DE7429536U - Linsenhalter zur halterung eines linsenrohlings an einer maschine zum schleifen asphaerischer linsen - Google Patents
Linsenhalter zur halterung eines linsenrohlings an einer maschine zum schleifen asphaerischer linsenInfo
- Publication number
- DE7429536U DE7429536U DE7429536U DE7429536U DE7429536U DE 7429536 U DE7429536 U DE 7429536U DE 7429536 U DE7429536 U DE 7429536U DE 7429536 U DE7429536 U DE 7429536U DE 7429536 U DE7429536 U DE 7429536U
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- lens
- lens holder
- blank
- grinding
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
- B24B13/0043—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor the workpieces being deformed during the grinding operation
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S359/00—Optical: systems and elements
- Y10S359/90—Methods
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
: 5000'MiBiCKeHA). Mühfdoffstraße 25
• · * * TaIa(ah ll\an\ AfXCG1Jn
Telefon (089) «6872 Telegramme patemus münchen It , . ,, - , _ , . Postscheck München 39418-802
G 73 29 536.6
CELESTRON PACIFIC INC.
G 095 Ol
1.8.1978
Linsenhalter zur Halterung eines Linsenrohlings an einer Maschine zum Schleifen asphärischer
Die Erfindung betrifft einen Linsenhalter zur Halterung eines Linsenrohlings an einer Maschine zum Schleifen asphärischer Linsen,
wobei der Linsenhalter eine der Form der zu schleifenden Linse komplementär geformte Oberfläche aufweist.
Ein bekannter Linsenhalter dieser Art weist einen ebenen Glasblock
und eine darauf aufgebrachte Carbonscheibe mit der komplementär geformten Oberfläche auf. Der Linsenrohling wird durch Druck
an diese Oberfläche angedrückt und durch Adhäsionskräfte an dieser
Oberfläche gehalten, wobei diese Adhäsionskräfte durch Kapillarwirkung
einer die Oberfläche benetzenden Flüssigkeit aufgebracht werden. Die Carbonscheibe, die aus einem weicheren Material
als Glas besteht, kann sich in Anpassung an Unregelmäßigkeiten im Linsenrohling verformen, was die erzielbare Genauigkeit mindert.
Ein weiterer Üngenauigkeitsfaktor ist der Flüssigkeitsfilm zwischen
der Carbonscheibe und dem Linsenrohling, wobei zudem die Poren leicht durch die verschiedenen bei der Herstellung der Lin-
sen verwendeten Reinigungsmittel verstopft werden können, was mit zunehmender Gebrauchsdauer zu immer geringeren Kapillarkräften
und insgesamt zu einer verkürzten Lebensdauer führtCGB-PS 793 3>O8).
Es ist weiter bekannt, dünne Glasplatten mit Hilfe von Unterdruck zu verformen, wobei als Abstützung konzentrische, elastische Dichtringe
dienen, welche die Unterdruckseite der Glasplatte in gegeneinander abgedichtete Zonen unterschiedlichen Unterdrucks unterteilen.
Die andere Seite der Platte wird dann eben bearbeitet. Nach der Verformung federt die Glasplatte in unverformten Zustand
zurück, wobei sie auf der unbearbeiteten Seite wieder eben wird und auf der anderen Seite die Negativform ihrer verformten Kontur
annimmt. Da kein Gegenhalter mit Negativkontur der zu erzeugenden Kontur vorgesehen ist, entspricht die Kontur der fertigen Linse
der negativen Kontur einer auf kreisförmigen Abstützlinien abgestützten, durch eine Flächenlast beanspruchten Kreisplatte. Eine
beliebige gewünschte Oberflächenkontur, wie sie beispielsweise
zur Herstellung einer Schmidt-Korrekturlinse verwirklicht werden soll, läßt sich hierbei nfcht realisieren.(DT-OS 2 0^6 598).
Schließlich ist auch ein einstückiger Linsenhalter aus einem gummielastischen
Material bekannt, der eine komplementär zu einer Linsenoberfläche geformte Oberfläche und einer in diese Oberfläche
mündende, mit einer Unterdruckqgelle verbundene Bohrung und von
dieser Bohrung ausgehende Kanäle aufweist (US-PS 3 134 208). Der Linsenhalter dient hierbei nicht zur Verformung der von ihm zu
spannenden Linse, die also auf der mit dem Linsenhalter in Berührung kommenden Oberfläche bereits fertig bearbeitet ist oder dort
noch nachträglich bearbeitet wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Linsenhalter der eingangs beschriebenen Art so auszubilden, daß sich damit Linsen
sicher aufspannen und dadurch mit hoher Genauigkeit an die komplementär geformte Oberfläche des Linsenhalters anpassen und in verformten
Zustand auf der Gegenseite bearbeiten lassen.
7429536 04.01.79
Zur Lösung dieser Aufgabe ist gemäß der Erfindung vorgesehen, daß der Linsenhalter mindestens eine in seine dem Linsenrohling zugewandte
Oberfläche mündende Bohrung aufweist, die mit einer Unterdruckquelle verbunden ist, und daß der Linsenhalter in seiner dem
Linsenrohling zugewandten Oberfläche mit der Bohrung verbundene Kanäle aufweist.
Die Aufspann- und Verformungskraft des Linsenrohlings wird, wie an
sich bekannt (DT-OS 2 036 598) durch Unterdruck aufgebracht, wobei jedoch der Linsenrohling genau in Anpassung an die zur Abstützung
dienende, komplementär geformte Oberfläche des Linsenhalters verformt wird. Dann wird die Linse auf der Gegenseite plangeschliffen
und -poliert. Die durch den Unterdruck erzeugte Kraft dient hierbei als Haltekraft für den Linsenrohling, die durch aufgrund
der hohen, erzeugbaren Flächenkonformität entstehende Adhäsionskräfte
ergänzt wird.
Nach Wegnehmen des Unterdrucks und Ablösen des Linsenrohlings, der
aufgrund der genannten Adhäsionskräfte dann immer noch anhaften kann, federt die Linse in ihre Ausgangsgestalt zurück und hat nun
auf der Gegenseite die gewünschte Kontur.
Bei einer vorteilhaften Ausführung des Linsenhalters gemäß der Erfindung
ist vorgesehen, daß die Verbindung zwischen der Bohrung und der Unterdruckquelle von einem den Linsenhalter aufnehmenden
Futter, einer das Futter tragenden Hohlspindel und einer auf der Hohlspindel gelagerten Schlauchkupplung gebildet ist.
Die Erfindung ist im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an Ausführungsbeispielen mit weiteren Einzelheiten naher erläutert.
Es zeigen:
HaIb-
Fig. 1 einen/Schnitt durch einen Linsenhalter aus Glas, der mit
einer Kontur versehen werden soll;
7429536 84.8179
Fig. 2 einen Vertikalschnitt durch eine Vorrichtung zum Schleifen des Linsenhalters mit dem Linsenhalter;
Fig. 3 eine' Ansicht einejdünnen Probestücki aus Glas zur Verwendung
bei der Erfindung;
Fig. 4 eine Unteransicht des Probestückes nach Fig. 3;
Fig. 5 einen Teilschnitt der Anordnung eines Probestückes bzw. Linsenrohlings auf dem Linsenhalter zum Schleifen der Oberfläche
des Probestückes;
Fig. 6 eine Explosionsdarstellung, welche das Probestück bzw. den Linsenrohling von dem Linsenhalter nach dem Schleifen entfernt
zeigt;
Fig. 7 eine schematische Ansicht des Linsenhalters mit dem darauf angeordneten Probestück bzw. Linsenrohling und einer Vorrichtung
zum Prüfen der Planheit der geschliffenen Oberfläche;
Fig. 8 eine perspektivische Darstellung der abschließenden Planheitsprüfung
des Probestückes;
Fig. 9 einen Schnitt durcheine Schmidt-Korrektur linse, die auf
einem erfindungsgemäßen Linsenhalter mit der Hälfte der gewünschten
Korrektur versehen ist;
Fig. 10' eine schematische Teilansicht der Korrekturlinse nach Fig.9,
die auf einen weiteren Linsenhalter zur vollständigen Korrektur aufgesetzt ist und
Fig. 11 einen. Schnitt durch die fertige Korrektur linse mit der
"halben" Korrekturkurve auf jeder Seite.
Gemäß Fig. 1 ist ein Linsenhalter 22 von einem starken Glasblock in gutem Anlaßzustand und von großer Stabilität mit einem größeren
Durchmesser als die gewünschte Schmidt-Korrekturlinse oder -platte gebildet. Der Linsenhalter hat auf der zur Halterung eines Probestückes
44 bzw. Linsenrohlings 44» bestimmten Fläche 23 die Negativkontur einer Schmidt-Korrekturlinse. Der Linsenhalter 22 ist
• « ι
5 —'
mit einer Durchgangsbohrung 24 versehen und mittels Klemmschrauben
29 auf einem mit 26 bezeichneten Futter in Form einer Stützplatte festgehalten, die auf der Spindel 28 einer Schleif- und
Poliermaschine 30 sitzt. Die Spindel 28 ist hohl und in einer hohlen Welle 32 aufgenommen, auf der ein Treibrad 34 zum Antreiben
der Spindelanordnung sitzt. Die Welle 32 ist in Lagern 36 gelagert. Eine rotierende Schlauchkupplung 38 verbindet die Welle
32 und die Spindel 28 über ein Rohr 40 o.dgl=, in das ein Absperrventil
42 eingeschaltet ist, mit einer Unterdruckquelle, z.B. einem Vakuumspeicher.
Ein dünnes Probestück 44 (Fig. 3,4) bzw. ein Linsenrohling 44·
aus Glas wird für die Verwendung vorbereitet. Die Oberfläche muß ziemlich gut sein, darf keinen Orangenhaut-Effekt haben, der typisch
für schnelles Polieren ist, und muß weitgehend plan in einem Bereich von einem halben Strich (fringe) je Zoll sein. Einige schmale
Nuten 46 sind in einem Speichenrad-Muster in das Probestück eingearbeitet. Ein Probestück oder ein Linsenrohling für eine 200 mm-f/2
Korrekturlinse kann einen Durchmesser von z.B. 250 mm und eine Umfangsnut, die konzentrisch in dem Probestück vorgesehen ist,
einen Durchmesser von 235 mm haben. Die Negai^tvkorrektur der zu
schaffenden Korrekturlinsen wird in den Linsenhalter 22 eingeschliffen und poliert. Das dünne Probestück 44 sowie der Linsenhalter
22 werden sorgfältig gereinigt und das Probestück wird auf den Linsenhalter mit den Nuten diesem zugewandt aufgesetzt. Nun
wird Vakuum in der Vorrichtung erzeugt. Das dünne Probestück verformt sich gemäß der Kurve auf dem Konturenblock. Jegliche Filme,
Staubpartikelchen oder nichtkonforme Flächen werdenäurch Beobachten
der Interferenzlinien in der Zwischenfläche des Probestückes und des Linsenhalters festgestellt. Anhand der Interferenzlinien
kann man genau die relative Anpassung zwischen dem Linsenhalter und dem Probestück bestimmen. Wenn die beiden Glasoberflächen exakt
aufeinanderpassen und in perfekt gereinigtem Zustand miteinander in Berührung gebracht werden, verschwindet jegliche Reflektion an
der Zwischenfläche. Die beiden Glasstücke gehen eine quasi-molekulare Verbindung ein und können nur schwierig wieder voneinander
getrennt werden. Die Glasstücke haften so fest aufeinander, daß |
sie als Einheit geschliffen und poliert werden können. Die Glas- |
stücke werden gewöhnlich durch Abkühlen des Linsenhalters in einem H
Kühlschrank getrennt, wobei das Probestück bzw3 der Linsenrohling ,
abspringen.
Gemäß Fig. 5 kann das auf den Linsenhalter 22 in der Vorrichtung ί
aufgesetzte Probestück mit einer Wachsdichtung 48 um die Ränder an %
dem Linsenhalter gehalten werden. Vollständige Konformität des |
Stückes mit dem Linsenhalter ist erreicht, wenn sämtliche Reflek- 1
tionen an der Zwischenflache verschwunden sind und ein "inniger ·\
Glas-auf-Glas-Kontakt erreicht ist. I
Die Oberfläche des Probestückes wird dann durch Drehen der Spindelanordnung
und Verwenden einer flachen Schleifscheibe, die durch
einen überkragenden Arm der Maschine getrieben wird, plan geschliffen. Die Oberfläche kann darauf nach Wunsch poliert werden. Der
Unterdruck wird abgebaut und das geschliffene Probestück 44 gemäß Fig. 6 von dem Linsenhalter 22 entfernt. Weil das Werkstück % dazu neigt, an dem Linsenhalter zu haften, wenn inniger Glas-auf-Glas-Kontakt hergestellt ist, muß beim Trennen der Glasstücke
Sorgfalt aufgewendet werden. Wenn hierzu beispielsweise über die S Spindel zugeführte Druckluft verwendet würde, könnten sich die % Stücke zu schnell trennen, wenn der Druck langsam angehoben wird. 5 Am besten werden die Stücke dadurch getrennt, daß ein sehr dünnes : Metallteil, wie eine Rasierklinge, an der Trennfuge angesetzt wird, * und daß das Werkstück langsam abgehoben wird. Nach dem Schleifen
und Abheben des Probestückes 44 wie beschrieben hat dieses etwa
eine Oberflächenkontur 50 gemäß Fig. 6.
einen überkragenden Arm der Maschine getrieben wird, plan geschliffen. Die Oberfläche kann darauf nach Wunsch poliert werden. Der
Unterdruck wird abgebaut und das geschliffene Probestück 44 gemäß Fig. 6 von dem Linsenhalter 22 entfernt. Weil das Werkstück % dazu neigt, an dem Linsenhalter zu haften, wenn inniger Glas-auf-Glas-Kontakt hergestellt ist, muß beim Trennen der Glasstücke
Sorgfalt aufgewendet werden. Wenn hierzu beispielsweise über die S Spindel zugeführte Druckluft verwendet würde, könnten sich die % Stücke zu schnell trennen, wenn der Druck langsam angehoben wird. 5 Am besten werden die Stücke dadurch getrennt, daß ein sehr dünnes : Metallteil, wie eine Rasierklinge, an der Trennfuge angesetzt wird, * und daß das Werkstück langsam abgehoben wird. Nach dem Schleifen
und Abheben des Probestückes 44 wie beschrieben hat dieses etwa
eine Oberflächenkontur 50 gemäß Fig. 6.
Das Probestück kann bezüglich eines ersten und eines zweiten Spiegels
angeordnet und geprüft werden. Die Bereiche, in denen zu viel
Glas ist, werden markiert, und der Linsenhalter wird durch Schleifen und Polieren oder allein durch Polieren weiterbearbeitet, je
nachdem wie groß die Restfehler bei jeder Prüfung des Probestückes
Glas ist, werden markiert, und der Linsenhalter wird durch Schleifen und Polieren oder allein durch Polieren weiterbearbeitet, je
nachdem wie groß die Restfehler bei jeder Prüfung des Probestückes
7429536 04.01.79
sind. Zonen mit zuviel Glas des Probestückes sind Bereiche, in denen entsprechend Einbuchtungen auf dem Linsenhalter vorliegen,
da dieser mit der Negativ-Kontur versehen ist. Nachdem der Linsenhalter aufs neue bearbeitet worden ist, wird das Probestück wieder
in Kontakt damit gebracht und optisch geprüft und seine Oberseite wieder plan geschliffen und dies wird wiederholt, bis die gewünschte
Kurve auf dem Linsenhalter erreicht ist.
Nach Erhalten der endgültigen Kurve entsprechend der gewünschten Genauigkeit wird der Linsenhalter selbst mit Nuten 46 nach dem
Speichenrad-Muster gemäß Fig. 4 versehen. Diese Nuten 46 sind bei einem typischen Beispiel 0,254 mm (0,01 Zoll) tief und 0,025 bis
0,50 mm (0,01 bis 0,02 Zoll) breit. In jedem Fall muß die Breite der Nuten im Vergleich zur Dicke der gewünschten herzustellenden
Schmidt-Korrekturlinse sehr klein sein. Wäre dies nicht der Fall,
so könnte eine Biegeverformung des Glases in die Nuten hinein stattfinden, was die Oberfläche der fertigen Linse zerstören würde. Nuten
mit einer Breite von etwa 0,5 mm sind zufriedenstellend, wenn die Dicke der herzustellenden Schmidt-Korrekturlinsen etwa 3 mm
oder mehr beträgt.
Nach Fertigstellung des Linsenhalters können aus Linsenrohlingen 44· Korrekturlinsen hoher Qualität mit einer Fertigungsgeschwindigkeit
von einer Linse in vier Stunden hergestellt werden. Eine einzige Bedienungsperson kann leicht etwa zwölf Vorrichtungen
allein handhaben, nachdem sie einige Übung erlangt hat. Beim Herstellen
von Schmidt-Korrekturlinsen wie beschrieben sind die einzig kritischen Arbeitsgänge das Säubern des Linsenrohlings 44' und
des Linsenhalters 20, so daß inniger Glas-auf-Glas-Kontakt über
die gesamte Oberfläche erreicht werden kann. Die Bedienungsperson muß sehr sauber arbeiten, so daß keine Kratzer auf dem Linsenrohling
während des Feinschleifens und -polierens entstehen können. Die Bedienungsperson untersucht die Oberfläche des Linsenrohlings
nach jedem feineren Schleifgang mit einem Krümmungsmesser, der bis
zu 0,0025 mm (0,0001 Zoll) erfassen kann. Die Basis des Krümmungs-
messers sollte über etwa 2/3 des Linsenrohling-Durchmessers reichen.
Dies ist schematisch in Fig. 7 gezeigt. Der Krümmungsmesser wird zuerst auf einer Referenzebene geeicht, worauf die Planabweichung
des Linsenrohlings abgelesen wird. Während des Schleifens der Korrekturlinse auf dem Linsenhalter wird der Krümmungsmesser
dazu verwendet, die Planheit der Oberseite des Werkstückes zu messen. Das Werkstück ist fertig für das abschließende Polieren, wenn
der feinste Schleifgang ausgeführt worden ist und Planheit in einem Bereich von 0,0125 mm (0,0005 Zoll) mit dem Krümmungsmesser
ermittelt wird. Während des Polierens wird die Planheit mehrfach geprüft, um sicherzustellen, daß die Oberfläche gleichmäßig eben
bleibt.
Abschließende Planheitsprüfungen werden dadurch vorgenommen, daß eine kleine optische Scheibe 54 (Fig. 8) auf die Oberfläche der
Korrekturlinse gelegt wird, die in Berührung mit dem Linsenhalter .bleibt. Eine typische Korrekturlinse kann 100 Strich (fringe)
asphärisch sein, was bedeutet, daß das Maß der Abweichung von einer vollständig ebenen Oberfläche der fertigen Korrekturlinse
100 Strich oder etwa 0,025 mm (0,001 Zoll) beträgt. Beim Prüfen der endgültigen Planabweichung wird eine zufriedenstellende Korrekturlinsengestalt
angezeigt, wenn die obere Fläche nicht mehr als 3 oder 4 % insgesamt abweicht und diese Abweichung eine sanfte
Wölbung ist. Gemäß dieser Erläuterung sollte eine 200 mm-Korrekturlinse
mit einer lOO-Strich asphärischen Gestalt eine Oberfläche aufweisen,
die etwa plus oder minus 1/2-Strich je Zoll plan ist, wobei diese Abweichung konstant über die gesamte Oberfläche sein
sollte. Die optische Scheibe 54 wird auf die Oberseite der geschliffenen und polierten Korrekturlinse aufgesetzt, die immer noch in
ρ Berührung mit dem Linsenhalter ist. Interferenzlinien erscheinen
ü. an der Zwischenfläche zwischen der optischen Scheibe 54 und der
Korrekturlinsa, wenn beide gut gereinigt sind und etwa gleiche Kon-
Ί' tür haben. Gestalt und Anzahl dieser Interferenzlinien zeigen der
Bedienungsperson die Gestalt der bearbeiteten Korrekturlinse.
■■ ■ - 9 -
7&7PR3R η/, μ 70
Im Hinblick auf die optische Leistung muß die Korrekturlinse nur so dick sein, daß sie in dem Gerät, in dem sie verwendet werden
soll, ihr Eigengewicht aushält und nicht so zerbrechlich ist, daß sie bei normaler Benutzung des Gerätes zerbrechen kann, unter
diesem Gesichtspunkt beträgt die optimale Dicke einer 200 mm-Korrekturlinse
etwa zwischen 3,5 bis 5 mm. Es kann wünschenswert sein, eine Korrekturlinse herzustellen, welche eine Krümmung an ihrer
Oberfläche aufweist, die größer ist als der zulässigen Verformung des Glases entspricht. Z.B. muß eine 200 mm-f/ljS-Schmidt-Kamera
eine Korrekturlinse mit einer Wölbung haben, die stärker ist als
die Wölbung eines 3 mm starken Glases betragen darf. In diesem Fall ist ein Teil der Korrektur-Krümmung auf der einen Seite des Linsenrohlings
56 (Fig. 9) angeschliffen, während die restliche Korrektur auf der anderen Seite geschliffen und poliert ist. Zu diesem
Zweck kann eine Linsenhalter 22 verwendet werden, der so gestaltet ist, daß mit ihm eine 200 mm-f/2-Korrekturlinse hergestellt
werden kann. Der auf der einen Seite bearbeitete Linsenrohling 56 wird nun umgekehrt (Fig. 10) in Kontakt mit einem weiteren Linsenhalter
57 gebracht, der zum Herstellen einer 200 mm-f/1,5 Korrekturlinse konturiert ist. Nach Anordnen des bereits auf der einen
Seite mit der "halben" Kontur versehenen Linsenrohlings 56 auf dem Linsenhalter 57 für 200 mm-f/1,5-Korrektürlinsen wird die abgewandte,
freie Oberfläche des Stückes 56 wiederum plan gearbeitet. Die sich ergebende Korrekturlinse 58 ist in Fig. 11 dargestellt.
Die maximale Abweichung, die dann mit der Schmidt-Korrekturlinse bewerkstelligt werden kann, ist durch beide auf den entgegengesetzten
Seiten der Korrekturlinse geschaffenen Kurven mit jeweils halber Erhöhung bzw. Krümmung gegeben.
7429536 84.öl79
Claims (2)
1.8.1978 . ..
Ansprüche
Ansprüche
1. Linsenhalter zur Halterung eines Linsen roh lings an einer AAaschine zum Schleifen
asphärischer Linsen, wobei der Linsenhairer eine der Form der zu schleifenden
Linse komplementär geformte Oberfläche aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Linsenhalter (22) einstückig ausgebildet ist, daß der Linsenhalter
Linse komplementär geformte Oberfläche aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Linsenhalter (22) einstückig ausgebildet ist, daß der Linsenhalter
(22) mindestens eine in seine dem Linsenrohling (44) zugewandte Oberfläche
(23) mUndende Bohrung (24) aufweist, die mit einer Unterdruckquelle verbunden
ist, und daß der Linsenhalter (22) in seiner dem Linsenrohling (44) zugewandten Oberfläche (23) mit der Bohrung (24) verbundene Kanäle (46) aufweist.
2. Linsenhalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung
zwischen der Bohrung (24) und der Unterdruckquelle von einem den Linsenhalter (22)
aufnehmenden Futter (26,29), einer das Futter (26,29) tragenden Hohlspindel (32)
und einer auf der Hohlspindel (32) gelagerten Schlauchkupplung (38) gebildet ist.
7429536 04.01.79
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US00393846A US3837125A (en) | 1973-09-04 | 1973-09-04 | Method and system for making schmidt corrector lenses |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE7429536U true DE7429536U (de) | 1979-01-04 |
Family
ID=23556480
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2441976A Expired DE2441976C3 (de) | 1973-09-04 | 1974-09-02 | Linsenhalter zur Halterung eines Linsenrohlings an einer Maschine zum Schleifen asphärischer Linsen |
DE7429536U Expired DE7429536U (de) | 1973-09-04 | 1974-09-02 | Linsenhalter zur halterung eines linsenrohlings an einer maschine zum schleifen asphaerischer linsen |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2441976A Expired DE2441976C3 (de) | 1973-09-04 | 1974-09-02 | Linsenhalter zur Halterung eines Linsenrohlings an einer Maschine zum Schleifen asphärischer Linsen |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3837125A (de) |
DE (2) | DE2441976C3 (de) |
GB (1) | GB1481604A (de) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3889431A (en) * | 1973-09-04 | 1975-06-17 | Celestron Pacific | Method for making schmidt corrector lenses |
US3932148A (en) * | 1975-01-21 | 1976-01-13 | Criterion Manufacturing Company, Inc. | Method and apparatus for making complex aspheric optical surfaces |
DE3446306A1 (de) * | 1983-12-23 | 1985-07-04 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Verfahren und vorrichtung zur oberflaechenbearbeitung von substratplatten fuer magnetspeicherplatten |
DE4412370A1 (de) * | 1994-04-12 | 1995-10-19 | Schneider Gmbh & Co Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen asphärischer Linsenoberflächen |
JP2001044116A (ja) * | 1999-01-20 | 2001-02-16 | Asm Lithography Bv | 光学補正板、およびリソグラフィ投影装置でのその応用 |
EP1022617A3 (de) * | 1999-01-20 | 2003-01-02 | ASML Netherlands B.V. | Optische Korrektionsplatte und deren Verwendung in einem lithographischen Projektionsapparat |
DE10030495A1 (de) * | 2000-06-21 | 2002-01-03 | Zeiss Carl | Verfahren zum Verbinden einer Vielzahl von optischen Elementen mit einem Grundkörper |
DE10136387A1 (de) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Zeiss Carl | Objektiv, insbesondere Objektiv für die Halbleiter-Lithographie |
DE10219514A1 (de) * | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Zeiss Carl Smt Ag | Beleuchtungssystem, insbesondere für die EUV-Lithographie |
DE10331390A1 (de) * | 2003-07-11 | 2005-01-27 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Herstellung von asphärischen optischen Flächen |
US7265917B2 (en) * | 2003-12-23 | 2007-09-04 | Carl Zeiss Smt Ag | Replacement apparatus for an optical element |
DE102008000967B4 (de) | 2008-04-03 | 2015-04-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie |
CN108161645B (zh) * | 2018-01-05 | 2019-10-29 | 大连理工大学 | 一种低刚度高精度平面镜的工件旋转法磨削装置及方法 |
CN118003192B (zh) * | 2024-03-12 | 2024-07-02 | 丹阳欧德车业科技有限公司 | 一种多曲面透镜研磨加工装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD83256A (de) * | ||||
FR1296592A (fr) * | 1961-03-22 | 1962-06-22 | Lentilles Ophtalmiques Rationn | Procédé pour l'obtention d'une surface torique, notamment pour l'usinage de verresde contact scléraux et de lentilles cornéennes, et dispositif pour la mise ce oeuvre de ce procédé |
US3210894A (en) * | 1962-08-13 | 1965-10-12 | Kollmorgen Corp | Method of producing aspheric surfaces on mirrors or lenses |
BE666463A (de) * | 1965-07-06 | 1965-11-03 | ||
US3685216A (en) * | 1970-01-14 | 1972-08-22 | Honeywell Inc | Slider bearing surface generation |
FR2097216A5 (de) * | 1970-05-27 | 1972-03-03 | Anvar | |
US3794314A (en) * | 1972-01-13 | 1974-02-26 | Coburn Optical Ind | Vacuum chuck for ophthalmic lens finishing machinery |
-
1973
- 1973-09-04 US US00393846A patent/US3837125A/en not_active Expired - Lifetime
-
1974
- 1974-09-02 DE DE2441976A patent/DE2441976C3/de not_active Expired
- 1974-09-02 DE DE7429536U patent/DE7429536U/de not_active Expired
- 1974-09-03 GB GB38411/74A patent/GB1481604A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2441976B2 (de) | 1978-01-12 |
DE2441976C3 (de) | 1978-08-24 |
GB1481604A (en) | 1977-08-03 |
DE2441976A1 (de) | 1975-03-13 |
US3837125A (en) | 1974-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4242127C2 (de) | Einrichtung zum Schleifen der freien Stirnfläche von Anschlußstücken für optische Fasern | |
DE7429536U (de) | Linsenhalter zur halterung eines linsenrohlings an einer maschine zum schleifen asphaerischer linsen | |
DE102013219901B4 (de) | Spanntisch | |
DE102012220161B4 (de) | Bearbeitungsverfahren für einen Wafer mit einem abgeschrägten Abschnitt entlang des äusseren Umfangs davon | |
DE102006018644A1 (de) | Halbleiterwafer und Bearbeitungsverfahren für denselben | |
DE69715798T2 (de) | Oberflächen-Schleifvorrichtung und Verfahren zum oberflächlichen Schleifen eines dünn-flächigen Werkstückes | |
DE19651761A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Polieren von Halbleiterscheiben | |
DE102004011996B4 (de) | Vorrichtung zum simultanen beidseitigen Schleifen von scheibenförmigen Werkstücken | |
DE102015216193A1 (de) | Waferbearbeitungsverfahren | |
DE3407615C2 (de) | ||
DE102008056276A1 (de) | Verfahren zur Regelung des Arbeitsspalts einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine | |
EP3335834A1 (de) | Schleifmaschine mit planiereinheit | |
DE3542508C2 (de) | ||
EP0843342A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Entfernen einer Halbleiterscheibe von einer ebenen Unterlage | |
EP0204958B1 (de) | Vorrichtung zum Schleifen und Läppen von Dichtflächen in Schiebern und dergleichen in situ oder in der Werkstatt | |
CH671116A5 (de) | ||
DE3914720A1 (de) | Schleifmaschine, insbes. feinschleifmaschine, fuer das schleifen von kraftfahrzeugbremsscheiben | |
DE2033858A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Her stellen von Mehrfach Brennpunkt Linsen | |
DE212039C (de) | ||
DE409385C (de) | Maschine zum Schleifen von Facetten mittels ebener Schleifscheiben am Umfange zu mehreren angeordneter Glaskoerper | |
DE543171C (de) | Maschine zum Schleifen und Polieren ringfoermiger Koerper | |
DE188491C (de) | ||
DE7406719U (de) | Vorrichtung zum Schleifen von Nuten mit Diamantschielfscheiben | |
DE943752C (de) | Verfahren und Einrichtung zum Schleifen planparalleler Flaechen | |
CH574612A5 (en) | Mfg. of Schmidt correction plate - uses thin glass plate placed over glass matrix block |