JP2779529B2 - 浮動ヘッドスライダ - Google Patents
浮動ヘッドスライダInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置等、走行する記録媒体面
上を微小な浮上すきまで浮上する浮動ヘッドスライダに
係り、特に浮上特性の良好で、大量生産に好適な、浮動
ヘッドスライダに関する。
上を微小な浮上すきまで浮上する浮動ヘッドスライダに
係り、特に浮上特性の良好で、大量生産に好適な、浮動
ヘッドスライダに関する。
従来の磁気ディスク装置用浮動ヘッドスライダは、特
公昭57−569号公報に記載のように、スライダの両側部
に平面部と気体流入側に軽斜面部を有する一対の一直線
の気体軸受レールを設けたいわゆるテーパフラット形ス
ライダが使われている。両気体軸受レールの間は気体軸
受作用を発生しないだけ十分な深さに削ったブリード部
となっている。実際のブリード部の深さは、気体軸受レ
ールとの境界で100μｍ以上である。
公昭57−569号公報に記載のように、スライダの両側部
に平面部と気体流入側に軽斜面部を有する一対の一直線
の気体軸受レールを設けたいわゆるテーパフラット形ス
ライダが使われている。両気体軸受レールの間は気体軸
受作用を発生しないだけ十分な深さに削ったブリード部
となっている。実際のブリード部の深さは、気体軸受レ
ールとの境界で100μｍ以上である。
従来、スライダの加工は、気体軸受レールが一直線の
ためブリード部の溝をスライサなどの機械研削加工を用
いて行なっていた。しかし、装置の高密度化に対応して
目標の浮上量の微小化が要求されてきている。浮上量の
微小化に伴い許容浮上量変動の減少と浮上量のバラツキ
を押さえる目的でスライダの小形化や各寸法公差を小さ
く押さえる必要が出てきた。具体的に寸法公差をミクロ
ンメータ単位で管理することは先の研削など機械加工で
は難しく、また、加工中に欠けなどを生じやすく問題と
なっていた。
ためブリード部の溝をスライサなどの機械研削加工を用
いて行なっていた。しかし、装置の高密度化に対応して
目標の浮上量の微小化が要求されてきている。浮上量の
微小化に伴い許容浮上量変動の減少と浮上量のバラツキ
を押さえる目的でスライダの小形化や各寸法公差を小さ
く押さえる必要が出てきた。具体的に寸法公差をミクロ
ンメータ単位で管理することは先の研削など機械加工で
は難しく、また、加工中に欠けなどを生じやすく問題と
なっていた。
また、浮上量の微小化に伴う許容浮上量変動の減少に
対して押し付け荷重を増す方法は、気体軸受レールの気
体軸受作用の圧縮性の影響が益々顕著になり減衰特性の
悪化に伴う浮上不安定挙動の発生の可能性を高め、また
コンタクトスタートストップ方式のスライダでは耐摺動
の観点から制限があり、浮上開始速度の改善は望めな
い。
対して押し付け荷重を増す方法は、気体軸受レールの気
体軸受作用の圧縮性の影響が益々顕著になり減衰特性の
悪化に伴う浮上不安定挙動の発生の可能性を高め、また
コンタクトスタートストップ方式のスライダでは耐摺動
の観点から制限があり、浮上開始速度の改善は望めな
い。
さらに、浮上量の微小化、スライダの小形化に伴い、
気体軸受レールのレール幅は、狭くする必要があり、そ
の結果、気体軸受レールの流出端への薄膜ヘッドの搭載
が困難となり、問題となっていた。
気体軸受レールのレール幅は、狭くする必要があり、そ
の結果、気体軸受レールの流出端への薄膜ヘッドの搭載
が困難となり、問題となっていた。
これらの観点から、スライダの浮上面に正圧発生部の
他に負圧発生部を設け、負圧吸引力を押し付け荷重とし
て作用させる負圧利用形スライダが提案されている。こ
の種のスライダとしては、米国特許No.3855625があり、
そのスライダを第26図、第27図に示す。スライダ１の浮
上面は空気流入端に傾斜面２を設けた正圧気体軸受レー
ル３が両サイドに配置され、その間の同一面内の流入端
側に正圧気体軸受レール３と直交するクロスレール４が
設けられている。クロスレール４の流出端に負圧発生用
窪み５が、クロスレール４の流入側に深い窪み６が設け
られている。深い窪み６は正圧軸受作用を無視できる量
に抑えるため十分深く（100μｍオーダー）又は、背面
まで突き抜けている。しかし、本スライダは、深い窪み
６の加工性、窪み６とクロスレール４の境界への塵埃付
着、離脱による耐摺動性の劣化、クロスレール４の摩耗
による浮上特性の急変などの問題があった。また正圧気
体軸受レール３と負圧発生用窪み５の境界を共有してい
るため加工ばらつきによる浮上特性の干渉による特性の
大きなばらつき等の問題があった。尚、正圧気体軸受レ
ール３の面は平面部７となっており、またその流出端に
はトランスデューサ８が取り付けられている。
他に負圧発生部を設け、負圧吸引力を押し付け荷重とし
て作用させる負圧利用形スライダが提案されている。こ
の種のスライダとしては、米国特許No.3855625があり、
そのスライダを第26図、第27図に示す。スライダ１の浮
上面は空気流入端に傾斜面２を設けた正圧気体軸受レー
ル３が両サイドに配置され、その間の同一面内の流入端
側に正圧気体軸受レール３と直交するクロスレール４が
設けられている。クロスレール４の流出端に負圧発生用
窪み５が、クロスレール４の流入側に深い窪み６が設け
られている。深い窪み６は正圧軸受作用を無視できる量
に抑えるため十分深く（100μｍオーダー）又は、背面
まで突き抜けている。しかし、本スライダは、深い窪み
６の加工性、窪み６とクロスレール４の境界への塵埃付
着、離脱による耐摺動性の劣化、クロスレール４の摩耗
による浮上特性の急変などの問題があった。また正圧気
体軸受レール３と負圧発生用窪み５の境界を共有してい
るため加工ばらつきによる浮上特性の干渉による特性の
大きなばらつき等の問題があった。尚、正圧気体軸受レ
ール３の面は平面部７となっており、またその流出端に
はトランスデューサ８が取り付けられている。
以上、従来の浮動ヘッドスライダ及び加工法では寸法
の高精度化や浮上量の微小化に伴う浮上不安定挙動の回
避、許容浮上量変動の減少、気体軸受レール幅の減少に
伴う薄膜ヘッドの搭載などの点が考慮されていなかっ
た。
の高精度化や浮上量の微小化に伴う浮上不安定挙動の回
避、許容浮上量変動の減少、気体軸受レール幅の減少に
伴う薄膜ヘッドの搭載などの点が考慮されていなかっ
た。
上記従来技術は、以下に閉す点が考慮されておらず問
題があった。
題があった。
第一に、浮上量の微小化及びスライダ追従特性改善の
ためのスライダの小型化により、スライダ形状の各寸法
公差に対する浮上バラツキへの影響度が増大し、目標浮
上量に対し、製作したスライダの浮上量がばらつき、記
録再生及び耐摺動信頼性の点で問題があった。寸法公差
の改善方法として、スパッタリングなどのエッチングに
よる方法があるが、セラミックスに対するエッチング速
度は、大変遅く（例えば、スパッタリングでは、１μm/
時間）、加工量を大きくとることは、量産性の点、製造
コストの点及び精度の低下の点で難しい。一方、加工量
が少ないとブリード部でも気体軸受作用による正の圧力
が発生し、同一押し付け荷重では浮上量が増大する問題
があった。
ためのスライダの小型化により、スライダ形状の各寸法
公差に対する浮上バラツキへの影響度が増大し、目標浮
上量に対し、製作したスライダの浮上量がばらつき、記
録再生及び耐摺動信頼性の点で問題があった。寸法公差
の改善方法として、スパッタリングなどのエッチングに
よる方法があるが、セラミックスに対するエッチング速
度は、大変遅く（例えば、スパッタリングでは、１μm/
時間）、加工量を大きくとることは、量産性の点、製造
コストの点及び精度の低下の点で難しい。一方、加工量
が少ないとブリード部でも気体軸受作用による正の圧力
が発生し、同一押し付け荷重では浮上量が増大する問題
があった。
また、許容浮上量変動の減少の対策として押し付け荷
重を増加する方法は空気膜の減衰特性を急激に悪化し、
浮上不安定が発生し浮上量変動が発散振動し、最悪の場
合、スライダと媒体が接触し、クラッシュ事故に至る可
能性があり、スライダの小形化や低浮上での安定浮上化
に関して問題であった。また、コンタクトスタートスト
ップ時の耐摺動性の面で問題があった。
重を増加する方法は空気膜の減衰特性を急激に悪化し、
浮上不安定が発生し浮上量変動が発散振動し、最悪の場
合、スライダと媒体が接触し、クラッシュ事故に至る可
能性があり、スライダの小形化や低浮上での安定浮上化
に関して問題であった。また、コンタクトスタートスト
ップ時の耐摺動性の面で問題があった。
第二に負圧利用形スライダではクロスレール流入側の
深い窪みの加工法として、スパッタリングなどのエッチ
ング等による方法があるが、セラミックスに対するエッ
チング速度は前述のように大変遅く、一方、加工量が少
ないと上記窪みでも気体軸受作用による正の圧力が発生
し、正圧と負圧のモーメントバランスがくずれ浮上姿勢
が大きくなり負圧利用がうまく行かなくなる問題があっ
た。
深い窪みの加工法として、スパッタリングなどのエッチ
ング等による方法があるが、セラミックスに対するエッ
チング速度は前述のように大変遅く、一方、加工量が少
ないと上記窪みでも気体軸受作用による正の圧力が発生
し、正圧と負圧のモーメントバランスがくずれ浮上姿勢
が大きくなり負圧利用がうまく行かなくなる問題があっ
た。
第三に負圧利用形スライダでは深い窪み６とクロスレ
ール４の境界へ塵埃が付着しやすく、堆積した塵埃の離
脱により、またクロスレールで塵埃を噛み込み易く、ま
たディスク突起と衝突しやすくディスク面を損傷し、耐
摺動性の劣化を引き起こす問題があった。また逆にクロ
スレールが摩耗した場合は負圧発生量が減少し、正圧と
負圧のモーメントバランスがくずれ、浮上姿勢が大きく
なり負圧利用がうまく行かなくなる問題があった。
ール４の境界へ塵埃が付着しやすく、堆積した塵埃の離
脱により、またクロスレールで塵埃を噛み込み易く、ま
たディスク突起と衝突しやすくディスク面を損傷し、耐
摺動性の劣化を引き起こす問題があった。また逆にクロ
スレールが摩耗した場合は負圧発生量が減少し、正圧と
負圧のモーメントバランスがくずれ、浮上姿勢が大きく
なり負圧利用がうまく行かなくなる問題があった。
第四に負圧利用形スライダでは正圧気体軸受レール３
と負圧発生用窪み５の境界を共有しているため、加工ば
らつきによる浮上特性の干渉による特性の大きなばらつ
き等の問題があった。
と負圧発生用窪み５の境界を共有しているため、加工ば
らつきによる浮上特性の干渉による特性の大きなばらつ
き等の問題があった。
本発明の目的は、浮上バラツキが少なく浮上の動的特
性が良好で、高精度に量産性良く作ることのできる浮動
ヘッドスライダを提供することにある。
性が良好で、高精度に量産性良く作ることのできる浮動
ヘッドスライダを提供することにある。
上記の目的を達成するために本発明は、回転する記録
媒体に対向して配置されたスライダの該記録媒体との対
向面に、該記録媒体の回転に伴う気体流により発生する
正の圧力によって該スライダを浮上させる一対の気体軸
受レールと、該一対の気体軸受レール間に該気体軸受レ
ール面より窪んだブリーブ部とが形成された浮動ヘッド
スライダにおいて、前記ブリード部は、前記気体流の流
出端に達する窪みを有することを特徴とするものであ
る。
媒体に対向して配置されたスライダの該記録媒体との対
向面に、該記録媒体の回転に伴う気体流により発生する
正の圧力によって該スライダを浮上させる一対の気体軸
受レールと、該一対の気体軸受レール間に該気体軸受レ
ール面より窪んだブリーブ部とが形成された浮動ヘッド
スライダにおいて、前記ブリード部は、前記気体流の流
出端に達する窪みを有することを特徴とするものであ
る。
そして、この窪みは該ブリード部に対して深さ10μｍ
以下のものとしたり、また、該窪みと前記気体軸受レー
ルとの間に該ブリード面による分離部を有するものであ
る。また、この窪みの幅を流出端で狭くしたり、あるい
は流入端を設けてその幅を中央部より狭くしたものであ
る。また、この窪みをブリード部の複数個所に設けるこ
ともできる。
以下のものとしたり、また、該窪みと前記気体軸受レー
ルとの間に該ブリード面による分離部を有するものであ
る。また、この窪みの幅を流出端で狭くしたり、あるい
は流入端を設けてその幅を中央部より狭くしたものであ
る。また、この窪みをブリード部の複数個所に設けるこ
ともできる。
上記構成によれば、スライダの一対の気体軸受レール
の間の気体軸受レール面より窪んで形成されたブリード
部に流出端に達する窪み（ブリード部を第１の窪みとし
て第２の窪みに相当。）を設けることにより、ブリード
部に流入した気体は上記窪みまでは僅かな圧力変化しか
起こさず第二の窪に達する。第二の窪みで気体は高さ方
向に広がる流れとなり負圧を生じる。この負圧の大きさ
はクロスレールを設けた場合より小さい。ブリード部の
他の部分の圧力はブリード部の深さを浅くしも、この負
圧の為に正の圧力にならずブリード部全体としての発生
荷重は無視できる程度となる。ブリード部は平面で気体
軸受面より窪んでいるため気体は流れの乱れが少なくこ
の部分への塵埃の付着及びディスク突起との接触の可能
性を低く押さえることができる。負圧発生部の形状変化
が起こらず安定した浮上特性が得られる。また、ブリー
ド部で正圧気体軸受レールと負圧発生窪みを分離するこ
とにより両者の干渉を押さえることができほぼ独立に個
々の形状を設計することができる。また、加工寸法のバ
ラツキによる両者の干渉を小さくし浮上量変化を小さく
押さえることができる。
の間の気体軸受レール面より窪んで形成されたブリード
部に流出端に達する窪み（ブリード部を第１の窪みとし
て第２の窪みに相当。）を設けることにより、ブリード
部に流入した気体は上記窪みまでは僅かな圧力変化しか
起こさず第二の窪に達する。第二の窪みで気体は高さ方
向に広がる流れとなり負圧を生じる。この負圧の大きさ
はクロスレールを設けた場合より小さい。ブリード部の
他の部分の圧力はブリード部の深さを浅くしも、この負
圧の為に正の圧力にならずブリード部全体としての発生
荷重は無視できる程度となる。ブリード部は平面で気体
軸受面より窪んでいるため気体は流れの乱れが少なくこ
の部分への塵埃の付着及びディスク突起との接触の可能
性を低く押さえることができる。負圧発生部の形状変化
が起こらず安定した浮上特性が得られる。また、ブリー
ド部で正圧気体軸受レールと負圧発生窪みを分離するこ
とにより両者の干渉を押さえることができほぼ独立に個
々の形状を設計することができる。また、加工寸法のバ
ラツキによる両者の干渉を小さくし浮上量変化を小さく
押さえることができる。
また、スライダの一対の気体軸受レールの間の気体軸
受レール面より窪んで形成されたブリード部に流出端に
達する第二の窪みを浅い深さで構成することにより、ブ
リード部に流入した気体は上記浅い窪みで広がる流れと
なり、ごく弱い負圧を生じる。ブリード部の他の部分の
圧力はブリード部の深さを浅くしても、この負圧の為に
正の圧力にならずブリード部全体としての発生荷重は無
視できる程度となる。ブリード部の深さを浅くしてもブ
リード部が正の気体軸受となることがなくブリード部の
加工時間を大幅に短縮し、加工精度を高めることができ
る。
受レール面より窪んで形成されたブリード部に流出端に
達する第二の窪みを浅い深さで構成することにより、ブ
リード部に流入した気体は上記浅い窪みで広がる流れと
なり、ごく弱い負圧を生じる。ブリード部の他の部分の
圧力はブリード部の深さを浅くしても、この負圧の為に
正の圧力にならずブリード部全体としての発生荷重は無
視できる程度となる。ブリード部の深さを浅くしてもブ
リード部が正の気体軸受となることがなくブリード部の
加工時間を大幅に短縮し、加工精度を高めることができ
る。
また、ブリード部に設けた流出端に達する第二の窪み
の形状を流入側に貫通させたり、もしくは流出部の幅を
狭くすることは上記窪みで発生する負圧の大きさを調整
するように働き負圧部の設計を容易にする。
の形状を流入側に貫通させたり、もしくは流出部の幅を
狭くすることは上記窪みで発生する負圧の大きさを調整
するように働き負圧部の設計を容易にする。
以下、本発明のいくつかの実施例を図面に基づいて具
体的に説明する。尚、従来例と同一構造部分には同一符
号を付してその説明を省略する。
体的に説明する。尚、従来例と同一構造部分には同一符
号を付してその説明を省略する。
（第１実施例） 第１図及び第２図において、平面部７と気体流入側に
設けた傾斜面２よりなる正圧気体軸受レール３がスライ
ダ１の浮上面の両サイドに配置され、上記気体軸受レー
ル３の流出端にトランスデューサ８が取り付けられてい
る。上記一対の気体軸受レール３の間に該気体軸受レー
ル面より、深さD1だけ窪んでブリード部11が設けてあ
り、ブリード部11の領域に、流出端まで達する深さD2の
第２の窪み12を設けている。
設けた傾斜面２よりなる正圧気体軸受レール３がスライ
ダ１の浮上面の両サイドに配置され、上記気体軸受レー
ル３の流出端にトランスデューサ８が取り付けられてい
る。上記一対の気体軸受レール３の間に該気体軸受レー
ル面より、深さD1だけ窪んでブリード部11が設けてあ
り、ブリード部11の領域に、流出端まで達する深さD2の
第２の窪み12を設けている。
ブリード部11の深さD1の値は１〜20μｍ程度であり、
従来のテーパフラット形の80〜200μｍより小さく形成
している。また、従来形の負圧利用形では、この部分を
ゼロとしている。第２の窪み12の深さもほぼ同程度の１
〜20μｍ程度であり必要な負圧の大きさに合わせて深さ
を選ぶ。この窪み部の加工はスパッタリングなどのエッ
チング加工を行なうことにより精度良く加工することが
できる。
従来のテーパフラット形の80〜200μｍより小さく形成
している。また、従来形の負圧利用形では、この部分を
ゼロとしている。第２の窪み12の深さもほぼ同程度の１
〜20μｍ程度であり必要な負圧の大きさに合わせて深さ
を選ぶ。この窪み部の加工はスパッタリングなどのエッ
チング加工を行なうことにより精度良く加工することが
できる。
正圧気体軸受レール３と第２の窪み部の間には、両者
を分離するブリード部11の一部である分離部13を設けて
いる。
を分離するブリード部11の一部である分離部13を設けて
いる。
本実施例によれば、ディスクの回転に伴う気体は、ス
ライダ１の浮上面の流入側より流入する。
ライダ１の浮上面の流入側より流入する。
この時の浮上面での圧力分布の状態を第３図を併用し
て説明する。波線は従来形を示す。
て説明する。波線は従来形を示す。
スライダ１の両サイドの正圧気体軸受レール３に侵入
した気体は、圧縮され、圧力上昇をして流出端側へ抜け
る。図中の前後ので圧力ピークを持つ形となる。一
方ブリード部11に流入した気体は、正圧気体軸受レール
３より、窪んでいるため第２の窪み12までは僅かな圧力
変化しか起こさない。気体が第２の窪み12に達すると、
この窪みのために、気体は高さ方向に広がる流れとな
り、負圧を生じる。従来形では、クロスレール部で流れ
のせき止めによる乱れが次いでクロスレール部での正圧
の発生、そして、大きな負圧の発生が起き、ここを流れ
る流体の乱れは大きく、この乱れの大きな部分への塵埃
の付着が問題であったのに対し、本実施例の形状では、
ブリード部11に第２の窪み12を設けているため、負圧の
大きさは少し小さくなるが、気体の流れに対する形状変
化は小さく、気体の乱れは少ない。その結果、この部分
への塵埃付着は起きにくい。また、コンタクトスタート
ストップ時に従来形のようなクロスレール４による接触
を回避し、浮上中には媒体面の突起との接触の可能性も
低く押さえることができ、媒体面の損傷、クラッシュを
回避できる。同時に、摩耗による負圧発生部の形状変化
が起こらず、安定した浮上特性が得られる。
した気体は、圧縮され、圧力上昇をして流出端側へ抜け
る。図中の前後ので圧力ピークを持つ形となる。一
方ブリード部11に流入した気体は、正圧気体軸受レール
３より、窪んでいるため第２の窪み12までは僅かな圧力
変化しか起こさない。気体が第２の窪み12に達すると、
この窪みのために、気体は高さ方向に広がる流れとな
り、負圧を生じる。従来形では、クロスレール部で流れ
のせき止めによる乱れが次いでクロスレール部での正圧
の発生、そして、大きな負圧の発生が起き、ここを流れ
る流体の乱れは大きく、この乱れの大きな部分への塵埃
の付着が問題であったのに対し、本実施例の形状では、
ブリード部11に第２の窪み12を設けているため、負圧の
大きさは少し小さくなるが、気体の流れに対する形状変
化は小さく、気体の乱れは少ない。その結果、この部分
への塵埃付着は起きにくい。また、コンタクトスタート
ストップ時に従来形のようなクロスレール４による接触
を回避し、浮上中には媒体面の突起との接触の可能性も
低く押さえることができ、媒体面の損傷、クラッシュを
回避できる。同時に、摩耗による負圧発生部の形状変化
が起こらず、安定した浮上特性が得られる。
また第３図のＣ−Ｃ部圧力で示すように、ブリード部
11の分離部13で正圧気体軸受レール３と負圧を発生させ
る第２の窪み12を分離することにより、両者の圧力発生
の干渉を小さく押さえることができ、従来形で見られる
干渉部での発生圧力のゆがみを防止できる。その結果両
者をほぼ独立に個々の形状を設定することができる。ま
た加工寸法バラツキによる発生圧力の両者の干渉が小さ
くなり、浮上量変化を小さく押さえることができる。
11の分離部13で正圧気体軸受レール３と負圧を発生させ
る第２の窪み12を分離することにより、両者の圧力発生
の干渉を小さく押さえることができ、従来形で見られる
干渉部での発生圧力のゆがみを防止できる。その結果両
者をほぼ独立に個々の形状を設定することができる。ま
た加工寸法バラツキによる発生圧力の両者の干渉が小さ
くなり、浮上量変化を小さく押さえることができる。
また、ブリード部11の深さD1及び第２の窪み12の深さ
D2を浅く（数μｍ以下）構成することにより、ブリード
部11に流入した気体は上記第２の窪み12でわずかに広が
る流れとなり極く弱い負圧を生じる。ブリード部11の他
の部分の圧力はブリード部11の深さD1を浅くしても、こ
の負圧の為に正の圧力とならず、ブリード部11全体での
負圧の発生荷重は、無視できる程度となる。これによっ
て、ブリード部11及び第２の窪み12の加工時間を大幅に
短縮し、加工精度を高めた浮上ヘッドスライダを得るこ
とができる。
D2を浅く（数μｍ以下）構成することにより、ブリード
部11に流入した気体は上記第２の窪み12でわずかに広が
る流れとなり極く弱い負圧を生じる。ブリード部11の他
の部分の圧力はブリード部11の深さD1を浅くしても、こ
の負圧の為に正の圧力とならず、ブリード部11全体での
負圧の発生荷重は、無視できる程度となる。これによっ
て、ブリード部11及び第２の窪み12の加工時間を大幅に
短縮し、加工精度を高めた浮上ヘッドスライダを得るこ
とができる。
（第２実施例） 第４図及び第５図は本発明の第２の実施例を示す。ブ
リード部11と第２の窪み12の境界を傾斜部14で構成した
例である。本構成では気体が第２の窪み12に流入する時
の乱れ、ハクリを防止し、負圧発生特性が安定し、塵埃
付着も小さくなる。第２の窪み12の傾斜部14の加工は、
スパッタリングなどのエッチング加工の一方法として可
能である。
リード部11と第２の窪み12の境界を傾斜部14で構成した
例である。本構成では気体が第２の窪み12に流入する時
の乱れ、ハクリを防止し、負圧発生特性が安定し、塵埃
付着も小さくなる。第２の窪み12の傾斜部14の加工は、
スパッタリングなどのエッチング加工の一方法として可
能である。
（第３実施例） 第６図及び第７図は本発明の第３の実施例を示す。ブ
リード部11の正圧気体軸受レール３と第２の窪み12の間
に第４図に示すような分離部13を設けていない例であ
る。正圧部と負圧部の干渉はあるが、大きな負圧が得ら
れ、その他はほぼ同等な性能が得られる。
リード部11の正圧気体軸受レール３と第２の窪み12の間
に第４図に示すような分離部13を設けていない例であ
る。正圧部と負圧部の干渉はあるが、大きな負圧が得ら
れ、その他はほぼ同等な性能が得られる。
（第４実施例） 第８図及び第９図は本発明の第４の実施例を示す。第
２の窪み12の幅を流出端の幅Ｃを他の部分の幅Ｂより小
さくＢ＞Ｃとして構成した例である。本構成により流出
端側での負圧の発生を減らし負圧の圧力中心をスライダ
中心側にすることができる。また、正圧、負圧の干渉な
しに、正圧気体軸受レール３の流出端の拡がり部15を設
け、トランスデューサ８の取付けを容易にすることも、
分離部13を設けることにより可能となる。
２の窪み12の幅を流出端の幅Ｃを他の部分の幅Ｂより小
さくＢ＞Ｃとして構成した例である。本構成により流出
端側での負圧の発生を減らし負圧の圧力中心をスライダ
中心側にすることができる。また、正圧、負圧の干渉な
しに、正圧気体軸受レール３の流出端の拡がり部15を設
け、トランスデューサ８の取付けを容易にすることも、
分離部13を設けることにより可能となる。
（第５実施例） 第10図及び第11図は本発明の第５の実施例を示す。ブ
リード部11に、流入端から流出端に達する第２の窪み12
を設け、第２の窪み12の流入端部の幅Ａが、中央部の幅
Ｂよりも狭いように構成している。本構成により負圧の
発生を調整し、極くわずかにすることができ、又、ブリ
ード部11を２つに分離でき、ブリード部11の深さD1を小
さくしても、ブリード部11で働く正圧軸受作用を無視で
きる程度に小さくでき、加工時間を短縮することができ
る。
リード部11に、流入端から流出端に達する第２の窪み12
を設け、第２の窪み12の流入端部の幅Ａが、中央部の幅
Ｂよりも狭いように構成している。本構成により負圧の
発生を調整し、極くわずかにすることができ、又、ブリ
ード部11を２つに分離でき、ブリード部11の深さD1を小
さくしても、ブリード部11で働く正圧軸受作用を無視で
きる程度に小さくでき、加工時間を短縮することができ
る。
（第６実施例） 第12図及び第13図は本発明の第６の実施例を示す。第
２の窪み12の形状を流入側で幅Ｂに対し流出端の幅Ｃと
しＢ＜Ｃと拡げた場合である。本構成によると、スライ
ダにヨー角がつく場合のスライダに対しても、窪み12の
側面が負圧軸受として働くことがなく、安定な負圧が得
られる。分離部13を設けたことにより、正圧気体軸受レ
ール３の形状を負圧発生の第２の窪み12によらず決める
ことができ、流出端にトランスデューサの取付けの制約
にならない。
２の窪み12の形状を流入側で幅Ｂに対し流出端の幅Ｃと
しＢ＜Ｃと拡げた場合である。本構成によると、スライ
ダにヨー角がつく場合のスライダに対しても、窪み12の
側面が負圧軸受として働くことがなく、安定な負圧が得
られる。分離部13を設けたことにより、正圧気体軸受レ
ール３の形状を負圧発生の第２の窪み12によらず決める
ことができ、流出端にトランスデューサの取付けの制約
にならない。
（第７実施例） 第14図および第15図は本発明の第７の実施例を示す。
第２の窪み12の形状によらず、正圧気体軸受レール３の
形状をヨー角に強い形に変えられる例である。
第２の窪み12の形状によらず、正圧気体軸受レール３の
形状をヨー角に強い形に変えられる例である。
（第８実施例） 第16図および第17図は本発明の第８の実施例を示す。
正圧気体軸受レール３の流入側部にステップ軸受作用部
16を設けた例である。本構成で、浮上面の加工をスパッ
タリングによるエッチング加工等、非機械加工で行なう
ことが可能になり、加工性、寸法精度、量産性を高める
ことができる。
正圧気体軸受レール３の流入側部にステップ軸受作用部
16を設けた例である。本構成で、浮上面の加工をスパッ
タリングによるエッチング加工等、非機械加工で行なう
ことが可能になり、加工性、寸法精度、量産性を高める
ことができる。
（第９実施例） 第18図および第19図は本発明の第９の実施例を示す。
ブリーブ部11内に第２の窪み17を負圧窪み分離部18によ
り複数個設けた例である。図のように２個所設けること
によりローリング方向の剛性の向上がはかれる。
ブリーブ部11内に第２の窪み17を負圧窪み分離部18によ
り複数個設けた例である。図のように２個所設けること
によりローリング方向の剛性の向上がはかれる。
（第10実施例） 第20図および第21図は本発明の第10の実施例を示す。
ブリード部11内の複数個の第２の窪み17を流出端部に設
けた例である。本構成により、流出端部分の浮上量変動
に特に強い剛性を持ったスライダを得る。又、ロール剛
性を強くできる。
ブリード部11内の複数個の第２の窪み17を流出端部に設
けた例である。本構成により、流出端部分の浮上量変動
に特に強い剛性を持ったスライダを得る。又、ロール剛
性を強くできる。
（第11実施例） 第22図および第23図は本発明の第11の実施例を示す。
ブリード部11内の第２の窪み12を流出端部に設けた例で
ある。正圧気体軸受レール３の幅の変化に伴う浮上姿勢
を調整することが可能となる。
ブリード部11内の第２の窪み12を流出端部に設けた例で
ある。正圧気体軸受レール３の幅の変化に伴う浮上姿勢
を調整することが可能となる。
（適用例１） 第24図は本発明に係る浮上ヘッドスライダが装着され
たリニア形回転円板記憶装置の平面断面図である。キャ
リッジ21にガイドアーム22が結合され、該ガイドアーム
22にトランスデューサ支持装置23が連結され、トランス
デューサ支持装置23の先端部に浮上ヘッドスライダ１が
装着されている。スライダ１は、ボイスコイルモータ24
に駆動されて、回転する円板記憶媒体25の半径方向に進
退する。本例によりスライダ浮上量変動及び浮上バラツ
キが小さく安定に浮上するため、スライダ浮上量を小さ
くすることが可能となり、記憶媒体の高密度記憶を実現
できた。
たリニア形回転円板記憶装置の平面断面図である。キャ
リッジ21にガイドアーム22が結合され、該ガイドアーム
22にトランスデューサ支持装置23が連結され、トランス
デューサ支持装置23の先端部に浮上ヘッドスライダ１が
装着されている。スライダ１は、ボイスコイルモータ24
に駆動されて、回転する円板記憶媒体25の半径方向に進
退する。本例によりスライダ浮上量変動及び浮上バラツ
キが小さく安定に浮上するため、スライダ浮上量を小さ
くすることが可能となり、記憶媒体の高密度記憶を実現
できた。
（適用例２） 第25図は、本発明の他の適用例を示し、本発明の浮動
ヘッドスライダ１が装着されたインライン形回転円板記
憶装置の一部破砕斜視図で、キャリッジ21に連接された
トランスデューサ支持装置23の先端に装着された本発明
浮動ヘッドスライダ１を示している。本実施例によって
も同様の効果が得られた。
ヘッドスライダ１が装着されたインライン形回転円板記
憶装置の一部破砕斜視図で、キャリッジ21に連接された
トランスデューサ支持装置23の先端に装着された本発明
浮動ヘッドスライダ１を示している。本実施例によって
も同様の効果が得られた。
以上説明したように、本発明によれば、スライダの浮
上面より窪んで形成されたブリード部内に負圧を発生さ
せる第２の窪みを設けることにより負圧発生部が浮上面
から離れ、また第２の窪み以外の高さ方向の形状変化が
なく、気体の流れに乗った塵埃の付着、又、媒体面の突
起との接触の可能性を小さくでき、耐摺動性、信頼性の
面で改善される。
上面より窪んで形成されたブリード部内に負圧を発生さ
せる第２の窪みを設けることにより負圧発生部が浮上面
から離れ、また第２の窪み以外の高さ方向の形状変化が
なく、気体の流れに乗った塵埃の付着、又、媒体面の突
起との接触の可能性を小さくでき、耐摺動性、信頼性の
面で改善される。
また、負圧発生量を小さく押さえることにより、ブリ
ード部の正の圧力発生を防ぎ、ブリード部の深さを浅く
できるのでブリード部の加工時間を大幅に短縮できる。
また、加工方法を従来の機械加工からエッチング加工
等、非機械加工化でき加工精度を高めることができる。
ード部の正の圧力発生を防ぎ、ブリード部の深さを浅く
できるのでブリード部の加工時間を大幅に短縮できる。
また、加工方法を従来の機械加工からエッチング加工
等、非機械加工化でき加工精度を高めることができる。
第１図は本発明の第１実施例を示す平面図、第２図はそ
の正面図、第３図は浮上面の圧力分布を示す説明図、第
４図は本発明の第２実施例を示す平面図、第５図はその
正面図、第６図は本発明の第３実施例を示す平面図、第
７図はその正面図、第８図は本発明の第４実施例を示す
平面図、第９図はその正面図、第10図は本発明の第５実
施例を示す平面図、第11図はその正面図、第12図は本発
明の第６実施例を示す平面図、第13図はその正面図、第
14図は本発明の第７実施例を示す平面図、第15図はその
正面図、第16図は本発明の第８実施例を示す平面図、第
17図はその正面図、第18図は本発明の第９実施例を示す
平面図、第19図はその正面図、第20図は本発明の第10実
施例を示す平面図、第21図はその断面図、第22図は本発
明の第11実施例を示す平面図、第23図はその断面図、第
24図は本発明の一適用例を示す平面図、第25図は本発明
の他の適用例を示す一部破砕斜視図、第26図は従来例を
示す平面図、第27図はその正面図である。 １……スライダ、２……傾斜面、３……正圧気体軸受レ
ール、４……クロスレール、６……流入側の深い窪み、
７……平面部、８……トランスデューサ、11……ブリー
ド部、12……第２の窪み、13……分離部、14……傾斜
部、15……拡がり部、16……ステップ軸受作用部、17…
…負圧発生窪み、18……負圧窪み分離部、D1……ブリー
ド部深さ、D2……第２の窪みの深さ。
の正面図、第３図は浮上面の圧力分布を示す説明図、第
４図は本発明の第２実施例を示す平面図、第５図はその
正面図、第６図は本発明の第３実施例を示す平面図、第
７図はその正面図、第８図は本発明の第４実施例を示す
平面図、第９図はその正面図、第10図は本発明の第５実
施例を示す平面図、第11図はその正面図、第12図は本発
明の第６実施例を示す平面図、第13図はその正面図、第
14図は本発明の第７実施例を示す平面図、第15図はその
正面図、第16図は本発明の第８実施例を示す平面図、第
17図はその正面図、第18図は本発明の第９実施例を示す
平面図、第19図はその正面図、第20図は本発明の第10実
施例を示す平面図、第21図はその断面図、第22図は本発
明の第11実施例を示す平面図、第23図はその断面図、第
24図は本発明の一適用例を示す平面図、第25図は本発明
の他の適用例を示す一部破砕斜視図、第26図は従来例を
示す平面図、第27図はその正面図である。 １……スライダ、２……傾斜面、３……正圧気体軸受レ
ール、４……クロスレール、６……流入側の深い窪み、
７……平面部、８……トランスデューサ、11……ブリー
ド部、12……第２の窪み、13……分離部、14……傾斜
部、15……拡がり部、16……ステップ軸受作用部、17…
…負圧発生窪み、18……負圧窪み分離部、D1……ブリー
ド部深さ、D2……第２の窪みの深さ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 圭一 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社 日立製作所機械研究所内 (72)発明者 大東 宏 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 小島 康生 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭60−211671（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−148684（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 21/21 101 G11B 5/60
Claims (7)
- 【請求項１】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダの該記録媒体との対向面に、該記録媒体の回転に
伴う気体流により発生する正の圧力によって該スライダ
を浮上させる一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸
受レール間に該気体軸受レール面より窪んだブリーブ部
とが形成された浮動ヘッドスライダにおいて、 前記ブリード部は、前記気体流の流出端に達する窪みを
有することを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項２】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダの該記録媒体との対向面に、該記録媒体の回転に
伴う気体流により発生する正の圧力によって該スライダ
を浮上させる一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸
受レール間に該気体軸受レール面より窪んだブリーブ部
とが形成された浮動ヘッドスライダにおいて、 前記ブリード部は、前記気体流の流出端に達する窪みを
有し、該窪みは該ブリード部に対して深さ10μｍ以下の
ものであることを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項３】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダの該記録媒体との対向面に、該記録媒体の回転に
伴う気体流により発生する正の圧力によって該スライダ
を浮上させる一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸
受レール間に該気体軸受レール面より窪んだブリーブ部
とが形成された浮動ヘッドスライダにおいて、 前記ブリード部は、前記気体流の流出端に達する窪みを
有し、該窪みと前記気体軸受レールとの間に該ブリード
面による分離部を有することを特徴とする浮動ヘッドス
ライダ。 - 【請求項４】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダの該記録媒体との対向面に、該記録媒体の回転に
伴う気体流により発生する正の圧力によって該スライダ
を浮上させる一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸
受レール間に該気体軸受レール面より窪んだブリーブ部
とが形成された浮動ヘッドスライダにおいて、 前記ブリード部は、前記気体流の流出端に達する窪みを
有し、該窪みは該流出端の幅が他の部分より狭いもので
あることを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項５】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダの該記録媒体との対向面に、該記録媒体の回転に
伴う気体流により発生する正の圧力によって該スライダ
を浮上させる一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸
受レール間に該気体軸受レール面より窪んだブリーブ部
とが形成された浮動ヘッドスライダにおいて、 前記ブリード部は、前記気体流の流出端から中央部を経
て流出端に達する窪みを有し、該窪みは該流入端の幅が
該中央部より狭いものであることを特徴とする浮動ヘッ
ドスライダ。 - 【請求項６】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダの該記録媒体との対向面に、該記録媒体の回転に
伴う気体流により発生する正の圧力によって該スライダ
を浮上させる一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸
受レール間に該気体軸受レール面より窪んだブリーブ部
とが形成された浮動ヘッドスライダにおいて、 前記ブリード部は、前記気体流の流出端に達する窪みを
有し、該窪みは該ブリード部の複数個所に設けられたも
のであることを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項７】請求項１ないし６のうちいずれかに記載の
浮動ヘッドスライダを搭載したものである磁気ディスク
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27229889A JP2779529B2 (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 | 浮動ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27229889A JP2779529B2 (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 | 浮動ヘッドスライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03132981A JPH03132981A (ja) | 1991-06-06 |
| JP2779529B2 true JP2779529B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=17511921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27229889A Expired - Lifetime JP2779529B2 (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 | 浮動ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2779529B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5210666A (en) * | 1990-05-25 | 1993-05-11 | Seagate Technology, Inc. | Self-loading air bearing slider with a relieved leading edge |
| US5343343A (en) * | 1990-05-25 | 1994-08-30 | Seagate Technology, Inc. | Air bearing slider with relieved rail ends |
| US5438467A (en) * | 1992-10-28 | 1995-08-01 | International Business Machines Corporation | Negative pressure air bearing design |
| US5388017A (en) * | 1993-01-29 | 1995-02-07 | International Business Machines Corporation | Disk file with air-bearing slider having skids |
| US5636086A (en) * | 1993-05-28 | 1997-06-03 | International Business Machines Corporation | Roll insensitive air bearing slider |
| US5396386A (en) * | 1993-05-28 | 1995-03-07 | International Business Machines Corporation | Roll insensitive air bearing slider |
| US5424888A (en) * | 1993-06-24 | 1995-06-13 | International Business Machines Corp. | Speed independent, air bearing slider |
| JP3642821B2 (ja) * | 1995-03-17 | 2005-04-27 | 富士通株式会社 | 磁気ヘッドスライダ |
| US6055128A (en) * | 1997-05-14 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Dual etch step pad air bearing design with three etch depths |
| US6459546B1 (en) | 1998-07-21 | 2002-10-01 | Seagate Technology Llc | Altitude insensitive disc head slider |
| US6606222B1 (en) | 1998-09-21 | 2003-08-12 | Seagate Technology Llc | Convergent channel, trenched disc head slider |
| US6587308B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-07-01 | Seagate Technology, Llc | Disc head slider having profiled convergent channel features |
| US6504682B1 (en) | 1999-12-02 | 2003-01-07 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having recessed, channeled rails for reduced stiction |
| US6490135B1 (en) | 1999-12-02 | 2002-12-03 | Seagate Technology Llc | Disc drive assembly having side rail-channeled air bearing for ramp load-unload applications |
| US6515831B1 (en) | 2000-01-11 | 2003-02-04 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having leading and trailing channeled rails for enhanced damping |
| US6510027B1 (en) | 2000-02-11 | 2003-01-21 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having highly damped bearing with multiple pressure gradiant-generating pads |
| US6678119B1 (en) | 2000-04-12 | 2004-01-13 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having rails with enclosed depressions |
| US6462909B1 (en) | 2000-05-09 | 2002-10-08 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having wear-resistant pads for enhanced damping |
| US6989966B2 (en) * | 2002-02-15 | 2006-01-24 | Seagate Technology Llc | Slider having plural leading step-level slots |
| US6989965B2 (en) | 2002-11-07 | 2006-01-24 | Seagate Technology Llc | Head slider having tilted protrusions for ramp load-unload applications |
| US7106556B2 (en) | 2003-06-24 | 2006-09-12 | Seagate Technology Llc | Slider configured for rapid bearing stabilization during ramp load operations |
-
1989
- 1989-10-19 JP JP27229889A patent/JP2779529B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03132981A (ja) | 1991-06-06 |
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