JPH11328897A

JPH11328897A - 浮動ヘッドスライダ

Info

Publication number: JPH11328897A
Application number: JP11097298A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Takeuchi; 芳徳竹内; Yuzo Yamaguchi; 雄三山口; Fumitaka Muranushi; 文隆村主; Katsuyuki Tanaka; 勝之田中; Hiroji Kawakami; 寛児川上; Hiroshi Daito; 宏大東; Tetsuo Masukawa; 哲男益川
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1999-04-05
Filing date: 1999-04-05
Publication date: 1999-11-30

Abstract

(57)【要約】【課題】浮上バラツキが少なく、浮上の動的特性（特に
ピッチング剛性と、気体軸受の減衰特性）が良好な浮動
ヘッドスライダを提供する。さらに、高精度に量産性良
く作ることのできる浮動ヘッドスライダを提供する。【解決手段】スライダを浮上させる一対の気体軸受レー
ルの幅を中央部で狭く、流入側、流出側で広くした浮動
ヘッドスライダ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
等、走行する記録媒体面上を微少な浮上すきまで浮上す
る浮動ヘッドスライダに係り、特に浮上特性の良好で、
大量生産に好適な、浮動スライダに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の磁気ディスク装置用浮動ヘッドス
ライダは、例えば特公昭５７−５６９号公報に記載のよ
うに、スライダの両側部に平面部と気体流入側に傾斜面
部を有する一対の一直線の気体軸受レールを設けたいわ
ゆるテーパフラット形スライダが使われている。両気体
軸受レールの間は、気体軸受作用を発生しないだけ十分
な深さに削ったブリード部となっている。実際のブリー
ド部の深さは、気体軸受レールとの境界で１００μｍ以
上である。

【０００３】また、他の例としては、特開昭６２−２３
１４８１号公報に記載されているものがある。これは、
気体軸受レールの気体流入側のレール幅をそれ以外のレ
ール幅より広くしたものである。

【０００４】そして、このようなスライダは、気体軸受
レールが一直線のためブリード部の溝をスライサなどの
機械研削加工を用いて作られたり、また、スライダ本体
に浮上面形状を構成する平板をガラス等の固着剤で固着
して作られる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】最近、装置の高密度化
に対応して目標の浮上量の微小化が要求されてきてい
る。浮上量の微小化に伴い、許容浮上量変動の減少と浮
上量のバラツキを押さえる目的でスライダの小形化や各
寸法交差を小さく押さえる必要が出てきた。

【０００６】浮上量の微小化により気体軸受レールの気
体軸受作用は、圧縮性の影響が益々顕著になり、スライ
ダの小形化による空気膜剛性の悪化や減衰特性の悪化に
伴う浮上不安定挙動の発生の可能性も出てきている。

【０００７】さらに、浮上量の微小化、スライダの小形
化に伴い、気体軸受レールのレール幅は、狭くする必要
があり、その結果、気体軸受レールの流出端への薄膜ヘ
ッドの搭載が困難となる。

【０００８】また、気体軸受レールの気体流入側のレー
ル幅をそれ以外の気体軸受レールより広くした構造で
は、流出端側の気体軸受領域が小さいため、この部分で
の圧力発生が小さくなり、流出端部でのスライダのピッ
チング方向はもちろん上下、ローリング方向の剛性が減
少して従来形テーパフラットスライダに比べて浮上量変
動が増加する問題が生じる。

【０００９】また、スライダを機械研削加工により製造
した場合には、寸法交差をミクロンメータ単位で管理す
ることが難しく、加工中に欠損なども生じやすい。

【００１０】また、スライダを、別々に作られたスライ
ダ本体と浮上面部とを固着して製造する場合には、固着
による位置合せ誤差、浮上面の変形、量産性などの問題
がある。

【００１１】このように、従来のスライダおよびスライ
ダの製造方法では、浮上安定性や浮上の動的特性に問題
があり、また、高精度、量産性に問題があった。

【００１２】本発明の目的は、浮上バラツキが少なく、
浮上の動的特性（特にピッチング剛性と、気体軸受の減
衰特性）が良好で、高精度に量産性良く作ることのでき
る浮動ヘッドスライダを提供することにある。

【００１３】また、同様の浮上の動的特性を示し、機械
加工で加工可能な浮動ヘッドスライダを提供する。

【００１４】また、上記スライダを高精度に量産する、
もしくは安価で量産する製造法を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、スライダを
浮上させる一対の気体軸受レールに大きな圧力を発生す
る流入側部と、流出側に大きな圧力を発生する流出側部
と、前記流入側部と流出側部を同一面で結合し、流入側
部、流出側部より気体軸受レール表面の延べ幅が狭い結
合部の３つの部分で構成し、前記おのおのの気体軸受レ
ールの幅方向の両境界のうちどちらか片側はほぼ直線で
構成することにより達成される。

【００１６】本発明の他の目的は、ヘッドスライダのブ
リーブ部を浅溝部のスパッタリングなどのエッチング加
工と一直線深溝部のスライサなどの機械研削加工の併用
で加工することにより達成される。

【００１７】また、本発明の他の目的は気体軸受レール
形状をスライダ基板の上に耐摺動性膜を印刷技術あるい
はスパッタリングなどの薄膜製造技術で形成することに
より達成される。

【００１８】気体軸受レールを流入側部、流出側部及び
結合部の３つの部分より構成し、結合部分は延べ幅を他
の部分に比べて狭くした形状にする。本構成により気体
軸受レールに流入した気体は、傾斜面部等の圧力上昇手
段から平面部に進むに従い急激に圧縮され、結合部に達
し、流入側部に大きな圧力を発生する。結合部ではレー
ル表面の延べ幅が狭く構成されているため気体の一部は
直接軸受レール外へ流れ出る。また、結合部を進む残り
の気体は、引き続き圧縮されるがレール幅が狭いので容
易にレール幅方向へ流れ出る。これらの結果、気体の圧
縮体の悪影響を防ぎ減衰特性を向上し結合部で適切な圧
力を発生する。次の流出側部では、レール幅が再び広が
っているため結合部を進んできた気体と結合部で軸受レ
ール外へでた気体が流出側部へ進み、圧縮されて大きな
圧力を発生する。ここで、結合部を形成するために設け
た軸受レール面より低い部分の深さを浅くすることによ
り（例えば数十μｍ以下）流出側部の段差の絞り効果に
より減衰特性を向上することができる。また、１ｋＨｚ
以上の周波数に対し気体軸受剛性が増加する効果もあ
る。気体軸受レールでの高い圧縮による圧縮性の悪影響
で減衰特性が悪化する現象は、浮上量が微小化するほど
顕著になる。

【００１９】本構成により、浮上量が微小化しても（例
えば０．２μｍ以下）気体の圧縮の度合いを小さく抑
え、高い減衰特性を有し、不安定浮上挙動を回避する。
また、スライダの前後に気体軸受作用による圧力のピー
クを形成する圧力分布となり気体軸受のピッチング剛性
を増加させることができる。

【００２０】また、本気体軸受レールの幅方向の外側を
直線とし結合部をスライダの幅方向外側に設けることに
より気体軸受のローリング剛性を大きくすることができ
る。

【００２１】また、本気体軸受レールの幅方向の内側を
直線とし結合部をスライダの幅方向内側に設けることに
より結合部を機械加工で形成することができる。

【００２２】気体軸受レールの境界を浅い段差で構成す
ることにより、スパッタエッチングなどの非機械加工が
可能となり各寸法交差を小さくでき浮上バラツキを小さ
く抑えることができる。

【００２３】さらにブリード部に一直線の深溝ブリード
部を設けることにより、前述の浅溝深さをさらに浅くす
ることができ、浅溝部の加工時間の短縮と寸法精度の向
上が図れる。

【００２４】また、スパッタリングなどの薄膜製造技術
により気体軸受レールを形成することにより耐摺動性に
優れた膜を精度良く作ることができる。

【００２５】また、印刷技術により気体軸受レールを形
成することにより耐摺動性に優れた膜を精度良く安価に
大量に作ることができる。

【００２６】また、本構造で、気体軸受レールの３つの
部分の形状を選ぶことにより荷重付加位置を変えずにス
ライダの浮上姿勢を制御することができるのは言うまで
もない。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１及
び図２により説明する。気体軸受レール３は、平面部３
１と気体流入側に設けた傾斜面部３２よりなる。気体軸
受レール３は、スライダ本体１の浮上面の両サイドに、
気体の流れ方法に沿って配置され、気体軸受レール３の
流出端に記録・再生用のヘッド２が取り付けられてい
る。気体軸受レール３は、スライダ本体１の外側境界を
直線で形成し、流入側部Ａ、流出側部Ｂおよび結合部Ｃ
の３つの部分からなる。結合部Ｃには、くい込み部を形
成し、この結合部Ｃのレール幅Ｗ3は、流入側部Ａの幅
Ｗ1および流出側部Ｂの幅Ｗ2に対して、狭く（Ｗ1≒Ｗ2
＞Ｗ3）形成している。一方、前述の一対の気体軸受レ
ール３の間には、これらと境界を有し、深さＤ1のブリ
ード部５が設けられている。深さＤ1の値は、１０〜２
０μｍ程度であり、従来の値である８０〜２００μｍよ
り小さく形成されている。この浅溝のブリード部５と気
体軸受レール３の境界は、３つの部分の一部にレール幅
の平行部を持ち、各部分の境界はなめらかな曲線でつな
げている。

【００２８】本実施例によれば、気体軸受レール３をス
ライダ本体１の最両側端に形成しているため気体軸受の
ロール剛性を大きくとることができ、シーク時の浮上量
変動を小さく押さえることができる。さらに本形状で
は、気体軸受レール３に流入した気体は、圧力上昇手段
である傾斜面部３１から平面部３２に進むに従い急激に
圧縮され、結合部Ｃに達し、流入側部Ａに大きな圧力を
発生する。結合部Ｃではレール表面の延べ幅が狭く構成
されているため気体の一部は直接軸受レール３外へ流れ
出る。また、結合部Ｃを進む残りの気体は、引き続き圧
縮されるがレール幅が狭いので容易にレール幅方向へ流
れ出る。これらの結果気体の圧縮性の悪影響を防ぎ減衰
特性を向上し結合部で適切な圧力を発生する。次の流出
側部では、レール幅が再び広がっているため結合部を進
んできた気体と結合部で軸受レール外へでた気体が流出
側部へ進み、圧縮されて大きな圧力を発生する。ここ
で、結合部を形成するために設けた軸受レール面より低
いブリード部５の深さを浅くすることにより（例えば数
十μｍ以下）、流出側部の段差の絞り効果により減衰特
性を向上することができる。

【００２９】また流出側部Ｃのブリード部５のせばまり
による、絞り効果により、減衰特性を向上する効果があ
る。

【００３０】次に、本実施例の圧力分布の概要を図３に
示す。図中、実線は、本実施例の圧力分布であり、破線
は、従来形のテーパフラット形スライダの圧力分布であ
る。

【００３１】また、横軸に、気体軸受レール３の傾斜面
部３１の先端箇所（気体流入端）ａから平面部３２の後
端箇所（気体流出端）の任意箇所ｄをとり、縦軸に圧力
をとっている。

【００３２】この図からもわかるように、破線で示す従
来形状では、浮上量の微小化に伴い、流出端浮上量０．
２μｍ程度以下で気体の粒子性や圧縮性の影響が顕著に
現れるために、気体軸受レール３上の圧力分布は、傾斜
面部３１終了直後で最大圧力となりその後流出端まで順
次に減小する圧力分布となる。本圧力分布では、スライ
ダのピッチング方向（前後方向）の空気膜剛性が小さ
い。一方、実線で示す本実施例の構造では、スライダ本
体１の傾斜面部３１で圧力上昇し（図中ｂ点）、その
後、中央部の幅のせまい部分で、一部の気体が気体軸受
レール３から外に流れ出るために圧力は降下し（図中ｃ
点）、流出端側で再び気体軸受レール３の幅が広がり圧
力も上昇する（図中ｄ点）。その結果、スライダ本体１
の気体軸受レール３の前後に圧力のピークを持つ圧力分
布となり、またその領域の面積も広くとっているため、
従来形テーパフラットスライダに比べてスライダのピッ
チング方向の空気膜剛性を大きくできる。図４にピッチ
ング方向の空気膜剛性と浮上量の関係を示す。この図に
おいては横軸にスライダ１の浮上量をとり、縦軸は、ピ
ッチング方向のスライダの空気膜剛性をとっている。そ
して、図中、実線は本実施例のスライダ、破線は従来形
スライダの各々の特性を示している。破線を示す従来形
スライダの台形状圧力分布は、浮上量が小さくなり圧力
性の影響が顕著なほど発生するため、ピッチング方向の
空気膜剛性ｋpは浮上量が小さくなっても微増にとどま
る。一方本実施例のスライダは、図３に示した圧力分布
にできるため、浮上量が小さくなるほど、従来形スライ
ダに比べピッチング方向空気膜剛性を大きくとることが
できる。

【００３３】図５は、ピッチング剛性の周波数特性を示
す。この図において、横軸は周波数を示し、縦軸はピッ
チング方向のスライダの空気膜剛性を示している。そし
て、図中実線は本実施例のスライダ、破線は従来形のテ
ーパフラットスライダ、一点鎖線は従来形のシェープド
レールスライダの各々の特性を示す。本実施例のスライ
ダは、高周波領域では、ｋpがさらに大きくなり、ディ
スク突起などへの応答性を高くすることができる。

【００３４】また、浮上量の微小化に伴いもう一つの問
題は気体の圧縮性の影響に伴う浮上安定性である。図６
に浮上の安定性の評価結果を示す。図６は、スライダの
潤滑方程式の摂動解（軸受剛性及び減衰係数）とスライ
ダの運動方程式より、Ｒouth-Ｈurwitzの安定判別によ
って計算した値である。横軸は、スライダの圧縮性の程
度を表わす二次元圧縮係数を示し、縦軸は周波数を示す。縦軸に周波数をとるの
は、軸受剛性、減衰係数が周波数に依存するためであ
る。図中ＳAは浮上の安定領域、ＩAは不安定領域であ
る。この本発明のスライダは二次元軸受圧縮係数Ａbが
１０以下の値（図のＰ2で示す）で安定であるが１０以
上にあると不安定領域ＩAが存在し、圧縮係数Ａbがさら
に大きくなると、その領域がさらに拡がることがわか
る。従来形スライダでは浮上量が０．１５μｍ程度以下
で圧縮特性Ａbが約１０以上の値（図のＰ1の点）となり
不安定領域ＩAになる。この傾向は小形、大荷重で顕著
である。

【００３５】図７は空気膜減衰係数の上下、ピッチング
の主成分Ｃ11とＣ22の周波数特性を示す。図において横
軸に周波数をとり、縦軸に空気膜減衰係数をとってい
る。そして、図中、実線は本実施例のスライダのＣ11，
Ｃ22、破線は、従来形のテーパスライダのＣ11，Ｃ22、
一点鎖線は従来形のシェープドレールスライダのＣ11，
Ｃ22を示している従来形のテーパーフラットスライダ
（図中ＴＦ）の約３倍、また他の従来形シェープドレー
ルスライダの約２倍の減衰特性を本実施例スライダが持
っていることがわかる。

【００３６】本実施例のスライダでは、減衰特性向上
と、結合部Ｃを設けることにより等価気体軸受レール幅
を小さくし、又ピボット位置を変えることなく平均浮上
量ｈmを大きくすることができるため、軸受圧縮係数Ａb
を小さくすることができ、実用運転条件で浮上不安定の
発生を防止することができる。

【００３７】また、ブレード部５は、気体の流入方向か
ら、幅が拡がり、そして狭まる構成になっており、従来
形より溝深さ、溝の傾きに対し鈍感になっている。実用
的には、加工精度に対する浮上バラツキ量を考慮して溝
深さＤ1は２０μｍ程度と従来形に比べて小さく押さえ
ている。

【００３８】本構成により、スパッタエッチングなどの
非機械加工で、浮上面形状を加工することができ、高精
度加工により浮上バラツキの小さく、ピッチング剛性が
高く安定に浮上するスライダを得ることができる。

【００３９】また、本構成にすることにより、スライダ
の形状、押付荷重による気体軸受レール３のレール幅に
よる薄膜トランスデューサの搭載の制約がなくなり、性
能優先の薄膜ヘッドの搭載が可能である。

【００４０】また、本構成では、ロータリーアクチュエ
ータ方式の装置ではスライダと媒体走行方向との角度
（以下ヨー角と略す。）がつく場合でも、ヨー角に対す
る浮上量及び浮上特性の悪化は少なく従来形に比べて良
好な特性を得ることができる。

【００４１】また気体軸受レール３の３つの構成部分を
なめらかな曲線で結ぶことにより、ブレード部５の気体
の流れの乱れ、よどみを押さえ、塵埃の付着、堆積を防
止することができる。

【００４２】前述の実施例においては、気体軸受レール
３とブリード部５との境界は、気体軸受レール３の結合
Ｃがレール幅Ｗ3の平行な直線でありこの結合部Ｃと流
入側部Ａ、流出側部Ｂとそれぞれ滑らかに連なっている
曲線となっている。しかし、この気体軸受レール３とブ
リード部５との境界は、上記実施例に限るものではな
く、他の構成でも同様の作用、効果を得ることができ
る。

【００４３】即ち、３つの部分流入側部Ａ、流出側部Ｂ
及び結合部Ｃからなる気体軸受レール３の各部分のレー
ル幅Ｗ1，Ｗ2及びＷ3は、平行な直線で形成し、各部分
の境界での幅のゆるやかな変化をなくし、急激に変化す
るよう連結してもよい。これにより、レール形状の決定
の座標点が減り、製作上寸法精度があがる。レール幅の
急変部での気体流れの乱れによる塵埃付着の点を除き、
前述の実施例と同様の効果がある。

【００４４】また、気体軸受レール３の結合部Ｃを、ゆ
るやかに変化する曲線で形成してもよい。これにより、
塵埃付着の点に更に効果を有する。また、気体軸受レー
ル３の結合部Ｃを、ゆるやかに変化する直線で構成して
もよい。また、３つの部分から成る気体軸受レール３の
流入側部Ａ、流出側部Ｂのレール幅Ｗ1，Ｗ2をおのおの
両端に向けて広げるように構成してもよい。また、気体
軸受レール３の結合部Ｃのレール幅Ｗ3が、流出側部Ｂ
に向かって幅が徐々にせまくなる形状としてもよい。

【００４５】以上説明した各実施例においては、気体軸
受レール３の流入側部Ａと流出側部Ｂのレール幅Ｗ1，
Ｗ2は同じ幅に構成されているが、これらのレール幅Ｗ1
とＷ2は異なるように構成してもよい。

【００４６】例えば、流入側部Ａのレール幅Ｗ1を流出
側部Ｂのレール幅Ｗ2より広く構成した場合には、スラ
イダ本体１の姿勢角をより大きくとることができ、浮上
面の寸法精度に対するバラツキを低減することができ
る。また、流出側部Ｂのレール幅Ｗ2を流入側部Ａのレ
ール幅Ｗ2より広く構成した場合には、流出側部Ｂにお
ける軸受剛性の向上と、薄膜ヘッドの実装が容易となる
効果がある。

【００４７】以上説明した各実施例において、ブリード
部５の深さＤ1（即ち気体軸受レール３の高さ）を、傾
斜面４の先端の深さＤ3より小さくしてもよい。このよ
うに構成することにより、ディスク速度の低い領域で
は、ブリード部５の溝深さＤ1を５〜１０μｍにするこ
とも可能であり、加工時間の短縮と、加工精度の向上が
図れる。

【００４８】図８及び図９は、本発明の他の実施例を示
すものである。この例においては、スライダ１には、ブ
リード部５を分離する一直線状の深溝ブリード部５１を
設けている。深溝ブリード部５１の深さＤ2は、４０〜
６０μｍ程度であり、気体軸受レール３以外の部分であ
るため高精度は要求されず研削加工等の機械加工で加工
できる。また深溝ブリード部５１を設けることにより、
浮上バラツキへの影響が減少するためブリード部５の溝
深さＤ1は５〜１５μｍ程度に浅くすることができ、ブ
リード部５のスパッタエッチングなどの加工時間の短縮
と加工量の減小による加工精度の向上効果がある。

【００４９】図８に示す例において、深溝ブリード部５
１は、ブリード部５の領域に、深さが異にして複数本設
けてもよい。

【００５０】また、図８及び前述した例において、気体
軸受レール３の流入側部Ａのレール幅Ｗ1と流出側部Ｂ
のレール幅Ｗ2を変えてもよい。レール幅Ｗ1をレール幅
Ｗ2より大きくすると、浮上面の寸法精度に対するバラ
ツキを低減でき、レール幅Ｗ2をレール幅Ｗ1より大きく
すると、流出側部Ｂにおける軸受剛性を向上でき、ヘッ
ドの実装が容易となる。

【００５１】また図８及び前述した例において、深溝ブ
リード部５１の溝深さＤ2をブリード部５の溝深さＤ1
（即ち気体軸受レール３の高さ）及び傾斜面４の先端高
さよりも小さくしてもよい。このように構成することに
より、気体軸受レール３の加工時間の短縮と加工精度の
向上を図ることができる。

【００５２】以上説明した各実施例においては、気体軸
受レール３の外側を、気体の流入側から流出側に直線的
に形成し、内側のブリード部との境界側をレール幅が変
化するように形成している。

【００５３】しかし、本発明は、これに限るものではな
く、逆の形状でもよい。即ち、スライダ本体１の気体軸
受レール３の内側を、直線とし、外周側に結合部Ｃの外
周側に窪みを設けレール幅を変えてもよい。本構成で
は、結合部窪みはたとえば縦軸平面研削でまた、ブリー
ド部５は従来の横軸平面研削など機械加工で加工するこ
とが可能である。

【００５４】図１０および図１１は、本発明の他の実施
例を示す。この例においては、気体軸受レール３の流入
側部Ａ、流出側部Ｂ及び結合部Ｃを同じレール軸で形成
し、このうち、結合部Ｃには、ブリード部５から気体軸
受レール３の幅の他端に達しないで再びブリード部５に
戻る溝１１を設け、これにより分離レール部１２を設け
る形で構成したものである。分離レール部１２は、レー
ル幅がせまく、減衰特性をさらに高める作用がある。ま
た、分離レール部１２により、結合部Ｃの前後のレール
幅変化部への塵埃の堆積を防止する。

【００５５】図１０に示す例では、気体軸受レール３の
結合部Ｃの溝１１をブリード部５側に設けたが、逆に気
体軸受レール３の結合部の溝１１をスライダ本体１の外
側に設けても、前述とほぼ同様の作用効果がある。

【００５６】以上説明した各実施例においては、気体軸
受レール３がスライダ本体１の両端側に対になって配設
されているが、レールの本数は２本に限るものではな
く、浮上バランスを考慮し、流れの中心線に対して対象
に複数本配設してもよいし、また、流れの中心線に配設
してもよい。

【００５７】図１２は、本発明におけるスライダの製造
方法の一実施例を示すもので気体軸受レール形状をスパ
ッタリングなどの薄膜製造技術により形成した例であ
る。

【００５８】気体軸受レール形状穴１５を設けたマスク
１４を用いて、スパッタリングなどの薄膜製造技術によ
り、スライダ本体１３に気体軸受レール膜１６を形成し
た例である。スライダ本体１３の材料にとらわれず、耐
摺動性に優れた膜を高精度に、量産性良く、製造するこ
とができる。

【００５９】図１３は、本発明におけるスライダの製造
方法の他の実施例を示すもので、気体軸受レール形状を
印刷技術で形成した例である。

【００６０】印刷ローラ１７には、気体軸受レール形状
に印刷するための転写用凸版１９がセットされている。
スライダ本体１３は、テーブル２０の上にセットし、転
写膜テープ１８を介して、印刷ローラ１７により加圧印
刷し、転写膜テープ１８の一部をスライダ本体１３の上
に転写し、気体軸受レール膜１６を形成する。本方式に
より、浮動ヘッドスライダを安価に大量に量産、製造す
ることができる。

【００６１】図１４は、本実施例に係る浮動ヘッドスラ
イダが装着されたリニア形回転円板記憶装置の平面断面
図である。キャリッジ３３にガイドアーム９が結合さ
れ、該ガイドアーム９にヘッド支持装置８が連結され、
ヘッド支持装置８の先端部に浮動ヘッドスライダ１が装
着されている。スライダ１は、ボイスコイルモータ３５
に駆動されて、回転する円板記憶媒体７の半径方向に進
退する。本実施例によりスライダ浮上量変動及び浮上バ
ラツキが小さく安定に浮上するため、スライダ浮上量を
小さくすることが可能となり、記憶媒体の高密度記憶を
実現できた。

【００６２】図１５は、本実施例に係る浮動ヘッドスラ
イダ１が装着されたインライン形回転円板記憶装置の一
部破砕斜視図で、キャリッジ３３に連接されたヘッド支
持装置８の先端に装着された本発明浮動ヘッドスライダ
１を示している。本実施例によっても同様の効果が得ら
れた。

【００６３】前述した各実施例においては、スライダ浮
上面の圧力分布をスライダの最側部にもしくはスライダ
の４隅に分極することができ、高いローリング方向剛性
もしくは高いピッチング剛性を得ることができる。又、
減衰特性向上と実質的に二次元圧縮係数を下げることに
よって浮上不安定を回避して安定に浮上さることができ
る。本構成をスパッタリングなどの非機械加工で行なう
ことにより寸法精度を高め、浮上バラツキを低減させる
ことができる。

【００６４】さらにブリード部を浅溝と深溝の２段にす
ることにより、深溝を機械加工、浅溝をスパッタリング
など非機械加工の併用が可能となり、浅溝部深さを浅く
でき、加工時間と加工精度が向上できる。

【００６５】また、結合部窪みをスライダ本体の外側部
に設けることにより、機械加工で気体軸受レールを形成
することができる。

【００６６】また、結合部を溝を用いて形成することに
より、減衰特性をさらに向上させることができる。

【００６７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
浮上バラツキが少なく、浮上の動特性が良好なスライダ
を得ることができる。また、スライダを高精度にしかも
安価に量産することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の平面図。

【図２】図１のＩ−II線矢視断面図。

【図３】浮上面の圧力分布を示す説明図。

【図４】浮上量とピッチング方向空気膜剛性の関係を示
す説明図。

【図５】ピッチング方向空気膜剛性ｋpの周波数特性を
示す説明図。

【図６】浮上の安定判別結果を示す説明図。

【図７】空気膜の減衰係数の周波数特性を示す説明図。

【図８】本発明の他の実施例を示す平面図。

【図９】図８のIX−IX線矢視断面図。

【図１０】本発明の更に他の実施例の平面図。

【図１１】図１０のIX−IX線矢視断面図。

【図１２】本発明のスライダの製造方法の一例を説明す
る図。

【図１３】本発明のスライダの製造方法の他の例を説明
する図。

【図１４】本発明のスライダを搭載した磁気ディスク装
置を示す図。

【図１５】本発明のスライダを搭載した磁気ディスク装
置を示す図。

【符号の説明】

１…スライダ本体、２…トランヂューサ、
３…気体軸受レール、５…ブリード部、１２…
分離レール部、１４…マスク、１６…気体軸受レー
ル膜、１７…印刷ローラ、１８…転写膜テー
プ、２０…テーブル、３１…傾斜面部、
３２…平面部、５１…深溝ブリード部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田中勝之茨城県土浦市神立町502番地株式会社日立製作所機械研究所内 (72)発明者川上寛児神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者大東宏神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者益川哲男神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社日立製作所ストレージシステム事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転する記録媒体に対向して配置されるス
ライダ本体と、該スライダ本体の前記記録媒体との対向
面に形成され該記録媒体の回転に伴う気体流により発生
する圧力によりスライダ本体を浮上させる少なくとも一
本の気体軸受レールと、該気体軸受レール面より窪んで
形成されたブリード部とを備えた浮動ヘッドスライダに
おいて、前記気体軸受レールは、気体流の流入側に圧力
を発生する流入側部と、流出側に圧力を発生する流出側
部と、前記流入側部と流出側部を同一面で結合するもの
であって、前記流入側部及び流出側部より気体軸受レー
ル表面の幅が狭い結合部との３つの部分を有し、少なく
とも該気体軸受レールのスライダ本体の長手方向の側面
と接するブリード部は深さが１５オｍ以下の浅溝である
ことを特徴とする浮動ヘッドスライダ。
【請求項２】前記気体軸受レールは、流入側部のレール
幅と流出側部のレール幅が異なるように構成されること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の浮動ヘッド
スライダ。