KR950007052A - 웨이퍼 스테이지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 웨이퍼의 휨을 해소한 상태에서 확실히 고정하는 것이 가능한 웨이퍼 스테이지장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 스테이지(11)의 각 관통구멍(13)은 진공라인(14)을 매개로 진공펌프(15)에 접속된다. 각 진공라인(14)에는 전자밸브(16a∼16g)가 설치되고, 각 전자배브(16a∼16g)는 제어부(17)에 의해 웨이퍼의 휨에 따라 개방타이밍이 제어된다. 따라서 크게 휜 웨이퍼를 평탄한 상태에서 스테이지에 흡착할 수 있게 된다.

Description

웨이퍼 스테이지장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예를 나타내는 평면도,

제2도는 제1도의 2-2선에 따른 단면과 더불어 제1실시예의 구성을 구체적으로 나타낸 구성도,

제3도는 제1실시예의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도.

Claims (2)

1. 웨이퍼(18,34)가 포면에 실리고, 이 웨이퍼를 흡착하기 위한 복수이 관통구멍(13,23,27)을 갖춘 스테이지(11,21)와, 일단부가 상기 스테이지(11,21)의 각 관통구멍(13,23,27)에 접속되고, 타단부가 진공펌프(15,29)에 접속된 복수의 진공라인(14,28,30), 상기 각 진공라인(14,28,30)의 중간부에 설치되어 진공라인을 차단하는 차단수단(16a∼16g,31,32) 및, 상기 웨이퍼의 휨에 따라 상기 차단수단(16a∼16g,31,32)의 개방타이밍을 제어하는 제어수단(17,33)을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스테이지장치.
2. 웨이퍼(18,34)가 포면에 실리고, 이 웨이퍼를 흡착하기 위한 복수의 제1관통구멍(23)을 갖춘 스테이지(21)와, 일단부가 상기 스테이지(21)의 중앙부 및 그 주변에 배치되고, 스테이지표면으로부터 출입자재로 되어 웨이퍼를 흡착하기 위한 제2관통구멍(27)을 갖춘 복수의 웨이퍼 흡착수단(25a∼25d), 상기 웨이퍼 흡착수단(25a∼25d)을 개별적으로 이동시키는 구동수단(26), 일단부가 상기 제1관통구멍(23)에 접속되고, 타단부가 진공펌프(29)에 접속된 복수의 제1진공라인(30), 일단부가 상기 제2관통구멍(27)에 접속되고, 타단부가 진공펌프(29)에 접속된 복수의 제2진공라인(28), 상기 제1진공라인(30)의 중간부에 설치되어 제1진공라인을 차단하는 제1차단수단(32), 상기 제2진공라인(28)의 중간부에 설치되어 제2진공라인을 차단하는 제2차단수단(31) 및 상기 웨이퍼의 휨에 따라 상기 구동수단(26)에 의한 웨이퍼 흡착수단(25a∼25d)의 이동위치 및 상기 제1, 제2차단수단(32,31)의 개방타이밍을 제어하는 제어수단(33)을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스테이지장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.