經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( / ) 1 1 C 技 術 領 域 1 1 本 發 明 偽 有 關 半 導 體 裝 置 * 尤 其 有 關 改 善 鐵 電 體 記 億 1 1 裝 置 之 待 性 不 均 勻 或 特 性 劣 化 者 〇 /—\ 請 1 先 1 [ 背 景 技 術 ] 閱 讀 1 先 行 技術 之 半 導 體 装 置 9 像 例 如 装 載 放 大 電 路 > 振 背 1 | 之 1 盪 電 路 電 源 電 路 等 之 規 模 較 小 之 積 體 電 路 » 到 開 發 出 意 I 做 為 徹 處 理 機 或 記 億 裝 置 之 大 規 模 積 體 電 路 之 種 種 者 〇 事 項 1 | 再 尤 其 近 年 開 發 出 > 做 為 非 揮 發 性 記 憶 裝 置 之 — 種 1 做 為 填 寫 本 裝 構 成 記 憶 胞 (a e π 0 Γ y c e 11)之電容器備有鐵電體電容器 頁 '—^ 1 I 之 鐵 電 體 記 憶 裝 置 (f e r Γ 0 el e c t Γ i c e ai 0 Γ y d e v i c e )。 1 1 上 逑 鐵 電 體 電 容 器 (f e r Γ 0 e 1 e c t r i c c ap a c i t 〇r)m由對 1 I 向 之 一 對 電 極 9 與 夾 持 於 該 兩 電 極 間 之 鐵 電 體 材 料 所 形 1 訂 成 之 鐵 電 體 記 億 裝 置 層 所 構 成 9 有 關 上 述 兩 電 極 間 之 施 1 加 電 壓 與 鐵 電 體 材 料 之 極 化 率 (P ο 1 a r r i 2 i b i 1 i ty )之對 1 | 應 關 傜 具 有 遲 滯 特 性 〇 亦 即 9 鐵 電 體 電 容 器 使 電 場 1 I (施加電壓） 為 零 時 9 tt 會 依 據 電 壓 施 加 履 歴 之 極 性 之 殘 1 1 留 其 極 化 會 留 存 於 戡 電 體 層 内 之 構 成 » 在 上 述 鐵 電 體 記 I 億 裝 置 因 偽 將 記 億 資 料 以 鐵 電 體 電 容 器 之 殘 留 極 化 表 示 1 1 1 J 來 實 現 記 億 資 料 之 非 揮 發 性 Ο 1 1 在 使 用 m 種 鐵 電 體 電 容 器 之 非 揮 發 性 記 億 装 置 9 偽 減 1 少 鐵 電 體 電 容 器 之 遲 滞 持 性 之 不 均 勻 * 並 且 9 減 少 因 使 I 1 用 遲 滞 特 性 引 起 之 變 動 成 為 重 要 之 課 題 〇 [ 1 Η 具 體 地 說 明 時 9 第 14 圖 第 16 m 係 用 來 説 明 先 行 技 1 I 術 之 鐵 電 體 記 億 裝 置 所 用 之 3 圖 第 14 圖 係 表禾在 該 鐵 電 體 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 A7 B7 五、發明説明（> ) 記億裝置之記億胞陣列之平面圖，第15圖傜在該圖14 之XV-XV線部分之剖面圖，第16圖傜表示鐵電髏電容器 之上部電極與下部電極之相關位置之平面 於圖，200傜構成鐵電體記億裝置之記億胞陣列，在 其矽基板201上，沿著第1方向D1排列複數電晶匾區域 220a,該矽基板201之電晶體區域220a以外之部分偽形 成元件分離絶緣層202。 又，在沿箸第1方向D1 I之列電晶髏匾域220a之兩側 ，在元件分離绝緣膜202上經由第1層間绝绨膜203形 成做為記億胞板電搔之下部電極（第1電極）211。該下 部電極211傜由鈦或白金等之金屬材料所構成，具有沿 著上逑第1方向D1延伸之帶狀平面形狀β此下部電掻 211表面，形成有鐵電體層213。 又，在上述下部電極211表面之鐵電體層213上，對 應於上述各電晶體區域2 2 Q a形成有由鈦或白金等之金饜材 料所構成之上部電極（第2電掻）212β亦即，在上述鐵 電體213上，沿著上述第1方向D1配置有複數之上部電 極212。各上部電極212之平面形狀偽，變成將上述第1 方向D1做為長向之長方形形狀，又，由第14圖就可清楚 ，該各上部電極212之面積偽變成較下部電極211之面積 為小。在此，鐵電體電容器 210傷由上述下部電極211 ，上部電極212及位於這些間之鐵電體層213所構成，上 述鐵電體層213表面及上部電極211表面係由第2層間絶 緣膜2Q4所包覆。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ,1Τ 32^635 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 i 按 * 在 此 • 上 述 上 部電極 11 2偽配置於下部電極211之 1 1 1 中 央 部 分 9 而 下 部 電 極 2 1 1- -方之刨邊2 1 1 ai與對向於 1 1 此 之 上 部 電 極 2 1 1之倒邊2 1 1 a 距離以 下，為 非重叠 /«—V 請 1 先 1 寬 度 )〇 11 > 及 下 部 電 極2 1 1他方之側邊2 1 la2 與 對向於 閱 讀 1 1 此 之 上 部 電 極 2 1 1之槲邊2 1 1 a2之距離（以下，非重叠 背 1 I 之 1 寬 度 )〇 12 % 變 成 相 等 〇 注 意 # 1 又 在 夾 住 上 逑 電 晶體區 域2 2 0 a對向 之一對 下部電極 項 再 2 1 1間， 偽由聚矽所 成之- -對字線（第 2配線 )2 2 3 a， 填 寫 本 袈 2 2 2b為 如 跨 越 排 列 成 1列之 複數電晶體 區域2 2 0 a所S己見 頁 1 I 在 該 各 電 晶 體 區 域 2 2 〇a之該 字線223 a， 2 2 3 b之 兩倒，形 1 1 成 有 構 成 記 憶 格之 記 億電晶 體220之源極擴散區域222, 1 1 汲 極 擴 散 區 域 2 2 1 〇 位於上述字線2 2 3 a , 2 2 3 b之各電晶 1 訂 體 區 域 2 2 0 a 上 之 部 分 ,偽構 成上述記億 電晶體 2 2 0之閘 1 電 極 ♦ 而 在 基 板 表 面 上經由 閘極絶緣膜 2 0 2 a 位 置。上述 1 I 擴 散 區 域 2 2 1 , 2 22及 字線2 2 3a, 2 2 3 b之 表面， 傜由上述 1 | 第 1 及 第 2 層 間 绝 Hu 緣 膜 2 0 3， 2 0 4所包覆 〇按， 在第1 4圖 1 1 傷 省 略 了 這 層 間 绝 TiU 緣膜。 、丨 並 且 * 位 於 上 述 各 電晶體 區域2 2 0 a之 一對字 線 223 a 1 I 及 2 2 3 b間之源極 擴 散 區 域222 ,傜經由上述第1 ，第2之 1 1 層 間 絶 緣 膜 2 0 3 , 2 0 4之接觸 孔2 0 5 b，連 接於沿 箸與上述 1 «,1 1 第 1 方 向 D 1 之 第 2方向 D 2延伸之位元線223 b 。又，位 1 1 1 於 上 述 各 電 晶 體 區 域 2 2 0 a之 對向之字線 2 2 3 a, 2 2 3 b外側 1 之 汲 極 擴 散 區 域 2 2 1 , 僳由連接配線233 a以電氣方式連 1 I 接 於 上 述 上 部 電 極 2 1 2。亦即，上述連接配線2 -5 - 3 3 a 之—^- 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 4- ) 1 1 1山 m 部 偽 經 由 形 成 於 上 述 第2 層間絶綠膜2 0 4之接觸孔 1 1 2 0 4 a 連 接 於 上 述 上 部 電 極 2 12, 上述連接配線2 3 3 a 他 1 1 端 部 » % 經 由 形 成 於 上 述 第1， 第2之層間絶绨膜2 0 3， /-—V 請 1 先 1 2 0 4之接觸孔2 0 5 a連接於汲極擴散區域22 1。 閲 1 在 此 > 上 述 下 部 電 極 2 1 1及鐵電體層213係， 在 上逑層 背 Λ 1 | 之 1 間 絶 緣 膜 2 0 3上依序成膜鈦或白金等之金屬材料， 及鐵 意 1 Φ I 電 體 材 料 y 將 這 形 成 圖 樣（P atterning)而成 者 ,上述 事 項 1 再 上 部 電 極 2 1 2傜在上述鐵電體層213上成膜鈦或 白 金等之 填 寫 本 裝 金 屬 材 料 » 而 將 此 形 成 圖 樣所 成。又，上述位 元 線 2 3 3 b 頁 < 1 I 及 連 接 配 線 2 3 3 a 偽 9 將 形 成於 上述層間絶緣膜 2 0 4上之 1 1 鋁 等 將 金 屬 膜 形 成 圖 樣 所 形成 。又，上述字線 2 2 3 a , 1 I 2 2 3b係 將 形 成 於 閘 絶 m 膜 2 0 2 a 及元件分離絶緣膜層2 0 2上 1 訂 之 聚 矽 膜 形 成 圖 樣 所 成 〇 1 上 述 第 1 層 間 絶 緣 膜 2 0 3像由N S G (氣化矽条） 或 1 1 PBSG (摻雜氧化矽） 等 之 絶 緣材 料所構成，第2 層 間絶線 1 I 膜 2 0 4偽例如由Ρ SG (磷摻雜氣化矽）所構成。 1 又 > 做 為 構 成 上 逑 鐵 電 體電 容器之鐵電體層 2 1 3之鐵 { I 電 體 材 料 » 係 KN 0 Ξ ΐ * P bL a 2 〇 3 - Z r 0 2 ~ T i 0 2 ，及 TbTiO 3 1 1 -PbZ rO 3 等 為 人 所 知 曉 〇 又， PCT國際公開第W0 9 3 / 1 1 12 5 4 2號公報， 也掲示有適合IT >鐵電體記億装置之PbTi03 1 1 -P bZ r 0 3 相 較 疲 勞 非 常 小 之鐵 電體材料。 1 1 Η 就 其 動 作 簡 αο 単 說 明 如 下。 1 I 這 種 構 成 之 鐵 電 體 記 億 装置 偽，例如趣擇字 線 2 2 3 a, I I 接 著 驅 動 下 部 電 極 2 1 1之1 個（例如第14圖所示 6 - 最 上之下 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（^ ) 部電極），而將其電壓位準做為對應於邏輯電壓，Μ Η "之 位準時，形成於此下部電極上之鐵電體電容器21Q之記 億資料就經由連接配線233a及電晶體220讀出於各位元 線 233be 玆簡單地道明此讀出動作。第17圖俗將鐵電體電容器 之遲滯待性以圖表表示，將縱軸表示鐵電體電容器之極 化電荷量P,將横軸對應於對於鐵電體電容器之施加電 場I又，PI, P2偽分別對於鐵電體電容器加電場E1, E2( = - E1)時之極化電荷量，Prl偽對於施加電壓E1之殘 留電荷量，Pr2偽對於施加電壓E2(=-E1)之殘留電荷量 ,Eel偽對於殘留電荷量Pr2之抗電場，Ec2係對於殘留 電荷量Prl之抗電場。按，此鐵電醴記億裝置傜在讀出 資料時施加於鐵電體電容器之讀出電壓（亦卽，施加於 下部電極之電壓）僳，決定為上述鐵電體電容器之施加 電場為變成E2之電廳β 在上述鐵電體記億装置偽對於各記億胞寫入有規定之 記億資料，構成該記億胞之鐵電體電容器之殘留電荷量 傷，成為對應於該記億資料「1」或「〇」之殘留電荷量 Prl或Pr2。在此狀態下，驅動規定之字線，在镦電體電 容器之規定下部電極施加上述讀出電壓時，從位於該規 定之下部電極上之鐵電體電容器，偽對應於殘留電荷量 Pr>l或Pr2之電荷將被讀出於位元線上。 例如，從殘留電荷量為Pr2之鐵電體電容器，偽將對 應於施加電壓E 2之極化電荷量P 2與殘留電荷量P I· 2之差 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） I-----_----(裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Α7 Β7 五、發明説明（& r 線 P元 (=位 P2於 △ 出 讀 1 荷ΡΓ i <一一 驾 友 號屬 訊從 之為 料量 資苘 億電 記留 於殘 應若 對， 為是 成但 將。 ，上 器 P 容量 電荷 體電 電留 鐵殘 之與 壓 電 加 施 於 應 對 偽 量 荷 霞 ipr 化 極 之 △ 差 之 - 1 應 對 為 做 為 之之 料上 資線 億元 記位 元 位 於 出 讀 荷 Be Ι^ΟΓ 號 訊 雾| 與 \)/ 2 P- 1A Γ P /1> 量 荷 gBl 於 ， 出異 讀相 因為 \J/ ， 2 時-P 此Γ2 P ο (, 上量 線荷 又電 。體 料電 資鐵 之像 胞 ， 億成 記構 於之 億料 記資 別出 識讀 可器 就容 異電 相體量 之電荷 量鐵電 荷從留 電樣殘 此這之 於像器 由，容 童 荷 電 留 殘於 屬 為 因 偽 胞 億 記 之 置入 装寫 億器 記容 體電 電體 鐵電 此鐵 ，各 此於 因對 0 » 料後 資之 隳出 破讀 生之 發料 而資 ,行 作進 動有 出具 讀偽 號 〇 訊 成之 構料 器資 電億 之記 料之 資3b ί 3 胞 2 億線 記一兀 復位 修各 來於 , 出 料讀 資於 億應 記對 之 ， 前且 出並 讓 大 放 出 謓 由 偽 有 沒 後壓 (Ϊ其電 器 0輯 部邏 外於 之應 置對 裝為 億成 ,記準 J可 _ i asn /A— s I 天 il IpUT IfHT 屬 鐵 於 出 輸21 而極 gB—, ιρπτ大部 Μ r Φ 厅 i 所过 Σ }上位 示持之 画 gL' 電線 之字 11述 上 將 而 ---nn m ml - i I 士^——— - --- (^n >.^^1 ^^1 In 、ve (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 223a成為非選擇狀態而結束’讀出。 然而，在先行技術之鐵電體電容器210偽，特性之不 均勻性，亦即鐵電體層之極化率之不均勻大，又待性變 動，亦即，具有容易發生極化率之經時變化之問題β 亦即，於上逑第17圖所示鐵電體電容器之遲滯特性曲 線，對於施加電場El, Ε2之極化電荷量PI, Ρ2,抗電場 Ecl，Ec2，或殘留電荷量Prl, Pr2之起始值，就會在1個 裝置（鐵電體記億装置）内之記億胞間，或裝置間發生大 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） S22635 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 7 ) 1 1 的 不 均 勻 * 而 會 在 短 時 間 發 生 隨 著 時 間 經 過 所 發 生 之 遲 1 1 滯 特 性 變 動 (從曲線1 a所示之正常待性對於曲線1 b所示 1 I 劣 化 待 性 之 變 化 )〇 請 1 先 1 本 發 明 為 了 解 決 如 上 述 之 問 題 所 發 明 者 ， 其目的 閲 1 偽 提 供 一 種 抑 制 鐵 電 體 電 容 器 特 性 之 不 均 勻 * 並 且 可 使 脊 面 1 | 之 1 隨 著 時 間 經 過 之 特 性 變 動 變 小 ， 耐 用 年 數 長 而 製 造 良 率 注 意 I 好 之 半 導 體 裝 置 〇 事 項 1 I 再 1 C 發 明 之 掲 示 ] 寫 本 裝 有 關 本 發 明 (申請專利範圍第1 項） 之 半 導 體 装 置 俗 頁 'v_^· 1 I 備 有 > 沿 著 第 1 方 向 延 伸 9 將 具 有 與 該 第 1 方 向 成 垂 直 1 1 之 第 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 平 面 形 狀 之 第 1 電 極 » 與 配 1 | 置 成 與 該 第 1 電 極 對 向 9 於 上 述 第 1 方 向 之 尺 寸 與 上 述 1 訂 第 2 方 向 之 尺 寸 相 等 之 平 面 形 狀 » 或 於 上 述 第 1 方 向 之 1 尺 寸 為 較 上 述 第 2 方 向 之 尺 寸 具 更 更 短 平 面 形 狀 之 第 2 1 I 電 極 t 與 配 置 於 上 述 第 1 電 掻 與 第 2 電 掻 之 鐵 電 體 層 ， 1 1 1 而 由 上 述 第 1， 第2 電搔及該兩電極間之鐵電體層來構 1 成 鐵 電 體 電 容 器 〇 叙 I 有 關 本 發 明 (申請專利範圍第2 項）之 半 導 體 裝 置 ♦ 係 1 1 根 據 φ 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 半 導 體 裝 置 * 其 中 將 上 述 第 1 1 2 電 極 規 定 之 導 電 性 材 料 層 之 圖 樣 形 成 (P at t e r η i η g ) I 所 形 成 沿 著 該 第 2 電 極 沿 著 上 述 第 1 方 向 排 列 複 數 値 1 1 t 將 該 鄰 接 之 第 2 電 極 之 配 置 關 傜 > 成 為 可 形 成 於 上 述 I 導 電 材 料 之 開 P 圖 樣 之 最 小 尺 寸 〇 1 I 有 關 本 發 明 (申請專苹 i範圍第3 -9 - 項） 之 半 導 體 装 置 > 俗 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） i A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( S ) 1 1 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 之 半 導 體 裝 置 $ 其 中 將 上 述 第 1 1 2 電 極 之 平 面 形 狀 成 為 多 角 形 形 狀 > 將 該 第 2 電 極 之 平 1 1 面 形 狀 之 各 角 大 小 9 都 成 為 9 C 度 以 上 者 〇 請 1 先 1 有 關 本 發 明 (申請專利範圍第4 項） 之 半 導 體 装 置 9 閱 1 備 有 9 沿 箸 第 1 方 向 延 伸 9 具 有 將 與 該 第 1 方 向 成 垂 直 背 1 | 之 1 之 第 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 平 面 形 狀 之 第 1 電 極 * 與 位 注 意 | 於 該 第 1 電 極 所 對 向 之 位 置 > · 沿 著 上 述 第 1 方 向 及 第 2 事 項 I 再 方 向 排 列 成 矩 陣 狀 之 複 數 第 2 電 極 * 與 配 置 於 上 述 第 1 填 寫 本 裝 電 極 與 第 2 電 搔 間 之 鐵 電 體 層 * 而 由 上 述 第 1 電 棰 9 鐵 頁 •---- 1 I 電 體 層 及 複 數 第 2 電 極 來 構 成 複 數 鐵 電 體 電 容 器 〇 1 1 有 關 本 發 明 (申請專利範圍第5 項） 之 半 導 體 裝 置 > 傜 1 I 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 4 項 之 半 導 體 裝 置 9 使 其 具 有 將 上 1 訂 述 各 第 2 電 極 9 於 上 述 第 1 方 向 之 尺 寸 與 於 上 述 第 2 方 1 向 之 尺 寸 為 相 等 之 平 面 形 狀 9 或 上 述 第 1 方 向 之 尺 寸 與 1 | 於 上 述 第 2 方 向 之 尺 寸 為 更 短 之 平 面 形 狀 之 構 造 〇 1 1 有 關 本 發 明 (申請專利範圍第6 項） 之 半 導 體 裝 置 > 係 1 備 有 * 沿 著 第 1 方 向 延 伸 9 具 有 將 與 該 第 1 方 向 成 垂 直 Μ I 之 第 2 方 向 做 為 寛 度 方 向 之 平 面 形 狀 之 第 1 電 極 » 與 配 \ 1 置 成 該 第 1 電 搔 所 對 向 之 位 置 » 將 具 有 上 述 第 1 方 向 與 1 1 第 2 方 向 間 之 方 向 做 為 其 長 向 之 平 面 形 狀 之 第 2 電 極 $ 1 1 與 配 置 於 上 述 第 1 電 搔 與 第 2 電 極 間 之 鐵 電 體 層 9 由 上 1 1 述 第 1 9 第 2 電 極 及 該 兩 電 壓 間 之 鐵 電 體 層 » 來 構 成 鐵 I 電 體 電 容 器 〇 1 I 有 關 本 發 明 (申請專苹 J範圍第7 項） 之 半 導 體 装 置 > 傜 1 1 -1 0- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第之 偽直配與極邊之之M搔第者偽第平 係矩億對於 逑極 ，垂與向電側間間1 電該大，逑之 ，成記擇接 上電 置成，方 12 極極第 2 從為置上極 置列之選連 將 2 裝向棰1第第電電之第比離装將電 裝排用與與 中第 體方電第該有 2 兩極該，距體中 2 體成所 ，， 其該。導 11 述與具第該電使離之導其第 導構器線線 -於者半第第上及向與由2 且距邊半，該 半所容元字 置將上之該之有，對極及第，之側之置於。之體電位數 装，以¾)與狀具邊近電極逑長止21)装將上S)晶體數複 體狀0S8 將形將侧靠 1 電上為邊第 體，以0¾電電複之 導形90U 有面 ，1可第2將度侧之S9導狀度ς億鐵之用 半形為圍具平置第最逑第，長1極1^半形90_記該列所 之角成範，之位之邊上，器之第電Β之角為_及動胞體 項多都 j伸向之向側於1容邊之1卩項多成flig器驅憶晶 6為’延方向對2持第電側極第W8為都iff容與記電 '第成小 向度對所第夾述體2電到 W第成 ，#«電，各億 圍狀大Φ;方寬所近之被上電第1邊^圍狀小M體胞於記 ) 範形角{1為極靠行與由鐵其第刨 £ 範形大(Φ電憶應之 ? 利面内明第做電可平，而成較至2明利面角明鐵記對胞 ( 專平之發著向1 最向極，構成邊第發專平内發由數與億 明 請之狀本沿方第遴方電層層形側之本請之之本別複，記 説 申極形關.，2該倒12體體度1棰關申極狀關分之線各 ^ 據電面有有第成 1 第第電電長第電有據電形有有狀板於 '#根2 平 備之置第之之鐵鐵邊之 2 根2 面 備陣胞應 五 -----.--L.裝------訂------L 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 五、發明説明（”） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 大具向第1狀更2體 葆第寬極器 ，2置置經 傜第寬 放，方之第形寸第 ，著為電容間第位位， ，箸為 出偽 2線述.面尺與 置沿做1電之述央倒上 置沿做 讀置第板上平之極 装有向第體極上中邊膜 裝有向 之裝之胞於之向電 體具方之電電蓋其倒緣 體具方 號億直億有等方1電 導；2器鐵2覆之方絶。導；2 訊記垂記具相2第之 半有第容述第如面 一該線半有第 料體向述，為第述 之備之電上與與表之於配之備之 資電方上向寸述上112®)，直體成極，極向成之I)，直 之鐵1於對尺上於 1 置垂電構電層電方形極2¾置垂 上此第接極之於置1’ P装成鐵 ，1體21與電1裝成 線，該連電向為配第。 體向述向第電第第，2第體向 元且與而1方寸與述器 導方上對逑鐵該之膜第S®導方 位並將，第2尺，上容j半1成極上之從極緣逑Jig半1 定。-狀該第之搔由電 W之第構電於器有電絶上和之第 規置伸形與述向電，體Η器該 ，1置容具1之於U器該 大裝延面成上方 2層電Φ-容與狀第配電，第孔接請容與 放億向平置於1第體鐵{電將形該與體成述觸連(¢電將 ，記方向配與第之電述明體，面與，電形上接孔明體 ， 線體1方與寸逑狀鐵上發電伸平成極鐵所著之觸發電伸 元電第度，尺上形之成本鐵延之置電述面沿成接本鐵延 位鐵著寬極之於面間構關有向向配2上表於形述關有向 述之沿為電向或平極來有備方方與第成極離所上有備方 上器有做1 方，短電層 於1度，之構電偏上由 於1 L-裝 訂 ^線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 32^63 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（u ) 度方向之平面形狀，構成上述鐵電體電容器之第1電極 ,與配置成與該第1電極對向，來構成上述鐵電體電容 器之第2電極，與配置於上述第1電極與第2電極間 ,來構成上述鐵電體電容器之鐵電體層，與如覆蓋上述 第2電極表面所形成，具有形成為位於該第2電掻表面規定部位 上之接觸孔之絶緣膜，與形成於旋繞縱膜上，在上述第 2電極以電氣方式連接之配置，而將上述第2電極成為 其全體從其規定倒邊倒之缺口成為分割為複數之電極部 分之構造，將上逑配線對於構成該第2電極之複數電搔 部分中之一部分經由上逑接觸孔連接。 〔匾式之簡單說明] 第1圖傜表示依據本發明之實施形態1構成鐵電體記 億装置之記億胞陣列之平面圖。 第2圖於第1圖之II -II線部分之剖面圖。 第3圖偽表示構成上逑實施形態1構成鐵電體電容器 之下部電極與上部電極之相關位置之平面圖。 第4圖傜表示依據本發明實施形態2構成鐵電體記憶 裝置之記億胞陣列之平面圖^ 第5圖僳表示構成上逑實施形態2構成鐵電髏電容器 之下部電極與上部電棰之相鼸位置之平面圖。 第6圖傜表示依據本發明實施形態3構成鐵電體記億 裝置之記億胞陣列之平面圖<» 第7圖傜表示構成上述實施形態3構成鐵電髏電容器 之下部電極與上部電極之相籣位置之平面圖。 -1 3 - --II -----L4 I 批衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（|> ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 籍 記鐵 記鐵 記 關 器構 億 器 億 體 0 ^ 體之is㈣相Hu¾列ie^ 記 電 電置 電置 電 Μ 之 電陣 體 電 之 鐵 鐵装。鐵裝。戡¾¾極之®6體胞 電 體 置 之 之億置之億置之 電^6' 電億 鐵 電 裝 置。 4記位5記位6节部鐵記 成 鐵。億Ιο装圖 態 _gs態 SSIS態 之之 » 成 Hleδη億之 形電相形電相形¾與ufcfcs6積 7 構面體Jffi記置 施鐵之施鐵之施^極fclM 態面 態 7平電 淨體位 實該極實該極實 電月 t 形置 形 態之鐵 U電關 明成電明成電明)1部施裝 施 形置之 Η鐵相 發構部發構部發(a下霣用 實。施位術 部之極 本示上本示上本10之 _(c述利 明圖實關技 ㈣術電 據表與據表與據第器M10上效 發面述相行-X技部 依，極依，極依，容 第 於有 本平上極先XV行上 明圖電明圖電明圖電}， 用， 據之成電成 之先與 說面部說面部說面體(b圖。使造 依列構部構。圖於極 來平下來平下來平電10之圖示構 示陣示上示圖14示電 用之之用之之用之鐵第用之表之。表胞表與表面第表部 偽用器僳用器傜用之，所狀係極圖僳億偽搔係平傺係下 圖所容圖所容圖所置圖狀形圖電面圖記圖電圖之圖圖之 8置電9置電10置裝之形極11部平12之13部14列1516器 第裝體第裝體第裝憶置極電第上之第置第下第陣第第容 億電 億電 億記位電部 之成 裝 之 胞 電 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） « A7 B7 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ ) 1 1 第 1 7圖 傜 上 述 鐵 電 體 電 容 器 之 m 滯 待 性 以 圖 表 表 示 之 1 1 圖 〇 1 1 C 實 施 本 發 明 之 最 佳 形 態 —S 請 1 I 首 先 * 就 本 發 明 之 著 眼 點 及 基 本 原 理 説 明 如 下 〇 閲 1 1 1 I 本 發 明 人 等 為 了 達 成 上 述 百 的 努 力 研 究 之 結 果 » 發 現 背 1 I 之 1 了 上 述 鐵 電 體 電 容 器 之 持 性 不 均 勻 或 待 性 變 動 偽 * 構 成 注 意 1 I 鐵 電 體 電 容 器 所 形 成 之 鐵 電 體 層 之 後 由 於 進 行 種 種 處 理 事 項 1 I 再 致 使 鐵 電 體 層 之 材 層 劣 化 等 所 引 起 者 填 本 裝 亦 即 > 上 述 下 部 電 極 及 鐵 電 體 層 傜 r 在 層 間 絶 緣 膜 上 I 1 1 形 成 白 金 等 之 金 屬 膜 及 鐵 電 體 膜 之 後 r 將 這 進 行 形 成 1 1 画 樣 來 形 成 * 所 以 進 行 此 圖 樣 形 成 時 t 藉 從 腐 蝕 處 理 所 1 I 露 出 之 鐵 電 體 層 側 面 腐 蝕 劑 等 成 為 雜 質 侵 入 9 而 在 AOJ. 鐵 電 1 1 am 勝- 層 倒 邊 部 分 發 生 材 質 劣 化 0 又 » 在 進 行 此 腐 蝕 時 9 由 1T 1 於 戡 電 體 層 與 下 部 電 極 之 界 面 也 露 出 9 所 以 * 在 該 界 1 I 面 部 分 由 於 雜 質 之 侵 入 而 形 成 電 阻 層 等 〇 1 1 又 * 上 述 電 極 傜 ， 將 形 成 於 上 述 鐵 電 體 層 上 之 白金等 1 之 金 屬 膜 形 成 圖 樣 所 形 成 9 所 以 > 形 成 函 樣 時 > 該 鐵 電 ，络V I 體 層 之 金 屬 膜 被 去 除 而 露 出 之 部 分 將 暴 露 於 腐 蝕 處 理 t 1 1 因 此. 鐵 電 體 層 之 上 部 電 極 之 周 邊 部 -riS» 發 生 材 質 劣 化 Ο 1 I 並 且 m 擇 性 地 去 除 層 間 絶緣膜之上部電極上 之 部 分 I 來 形 成 接 觸 孔 時 > 經 由 露 出 於 該 接 觸 孔 内 之上部電極 1 1 而 雜 質 侵 入 於 鐵 電 體 層 並 且 > 欲 形 成 連 接 配 線 時 * 靨 | 於 該 連 接 配 線 構 成 材 料 之 鈦 為 經 由 上 述 上 部 電 極 侵 入 於 1 鐵 電 體 層 〇 m 此 » 在 對 應 於 鐵 電 體 層 之 接 觸 孔 之 部 分 會 1 1 -1 5- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） a7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 發 生 材 質 之 劣 化 〇 1 1 從 這 事 情 ， 增 大 與 下 部 電 極 長 向 成 垂 直 方 向 之 寬 度 1 1 尺 寸 而 將 上 部 電 極 配 置 於 儘 量 從 下 部 電 極 側 邊 部 離 開 之 r—v 請 1 先 1 位 置 > 並 且 > 藉 增 大 上 部 電 極 之 商 積 * 就 可 滅 低 於 鐵 電 閱 ik 1 體 電 容 器 之 鐵 電 體 層 之 雜 質 擴 散 引 起 之 劣 化 部 分 之 影 鬱， 背 1 | 之 1 但 是 單 純 地 增 大 下 部 電 極 或 上 部 電 極 尺 寸 例 如 ， 將 第 注 意 I 1 6 151 _ 所 示 之 上 逑 非 重 疊 寬 度 〇 u ， C 12 增 大 超 過 上 部 電 極 事 項 1 I 再 2 1 2之寬度W2時， 下部電極2 1 1 之 寬 度 W1 將 變 寬 (W2 + 0 11 填 窝 本 裝 + 0 12 )以上， 而會重新發生在記億陣列基板上之布置面 頁 1 I 積 顯 著 地 增 大 之 問 題 〇 1 1 於 是 本 發 明 人 等 俗 再 發 現 構 成 鐵 電 體 電 容 器 之 上 部 1 I 電 極 之 形 狀 與 上 述 待 性 不 均 勻 等 之 相 關 性 及 在 上 部 電 1 訂 極 上 之 接 rm 孔之位置與上述待性不均勻等之相關性， 1 而 根 據 洹 些 開 發 出 可 以 避 免 發 生 上 述 新 的 問 題 〇 1 | 亦 即 t 本 發 明 人 等 傜 在 先 行 技 術 之 鐵 電 體 電 容 器 2 10 1 | * 由 於 上 述 上 部 電 極 2 1 2之長度L 2 對於其寬度W2 較 長 1 » 所 以 * 大 為 受 到 鐵 電 體 層 制 邊 之 材 質 劣 化 部 分 之 影 饗， 銘 I 而 發 現 了 容 易 發 生 鐵 電 體 電 容 器 之 特 性 不 均 勻 或 待 性 變 1 I 動 9 構 成 Ajf- 鐵 電 體 電 容 器 之 鐵 電 體 層 發 生 材 質 劣 化 之 部 分 1 1 9 傜 主 要 為 位 於 下 部 電 極 侧 邊 附 近 之 位 置 部 分 9 發 現 了 1 I 藉 將 上 述 電 極 之 平 面 形 狀 9 把 下 部 電 極 之 寬 度 方 向 做 為 1 1 長 向 之 形 狀 9 就 不 導 致 縮 小 上 部 電 極 面 積 9 就 可 減 少 1 含 於 鐵 電 體 電 容 器 之 鐵 電 體 層 之 材 層 劣 化 部 分 〇 1 並 且 、 發 現 了 Μ 將 上 述 上 部 電 極 之 接 觸 孔 配 置 於 從 1 1 it -1 6 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 五、發明説明 ( ηΓ ) 1 1 上 部 電 極 之 中 央 位 置 偏 離 於 下 部 電 極 側 邊 側 之 位 置 y 就 1 1 可 抑 制 從 該 接 觸 孔 經 由 上 部 電 搔 對 於 鐵 電 體 層 擴 散 雜 質。 1 I 茲 就 依 據 洹 種 著 眼 點 及 基 本 原 理 之 本 發 明 之 各 實 施 形 /·-S 讀 先 1 態 説 明 如 下 〇 閱 1 實 施 形 態 η 背 面 1 | 之 1 第 1 圖 第 3 圖 係 用 來 說 明 依 據 本 發 明 實 施 形 態 1 之 意 1 I 鐵 電 體 記 億 装 置 所 用 之 圖 > 第 1 圖 偽 表 示 溝 成 該 鐵 電 體 事 項 1 再 1 記 億 裝 置 之 記 億 胞 陣 列 之 —» 部 分 之 平 面 圖 第 2 圖 像 於 4 寫 本 裝 第 1 圖 之 I I -I I線部分之剖面圖， 第3 圖係表示構成記 頁 1 I 億 胞 陣 列 之 鐵 電 體 電 容 器 之 上 部 電 極 與 下 部 電 極 之 相 關 1 1 位 置 之 平 面 圖 Q 1 I 於 圖 1 0 0 a 傜 構 成 鐵 電 體 記 億 装 置 之 記 億 胞 陣 列 * 在 1 訂 其 矽 基 板 10 1上， 傜沿著第1 方向D 1及與此垂直之第2 1 方 向 D2而 電 晶 體 區 域 12 0 a 排 列 成 矩 陣 狀 9 在 該 矽 基 板 10 1 1 I 之 各 電 晶 體 區 域 以 外 之 表 面 區 域 形 成 有 元 件 分 離 絶 緣 膜 1 1 1 10 2 〇 1 又 * 在 沿 箸 第 1 方 向 D 1 之 各 列 電 晶 體 區 域 12 0 a 兩 側 I 則 做 為 記 憶 胞 板 電 極 設 有貫下部 電 極 (第1 電極） 11 1 a 〇 該 1 1 - 下 部 電 極 11 la % 將 鈦 或 白 金 等 之 金 屬 膜 形 成 _ 樣 所 形 成 1 1 ， 在 元 件 分 離 絶 緣 膜 10 2上經由第1 層間絶緣膜1 0 3加 以 I 配 置 〇 又 9 上 逑 下 部 電 極 11 1 a 像 具 有 沿 著 上 述 第 1 方 向 1 1 D 1 延 伸 1 將 與 該 第 1 方 向 成 垂 直 之 第 2 方 向 做 為 配 線 寬 | 度 方 向 之 帶 狀 平 面 形 狀 t 在 其 表 面 形 成 有 鐵 電 體 層 11 3〇 1 | 又 ， 在 上 述 各 下 部 電 極 i 1 1 a 表 面 之 鐵 電 體 層 11 3上， 1 1 -1 7 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 由 於 白 金 等 之 金 圈 膜 之 圖 樣 形 成 上 部 電 極 (第ς 1電極） 112a 1 1 〇 亦 即 在 上 述 各 下 部 電 極 1 1 1 a 之 鐵 電 體 層 1】 3上， 沿箸上 1 I 逑 第 1 方 向 D 1 配 置 複 數 之 上 部 電 極 1 1 2 a 〇 又 > 各 上 部 電 請 1 1 極 1 1 2a L之 平 面 形 狀 偽 成 為 將 上 述 第 2 方 向 D2做 為 長 向 之 先 閱 1 I 讀 1 I 長 方 形 形 狀 並 且 9 該 上 部 電 極 1 1 2 a 之 面 積 傜 成 較 下 部 背 1 I 之 電 極 1 1 1 a 之 面 積 為 小 〇 並 且 » 上 述 戡 電 體 層 1 1 3之表面及 意 1 上 部 電 極 1 1 2 a 表 面 傷 由 第 2 層 間 绝 m 膜 1 0 4所包覆。 按， 孝 項 i | 再 在 第 1 圖 % 省 略 了 鐵 電 體 層 11 3及第1 第 2 層 間 絶 線 膜 導 3， 0 4 寫 裝 1 0 1 〇 頁 1 在 此 > 上 述 下 部 電 極 11 1 a 9 與 位 於 其 上 方 之 上 部 電 極 1 1 1 1 2 a » 與 由 該 下 部 電 極 與 上 部 電 極 間 之 鐵 電 體 層 11 3 , 1 I 構 成 鐵 電 體 電 容 器 11 0 a 〇 並 且 * 鐵 電 體 電 容 器 11 0 a 偽 分 1 1 訂 1 別 配 置 於 上 述 電 晶 體 區 域 12 0 a 之 兩 側 〇 又 9 夾 持 上 述 電 晶 體 區 域 12 0 a 對 向 之 兩 下 部 電 極 11 1 a 1 I 之 間 » 由 聚 矽 所 構 成 之 字 線 12 3 a 1 , 1 2 3 a 2 為配置成排 1 1 列 成 跨 越 複 數 之 電 晶 體 區 域 12 0 a 〇 在 此 » 上 述 字 線 12 3 a 1 1 > 12 3 a 2 傜 1 為 了 不 與 於 電 晶 體 區 域 12 0 a 之 接 觸 孔 10 5 a 線 | 9 10 5b形 成 位 置 重 « 將 其 平 面 形 狀 成 為 鋸 齒 形 狀 〇 在 該 1 1 各 電 晶 體 區 域 之 該 字 線 兩 侧 9 形 成 有 構 成 記 億 胞 之 電 晶 1 | 體 之 源 極 擴 散 區 域 12 2 , 汲極擴散區域1 2 1 〇 位 於 上 述 字 1 線 之 各 電 晶 體 區 域 上 之 部 分 偽 構 成 上 述 電 晶 體 之 閘 > 經 1 1 由 閘 绝 緣 膜 10 2a 位 於 基 板 10 】之表面區域上。 上述擴散 1 1 區 域 12 1 , 1 2 2及 字. 線 12 3a 1 , 1 2 3 a2 表 面 > 偽 由 上 述 第 1 1 1 及 第 2 層 間 絶 綠 膜 10 3 , 1 0 4 所 包 覆 〇 1 1 1 - 18 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X29*/公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 A7 _B7_ 五、發明説明（（7 ) 並且，位於上述各電晶體區域1 2 0 a之一對字線内側之 源極擴散區域122,偽經由形成於上逑第1，第2層間絶 緣膜103， 104之接觸孔105b連接於沿箸與上述第1方向 直交之第2方向延伸之位元線113b。又，位於上述各電 晶體區域120a之一對字線外侧之汲極擴散區域121，偽 由連接配線113a，以電氣方式連接於對應各電晶髏區域 120a之鐵電體電容器110a之上部電極112a«亦即，上 述連接配線U3a —端部，偽經由形成於上述第2層間絶 線膜104之接觸孔104 a連接於上逑上部電極112a，上述 連接配線U 3a之他端部，係經由形成於上逑第1，第2 層間絶綠膜103，104之接觸孔105a連接於汲極擴散匾域 1 2 1 〇 於是，上述第1層間絶緣膜103偽由NSG(氣化矽条）或 B P S G(摻雜硼磷氣化矽）等絶緣材料所構成，第2層間絶 緣膜1 Q 4 ,傜例如由P S (](摻雜磷氣化矽）等之絶緣材料所 構成。 又，構成上逑鐵電體電容器110 a之鐵電體層113之鐵 電體材料傜 KN〇3 , PbLa2 03 , -Zr02 -Ti02 ,及 PCTiO -PbZi«03等為人所知曉。又，若依據PCT國際公開第WO 93/ 12542號公報，適合於鐵電體記億裝置之PbTi03 - pbzr〇3 w m m m ^ ^ m m m ^ m it μ λ m m 〇 又，上述連接配線113a與位元線113b,傜將依序形成 於基板上之鈦層及鋁層形成圖樣所形成者β按，上述連 接配線113a與位元線U3b,也可製成鋁層之單層構造。 -19 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
·.」I 裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7_五、發明説明（) 此時即使將同一鋁層形成圖樣來形成也可由分別相異之 鋁層之圖樣形成來形成。 並且，在本實施形態1 ，偽尤其表示於第3圖，將上 述上部電極112a之平面形狀，在上述第1方向D1之尺寸 L2，傜形成為較上逑第2方向D2之尺寸W2更短之平面形 狀。又，在下部電極111a與此對向配置之上部電搔112a 之面積傜，使其上述下部電極111 a之面積更小。在此， 上述下部電極111a之第1側邊lllal,與鄰接於此所對 向之上部電極U2a之第1側邊112a之距離（以下，稱為第 1非重《寬度）〇ιι及上述下部電極111a之第1側邊llla2 ，與鄰接於此所對向之上部電極112a之第1倒邊112a2 之距離〇12(以下，稱為第2非重叠寬度）為相等，這些 第1，第2非重鼉寬度Ou及On傜，設定為在上述上部 電極112a之第2方向（下部電極之寬度方向）D2之尺寸W2 以下。 Η就其作用效果說明如下。 本實施形態之鐵電體記億装置之資料黷出動作係與先 行技術之鐵電體記億裝置之動作相同。 在本實施形態1偽，於鐵電體記億裝置，在具有帶狀 平面形狀之下部電極（記億胞板電極）llla上，經由鐵電 體層113沿著該下部電極111a長向配置複數上部電極112a ,來構成複數之鐵電體電容器110a,將於上述上部電極 112a之下部電極長向之尺寸L2,形成較其垂直方向之尺 寸W2為短，所以，不至於減少上部電極U2a之面積，就 -20 - m ^^^1 1 1· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中夬標隼局員工消费合作社印製 322G35 * A7 __B7_ 五、發明説明（θ ) 可減少於上部電搔112a之材質劣化所發生之鐵電體層113 側邊部重曼之區域β藉此，做為全體鐵電體電容器之待 性不均勻就變小，又隨著時間經過之待性變動也會變成 缓和。 又，此時，由於受到上述上部電極112a之鐵電體層材 質劣化影遒之區域寬度L2為狹，所以，即使變狹上述非 重*寬度〇U , 〇12，可抑低鐵電體電容器全體之待性不 均勻或特性變動，其結果，可將下部電極111a之寬度 m( = + + 〇u >變狹，而也可變狹記億胞陣列之布置 面積。 又，在此實施形態1，係將形成於上部電極112a上之 接觸孔l〇4a,配置於較上部電極112a較其中央位置偏離 於其一方側邊側之位置，所以由於從接觸孔之雜質擴散 之鐵電體層113之材質劣化，可抑剌為僅擴及到對應於 上部電極112a之中央部分β 亦即，形成接觸孔l〇4a時及形成連接配線113a時，雜 質會經由露出於該連接孔104a内之上部電極112a侵入於 鐵電體層113,而將會使該鐵電體層113之材質。這種材 質劣化雖然會導致鐵電體層之待性之不均勻或持性劣化 ，但是，此材質劣化，若從上部電極112a中央所對應之 部分發生時，鐵電體層之材質劣化就會與從下部電極111a 側邊側所發生者合起來，而擴及到戡電體層之非常寛廣 範圔。 與此相對，如上述實施形態1,將形成於上述電極112a -21 - 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） t^n —^n 1 I n n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、va A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) ί 1 之 接 觸 孔 1 C 4 3 若 配 置 於 較 上 部 電 極 1 1 2 a ί之 中 央 位 置 更 1 1 偏 離 於 其 一 方 側 邊 側 之 位 置 之 鐵 電 體 電 容 器 時 } 就 可 將 1 1 從 來 自 接 觸 孔 1 0 4 a 1雜 質 之 擴 散 所 引 起 之 鐵 電 體 層 1 1 3之 請 1 先 1 材 質 劣 化 所 發 生 之 區 域 ♦ 重 β 於 從 下 部 電 極 1 1 1 a 倒 邊 發 閱 if 1 生 之 材 質 劣 化 區 域 9 而 可 寬 廣 地 確 保 鐵 電 體 層 1 1 3不發 背 面 1 之 1 生 材 質 劣 化 之 區 域 〇 藉 此 t 就 可 有 效 地 抑 制 鐵 電 體 電 容 注 意 1 I 器 之 持 性 不 均 勻 或 特 性 劣 化 〇 事 項 1 I 再 按 » 在 上 述 實 施 形 態 1 係 > 表 示 若 将 上 部 電 極 11 2 a 之 填 禽 本 裝 寬 度 (於第2 方向D 2之尺寸）¥2較 其 長 度 (於第1 方向D 1 頁 ^ 1 I 之 尺 寸 )L 2縮短之情形， 但是也可以上述上部電極1 12 a 1 1 之 寬 度 W2與 長 度 L2相 同 尺 寸 〇 即 使 於 此 種 情 形 時 9 也 可 1 | 抑 制 全 體 鐵 電 體 電 容 器 之 待 性 不 均 勻 或 特 性 變 動 為 小 〇 1 訂 C 實 施 形 態 2〕 1 第 4 及 第 5 圖 傑 説 明 依 據 本 發 明 之 實 施 形 態 2 之 鐵 電 1 | 體 記 億 裝 置 所 用 之 圖 > 第 4 圖 偽 表 示 構 成 該 鐵 電 體 記 億 1 I 裝 置 之 記 億 陣 列 之 平 面 刪 » 第 5 圖 倦 於 上 述 記 億 胞 陣 列 1 構 成 鐵 電 體 電 容 器 之 上 部 電 極 與 下 部 電 極 之 相 關 位 置 之 叙 I 圖 〇 1 1 1 在 此 實 施 形 態 2 之 鐵 電 體 記 憶 裝 置 之 記 億 胞 陣 列 » 係 1 1 於 上 述 實 施 形 態 1， 將鄰接之上部電極之配置間隔， 視 I 為 可 在 構 成 於 該 上 部 電 極 之 導 電 性 材 料 層 所 形 成 之 開 P 1 1 模 式 之 最 小 尺 寸 (最小加工尺寸） S 2 b， 隨此， 變更在實 Γ I 施 形 態 1 之 電 晶 體 區 域 之 各 接 觸 孔 之 配 置 〇 1 I 如 以 下 詳 述 時 » 於 第 4 圖 及 第 5 圖 * 與 第 1 圖 第 3 1 1 1 - 22 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 Μ ) 1 1 圖 同 一 付 號 傜 表 示 與上 述 實 施形態 1 者 相 同 * 1 0 0 b俗 構 1 1 成 Af»- 鐵 電 體 IE 億 裝 置 之記 億 胞 陣列， 在 此 記 億 胞 陣 列 1 0 Ob 1 1 在 矽 基 板 1 (] 〇上， 沿著第1 方向D 1及與此垂直之第2 方 請 1 先 1 向 D2而 電 晶 體 區 域 1 2 0 b排 列 成矩陣 狀 » 在 該 矽 基 板 1 0 1 閲 讀 1 之 各 電 晶 體 區 域 以 外之 表 面 區域形 成 有 元 件 分 離 絶 錄 膜 背 1 I 之 1 1 0 2〇 又， 沿著第1 方向E 1之各列之電晶髏區域1 0 2 b兩 注 意 1 側 ) 傜 與 上 逑 實 施 形態 1 同 樣，做 為 記 億 胞 板 電 極 裝 設 項 再 1 有 形 成 鐵 電 體 層 1 1 3於其表面之下部電極（第 1 電 極 )1 1 1 a〇 填 寫 本 裝 又 9 在 上 逑 各 下 部電 極 11 1 a表面 之 鐵 電 體 層 11 3上， 頁 N—✓ 1 I 配 置 有 複 數 沿 箸 上 述第 1 方 向D 1 , 形 成 有 白 金 等 之 金 臑 1 1 膜 _ 樣 所 形 成 之 上 部電 極 (第2電極）1 1 2 b 0 在 此 * 將 相 1 1 鄰 之 上 部 電 極 11 2 b 之配 置 間 隙做為 上 述 最 小 加 工 尺 寸 S 2 b 1 訂 r> 該 各 上 部 電 極 11 2 b之 平 面 形狀傜 9 與 上 述 實 施 形 態 1 1 者 相 同 9 而 將 上 述 第2 方 向 D 2做為 長 向 之 長 方 形 形 狀 9 1 I 並 巨 該 上 部 電 極 1 1 2 b之 面 積偽變 成 較 下 部 電 極 11 1 a之 1 1 面 積 為 小 〇 在 此 係 由上 述 下 部電極 11 1 a > 與 位 於 其 上 方 1 之 複 數 上 部 電 極 11 2b, 與 該 下部電 極 與 上 部 電 極 之 間 之 | 鐵 電 體 11 2， 構成複數之鐵電體電容器1 10 b〇 並且， 鐵 1 1 電 體 電 容 器 11 Ob偽 分別 配 置 於上述 電 晶 體 區 域 12 0 b之 兩 1 1 側 〇 1 1 又 > 在 夾 住 上 述 電晶 體 區 域12Qb所 對 向 之 兩 下 部 電 極 1 1 11 1 a 間 9 如 跨 越 一 列並 排 之 複數區 域 12 0 b配 置 〇 由 聚 矽 \ 1 所 構 成 之 一 對 字 線 12 3b 1 , 12 3b2 。 在 此 t 字 線 12 3b 1 t 1 I 12 3b 2之平面形狀福 ^成為- -直線狀》 於該各電晶體區域 1 1 1 23 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（π) 1 1 之 該 字 線 之 兩 側 9 傺 與 上 述 實 施 形 態 1 同樣，形成有 1 1 構 成 記 億 胞 之 電 晶 體 之 源 極 擴 散 區 域 y 汲極擴散區域。 1 1 位 於 上 述 字 線 之 各 電 晶 體 區 域 上 之 部 分 偽構成上逑電晶 N 請 1 先 1 體 之 閘 電 極 » 經 由 閛 緣 膜 位 於 在 基 板 1 0 1表商區域上 閱 讀 1 〇 又 上 述 擴 散 區 域 及 字 線 表 面 > % 與 上述實施形態1 背 面 1 I 之 1 同 樣 9 由 上 述 第 1 及 第 2 層 間 絶 緣 膜 (没有圖示〉所包覆^ 'i I 並 且 > 位 於 上 述 各 電 晶 aati m 區 域 120b 之 一對字線内側之 事 項 1 再 U. 源 極 擴 散 區 域 9 傷 連 接 於 上 述 第 1 , 第2 層間絶緣膜之 填 寫 本 裝 接 觸 孔 1 0 5b 之 連 接 配 線 1 1 3 c 9 該 連 接 配 線1 1 3C傜經由形 頁 N_✓ 1 I 成 其 上 之 第 3 層 間 绝 緣 膜 (沒有圖示）之 接觭孔105c ,連 1 1 接 於 沿 著 與 上 述 第 1 方 向 D 1直 交 之 第 2 方向延伸之位元 1 I 線 11 5。 又， 位於上述各電晶體區域1 2 0 b之一對字線外 1 訂 側 之 汲 極 擴 散 區 域 9 偽 由 連 接 配 線 11 3 a ,以電氣方式連 i 接 對 m 於 各 電 晶 體 區 域 之 鐵 電 體 電 容 器 之上部電極1 12b 1 | 〇 亦 即 9 上 述 連 接 配 線 1 1 3 a之 一 J.US 顺 部 傜 ,經由形成於上 1 1 述 第 2 層 間 絶 緣 膜 之 接 觸 孔 10 4 a 連 接 於 上述上部電極1 12b 1 1. ， 上 述 連 接 配 線 11 3 a 之 他 端 部 僳 經 由 上 述第1 ,第2層 { I 間 絶 緣 膜 所 形 成 之 接 觸 孔 10 5a連接於汲極擴散區域。 1 1 在 此 9 由 於 將 上 逑 上 部 電 極 1 12b之配置間隔相較變成 1 1 比 上 述 實 施 形 態 1 變 狹 所 以 在 電 晶 體 區域120b,偽將 J 汲 極 擴 散 區 域 1 2 1 (參照第 2 圖 )上之接觸孔105a,及源 1 1 極 擴 散 區 域 1 2 2 (參照第 2 圖 )上之接觸孔105b配置成與 1 第 2 方 向 D 2平行地 直 線 地 排 列 0 又 > 上 述連接配線1 1 3 a 1 I 及 11 3 c 成 為 與 上 述 實 施 形 態 1 同 樣 鈦 與鋁之2層構造 1 1 1 - 24 一 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（8) 1 1 〇 又 上 述 位 元 線 1 1 5偽， 形成於此2 層構造之導體上上 1 1 側 所 形 成 之 鋁 層 等 形 成 圖 樣 者 〇 1 I 按 > 其 他 之 構 成 像 與 上 述 實 施 形 態 1 者 相 同 9 上 述 第 請 暴 1 1 1 * 第 2 層 間 絶 綠 膜 偽 由 與 上 實 施 形 態 1 者 相 同 者 相 同 先 閱 1 I 讀 1 I 之 鐵 電 體 材 料 所 構 成 〇 背 1 1 之 1 在 m 種 構 成 之 實 施 形 態 2， 因將在下部電極Ilia上排 注 意 1 1 成 列 之 複 數 上 部 電 極 1 1 2 b之配置間隔做為最小加 工 尺 事 項 1 I 再 1 寸 所 以 除 了 上 逑 實 施 形 態 1 效 果 之 外 將 記 億 胞 陣 寫 裝 列 所 占 之 布 置 面 穡 較 該 實 施 形 態 1 相 較 具 有 可 縮 小 6 0 % 頁 1 程 度 之 效 果 〇 1 1 C 實 施 形 態 3〕 1 I 第 6 圖 及 第 7 圖 偽 用 來 説 明 依 據 本 發 明 實 施 形 態 3 之 1 1 鐵 電 體 記 億 裝 置 所 用 之 圃 > 第 6 圖 % 表 示 構 成 t-At. 鐵 電 體 記 1 億 装 置 之 記 億 胞 陣 列 之 平 面 圖 ♦ 第 7 圖 傷 於 上 述 記 億 胞 1 I 陣 列 * 構 成 鐵 電 體 電 容 器 之 上 電 極 與 下 部 電 極 之 相 關 位 1 1 置 之 圖 〇 1 於 圖 9 1 0 0 c傜 此 實 施 形 態 3 之 鐵 電 體 記 億 裝 置 之 記 億 k I 胞 陣 列 » 與 第 1 圖 第 3 圆 同 一 符 號 偽 表 示 與 實 施 形 態 1 1 1 者 相 同 〇 1 | 此 記 億 胞 陣 列 10 0 C > 替 代 實 施 形 態 1 之 下 部 電 極 1 I 11 1 a > 備 有 與 此 下 部 電 極 1 1 la擴充寬度 (第2 方向D2之 1 1 尺 寸 )W 2之下部電極1 11 C , 在此下部電極1 11 c上， 沿著 ί I 上 述 第 1 方 向 D1配置 2 列 上 部 電 極 11 2a 0 1 1 在 此 9 在 上 述 下 部 電 極 11 1 c 上 沿 著 為 1 方 向 D1所配置 1 1 1 麵 25 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (>^ ) 1 i 之 上 部 電 極 1 1 2 a L之 配 置 間 隔 t 成 為 與 上 述 實 施 形 態 1 1 1 者 變 成 同 樣 尺 寸 S 2 , 又 * 沿 箸 第 2 方 向 排 列 之 上 部 電 極 1 1 1 1 2 a 之 配 置 間 隔 » 傜 成 為 最 小 加 工 尺 寸 S 2 2 c 〇 其 他 之 構 請 1 1 成 偽 與 實 施 形 態 1 之 記 億 胞 陣 列 1 0 0 a 相 同 〇 先 聞 1 | 讀 I 在 此 構 成 之 實 施 形 態 3， 俗將配置於下部電極1 1 1 c上 背 1 1 之 1 之 上 部 電 極 1 1 2 a 之 平 面 形 狀 » 成 為 長 向 之 尺 寸 L2為 寬 度 注 I 意 1 方 向 之 尺 寸 W2 更 小 之 形 狀 1 所 以 t 上 逑 上 部 電 極 1 1 2 a 受 事 項 1 I 再 L 到 鐵 電 體 層 之 材 質 劣 化 影 馨 之 區 域 寬 度 L 2 變 短 卽 使 將 填 本 裝 上 述 下 部 電 極 側 邊 與 和 此 郯 接 之 上 部 電 極 側 邊 之 距 離 ( 頁 1 非 重 纒 層 寬 度 (0 11 ， 〇 12變狹， 也可抑低鐵電體電容器 1 1 全 體 之 持 性 之 不 均 勻 或 持 性 變 動 〇 1 I 又 1 因 將 下 部 電 極 11 1 c 成 為 寬 廣 之 構 造 > 在 該 下 部 電 1 1 極 11 1 c 上 > 沿 箸 上 述 第 2 方 向 D 2 配 置 2 列 上 部 電 極 11 2a 訂 I » 所 以 » 與 上 述 實 施 形 態 1 相 較 賈 可縮小相當於上部電 1 極 11 2 a 2 列 伶之 下 部 電 極 面 積 〇 1 1 並 a 在 此 實 施 形 態 時 f 因 將 在 下 部 電 極 11 1 c 上 向 其 1 寬 度 方 向 配 置 之 上 部 電 極 11 2a 之 配 置 間 隔 做 為 加 工 最 小 I 尺 寸 S2 2 ， 所以， 結果將占於在記億胞陣列基板上之面 1 1 積 與 實 施 形 態 1 相 較 約 可 縮 小 10 % 程 度 0 1 I C 實 施 形 態 4] 1 1 第 8 圖 傜 表 示 用 來 說 明 依 據 本 發 明 實 施 形 態 4 之 鐵 電 1 1 體 記 億 裝 置 所 用 之 圖 * 構 成 該 鐵 電 體 記 億 裝 置 之 上 部 鐵 Γ I 電 體 電 容 器 之 上 部 電 極 之 平 面 形 狀 〇 1 1 於 圖 ♦ 11 2 d傷 構 成 此 實 施 形 態 4 之 鐵 電 體 記 億 装 置 之 1 1 1 - 26 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 樣數之狀向。 内行形更 C雖角生 j形電述 記體 同複1 形長大 何進之可生較去發 W 施部上 體電 者置態面為為 任欲部，發相la不 ^ 實上與 電鐵 d 1 泡 1 配形平做度 2 低角較之者 1 乎 彳於角得 戡之 態隔施之 D9 1減掻相動1極幾£f偽去獲 之置 形間實成向較 極可電果變態電值 ^ 只以可 5 裝 施定述所方成 電，部效性形部容5，可也 態億 實規上角 2 變。部以上之持施上電11是也時 形記 述以於去第部同上所該1或實之之 Η 但，形 施體 上D2為隅述全相將，之態勻與狀器5fer，oc情 實電 與向成四上也1因狀時形均，形容 f 者10種 明鐵 dm方，d 將角態，形成施不僳形電K1角或這 發該 2d2 傜2a傜内形4 形形實性積方體 ^ 去Ob使 本成 1 第 212 何施態角樣述特面長電 隅 1 卽。 據構 極著11極11任實形多圖上之之於鐵 4’四列，果 依示 ”電⑽極電極，述施之之與器2d由於 態2a陣隅效 明表 部la電部電狀上實大2d，容11是對。形11胞四之 說而 ) 上11部上部形與之更11此電極但可度施棰億之同 來圓 ^此極上之上形偽成90極藉體電，，程實電記2a相51用之 ( ,電此狀此角成構較電，電部小小之述部之114 態係用 明 極部，形，八構種成部勻鐵上稍縮礬上上 3 或態形圖所 説 電下此形即長之這變上均制.，成積影 ，了或2b形施 9 置 ^ 部在在方亦縱他在都述不抑時變面何按示211施實第装 發 上 ，c 長。之其 角上狀加此然之任 表態極實 C 億 、 五 裝 訂 > ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（d ) 電容器之上部電極之平面形狀。 於圖，112e傜構成於本實施形態5之鐵電體電容器之 上部電極，傜與上述實施形態1者同樣，在沿著第1方 向D1延伸之下部電極111a上沿著與該第1方向D1成垂直 之第2方向2以規定節距配置複數此上部電極112e。在 此，此上部電極U2e傑與於上述實施形態1之長方形形 狀之上部電極112 a相異，此平面形狀傺將對於上逑第1 方向D1成45度方向D3成為長向之六角形形狀。 亦卽，此上部電極112e之六角形形狀偽，與上述第1 之方向D1平行相對向之二値橫邊112el， U2e2，與分別 連接於此等橫邊，與上述第2方向D2平行之相對向二個 縱邊112e3, 112e4,與連接該縱邊112e4及橫邊112el間 之斜邊 ί 1 2 e 6，與連接該縱邊1 1 2 e及横邊1 1 2 e 2間之斜 面112e5所構成。在此，上述斜邊112e6及112e5俗與上述 第3方向D 3成為平行。其他構成偽與上述實施形態1相 同。 於這種構成之實施形態5，偽將上逑電極ll2e之平面 形狀，對於上述第1方向D1,亦卽，對於下部電極111a 之長向將成為45度方向D3做為長向之6角形形狀，所以 ，與實施形態1同樣，可減少受到在與鐵電體記億裝置 第1方向D1平行之兩側邊部之材質劣化影饗之上部電極 1 1 2 e之區域。 又，在此實施形態5係，將上部電極112e長方向，對 於下部電極寬度方向（第2方向）D2成為45度之斜向D3， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝- 訂 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明 (>? ) 1 1 所 以 若 與 上 述 實 施 形 態 1 相 較 時 9 在 所 規 定 寬 度 尺 寸 W 1 1 1 之 下 部 電 極 1 1 1 a 上 * 可 增 長 上 部 電 極 1 1 2 e 之 長 度 〇 此 結 1 I 果 * 在 本 實 施 形 態 5偽， 可邊抑制鐵電體電容器之特性 請 1 先 1 不 均 勻 或 待 性 變 動 > 而 增 大 鐵 電 體 電 容 器 面 稹 來 增 加 電 閱 I 讀 1 1 容 值 9 具 體 上 為 可 將 鐵 電 體 電 容 器 之 電 容 值 較 實 施 形 態 背 1 I 之 1 1 之 鐵 電 體 電 容 器 增 大 約 25 % 程 度 0 注 意 1 I 並 且 > 在 實 施 形 態 5 , 俱將相鄰上部電極1 1 2 e所對向 事 項 1 I 再 1 一 斜 邊 之 距 離 > 例 如 9 m 使 做 為 最 小 加 工 尺 寸 相 鄰 接 之 裝 本 上 部 電 極 1 1 2 e 間 之 下 部 電 極 1 1 1 a 兩 制 邊 附 近 部 分 將 形 成 頁 '—^ 1 I 空 白 區 域 11 6 e 〇 在 此 空 白 區 域 > 例 如 可 配 置 聚 矽 之 配 線 1 1 層 或 半 導 體 元 件 等 9 藉 此 可 將 裝 置 面 積 » 亦 卽 於 鐵 電 1 1 體 記 億 裝 置 之 基 板 面 積 有 效 地 利 用 〇 1 1 ί 實 施 形 態 6〕 玎 1 第 1 0 圖 傜 用 來 說 明 本 發 明 實 施 形 態 6 之 鐵 電 體 記 億 装 1 I 置 所 用 之 圖 9 而 表 示 該 鐵 電 體 記 億 裝 置 之 鐵 電 體 電 容 1 1 器 之 上 部 電 極 之 平 面 形 狀 〇 1 於 圖 * 11 2 f僳 於 構 成 此 實 施 形 態 6 之 鐵 電 體 電 容 器 之 | 上 部 電 極 * 此 上 部 電 極 11 2fm 與 上 述 實 施 形 態 1 者 同 樣 1 1 * 在 上 部 電 極 11 1 a 上 沿 著 第 1 方 向 D 1以 規 定 節 距 配 置 複 1 I 數 〇 在 此 9 此 上 部 電 極 11 2 f ^ 9 與 於 上 述 實 施 形 態 1 之 L I 長 方 形 形 狀 之 上 部 電 極 11 2 a 不 同 成 為 第 1 方 向 D 1 做 為 1 1 長 向 方 向 之 長 方 形 形 狀 F0 (第1 〇圖（ b ) )之- -値角部f C加 f I 以 缺 Ρ 所 構 成 之 平 面 形 狀 F ( 第 10 (C )圖） 〇 1 1 亦 即 此 上 部 電 極 11 2 f之 6 角 形 形 狀 F, 偽具有與上 1 1 1 - 29 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 322635 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（泌） 1 i 述 第 1 方 向 D 1平行相 對向之横長邊112fl及第1横短邊 1 1 1 1 2 ί .2， 與和上述第】 方向D 1成 垂直之第2方向D2平行 1 1 而 相 對 向 之 縱長邊Π 2 f 3及縱短 遴 1 1 2 f 4。 在 此，一 端互 r-S 請 1 先 1 相 連 接 之 該 橫長邊1 1 2f 1及縱長 邊1 1 2 f 3偽 » 分別對 準上 閱 讀 1 述 長 方 形 形 狀F0之横 邊a 1，縱邊b 1，該横 短 邊 1 1 2 f 2 , 背 1 I 之 1 縱 短 邊 1 1 2 f 4偽分別- -端為連接 於上述横長邊112f 1 及縱 注 意 1 I 長 遴 1 1 2 f 3之另端，而位於上述 長方形形狀f 0之縱邊a2 事 項 1 I 再 及 横 邊 b 2 上 。並且， 上述形狀F 傜其一端 為 連接於 上述 填 寫 本 一 裝 m 短 邊 1 1 2 f 4之另端.， 與上述横 長邊1 1 2 f 1 平 行之第 2横 頁 1 | 短 遴 11 2 f 5 , 與一端為連接於上 述横短邊1 1 2 f2之他 端， 1 1 他 JLUf m 為 連 接 於上述第 2横短邊1 12f 5之他端， 並且， 具有 1 I 上 述 横 短 邊 1 1 2 f 2所成内角成為 鈍角之斜邊1 1 2 f 6 0 1 訂 並 巨 > 在 本實施形 態6係，在上述下部 電 極 1 1 1 a 上， 1 棑 列 有 如 第 10 (c)圖所示配置者 ，與將此迴轉180度 移動 1 | 配 置 者 交 替 地沿著上 述第1方向D1。此時 ， 相鄰接 之兩 1 | 上 部 電 極 11 2 f—方者 之第2橫短邊U2f5, 與使其他方者 1 1 之 樓 長 邊 11 2 f 1位於同一直線上 。並且， 鄰 接之兩 上部 I 電 極 1 1 2 f之 縱邊間之 距離，偽做為上述最 小 加工尺 寸S 2 2 1 1 〇 其 他 構 成 傺與上述 實施形態1 者相同。 1 1 在 此 構 成 之實施形 態6 ，偽洌如靠近於 上 述電極 1 1 2 f 1 r (表示於第1 〇 ( c )圖之 配置者）之 下部電搔1 11 a倒邊1 1 1 a2 1 1 之 横 短 邊 11 2 f 2部分， 因使非重 II寬度0 2 2 9 亦即使 該上 \ 1 部 電 極 11 2f之橫短邊 1 1 2 f 2與下 部電極1 1 1 a側邊1 1 1 a 2之 1 | 間 隔 變 狹 J 所以，可 增加鐵電體電容器之 電 容量。 又， 1 1 -3 0 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 靠 近 於 上 部 電 極 1 1 2 ί (第1 0(c) 圖 所 示 配 置 者 )之下部電 1 1 極 1 1 1 a 倒 邊 1 1 1 a 1之横長邊1 1 2 f 1 部 分 因 使 非 重 叠 寬 度 1 1 0 2 1 , 亦卽使該上部電極1 1 2 f之橫長邊1 1 2 f 1 與 下 部 電 極 請 1 先 1 1 1 1 a 刨 邊 1 1 1 a 1之間隔變寬， 所以， 可抑制形成於該下 閱 讀 1 部 電 極 1 1 1 a 上 之 鐵 電 體 層 側 邊 部 分 之 材 質 劣 化 之 影 響 擴 背 τδ 1 I 之 1 及 至 鐵 電 體 電 容 器 〇 藉 此 9 邊 抑 制 鐵 電 體 電 容 器 之 特 性 1 I 不 均 勻 或 特 性 變 動 之 發 生 y 而 增 大 鐵 電 體 電 容 器 之 面 積 事 項 1 | 再 1 一 具 有 增 大 電 容 值 之 效 果 〇 填 % 本 裝 並 且 > 在 此 實 施 形 態 6 偽 > 並 非 鐵 電 體 電 容 器 排 列 於 頁 1 | 一 直 線 上 > 而 配 置 成 稍 為 鋸 齒 狀 t 所 以 記 億 胞 陣 列 之 布 1 1 置 亦 即 記 億 電 晶 體 與 鐵 電 體 電 容 器 之 配 置 白 由 度 9 甚 1 I 至 可 提 升 位 元 數 或 字 線 配 置 之 g 由 度 〇 1 訂 並 且 於 上 逑 實 施 形 態 6 ί 位 於 靠 近 在 上 部 電 極 11 2 f 1 之 下 部 電 極 1 1 1 a 側 邊 之 第 1 横 短 邊 11 2 f 2長度愈短， 藉 1 | 使 該 第 1 横 短 邊 11 2 f 2與下部電極1 11 a側邊之距離縮短 1 1 * 而 邊 抑 制 鐵 電 體 電 容 器 之 待 性 不 均 勻 或 待 性 變 動 之 發 1 生 * 而 可 增 大 電 容 值 〇 Ϊ I 又 ， 於 上 述 實 施 形 態 6， 於上部電極1 12 f平面形狀之 1 1 1 内 角 為 90 度 之 4 個 角 隅 加 以 去 角 > 藉 使 其 内 角 變 成 為 90 1 1 度 以 上 » 對 於 電 容 值 幾 乎 不 影 m 並 且 減 少 特 性 之 不 均 1 I 勻 而 也 可 不 容 易 發 生 待 性 變 動 〇 1 1 又 9 即 使 於 上 述 實 施 形 態 6 * 縱 短 邊 11 2 f 4互相對向 ί 1 鄰 接 之 上 部 電 極 11 2 f之 橫 邊 與 下 部 電 極 11 1 a 側 邊 間 之 領 1 1 域 » 亦 即 該 兩 上 部 電 極 11 2 f 一 方 之 横 長 邊 11 2 f 1及其他 1 1 I 31 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS〉A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (冬） 1 1 方 之 第 2 橫 短 邊 1 1 2 f 5 , 與在被夾於下部電極1 11 a側邊 1 1 之 空 白 區 域 1 1 6f , 例 如 可 配 置 聚 矽 之 配 線 層 或 半 導 體 元 1 | 件 ， 而 具 有 有 效 利 用 装 置 面 積 之 效 果 〇 'N 請 1 I 第 1 1 圖 傜 表 示 將 上 述 空 白 區 域 1 1 6f做 為 構 成 字 線 之 先 閱 1 I 讀 1 | 聚 矽 層 之 配 置 區 域 有 效 利 用 之 記 億 胞 陣 列 1 0 0 f之 横 成 〇 背 面 1 1 之 1 在 此 記 憶 胞 陣 列 1 0 0 f > 其 電 晶 體 區 域 1 2 0 f偽 將 第 1 方 意 1 向 D 1 做 為 長 向 之 横 長 形 狀 1 將 各 配 間 區 域 1 2 0 f之 汲 極 擴 事 項 1 I 再 1 1^ 散 區 域 上 之 接 觸 孔 1 0 5a 與 源 極 擴 散 區 域 上 之 接 觸 孔 10 5 b 填 寫 本 裝 平 行 第 1 方 向 D 1 做 直 線 性 地 配 置 〇 並 a t 沿 著 上 述 第 1 頁 1 I 方 向 D 1 排 列 之 電 晶 體 區 域 1 2 0 f兩 倒 9 而 沿 著 該 第 1 方 向 1 1 D 1 配 置 一 對 字 線 1 2 3 f 1及1 2 4 f 2 〇 又 具 有 上 述 字 線 12 3 f 1 1 I 及 1 2 4 f 2偽分別位於上述各電晶體區域1 2 0 f之源極， 汲極 1 1 擴 散 區 域 間 > 構 成 閛 電 極 之 閘 部 1 2 3 f 11 及 12 3 f 2 2 〇 此 閘 玎 1 極 12 3 f 11 及 12 3 f 2 2 偽 與 上 述 字 線 形 成 為 一 體 9 該 字 線 之 1 1 閘 部 之 連 接 部 分 及 其 附 近 部 分 偽 配 置 於 上 述 下 部 配 線 111a 1 1 之 空 白 區 域 11 6 f之 正 下 方 部 分 〇 1 L 通 常 9 構 成 下 部 電 極 11 1 a 之 鐵 電 體 電 容 器 之 部 分 偽 必 I 須 平 坦 ， 在 此 部 分 下 側 雖 妖 不 能 構 成 其 他 構 成 構 件 9 但 1 1 是 ， 在 此 實 施 形 態 6 下 在 下 部 電 極 11 1 a 之 上 部 電 極 1 1 2 f 1 I 正 下 方 以 外 之 部 分 * 由 於 形 成 上 述 空 白 區 域 11 6 f 9 所 以 1 I 9 在 此 空 白 區 域 11 6下侧， 傜如上述， 例如可配置字線 1 1 12 3 f及 12 3 f之 一 部 分 9 m 此 就 可 有 效 利 用 在 基 板 上 之 記 I 億 胞 陣 列 之 占 有 面 積 〇 1 除 了 上 述 實 施 形 態 1八 ^ 6 之 外 也 可 實 現 組 合 這 之 記 1 1 1 -32 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29>7公釐） A7 B7 經濟部中央樣隼局員工消費合作杜印製 五、發明説明 ) 1 1 億 胞 陣 列 之 構 成 〇 1 1 又 在 上 述 實 施 形 態 % t 做 為 鐵 電 體 電 容 器 之 構 造 t 1 | 而 列 舉 了 構 成 鐵 電 髏 記 億 装 置 之 記 億 胞 陣 列 者 1 但 是 在 X—V 請 1 1 各 實 施 形 態 所 示 之 構 造 傜 $ 也 可 適 用 於 記 億 胞 陣 列 以 外 先 閱 1 I 讀 1 I 之 電 路 〇 背 1 1 態 之 1 Γ 實 施 形 7 1 注 I 意 I 第 1 2 ΙαΙ 圖 及 第 1 3 圖 用 來 說 明 依 據 本 發 明 實 施 形 態 7 之 事 項 1 I 再 L 鐵 電 體 記 億 裝 置 所 用 之 圔 第 1 2 tcz| 圖 傜 表 示 構 成 記 億 胞 陣 填 列 之 平 面 圖 > 第 1 3 圖 偽 表 示 於 上 述 記 億 胞 陣 列 > 構 成 鐵 本 頁 裝 1 電 體 電 容 器 之 上 部 電 極 與 下 部 電 極 之 相 關 位 置 之 圖 〇 1 1 於 圖 » 1 0 0 g 構 成 此 宵 施 形 態 7 之 鐵 電 體 記 億 装 置 之 1 I 記 億 胞 陣 列 〇 此 記 億 胞 陣 列 1 0 〇 § 偽 * 將 上 部 電 極 11 2 g之 1 1 平 面 形 狀 於 上 述 實 施 形 態 2 之 上 部 電 極 11 2b從 沿 著 第 訂 I 2 方 向 D 2 之 兩 側 遴 中 央 部 形 成 缺 P 11 2 g 1之形狀者， 其 1 | 他 構 成 傜 與 上 述 實 施 形 態 2 相 同 〇 1 1 這 種 構 成 之 實 施 形 態 7 傜 由 於 來 白 形 成 於 上 部 電 極 112a 1 1_ 上 之 接 觸 孔 10 4 a 之 雜 質 擴 散 之 鐵 電 體 層 之 材 質 劣 化 9 將 I 擴 及 到 上 部 電 極 11 2 a 中 央 所 對 應 之 部 分 由 上 述 缺 P 1 1 2 g 1 1 1 可 m. ih 到 某 程 度 f 亦 即 可 防 ih 於 由 於 來 白 上 述 接 觸 孔 1 I 10 4 a 之 雜 質 擴 散 之 鐵 電 體 層 之 材 質 劣 化 所 發 生 之 區 域 擴 1 1 及 到 上 部 電 極 11 2b 之 中 央 部 側 9 而 可 寬 廣 地 確 保 不 發 生 1 1 鐵 電 體 層 之 材 質 劣 化 之 區 域 〇 m 此 就 可 有 效 地 抑 制 鐵 1 I 電 體 電 容 器 之 待 性 不 均 勻 或 特 性 劣 化 〇 1 1 1 1 — 33 _ 1 I 1 1 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 32^635 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（夕） 1 1 f 産 業 上 之 利 用 可 能 性 3 1 1 如 以 上 > 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第1 項）之 半 導 1 I 體 裝 置 時 將 第 1 方 向 做 為 長 向 ， 不 僅 具 有 與 該 第 1 方 r—V 請 1 1 向 成 直 交 之 第 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 帶 狀 平 面 形 狀 之 第 先 閱 1 I 讀 1 | 1 電 極 * 同 時 ， 在 該 第 1 電 極 上 經 由 鐵 電 體 層 配 置 第 2 背 1¾ 1 I 之 1 電 極 來 構 成 鐵 電 體 電 容 器 將 該 第 2 電 極 之 平 面 形 狀 注 I * I 成 為 於 上 述 第 1 方 向 之 尺 寸 與 於 上 述 第 2 方 向 之 尺 寸 為 事 項 1 再 L 相 等 平 面 形 狀 或 於 上 述 第 1 方 向 之 尺 寸 為 較 於 上 述 第2 填 裝 短 之 以 寫 本 方 向 之 尺 寸 平 面 形 狀 > 所 於 上 述 第 2 電 掻 • 沿 頁 1 著 第 1 電 極 侧 邊 所 位 置 之 @ 域 t 為 對 於 全 體 第 2 電 極 所 1 1 之 比 例 就 變 少 此 > 鐵 電 體 電 容 器 為 在 上 述 鐵 電 體 1 1 層 對 應 於 第 1 電 極 側 邊 部 之 區 域 將 m 成 不 容 易 受 到 材 質 1 1 訂 1 劣 化 之 影 m 之 構 造 f> 此 結 果 ， 抑 制 鐵 電 體 電 容 器 之 特 性 不 均 勻 並 且 具 有 不 容 易 發 生 待 性 變 動 之 效 果 〇 1 I 又 比 時 ， 不 至 於 縮 小 第 2 電 極 之 面 積 t 就 可 縮 短 第 1 1 1 電 極 侧 邊 與 和 此 鄰 接 之 第 2 電 極 側 邊 之 距 離 > 具 有 不 1 L 至 於 將 記 億 胞 陣 列 之 布 置 面 積 降 低 鐵 電 體 電 容 器 之 電 容 各卜 1 量 而 可 變 小 之 效 果 〇 1 1 又 t 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第2 項）， 根 據 請 1 | 專 利 範 圍 第 1 項 之 半 導 體 装 置 9 其 中 將 上 述 第 2 電 極 • 使 對 向 於 上 述 第 1 電 搔 沿 著 第 1 方 向 排 列 複 數 * 將 鄰 接 1 之 第 2 電 極 間 之 配 置 間 隔 * 設 定 為 構 成 第 2 電 極 之 導 電 1 1 性 材 料 層 之 開 P 圖 樣 之 加 工 曰 取 小 尺 寸 j 所 以 > 装 設 複 數 1 1 鐵 電 體 電 容 器 之 記 億 胞 陣 列 之 布 置 面 積 變 小 〇 1 1 | - 34 - 1 1 1 本紙張尺度適用t國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 五、發明説明 ) 1 1 又 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第3 項） * 偽 根 據 第 1 1 1 項 之 半 導 體 装 置 t 其 中 因 將 第 2 電 極 之 平 面 形 狀 成 為 1 1 多 角 形 形 狀 將 於 第 2 電 極 之 平 面 形 狀 内 角 之 大 小 都 變 請 1 先 1 成 9 0 度 以 上 所 以 t 可 將 第 2 電 極 之 加 工 以 更 好 的 再 現 閱 1 性 進 行 » m 此 * 就 具 有 抑 制 鐵 電 體 電 容 器 之 待 性 不 均 勻 脅 ίέ 1 之 1 或 待 性 變 動 之 效 果 〇 意 I 又 ♦ 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第4 項）之 半 導 體 裝 事 項 1 再 1— 置 將 第 1 方 向 做 為 長 向 9 而 具 有 將 該 第 1 方 向 成 直 交 填 本 裝 之 第 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 帶 狀 平 面 形 狀 之 第 1 電 掻 » 頁 ··—^ 1 | 同 時 j 在 該 第 1 電 極 上 經 由 鐵 電 體 層 配 置 複 數 之 第 2 電 1 1 杨 來 構 成 複 數 之 鐵 電 體 電 容 器 > 將 在 上 述 第 1 電 極 上 之 1 | 複 數 第 2 電 極 之 配 置 » 該 笫 2 電 極 變 成 縱 橫 排 列 之 矩 陣 1 訂 狀 之 配 置 所 以 » 記 億 胞 陣 列 上 之 每 α 口 早 位 面 積 之 鐵 電 體 1 電 容 器 痼 數 將 增 大 而 具 有 在 基 板 上 之 記 憶 胞 陣 列 之 高 1 I 密 度 布 置 之 效 果 〇 1 1 又 若 根 據 本 發 明 (申請專利範圍第5 項）， 於 根 據 申 1 請 專 利 範 圍 第 4 項 之 半 導 體 裝 置 9 其 中 將 上 述 第 2 電 極 1 | 可 對 向 於 上 述 第 1 電 極 沿 著 第 1 方 向 排 列 複 數 ， 將 鄰 接 1 1 之 第 2 電 極 間 之 配 置 間 隔 > 設 定 為 構 成 第 2 電 極 之 導 電 1 1 性 材 料 層 之 開 □ 圖 樣 之 加 工 最 小 尺 寸 > 所 以 装 設 複 數 鐵 1 1 電 體 電 容 器 之 記 億 胞 陣 列 之 布 置 面 積 會 變 小 〇 1 1 又 > 若 依 據有關本發明（申請專利範圍第（5 項） 之 半 導 體 装 1 I 置 具 有 將 第 1 方 向 做 為 長 向 * 將 該 第 1 方 向 成 直 交 之 I 第 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 帶 狀 平 面 形 狀 之 第 1 電 極 > 同 1 1 1 - 35 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明Uu ) 1 1 時 > 在 該 第 1 電 極 上 經 由 鐵 電 體 層 配 置 第 2 電 極 來 構 成 1 1 鐵 電 體 電 容 器 J 將 該 第 2 電 極 之 平 面 形 狀 » 把 上 逑 第 1 1 1 方 向 舆 第 2 方 向 間 之 方 向 做 為 長 向 之 平 面 形 狀 t 所 以 9 請 1 先 1 於 上 述 第 2 電 極 位於沿著電極測邊之區域 9 為 對 於 全 體 閱 讀 1 I 第 2 電 極 所 占 之 tb 例 變 少 9 藉 此 * 就 變 成 不 容 易 鐵 電 體 背 面 1 I 之 1 I 電 容 器 在 上 述 鐵 電 體 層 之 第 1 電 極 側 邊 部 所 對 應 區 域 之 注 意 1 事 1 材 質 劣 化 影 之 構 造 〇 此 結 果 * 具 有 可 抑 制 鐵 電 體 電 容 項 再 1 器 持 性 不 均 勻 並 且 不 容 易 發 生 待 性 變 動 之 效 果 〇 填 % 本 1 又 9 此 時 ， 不 至 於 编 小 第 2 電 極 之 面 積 » 可 縮 小 第 1 頁 '----· 1 I 電 極 側 邊 與 和 此 鄰 接 之 第 2 電 極 側 邊 之 距 離 > 將 記 億 胞 1 1 陣 列 之 布 置 而 積 不 至 於 降 低 鐵 電 體 電 容 器 電 容 就 可 變 小 1 1 之 效 果 0 1 訂 又 t 若 根 據 本 發 明 (申請專利範圍第7 項）， 於 根 據 申 1 請 專 利 範 圍 第 6 項 之 半 m 體 裝 置 其 中 將 上 述 第 2 電 極 1 1 之 平 面 形 狀 成 為 多 角 形 形 狀 9 將 於 第 2 電 極 之 平 面 形 狀 1 I 之 各 内 角 之 大 小 都 成 為 9 0度以 上 * 所 以 » 就可將第 2 電 1 1 極 之 加 工 再 現 性 更 好 地 進 行 t 藉 此 > 具 有 可 抑 制 戡 電 體 Ί 電 容 器 之 待 性 不 均 勻 或 待 性 變 動 〇 1 1 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第8 項）之半導體裝置時^ 1 1 % 將 第 1 方 向 做 為 長 向 ， 而 不 僅 具 有 將 與 該 第 1 方 向 直 1 * 交 之 第 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 帶 狀 平 面 形 狀 之 第 1 電 極 { 1 1 同 時 > 在 該 第 1 電 極 上 經 由 鐵 電 體 層 而 配 置 第 2 電 極 來 構 成 鐵 電 體 電 容 器 9 將 最 靠 近 於 與 上 述 第 1 電 極 之 第 1 I 1 方 向 平 行 第 1 m 邊 所 對 向 之 第 2 電 極 之 第 1 側 遴 長 度 i 1 1 _ 36 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裴 五、發明説明（¥ ) 1 1 , 較 與 上 述 第 1 電 極 之 第 1 方 向 平 行 之 第 2 倒 邊 最 靠 近 1 1 所 對 向 之 第 2 電 極 第 2 m 遴 長 度 變 成 更 長 9 從 第 2 電 極 1 1 之 第 1 側 邊 到 第 1 電 極 第 1 倒 邊 為 止 之 距 離 > 為 變 成 較 V 請 1 先 1 第 2 電 極 第 2 側 邊 到 第 1 電 極 第 2 側 邊 為 止 之 距 離 為 大 閱 讀 1 1 y 所 以 第 2 電 極 之 第 1 , 第2 側邊中長者將變成從第1 背 & 1 I 之 1 電 極 側 邊 遠 離 而 鐵 電 體 電 容 器 將 不 容 易 受 到 在 對 應 於 意 1 事 1 第 1 電 極 制 邊 部 區 域 之 材 質 劣 化 之 影 〇 又 > 變 成 第 2 項 再 填 % 本 1 電 極 之 第 1 , 第2 攧邊中之短者將靠近於第1 電極側邊 1 一 裝 » 致 使 增 大 鐵 電 體 電 容 器 之 電 容 〇 此 結 果 * 具 有 抑 制 鐵 頁 1 I 電 體 電 容 器 之 持 件 不 均 勻 或 待 性 變 動 > 而 增 大 m 電 體 電 1 1 容 器 面 積 而 增 加 電 容 值 之 效 果 〇 1 1 又 > 依 本 發 明 就 容 易 將 Λ** 鐵 電 體 電 容 器 配 置 成 鋸 齒 狀 * 1 訂 Μ 此 就 可 簡 αο 早 地 提 升 記 億 胞 陣 列 之 布 置 * 亦 即 電 晶 體 與 1 鐵 電 體 電 容 器 之 配 置 白 由 度 > 導 致 可 簡 act 単 地 提 升 位 元 線 1 1 或 字 線 之 配 置 白 由 度 〇 1 | 又 > 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第9 項）， 則 根 據 第 1 1 8 項 之 半 導 體 裝 置 • 其 中 將 在 第 2 電 極 之 平 面 形 狀 之 | 各 内 角 之 大 小 都 成 為 90度以 上 9 所 以 可 將 第 2 電 極 之 1 | 加 工 進 行 變 成 其 再 現 性 更 加 良 好 * 藉 此 就 具 有 抑 制 鐵 電 1 1 體 電 容 器 之 待 性 不 均 勻 或 待 性 變 動 之 效 果 〇 1 • I 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第1 (]項）半 導 體 裝 置 > 其 ί J 備 有 9 分 別 由 鐵 電 體 電 容 器 及 記 億 電 晶 體 所 構 成 之 複 1 1 數 記 憶 胞 9 複 數 位 元 線 1 複 數 字 線 » 及 讀 出 放 大 器 * 而 1 I 將 第 1 方 向 做 為 長 向 9 不 僅 具 有 與 該 第 1 方 向 直 交 之 第 1 1 1 - 37 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (狄） 1 1 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 帶 狀 平 面 形 狀 之 第 1 電 極 9 同 時 1 1 9 在 該 第 1 電 極 上 經 由 鐵 電 體 層 配 置 第 2 電 極 來 構 成 鐵 1 1 電 體 電 容 器 » 將 該 第 2 電 極 平 面 形 狀 成 為 於 上 述 第 1 方 請 1 先 1 向 之 尺 寸 與 在 上 逑 第 2 方 向 之 尺 寸 為 相 等 之 平 面 形 狀 ί 閱 it 1 或 於 上 逑 第 1 方 向 之 尺 寸 成 為 於 上 述 第 2 方 向 之 尺 寸 較 背 面 1 1 之 1 短 之 平 面 形 狀 所 以 > 於 上 述 第 2 電 極 t 位 於 沿 著 第 1 注 意 I 電 極 侧 邊 之 區 域 為 » 對 於 全 體 第 2 電 極 所 占 之· 比 例 就 變 事 項 1 再 U 少 * 此 鐵 電 體 電 容 器 將 變 成 不 容 易 受 到 上 逑 鐵 電 體 填 寫 本 % 層 之 對 應 於 第 1 電 極 倒 邊 區 域 之 材 質 劣 化 影 饗 之 構 造 〇 頁 '—^ 1 I 此 結 果 ♦ 具 有 抑 制 鐵 電 體 電 容 器 之 特 性 不 均 勻 » 並 且 不 1 1 容 易 發 生 待 性 變 動 之 效 果 〇 1 I 又 此 時 > 不 必 縮 小 第 2 電 極 之 面 積 9 可 將 第 1 電 極 1 訂 側 邊 與 和 此 鄰 接 之 第 2 電 極 側 邊 之 距 離 變 小 9 而 可 將 記 1 億 胞 陣 列 面 積 不 至 於 導 致 鐵 電 體 電 容 器 之 電 容 之 降 低 就 1 | 具 有 變 小 之 效 果 〇 1 1 若 依 據 本 發 明 (申請專利範圍第1 1項） 之 半 導 體 裝 置 9 1 1 將 第 1 方 向 做 為 長 向 不 僅 具 有 將 該 第 1 方 向 成 直 交 之 I 第 2 方 向 做 為 寬 度 方 向 之 帶 狀 平 面 形 狀 之 第 1 電 極 9 在 1 1 該 第 1 電 極 上 經 由 鐵 電 體 層 配 置 第 2 電 掻 來 構 成 鐵 電 體 1 1 電 容 器 j 由 覆 蓋 第 2 電 極 表 面 之 絶 緣 膜 沿 著 該 第 2 電 極 1 U. 中 央 位 置 在 偏 離 於 第 1 電 極 第 1 方 向 之 __. 方 側 邊 側 之 位 1 置 形 成 接 觸 孔 9 所 以 > 可 將 從 接 觸 孔 之 雜 質 擴 散 所 引 起 1 之 鐵 電 體 層 之 材 質 劣 化 區 域 * 可 重 叠 於 第 1 電 極 側 邊 倒 1 I 發 生 材 質 劣 化 區 域 » 而 可 寬 廣 地 確 保 不 發 生 鐵 電 體 層 之 1 1 1 I - 3£ i 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） 五、發明説明（β ) A7 B7 之 ，之在體之數形質。有 器 置交 ，電側複從材圍可 容 裝直極鐵邊述以之範就 。 電體成電成側上所層廣此域 體導向 1 構之於，體寬藉區 電 半方第來定對線電到。性 鐵之 1 之極規，配鐵及化待 制I)第狀電其造接之擴劣或 抑 2 該形 2 從構連散止質勻 地ml將面第為之孔擴阻材均 效¾有平置體分觸質度之不 有 具狀配全部接雜程層性 可 卩僅帶層其極由之某體待 就 ewf不之體為電經孔可電之 ，化青，向電成數分觸 口鐵器 此劣^向方鐵極複部接缺保容 ® 性 ί 長度由電為一之述確電 。特明為寬經 2 割之上上地體 域或發做為上第分中極於廣電 區勻本向做極將被分電由寛鐵 化均據方向電，成部 2藉可制 劣不依 1 方 1 器變極第，，抑 質性若第 2 第容口 電於化即地 材特 將第該電缺之成劣亦效 i n^i I - - 11 In ^^^1 - 1 I— n^— n —ϋ U3.-° (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）