KR940010221A - 소수화(疎水化) 처리방법 및 장치 - Google Patents

소수화(疎水化) 처리방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 웨이퍼의 소수화 처리를 행하기 위한 어드히젼 장치는, 처리액인 HMDS를 저류하는 탱크와, 탱크로부터의 HMDS의 증기 캐리어가스의 혼합처리가스를 웨이퍼의 표면에 공급하여 처리하는 처리용기을 구비한다. 처리용기내에는, 웨이퍼를 처리중에 얹어놓는대가 배열설치된다. 얹어놓는대에는, 웨이퍼의 온도를 제어하기 위하여, 히이터와, 냉각용수를 통과시키는 냉각통로가 내장된다. 처리용기의 배기관에는, 배기가스중의 HMDS 농도를 측정하는 농도측정부가 배열설치된다. 온도 제어신호는 온도조절부에 전달되고, 온도조절부는 이 신호에 따라서, 히이터로의 공급전류, 또는 냉각통로로의 냉각용수의 공급유량을 조절하고, 얹어놓는부의 온도를 변경한다.

Description

소수화(疎水化) 처리방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 소수화 처리장치를 나타내는 개략도,
제2도는 본 발명의 제2실시예에 관한 소수화 처리장치를 나타내는 개략도,
제3도는 본 발명의 제1도 또는 제2도에 나타낸 장치를 가지는 레지스트도포 및 현상시스템을 나타내는 개략평면도,
제4도는 2개의 농도측정부를 이용하는 경우의 변경례를 나타내는 도면.

Claims (20)

  1. 가스도입관과 배기관이 접속된 처리용기내에서 피처리막의 표면을 소수화처리하는 방법으로서, 상기 기판을 상기 처리용기내에 수납하고, 상기 처리용기를 밀폐하는 공정과, 상기 도입관을 통하여, 처리액의 증기와 캐리어가스로 이루어지는 처리혼합가스를 상기 처리용기 내에 도입함과 함께, 상기 배기관을 통하여, 상기 처리용기를 배기하는 공정과, 상기 배기관을 통과하는 배기가스중의 상기 처리액의 농도를 측정하는 공정과, 상기 농도의 측정치를 농도설정치와 비교하는 공정과, 상기 농도설정치는 소수화처리의 소정의 진행도에 기초하여 결정되는 것과, 상기 배교의 결과에 기초하여 상기 기판의 처리조건의 적어도 한개를 변경하는 공정을 구비하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적어도 한개의 처리조건이, 처리온도이며, 여기서 상기 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우는 상기 처리온도를 상승시키고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은 경우는 상기 처리온도를 낮추는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 처리용기내에 배열설치되며 또한 온도조절수단을 내장하는 얹어놓는대 상에 상기 기판을 얹어놓는 공정을 더욱 포함하며, 상기 온도조절수단에 의하여 상기 기판의 처리온도를 변경하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 적어도 한개의 처리조건이 처리시간이며, 여기서, 상기 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우는 상기 처리시간을 길게 하고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은 경우는 상기 처리시간을 짧게 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 처리시간이 상기 처리혼합가스의 상기 처리용기로의 도입을 정지하는 것에 의하여 규정되는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 캐리어 가스는, 상기 처리액내를 통과하여 그 증기를 인출하기 위한 제1유로와, 상기 처리액내를 통과하지 않고 인출된 증기를 희석하기 위한 제2유로와로 나누어져 상기 도입관에 도입되고, 상기 처리시간의 종료시는 상기 제1 및 제2유로가 함께 폐쇄되는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 적어도 한개의 처리조건이 상기 도입관을 흐르는 상기 처리혼합가스중의 상기 처리액의 농도이며, 상기 캐리어 가스는, 상기 처리액내를 통과하여 그 증기를 인출하기 위한 제1유로와, 상기 처리액내를 통과하지 않고 인출된 증기를 희석하기 위한 제2유로와로 나누어져 상기 도입관에 도입되며, 상기 제2유로를 흐르는 상기 캐리어 가스의 유량을 조정함으로써 상기 처리혼합가스중의 상기 처리액의 농도가 변경되는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 농도의 측정이, 합성 2분자막 센서에 의하여 행해지고, 상기 센서는, 진동자와 상기 진동자를 피복하는 합성 2분자막을 구비하고, 상기 막에 흡착한 물질의 양에 따라서 상기 진동자의 진동수가 바뀌는 것에 의하여 상기 농도를 측정하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 농도를 측정후, 상기 합성 2분자막의 표면에 흡착한 물질을 제거하는 제거공정을 더욱 구비하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제거 공정은, 상기 센서를 수용하며 또한 상기 배기관에 접속된 콘테이너를 상기 캐리어 가스와 실질적으로 동일한 가스로 치환하는 것에 의하여 행해지는 방법.
  11. 피처리기판의 표면을 소수화처리하는 장치로서, 처리용기와, 상기 처리용기내에 배열설치된 상기 기판을 지지하는 지지수단과, 상기 기판의 처리온도를 조정하는 온도조절수단과, 처리액의 증기와 캐리어가스로 구성되는 처리혼합가스를 상기 처리용기 내에 도입하기 위하여, 상기 처리용기에 접속된 가스도입관과, 상기 처리용기를 배기하기 위한 상기 처리용기에 접속된 배기관과, 상기 배기관에 접속되고, 상기 배기관을 통과하는 배기가스중의 상기 처리액의 농도를 측정하는 농도측정수단과, 상기 측정수단에 의한 농도측정치를 농도설정치와 비교하고, 상기 비교의 결과에 기초하여 상기 기판의 처리조건의 적어도 하나를 변경하는 제어수단과, 상기 농도설정치는 소수화처리의 소정의 진행도에 기초하여 결정되는 것을 구비하는 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 온도조절수단은 상기 제어수단에 접속되며 또한 이것에 의하여 조정되는 것과, 상기 적어도 하나의 처리조건은 처리온도이며, 상기 제어수단은 상기 온도조절단을 통하여, 상기 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우는 상기 처리온도를 높이고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은 경우는 상기 처리온도를 낮추는 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 처리용기내에 배열설치되고 또한 상기 온도조절수단을 내장하는, 상기 기판을 얹어놓기 위한 얹어놓는대를 구비하는 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 적어도 하나의 처리조건은 처리시간이며, 상기 제어수단은, 상기 측정치가 상기 설정치보다 낮은 경우는 상기 처리시간은 길게 하고, 상기 측정치가 상기 설정치보다 높은 경우는 상기 처리시간을 짧게 하는 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 처리시간을 상기 처리혼합가스의 상기 처리용기로의 도입을 정지함에 의하여 규정하는 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 캐리어가스를 상기 도입관에 도입하기 위한 제1 및 제2유로를, 상기 제1유로는 상기 캐리어가스의 일부가 상기 처리액내를 통과하여 그 증기를 인출하도록 배치되고, 상기 제2유로는 상기 캐리어가스의 다른 부분이 상기 처리액내를 통과하지 않고 인출된 증기를 희석하도록 배치되는 것과, 상기 제1및 제2유로에 각각 배열설치됨과 함께, 상기 제어수단에 접속되며 또한 이것에 의하여 개폐되는 제1및 제2개폐밸브를 더욱 구비하며, 상기 제어수단은, 상기 처리시간의 종료시에 상기 제1및 제2개폐밸브에 의하여 상기 제1및 제2유로를 개폐하는 장치.
  17. 제11항에 있어서, 상기 캐리어 가스를 상기 도입관에 도입하기 위한 제1및 제2유로와, 상기 제 1유로는 상기 캐리어가스의 일부가 상기 처리액내를 통과하여 그 증기를 인출하도록 배치되고, 상기 제2유로는 상기 캐리어가스의 다른 부분이 상기 처리액내를 통과하지 않고 인출된 증기를 희석하도록 배치되는 것과, 상기 제2유로에 각각 배열설치됨과 동시에, 상기 제어수단에 접속되며 또한 이것에 의하여 개방도 조정되는 유량조정밸브와를 더욱 구비하며, 상기 제어수단은 상기 유량 조절 밸브에 의하여, 상기 제2유로를 흐르는 상기 캐리어가스의 유량을 조정함으로써 상기 처리혼합가스 중의 상기 처리액의 농도를 변경하는 장치.
  18. 제11항에 있어서, 상기 농도측정수단은 합성 2분자막 센서를 구비하고, 상기 센서는, 진동자와 상기 진동자를 피복하는 합성 2분자막을 구비하고, 상기 막에 흡착한 물질의 양에 따라서 상기 진동자의 진동이 변함에 의하여, 상기 농도를 측정하는 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 농도측정수단은 상기 센서를 수용하고 또한 상기 배기관에 접속된 콘테이너를 구비하는 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 콘테이너에 상기 캐리어가스와 실질적으로 동일한 가스를 도입하고 또한 상기 콘테이너를 동일 가스로 치환하기 위하여, 상기 콘테이너에 퍼지관이 접속되는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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