DE19828383C1 - Haltewerkzeug zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmigen Werkstücken - Google Patents
Haltewerkzeug zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmigen WerkstückenInfo
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Abstract
Haltewerkzeug mit einem Vakuumkopf zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmigen Werkstücken mittels Vakuum, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Vakuumkopf nach dem Aufnehmen des Werkstücks mindestens zwei unabhängige Vakua herrschen.
Description
Die Erfindung betrifft ein Haltewerkzeug mit einem Vakuumkopf
zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmigen Werkstücken mit
tels Vakuum.
Der Fertigungsprozeß elektronischer Bauteile, die sich bis zu
letzt auf einem scheibenförmigen Werkstück, insbesondere auf
einer Halbleiterscheibe befinden, ist mit einer Vielzahl von
Bearbeitungs-, Reinigungs- und Transportschritten verbunden.
Dabei muß die Halbleiterscheibe immer wieder manuell oder au
tomatisch aufgenommen, gehalten und abgelegt werden. Hierfür
sind Haltewerkzeuge, wie beispielsweise Vakuumpinzetten oder
Vakuumgreifer bekannt, die die Scheiben durch Vakuumansaugung
aufnehmen und halten.
Die US 4,728,135 offenbart eine Ansaug- und Haltevorrichtung,
insbesondere für kleine elektronische Bauteile, die aus einem
größeren und einem kleineren Saugtrichter besteht. Eine Vaku
umpumpe ist wahlweise an einen oder an beide Saugtrichter an
geschlossen.
Ein Objektträger für Halbleiterscheiben wird in
der US 5,564,682 beschrieben. Der Objektträger ist durch eine Vielzahl von Vakuumleitungen
gekennzeichnet, die an einem Ende mit einem einer Vielzahl von
Löchern in dem Objektträger verbunden sind und am anderen Ende
über eine Vielzahl von Ventilen an einer Vakuumpumpe ange
schlossen sind.
Die EP 0 433 503 A1 offenbart einen Vakuumchuck mit einer
planaren Oberfläche, die mit Durchgängen versehen ist. Jeder
Durchgang ist mit einem Vakuum, das durch Ventile gesteuert
wird, verbunden.
Diese Haltewerkzeuge verfügen alle überein Einkreis-Vakuum
system. Die Scheiben werden dabei von einem Vakuum, das von
einer Vakuumpumpe erzeugt wird, durch Ansaugung gehalten. Jede
Störung des Vakuums, beispielsweise durch ein Leck in einer
Pumpenleitung oder durch eine nicht flach anliegende Scheibe
führt dazu, daß die Scheibe von dem Vakuumkopf herabgleitet,
was immer eine Zerstörung des sprödharten Halbleitermaterials
zur Folge hat.
Die Aufgabe der Erfindung war es daher, ein Haltewerkzeug zur
Verfügung zu stellen, das ein sicheres Aufnehmen und Halten
von scheibenförmigen Werkstücken mittels Vakuum gewährleistet,
auch dann, wenn es zu einer Störung oder einem Ausfall des Va
kuums kommt.
Gelöst wird die Aufgabe durch ein Haltewerkzeug mit den Merk
malen des Anspruchs 1. Weiterhin wird die Aufgabe auch durch
ein Haltewerkzeug mit den Merkmalen des Anspruchs 2 gelöst,
wobei bei jeder der Lösungen jedes einzelne der unabhängigen
Vakua hoch genug ist, um das Werkstück eigenständig zu halten.
Das Werkstück wird aufgenommen, indem der Vakuumkopf auf eine
Seite des Werkstücks gebracht wird. Dann werden durch Schalt
vorrichtungen Verbindungen, beispielsweise über Pumpleitungen,
zu sich in Betrieb befindlichen Vakuumpumpen hergestellt.
Durch die Vakuumansaugung wird die Scheibe aufgenommen. Wäh
rend des Haltens der Scheibe werden die Verbindungen gehalten
und zum Ablegen des Werkstücks durch die Schaltvorrichtungen
unterbrochen. Für jedes unabhängige Vakuum wird ein eigenstän
diges Vakuumsystem mit Vakuumpumpe, Pumpleitung, Ansaugloch
und Steg benötigt.
Die Erfindung wird anschließend anhand der Figuren näher er
läutert. Dabei zeigt Fig. 1 eine erste Ausführungsform und
Fig. 2 eine zweite Ausführungsform.
Fig. 1 zeigt ein Haltewerkzeug mit einem Vakuumkopf mit zwei
unabhängigen Vakuumsystemen.
Der Vakuumkopf 1 hat ein erstes und ein zweites Ansaugloch
2.1, 2.2, die beim Aufnehmen einer Scheibe zwei unabhängige,
durch einen ersten und einen zweiten Steg 3, 4 eingeschlossene
Vakua erzeugen. Pumpleitungen 5 aus festem Material, die als
Verbindungsstück zwischen den Ansauglöchern des Vakuumkopfs 1
und einem Griffstück 6 dienen, sind über nicht dargestellte
Vakuumschläuche an je eine unabhängige Vakuumpumpe angeschlos
sen.
Fig. 2 zeigt eine weitere mögliche Ausführungsform des erfin
dungsgemäßen Haltewerkzeugs mit drei Vakuumköpfen und drei un
abhängigen Vakuumsystemen.
Jeder Vakuumkopf 1 hat ein Ansaugloch 7.1, 7.2, 7.3, das beim
Aufnehmen einer Scheibe je ein unabhängiges durch je einen
Steg 8.1, 8.2, 8.3 eingeschlossenes Vakuum erzeugt. An die An
sauglöcher 7.1, 7.2, 7.3 anschließende Pumpleitungen 5 sind in
ein Griffstück 6 integriert und über nicht dargestellte Vaku
umschläuche an je eine Vakuumpumpe angeschlossen.
Als Grundmaterial für die Fertigung derartiger Haltewerkzeuge
insbesondere der Vakuumköpfe kann jedes die Werkstücke nicht
kontaminierende Material verwendet werden. Form und Größe der
Vakuumköpfe sowie die Höhe des Vakuums ist der Form, Größe und
dem Gewicht der Werkstücke anzupassen. In jedem Vakuumsystem
herrscht ein Vakuum, daß hoch genug ist, um das Werkstück ei
genständig zu halten. Das erfindungsgemäße Haltewerkzeug kann
so gestaltet sein, daß es entweder bevorzugt ist, das Werk
stück zentriert oder dezentriert aufzunehmen und zu halten.
Das Haltewerkzeug kann prinzipiell zum manuellen oder automa
tisierten Aufnehmen und Halten von jeglichen scheibenförmigen
Werkstücken eingesetzt werden. Besonders geeignet ist es für
die Handhabung von Halbleiterscheiben, beispielsweise beim
Auflegen oder Abheben der Scheiben von Trägerplatten oder bei
dem Be- oder Entladen von Paletten, Horden oder Reinigungsbä
dern. Zu diesem Zweck können auch mehrere Haltewerkzeuge zu
einer Werkzeugeinheit zusammengeführt werden. Das Haltewerk
zeug erlaubt weiterhin die sichere Handhabung von Werkstücken
in korrosiver oder feuchter Umgebung und in flüssigen Medien.
Claims (3)
1. Haltewerkzeug zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmi
gen Werkstücken mit einem Vakuumkopf (1), in dem nach dem Auf
nehmen des Werkstücks mindestens zwei unabhängige Vakua herr
schen, wobei für jedes Vakuum ein eigenständiges Vakuumsystem
mit Vakuumpumpe, Pumpleitung (5), Ansaugloch (2.1, 2.2) und
das Vakuum einschließenden Steg (3, 4) vorhanden ist.
2. Haltewerkzeug zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmi
gen Werkstücken mit mindestens zwei Vakuumköpfen (1), in denen
nach dem Aufnehmen des Werkstücks jeweils ein unabhängiges Va
kuum herrscht, wobei für jedes Vakuum ein eigenständiges Vaku
umsystem mit Vakuumpumpe, Pumpleitung (5), Ansaugloch (7.1,
7.2, 7.3) und das Vakuum einschließenden Steg (8.1, 8.2, 8.3)
vorhanden ist.
3. Haltewerkzeug nach einem der Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß jedes einzelne der unabhängigen Vakua hoch
genug ist, um das Werkstück zu halten.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998128383 DE19828383C1 (de) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | Haltewerkzeug zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmigen Werkstücken |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1998128383 DE19828383C1 (de) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | Haltewerkzeug zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmigen Werkstücken |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19828383C1 true DE19828383C1 (de) | 1999-10-07 |
Family
ID=7872031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1998128383 Expired - Fee Related DE19828383C1 (de) | 1998-06-25 | 1998-06-25 | Haltewerkzeug zum Aufnehmen und Halten von scheibenförmigen Werkstücken |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19828383C1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110053918A (zh) * | 2018-01-18 | 2019-07-26 | 新兴重工湖北三六一一机械有限公司 | 一种提运器具 |
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-
1998
- 1998-06-25 DE DE1998128383 patent/DE19828383C1/de not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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