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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Regelung des Arbeitsspalts
einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine mit einem oberen und einem
unteren Träger, die eine obere und eine untere Trägerscheibe tragen,
an denen wiederum eine obere und eine untere Arbeitsscheibe anliegen
und befestigt sind, wobei die Arbeitsscheiben über mindestens
eine mit mindestens einem der Träger verbundene Antriebswelle
relativ zueinander drehend antreibbar sind und jeweils eine Arbeitsfläche
besitzen, zwischen denen ein Arbeitsspalt gebildet ist, in dem flache
Werkstücke bearbeitet werden.
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In
derartigen Bearbeitungsmaschinen werden beispielsweise Halbleiterscheiben
(Wafer) bearbeitet, zum Beispiel geschliffen, geläppt oder
poliert. Für eine anschließende Weiterbearbeitung
der Werkstücke ist die Oberflächengeometrie von
entscheidender Bedeutung. So können beispielsweise durch optische
Abbildeverfahren integrierte Schaltungen auf die Werkstücke
aufgebracht werden. Unregelmäßigkeiten der Oberflächengeometrie
verringern die Abbildungsschärfe. Meist ist daher eine
möglichst gute Planparallelität der Werkstückoberflächen
erwünscht.
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Bei
der Doppelseitenbearbeitung kommt es durch verschiedene Einflüsse,
wie zum Beispiel Verschleiß der Werkzeuge (zum Beispiel
der Arbeitsscheiben), Wärmeeintrag oder mechanische Einfederung
zu Verformungen der Träger- und/oder Arbeitsscheiben und
damit der Arbeitsflächen, die in Kontakt mit den zu bearbeitenden
Werkstücken stehen. Es ist bekannt, durch ein zwischen
der Trägerscheibe und der Arbeitsscheibe angeordnetes Labyrinth
ein Kühlmittel zu zirkulieren, beispielsweise temperiertes
Wasser. Auf diese Weise sollen unerwünschte Temperatureinflüsse
auf die Geometrie des Arbeitsspalts vermieden werden. Allerdings
ist auf diese Weise nicht immer eine ausreichende Kompensation von
Temperatureinflüssen möglich. Außerdem
werden Verformungen des Arbeitsspalts, wie oben erläutert,
neben der Temperatur durch weitere Faktoren verursacht.
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In
DE 10 2006 037 490
A1 wird daher vorgeschlagen, bei einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine
die obere Trägerscheibe an einem Tragring aufzuhängen,
der drehfest mit einer oberen Antriebswelle verbunden ist. Zwischen
dem Tragring und einem ringförmigen Abschnitt der Trägerscheibe
auf der radial äußeren Seite des Tragrings wird
ein steuerbares Mittel angeordnet, über das mittels eines Krafterzeugers
eine radiale Kraft über den Umfang des Tragrings auf die
Trägerscheibe aufgebracht werden kann. Es ist dann möglich,
durch Aufbringen eines vorbestimmten Drucks eine zunächst
ebene Arbeitsscheibe und damit Arbeitsfläche in eine leicht konkave
oder konvexe Form zu verformen bzw. eine konvexe oder konkave Arbeitsscheibe
in eine plane Form zu verformen. Zur Ermittlung der Geometrie des
Arbeitsspalts werden geeignete Sensoren eingesetzt, die die aktuelle
Verformung der Arbeitsscheiben ermitteln. Dies können zum
Beispiel mindestens zwei Wirbelstromsensoren sein, die an radial
beabstandeten Punkten in eine der Arbeitsscheiben integriert sind
und an diesen Punkten den Abstand der Arbeitsscheiben, also die
Breite des Arbeitsspalts messen. Auf Grundlage dieses Messergebnisses
erfolgt eine Ansteuerung des Krafterzeugers durch eine Regeleinrichtung,
um eine gewünschte Arbeitsspaltgeometrie einzustellen.
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Das
Vorsehen solcher Abstandssensoren in den Arbeitsscheiben zur Messung
der Arbeitsspaltgeometrie ist jedoch verhältnismäßig
aufwendig und kostenintensiv. Insbesondere bei anderen Doppelseitenbearbeitungsmaschinen
als Poliermaschinen, beispielsweise Läpp- oder Schleifmaschinen,
sind solche Sensoren zudem häufig nicht vorgesehen. Eine Erfassung
und Regelung der Arbeitsscheibenverformung bzw. der Arbeitsspaltgeometrie
ist dann ohne aufwendige Maßnahmen nicht möglich.
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Ausgehend
von dem erläuterten Stand der Technik liegt der Erfindung
die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art bereitzustellen,
mit dem in einfacher Weise bei Doppelseitenbearbeitungsmaschinen
jeglicher Art die Arbeitsspaltgeometrie geregelt werden kann.
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Die
Erfindung löst diese Aufgabe durch den Gegenstand von Anspruch
1. Vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen
Ansprüchen, der Beschreibung sowie den Figuren.
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Für
ein Verfahren der eingangs genannten Art löst die Erfindung
die Aufgabe durch die Schritte:
- – bei
aufeinander zugestellten Arbeitsscheiben wird mittels einer Verstelleinrichtung
zumindest eine der Arbeitsscheiben verformt und so die Form des
Arbeitsspalts verändert,
- – während der Verformung der Arbeitsscheibe wird
mehrfach der Abstand zwischen dem oberen und dem unteren Träger
gemessen,
- – aus dem Verlauf der aufgenommenen Messwerte wird
ein Extremum der Messwerte ermittelt, bei dem die Arbeitsflächen
eine größtmögliche Parallelität
besitzen,
- – auf Grundlage des ermittelten Extremums wird der
Arbeitsspalt durch eine Ansteuerung der Verstelleinrichtung auf
eine gewünschte Form geregelt.
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In
der erfindungsgemäßen Doppelseitenbearbeitungsmaschine
findet eine beidseitige Bearbeitung der Werkstücke statt.
Die Arbeitsscheiben und die Trägerscheiben können
ringförmig ausgebildet sein. In ihrer Betriebsstellung
sind sie koaxial zueinander angeordnet. Die Veränderung
der Form der Arbeitsscheibe kann erfindungsgemäß beispielsweise in
der in
DE 10 2006
037 490 A1 beschriebenen Weise erfolgen. Insbesondere kann
also beispielsweise die obere Trägerscheibe an einem Tragring
aufgehängt sein, der drehfest mit einer oberen Antriebswelle
verbunden ist. Zwischen dem Tragring und einem ringförmigen
Abschnitt der Trägerscheibe können radial außen
vom Tragring steuerbare Mittel angeordnet sein, über die
mit Hilfe eines Krafterzeugers eine radiale Kraft über
den Umfang des Tragrings auf die Trägerscheibe aufgebracht
werden kann. Darüber hinaus kann eine Regelvorrichtung
vorgesehen sein, die den Arbeitsspalt durch eine Ansteuerung dieser
Verstelleinrichtung, also insbesondere durch eine Einstellung der
Kraft am Krafterzeuger, auf eine gewünschte Form regelt.
Dabei erfolgt eine Verformung der jeweiligen Trägerscheibe
und damit der an ihr befestigten Arbeitsscheibe mit ihrer Arbeitsfläche.
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Erfindungsgemäß ist
eine konvexe oder konkave Verformung der Arbeitsscheibe oder eine
Planeinstellung der Arbeitsscheibenform möglich. Die Verformung
erfolgt bei für die Bearbeitung aufeinander zugestellten
Arbeitsscheiben, wobei ein Druck der Arbeitsscheiben gegeneinander
eingestellt werden kann. Die Verformung kann bei in die Maschine eingelegten
Werkstücken erfolgen. In diesem Fall stehen die Arbeitsscheiben
also in Kontakt mit den Werkstücken, beziehungsweise gegebenenfalls
mit den diese in an sich bekannter Weise aufnehmenden Läuferscheiben.
Es ist jedoch auch möglich, das Verfahren bei nicht eingelegten
Werkstücken und aufeinander zugestellten Arbeitsscheiben
durchzuführen. In diesem Fall stehen die gegenüberliegenden
Arbeitsscheiben also direkt miteinander in Kontakt. Eine konkave
oder konvexe Verformung einer der Arbeitsscheiben führt
zu einer Kraft auf den jeweiligen Träger. Dadurch kommt
es zu einer Bewegung bzw. gegebenenfalls Verformung des Trägers
und damit einer Änderung des Abstands der Träger
zueinander. Dieser Abstand zwischen den Trägern wird während der
Verformung gemessen.
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Es
kann eine Messkurve mit den aufgenommenen Abstandswerten aufgenommen
werden. Auf ihr kann beispielsweise der gemessene Abstand über
einer eine Verstellgröße der Arbeitsscheiben anzeigenden
Größe der Verstelleinrichtung aufgetragen sein.
Dabei kann es sich beispielsweise um die von der Verstelleinrichtung
auf die Arbeitsscheibe bzw. die Trägerscheibe ausgeübte
Kraft handeln. Die Messkurve besitzt ein Extremum, insbesondere
ein Minimum. Als Extremum kann also insbesondere das Minimum der
Messkurve ermittelt werden. Der Erfindung liegt dabei die Erkenntnis
zugrunde, dass dieses Extremum gerade bei einer Parallelstellung
der Arbeitsscheiben bzw. ihrer Arbeitsflächen und damit einer
maximalen Planparallelität des Arbeitsspalts auftritt.
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Aus
der aufgenommenen Messkurve kann dann beispielsweise ein erforderlicher
Abstand der Träger ermittelt werden, um den Arbeitsspalt
möglichst planparallel einzustellen. Es kann also die Parallelstellung
der Arbeitsscheiben ermittelt werden. Auf diesen Sollabstandswert
als Regelgröße kann dann durch eine messtechnische Überwachung
des Abstands der Träger geregelt werden, indem die Verstelleinrichtung
in geeigneter Weise angesteuert wird. Auf diese Weise wird auch
der Arbeitsspalt in seiner Form entsprechend geregelt.
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Dabei
kann erfindungsgemäß mittels einer Verstelleinrichtung
die Form sowohl der oberen als auch der unteren Arbeitsscheibe eingestellt
und der Arbeitsspalt auf diese Weise geregelt werden. Es ist aber
auch möglich, nur die Form einer der Arbeitsscheiben zu
regeln.
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Es
ist erfindungsgemäß erkannt worden, dass es im
Gegensatz zum Stand der Technik nicht erforderlich ist, in aufwendiger
Weise den Abstand im Arbeitsspalt selbst zu messen. Vielmehr kann
aus einer Messung des Abstands der Träger auf die Arbeitsspaltgeometrie
rückgeschlossen werden. Separate, an radial beabstandeten
Punkten in den Arbeitsscheiben angeordnete Sensoren, zum Beispiel
Wirbelstromsensoren, müssen erfindungsgemäß nicht vorgesehen
sein. Auf diese Weise wird eine Kostenersparnis erreicht. Dabei
kann in einfacher Weise eine Regelung auf Grundlage eines bei Doppelseitenbearbeitungsmaschinen üblicherweise
vorgesehenen Wegmessers zwischen den Trägern erfolgen.
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Darüber
hinaus kann die Abschaltgenauigkeit der Maschine erhöht
werden, also der Zeitpunkt, zu dem eine materialabtragende Bearbeitung
beendet werden muss, genauer bestimmt werden. Eine bei größeren
Stillstandszeiten der Maschine auftretende Temperaturdrift und damit
Verformung der Arbeitsscheiben kann ebenfalls kompensiert werden. Es
werden eine präzisere Einhaltung der vorgegebenen optimalen
Werkzeuggeometrie und damit eine verbesserte Prozessleistung erreicht.
Ferner kann das aktuelle Werkstückprofil als zusätzliche
Prozessinformation gewonnen werden durch einen Vergleich zwischen
dem Trägerabstand für eine maximale Parallelität
des Arbeitsspalts und der entsprechenden Stellgröße
der Verstelleinrichtung, also beispielsweise der ausgeübten
Kraft. Verändern sich diese Werte zueinander, kann auf
eine entsprechende Veränderung der Werkstückgeometrie
geschlossen werden.
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Das
Verfahren kann während der Bearbeitung von Werkstücken
und gegebenenfalls mehrfach durchgeführt werden. Bei den
Werkstücken kann es sich beispielsweise um Halbleiterscheiben
(Wafer), zum Beispiel Silizium-Wafer, handeln. Die Maschine kann
zum Polieren der Werkstücke dienen. Sie kann erfindungsgemäß aber
beispielsweise auch zum Schleifen oder Läppen der Werkstücke
vorgesehen sein. Gerade solche Maschinen weisen üblicherweise
keine Sensorik in den Arbeitsscheiben zur Spaltgeometrieerfassung
auf. Die Antriebswelle kann in an sich bekannter Weise von einem
Antriebsmotor angetrieben sein. Dabei ist es möglich, nur
eine oder auch beide Trägerscheiben und damit Arbeitsscheiben
drehend anzutreiben.
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Gemäß einer
Ausgestaltung kann die mindestens eine Arbeitsscheibe von einer
konvexen Form zu einer konkaven Form verformt werden. Es kann insbesondere
eine kontinuierliche Verformung stattfinden. Dabei kann der gesamte
Verstellweg der Verstelleinrichtung durchfahren werden. Es stehen dann
besonders viele Messpunkte zur Verfügung und die aufgenommene
Messkurve ist besonders aussagekräftig.
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Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung kann das Extremum mittels eines numerischen
Verfahrens zur Extremwertfindung berechnet werden. Bei Einsatz solcher
an sich bekannten numerischen Methoden zur Extremwertbestimmung
muss nicht der gesamte Verstellweg der Verstelleinrichtung von konkav
zu konvex durchfahren werden. Vielmehr kann bereits auf Grundlage
einer geringeren Anzahl von Messwerten das Extremum und damit der
Trägerabstand für Parallelität des Arbeitsspalts
errechnet werden. Es ist dann eine schnellere Bestimmung der für die
Regelung erforderlichen Größen möglich.
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Der
Abstand zwischen den Trägern kann parallel zur Rotationsachse
der Arbeitsscheiben gemessen werden, um Verfälschungen
auf das Messergebnis zu minimieren. Um eine symmetrische Messung
zu erreichen, kann der Abstand zwischen den Trägern auch
entlang der Rotationsachse der Arbeitsscheiben gemessen werden.
Es ist somit eine zentrale Messung in Richtung der Rotationsachse der
Träger- bzw. Arbeitsscheiben möglich. Gerade bei
Schleif- oder Läppmaschinen sind zentral angeordnete Abstandsmesseinrichtungen
(sogenannte Wegmesser) häufig bereits vorhanden. Diese
Messeinrichtungen können erfindungsgemäß dann
in kostengünstiger Weise eingesetzt werden.
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Nach
einer weiteren Ausgestaltung können die Arbeits- und Trägerscheiben
ringförmig ausgebildet sein und der Abstand kann zwischen
den Trägem im Bereich einer zentralen Ausnehmung der Arbeits- und
Trägerscheiben gemessen werden. Eine solche ringförmige
Ausbildung der Arbeits- und Trägerscheiben ist üblich.
Der obere und untere Träger der Maschine können
sich dann im Bereich der zentralen Ausnehmung der Arbeits- und Trägerscheiben
direkt gegenüberliegen. Auf diese Weise ist eine besonders einfache
Abstandsmessung möglich.
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Der
Abstand zwischen den Trägern kann mittels einer im Bereich
der Befestigung eines Trägers an der Antriebswelle zentral
befestigten Messeinrichtung und einer gegenüberliegenden
Gegenfläche des anderen Trägers gemessen werden.
Ist die Messeinrichtung beispielsweise an dem oberen Träger befestigt,
kann sie im Bereich der zentralen Aufhängung des Trägers
an der oberen Antriebswelle vorgesehen sein.
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Nach
einer weiteren Ausgestaltung kann der Abstand zwischen den Trägern
mittels eines optischen Messverfahrens gemessen werden. So ist beispielsweise
eine optische Wegmessung mittels eines Lasers oder ähnlicher
Vorrichtungen denkbar. Auf diese Weise wird in einfacher Weise eine
besonders genaue Messung erreicht.
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Die
Versteileinrichtung kann erfindungsgemäß derart
angesteuert werden, dass die Arbeitsflächen eine größtmögliche
Parallelität annehmen. Für die Weiterbearbeitung
der Werkstücke, beispielsweise für das Aufbringen
von integrierten Schaltungen, ist eine maximale Planparallelität
der Werkstückoberflächen erwünscht. Dazu
wird der Arbeitsspalt ebenfalls möglichst planparallel
eingestellt, also die Arbeitsflächen der Arbeitsscheiben
möglichst parallel zueinander ausgerichtet. Es ist aber
selbstverständlich auch denkbar, auf einen anderen Sollabstandswert
der Träger als den der größtmöglichen
Parallelität zu regeln, sofern beispielsweise eine bestimmte Konkavität
oder Konvexität einer oder beider Arbeitsscheiben für
die Bearbeitung gewünscht ist.
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Ein
Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand
von Figuren näher erläutert. Es zeigen schematisch:
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1 eine
Doppelseitenbearbeitungsmaschine zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
in einer ersten Betriebsstellung,
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2 die
in 1 dargestellte Doppelseitenbearbeitungsmaschine
in einer zweiten Betriebsstellung, und
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3 eine
mit dem erfindungsgemäßen Verfahren aufgenommene
Messkurve.
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Soweit
nichts anderes angegeben ist, bezeichnen in den Figuren gleiche
Bezugszeichen gleiche Gegenstände. In den 1 und 2 ist
eine Doppelseitenbearbeitungsmaschine 10 gezeigt. Die Maschine 10 kann
beispielsweise zum Polieren, Schleifen oder Läppen von
dünnen Werkstücken, insbesondere Halbleiterscheiben
(Wafer) dienen. Die Doppelseitenbearbeitungsmaschine 10 weist
einen oberen Träger 12 und einen unteren Träger 14 auf. Die
oberen und unteren Träger 12, 14 besitzen
sternförmige Arme 16, 18. Mit diesen
Armen 16, 18 tragen die oberen und unteren Träger 12, 14 eine
obere Trägerscheibe 20 und eine untere Trägerscheibe 22.
Die oberen und unteren Trägerscheiben 20, 22 sind
in dem dargestellten Beispiel ringförmig ausgebildet. An
der oberen Trägerscheibe 20 liegt eine ebenfalls ringförmig
ausgebildete obere Arbeitsscheibe 24 an und ist an der
Trägerscheibe 20 befestigt. An der unteren Trägerscheibe 22 liegt
entsprechend eine untere Arbeitsscheibe 26 an und ist an
der unteren Trägerscheibe 22 befestigt. In der
in 1 dargestellten Betriebsstellung sind die obere
Arbeitsscheibe 24 und untere Arbeitsscheibe 26 koaxial
zueinander angeordnet. Die obere Arbeitsscheibe 24 besitzt
eine erste Arbeitsfläche 28 und die untere Arbeitsscheibe 26 besitzt
eine zweite, der ersten Arbeitsfläche 28 zugewandte
Arbeitsfläche 30. Die Arbeitsflächen 28, 30 begrenzen
zwischen sich einen Arbeitsspalt 32. In dem Arbeitsspalt 32 sind
flache Werkstücke 34 angeordnet, die von den Arbeitsscheiben 24, 26 beidseitig bearbeitet
werden. In dem dargestellten Beispiel handelt es sich bei den Werkstücken 34 um
Wafer. Es versteht sich, dass die Dicke der Werkstücke 34 im
Vergleich zu ihren übrigen Abmaßen in den Figuren äußerst übertrieben
dargestellt ist. In der Tat liegt die Dicke der Werkstücke
im Bereich weniger Millimeter, insbesondere in einem Bereich von
weniger als 2 mm, vorzugsweise weniger als 1 mm.
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Über
eine in den Figuren nicht dargestellte, mit dem oberen Träger 12 verbundene
obere Antriebswelle kann zumindest der obere Träger 12 und mit
ihm die obere Trägerscheibe 20 und die obere Arbeitsscheibe 24 drehend
angetrieben werden. Auf diese Weise können die oberen und
unteren Arbeitsscheiben 24, 26 relativ zueinander
rotiert werden. Die Drehachse des Trägers 12 und
damit der Trägerscheibe 20 und der Arbeitsscheibe 24 ist
bei dem Bezugszeichen 36 dargestellt.
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Die
Träger 12, 14 sind in dem Bereich der zentralen
Ausnehmung der ringförmigen Träger- und Arbeitsscheiben 20, 22, 24, 26 direkt
gegenüberliegend angeordnet. Insbesondere besitzen der
obere und untere Träger 12, 14 jeweils
im zentralen Bereich der ringförmigen Ausnehmung gegenüberliegende Vorsprünge 38, 40.
In dem oberen Vorsprung 38 ist im Bereich der Rotationsachse 36 eine
Messeinrichtung 42 angeordnet. In dem dargestellten Beispiel handelt
es sich um eine optische Messeinrichtung 42. Mit ihr kann
mittels einer Laufzeitmessung eines von der Messeinrichtung 42 entlang
der Rotationsachse 36 auf die der Messeinrichtung 42 gegenüberliegende
Gegenfläche 44 des unteren Vorsprungs 40 gerichteten
Laserstrahls der Abstand D zwischen den gegenüberliegenden
Flächen der Vorsprünge 38, 40, und
damit zwischen den Trägern 12, 14 bestimmt werden.
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Die
Doppelseitenbearbeitungsmaschine weist weiterhin eine nicht näher
dargestellte Verstelleinrichtung auf. Diese kann beispielsweise
in der in
DE 10
2006 037 490 A1 beschriebenen Weise ausgestaltet sein.
Die Verstelleinrichtung ist an sich bekannt und wird an dieser Stelle
nicht näher erläutert. Mit ihr ist es möglich,
in dem dargestellten Beispiel die obere Trägerscheibe
20 und
damit die obere Arbeitsscheibe
24 zu verformen. Insbesondere
kann auf diese Weise eine konvexe oder konkave Verformung der oberen
Trägerscheibe
20 und der oberen Arbeitsscheibe
24 erfolgen,
wie dies in
1 schematisch durch den Pfeil
46 veranschaulicht
ist. Durch die Träger
12,
14 wird eine
Kraft auf die jeweils zugeordneten Träger- und Arbeitsscheiben
so ausgeübt, dass die Arbeitsscheiben
24,
26 von
beiden Seiten gegen die Werkstücke
34 gedrückt
werden. Die Arbeitsscheiben
24,
26 sind aufeinander
zugestellt.
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In 2 ist
eine konvexe Verformung der oberen Trägerscheibe 20 und
damit der oberen Arbeitsscheibe 24 dargestellt. Es versteht
sich, dass der Grad der Verformung zur Veranschaulichung äußerst übertrieben
dargestellt ist. Werden die obere Arbeitsscheibe 20 und
die obere Trägerscheibe 24 im auf die untere Arbeitsscheibe 26 zugestellten
Zustand in der in 2 gezeigten Weise verformt, kommt
es insbesondere zu einer vertikal nach oben gerichteten Krafteinwirkung
auf den oberen Träger 12. Dies wiederum führt
zu einer Vergrößerung des Abstands D zwischen
den Trägem 12, 14. Zu einer entsprechenden
Vergrößerung des Abstandes D kommt es in analoger
Weise bei einer konkaven Verformung der oberen Trägerscheibe 20 und
der oberen Arbeitsscheibe 24.
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Gemäß dem
erfindungsgemäßen Verfahren wird die Form der
oberen Trägerscheibe 20 und damit der oberen Arbeitsscheibe 24 von
der in 2 dargestellten konvexen Form kontinuierlich in
eine konkave Form verändert, indem durch die Verstelleinrichtung
eine entsprechende Kraft auf die Trägerscheibe 20 und
damit die Arbeitsscheibe 24 ausgeübt wird. Während
dieser Verformung wird mittels der Messeinrichtung 42 in
kurzen zeitlichen Abständen entlang der Rotationsachse 36 in
der von den ringförmigen Arbeitsscheiben 24, 26 gebildeten
zentralen Ausnehmung der Abstand D zwischen dem oberen und dem unteren
Träger 12, 14 gemessen. Eine entsprechend
ermittelte Messkurve ist in 3 gezeigt. In
dem Diagramm in 3 ist der Abstand D über
einer die Verformung der oberen Trägerscheibe 20 und oberen
Arbeitsscheibe 24 charakterisierenden Größe V
aufgetragen. Bei dieser Größe kann es sich beispielsweise
um die von der Verstelleinrichtung auf die obere Trägerscheibe 20 ausgeübte
Kraft handeln. Es ist zu erkennen, dass die Messkurve ein Minimum aufweist,
das bei dem Bezugszeichen 48 gezeigt ist. Bei diesem Minimum 48 sind
die oberen und unteren Arbeitsscheiben 24, 26 parallel
ausgerichtet, das heißt der Arbeitsspalt 32 besitzt
eine größtmögliche Planparallelität.
Soll nun beispielsweise der Arbeitsspalt möglichst planparallel
gehalten werden, kann mittels einer in den Figuren nicht näher
dargestellten Regeleinrichtung die Verstelleinrichtung so angesteuert
werden, dass der Abstand D auf den in 3 zu erkennenden
Minimalwert geregelt wird. Auf diese Weise wiederum kann der Arbeitsspalt 32 möglichst planparallel
geregelt werden. Selbstverständlich ist es auch denkbar,
sofern gewünscht, eine andere Arbeitsspaltgeometrie zu
wählen, beispielsweise eine geringfügige Konkavität
oder Konvexität. Ein entsprechender Abstandswert D, auf
den dann zu regeln ist, kann aus der in 3 gezeigten
Messkurve abgelesen werden.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 102006037490
A1 [0004, 0009, 0031]