KR100750229B1 - 자기 헤드 슬라이더 - Google Patents

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KR100750229B1
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Abstract

자기 헤드 슬라이더는, 알틱으로 이루어지는 베이스 부분과, 자기 변환 소자가 형성된 알루미나로 이루어지는 소자 형성 부분을 포함하는 슬라이더 본체를 포함한다. 부상 레일이 슬라이더 본체의 표면에서 돌출되어 마련된다. 디스크의 윤활제가 베이스 부분과 소자 형성 부분 사이의 경계 부분에 퇴적되는 것을 방지하기 위해서, 제1 보호막이 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계를 덮도록 슬라이더 본체의 표면에 마련된다. 자기 변환 소자의 부식 및 손상을 방지하기 위해서, 제2 보호막이 부상 레일의 표면에 마련된다. 또한, 공기 베어링이 부상 레일 위에 마련되는 경우에는, 제3 보호막이 공기 베어링의 표면에 마련된다.

Description

자기 헤드 슬라이더{MAGNETIC HEAD SLIDER}
본 발명은 자기 디스크 장치에서 사용되는 자기 헤드 슬라이더에 관한 것으로, 구체적으로는 컴퓨터의 하드디스크에 이용되는 자기 헤드 슬라이더에 관한 것이다.
자기 디스크 장치는, 디스크와, 디스크에 정보를 기록하고 디스크로부터 정보를 독출하기 위해서 서스펜션에 지지된 자기 헤드 슬라이더를 포함한다. 자기 헤드 슬라이더는 자기 변환 소자와 부상 레일을 구비하고, 부상 레일에 작용하는 공기의 흐름이 자기 헤드 슬라이더를 디스크에 대하여 부상시킨다. 최근의 자기 헤드 슬라이더는, 베이스 부분과, 베이스 부분에 접합되며 자기 변환 소자가 형성된 소자 형성 부분을 포함한다. 전형적으로는, 베이스 부분은 알틱(AlTiC)으로 형성되고, 소자 형성 부분은 알루미나로 만들어진다.
일본 특개평 5-28429호 공보는, 소자 형성 부분의 표면을 베이스 부분의 표면보다도 후퇴시켜, 사용시에 소자 형성 부분의 표면에서 자기 변환 소자의 선단의 갭이 디스크에 접촉하기 어렵게 하도록 한 자기 헤드 슬라이더를 개시하고 있다.
일본 특개평 7-182628호 공보는, 베이스 부분을 유리 등에 의해서 형성하고, 베이스 부분 및 소자 형성 부분을 카본막으로 덮도록 한 자기 헤드 슬라이더를 개 시하고 있다.
일본 특개평 7-230615호 공보는, 베이스 부분 및 소자 형성 부분 사이의 단차부에 있어서 소자 형성 부분에만 보호막을 형성한 자기 헤드 슬라이더를 개시하고 있다.
일본 특허 공개 2000-173217호 공보는, 부압(負壓)형의 자기 헤드 슬라이더를 개시하고 있다. 이 부압형의 자기 헤드 슬라이더의 부상 레일은, 슬라이더 본체의 횡방향으로 연장되는 횡방향 성분 및 이 횡방향 성분의 양단으로부터 슬라이더 본체의 길이 방향으로 연장되는 길이 방향 성분을 갖는 제1 부상 레일 부분과, 제1 부상 레일 부분의 후방에서 슬라이더 본체의 횡방향으로 간격을 두고서 배치된 2개의 제2 부상 레일 부분을 포함한다.
제1 및 제2 부상 레일 부분의 표면에는 공기 베어링이 형성된다. 사용시에, 부상 레일의 공기 베어링의 표면에 발생하는 부상력과, 제1 부상 레일 부분의 배후측에 발생하는 부압을 균형을 이루게 하여, 자기 헤드 슬라이더의 디스크에 대한 부상량을 보다 작은 값으로 유지할 수 있도록 하고 있다.
제1 및 제2 부상 레일 부분의 표면 및 그것으로부터 돌출되는 공기 베어링의 표면에는 카본막 등의 보호막이 형성되어 있다. 한편, 슬라이더 본체의 부상 레일이 돌출되는 표면에는 종래 보호막이 설치되지 않았다.
자기 헤드 슬라이더의 디스크에 대한 부상량은 저하되는 경향에 있다. 자기 헤드 슬라이더의 부상량의 저하에 따라, 자기 헤드 슬라이더는 디스크에 의해 접근한다. 디스크의 표면에 윤활제가 도포되어 있어, 자기 헤드 슬라이더가 디스크에 접근하면, 디스크 상의 윤활제가 자기 헤드 슬라이더에 증기 혹은 그 밖의 상태로 전이(轉移)하는 경우가 있다.
디스크로부터 자기 헤드 슬라이더로 전이된 윤활제가 자기 헤드 슬라이더로부터 세척 및 제거되면 문제는 없다. 그러나, 윤활제가 자기 헤드 슬라이더에 퇴적되면, 자기 헤드 슬라이더의 밸런스가 무너지거나, 자기 변환 소자에 바람직하지 못한 영향을 주거나 하는 문제가 있다. 알루미나로 만들어진 소자 형성 부분과 알틱으로 만들어진 베이스 부분 사이에 단차가 있으면 윤활제가 그 단차 부분에 퇴적되기 쉽다. 자기 헤드 슬라이더를 제조할 때에, 자기 헤드 슬라이더는 래핑(lapping)에 의한 기계 가공으로 평탄화되지만, 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경도가 서로 다르기 때문에, 소자 형성 부분과 베이스 부분 사이에 미소한 단차가 형성된다. 그 때문에, 자기 변환 소자 근방에 부착된 윤활제가 자기 변환 소자에 바람직하지 못한 영향을 주거나, "탐색" 중 부상 흡착이 발생하고 부상 자세가 나빠져, 특성이 불안정하게 되는 등의 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 매체의 윤활제가 자기 변환 소자 근방에 부착되기 어렵도록 한 자기 헤드 슬라이더를 제공하는 것이다.
본 발명에 의한 자기 헤드 슬라이더는, 베이스 부분 및 상기 베이스 부분에 접합되고 자기 변환 소자가 형성된 소자 형성 부분을 포함하는 슬라이더 본체와, 사용시에 매체와 대향하는 상기 슬라이더 본체의 제1 표면과, 이 슬라이더 본체의 제1 표면에서 돌출되어 마련되고 제2 표면을 갖는 부상 레일과, 슬라이더 본체의 제1 표면에 마련되고 상기 소자 형성 부분과 상기 베이스 부분의 경계를 덮는 제1 보호막, 그리고 상기 자기 변환 소자를 보호하기 위해서 상기 부상 레일의 제2 표면에 마련된 제2 보호막을 구비한 것을 특징으로 한다.
이 구성에 있어서는, 제1 보호막이 슬라이더 본체의 제1 표면에서 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계를 포함하는 부분에 설치되어 있다. 제1 보호막은 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계를 덮고, 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계에 단차가 있더라도 그 단차를 경감하여, 자기 헤드 슬라이더에 전이된 윤활제의 퇴적을 막도록 되어 있다. 따라서, 윤활제의 퇴적이 자기 변환 소자에 미치는 악영향을 완화할 수 있다. 제2 보호막은 자기 변환 소자를 보호한다.
바람직하게는, 제1 보호막의 두께와 제2 보호막의 두께가 다르다. 이 경우, 제2 보호막의 두께가 제1 보호막의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다. 이로써, 자기 헤드 슬라이더에서 자기 변환 소자의 자극이 위치하는 부분의 두께를 늘리는 일없이, 자기 헤드 슬라이더에서의 윤활제 퇴적을 막을 수 있다.
제1 보호막과 제2 보호막은 불소를 함유하는 카본막으로 형성되고, 제1 보호막의 불소 함유량이 제2 보호막의 불소 함유량보다도 많은 것이 바람직하다. 제1 및 제2 보호막에 불소를 함유한 카본막을 이용함으로써, 윤활제의 부착이 억제된다. 또한, 보호막의 불소량을 늘리면 발수성(撥水性)과 발유성(撥油性)은 향상되지만 내구성은 나빠진다. 그 때문에, 제1 보호막의 불소 함유량을 제2 보호막의 불소 함유량보다도 많게 함으로써, 부상 레일의 제2 보호막의 특성을 열화시키는 일없이, 제1 보호막에서의 윤활제 퇴적 방지 작용을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 또 하나의 양태에 따른 자기 헤드 슬라이더는, 베이스 부분 및 상기 베이스 부분에 접합되며 자기 변환 소자가 형성된 소자 형성 부분을 포함하는 슬라이더 본체와, 사용시에 매체와 대향하는 상기 슬라이더 본체의 제1 표면과, 상기 슬라이더 본체의 제1 표면에서 돌출되어 마련되고 제2 표면을 갖는 부상 레일과, 상기 부상 레일의 제2 표면에서 돌출되어 마련되고 제3 표면을 갖는 공기 베어링 부분과, 슬라이더 본체의 제1 표면에 마련되고 상기 소자 형성 부분과 상기 베이스 부분의 경계를 덮는 제1 보호막과, 상기 부상 레일의 제2 표면에 마련된 제2 보호막, 그리고 상기 자기 변환 소자를 보호하기 위해서 상기 공기 베어링의 제3 표면에 마련된 제3 보호막을 구비한 것을 특징으로 한다.
이 구성에 있어서도, 제1 보호막이 슬라이더 본체의 제1 표면에서 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계를 포함하는 부분에 설치된다. 제1 보호막은 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계를 덮고, 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계에 단차가 있더라도 그 단차를 경감하여, 자기 헤드 슬라이더에 전이된 윤활제의 퇴적을 막게 되어 있다. 따라서, 윤활제의 퇴적이 자기 변환 소자에 미치는 악영향을 완화할 수 있다. 제2 및 제3 보호막은 자기 변환 소자를 보호한다.
부상 레일은, 상기 슬라이더 본체의 횡방향으로 연장되는 횡방향 성분 및 상기 횡방향 성분의 양단으로부터 상기 슬라이더 본체의 길이 방향으로 연장되는 길이 방향 성분을 갖는 제1 부상 레일 부분과, 상기 제1 부상 레일 부분의 후방에서 상기 슬라이더 본체의 횡방향으로 간격을 두고 배치된 2개의 제2 부상 레일 부분을 포함하는 것이 바람직하다. 이것은 부압형 자기 헤드 슬라이더로서 작용한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스크 장치를 보여주는 평면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 자기 헤드 슬라이더를 보여주는 사시도.
도 3은 보호막을 생략한 도 2의 자기 헤드 슬라이더를 보여주는 사시도.
도 4는 도 3의 자기 헤드 슬라이더의 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계를 포함하는 부분을 보여주는 개략적인 단면도.
도 5는 도 2의 자기 헤드 슬라이더의 소자 형성 부분과 베이스 부분의 경계를 포함하는 부분을 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 6은 보호막의 불소 함유량과 보호막의 경도의 관계를 보여주는 도면.
도 7은 보호막의 불소 함유량과 보호막의 물과의 접촉각의 관계를 보여주는 도면.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 헤드 슬라이더를 보여주는 평면도.
도 9는 도 8의 자기 헤드 슬라이더의 일부를 보여주는 확대 사시도.
도 10은 도 8의 자기 헤드 슬라이더의 선 X-X에 따라 취한 단면도.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스크 장치를 보여주는 평면도이다. 도 1에 있어서, 디스크 장치(HDD)(10)는 하우징(11)을 구비하고, 이 하우징(11)에는 스핀들 모터(12)에 장착되는 자기 디스크(13)와, 자기 디스크(13)에 대향하는 자기 헤드 슬라이더(14)가 배치된다. 자기 헤드 슬라이더(14)는 샤프트(15)의 주위에서 요동할 수 있는 캐리지 아암(16)의 선단에 고정된다. 캐리지 아암(16)은 액츄에이터(17)에 의해서 요동 구동되고, 자기 헤드 슬라이더(14)는 자기 디스크(13)의 원하는 기록 트랙에 위치 설정된다. 이로써, 자기 헤드 슬라이더(14)는 자기 디스크(13)에 정보를 기록하거나 자기 디스크(13)로부터 정보를 읽어낼 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 자기 헤드 슬라이더(14)를 보여주는 사시도이다. 도 3은 보호막을 생략한 도 2의 자기 헤드 슬라이더를 보여주는 사시도이다. 도 2 및 도 3에 있어서, 자기 헤드 슬라이더(14)는 슬라이더 본체(20)를 구비한다. 슬라이더 본체(20)는 베이스 부분(21)과, 베이스 부분(21)에 접합된 소자 형성 부분(22)을 포함한다. 소자 형성 부분(22)은 박막 형성 공정에 의해 제조된 자기 변환 소자(23)를 갖고, 자기 변환 소자(23)는 자극(24)을 갖는다. 베이스 부분(21)은 알틱(Al2O3TiC)으로 제조되고, 소자 형성 부분(22)은 알루미나(Al2O3)로 제조된다. 도면 부호 25는 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계를 나타낸다. 화살표 A는 디스크 장치(10)를 사용할 때에 공기가 자기 헤드 슬라이더(14)에 대하여 상대적으로 흐르는 방향을 나타낸다.
자기 헤드 슬라이더(14)는 사용시에 자기 디스크(13)와 대향하는 표면(제1 표면)(26)을 갖는다. 자기 헤드 슬라이더(14)의 제1 표면(26)은 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)과의 경계(25)를 포함한다. 1쌍의 평행한 부상 레일(27)이 슬라이더 본체의 제1 표면(26)으로부터 돌출되어 마련된다. 부상 레일(27)은 제2 표면(28)을 갖는다. 자극(24)은 부상 레일(27)의 제2 표면(28)에 나타난다.
소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계(25)를 덮도록, 제1 보호막(29)이 슬라이더 본체(20)의 제1 표면(26)에 마련된다. 제2 보호막(30)이 자기 변환 소자(23)의 자극(24)을 보호하기 위해 부상 레일(27)의 제2 표면(28)에 마련된다. 제2 보호막(30)은 자기 변환 소자(23)의 자극(24)의 부식 및 손상을 방지하기 위한 것이다. 도 3에서는 제1 보호막(29) 및 제2 보호막(30)이 생략되어 있기 때문에, 제1 표면(26) 및 제2 표면(28)이 보이고 있다. 도 2에서 제1 보호막(29) 및 제2 보호막(30)은 각각 제1 표면(26) 및 제2 표면(28) 위에 형성되어 있다.
도 4는 도 3의 자기 헤드 슬라이더(14)의 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계(25)를 포함하는 부분을 보여주는 개략적인 단면도이다. 자기 헤드 슬라이더(14)의 제조시에, 제1 표면(26)은 랩핑에 의한 기계 가공으로 평탄화된다. 그러나, 소자 형성 부분(22)은 알루미나로 제조되고, 베이스 부분(21)은 알틱으로 제조되며, 알루미나와 알틱은 경도가 다르기 때문에, 제1 표면(26)의 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21) 사이의 경계(25)에 미소한 단차(31)가 형성될 수 있다. 즉, 소자 형성 부분(22)의 제1 표면(26)의 부분은 베이스 부분(21)의 제1 표면(26)의 부분보다도 낮아진다. 이러한 단차(31)가 있으면, 자기 디스크(13)의 표면에 도포해 놓은 윤활제가 자기 헤드 슬라이더(14)에 전이된 후, 제1 표면(26)을 따라서 흐르는 윤활제가 단차(31)의 바닥부에 퇴적되기 쉽다.
도 5는 도 2의 자기 헤드 슬라이더(14)의 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계(25)를 포함하는 부분을 보여주는 개략 단면도이다. 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계(25)를 덮도록, 즉 소자 형성 부분(22)과 베이스 부 분(21)에 걸치도록, 제1 보호막(29)이 슬라이더 본체(20)의 제1 표면(26)에 마련된다. 제1 보호막(29)은 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계(25)를 덮고 있기 때문에, 제1 보호막(29)의 단차(31)에 있어서의 표면은 단차(31)가 노출되고 있는 경우보다도 완만하게 된다. 따라서, 자기 디스크(13)에서 자기 헤드 슬라이더(14)로 전이된 윤활제는 슬라이더 본체(20)의 제1 표면(26)을 따라서 쉽게 흐르고, 윤활제의 퇴적이 방지된다. 따라서, 윤활제의 퇴적이 자기 변환 소자(23)에 미치는 악영향을 완화할 수 있다. 또한, 자기 헤드 슬라이더(14)의 부상(浮上) 동작이 퇴적된 윤활제에 방해를 받는 일이 없게 된다.
제1 보호막(29) 및 제2 보호막(30)은 카본막(예컨대, DLC)으로 형성되는 것이 바람직하다. 제1 보호막(29)의 두께와 제2 보호막(30)의 두께는 다르게 하는 것이 좋다. 이 경우, 제1 보호막(29)의 두께가 제2 보호막(30)의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다. 이로써, 자기 헤드 슬라이더(14)의 두께[자기 변환 소자(23)의 자극(24)이 위치하는 부분의 두께]를 증대시키는 일이 없고, 따라서 자기 헤드 슬라이더(14)의 소형화를 실현하면서, 제1 보호막(29)의 두께를 두껍게 하여 단차(31) 상의 제1 보호막(29)을 보다 완만하게 하며, 자기 헤드 슬라이더(14)의 제1 표면(26)에 윤활제가 퇴적되는 것을 막을 수 있다. 예컨대, 제1 보호막(29)의 두께는 10 nm이며, 제2 보호막(30)의 두께는 3∼5 nm이다.
또한, 제1 보호막(29) 및 제2 보호막(30)은 불소를 함유하는 카본막으로 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 제1 보호막(29)의 불소 함유량이 제2 보호막(30)의 불소 함유량보다도 많은 것이 바람직하다.
도 6은 보호막을 구성하는 DLC에 대한 불소 함유량과 보호막의 경도와의 관계를 나타내는 도면이다. 불소 함유량이 클수록 보호막의 경도는 저하된다. 따라서, 보호막의 기계적인 강도를 향상시키려면 불소 함유량이 적은 쪽이 좋다.
도 7은 보호막을 구성하는 DLC에 대한 불소 함유량과 보호막의 물의 접촉각과의 관계를 보여주는 도면이다. 불소 함유량이 클수록 보호막의 물과의 접촉각은 커진다. 보호막의 물과의 접촉각이 커질수록, 이물질인 윤활제는 보호막에 부착되기 어렵게 된다.
이와 같이, 불소를 함유한 카본막을 제1 보호막(29) 및 제2 보호막(30)으로서 이용함으로써, 제1 보호막(29) 및 제2 보호막(30)으로의 윤활제의 부착이 억제된다. 또한, 보호막의 불소 함유량을 증대시키면 발수성, 발유성은 향상되지만 내구성은 나빠진다. 그 때문에, 제1 보호막(29)의 불소 함유량이 제2 보호막(30)의 불소 함유량보다도 많게 함으로써, 부상 레일(27)의 기계적인 강도를 저하시키는 일없이, 제1 표면(26)으로의 윤활제의 퇴적을 방지하는 작용을 향상시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 헤드 슬라이더를 보여주는 평면도이다. 도 9는 도 8의 자기 헤드 슬라이더의 일부를 보여주는 확대 사시도이다. 도 10은 도 8의 자기 헤드 슬라이더의 선 X-X을 따라 취한 단면도이다. 도 8 내지 도 10에 도시된 자기 헤드 슬라이더는 부압형 헤드 슬라이더의 예이다.
자기 헤드 슬라이더(14)는 베이스 부분(21) 및 베이스 부분(21)에 접합된 소자 형성 부분(22)으로 이루어지는 슬라이더 본체(20)를 구비한다. 베이스 부분 (21)은 알틱(Al2O3TiC)으로 제조되고, 소자 형성 부분(22)은 알루미나(Al2O3)로 제조된. 자기 변환 소자(23)(도 2 및 도 3 참조)는 박막 형성 공정에 의해 소자 형성 부분(22)에 형성된다. 자기 변환 소자(23)는 자극(24)을 갖는다. 화살표 A는 디스크 장치(10)의 사용시에 공기가 자기 헤드 슬라이더(14)에 대하여 상대적으로 흐르는 방향을 나타낸다.
자기 헤드 슬라이더(14)는 사용시에 자기 디스크(13)와 대향하는 표면(제1 표면)(26)을 갖는다. 자기 헤드 슬라이더(14)의 제1 표면(26)은 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계(25)를 포함한다. 부상 레일(27)이 슬라이더 본체의 제1 표면(26)으로부터 돌출되어 마련된다. 부상 레일(27)은 제2 표면(28)을 갖는다. 후술하는 바와 같이, 부상 레일(27)의 형상은 도 2 및 도 3의 부상 레일(27)의 형상과는 다르다. 또한, 공기 베어링(33)이 부상 레일(27)의 제2 표면(28)으로부터 돌출되어 마련된다. 공기 베어링(33)은 제3 표면(34)을 갖는다. 자극(24)은 공기 베어링(33)의 제3 표면(34)에 나타난다.
소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21)의 경계(25)를 덮도록, 제1 보호막(29)이 슬라이더 본체(20)의 제1 표면(26)에 마련된다. 제2 보호막(30)이 부상 레일(27)의 제2 표면(28)에 마련된다. 제3 보호막(35)이 자기 변환 소자(23)의 자극(24)을 보호하기 위해서 공기 베어링(33)의 제3 표면(34)에 설치된다. 도 8에서는, 제1 보호막(29), 제2 보호막(30) 및 제3 보호막(35)이 생략되어 있다.
제1 보호막(29)의 작용은 앞의 실시예의 제1 보호막(29)의 작용과 마찬가지 이며, 제2 보호막(30) 및 제3 보호막(35)의 작용은 앞의 실시예의 제2 보호막(30)의 작용과 마찬가지다. 그리고, 제1 보호막(29), 제2 보호막(30) 및 제3 보호막(35)은 카본막(예컨대, DLC)으로 형성되는 것이 바람직하다. 제1 보호막(29)의 두께와, 제2 보호막(30) 및 제3 보호막(35)의 두께는 다르게 하는 것이 좋다. 이 경우, 제1 보호막(29)의 두께가 제2 보호막(30)의 두께 및 제3 보호막(35)의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다. 이로써, 자기 헤드 슬라이더(14)의 두께를 증대시키는 일이 없고, 따라서 자기 헤드 슬라이더(14)의 소형화를 실현하면서, 제1 표면(26)의 소자 형성 부분(22)과 베이스 부분(21) 사이의 경계(25)에 발생하는 미소한 단차(31)(도 4 및 도 5 참조) 상에서 제1 보호막(29)을 보다 완만하게 하여 자기 헤드 슬라이더(14)의 제1 표면(26)으로의 윤활제 퇴적을 막을 수 있다.
마찬가지로, 제1 보호막(29), 제2 보호막(30) 및 제3 보호막(35)은 불소를 함유하는 카본막으로 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 제1 보호막(29)의 불소 함유량이 제2 보호막(30) 및 제3 보호막(35)의 불소 함유량보다도 많은 것이 바람직하다.
이어서, 부상 레일(27) 및 공기 베어링(33)의 세부 사항에 대해서 설명한다. 부상 레일(27)은 공기의 유동 방향 A에서 보아 상류측에 위치하는 제1 부상 레일 부분(36)과, 제1 부상 레일 부분(36)의 후방에서 슬라이더 본체(20)의 횡방향으로 간격을 두고 배치된 2개의 제2 부상 레일 부분(37)을 포함한다. 공기 베어링(33)은 제1 부상 레일 부분(36) 및 제2 부상 레일 부분(37)의 각각에 마련된다.
제1 부상 레일 부분(36)은 슬라이더 본체(20)의 횡방향으로 연장되는 횡방향 성분(36A)과, 횡방향 성분(36A)의 양단으로부터 슬라이더 본체(20)의 길이 방향으로 연장되는 길이 방향 성분(36B)을 갖는다. 횡방향 성분(36A)과 길이 방향 성분(36B)에 의해서 둘러싸인 공간은 용적이 증대된다. 길이 방향 성분(36B)과 제2 부상 레일 부분(37) 사이에는 길이 방향의 간극이 있다.
작동 중에, 일부의 공기는 제1 부상 레일 부분(36)의 횡방향 성분(36A)을 타고 넘어 통과하고, 그 배후측의 공간으로 유입되며, 하류측으로 흐른다. 다른 일부의 공기는 제1 부상 레일 부분(36)의 횡방향 성분(36A) 및 길이 방향 성분(36B)을 우회하고, 제2 부상 레일 부분(37)을 따라서 흐른다. 또한, 일부의 공기는 길이 방향 성분(36B)과 제2 부상 레일 부분(37) 사이의 길이 방향의 간극을 지나 1쌍의 제2 부상 레일 부분(37) 사이의 공간으로 유입된 후, 하류측으로 흐른다.
공기 베어링(33)은 공기의 흐름에 의한 부상력을 받는다. 이 부상력은 자기 헤드 슬라이더(14)를 자기 디스크(13)로부터 떠나게 하는 방향으로 작용한다. 한편, 제1 부상 레일 부분(36)의 횡방향 성분(36A)을 통과하고 그 배후측의 공간으로 유입되는 공기의 흐름은, 그 공간의 용적의 증대로 인해 부압을 생성한다. 이 부압은 자기 헤드 슬라이더(14)를 자기 디스크(13)를 향해 당기는 방향으로 작용한다. 부상력과 부압을 적절히 균형을 이루도록 하면, 자기 헤드 슬라이더(14)를 자기 디스크(13)에 대하여 작은 거리를 유지시키면서 안정적으로 부상시킬 수 있다.
이 자기 헤드 슬라이더(14)의 제조에 있어서, 자기 변환 소자(23)가 형성된 상태에서는, 제2 표면(28)이 자기 헤드 슬라이더(14)(를 구성하는 블록)의 표면으로 되어 있다. 이어서, 제2 보호막(30)이 되는 제1 카본층(DLC층)을 제1 밀착층을 통해 자기 헤드 슬라이더(14)의 표면[제2 표면(28)]에 형성한다. 또한, 제3 보호막(35)이 되는 제2 카본층(DLC층)을 제2 밀착층을 통해 제1 카본층(DLC층)의 표면에 형성한다. 그래서, 제2 밀착층 및 제2 카본층(DLC층)을 마스크를 사용하여 에칭하고, 공기 베어링(33) 및 제3 보호막(35)을 형성한다. 제2 밀착층의 잔존 부분이 공기 베어링(33)이 된다. 또한, 제1 밀착층 및 제2 카본층(DLC층)을 마스크를 사용하여 에칭하고, 부상 레일(27) 및 제2 보호막(30)을 형성한다. 이 에칭은 베이스 부분(21)을 구성하는 알틱의 층 및 소자 형성 부분(22)을 구성하는 알루미나의 층을 노출시키도록 실시된다. 그 결과, 깎아내어진 층의 바닥면이 제2 표면(28)보다 낮아지고, 자기 헤드 슬라이더(14)의 제1 표면(26)이 된다. 이로써 부상 레일(27)은 제1 표면(26)으로부터 돌출된다. 그 후, 제1 보호막(29)이 자기 헤드 슬라이더(14)의 제1 표면(26)에 형성된다. 이 특징은 도 10에 나타내어져 있다. 따라서, 제1 보호막(29), 제2 보호막(30) 및 제3 보호막(35)의 두께나 조성을 바꾸는 것이 가능하다.
도 9에서, 자기 변환 소자(23)가 위치하는 부상 레일(27)의 단부[하류측의 제2 부상 레일 부분(37)의 단부]도 에칭에 의해 깎아내어진다. 이와 같이 엣지를 컷팅함으로써, 자기 변환 소자(23)의 자극(24)은 자기 디스크(13)에 보다 근접해질 수 있다. 제1 보호막(29)은 제1 표면(26) 상에서 자기 변환 소자(23)가 위치하는 부상 레일(27)의 단부(38)의 뒤쪽까지 형성되고 있다. 이로써, 자기 변환 소자(23)의 형성 위치 근방에서의 윤활제의 퇴적을 방지할 수 있다.

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 베이스 부분과, 이 베이스 부분에 접합되고 자기 변환 소자가 형성된 소자 형성 부분을 포함하는 슬라이더 본체와;
    사용시에 매체와 대향하는 상기 슬라이더 본체의 제1 표면과;
    상기 슬라이더 본체의 제1 표면에서 돌출되어 마련되고 제2 표면을 갖는 부상 레일과;
    상기 부상 레일의 제2 표면에서 돌출되어 마련되고 제3 표면을 갖는 공기 베어링 부분과;
    상기 소자 형성 부분과 상기 베이스 부분의 경계를 덮도록 슬라이더 본체의 제1 표면에 마련된 제1 보호막과;
    상기 부상 레일의 제2 표면에 마련된 제2 보호막; 그리고
    상기 자기 변환 소자를 보호하기 위해서 상기 공기 베어링의 제3 표면에 마련된 제3 보호막
    을 구비한 것을 특징으로 하는 자기 헤드 슬라이더.
  6. 제5항에 있어서, 상기 부상 레일은, 상기 슬라이더 본체의 횡방향으로 연장되는 횡방향 성분과 상기 횡방향 성분의 양단으로부터 상기 슬라이더 본체의 길이 방향으로 연장되는 길이 방향 성분을 갖는 제1 부상 레일 부분과, 상기 제1 부상 레일 부분의 후방에서 상기 슬라이더 본체의 횡방향으로 간격을 두고 배치된 2개의 제2 부상 레일 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 슬라이더.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 보호막의 두께와 상기 제2 및 제3 보호막의 두께가 다른 것을 특징으로 하는 자기 헤드 슬라이더.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 보호막의 두께가 상기 제2 및 제3 보호막의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 자기 헤드 슬라이더.
  9. 제6항에 있어서, 상기 제1 보호막, 제2 보호막 및 제3 보호막은 불소를 함유하는 카본막으로 형성되고, 제1 보호막의 불소 함유량이 제2 및 제3 보호막의 불소 함유량보다도 많은 것을 특징으로 하는 자기 헤드 슬라이더.
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