JP5888051B2 - ウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、ウエハ吸着システム - Google Patents
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Description
本発明は、例えばウエハの電気特性の測定などに用いられるウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムに関する。
特許文献１には、ステージ表面に多孔質金属部を設け、多孔質金属部の上にウエハを搭載することが開示されている。多孔質金属部の下面はステージ内の空室に接している。この空室の空気を真空排気することで多孔質金属部の上面にウエハを吸着させる。
特許文献２には、ステージを電極として用いてウエハの電気特性を測定することが開示されている。特許文献３には、ウエハ裏面電極とステージの間の異物などによりウエハ裏面電極にキズが生じないように、裏面電極に導電性シートを形成することが開示されている。
特許文献１に開示の技術では、多孔質金属部のうち排気ポンプで強力に排気される部分ではウエハの吸着圧が強くなり、多孔質金属部のうち排気ポンプにより排気されづらい部分ではウエハの吸着圧が弱くなる。そのため、ウエハ全面に対して十分な吸着圧を及ぼすには強力な排気が必要となり、ウエハが変形する問題があった。この問題は特に薄型ウエハの場合に顕著である。
強い吸着圧でウエハをステージに吸着したときのウエハの変形は、例えばステージとウエハの間の異物が原因となる。異物による変形を回避するためにはウエハの裏面に導電性シートを貼り付ける必要があるのでコスト高となる問題があった。
この問題を回避するために排気ポンプの排気圧を弱めると、ウエハとステージの密着度が低下する。ウエハとステージの密着度が低下すると例えばステージを電極として用いる場合にウエハとステージの接触抵抗が高くなるなどの問題が生じる。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、低コストでウエハを変形させることなく十分な吸着圧でウエハをステージに吸着できるウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムを提供することを目的とする。
本願の発明に係るウエハ吸着方法は、右アームと、該右アームと同一方向に伸びる左アームと、該右アームと該左アームを接続する軸部とを有する搬送治具の該右アームと該左アームにウエハをのせる工程と、該搬送治具がウエハ吸着ステージに近づくように、該右アームのうち該左アームに対向する右アーム対向面を該ウエハ吸着ステージの第１側面に沿って接触スライドさせつつ、該左アームのうち該右アームに対向する左アーム対向面を該ウエハ吸着ステージの該第１側面の反対側に形成された第２側面に沿って接触スライドさせ、該ウエハを該ウエハ吸着ステージの搭載面の直上に移動させる移動工程と、該右アーム対向面と該第１側面が接し、該左アーム対向面と該第２側面が接した状態で、該搬送治具を該ウエハ吸着ステージに対して下方に接触スライドさせ、該ウエハを該搭載面にのせる搭載工程と、該ウエハを該搭載面に吸着させる工程と、をこの順に備えたことを特徴とする。
本願の発明に係るウエハ吸着ステージは、内部に空間を有するウエハ吸着ステージであって、ウエハを搭載する搭載面と、表面が該搭載面に露出し、裏面が該空間と接するように該ウエハ吸着ステージ内に形成された多孔質部と、該空間と接続され、該ウエハ吸着ステージ外部に伸びる連結部と、を備え、該多孔質部は、該連結部から離れた部分ほど薄く形成され、該ウエハ吸着ステージの最外周に該搭載面を囲むように該搭載面よりも高さが低い上面を有する低地部が形成され、該搭載面が形成された部分と該低地部の間には、該搭載面と該低地部の上面をつなぐ曲面が形成されたことを特徴とする。
本願の発明に係るウエハ吸着システムは、ウエハ吸着ステージと吸気システムを有するウエハ吸着システムであって、該ウエハ吸着ステージは、内部に空間を有し、ウエハを搭載する搭載面と、表面が該搭載面に露出し、裏面が該空間と接するように該ウエハ吸着ステージ内に形成された多孔質部と、該空間と接続され、該ウエハ吸着ステージ外部に伸びる連結部と、を備え、該多孔質部は、該連結部から離れた部分ほど薄く形成され、該吸気システムは、レギュレータを介して該連結部に接続された排気ポンプと、該ウエハ吸着ステージで吸着するウエハの厚みの情報を取得し該ウエハの厚みが薄いほど該連結部の真空圧を低減するように該レギュレータを制御する制御部を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、ウエハ全面に対して略均等な吸着圧を及ぼすことで、ウエハを変形させることなく十分な吸着圧でウエハをステージに吸着させることができる。
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るウエハ吸着ステージの斜視図である。ウエハ吸着ステージ１０はウエハを搭載する搭載面１１を有している。搭載面１１には複数の多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅが形成されている。多孔質部１２ｂは搭載面１１の中央に配置され、多孔質部１２ａ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは多孔質部１２ｂを囲むようには位置されている。多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅはそれぞれ金属部１３で囲まれている。金属部１３と多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅで搭載面１１を形成している。
図１は、本発明の実施の形態１に係るウエハ吸着ステージの斜視図である。ウエハ吸着ステージ１０はウエハを搭載する搭載面１１を有している。搭載面１１には複数の多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅが形成されている。多孔質部１２ｂは搭載面１１の中央に配置され、多孔質部１２ａ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは多孔質部１２ｂを囲むようには位置されている。多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅはそれぞれ金属部１３で囲まれている。金属部１３と多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅで搭載面１１を形成している。
多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは、アルミで形成されている。多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅの細孔の孔径は１０μｍとするが、１０μｍ以下であれば特に限定されない。
ウエハ吸着ステージ１０には第１側面１４と、第１側面１４の反対側の第２側面１６が形成されている。第１側面１４と第２側面１６の距離はＬである。ウエハ吸着ステージ１０の第１側面１４と第２側面１６以外の側壁は曲面で形成されている。曲面で形成された側壁の一部には凹部２８が形成されている。凹部２８にはステージ電気接点３０が形成されている。
ウエハ吸着ステージ１０の最外周には、搭載面１１を囲むように搭載面１１よりも高さが低い上面を有する低地部１８、２０が形成されている。平面視すると搭載面１１の端部２４よりも低地部１８が外側に位置し、搭載面１１の端部２６よりも低地部２０が外側に位置する。
図２は、図１のＩＩ−ＩＩ破線における断面図である。ウエハ吸着ステージ１０の内部には空間４０が形成されている。多孔質部１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、表面が搭載面１１に露出し、裏面が空間４０と接するようにウエハ吸着ステージ１０内に形成されている。多孔質部１２ｃ、１２ｄは多孔質部１２ｂよりも薄く形成されている。
図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ破線における断面図である。多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｅは、表面が搭載面１１に露出し、裏面が空間４０と接するようにウエハ吸着ステージ１０内に形成されている。多孔質部１２ｂは多孔質部１２ａよりも薄く形成され、多孔質部１２ｅは多孔質部１２ｂよりも薄く形成されている。ウエハ吸着ステージ１０内部には、空間４０と接続され、かつウエハ吸着ステージ１０の外部に伸びる連結部５０が形成されている。
多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは、連結部５０から離れたものほど薄く形成されている。つまり、多孔質部１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは多孔質部１２ａ、１２ｂよりも連結部５０から離れているので多孔質部１２ａ、１２ｂよりも薄く形成される。また、多孔質部１２ｂは多孔質部１２ａより連結部５０から離れているので多孔質部１２ａよりも薄く形成される。
多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは、金属粉末射出成形技術（Ｍｅｔａｌ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｍｏｌｄｉｎｇ−ＭＩＭ）で形成される。具体的には、予め多孔質材を充填するスペースを形成した成形金型にステージを据付け、金属粉末を射出成形した上でプレス工程と焼結工程を経ることで、多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅを金属部１３と一体的に形成する。
図４は、ウエハ吸着ステージに吸気システムを接続したウエハ吸着システムを示す図である。吸気システム１００は、排気ポンプ１０２を有している。排気ポンプ１０２は、配管１００ａにより第１レギュレータ１０４、第２レギュレータ１０６、圧力センサ１０８を介して連結部５０に接続されている。
第２レギュレータ１０６と圧力センサ１０８には配線１１０を介して制御部１１２が接続されている。また、制御部１１２には入力部１１４が接続されている。制御部１１２は、ウエハ吸着ステージ１０で吸着するウエハの厚みの情報を入力部１１４から取得し、ウエハの厚みが薄いほど連結部５０の真空圧を低減するように第２レギュレータ１０６を制御する。
図５は、ウエハを搬送するための搬送治具の平面図である。搬送治具１５０は右アーム１５２と、右アーム１５２と同一方向に伸びる左アーム１５４を有している。右アーム１５２のうち左アーム１５４に対向する面は右アーム対向面１５２ａである。左アーム１５４のうち右アーム１５２に対向する面は左アーム対向面１５４ａである。
右アーム１５２にはザグリ部１５２ｂが形成され、左アーム１５４にはザグリ部１５４ｂが形成されている。
右アーム１５２にはザグリ部１５２ｂが形成され、左アーム１５４にはザグリ部１５４ｂが形成されている。
右アーム対向面１５２ａと左アーム対向面１５４ａの距離はＬである。右アーム１５２と左アーム１５４は軸部１５６で接続されている。軸部１５６には凸形状の第２電気接点１５８が形成されている。
図６は、搬送治具の正面図である。搬送治具には第１電気接点１６０が形成されている。前述の第２電気接点１５８は、第１電気接点１６０よりも上方に形成されている。続いて、本発明の実施の形態１に係るウエハ吸着方法を説明する。
図７は、本発明の実施の形態１に係るウエハ吸着方法を示すフローチャートである。まず、制御部１１２がウエハ吸着ステージ１０に吸着させるウエハの厚みの情報を入力部１１４から取得する（ステップ１７０）。情報取得後、制御部１１２はウエハの厚みに対応した真空圧を設定するためのパラメータを設定する。なお、制御部１１２はウエハの厚みが薄いほど連結部５０の真空圧を低減するようにパラメータを設定する。
次いで、搬送治具１５０の右アームと左アームにウエハをのせる（ステップ１７２）。ウエハはザグリ部１５２ｂ、１５４ｂにのせる。次いで、搬送治具１５０がウエハ吸着ステージ１０に近づくように搬送治具１５０をＹ方向に移動させる。この工程を移動工程という。図８は、移動工程を説明する斜視図である。図８では説明の便宜上、第１アーム１５２と第２アーム１５４の上にのせられたウエハは省略している。移動工程では、右アーム対向面１５２ａを第１側面１４に沿って接触スライドさせつつ、左アーム対向面１５４ａを第２側面１６に沿って接触スライドさせ、ウエハをウエハ吸着ステージ１０の搭載面１１の直上に移動させる。
移動工程は、搬送治具１５０がウエハ吸着ステージ１０に近づくことで搬送治具１５０の第１電気接点１６０とウエハ吸着ステージ１０のステージ電気接点３０が接触すると同時に終了する（ステップ１７６）。第１電気接点１６０とステージ電気接点３０が接触することを第１電気接触という。
次いで、搬送治具１５０を下方（Ｚ軸負方向）へ移動させる（ステップ１７８）。この工程はウエハを搭載面１１に搭載するための工程であるため搭載工程と称する。搭載工程では、右アーム対向面１５２ａと第１側面１４が接し、左アーム対向面１５４ａと第２側面１６が接した状態で、搬送治具１５０をウエハ吸着ステージ１０に対して下方に接触スライドさせる。この接触スライドによりウエハを搭載面１１にのせる。
搭載工程は、搬送治具１５０の第２電気接点１５８とステージ電気接点３０が接触すると同時に終了する（ステップ１８０）。第２電気接点１５８とステージ電気接点３０が接触することを第２電気接触という。このように電気接点の接触状況を電気的に検知することで搬送治具１５０を移動する。その後搬送治具１５０を退避させる（ステップ１８２）。
図９と図１０は、搭載面１１に搭載されたウエハを示す断面図である。ウエハ２００はその外周に沿ってリム部２００ａを有している。このリム部２００ａが搭載面１１に当たるとウエハと搭載面１１の面接触ができなくなるが、本発明の実施の形態１では搭載面１１はリム部２００ａに当たらない大きさで形成したためリム部２００ａが搭載面に当たることを回避できる。低地部１８、２０は、リム部２００ａが搭載面１１に当たることを防止するために形成されている。
次いで、ウエハを搭載面１１に吸着させる（ステップ１８４）。このとき制御部１１２は、ステップ１７０で設定した真空圧設定のパラメータを用いて第２レギュレータ１０６を制御する。このように、連結部５０に接続されたウエハ吸着ステージの外部の吸気システム１００を用いて連結部５０内と空間４０の空気を吸引することで、ウエハを搭載面１１に吸着する。
次いで、ウエハを搭載面１１に吸着させた状態で、ウエハの電気特性を測定する（ステップ１８６）。ウエハには表面から裏面に電流を流すいわゆる縦型構造の素子が複数形成されている。ウエハの電気測定ではウエハ吸着ステージ１０の金属部１３を電極として用いる。次いで、真空吸着を解除しウエハを搭載面１１から取り出して処理を終了する（ステップ１８８）。
本発明の実施の形態１に係るウエハ吸着方法によれば、ウエハ全面に対して略均等な吸着圧を及ぼすことができる。すなわち、多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅは、連結部５０から離れたものほど薄く形成されているので、全ての多孔質部が略均等の吸着圧でウエハの裏面を搭載面１１に吸着する。また、１つの多孔質部を他の多孔質部が囲むように配置したことで、ウエハの裏面全体を略均等に吸引できる。つまり、真空コンダクタンスを略均等とすることができる。
また、ウエハ全面に対して略均等な吸着圧を及ぼすためには、ウエハを搭載面の所定位置に精度よくおくことも重要である。本発明の実施の形態１では、搬送治具１５０とウエハ吸着ステージ１０を接触スライドさせながら、ウエハを搭載面１１に搭載するので、ウエハを搭載面１１の所定位置に精度よく搭載できる。
このように本発明の実施の形態１では、ウエハ全面に対して略均等な吸着圧を及ぼすので、強力な排気は不要でありウエハに最低限の吸着圧を及ぼすだけでウエハとウエハ吸着ステージの接触抵抗を十分低減できる。よって、強力な排気によりウエハを変形させることなく十分な吸着圧でウエハをステージに吸着できる。なお、ウエハを搭載面１１の所定位置に精度よくおくことは、ウエハのリム部２００ａが搭載面１１に当たることを防止する効果もある。
また、制御部１１２の制御により薄いウエハに対しては吸着圧を低減するので、薄いウエハに過大な吸着圧が及ぼされウエハが搭載面から剥がれづらくなったり、ウエハが変形したりすることを回避できる。また、本発明では低い吸着圧を採用するので、ウエハと搭載面の間に異物があったとしてもウエハが変形することは無い。よって、導電性シートを省略して低コストなプロセスとすることができる。
多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅの細孔の孔径を１０μｍ以下としたので、プローブをウエハ表面に押し付けたときにウエハが変形することを防止できる。なお、多孔質部の個数や配置についてはウエハに及ぼす吸着圧を略均等にできる限りにおいて特に限定されない。
多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅの材料は、アルミに限定されず、チタン、亜鉛、鉄、コバルト、ニッケル、スズ、銅、銀、ロジウム、パラジウム、白金、金、これらの化合物、又はこれらの多層構造体の何れかでもよい。
搬送治具１５０の移動には電気接点を用いたが、他の方法で搬送治具を移動させてもよい。排気ポンプ１０２は工場内等に設置され複数の装置や設備に対して一括して真空排気を行うものであってもよい。この場合、排気能力の変動が起り得るので第１レギュレータ１０４を調整して真空度を安定した値に設定する。そして、第２レギュレータ１０６にて真空度をさらに低く、安定的に調整する。
本発明の実施の形態１では、ウエハの電気測定のためにウエハを搭載面に吸着させたが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明の実施の形態１に係るウエハ吸着の技術をウエハの加工のために用いてもよい。本発明の実施の形態１に係るウエハ吸着方法では搬送治具１５０を用いてウエハを搭載面に搭載したが、搬送治具１５０を用いずに手動でウエハを搭載面に搭載してもよい。ただし位置精度よくウエハを搭載するためには搬送治具を用いることが好ましい。
実施の形態２．
本発明の実施の形態２に係るウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムは実施の形態１と共通点が多い。そのため、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態２に係るウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムは実施の形態１と共通点が多い。そのため、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
図１１は、本発明の実施の形態２に係るウエハ吸着ステージ等の断面図である。搭載面１１が形成された部分と低地部２０、２４の間には、搭載面１１と低地部２０、２４の上面をつなぐ曲面が形成された曲面部２１０、２１２が形成されている。
リム部２２０ａを有する薄厚ウエハ２００は、リム部２２０ａから薄厚部２２０ｂに至る境界部位に傾斜部２２０ｃを有することが多い。傾斜部２２０ｃが搭載面１１に当たるとウエハが反りあがることがあった。このウエハの反りによってウエハに歪が導入される問題があった。
ところが、本発明の実施の形態２に係るウエハ吸着ステージは、傾斜部２２０ｃがあたる部分に曲面部２１０、２１２を有するので、ウエハの反りを抑制することができる。なお本発明の実施の形態２に係るウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムは少なくとも実施の形態１と同程度の変形が可能である。
実施の形態３．
本発明の実施の形態３に係るウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムは実施の形態１と共通点が多い。そのため、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態３に係るウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムは実施の形態１と共通点が多い。そのため、実施の形態１との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態３に係るウエハ吸着ステージは、多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅと金属部１３にめっきが形成されたことを特徴とする。図１２は、本発明の実施の形態３に係るウエハ吸着ステージの断面図である。めっき２５０は、１０μｍ未満の膜厚である。図１３は、多孔質部に形成されためっきを示す断面図である。めっき２５０は、多孔質部１２ｂの細孔を残しつつ多孔質部１２ｂの表面に形成されている。
本発明の実施の形態３に係るウエハ吸着ステージによれば、多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅと金属部１３にめっき２５０が形成されているので、搭載面１１の強度を高めることができる。よって、ウエハ吸着ステージの繰り返しの使用による多孔質部の変形や異物による多孔質部の変形を抑制できる。しかも細孔の孔径は１０μｍなのに対しめっき２５０は１０μｍ未満で形成したので、めっき２５０が細孔を埋めることは無い。よって、ウエハの吸着に支障を生じることなく搭載面１１の強度を高めることができる。
また、多孔質部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅだけでなく金属部１３にもメッキを形成するので搭載面１１の平坦性を維持できる。なお、本発明の実施の形態２に係るウエハ吸着方法、ウエハ吸着ステージ、及びウエハ吸着システムは少なくとも実施の形態１と同程度の変形が可能である。
１０ ウエハ吸着ステージ、 １１ 搭載面、 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ 多孔質部、 １３ 金属部、 １４ 第１側面、 １６ 第２側面、 １８，２０ 低地部、 ２４，２６ 端部、 ２８ 凹部、 ３０ ステージ電気接点、 ４０ 空間、 ５０ 連結部、 １００ 吸気システム、 １００ａ 配管、 １０２ 排気ポンプ、 １０４ 第１レギュレータ、 １０６ 第２レギュレータ、 １０８ 圧力センサ、 １１０ 配線、 １１２ 制御部、 １１４ 入力部、 １５０ 搬送治具、 １５２ 右アーム、 １５２ａ 右アーム対向面、 １５２ｂ ザグリ部、 １５４ 左アーム、 １５４ａ 左アーム対向面、 １５４ｂ ザグリ部、 １５６ 軸部、 １５８ 第２電気接点、 １６０ 第１電気接点、 ２００ ウエハ、 ２００ａ リム部、 ２１０ 曲面部、 ２２０ ウエハ、 ２２０ａ リム部、 ２２０ｂ 薄厚部、 ２２０ｃ 傾斜部
Claims (10)
- 右アームと、前記右アームと同一方向に伸びる左アームと、前記右アームと前記左アームを接続する軸部とを有する搬送治具の前記右アームと前記左アームにウエハをのせる工程と、
前記搬送治具がウエハ吸着ステージに近づくように、前記右アームのうち前記左アームに対向する右アーム対向面を前記ウエハ吸着ステージの第１側面に沿って接触スライドさせつつ、前記左アームのうち前記右アームに対向する左アーム対向面を前記ウエハ吸着ステージの前記第１側面の反対側に形成された第２側面に沿って接触スライドさせ、前記ウエハを前記ウエハ吸着ステージの搭載面の直上に移動させる移動工程と、
前記右アーム対向面と前記第１側面が接し、前記左アーム対向面と前記第２側面が接した状態で、前記搬送治具を前記ウエハ吸着ステージに対して下方に接触スライドさせ、前記ウエハを前記搭載面にのせる搭載工程と、
前記ウエハを前記搭載面に吸着させる工程と、をこの順に備えたことを特徴とするウエハ吸着方法。 - 前記移動工程は、前記搬送治具が前記ウエハ吸着ステージに近づくことで前記搬送治具に形成された第１電気接点と前記ウエハ吸着ステージに形成されたステージ電気接点が接触すると同時に終了し、
前記搭載工程は、前記搬送治具の前記第１電気接点よりも上方に形成された第２電気接点と前記ステージ電気接点が接触すると同時に終了することを特徴とする請求項１に記載のウエハ吸着方法。 - 前記ウエハ吸着ステージは、表面が前記搭載面に露出し裏面が前記ウエハ吸着ステージ内部に形成された空間に接する多孔質部と、前記空間と接続され前記ウエハ吸着ステージ外部に伸びる連結部とを備え、
前記多孔質部は、前記連結部から離れた部分ほど薄く形成され、
前記連結部に接続された吸気システムを用いて前記連結部内と前記空間の空気を吸引することで、前記ウエハは前記搭載面に吸着することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ吸着方法。 - 内部に空間を有するウエハ吸着ステージであって、
ウエハを搭載する搭載面と、
表面が前記搭載面に露出し、裏面が前記空間と接するように前記ウエハ吸着ステージ内に形成された多孔質部と、
前記空間と接続され、前記ウエハ吸着ステージ外部に伸びる連結部と、を備え、
前記多孔質部は、前記連結部から離れた部分ほど薄く形成され、
前記ウエハ吸着ステージの最外周に前記搭載面を囲むように前記搭載面よりも高さが低い上面を有する低地部が形成され、
前記搭載面が形成された部分と前記低地部の間には、前記搭載面と前記低地部の上面をつなぐ曲面が形成されたことを特徴とするウエハ吸着ステージ。 - 前記多孔質部は複数形成されたことを特徴とする請求項４に記載のウエハ吸着ステージ。
- 前記多孔質部は、１つの多孔質部を他の多孔質部が囲むように配置されたことを特徴とする請求項５に記載のウエハ吸着ステージ。
- 前記多孔質部の細孔を残しつつ前記多孔質部の表面に形成されためっきを備えたことを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載のウエハ吸着ステージ。
- 前記多孔質部の細孔の孔径は１０μｍ以下であることを特徴とする請求項４乃至７のいずれか１項に記載のウエハ吸着ステージ。
- 前記多孔質部の材料は、アルミ、チタン、亜鉛、鉄、コバルト、ニッケル、スズ、銅、銀、ロジウム、パラジウム、白金、金、これらの化合物、又はこれらの多層構造体の何れかであることを特徴とする請求項４乃至８のいずれか１項に記載のウエハ吸着ステージ。
- ウエハ吸着ステージと吸気システムを有するウエハ吸着システムであって、
前記ウエハ吸着ステージは、内部に空間を有し、ウエハを搭載する搭載面と、表面が前記搭載面に露出し、裏面が前記空間と接するように前記ウエハ吸着ステージ内に形成された多孔質部と、前記空間と接続され、前記ウエハ吸着ステージ外部に伸びる連結部と、を備え、
前記多孔質部は、前記連結部から離れた部分ほど薄く形成され、
前記吸気システムは、レギュレータを介して前記連結部に接続された排気ポンプと、前記ウエハ吸着ステージで吸着するウエハの厚みの情報を取得し前記ウエハの厚みが薄いほど前記連結部の真空圧を低減するように前記レギュレータを制御する制御部を備えたことを特徴とするウエハ吸着システム。
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