CN111473039A - 柔性面板整平装置以及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种柔性面板整平装置及方法，该装置包括：由底板与顶板对合并形成的载台及吸气组件；底板朝向顶板的面设置有嵌套布置的若干凹槽，以基于凹槽围合形成若干隔离的气腔，吸气组件与气腔连通；顶板形成嵌套布置的若干主吸附区，每个主吸附区从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔，气腔与主吸附区一一对应配置，且每个主吸附区对应配置的气腔之间相互独立。通过本发明所揭示的柔性面板整平装置及其方法，可对放置在载台上的柔性面板等待吸附组件自内围向外围实现逐步吸附，并提高了载台对柔性面板吸附固定过程中可靠性，有效地克服了柔性面板的内侧及边缘发生翘起或者吸附力不均匀等技术缺陷。

Description

柔性面板整平装置以及方法

技术领域

本发明涉及自动化设备技术领域，尤其涉及一种柔性面板整平装置以及方法。

背景技术

柔性面板具有轻薄，柔软的特性。基于该特性，柔性面板容易变形，无法自然展平。加工柔性面板之前，需要整平柔性面板直至柔性面板平整地位于载台上。整平方式如下：载台分布有若干尺寸一致的吸附孔。将柔性面板放置于载台后，若干吸附孔同时吸附柔性面板。吸附后还需要通过滚筒进一步整平柔性面板。具体地，滚筒以滚动的方式按压柔性面板。存在的问题是：柔性面板仍然容易存在不平整的问题，且滚筒压向表面不平整的柔性面板容易损坏柔性面板。

有鉴于此，有必要对现有技术中的对柔性面板等待吸附固定的组件的平整装置予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术所存在的缺陷，提高对柔性面板等待吸附组件吸附固定效果，防止柔性面板的内侧及边缘的发生翘起的现象。

为实现上述目的，本发明提供了一种柔性面板整平装置，包括：由底板与顶板对合并形成的载台及吸气组件；所述底板朝向顶板的面设置有嵌套布置的若干凹槽，以基于所述凹槽围合形成若干隔离的气腔，所述吸气组件与气腔连通；所述顶板形成嵌套布置的若干主吸附区，每个主吸附区从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔，所述气腔与所述主吸附区一一对应配置，且每个主吸附区对应配置的气腔之间相互独立。

作为本发明的进一步改进，所述主吸附区的数量为至少两个，至少两个所述主吸附区在从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔，每个主吸附区中相同孔面积的吸附孔相对于载台的中轴线呈轴对称分布。

作为本发明的进一步改进，所述凹槽的底部具有通气孔，所述通气孔与所述吸气组件连通；每个主吸附区对应的凹槽的底部所开设的通气孔靠近孔面积最大的吸附孔设置。

作为本发明的进一步改进，所述通气孔相对于载台的中轴线呈对称分布，并分别与相互独立的气腔连通。

作为本发明的进一步改进，包含所述顶板的中心区域的所述主吸附区配置的通气孔位于所述底板的中心位置，位于包含所述顶板的中心区域的主吸附区外围的主吸附区形成有周向间隔分布的至少两个通气孔。

作为本发明的进一步改进，各个主吸附区所设置的吸附孔所形成的孔面积的排布顺序均相同，且相对于载台的中轴线呈轴对称分布。

作为本发明的进一步改进，所述顶板还具边缘吸附区，所述边缘吸附区位于所述顶板周边外围区域，所述边缘吸附区形成吸附柔性面板边缘的若干边缘吸附孔。

作为本发明的进一步改进，所述柔性面板整平装置还包括：机架，平整度检测器和拉平组件；

所述平整度检测器和所述拉平组件均安装于所述机架；

所述拉平组件包括吸盘或者气爪，以通过所述拉平组件夹持所述柔性面板相对的边缘，并拉平所述柔性面板。

基于上述第一个发明创造所揭示的发明思想，本申请还揭示了一种柔性面板整平方法，

使用如上述任一项发明创造所述的柔性面板整平装置对柔性面板进行整平，所述柔性面板整平方法包括：

将柔性面板放置于所述顶板；

启动所述吸气组件，按照从内围至外围的顺序，依次对各个主吸附区配置的气腔抽气，以通过所述顶板形成嵌套布置的若干主吸附区逐步吸附柔性面板。

作为本发明的进一步改进，所述柔性面板整平方法还包括：

使用平整度检测器对吸附至顶板上的柔性面板进行平整度检测，在平整度检测器检测到柔性面板触发报警信号时，通过所述拉平组件对柔性面板执行拉平处理。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

通过本发明所揭示的柔性面板整平装置及其方法，可对放置在载台上的柔性面板等待吸附组件自内围向外围实现逐步吸附，并提高了载台对柔性面板吸附固定过程中可靠性，有效地克服了柔性面板的内侧及边缘发生翘起或者吸附力不均匀等技术缺陷。

附图说明

图1为本发明一种柔性面板整平装置的立体图；

图2为图1所示出的柔性面板整平装置的载台的立体图；

图3为示出载台的中轴线的示意图；

图4为图2在I处的局部放大图；

图5为图1所示出的柔性面板整平装置的底板的结构图。

具体实施方式

下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本发明的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本发明的保护范围之内。

在本发明各个实施例的描述过程中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或者两个以上，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“两侧”、“前方”、“后方”等指示方位及空间位置关系均基于说明书附图所示出的位置及空间关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，并不是指示或者暗示所示出的组件、装置或者其他结构必须具有特定的方向、以特定的方式构造和操作，因此不能构成对发明的限制。

申请人指出，本申请所示各实施例中所涉及的柔性面板包括但不限于OLED面板、基板玻璃、LED面板、LCD面板、ITO导电玻璃、偏光片、背光板、偏光板、EVA薄膜、光伏组件、晶圆(Wafer)、有机玻璃等，且载台40的形状大于或者等于柔性面板等待吸附组件的轮廓。

实施例一：

请参图1至图5所揭示的本发明一种柔性面板整平装置的一种具体实施方式。

如图1与图2所示，该柔性面板整平装置100，包括：由底板41与顶板42对合并形成的载台40及吸气组件(未示出)。底板41朝向顶板42的面设置有嵌套布置的若干凹槽412a～412c，以基于凹槽412a～412c围合形成若干隔离的气腔，吸气组件与气腔连通。顶板42形成嵌套布置的若干主吸附区，每个主吸附区从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔421a、421b、4221，气腔与主吸附区421a～421b一一对应配置，且每个主吸附区421a～421b对应配置的气腔之间相互独立。底板41和顶板42可由铝合金或者不锈钢等材质制成。

优选地，底板41和顶板42可以均为矩形板，与待吸附的柔性面板的形状及面积相适应。作为本实例的合理变形，该底板41和顶板42可以均为圆形板、菱形板等轴对称形状。

如图5所示，底板41朝向顶板42的面设置有三个嵌套设置并彼此隔离横向隔离的凹槽412a、凹槽412b及凹槽412c。当底板41与顶板42对合后，可通过上述三个凹槽形成三个独立的气腔，每个气腔分别与顶板42形成嵌套布置的一个或者多个主吸附区所设置的吸附孔连通。顶板42所形成的嵌套布置的若干主吸附区分别与前述气腔匹配设置，即每个主吸附区所形成的所有吸附孔仅与一个独立的气腔连通，并能够通过吸气组件分别独立控制气腔形成真空或者接近的真空的负压状态，以实现从内围向外围的方向逐步吸附柔性面板。当柔性面板放置于顶板42上时，启动吸气组件，对上述三个独立的气腔按照由内围向外围的方向分别抽吸气腔中的空气，以形成真空或者接近的真空的负压状态，从而通过密集排布的吸附孔和/或外围吸附孔对柔性面板实现可靠吸附。

如图2所示，顶板42嵌套布置的主吸附区421a与主吸附区421b，主吸附区421b围合在主吸附区421a的外围，当然该顶板42也可仅形成一个主吸附区421a。主吸附区421a与主吸附区421b均分布有吸附孔。在从内围至外围(沿图2中A向)的方向上，同一个主吸附区421所设置的吸附孔的孔面积均依次减小。凹槽412a与主吸附区421a对应设置，凹槽412b与主吸附区421b对应设置，凹槽412c与外围吸附区422对应设置。当然，该顶板42也可仅设置一个主吸附区421a，也设置如图2所示的形态，以形成嵌套布置的主吸附区421a与外围吸附区422。

作为本实施例的合理变形，该主吸附区421的数量可以为三个、四个或者更多，各主吸附区421相互套设，且每个主吸附区中可从内围至外围的顺序依次设置孔面积逐渐减小的吸附孔。每个主吸附区中相同孔面积的吸附孔相对于载台40的中轴线D呈轴对称分布，由此使得载台40的顶板42在吸附柔性面板的过程中能够通过对称区域中的相同孔面积的吸附孔所形成的吸附力趋于均匀，从而进一步起到对柔性面板进行吸附过程中的可靠性，以实现柔性面板从中心向边缘的方向实现逐级吸附，提高了吸附过程的可靠性，并能够有效避免柔性面板在吸附过程中的横向受力不均匀的现象，既保证了吸附效果，又降低了吸附过程对柔性面板所造成的应力损伤，提高了产品良率。

具体的，在本实施例中，主吸附区421a从内围至外围的方向上设置孔面积最大的若干吸附孔4210a，孔面积较小的若干吸附孔4220a及孔面积最小的若干吸附孔4230a，并且吸附孔4210a、吸附孔4220a及吸附孔4230a均相对于中轴线D(参图3所示)呈轴对称分布。同理所述，主吸附区421b从内围至外围的方向上设置孔面积最大的若干吸附孔4210b，孔面积较小的若干吸附孔4220b及孔面积最小的若干吸附孔4230b，并且吸附孔4210b、吸附孔4220b及吸附孔4230b均相对于中轴线D(参图3所示)呈轴对称分布。顶板42所设置的各种尺寸的吸附孔相对于中轴线D呈轴对称分布，从而在同一个主吸附区中基于三种不同尺寸的吸附孔形成三个嵌套布置的子吸附区。

参图2与图4所示，在本实施例中，从内围至外围的方向上，主吸附区421a的3个子区域依次为由若干孔面积最大的吸附孔4210a所组成的第一级子区域4211a；由若干孔面积较小的吸附孔4220a所组成的第二级子区域4212a，且第二级子区域4212a围合设置在第一级子区域4211a的外围；由若干孔面积最小的吸附孔4230a所组成的第三级子区域4213a，且第三级子区域4213a围合设置在第二级子区域4212a的外围。同理所述，嵌套设置在主吸附区421a外围的主吸附区421b中的吸附孔所形成的孔面积的排布顺序也相同。具体的，在从内围至外围的方向上，主吸附区421b的3个子区域依次为由若干孔面积最大的吸附孔4210b第一级子区域4211b；由若干孔面积较小的吸附孔4220b所组成的第二级子区域4212b，且第二级子区域4212b围合设置在第一级子区域4211b的外围；由若干孔面积最小的吸附孔4230b所组成的第三级子区域4213b，且第三级子区域4213b围合设置在第二级子区域4212b的外围。

吸附孔4210a～4230a、吸附孔4210b～4230b及下文所提及的边缘吸附4221优选为圆孔，且最大的圆孔直径不超过1mm。此时，在从内围至外围的方向上，同一个主吸附区421的至少两个子区域内的吸附孔的孔面积依次减小，体现为吸附孔的孔径依次减小。作为本实施例的合理变形，上述一种或者几种吸附孔也可以为矩形孔、菱形孔、腰型孔等。

参图5所示，底板41面向顶板42的一面凸伸设置凸肋，并由凸肋形成多个闭合形状，以由所述呈闭合形状的凸肋形成三个闭合形状的隔离件，从而在由内围向外围的方向上形成凹槽412a、凹槽412b及凹槽412c，且彼此嵌套设置。围合形成凹槽412a的隔离件的面向顶板42的顶部嵌设一圈密封圈413a，围合形成凹槽412b的隔离件的面向顶板42的顶部嵌设一圈密封圈413b，围合形成凹槽412c的隔离件的面向顶板42的顶部嵌设一圈密封圈413c。当底板41与顶板42对合并以形成载台40的过程中，可分别通过上述密封圈413a、密封圈413b及密封圈413c分别保证凹槽412a、凹槽412b及凹槽412c所形成的三个气腔相互独立并保证各气腔的密封性。内围的主吸附区421a吸附柔性面板内围区域之后，位于外围的主吸附区421b吸附柔性面板内围外圈区域。从内围至外围分区域吸附柔性面板，使得整平柔性面板的效果更佳。具体吸附及整平的实现过程参下文所示。

参图2及图4所示，在本实施例中，为了提高柔性面板边缘处的吸附整平效果并防止柔性面板的边缘发生翘起，顶板42还具有位于主吸附区421外围的边缘吸附区422，边缘吸附区422位于顶板42周边外围区域。边缘吸附区422形成吸附柔性面板边缘的若干边缘吸附孔4221。为保证吸附过程中受力更为均匀，还可进一步地将若干边缘吸附孔的4221以相对于中轴线D(参图3所示)呈轴对称分布的形式予以设置。当然，该边缘吸附区422所设置的若干边缘吸附孔4221也可按照位于内围的主吸附区421a或者主吸附区421b中相似的技术方案设置从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个边缘吸附孔。对于在自然状态下，呈现中间区域凹凸不平，四边翘起的柔性面板，其边缘区域容易翘起。本实施例针对其边缘区域增设边缘吸附区422之后，能够有效保证其边缘区域不易翘起，进一步提高了该柔性面板整平装置100对柔性面板的吸附及整平效果。

为了在相互独立的气腔形成真空或者接近真空状态，底板41具有通气孔，通气孔与吸气组件连通。每个主吸附区对应的底板所开设的通气孔靠近孔面积最大的吸附孔设置。通气孔相对于载台40的中轴线D呈对称分布，并分别与相互独立的气腔连通。具体的，在本实施例中，包含顶板42的中心区域的所述主吸附区配置的通气孔位于底板41的中心位置，位于包含所述顶板42的中心区域的主吸附区外围的主吸附区形成有周向间隔分布的至少两个通气孔。

具体的，如图5所示，底板41中的凹槽412a的底部具有通气孔411a，通气孔411a通过气管接头及气管(未示出)与吸气组件连接。凹槽412b的底部具有环形分布的四个通气孔411b，通气孔411b通过气管接头及气管(未示出)与吸气组件连接。凹槽412c的底部具有环形分布的四个通气孔411c，通气孔411b通过管接头及气管(未示出)与吸气组件连接。四个通气孔411b及四个通气孔411c均相对于载台40的中轴线D呈轴对称分布。

如图4及图5所示，位于最内围的主吸附区421a配置的通气孔411a位于底板41的中心位置。通气孔411a开设于主吸附区421a对应的底板41的中心位置，并靠近孔面积最大的吸附孔4210a设置。因此，主吸附区421a中第一级子区域4211a所包含的多个孔面积最大的若干吸附孔4210a，并均相对于载台40的中轴线D呈对称分布。此时，通气孔411a与第二级子区域4212a中孔面积较小的吸附孔4220a之间的距离相对较远；且通气孔411a与第三级子区域4213a中孔面积最小的吸附孔4230a之间的距离最远。因此，当启动吸气组件为主吸附区421a配置的气腔抽气时，主吸附区421a的第一级子区域4211a、第二级子区域4212a以及第三级子区域4213a的吸附孔的吸附力依次减小。

位于主吸附区421a外围的主吸附区421b呈矩形环状结构。主吸附区421b的通气孔411b的数量可以为四个，四个通气孔411b与主吸附区421b的第一级子区域4211b正对设置。通气孔411b靠近主吸附区421b中空面积最大的吸附孔4210b设置。因此，四个通气孔411b靠近主吸附区421b的第一级子区域4211b中孔面积最大的吸附孔4210b设置，并均相对于载台40的中轴线D呈对称分布。此时，通气孔411b与第二级子区域4212b中孔面积较小的吸附孔4220b之间的距离相对较远；且通气孔411b与第三级子区域4213b中孔面积最小的吸附孔4230b之间的距离最远。因此，当启动吸气组件为主吸附区421b配置的气腔抽气时，主吸附区421b的第一级子区域4211b、第二级子区域4212b以及第三级子区域4213b的吸附孔的吸附力依次减小。作为本实施例的合理变形，当载台40整体为圆形时，可将多个通气孔411b设置为环形等间距设置，以进一步使得第一级子区域4211b、第二级子区域4212b以及第三级子区域4213b的吸附孔的吸附力进一步保持一致。

启动吸气组件之后，能够更容易保证大的吸附孔产生较强的吸附力，小的吸附孔产生较弱的吸附力。因此，当柔性面板放置在载台40上并启动吸气组件后，能够使得柔性面板在主吸附区421a及主吸附区421b各自形成的多个子区域中按照由内围向外围的方向顺次吸附在顶板42的表面，从而使得本实施例所揭示的柔性面板整平装置100能够对柔性面板从内围至外围分区域吸附，从而提高了吸附及整平效果。当然，若边缘吸附区422中也设置孔面积存在差异的若干圈边缘吸附孔4221时，可将参比上述手段，将通气孔411c靠近孔面积最大的边缘吸附孔4221的形式予以设置。

如图1所示，柔性面板整平装置100还包括机架10，平整度检测器20和拉平组件30。平整度检测器20和拉平组件30均安装于机架10。载台40安装于基座(图中未显示)，机架10也安装于基座，在切割柔性面板的过程中，基座与机架10的位置固定，载台40能够相对于基座沿图1中C方向作纵向运动。平整度检测器20可采用激光位移传感器或者其他现有技术中能够用于检测被顶板42吸附后的柔性面板在垂直方向上凸出部分的传感器。平整度检测器20可随机架10的水平移动，对柔性面板的平整度进行连续检测。当柔性面板未被有效地吸附在载台40上时，可通过该平整度检测器20发出报警或者反馈信号，以驱动第一电磁阀、第二电磁阀或者第三电磁阀分别增加主吸附区421a、主吸附区421b或者边缘吸附区422对柔性面板所产生的吸附力或者重新破真空后吸附一次以彻底解决柔性面板局部区域凹凸不平或者四边翘起的问题，并有利于对柔性面板实现连续可靠的整平作业。

拉平组件30可吸盘、气爪或者现有技术中能够实现相同或者相似功能的装置，以通过该拉平组件30夹持柔性面板相对的边缘，并拉平该柔性面板。当拉平组件30选用气爪的实例时，可通过至少两个气爪31用于夹持柔性面板相对的边缘，并拉平柔性面板。至少两个气爪31对柔性面板产生横向的水平作用力。顶板42吸附柔性面板之后，可通过两个拉平组件30对柔性面板进一步调平，进一步提高本实施例柔性面板整平装置100的调平效果。

具体地，机架10包括横梁12和两根竖直柱11，两根竖直柱11分别连接在横梁12的两端，且横梁12与两根竖直柱11围成供载台40等组件横向运动的工作区域13。载台40位于工作区域13中。平整度检测器20安装于直柱11上。两根竖直柱11相对的内表面上分别安装有一个气爪31。两个气爪31分别用于夹持柔性面板相对的两边，并且分别横向向外(图1中B向)移动，对柔性面板进行整平。两个气爪31的夹持以及横向移动均可以由气缸驱动，也可以由电动机驱动。同时，平整度检测器20、拉平组件30、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、安装载台40的基座等组件均可通过被上位机予以控制。上位机选自PLC控制系统、工控机或者单片机系统。

在本实施例中，该吸气组件可以选自真空发生器，也可以为其它的吸气装置。吸气组件的数量可以为一个，通过独立的管路分别连接至不同的通气孔411a、通气孔411b及通气孔411c。每个管路上配置一个控制阀，该控制阀可以为电磁阀，其中，主吸附区421a对应的通气孔管路配置的控制阀为第一电磁阀，与主吸附区421b对应的通气孔管路配置的控制阀为第二电磁阀，与边缘吸附区422对应的通气孔管路配置的控制阀为第三电磁阀。

与现有技术相比，本实施例的柔性面板整平装置100的有益效果是：给同一个主吸附区421的至少两个子区域配置相同的吸气压力后，面积较大的吸附孔产生的吸附力较强，面积较小的吸附孔产生的吸附力较弱。柔性面板放置于载台40的顶板42上面之后，通过吸气组件对凹槽412内形成的气腔进行抽吸形成真空或者接近真空状态。由于主吸附区421a与凹槽412a对应设置，主吸附区421b与凹槽412b对应设置，边缘吸附区422与凹槽412c对应设置，因此可通过分布于主吸附区的至少两个子区域内的吸附孔所产生的吸附力吸附柔性面板。

同时，沿内围至外围(图2中A向)的方向上，通过将主吸附区421a及主吸附区421b内的吸附孔的孔面积设计为依次减小，从而使得柔性面板在从中心至边缘的方向受到的吸附力依次均匀地减弱，也即实现了本发明的柔性面板整平装置100对柔性面板由中心向边缘方向的依次吸附的技术效果，有利于提高柔性面板的整平效果。本实施例所揭示的柔性面板整平装置100具有整平效果好的优点，特别是针对在自然状态下，能够对呈现中间区域凹凸不平和/或四边翘起的柔性面板起到良好的吸附固定与整平处理效果。

实施例二：

基于实施例一所揭示的柔性面板整平装置，本实施例还揭示了使用实施例一所示技术方案对柔性面板进行平整的方法，该方法包括以下步骤。

步骤一：将柔性面板放置于顶板42。

步骤二：启动所述吸气组件，按照从内围至外围的顺序，依次对各个主吸附区配置的气腔抽气，以通过所述顶板42形成嵌套布置的若干主吸附区逐步吸附柔性面板。

具体的，启动吸气组件，按照从内围至外围的顺序，依次给各个主吸附区421a及主吸附区421b配置的气腔抽气，主吸附区421a与主吸附区421b之间停顿一段时间，以防止当位于内围的主吸附区421a尚未完全吸附柔性组件时，位于外围的主吸附区421b同时吸附柔性面板而导致柔性面板局部出现凹凸不平的现象。相邻的主吸附区421配置的气腔之间停顿一段抽气时间，能够使得柔性面板按照从内围至外围的顺序依次与载台40的顶板42贴合，直至完全贴合，进一步提高对柔性面板的整平效果。

具体地，先启动第一电磁阀并通过与第一电磁阀连接的通气孔管路通过通气孔411a对凹槽412a形成的气腔抽吸至真空状态，使得主吸附区421a吸附柔性面板最内围区域，以通过主吸附区421a设置的主吸附孔4210a～4230a对柔性面板进行吸附。主吸附区421a吸附完毕之后，停顿1～2秒，启动第二电磁阀并通过与第二电磁阀连接的通气孔管路通过四个通气孔411b对凹槽412b形成的气腔抽吸至真空状态，主吸附区421b吸附柔性面板外围区域，以通过主吸附区421b设置的主吸附孔4210b～4230b对柔性面板进行吸附。在主吸附区421b对柔性面板进行吸附的同时，位于内围的主吸附区421a依然保持对柔性面板的吸附。主吸附区421b吸附完毕之后，停顿1～2秒，打开第三电磁阀并通过与第三电磁阀连接的通气孔管路通过四个通气孔411c对凹槽412c形成的气腔抽吸至真空状态，边缘吸附区422吸附柔性面板的边缘区域，此时位于内围主吸附区421a及主吸附区421b均依然保持对柔性面板的吸附。

优选的，在本实施例中，还方法还包括步骤三。

步骤三：使用平整度检测器20对吸附至顶板42上的柔性面板进行平整度检测，在平整度检测器20检测到柔性面板触发报警信号时，通过所述拉平组件30对柔性面板执行拉平处理。上述报警信号可由于柔性面板的局部出现凹凸不平和/或边缘翘起等缺陷所导致。

平整度检测器20检测柔性面板的平整度，如果检测结果为不平整，两个气爪31夹持柔性面板的相对的边缘并拉平柔性面板。

拉平组件30对柔性面板执行拉平处理后，使用平整度检测器20再次检测柔性面板的平整度，如果检测结果仍然为不平整，则报警装置发出报警信号，工作人员检查是否是柔性面板表面存在颗粒导致。平整度检测器20检测的次数可以为多次，两个气爪31可以多次对柔性面板进行拉平，具体检测以及拉平的次数根据实际情况而定。

本实施例所是示出的柔性面板整平装置的技术方案，请参实施例一所述，在此不再赘述。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种柔性面板整平装置，其特征在于，包括：由底板与顶板对合并形成的载台及吸气组件；所述底板朝向顶板的面设置有嵌套布置的若干凹槽，以基于所述凹槽围合形成若干隔离的气腔，所述吸气组件与气腔连通；所述顶板形成嵌套布置的若干主吸附区，每个主吸附区从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔，所述气腔与所述主吸附区一一对应配置，且每个主吸附区对应配置的气腔之间相互独立。

2.根据权利要求1所述的柔性面板整平装置，其特征在于，所述主吸附区的数量为至少两个，至少两个所述主吸附区在从内围至外围的方向上形成孔面积依次减小并与气腔连通的多个吸附孔，每个主吸附区中相同孔面积的吸附孔相对于载台的中轴线呈轴对称分布。

3.根据权利要求1所述的柔性面板整平装置，其特征在于，所述凹槽的底部具有通气孔，所述通气孔与所述吸气组件连通；每个主吸附区对应的凹槽的底部所开设的通气孔靠近孔面积最大的吸附孔设置。

4.根据权利要求3所述的柔性面板整平装置，其特征在于，所述通气孔相对于载台的中轴线呈对称分布，并分别与相互独立的气腔连通。

5.根据权利要求4所述的柔性面板整平装置，其特征在于，包含所述顶板的中心区域的所述主吸附区配置的通气孔位于所述底板的中心位置，位于包含所述顶板的中心区域的主吸附区外围的主吸附区形成有周向间隔分布的至少两个通气孔。

6.根据权利要求1所述的柔性面板整平装置，其特征在于，各个主吸附区所设置的吸附孔所形成的孔面积的排布顺序均相同，且相对于载台的中轴线呈轴对称分布。

7.根据权利要求1所述的柔性面板整平装置，其特征在于，所述顶板还具边缘吸附区，所述边缘吸附区位于所述顶板周边外围区域，所述边缘吸附区形成吸附柔性面板边缘的若干边缘吸附孔。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的柔性面板整平装置，其特征在于，所述柔性面板整平装置还包括：机架，平整度检测器和拉平组件；

所述平整度检测器和所述拉平组件均安装于所述机架；

所述拉平组件包括吸盘或者气爪，以通过所述拉平组件夹持所述柔性面板相对的边缘，并拉平所述柔性面板。

9.一种柔性面板整平方法，其特征在于，

使用如权利要求1至8中任一项所述的柔性面板整平装置对柔性面板进行整平，所述柔性面板整平方法包括：

将柔性面板放置于所述顶板；

启动所述吸气组件，按照从内围至外围的顺序，依次对各个主吸附区配置的气腔抽气，以通过所述顶板形成嵌套布置的若干主吸附区逐步吸附柔性面板。

10.根据权利要求9所述的柔性面板整平方法，其特征在于，所述柔性面板整平方法还包括：

使用平整度检测器对吸附至顶板上的柔性面板进行平整度检测，在平整度检测器检测到柔性面板触发报警信号时，通过所述拉平组件对柔性面板执行拉平处理。

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