JP3478556B2 - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents
磁気ヘッドスライダInfo
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- JP3478556B2 JP3478556B2 JP05822493A JP5822493A JP3478556B2 JP 3478556 B2 JP3478556 B2 JP 3478556B2 JP 05822493 A JP05822493 A JP 05822493A JP 5822493 A JP5822493 A JP 5822493A JP 3478556 B2 JP3478556 B2 JP 3478556B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing surface
- air bearing
- slider
- rear end
- width
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固定磁気ディスク装置
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関するものであ
る。
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータの外部記憶装置は、
その高速性や大容量性から固定磁気ディスク装置の普及
が広まりつつある。そして、より容量の大きな固定磁気
ディスク装置を小型に実現するため、高い記録密度を目
的とする高い線密度が求められている。高い線密度は記
録波長の微小な領域で動作させるために磁気ヘッドの磁
気ギャップをより狭くし、磁気ギャップと磁気ディスク
との間隙（以下、浮上高と呼ぶ）をより低くする必要が
生じてきている。しかし、低浮上高では磁気ディスクと
磁気ヘッドスライダ（以下、スライダと称す）とが接触
しやすくなり、磁気ディスクの記録面を破壊する可能性
が高くなる。そのため、これらの浮上面を有するスライ
ダでは、浮上高を低く一定に維持することが望まれる。
その高速性や大容量性から固定磁気ディスク装置の普及
が広まりつつある。そして、より容量の大きな固定磁気
ディスク装置を小型に実現するため、高い記録密度を目
的とする高い線密度が求められている。高い線密度は記
録波長の微小な領域で動作させるために磁気ヘッドの磁
気ギャップをより狭くし、磁気ギャップと磁気ディスク
との間隙（以下、浮上高と呼ぶ）をより低くする必要が
生じてきている。しかし、低浮上高では磁気ディスクと
磁気ヘッドスライダ（以下、スライダと称す）とが接触
しやすくなり、磁気ディスクの記録面を破壊する可能性
が高くなる。そのため、これらの浮上面を有するスライ
ダでは、浮上高を低く一定に維持することが望まれる。
【０００３】従来一般的なスライダとして、特公昭５７
−５６９号公報に記載されているテーパーフラットスラ
イダと呼ばれるスライダがある。図８はその浮上面の形
状をを示す底面図である。図８を用いて説明すると、こ
のテーパーフラットスライダは、浮上面の外側にスライ
ダ１を磁気ディスク上で浮上させるために必要な少なく
とも２本の浮上レール上に設けられた空気ベアリング面
（以下ＡＢＳと称す）５１，５２と、ＡＢＳ５１，５２
の前端２にそれぞれ形成されたテーパ部５３，５４と、
２本のＡＢＳの間の溝５５で構成される。ＡＢＳ５１，
５２は浮上面の前端２から後端３まで延びており、電磁
変換素子の磁気ギャップ１２は、２本のＡＢＳ５１，５
２の後端３に配置される。従来の大型のスライダの場合
には浮上高も高く、ピッチング、ローリングに対する十
分な安定性を有し、製造コストが低いことから、このテ
ーパーフラットスライダは広く用いられてきた。
−５６９号公報に記載されているテーパーフラットスラ
イダと呼ばれるスライダがある。図８はその浮上面の形
状をを示す底面図である。図８を用いて説明すると、こ
のテーパーフラットスライダは、浮上面の外側にスライ
ダ１を磁気ディスク上で浮上させるために必要な少なく
とも２本の浮上レール上に設けられた空気ベアリング面
（以下ＡＢＳと称す）５１，５２と、ＡＢＳ５１，５２
の前端２にそれぞれ形成されたテーパ部５３，５４と、
２本のＡＢＳの間の溝５５で構成される。ＡＢＳ５１，
５２は浮上面の前端２から後端３まで延びており、電磁
変換素子の磁気ギャップ１２は、２本のＡＢＳ５１，５
２の後端３に配置される。従来の大型のスライダの場合
には浮上高も高く、ピッチング、ローリングに対する十
分な安定性を有し、製造コストが低いことから、このテ
ーパーフラットスライダは広く用いられてきた。
【０００４】しかし、近年、固定磁気ディスク装置の小
型化、高い記録密度を目的とするスライダの低浮上高化
の要求に応えるため、スライダも小型化しているが、ス
ライダ小型化に伴うピッチング、ローリングの増大が問
題となっている。この問題を改善する方法として、特開
平２−１０１６８８号公報に記載されているスライダが
ある（以下、このスライダをトライレールスライダと称
する）。
型化、高い記録密度を目的とするスライダの低浮上高化
の要求に応えるため、スライダも小型化しているが、ス
ライダ小型化に伴うピッチング、ローリングの増大が問
題となっている。この問題を改善する方法として、特開
平２−１０１６８８号公報に記載されているスライダが
ある（以下、このスライダをトライレールスライダと称
する）。
【０００５】図９はこの従来例の浮上面の形状を示す底
面図である。図９を用いて説明すると、スライダ１は、
浮上面に浮上面の前端２から後端３に向かって延びる２
本の外側ＡＢＳ５６，５７と、それらの外側ＡＢＳ５
６，５７の内側に浮上面の前端２から後端３まで延びる
一本の中央ＡＢＳ５８とを有し、外側ＡＢＳ５６，５７
の後端３は浮上面の後端３よりも前端２寄りに形成され
ており、３本の外側ＡＢＳ５６，５７及び中央ＡＢＳ５
８の前端２にはテーパ部５９，６０，６１が形成されて
いる。さらに、中央ＡＢＳ５８の前端２より後端３まで
の幅が中央ＡＢＳ５８の後端３における幅を越えること
のないような幅を有し、それら３本のＡＢＳは通常各々
１０μｍ以上の深さを有する溝６２，６３により隔てて
形成されている。
面図である。図９を用いて説明すると、スライダ１は、
浮上面に浮上面の前端２から後端３に向かって延びる２
本の外側ＡＢＳ５６，５７と、それらの外側ＡＢＳ５
６，５７の内側に浮上面の前端２から後端３まで延びる
一本の中央ＡＢＳ５８とを有し、外側ＡＢＳ５６，５７
の後端３は浮上面の後端３よりも前端２寄りに形成され
ており、３本の外側ＡＢＳ５６，５７及び中央ＡＢＳ５
８の前端２にはテーパ部５９，６０，６１が形成されて
いる。さらに、中央ＡＢＳ５８の前端２より後端３まで
の幅が中央ＡＢＳ５８の後端３における幅を越えること
のないような幅を有し、それら３本のＡＢＳは通常各々
１０μｍ以上の深さを有する溝６２，６３により隔てて
形成されている。
【０００６】図１０はトライレールスライダの各ＡＢＳ
の圧力プロファイルの断面図であり、図１０を用いてこ
れらの構成の浮上特性への影響を説明する。外側ＡＢＳ
は、前端で高い圧力ピークを有し、後方は徐々に圧力は
低くなる。一方中央レールは前端側で弱く、後方側で非
常に高いピークを有している。浮上面全体での圧力プロ
ファイルは、スライダの前端近くで高圧であり、スライ
ダの中央で比較的低く、スライダの後端近くで比較的高
い。そのため、中央ＡＢＳ後端に配置された磁気ギャッ
プの浮上高は、スライダを小型化した場合にもピッチン
グ、ローリングに対して安定となる。
の圧力プロファイルの断面図であり、図１０を用いてこ
れらの構成の浮上特性への影響を説明する。外側ＡＢＳ
は、前端で高い圧力ピークを有し、後方は徐々に圧力は
低くなる。一方中央レールは前端側で弱く、後方側で非
常に高いピークを有している。浮上面全体での圧力プロ
ファイルは、スライダの前端近くで高圧であり、スライ
ダの中央で比較的低く、スライダの後端近くで比較的高
い。そのため、中央ＡＢＳ後端に配置された磁気ギャッ
プの浮上高は、スライダを小型化した場合にもピッチン
グ、ローリングに対して安定となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】現在、固定磁気ディス
ク装置の小型化の要求から、回転形アクチュエータを有
する固定磁気ディスク装置が主流である。図１１は回転
形アクチュエータを有する固定磁気ディスク装置の模式
図を示す。スライダ１は、接着剤や合成樹脂などにより
サスペンション６５に固定され、さらにサスペンション
６５は駆動アーム６６にかしめ固定されている。磁気デ
ィスク６４上のスライダ１は、駆動アーム６６の回転に
伴い、矢印Ａの方向に回転するディスクにより生じる空
気流の方向と浮上面の長手方向とのなす角、すなわちス
キューθが変化する。図１２はスキューθが生じたとき
のスライダ１の長手方向６７と流入空気の方向６８との
関係を示す。図１２で２は浮上面の前端、３は浮上面の
後端である。このスキューθの最大値は磁気ディスクの
回転方向に対しておよそ±１５°程度である。
ク装置の小型化の要求から、回転形アクチュエータを有
する固定磁気ディスク装置が主流である。図１１は回転
形アクチュエータを有する固定磁気ディスク装置の模式
図を示す。スライダ１は、接着剤や合成樹脂などにより
サスペンション６５に固定され、さらにサスペンション
６５は駆動アーム６６にかしめ固定されている。磁気デ
ィスク６４上のスライダ１は、駆動アーム６６の回転に
伴い、矢印Ａの方向に回転するディスクにより生じる空
気流の方向と浮上面の長手方向とのなす角、すなわちス
キューθが変化する。図１２はスキューθが生じたとき
のスライダ１の長手方向６７と流入空気の方向６８との
関係を示す。図１２で２は浮上面の前端、３は浮上面の
後端である。このスキューθの最大値は磁気ディスクの
回転方向に対しておよそ±１５°程度である。
【０００８】スキューθが０°から変化した場合、浮上
面前端のテーパ部により加圧された圧縮空気がＡＢＳに
十分な浮上力を与える前にＡＢＳ側方から流出するた
め、スライダの浮上高の減少やスライダのロールの増加
が生じる。このため磁気ディスク上でスライダが内周か
ら外周へ移動したときの浮上高は、ディスクとスライダ
の相対速度およびスキューθによって決定される。図１
３に実線６９で、一定条件下でのテーパーフラットスラ
イダの浮上高の計算機シミュレーション結果を示す。ス
ライダの外形は長さ２．０mm、幅１．５mmであり、直径
３．５”の磁気ディスクを使用し、５４００ｒｐｍ、内
外周でのスキューθを±１３．１゜とし、スライダの中
心に３ｇの荷重を与えた。スライダの浮上高は、ディス
ク全域にわたり一定であることが望ましいが、図１３に
示すように、従来一般的に使用されてきたテーパーフラ
ットスライダではその浮上高変化が大きかった。
面前端のテーパ部により加圧された圧縮空気がＡＢＳに
十分な浮上力を与える前にＡＢＳ側方から流出するた
め、スライダの浮上高の減少やスライダのロールの増加
が生じる。このため磁気ディスク上でスライダが内周か
ら外周へ移動したときの浮上高は、ディスクとスライダ
の相対速度およびスキューθによって決定される。図１
３に実線６９で、一定条件下でのテーパーフラットスラ
イダの浮上高の計算機シミュレーション結果を示す。ス
ライダの外形は長さ２．０mm、幅１．５mmであり、直径
３．５”の磁気ディスクを使用し、５４００ｒｐｍ、内
外周でのスキューθを±１３．１゜とし、スライダの中
心に３ｇの荷重を与えた。スライダの浮上高は、ディス
ク全域にわたり一定であることが望ましいが、図１３に
示すように、従来一般的に使用されてきたテーパーフラ
ットスライダではその浮上高変化が大きかった。
【０００９】また、外形が長さ２．５mm、幅１．５mmの
トライレールスライダについても、同一条件下での浮上
高の計算機シミュレーション結果を図１３に実線７０で
示す。トライレールスライダの場合も、テーパーフラッ
トスライダと同様に浮上高変化が大きかった。
トライレールスライダについても、同一条件下での浮上
高の計算機シミュレーション結果を図１３に実線７０で
示す。トライレールスライダの場合も、テーパーフラッ
トスライダと同様に浮上高変化が大きかった。
【００１０】上記問題点を解決するため、特開昭６１−
２７８０８７号公報で取り上げられたTransverse,Press
urization,Contoursスライダ（以降ＴＰＣスライダと称
す）は、ＡＢＳの側部にテーパーあるいは微小段差など
の方法により実現される横方向空気加圧部を設けてい
る。図１４はＴＰＣスライダの浮上面の形状を示す底面
図である。図１４を用いて説明すると、浮上面の前端２
から後端３まで延びる２本のＡＢＳ７３，７４の側方
に、ＡＢＳからの深さが通常１μｍ前後の空気加圧部７
５，７６，７７，７８が設けてあり、空気加圧部７６と
７７とは通常深さ１０μｍ以上の溝部８１によって隔離
されている。２本のＡＢＳ７３，７４の前端２にはテー
パ部７９，８０が形成されており、磁気ギャップ１２は
ＡＢＳ７３，７４後端３に配置される。スキューθが大
きくなったときの浮上力の低下は、これらの空気加圧部
７５，７６，７７，７８で横方向空気を加圧する事で補
える。図１３に実線７１で、ＴＰＣスライダについて前
記浮上条件下で計算機シミュレーションを行った結果を
示す。この計算例では、スライダ外形が長さ２mm、幅
１．５mmであり、ＡＢＳ７３，７４の幅が各々１５８μ
ｍ、ＡＢＳ７３，７４のディスク内周側の一段低い空気
加圧部７５、７７が幅１２５μｍ、ＡＢＳからの深さ１
μｍであり、ＡＢＳ７３，７４のディスク外周側の一段
低い空気加圧部７６，７８が幅６０μｍ、ＡＢＳからの
深さ１μｍであった。図１３に示されるように、ＴＰＣ
スライダの浮上高はディスク全域にわたりほぼ一定あ
り、従来一般的に使用されてきたテーパーフラットスラ
イダ、あるいはトライレールスライダに比して格段に優
れた浮上特性を持つ。
２７８０８７号公報で取り上げられたTransverse,Press
urization,Contoursスライダ（以降ＴＰＣスライダと称
す）は、ＡＢＳの側部にテーパーあるいは微小段差など
の方法により実現される横方向空気加圧部を設けてい
る。図１４はＴＰＣスライダの浮上面の形状を示す底面
図である。図１４を用いて説明すると、浮上面の前端２
から後端３まで延びる２本のＡＢＳ７３，７４の側方
に、ＡＢＳからの深さが通常１μｍ前後の空気加圧部７
５，７６，７７，７８が設けてあり、空気加圧部７６と
７７とは通常深さ１０μｍ以上の溝部８１によって隔離
されている。２本のＡＢＳ７３，７４の前端２にはテー
パ部７９，８０が形成されており、磁気ギャップ１２は
ＡＢＳ７３，７４後端３に配置される。スキューθが大
きくなったときの浮上力の低下は、これらの空気加圧部
７５，７６，７７，７８で横方向空気を加圧する事で補
える。図１３に実線７１で、ＴＰＣスライダについて前
記浮上条件下で計算機シミュレーションを行った結果を
示す。この計算例では、スライダ外形が長さ２mm、幅
１．５mmであり、ＡＢＳ７３，７４の幅が各々１５８μ
ｍ、ＡＢＳ７３，７４のディスク内周側の一段低い空気
加圧部７５、７７が幅１２５μｍ、ＡＢＳからの深さ１
μｍであり、ＡＢＳ７３，７４のディスク外周側の一段
低い空気加圧部７６，７８が幅６０μｍ、ＡＢＳからの
深さ１μｍであった。図１３に示されるように、ＴＰＣ
スライダの浮上高はディスク全域にわたりほぼ一定あ
り、従来一般的に使用されてきたテーパーフラットスラ
イダ、あるいはトライレールスライダに比して格段に優
れた浮上特性を持つ。
【００１１】しかし、このＴＰＣスライダには、空気膜
剛性がテーパーフラットスライダに比べて低いという欠
点があった。空気膜剛性が低いスライダでは、外乱に対
する浮上高変動が大きいため、０．１０μｍ以下の低浮
上高域では磁気ディスクとの接触によるデータ破壊の可
能性が高くなり、特にスライダを小型化した場合、ピッ
チング、ローリングに対して浮上高が不安定となるとい
った欠点があった。
剛性がテーパーフラットスライダに比べて低いという欠
点があった。空気膜剛性が低いスライダでは、外乱に対
する浮上高変動が大きいため、０．１０μｍ以下の低浮
上高域では磁気ディスクとの接触によるデータ破壊の可
能性が高くなり、特にスライダを小型化した場合、ピッ
チング、ローリングに対して浮上高が不安定となるとい
った欠点があった。
【００１２】さらに、図１４に示されるように、ＴＰＣ
スライダでは浮上力を生じるＡＢＳの外側に余分な質量
を有するため、スライダ幅方向の圧力中心とスライダの
重心がずれてしまいローリングに対する安定性が低下す
る。この欠点を緩和するためには、ＡＢＳの外側の空気
加圧部７５，７８の幅をできる限り狭くすることが望ま
しいが、段差幅を狭くしたことによる空気加圧効果の低
下を補うために、段差深さは浅くしなければならない。
しかし、段差幅を狭く、段差深さを浅くした場合、段差
幅と段差深さの双方について寸法に対する浮上高の感度
が高くなるため、現実的な段差幅については限界があ
り、特にローリング方向の安定性に問題があった。ま
た、段差幅と深さについて高い加工精度が要求されるた
め、加工方法が限定され、製造コストが増加するという
欠点があった。
スライダでは浮上力を生じるＡＢＳの外側に余分な質量
を有するため、スライダ幅方向の圧力中心とスライダの
重心がずれてしまいローリングに対する安定性が低下す
る。この欠点を緩和するためには、ＡＢＳの外側の空気
加圧部７５，７８の幅をできる限り狭くすることが望ま
しいが、段差幅を狭くしたことによる空気加圧効果の低
下を補うために、段差深さは浅くしなければならない。
しかし、段差幅を狭く、段差深さを浅くした場合、段差
幅と段差深さの双方について寸法に対する浮上高の感度
が高くなるため、現実的な段差幅については限界があ
り、特にローリング方向の安定性に問題があった。ま
た、段差幅と深さについて高い加工精度が要求されるた
め、加工方法が限定され、製造コストが増加するという
欠点があった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するため、磁気ディスク表面に対向する浮上面に、
前端、後端、空気ベアリング面を有し、浮上面の前端か
ら浮上面の後端よりも前端寄りの位置まで延びる２本の
外側空気ベアリング面と、外側空気ベアリング面の内側
に、浮上面の前端あるいは前端よりも後端寄りの位置か
ら後端まで延びる一本の中央空気ベアリング面とを有
し、外側空気ベアリング面は外側空気ベアリング面の前
端における幅を越えることのないような幅を有し、中央
空気ベアリング面は中央空気ベアリング面の後端におけ
る幅を越えることのないような幅を有し、外側空気ベア
リング面は前端にテーパ部あるいは２μｍ以下の微小な
一段低い段差部からなる空気加圧領域を有し、２本の外
側空気ベアリング面と中央空気ベアリング面は実質的に
同一平面である磁気ヘッドスライダであって、中央空気
ベアリング面にのみ、中央空気ベアリング面の後端を含
む後端から少なくとも２００μｍ以上の長さにわたっ
て、中央空気ベアリング面の側部にそれぞれ４μｍ以下
の微小な一段低い段差部からなる空気加圧部を有し、中
央空気ベアリング面の内周側の空気加圧部の幅が外周側
の空気加圧部の幅より広い構成とした。
解決するため、磁気ディスク表面に対向する浮上面に、
前端、後端、空気ベアリング面を有し、浮上面の前端か
ら浮上面の後端よりも前端寄りの位置まで延びる２本の
外側空気ベアリング面と、外側空気ベアリング面の内側
に、浮上面の前端あるいは前端よりも後端寄りの位置か
ら後端まで延びる一本の中央空気ベアリング面とを有
し、外側空気ベアリング面は外側空気ベアリング面の前
端における幅を越えることのないような幅を有し、中央
空気ベアリング面は中央空気ベアリング面の後端におけ
る幅を越えることのないような幅を有し、外側空気ベア
リング面は前端にテーパ部あるいは２μｍ以下の微小な
一段低い段差部からなる空気加圧領域を有し、２本の外
側空気ベアリング面と中央空気ベアリング面は実質的に
同一平面である磁気ヘッドスライダであって、中央空気
ベアリング面にのみ、中央空気ベアリング面の後端を含
む後端から少なくとも２００μｍ以上の長さにわたっ
て、中央空気ベアリング面の側部にそれぞれ４μｍ以下
の微小な一段低い段差部からなる空気加圧部を有し、中
央空気ベアリング面の内周側の空気加圧部の幅が外周側
の空気加圧部の幅より広い構成とした。
【００１４】
【作用】本発明は上記の構成により、ディスク全域で浮
上高が一定であり、スライダを小型化した場合でもピッ
チング、ローリングに対する安定性の低下は最小限に抑
えられる。さらに、その優れた浮上特性を維持するため
に必要な加工精度を低く設定できるため、浮上特性の優
れたスライダを安価に提供できる。
上高が一定であり、スライダを小型化した場合でもピッ
チング、ローリングに対する安定性の低下は最小限に抑
えられる。さらに、その優れた浮上特性を維持するため
に必要な加工精度を低く設定できるため、浮上特性の優
れたスライダを安価に提供できる。
【００１５】
（第１実施例）本発明の第１実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図１は本発明の第１実施例における磁気ヘ
ッドスライダを示す斜視図であり、図２は同浮上面の形
状を示す底面図である。図１において、スライダ１の浮
上面の外側の浮上レール上に設けられた外側ＡＢＳ４，
５が形成されており、各々浮上面の前端２から浮上面の
後端３よりも前端寄りの位置まで延びている。外側ＡＢ
Ｓ４，５の前端部にはテーパ部９，１０が形成され、外
側ＡＢＳ４，５は前端２における幅を越えることのない
幅を有する。スライダ１のほぼ中央の浮上レールには、
中央ＡＢＳ６が浮上面の前端２よりも後端寄りの位置か
ら後端３まで延びている。中央ＡＢＳ６は後端３におけ
る幅を越えることのないような幅を有し、２本の外側Ａ
ＢＳ４，５および中央ＡＢＳ６は実質的に同一平面であ
る。中央ＡＢＳ６の側方には、中央ＡＢＳ６よりも一段
低い空気加圧部７，８が形成されており、中央ＡＢＳ６
からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上面には
溝部１１が形成されており、外側ＡＢＳ４，５と空気加
圧部７，８とを分離している。１２は電磁変換素子の磁
気ギャップであり、中央ＡＢＳ６の後端３に形成されて
いる。
ら説明する。図１は本発明の第１実施例における磁気ヘ
ッドスライダを示す斜視図であり、図２は同浮上面の形
状を示す底面図である。図１において、スライダ１の浮
上面の外側の浮上レール上に設けられた外側ＡＢＳ４，
５が形成されており、各々浮上面の前端２から浮上面の
後端３よりも前端寄りの位置まで延びている。外側ＡＢ
Ｓ４，５の前端部にはテーパ部９，１０が形成され、外
側ＡＢＳ４，５は前端２における幅を越えることのない
幅を有する。スライダ１のほぼ中央の浮上レールには、
中央ＡＢＳ６が浮上面の前端２よりも後端寄りの位置か
ら後端３まで延びている。中央ＡＢＳ６は後端３におけ
る幅を越えることのないような幅を有し、２本の外側Ａ
ＢＳ４，５および中央ＡＢＳ６は実質的に同一平面であ
る。中央ＡＢＳ６の側方には、中央ＡＢＳ６よりも一段
低い空気加圧部７，８が形成されており、中央ＡＢＳ６
からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上面には
溝部１１が形成されており、外側ＡＢＳ４，５と空気加
圧部７，８とを分離している。１２は電磁変換素子の磁
気ギャップであり、中央ＡＢＳ６の後端３に形成されて
いる。
【００１６】以上のような第１実施例による圧力プロフ
ァイルを図３に示す。図３は各ＡＢＳの幅方向中心部の
長さ方向の圧力プロファイルを示すものである。トライ
レールスライダにおける圧力プロファイル図１０と同様
に、浮上面に加わる圧力プロファイルは、スライダの前
端近くで高圧であり、スライダの中央で比較的低く、ス
ライダの後端近くで比較的高い。そのため、中央ＡＢＳ
後端３に配置された磁気ギャップの浮上高は、スライダ
を小型化した場合にもピッチング、ローリングに対して
安定となる。
ァイルを図３に示す。図３は各ＡＢＳの幅方向中心部の
長さ方向の圧力プロファイルを示すものである。トライ
レールスライダにおける圧力プロファイル図１０と同様
に、浮上面に加わる圧力プロファイルは、スライダの前
端近くで高圧であり、スライダの中央で比較的低く、ス
ライダの後端近くで比較的高い。そのため、中央ＡＢＳ
後端３に配置された磁気ギャップの浮上高は、スライダ
を小型化した場合にもピッチング、ローリングに対して
安定となる。
【００１７】図１３に実線７２で、前記条件下での本実
施例スライダの浮上高の計算機シミュレーション結果を
示す。スライダの外形は長さ２．５mm、幅１．５mmであ
り、外側ＡＢＳ４、５及び中央ＡＢＳ６の幅を１８３μ
ｍ、中央ＡＢＳのディスク内周側の一段低い空気加圧部
を幅１７２μｍ、深さ１μｍ、空気加圧部８を幅７６μ
ｍ、深さ１μｍとした。直径３．５”の磁気ディスクを
使用し、５４００ｒｐｍ、内外周でのスキューθを±１
３．１゜とし、スライダの中心に３ｇの荷重を与えた。
図１３に示されるように、本実施例のスライダの浮上高
はディスク全域にわたりほぼ一定であり、従来一般的に
使用されてきたテーパーフラットスライダ、あるいはト
ライレールスライダに比して格段に優れた浮上特性を持
ち、ＴＰＣスライダと同等である。
施例スライダの浮上高の計算機シミュレーション結果を
示す。スライダの外形は長さ２．５mm、幅１．５mmであ
り、外側ＡＢＳ４、５及び中央ＡＢＳ６の幅を１８３μ
ｍ、中央ＡＢＳのディスク内周側の一段低い空気加圧部
を幅１７２μｍ、深さ１μｍ、空気加圧部８を幅７６μ
ｍ、深さ１μｍとした。直径３．５”の磁気ディスクを
使用し、５４００ｒｐｍ、内外周でのスキューθを±１
３．１゜とし、スライダの中心に３ｇの荷重を与えた。
図１３に示されるように、本実施例のスライダの浮上高
はディスク全域にわたりほぼ一定であり、従来一般的に
使用されてきたテーパーフラットスライダ、あるいはト
ライレールスライダに比して格段に優れた浮上特性を持
ち、ＴＰＣスライダと同等である。
【００１８】また、ＴＰＣスライダの場合、図１４に示
す非対称な横方向の空気加圧部７５，７６，７７，７８
を両外側ＡＢＳに有しており、スライダ幅方向の圧力中
心とスライダ重心がずれてしまい幅方向の浮上高変動が
大きい。本実施例のスライダでは、ＴＰＣスライダと異
なり、浮上力を生じる外側ＡＢＳの外側に横方向空気加
圧部を持たないため、ローリングに対する安定性は高
い。そのため、空気加圧部の幅と深さはスライダ寸法の
許す限り大きく設定でき、従って、その優れた浮上特性
を維持するために必要な加工精度を低く設定でき、浮上
特性の優れたスライダを安価に提供できる。
す非対称な横方向の空気加圧部７５，７６，７７，７８
を両外側ＡＢＳに有しており、スライダ幅方向の圧力中
心とスライダ重心がずれてしまい幅方向の浮上高変動が
大きい。本実施例のスライダでは、ＴＰＣスライダと異
なり、浮上力を生じる外側ＡＢＳの外側に横方向空気加
圧部を持たないため、ローリングに対する安定性は高
い。そのため、空気加圧部の幅と深さはスライダ寸法の
許す限り大きく設定でき、従って、その優れた浮上特性
を維持するために必要な加工精度を低く設定でき、浮上
特性の優れたスライダを安価に提供できる。
【００１９】例えば、第１実施例の形状において、スラ
イダの外形を長さ２．５mm、幅１．５mm、外側ＡＢＳ
４、５及び中央ＡＢＳ６の幅を１８３μｍ、中央ＡＢＳ
６のディスク内周側の一段低い空気加圧部７を幅４５０
μｍ、深さ２μｍ、空気加圧部８を幅３１０μｍ、深さ
２μｍとしたスライダについて、前記条件の下で浮上高
の計算機シミュレーション結果は、図１３の実線７２と
ほぼ一致した。このときの幅と深さに関する要求精度
は、深さ１μｍの場合の約１／２となる。
イダの外形を長さ２．５mm、幅１．５mm、外側ＡＢＳ
４、５及び中央ＡＢＳ６の幅を１８３μｍ、中央ＡＢＳ
６のディスク内周側の一段低い空気加圧部７を幅４５０
μｍ、深さ２μｍ、空気加圧部８を幅３１０μｍ、深さ
２μｍとしたスライダについて、前記条件の下で浮上高
の計算機シミュレーション結果は、図１３の実線７２と
ほぼ一致した。このときの幅と深さに関する要求精度
は、深さ１μｍの場合の約１／２となる。
【００２０】（第２実施例）本発明の第２実施例を図面
を参照しながら説明する。図４は本発明の第２実施例に
おける磁気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図
である。図４において、スライダ１の浮上面の外側の浮
上レールに外側ＡＢＳ１３，１４が形成されており、各
々浮上面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの
位置まで延びている。外側ＡＢＳ１３，１４の前端部に
はテーパ部１８，１９が形成され、外側ＡＢＳ１３，１
４は前端２における幅を越えることのない幅を有する。
スライダ１のほぼ中央の浮上レールには、中央ＡＢＳ１
５が、浮上面の前端２よりも後端寄りの位置から後端３
まで延びている。中央ＡＢＳ１５は後端３における幅を
越えることのないような幅を有し、２本の外側ＡＢＳ１
３，１４および中央ＡＢＳ１５は実質的に同一平面であ
る。中央ＡＢＳ１５の側方には、中央ＡＢＳ１５よりも
一段低い空気加圧部１６，１７が形成されており、中央
ＡＢＳ１５からの深さは４μｍ以下である。そのほかの
浮上面には溝部２０が形成されており、外側ＡＢＳ１
３，１４と空気加圧部１６，１７とを分離している。１
２は磁気ギャップであり、中央ＡＢＳ１５の後端３に形
成されている。
を参照しながら説明する。図４は本発明の第２実施例に
おける磁気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図
である。図４において、スライダ１の浮上面の外側の浮
上レールに外側ＡＢＳ１３，１４が形成されており、各
々浮上面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの
位置まで延びている。外側ＡＢＳ１３，１４の前端部に
はテーパ部１８，１９が形成され、外側ＡＢＳ１３，１
４は前端２における幅を越えることのない幅を有する。
スライダ１のほぼ中央の浮上レールには、中央ＡＢＳ１
５が、浮上面の前端２よりも後端寄りの位置から後端３
まで延びている。中央ＡＢＳ１５は後端３における幅を
越えることのないような幅を有し、２本の外側ＡＢＳ１
３，１４および中央ＡＢＳ１５は実質的に同一平面であ
る。中央ＡＢＳ１５の側方には、中央ＡＢＳ１５よりも
一段低い空気加圧部１６，１７が形成されており、中央
ＡＢＳ１５からの深さは４μｍ以下である。そのほかの
浮上面には溝部２０が形成されており、外側ＡＢＳ１
３，１４と空気加圧部１６，１７とを分離している。１
２は磁気ギャップであり、中央ＡＢＳ１５の後端３に形
成されている。
【００２１】図４に示すように、中央ＡＢＳ１５の側方
に配置される空気加圧部１６，１７は、少なくとも浮上
面後端を含む浮上面後端から２００μｍ以上の長さがあ
れば、スキューθが生じたときの浮上力の低下を補うた
めの横方向空気加圧効果が得られる。また、中央ＡＢＳ
１５の先端の形についても、図４のようにエッジ部を丸
く落とすような若干の変更を施すことが可能である。
に配置される空気加圧部１６，１７は、少なくとも浮上
面後端を含む浮上面後端から２００μｍ以上の長さがあ
れば、スキューθが生じたときの浮上力の低下を補うた
めの横方向空気加圧効果が得られる。また、中央ＡＢＳ
１５の先端の形についても、図４のようにエッジ部を丸
く落とすような若干の変更を施すことが可能である。
【００２２】そのほかの浮上特性については第１実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【００２３】（第３実施例）本発明の第３実施例を図面
を参照しながら説明する。図５は第３実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図５において、スライダ１の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ＡＢＳ２１，２２が形成されており、各々浮上
面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ＡＢＳ２１，２２の前端部にはテー
パ部２６，２７が形成され、外側ＡＢＳ２１，２２は前
端２における幅を越えることのない幅を有する。スライ
ダ１のほぼ中央の浮上レールには、中央ＡＢＳ２３が、
浮上面の前端２よりも後端寄りの位置から後端３まで延
びている。中央ＡＢＳ２３は後端３における幅を越える
ことのないような幅を有し、２本の外側ＡＢＳ２１，２
２および中央ＡＢＳ２３は実質的に同一平面である。中
央ＡＢＳ２３の側方には、中央ＡＢＳ２３よりも一段低
い空気加圧部２４，２５が形成されており、中央ＡＢＳ
２３からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上面
には溝部２８が形成されており、外側ＡＢＳ２１，２２
と空気加圧部２４，２５とを分離している。１２は磁気
ギャップであり、中央ＡＢＳ２３の後端３に形成されて
いる。
を参照しながら説明する。図５は第３実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図５において、スライダ１の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ＡＢＳ２１，２２が形成されており、各々浮上
面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ＡＢＳ２１，２２の前端部にはテー
パ部２６，２７が形成され、外側ＡＢＳ２１，２２は前
端２における幅を越えることのない幅を有する。スライ
ダ１のほぼ中央の浮上レールには、中央ＡＢＳ２３が、
浮上面の前端２よりも後端寄りの位置から後端３まで延
びている。中央ＡＢＳ２３は後端３における幅を越える
ことのないような幅を有し、２本の外側ＡＢＳ２１，２
２および中央ＡＢＳ２３は実質的に同一平面である。中
央ＡＢＳ２３の側方には、中央ＡＢＳ２３よりも一段低
い空気加圧部２４，２５が形成されており、中央ＡＢＳ
２３からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上面
には溝部２８が形成されており、外側ＡＢＳ２１，２２
と空気加圧部２４，２５とを分離している。１２は磁気
ギャップであり、中央ＡＢＳ２３の後端３に形成されて
いる。
【００２４】この第３実施例では、外側ＡＢＳの幅は浮
上面前端２で広く、後端３で狭い点が第１実施例と異な
る。この構成により、スライダの先端が磁気ディスク上
で所望のピッチ角度で浮上するような圧力プロファイル
が得られ、ピッチング方向の振動が大となった場合にも
磁気ディスクとスライダ先端とが接触する確率が小さ
く、高い信頼性を有するスライダが得られる。
上面前端２で広く、後端３で狭い点が第１実施例と異な
る。この構成により、スライダの先端が磁気ディスク上
で所望のピッチ角度で浮上するような圧力プロファイル
が得られ、ピッチング方向の振動が大となった場合にも
磁気ディスクとスライダ先端とが接触する確率が小さ
く、高い信頼性を有するスライダが得られる。
【００２５】そのほかの浮上特性については第１実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【００２６】（第４実施例）本発明の第４実施例を図面
を参照しながら説明する。図６は第４実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図６において、スライダ１の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ＡＢＳ２９，３０が形成されており、各々浮上
面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ＡＢＳ２９，３０は前端２における
幅を越えることのない幅を有する。スライダ１のほぼ中
央の浮上レールには、中央ＡＢＳ３１が、浮上面の前端
２から後端３まで延びている。中央ＡＢＳ３１は後端３
における幅を越えることのないような幅を有し、２本の
外側ＡＢＳ２９，３０および中央ＡＢＳ３１は実質的に
同一平面である。外側ＡＢＳ２９，３０と中央ＡＢＳ３
１の前端部にはテーパ部３４，３５，３６が形成され、
中央ＡＢＳ３１の側方には、中央ＡＢＳ３１よりも一段
低い空気加圧部３２，３３が形成されており、中央ＡＢ
Ｓ３１からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上
面には溝部３７，３８が形成されており、外側ＡＢＳ２
９，３０と空気加圧部３２，３３とを分離している。１
２は磁気ギャップであり、中央ＡＢＳ３１の後端３に形
成されている。
を参照しながら説明する。図６は第４実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図６において、スライダ１の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ＡＢＳ２９，３０が形成されており、各々浮上
面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ＡＢＳ２９，３０は前端２における
幅を越えることのない幅を有する。スライダ１のほぼ中
央の浮上レールには、中央ＡＢＳ３１が、浮上面の前端
２から後端３まで延びている。中央ＡＢＳ３１は後端３
における幅を越えることのないような幅を有し、２本の
外側ＡＢＳ２９，３０および中央ＡＢＳ３１は実質的に
同一平面である。外側ＡＢＳ２９，３０と中央ＡＢＳ３
１の前端部にはテーパ部３４，３５，３６が形成され、
中央ＡＢＳ３１の側方には、中央ＡＢＳ３１よりも一段
低い空気加圧部３２，３３が形成されており、中央ＡＢ
Ｓ３１からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上
面には溝部３７，３８が形成されており、外側ＡＢＳ２
９，３０と空気加圧部３２，３３とを分離している。１
２は磁気ギャップであり、中央ＡＢＳ３１の後端３に形
成されている。
【００２７】第４実施例では、第３実施例のスライダと
異なり、中央ＡＢＳ３１が浮上面の前端２から後端３ま
で形成されている。ただし、中央ＡＢＳ３１の前端２に
近い部分の幅は後端３での幅よりも狭く、浮上力に影響
を与えるほど大きな浮上力を発生しない。そのため、ピ
ッチング、ローリングに対する安定性は第３実施例と実
質的に同等である。ただ、中央ＡＢＳ３１が浮上面前端
２まで延びているため、磁気ディスクと接触する外即Ａ
ＢＳ２９，３０及び中央ＡＢＳ３１が、磁気ディスクに
対して角の立ったエッジを持たない。そのため、磁気デ
ィスクとスライダが接触した場合でも、磁気ディスクを
損傷する可能性がより小さくなり、より高い信頼性をも
持つスライダを提供できる。
異なり、中央ＡＢＳ３１が浮上面の前端２から後端３ま
で形成されている。ただし、中央ＡＢＳ３１の前端２に
近い部分の幅は後端３での幅よりも狭く、浮上力に影響
を与えるほど大きな浮上力を発生しない。そのため、ピ
ッチング、ローリングに対する安定性は第３実施例と実
質的に同等である。ただ、中央ＡＢＳ３１が浮上面前端
２まで延びているため、磁気ディスクと接触する外即Ａ
ＢＳ２９，３０及び中央ＡＢＳ３１が、磁気ディスクに
対して角の立ったエッジを持たない。そのため、磁気デ
ィスクとスライダが接触した場合でも、磁気ディスクを
損傷する可能性がより小さくなり、より高い信頼性をも
持つスライダを提供できる。
【００２８】そのほかの浮上特性については第１実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【００２９】（第５実施例）本発明の第５実施例を図面
を参照しながら説明する。図７は第５実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図７において、スライダ１の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ＡＢＳ３９，４０が形成されており、各々浮上
面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ＡＢＳ３９，４０は前端２における
幅を越えることのない幅を有する。スライダ１のほぼ中
央の浮上レールには、中央ＡＢＳ４１が、浮上面の前端
２から後端３まで延びている。中央ＡＢＳ４１は後端３
における幅を越えることのないような幅を有し、２本の
外側ＡＢＳ３９，４０および中央ＡＢＳ４１は実質的に
同一平面である。外側ＡＢＳ３９，４０と中央ＡＢＳ４
１の前端部にはテーパ部４６，４７，４８が形成され、
中央ＡＢＳ４１の側方には、中央ＡＢＳ４１よりも一段
低い空気加圧部４２，４３が形成されており、中央ＡＢ
Ｓ４１からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上
面には溝部４９、５０が形成されており、外側ＡＢＳ３
９，４０と空気加圧部４２，４３を分離している。１２
は磁気ギャップであり、中央ＡＢＳ４１の後端３に形成
されている。外側ＡＢＳ３９，４０と浮上面の後端３と
の間には、空気加圧部４２，４３と同じ深さの段差部４
４，４５が形成されている。
を参照しながら説明する。図７は第５実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図７において、スライダ１の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ＡＢＳ３９，４０が形成されており、各々浮上
面の前端２から浮上面の後端３よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ＡＢＳ３９，４０は前端２における
幅を越えることのない幅を有する。スライダ１のほぼ中
央の浮上レールには、中央ＡＢＳ４１が、浮上面の前端
２から後端３まで延びている。中央ＡＢＳ４１は後端３
における幅を越えることのないような幅を有し、２本の
外側ＡＢＳ３９，４０および中央ＡＢＳ４１は実質的に
同一平面である。外側ＡＢＳ３９，４０と中央ＡＢＳ４
１の前端部にはテーパ部４６，４７，４８が形成され、
中央ＡＢＳ４１の側方には、中央ＡＢＳ４１よりも一段
低い空気加圧部４２，４３が形成されており、中央ＡＢ
Ｓ４１からの深さは４μｍ以下である。そのほかの浮上
面には溝部４９、５０が形成されており、外側ＡＢＳ３
９，４０と空気加圧部４２，４３を分離している。１２
は磁気ギャップであり、中央ＡＢＳ４１の後端３に形成
されている。外側ＡＢＳ３９，４０と浮上面の後端３と
の間には、空気加圧部４２，４３と同じ深さの段差部４
４，４５が形成されている。
【００３０】段差部４４，４５は４μｍ以下の段差であ
るため、段差部４４，４５の外側ＡＢＳ３９，４０との
境界近くの部分には負圧力が発生する。そのため、垂直
方向及びローリング方向の剛性が改善され、スライダを
小型化した場合にもピッチング、ローリングに対してよ
り安定となる。
るため、段差部４４，４５の外側ＡＢＳ３９，４０との
境界近くの部分には負圧力が発生する。そのため、垂直
方向及びローリング方向の剛性が改善され、スライダを
小型化した場合にもピッチング、ローリングに対してよ
り安定となる。
【００３１】そのほかの浮上特性については第１実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【００３２】なお、本発明の思想を逸脱する事なく、本
発明の実施例に幾多の変更を施すことができる。
発明の実施例に幾多の変更を施すことができる。
【００３３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明は、磁気ディ
スク表面に対向する浮上面に、前端、後端、空気ベアリ
ング面を有し、浮上面の前端から浮上面の後端よりも前
端寄りの位置まで延びる２本の外側空気ベアリング面
と、外側空気ベアリング面の内側に、浮上面の前端ある
いは前端よりも後端寄りの位置から後端まで延びる一本
の中央空気ベアリング面とを有し、外側空気ベアリング
面は外側空気ベアリング面の前端における幅を越えるこ
とのないような幅を有し、中央空気ベアリング面は中央
空気ベアリング面の後端における幅を越えることのない
ような幅を有し、外側空気ベアリング面は前端にテーパ
部あるいは２μｍ以下の微小な一段低い段差部からなる
空気加圧領域を有し、２本の外側空気ベアリング面と中
央空気ベアリング面は実質的に同一平面である磁気ヘッ
ドスライダであって、中央空気ベアリング面にのみ、中
央空気ベアリング面の後端を含む後端から少なくとも２
００μｍ以上の長さにわたって、中央空気ベアリング面
の側部にそれぞれ４μｍ以下の微小な一段低い段差部か
らなる空気加圧部を有し、中央空気ベアリング面の内周
側の空気加圧部の幅が外周側の空気加圧部の幅より広い
構成とした。上記の構成により、ディスク全域で浮上高
が一定であり、スライダを小型化した場合でもピッチン
グ、ローリングに対する安定性の低下は最小限に抑えら
れる。さらに、その優れた浮上特性を維持するために必
要な加工精度を低く設定できるため、浮上特性の優れた
磁気ヘッドスライダを安価に提供できる。したがって本
発明は産業上の利用価値が高いものである。
スク表面に対向する浮上面に、前端、後端、空気ベアリ
ング面を有し、浮上面の前端から浮上面の後端よりも前
端寄りの位置まで延びる２本の外側空気ベアリング面
と、外側空気ベアリング面の内側に、浮上面の前端ある
いは前端よりも後端寄りの位置から後端まで延びる一本
の中央空気ベアリング面とを有し、外側空気ベアリング
面は外側空気ベアリング面の前端における幅を越えるこ
とのないような幅を有し、中央空気ベアリング面は中央
空気ベアリング面の後端における幅を越えることのない
ような幅を有し、外側空気ベアリング面は前端にテーパ
部あるいは２μｍ以下の微小な一段低い段差部からなる
空気加圧領域を有し、２本の外側空気ベアリング面と中
央空気ベアリング面は実質的に同一平面である磁気ヘッ
ドスライダであって、中央空気ベアリング面にのみ、中
央空気ベアリング面の後端を含む後端から少なくとも２
００μｍ以上の長さにわたって、中央空気ベアリング面
の側部にそれぞれ４μｍ以下の微小な一段低い段差部か
らなる空気加圧部を有し、中央空気ベアリング面の内周
側の空気加圧部の幅が外周側の空気加圧部の幅より広い
構成とした。上記の構成により、ディスク全域で浮上高
が一定であり、スライダを小型化した場合でもピッチン
グ、ローリングに対する安定性の低下は最小限に抑えら
れる。さらに、その優れた浮上特性を維持するために必
要な加工精度を低く設定できるため、浮上特性の優れた
磁気ヘッドスライダを安価に提供できる。したがって本
発明は産業上の利用価値が高いものである。
【図１】本発明の第１実施例における磁気ヘッドスライ
ダを示す斜視図
ダを示す斜視図
【図２】本発明の第１実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図３】本発明の第１実施例の磁気ヘッドスライダの各
ＡＢＳの幅方向中心部の長さ方向の圧力プロファイルを
示す図
ＡＢＳの幅方向中心部の長さ方向の圧力プロファイルを
示す図
【図４】本発明の第２実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図５】本発明の第３実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図６】本発明の第４実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図７】本発明の第５実施例の磁気ヘッドスライダの浮
上面の形状を示す底面図
上面の形状を示す底面図
【図８】従来の磁気ヘッドスライダの第１例の浮上面の
形状を示す底面図
形状を示す底面図
【図９】従来の磁気ヘッドスライダの第２例の浮上面の
形状を示す底面図
形状を示す底面図
【図１０】従来の磁気ヘッドスライダの各ＡＢＳの圧力
プロファイルの断面図
プロファイルの断面図
【図１１】回転形アクチュエータを有する固定磁気ディ
スク装置の模式図
スク装置の模式図
【図１２】スキューθ≠０のときの空気流と磁気ヘッド
スライダの関係を示す図
スライダの関係を示す図
【図１３】磁気ヘッドスライダの磁気ディスク半径位置
による浮上高変化を示すグラフ
による浮上高変化を示すグラフ
【図１４】従来の磁気ヘッドスライダの第３例の浮上面
の形状を示す底面図
の形状を示す底面図
１ スライダ
２ 前端
３ 後端
４，５ 外側ＡＢＳ
６ 中央ＡＢＳ
７，８ 空気加圧部
９，１０ テーパ部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 大森 高広
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電
器産業株式会社内
(56)参考文献 特開 平２−101688（ＪＰ，Ａ)
特開 昭56−159865（ＪＰ，Ａ)
実開 昭59−149226（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】磁気ディスク表面に対向する浮上面に、前
端、後端、空気ベアリング面を有し、前記浮上面の前端
から前記浮上面の後端よりも前端寄りの位置まで延びる
２本の外側空気ベアリング面と、前記外側空気ベアリン
グ面の内側に、前記浮上面の前端あるいは前端よりも後
端寄りの位置から後端まで延びる一本の中央空気ベアリ
ング面とを有し、前記外側空気ベアリング面は前記外側
空気ベアリング面の前端における幅を越えることのない
ような幅を有し、前記中央空気ベアリング面は前記中央
空気ベアリング面の後端における幅を越えることのない
ような幅を有し、前記外側空気ベアリング面は前端にテ
ーパ部あるいは２μｍ以下の微小な一段低い段差部から
なる空気加圧領域を有し、２本の前記外側空気ベアリン
グ面と前記中央空気ベアリング面は実質的に同一平面で
ある磁気ヘッドスライダであって、前記中央空気ベアリ
ング面にのみ、前記中央空気ベアリング面の後端を含む
後端から少なくとも２００μｍ以上の長さにわたって、
前記中央空気ベアリング面の側部に４μｍ以下の微小な
一段低い段差部からなる空気加圧部を有し、前記中央空
気ベアリング面の内周側の空気加圧部の幅が外周側の空
気加圧部の幅より広いことを特徴とする磁気ヘッドスラ
イダ。 - 【請求項２】前記外側空気ベアリング面と前記浮上面の
後端との間に、４μｍ以下の微小な一段低い段差部から
なる負圧力発生部を有する請求項１記載の磁気ヘッドス
ライダ。 - 【請求項３】前記外側空気ベアリング面及び前記中央空
気ベアリング面の幅がほぼ同一の幅を有する請求項１ま
たは請求項２記載の磁気ヘッドスライダ。
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| WO1998000841A1 (en) * | 1996-06-28 | 1998-01-08 | Censtor Corporation | Virtual contact hard disk drive with planar transducer |
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| US5761004A (en) * | 1996-12-02 | 1998-06-02 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider with offset crossbars to reduce roll |
| CN1122269C (zh) * | 1997-01-15 | 2003-09-24 | 西加特技术有限责任公司 | 包括在后边缘切口处终止的侧导轨的滑块 |
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| US5963396A (en) | 1997-04-02 | 1999-10-05 | Marburg Technology, Inc. | Glide head with an outside active rail |
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| US6055128A (en) * | 1997-05-14 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Dual etch step pad air bearing design with three etch depths |
| US6004472A (en) * | 1997-05-14 | 1999-12-21 | International Business Machines Corporation | Dual etch step process for making a three etch depth air bearing slider |
| US5986850A (en) * | 1997-06-16 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Positive pressure optical slider having wide center rail |
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| US6205849B1 (en) | 1997-08-18 | 2001-03-27 | Seagate Technology Llc | Glide head using an ion etched air bearing |
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| US7106556B2 (en) * | 2003-06-24 | 2006-09-12 | Seagate Technology Llc | Slider configured for rapid bearing stabilization during ramp load operations |
| JP2006120198A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Toshiba Corp | ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、およびこれを備えたディスク装置 |
| US8758092B2 (en) * | 2005-11-16 | 2014-06-24 | Seagate Technology Llc | Sweeper burnish head |
Family Cites Families (4)
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