KR960014498B1 - 밝은 영상을 제공할 수 있는 능동 매트릭스 액정 표시 셀 및 능동 매트릭스 액정 표시 셀을 포함하는 패널 - Google Patents

밝은 영상을 제공할 수 있는 능동 매트릭스 액정 표시 셀 및 능동 매트릭스 액정 표시 셀을 포함하는 패널 Download PDF

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닛본덴기 가부시끼가이샤
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Abstract

내용없음.

Description

밝은 영상을 제공할 수 있는 능동 매트릭스 액정 표시 셀 및 능동 매트릭스 액정 표시 셀을 포함하는 패널
제1도는 종래의 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 개략 수직 단면도.
제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 패널의 블럭도.
제3a도는 본 발명의 제1실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 평면도.
제3b도는 제3a도에 도시된 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 A-B-C를 가로질러 절취한 개략 수직 단면도.
제4도는 제3a도 및 제3b도에 도시된 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 능가 회로도.
제5도는 본 발명의 제2실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 캐패시턴스 소자의 개략 수직 단면도.
제6도는 본 발명의 제3실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 캐패시턴스 소자의 개략 수직 단면도.
제7도는 제6도에 도시된 캐패시턴스 소자의 변형예를 도시한 개략 수직 단면도.
제8도는 본 발명의 제4실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 캐패시턴스 소자의 개략 수직 단면도.
제9a도는 본 발명의 제5실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 평면도.
제9b도는 제9a도에 도시된 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 X-Y를 가로질러 절취한 개략 수직 단면도.
제10도는 제9a도 및 제9b도에 도시된 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 등가회로도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
152:게이트 버스 200:능동 매트릭스 액정 표시 패널
300:능동 매트릭스 액정 표시 셀 302:주 투명 유리 기판
302a:주표면 204:대향 투명 유리 기판
304a:하부 표면 306:박막 트랜지스터(TFT)
306a:다결정 실리콘층 306b:게이트 절연층
306c:게이트 306d:드레인
306e:소스 308:제1투명 전극
310:제2투명 전극 312:음영층
312a:상부 표면 312b:측표면
314:절연층 315:전극간 절연층
316:액정 400,410:캐패시턴스 소자
본 발명은 단일 화소, 즉 픽셀을 제공하도록 작용하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀 및 매트릭스 방식으로 배열된 다수의 능동 매트릭스 액정 표시 셀들을 포함하는 능동 매트릭스 액정 표시 패널에 관한 것이다.
종래의 능동 매트릭스 액정 표시 셀은 액정을 구동시키기 위한 스위칭 능동 소자, 상기 액정을 구동시키기 위해 전하는 저장하는 캐패시턴스 소자, 투명 전극들 사이에 액정이 충전되는 한쌍의 투명 전극 및 스위칭 능동 소자를 보호하고 광의 콘트라스트를 향상시키기 위한 음영층(shading layer)을 포함한다.
최근의 경향으로는 능동 매트릭스 액정 표시 패널의 우수한 해상력을 얻기 위해 각각의 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 크기가 작아져 셀의 수를 증가시킨다.
그러나, 능동 매트릭스 액정 표시 셀이 상술한 목적을 위해 크기가 작아지는 경우에 종래의 능동 매트릭스 액정 표시 패널은 밝은 영상을 제공할 수 없는데 그 이유는 각각의 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 구조 때문이다.
그러므로, 본 발명의 목적은 능동 매트릭스 액정 표시 셀의 크기가 작아질지라도 밝은 영상을 제공할 수 있는 능동 매트릭스 액정 표시 셀 및 다수의 능동 매트릭스 액정 표시 셀들을 포함하는 능동 매트릭스 액정 표시 패널을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 다음 설명으로부터 명백해진다.
본 발명의 특징에 따르면, 스위칭 능동 소자; 제1투명 전극이 액정을 구동시키기 위해 상기 스위칭 능동 소자에 접속되고 제2투명 전극이 상기 제1투명 전극에 대향하여 배치되는 상기 전극들 사이에 액정이 충전되는 제1 및 제2투명 전극; 도전 물질로 제조되는 음영층; 절연층을 통해 상기 제1투명 전극 아래에 부분적으로 놓여 있는 상기 음영층과 상기 제1투명 전극 사이에 끼워져 있는 절연층을 포함하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀을 제공한다. 상기 음영층은 알루미늄으로 제조되고 상기 절연층은 알루미늄의 양극 산화로 형성된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 매트릭스 방식으로 배열된 다수의 능동 매트릭스 액정 표시 셀을 포함하는 능동 매트릭스 액정 표시 패널이 제공되는데, 각각의 능동 매트릭스 액정 표시 셀은 스위칭 능동 소자; 제1투명 전극이 액정을 구동시키기 위해 상기 스위칭 능동 소자에 접속되고 제2투명 전극이 상기 제1투명 전극에 대향하여 배치되는 상기 전극들 사이에 액정이 충전되는 제1 및 제2투명 전극; 도전 물질로 제조되는 음영층; 절연층을 통해 상기 제1투명 전극 아래에 부분적으로 놓여 있는 상기 음영층과 상기 제1투명 전극 사이에 끼워져 있는 절연층을 포함한다.
제1도를 참조하면, 종래의 능동 매트릭스 액정 표시 셀이 먼저 본 발명을 더 양호하게 이해하기 위해 기술된다.
제1도에서, 종래의 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)은 주 유리 기판(102), 대향 유리 기판(104), 상기 주 유리 기판(102) 측면에 배치된 투명 픽셀 전극(106), 상기 대향 유리 기판(104)의 전체 영역 아래에 형성된 투명 대향 전극(108), 상기 투명 픽셀 전극(106)과 투명 대향 전극(108) 사이에 충전된 액정(110), 스위칭 능동 소자(120), 캐패시턴스 소자(130) 및 음영층(140)을 포함한다.
스위칭 능동 소자(120)은 게이트(121), 게이트 절연층(122), 비정질 실리콘층(123), 도포된 비정질 실리콘층(124), 드레인(125) 및 소스(126)으로 이루어진 하부 게이트형의 박막 트랜지스터(TFT)로 형성된다. 게이트(121)은 게이트 버스(도시되지 않음)에 접속되고 드레인(125)는 드레인 또는 신호 버스(도시되지 않음)에 접속되는 반면 소스(126)은 투명 픽셀 전극(106)에 접속된다. 캐패시턴스 소자(130)은 투명 픽셀 전극(106), 투명 전극(132) 및 게이트 절연층(122)의 일부분에 의해 정해지는 유전층(134)로 구성된다. 음영층(140)은 투명 대향 전극(108) 아래에 부분적으로 배치되어 있다.
액정(110)은 또한 제1도에 도시된 바와 같이 스위칭 능동 소자(120) 및 음영층(140) 사이에 충전된다. 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)에서, 투명 픽셀 전극(106), 투명 전극(132) 및 투명 대향 전극(108)이 ITO(인듐 주석 산화물)층으로 형성된다.
명세서 앞부분에 기술된 바와 같이, 다수의 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)이 매트릭스 방식으로 배열되어 능동 매트릭스 액정 표시 패널(도시하지 않음)을 형성한다.
능동 매트릭스 액정 표시 셀의 우수한 해상력을 얻기 위해 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)의 수를 증가시키기 위하여는 각각의 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)이 때때로 크기에 있어서 50μm×50μm로 감소된다.
이러한 경우에 종래의 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)에서는 필연적으로 두가지 문제점이 발생한다.
먼저, 음영층(140)이 대향 유리 기판(104)의 측면에 배치되기 때문에 스위칭 능동 소자(120)을 광으로부터 완전히 보호하고 투명 전극(132) 주위에서 광의 누출을 막기 위해 스위칭 능동 소자(120)의 전체 영역 및 투명 픽셀 전극(106)의 모서리 부분을 덮도록 음영층(140)이 완전히 연장되어야 한다.
그러나, 대향 유리 기판(104)가 주 유리 기판(102)에 맞도록 배치되는 경우에 약10μm의 여유가 요구된다. 또한 약 5μm의 중첩이 투명 전극(132)와 음영층(140) 사이에 요구된다. 따라서, 약15μm의 여유가 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)의 각 측면에서 요구되고, 즉 30μm의 여유가 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)의 약 측면에서 요구된다. 50μm×50μm 셀의 경우에 유효한 픽셀부는 20μm×20μm가 된다. 그러므로, 광효율을 이용하기가 어렵다.
두 번째 문제점은 ITO로 제조되고 투명 픽셀 전극과 투명 전극 사이에 유전층(134)가 끼워져 있는 투명 픽셀 전극(106) 및 투명 전극(132)로 캐패시턴스 소자가 형성된다는 것이다. 각각의 ITO층의 투광도가 90%이기 때문에, 투명 대향 전극(108)뿐만 아니라 투명 픽셀 전극(106)을 통해 광이 투광되는 경우에 투광도는 약 80%가 된다. 또한, 투명 전극(132)의 도전율이 빈약하기 때문에, 게이트(121')가 저저항의 와이어링(도시되지 않음)에 접속된다. 게이트(121')의 폭을 5μm로 두면 상술한 유효 픽셀부가 또한 15μm×20μm로 감소된다.
그러므로, 종래의 능동 매트릭스 액정 표시 셀(100)에서, 셀(100)의 크기가 작아지는 경우에 광효율을 이용하기가 어렵다. 결과적으로, 다수의 셀(100)을 포함하는 능동 매트릭스 액정 표시 패널은 밝은 영상을 제공할 수 없다.
이제 제2도, 제3a도 및 제3b도를 참조하여, 본 발명의 제1실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀 및 다수의 능동 매트릭스 액정 표시 셀을 포함하는 능동 매트릭스 액정 표시 패널에 대한 설명이 진행된다.
제2도에서, 능동 매트릭스 액정 표시 패널(200)은 매트릭스 방식으로 배열된 다수의 능동 매트릭스 액정 표시 셀(300) 신호 버스(150) 및 게이트 버스(152)를 포함한다.
제3a도 및 제3b도에 도시된 바와 같이, 각각의 능동 매트릭스 액정 표시 셀(300)은 제3b도의 상부에 있는 주 표면(302a)를 갖는 주 투명 유리 기판(302), 제3b도에 하부에 있는 하부 표면(304a)를 갖는 대향 투명 유리 기판(304), 주기판(302a)상에 형성된 톱 게이트형(top gate type)의 박막 트랜지스터(TFT;306), 액정을 구동시키기 위해 TFT(306)에 접속된 제1투명 전극(308), 하부 표면(304a)상에 형성되고 제1투명 전극(308)에 대향하여 배치되는 제2투명 전극(310), 알루미늄으로 제조되는 음영층(312) 및 알루미늄의 양극 산화로 형성된 절연층(314)를 포함한다. 주 투명 유리 기판(302) 및 대향 투명 유리 기판(304)는 석영 유리로 제조된다. 스위칭 능동 소자로 작용하는 TFT(306)은 다결정 실리콘층(306a). 게이트 절연층(306b), 게이트(306c), 드레인(306d) 및 소스(306e)를 포함한다. 드레인(306d)는 신호 버스(150)에 접속되고 게이트(306c)는 게이트 버스(152)에 접속된다.
액정(316)은 제1투명 전극(308)과 제2투명 전극(310) 사이에 충전된다.
음영층(132)는 상부 및 측표면(312a 및 312b)를 갖는다. 절연층(314)는 상술한 알루미늄의 양극 산화에 의해 상부 및 측표면(312a 및 312b)상에 형성된다.
그러므로, 절연층(314)는 Al2O3으로 이루어진다. 양호하게도, 절연층(314)의 두께는 100 및 200mm 사이에 있다. 음영층(312) 및 절연층(314)를 형성하기 위해 우선 알루미늄 적층이 소정이 패턴을 갖는 음영층(312)로 패턴화되도록 전극간 절연층(315)의 표면상에 공지된 방식으로 피착된다. 다음, 음영층(312)가 절연층의 상부 및 측표면(312a 및 312d)상에 Al2O3의 절연층(314)를 갖도록 양극으로 산화된다.
그러므로, 절연층(314)는 절연층(314)를 통해 제1투명 전극(308) 아래에 부분적으로 놓인 음영층(312)와 제1투명 전극(308) 사이에 끼여있다.
이 구조로, 캐패시턴스 소자(400)은 음영층(312), 제1투명 전극(308) 및 그 사이에 끼여있는 절연층(314)에 의해 정해진다.
제3a도의 세그먼트 D에 제시된 바와 같이, 음영층(312) 및 제1투명 전극(308)의 중첩 영역은 4μm 및 8μm 사이의 폭들을 갖도록 요구된다.
그 동안, 소스(306e)가 제1투명 전극(308)에 접속되는 부분이 제3b도에 도시된 바와 같이 음영층(312)에 의해 덮여질 수 없다. 따라서, 소스(306e)는 이 부분에서 음영층으로 작용한다.
제4도에 도시된 바와 같이, 2개의 캐패시턴스 소자(400 및 410)이 병렬로 형성되어 있다. 한 캐패시턴스 소자는 제1투명 전극(308), 제2투명 전극(310) 및 그 사이에 충전되는 액정(316)을 포함하고, 다른 캐패시턴스 소자는 제1투명 전극(308), 음영층(312) 및 그 사이에 끼워진 절연층(314)를 포함한다. 바이어스 전압 V1및 V2는 각각 캐패시턴스 소자(400 및 410)에 인가된다.
이 실시예에서, 절연층(314)가 양극 산화 방법으로 형성되기 때문에, 보다 저온 조건에서 수행되는 다른 방법, 예를 들어 플라즈마 CVD, 스퍼터링 등에 의해 형성되는 것 보다 절연층(314)에서 핀 홀(pin hole)등에서와 같이 더 적은 결점을 갖는다. 결과적으로, 큰 유전 영역을 갖는 캐패시턴스 소자(410)은 좋은 수율로 제조될 수 있다.
제5도를 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀에 대한 설명이 진행된다.
제2실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀은 절연층(314)가 주 및 보조 절연층(314A 및 314B)를 포함하는 것 이외에는 제1실시예의 것과 유사한 구조를 갖는다. 주 절연층(314A)는 Al2O3으로 제조되는 음영층(312)의 양극 산화에 의해 형성되는 반면, 보조 절연층(314B)는 예를 들어 플라즈마 CVD 방법인 다른 방법에 의해 형성된다. 이 실시예에서, Al2O3의 주 절연층(314A)는 100mm의 두께를 갖도록 음영층(312)의 양극 산화에 의해 형성되고 실리콘 질화물의 보조 절연층(314B) 100mm의 두께를 갖도록 플라즈마 CVD 방법에 의해 형성된다.
이 실시예에서, 절연층(314)가 2개의 적층된 층, 즉 주 절연층 및 보조 절연층(314A 및 314B)를 포함하기 때문에, 절연층(314)에서 핀 홀에서와 같이 상술한 결점이 상술한 제1실시예와 비교하여 수에 있어서 감소된다.
제6도 및 제7도를 참조하여 본 발명의 제3실시예 및 그 변형예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀에 대한 설명이 진행된다.
제3실시예 및 변형예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀은 양극 산화 방법이 이 절연층들을 제조하는데 사용되지 않는다는 것을 제외하고는 제1 및 제2실시예에 것과 유사한 구조를 갖고 있다.
제6도에서 단일 절연층(314')가 음영층(312)상에 형성된다. 절연층(314')는 예를 들어 200mm의 두께를 갖도록 실리콘 질화물로 제조되고 플라즈마 CVD 방법에 의해 형성된다.
제7도에서 이중 절연층(314'A 및 314'B)는 음영층(312)상에 형성된다. 절연층(314'A)는 예를 들어 100nm의 두께를 갖도록 실리콘 질화물로 제조되고 플라즈마 CVD 방법에 의해 형성된다. 반면에, 절연층(314'B)는 예를 들어 100nm의 두께를 갖도록 실리콘 질화물로 제조되고 스퍼터링에 의해 형성된다.
제8도를 참조하여 본 발명의 제4실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀에 대한 설명이 진행된다.
제4실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀은 음영층(312)가 이중 층을 포함하는 것을 제외하고는 제1실시예의 것과 유사한 구조를 갖는데, 그 한 층이 알루미늄의 음영층(312A)이고 다른 층이 상기 음영층(312A)상에 놓여있는 탄탈륨의 음영층(312B)이다.
탄탈륨의 음영층(312B)는 유전율이 높은 Ta2O5의 절연층(320)을 갖도록 양극 산화에 의해 쉽게 산화된다. 따라서, 알루미늄의 다른 절연층(321)은 음영층(312A)의 측표면상에 형성된다.
이 실시예에서, 저장 캐패시턴스 정수가 상술한 제1,제2 및 제3실시예와 비교하여 상당히 향상될 수 있다. 이 예에서, 알루미늄의 절연층(321)은 음영 효과를 증진시키기 위해 사용된다.
제9a도 및 제9b도를 참조하여 본 발명의 제5실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀에 대한 설명이 진행된다.
제5실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀은 능동 매트릭스 액정 표시 셀이 또한 보조 캐패시턴스 소자를 포함하는 것을 제외하고는 제1실시예의 것과 유사한 구조를 갖는다.
제9a도 및 제9b도에 도시된 바와 같이, 제5실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 셀(300')는 절연층(314)를 통해 제1투명 전극(308) 및 음영층(312)의 중첩부 아래와 배치되는 보조 캐패시턴스 소자(330)을 더 포함하고 있다. 보조 캐패시턴스 소자(330)은 다결정 실리콘층(330a), 게이트 절연층(330b) 및 게이트(330c)로 정해진다. 게이트(330c)는 게이트 버스(152)에 전기적으로 접속된다. 다결정 실리콘층(330a)는 다결정 실리콘층(306a)에 접속된다.
다결정 실리콘층(330a)를 제조하기 위해, 먼저 다결정 실리콘적층이 주 투명 유리 기판(302)상에 형성된다. 다음, 다결정 실리콘 적층이 소정의 다결정 실리콘층을 형성하기 위해 소정의 형태로 패턴화된다. 둘째로, 게이트 절연층(330b)가 패턴화된 다결정 실리콘층 상에 피착된다. 그후에, 게이트(330c)에 의해 위에놓인 패턴화된 다결정 실리콘층의 섹션이 다결정 실리콘층(330a)를 형성하기 위해 이온 주입 방법으로 도프된다.
이 실시예에서, 보조 캐패시턴스 소자(330)은 광이 원래 통과할 수 없는 음영층(312) 및 제1투명 전극(308)의 중첩부 아래에 배치된다. 부수적으로, 보조 캐패시턴스 소자(330)은 저장 캐패시턴스 정수가 광의 사용 효율을 해치지 않고 극적으로 개량될 수 있다.
제10도에 도시된 바와 같이, 보조 캐패시턴스 소자(330)은 또한 제4도에 도시된 바와 같이 제1실시예에 관하여 기술된 2개의 캐패시턴스 소자(400 및 410)과 병렬로 형성된다. 보조 캐패시턴스 소자(330)은 제10도에 도시된 바와 같이 트랜지스터 Q1의 소스(306e)와 트랜지스터 Q2의 게이트(306c) 사이에 접속되어 있다.
한편, 일반적으로 TFT는 0.1pA와 0.1pA 사이의 누설 전류를 피할 수 없다. 그러므로, 저장 캐패시턴스의 정수가 감소없이 신호 전압을 저장시키기에 충분히 큰 반면 능동 매트릭스 액정 표시 셀이 주사된다.
이러한 TFT를 갖는 능동 매트릭스 액정 표시 셀이 작아지는, 다시 말하면 예를 들어 50μm×50μm 크기로 감소되는 경우에, 2개의 캐패시턴스 소자(400 및 410)에 의한 저장 캐패시턴스의 정수가 기껏해야 10pF이다. 100pF의 정수는 전술한 TFT 누설 전류의 견지에서 상술한 바와 같이 신호 전압을 저장하기에 충분하지 않다. 따라서, 이 실시예에 따른 능동 매트릭스 액정 표시 실(300')가 보조 캐패시턴스 소자(300)을 포함한다는 장점을 갖고 있다.
본 발명이 단지 여러 실시예와 관련하여 기술되었지만, 본 분야에 숙련된 기술자들은 본 발명을 여러 가지 다른 방식으로 쉽게 실시할 수 있다.

Claims (12)

  1. 스위칭 능동 소자; 제1투명 전극이 액정을 구동시키기 위해 상기 스위칭 능동 소자에 접속되고 제2투명 전극이 상기 제1투명 전극에 대향하여 배치되는 상기 전극들 사이에 액정이 충전되는 제1 및 제2투명 전극; 도전 물질로 제조된 음영층; 및 절연층을 통해 상기 제1투명 전극 아래에 부분적으로 놓여있는 상기 음영층과 상기 제1투명 전극 사이에 끼워져 있는 상기 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  2. 제1항에 있어서, 캐패시턴스 소자가 상기 음영층, 상기 제1투명 전극 및 그들 사이에 끼워진 상기 절연층에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  3. 제2항에 있어서, 절연층을 통해 상기 음영층 아래에 배치되고, 다결정 실리콘, 게이트 절연층 및 게이트에 의해 정해지는 보조 캐패시턴스 소자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  4. 제1항에 있어서, 상기 음영층이 알루미늄으로 제조되고 상기 절연층이 상기 알루미늄의 양극 산화에 의해 형성된 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  5. 제1항에 있어서, 상기 음영층이 탄탈륨을 포함하고 상기 절연층이 상기 탄탈륨의 양극 산화에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  6. 제1항에 있어서, 상기 절연층이 2개 이상의 적층을 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  7. 제6항에 있어서, 상기 절연층이 1개 이상의 적층이 상기 음영층의 양극 산화에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  8. 제3항에 있어서, 상기 음영층이 알루미늄으로 제조되고 상기 절연층이 상기 알루미늄의 양극 산화에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  9. 제3항에 있어서, 상기 음영층이 탄탈륨을 포함하고 상기 절연층이 상기 탄탈륨의 양극 산화에 의해 형성되는 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  10. 제3항에 있어서, 상기 절연층이 2개 이상의 적층을 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  11. 제10항에 있어서, 1개 이상의 상기 적층이 상기 음영층의 양극 산화에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정 표시 셀.
  12. 매트릭스 형식으로 배열된 다수의 능동 매트릭스 액정 표시 셀을 포함하는 능동 매트릭스 액정 표시 패널에 있어서, 상기 능동 매트릭스 액정 표시 셀 각각이, 스위칭 능동 소자; 상기 제1투명 전극이 액정을 구동시키기 위해 상기 스위칭 능동 소자에 접속되고 제2투명 전극이 사익 제1투명 전극에 대향하여 배치되어 상기 전극들 사이에 액정이 충전되는 상기 제1 및 제2투명 전극; 도전 물질로 제조된 음영층; 및 절연층을 통해 상기 제1투명 전극 아래에 부분적으로 놓여 있는 사익 음영층과 상기 제1투명 전극 사이에 끼워져 있는 상기 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 매트릭스 액정표시 패널.
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