KR100245647B1 - 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼 - Google Patents

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Abstract

이송되어온 웨이퍼가 소정위치에 선택적으로 정지되도록 하는 웨이퍼 스토퍼에 관한 것이다.
본 발명은 일측에 개구부(11c)를 갖는 내부공간부(11a)가 형성된 몸체(11)와, 상기 몸체의 내부공간부에 상,하이동가능하게 설치된 이송유니트(13)와, 상기 몸체의 일측에 설치되어 몸체내의 이송유니트를 상,하이동시키는 실린더(12)와, 상기 몸체를 관통하여 이송유니트에 고정되고 외부로 노출된 타단에 스토퍼핀(15)이 고정된 고정바(14)와, 상기 이송유니트가 외부로 노출되지 않도록 몸체의 개구부(11c)를 덮는 커버(16)로 구성된 것이다.
따라서 몸체 내부에 설치된 이송유니트가 외부로부터 차단됨으로써 이물질의 침투를 방지할 수 있고, 이로써 이송유니트의 원활한 동작이 지속적으로 이루어져 설비의 오동작으로 인한 설비고장 및 웨이퍼 손상이 방지되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼{Wafer stopper for semiconductor manufacturing facilities}
본 발명은 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이송되어온 웨이퍼가 소정위치에 정지되도록 하는 웨이퍼 스토퍼에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼 스토퍼는 반도체 제조설비에 설치되어 공정을 위해 이송되어지는 웨이퍼가 소정위치에서 멈추도록 하는 것으로, 예를 들면 웨이퍼를 한 장씩 공급시켜 지정된 장소에서 회전시키면서 현상공정을 수행하는 현상설비의 경우 웨이퍼 스토퍼를 지정장소에 설치함으로써 이송수단으로부터 한 장씩 공급되어지는 웨이퍼를 지정위치에 정지시켜 공정이 수행되도록 하는 것이다.
도1은 상기와 같은 종래의 웨이퍼 스토퍼를 나타낸 것으로, 몸체(1)의 일측에 솔레노이드를 이용한 실린더(2)가 설치되어 있고, 이 실린더(2)의 로드(2a)는 몸체(1)의 관통구멍(1a)에 설치된 이송유니트(3)에 고정되어 있다.
따라서 실린더(2)의 구동으로 로드(2a)가 상,하이동하면 이에 고정된 이송유니트(3)도 몸체(1)내에서 관통구멍(1a)을 따라 상,하이동하게 된다.
또한 이송유니트(3)에는 고정바(4)가 설치되어 함께 이동하도록 설치된 것으로, 이 고정바(4)는 몸체(1)를 관통하여 일단이 외부로 노출되어 있으며, 노출된 고정바(4)의 일단에는 스토퍼핀(5)이 고정되어 있다. 따라서 실린더(2)의 동작으로 이송유니트(3), 고정바(4) 및 스토퍼핀(5)이 함께 상,하이동하도록 된 것이고, 고정바(4)가 관통하는 몸체(1)의 일측에는 고정바(4)의 상,하이동이 가능하도록 가이드구멍(1b)이 형성된 구성이다.
이러한 구성의 웨이퍼 스토퍼는 웨이퍼의 이송라인에 설치되어 선택적으로 웨이퍼를 지정장소에 정지시킬 수 있도록 된 것이다. 즉 도2에 도시된 바와 같이 웨이퍼 스토퍼의 스토퍼핀(5)이 웨이퍼(6)의 이송라인(7)에 하부로부터 업,다운(Up/Down)되도록 설치되어 실린더(2)의 구동으로 스토퍼핀(5)이 실선상태와 같이 다운위치에 있을 때에는 웨이퍼(6)의 이송이 가능해지고, 실린더(2)의 구동으로 스토퍼핀(5)이 가상선상태와 같이 업위치에 있을 때에는 웨이퍼(6)가 스토퍼핀(5)에 의해 걸려 이송하지 못하고 정지하게 되는 것이다.
그러나 상기와 같은 종래의 웨이퍼 스토퍼는 이송유니트(3)가 외부로 노출되도록 관통구멍(1a)에 설치된 것이므로 외부로부터 이물질이 침투하여 몸체(1)와 이송유니트(3) 사이에 끼여 쌓이게 되고, 이로써 이송유니트(3)의 업,다운동작이 원활하지 못하여 설비의 오동작을 유발하므로 공정불량 및 웨이퍼손상 등을 초래하게 되고, 현상설비의 경우 현상액에 의해 오염되어 동작불량이 더욱 심한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 실린더의 구동에 따라 상,하 이동하는 이송유니트가 외부로 노출되지 않도록하여 외부로부터 이물질이 침투하는 것을 방지함으로써 이송유니트의 원활한 동작이 유지되도록 한 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼를 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 웨이퍼 스토퍼를 나타낸 사시도이다.
도2는 일반적인 웨이퍼 스토퍼의 동작상태도이다.
도3은 본 발명에 따른 웨이퍼 스토퍼의 사시도이다.
도4는 본 발명에 따른 웨이퍼 스토퍼의 단면구조도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 11 : 몸체 2, 12 : 실린더
3, 13 : 이송유니트 4, 14 : 고정바
5, 15 : 스토퍼핀 6 : 웨이퍼
11a : 내부공간부 11b : 가이드구멍
11c : 개구부 16 : 커버
17 : 스크류
상기의 목적은 일측면이 개방되고 내부공간부가 형성된 몸체와, 상기 몸체의 내부공간부에 상, 하로 이동가능하게 설치된 이송유니트와, 상기 몸체의 일측에 설치되어 몸체내의 이송유니트를 상, 하로 이동시키는 실린더 및 상기 이송유니트에 일단부가 고정되고 그 타단부가 몸체를 관통하여 외부로 노출되며 그 단부에 스토퍼핀이 형성된 고정바를 포함하여 이루어지는 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼에 있어서, 상기 이송유니트가 외부로 노출되지 않도록 몸체의 개방된 부위를 덮는 커버가 구비됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼에 의해 달성될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도3 및 도4는 본 발명에 따른 웨이퍼 스토퍼를 나타낸 것으로, 몸체(11)내에 내부공간부(11a)가 형성되어 있고, 이 내부공간부(11a)의 일측은 개구부(11c)가 형성되어 외부로 노출되도록 되어 있다. 상기 내부공간부(11a)에는 개구부(11c)를 통해 이송유니트(13)가 상,하이동 가능하게 설치되어 있고, 개구부(11c)는 스테인레스스틸 재질의 커버(16)로 덮어 스크류(17)로 고정함으로써 내부공간부(11a)가 외부와 차단되어 있다.
상기 몸체(11)의 일측에는 솔레노이드를 이용한 실린더(12)가 설치되고, 이 실린더(12)의 로드(12a)가 몸체(11)를 관통하여 그 끝단이 내부공간부(11a)에 설치된 이송유니트(13)와 고정되어 있다.
또한 이송유니트(13)에는 고정바(14)가 고정되어 있고, 이 고정바(14)의 일단은 몸체(11)에 형성된 가이드구멍(11b)을 관통하여 외부로 노출되며, 노출된 끝단에 스토퍼핀(15)이 고정된 구성이다.
이러한 구성의 웨이퍼 스토퍼는 실린더(12)의 구동으로 이송유니트(13), 고정바(14) 및 스토퍼핀(15)이 하방으로 이동하게 되면, 웨이퍼의 이송이 가능하게 되는 것이고, 실린더(12)의 구동으로 이송유니트(13) 고정바(14) 및 스토퍼핀(15)이 상방으로 이동되면 웨이퍼의 이송라인으로 스토퍼핀(15)이 돌출되어 이송되는 웨이퍼를 지정위치에 정지시킬 수 있는 것이다.
이때 본 발명에 따른 웨이퍼 스토퍼는 몸체(11)의 내부공간부(11a)에 설치된 이송유니트(13)가 외부로부터 노출되지 않도록 커버(16)로 차단된 것이므로 외부로부터 이물질이 침투되는 것이 방지되는 것이고, 이로써 실린더(12)의 구동시 이송유니트(13)의 원활한 업,다운동작이 지속적으로 유지될 수 있는 것이다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼에 의하면, 몸체 내부에 설치된 이송유니트가 외부로부터 차단됨으로써 이물질의 침투를 방지할 수 있고, 이로써 이송유니트의 원활한 동작이 지속적으로 이루어져 설비의 오동작으로 인한 설비고장 및 웨이퍼 손상이 방지되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

  1. (정정) 일측면이 개방되고 내부공간부가 형성된 몸체;
    상기 몸체의 내부공간부에 상, 하로 이동가능하게 설치된 이송유니트;
    상기 몸체의 일측에 설치되어 몸체내의 이송유니트를 상, 하로 이동시키는 실린더; 및
    상기 이송유니트에 일단부가 고정되고 그 타단부가 몸체를 관통하여 외부로 노출되며 그 단부에 스토퍼핀이 형성된 고정바를 포함하여 이루어지는 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼에 있어서,
    상기 이송유니트가 외부로 노출되지 않도록 몸체의 개방된 부위를 덮는 커버가 구비됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 웨이퍼 스토퍼.
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