JPH06275038A - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents

磁気ヘッドスライダ

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JPH06275038A
JPH06275038A JP5058224A JP5822493A JPH06275038A JP H06275038 A JPH06275038 A JP H06275038A JP 5058224 A JP5058224 A JP 5058224A JP 5822493 A JP5822493 A JP 5822493A JP H06275038 A JPH06275038 A JP H06275038A
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幹雄 川崎
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    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ディスク全域で浮上高が一定であり、スライ
ダを小型化した場合でもピッチング、ローリングに対し
て安定な磁気ヘッドスライダを提供する。 【構成】 磁気ディスク表面に対向する浮上面に、浮上
面の前端2から浮上面の後端3よりも前端寄りの位置ま
で延びる2本の外側ABS4,5と、磁気ヘッドスライ
ダ1のほぼ中央に位置し、浮上面後端まで延びる一本の
中央ABS6を備えた磁気ヘッドスライダ1において、
その中央ABS6にのみ、周囲に4μm以下の微小な一
段低い空気加圧部7,8を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、固定磁気ディスク装置
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、コンピュータの外部記憶装置は、
その高速性や大容量性から固定磁気ディスク装置の普及
が広まりつつある。そして、より容量の大きな固定磁気
ディスク装置を小型に実現するため、高い記録密度を目
的とする高い線密度が求められている。高い線密度は記
録波長の微小な領域で動作させるために磁気ヘッドの磁
気ギャップをより狭くし、磁気ギャップと磁気ディスク
との間隙(以下、浮上高と呼ぶ)をより低くする必要が
生じてきている。しかし、低浮上高では磁気ディスクと
磁気ヘッドスライダ(以下、スライダと称す)とが接触
しやすくなり、磁気ディスクの記録面を破壊する可能性
が高くなる。そのため、これらの浮上面を有するスライ
ダでは、浮上高を低く一定に維持することが望まれる。
【0003】従来一般的なスライダとして、特公昭57
−569号公報に記載されているテーパーフラットスラ
イダと呼ばれるスライダがある。図8はその浮上面の形
状をを示す底面図である。図8を用いて説明すると、こ
のテーパーフラットスライダは、浮上面の外側にスライ
ダ1を磁気ディスク上で浮上させるために必要な少なく
とも2本の浮上レール上に設けられた空気ベアリング面
(以下ABSと称す)51,52と、ABS51,52
の前端2にそれぞれ形成されたテーパ部53,54と、
2本のABSの間の溝55で構成される。ABS51,
52は浮上面の前端2から後端3まで延びており、電磁
変換素子の磁気ギャップ12は、2本のABS51,5
2の後端3に配置される。従来の大型のスライダの場合
には浮上高も高く、ピッチング、ローリングに対する十
分な安定性を有し、製造コストが低いことから、このテ
ーパーフラットスライダは広く用いられてきた。
【0004】しかし、近年、固定磁気ディスク装置の小
型化、高い記録密度を目的とするスライダの低浮上高化
の要求に応えるため、スライダも小型化しているが、ス
ライダ小型化に伴うピッチング、ローリングの増大が問
題となっている。この問題を改善する方法として、特開
平2−101688号公報に記載されているスライダが
ある(以下、このスライダをトライレールスライダと称
する)。
【0005】図9はこの従来例の浮上面の形状を示す底
面図である。図9を用いて説明すると、スライダ1は、
浮上面に浮上面の前端2から後端3に向かって延びる2
本の外側ABS56,57と、それらの外側ABS5
6,57の内側に浮上面の前端2から後端3まで延びる
一本の中央ABS58とを有し、外側ABS56,57
の後端3は浮上面の後端3よりも前端2寄りに形成され
ており、3本の外側ABS56,57及び中央ABS5
8の前端2にはテーパ部59,60,61が形成されて
いる。さらに、中央ABS58の前端2より後端3まで
の幅が中央ABS58の後端3における幅を越えること
のないような幅を有し、それら3本のABSは通常各々
10μm以上の深さを有する溝62,63により隔てて
形成されている。
【0006】図10はトライレールスライダの各ABS
の圧力プロファイルの断面図であり、図10を用いてこ
れらの構成の浮上特性への影響を説明する。外側ABS
は、前端で高い圧力ピークを有し、後方は徐々に圧力は
低くなる。一方中央レールは前端側で弱く、後方側で非
常に高いピークを有している。浮上面全体での圧力プロ
ファイルは、スライダの前端近くで高圧であり、スライ
ダの中央で比較的低く、スライダの後端近くで比較的高
い。そのため、中央ABS後端に配置された磁気ギャッ
プの浮上高は、スライダを小型化した場合にもピッチン
グ、ローリングに対して安定となる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】現在、固定磁気ディス
ク装置の小型化の要求から、回転形アクチュエータを有
する固定磁気ディスク装置が主流である。図11は回転
形アクチュエータを有する固定磁気ディスク装置の模式
図を示す。スライダ1は、接着剤や合成樹脂などにより
サスペンション65に固定され、さらにサスペンション
65は駆動アーム66にかしめ固定されている。磁気デ
ィスク64上のスライダ1は、駆動アーム66の回転に
伴い、矢印Aの方向に回転するディスクにより生じる空
気流の方向と浮上面の長手方向とのなす角、すなわちス
キューθが変化する。図12はスキューθが生じたとき
のスライダ1の長手方向67と流入空気の方向68との
関係を示す。図12で2は浮上面の前端、3は浮上面の
後端である。このスキューθの最大値は磁気ディスクの
回転方向に対しておよそ±15°程度である。
【0008】スキューθが0°から変化した場合、浮上
面前端のテーパ部により加圧された圧縮空気がABSに
十分な浮上力を与える前にABS側方から流出するた
め、スライダの浮上高の減少やスライダのロールの増加
が生じる。このため磁気ディスク上でスライダが内周か
ら外周へ移動したときの浮上高は、ディスクとスライダ
の相対速度およびスキューθによって決定される。図1
3に実線69で、一定条件下でのテーパーフラットスラ
イダの浮上高の計算機シミュレーション結果を示す。ス
ライダの外形は長さ2.0mm、幅1.5mmであり、直径
3.5”の磁気ディスクを使用し、5400rpm、内
外周でのスキューθを±13.1゜とし、スライダの中
心に3gの荷重を与えた。スライダの浮上高は、ディス
ク全域にわたり一定であることが望ましいが、図13に
示すように、従来一般的に使用されてきたテーパーフラ
ットスライダではその浮上高変化が大きかった。
【0009】また、外形が長さ2.5mm、幅1.5mmの
トライレールスライダについても、同一条件下での浮上
高の計算機シミュレーション結果を図13に実線70で
示す。トライレールスライダの場合も、テーパーフラッ
トスライダと同様に浮上高変化が大きかった。
【0010】上記問題点を解決するため、特開昭61−
278087号公報で取り上げられたTransverse,Press
urization,Contoursスライダ(以降TPCスライダと称
す)は、ABSの側部にテーパーあるいは微小段差など
の方法により実現される横方向空気加圧部を設けてい
る。図14はTPCスライダの浮上面の形状を示す底面
図である。図14を用いて説明すると、浮上面の前端2
から後端3まで延びる2本のABS73,74の側方
に、ABSからの深さが通常1μm前後の空気加圧部7
5,76,77,78が設けてあり、空気加圧部76と
77とは通常深さ10μm以上の溝部81によって隔離
されている。2本のABS73,74の前端2にはテー
パ部79,80が形成されており、磁気ギャップ12は
ABS73,74後端3に配置される。スキューθが大
きくなったときの浮上力の低下は、これらの空気加圧部
75,76,77,78で横方向空気を加圧する事で補
える。図13に実線71で、TPCスライダについて前
記浮上条件下で計算機シミュレーションを行った結果を
示す。この計算例では、スライダ外形が長さ2mm、幅
1.5mmであり、ABS73,74の幅が各々158μ
m、ABS73,74のディスク内周側の一段低い空気
加圧部75、77が幅125μm、ABSからの深さ1
μmであり、ABS73,74のディスク外周側の一段
低い空気加圧部76,78が幅60μm、ABSからの
深さ1μmであった。図13に示されるように、TPC
スライダの浮上高はディスク全域にわたりほぼ一定あ
り、従来一般的に使用されてきたテーパーフラットスラ
イダ、あるいはトライレールスライダに比して格段に優
れた浮上特性を持つ。
【0011】しかし、このTPCスライダには、空気膜
剛性がテーパーフラットスライダに比べて低いという欠
点があった。空気膜剛性が低いスライダでは、外乱に対
する浮上高変動が大きいため、0.10μm以下の低浮
上高域では磁気ディスクとの接触によるデータ破壊の可
能性が高くなり、特にスライダを小型化した場合、ピッ
チング、ローリングに対して浮上高が不安定となるとい
った欠点があった。
【0012】さらに、図14に示されるように、TPC
スライダでは浮上力を生じるABSの外側に余分な質量
を有するため、スライダ幅方向の圧力中心とスライダの
重心がずれてしまいローリングに対する安定性が低下す
る。この欠点を緩和するためには、ABSの外側の空気
加圧部75,78の幅をできる限り狭くすることが望ま
しいが、段差幅を狭くしたことによる空気加圧効果の低
下を補うために、段差深さは浅くしなければならない。
しかし、段差幅を狭く、段差深さを浅くした場合、段差
幅と段差深さの双方について寸法に対する浮上高の感度
が高くなるため、現実的な段差幅については限界があ
り、特にローリング方向の安定性に問題があった。ま
た、段差幅と深さについて高い加工精度が要求されるた
め、加工方法が限定され、製造コストが増加するという
欠点があった。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するため、磁気ディスク表面に対向する浮上面に、
浮上面の前端から浮上面の後端よりも前端寄りの位置ま
で延びる2本の外側ABSと、スライダのほぼ中央に位
置し、浮上面後端まで延びる一本の中央ABSを備えた
スライダであって、その中央ABSにのみ、中央ABS
の後端を含む少なくとも後端から200μm以上の長さ
にわたる周囲に、4μm以下の微小な一段低い空気加圧
部を設ける。
【0014】
【作用】本発明は上記の構成により、ディスク全域で浮
上高が一定であり、スライダを小型化した場合でもピッ
チング、ローリングに対する安定性の低下は最小限に抑
えられる。さらに、その優れた浮上特性を維持するため
に必要な加工精度を低く設定できるため、浮上特性の優
れたスライダを安価に提供できる。
【0015】
【実施例】
(第1実施例)本発明の第1実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図1は本発明の第1実施例における磁気ヘ
ッドスライダを示す斜視図であり、図2は同浮上面の形
状を示す底面図である。図1において、スライダ1の浮
上面の外側の浮上レール上に設けられた外側ABS4,
5が形成されており、各々浮上面の前端2から浮上面の
後端3よりも前端寄りの位置まで延びている。外側AB
S4,5の前端部にはテーパ部9,10が形成され、外
側ABS4,5は前端2における幅を越えることのない
幅を有する。スライダ1のほぼ中央の浮上レールには、
中央ABS6が浮上面の前端2よりも後端寄りの位置か
ら後端3まで延びている。中央ABS6は後端3におけ
る幅を越えることのないような幅を有し、2本の外側A
BS4,5および中央ABS6は実質的に同一平面であ
る。中央ABS6の側方には、中央ABS6よりも一段
低い空気加圧部7,8が形成されており、中央ABS6
からの深さは4μm以下である。そのほかの浮上面には
溝部11が形成されており、外側ABS4,5と空気加
圧部7,8とを分離している。12は電磁変換素子の磁
気ギャップであり、中央ABS6の後端3に形成されて
いる。
【0016】以上のような第1実施例による圧力プロフ
ァイルを図3に示す。図3は各ABSの幅方向中心部の
長さ方向の圧力プロファイルを示すものである。トライ
レールスライダにおける圧力プロファイル図10と同様
に、浮上面に加わる圧力プロファイルは、スライダの前
端近くで高圧であり、スライダの中央で比較的低く、ス
ライダの後端近くで比較的高い。そのため、中央ABS
後端3に配置された磁気ギャップの浮上高は、スライダ
を小型化した場合にもピッチング、ローリングに対して
安定となる。
【0017】図13に実線72で、前記条件下での本実
施例スライダの浮上高の計算機シミュレーション結果を
示す。スライダの外形は長さ2.5mm、幅1.5mmであ
り、外側ABS4、5及び中央ABS6の幅を183μ
m、中央ABSのディスク内周側の一段低い空気加圧部
を幅172μm、深さ1μm、空気加圧部8を幅76μ
m、深さ1μmとした。直径3.5”の磁気ディスクを
使用し、5400rpm、内外周でのスキューθを±1
3.1゜とし、スライダの中心に3gの荷重を与えた。
図13に示されるように、本実施例のスライダの浮上高
はディスク全域にわたりほぼ一定であり、従来一般的に
使用されてきたテーパーフラットスライダ、あるいはト
ライレールスライダに比して格段に優れた浮上特性を持
ち、TPCスライダと同等である。
【0018】また、TPCスライダの場合、図14に示
す非対称な横方向の空気加圧部75,76,77,78
を両外側ABSに有しており、スライダ幅方向の圧力中
心とスライダ重心がずれてしまい幅方向の浮上高変動が
大きい。本実施例のスライダでは、TPCスライダと異
なり、浮上力を生じる外側ABSの外側に横方向空気加
圧部を持たないため、ローリングに対する安定性は高
い。そのため、空気加圧部の幅と深さはスライダ寸法の
許す限り大きく設定でき、従って、その優れた浮上特性
を維持するために必要な加工精度を低く設定でき、浮上
特性の優れたスライダを安価に提供できる。
【0019】例えば、第1実施例の形状において、スラ
イダの外形を長さ2.5mm、幅1.5mm、外側ABS
4、5及び中央ABS6の幅を183μm、中央ABS
6のディスク内周側の一段低い空気加圧部7を幅450
μm、深さ2μm、空気加圧部8を幅310μm、深さ
2μmとしたスライダについて、前記条件の下で浮上高
の計算機シミュレーション結果は、図13の実線72と
ほぼ一致した。このときの幅と深さに関する要求精度
は、深さ1μmの場合の約1/2となる。
【0020】(第2実施例)本発明の第2実施例を図面
を参照しながら説明する。図4は本発明の第2実施例に
おける磁気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図
である。図4において、スライダ1の浮上面の外側の浮
上レールに外側ABS13,14が形成されており、各
々浮上面の前端2から浮上面の後端3よりも前端寄りの
位置まで延びている。外側ABS13,14の前端部に
はテーパ部18,19が形成され、外側ABS13,1
4は前端2における幅を越えることのない幅を有する。
スライダ1のほぼ中央の浮上レールには、中央ABS1
5が、浮上面の前端2よりも後端寄りの位置から後端3
まで延びている。中央ABS15は後端3における幅を
越えることのないような幅を有し、2本の外側ABS1
3,14および中央ABS15は実質的に同一平面であ
る。中央ABS15の側方には、中央ABS15よりも
一段低い空気加圧部16,17が形成されており、中央
ABS15からの深さは4μm以下である。そのほかの
浮上面には溝部20が形成されており、外側ABS1
3,14と空気加圧部16,17とを分離している。1
2は磁気ギャップであり、中央ABS15の後端3に形
成されている。
【0021】図4に示すように、中央ABS15の側方
に配置される空気加圧部16,17は、少なくとも浮上
面後端を含む浮上面後端から200μm以上の長さがあ
れば、スキューθが生じたときの浮上力の低下を補うた
めの横方向空気加圧効果が得られる。また、中央ABS
15の先端の形についても、図4のようにエッジ部を丸
く落とすような若干の変更を施すことが可能である。
【0022】そのほかの浮上特性については第1実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【0023】(第3実施例)本発明の第3実施例を図面
を参照しながら説明する。図5は第3実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図5において、スライダ1の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ABS21,22が形成されており、各々浮上
面の前端2から浮上面の後端3よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ABS21,22の前端部にはテー
パ部26,27が形成され、外側ABS21,22は前
端2における幅を越えることのない幅を有する。スライ
ダ1のほぼ中央の浮上レールには、中央ABS23が、
浮上面の前端2よりも後端寄りの位置から後端3まで延
びている。中央ABS23は後端3における幅を越える
ことのないような幅を有し、2本の外側ABS21,2
2および中央ABS23は実質的に同一平面である。中
央ABS23の側方には、中央ABS23よりも一段低
い空気加圧部24,25が形成されており、中央ABS
23からの深さは4μm以下である。そのほかの浮上面
には溝部28が形成されており、外側ABS21,22
と空気加圧部24,25とを分離している。12は磁気
ギャップであり、中央ABS23の後端3に形成されて
いる。
【0024】この第3実施例では、外側ABSの幅は浮
上面前端2で広く、後端3で狭い点が第1実施例と異な
る。この構成により、スライダの先端が磁気ディスク上
で所望のピッチ角度で浮上するような圧力プロファイル
が得られ、ピッチング方向の振動が大となった場合にも
磁気ディスクとスライダ先端とが接触する確率が小さ
く、高い信頼性を有するスライダが得られる。
【0025】そのほかの浮上特性については第1実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【0026】(第4実施例)本発明の第4実施例を図面
を参照しながら説明する。図6は第4実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図6において、スライダ1の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ABS29,30が形成されており、各々浮上
面の前端2から浮上面の後端3よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ABS29,30は前端2における
幅を越えることのない幅を有する。スライダ1のほぼ中
央の浮上レールには、中央ABS31が、浮上面の前端
2から後端3まで延びている。中央ABS31は後端3
における幅を越えることのないような幅を有し、2本の
外側ABS29,30および中央ABS31は実質的に
同一平面である。外側ABS29,30と中央ABS3
1の前端部にはテーパ部34,35,36が形成され、
中央ABS31の側方には、中央ABS31よりも一段
低い空気加圧部32,33が形成されており、中央AB
S31からの深さは4μm以下である。そのほかの浮上
面には溝部37,38が形成されており、外側ABS2
9,30と空気加圧部32,33とを分離している。1
2は磁気ギャップであり、中央ABS31の後端3に形
成されている。
【0027】第4実施例では、第3実施例のスライダと
異なり、中央ABS31が浮上面の前端2から後端3ま
で形成されている。ただし、中央ABS31の前端2に
近い部分の幅は後端3での幅よりも狭く、浮上力に影響
を与えるほど大きな浮上力を発生しない。そのため、ピ
ッチング、ローリングに対する安定性は第3実施例と実
質的に同等である。ただ、中央ABS31が浮上面前端
2まで延びているため、磁気ディスクと接触する外即A
BS29,30及び中央ABS31が、磁気ディスクに
対して角の立ったエッジを持たない。そのため、磁気デ
ィスクとスライダが接触した場合でも、磁気ディスクを
損傷する可能性がより小さくなり、より高い信頼性をも
持つスライダを提供できる。
【0028】そのほかの浮上特性については第1実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【0029】(第5実施例)本発明の第5実施例を図面
を参照しながら説明する。図7は第5実施例における磁
気ヘッドスライダの浮上面の形状を示す底面図である。
図7において、スライダ1の浮上面の外側の浮上レール
に、外側ABS39,40が形成されており、各々浮上
面の前端2から浮上面の後端3よりも前端寄りの位置ま
で延びている。外側ABS39,40は前端2における
幅を越えることのない幅を有する。スライダ1のほぼ中
央の浮上レールには、中央ABS41が、浮上面の前端
2から後端3まで延びている。中央ABS41は後端3
における幅を越えることのないような幅を有し、2本の
外側ABS39,40および中央ABS41は実質的に
同一平面である。外側ABS39,40と中央ABS4
1の前端部にはテーパ部46,47,48が形成され、
中央ABS41の側方には、中央ABS41よりも一段
低い空気加圧部42,43が形成されており、中央AB
S41からの深さは4μm以下である。そのほかの浮上
面には溝部49、50が形成されており、外側ABS3
9,40と空気加圧部42,43を分離している。12
は磁気ギャップであり、中央ABS41の後端3に形成
されている。外側ABS39,40と浮上面の後端3と
の間には、空気加圧部42,43と同じ深さの段差部4
4,45が形成されている。
【0030】段差部44,45は4μm以下の段差であ
るため、段差部44,45の外側ABS39,40との
境界近くの部分には負圧力が発生する。そのため、垂直
方向及びローリング方向の剛性が改善され、スライダを
小型化した場合にもピッチング、ローリングに対してよ
り安定となる。
【0031】そのほかの浮上特性については第1実施例
と実質的に同一であり、説明を省略する。
【0032】なお、本発明の思想を逸脱する事なく、本
発明の実施例に幾多の変更を施すことができる。
【0033】
【発明の効果】以上述べたように、本発明は、磁気ディ
スク表面に対向する浮上面に、浮上面の前端から浮上面
の後端よりも前端寄りの位置まで延びる2本の外側空気
ベアリング面と、磁気ヘッドスライダのほぼ中央に位置
し、浮上面後端まで延びる一本の中央空気ベアリング面
を備えた磁気ヘッドスライダであって、その中央空気ベ
アリング面にのみ、中央空気ベアリング面の後端を含む
少なくとも後端から200μm以上の長さにわたる周囲
に、4μm以下の微小な一段低い空気加圧部を設ける。
上記の構成により、ディスク全域で浮上高が一定であ
り、スライダを小型化した場合でもピッチング、ローリ
ングに対する安定性の低下は最小限に抑えられる。さら
に、その優れた浮上特性を維持するために必要な加工精
度を低く設定できるため、浮上特性の優れた磁気ヘッド
スライダを安価に提供できる。したがって本発明は産業
上の利用価値が高いものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例における磁気ヘッドスライ
ダを示す斜視図
【図2】本発明の第1実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図3】本発明の第1実施例の磁気ヘッドスライダの各
ABSの幅方向中心部の長さ方向の圧力プロファイルを
示す図
【図4】本発明の第2実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図5】本発明の第3実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図6】本発明の第4実施例における磁気ヘッドスライ
ダの浮上面の形状を示す底面図
【図7】本発明の第5実施例の磁気ヘッドスライダの浮
上面の形状を示す底面図
【図8】従来の磁気ヘッドスライダの第1例の浮上面の
形状を示す底面図
【図9】従来の磁気ヘッドスライダの第2例の浮上面の
形状を示す底面図
【図10】従来の磁気ヘッドスライダの各ABSの圧力
プロファイルの断面図
【図11】回転形アクチュエータを有する固定磁気ディ
スク装置の模式図
【図12】スキューθ≠0のときの空気流と磁気ヘッド
スライダの関係を示す図
【図13】磁気ヘッドスライダの磁気ディスク半径位置
による浮上高変化を示すグラフ
【図14】従来の磁気ヘッドスライダの第3例の浮上面
の形状を示す底面図
【符号の説明】
1 スライダ 2 前端 3 後端 4,5 外側ABS 6 中央ABS 7,8 空気加圧部 9,10 テーパ部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁気ディスク表面に対向する浮上面に、前
    端、後端、空気ベアリング面を有し、前記浮上面の前端
    から前記浮上面の後端よりも前端寄りの位置まで延びる
    2本の外側空気ベアリング面と、前記外側空気ベアリン
    グ面の内側に、前記浮上面の前端あるいは前端よりも後
    端寄りの位置から後端まで延びる一本の中央空気ベアリ
    ング面とを有し、前記外側空気ベアリング面は前記外側
    空気ベアリング面の前端における幅を越えることのない
    ような幅を有し、前記中央空気ベアリング面は前記中央
    空気ベアリング面の後端における幅を越えることのない
    ような幅を有し、前記外側空気ベアリング面は前端にテ
    ーパ部あるいは2μm以下の微小な一段低い段差部から
    なる空気加圧領域を有し、2本の前記外側空気ベアリン
    グ面と前記中央空気ベアリング面は実質的に同一平面で
    ある磁気ヘッドスライダであって、前記中央空気ベアリ
    ング面にのみ、前記中央空気ベアリング面の後端を含む
    後端から少なくとも200μm以上の長さにわたって、
    前記中央空気ベアリング面の周囲に4μm以下の微小な
    一段低い第2の段差部からなる空気加圧部を有すること
    を特徴とする磁気ヘッドスライダ。
  2. 【請求項2】前記外側空気ベアリング面と前記浮上面の
    後端との間に、4μm以下の微小な一段低い段差部から
    なる負圧力発生部を有する請求項1記載の磁気ヘッドス
    ライダ。
  3. 【請求項3】前記外側空気ベアリング面及び前記中央空
    気ベアリング面の幅がほぼ同一の幅を有する請求項1ま
    たは請求項2記載の磁気ヘッドスライダ。
  4. 【請求項4】前記中央空気ベアリング面の内周側の一段
    低い空気加圧部の幅が外周側の一段低い空気加圧部の幅
    より広い請求項1記載の磁気ヘッドスライダ。
  5. 【請求項5】前記中央空気ベアリング面の周囲の空気加
    圧部の幅がその深さが深いほど幅が広い事を特長とする
    請求項1記載の磁気ヘッドスライダ。
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