JP2668708B2 - 浮動ヘッドスライダ - Google Patents
浮動ヘッドスライダInfo
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- JP2668708B2 JP2668708B2 JP63152039A JP15203988A JP2668708B2 JP 2668708 B2 JP2668708 B2 JP 2668708B2 JP 63152039 A JP63152039 A JP 63152039A JP 15203988 A JP15203988 A JP 15203988A JP 2668708 B2 JP2668708 B2 JP 2668708B2
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置等、走行する記録媒体面
上を微小な浮上すきまで浮上する浮動ヘッドスライダに
係り、特に浮上特性の良好で、大量生産に好適な、浮動
ヘッドスライダに関する。
上を微小な浮上すきまで浮上する浮動ヘッドスライダに
係り、特に浮上特性の良好で、大量生産に好適な、浮動
ヘッドスライダに関する。
従来の磁気ディスク装置用浮動ヘッドスライダは、特
公昭57−569号公報に記載のように、スライダの両側部
に平面部と気体流入側に傾斜面部を有する一対の気体軸
受レールを設けたいわゆるテーパフラット形スライダが
使われている。両気体軸受レールの間は気体軸受作用を
発生しないだけ十分な深さに削ったブリード部となって
いる。
公昭57−569号公報に記載のように、スライダの両側部
に平面部と気体流入側に傾斜面部を有する一対の気体軸
受レールを設けたいわゆるテーパフラット形スライダが
使われている。両気体軸受レールの間は気体軸受作用を
発生しないだけ十分な深さに削ったブリード部となって
いる。
従来スライダの加工方法は、ブリート部がスライサー
などの機械研削加工であり、一方傾斜面はラッピング加
工などの複数の加工法を併用しており、量産性の点で問
題があった。また、目標の浮上量が、装置の高密度化に
対応して微小化し、スライダの各寸法交差による浮上量
のバラツキも小さく押さえる必要がある。具体的に寸法
公差をミクロンメータ単位で管理することは先の研削な
どの機械加工ではむずかしく、また、加工中に欠けなど
を生じやすく問題となっていた。
などの機械研削加工であり、一方傾斜面はラッピング加
工などの複数の加工法を併用しており、量産性の点で問
題があった。また、目標の浮上量が、装置の高密度化に
対応して微小化し、スライダの各寸法交差による浮上量
のバラツキも小さく押さえる必要がある。具体的に寸法
公差をミクロンメータ単位で管理することは先の研削な
どの機械加工ではむずかしく、また、加工中に欠けなど
を生じやすく問題となっていた。
以上、従来の方法では量産性、高精度化などの点が考
慮されていなかった。
慮されていなかった。
上記従来技術は、加工の高精度化による浮上量バラツ
キの低減と、量産性の点について配慮がされておらず、
低浮上量化、スライダの小形化に関して問題であった。
また、スライダ起動時の鏡面化された記録媒体面との接
触摩擦低減について考慮されていないため、この点から
も浮上特性が不充分である問題があった。
キの低減と、量産性の点について配慮がされておらず、
低浮上量化、スライダの小形化に関して問題であった。
また、スライダ起動時の鏡面化された記録媒体面との接
触摩擦低減について考慮されていないため、この点から
も浮上特性が不充分である問題があった。
本発明の目的は、浮上特性が良好で、高精度に量産性
良くつくることのできる浮動ヘッドスライダを提供する
ことにある。
良くつくることのできる浮動ヘッドスライダを提供する
ことにある。
上記目的を達成するため本発明は、回転する記録媒体
に対向して配置されたスライダと、該スライダの前記記
録媒体との対向面に形成され該記録媒体の回転に伴う気
体流により発生する正の圧力によりスライダを浮上させ
る一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸受レール間
に該気体軸受レール面より窪んで形成されたブリード部
とを備えた浮動ヘッドスライダにおいて、前記ブリード
部の気体流と直交する断面積が、気体流入側は気体流出
側より小さく形成され、前記一対の気体軸受レール面の
気体流入側端部に凹部であるステップ軸受部が形成され
ていることを特徴とする浮動ヘッドスライダである。
に対向して配置されたスライダと、該スライダの前記記
録媒体との対向面に形成され該記録媒体の回転に伴う気
体流により発生する正の圧力によりスライダを浮上させ
る一対の気体軸受レールと、該一対の気体軸受レール間
に該気体軸受レール面より窪んで形成されたブリード部
とを備えた浮動ヘッドスライダにおいて、前記ブリード
部の気体流と直交する断面積が、気体流入側は気体流出
側より小さく形成され、前記一対の気体軸受レール面の
気体流入側端部に凹部であるステップ軸受部が形成され
ていることを特徴とする浮動ヘッドスライダである。
前記ステップ軸受部は、気体流入側より流出方向に漸
次幅狭に形成されているのがよい。また、前記一対の気
体軸受レールは気体流出側端部が幅広に形成され、この
幅広に形成された端面にトランスデューサが設けられて
いるものでもよい。
次幅狭に形成されているのがよい。また、前記一対の気
体軸受レールは気体流出側端部が幅広に形成され、この
幅広に形成された端面にトランスデューサが設けられて
いるものでもよい。
スライダの記録媒体との対向面の気体流入側端部に気
体軸受レール面より突出する凸部を設けるのがよい。こ
の凸部は、耐摺動性の薄膜をステップ軸受部の周縁に設
けるのがよい。あるいは、ブリード部の気体流入側に前
記断面積を小さくする堰を設け、該堰に耐摺動性の薄膜
から成る前記凸部を設けてもよい。
体軸受レール面より突出する凸部を設けるのがよい。こ
の凸部は、耐摺動性の薄膜をステップ軸受部の周縁に設
けるのがよい。あるいは、ブリード部の気体流入側に前
記断面積を小さくする堰を設け、該堰に耐摺動性の薄膜
から成る前記凸部を設けてもよい。
また、上記の他に、回転する記録媒体に対向して配置
されたスライダと、該スライダの前記記録媒体との対向
面に形成され該記録媒体の回転に伴う気体流により発生
する正の圧力によりスライダを浮上させる一対の気体軸
受レールと、該一対の気体軸受レール間に該気体軸受レ
ール面より窪んで形成されたブリード部と、気体軸受レ
ール面の気体流入側に形成された傾斜面とを備えた浮動
ヘッドスライダにおいて、前記ブリード部の気体流入側
に、気体流と直交する断面積を気体流出側より小さくす
る堰を設け、該堰に気体軸受レール面より突出し、耐摺
動性の薄膜から成る凸部を設けたものである。尚ここ
で、前記凸部に代えて、堰自体を背高に形成して該堰に
前記凸部を兼用させてもよいことを特徴とする浮動ヘッ
ドスライダ。
されたスライダと、該スライダの前記記録媒体との対向
面に形成され該記録媒体の回転に伴う気体流により発生
する正の圧力によりスライダを浮上させる一対の気体軸
受レールと、該一対の気体軸受レール間に該気体軸受レ
ール面より窪んで形成されたブリード部と、気体軸受レ
ール面の気体流入側に形成された傾斜面とを備えた浮動
ヘッドスライダにおいて、前記ブリード部の気体流入側
に、気体流と直交する断面積を気体流出側より小さくす
る堰を設け、該堰に気体軸受レール面より突出し、耐摺
動性の薄膜から成る凸部を設けたものである。尚ここ
で、前記凸部に代えて、堰自体を背高に形成して該堰に
前記凸部を兼用させてもよいことを特徴とする浮動ヘッ
ドスライダ。
気体軸受レールの気体流入側に設けたステップ軸受部
は、記録媒体の回転による気体流の粘性により、気体軸
受作用を起こし、正の圧力を発生する。このステップ軸
受部の片側又は両側を囲む構造により、段差部での急激
な圧縮によるサイドフローを減少でき、軸受作用を高め
ることができる。また、ステップ軸受溝幅は気体の流れ
方向に漸次幅狭となる先細りの形状にすることにより、
軸受作用はさらに改善される。
は、記録媒体の回転による気体流の粘性により、気体軸
受作用を起こし、正の圧力を発生する。このステップ軸
受部の片側又は両側を囲む構造により、段差部での急激
な圧縮によるサイドフローを減少でき、軸受作用を高め
ることができる。また、ステップ軸受溝幅は気体の流れ
方向に漸次幅狭となる先細りの形状にすることにより、
軸受作用はさらに改善される。
一方、一対の気体軸受レールの間のブリード部の気体
流入側の窪み実断面積を、流出側よりも小さくすること
により、ブリード部を流れる気体は拡大流れの成分を持
つため負圧の発生領域を作る。これにより、従来、窪み
深さを浅くすると軸受作用により正の圧力を発生してい
たが、この正の圧力の発生を抑制できるため、窪み深さ
を浅くすることができる。また、ステップ軸受部とブリ
ード部の各々の窪み面を、気体軸受レール面と平行にす
ることによって、レーザ誘起エッチング法などの単一の
非機械加工で、浮上面形状を加工することが可能とな
る。以上により、浮上特性の良好な浮動ヘッドスライダ
を、高精度に量産性良く作ることが可能となる。
流入側の窪み実断面積を、流出側よりも小さくすること
により、ブリード部を流れる気体は拡大流れの成分を持
つため負圧の発生領域を作る。これにより、従来、窪み
深さを浅くすると軸受作用により正の圧力を発生してい
たが、この正の圧力の発生を抑制できるため、窪み深さ
を浅くすることができる。また、ステップ軸受部とブリ
ード部の各々の窪み面を、気体軸受レール面と平行にす
ることによって、レーザ誘起エッチング法などの単一の
非機械加工で、浮上面形状を加工することが可能とな
る。以上により、浮上特性の良好な浮動ヘッドスライダ
を、高精度に量産性良く作ることが可能となる。
また、気体軸受レール面よりわずかに突出する凸部
は、スライダと記憶媒体面との接触面積を小さくし、以
って接触摩擦を低減する。
は、スライダと記憶媒体面との接触面積を小さくし、以
って接触摩擦を低減する。
前記の如く、ステップ軸受部を設けないで、傾斜面と
したものでも、前記ブリード部及び凸部が前記と同様の
作用をなす。
したものでも、前記ブリード部及び凸部が前記と同様の
作用をなす。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説
明する。平面よりなる気体軸受レール３がスライダ１の
浮上面の両サイドに配置され、気体軸受レール３の流出
端にトランスデューサ２が取り付けられている。気体軸
受レール３は、気体の流入側に、深さD1（通常10〜20μ
ｍ）のステップ軸受溝４を有している。ステップ軸浮溝
４は両側に壁を持ち、流入側の幅ｃより流出側の幅ｄを
小さくした先細りの形状としている。一方、気体軸受レ
ール３の間に、深さD2のブリード部５が設けられてい
る。深さD2の値は、10〜20μｍ程度であり、従来の値で
ある80〜200μｍより小さく形成されている。このブリ
ード部５の流入側の幅ａは流出側の幅ｂに対し、ａ＜ｂ
の関係とし、連続的に変化した構成となっている。
明する。平面よりなる気体軸受レール３がスライダ１の
浮上面の両サイドに配置され、気体軸受レール３の流出
端にトランスデューサ２が取り付けられている。気体軸
受レール３は、気体の流入側に、深さD1（通常10〜20μ
ｍ）のステップ軸受溝４を有している。ステップ軸浮溝
４は両側に壁を持ち、流入側の幅ｃより流出側の幅ｄを
小さくした先細りの形状としている。一方、気体軸受レ
ール３の間に、深さD2のブリード部５が設けられてい
る。深さD2の値は、10〜20μｍ程度であり、従来の値で
ある80〜200μｍより小さく形成されている。このブリ
ード部５の流入側の幅ａは流出側の幅ｂに対し、ａ＜ｂ
の関係とし、連続的に変化した構成となっている。
本実施例によれば、ステップ軸受溝４を有する気体軸
受レール３は、ステップ状の軸受を形成し気体流の粘性
により、正の浮上力を発生する。本実施例の如く両側が
囲まれている場合、ステップの段差部の急激な圧縮によ
るサイドフローを小さく押さえることができ、またステ
ップ軸受溝４の幅をｃ＞ｄとすることにより、気体は進
むにつれ幅方向にも圧縮されるため、なめらかな圧力上
昇を得て、良好な浮上特性を得る。一方、ブリード部５
の幅をａ＜ｂとし、窪みの実断面積を流入側より流出側
を大きくとっているため、ブリード部５を流れる気体は
拡大流れの成分を持つことになり、負の圧力の発生領域
をつくる。これにより、従来のように窪み幅ａ＝ｂとし
て深さD2を浅くした場合、軸受作用により正の圧力が発
生していたが、その正の圧力の発生を簡単に抑制でき
る。第３図にブリード部５の深さD2と浮上量の増加の関
係を示す。本発明のスライダでは窪み断面積の変化を調
整することにより、深さD2を浅くしても浮上量の増加が
ほとんどなく、従来形に比べて安定であることがわか
る。
受レール３は、ステップ状の軸受を形成し気体流の粘性
により、正の浮上力を発生する。本実施例の如く両側が
囲まれている場合、ステップの段差部の急激な圧縮によ
るサイドフローを小さく押さえることができ、またステ
ップ軸受溝４の幅をｃ＞ｄとすることにより、気体は進
むにつれ幅方向にも圧縮されるため、なめらかな圧力上
昇を得て、良好な浮上特性を得る。一方、ブリード部５
の幅をａ＜ｂとし、窪みの実断面積を流入側より流出側
を大きくとっているため、ブリード部５を流れる気体は
拡大流れの成分を持つことになり、負の圧力の発生領域
をつくる。これにより、従来のように窪み幅ａ＝ｂとし
て深さD2を浅くした場合、軸受作用により正の圧力が発
生していたが、その正の圧力の発生を簡単に抑制でき
る。第３図にブリード部５の深さD2と浮上量の増加の関
係を示す。本発明のスライダでは窪み断面積の変化を調
整することにより、深さD2を浅くしても浮上量の増加が
ほとんどなく、従来形に比べて安定であることがわか
る。
さらに本構成にすることにより、レーザー誘起エッチ
ング法などの単一の非機械加工で、浮上面形状を加工す
ることができ、浮上特性が優れ、高精度加工により浮上
のバラツキの少ない、量産性に優れた浮動ヘッドスライ
ダを得ることができる。本実施例では、ステップ軸受溝
４の深さD1と、ブリード部５の深さD2をD1≠D2で表わし
ているが、形状の最適化によりD1＝D2とすることは可能
で、これにより加工は１工程で良くなりメリットが大き
い。
ング法などの単一の非機械加工で、浮上面形状を加工す
ることができ、浮上特性が優れ、高精度加工により浮上
のバラツキの少ない、量産性に優れた浮動ヘッドスライ
ダを得ることができる。本実施例では、ステップ軸受溝
４の深さD1と、ブリード部５の深さD2をD1≠D2で表わし
ているが、形状の最適化によりD1＝D2とすることは可能
で、これにより加工は１工程で良くなりメリットが大き
い。
第４図及び第５図は、本発明の他の実施例を示す。ス
テップ軸受溝４の幅を一定とし、ブリード部５の幅を一
ケ所でａからｂに拡げている。本構成でもほぼ同様な軸
受作用が得られ、製造性が改善される。
テップ軸受溝４の幅を一定とし、ブリード部５の幅を一
ケ所でａからｂに拡げている。本構成でもほぼ同様な軸
受作用が得られ、製造性が改善される。
第６図及び第７図は、本発明の他の実施例を示す。気
体軸受レール３の気体流出側が幅広に形成されて軸受レ
ール拡大部６を設けている。これは、流出端にトランス
デューサ２の搭載を容易にするためである。尚、本拡大
部６によってブリード部５による軸受作用はごく少なく
問題とならない。
体軸受レール３の気体流出側が幅広に形成されて軸受レ
ール拡大部６を設けている。これは、流出端にトランス
デューサ２の搭載を容易にするためである。尚、本拡大
部６によってブリード部５による軸受作用はごく少なく
問題とならない。
第８図及び第９図は、本発明の他の実施例を示す。軸
受レール拡大部６の領域を大きくして、この部分の軸受
作用が無視できなくなった場合、ブリード部第２窪み７
（深さD3）を設ける。これにより該窪み７の部分におけ
る気体の拡がり流れによって生じる負圧と前記軸受作用
とが打ち消しあいキャンセルされる。
受レール拡大部６の領域を大きくして、この部分の軸受
作用が無視できなくなった場合、ブリード部第２窪み７
（深さD3）を設ける。これにより該窪み７の部分におけ
る気体の拡がり流れによって生じる負圧と前記軸受作用
とが打ち消しあいキャンセルされる。
第10図及び第11図は、本発明の他の実施例を示す。気
体軸受レール３のステップ軸受溝４に耐摺動性に優れた
セラミックなど（たとえばSiC）の薄膜から成るデポジ
ット膜８を設け、このデポジット膜８の厚さｈを含めて
ステップ軸受溝４の深さD1を形成した例である。この実
施例によれば、記録媒体の停止時の該媒体とスライダの
触媒に伴う水分、潤滑剤等による吸着力を軽減でき、接
触摩擦を低減でき、良好な起動及び停止が行なえる。
体軸受レール３のステップ軸受溝４に耐摺動性に優れた
セラミックなど（たとえばSiC）の薄膜から成るデポジ
ット膜８を設け、このデポジット膜８の厚さｈを含めて
ステップ軸受溝４の深さD1を形成した例である。この実
施例によれば、記録媒体の停止時の該媒体とスライダの
触媒に伴う水分、潤滑剤等による吸着力を軽減でき、接
触摩擦を低減でき、良好な起動及び停止が行なえる。
第12図及び第13図は、本発明の他の実施例である。ス
テップ軸受溝４をデポジット膜８のみにより形成した例
である。
テップ軸受溝４をデポジット膜８のみにより形成した例
である。
第14図及び第15図は、本発明の他の実施例であるブリ
ード部５の流入側にブリード部５の気体流と直交する断
面積を小さくする堰９を設け、ブリード部５の気体流入
側の実断面積を（a1＋a2）×D2と設定した例である。こ
の実施例ではブリード５の幅は全長にわたって一定
（ｂ）である。
ード部５の流入側にブリード部５の気体流と直交する断
面積を小さくする堰９を設け、ブリード部５の気体流入
側の実断面積を（a1＋a2）×D2と設定した例である。こ
の実施例ではブリード５の幅は全長にわたって一定
（ｂ）である。
第16図及び第17図は、本発明の他の実施例である。堰
９に、耐摺動性材料のデポジット膜８を設けた例であ
る。デポジット膜８の厚さｈは、浮上特性に影響しない
サブミクロンのオーダである。これにより接触時の吸着
力の軽減を可能にする例である。
９に、耐摺動性材料のデポジット膜８を設けた例であ
る。デポジット膜８の厚さｈは、浮上特性に影響しない
サブミクロンのオーダである。これにより接触時の吸着
力の軽減を可能にする例である。
以下、前記ステップ軸受部を設けず、その部分を傾斜
面部として形成した本発明の一実施例を第18図及び第19
図により説明する。スライダ１の浮上面の両サイドに配
置した流入側に傾斜面部10を有する一対の気体軸受レー
ル３をもつ、いわゆるテーパフラット形の浮動ヘッドス
ライダである。気体軸受レール３間のブリード部５の気
体流入端側に凸形状の堰９を設けている。この堰９の先
端部は、厚さｈのデポジット膜８よりなる。この先端は
気体軸受レール３の面よりｈだけ突びだして構成されて
いる。デポジット膜の厚さｈは、スライダ表面や記録媒
体表面の粗さより十分大きくする。すなわち、定常回転
時のスライダ流出端浮上量よりデポジット膜８の先端が
低浮上量になってはいけない。通常は浮上安定性を考慮
して流入端浮上量と流出端浮上量の差の1/3〜1/4程度に
とるのが望ましい。これは流出端浮上量が0.25μｍの場
合ｈ≒0.1μｍに相当する。
面部として形成した本発明の一実施例を第18図及び第19
図により説明する。スライダ１の浮上面の両サイドに配
置した流入側に傾斜面部10を有する一対の気体軸受レー
ル３をもつ、いわゆるテーパフラット形の浮動ヘッドス
ライダである。気体軸受レール３間のブリード部５の気
体流入端側に凸形状の堰９を設けている。この堰９の先
端部は、厚さｈのデポジット膜８よりなる。この先端は
気体軸受レール３の面よりｈだけ突びだして構成されて
いる。デポジット膜の厚さｈは、スライダ表面や記録媒
体表面の粗さより十分大きくする。すなわち、定常回転
時のスライダ流出端浮上量よりデポジット膜８の先端が
低浮上量になってはいけない。通常は浮上安定性を考慮
して流入端浮上量と流出端浮上量の差の1/3〜1/4程度に
とるのが望ましい。これは流出端浮上量が0.25μｍの場
合ｈ≒0.1μｍに相当する。
本実施例によれば、ブリード部５の流入端側に設けら
れたデポジット膜８が気体軸受レール３の面よりｈだけ
飛びだしているため、記録媒体停止時、このデポジット
膜８と気体軸受レール３の流出端部で記録媒体と接触す
ることになり、従来形テーパフラットスライダに比べて
大幅に両者の接触面が低減できる。この結果、起動時の
固体接触、又は水分、潤滑油などの吸着に起因する接触
摩擦を低減でき良好な浮上特性を実現できる。また、堰
９及びデポジット膜８はブリード部５の中央部の気体流
入側に設けられているため、浮上中の浮上量変動に伴う
記録媒体との接触性は、スライダのローリング運動、ピ
ッチング運動など考えて、小さく押さえられていて良好
な浮上特性を示す。
れたデポジット膜８が気体軸受レール３の面よりｈだけ
飛びだしているため、記録媒体停止時、このデポジット
膜８と気体軸受レール３の流出端部で記録媒体と接触す
ることになり、従来形テーパフラットスライダに比べて
大幅に両者の接触面が低減できる。この結果、起動時の
固体接触、又は水分、潤滑油などの吸着に起因する接触
摩擦を低減でき良好な浮上特性を実現できる。また、堰
９及びデポジット膜８はブリード部５の中央部の気体流
入側に設けられているため、浮上中の浮上量変動に伴う
記録媒体との接触性は、スライダのローリング運動、ピ
ッチング運動など考えて、小さく押さえられていて良好
な浮上特性を示す。
第20図及び第21図は、本発明の他の実施例を示す。堰
９及びデポジット膜８は気体流れと直角方向に長尺に設
けられている。これによりブリード部５の気体流入側の
流れの断面積（2a×Ｄ）を流出端側の流れ断面積（bD）
より小さく設定することにより、ブリード部５に負の圧
力が発生する領域を作ることができブリード部５の深さ
Ｄを浅くでき、傾斜面10の加工を除き、スパッタリング
技術などで容易に作ることができる。
９及びデポジット膜８は気体流れと直角方向に長尺に設
けられている。これによりブリード部５の気体流入側の
流れの断面積（2a×Ｄ）を流出端側の流れ断面積（bD）
より小さく設定することにより、ブリード部５に負の圧
力が発生する領域を作ることができブリード部５の深さ
Ｄを浅くでき、傾斜面10の加工を除き、スパッタリング
技術などで容易に作ることができる。
第22図及び第23図は、本発明の他の実施例を示す。円
柱状の堰９を２ヶ並列に設けたもので、該堰９の先端
は、丸みを持たせ、記録媒体面との接触を良好にしてい
る。
柱状の堰９を２ヶ並列に設けたもので、該堰９の先端
は、丸みを持たせ、記録媒体面との接触を良好にしてい
る。
第24図及び第25図は、本発明の他の実施例を示す。第
17図に示した実施例の変形例で、デポジット膜８を設け
ず、堰９自体の高さを大きくして気体軸受レール３の面
よりｈだけ飛びださせて構成した例である。
17図に示した実施例の変形例で、デポジット膜８を設け
ず、堰９自体の高さを大きくして気体軸受レール３の面
よりｈだけ飛びださせて構成した例である。
本発明によれば、ブリード部を従来より浅く形成する
ことができること、ステップ軸受部が起動時の浮上圧を
発生させる気体軸作用をすることによって、浮上特性の
良好な浮動ヘッドスライダを得ることができる。
ことができること、ステップ軸受部が起動時の浮上圧を
発生させる気体軸作用をすることによって、浮上特性の
良好な浮動ヘッドスライダを得ることができる。
ステップ軸受部の漸次幅狭（先細り）形状により、ス
ライダを一層浮上しやすくできる。
ライダを一層浮上しやすくできる。
ブリード部の断面積を変化させたことによって、正圧
が発生しない範囲で、気体流出端の気体軸受レールの幅
を大きくでき、以って、トランスデューサの取り付けを
容易かつ強固にできる。
が発生しない範囲で、気体流出端の気体軸受レールの幅
を大きくでき、以って、トランスデューサの取り付けを
容易かつ強固にできる。
凸部を設ければ接触面積が小さくなって起動特性を良
好にすることができる。
好にすることができる。
堰によってブリード部の気体流入側断面積を流出側よ
り小さくし、この堰に薄膜からなる凸部を設けたものも
同様の効果が得られる。
り小さくし、この堰に薄膜からなる凸部を設けたものも
同様の効果が得られる。
前記ステップ軸受部を設けず、代わりに傾斜面部を有
するスライダでも、製造上その傾斜面の製造にラッピン
グ加工等が必要となる点は除いて、前記のものと同様の
浮上特性を得ることができる。
するスライダでも、製造上その傾斜面の製造にラッピン
グ加工等が必要となる点は除いて、前記のものと同様の
浮上特性を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図はその正面
図、第３図はブリード部窪み深さと浮上量の増加の関係
を示す説明図、第４図、第６図、第８図、第10図、第12
図、第14図、第16図は、本発明のそれぞれ異なる他の実
施例を示す正面図を示し、第５図、第７図、第９図、第
11図、第13図、第15図、第17図はそれぞれの正面図、第
18図は本発明の他実施例の斜視図、第19図は、その側面
図、第20図は本発明の他の実施例の平面図、第21図はそ
の正面図、第22図は本発明の他の実施例の斜視図、第23
図はその側面図、第24図は本発明の他の実施例の斜視
図、第25図はその側面図を示す。 １……スライダ、９……堰、 ２……トランスデューサ、10……傾斜面、 ３……気体軸受レール、 ４……ステップ軸受溝、 ５……ブリード部、 ６……軸受レール拡大部、 ７……ブリード部第２窪み、 ８……デポジット膜（薄膜）。
図、第３図はブリード部窪み深さと浮上量の増加の関係
を示す説明図、第４図、第６図、第８図、第10図、第12
図、第14図、第16図は、本発明のそれぞれ異なる他の実
施例を示す正面図を示し、第５図、第７図、第９図、第
11図、第13図、第15図、第17図はそれぞれの正面図、第
18図は本発明の他実施例の斜視図、第19図は、その側面
図、第20図は本発明の他の実施例の平面図、第21図はそ
の正面図、第22図は本発明の他の実施例の斜視図、第23
図はその側面図、第24図は本発明の他の実施例の斜視
図、第25図はその側面図を示す。 １……スライダ、９……堰、 ２……トランスデューサ、10……傾斜面、 ３……気体軸受レール、 ４……ステップ軸受溝、 ５……ブリード部、 ６……軸受レール拡大部、 ７……ブリード部第２窪み、 ８……デポジット膜（薄膜）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村主 文隆 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社 日立製作所機械研究所内 (72)発明者 大東 宏 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭59−3744（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−231481（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−79216（ＪＰ，Ａ)
Claims (8)
- 【請求項１】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダと、該スライダの前記記録媒体との対向面に形成
され該記録媒体の回転に伴う気体流により発生する正の
圧力によりスライダを浮上させる一対の気体軸受レール
と、該一対の気体軸受レール間に該気体軸受レール面よ
り窪んで形成されたブリード部とを備えた浮動ヘッドス
ライダにおいて、 前記ブリード部の気体流と直交する断面積が、気体流入
側は気体流出側より小さく形成され、 前記一対の気体軸受レール面の気体流入側端部に凹部で
あるステップ軸受部が形成されていることを特徴とする
浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項２】前記ステップ軸受部は、気体流入側より流
出方向に漸次幅狭に形成されている請求項１記載の浮動
ヘッドスライダ。 - 【請求項３】前記一対の気体軸受レールは気体流出側端
部が幅広に形成され、この幅広に形成された端面にトラ
ンスデューサが設けられている請求項１又は２記載の浮
動ヘッドスライダ。 - 【請求項４】スライダの記録媒体との対向面の気体流入
側端部に気体軸受レール面より突出する凸部を設けたこ
とを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の浮動ヘ
ッドスライダ。 - 【請求項５】凸部は、耐摺動性の薄膜をステップ軸受部
の周縁に設けたものである請求項４記載の浮動ヘッドス
ライダ。 - 【請求項６】ブリード部の気体流入側に前記断面積を小
さくする堰を設け、該堰に耐摺動性の薄膜から成る前記
凸部を設けたことを特徴とする請求項４記載の浮動ヘッ
ドスライダ。 - 【請求項７】回転する記録媒体に対向して配置されたス
ライダと、該スライダの前記記録媒体との対向面に形成
され該記録媒体の回転に伴う気体流により発生する正の
圧力によりスライダを浮上させる一対の気体軸受レール
と、該一対の気体軸受レール間に該気体軸受レール面よ
り窪んで形成されたブリード部と、気体軸受レール面の
気体流入側に形成された傾斜面とを備えた浮動ヘッドス
ライダにおいて、 前記ブリード部の気体流入側に、気体流と直交する断面
積を気体流出側より小さくする堰を設け、該堰に気体軸
受レール面より突出し、耐摺動性の薄膜から成る凸部を
設けたことを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項８】請求項７に記載の凸部に代えて、堰自体を
背高に形成して前記凸部を兼用させた浮動ヘッドスライ
ダ。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP63152039A JP2668708B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 浮動ヘッドスライダ |
| US07/367,662 US4984114A (en) | 1988-06-20 | 1989-06-19 | Flying head slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63152039A JP2668708B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 浮動ヘッドスライダ |
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|---|---|
| JPH01319188A JPH01319188A (ja) | 1989-12-25 |
| JP2668708B2 true JP2668708B2 (ja) | 1997-10-27 |
Family
ID=15531722
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP63152039A Expired - Fee Related JP2668708B2 (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 浮動ヘッドスライダ |
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| EP0452846B1 (en) | 1990-04-16 | 1996-02-28 | Hitachi, Ltd. | Narrow track thin film magnetic head and fabrication method thereof |
| US5343343A (en) * | 1990-05-25 | 1994-08-30 | Seagate Technology, Inc. | Air bearing slider with relieved rail ends |
| US5210666A (en) * | 1990-05-25 | 1993-05-11 | Seagate Technology, Inc. | Self-loading air bearing slider with a relieved leading edge |
| US5196973A (en) * | 1990-05-25 | 1993-03-23 | Seagate Technology, Inc. | Negative pressure air bearing slider having isolation channels which terminate prior to trailing edge |
| US5218494A (en) * | 1990-05-25 | 1993-06-08 | Seagate Technology, Inc. | Negative pressure air bearing slider having isolation channels with edge step |
| JPH04228157A (ja) * | 1990-07-13 | 1992-08-18 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドスライダ |
| JP2568011B2 (ja) * | 1991-07-23 | 1996-12-25 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘツド |
| JPH0724096B2 (ja) * | 1992-05-29 | 1995-03-15 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気ヘッドの加工方法 |
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| US5424888A (en) * | 1993-06-24 | 1995-06-13 | International Business Machines Corp. | Speed independent, air bearing slider |
| JPH0721717A (ja) * | 1993-06-24 | 1995-01-24 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 速度および斜行依存性のないエア・ベアリング・スライダ |
| FR2709856B1 (fr) * | 1993-09-06 | 1995-10-20 | Commissariat Energie Atomique | Patin de vol à profil perfectionné. |
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| US6606222B1 (en) | 1998-09-21 | 2003-08-12 | Seagate Technology Llc | Convergent channel, trenched disc head slider |
| US6587308B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-07-01 | Seagate Technology, Llc | Disc head slider having profiled convergent channel features |
| US6304418B1 (en) | 1999-02-11 | 2001-10-16 | Seagate Technology Llc | Enhanced durability ultra-low-flying-height sliders |
| US6330133B1 (en) | 1999-04-22 | 2001-12-11 | International Business Machines Corporation | Trailing edge rail shaping |
| US6344948B1 (en) | 1999-09-23 | 2002-02-05 | Seagate Technology Llc | Padded disc head slider having shallow load point for reduced tipping |
| US6504682B1 (en) | 1999-12-02 | 2003-01-07 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having recessed, channeled rails for reduced stiction |
| US6490135B1 (en) | 1999-12-02 | 2002-12-03 | Seagate Technology Llc | Disc drive assembly having side rail-channeled air bearing for ramp load-unload applications |
| US6515831B1 (en) | 2000-01-11 | 2003-02-04 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having leading and trailing channeled rails for enhanced damping |
| US6510027B1 (en) | 2000-02-11 | 2003-01-21 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having highly damped bearing with multiple pressure gradiant-generating pads |
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| US6639755B2 (en) | 2000-05-25 | 2003-10-28 | Seagate Technology Llc | Dual center pad air bearing for improved flyability and alumina sensitivity |
| US6661611B1 (en) | 2000-10-04 | 2003-12-09 | Seagate Technology Llc | Funneled trench AAB increased contact stiffness and enhanced take-off performance |
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| US6989965B2 (en) | 2002-11-07 | 2006-01-24 | Seagate Technology Llc | Head slider having tilted protrusions for ramp load-unload applications |
| US7106556B2 (en) | 2003-06-24 | 2006-09-12 | Seagate Technology Llc | Slider configured for rapid bearing stabilization during ramp load operations |
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| US8248729B2 (en) * | 2006-11-16 | 2012-08-21 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. | Slider with hook-shaped air compression mechanisms near trailing edge corners |
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| US10801679B2 (en) | 2018-10-08 | 2020-10-13 | RAB Lighting Inc. | Apparatuses and methods for assembling luminaires |
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| JPS5960760A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-06 | Toshiba Corp | 浮動ヘツドスライダ |
| US4734803A (en) * | 1986-03-20 | 1988-03-29 | International Business Machines | Magnetic head air bearing slider |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP63152039A patent/JP2668708B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-06-19 US US07/367,662 patent/US4984114A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4984114A (en) | 1991-01-08 |
| JPH01319188A (ja) | 1989-12-25 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |