JPS63172439A

JPS63172439A - 半導体ウエ−ハ移送装置

Info

Publication number: JPS63172439A
Application number: JP62003604A
Authority: JP
Inventors: Junji Iwasaki; 順次岩崎; Toshiharu Iwata; 俊治岩田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1987-01-09
Filing date: 1987-01-09
Publication date: 1988-07-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、ウエーノ・把持手段で半導体ウェーハを把
持し、走行路に沿い移動し９ニーノー処理装置に搬入、
出する半導体クエーノ・移送装置に関する０〔従来の技術〕第５図は従来の半導体ウェーハｃ以下「Ｉ；Ｆニーム」
と称する）移送装置の斜視図である。図において、１は
ウェーハ、２はウェーハ処理装置、３はウェー／Ｎ　ｌ
を載せ処理装置２の処理槽内へ取込むロード用ベルト手
段、４は処理槽から９工−ノ％１を取出すアンロード用
ベルト手段、５はウェーハ１を把持し処理装置２へ搬入
、搬出する移送ロボットで、一対の把持体６が出されて
おり、ウェーハ１の外円周を両側から把持する０フは固
定側の制御装置（図示は略す）から移送ロボット５に接
続された供給電源制御用の多数のケーブルで、可とうに
束ねられている。８は移送用ロボット５０走行路となる
案内レールである。

上記従来装置の動作は、次のようになる。移送ロボット
５はケーブルフを通じて外部から供給される電源と制御
情報とにより、前のり二−ノ１処理装置からウェーハｌ
を両把持体６により把持し、内蔵する電動機の駆動によ
り車輪を回転し、案内レール８上をＸ軸方向に移動し、
ウェーハ処理装置２のロード用ベルト手段３前で停止す
る。

つづいて、把持体６を下降しウェーハｌをベルト手段３
上に載せ、把持体６を開く。この把持体６を元の位置ま
で上昇させ、移送ロボット５をアンロード用ベルト手段
４の［１ｔｌＫ移動し待機する〇一方、処理装置２はベ
ルト手段３によりクエーノ１１を処理槽内に取込む。こ
こで処理終了したウェーハ１はベルト手段４により処理
槽から取出す。

こうして取出されたウェーハ１を、移送ロボット６が上
記搬入動作とは逆の動作で両把持体６で把持し、次のウ
ェーハ処理装置へ移送する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の９ニー／１移送装置では、移送ロボ
ット５に電源を供給し、制御情報を与える長く引かれた
ケーブルグが必要で、搬送路の長さや曲９などの自由度
が制限され、また、ケーブルフの移動やこすれによるほ
こりの発生などの問題点があった。

この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、走行路上を走行し、ウェー／１の把−９移載
を行う機構部を有する移動子に、電源供給と制御指令の
ケーブルを接続することを要せずウェーハの移送ができ
、ケーブルの移動によるほこり発生をなくしたウェーノ
ー移送装置を得ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかるウェー／Ｓ移送装置は、走行路側を一
次側とし、走行路上の移動体側を二次側とするりニアモ
ータを構成し、移動体に一対の把持体によるウェーノル
把持手段を設け、移動子にウェーハ把持手段の操作電動
機の回路の可動側接点を設け、この可動側接点に対応し
、外部の制御装置に接続された固定側接点を走行路上に
、移動体の所定停止位置ごとに設け、９エーノ・を把持
したウェーハ把持手段が上方に回動すると、機械的の挾
付け係止手段により両把持体に挾付け力を加え把持を維
持するようにしたものである。

（作用〕この発明においては、移動子は走行路の一次側の制御に
より走行、停止をし、９エーノ・把持手段部は、走行中
は操作電源を供給されなくても、把持体による９エーハ
の把持が挾付け係止手段により維持され、停止点で双方
の接点が接触し、外部制御回路に通じウェー／１の移載
９把持動作をする。

〔実施例〕

第１図はこの発明によるウェーハ移送装置の一実施例を
示す斜視図であり、ｌ−４は上記従来装置と同一のもの
である。ｌＯはＸ方向に配設された走行路、１１はこの
走行路に沿って移動される移動体で、下方に配置された
りニアモータ１２によｐｓｗＪされる。１５は移動体ｌ
ｌ上に取付けられた回動用電動機、１６はウェーハ把持
手段で、Ｌ字状をなし半径方向の一端が電動機１５の軸
端に固着され回動される回動腕ｌフと、との回動腕の軸
方向辺にＸ軸方向の移動可能に支持された一対の把持体
１８とを有している。２２は移動体１１上の両端部に固
定された一対の受止め体で・、それぞれ内方に突出する
挾付け係止手段２３が設けられており、上方に回動され
た回動腕ｌフの把持体１８を、その係合溝１８ａに係合
し、その位置でばね圧によシ把持体１８に内方への把持
力を付加する０２９は一方の受止め体２２の内方に突出
して設けられたストッパ、３０は回動腕１７に固着され
た永久ａ石で、回動腕ｌフがほぼ垂直位置に回動される
と上記ストッパ２９に受止められ吸着し、この位置に保
持する。

上記リニアモータ１２部は、＃！２図に正面図で示すよ
うに構成されている。１３は一次側の固定子で、走行路
ｌＯに固定され７’ｅＸ方向の一定子鉄心１３ａと巻線
１３ｂとからなる。１４は移動体１１の下方に固着され
た二次側の移動子で、鉄心部１４ａと、銅板などからな
る等体部１４ｂとからなる。

鉄心部ユ４ａの両脚部下部には車輪３１が取付けられ、
両側部には案内輪３２が取付けられている。

３３は移動ａｌｌに設けられた複数の可動側接点電電動
機１５．１９の引出線に接続されている。３４はこの接
点３３に対応し、走行路１０に移動体１１の所定の停止
位置ごとに設けられた複数宛の固定側接点で、各接点３
３に接触することにより、外部の制御装置（図示は略す
）からの上記フエーハ把持手段１６の各操作電動機への
回路が通じる。

ウェーハ把持手段１６は、第３図に平面図で示すように
なっている。回動腕１７に支持された一対の把持体１８
は、内蔵する電動機１９により回転されるボールねじ２
０に、軸方向移動のスライド軸受２１を介し共に内方に
挾持するように、又は外方に開放するように移動される
。ボールねじ２０は両側が逆ねじに形成されである。

上記挾付け係止手段２３を第４図に側面図で示す。

２４は各把持体１８の外側部に設けられた保合＠１８ａ
に係止する挾付けローラ、２５はボルト２６により受止
め体２２に可動に取付けられた保持金具で、支持ピン２
フを介しローラ２４を回動自在に支持している。２８は
ボルト２６にはめられた圧縮ばねで、ローラ２４をＸ方
向に内方への押圧力を与えている。

上記一実施例の装置の動作は、次のようになる。

前の処置装置から把持体１８で把持したウェーハｌを、
ちりが付着しないようにウェーハ把持手段１６の回動腕
１７−を上方に回動して垂直姿勢にする。両把持体１８
は挾付け係止手段２３により一定の力で９エーハ１を把
持している。この状態では、外部から電源の供給がなく
ても維持される。ＩＪ　＝アモータ１２を作動し移動体
１１をＸ方向に移動し、処理装置２のロード用ベルト手
段３前で停止させる。

この停止位置では、固定側接点３４に可動側接点３３が
接触し、各電動機１５　、１９への制御装置からの回路
が通じる。これにより、電動機１５が作動し回動腕ｌフ
をストッパ３０　Ｋよる受止めに抗し水平方向に回動さ
せる。同時に把持体１８の挾付け係止手段２３による係
合も外される。

把持体１８がほぼ水平位置になると、９エーハ１はベル
ト手段ｓ上に至る。ここで、両把持体１８を開いてウェ
ーハｌをベルト手段３上に移載する。

電動機１５を前とは逆回転させ回動腕１フを上方に回動
させ、はぼ垂直の位置に復帰させると、ストッパ３０に
永久磁石３１を介し受止められる。この回動腕ｌフの回
動開始後、両把持体１８は閉じる側に間隔が縮められる
。リニアモータ１２により移動体１１をベルト手段４前
に移動しておく。

処理を終えベルト手段４で取出されたウェーハ１は、次
のように移送される。移動体１１の停止位置では固定側
接点３３に可動側接点３２が接触しておシ、外部の制御
回路が通じ、その制御操作で電動機１５により回動腕１
フが下方に回動され、ストッパ３０による受止めが外れ
るとともに、両把持体１８の間隔が広げられる。回動腕
１フが水平位置に至ると停止され、両把持体１８を閉じ
ウェーハユを両側から把持する。つづいて、電動機１５
の逆回転により回動腕１フを上方に回動し、ストッパ３
０に永久磁石３１を介し吸着保持させるとともに、両把
持体１８を両挾付け係止手段２３により侠付けを維持す
る。この状態で、リニアモータ１２を作動し移動体１１
を次の処理装置へ移動する。

なお、上記実施例では、９工−ハ把持手段１６は、把持
体１８を電動機１９によりボールねじ２０とスライド軸
受２１を介し開閉させたが、ＩＩｔ磁石装置などによっ
てもより０〔発明の効果〕以上のように、この発明によれば、走行路側に一次側を
設け、走行路上の移動子側に二次側を設けてリニアモー
タを構成し、移動体にウェーハ把持手段と、このウェー
ハ把持手段の上方回動位置で、ウェーハを把持した両把
持体に挟持を維持させる挾付け係止手段を設け、ウェー
ハ把持手段の操作電動機からの可動側接点を移動体に設
け、移動体の所定停止位置で上記可動側接点に接触され
る固定側接点を走行路に配設し、移動体の停止位置で外
部の制御装置［ｃ通じるようにしたので、移動体にケー
ブルを引き回して接続することなく動作され、ケーブル
の移動やこすれによるほこりの発生がなくされ、ウェー
ハの品質が向上され、また、走行路の経路の曲がυなど
の自由度が向上される。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による半導体９エーハ移送装置の一実
施例を示す斜視図、第２図及び第３図は第１図の装置の
正面図及び平面図、８ｇ４図は＃！２図の挾付け係止手
段の側面図、第５図は従来の半導体ウェーハ移送装置の
斜視図である。ｌ・・・牛導体ウェーハ、１０・・・走行路、１１・・
・移動体、１２・・・リニアモータ、　１３・・・固定
子、１４・・・移動子、１６・・・回動用電動機、１６
・・・ウェーハ把持手段、ｌ’／・・・回動腕、１８・
・・把持体、１８ａ・・・係合溝、１９・・・電動機、
２０・・・ボールねじ、２１・・・スライド軸受、２２
・・・受止め体、２３・・・挾付け係止手段、２４・・
・Ｏ−ラ、２５・・・支持金具、２８・・・ばね部材、
３１・・・車輪、３３・・・、可動側接点、３４・・・
固定側接点なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示
す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）走行路、この走行路上に沿い複数の車輪を介し移
動される移動体、上記走行路に装着された一次側の固定
子と、この固定子の上方に対応し上記移動体の下部に設
けられ、移動体を走行路に沿い移動させる二次側の移動
子とからなるリニアモータ、上記移動体上に取付けられ
た回動用電動機、Ｌ字状をなし一端が上記電動機の軸端
に固着され水平方向から上方に垂直方向の往復回動がさ
れる回動腕と、この回動腕の軸方向辺部に軸方向に開閉
可能に支持された一対の把持体と、上記回動腕の軸方向
辺部に装着されており、上記両把持体を閉じさせ水平位
置の半導体ウェーハを両側から把持させ、上記両把持体
を開かせることにより半導体ウェーハを離させる把持体
開閉機構とからなるウェーハ把持手段、上記移動体上の
両端部に固着され上方に出された一対の受止め体、これ
ら受止め体の上部内方に対向して装着され、上記上方に
回動されたウェーハ把持手段の各把持体の外側部に形成
された係合溝に係合し、両把持体を内方に押圧し、ウェ
ーハ把持を維持させる挾付け係止手段、上記移動体に取
付けられ、上記回動用電動機及び把持体開閉機構の駆動
源へ接続された可動側接点、上記移動体の所定停止位置
ごとに、上記各可動側接点に対応し上記走行路上に配設
されてあり、外部の制御装置に接続された固定側接点を
備え、上記移動体が所定停止位置に至ると、上記各可動
側接点が各固定側接点に接触し、上記ウェーハ把持手段
が操作されるようにしたことを特徴とする半導体ウェー
ハ移送装置。
（２）ウェーハ把持手段の把持体開閉機構は、電動機に
よりボールねじを回転させ、スライド軸受を介し双方の
把持体を開閉移動させるようにした特許請求の範囲第１
項記載の半導体ウェーハ移送装置。
（３）挾付け係止手段は、受止め体に内方への移動可能
に支持されており、上方の回動位置の把持体の係合溝に
係合するローラと、このローラを内方へ押圧するばね部
材とからなる特許請求の範囲第１項又は第２項記載の半
導体ウェーハ移送装置。