JPH09115258A

JPH09115258A - 浮上型ヘッドスライダ

Info

Publication number: JPH09115258A
Application number: JP7293723A
Authority: JP
Inventors: Naoto Kojima; 直人小島; Kanzo Okada; 勘三岡田; Kazushige Kawazoe; 一重河副; Michio Yotsuya; 道夫四谷
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1995-10-16
Filing date: 1995-10-16
Publication date: 1997-05-02
Also published as: SG43424A1; KR970023179A

Abstract

(57)【要約】【課題】周速，スキュー角等の任意の浮上条件に対応
して、磁気ディスクのデータゾーン全域にて一定の浮上
量が得られると共に、ロール角が低減されるようにし
た、浮上型ヘッドスライダを提供すること。【解決手段】記録媒体に対向する面の両側縁にほぼ平
行に形成された二本のサイドレール１５，１６と、各サ
イドレールの空気流入端側に設けられたテーパ部または
ステップ部１９と、空気流出端側の端面に設けられた磁
気ヘッドと、サイドレールの空気流入側端部を連結する
クロスレール１７と、を備えた、上記サイドレールが、
それぞれ空気流入端から空気流出端に向かって途中で少
なくとも一ヶ所の屈曲点１５ｄ，１６ｄを有しており、
各サイドレールが、この屈曲点の空気流入側１５ｂ，１
６ｂにて、長手方向に沿って内側に向かって延び、且つ
屈曲点の空気流出側１５ｃ，１６ｃにて、長手方向に沿
って外側に向かって延びるように、浮上型ヘッドスライ
ダ１３を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ディス
クや光磁気ディスク等に対して記録再生するための磁気
ヘッドを搭載した浮上型ヘッドスライダに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、コンピュータ等に内蔵されまたは
接続されるハードディスクドライブ装置は、例えば図２
４に示すように構成されている。図２４において、ハー
ドディスクドライブ装置１は、図示しないスピンドルモ
ータによって角速度一定で回転駆動される両面磁気ディ
スク２と、アーム３と、アーム３の先端に取り付けられ
たヘッドスライダ４とから構成されている。

【０００３】このアーム３は、その一端が、垂直軸３ａ
の周りに揺動可能に取り付けられており、また他端に
は、サスペンション３ｂを介して、ヘッドスライダ４が
取り付けられている。

【０００４】これにより、磁気ディスク２が図示しない
スピンドルモータによって一定速度で回転駆動される。
そして、アーム３が垂直軸３ａの周りに回動されると、
その他端に取り付けられたヘッドスライダ４は、磁気デ
ィスク２の実質的に半径方向に移動され、このヘッドス
ライダ４に備えられた磁気ヘッド５は、磁気ディスク２
に対してシーク動作することになる。かくして、磁気デ
ィスク２の所定のトラックに対して、情報の記録・再生
が行われる。

【０００５】ここで、上記ヘッドスライダ４は、図２５
に示すように、構成されている。即ち、ヘッドスライダ
４は、その一主面である下面の両側にエアベアリングサ
ーフェイスとして作用するレール４ａ，４ｂが形成され
ている。このレール４ａ，４ｂの空気流入端側には例え
ばテーパ角１度以下の緩やかな傾斜を有する傾斜部とし
てのテーパ部４ｃ，４ｄが備えられている。さらに、こ
のレール４ａの空気流出側の端面には、磁気ヘッド５が
取り付けられている。

【０００６】これにより、ヘッドスライダ４が、回転す
る磁気ディスク２の表面に接近されたとき、磁気ディス
ク２の回転に伴って、このスライダ４のレール４ａ，４
ｂと磁気ディスク２の表面との間に流入する空気流によ
り、ヘッドスライダ４が浮揚力を受ける。この浮揚力に
よって、ヘッドスライダ４及びこのヘッドスライダ４に
取り付けられた磁気ヘッド５は、磁気ディスク２の表面
から微小間隔（浮上量）をもって浮上走行するようにな
っている。かくして、磁気ヘッド５が直接に磁気ディス
ク２の表面に接触することによるこの磁気ディスク２の
摩耗損傷が、防止されるようになっている。

【０００７】このように構成された浮上型ヘッドスライ
ダ２によれば、磁気ディスク２の表面に多少の凹凸が在
る場合であっても、同一トラックにおけるヘッドスライ
ダ４，磁気ヘッド５の磁気ディスク２の表面からの浮上
量がほぼ一定に保持されることになる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、ハー
ドディスクドライブ装置においても、小型化，大容量化
に伴い、高密度記録が要求されるようになってきてい
る。このため、最近のハードディスクドライブ装置にお
いては、所謂ゾーンビット記録法が採用されつつある。
このゾーンビット記録法は、磁気ディスクのデータ領域
をいくつかのゾーンに分割し、ディスク外周側のゾーン
ほど高周波数で記録を行なうことにより、磁気ディスク
全体の記録容量を増大させる方法である。従って、この
ゾーンビット記録法を有効に活用するためには、磁気ヘ
ッドを搭載しているヘッドスライダの浮上量が、磁気デ
ィスクのデータ領域全体で一定にされることが必要にな
る。

【０００９】また、低浮上量化に伴って、ヘッドスライ
ダの長手方向を回転軸とする傾き姿勢（所謂ロール）
が、信頼性に及ぼす影響も大きくなる。即ち、定常浮上
時にロール姿勢が大きいと、ヘッドスライダが磁気ディ
スク表面の突起あるいは付着物と衝突を起こす危険が高
まる。この衝突は、クラッシュと呼ばれるが、クラッシ
ュの発生を抑制するためには、定常浮上時のロール量が
低減される必要がある。さらに、ロール角が大きいと、
シーク時にヘッドスライダの大きなロール変動が生じ、
同様にクラッシュの発生確率が大きくなってしまうの
で、ロール角の低減が必要になる。

【００１０】しかしながら、このような構成の浮上型ヘ
ッドスライダ６においては、磁気ディスク３が角速度一
定で回転される場合、その外周における線速度が、内周
における線速度よりも速い。このため、ヘッドスライダ
４の浮上量は、磁気ディスク２の外周と内周とで比較的
大きく変動する。即ち、磁気ディスク３の外周側におけ
る線速度は、内周側における線速度より大きくなり、こ
の線速度に対応する浮上量が得られる。これにより、所
謂静的な浮上量変動が発生することになる。

【００１１】これに対して、アーム３が垂直軸３ａの周
りを回動するとき、ヘッドスライダ４は、磁気ディスク
２の表面に対して、半径方向に関して、直線的にではな
く、円弧上を移動することになる。従って、このヘッド
スライダ４は、その中心線が、磁気ディスク２のトラッ
クの接線方向からずれて、図２６に示すように、所謂ス
キュー角が生ずることになる。このスキュー角は、磁気
ディスク２の中心からの位置に応じて変動する。即ち、
スキュー角が大きくなると、図２７に示すように、磁気
ディスク２の表面とヘッドスライダ４との間の動圧の浮
揚力への変換効率が低下して、浮上量が小さくなる。こ
れにより、例えば図２７にて、グラフＡで示すような浮
上特性を有する、最も理想的なヘッドスライダが得られ
ることになる。尚、一般的な浮上型ヘッドスライダにお
いては、図２７におけるグラフＢで示すような特性にな
り、また磁気ヘッド部におけるスキュー角がプラスマイ
ナス５度である場合には、スキュー角に対するヘッド浮
上量特性は、グラフＣに示すようになってしまう。

【００１２】かくして、外周側にて大きくなる浮上量ｄ
は、上記スキュー角により低下することになる。この場
合、線速度による浮上量ｄの変動は、線形であるが、ス
キュー角による浮上量ｄの低下は、二次の非線形であ
る。従って、図２６に示すような従来のヘッドスライダ
４を使用する限り、磁気ディスク３の半径方向の全範囲
に亘って、線速度とスキュー角θｓのバランスを取るこ
とは困難である。ここで、磁気ディスク２の周速及びス
キュー角度範囲は、ハードディスクドライブ装置１に固
有の値であって、ハードディスクドライブ装置１の設計
によって決まってしまう。また、ヘッドスライダ４に対
するサスペンション３ｂのバネ荷重も、ハードディスク
ドライブ装置１の設計によって決まるものである。従っ
て、これらの条件に対して、ヘッドスライダ４の浮上量
を変更し得るパラメータとして、ヘッドスライダ４のレ
ール４ａ，４ｂの幅がある。ヘッドスライダ４のレール
４ａ，４ｂの幅によって、ヘッドスライダ４の浮上量の
周速依存性及びスキュー角依存性が決定される。これに
より、上記ハードディスクドライブ装置１の固有の条件
に基づいて、ヘッドスライダ４のレール４ａ，４ｂの幅
は、自動的に決まり、そのときの浮上量のスキュー角依
存性も決定してしまう。

【００１３】かくして、図２７から明らかであるよう
に、あるレール幅に関して、ごく限られたスキュー角範
囲に対してのみ、浮上型ヘッドスライダ４の定浮上特性
が得られることになるが、それ以外の条件では、良好な
定浮上特性が得られない。また、ロール角制御に関して
も、荷重点移動によって、ヘッドスライダのロール角調
整が行なわれるが、浮上領域全体にて、ロール角をゼロ
になるように制御することは、荷重点移動のみによって
は困難である。従って、従来の浮上型ヘッドスライダに
おいては、浮上量が低下したときに、十分な信頼性を確
保することは困難である。

【００１４】本発明は、以上の点に鑑み、周速，スキュ
ー角等の任意の浮上条件に対応して、磁気ディスクのデ
ータゾーン全域にて一定の浮上量が得られると共に、ロ
ール角が低減されるようにした、浮上型ヘッドスライダ
を提供することを目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、記録媒体に対向する面にほぼ平行に形成され空気
流入端から空気流出端へ延びる二本のサイドレールと、
空気流入端側に設けられた傾斜部または段部と、空気流
出端側の端面に設けられた磁気ヘッドと、前記二本のサ
イドレールの空気流入側端部を結ぶように設けられたク
ロスレールとを備え、前記二本のサイドレールが、それ
ぞれ途中で少なくとも一ヶ所の屈曲点を有しており、各
サイドレールが、この屈曲点の空気流入側にて、長手方
向に沿って内側に向かって延び、且つ屈曲点の空気流出
側にて、長手方向に沿って外側に向かって延びるよう
に、構成されている、浮上型ヘッドスライダにより、達
成される。

【００１６】上記構成によれば、空気流入端から進入し
た空気流は、クロスレールを横断した後、エアベアリン
グサーフェイスとして作用するサイドレールの表面と記
録媒体の表面との間を流れることにより、正圧による浮
上力を発生させると共に、サイドレールの間の領域（負
圧溝）と記録媒体の表面との間を流れることにより、急
激に膨張して負圧による吸引力を発生させる。これによ
り、ヘッドスライダは、上記浮上力及び吸引力のバラン
スによって、記録媒体の表面から所定の浮上量で浮上す
ることになる。

【００１７】ここで、記録媒体の内周と外周とでは、周
速が異なるが、本発明による浮上型ヘッドスライダにお
いては、周速の変化によって、浮上力及び吸引力が変化
することになるので、ヘッドスライダの浮上量の周速依
存性が低減されることになる。尚、上記吸引力は、上述
した負圧溝の深さ及び面積によって制御されると共に、
サイドレールの最も空気流入側の屈曲部の長手方向に介
する屈曲角θによっても制御される。特に、θが、１０
度≦θ≦３０度であるとき、正圧である浮上力の抑制
と、負圧である吸引力の発生が十分であることから、ヘ
ッドスライダの浮上量の周速依存性が著しく低減される
ことになる。尚、θが１０度未満の場合には、サイドレ
ールが空気流に対してほぼ平行になるため、サイドレー
ルによって比較的大きな正圧が発生する。これにより、
浮上量の周速依存性が大きくなる。これに対して、θが
３０度を越える場合には、負圧溝の空気流出側がサイド
レールの屈曲部によって閉じられることになるため、負
圧溝内の空気流が阻害されることにより、負圧発生が抑
制されるので、同様に浮上量の周速依存性が大きくな
る。

【００１８】また、スキュー角依存性は、上記屈曲角θ
と、最も空気流入端側の屈曲点の位置即ち当この屈曲点
から空気流出端までの長さＬにより、制御される。即
ち、θが大きいほど、浮上量のスキュー角依存性が小さ
くなり、特にθが２０度を越える場合には、浮上量は、
スキュー角に依らず、ほぼ一定値を示す。また、屈曲点
の位置が、空気流出端寄り（Ｌ／Ｒ＜０．５）から流入
端寄り（Ｌ／Ｒ＞０．５）に移動するにつれて、スキュ
ー角依存性の特性曲線が下に向かって凸形状から、上に
向かって凸形状に変化する。特に、Ｌ／Ｒ≒０．５の場
合には、浮上量は、スキュー角に依らず、ほぼ一定値を
示す。かくして、本発明によれば、周速依存性及びスキ
ュー角依存性が低減されることにより、ヘッドスライダ
の浮上量がほぼ一定に保持されることになる。

【００１９】さらに、ヘッドスライダのロール量は、上
記屈曲角θと、最も空気流入端側の屈曲点の位置即ち当
この屈曲点から空気流出端までの長さＬにより、浮上全
域にて著しく低減され、ほぼゼロにされる。即ち、θが
大きくなるにつれて、正のスキュー角の場合、ヘッドス
ライダの内側のサイドレールが持ち上げられるような傾
向があり、ロール量は、スキュー角の変化に伴い、漸次
変化する。特に、２０度≦θ≦３０度の範囲において
は、ロール量は、スキュー角に依らず、ほぼ一定値であ
る。また、屈曲点の位置が、空気流出端寄り（Ｌ／Ｒ＜
０．５）から流入端寄り（Ｌ／Ｒ＞０．５）に移動する
につれて、正スキュー角でのロール量は、大きな負の値
から一度ゼロ付近まで増大し、再び大きな負の値を示
す。特に、Ｌ／Ｒ≒０．５の場合には、ロール量は、ス
キュー角に依らず、ほぼ一定値を示す。かくして、本発
明によれば、ロール量は、スキュー角が変化しても、浮
上全域にてほぼゼロに制御可能である。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図１乃至図２３を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例で
あるから、技術的に好ましい種々の限定が付されている
が、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を
限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られる
ものではない。

【００２１】図１は、本発明による浮上型ヘッドスライ
ダが取り付けられるハードディスクドライブ装置の構成
の斜視図を示している。図１において、ハードディスク
ドライブ装置１０は、図示しないスピンドルモータによ
って角速度一定で回転駆動される両面磁気ディスク１１
と、アーム１２と、アーム１２の先端に取り付けられた
ヘッドスライダ１３とから構成されている。

【００２２】このアーム１２は、その一端が、垂直軸１
２ａの周りに揺動可能に取り付けられており、また他端
には、サスペンション１２ｂを介して、ヘッドスライダ
１３が取り付けられている。

【００２３】これにより、磁気ディスク１１が図示しな
いスピンドルモータによって一定速度で回転駆動され
る。そして、アーム１２が垂直軸１２ａの周りに回動さ
れると、その他端に取り付けられたヘッドスライダ１３
は、磁気ディスク１１の実質的に半径方向に移動され、
このヘッドスライダ１３に備えられた磁気ヘッド１４
は、磁気ディスク１１に対してシーク動作することにな
る。かくして、磁気ディスク１１の所定のトラックに対
して、情報の記録・再生が行われる。

【００２４】図２は、上記浮上型ヘッドスライダの第一
の実施形態、即ち浮上型ヘッドスライダ１３の詳細な構
成を示す底面図である。図２において、浮上型ヘッドス
ライダ１３は、全体が扁平な直方体として形成されてお
り、その下面にエアベアリングサーフェイスとして作用
する二つのサイドレール１５，１６と、これらサイドレ
ールを連結するクロスレール１７とを備えている。

【００２５】サイドレール１５，１６は、それぞれヘッ
ドスライダ１３の下面の両側付近にて、空気流入側から
空気流出側に沿って長手方向に延びるように配設されて
いると共に、それらの間に、負圧溝１８を形成してい
る。また、クロスレール１７は、二つのサイドレール１
５，１６の空気流入側にて、サイドレール１５，１６を
連結するように配設されている。図示の場合、クロスレ
ール１７は、中央付近にて、分断溝１７ａを備えてい
る。

【００２６】さらに、ヘッドスライダ１３は、その下面
の空気流入側の先端に、傾斜面を有する傾斜部としての
テーパ部または段部としてのステップ部１９（図示の場
合、ステップ部）を備えている。このステップ部１９
は、サイドレール１５，１６及びクロスレール１７のエ
アベアリングサーフェイスとして作用する表面に対し
て、平行であると共に、これらの表面に対して所定の段
差を有するように、成形されている。

【００２７】ここで、上記サイドレール１５，１６は、
空気流入側から順次に、クロスレール１７から長手方向
に沿って延びる平行レール部（平行部分）１５ａ，１６
ａと、長手方向に沿って内側に向かって延びる第一の屈
曲部１５ｂ，１６ｂと、長手方向に沿って外側に向かっ
て延びる第二の屈曲部１５ｃ，１６ｃとを備えるよう
に、配設されており、第一の屈曲部１５ｂ，１６ｂと第
二の屈曲部１５ｃ，１６ｃの間に、屈曲点１５ｄ，１６
ｄを構成している。さらに、上記第二の屈曲部１５ｃ，
１６ｃは、その空気流出側の端部付近にて、内側または
外側に徐々に広がった拡幅部としてのフレア部１５ｅ，
１６ｅを備えている。

【００２８】このような浮上型ヘッドスライダ１３によ
れば、図３に示すように、浮上型ヘッドスライダ１３
が、回転する磁気ディスクＤの表面に接近されたとき、
磁気ディスクＤの回転に伴って、この浮上型ヘッドスラ
イダ１３の空気流入端から進入する空気流は、図２及び
図３に示すように、ステップ部１９から、クロスレール
１９を横切って、サイドレール１５，１６と磁気ディス
クＤの表面との間を流れると共に、サイドレール１５，
１６間の負圧溝１８と磁気ディスクＤの間を流れる。こ
こで、クロスレール１７における浮上量は通常０．３乃
至０．５μｍ程度であるのに対して、負圧溝１８では、
例えば５μｍ程度の浮上量であることから、負圧溝１８
内にて、空気流が急激に膨張して、負圧による吸引力Ｆ
１を発生させる。また、サイドレール１５，１６と磁気
ディスクＤの間を流れる空気流により、浮上型ヘッドス
ライダ１３は、浮揚力を受ける。

【００２９】従って、ヘッドスライダ１３そしてこのヘ
ッドスライダ１３の空気流出端に取り付けられた磁気ヘ
ッド１４は、上述した浮上力及び吸引力により、そして
アーム１２のサスペンション１２ａのバネ荷重のバラン
スによって、磁気ディスクＤの表面から所定の微小間隔
（浮上量）をもって浮上走行するようになっている。か
くして、磁気ヘッド１４は、直接に磁気ディスクＤの表
面に接触することによるこの磁気ディスクの摩耗損傷
が、防止されるようになっている。

【００３０】ここで、浮上型ヘッドスライダ１３の浮上
量は、磁気ディスクＤ上の各点における周速及びスキュ
ー角によって決まるが、上記浮上型ヘッドスライダ１３
においては、周速が増大するにつれて、浮上力と共に吸
引力も増大することになるので、浮上量の周速依存性が
抑制されることになる。従って、磁気ディスクＤの外周
付近における浮上量増加が低減される。さらに、浮上型
ヘッドスライダ１３の浮上量は、負圧溝１８の深さ及び
面積によって制御可能であると共に、上記第一の屈曲部
１５ｂ，１６ｂの長手方向に対する屈曲角θにより変更
される。例えば図４に示すように、θが小さい（θ＜１
０度）場合、即ちθ＝０度の場合には、周速の増加に伴
って、浮上量は増大する。これは、θが小さい場合に
は、サイドレール１５，１６はほぼ長手方向に関して平
行に延びていることから、サイドレール１５，１６によ
り比較的大きな正圧が発生するためである。これに対し
て、θが極端に大きい場合、例えばθ＝３７．９度の場
合には、屈曲点１５ｄ，１６ｄにおける負圧溝１８の幅
が絞られることになり、負圧溝１８内の空気流が流れに
くくなり、負圧発生が抑制されるためである。また、θ
が１０≦θ≦３０度の範囲、例えばθ＝１０度の場合に
は、正圧の抑制と負圧の発生が十分であることから、浮
上量の周速依存性が十分に小さくなる。

【００３１】さらに、浮上量のスキュー角依存性は、上
記屈曲角θと、屈曲点１５ｄ，１６ｄの位置即ち当この
屈曲点１５ｄ，１６ｄから空気流出端までの長さＬによ
り、制御される。ここで、サイドレール１５，１６が、
それぞれ屈曲部１５ｄ，１６ｄを有し、内側に向かって
屈曲していることにより、スキュー角が発生した場合に
は、空気流は、それぞれサイドレール１５の第一の屈曲
部１５ｂ，サイドレール１６の第二の屈曲部１６ｃまた
はサイドレール１５の第二の屈曲部１５ｃ，サイドレー
ル１６の第一の屈曲部１６ｂに沿って流れることにな
る。従って、比較的広いスキュー角の範囲で、十分に大
きな浮揚力が得られることになる。従って、例えば図５
に示すように、屈曲角θが大きくなると、浮上量のスキ
ュー角依存性が低減されることが明らかである。特に、
屈曲角θが２０度以上である場合には、浮上量はスキュ
ー角に依らず、ほぼ一定値を示している。また、例えば
図６に示すように、屈曲点１５ｄ，１６ｄが空気流出端
寄り（Ｌ／Ｒ＜０．５）から流入端寄り（Ｌ／Ｒ＞０．
５）に移動するにつれて、スキュー角依存性の特性曲線
が下に向かって凸形状から、上に向かって凸形状に変化
する。特に、Ｌ／Ｒ≒０．５の場合には、浮上量は、ス
キュー角に依らず、ほぼ一定値を示している。

【００３２】かくして、周速依存性及びスキュー角依存
性が低減されることにより、ヘッドスライダ１３の浮上
量がほぼ一定に保持されることになる。従って、ハード
ディスクドライブ装置１０において、浮上型ヘッドスラ
イダ１３が、磁気ディスク１１の内周から外周へのヘッ
ドシーク時に、ヘッドスライダ１３が受ける周速及びス
キュー角が連続的に変化したとしても、ほぼ一定の浮上
量が得られることになる。尚、ハードディスクドライブ
装置１０において、回動型アクチュエータであるアーム
１２の代わりに、リニアアクチュエータが使用されてい
る場合には、スキュー角が一定（通常はゼロ）で、ヘッ
ドシークが行なわれるが、ヘッドスライダ１３は周速の
みが連続的に変動するが、このような場合にも、ヘッド
スライダ１３の浮上量は、周速によらず、一定値をとる
ことになる。

【００３３】また、浮上型ヘッドスライダ１３のロール
量は、上記屈曲角θと、最も空気流入端側の屈曲点の位
置即ち当この屈曲点から空気流出端までの長さＬによ
り、浮上全域にて著しく低減され、ほぼゼロにされる。
例えば図７に示すように、θが大きくなるにつれて、正
スキュー角では、磁気ディスクＤの内周側のサイドレー
ル１５が持ち上げられる傾向があり、ロール量は漸次変
化している。特に、２０度≦θ≦３０度の範囲では、ロ
ール量は、スキュー角に依らず、ほぼ一定である。ま
た、例えば図８に示すように、屈曲点１５ｄ，１６ｄが
空気流入端側から空気流出端側に移動するにつれて、正
スキュー角では、ロール量は、大きな負の値から一度ゼ
ロ付近にまで増大し、再び大きな負の値を示す。特に、
Ｌ／Ｒ≒０．５の場合には、ロール量は、スキュー角に
依らず、ほぼ一定値を示す。

【００３４】かくして、ほぼゼロに近い良好なロール特
性が得られることになる。従って、ハードディスクドラ
イブ装置１０において、浮上型ヘッドスライダ１３の磁
気ディスク１１の内周から外周へのヘッドシーク時に、
ヘッドスライダ１３が受けるスキュー角が連続的に変化
したとしても、浮上型ヘッドスライダ１３のロール量
は、スキュー角によらず、浮上全域に亘って、ほぼゼロ
に制御される。尚、ハードディスクドライブ装置１０に
おいて、回動型アクチュエータであるアーム１２の代わ
りに、リニアアクチュエータが使用されている場合に
は、スキュー角が一定（通常はゼロ）であることから、
浮上全域に亘ってほぼゼロのロール特性が得られること
になる。

【００３５】かくして、上記実施形態によれば、ほぼ平
行なサイドレール１５，１６に屈曲点１５ｄ，１６ｄを
設けると共に、第一の屈曲部１５ｂ，１６ｂの屈曲角θ
と上記屈曲点１５ｄ，１６ｄの位置Ｌを最適化すること
によって、ハードディスクドライブ装置１０における良
好な定浮上特性及びゼロロール特性が得られることにな
る。

【００３６】図９及び図１０は、上記実施形態による浮
上型ヘッドスライダ１３の屈曲角θと屈曲点１５ｄ，１
６ｄの位置Ｌの最適範囲を示している。即ち、図９にお
いて、屈曲角θに関しては、浮上量の周速依存性及びス
キュー角依存性と、ロール量のスキュー角依存性の点か
ら既に述べたように、１０度≦θ≦３０度の範囲が望ま
しい。特に、浮上量の周速依存性及びスキュー角依存性
そしてロール量のスキュー角依存性による変化量を５ｎ
ｍ以下に抑制するためには、２０度≦θ≦３０度の範囲
であることが最も望ましい。また、図１０において、屈
曲点位置Ｌに関しては、浮上量の周速依存性及びスキュ
ー角依存性と、ロール量のスキュー角依存性から、０．
３≦Ｌ／Ｒ≦０．７の範囲が望ましい。特に、浮上量の
周速依存性及びスキュー角依存性そしてロール量のスキ
ュー角依存性による変化量を５ｎｍ以下に抑制するため
には、０．４≦Ｌ／Ｒ≦０．６の範囲であることが最も
望ましい。

【００３７】図１１は、本発明による浮上型ヘッドスラ
イダの具体的な実施形態を示している。図１１におい
て、浮上型ヘッドスライダ２０は、図２の浮上型ヘッド
スライダ１３とまったく同じ構成であって、全体が扁平
な直方体として形成されており、その下面にエアベアリ
ングサーフェイスとして作用する二つのサイドレール２
１，２２と、これらサイドレールを連結するクロスレー
ル２３とを備えている。

【００３８】サイドレール２２，２３は、それぞれヘッ
ドスライダ２０の下面の両側付近にて、空気流入側から
空気流出側に沿ってほぼ長手方向に延びるように配設さ
れていると共に、それらの間に、負圧溝２４を形成して
いる。また、クロスレール２３は、二つのサイドレール
２１，２２の空気流入側にて、サイドレール２２，２３
を連結するように配設されている。図示の場合、クロス
レール２３は、中央付近にて、分断溝２３ａを備えてい
る。

【００３９】さらに、ヘッドスライダ２０は、その下面
の空気流入側の先端にテーパ部またはステップ部２５
（図示の場合、テーパ部）を備えている。このテーパ部
２５は、サイドレール２１，２２及びクロスレール２３
のエアベアリングサーフェイスとして作用する表面に対
して、所定角度例えば１度以下の緩い傾斜角度を有する
ように、成形されている。

【００４０】ここで、上記サイドレール２１，２２は、
空気流入側から順次に、クロスレール２３から長手方向
に沿って延びる平行レール部２１ａ，２２ａと、長手方
向に沿って内側に向かって延びる第一の屈曲部２１ｂ，
２２ｂと、長手方向に沿って外側に向かって延びる第二
の屈曲部２１ｃ，２２ｃとを備えるように、配設されて
おり、第一の屈曲部２１ｂ，２２ｂと第二の屈曲部２１
ｃ，２２ｃの間に、屈曲点２１ｄ，２２ｄを構成してい
る。さらに、上記第二の屈曲部２１ｃ，２２ｃは、その
空気流出側の端部付近にて、内側に徐々に広がった拡幅
部としてのフレア部２１ｅ，２２ｅを備えている。

【００４１】この場合、ヘッドスライダ２０全体は、例
えばアルチック材から構成され、表面全体にウレタン系
レジストを塗布して、サイドレール２１，２２及びクロ
スレール２３の部分のみにマスキングを施し、紫外線照
射により、上記レジストを光硬化させる。そして、光硬
化後に現像液により未硬化部分を除去して、ヘッドスラ
イダ２０の表面の必要な箇所にレジストマスクを形成
し、例えばイオンミリング等によってスライダ表面のア
ルチック材を除去することにより、負圧溝２４が形成さ
れる。さらに、その後、ヘッドスライダ３０をサスペン
ション１２ｂ上に接着等により取り付けることにより、
ヘッド・ジンバル・アッセンブリとして組み立てられ
る。

【００４２】ここで、ヘッドスライダ２０は、全長Ｘが
２０５０μｍ、全幅Ｗが１６００μｍであって、サイド
レール２１，２２の第一の屈曲部２１ｂ，２２ｂの屈曲
角θが２５度、サイドレール２１，２２の屈曲点２１
ｄ，２２ｄから空気流出端までの距離Ｌが７００μｍ、
第一の屈曲部２１ｂ，２２ｂの屈曲開始点から空気流出
端までの距離Ｒが１４００μｍであって、例えばサイド
レール２１の空気流出端に、磁気ヘッド２６が取り付け
られている。

【００４３】このように形成された浮上型ヘッドスライ
ダ２０を、例えば３．５インチハードディスクドライブ
装置に搭載した場合に、磁気ディスクの半径方向位置に
対する浮上量は、図１２に示すようになり、また磁気デ
ィスクの半径方向位置に対するロール量は、図１３に示
すようになる。従って、上述した浮上型ヘッドスライダ
２０によれば、良好な定浮上特性が得られると共に、ほ
ぼゼロで一定のロール特性が得られることが分かる。

【００４４】ここで、上記浮上型ヘッドスライダ２０に
おいて、屈曲角θ及び屈曲点位置Ｌの二つのパラメータ
を変化させた場合の浮上量変動のコンピュータシミュレ
ーションを以下に説明する。先づ、モデルＡ，Ｂ，Ｃ，
Ｄの四つのモデルを考える。モデルＡは、屈曲点位置Ｌ
＝６００μｍ，Ｌ／Ｒ０．４３，屈曲角θ＝２０度であ
る。また、モデルＢは、屈曲点位置Ｌ＝６００μｍ，Ｌ
／Ｒ＝０．４３，屈曲角θ＝３０度である。さらに、モ
デルＣは、屈曲点位置Ｌ＝８００μｍ，Ｌ／Ｒ＝０．５
７，屈曲角θ＝２０度である。また、モデルＤは、屈曲
点位置Ｌ＝８００μｍ，Ｌ／Ｒ＝０．５７，屈曲角θ＝
３０度である。

【００４５】これらのモデルＡ乃至Ｄによれば、スキュ
ー角に対する浮上量は、図１４に示すようになり、また
Ｌ／Ｒ＝０．５における屈曲角θに対するスキュー角依
存性は、図１５に示すようになる。ここで、曲線Ｅは、
前述した図１１の浮上型ヘッドスライダ２０の特性を示
している。さらに、これらのモデルＡ乃至Ｄによれば、
スキュー角に対するロール量は、図１６に示すようにな
り、またＬ／Ｒ＝０．５における屈曲角θに対するロー
ル量は、図１７に示すようになる。これに対して、これ
らのモデルＡ乃至Ｄによれば、周速に対する浮上量は、
図１８にしめすようになり、またＬ／Ｒ＝０．５におけ
る屈曲角θに対する周速依存性は、図１９に示すように
なる。かくして、最適条件（θ＝２５度，Ｌ＝７００μ
ｍ）に比較すると、周速依存性の変化は、最大７μｍ程
度、スキュー角依存性の変化は、最大８ｎｍ程度、ロー
ル量の変化は、最大１２μｍ程度であり、ほぼ一定の良
好な浮上量特性が得られることになる。

【００４６】図２０は、本発明による浮上型ヘッドスラ
イダの第二の実施形態の斜視図を示している。図２０に
おいて、浮上型ヘッドスライダ３０は、全体が扁平な直
方体として形成されており、その下面にエアベアリング
サーフェイスとして作用する二つのサイドレール３１，
３２と、これらサイドレールを連結するクロスレール３
３とを備えている。

【００４７】サイドレール３１，３２は、それぞれヘッ
ドスライダ３０の下面の両側付近にて、空気流入側から
空気流出側に沿ってほぼ長手方向に延びるように配設さ
れていると共に、それらの間に、負圧溝３４を形成して
いる。また、クロスレール３３は、二つのサイドレール
３１，３２の空気流入側にて、サイドレール３１，３２
を連結するように配設されている。この場合、クロスレ
ール３３は、分断溝を備えていない。

【００４８】さらに、ヘッドスライダ３０は、その下面
の空気流入側の先端に段部としてのテーパ部３５を備え
ている。このテーパ部３５は、サイドレール３１，３２
及びクロスレール３３のエアベアリングサーフェイスと
して作用する表面に対して、所定の角度例えば１度以下
の緩やかな傾斜角度を有するように、成形されている。

【００４９】ここで、上記サイドレール３１，３２は、
空気流入側から順次に、クロスレール１７から長手方向
に沿って内側に向かって延びる第一の屈曲部３１ａ，３
２ａと、長手方向に沿って外側に向かって延びる第二の
屈曲部３１ｂ，３２ｂとを備えるように、配設されてお
り、第一の屈曲部３１ａ，３２ａと第二の屈曲部３１
ｂ，３２ｂの間に、屈曲点３１ｃ，３２ｃを構成してい
る。さらに、この場合、上記第二の屈曲部３１ｂ，３２
ｂは、その幅が一定に形成されており、フレア部を備え
ていない。

【００５０】このように構成された浮上型ヘッドスライ
ダ３０によれば、図２の浮上型ヘッドスライダ１３と同
様に動作し、同様の効果を発揮する。

【００５１】図２１は、本発明による浮上型ヘッドスラ
イダの第三の実施形態の底面を示している。図２１にお
いて、浮上型ヘッドスライダ４０は、全体が扁平な直方
体として形成されており、全体が扁平な直方体として形
成されており、その下面にエアベアリングサーフェイス
として作用する二つのサイドレール４１，４２と、これ
らサイドレールを連結するクロスレール４３とを備えて
いる。

【００５２】サイドレール４１，４２は、それぞれヘッ
ドスライダ４０の下面の両側付近にて、空気流入側から
空気流出側に沿ってほぼ長手方向に延びるように配設さ
れていると共に、それらの間に、負圧溝４４を形成して
いる。また、クロスレール４３は、二つのサイドレール
４１，４２の空気流入側にて、サイドレール４１，４２
を連結するように配設されている。図示の場合、クロス
レール４３は、中央付近の空気流出側のみに、分断溝４
３ａを備えている。

【００５３】さらに、ヘッドスライダ４０は、その下面
の空気流入側の先端にテーパ部４５を備えている。この
テーパ部４５は、サイドレール４１，４２及びクロスレ
ール４３のエアベアリングサーフェイスとして作用する
表面に対して、所定角度、例えば１度以下の緩やかな傾
斜角度を有するように、成形されている。

【００５４】ここで、上記サイドレール４１，４２は、
空気流入側から順次に、クロスレール４３から長手方向
に沿って延びる平行レール部４１ａ，４２ａと、長手方
向に沿って内側に向かって延びる第一の屈曲部４１ｂ，
４２ｂと、長手方向に沿って外側に向かって延びる第二
の屈曲部４１ｃ，４２ｃとを備えるように、配設されて
おり、第一の屈曲部４１ｂ，４２ｂと第二の屈曲部４１
ｃ，４２ｃの間に、屈曲点４１ｄ，４２ｄを構成してい
る。

【００５５】これにより、浮上型ヘッドスライダ４０
は、図２の浮上型ヘッドスライダ１３と同様に動作し、
同様の効果を発揮する。

【００５６】図２２は、本発明による浮上型ヘッドスラ
イダの第四の実施形態の底面を示している。図２２にお
いて、浮上型ヘッドスライダ５０は、図２０に示した浮
上型ヘッドスライダ３０とほぼ同様の構成であり、テー
パ部３５の代わりに、ステップ部が備えられた構成であ
る。即ち、浮上型ヘッドスライダ５０は、全体が扁平な
直方体として形成されており、その下面にエアベアリン
グサーフェイスとして作用する二つのサイドレール５
１，５２と、これらサイドレールを連結するクロスレー
ル５３とを備えている。

【００５７】サイドレール５１，５２は、それぞれヘッ
ドスライダ５０の下面の両側付近にて、空気流入側から
空気流出側に沿ってほぼ長手方向に延びるように配設さ
れていると共に、それらの間に、負圧溝５４を形成して
いる。また、クロスレール５３は、二つのサイドレール
５１，５２の空気流入側にて、サイドレール５１，５２
を連結するように配設されている。この場合、クロスレ
ール５３は、分断溝を備えていない。

【００５８】さらに、ヘッドスライダ５０は、その下面
の空気流入側の先端にステップ部５５を備えている。こ
のステップ部５５は、サイドレール５１，５２及びクロ
スレール５３のエアベアリングサーフェイスとして作用
する表面に対して、平行であると共に、これらの表面に
対して所定の段差を有するように、成形されている。

【００５９】ここで、上記サイドレール５１，５２は、
空気流入側から順次に、クロスレール５３から長手方向
に沿って内側に向かって延びる第一の屈曲部５１ａ，５
２ａと、長手方向に沿って外側に向かって延びる第二の
屈曲部５１ｂ，５２ｂとを備えるように、配設されてお
り、第一の屈曲部５１ａ，５２ａと第二の屈曲部５１
ｂ，５２ｂの間に、屈曲点５１ｃ，５２ｃを構成してい
る。さらに、この場合、上記第二の屈曲部５１ｂ，５２
ｂは、その幅が一定に形成されており、フレア部を備え
ていない。

【００６０】このように構成された浮上型ヘッドスライ
ダ５０によれば、図２の浮上型ヘッドスライダ１５と同
様に動作し、同様の効果を発揮する。

【００６１】図２３は、本発明による浮上型ヘッドスラ
イダの第五の実施形態の斜視図を示している。図２３に
おいて、浮上型ヘッドスライダ６０は、図２０に示した
浮上型ヘッドスライダ３０とほぼ同様の構成であり、空
気流出端の中央付近に導流部が備えられた構成である。
即ち、浮上型ヘッドスライダ６０は、全体が扁平な直方
体として形成されており、その下面にエアベアリングサ
ーフェイスとして作用する二つのサイドレール６１，６
２と、これらサイドレールを連結するクロスレール６３
とを備えている。

【００６２】サイドレール６１，６２は、それぞれヘッ
ドスライダ６０の下面の両側付近にて、空気流入側から
空気流出側に沿ってほぼ長手方向に延びるように配設さ
れていると共に、それらの間に、負圧溝６４を形成して
いる。また、クロスレール６３は、二つのサイドレール
６１，６２の空気流入側にて、サイドレール６１，６２
を連結するように配設されている。この場合、クロスレ
ール６３は、分断溝を備えていない。

【００６３】さらに、ヘッドスライダ６０は、その下面
の空気流入側の先端にテーパ部６５を備えている。この
テーパ部６５は、サイドレール６１，６２及びクロスレ
ール６３のエアベアリングサーフェイスとして作用する
表面に対して、所定角度例えば１度以下の緩い傾斜角度
を有するように、成形されている。

【００６４】ここで、上記サイドレール６１，６２は、
空気流入側から順次に、クロスレール１７から長手方向
に沿って内側に向かって延びる第一の屈曲部６１ａ，６
２ａと、長手方向に沿って外側に向かって延びる第二の
屈曲部６１ｂ，６２ｂとを備えるように、配設されてお
り、第一の屈曲部６１ａ，６２ａと第二の屈曲部６１
ｂ，６２ｂの間に、屈曲点６１ｃ，６２ｃを構成してい
る。この場合、上記第二の屈曲部６１ｂ，６２ｂは、そ
の幅が一定に形成されており、フレア部を備えていな
い。さらに、浮上型ヘッドスライダ６０は、その下面の
空気流出側の端部付近の中央に、導流部６６を備えてい
る。そして、この導流部６６の空気流出側の端面に、磁
気ヘッド６７が取り付けられている。この導流部６６
は、空気流入端側が尖端を有するように、空気流出端側
に向かって末広がり状に形成されている。これにより、
負圧溝６４を流れる空気流は、この導流部６６によっ
て、左右に分岐され、円滑に流出することになる。

【００６５】このように構成された浮上型ヘッドスライ
ダ６０によれば、図２の浮上型ヘッドスライダ１６と同
様に動作し、同様の効果を発揮する。

【００６６】尚、上記実施形態においては、空気流入側
の端縁に、テーパ部またはステップ部が設けられている
が、何れの場合も、テーパ部の代わりにステップ部が、
あるいはステップ部の代わりにテーパ部が設けられても
よいことは明らかである。また、各実施形態による浮上
型ヘッドスライダ１３，２０，３０，４０，５０，６０
において、サイドレールは、唯一つの屈曲点を備えてい
るが、これに限らず、複数個の屈曲点を備えていてもよ
い。この場合、最も空気流入端側の屈曲部の屈曲角θ
と、最も空気流入端側の屈曲開始点の距離Ｒ，最も空気
流入端側の屈曲点の位置Ｌが、上述した条件を満たすよ
うにすることにより、浮上量の周速依存性，スキュー角
依存性が低減されると共に、ロール量変動が低減され、
定浮上特性が得られることになる。

【００６７】さらに、上述した実施形態においては、サ
イドレールの幅，長さについて、それぞれ具体的な形状
及び寸法が示されているが、長手方向に沿ってほぼ平行
に配設されたサイドレールが、内側に向かって屈曲した
少なくとも一つの屈曲点を有していればよく、その長
さ，幅や配置は、実際に搭載されるハードディスクドラ
イブ装置に対応して、最適化されるべきものである。従
って、上述した実施形態に示された形状，配置等に限定
されるべきではなく、これらの組合せも可能であること
はいうまでもない。また、上記実施形態においては、磁
気ディスクの記録再生を行なうためのハードディスクド
ライブ装置のための浮上型ヘッドスライダについて説明
したが、これに限らず、例えば光磁気ディスク等の他の
ディスクを記録媒体として使用するディスクドライブ装
置のための浮上型ヘッドスライダに本発明を適用し得る
ことは明らかである。

【００６８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、サ
イドレールが、少なくとも一つの屈曲点を有するよう
に、内側に向かって屈曲していることから、ヘッドスラ
イダの浮上量の周速依存性及びスキュー角依存性が低減
されることにより、ヘッドスライダの浮上量がほぼ一定
に保持されることになる。さらに、ヘッドスライダのロ
ール量が、スキュー角が変化しても、浮上全域にてほぼ
ゼロに制御可能である。かくして、本発明によれば、周
速，スキュー角等の任意の浮上条件に対応して、磁気デ
ィスクのデータゾーン全域にて一定の浮上量が得られる
と共に、ロール角が低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるスライダを組み込んだハードディ
スクドライブ装置の構成を示す斜視図である。

【図２】本発明による浮上型ヘッドスライダの第一の実
施形態を示す概略底面図である。

【図３】図２の浮上型ヘッドスライダの磁気ディスクに
対する浮上状態を示す概略断面図である。

【図４】図２の浮上型ヘッドスライダにおける屈曲角θ
をパラメータとした周速と浮上量との関係を示すグラフ
である。

【図５】図２の浮上型ヘッドスライダにおける屈曲角θ
をパラメータとしたスキュー角と浮上量との関係を示す
グラフである。

【図６】図２の浮上型ヘッドスライダにおける屈曲点位
置Ｌ／Ｒをパラメータとしたスキュー角と浮上量との関
係を示すグラフである。

【図７】図２の浮上型ヘッドスライダにおける屈曲角θ
をパラメータとしたスキュー角とロール量との関係を示
すグラフである。

【図８】図２の浮上型ヘッドスライダにおける屈曲点位
置Ｌ／Ｒをパラメータとしたスキュー角とロール量との
関係を示すグラフである。

【図９】図２の浮上型ヘッドスライダにおける屈曲角θ
と浮上量特性との関係を示すグラフである。

【図１０】図２の浮上型ヘッドスライダにおける屈曲点
位置Ｌ／Ｒと浮上量特性との関係を示すグラフである。

【図１１】本発明による浮上型ヘッドスライダの具体的
な実施形態を示す概略底面図である。

【図１２】図１１の浮上型ヘッドスライダにおけるヘッ
ド位置と浮上量との関係を示すグラフである。

【図１３】図１１の浮上型ヘッドスライダにおけるヘッ
ド位置とロール量との関係を示すグラフである。

【図１４】本発明による浮上型ヘッドスライダの複数の
モデルにおけるコンピュータシミュレーションによるス
キュー角と浮上量との関係を示すグラフである。

【図１５】図１４の各モデルにおける屈曲角θに対する
スキュー依存性を示すグラフである。

【図１６】図１４の各モデルにおけるコンピュータシミ
ュレーションによるスキュー角とロール量との関係を示
すグラフである。

【図１７】図１４の各モデルにおける屈曲角θに対する
ロール量変動を示すグラフである。

【図１８】図１４の各モデルにおける周速に対する浮上
量を示すグラフである。

【図１９】図１４の各モデルにおける屈曲角θに対する
周速依存性を示すグラフである。

【図２０】本発明による浮上型ヘッドスライダの第二の
実施形態を示す概略斜視図である。

【図２１】本発明による浮上型ヘッドスライダの第三の
実施形態を示す概略底面図である。

【図２２】本発明による浮上型ヘッドスライダの第四の
実施形態を示す概略斜視図である。

【図２３】本発明による浮上型ヘッドスライダの第五の
実施形態を示す概略斜視図である。

【図２４】従来のハードディスクドライブ装置の一例の
構成を示す斜視図である。

【図２５】図１８のハードディスクドライブ装置におけ
る浮上型ヘッドスライダを示す概略斜視図である。

【図２６】図２５の浮上型ヘッドスライダのスキュー角
変動を示す概略図である。

【図２７】図２５の浮上型ヘッドスライダにおけるスキ
ュー角による浮上量変動を示すグラフである。

【符号の説明】

１０ハードディスクドライブ装置１１磁気ディスク１２アーム１３浮上型ヘッドスライダ１４磁気ヘッド１５，１６サイドレール１５ａ，１６ａ平行部分１５ｂ，１６ｂ第一の屈曲部１５ｃ，１６ｃ第二の屈曲部１５ｄ，１６ｄ屈曲点１５ｅ，１６ｅフレア部１７クロスレール１７ａ分断溝１８負圧溝１９ステップ部２０浮上型ヘッドスライダ２１，２２サイドレール２１ｂ，２２ｂ第一の屈曲部２１ｃ，２２ｃ第二の屈曲部２１ｄ，２３ｄ屈曲点２１ｅ，２２ｅフレア部２３クロスレール２４負圧溝２５テーパ部３０浮上型ヘッドスライダ３１，３２サイドレール３１ｃ，３２ｃ屈曲点３３クロスレール３４負圧溝３５テーパ部３６磁気ヘッド４０浮上型ヘッドスライダ４１，４２サイドレール４１ｄ，４２ｄ屈曲点４３クロスレール４４負圧溝４５テーパ部４６磁気ヘッド５０浮上型ヘッドスライダ５１，５２サイドレール５１ｄ，５２ｄ屈曲点５３クロスレール５４負圧溝５５ステップ部５６磁気ヘッド６０浮上型ヘッドスライダ６１，６２サイドレール６１ｄ，６２ｄ屈曲点６３クロスレール６４負圧溝６５テーパ部６６導流部６７磁気ヘッド θ 屈曲角Ｌ屈曲点から空気流出端までの距離Ｒ屈曲開始点から空気流出端までの距離

フロントページの続き (72)発明者四谷道夫東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】記録媒体に対向する面にほぼ平行に形成
され空気流入端から空気流出端へ延びる二本のサイドレ
ールと、空気流入端側に設けられた傾斜部または段部と、空気流出端側の端面に設けられた磁気ヘッドと、前記二本のサイドレールの空気流入側端部を結ぶように
設けられたクロスレールとを備え、前記二本のサイドレールが、それぞれ途中で少なくとも
一ヶ所の屈曲点を有しており、各サイドレールが、この屈曲点の空気流入側にて、長手
方向に沿って内側に向かって延び、且つ屈曲点の空気流
出側にて、長手方向に沿って外側に向かって延びるよう
に、構成されていることを特徴とする浮上型ヘッドスラ
イダ。
【請求項２】前記各サイドレールが、空気流出側の端
部付近にて、内側または外側に拡大した拡幅部を備えて
いることを特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドス
ライダ。
【請求項３】前記クロスレールが、その中央付近に
て、分断溝を備えていることを特徴とする請求項１に記
載の浮上型ヘッドスライダ。
【請求項４】前記サイドレールが、クロスレールから
長手方向に沿って延びる平行レール部を備えていること
を特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドスライダ。
【請求項５】前記磁気ヘッドが、各サイドレールのう
ち、一つのサイドレールの空気流出端側の端面に取り付
けられていることを特徴とする請求項１に記載の浮上型
ヘッドスライダ。
【請求項６】前記空気流出端側の端部領域の中央付近
に形成された空気流出端側に向かって末広がり形状に形
成された導流部が備えられていることを特徴とする請求
項１に記載の浮上型ヘッドスライダ。
【請求項７】前記磁気ヘッドが、前記導流部の空気流
出端側の端面に取り付けられていることを特徴とする請
求項６に記載の浮上型ヘッドスライダ。
【請求項８】前記各サイドレールの最も空気流入側の
内側に向かって延びる屈曲部の、長手方向に対する屈曲
角をθとしたとき、１０度≦θ≦３０度であることを特
徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドスライダ。
【請求項９】前記各サイドレールの最も空気流入側の
内側に向かって延びる屈曲部の、長手方向に対する屈曲
角をθとしたとき、２０度≦θ≦３０度であることを特
徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドスライダ。
【請求項１０】前記屈曲点のうち、最も空気流入端側
の屈曲点（屈曲点がひとつである場合当該屈曲点）から
空気流出端までの距離をＬ，とし、最も空気流入端側の
屈曲部の屈曲開始点から空気流出端までの距離をＲとし
たとき、その比が、０．３０≦Ｌ／Ｒ≦０．７０である
ことを特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドスライ
ダ。
【請求項１１】前記屈曲点のうち、最も空気流入端側
の屈曲点（屈曲点がひとつである場合当該屈曲点）から
空気流出端までの距離をＬ，とし、最も空気流入端側の
屈曲部の屈曲開始点から空気流出端までの距離をＲとし
たとき、その比が、０．４０≦Ｌ／Ｒ≦０．７０である
ことを特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドスライ
ダ。
【請求項１２】記録媒体となる磁気ディスクと、磁気ディスクを回転駆動する駆動手段と、駆動手段により回転駆動される磁気ディスクに対して揺
動可能に支持された回動型アクチュエータと、回動型アクチュエータの先端に備えられた浮上型ヘッド
スライダと、浮上型ヘッドスライダに設けられた磁気ディスクの記録
再生を行なう磁気ヘッドと、回動型アクチュエータを揺動させるための駆動機構とを
備え、且つ、前記ヘッドスライダが、記録媒体に対向する面にほぼ平行に形成され空気流入端
から空気流出端へ延びる二本のサイドレールと、空気流入端側に設けられた傾斜部または段部と、空気流出端側の端面に設けられた磁気ヘッドと、前記二本のサイドレールの空気流入側端部を結ぶように
設けられたクロスレールとを備え、前記二本のサイドレールが、それぞれ途中で少なくとも
一ヶ所の屈曲点を有しており、各サイドレールが、この屈曲点の空気流入側にて、長手
方向に沿って内側に向かって延び、且つ屈曲点の空気流
出側にて、長手方向に沿って外側に向かって延びるよう
に、構成されていることを特徴とする磁気ディスク装
置。