JP2002050020A - ヘッドスライダ及びこれを用いたディスク装置 - Google Patents

ヘッドスライダ及びこれを用いたディスク装置

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JP2002050020A
JP2002050020A JP2000232117A JP2000232117A JP2002050020A JP 2002050020 A JP2002050020 A JP 2002050020A JP 2000232117 A JP2000232117 A JP 2000232117A JP 2000232117 A JP2000232117 A JP 2000232117A JP 2002050020 A JP2002050020 A JP 2002050020A
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head slider
slider
air bearing
disk medium
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Teruki Kanda
晃樹 神田
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Fujitsu Ltd
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    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
    • G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エアベアリングとヘッド部間の段差が小さい
ヘッドスライダにおけるディスク逆回転時のヘッドスラ
イダとディスクとの吸着力を低減する。 【解決手段】 ヘッドスライダ51の浮上面の空気の流出
側の両側に、頂面が平坦なエアベアリング部32, 33が並
列に形成され、一方のエアベアリング部32に隣接する空
気の流出端側にはヘッド素子４とこれを保護する保護膜
とからなるヘッド部26が設けられ、他方のエアベアリン
グ部33に隣接する空気の流出端側には保護膜のみからな
るダミーヘッド部27が設けられ、ヘッド部26とダミーヘ
ッド部27の頂面はエアベアリング部32, 33の頂面に対し
て一段低く形成されているヘッドスライダ51において、
ヘッド部26及びダミーヘッド部27の空気の流出端側の頂
面を、エアベアリング部32, 33に隣接する側の頂面の位
置に比べて低く形成した。この結果、ディスク逆回転時
にヘッドスライダとディスクとの接触抵抗が減る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はヘッドスライダ及び
これを用いたディスク装置に関し、特に、ディスク装置
の起動、停止時における、ヘッドスライダと記録媒体と
の接触による吸着力を低減することができるヘッドスラ
イダ及びこれを用いたディスク装置に関する。
【０００２】近年、磁気ディスク装置の小型、大容量化
に伴い、磁気ディスク装置の高速度化、高信頼化のため
の様々な技術革新がなされている。データの書き込み、
或いはデータの読み出しを担うディスク媒体において
も、同様の技術革新が要求されている。しかしながら、
磁気ディスク装置の小型、大容量化に伴い、ヘッドの浮
上量が低下し、このヘッド浮上量の低下に伴ってディス
ク媒体の表面がより平滑になってきている。ヘッドはヘ
ッドスライダの末端部に取り付けられており、磁気ディ
スク装置の動作中はこのスライダにより、ディスク媒体
に対してごく小さな間隙を保ちながら浮上し、この状態
でディスク媒体へのデータの書き込み、或いはディスク
媒体からのデータの読み出しが行われている。
【０００３】一方、磁気ディスク装置の電源がオフされ
た時には、ディスク媒体の回転速度の低下でヘッドスラ
イダとディスク媒体は接触し、最後には回転を停止した
ディスク媒体上にヘッドスライダが止まる状態となる。
表面が平滑化されたディスク媒体上にヘッドスライダが
停止すると、ヘッドスライダとディスク媒体が吸着を起
こすことがある。これを防止するために、従来のヘッド
スライダのディスク側の面には、パッドと呼ばれる接地
面積の小さな脚が複数本突設されており、ヘッドスライ
ダはこの脚によってディスク媒体上に静止するようにな
っている。
【０００４】逆に、磁気ディスク装置の電源がオンされ
た時には、ディスク媒体を回転させるスピンドルモータ
が回転方向を見定めるために、スピンドルモータは正回
転と逆回転とを繰り返す動作を行う。最悪の場合、逆回
転方向にスピンドルモータが回る可能性があり、この場
合、ヘッドの停止姿勢が前述の脚による支持ではなくな
り、ヘッドスライダの浮上面端部による支持に代わる。
【０００５】ヘッドスライダがディスク媒体に対してそ
の浮上面端部によって支持された場合は、ヘッドスライ
ダとディスク媒体との接触面積が増え、ディスク媒体上
の潤滑剤の作用によってヘッドスライダのディスク媒体
への吸着力が増大してしまい、ヘッドの変形が発生し、
最悪の場合にはヘッドクラッシュが起こる場合があり、
この対策が望まれていた。
【０００６】
【従来の技術】図１は磁気ディスク装置１０の一般的な
構成を示すものである。磁気ディスク装置１０は、その
筐体１１の中に、スピンドルモータ１２が設けられてお
り、このスピンドルモータ１２には少なくとも１枚のデ
ィスク媒体１３が取り付けられている。磁気ディスク媒
体１３はデータを記録するものであり、ディスク媒体１
３上に記録されたデータの読み取り、或いは、ディスク
媒体１３上へのデータの書き込みはヘッドスライダ１に
取り付けられたヘッドよって行われる。ヘッドスライダ
１の数はディスク媒体１３の枚数に対応している。
【０００７】ヘッドスライダ１はヘッドサスペンション
１４に支持されており、ディスク媒体１３の上を矢印で
示すディスクの半径方向に移動できるようになってい
る。ヘッドスライダ１にあるヘッドがディスク媒体１３
からデータを読み出す、或いは、データをヘッド媒体１
３に書き込む動作を行う時には、ヘッドスライダ１はデ
ィスク媒体１３から浮上した状態でこの動作を行う。ヘ
ッドサスペンション１４は回転軸１５を中心にして揺動
可能なキャリッジ１６に取り付けられている。キャリッ
ジ１６のヘッドサスペンション１４の取付側と反対側に
はコイルが設けられており、このコイルはボイスコイル
モータ１７によって駆動されるようになっている。
【０００８】図２(a) ，(b) は図１で説明したような磁
気ディスク装置１０に使用される従来のヘッドスライダ
１の構成を示すものである。ヘッドスライダ１はスライ
ダベース２とヘッドユニット３とから構成されている。
スライダベース２はフェライト等から構成されている。
また、ヘッドユニット３に設けられるヘッド４は、この
実施例では、ＧＭＲヘッドとインダクティブヘッドとか
らなる複合ヘッドである。
【０００９】スライダベース２のディスク媒体からの浮
上面には、ディスク媒体が回転した時の空気の流入側に
略門型の第１のランド部２１が設けられており、空気の
流出側に第２と第３のランド部２２，２３が設けられて
いる。第１から第３のランド部２１〜２３の頂面の高さ
は同じである。また、第１のランド部２１の上面には第
１のエアベアリング部３１が設けられており、第２のラ
ンド部２２の上面には第２のエアベアリング部３２が設
けられており、第３のランド部２３の上面には第３のエ
アベアリング部３３が設けられている。第１から第３の
エアベアリング部３１〜３３の上面は平坦であり、スラ
イダベース２からの高さは全て同じである。更に、第１
のランド部２１の四隅にはそれぞれパッド５が突設され
ている。これら４本のパッド５は、回転を停止したディ
スク媒体の上にヘッドスライダ１が静止した時の、ヘッ
ドスライダ１とディスク媒体との間の静止摩擦力を小さ
くするためのものである。従って、４本のパッド５の高
さは全て等しい。
【００１０】ヘッドユニット３は、スライダベース２に
重ね合わされるベース部３Ｂと、このベース部３Ｂの上
に設けられて、第２のランド部２２と第２のエアベアリ
ング部３２に大部分が重ね合わされるヘッド部６と、第
３のランド部２３と第３のエアベアリング部３３に大部
分が重ね合わされるダミーヘッド部７とから構成され
る。ヘッド部６とダミーヘッド部７の頂面は平坦ではあ
るが、それぞれ第２のエアベアリング部３２の頂面と第
３のエアベアリング部３３の頂面よりも一段低くなって
いる。
【００１１】図３(a) は従来のヘッドスライダ１におけ
るヘッド部６と第２のエアベアリング部３２の接合部分
の断面を拡大して示すものである。ヘッド部６と第２の
エアベアリング３２との間の段差Ｘは、従来のディスク
装置では約５ｎｍである。ヘッド部６に内蔵されている
複合ヘッド４は、この実施例では、リード素子であるＧ
ＭＲヘッド４Ａとライト素子であるインダクティブヘッ
ド４Ｂとから構成されている。図において、４１がＧＭ
Ｒヘッド４Ａの下部シールド膜（磁性膜）、４２がイン
ダクティブヘッド４Ｂの下部磁性膜、４３がコイル導体
（膜状のコイル）、及び４４がインダクティブヘッド４
Ｂの上部磁性膜である。複合ヘッド４はアルミナ保護膜
の中に形成されている。
【００１２】図４(a) は従来のヘッドスライダ１が停止
状態のディスク媒体８の上に静止している際の通常の姿
勢を示すものであり、ランド部とエアベアリング部とは
一体的に略記してある。この状態では、ヘッドスライダ
１はランド部の上に突設された４本のパッド５でディス
ク媒体８に接触しているので、ヘッドスライダ１とディ
スク媒体８との間の摩擦力は小さなものとなっている。
また、ヘッドが設けられているヘッド部６もディスク媒
体８の表面から離れた位置にある。
【００１３】図４(b) はディスク媒体８が逆回転した後
の従来のヘッドスライダ１の停止姿勢を示すものであ
る。従来のディスク装置におけるヘッドスライダ１は、
ヘッドスライダ１の浮上時の空気の流出端側の端面が、
アルミナ保護膜からなるヘッド部６の端面であった。ま
た、従来のディスク装置では、スライダベース２の上に
あるエアベアリング３０とヘッド部６の保護膜（アルミ
ナ保護膜）との間に段差（図３に符号Ｙで示す）があ
り、ディスク媒体８に逆回転が発生しても、ヘッドスラ
イダ１のエアベアリング３０の端面がディスク媒体８に
接触するのみであった。また、ディスク媒体８の逆回転
を押さえるために、ディスク媒体の表面の媒体粗さや潤
滑層の膜厚の最適化を行ってディスク媒体との接触を回
避していた。
【００１４】ところが、近年、ディスク装置の高密度化
のために、図４(c) に示すように、ヘッドスライダ１の
エアベアリング３０とヘッド部６との間の段差が縮めら
れた改良型のヘッドスライダ９が提案されている。この
改良型のヘッドスライダ９では、ヘッド部６とディスク
媒体８との間の距離が次第に小さくなっている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな改良型のヘッドスライダ９では、図４(d) に示すよ
うに、ディスク媒体８に逆回転が発生してヘッドスライ
ダ９の静止姿勢が変化した場合、ヘッドスライダ９のエ
アベアリング３０の端面がディスク媒体８に接触する前
に、ヘッド部６が先にディスク媒体８に接触してしま
う、或いは、ヘッドスライダ９のエアベアリング３０の
端面とヘッド部６が両方ともディスク媒体８に接触して
しまうという課題があった。そして、このように、ディ
スク媒体８の逆回転時にヘッドスライダ９のエアベアリ
ング３０の端面とヘッド部６が両方ともディスク媒体８
に接触してしまうと、接触面積が増大してヘッドスライ
ダ９とディスク媒体８との吸着力が増大してしまうとい
う課題があった。
【００１６】そこで、本発明は、ディスク装置の高密度
化のためにヘッドスライダのエアベアリングとヘッドユ
ニットのヘッド部との間の段差が縮められた改良型のヘ
ッドスライダにおいても、ディスク媒体の逆回転時に接
触面積が増大してヘッドスライダとディスク媒体との吸
着力が増大することのないヘッドスライダ及びこれを用
いたディスク装置を提供することを目的としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明のヘッドスライダは、磁気ディスク装置に使用される
ヘッドスライダの浮上面の空気の流出側の両側に、スラ
イダ本体よりも一段高く形成された平坦なエアベアリン
グ部が並列に形成されており、一方のエアベアリング部
に隣接する空気の流出端側にはヘッド素子とこれを保護
する保護膜とからなるヘッド部が設けられ、他方のエア
ベアリング部に隣接する空気の流出端側には保護膜のみ
からなるダミーヘッド部が設けられており、保護膜の頂
面はエアベアリング部の頂面に対して一段低く形成され
ているヘッドスライダにおいて、ヘッド部及びダミーヘ
ッド部の空気の流出端側の頂面を、保護膜とエアベアリ
ング部にある段差に比べてさらに低く形成したことを特
徴とするものである。
【００１８】この場合、以下の形態を採用することがで
きる。 (1) ヘッド部の保護膜の頂面を低く形成する領域のヘッ
ドスライダの長手方向の長さと、ダミーヘッド部の保護
膜を低く形成する領域のヘッドスライダの長手方向の長
さとを同程度に形成した形態。 (2) 形態(1) のヘッドスライダにおいて、ダミーヘッド
部の保護膜の頂面を低く形成する領域のヘッドスライダ
の長手方向の長さを、ヘッド部の保護膜の頂面を低く形
成する領域のヘッドスライダの長手方向の長さよりも長
く形成した形態。
【００１９】(3) 形態(2) のヘッドスライダにおいて、
ダミーヘッド部の保護膜の頂面を、一部の領域の高さは
ヘッドスライダの長手方向にエアベアリング部に隣接す
る側の頂面の高さに保持しておき、残りの領域はエアベ
アリング部の近くまでの領域を低く形成した形態。 (4) 主形態並びに(1) から(3) の何れかの形態のヘッド
スライダにおいて、ヘッド部及びダミーヘッド部の空気
の流出端側の頂面を、保護膜の一部を削除することによ
って低くした形態。
【００２０】(5) 主形態並びに(1) から(4) の何れかの
形態のヘッドスライダにおいて、ヘッド部及びダミーヘ
ッド部の低く形成された頂面の位置が、スライダ本体の
浮上面の高さに一致する形態。 (6) 主形態並びに(1) から(4) の何れかの形態のヘッド
スライダにおいて、ヘッド部及びダミーヘッド部の低く
形成された頂面の位置が、スライダ本体の浮上面の高さ
位置よりも、高い位置にある形態。
【００２１】(7) 主形態並びに(1) から(6) の何れかの
形態のヘッドスライダにおいて、スライダ本体の浮上面
に、ディスク媒体の静止時にディスク媒体との間の吸着
を回避するためのパッドが複数個設けられている形態。 (8) 主形態並びに(1) から(7) の形態のヘッドスライダ
を使用した磁気ディスク装置。
【００２２】本発明のヘッドスライダ及びこれを用いた
ディスク装置によれば、ディスク装置の高密度化のため
にヘッドスライダのエアベアリングとヘッドユニットの
ヘッド部との間の段差が縮められた改良型のヘッドスラ
イダにおいても、ディスク媒体の逆回転時に接触面積が
増大してヘッドスライダとディスク媒体との吸着力が増
大することがない。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下添付図面を用いて本発明の実
施形態を具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。図
５(a) ，(b) はディスク装置に使用される本発明の第１
の実施例のヘッドスライダ５１の構成を示すものであ
り、このヘッドスライダ５１は図１で説明した磁気ディ
スク装置１０のヘッドサスペンション１４の先端部に取
り付けられて使用される。第１の実施例のヘッドスライ
ダ５１は、図２で説明した従来のヘッドスライダ１のヘ
ッドユニット３のみをヘッドユニット２０に改良したも
のである。よって、ヘッドユニット２０以外の部位の構
成は従来のヘッドスライダ１と同じであるので、同じ構
成部材には同じ符号を付して説明を簡単にする。
【００２４】第１の実施例のヘッドスライダ５１は、図
２(a) ，(b) で説明したフェライト等で作られたスライ
ダベース２に、ヘッドユニット２０が設けられて構成さ
れている。スライダベース２のディスク媒体からの浮上
面には、スライダベース２への空気の流入側に平坦な第
１のランド部２１が設けられており、空気の流出側に平
坦で第１のランド部２１と同じ高さの第２と第３のラン
ド部２２，２３が設けられている。第１から第３のラン
ド部２１〜２３の上面には、それぞれ第１から第３のエ
アベアリング部３１〜３３が設けられている。第１から
第３のエアベアリング部３１〜３３の上面は平坦であ
り、スライダベース２からの高さは全て同じである。更
に、第１のランド部２１の四隅にはそれぞれ、高さが等
しく、静止摩擦力を小さくするためのパッド５が突設さ
れている。
【００２５】一方、スライダベース２に取り付けられる
第１の実施例のヘッドユニット２０は、スライダベース
２に重ね合わされるベース部２０Ｂと、このベース部２
０Ｂの上に設けられて、第２のランド部２２と第２のエ
アベアリング部３２に大部分が重ね合わされるヘッド部
２６と、第３のランド部２３と第３のエアベアリング部
３３に大部分が重ね合わされるダミーヘッド部２７とか
ら構成される。ヘッドユニット２０のベース部２０Ｂの
頂面は、スライダベース２の頂面に一致している。ヘッ
ド部２６とダミーヘッド部２７の頂面は平坦ではある
が、それぞれ第２のエアベアリング部３２の頂面と第３
のエアベアリング部３３の頂面よりも一段低くなってい
る。
【００２６】図２(a) ，(b) で説明したヘッドユニット
３のヘッド部６とダミーヘッド部７の平坦な頂面の端部
は、ベース部３Ｂの空気の流出側の側面と同じ位置まで
延びていた。一方、本発明の第１の実施例のヘッドスラ
イダ５１のヘッド部２６とダミーヘッド部２７の平坦な
頂面の空気の流出側の端部は、ベース部２０Ｂの空気の
流出側の側面から所定距離Ｃだけスライダベース２側の
位置となっている。即ち、第１の実施例では、ヘッド部
２６の空気が流れる方向の肉厚は、ヘッド４を構成する
ＧＭＲヘッドやインダクティブヘッドのようなヘッド素
子を形成できる最低限の厚さになっており、ダミーヘッ
ド部２７の肉厚はヘッド部２６の肉厚と同等に構成され
ている。
【００２７】図３(b) は第１の実施例のヘッドスライダ
５１におけるヘッド部２６と第２のエアベアリング部３
２の接合部分の断面を拡大して示すものである。第２の
エアベアリング部３２はアルチック（Ａｌ2 Ｏ3 −Ｔｉ
ｃ）からなるスライダベース２の上に形成された第１の
ランド部２２の上に形成されている。第２のエアベアリ
ング部３２と第１のランド部（ステップ面）２２とは共
にアルチックから構成されており、第２のエアベアリン
グ部３２の表面にはＤＬＣ（ＤｉａｍｏｎｄＬｉｋｅ
Ｃａｒｂｏｎ）３４ＡとＳｉ（シリコン）３４Ｂとから
なる保護膜３４が積層されている。
【００２８】ヘッド部２６と第２のエアベアリング３２
との間の段差Ｙは、図３(a) に示す従来のヘッド部６と
第２のエアベアリング３２との間の段差Ｘよりも小さ
く、第１の実施例のディスク装置では約２ｎｍである。
ヘッド部２６に内蔵されている複合ヘッド４は、この実
施例では、ＧＭＲヘッド４Ａとインダクティブヘッド４
Ｂとから構成されている。図において、４１がＧＭＲヘ
ッド４Ａの下部シールド膜（磁性膜）、４２がインダク
ティブヘッド４Ｂの下部磁性膜、４３がコイル導体（膜
状のコイル）、及び４４がインダクティブヘッド４Ｂの
上部磁性膜である。複合ヘッド４はアルミナ保護膜（Ａ
ｌ2 Ｏ3 ）の中に形成されている。
【００２９】図６(a) は第１の実施例のヘッドスライダ
５１が停止状態のディスク媒体８の上に静止している際
の通常の姿勢を示すものであり、ランド部とエアベアリ
ング部とは一体的に略記してある。この状態では、ヘッ
ドスライダ５１はランド部の上に突設された４本のパッ
ド５でディスク媒体８に接触しているので、ヘッドスラ
イダ５１とディスク媒体８との間の摩擦力は小さなもの
となっている。また、第１の実施例では、ヘッドが設け
られているヘッド部２６とディスク媒体８の表面との距
離は小さなものとなっている。しかしながら、図５(a)
，(b) で説明したように、第１の実施例のヘッド部２
６の空気の流出側はヘッドユニット２０のベース部２０
Ｂの空気流出側の側面までは延びておらず、ヘッド部２
６の肉厚は、図３(b) に示すようにヘッド素子（ＧＭＲ
ヘッド４Ａとインダクティブヘッド４Ｂ）を含むことが
できる最小限の長さになっている。
【００３０】従って、第１の実施例のヘッドスライダ５
１では、図６(b) に示すように、ディスク媒体８に逆回
転が発生してヘッドスライダ５１の静止姿勢が変化した
場合は、ヘッドスライダ５１のエアベアリング３０の端
面がディスク媒体８に接触する。一方、第１の実施例の
ヘッド部２６の空気の流出側はヘッドユニット２０のベ
ース部２０Ｂの空気流出側の側面までは延びていないた
めに、ヘッド部２６の空気の流出側がディスク媒体８に
接触しない。このため、第１の実施例のヘッドスライダ
５１では、ディスク媒体８の逆回転時にヘッドスライダ
５１のエアベアリング３０の端面だけがディスク媒体８
に接触するので、接触面積の増大が抑えられてヘッドス
ライダ９とディスク媒体８との吸着力の増大が防止され
る。
【００３１】図７(a) ，(b) はディスク装置に使用され
る本発明の第２の実施例のヘッドスライダ５２の構成を
示すものである。第２の実施例のヘッドスライダ５２が
図５(a) ，(b) で説明した第１の実施例のヘッドスライ
ダ５１と異なる点は、スライダベース２に取り付けられ
るヘッドユニット４０の構成のみである。よって、ヘッ
ドユニット４０以外の構成部材には第１の実施例と同じ
符号を付してその説明を省略する。
【００３２】スライダベース２に取り付けられる第２の
実施例のヘッドユニット４０は、スライダベース２に重
ね合わされるベース部４０Ｂと、このベース部４０Ｂの
上に設けられて、第２のランド部２２と第２のエアベア
リング部３２に大部分が重ね合わされるヘッド部４６
と、第３のランド部２３と第３のエアベアリング部３３
に大部分が重ね合わされるダミーヘッド部４７とから構
成される。ヘッドユニット４０のベース部４０Ｂの頂面
は、スライダベース２の頂面に一致している。ヘッド部
４６とダミーヘッド部４７の頂面は平坦ではあるが、そ
れぞれ第２のエアベアリング部３２の頂面と第３のエア
ベアリング部３３の頂面よりも一段低くなっていること
は第１の実施例と同様である。
【００３３】第１の実施例のヘッドスライダ５１のヘッ
ド部２６とダミーヘッド部２７の平坦な頂面の端部は、
両方ともベース部２０Ｂの空気の流出側の側面から所定
距離Ｃだけスライダベース２側の位置となっている。こ
れに対して、第２の実施例では、ヘッド部４６は第１の
実施例と同様に、その頂面の端部がベース部４０Ｂの空
気の流出側の側面から所定距離Ｃだけスライダベース２
側の位置となっている。一方、ダミーヘッド部４７はヘ
ッド素子を含まないので、第２の実施例ではダミーヘッ
ド部４７の空気が流れる方向の肉厚はできる限り薄く形
成されており、ダミーヘッド部２７の平坦な頂面の端部
はベース部４０Ｂの空気の流出側の側面から所定距離Ｄ
（＞Ｃ）だけスライダベース２側の位置となっている。
【００３４】従って、第２の実施例のヘッドスライダ５
２も第１の実施例のヘッドスライダ５１と同等の効果を
備えており、ディスク媒体８に逆回転が発生してヘッド
スライダ５１の静止姿勢が変化した場合は、ヘッドスラ
イダ５１のエアベアリング３０の端面がディスク媒体８
に接触するがヘッド部４６の空気の流出側がディスク媒
体８に接触しない。このため、第２の実施例のヘッドス
ライダ５２でも、ディスク媒体８の逆回転時にヘッドス
ライダ５２のエアベアリング３０の端面のみがディスク
媒体８に接触するので、接触面積の増大を抑えてヘッド
スライダ４０とディスク媒体８との吸着力の増大が防止
される。
【００３５】図８(a) ，(b) はディスク装置に使用され
る本発明の第３の実施例のヘッドスライダ５３の構成を
示すものである。第３の実施例のヘッドスライダ５３が
図５(a) ，(b) で説明した第１の実施例のヘッドスライ
ダ５１と異なる点は、スライダベース２に取り付けられ
るヘッドユニット６０の構成のみである。よって、ヘッ
ドユニット６０以外の構成部材には第１の実施例と同じ
符号を付してその説明を省略する。
【００３６】スライダベース２に取り付けられる第３の
実施例のヘッドユニット６０は、スライダベース２に重
ね合わされるベース部６０Ｂと、このベース部６０Ｂの
上に設けられて、第２のランド部２２と第２のエアベア
リング部３２に大部分が重ね合わされるヘッド部６６
と、第３のランド部２３と第３のエアベアリング部３３
に大部分が重ね合わされるダミーヘッド部６７とから構
成される。ヘッドユニット６０のベース部６０Ｂの頂面
は、スライダベース２の頂面に一致している。ヘッド部
６６とダミーヘッド部６７の頂面は平坦ではあるが、そ
れぞれ第２のエアベアリング部３２の頂面と第３のエア
ベアリング部３３の頂面よりも一段低くなっていること
は第１の実施例と同様である。
【００３７】第３の実施例のヘッドスライダ５３のヘッ
ド部６６の構成は、第１の実施例のヘッドスライダ５１
におけるヘッド部２６の構成と同じである。一方、第３
の実施例のダミーヘッド部６７の構成は、ダミーヘッド
部６７に空気の流出側に延長された突起６８が設けられ
ている以外は、第２の実施例のダミーヘッド部４７の構
成と同じである。即ち、第３の実施例のダミーヘッド部
６７はヘッド素子を含まないので、空気が流れる方向の
肉厚はできる限り薄く形成されており、ダミーヘッド部
６７の平坦な頂面の端部は、突起６８の部分を除いてベ
ース部６０Ｂの空気の流出側の側面から所定距離Ｄ（＞
Ｃ）だけスライダベース２側の位置となっている。ま
た、第３の実施例では、突起６８の平坦な頂面の端部
は、ベース部６０Ｂの空気の流出側の側面から所定距離
Ｃだけスライダベース２側の位置となっている。
【００３８】このように、ダミーヘッド部６７に突起６
８を形成すると、ヘッドスライダ５３が傾いた時の安定
性が増す。また、この突起６８がディスク媒体８と接触
したとしても、接触する面積が小さいのでフリクション
は小さくなる。従って、第３の実施例のヘッドスライダ
５３も第１の実施例のヘッドスライダ５１と同等の効果
を備えており、ディスク媒体８に逆回転が発生してヘッ
ドスライダ５３の静止姿勢が変化した場合でも、ヘッド
スライダ５３のエアベアリングの端面のみがディスク媒
体８に接触するので、接触面積の増大を抑えてヘッドス
ライダ５３とディスク媒体８との吸着力の増大が防止さ
れる。
【００３９】図９(a) ，(b) は本発明の第３の実施例の
変形例のヘッドスライダ５３の構成を示すものである。
図９(a) ，(b) に示すヘッドスライダ５３は、ダミーヘ
ッド部６７に突設されている突起６８の位置以外は、第
３の実施例のヘッドスライダ５３の構成と同じである。
図９(a) に示す変形例のヘッドスライダ５３は、ダミー
ヘッド部６７の空気の流出側に設けられる突起６８が、
ヘッド部６６側に寄せて設けられている点が第３の実施
例と異なる。また、図９(b) に示す変形例のヘッドスラ
イダ５３は、ダミーヘッド部６７の空気の流出側に設け
られる突起６８が、ヘッド部６６側から最も遠い部位に
寄せて設けられている点が第３の実施例と異なる。これ
ら変形例の動作及び効果は第３の実施例のヘッドスライ
ダ５３と同じである。
【００４０】図１０は本発明の第１の実施例のヘッドス
ライダ５１と第３の実施例のヘッドスライダ５３の効果
を従来のヘッドスライダ１と比較して示すものである。
ここでは擬似的にディスク媒体の逆回転時に発生する吸
着の実験を行っている。図１０に示すように、ヘッド部
の取り付け高さを変化させて、ディスク媒体逆回転時の
摩擦力を測定した結果、取り付け高さが増すと摩擦力が
増大する従来のヘッドスライダに比べて、本発明の第１
と第３の実施例のヘッドスライダは、ヘッド部の取り付
け高さが増しても摩擦力が増大しない結果となった。
【００４１】図１１は、図５(a) ，(b) で説明した本発
明の第１の実施例のヘッドスライダ５１の変形例を示す
ものである。この変形例では、ヘッドスライダ５１のヘ
ッドユニット２０のベース部２０Ｂに設けられたヘッド
部２６とダミーヘッド部２７の空気の流出側に、段差部
２８，２９が設けられている。この変形例では、従来の
ヘッドユニット２のヘッド部６とダミーヘッド部７のア
ルミナ保護膜を削除することによって、ヘッド部２６と
ダミーヘッド部２７を形成することができる。このよう
に、第１の実施例のベース部２０Ｂに設けられたヘッド
部２６とダミーヘッド部２７の空気の流出側に、段差部
２８，２９を形成しても第１の実施例のヘッドスライダ
５１と同等の効果が得られる。
【００４２】図１２は、７５(a) ，(b) で説明した本発
明の第２の実施例のヘッドスライダ５２の変形例を示す
ものである。この変形例では、ヘッドスライダ５２のヘ
ッドユニット４０のベース部４０Ｂに設けられたヘッド
部４６とダミーヘッド部４７の空気の流出側に、段差部
４８，４９が設けられている。この変形例では、従来の
ヘッドユニット２のヘッド部６とダミーヘッド部７のア
ルミナ保護膜を削除することによって、ヘッド部４６と
ダミーヘッド部４７を形成することができる。このよう
に、第２の実施例のベース部４０Ｂに設けられたヘッド
部４６とダミーヘッド部４７の空気の流出側に、段差部
４８，４９を形成しても第２の実施例のヘッドスライダ
５２と同等の効果が得られる。
【００４３】なお、以上の実施例では、スライダベース
の上に３つのエアベアリングが設けられている例を説明
したが、エアベアリングの個数、及び形状は特に限定さ
れるものではない。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のヘッドス
ライダ及びこれを用いたディスク装置によれば、ディス
ク装置の高密度化のためにヘッドスライダのエアベアリ
ングとヘッドユニットのヘッド部との間の段差が縮めら
れた改良型のヘッドスライダにおいても、ディスク媒体
の逆回転時に接触面積が増大してヘッドスライダとディ
スク媒体との吸着力が増大することがないという効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図１】ディスク装置の一般的な構成を示す平面図であ
る。
【図２】(a) はディスク装置に使用される従来のヘッド
スライダの底面図、(b) は(a)のヘッドスライダをヘッ
ド側から見た斜視図である。
【図３】(a) は従来のヘッドスライダのランド部とヘッ
ド部との接合部の部分拡大断面図、(b) は本発明のヘッ
ドスライダのランド部とヘッド部との接合部の部分拡大
断面図である。
【図４】(a) は従来のヘッドスライダが停止状態のディ
スク媒体の上に静止している際の通常の姿勢を示す説明
図、(b) はディスク媒体が逆回転した後の従来のヘッド
スライダの停止姿勢を示す説明図、(c) は従来の改良さ
れたヘッドスライダが停止状態のディスク媒体の上に静
止している際の通常の姿勢を示す説明図、(d) はディス
ク媒体が逆回転した後の従来の改良されたヘッドスライ
ダの停止姿勢を示す説明図である。
【図５】(a) はディスク装置に使用される本発明の第１
の実施例のヘッドスライダの底面図、(b) は(a) のヘッ
ドスライダをヘッド側から見た斜視図である。
【図６】(a) は本発明のヘッドスライダが停止状態のデ
ィスク媒体の上に静止している際の通常の姿勢を示す説
明図、(b) はディスク媒体が逆回転した後の本発明のヘ
ッドスライダの停止姿勢を示す説明図である。
【図７】(a) はディスク装置に使用される本発明の第２
の実施例のヘッドスライダの底面図、(b) は(a) のヘッ
ドスライダをヘッド側から見た斜視図である。
【図８】(a) はディスク装置に使用される本発明の第３
の実施例のヘッドスライダの底面図、(b) は(a) のヘッ
ドスライダをヘッド側から見た斜視図である。
【図９】(a) はディスク装置に使用される本発明の第３
の実施例の変形例のヘッドスライダの底面図、(b) はデ
ィスク装置に使用される本発明の第３の実施例の他の変
形例のヘッドスライダの底面図である。
【図１０】本発明の効果を説明する特性図である。
【図１１】図５(a) ，(b) で説明した本発明の第１の実
施例のヘッドスライダの変形例のヘッドスライダをヘッ
ド側から見た斜視図である。
【図１２】図７(a) ，(b) で説明した本発明の第１の実
施例のヘッドスライダの変形例のヘッドスライダをヘッ
ド側から見た斜視図である。
【符号の説明】
１…ヘッドスライダ ２…スライダベース ３…従来のヘッドユニット ４…ヘッド ５…パッド ６…従来のヘッド部 ７…従来のダミーヘッド部 ８…ディスク媒体 ２０…第１の実施例のヘッドユニット ２６，４６，６６…本発明のヘッド部 ２７，４７，６７…本発明のダミーヘッド部 ３１〜３３…エアベアリング ４０…第２の実施例のヘッドユニット ５１…第１の実施例のヘッドスライダ ５２…第２の実施例のヘッドスライダ ５３…第３の実施例のヘッドスライダ ６０…第３の実施例のヘッドユニット

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁気ディスク装置に使用されるヘッドス
    ライダの浮上面の空気の流出側の両側に、スライダ本体
    よりも一段高く形成された平坦なエアベアリング部が並
    列に形成されており、一方のエアベアリング部に隣接す
    る空気の流出端側にはヘッド素子とこれを保護する保護
    膜とからなるヘッド部が設けられ、他方のエアベアリン
    グ部に隣接する空気の流出端側には保護膜のみからなる
    ダミーヘッド部が設けられており、前記保護膜の頂面は
    前記エアベアリング部の頂面に対して一段低く形成され
    ているヘッドスライダにおいて、 前記ヘッド部及び前記ダミーヘッド部の空気の流出端側
    の前記頂面を、前記保護膜と前記エアベアリング部にあ
    る段差に比べてさらに低く形成したことを特徴とするヘ
    ッドスライダ。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のヘッドスライダにおい
    て、 前記ヘッド部の保護膜の頂面を低く形成する領域の前記
    ヘッドスライダの長手方向の長さと、前記ダミーヘッド
    部の保護膜を低く形成する領域の前記ヘッドスライダの
    長手方向の長さとを、同程度に形成したことを特徴とす
    るヘッドスライダ。
  3. 【請求項３】 請求項２に記載のヘッドスライダにおい
    て、 前記ダミーヘッド部の保護膜の頂面を低く形成する領域
    の前記ヘッドスライダの長手方向の長さを、前記ヘッド
    部の保護膜の頂面を低く形成する領域の前記ヘッドスラ
    イダの長手方向の長さよりも長く形成したことを特徴と
    するヘッドスライダ。
  4. 【請求項４】 請求項２に記載のヘッドスライダにおい
    て、 前記ダミーヘッド部の保護膜の頂面を、一部の領域の高
    さは前記ヘッドスライダの長手方向に前記エアベアリン
    グ部に隣接する側の頂面の高さに保持しておき、残りの
    領域は、前記エアベアリング部の近くまでの領域を低く
    形成したことを特徴とするヘッドスライダ。
  5. 【請求項５】 請求項１から４の何れか１項に記載のヘ
    ッドスライダにおいて、 前記ヘッド部及び前記ダミーヘッド部の空気の流出端側
    の頂面を、前記保護膜の一部を削除することによって低
    くしたことを特徴とするヘッドスライダ。
  6. 【請求項６】 請求項１から５の何れか１項に記載のヘ
    ッドスライダにおいて、 前記ヘッド部及び前記ダミーヘッド部の低く形成された
    頂面の位置が、前記スライダ本体の浮上面の高さに一致
    することを特徴とするヘッドスライダ。
  7. 【請求項７】 請求項１から５の何れか１項に記載のヘ
    ッドスライダにおいて、 前記ヘッド部及び前記ダミーヘッド部の低く形成された
    頂面の位置が、前記スライダ本体の浮上面の高さ位置よ
    りも、高い位置にあることを特徴とするヘッドスライ
    ダ。
  8. 【請求項８】 請求項１から７の何れか１項に記載のヘ
    ッドスライダにおいて、 前記スライダ本体の浮上面に、ディスク媒体の静止時に
    ディスク媒体との間の吸着を回避するためのパッドが複
    数個設けられていることを特徴とするヘッドスライダ。
  9. 【請求項９】 請求項１から８の何れか１項に記載のヘ
    ッドスライダを使用した磁気ディスク装置。
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