JP4652177B2 - 半導体装置の製造方法およびその製造方法の実施に用いられる製造装置 - Google Patents
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Description
このとき用いる搬送手段としては、半導体ウェハ(21)の一中心線部分を挟んだ両側部分を持ち上げる持ち上げ部(42)と、持ち上げ部(42)同士の間の位置での半導体ウェハ(21)の変形量を検出することで、半導体ウェハ(21)が一定の方向で反っていることを検出するセンサ(44)とを有するものを採用することが好ましい。
このとき用いるステージ(81)には、その表面(81a)のうち、一定の方向で反った状態を維持させたまま半導体ウェハ(21)を持ち上げられる位置に配置され、少なくとも、ステージ表面と同じ高さの位置から表面から突出する高さの位置の間で可動し、半導体ウェハ(21)を持ち上げるためのピン(82)が設けられていることが好ましい。
図1に、本発明の第1実施形態における半導体装置の断面図を示す。本実施形態では、トレンチゲート構造を有するFS型IGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)の製造方法について説明する。
ここで、ウェハをその直径の両端部分でのみ保持するようにフィンが設けられているキャリアを用いる場合では、ナイフエッジ(ウェハの端部がナイフのように鋭くなっている状態)がフィンに突き刺さり、フィンにささくれが生じることがあった。そして、ウェハをキャリアの内部に挿入する際、ウェハがフィンのささくれに引っ掛かってしまうと、ウェハを挿入する力によって、ウェハが割れてしまうことがあった。
第1実施形態では、保護膜の形成工程内のベーク工程、クーリング工程において、表面31aが平面であるステージ31を用いる場合を説明したが、本実施形態のように、以下に説明するステージを用いることもできる。
(1)図18に他の実施形態におけるウェハの搬送手段を示す。上記した各実施形態では、ウェハ21の搬送手段として、ロボットアーム41を用いる場合を例として説明したが、ロボットアーム41の代わりに、図18に示すように、2つのベルト91を用いて、ウェハ21を搬送することもできる。
31、81…ステージ、32a…第1の吸着孔、32b…第2の吸着孔、
41…ロボットアーム、44…センサ、51…ウェハキャリア、53…フィン、
61…ウェハボート、63…溝。
Claims (14)
- 半導体ウェハを搬送する工程を有する半導体装置の製造方法において、
表面および裏面を有する半導体ウェハ(21)を用意する工程と、
前記表面に垂直な方向での結晶面方位を特定し、前記特定の結晶面方位に対して一定の方向をなすように前記半導体ウェハ(21)を反らす工程と、
前記一定の方向に反った状態を維持しながら前記半導体ウェハ(21)を搬送する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 保持手段の内部に複数の半導体ウェハを収納する工程を有する半導体装置の製造方法において、
表面および裏面の結晶面方位が同一の複数の半導体ウェハ(21)を用意する工程と、
複数の半導体ウェハ(21)における前記表面に垂直な方向での結晶面方位を揃え、かつ、特定の前記結晶面方位に対して一定の方向をなすように前記半導体ウェハ(21)を反らすことで、前記複数の半導体ウェハ(21)を同一の方向に反らす工程と、
複数の半導体ウェハ(21)を内部に保持する保持手段(51、61)を用意する工程と、
同一の方向に反った状態を維持しながら、前記複数の半導体ウェハ(21)を前記保持手段(51、61)まで搬送する工程と、
前記保持手段(51、61)の内部に、同一の方向に反った状態で、前記複数の半導体ウェハ(21)を収納する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 電極を有する複数の半導体素子(24)が形成された半導体ウェハ(21)を用意する工程と、
前記半導体ウェハ(21)に形成された複数の半導体素子(24)の配列方向を特定し、前記特定の配列方向に平行な一定の方向で前記半導体ウェハ(21)を反らす工程と、
前記一定の方向に反った状態を維持しながら、前記半導体ウェハ(21)を搬送する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 電極を有する複数の半導体素子(24)が形成され、かつ、前記複数の半導体素子(24)の配列パターンが同一である複数の半導体ウェハ(21)を用意する工程と、
前記複数の半導体ウェハ(21)における前記半導体素子(24)の配列方向を揃え、かつ、特定の前記配列方向に対して平行な一定の方向で前記半導体ウェハ(21)を反らすことで、前記複数の半導体ウェハ(21)を同一の方向に反らす工程と、
複数の半導体ウェハを内部に保持する保持手段(51、61)を用意する工程と、
同一の方向に反った状態を維持しながら、前記複数の半導体ウェハ(21)を前記保持手段(51、61)まで搬送する工程と、
前記保持手段(51、61)の内部に、同一の方向に反った状態で、前記複数の半導体ウェハ(21)を収納する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記保持手段(51、61)の内部に前記複数の半導体ウェハ(21)を収納する工程では、1枚の前記半導体ウェハを保持する複数の保持部(53、63)が、前記保持手段(51、61)の前面側と奥側に配置されており、前記複数の保持部(53、63)の高さが、一定の方向に反った状態の前記半導体ウェハ(21)を保持できるように調整されている前記保持手段(51、61)を用いることを特徴とする請求項2または4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保持手段(51)の内部に前記複数の半導体ウェハ(21)を収納する工程では、前記半導体ウェハを保持するフィン(53)を有しており、前記フィン(53)の前記半導体ウェハ(21)に対向する面が、所定の幅を有し、円盤形状の前記半導体ウェハ(21)と同程度の曲率である半円の円弧形状であって、前記フィン(53)が前記半導体ウェハ(21)を保持しているとき、前記フィン(53)の前記半導体ウェハ(21)に対向する面の全体が、前記半導体ウェハ(21)と接するように、湾曲している前記保持手段(51)を用いることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体ウェハ(21)を反らす工程では、
表面(31a)上に前記半導体ウェハ(21)が載せられるステージ(31)であって、前記表面(31a)のうち、前記表面(31a)上に搭載される前記半導体ウェハ(21)の一中心線部分に対応して直線状に配置され、前記半導体ウェハ(21)に吸着する第1の吸着部(32a)と、前記半導体ウェハ(21)の前記一中心線部分を除く部分に対応する位置に配置され、前記半導体ウェハ(21)に吸着する第2の吸着部(32b)と、前記第1の吸着部(32a)および第2の吸着部(32b)に前記半導体ウェハ(21)を吸着させた状態から、前記第1の吸着部(32a)のみに前記半導体ウェハ(21)を吸着させた状態に変更する機構とを有する前記ステージ(31)を用い、
前記第1の吸着部(32a)に対して、前記一定の方向が垂直となるように、前記ステージ(31)の表面(31a)上に前記半導体ウェハ(21)を載せ、前記第1の吸着部(32a)および第2の吸着部(32b)に吸着させることで、前記半導体ウェハ(21)を平坦な状態に維持した後、
前記半導体ウェハ(21)を前記第1の吸着部(32a)のみに吸着させることで、前記半導体ウェハ(21)を、前記一定の方向に反らすことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体ウェハ(21)を反らす工程では、
前記ステージ(31)の表面(31a)のうち、前記第1の吸着部(32a)を挟んだ両側に配置され、前記表面(31a)と同じ高さの位置から前記表面(31a)から突出する高さの位置に可動するピン(33)を備える前記ステージ(31)を用いて、前記ピン(33)を前記表面(31a)と同じ高さの位置とした状態で、前記半導体ウェハ(21)を反らし、
前記半導体ウェハ(21)を搬送する工程では、前記ピン(33)を前記表面(31a)から突出させることで、前記半導体ウェハ(21)が前記一定の方向に反った状態を維持しながら、前記半導体ウェハ(21)を前記表面(31a)から持ち上げた後、前記半導体ウェハ(21)を搬出することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体ウェハ(21)を搬送する工程では、前記半導体ウェハ(21)が前記一定の方向で反っていることを検出するセンサ(44)を備える前記半導体ウェハの搬送手段(41、91)を用いて、前記半導体ウェハ(21)を搬送することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体ウェハ(21)を反らす工程の後に、反った状態の前記半導体ウェハ(21)に対応して、表面(81a)が湾曲しているステージ(81)を用い、前記表面(81a)に、前記ステージ(81)に反った状態の前記半導体ウェハ(21)を載せた状態で、前記半導体ウェハ(21)に対して熱処理を施す工程を有することを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 表面(31a)上に半導体ウェハ(21)が載せられるステージ(31)を備える半導体装置の製造装置において、
前記ステージ(31)は、前記表面(31a)のうち、前記表面(31a)上に搭載された前記半導体ウェハ(21)の一中心線部分に対応する位置に直線状に配置され、前記半導体ウェハ(21)に吸着する第1の吸着部(32a)と、
前記半導体ウェハ(21)の前記一中心線部分を除く部分に対応する位置に配置され、前記半導体ウェハ(21)に吸着する第2の吸着部(32b)と、
前記第1の吸着部(32a)および第2の吸着部(32b)に前記半導体ウェハ(21)を吸着させた状態から、前記第1の吸着部(32a)のみに前記半導体ウェハ(21)吸着させた状態に変更する機構とを有していることを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 前記ステージ(31)は、前記表面(31a)のうち、前記第1の吸着部(32a)を挟んだ両側に配置され、少なくとも、前記ステージ表面と同じ高さの位置から前記表面から突出する高さの位置の間で可動し、前記半導体ウェハ(21)を持ち上げるためのピン(33)を備えることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の製造装置。
- 表面(81a)上に半導体ウェハ(21)が載せられるステージ(81)を備える半導体装置の製造装置において、
前記ステージ(81)は、一定の方向で反った状態の半導体ウェハ(21)に対応して、前記表面(81a)が湾曲しており、
前記ステージ(81)の表面(81a)のうち、一定の方向で反った状態を維持させたまま前記半導体ウェハ(21)を持ち上げられる位置に配置され、少なくとも、前記ステージ表面と同じ高さの位置から前記表面から突出する高さの位置の間で可動し、前記半導体ウェハ(21)を持ち上げるためのピン(82)を備えることを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 複数の半導体ウェハ(21)を内部に保持する保持手段(51)において、
1枚の前記半導体ウェハを保持する保持部としての複数のフィン(53)が、前記保持手段(51)の前面側と奥側に配置されており、前記複数のフィン(53)の高さが、一定の方向に反った状態の前記半導体ウェハ(21)を保持できるように調整されており、
奥側に位置する前記フィン(53b)は、前記半導体ウェハ(21)に対向する面が、所定の幅を有し、円盤形状の前記半導体ウェハ(21)と同程度の曲率である半円の円弧形状であって、前記半導体ウェハ(21)の挿入方向に進むにしたがって、前面側に位置する前記フィン(53a)よりも下側に徐々に下がるように湾曲しており、
前記フィン(53)が前記半導体ウェハ(21)を保持しているとき、前面側および奥側の前記フィン(53a、53b)の前記半導体ウェハ(21)に対向する面の全体が、前記半導体ウェハ(21)と接するようになっていることを特徴とする半導体ウェハの保持手段。
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