JPWO2002086892A1 - ヘッドスライダ - Google Patents

Abstract

空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、空気流入端に隣接してディスク対向面に形成された、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有するフロントレールと、空気流出端に隣接してディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のリアレールを含んでいる。ヘッドスライダはさらに、フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させるフロントレールの下流側に形成された溝と、リアレールの一方が位置する空気流出端に形成されたトランスデューサと、フロントレール上及び一対のリアレールの少なくとも一方に形成された複数のパッドとを含んでいる。各パッドは空気流入端側の高さが空気流出端側の高さより高い所定の傾斜角の傾斜先端面を有している。

Description

技術分野
本発明はディスク装置用ヘッドスライダに関する。
背景技術
近年、コンピュータ用外部記憶装置の一種である磁気ディスク装置の小型化及び大容量化が望まれている。磁気ディスク装置の大容量化のためには、スピンドルモータに取り付けられる磁気ディスクの枚数を増やすのが一つの方法であり、これに伴い最近の磁気ディスク装置ではディスクの実装間隔が小さくなってきている。最近の磁気ディスク装置ではコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式の浮上型磁気ヘッドスライダが用いられることが多い。ＣＳＳ方式の浮上型磁気ヘッドスライダでは、装置停止時には磁気ヘッドスライダが磁気ディスクに接触し、情報の記録再生時には高速回転する磁気ディスク表面に発生する空気流によって、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク表面と微小間隙を保って浮上する。
ＣＳＳ方式の浮上型磁気ヘッドスライダにおいては、磁気ディスク表面に発生する空気流を受ける磁気ヘッドスライダに電磁トランスデューサ（磁気ヘッド素子）が組み込まれており、磁気ヘッドスライダはサスペンションにより支持されている。よって、電磁トランスデューサの組み込まれた磁気ヘッドスライダは、磁気ディスクの回転が停止しているときには磁気ディスク表面に接し、磁気ディスクが回転すると、回転によって発生する空気流を浮上面に受けて浮上し、磁気ヘッドスライダに組み込まれた電磁トランスデューサはサスペンションにより支持されながら磁気ディスク面上を移動し、所定のトラックヘ情報の記録再生を行う。
従来より浮上型磁気ヘッドスライダを採用した磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスライダのディスク対向面側の左右両端に一対のレールが設けられている。各レールは平坦な空気ベアリング表面を有している。さらに、各レールの空気流入端側にはテーパ面が設けられており、磁気ディスクの高速回転により発生した空気流を空気ベアリング表面で受けて磁気ヘッドスライダが浮上し、磁気ディスク表面と電磁トランスデューサとの間の微小間隔を安定に維持する。
この方式は高い浮上安定性と微小な浮上量（サブミクロン）を確保できる反面、ディスク回転停止時にはディスクに磁気ヘッドスライダの空気ベアリング表面が接触し、磁気ディスク装置の起動時と停止時にディスクと空気ベアリング表面の摺動が起こる。このため、磁気ディスクの記録層上にはカーボン等の硬い材料からなる保護膜と、保護膜の摩擦・磨耗を低減してディスクの耐久性を向上させるための潤滑層が形成されている。潤滑層の存在により保護膜の摩擦・磨耗は低減するが、一方で装置停止時にディスクと磁気ヘッドスライダとの吸着（スティクション）が起こり装置が起動しない場合が生じてくる。
磁気ヘッドスライダとディスクの吸着の問題を防止するために、磁気ヘッドスライダの浮上面（空気ベアリング表面）に複数個のパッド（突起）を設けることにより、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク表面間の接触面積を小さく抑える技術が提案されている（例えば特開平８−６９６７４号）。従来の吸着防止用のパッドは、先端から根元まで同一の直径を有し磁気ヘッドスライダの空気ベアリング表面に対して直角に形成されている。また、吸着防止パッドが空気ベアリング表面よりも高さの低いステップ面に形成されている磁気ヘッドスライダもあるが、この場合には吸着防止パッドの高さは空気ベアリング表面よりわずかに高くなるように設定されている。
パッドの直径はパッドの磨耗を考えある直径以上に設定され、さらに摩擦係数を考えある直径以下に設定されている。吸着マージンを考えた場合、さらに高いパッドが要求されるが、電磁トランスデューサの位置が浮上中の磁気ヘッドスライダの最下点となるようにするため、磁気ヘッドスライダの浮上姿勢を考慮してある高さ以上にはできない。スライダ浮上時に、電磁トランスデューサの位置よりも吸着パッドが磁気ディスク表面に近づく場合にはスペーシングロスが発生し、磁気ディスク装置の性能が損なわれることになる。パッドの高さがあまり高すぎる場合には、パッドが磁気ディスクに接触し、ヘッドクラッシュが発生する怖れもある。このように、パッド高さを十分にとれない制約のため、磁気ディスク装置の組みたて時、輸送時等の初期エラーにより磁気ヘッドスライダと磁気ディスクが吸着し、磁気ディスク装置の信頼性が損なわれることがあった。
発明の開示
よって、本発明の目的は、ヘッド・ディスク・インターフェースの信頼性に影響を与えることなく、ヘッドスライダと媒体の吸着マージンの拡大を図ることが可能なヘッドスライダを提供することである。
本発明の一つの側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、空気流入端に隣接してディスク対向面に形成された、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有するフロントレールと；空気流出端に隣接してディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のリアレールと；前記フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記フロントレールの下流側に形成された溝と；前記リアレールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；前記フロントレール上及び前記一対のリアレールの少なくとも一方に形成された複数のパッドとを具備し；前記各パッドは空気流入端側の高さが空気流出端側の高さより高い所定の傾斜角の傾斜先端面を有していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
フロントレール及び一対のリアレールは、各空気ベアリング表面に隣接し、該空気ベアリング表面より高さの低いステップ面をそれぞれ有しており、複数のパッドはステップ面に形成されている。好ましくは、所定の傾斜角はスライダ浮上時のピッチ角以下である。
本発明の他の側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、空気流入端に隣接してディスク対向面に形成された、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有するフロントレールと；空気流出端に隣接してディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のリアレールと；前記フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記フロントレールの下流側に形成された溝と；前記リアレールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；前記フロントレール上及び前記一対のリアレールの少なくとも一方に形成された複数のパッドとを具備し；前記各パッドは第１の断面積を有するベースパッドと、該ベースパッド上に形成された前記第１の断面積より小さい第２の断面積を有する補助パッドとを有していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
好ましくは、各ベースパッドの空気流出端側の先端と各補助パッドの空気流出端側の先端とを結ぶ直線と水平面との成す角は、スライダ浮上時のピッチ角以下である。
本発明のさらに他の側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、空気流入端に隣接してディスク対向面に形成された、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有するフロントレールと；空気流出端に隣接してディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のリアレールと；前記フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記フロントレールの下流側に形成された溝と；前記リアレールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；前記フロントレール上及び前記一対のリアレールの少なくとも一方に形成された複数のパッドと、前記各パッドに隣接して空気流入端側に形成された複数の補助パッドとを具備し；前記各補助パッドは隣接する前記パッドよりも高さが高いことを特徴とするヘッドスライダが提供される。
好ましくは、各補助パッドは隣接するパッドよりも小さな断面積を有しており、各補助パッドの空気流出端側先端と隣接するパッドの空気流出端側先端とを結ぶ直線と水平面との成す角は、スライダ浮上時のピッチ角以下である。
本発明のさらに他の側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対のレールの間に形成された、空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；前記一対のレールの空気ベアリング表面上に形成された複数のパッドとを具備し；前記各パッドは空気流入端側の高さが空気流出端側の高さより高い所定の傾斜角の傾斜先端面を有していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
好ましくは、所定の傾斜角はスライダ浮上時のピッチ角以下である。
発明を実施するための最良の態様
以下、図面を参照して本発明の数多くの実施形態について説明する。各実施形態の説明において、実質的に同一構成部分には同一符号を付して説明する。図１を参照すると、カバーを外した状態の磁気ディスク装置の斜視図が示されている。ベース２にはシャフト４が固定されており、このシャフト４回りにＤＣモータにより回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けられている。スピンドルハブには磁気ディスク６とスペーサ（図示せず）が交互に挿入され、ディスククランプ８を複数のネジ１０によりスピンドルハブに締結することにより、複数枚の磁気ディスク６が所定間隔離間してスピンドルハブに取り付けられる。
符号１２はアクチュエータアームアセンブリ１４と磁気回路１６とから構成されるロータリーアクチュエータを示している。アクチュエータアームアセンブリ４は、ベース２に固定されたシャフト１８回りに回転可能に取り付けられている。アクチュエータアームアセンブリ１４は、一対の軸受を介してシャフト１８周りに回転可能に取り付けられたアクチュエータブロック２０と、アクチュエータブロック２０から１方向に伸長した複数のアクチュエータアーム２２と、各アクチュエータアーム２２の先端部に固定されたヘッドアセンブリ２４とを含んでいる。各ヘッドアセンブリ２４は磁気ディスク６にデータのライト／リードをする磁気ヘッド素子（電磁トランスデューサ）を有する磁気ヘッドスライダ２６と、先端部に磁気ヘッドスライダ２６を支持しその基端部がアクチュエータアーム２２に固定されたサスペンション２８を含んでいる。
シャフト１８に対してアクチュエータアーム２２の反対側には図示しないコイルが支持されており、コイルが磁気回路１６のギャップ中に挿入されて、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）３０が構成される。符号３２は磁気ヘッド素子に書き込み信号を供給したり、磁気ヘッド素子からの読み取り信号を取り出すフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、その一端がアクチュエータブロック２０の側面に固定されている。
図２Ａを参照すると、本発明第１実施形態の磁気ヘッドスライダ２６Ａの平面図が示されている。図２Ｂは図２Ａの２Ｂ−２Ｂ線断面図である。磁気ヘッドスライダ２６Ａは直方体形状をしており、空気流入端２６ａ及び空気流出端２６ｂを有している。磁気ヘッドスライダ２６Ａは負圧磁気ヘッドスライダであり、空気流入端２６ａ側に形成されたフロントレール４２と、空気流出端２６ｂ側に形成された一対のリアレール４４，４６を有している。
フロントレール４２の頂上面にはスライダ幅方向に伸びる空気ベアリング表面４８と、空気ベアリング表面４８に対して所定の段差だけ低いステップ面５０が形成されている。同様に、リアレール４４，４６上には空気ベアリング表面５２，５６と、これらの空気ベアリング表面５２，５６に対して所定の段差だけ低いステップ面５４，５８がそれぞれ形成されている。
一方の空気ベアリング表面５２は、他方の空気ベアリング表面５６に比べて小さく形成されている。従って、この負圧磁気ヘッドスライダ２６Ａでは、一方の空気ベアリング表面５２に比べて他方の空気ベアリング表面５６に大きな浮力が生成される。リアレール４４の空気流出端近傍には電磁トランスデューサ４０が形成されており、磁気ヘッドスライダ２６Ａと磁気ディスク面との距離はこの電磁トランスデューサ４０近辺で最も小さくなる。
磁気ディスクが回転し、ディスク面に沿って気流が発生すると、その気流が空気ベアリング表面４４，５２，５６に作用する。その結果、空気ベアリング表面４８，５２，５６では、磁気ヘッドスライダ２６Ａをディスク面から浮上させる浮力が発生される。ステップ面５０，５４，５８でも浮力が発生するが、これは大きいものではない。この磁気ヘッドスライダ２６Ａでは空気ベアリング表面４８に大きな浮力が生成される結果、浮上時には磁気ヘッドスライダ２６Ａはピッチ角αの傾斜姿勢で維持される。ここで、ピッチ角αとは、気流の流れに沿った磁気ヘッドスライダ２６Ａの傾斜角を言う。
フロントレール４２のスライダ幅方向両側には、下流側に伸びる一対のサイドレール６２，６４がフロントレール４２に連続して形成されている。フロントレール４２の下流側には溝６０が形成されている。溝６０の深さは概略２〜３μｍである。従って、空気ベアリング表面４８に沿って流れる気流はフロントレール４２を通過すると同時に溝６０部分でディスク面鉛直方向に広がり、その結果溝６０部分で負圧が生成される。この負圧が前述した浮力にバランスすることによって、磁気ヘッドスライダ２６Ａの浮上量が規定される。
フロントレール４２のステップ面５０上にはパッド６６，６８が形成されており、リアレール４６のステップ面５８上にもパッド７０が形成されている。さらに、サイドレール６２上にもパッド７２が形成されている。この負圧磁気ヘッドスライダ２６Ａでは、大きな浮力を生むリアレール４６側に配置されるパッド７０に対して小さな浮力しか生まないリアレール４４側に配置されるパッド７２は上流側に配置されている。このようにパッド７２を上流側にずらすことによって、磁気ディスク装置の通常動作時にパッド７２がディスク面に接触することが回避される。パッド６６，６８，７０，７２の高さは概略同一であり、各パッドは空気流入端側の高さが空気流出端側の高さより高い所定の傾斜角の傾斜先端面を有している。
図３はパッド７０の拡大図を示している。従来パッドの高さがＬ１であり、パッド７０の流入端側の高さはＬ１より高いＬ２となっており、パッド７０は所定傾斜角θの傾斜先端面を有している。他のパッド６６，６８，７２も同様な傾斜先端面を有している。少なくとも空気流出端側に近いパッド７０，７２については、傾斜角θはスライダ浮上時のピッチ角以下に設定される。このように、少なくともパッド７０，７２の傾斜角θがスライダ浮上時のピッチ角以下に設定されているため、従来のパッド高さＬ１に比べて空気流入端側のパッドの高さがＬ２と高くなっても、スライダ浮上時の最低点に変更がないため、スペーシングロスを起こすことがなく、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの吸着マージンを拡大することができる。空気流入端側のパッド６６，６８については、スライダ浮上時に磁気ディスクから比較的高く浮上するため、傾斜角θをスライダ浮上時のピッチ角以下に設定する必要は必ずしもないが、製造プロセス上パッド７０，７２の傾斜角と同じ傾斜角に設定するのが望ましい。
次に、図４Ａ〜図４Ｃを参照して、先端傾斜面を有するパッドの形成方法について説明する。まず、図４Ａに示すように、スライダ材料７４上にレジスト７６を塗布し、図４Ｂに示すようにシェーディングマスク７８を介してレジスト７６を露光する。８０がシェーディング部分である。このように、シェーディングマスク７８により光の透過量を調整して露光し、現像すると、図４Ｃに示すようにスライダ材料７４上に傾斜を有するレジスト７０が残存する。この状態でイオンミリングを行うことにより、パッドに傾斜をつけることができる。
図５Ａを参照すると、本発明第２実施形態の磁気ヘッドスライダ２６Ｂの平面図が示されている。図５Ｂは図５Ａの５Ｂ−５Ｂ線断面図である。本実施形態のパッド８２，８４，８６，８８は図６の拡大図に示すように第１の断面積を有するベースパッド９０と、ベースパッド９０上に形成された第１の断面積より小さい第２の断面積を有する補助パッド９２から構成される。補助パッド９２はベースパッド９０の空気流入端側に形成されており、ベースパッド９０の空気流出端側の先端と補助パッド９２の空気流出端側の先端とを結ぶ直線と水平面との成す角θは、少なくとも空気流出端側のパッド８６，８８については、スライダ浮上時のピッチ角以下に設定される。空気流入端側のパッド８２，８４については、必ずしもθをスライダ浮上時のピッチ角以下に設定する必要はないが、製造プロセスの容易化のために同一の角度に設定するのが望ましい。本実施形態の他の構成は、図２Ａ及び図２Ｂに示した第１実施形態の磁気ヘッドスライダ２６Ａと同様である。
次に、図７Ａ〜図７Ｃを参照して、本実施形態のパッドの形成方法について説明する。まず、図７Ａに示すように、スライダ材料７４の補助パッド領域をレジスト７６でマスキングする。次いで、図７Ｂに示すように、イオンミリングで補助パッド９２を形成する。次に、図７Ｃに示すように、補助パッド９２を含む浮上面パッド領域をレジスト９４でマスキングし、再びイオンミリングをしてベースパッド９０を形成する。これにより、ベースパッド９０と補助パッド９２からなる２段階パッドが形成できる。
図８Ａを参照すると、本発明第３実施形態の磁気ヘッドスライダ２６Ｃの平面図が示されている。図８Ｂは図８Ａの８Ｂ−８Ｂ線断面図である。本実施形態の磁気ヘッドスライダ２６Ｃでは、各パッド９６，９８，１００，１０２に隣接して空気流入端側に細径の補助パッド１０４，１０６，１０８，１１０が形成されている。図９の拡大図に示すように、パッド１００の空気流出端側先端と補助パッド１０８の空気流出端側先端とを結ぶ直線と水平面との成す角θは、スライダ浮上時のＶピッチ角以下に設定される。この関係は、パッド１０２と補助パッド１１０についても同様である。パッド９６と補助パッド１０４との間及びパッド９８と補助パッド１０６との間については、θを必ずしもスライダ浮上時のピッチ角以下に設定する必要はないが、スライダ製造時のプロセス容易化のために同様な角度に設定するのが望ましい。
本実施形態のベースパッド及び補助パッドの形成方法については、図７Ａ〜図７Ｃに示した第２実施形態の形成方法に類似している。すなわち、先に補助パッド領域をレジストでマスキングし、所定量イオンミリングする。次いで、補助パッド領域及びパッド領域をレジストでマスキングし、イオンミリングすることにより、高さの異なるパッド及び補助パッドを形成することができる。
第２及び第３実施形態の磁気ヘッドスライダ２６Ｂ、２６Ｃにおいて補助パッドは装置の組み立て時、輸送時等の初期吸着に対応させるためのものであるため、耐久性は問題ではない。このため、補助パッドの直径は十分細くしてもよく、装置が実際に可働状態になった後に補助パッドが磨耗によりその高さが変化しても何ら問題はない。
図１０Ａを参照すると、本発明第４実施形態の磁気ヘッドスライダ２６Ｄの平面図が示されている。図１０Ｂはその正面図である。磁気ヘッドスライダ２６Ｄは空気流入端２６ａ及び空気流出端２６ｂを有している。磁気ヘッドスライダ２６Ｄのディスク対向面には正圧を発生させるための一対のレール１１６，１１８が形成されている。各レール１１６，１１８はそれぞれディスク回転時の浮上力を発生させるための平坦な空気ベアリング表面１１６ａ，１１８ａを有している。各レール１１６，１１８の空気流入端側にはテーパ面１１６ｂ、１１８ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール１１６，１１８の間の空気流入端側にはセンターレール１２０が形成されている。一対のレール１１６，１１８の間には空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝１２２が形成されている。
レール１１６が位置する磁気ヘッドスライダ２６Ｄの空気流出端近傍には電磁トランスデューサ４０が形成されている。電磁トランスデューサ４０に近い側のレール１１６の浮上量が小さく、電磁トランスデューサ４０に遠い側のレール１１８の浮上量を大きくする構造を採用すると、レール１１６の空気流出端２６ｂが最も低い浮上高さとなる。これにより、レール１１６の空気流出端２６ｂ近傍に形成された電磁トランスデューサ４０を磁気ディスクに極めて近づけることができ、高密度の情報の書き込み／読み出しに適している。レール１１６とレール１１８の浮上量を変えるためには、例えば、レール１１６の中央から空気流出端にかけた領域の幅をレール１１８の対応する領域の幅より狭くした構造を採用すればよい。
レール１１６の空気ベアリング表面１１６ａ上には一対のパッド１２４，１２６が形成されており、レール１１８の空気ベアリング表面１１８ａ上には一対のパッド１２８，１３０が形成されている。さらに、センターレール１２０上にもパッド１３２が形成されている。これらのパッド１２４〜１３２は、図３に示したパッド７０と同様に、空気流入端側の高さが空気流出端側の高さより高い所定の傾斜角θの傾斜先端面を有している。少なくとも空気流出端側に位置するパッド１２６，１３０については、傾斜角θはスライダ浮上時のピッチ角より小さく設定する。空気流入端側のパッド１２４，１２８，１３２については必ずしも傾斜角θをスライダ浮上時のピッチ角以下に設定する必要がないが、製造プロセスの便宜上同じ角度に設定するのが望ましい。
産業上の利用可能性
以上説明した本発明によれば、吸着防止用パッドの先端に空気流入端側が高くなるような傾斜をつけるか、又は吸着防止用パッドの空気流入端側に吸着防止用パッドより高さが高く細い補助パッドを設けるようにしたので、スライダ浮上時の浮上最低点を変えることなく実質的にパッド高さが高くなるため、装置停止時のヘッドスライダと磁気ディスクの吸着マージンを拡大することができる。実質的にパッド高さが高くなっても、スライダ浮上時の浮上最低点は変化することがないため、スライダ浮上時のヘッド・ディスク・インターフェース（ＨＤＩ）信頼性に影響を及ぼすことはない。よって、装置組み立て時、輸送時等の初期エラーによりヘッドスライダと磁気ディスクが吸着し、磁気ディスク装置の信頼性が損なわれることが防止される。
【図面の簡単な説明】
図１はカバーを外した状態の磁気ディスク装置の斜視図；
図２Ａは本発明第１実施形態の磁気ヘッドスライダの平面図；
図２Ｂは図２Ａの２Ｂ−２Ｂ線断面図；
図３はパッドの拡大図；
図４Ａ〜図４Ｃはパッド形成方法を示す図；
図５Ａは本発明第２実施形態の磁気ヘッドスライダ平面図；
図５Ｂは図５Ａの５Ｂ−５Ｂ線断面図；
図６は第２実施形態のパッドの拡大図；
図７Ａ〜図７Ｃは第２実施形態のパッドの形成方法を示す図；
図８Ａは本発明第３実施形態の磁気ヘッドスライダ平面図；
図８Ｂは図８Ａの８Ｂ−８Ｂ線断面図；
図９は第３実施形態のパッド及び補助パッドの拡大図；
図１０Ａは本発明第４実施形態の磁気ヘッドスライダ平面図；
図１０Ｂはその正面図である。

Claims (11)

1. 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
   空気流入端に隣接してディスク対向面に形成された、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有するフロントレールと；
   空気流出端に隣接してディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のリアレールと；
   前記フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記フロントレールの下流側に形成された溝と；
   前記リアレールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；
   前記フロントレール上及び前記一対のリアレールの少なくとも一方に形成された複数のパッドとを具備し；
   前記各パッドは空気流入端側の高さが空気流出端側の高さより高い所定の傾斜角の傾斜先端面を有していることを特徴とするヘッドスライダ。
2. 前記所定の傾斜角はスライダ浮上時のピッチ角以下である請求項１記載のヘッドスライダ。
3. 前記フロントレール及び前記一対のリアレールは、前記各空気ベアリング表面に隣接し、該空気ベアリング表面より高さの低いステップ面をそれぞれ有しており、
   前記複数のパッドは前記ステップ面に形成されている請求項１記載のヘッドスライダ。
4. 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
   空気流入端に隣接してディスク対向面に形成された、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有するフロントレールと；
   空気流出端に隣接してディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のリアレールと；
   前記フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記フロントレールの下流側に形成された溝と；
   前記リアレールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；
   前記フロントレール上及び前記一対のリアレールの少なくとも一方に形成された複数のパッドとを具備し；
   前記各パッドは第１の断面積を有するベースパッドと、該ベースパッド上に形成された前記第１の断面積より小さい第２の断面積を有する補助パッドとを有していることを特徴とするヘッドスライダ。
5. 前記各ベースパッドの空気流出端側の先端と前記各補助パッドの空気流出端側の先端とを結ぶ直線と水平面との成す角は、スライダ浮上時のピッチ角以下である請求項４記載のヘッドスライダ。
6. 前記フロントレール及び前記一対のリアレールは、前記各空気ベアリング表面に隣接し、該空気ベアリング表面より高さの低いステップ面をそれぞれ有しており、
   前記複数のパッドは前記ステップ面に形成されている請求項４記載のヘッドスライダ。
7. 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
   空気流入端に隣接してディスク対向面に形成された、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有するフロントレールと；
   空気流出端に隣接してディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のリアレールと；
   前記フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記フロントレールの下流側に形成された溝と；
   前記リアレールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；
   前記フロントレール上及び前記一対のリアレールの少なくとも一方に形成された複数のパッドと；
   前記各パッドに隣接して空気流入端側に形成された複数の補助パッドとを具備し；
   前記各補助パッドは隣接する前記パッドよりも高さが高いことを特徴とするヘッドスライダ。
8. 前記各補助パッドは隣接する前記パッドよりも小さな断面積を有しており、前記各補助パッドの空気流出端側先端と隣接する前記パッドの空気流出端側先端とを結ぶ直線と水平面との成す角は、スライダ浮上時のピッチ角以下である請求項７記載のヘッドスライダ。
9. 前記フロントレール及び前記一対のリアレールは、前記各空気ベアリング表面に隣接し、該空気ベアリング表面より高さの低いステップ面を有しており、
   前記複数のパッド及び前記複数の補助パッドは前記ステップ面に形成されている請求項７記載のヘッドスライダ。
10. 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
    ディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
    前記一対のレールの間に形成された、空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；
    前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサと；
    前記一対のレールの空気ベアリング表面上に形成された複数のパッドとを具備し；
    前記各パッドは空気流入端側の高さが空気流出端側の高さより高い所定の傾斜角の傾斜先端面を有していることを特徴とするヘッドスライダ。
11. 前記所定の傾斜角はスライダ浮上時のピッチ角以下である請求項１０記載のヘッドスライダ。

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