KR0133514Y1 - 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산 완료된 반도체소자의 성능검사를 하는 검사기에서 TSOP(Thin Small Outline Packgae)가 담긴 금속트레이를 히팅챔버내부로 안정되게 공급할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 본 고안은 히팅챔버(13)에 설치된 한쌍의 가이드레일(14)과, 상기 가이드레일에 안내되어 수평 이동하는 이송블럭(15)과, 상기 이송블럭에 핀(20)으로 회전가능하게 설치되어 히팅챔버로 공급되는 금속트레이의 선단을 홀딩하는 래치(19)와, 상기 히팅챔버에 설치되고 로드(27a)의 끝부분이 링크(25)에 의해 축(24)과 연결되어 있는 실린더(27)와, 상기 축에 일단이 고정되고 반대측에 형성된 장공(23a)에 이송블럭이 결합되어 상기 실린더의 구동력을 이송블럭에 전달하는 레버(23)로 구성된 것이다.

Description

반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치

제1도는 종래의 장치를 나타낸 평면도.

제2도는 본 고안장치를 나타낸 요부사시도.

제3도는 본 고안장치의 동작을 설명하기 위해 히팅챔버를 일부 절결하여 나타낸 평면도로써,

(a)는 금속트레이가 히팅챔버 내부로 인입되어 이송블럭에 홀딩된 상태도.

(b)는 실린더의 동작으로 레버가 회동됨에 따라 금속트레이가 히팅챔버의 내부로 완전히 이송된 상태도.

제4도는 제2도의 A-A선 단면도로써,

(a)는 금속트레이가 래치에 걸리전의 상태도.

(b)는 금속트레이가 래치에 걸려 이송블럭에 홀딩된 상태도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

13 : 히팅챔버 14 : 가이드레일

19 : 래치 19a : 경사면

23 : 레버 23a : 장공

25 : 링크 27 : 실린더

본 고안은 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산 완료된 반도체소자의 성능검사를 하는 검사기에서 TSOP(Thin Small Outline Package)가 담긴 금속트레이를 히팅챔버내부로 안정되게 공급할 수 있도록 한 것이다.

근래에는 부품의 경박단소화 추세에 따라 반도체소자 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 있는데, 그 중 대표적인 소자가 TSOP이다.

상기 TSOP는 그 두께가 약 1㎜정도로써, 제조공정에서 생산 완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 취급부주의등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 검사기내부에서의 이송간 또는 테스트중 소자에 충격이 가해지지 않도록 세심한 주의를 하여야 된다.

첨부도면 제1도는 종래의 장치를 나타낸 평면도로써, 히팅챔버(1)의 상측(셔터의 수평방향)에 레버(2)와 고정된 축(4)의 일단이 지지편(3)에 결합되어 있고 상기 축의 상부에는 링크(5)가 고정되어 있으며 상기 링크의 다른 일단에는 실린더(6)의 로드(6a)가 연결되어 있다.

그리고 지지편(3)의 양측으로는 링크(5)의 양단과 접속되는 스토퍼(7a)(7b)가 고정편(8a)(8b)으로 고정되어 있다.

따라서 소자가 담긴 금속트레이(9)가 엘리베이터(10)등의 이송수단에 의해 이동되어 셔터(도시는 생략함)와 수평선상에 위치되면 실린더(6)가 동작하여 인출되었던 로드(6a)를 잡아 당기게 되므로 실선과 같이 위치되었던 링크(5)가 축(4)과 함께 반시계 방향으로 회전되고, 이에따라 축에 고정된 레버(2)도 일점쇄선과 같이 반시계방향으로 회전하면서 엘리베이터(10)에 얹혀져 있던 금속트레이(9)를 밀게 되므로 상기 금속트레이는 셔터가 열린 개방부(11)를 통해 히팅챔버(1)내의 가이드레일(12)에 얹혀진 상태로 히팅챔버내부로 진입된다.

상기한 바와 같이 실린더의 로드(6a)에 결합된 링크(5)가 완전히 회동되면 링크(5)의 일단이 고정편(8b)에 설치된 스토퍼(7b)에 접속되면서 충격을 흡수하게 되므로 레버(2)의 회동에 따라 금속트레이(9)에 충격이 가해지는 것을 방지하게 된다.

그후, 실린더의 동작으로 압축되었던 로드(6a)가 인출되면 일점쇄선과 같이 회동되었던 레버(2)가 실선과 같은 위치로 이동됨과 동시에 실린더(6)의 구동이 중단되고 셔터가 개방부(11)를 폐쇄하게 되므로 계속해서 소자가 담겨진 금속트레이(9)를 히팅챔버(1)내로 공급시킬 수 있게 된다.

그러나 이러한 종래의 장치는 히팅챔버(1)에 형성된 개방부(11)의 상측으로 실린더(6) 및 레버(2)를 노출되게 설치하므로 인해 이송장치의 구조가 복잡해지게 됨은 물론 동작시 다른 부품과의 간섭발생등으로 인해 설계에 많은 제약이 뒤따르는 문제점이 있었다.

또한, 레버(2)의 회동으로 금속트레이(9)를 히팅챔버(1)내로 공급할 때 레버(2)가 금속트레이(9)의 일측면과 면접촉을 하지 못하고 점접촉을 하게 되므로 금속트레이의 이송이 불안정하게 이루어지게 되고, 이에따라 금속트레이가 히팅챔버내로 이송됨에 따라 레버가 금속트레이의 중심과 멀어지는 부위를 밀어 금속트레이가 삐뚤어지게 되므로 금속트레이의 이송이 원활히 이루어지지 못하고 쨈(Jam)이 발생되는 경우가 빈번히 발생되었다.

본 고안은 종래의 이와같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 히팅챔버의 외부로 이송장치의 부품이 노출되지 않도록 함과 동시에 히팅챔버의 내부로 공급되는 금속트레이를 안정되게 이송시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 히팅챔버의 상부 또는 하부에 설치되는 한쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일에 안내되어 수평 이동하는 이송블럭과, 상기 이송블럭에 설치되어 공급되는 금속트레이의 선단을 홀딩하는 홀딩수단과, 일측에 형성된 장공이 상기 이송블럭에 결합된 핀에 끼워지고 타단은 히팅챔버에 축으로 고정되어 가이드레일을 따라 이송블럭을 이송시키는 레버와, 상기 레버와 고정되어 히팅챔버의 상부로 노출된 축에 링크로 연결되어 레버를 회동시키는 실린더로 구성하여서 된 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치가 제공된다.

이하, 본 고안은 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도 내지 제4도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제2도는 본 고안 장치를 나타낸 요부사시도이고 제3도는 본 고안 장치의 동작을 설명하기 위해 히팅챔버를 일부 절결하여 나타낸 평면도이며 제4도는 제2도의 A-A선 단면도로써, 본 고안은 히팅챔버(13)의 상부 또는 하부에 한쌍의 라이드레일(14)이 설치되어 있고 상기 가이드레일에는 가이드레일에 안내되어 수평 이동하는 이송블럭(15)이 끼워져 있으며 상기 이송블럭에는 히팅챔버(13)의 내부로 이송되어 오는 금속트레이(9)의 선단을 홀딩하는 홀딩수단이 구비되어 있다.

상기 가이드레일(14)에 안내되어 수평 이동하는 이송블럭(15)의 일측면에는 한쌍의 가이드레일중 일측의 가이드레일(14)의 상,하면과 접속되게 한쌍의 베어링(17)이 축(18)으로 고정되어 있어 이송블럭(15)이 가이드레일을 따라 이동될 때 안정되게 수평 이동된다.

이러한 이송블럭(15)에는 히팅챔버(13)의 내부로 이송되어 오는 금속트레이(9)의 선단을 홀딩하는 홀딩수단이 구비되어 있다.

상기 홀딩수단으로 본 고안의 일 실시예에서는 이송블럭(15)에 일측(금속트레이의 이송방향)으로 경사면(19a)을 갖는 래치(19)를 핀(20)을 중심으로 회동되도록 설치하고 래치(19)와 이송블럭(15)사이에는 래치를 초기 상태로 복원시키기 위한 스프링(21)을 연결하여 금속트레이(9)의 선단이 히팅챔버(13)의 내부로 진행되어 옴에 따라 래치(19)가 금속트레이의 선단에 밀려 회동되었다가 금속트레이의 선단이 진행되고, 걸림홈(9a)에 래치(19)가 도달하면 스프링(21)의 복원력에 의해 환원되면서 금속트레이(9)를 홀딩하도록 구성되어 있다.

상기 이송블럭(15)의 하면에 핀(22)이 고정되어 있고 상기 핀에는 레버(23)의 일단에 형성된 장공(23a)이 끼워져 있으며 상기 레버의 타단은 히팅챔버(13)에 회동 가능하게 결합된 축(24)과 고정되어 있다.

그리고 상기 레버(23)와 고정되어 히팅챔버(13)의 상부로 노출된 축(24)에 링크(25)의 일단이 고정되어 있고 상기 링크의 타단에는 핀(26)을 중심으로 회동 가능하게 히팅챔버(13)의 상부에 설치된 실린더(27)의 로드(27a)가 연결되어 있다.

이와같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 소자의 로딩위치에서 금속트레이(9)내에 테스트를 위한 소자가 로딩된 상태에서 금속트레이가 히팅챔버(13)측으로 이송되어와 셔터(도시는 생략함)의 개방부(11)에 도달하면 이를 별도의 센서가 감지하여 실린더(도시는 생략함)를 구동시키게 되므로 히팅챔버(13)의 내부를 폐쇄하고 있던 셔터가 개방된다.

이와같이 셔터가 개방되고 난 상태에서 금속트레이(9)가 얹혀진 벨트(28)가 더욱 구동하여 금속트레이를 제3도의 (a)에 도시한 일점쇄선과 같이 히팅챔버(13)의 내부로 밀어 넣으면 금속트레이의 선단이 이송블럭(15)에 설치된 홀딩수단에 홀딩되는데, 상기 동작시 이송블럭(15)은 실린더로드(27a)의 전진으로 제3도의 (a)와 같이 개방부측에 위치되어 있으므로 가능하게 된다.

상기 동작을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

상기 금속트레이(9)가 히팅챔버(13)의 개방부로 인입되기 전 이송블럭(15)에 설치된 홀딩수단의 래치(19)는 제4도의 (a)와 같이 스프링(21)의 복원력에 의해 수직상태를 유지하고 있다.

이러한 상태에서 벨트(28)의 구동으로 금속트레이(9)가 개방부를 통해 히팅챔버(13)의 내부로 인입되면 수직상태를 유지하고 있던 래치(19)의 경사면(19a)이 이송되어 오는 금속트레이(9)의 선단에 걸려 밀리게 되므로 래치(19)는 스프링(21)을 인장시키면서 일점쇄선과 같이 핀(20)을 중심으로 회동된다.

계속되는 금속트레이(9)의 이동으로 래치(19)가 핀(20)을 중심으로 회동하다가 래치(19)에 형성된 경사면(19a)이 금속트레이(9)의 저면과 접속되면 래치(19)는 더 이상의 회동되지 않는다.

그후, 금속트레이(9)의 선단에 형성된 걸림홈(9a)이 래치(19)를 통과하면 회동되었던 래치(19)는 스프링(21)의 복원력에 의해 초기 상태인 (b)와 같이 환원되므로 금속트레이(9)의 선단이 이송블럭(15)에 홀딩됨과 동시에 벨트(28)의 구동은 중단된다.

상기한 바와 같은 동작으로 히팅챔버(13)내로 인입된 금속트레이(9)가 제3도의 (a)와 같이 이송블럭(15)에 홀딩되고 나면 전진되어 있던 실린더의 로드(27a)가 후퇴하게 되므로 링크(25)로 연결된 축(24)이 반시계방향으로 회동되고, 이에따라 축(24)에 고정된 레버(23)도 제3도의 (a)에 도시한 화살표방향으로 회동된다.

상기 레버(23)가 회동되면 가이드레일(14)에 설치된 이송블럭(15)은 가이드레일에 안내되어 수평 이동되는데, 이때 이송블럭(15)의 저면에 고정된 핀(22)에는 레버의 장공(23a)이 끼워져 있어 레버의 회동운동에 따라 가변되는 축(24)과 이송블럭(15)의 핀(22)사이의 간격을 보상하여 주게 된다.

상기한 바와 같은 동작으로 금속트레이(9)가 제3도의 (b)와 같이 히팅챔버(13)의 내부로 완전히 진입하고 나면 실린더의 로드(27a)에 연결된 링크(25)가 히팅챔버의 상면에 설치된 스토퍼(29)에 걸리게 되므로 금속트레이의 이송시에 충격이 발생되지 않는다.

이와같이 히팅챔버의 내부로 금속트레이(9)가 이송 완료되고 나면 금속트레이의 승강수단인 승강편(30)이 금속트레이(9)를 순차적으로 상승시키거나, 하강시켜 이송블럭(15)에 홀딩되었던 금속트레이의 홀딩상태를 해제시킴과 동시에 전술한 바와는 반대로 실린더(27)의 구동으로 이송블럭(15)을 제3도의 (a)와 같은 상태로 환원시키게 되므로 소자가 로딩된 또 다른 금속트레이를 히팅챔버내에 연속적으로 이송시킬 수 있게 된다.

상기 동작으로 히팅챔버(13)내에 소자가 담겨진 금속트레이(9)를 가득 채우고 나면 히팅챔버(13)내부를 테스트조건에 알맞는 온도로 히팅하므로써 제조완료된 소자를 사용상태에서와 동일한 조건에서 테스트할 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 히팅챔버의 내부에 수평 이동가능하게 설치된 이송블럭이 금속트레이를 홀딩하여 이송시키도록 구성되어 있어 금속트레이를 이송시키기 위한 구성품이 히팅챔버의 외부로 노출되지 않게 되므로 기기의 설계시 금속트레이의 이송장치에 의한 제약을 받지 않게 됨은 물론 이송블럭이 가이드레일을 따라 안정되게 이동하면서 금속트레이를 수평 이송시키게 되므로 금속트레이의 공급시 쨈(Jam)이 발생되지 않고, 이에따라 장비의 가동률을 극대화시키게 되므로 생산성이 향상되는 효과를 얻게 된다.

Claims (3)

1. 히팅챔버(13)에 설치된 한쌍의 가이드레일(14)과, 상기 가이드레일에 안내되어 수평 이동하는 이송블럭(15)과, 상기 이송블럭에 핀(20)으로 회전가능하게 설치되어 히팅챔버로 공급되는 금속트레이의 선단을 홀딩하는 래치(19)와, 상기 히팅챔버에 설치되고 로드(27a)의 끝부분이 링크(25)에 의해 축(24)과 연결되어 있는 실린더(27)와, 상기 축에 일단이 고정되고 반대측에 형성된 장공(23a)에 이송블럭이 결합되어 상기 실린더의 구동력을 이송블럭에 전달하는 레버(23)로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 래치(19)에 경사면(9a)을 형성하여 일측에 스프링(21)을 탄력설치하여서 된 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치.
3. 제1항에 있어서, 이송블럭(15)의 일측면에 일측의 가이드레일(14) 상,하면과 접속되게 한쌍의 베어링(17)을 축(18)으로 고정하여 됨을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 금속트레이 이송장치.