KR20000022648A - 부압 헤드 슬라이더 - Google Patents

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아끼구사 나오유끼
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Abstract

본 발명은 부상 안정성 및 구름 강성이 높은 부압 헤드 슬라이더를 제공하는 것이다.
부압 헤드 슬라이더(14)는 슬라이더 본체의 부상면(19)에 형성되어 슬라이더 본체의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 제1 공기 베어링면(24)과, 이 제1 공기 베어링면(24)으로부터 분리하여 상기 부상면(19)에 형성되고 슬라이더 본체의 하류측에서 기류의 유통로(22)를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 제2 공기 베어링면(25a,25b)을 구비한다. 헤드 소자의 갭(28)이 배치되는 하류측에서 슬라이더 폭방향으로 2점으로 지지되기 때문에 높은 구름 강성이 얻어진다. 프론트 레일(21)과 사이드 레일(29)의 협동에 의해 높은 부압이 생성된다.

Description

부압 헤드 슬라이더{Negative pressure head slider}
본 발명은 자기 디스크 구동 장치나 기타 기록 디스크 구동 장치에 사용되는 부압 헤드 슬라이더에 관한 것이다.
예를 들어 자기 디스크 구동 장치의 분야에서는, 자기 디스크에 대한 정보의 입력이나 출력시에 디스크면으로부터 부상하는 부상 헤드 슬라이더를 자기 헤드로 사용하는 일이 많다. 이러한 부상 헤드 슬라이더에서는 자기 디스크의 디스크면에 대향하는 슬라이더 본체의 부상면에 공기 베어링면(소위 ABS(air bearing surface))이 형성된다. 자기 디스크가 회전하면, 디스크면을 따라 발생하는 기류가 공기 베어링면에 작용하여 슬라이더 본체에 부력을 발생시키는 것이다.
근년, 자기 디스크 구동 장치의 분야에서는 가일층의 기록 밀도 향상이 요구되고 있다. 기록 밀도를 향상시키기 위해서는 슬라이더 본체의 부상량을 극력 낮게 설정할 필요가 있다. 그러나 부상량을 낮게 설정하면, 부상 중에 슬라이더 본체가 디스크면에 충돌할 확률이 높아져 버린다. 그래서 종래에는 공기 베어링면에 생기는 부력에 대항하는 부압을 발생시켜, 부력과 부압과의 평형에 의해 부상량을 규정하는 부압 헤드 슬라이더가 제안되어 있다. 이 부압 헤드 슬라이더에서는 슬라이더 본체를 디스크면으로 끌어 당기는 방향으로 부압이 작용하여 슬라이더 본체의 부상 안정성을 높일 수 있다. 그 결과 슬라이더 본체와 디스크면과의 충돌의 확률을 저하시킬 수 있는 것이다.
금후, 기록 밀도의 향상을 더욱 요구하게 되면, 부상 안정성을 가일층 높일 필요가 있고, 동시에 슬라이더 본체의 구름 강성을 높일 필요가 생기게 된다. 구름 강성이 낮으면, 부상 중에 슬라이더 본체가 기류를 따라 중심축을 중심으로 회전해 슬라이더 본체가 디스크면에 충돌해 버리기 때문이다.
본 발명은 상기 실상을 감안하여 행해진 것으로서, 부상 안전성 및 구름 강성이 높은 부압 헤드 슬라이더를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도1은 하드 디스크 구동 장치(HDD)의 내부 구조를 나타낸 평면도.
도2는 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더의 확대 사시도.
도3은 부압 헤드 슬라이더의 압력 분포를 나타낸 도면.
도4는 부압 헤드 슬라이더에 생기는 압력에 대한 주위 분위기의 기압의 영향을 나타낸 그래프.
도5는 간극의 효과를 나타낸 그래프.
도6은 부압 헤드 슬라이더의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 도면.
도7은 도2의 7-7 선을 따른 개략 단면도로서, 부상면의 형성 방법을 개략적으로 나타낸 도면.
도8은 도2의 7-7 선을 따른 개략 단면도로서, 부상면의 형성 방법을 개략적으로 나타낸 도면.
도9는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.
도10은 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.
도11은 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.
도12는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.
도13은 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.
도14는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.
도15는 부상면의 형상을 나타낸 부압 헤드 슬라이더의 평면도.
부호의 설명
10 기록 디스크 구동 장치로서의 하드 디스크 구동 장치(HDD)
14 부압 헤드 슬라이더
19 부상면
21 프론트 레일
22 유통로
23 리어 레일
24 제1 공기 베어링면
25a 한쪽의 제2 공기 베어링면
25b 다른 쪽의 제2 공기 베어링면
27a,27b,27c 단차
28 헤드 소자의 갭
29 사이드 레일
30 간극
31a,31b,31c,31d 흡착 방지 패드
51 상류단
52 하류단
55 다른 쪽의 제2 공기 베어링면의 상류단
56 한쪽의 제2 공기 베어링면의 상류단
57 변위된 하류단
W1 제1폭
W2 제2폭
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의하면, 슬라이더 본체의 부상면에 형성되어 슬라이더 본체의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 제1 공기 베어링면과, 이 제1 공기 베어링면으로부터 분리하여 상기 부상면에 형성되고 슬라이더 본체의 하류측에서 기류의 유통로를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 제2 공기 베어링면을 구비한 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더가 제공된다.
이러한 부압 헤드 슬라이더에 의하면, 헤드 소자가 매입되는 슬라이더 본체의 하류측에서, 슬라이더 폭방향으로 나란한 2개의 제2 공기 베어링면에 정압 즉 부력이 생성된다. 그와 같은 2개의 정압에 의해 슬라이더 본체가 지지되기 때문에, 슬라이더 본체의 구름 강성을 현저히 높일 수 있다.
상기 제1 공기 베어링면은 기류의 상류측에서 상기 부상면에 형성되어 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 프론트 레일의 정상면에 형성되면 좋다. 이러한 프론트 레일의 형성에 의하면, 디스크면에 생성되는 기류가 맨 먼저 프론트 레일로 차단되고, 그 결과 프론트 레일의 뒤쪽에 생성되는 부압이 감소하는 것을 저지할 수 있다. 상기 제2 공기 베어링면은 기류의 하류측에서 상기 부상면에 형성되어 기류의 유통로를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 리어 레일의 정상면에 각각 형성되면 좋다.
제1 공기 베어링면이나 제2 공기 베어링면은 단차에 의해 프론트 레일의 정상면이나 리어 레일의 정상면에 접속되는 것이 바람직하다. 이러한 단차의 작용에 의해 제1 및 제2 공기 베어링면에 큰 정압을 생성시킬 수 있기 때문이다.
부상면에는 상기 프론트 레일의 슬라이더 폭방향 양단으로부터 하류측으로 뻗는 1쌍의 사이드 레일이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 사이드 레일의 작용에 의하면, 디스크면을 따라 생성되는 기류가 프론트 레일을 우회하여 프론트 레일의 뒤쪽으로 돌아 갈 수 없게 되고, 그 결과 프론트 레일의 뒤쪽에 확실히 큰 부압을 생성시킬 수 있게 된다. 특히 이러한 사이드 레일의 슬라이더 폭방향의 두께는 리어 레일의 슬라이더 폭방향의 두께에 비해서 얇게 설정되는 것이 바람직하다. 사이드 레일의 두께가 얇으면 부압을 발생시키는 영역을 넓힐 수 있어서, 큰 부압을 발생시킬 수 있기 때문이다.
단 상기 사이드 레일에는 상기 프론트 레일을 우회하는 기류를 상기 유통로로 유도하는 간극이 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 간극에 의하면, 상술한 프론트 레일이나 리어 레일의 높이를 낮게 설정하여도, 낮은 주속(tangential velocity)에서 부압의 포화가 발생하는 것을 극력 저지할 수 있게 된다. 그 결과 부압의 주속 응답성이 높여져서, 주속의 변동에 불구하고 슬라이더 본체의 부상량을 일정하게 유지할 수 있게 된다.
상기 프론트 레일의 정상면이나 리어 레일의 정상면에는 슬라이드 본체가 디스크면에 착좌할 때에 제1 공기 베어링면이나 제2 공기 베어링면과 디스크면과의 접촉을 회피시키는 흡착 방지 패드가 형성되어도 좋다. 이러한 흡착 방지 패드에 의하면, 제1 및 제2 공기 베어링면이 직접 디스크면에 접촉하는 것이 회피된다. 그 결과 디스크면 상에 성막된 윤활제의 흡착력이 약화되어, 디스크의 회전 개시시에 바로 본체가 부상할 수 있게 된다.
그리고 또한, 상기 제2 공기 베어링면 중, 헤드 소자가 매입되는 한쪽의 제2 공기 베어링면은 다른 쪽의 제2 공기 베어링면보다 작게 형성되어도 좋다. 이렇게 하면, 구름각에 따른 경사 자세를 슬라이더 본체가 취할 수 있게 되고, 따라서 헤드 소자의 근방에서 부상면과 디스크면의 거리를 가장 짧게 할 수 있게 된다.
상기 한쪽의 제2 공기 베어링면을 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면보다 작게 형성할 때, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면은 제1폭 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차에 연결하는 상류단과, 제1폭보다 큰 제2폭 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗는 하류단을 구비하면 좋다. 예를 들어 출력용 헤드 소자로서 MR(자기 저항) 소자가 사용되는 경우, MR(자기 저항) 소자가 쉴드층(shield layer)에 의해 개재되어야 한다. 이 쉴드층은 슬라이더 폭방향으로 충분히 뻗어 있지 않으면, MR 소자로 불필요한 자기가 작용해서 MR 소자는 정확한 정보를 출력할 수 없게 된다. 일반적으로 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체의 하류측을 가장 기록 매체에 접근시키는 경사 자세로 유지되는 일이 많다. 이러한 경사 자세가 유지되는 한, 슬라이더 본체의 하류측에 매입된 헤드 소자를 충분히 기록 매체에 접근시킬 수 있는 한편, 기록 매체에 대한 슬라이더 본체의 접촉 면적을 최소한으로 억제할 수 있기 때문이다. 따라서 상술한 바와 같이 제2 공기 베어링면의 하류단에 큰 폭을 확보해 두면, 슬라이더 폭방향을 따른 쉴드층의 폭을 확보하면서 제2 공기 베어링면을 작게 형성할 수 있는 것이다.
또는 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면을 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면 보다도 작게 형성할 때, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차를 형성하는 상류단은 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차를 형성하는 상류단보다도 하류측에 배치되어도 좋다. 이러한 배치에 의하면, 한쪽의 제2 공기 베어링면에서는 다른 쪽의 제2 공기 베어링면에 비해서 기류의 흐름 방향을 따라 퍼지는 것이 축소된다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면의 면적은 감소하고, 그 결과 다른 쪽의 제2 공기 베어링면에 비해서 한쪽의 제2 공기 베어링면의 부력은 억제된다. 슬라이더 폭방향을 따른 쉴드층의 퍼짐을 압박하는 일없이, 한쪽의 제2 공기 베어링면에 생기는 부력을 억제할 수 있는 것이다. 이렇게 부력이 억제되면, 한쪽의 제2 공기 베어링면은 디스크면에 접근할 수 있다.
이렇게 한쪽의 제2 공기 베어링면의 상류단이 변위되는 경우에는, 상류단의 배치에 따라 리어 레일과 사이드 레일 사이에 형성되는 간극의 크기가 조정되는 것이 바람직하다. 예를 들어 상류단의 변위에 추종하여 사이드 레일이 리어 레일를 향해 뻗지 않는 경우에는, 사이드 레일과 리어 레일 사이에 큰 간극이 생겨 버린다. 이러한 큰 간극은 프론트 레일의 배후에 생기는 부압을 추방하고 만다. 반면에 상류단의 변위에 수반하여 사이드 레일이 리어 레일을 향해 뻗어 있으면, 간극의 크기가 축소되고, 그 결과 높은 부압을 유지할 수 있게 된다. 이렇게 높은 부압이 유지되면 한쪽의 제2 공기 베어링면은 디스크면에 접근할 수 있는 것이다.
그리고 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면에 비해서 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면에 부력을 작게 하기 위해서는, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면 측에서 상기 리어 레일의 정상면에 대해서 제2 공기 베어링면의 배치가 조정되어도 좋다. 상기의 단차에서 생기는 큰 정압에는 단차의 면적이나 높이, 제2 공기 베어링면의 크기 외에 단차에 연결되는 리어 레일 정상면의 퍼짐이 영향을 준다. 정상면의 퍼짐이 작으면, 정압은 발생하기 어렵고, 반대로 정상면의 퍼짐이 크면 큰 정압이 발생하기 쉽다. 따라서 기류를 받기 쉬운 방향으로 단차에 연결되는 리어 레일 정상면의 퍼짐을 좁히면, 한쪽의 제2 공기 베어링면의 부력을 억제할 수 있는 것이다.
그리고 또한 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면을 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면 보다도 작게 형성할 때, 상기 한쪽의 제2 공기 베어링면은 하류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어, 상류측으로 변위된 하류단을 구비하여도 좋다. 상술한 부압 헤드 슬라이더에서는 슬라이더 본체의 하류측에 보다 큰 정압이 생긴다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면의 하류단을 상류측으로 변위시킴으로써 한쪽의 제2 공기 베어링면의 면적을 감소시키면, 한쪽의 제2 공기 베어링면에 생기는 부력을 효율적으로 억제할 수 있게 된다.
이상과 같은 부압 헤드 슬라이더는 하드 디스크 구동 장치(HDD)를 비롯한 자기 디스크 구동 장치나 기타의 기록 디스크 구동 장치에 조립해 넣어 사용될 수 있다.
실시예
이하 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 설명한다.
도1은 자기 디스크 구동 장치의 1 구체예로서의 하드 디스크 구동 장치(HDD)(10)의 내부 구조를 나타낸다. HDD(10)의 하우징(11)에는 스핀들 모터(12)에 장착된 자기 디스크(13)와, 자기 디스크(13)에 대향하는 부압 헤드 슬라이더(14)가 수용된다. 부압 헤드 슬라이더(14)는 샤프트(15)를 중심으로 요동할 수 있는 캐리지 암(carriage arm)(16)의 선단에 고착된다. 자기 디스크(13)에 대한 정보의 입력이나 출력시에는 자기 회로로 구성되는 액추에이터(17)에 의해 캐리지 암(16)이 요동 구동되고, 그 결과 부압 헤드 슬라이더(14)가 자기 디스크(13)의 소망하는 기록 트랙에 위치 결정된다. 하우징(11)의 내부 공간은 도시하지 않은 커버에 의해 폐쇄된다.
도2는 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더(14)를 나타낸다. 이 부압 헤드 슬라이더(14)의 슬라이더 본체는 자기 디스크(13)에 대향하는 부상면(19)을 구비한다. 부상면(19)에는 자기 디스크(13)가 회전할 때 생성되는 기류(20)의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 프론트 레일(21)과, 기류(20)의 하류측에 기류의 유통로(22)를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 리어 레일(23)이 형성된다.
프론트 레일(21)의 정상면에는 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 제1 공기 베어링면(24)이 형성된다. 한편, 2개의 리어 레일(23)이 정상면에는 기류의 유통로(22)를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 제2 공기 베어링면(25a,25b)이 각각 형성된다. 자기 디스크(13)가 회전하여 디스크면을 따라 기류(20)가 발생하면, 그 기류(20)가 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 작용한다. 그 결과 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에는 슬라이더 본체를 디스크면으로부터 부상시키는 부력이 생성된다. 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 제1 공기 베어링면(24)에 큰 부력이 생성되는 결과, 슬라이더 본체는 피치각(α)의 경사 자세로 유지된다. 여기서 피치각(α)이란 기류(20)의 흐름 방향을 따른 슬라이더 본체 전후 방향의 경사각을 말한다.
제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)은 단차(27a,27b,27c)에 의해 프론트 레일(21) 및 리어 레일(23)의 정상면에 접속된다. 이 단차(27a,27b,27c)는 후술하는 바와 같이, 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 큰 정압 즉 부력을 발생시킬 수 있다.
한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 비해서 작게 형성된다. 따라서 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 비해서 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 큰 부력이 생성된다. 그 결과 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 슬라이더 본체는 구름각(β)의 경사 자세로 유지된다. 여기서, 구름각(β)이란 기류(20)의 흐름 방향에 직교하는 슬라이더 본체 폭방향의 경사각을 말한다.
이렇게 작게 형성된 제2 공기 베어링면(25a)에는 슬라이더 본체에 매입된 자기 헤드 소자의 입력 및 출력 갭(28)이 노출한다. 슬라이더 본체의 피치각(α) 및 구름각(β)의 작용에 의해, 자기 헤드 소자의 갭(28) 근방에서 슬라이더 본체와 디스크면의 거리가 가장 짧아진다.
프론트 레일(21)의 슬라이더 폭방향 양단에는 하류측으로 뻗는 1쌍의 사이드 레일(29)이 접속된다. 이 사이드 레일(29)에 의하여, 프론트 레일(21)을 폭방향 양측으로부터 우회하는 기류가 프론트 레일(21)의 뒤쪽으로 진입하지 않게 된다. 따라서 제1 공기 베어링면(24)을 따라 흐르는 기류가 프론트 레일(21)을 통과하는 동시에 디스크면 연직 방향으로 퍼지고, 그 결과 부압이 생성된다. 이 부압이 상술한 부력과 평형하게 됨으로써 슬라이더 본체의 부상량을 규정할 수 있게 된다. 1쌍의 사이드 레일(29)과 1쌍의 리어 레일(23) 사이에는 프론트 레일(21)을 폭방향 양측으로부터 우회하는 기류를 유통로(22)로 유도하는 간극(30)이 형성된다.
프론트 레일(21)의 정상면이나 리어 레일(23)의 정상면에는, 슬라이더 본체가 디스크면에 착좌할 때에 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)과 디스크면과의 접촉을 회피시키는 복수의 흡착 방지 패드(31a,31b,32c,31d)가 더 형성된다. 그리고 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 큰 부력을 발생하는 제2 공기 베어링면(25b)측에 배치되는 흡착 방지 패드(31c)에 대해서, 작은 부력 밖에 발생하지 않는 제2 공기 베어링면(25a)측에 배치되는 흡착 방지 패드(31d)는 기류(20)의 상류측에 배치된다. 상술한 구름각(β)의 작용에 의해 제2 공기 베어링면(25a)측에는 부압 헤드 슬라이더(14)의 부상량이 작기 때문에, 이와 같이 흡착 방지 패드(31d)를 어긋나게 함으로써 흡착 방지 패드(31d)가 디스크면에 접촉하는 것은 회피될 수 있다.
지금, 자기 디스크(13)가 회전하면, 디스크면을 따라 기류(20)가 생성된다. 기류(20)가 생성되면, 그때까지 디스크면에 착좌하고 있던 부압 헤드 슬라이더(14)는 디스크면으로부터 부상한다. 이때 부착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)의 작용에 의해, 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)은 디스크면에 직접 접촉하고 있지 않는다. 따라서 디스크면 상에 성막된 윤활제의 흡착력이 약해져서, 부압 헤드 슬라이더(14)는 즉시 부상할 수 있게 된다. 슬라이더 본체의 부상 중, 헤드 소자의 입력 및 출력 갭(28)에 의해 자기 디스크(13)에 대한 정보의 입력이나 출력이 실행된다.
기류(20)가 부압 헤드 슬라이더(14)에 작용하면, 예를 들어 도3에 나타낸 바와 같이 슬라이더 본체의 부상면(19)에는 정압 즉 부력과 부압이 생성된다. 도3에는 시뮬레이션 소프트 웨어에 의해 산출된 부압 헤드 슬라이더(14)의 1 구체예의 압력 분포가 나타나 있다. 슬라이더 본체의 크기는 세로 1.25mm, 폭 1mm, 두께 0.3mm로 한다.
도3으로부터 명백하듯이, 기류(20)가 흘러오면 제1 공기 베어링면(24)의 전면(前面)에 형성된 단차(27a)(위치B)에 큰 정압이 생긴다. 생긴 정압은 제1 공기 베어링면(24)의 하류측을 향해 가면서 증대한다.
이어서 기류(20)가 프론트 레일(21)을 통과한 시점(위치C)에서 정압은 소실한다. 정압 대신에 부압이 생성된다(위치D). 이 부압은 프론트 레일(21)의 뒤쪽에 기류(20)의 통로가 급격히 디스크면 연직 방향으로 퍼짐으로써 생성된다. 그리고 사이드 레일(29)의 작용에 의해 프론트 레일(21)의 정면에 충돌하여 프론트 레일(21)을 우회하는 기류(20)는 프론트 레일(21)의 뒤쪽으로 진입할 수가 거의 없다. 그 결과 프론트 레일(21)의 뒤쪽에 큰 부압이 생성하게 된다.
하류측이 리어 레일(23)에 도달한 기류(20)는 제2 공기 베어링면(25a,25b)의 전면에 형성된 단차(27b,27c)(위치E)에 다시 큰 정압을 발생시킨다. 생긴 정압은 제2 공기 베어링면(25a,25b)의 하류측을 향해 가면서 증대한다. 제2 공기 베어링면(25a,25b)이 끊긴 시점(위치F)에서 정압은 소실한다.
이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 위치(B~C)나 위치(E~F)에서 생기는 정압과, 위치(D)에서 생기는 부압과의 평행에 의해 슬라이더 본체의 부상량이 결정된다. 그리고 큰 정압과 큰 부압이 평형을 유지함으로써 높은 부상 안정성이 얻어진다. 정압과 부압의 평형을 유지하기 위해서는 단차(27a,27b,27c)의 높이를 0.2μm 이하로 설정하는 것이 바람직하다.
또한 이 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 피치각(α)의 자세일 때 가장 디스크면에 다가가는 슬라이더 본체의 하류측에서, 슬라이더 폭방향으로 나란한 2개의 정압에 의해 슬라이더 본체가 지지되기 때문에, 구름 강성이 현저히 높아지게 된다.
일반적으로 자기 디스크 구동 장치(10)가 놓여지는 분위기의 기압이 낮으면, 공기가 희박하게 되는 결과, 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 생성되는 정압은 기압에 거의 비례하여 감소한다. 따라서 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 기압의 감소에 수반하여 감소하는 정압에 비례하여 부압을 감소시킬 필요가 있다. 부압이 일정한 상태에서는 슬라이더 본체의 부상량이 감소하여 버리기 때문이다.
도4는 부압 헤드 슬라이더(14)에 대한 기압의 영향을 나타낸 그래프이다. 그래프 중의 실선에 의하면 비율=(기압 P=0.7 atom 시의 정압)/(기압 P=1 atom 시의 정압)의 변화의 모양이 나타나 있고, 그래프 중의 점선에 의하면 비율=(기압 P=0.7 atom 시의 부압)/(기압 P=1 atom 시의 부압)의 변화의 모양이 나타나 있다. 이 그래프로부터 명백하듯이 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이(H)(도2 참조), 환언하면 프론트 레일(21)이나 사이드 레일(29), 리어 레일(23)로 둘러싸인 홈의 깊이가 변동하여도 정압의 비율은 거의 변동하지 않는다. 반면에 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이가 낮아짐에 따라, 부압과 정압 사이에 비율의 차가 줄어 들어가는 모양이 관찰된다. 즉 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이를 낮게 설정하면, 부압의 기압 의존성을 높일 수 있고, 그 결과 기압의 변동에 불구하고 슬라이더 본체의 부상량을 극력 일정하게 유지시킬 수 있음을 알 수 있다. 따라서 자기 디스크 구동 장치(10)가 사용되는 지역의 표고에 영향을 받는 일없이, 거의 일정한 부상량을 기대할 수 있다. 이 경우에는 높이(H)는 2㎛ 이하 일 것이 바람직하다.
한편, 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이를 낮게 설정하면, 비교적 낮은 자기 디스크(13)의 주속에서 부압이 포화하여 버린다. 따라서 주속이 빨라져서 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)에 생기는 부력이 증대하여도, 그 증대에 추종하여 부압이 증대하지 않게 되고 만다. 그 결과 주속이 빨으면 빨을수록 슬라이더 본체의 부상량이 증대하고 만다. 예를 들어 자기 디스크(13)의 중심측에 비해서 주속이 빠른 자기 디스크(13)의 외주측에서는 슬라이더 본체의 부상량이 커져 버린다.
그래서 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 간극(30)의 형성에 의해 이 주속에 대한 부압의 응답성을 높이고 있다. 예를 들어 도5에 나타낸 바와 같이 간극(30)이 형성되어 있으면, 상술한 바와 같이 프론트 레일(21)이나 리어 레일(23)의 높이를 낮게 설정하여도, 주속이 높아짐에 따라서 부압이 증가해 가는 것을 알 수 있다. 간극(30)이 형성되어 있지 않으면, 낮은 주속에서 부압이 포화해 버리므로, 그 이상 주속을 빠르게 하여도 부압이 증가하는 일이 없다는 것을 알 수 있다.
또한 간극(30)은 가능한 한 하류측에 형성되는 것이 바람직하다. 그렇게 하면 프론트 레일(21)과 사이드 레일(29)로 둘러싸인 공간이 퍼져서 생성되는 부압을 크게 할 수 있는 동시에, 부압의 작용점을 하류측으로 시프트 시킬 수 있기 때문이다. 그 결과 슬라이더 본체의 부상 안정성이 향상한다.
다음에는 부압 헤드 슬라이더(14)의 제조 방법을 상술한다. 우선 도6a에 나타낸 바와 같이, Al2O3(알루미나)층이 표면에 성막된 Al2O3-TiC(알틱)제의 웨이퍼(40) 표면에 자기 헤드 소자를 형성한다. 자기 헤드 소자는 1 부압 헤드 슬라이더(14)로 잘라내는 1 블록씩 형성된다. 직경 5인치의 웨이퍼에서는, 예를 들어 100×100=10000 개의 부압 헤드 슬라이더를 잘라낼 수 있다. 형성된 자기 헤드 소자는 Al2O3층의 보호막으로 피복된다.
이어서 도6b에 나타낸 바와 같이, 자기 헤드 소자가 형성된 웨이퍼(40)로부터, 부압 헤드 슬라이더(14)가 일렬로 나란한 웨이퍼 바(40a)를 잘라낸다. 잘라낸 웨이퍼 바(40a)의 절단면(41)에 부상면(19)을 형성한다. 최종적으로 도6c에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 바(40a)로부터 각 부압 헤드 슬라이더(14)를 잘라낸다.
여기서 부상면(19)의 형성 방법을 상술한다. 우선 도7a에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 바(40a)의 절단면(41)에 Si 밀착층(42)을 통해서 DLC(diamond-like- carbon)층(43)을 적층한다. 이 DLC층(43)에 다시 Si 밀착층(44)을 통해서 DLC층(45)을 적층한다. DLC층(45) 표면에 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)의 패턴을 형성하는 필름 레지스트(46)를 성막한다.
다음에 도7b에 나타낸 바와 같이, 반응성 이온 에칭(RIE)에 의해 DLC층(45) 및 Si 밀착층(44)을 에칭하여 DLC층(43)을 노출시킨다. 이에 따라 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)의 선단 부분이 형성된다. 이어서 도7c에 나타낸 바와 같이 레지스트(46)를 제거한다.
다음에 도7d에 나타낸 바와 같이, 포토 레지스트(47)에 의해 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)의 패턴을 형성한다. 포토 레지스트(47)는 동시에, 형성된 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)를 피복한다. 노광 현상 후, 도7e에 나타낸 바와 같이 이온밀을 실시하여 DLC층(43) 및 Si 밀착층(42)이나, 웨이퍼 바(40a)의 본체 즉 알틱을 에칭한다. 이 에칭에 의해 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)이 형성된다. 도7b에서 선단 부분이 형성된 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)가 동시에 완성한다. 그 후 도7f에 나타낸 바와 같이, 포토 레지스트(47)가 제거된다.
다음에 도8a에 나타낸 바와 같이, 포토 레지스트(48)에 의해 프론트 레일(21), 사이드 레일(29) 및 리어 레일(23)의 패턴을 형성한다. 형성된 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d) 및 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)은 포토 레지스트(48)로 피복된다. 노광 현상 후, 이온밀을 실시하여 웨이퍼 바(40a)의 본체 즉 알틱을 다시 에칭한다. 이 에칭에 의해 프론트 레일(21), 사이드 레일(29) 및 리어 레일(23)이 형성된다. 프론트 레일(21), 사이드 레일(29) 및 리어 레일(23)의 정상면에는 DLC층(45)에 의해 정상면이 보호되는 흡착 방지 패드(31a,31b,31c,31d)나, 마찬가지로 DLC층(43)에 의해 정상면이 보호되는 제1 및 제2 공기 베어링면(24,25a,25b)이 형성되어 있다. 그 후 도8b에 나타낸 바와 같이 포토 레지스트(48)가 제거되면, 부상면(19)이 완성한다.
이상과 같은 부압 헤드 슬라이더(14)에서는, 예를 들어 도9에 나타낸 바와 같이 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 제1폭(W1) 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗어 단차(27b)에 연결되는 상류단(51)과, 제1폭(W1)보다도 큰 제2폭(W2) 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗는 하류단(52)을 구비해도 좋다. 예를 들어 자기 헤드 소자가 출력용 헤드로서 MR(자기 저항) 소자를 구비하는 경우, MR 소자는 쉴드층(53)에 의해 개재된다. 이 쉴드층(53)이 슬라이더 폭방향으로 충분히 뻗어 있지 않으면 MR 소자에 불필요한 자기가 작용하여, MR 소자는 정확한 정보를 출력할 수 없게 되어 버린다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 하류단(52)에 큰 폭을 확보해 두면, 슬라이더 폭방향의 쉴드층의 퍼짐을 확보하면서 제2 공기 베어링면(25a)의 크기를 작게 하고, 그 결과 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 비해서 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 큰 부력을 생기게 할 수 있다.
이러한 제1폭(W1)의 상류단(51)과 제2폭(W2)의 하류단(52)을 형성할 때, 제2 공기 베어링면(25a)은 슬라이더 폭방향의 퍼짐을 변화시킨다. 예를 들어 도9에 나타낸 바와 같이, 제2 공기 베어링면(25a)은 제1폭(W1)의 상류단(51)으로부터 제2폭(W2)의 하류단을 향해 서서히 슬라이더 폭방향의 크기를 확장시켜도 좋다. 또 제2 공기 베어링면(25a)은 도10에 나타낸 바와 같이, 상류단(51)으로부터 하류단(52)을 향해 제1폭(W1)을 유지하여도 좋다. 또한 제2 공기 베어링면(25a)은 도11에 나타낸 바와 같이, 상류단(51) 부근에서 제1폭(W1)을 유지하고, 하류단(52)으로 다가감에 따라 서서히 슬라이더 폭방향의 크기를 확장시켜 가도 좋다.
그리고 또한 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 비해서 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 큰 부력을 생기게 하기 위해서는, 예를 들어 도12에 나타낸 바와 같이, 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어서 단차(27c)에 연결되는 상류단(55)에 비해서 하류측에, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어서 단차(27b)에 연결되는 상류단(56)을 배치하여도 좋다. 이러한 배치에 의하면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에서는 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 비해서 기류의 흐름 방향을 따른 퍼짐이 축소된다. 그 결과 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 면적은 감소하고, 다른 쪽의 제2 공기 베어링면(25b)에 비해서 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력은 억제된다. 슬라이더 폭방향을 따른 쉴드층(53)의 퍼짐을 압박하는 일없이, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 생기는 부력을 억제할 수 있다.
이와 같이 제2 공기 베어링면(25a)의 상류단(56)을 하류측으로 변위시킨 경우에는, 리어 레일(23)과 사이드 레일(29) 사이에 형성되는 간극(30)의 크기가 조정되는 것이 바람직하다. 예를 들어 도12에 나타낸 바와 같이, 상류단(56)의 변위에 추종하여 사이드 레일(29)이 리어 레일(23)을 향해 뻗지 않을 경우에는, 사이드 레일(29)과 리어 레일(23) 사이에 큰 간극(30)이 생성되어 버린다. 이러한 큰 간극(30)은 상술한 바와 같이 프론트 레일(21)의 배후에 생기는 부압을 추방하고 만다. 반면에 예를 들어 도13에 나타낸 바와 같이, 상류단(56)의 변위에 수반하여 사이드 레일(29)이 리어 레일(23)을 향해 뻗어 있으면, 간극(30)의 크기가 축소되고, 그 결과 높은 부압을 유지할 수 있게 된다. 이렇게 하여 높은 부압이 유지되면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 디스크면에 접근할 수 있는 것이다.
그리고 또한 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력을 조정할 때는, 예를 들어 도14에 나타낸 바와 같이 리어 레일(23)의 정상면에 대해서 제2 공기 베어링면(25a)의 배치가 조정되어도 좋다. 상술한 바와 같이 단차(27b,27c)에 생기는 큰 정압에는 단차(27b,27c)의 면적이나 높이, 제2 공기 베어링면(25a,25b)의 크기 외에, 단차(27b,27c)로 연결되는 리어 레일(23) 정상면의 퍼짐이 영향을 준다. 정상면의 퍼짐이 작으면 정압은 발생하기 어렵고, 반대로 정상면의 퍼짐이 크면 큰 정압이 발생하기 쉽다. 따라서 예를 들어 도14에 나타낸 바와 같이, 기류를 받기 쉬운 방향 즉 슬라이더 본체로부터 외향의 단차(27b)에 연결되는 리어 레일(23) 정상면의 퍼짐(W3)을 좁히면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력을 억제할 수 있는 것이다.
그리고 또 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 부력을 조정할 때는, 예를 들어 도15에 나타낸 바와 같이, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)은 하류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗고, 상류측으로 변위된 하류단(57)을 구비해도 좋다. 상술한 부압 헤드 슬라이더(14)에서는 도3으로부터 명백하듯이, 슬라이더 본체의 하류단에 최대의 정압이 생긴다. 따라서 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 하류단(57)을 상류측으로 변위시킴으로써 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)의 면적을 감소시키면, 한쪽의 제2 공기 베어링면(25a)에 생기는 부력을 효율적으로 억제할 수 있는 것이다.
또한 본 발명에 관한 부압 헤드 슬라이더(14)는 상술한 바와 같이 하드 디스크 구동 장치(HDD)(10)에 적용될 뿐 아니라, 기타의 기록 디스크 구동 장치에 적용되어도 좋다.
이상과 간이 본 발명에 의하면, 제1 및 제2 공기 베어링면의 위치를 조정함으로써, 부력 안정성 및 구름 강성이 높은 부압 헤드 슬라이더를 제공할 수 있다.

Claims (17)

  1. 슬라이더 본체의 부상면에 형성되어 슬라이더 본체의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 제1 공기 베어링면과, 이 제1 공기 베어링면으로부터 분리하여 상기 부상면에 형성되고 슬라이더 본체의 하류측에서 기류의 유통로를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 제2 공기 베어링면을 구비한 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 공기 베어링면은 기류의 상류측에서 상기 부상면에 형성되어 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 프론트 레일의 정상면에 형성된 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 공기 베어링면은 단차에 의해 상기 프론트 레일의 정상면에 접속되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 프론트 레일의 정상면에는 슬라이더 본체가 디스크면에 착좌할 때에 상기 제1 공기 베어링면과 디스크면의 접촉을 회피시키는 흡착 방지 패드가 형성된 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 제2 공기 베어링면은 기류의 하류측에서 상기 부상면에 형성되어 기류의 유통로를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 리어 레일의 정상면에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2 공기 베어링면은 단차에 의해 상기 리어 레일의 정상면에 접속되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 리어 레일의 정상면에는 슬라이더 본체가 디스크면에 착좌할 때에 상기 제2 공기 베어링면과 디스크면의 접촉을 회피시키는 흡착 방지 패드가 형성되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 부상면에 형성되어, 상기 프론트 레일의 슬라이더 폭방향 양단으로부터 하류측으로 뻗는 1쌍의 사이드 레일을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 사이드 레일의 슬라이더 폭방향의 두께는 상기 리어 레일의 슬라이더 폭방향의 두께에 비해서 얇게 설정되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 사이드 레일에는 상기 프론트 레일을 우회하는 기류를 상기 유통로로 유도하는 간극이 형성되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2 공기 베어링면 중, 헤드 소자가 매입되는 한쪽의 제2 공기 베어링면은 다른 쪽의 제2 공기 베어링면보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 한쪽의 제2 공기 베어링면은 제1폭 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차에 연결되는 상류단과, 제1폭보다도 큰 제2폭 만큼 슬라이더 폭방향으로 뻗는 하류단을 구비하는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 한쪽의 제2 공기 베어링면의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차를 형성하는 상류단은 상기 다른 쪽의 제2 공기 베어링면의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗어 상기 단차를 형성하는 상류단보다도 하류측에 배치되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 한쪽의 제2 공기 베어링면 측에서는 상기 상류단의 배치에 따라 상기 간극의 크기가 조정되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  15. 제13항 또는 제14항에 있어서,
    상기 한쪽의 제2 공기 베어링면 측에서는 상기 리어 레일의 정상면에 대해서 제2 공기 베어링면의 배치가 조정되는 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  16. 제13항 내지 제15항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 한쪽의 제2 공기 베어링면은 하류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗고, 상류측으로 변위된 하류단을 구비한 것을 특징으로 하는 부압 헤드 슬라이더.
  17. 슬라이더 본체의 부상면에 형성되어 슬라이더 본체의 상류측에서 슬라이더 폭방향으로 뻗는 1줄의 제1 공기 베어링면과, 이 제1 공기 베어링면으로부터 분리하여 상기 부상면에 형성되고 슬라이더 본체의 하류측에서 기류의 유통로를 사이에 개재하여 슬라이더 폭방향으로 배열되는 1쌍의 제2 공기 베어링면을 구비하는 부압 헤드 슬라이더가 조립된 것을 특징으로 하는 기록 디스크 구동 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100727908B1 (ko) * 2000-07-20 2007-06-13 삼성전자주식회사 부압 공기 베어링 슬라이더
KR100750229B1 (ko) * 2005-06-08 2007-08-20 후지쯔 가부시끼가이샤 자기 헤드 슬라이더

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6373661B1 (en) 1998-04-28 2002-04-16 Hitachi, Ltd. Magnetic head slider and a magnetic disk device in which the slider is mounted
JP2000057724A (ja) * 1998-08-04 2000-02-25 Hitachi Ltd 磁気ヘッドスライダ及びそれを用いた磁気ディスク装置
JP4261072B2 (ja) * 1999-05-07 2009-04-30 新科實業有限公司 始動摩擦軽減パッドを備えたスライダの構成
JP3366609B2 (ja) * 1999-12-27 2003-01-14 アルプス電気株式会社 磁気ヘッドおよび磁気記録装置
CN1270293C (zh) * 1999-12-28 2006-08-16 阿尔卑斯电气株式会社 在媒体相对面上设置有凸部的磁头滑动块和其制造方法
JP3444256B2 (ja) * 2000-01-18 2003-09-08 株式会社日立製作所 磁気ディスク装置
JP2001210037A (ja) * 2000-01-21 2001-08-03 Alps Electric Co Ltd 磁気ヘッドスライダ
JP3990091B2 (ja) * 2000-04-13 2007-10-10 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置
JP2001344724A (ja) * 2000-06-01 2001-12-14 Fujitsu Ltd 浮上ヘッドスライダ
JP2002050020A (ja) * 2000-07-31 2002-02-15 Fujitsu Ltd ヘッドスライダ及びこれを用いたディスク装置
JP3977579B2 (ja) * 2000-09-20 2007-09-19 株式会社東芝 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置
DE10052234A1 (de) * 2000-10-21 2002-05-02 Brose Fahrzeugteile Verstellvorrichtung für Kraftfahrzeugeinrichtungen, insbesondere für Kraftfahrzeugsitze
US6477013B1 (en) * 2000-11-09 2002-11-05 International Business Machines Corporation Slider air bearing design and method providing writing of a laser field (WOLF) measurement without substantial fly height affect
WO2002041318A1 (fr) * 2000-11-17 2002-05-23 Fujitsu Limited Patin de tete, unite de disque pourvue de ce patin, et procede de finition hydrofuge de du patin
US6795275B2 (en) * 2001-01-18 2004-09-21 Hitachi, Ltd. Magnetic disk device and magnetic head slider
US6657820B2 (en) * 2001-01-18 2003-12-02 Hitachi, Ltd. Magnetic head slider
US7095592B2 (en) 2001-03-27 2006-08-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head slider and disk drive apparatus
WO2002082442A1 (fr) * 2001-04-05 2002-10-17 Fujitsu Limited Curseur avant et son procede de fabrication
JPWO2002086892A1 (ja) * 2001-04-20 2004-08-12 富士通株式会社 ヘッドスライダ
US6719794B2 (en) * 2001-05-03 2004-04-13 Synthes (U.S.A.) Intervertebral implant for transforaminal posterior lumbar interbody fusion procedure
JP2002373409A (ja) 2001-06-14 2002-12-26 Fujitsu Ltd ヘッドスライダ及びディスク装置
WO2003019539A1 (en) * 2001-08-22 2003-03-06 Seagate Technology Llc Disc head slider designs to reduce particle sensitivity and improve disc following capability
US6771468B1 (en) * 2001-10-22 2004-08-03 Western Digital Corporation Slider with high pitch-stiffness air bearing design
JP2003173644A (ja) * 2001-11-30 2003-06-20 Toshiba Corp ヘッドスライダ、およびディスク装置
US6937439B1 (en) * 2001-11-30 2005-08-30 Western Digital Technologies, Inc. Slider having a textured air bearing surface, head stack assembly and disk drive using same
JP4020689B2 (ja) * 2002-05-01 2007-12-12 アルプス電気株式会社 磁気ヘッドとこれを備えた磁気記録装置
US6956718B1 (en) * 2002-08-19 2005-10-18 Western Digital (Fremont), Inc. Sandwich diamond-like carbon overcoat for use in slider designs of proximity recording heads
US7192447B2 (en) * 2002-12-19 2007-03-20 Synthes (Usa) Intervertebral implant
EP1596371A4 (en) * 2003-02-19 2008-06-04 Fujitsu Ltd MAGNETIC HEAD SLIDER
CN100573671C (zh) * 2003-02-19 2009-12-23 富士通株式会社 磁头滑动器
WO2005004152A1 (ja) 2003-07-03 2005-01-13 Fujitsu Limited 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法
JP4198557B2 (ja) 2003-07-15 2008-12-17 富士通株式会社 ヘッドスライダ及びそれを備えた磁気ディスク装置
JP3691833B2 (ja) * 2003-07-28 2005-09-07 株式会社Ｎｅｏｍａｘ 薄膜磁気ヘッド用基板およびその製造方法
JP4293933B2 (ja) * 2004-03-31 2009-07-08 富士通株式会社 ディスク装置のヘッドスライダ
JP2006107607A (ja) * 2004-10-05 2006-04-20 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ヘッド及びその製造方法
JP2006107673A (ja) * 2004-10-08 2006-04-20 Shinka Jitsugyo Kk 磁気ヘッド及びその製造方法、並びにヘッドサスペンションアセンブリ
US7352532B2 (en) * 2005-02-01 2008-04-01 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method and apparatus for utilizing a small pad to increase a head to a disk interface reliability for a load/unload drive
JP4981286B2 (ja) * 2005-09-14 2012-07-18 ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ
US7929251B2 (en) * 2006-01-10 2011-04-19 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Assembly, apparatus and method for fabricating a structural element of a hard disk drive air bearing
US7851138B2 (en) * 2007-07-19 2010-12-14 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands, B.V. Patterning a surface comprising silicon and carbon
US8169743B2 (en) * 2007-07-20 2012-05-01 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Minimizing slider vibration effects on a magnetic transducer
JP4377947B1 (ja) * 2008-06-12 2009-12-02 株式会社東芝 ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、およびこれを備えたディスク装置
CN101727914B (zh) * 2008-10-27 2012-11-28 新科实业有限公司 磁头空气承载面上类金刚石碳层的形成方法
JP5495549B2 (ja) * 2008-12-25 2014-05-21 エイチジーエスティーネザーランドビーブイ 磁気ヘッドスライダ、磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置、および磁気ヘッドスライダの製造方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5097370A (en) 1989-03-17 1992-03-17 Digital Equipment Corporation Subambient pressure air bearing slider for disk drive
US5034828A (en) * 1989-04-07 1991-07-23 Unisys Corp. Slider with piezo-boss
US5086360A (en) * 1990-09-06 1992-02-04 Applied Magnetics Corporation Constant flying height slider
JP2872384B2 (ja) 1990-10-24 1999-03-17 株式会社日立製作所 磁気ヘツドスライダ及び磁気デイスク装置
US5841608A (en) 1994-08-30 1998-11-24 Fujitsu Limited Head slider with projections arranged on rails thereof
US5550693A (en) 1994-10-31 1996-08-27 International Business Machines Corporation Air bearing slider having projections that provide minimal actual contact area
JPH08147917A (ja) 1994-11-16 1996-06-07 Hitachi Ltd 磁気記憶装置及びそのスライダ
JP2778518B2 (ja) * 1995-03-31 1998-07-23 日本電気株式会社 磁気ヘッドスライダ
JPH09106528A (ja) 1995-08-04 1997-04-22 Toshiba Corp 磁気ヘッドアセンブリ及び磁気ディスク装置
JP3426082B2 (ja) * 1996-04-26 2003-07-14 富士通株式会社 磁気ヘッド用スライダ及び磁気ディスク装置
JPH09115258A (ja) 1995-10-16 1997-05-02 Sony Corp 浮上型ヘッドスライダ
US5734522A (en) * 1996-07-10 1998-03-31 Seagate Technology, Inc. Disc drive system with slider for reading and writing adjacent portions of a zone textured disc
JP2778588B2 (ja) 1996-07-30 1998-07-23 日本電気株式会社 浮動ヘッドスライダ
JPH1050020A (ja) 1996-08-01 1998-02-20 Hitachi Ltd 磁気ヘッドスライダ及び該磁気ヘッドスライダを持つ磁気ディスク装置
US5777825A (en) 1996-09-04 1998-07-07 International Business Machines Corporation Negative pressure step pad air bearing design and method for making the same
US5825588A (en) 1996-12-04 1998-10-20 International Business Mahcines Corporation Roll insensitive air bearing slider
US5822153A (en) * 1997-01-03 1998-10-13 Censtor Corp. Hard disk drive having contact write and recessed magnetorestive read head
JPH10255425A (ja) * 1997-03-10 1998-09-25 Yamaha Corp 磁気ヘッドスライダおよびその製造方法
JP3292296B2 (ja) 1997-03-25 2002-06-17 ティーディーケイ株式会社 スライダ、ヘッド、ヘッド装置及び記録再生装置
US6055128A (en) * 1997-05-14 2000-04-25 International Business Machines Corporation Dual etch step pad air bearing design with three etch depths
US5953181A (en) * 1997-10-17 1999-09-14 Nec Corporation Flying magnetic head slider for a magnetic disk drive

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100727908B1 (ko) * 2000-07-20 2007-06-13 삼성전자주식회사 부압 공기 베어링 슬라이더
KR100750229B1 (ko) * 2005-06-08 2007-08-20 후지쯔 가부시끼가이샤 자기 헤드 슬라이더

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Publication number Publication date
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