크(12)를 체결하는 2개의 나사(14)가 특허청구범위에 기재된 제 2 체결 부재에 상당하고, 이들 2개의 나사(14)가 체결되는 나사 구멍(12b, 12c)이 특허청구범위에 기재된 제 2 체결 구멍에 상당한다.
이상과 같이 세팅 변경이 행해짐으로써, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W1)은, 그 단부면이 한쌍의 가이드 부재(13)의 가이드부(132)의 단부면의 포크 길이방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(12)상의 핀(12g) 및 가이드 부재(13)의 평판부(131)상의 패드(131a)에 지지되면서 포크(12)상에 탑재된다.
다음에, 도 4 및 도 5를 이용하여, 상기 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중, 2번째로 치수가 큰 액정 유리 기판(W2)을 반송 대상으로 하는 경우에 대하여 설명한다.
도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 액정 유리 기판(W2)을 반송 대상으로 하는 경우, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 각 포크(12)상에는, 한쌍의 고정 부재(15)와, 액정 유리 기판(W1 내지 W3)의 치수에 따라서 준비된, 서로 포크 길이방향 치수가 상이한 2종류의, 한쌍의 중간 부재(17A)(도 4 및 도 5 참조) 및 한쌍의 중간 부재(17B)(후술하는 도 6 및 도 7 참조)중, 포크 길이방향 치수가 작은 한쌍의 중간 부재(17A)와, 한쌍의 가이드 부재(13)가 각각 배치된다. 또한, 도 4 및 도 5에 도시하는 예에서는, 중간 부재(17A)가 특허청구범위에 기재된 제 1 중간 부재에 상당한다. 한쌍의 고정 부재(15)는 상술한 바와 같이 상기 소정의 길이방향 위치에 각각 고정되어 있다.
한쌍의 중간 부재(17A)는 포크 길이방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 나사(14)를 관통 삽입시켜 포크(12)상의 나사 구멍(12b 내지 12d)중 어느 하나에 체결시키기 위한 긴 구멍(17Aa)(제 3 관통 삽입 구멍)을 본 예에서는 1개 갖고 있다. 긴 구멍(17Aa)은, 포크(12)의 폭방향의 길이가 나사(14)의 축부보다 길고, 또한 나사(14)의 두부보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 길이방향의 길이가 적어도 상기 폭방향의 길이보다 길게 설정되어 있다.
액정 유리 기판(W2)을 반송 대상으로 하는 경우, 우선, 한쌍의 중간 부재(17A)가, 상기 소정의 길이방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(15) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 중간 부재(17A)는, 액정 유리 기판(W2)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W2)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 나사(14)가 긴 구멍(17Aa)에 관통 삽입되어 나사 구멍(12b)에 체결됨으로써, 한쌍의 중간 부재(17A)는 포크(12)상에 각각 고정된다. 그 후, 한쌍의 가이드 부재(13)가, 포크(12)상에 고정된 한쌍의 중간 부재(17A) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 가이드 부재(13)는, 평판부(131)의 액정 유리 기판(W2)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 중간 부재(17A)의 액정 유리 기판(W2)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 2개의 나사(14)가 각 긴 구멍(131b)에 관통 삽입되어 나사 구멍(12c, 12d)에 체결됨으로써, 한쌍의 가이드 부재(13)는 포크(12)상에 각각 고정된다. 이상에 의해, 중간 부재(17A)는 포크(12)상의 고정 부재(15)와 해당 고정 부재(15)에 가까운 쪽의 가이드 부재(13) 사이에 고정되고, 가이드 부재(13)는 한쌍의 고정 부재(15) 사이의 복수의 위치중 가이드부(132)의 단부면이, 포크(12)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W2)의 단부면에 대하여 포크 길이방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(12)상의 고정 부재(15)보다 액정 유리 기판(W2)측이 되는 위치에 고정된다.
또한, 도 4 및 도 5에 도시하는 예에서는, 상기 소정의 길이방향 위치에 배치된 한쌍의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W2)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 중간 부재(17A)의 액정 유리 기판(W2)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 2 접촉면에 상당한다. 또한, 한쌍의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W2)측의 면에 액정 유리 기판(W2)과는 반대측의 면이 접촉하도록 포크(12)상에 고정된 한쌍의 중간 부재(17A)의 액정 유리 기판(W2)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 가이드 부재(13)의 액정 유리 기판(W2)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 3 접촉면에 상당한다. 더욱이, 가이드 부재(13)의 평판부(131)의 각 긴 구멍(131b)에 관통 삽입되고, 포크(12)상의 나사 구멍(12c, 12d)에 체결되어, 가이드 부재(13)와 포크(12)를 체결하는 2개의 나사(14)가 특허청구범위에 기재된 제 2 체결 부재에 상당하고, 이들 2개의 나사(14)가 체결되는 나사 구멍(12c, 12d)이 특허청구범위에 기재된 제 2 체결 구멍에 상당한다. 더 더욱이, 중간 부재(17A)의 긴 구멍(17Aa)에 관통 삽입되고, 포크(12)상의 나사 구멍(12b)에 체결되어, 중간 부재(17A)와 포크(12)를 체결하는 나사(14)가 특허청구범위에 기재된 제 3 체결 부재에 상당하고, 이 나사(14)가 체결되는 나사 구멍(12b)이 특허청구범위에 기재된 제 3 체결 구멍에 상당한다.
이상과 같이 세팅 변경이 행해짐으로써, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W2)은, 그 단부면이 한쌍의 가이드 부재(13)의 가이드부(132)의 단부면의 포크 길이방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(12)상의 핀(12g) 및 가이드 부재(13)의 평판부(131)상의 패드(131a)에 지지되면서 포크(12)상에 탑재된다.
다음에, 도 6 및 도 7을 이용하여, 상기 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중, 가장 치수가 작은 액정 유리 기판(W3)을 반송 대상으로 하는 경우에 대하여 설명한다.
도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 액정 유리 기판(W3)을 반송 대상으로 하는 경우, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 각 포크(12)상에는, 한쌍의 고정 부재(15)와, 상기 2종류의 한쌍의 중간 부재(17A) 및 한쌍의 중간 부재(17B)중, 포크 길이방향 치수가 큰 한쌍의 중간 부재(17B)와, 한쌍의 가이드 부재(13)가 각각 배치된다. 또한, 도 6 및 도 7에 도시하는 예에서는, 중간 부재(17B)가 특허청구범위에 기재된 제 1 중간 부재에 상당한다. 한쌍의 고정 부재(15)는 상술한 바와 같이 상기 소정의 길이방향 위치에 각각 고정되어 있다.
한쌍의 중간 부재(17B)는, 포크 길이방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 2개의 나사(14)를 관통 삽입시켜 포크(12)상의 나사 구멍(12c, 12d)에 체결시키기 위한 긴 구멍(17Ba)(제 3 관통 삽입 구멍)을 본 예에서는 1개 갖고 있다. 긴 구멍(17Ba)은, 포크(12)의 폭방향의 길이가 나사(14)의 축부보다 길고, 또한 나사(14)의 두부보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 길이방향의 길이가 적어도 상기 폭방향의 길이보다 길게 설정되어 있다.
액정 유리 기판(W3)을 반송 대상으로 하는 경우, 우선, 한쌍의 중간 부재(17B)가, 상기 소정의 길이방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(15) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 중간 부재(17B)는, 액정 유리 기판(W3)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W3)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 2개의 나사(14)가 긴 구멍(17Ba)에 관통 삽입되어 나사 구멍(12c, 12d)에 체결됨으로써, 한쌍의 중간 부재(17B)는 포크(12)상에 각각 고정된다. 그 후, 한쌍의 가이드 부재(13)가, 포크(12)상에 고정된 한쌍의 중간 부재(17B) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 가이드 부재(13)는, 평판부(131)의 액정 유리 기판(W3)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 중간 부재(17B)의 액정 유리 기판(W3)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 2개의 나사(14)가 각 긴 구멍(131b)에 관통 삽입되어 나사 구멍(12e, 12f)에 체결됨으로써, 한쌍의 가이드 부재(13)는 포크(12)상에 각각 고정된다. 이상에 의해, 중간 부재(17B)는 포크(12)상의 고정 부재(15)와 해당 고정 부재(15)에 가까운 쪽의 가이드 부재(13) 사이에 고정되고, 가이드 부재(13)는, 한쌍의 고정 부재(15) 사이의 복수의 위치중 가이드부(132)의 단부면이, 포크(12)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W3)의 단부면에 대하여 포크 길이방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(12)상의 고정 부재(15)보다 액정 유리 기판(W3)측이 되는 위치에 고정된다.
또한, 도 6 및 도 7에 도시하는 예에서는, 상기 소정의 길이방향 위치에 배치된 한쌍의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W3)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 중간 부재(17B)의 액정 유리 기판(W3)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 2 접촉면에 상당한다. 또한, 한쌍의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W3)측의 면에 액정 유리 기판(W3)과는 반대측의 면이 접촉하도록 포크(12)상에 고정된 한쌍의 중간 부재(17B)의 액정 유리 기판(W3)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 가이드 부재(13)의 액정 유리 기판(W3)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 3 접촉면에 상당한다. 더욱이, 가이드 부재(13)의 평판부(131)의 각 긴 구멍(131b)에 관통 삽입되고, 포크(12)상의 나사 구멍(12e, 12f)에 체결되어, 가이드 부재(13)와 포크(12)를 체결하는 2개의 나사(14)가 특허청구범위에 기재된 제 2 체결 부재에 상당하고, 이들 2개의 나사(14)가 체결되는 나사 구멍(12e, 12f)이 특허청구범위에 기재된 제 2 체결 구멍에 상당한다. 더 더욱이, 중간 부재(17B)의 긴 구멍(17Ba)에 관통 삽입되고, 포크(12)상의 나사 구멍(12c, 12d)에 체결되어, 중간 부재(17B)와 포크(12)를 체결하는 2개의 나사(14)가 특허청구범위에 기재된 제 3 체결 부재에 상당하고, 이들 2개의 나사(14)가 체결되는 나사 구멍(12c, 12d)이 특허청구범위에 기재된 제 3 체결 구멍에 상당한다.
이상과 같이 세팅 변경이 행해짐으로써, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W3)은, 그 단부면이 한쌍의 가이드 부재(13)의 가이드부(132)의 단부면의 포크 길이방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(12)상의 핀(12g) 및 가이드 부재(13)의 평판부(131)상의 패드(131a)에 지지되면서 포크(12)상에 탑재된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 로봇(1)은 좌측 아암(6L) 및 우측 아암(6R)에 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)를 구비하고 있고, 이들 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)를 이용하여 액정 유리 기판(W)을 반송한다.
여기에서, 일반적으로, 액정 유리 기판(W)을 반송하는 방식으로서는, 핸드에 마련한 적절한 흡착 부재에 의해 액정 유리 기판(W)을 진공 흡착하면서 반송하는 흡착 방식이나, 핸드에 마련한 포크상에 액정 유리 기판(W)을 탑재하면서 반송하는 비흡착 방식이 있다. 흡착 방식의 경우, 흡착 부재에 의해 액정 유리 기판(W)을 진공 흡착하면서 핸드의 이동을 실행함으로써, 액정 유리 기판(W)의 위치 어긋남을 방지하면서 액정 유리 기판(W)을 반송할 수 있지만, 흡착에 의해 액정 유리 기판(W)이 휘거나, 액정 유리 기판(W)의 흡착면에 형성된 코팅층에 얼룩이 발생할 우려가 있다. 비흡착 방식의 경우, 포크를 액정 유리 기판(W)의 하측으로 이동시키고, 그 후 포크를 상승시켜서 포크상에 액정 유리 기판(W)을 탑재하고, 그 상태에서 핸드의 이동을 실행함으로써, 액정 유리 기판(W)을 반송한다. 이러한 비흡착 방식의 경우, 일반적으로, 포크상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)의 위치 어긋남을 방지하기 위해서, 포크상에, 액정 유리 기판(W)에 대하여 길이방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 한쌍의 가이드 부재가 배치된다. 포크상에 한쌍의 가이드 부재가 배치된 핸드를 이용하는 것에 의해, 포크상에 탑재된 액정 유리 기판(W)의 위치 어긋남을 방지하면서 액정 유리 기판(W)을 반송할 수 있다.
또한, 여기에서, 상기 포크상에 한쌍의 가이드 부재가 배치된 핸드를 아암의 선단에 구비한 로봇을, 서로 치수가 상이한 액정 유리 기판(W)을 반송하는 환경에 이용하는 경우가 고려된다. 이 경우, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W)의 치수를 변경할 때마다, 액정 유리 기판(W)과 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 가이드 부재의 고정 위치를 변경하는 세팅 변경을 행할 필요가 있다. 일반적으로는, 교시시에, 액정 유리 기판(W)의 치수마다 가이드 부재의 고정 위치를 설정해서 표시를 기록하여 두고, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W)의 치수를 변경할 때에, 가이드 부재를 상기 교시시에 기록한 표시에 일치하도록 배치하여 고정하는 것에 의해 세팅 변경을 행한다. 이 때문에, 세팅 변경에 시간이 걸려서, 작업성이 양호하다고는 말할 수 없었다.
여기에서 본 실시형태에 있어서는, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)가, 액정 유리 기판(W)을 탑재 가능한 3개의 포크(12)와, 포크(12)상의 포크 길이방향으로 서로 이격되어 배치되는 한쌍의 고정 부재(15)와, 한쌍의 가이드 부재(13)를 갖고 있다. 한쌍의 가이드 부재(13)는 한쌍의 고정 부재(15) 사이에 각각 배치되어, 포크(12)상에 탑재된 액정 유리 기판(W)의 포크 길이방향의 이동을 규제한다. 그리고, 한쌍의 가이드 부재(13)의 각각은, 포크(12)상의 포크 길이방향 위치가 한쌍의 고정 부재(15) 사이의 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 서로 치수가 상이한 액정 유리 기판(W)을 반송하는 환경에 이용하는 경우에도, 포크(12)상에 배치된 고정 부재(15)를 기준으로, 가이드 부재(13)의 고정 위치를 설정할 수 있으므로, 세팅 변경을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 미리 액정 유리 기판(W)의 치수마다, 액정 유리 기판(W)과의 간극이 소정의 간격이 되도록 가이드 부재(13)를 포크(12)상에 배치한 핸드를 준비하여, 액정 유리 기판(W)을 반송할 때에, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W)의 치수에 따라서 핸드를 갈아 끼우는 경우에 비하여, 비용을 대폭 삭감할 수 있는 동시에, 작업성을 향상할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 특히, 한쌍의 가이드 부재(13)는, 평판부(131)의 액정 유리 기판(W1)과는 반대측의 면이, 포크(12)상의 소정의 길이방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(15)의 액정 유리 기판(W1)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다(도 2 및 도 3 참조). 또한, 한쌍의 가이드 부재(13)는, 평판부(131)의 액정 유리 기판(W2, W3)과는 반대측의 면이 중간 부재(17A, 17B)의 액정 유리 기판(W2, W3)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다(도 4 내지 도 7 참조). 가이드 부재(13)를 포크(12)상에 고정된 고정 부재(15)에 부딪치게 하여 배치하거나, 가이드 부재(13)를 포크(12)상에 고정된, 포크(12)상에 고정된 고정 부재(15)에 부딪치게 하여 배치된 중간 부재(17A, 17B)에 부딪치게 하여 배치하는 것에 의해, 가이드 부재(13)를, 포크(12)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)에 대하여 포크 길이방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 용이하고 또한 확실하게 배치할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 특히, 고정 부재(15), 가이드 부재(13) 및 중간 부재(17A, 17B)는 포크 길이방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된 긴 구멍(15a), 긴 구멍(131b) 및 긴 구멍(17Aa, 17Ba)을 갖고 있다. 이것에 의해, 고정 부재(15) 및 가이드 부재(13) 및 중간 부재(17A, 17B)를 포크(12)상에 고정할 때의 조립성을 향상할 수 있다.
또한, 실시형태는, 상기 내용에 한정되는 것이 아니라, 그 취지 및 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위내에서 각종의 변형이 가능하다. 이하, 그러한 변형예를 설명한다.
(1) 포크의 폭방향으로도 가이드 부재를 배치하는 경우
도 8 내지 도 13에 있어서, 본 변형예의 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)는 전술한 액정 유리 기판(W)을 탑재 가능한 5개의 포크(112A, 112B, 112C, 112D, 112E)를 갖고 있다. 또한, 포크(112)의 개수는 본 예와 같이 5개에 한정되지 않고, 1개나 2개, 혹은 4개 이상이어도 좋다. 포크(112A 내지 112E)[이하 적절하게 이들을 「포크(112)」라고 총칭함]는 전술한 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)을 모두 탑재 가능하게 되어 있다.
또한, 본 변형예에 있어서는, 포크(112)상에 탑재된 액정 유리 기판(W)이 포크(112)의 폭방향(이하 적절하게 「포크 폭방향」이라고 칭함)으로 어긋나는 것을 방지하기[포크(112)상에 탑재된 액정 유리 기판(W)의 포크 폭방향의 이동을 규제하기] 위해서, 상기 5개의 포크(112A 내지 112E)중 1번째의 포크(112A)상과 5번째의 포크(112E)상에, 포크(112)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)의 포크 폭방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극(예를 들면, 0.5㎜의 클리어런스)을 거쳐서 대향하도록, 액정 유리 기판(W1 내지 W3)의 치수에 따라서 준비된, 서로 포크 폭방향 치수가 상이한 3종류의, 한쌍의 가이드 부재(113A)(도 8 및 도 9 참조), 한쌍의 가이드 부재(113B)(도 10 및 도 11 참조) 및 한쌍의 가이드 부재(113C)(도 12 및 도 13 참조)중 어느 하나가 고정되도록 되어 있다. 따라서, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W)의 치수를 변경할 때마다, 액정 유리 기판(W)과 포크 폭방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 가이드 부재(113)의 종류를 변경하는 세팅 변경이 행해진다.
1번째의 포크(112A)와 5번째의 포크(112E)는 서로 대칭 구조로 되어 있고, 포크 길이방향을 따라 적절한 간극으로 3개소에, 포크 폭방향을 따라 상면에 구멍 형성된, 나사(114)가 체결되는 복수의 나사 구멍(112a, 112b, 112c)을 각각 갖고 있다. 또한, 포크(112A, 112E)상의 포크 길이방향이 대응하는 상기 3개소에는, 한쌍의 고정 부재(115)(제 2 고정 부재)중 한쪽 또는 다른쪽이 2개의 포크(112A, 112E) 사이에서 포크 폭방향으로 서로 이격되어 배치되어 있다. 즉, 포크(112A)상의 상기 3개소에는, 한쌍의 고정 부재(115)중 한쪽이 각각 배치되고, 포크(112E)상의 상기 3개소에는, 한쌍의 고정 부재(115)중 다른쪽이 각각 배치되어 있다. 상세하게는, 한쌍의 고정 부재(115)는, 포크(112A, 112E)상의, 로봇(1)의 장치 기준 등에 따라서 설정된 포크 폭방향을 따르는 소정의 위치(이하 적절하게 「소정의 폭방향 위치」라고 칭함)에 각각 배치되어 있다.
한쌍의 고정 부재(115)는, 포크 폭방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 나사(114)를 관통 삽입시켜 포크(112A)상 또는 포크(112E)상의 나사 구멍(112a)에 체결시키기 위한 긴 구멍(115a)을 본 예에서는 2개 갖고 있고, 2개의 나사(114)가 각 긴 구멍(115a)에 관통 삽입되어 각 나사 구멍(112a)에 체결됨으로써, 상기 소정의 폭방향 위치에 각각 고정된다. 각 긴 구멍(115a)은, 각각, 포크 길이방향의 길이가 나사(114)의 축부보다 길고, 또한 나사(114)의 두부보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 폭방향의 길이가 적어도 상기 길이방향의 길이보다 길게 설정되어 있다. 또한, 한쌍의 고정 부재(115)는 세팅 변경을 행할 때에도 고정 위치가 변경되지 않는다, 즉 반송 대상이 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중 어느 하나의 경우에도 동일한 위치에 고정되도록 되어 있다.
또한, 상기 5개의 포크(112A 내지 112E)중 2번째의 포크(112B)와 4번째의 포크(112D)는, 상기 실시형태에 있어서의 포크(12)와 대략 동일한 구조이며, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W)의 치수를 변경할 때마다, 액정 유리 기판(W)과 포크 길이방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 전술한 가이드 부재(13)의 고정 위치를 변경하는 세팅 변경이 행해진다(전술한 도 2 내지 도 7 참조).
또한, 상기 5개의 포크(112A 내지 112E)중 3번째의 포크(112C)는 포크 길이방향을 따라 상면에 입설된, 액정 유리 기판(W)을 지지하는 복수의 핀(112Ca)을 갖고 있다.
이하, 세팅 변경에 대하여 설명한다.
우선, 도 8 및 도 9를 이용하여, 상기 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중, 가장 치수가 큰 액정 유리 기판(W1)을 반송 대상으로 하는 경우에 대하여 설명한다.
도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 액정 유리 기판(W1)을 반송 대상으로 하는 경우, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 1번째의 포크(112A)상과 5번째의 포크(112E)상에는, 한쌍의 고정 부재(115)중 한쪽 또는 다른쪽과, 상기 3종류의, 한쌍의 가이드 부재(113A), 한쌍의 가이드 부재(113B) 및 한쌍의 가이드 부재(113C)중, 가장 포크 폭방향 치수가 작은 한쌍의 가이드 부재(113A)중 한쪽 또는 다른쪽이 각각 배치된다. 또한, 도 8 및 도 9에 도시하는 예에서는, 가이드 부재(113A)가 특허청구범위에 기재된 제 2 가이드 부재에 상당한다. 한쌍의 고정 부재(115)는 상술한 바와 같이 상기 소정의 폭방향 위치에 각각 고정되어 있다.
한쌍의 가이드 부재(113A)는, 포크(112)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)을 지지하는 패드(231a)가 액정 유리 기판(W)측의 상단부에 입설된 평판부(231A)와, 평판부(231A)상의 패드(231a)보다 고정 부재(115)측에 있어서 나사(116)에 의해 고정된 가이드부(232)로 구성되어 있다. 평판부(231A)는, 포크 폭방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 나사(114)를 관통 삽입시켜 포크(112A)상 또는 포크(112E)상의 나사 구멍(112b, 112c)에 체결시키기 위한 긴 구멍(231Aa)을 본 예에서는 2개 갖고 있다. 각 긴 구멍(231Aa)은, 각각, 포크 길이방향의 길이가 나사(114)의 축부보다 길고, 또한 나사(114)의 두부보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 폭방향의 길이가 적어도 상기 길이방향의 길이보다 길게 설정되어 있다.
액정 유리 기판(W1)을 반송 대상으로 하는 경우, 우선, 한쌍의 가이드 부재(113A)가, 상기 소정의 폭방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(115) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 가이드 부재(113A)는, 평판부(231A)의 액정 유리 기판(W1)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 고정 부재(115)의 액정 유리 기판(W1)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 2개의 나사(114)가 각 긴 구멍(231Aa)에 관통 삽입되어 나사 구멍(112b, 112c)에 체결됨으로써, 한쌍의 가이드 부재(113A)는 포크(112A, 112E)상에 각각 고정된다. 이상에 의해, 가이드 부재(113A)는, 가이드부(232)의 단부면이, 포크(112)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W1)의 단부면에 대하여 포크 폭방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(112A, 112E)상의 고정 부재(115)보다 액정 유리 기판(W1)측이 되는 위치에 고정된다.
또한, 도 8 및 도 9에 도시하는 예에서는, 상기 소정의 폭방향 위치에 배치된 한쌍의 고정 부재(115)의 액정 유리 기판(W1)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 가이드 부재(113A)의 액정 유리 기판(W1)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 4 접촉면에 상당한다.
이상과 같이 세팅 변경이 행해지는 동시에, 포크(112B, 112D)상의 가이드 부재(13)의 고정 위치를 변경하는 세팅 변경(도 2 및 도 3 참조)도 행해짐으로써, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W1)은, 그 포크 폭방향측의 단부면이 한쌍의 가이드 부재(113A)의 가이드부(232)의 단부면의 포크 폭방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하는 동시에, 그 포크 길이방향측의 단부면이 한쌍의 가이드 부재(13)의 가이드부(132)의 단부면의 포크 길이방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(112A, 112E)상의 가이드 부재(113A)의 평판부(231A)상의 패드(231a)와, 포크(112B, 112D)상의 핀(12g) 및 가이드 부재(13)의 평판부(131)상의 패드(131a)와, 포크(112C)상의 핀(112Ca)에 지지되면서 포크(112)상에 탑재된다.
다음에, 도 10 및 도 11을 이용하여, 상기 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중 2번째로 치수가 큰 액정 유리 기판(W2)을 반송 대상으로 하는 경우에 대하여 설명한다.
도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같이, 액정 유리 기판(W2)을 반송 대상으로 하는 경우, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 1번째의 포크(112A)상과 5번째의 포크(112E)상에는, 한쌍의 고정 부재(115)중 한쪽 또는 다른쪽과, 상기 3종류의, 한쌍의 가이드 부재(113A), 한쌍의 가이드 부재(113B) 및 한쌍의 가이드 부재(113C)중, 2번째로 포크 폭방향 치수가 작은 한쌍의 가이드 부재(113B)중 한쪽 또는 다른쪽이 각각 배치된다. 또한, 도 10 및 도 11에 도시하는 예에서는, 가이드 부재(113B)가 특허청구범위에 기재된 제 2 가이드 부재에 상당한다. 한쌍의 고정 부재(115)는 상술한 바와 같이 상기 소정의 폭방향 위치에 각각 고정되어 있다.
한쌍의 가이드 부재(113B)는, 포크(112)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)을 지지하는 패드(231a)가 액정 유리 기판(W)측의 상단부에 입설된 평판부(231B)와, 평판부(231B)상의 패드(231a)보다 고정 부재(115)측에 있어서 나사(116)에 의해 고정된 가이드부(232)로 구성되어 있다. 평판부(231B)는, 포크 폭방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 나사(114)를 관통 삽입시켜 포크(112A)상 또는 포크(112E)상의 나사 구멍(112b, 112c)에 체결시키기 위한 긴 구멍(231Ba)을 본 예에서는 2개 갖고 있다. 각 긴 구멍(231Ba)은, 각각, 포크 길이방향의 길이가 나사(114)의 축부보다 길고, 또한 나사(114)의 두부보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 폭방향의 길이가 적어도 상기 길이방향의 길이보다 길게 설정되어 있다.
액정 유리 기판(W2)을 반송 대상으로 하는 경우, 우선, 한쌍의 가이드 부재(113B)가, 상기 소정의 폭방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(115) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 가이드 부재(113B)는, 평판부(231B)의 액정 유리 기판(W2)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 고정 부재(115)의 액정 유리 기판(W2)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 2개의 나사(114)가 각 긴 구멍(231Ba)에 관통 삽입되어 나사 구멍(112b, 112c)에 체결됨으로써, 한쌍의 가이드 부재(113B)는 포크(112A, 112E)상에 각각 고정된다. 이상에 의해, 가이드 부재(113B)는, 가이드부(232)의 단부면이, 포크(112)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W2)의 단부면에 대하여 포크 폭방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(112A, 112E)상의 고정 부재(115)보다 액정 유리 기판(W2)측이 되는 위치에 고정된다.
또한, 도 10 및 도 11에 도시하는 예에서는, 상기 소정의 폭방향 위치에 배치된 한쌍의 고정 부재(115)의 액정 유리 기판(W2)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 가이드 부재(113B)의 액정 유리 기판(W2)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 4 접촉면에 상당한다.
이상과 같이 세팅 변경이 행해지는 동시에, 포크(112B, 112D)상의 가이드 부재(13)의 고정 위치를 변경하는 세팅 변경(도 4 및 도 5 참조)도 행해짐으로써, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W2)은, 그 포크 폭방향측의 단부면이 한쌍의 가이드 부재(113B)의 가이드부(232)의 단부면의 포크 폭방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하는 동시에, 그 포크 길이방향측의 단부면이 한쌍의 가이드 부재(13)의 가이드부(132)의 단부면의 포크 길이방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(112A, 112E)상의 가이드 부재(113B)의 평판부(231B)상의 패드(231a)와, 포크(112B, 112D)상의 핀(12g) 및 가이드 부재(13)의 평판부(131)상의 패드(131a)와, 포크(112C)상의 핀(112Ca)에 지지되면서 포크(112)상에 탑재된다.
다음에, 도 12 및 도 13을 이용하여, 상기 3종류의 액정 유리 기판(W1 내지 W3)중 가장 치수가 작은 액정 유리 기판(W3)을 반송 대상으로 하는 경우에 대하여 설명한다.
도 12 및 도 13에 도시하는 바와 같이, 액정 유리 기판(W3)을 반송 대상으로 하는 경우, 좌측 핸드(9L) 및 우측 핸드(9R)에 구비된 1번째의 포크(112A)상과 5번째의 포크(112E)상에는, 한쌍의 고정 부재(115)중 한쪽 또는 다른쪽과, 상기 3종류의, 한쌍의 가이드 부재(113A), 한쌍의 가이드 부재(113B) 및 한쌍의 가이드 부재(113C)중, 가장 포크 폭방향 치수가 큰 한쌍의 가이드 부재(113C)중 한쪽 또는 다른쪽이 각각 배치된다. 또한, 도 12 및 도 13에 도시하는 예에서는, 가이드 부재(113C)가 특허청구범위에 기재된 제 2 가이드 부재에 상당한다. 한쌍의 고정 부재(115)는 상술한 바와 같이 상기 소정의 폭방향 위치에 각각 고정되어 있다.
한쌍의 가이드 부재(113C)는 평판부(231C)와, 평판부(231C)상의 고정 부재(115)측에 있어서 나사(116)에 의해 고정된 가이드부(232)로 구성되어 있다. 평판부(231C)는, 포크 폭방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성된, 나사(114)를 관통 삽입시켜 포크(112A)상 또는 포크(112E)상의 나사 구멍(112b, 112c)에 체결시키기 위한 긴 구멍(231Ca)을 본 예에서는 2개 갖고 있다. 각 긴 구멍(231Ca)은, 각각, 포크 길이방향의 길이가 나사(114)의 축부보다 길고, 또한 나사(114)의 두부보다 짧아지도록 설정되는 동시에, 포크 폭방향의 길이가 적어도 상기 길이방향의 길이보다 길게 설정되어 있다.
액정 유리 기판(W3)을 반송 대상으로 하는 경우, 우선, 한쌍의 가이드 부재(113C)가, 상기 소정의 폭방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(115) 사이에 각각 배치된다. 상세하게는, 한쌍의 가이드 부재(113C)는, 평판부(231C)의 액정 유리 기판(W3)과는 반대측의 면이, 가까운 쪽의 고정 부재(115)의 액정 유리 기판(W3)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 그리고, 이러한 상태에서, 2개의 나사(114)가 각 긴 구멍(231Ca)에 관통 삽입되어 나사 구멍(112b, 112c)에 체결됨으로써, 한쌍의 가이드 부재(113C)는 포크(112A, 112E)상에 각각 고정된다. 이상에 의해, 가이드 부재(113C)는, 가이드부(232)의 단부면이, 포크(112)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W3)의 단부면에 대하여 포크 폭방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(112A, 112E)상의 고정 부재(115)보다 액정 유리 기판(W3)측이 되는 위치에 고정된다.
또한, 도 12 및 도 13에 도시하는 예에서는, 상기 소정의 폭방향 위치에 배치된 한쌍의 고정 부재(115)의 액정 유리 기판(W3)측의 면에 접촉하는, 한쌍의 가이드 부재(113C)의 액정 유리 기판(W3)과는 반대측의 면이 특허청구범위에 기재된 제 4 접촉면에 상당한다.
이상과 같이 세팅 변경이 행해지는 동시에, 포크(112B, 112D)상의 가이드 부재(13)의 고정 위치를 변경하는 세팅 변경(도 6 및 도 7 참조)도 행해짐으로써, 반송 대상이 되는 액정 유리 기판(W3)은, 그 포크 폭방향측의 단부면이 한쌍의 가이드 부재(113C)의 가이드부(232)의 단부면의 포크 폭방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하는 동시에, 그 포크 길이방향측의 단부면이 한쌍의 가이드 부재(13)의 가이드부(132)의 단부면의 포크 길이방향의 양단부로부터 각각 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 포크(112B, 112D)상의 핀(12g) 및 가이드 부재(13)의 평판부(131)상의 패드(131a)와, 포크(112C)상의 핀(112Ca)에 지지되면서 포크(112)상에 탑재된다.
본 변형예에 있어서는, 포크(112A, 112E) 사이에서 포크 폭방향으로 서로 이격되어 배치되는 한쌍의 고정 부재(115)와, 한쌍의 고정 부재(115) 사이에 각각 배치되어, 포크(112A, 112E)상에 탑재된 액정 유리 기판(W)측의 포크 폭방향의 이동을 규제하는 한쌍의 가이드 부재(113A, 113B, 113C)를 갖고 있다. 그리고, 한쌍의 가이드 부재(113A, 113B, 113C)는, 평판부(231A, 231B, 231C)의 액정 유리 기판(W1, W2, W3)과는 반대측의 면이, 포크(112A, 112E)상의 소정의 폭방향 위치에 고정된 한쌍의 고정 부재(115)의 액정 유리 기판(W1, W2, W3)측의 면에 부딪쳐서 접촉하도록, 각각 배치된다. 이것에 의해, 가이드 부재(113)를, 포크(112)상에 탑재되는 액정 유리 기판(W)에 대하여 포크 폭방향으로 소정의 간극을 거쳐서 대향하도록, 용이하고 또한 확실하게 배치할 수 있다.
(2) 기타
이상에서는, 한쌍의 가이드 부재(13)의 각각에 대하여, 포크 길이방향 위치가 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하게 구성되어 있었지만, 이것에 한정되지 않고, 한쌍의 가이드 부재(13)중 한쪽만 포크 길이방향 위치를 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하게 구성해도 좋다.
또한 이상에서는, 로봇(1)의 반송 대상으로서, 서로 치수가 상이한 3종류의 액정 유리 기판(W)이 준비되어 있는 경우를 예시했지만, 이것에 한정되지 않고, 서로 치수가 상이한 2종류의 액정 유리 기판(W)이 준비되어 있는 경우나, 서로 치수가 상이한 4종류 이상의 액정 유리 기판(W)이 준비되어 있는 경우에도 적용할 수 있다.
더욱이 이상에서는, 대상물을 액정 유리 기판(W)으로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 대상물은 다른 것(예를 들면 반도체 기판 등)이어도 좋다.
또한, 이상에 기술된 것 이외에도, 상기 실시형태나 각 변형예에 의한 수법을 적절하게 조합시켜서 이용해도 좋다.
기타, 세세하게 예시는 하지 않았지만, 상기 실시형태나 각 변형예는 그 취지를 일탈하지 않는 범위내에서, 각종의 변경이 가해져서 실시되는 것이다.
1 : 로봇 6 : 아암(로봇 아암)
6L : 좌측 아암(로봇 아암) 6R : 우측 아암(로봇 아암)
9 : 핸드(로봇 핸드) 9L : 좌측 핸드(로봇 핸드)
9R : 우측 핸드(로봇 핸드) 12 : 포크
12a 내지 12f : 나사 구멍 13 : 가이드 부재(제 1 가이드 부재)
14 : 나사 15 : 고정 부재(제 1 고정 부재)
15a : 긴 구멍(제 1 관통 삽입 구멍)
17A, 17B : 중간 부재(제 1 중간 부재)
17Aa, 17Ba : 긴 구멍(제 3 관통 삽입 구멍)
112 : 포크 112A 내지 112E : 포크
113A 내지 113C : 가이드 부재(제 2 가이드 부재)
115 : 고정 부재(제 2 고정 부재) 131b : 긴 구멍(제 2 관통 삽입 구멍)
W : 액정 유리 기판(대상물) W1 내지 W3 : 액정 유리 기판(대상물)

Claims (7)

  1. 로봇 아암에 마련되어, 대상물을 반송하기 위한 로봇 핸드에 있어서,
    상기 대상물을 탑재 가능한 적어도 하나의 포크와,
    상기 포크상에 포크 길이방향으로 서로 이격되어 배치되는 한쌍의 제 1 고정 부재와,
    상기 한쌍의 제 1 고정 부재 사이에 각각 배치되어, 상기 포크에 탑재된 상기 대상물의 상기 포크 길이방향의 이동을 규제하는 한쌍의 제 1 가이드 부재를 갖고,
    상기 한쌍의 제 1 가이드 부재중 적어도 한쪽은, 상기 한쌍의 제 1 고정 부재 사이에 있어서의 포크 길이방향 위치가 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하게 구성되고, 또한 상기 제 1 가이드 부재에 가까운 쪽의 상기 제 1 고정 부재에 접촉하는 제 1 접촉면을 구비하는 것을 특징으로 하는
    로봇 핸드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 포크는,
    상기 제 1 고정 부재와 상기 포크를 체결하는 제 1 체결 부재가 체결되는 제 1 체결 구멍과,
    상기 제 1 가이드 부재와 상기 포크를 체결하는 제 2 체결 부재가 체결되는 제 2 체결 구멍을 갖고,
    상기 제 1 고정 부재는 상기 제 1 체결 부재를 관통 삽입시켜 상기 제 1 체결 구멍에 체결시키기 위한 제 1 관통 삽입 구멍을 갖고,
    상기 제 1 가이드 부재는 상기 제 2 체결 부재를 관통 삽입시켜 상기 제 2 체결 구멍에 체결시키기 위한 제 2 관통 삽입 구멍을 갖고,
    상기 제 1 관통 삽입 구멍 및 상기 제 2 관통 삽입 구멍은 상기 포크 길이방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    로봇 핸드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 고정 부재와, 상기 제 1 고정 부재에 가까운 쪽의 상기 제 1 가이드 부재 사이에 배치되고, 상기 제 1 고정 부재에 접촉하는 제 2 접촉면을 구비하는 중간 부재를 더 갖고,
    상기 한쌍의 제 1 가이드 부재중 적어도 한쪽은 상기 제 1 고정 부재에 접촉한 상기 중간 부재에 접촉하는 제 3 접촉면을 구비하는 것을 특징으로 하는
    로봇 핸드.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 포크는,
    상기 제 1 고정 부재와 상기 포크를 체결하는 제 1 체결 부재가 체결되는 제 1 체결 구멍과,
    상기 제 1 가이드 부재와 상기 포크를 체결하는 제 2 체결 부재가 체결되는 제 2 체결 구멍과,
    상기 중간 부재와 상기 포크를 체결하는 제 3 체결 부재가 체결되는 제 3 체결 구멍을 갖고,
    상기 제 1 고정 부재는 상기 제 1 체결 부재를 관통 삽입시켜 상기 제 1 체결 구멍에 체결시키기 위한 제 1 관통 삽입 구멍을 갖고,
    상기 제 1 가이드 부재는 상기 제 2 체결 부재를 관통 삽입시켜 상기 제 2 체결 구멍에 체결시키기 위한 제 2 관통 삽입 구멍을 갖고,
    상기 중간 부재는 상기 제 3 체결 부재를 관통 삽입시켜 상기 제 3 체결 구멍에 체결시키기 위한 제 3 관통 삽입 구멍을 갖고,
    상기 제 1 관통 삽입 구멍, 상기 제 2 관통 삽입 구멍 및 상기 제 3 관통 삽입 구멍은 상기 포크 길이방향을 따라 긴 구멍 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    로봇 핸드.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 포크상에 포크 폭방향으로 서로 이격되어 배치되는 한쌍의 제 2 고정 부재와,
    상기 한쌍의 제 2 고정 부재 사이에 각각 배치되어, 상기 포크에 탑재된 상기 대상물의 상기 포크 폭방향의 이동을 규제하는 한쌍의 제 2 가이드 부재를 갖고,
    상기 한쌍의 제 2 가이드 부재중 적어도 한쪽은 상기 제 2 가이드 부재에 가까운 쪽의 상기 제 2 고정 부재에 접촉하는 제 4 접촉면을 구비하는 것을 특징으로 하는
    로봇 핸드.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 가이드 부재는 상기 대상물의 치수에 따라서 변경될 수 있도록 복수 종류가 준비되어 있는 것을 특징으로 하는
    로봇 핸드.
  7. 로봇 아암과, 상기 로봇 아암에 마련된 로봇 핸드를 구비한 로봇에 있어서,
    상기 로봇 핸드는,
    대상물을 탑재 가능한 적어도 하나의 포크와,
    상기 포크상에 포크 길이방향으로 서로 이격되어 배치되는 한쌍의 제 1 고정 부재와,
    상기 한쌍의 제 1 고정 부재 사이에 각각 배치되어, 상기 포크에 탑재된 상기 대상물의 상기 포크 길이방향의 이동을 규제하는 한쌍의 제 1 가이드 부재를 갖고,
    상기 한쌍의 제 1 가이드 부재중 적어도 한쪽은, 상기 한쌍의 제 1 고정 부재 사이에 있어서의 포크 길이방향 위치가 복수의 위치에 선택적으로 설정 가능하게 구성되고, 또한 상기 제 1 가이드 부재에 가까운 쪽의 상기 제 1 고정 부재에 접촉하는 제 1 접촉면을 구비하는 것을 특징으로 하는
    로봇.
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