JP3977579B2 - 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 - Google Patents
接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3977579B2 JP3977579B2 JP2000286222A JP2000286222A JP3977579B2 JP 3977579 B2 JP3977579 B2 JP 3977579B2 JP 2000286222 A JP2000286222 A JP 2000286222A JP 2000286222 A JP2000286222 A JP 2000286222A JP 3977579 B2 JP3977579 B2 JP 3977579B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- magnetic head
- recording medium
- information recording
- head slider
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Description
【０００１】
本発明は、情報記録媒体である磁気ディスク上に、磁気ヘッドが接触した状態で情報の記録再生を行う磁気ディスク装置に係り、特に、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触状態を低荷重で且つ安定に保つことが可能な接触型磁気ヘッドスライダ及びこの磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、記録再生装置における記録密度向上に関する技術開発が盛んに行われている。磁気ディスク装置にあっては、記録密度の向上にともなって、情報記録媒体である磁気ディスク（以下「ディスク」という）と、ディスク上で情報の記録再生を行う磁気ヘッド（以下「ヘッド」という）とのスペーシングが狭まる傾向にあり、ディスクとヘッドとが接触した状態で記録再生を行うスライダ接触方式へと移行しつつある。
【０００３】
磁気ヘッドスライダ（以下「スライダ」という）は、ディスクと対向する側にスライダ面を持ち、スライダ面には、ディスクとスライダとの相対運動にともなって両者間に生ずる流れ（例えば空気流）の動圧による効果（流体動圧効果）による圧力が作用する。スライダ接触方式は、このスライダ面にかかる圧力の作用によって、スライダの後端、即ち、スライダのディスク進行方向側の端部の一部をディスクと接触させた状態で情報の記録再生を行う方式である。
【０００４】
図１７に示すように、スライダ１００は、並進方向１０１、ローリング方向１０３、及びピッチング方向１０２の３自由度をもつと考えられる。そこで流体動圧効果によってディスクとスライダとの隙間に形成される流体膜の剛性は、これらの３自由度に関し、外乱に対してスライダを安定に保つように設計されなければならない。
【０００５】
ここで、ディスクのうねりや振動、装置に加わる衝撃等によってスライダに作用する慣性力の影響について図１８を参照しつつ説明する。
【０００６】
慣性力の作用点は、スライダ１００の質量分布とピボット位置におけるサスペンションの等価質量から決まる重心Ｇである。重心Ｇは、スライダ１００のみの重心Ｇｈと、サスペンションの等価質量が集中的に作用するピボット位置Ｇｐとを結ぶ線上に位置する。慣性力ｆｇは流体力の変動ｄｆｈと接触力の変動ｄｆｃに配分され、接触部１０４と重心Ｇとの距離をｌｇとすれば、
【数１】
なる関係が成り立つ。従って、接触力の変動ｄｆｃを小さくするためには、流体力作用位置１０５と接触部１０４との距離をなるべく大きくし、流体力作用位置１０５と重心Ｇはなるべく近づけた方がよい。
【０００７】
このような理由から、図１９（ａ）、（ｂ）に示すような前方に正圧発生部１０６、後方に磁気ヘッド１０７を設けたスライダ形状が提案されている。このスライダ形状は、ディスクの回転にともなって発生する流体の流入側の広域に正圧発生部を配設し、流体の流出側に接触パッド部を配設することによって、流体力作用位置と接触部との距離を大きくし、かつ流体力作用位置と重心Ｇとを近づけてなるものである。なお、図１９（ａ）において、塗りつぶしパターンの違いは相対的に高さの異なる領域を表しており、図１９（ｂ）に、その塗りつぶしパターンと高さとの相関を示す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年、磁気ディスク装置は、例えばノート型パソコンなどの可搬性を有する機器への組み込みが一般となってきている。したがって、機器に加わる衝撃等に対し、スライダの接触力の変動をこれまで以上に強力に抑制することへの要望が高まってきているとともに、大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑止することへの期待も高まっている。
【０００９】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、衝撃等に対するスライダ接触力の変動を抑え、安定したヘッドロードを可能にすることに併せて大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑制することのできる接触型磁気ヘッドスライダ及びこれを備えた磁気ディスク装置を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る接触型磁気ヘッドスライダは、回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子を搭載した接触型磁気ヘッドスライダにおいて、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、これら複数の領域が、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断し、かつ前記空気流入端側から前記空気流出端側へ向かうにつれて狭くなるようにテーパが付けられた、前記最低位の段に属する第１の負圧制御領域と、前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第２の負圧制御領域と、を具備し、さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記第２の負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられていることを特徴とする。
【００１１】
この発明に係る磁気ヘッドスライダは、正圧発生を抑えたまま、スクイーズ効果が得られることから、安定したヘッドスライダロードおよび衝撃による加振動に伴う磁気ヘッドの接触変動を抑制することができ、これにより、情報記録媒体に対する磁気ヘッドの安定した接触力を保つことができる。
【００１３】
この発明の磁気ヘッドスライダによれば、情報記録媒体の回転に伴う流れの方向における第１の負圧制御領域の前方から流体が流れ込むことで、正圧発生領域の後方での負圧の発生が抑制され、情報記録媒体の半径方向における磁気ヘッドの位置に左右されることなく磁気ヘッドの接触力を得ることができる。
【００１５】
この発明の磁気ヘッドスライダによれば、第２の負圧制御領域からの空気流入を行うことができ、情報記録媒体の回転に伴う流れの方向における正圧発生部の後方での負圧の発生をさらに抑制することができる。
【００１６】
また、本発明の磁気ヘッドスライダは、前記第２の負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする。
【００１７】
この発明の磁気ヘッドスライダによれば、第２の負圧制御領域の設計的な自由度が広がり、空気流入をより緻密に制御することが可能となる。
【００１８】
さらに、本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を傾けて配置してもよい。
【００１９】
この磁気ヘッドスライダによれば、例えば、大気圧低下時おけるスクイーズパッド領域の正圧の変動と同時に、情報記録媒体の回転に伴う流体の流れの方向における後方の負圧が変化することになるので、その変動を抑えることとなり、磁気ヘッドの接触力の変動を防ぐことができる。
【００２０】
また、本発明に係る磁気ヘッドスライダにおいては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を構成する前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けて配置してもよい。
【００２１】
この磁気ヘッドスライダは、正圧の発生を抑え且つスクイーズパッド領域の面積を大きくすることができるとともに、大気圧低下時の接触力変動をより小さく制御でき、同時により大きなスクイーズ効果を得ることができる。
【００２２】
さらに、本発明に係る磁気ディスク装置は、回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子が搭載された接触型磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置において、前記接触型磁気ヘッドスライダは、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、これら複数の領域が、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断し、かつ前記空気流入端側から前記空気流出端側へ向かうにつれて狭くなるようにテーパが付けられた、前記最低位の段に属する第１の負圧制御領域と、前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第２の負圧制御領域と、を具備し、さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記第２の負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられていることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明に係る磁気ディスク装置は、前記第２の負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする。
【００２６】
さらに、本発明に係る磁気ディスク装置においては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を傾けて配置してもよい。
【００２７】
また、本発明に係る磁気ディスク装置においては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を構成する前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けて配置してもよい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係る磁気ヘッドスライダが搭載された磁気ディスク装置を示す斜視図、図２はこの磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【００３０】
これらの図に示すように、磁気ディスク装置１７は、装置本体の筐体であるベース（上蓋図示せず）１２と、磁気ディスク１３と、磁気ディスク１３よりデータのリード／ライトを行うための磁気ヘッド（磁極素子）を備えた磁気ヘッドスライダ１と、磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク３の配設位置との間で移動可能に支持するキャリッジ１５と、磁気ディスク１３を回転駆動するスピンドルモータ１６とから構成されている。
【００３１】
次に、磁気ディスクに対して接触しつつ情報のリードライトを行う接触型のスライダである本実施形態の磁気ヘッドスライダ１について詳述する。
【００３２】
図３は、磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク１３と対向する側の面からみた平面図、図４は、図３の磁気ヘッドスライダ１の各部位を塗りつぶしている塗りつぶしパターンとディスク面からの各部位の相対的な高さとの相関を示す図である。
【００３３】
これらの図において、２は空気流入端、３は空気流出端、４は磁気ヘッド、５は高さが最高位の段に属する面１領域で形成された接触パッド部、７は前記同様、高さが最高位の段に属する面１領域で形成された正圧発生領域、６は、高さが最低位の段に属する面３領域、８は高さが中間の段となる面２領域に属するスクイーズパッド領域である。
【００３４】
すなわち、正圧発生領域７、スクイーズパッド領域８、及び面３領域である領域６は、段差を介して区分され、磁気ディスク１３の回転に伴う流れの動圧効果により流体力を発生させるスライダ部を構成する。
【００３５】
また、接触パッド部５は、磁気ヘッド４が磁気ディスクと対向する面が当該磁気ディスクと接触するように磁気ヘッド４を支持する。
【００３６】
正圧発生領域７は、磁気ディスク１３の回転に伴う流れの入側に設けられ、且つ接触パッド部５との間で、最低位の段に属する面３領域を挟んで設けられている。正圧発生領域７は、接触パッド部５とともに最高位の段である面１領域に属する。
【００３７】
また、スクイーズパッド領域８は、ディスク回転方向（磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向）に沿って前方から後方に延びる部位を備え、ほぼＵ字形状に形成されている。すなわち、スクイーズパッド領域８は、正圧発生部８と接触パッド部５との間の最低位の段に属する面３領域を挟むように、磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向に沿って設けられている。また、スクイーズパッド領域８は、最高位の段である面１領域と最低位の段である面３領域との中間の段である面２領域に属する。
【００３８】
このような磁気ヘッドスライダ１は、ディスク面に比較的近い面で形成されたスクイーズパッド領域８を多く配置したことにより発生するスクイーズ効果、すなわち磁気ディスク１３と磁気ヘッドスライダ１に挟まれた空気膜から受けるスライダ運動に反発する力を利用することで、磁気ディスク１３と磁気ヘッド４との接触力変動を抑制することができる。
【００３９】
ところで、ディスク面に近い面を形成すると正圧が発生する。特にスライダ後方に、ディスク面に近い面を多く配置した場合、正圧が大きく発生してしまうことになる。したがって、例えば、従来技術のような前方のみで正圧を発生させるスライダでは、安定した接触力を得ることはできない。しかしながら、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１は、スクイーズパッド領域８が、中間の段に属する面２領域で形成されていることで、正圧発生を回避するとともにスクイーズ効果を得ることができる。
【００４０】
したがって、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１によれば、正圧発生を抑えたまま、スクイーズ効果が得られることから、安定したヘッドスライダロードおよび衝撃よる加振動に伴う接触変動を抑制することができ、これにより、磁気ディスク１３に対する磁気ヘッド４の安定した接触力を保つことができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
本実施形態には、図５に示すように、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１の正圧発生領域７を分断した磁気ヘッドスライダ１１が適用されている。
【００４２】
図５において、６ｃは、高さが前記面３領域で形成された第１の負圧制御領域、２０ａ、２０ｂは面２領域、８ａ、８ｂは面２領域で形成されたスクイーズパッド領域、７ａ、７ｂは、面１領域で形成された正圧発生領域である。
【００４３】
すなわち、この磁気ヘッドスライダ１１は、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１の正圧発生領域を、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向（前方の空気流入端２から後方の空気流出端３へ向かう方向）に沿って分断するように第１の負圧制御領域６ｃが設けられている。
【００４４】
ここで、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１では、スクイーズパッド領域８を設けたことにより、正圧発生部７及びスクイーズパッド領域８に包囲される面３領域に負圧が発生する（図３参照）。負圧は、空気流速度依存性が大きいため、磁気ディスク１３の半径方向における磁気ヘッド４の位置の違いで、磁気ディスク１３への磁気ヘッド４の接触力がこの半径位置により変動する原因となる。そこで、より小さな接触力を安定に保つためには正圧発生部７、面８部後方での負圧発生を抑制することが好ましい。
【００４５】
したがって、正圧発生部を分断する第１の負圧制御領域６ｃを備えた本実施形態の磁気ヘッドスライダ１１は、流入端２から空気が流れ込み、正圧発生領域７ａ、ｂの後方での負圧の発生が抑制され、磁気ディスク１３の半径方向における磁気ヘッド４の位置に左右されることのない接触力を得ることができる。
【００４６】
さらに、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の第１の負圧制御領域６ｃには、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向、すなわち前方から後方に向けて負圧制御領域（面３領域）が狭くなるようにテーパを付けた空気流入制御部９ａ、９ｂが設けられている。
【００４７】
これにより、第１の負圧制御領域６ｃからの流入空気が後方に向かい圧縮され、正圧発生部７ａ、ｂ後方では高い正圧となるため、正圧発生部７ａ、ｂ後方での負圧発生をさらに抑制することができる。
【００４８】
（第３の実施形態）
本実施形態には、図６に示すように、第２の実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の正圧発生部７ａ、ｂとスクイーズパッド領域８とを分断した磁気ヘッドスライダ２１が適用されている。
【００４９】
図６において、６ｄ、６ｅは、高さが前記面３領域で形成された第２の負圧制御領域である。
【００５０】
すなわち、この磁気ヘッドスライダ２１は、第２の実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の正圧発生部７ａ、ｂとスクイーズパッド領域８ｃ、８ｄとを、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向における前方（空気流入端２側）と後方（空気流出端３へ向かう方向）とに分断するように第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅが設けられている。さらに、第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅには、形成されるテーパ角度により空気流入量を調整可能な空気流入制御部１０ａ、１０ｂが設けられている。
【００５１】
これにより、本実施形態の磁気ヘッドスライダ２１によれば、第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅからの空気流入を行うことができ、正圧発生部の後方での負圧の発生をさらに抑制することができる。
【００５２】
（第４の実施形態）
本実施形態には、図７の斜視図及び図８の平面図にそれぞれ示すように、第３の実施形態の磁気ヘッドスライダ２１に代えて磁気ヘッドスライダ３１が適用されている。
【００５３】
この磁気ヘッドスライダ３１は、正圧発生部７ａ、７ｂの後方、つまり正圧発生部７ａ、７ｂと第２の負圧制御領域６ｄ、ｅとの間に挟まれるように第３の負圧制御領域２０ｃ、２０ｄが、面２領域の高さで設けられている。さらに、第３の負圧制御領域２０ｃ、２０ｄには、形成されるテーパ角度により空気流入量を調整可能な空気流入制御部１０ｃ、１０ｄが設けられている。これらの構成により、第２の負圧制御領域６ｄ、ｅの設計的な自由度が広がり、空気流入をより緻密に制御することが可能となる。つまり、磁気ヘッドスライダ３１は、空気の流速に対し、より安定な磁気ヘッド４の接触力を得ることができる。
【００５４】
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１の流体動圧作用について図９乃至図１２に基づき考察する。
【００５５】
磁気ヘッドスライダは、図９（ａ）に示すように、並進方向１０１、ピッチング方向１０２、及びローリング方向１０３の３自由度を持つ。さらに、磁気ヘッドスライダには、姿勢変動に伴って、空気膜からの反力又は反トルクが働く。
【００５６】
図９（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ並進方向１０１の変動速度Ｖｚ及び反力Ｃｚｚと、ピッチング方向１０２の変動速度Ｖθｐ及び反トルクＣｐｐと、ローリング方向の変動速度Ｖθｒ及び反トルクＣｒｒの流体動圧作用を示している。
【００５７】
図１０乃至図１２は、スクイーズパッド効果を示すグラフであって、並進方向１０１、ピッチング方向１０２、ローリング方向１０３に単位振幅にて各周波数で本実施形態の磁気ヘッドスライダ３１と図１９に示した従来の磁気ヘッドスライダ１００とをそれぞれ振動させた際に個々のスライダに働く反力または反トルクを示している。図１０乃至図１２の各グラフの横軸は、振動周波数[Hz](1Hz〜1MHz)を示し、図１０の縦軸は、並進方向１０１に単位振幅で振動した際スライダに働く反力[mN/mm]を示している。図１１及び図１２示すグラフの縦軸は、単位振幅で振動した際スライダに働く反トルク[mNmm/rad]を示している。
【００５８】
これらのグラフから明らかなように、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１は、振動した際に、従来の磁気ヘッドスライダ１００よりも、振動を抑制する大きな反力および反トルクを受けることにより、安定した姿勢を保つことができる。
【００５９】
（第５の実施形態）
本実施形態では、第４の実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１に代えて、図１３に示すように磁気ヘッドスライダ４１が適用されている。
【００６０】
すなわち、磁気ヘッドスライダ４１は、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆが、ディスク回転方向に沿った方向において第１乃至第４の実施形態のスクイーズパッド領域よりも短く、しかもディスク回転方向に沿った方向から直行する方向に傾けて形成されている。
【００６１】
ところで、第１乃至第４の実施形態において、磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向、すなわち、ディスク回転方向に沿った形状のスクイーズパッド領域８、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄは、大気圧低下時において接触力が増加する場合がある。
【００６２】
スクイーズパッド領域８が、第１乃至第４の実施形態のスライダに設けられてた形状のように、ディスク回転方向（磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向）に沿った長い形状の場合、その長さの分だけ空気が圧縮され、スクイーズパッド領域後方で正圧が発生した状態で、接触姿勢を保っている。したがって、大気圧低下時においてはスクイーズパッド領域後方の正圧が小さくなるため接触力の増加となる。大気圧低下時においても、スライダ姿勢の変動を小さくすることができる。
【００６３】
これに対し、本実施形態の磁気ヘッドスライダ４１は、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆが、ディスク回転方向において短い形状であるため、このスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆでの正圧発生が抑えられるとともに、ディスク回転方向に直行する方向に傾いた方向に長い形状であるため、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆ後方で負圧が発生する。この負圧はスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆで発生した正圧を打ち消すこととなる。さらに、この場合、大気圧低下時おけるスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆの正圧の変動と同時に、後方の負圧が変化することにより、その変動を抑えることとなり、磁気ヘッドの接触力の変動を防ぐことができる。
【００６４】
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１の流体動圧作用を図１４に基づき説明する。
【００６５】
図１４（ａ）に示すように、第４の実施形態に係るヘッドスライダ３１では、スライダに加わる力は、図示しないサスペンションからの荷重Ｆ、流体力ｆｈ、磁気ヘッドの接触力ｆｃ、スクイーズパッド領域に発生する正圧ｆｐである。圧力低下時には正圧ｆｐは小さくなるため、接触力ｆｃは大きく増加することになる。
【００６６】
一方、図１４（ｂ）に示すように、第５の実施形態に係るヘッドスライダ４１では、スクイーズパッド形状をディスク回転方向と直行する方向に傾けた形状を持つことにより、スクイーズパッド領域には、正圧ｆｐと共にその後方に負圧ｆｎが発生する。大気圧低下時にはスライダ３１と同様ｆｐが変動すると同時に、それを打ち消す負圧ｆｎも変動し、スクイーズパッド領域に作用する合力は大気圧低下前とほぼ同様にすることが可能である。したがって、大気圧低下時の接触力ｆｃの変動を小さくすることができる。
【００６７】
したがって、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１によれば、磁気磁気ディスクに対して磁気ヘッドの接触力の変動を確実に防ぐことができる。
【００６８】
（第６の実施形態）
本実施形態では、第５の実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１に代えて、図１５に示すように磁気ヘッドスライダ５１が適用されている。
【００６９】
すなわち、磁気ヘッドスライダ５１は、スクイーズパッド領域が、ディスク回転方向に沿った方向において第１乃至第４の実施形態のスクイーズパッド領域よりも短く、当該ディスク回転方向に対し、前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けたスクイーズパッド領域８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊが設けられている。
【００７０】
この構成により、正圧発生を抑え、スクイーズパッド領域の面積を大きくすることができるとともに、大気圧低下時の接触力変動をより小さく制御でき、同時により大きなスクイーズ効果を得ることができる。
【００７１】
ここで、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダについて図１６に基づき考察する。
【００７２】
前述した第４の実施形態の磁気ヘッドスライダ３１において、スライダに加わる力は、図示しないサスペンションからの荷重Ｆ、流体力ｆｈ、接触力ｆｃ、スクイーズパッド領域に発生する正圧ｆｐである。圧力低下時には正圧ｆｐは小さくなるため、接触力ｆｃは大きく増加することになる。
【００７３】
磁気ヘッドスライダ５１は、ディスク回転方向に対し、前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けたスクイーズパッド領域８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊが配置されているので、このスクイーズパッド領域には、正圧ｆｐ１、ｆｐ２と共にその後方に負圧ｆｎ１、ｆｎ２が発生する。
【００７４】
さらに、磁気ヘッドスライダ５１は、第４の実施形態の磁気ヘッドスライダ３１と同様、ｆｐ１、ｆｐ２が変動すると同時に、それを打ち消す負圧ｆｎ１、ｆｎ２も変動し、スクイーズパッド領域に作用する合力は大気圧低下前とほぼ同様にすることが可能である。したがって、磁気ヘッドスライダ５１は、大気圧低下時の磁気ヘッドの接触力ｆｃの変動を小さくすることができる。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、衝撃等に対するスライダ接触力の変動を抑え、安定したヘッドロードを可能にすることに併せて大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る磁気ヘッドスライダが搭載された磁気ディスク装置を示す斜視図である。
【図２】図１の磁気ディスク装置が備える磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図３】図２の磁気ヘッドスライダを磁気ディスクと対向する側の面からみた平面図である。
【図４】図３の磁気ヘッドスライダの各部位を塗りつぶしている塗りつぶしパターンとディスク面からの各部位の相対的な高さとの相関を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図８】図７の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図９】流体動圧作用を受ける図７の磁気ヘッドスライダの姿勢を説明するための図である。
【図１０】図７の磁気ヘッドスライダの並進方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１１】図７の磁気ヘッドスライダのピッチング方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１２】図７の磁気ヘッドスライダのローリング方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１３】本発明の第５の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１４】図１３の磁気ヘッドスライダによるスクイーズパッド効果を説明するための図である。
【図１５】本発明の第６の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１６】図１５の磁気ヘッドスライダによるスクイーズパッド効果を説明するための図である。
【図１７】流体動圧作用を受ける磁気ヘッドスライダの姿勢を説明するための図である。
【図１８】衝撃等によって磁気ヘッドスライダに作用する慣性力の影響を説明するための図である。
【図１９】従来の磁気ヘッドスライダを示す図
【符号の説明】
１、１１、２１、３１、４１、５１…磁気ヘッドスライダ
２…空気流入端
３…空気流出端
４…磁気ヘッド
５…接触パッド部
６ｃ…第１の負圧制御領域
６ｄ、６ｅ…第２の負圧制御領域
７、７ａ、７ｂ…正圧発生領域
８、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆ、８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊ…スクイーズパッド領域
２０ｃ、２０ｄ…第３の負圧制御領域
９ａ、９ｂ、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ…空気流入制御部
１３…磁気ディスク
１６…スピンドルモータ
１７…磁気ディスク装置
本発明は、情報記録媒体である磁気ディスク上に、磁気ヘッドが接触した状態で情報の記録再生を行う磁気ディスク装置に係り、特に、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触状態を低荷重で且つ安定に保つことが可能な接触型磁気ヘッドスライダ及びこの磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、記録再生装置における記録密度向上に関する技術開発が盛んに行われている。磁気ディスク装置にあっては、記録密度の向上にともなって、情報記録媒体である磁気ディスク（以下「ディスク」という）と、ディスク上で情報の記録再生を行う磁気ヘッド（以下「ヘッド」という）とのスペーシングが狭まる傾向にあり、ディスクとヘッドとが接触した状態で記録再生を行うスライダ接触方式へと移行しつつある。
【０００３】
磁気ヘッドスライダ（以下「スライダ」という）は、ディスクと対向する側にスライダ面を持ち、スライダ面には、ディスクとスライダとの相対運動にともなって両者間に生ずる流れ（例えば空気流）の動圧による効果（流体動圧効果）による圧力が作用する。スライダ接触方式は、このスライダ面にかかる圧力の作用によって、スライダの後端、即ち、スライダのディスク進行方向側の端部の一部をディスクと接触させた状態で情報の記録再生を行う方式である。
【０００４】
図１７に示すように、スライダ１００は、並進方向１０１、ローリング方向１０３、及びピッチング方向１０２の３自由度をもつと考えられる。そこで流体動圧効果によってディスクとスライダとの隙間に形成される流体膜の剛性は、これらの３自由度に関し、外乱に対してスライダを安定に保つように設計されなければならない。
【０００５】
ここで、ディスクのうねりや振動、装置に加わる衝撃等によってスライダに作用する慣性力の影響について図１８を参照しつつ説明する。
【０００６】
慣性力の作用点は、スライダ１００の質量分布とピボット位置におけるサスペンションの等価質量から決まる重心Ｇである。重心Ｇは、スライダ１００のみの重心Ｇｈと、サスペンションの等価質量が集中的に作用するピボット位置Ｇｐとを結ぶ線上に位置する。慣性力ｆｇは流体力の変動ｄｆｈと接触力の変動ｄｆｃに配分され、接触部１０４と重心Ｇとの距離をｌｇとすれば、
【数１】
【０００７】
このような理由から、図１９（ａ）、（ｂ）に示すような前方に正圧発生部１０６、後方に磁気ヘッド１０７を設けたスライダ形状が提案されている。このスライダ形状は、ディスクの回転にともなって発生する流体の流入側の広域に正圧発生部を配設し、流体の流出側に接触パッド部を配設することによって、流体力作用位置と接触部との距離を大きくし、かつ流体力作用位置と重心Ｇとを近づけてなるものである。なお、図１９（ａ）において、塗りつぶしパターンの違いは相対的に高さの異なる領域を表しており、図１９（ｂ）に、その塗りつぶしパターンと高さとの相関を示す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年、磁気ディスク装置は、例えばノート型パソコンなどの可搬性を有する機器への組み込みが一般となってきている。したがって、機器に加わる衝撃等に対し、スライダの接触力の変動をこれまで以上に強力に抑制することへの要望が高まってきているとともに、大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑止することへの期待も高まっている。
【０００９】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、衝撃等に対するスライダ接触力の変動を抑え、安定したヘッドロードを可能にすることに併せて大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑制することのできる接触型磁気ヘッドスライダ及びこれを備えた磁気ディスク装置を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る接触型磁気ヘッドスライダは、回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子を搭載した接触型磁気ヘッドスライダにおいて、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、これら複数の領域が、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断し、かつ前記空気流入端側から前記空気流出端側へ向かうにつれて狭くなるようにテーパが付けられた、前記最低位の段に属する第１の負圧制御領域と、前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第２の負圧制御領域と、を具備し、さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記第２の負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられていることを特徴とする。
【００１１】
この発明に係る磁気ヘッドスライダは、正圧発生を抑えたまま、スクイーズ効果が得られることから、安定したヘッドスライダロードおよび衝撃による加振動に伴う磁気ヘッドの接触変動を抑制することができ、これにより、情報記録媒体に対する磁気ヘッドの安定した接触力を保つことができる。
【００１３】
この発明の磁気ヘッドスライダによれば、情報記録媒体の回転に伴う流れの方向における第１の負圧制御領域の前方から流体が流れ込むことで、正圧発生領域の後方での負圧の発生が抑制され、情報記録媒体の半径方向における磁気ヘッドの位置に左右されることなく磁気ヘッドの接触力を得ることができる。
【００１５】
この発明の磁気ヘッドスライダによれば、第２の負圧制御領域からの空気流入を行うことができ、情報記録媒体の回転に伴う流れの方向における正圧発生部の後方での負圧の発生をさらに抑制することができる。
【００１６】
また、本発明の磁気ヘッドスライダは、前記第２の負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする。
【００１７】
この発明の磁気ヘッドスライダによれば、第２の負圧制御領域の設計的な自由度が広がり、空気流入をより緻密に制御することが可能となる。
【００１８】
さらに、本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を傾けて配置してもよい。
【００１９】
この磁気ヘッドスライダによれば、例えば、大気圧低下時おけるスクイーズパッド領域の正圧の変動と同時に、情報記録媒体の回転に伴う流体の流れの方向における後方の負圧が変化することになるので、その変動を抑えることとなり、磁気ヘッドの接触力の変動を防ぐことができる。
【００２０】
また、本発明に係る磁気ヘッドスライダにおいては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を構成する前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けて配置してもよい。
【００２１】
この磁気ヘッドスライダは、正圧の発生を抑え且つスクイーズパッド領域の面積を大きくすることができるとともに、大気圧低下時の接触力変動をより小さく制御でき、同時により大きなスクイーズ効果を得ることができる。
【００２２】
さらに、本発明に係る磁気ディスク装置は、回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子が搭載された接触型磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置において、前記接触型磁気ヘッドスライダは、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、これら複数の領域が、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断し、かつ前記空気流入端側から前記空気流出端側へ向かうにつれて狭くなるようにテーパが付けられた、前記最低位の段に属する第１の負圧制御領域と、前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第２の負圧制御領域と、を具備し、さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記第２の負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられていることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明に係る磁気ディスク装置は、前記第２の負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする。
【００２６】
さらに、本発明に係る磁気ディスク装置においては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を傾けて配置してもよい。
【００２７】
また、本発明に係る磁気ディスク装置においては、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に対し、前記スクイーズパッド領域を構成する前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けて配置してもよい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係る磁気ヘッドスライダが搭載された磁気ディスク装置を示す斜視図、図２はこの磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【００３０】
これらの図に示すように、磁気ディスク装置１７は、装置本体の筐体であるベース（上蓋図示せず）１２と、磁気ディスク１３と、磁気ディスク１３よりデータのリード／ライトを行うための磁気ヘッド（磁極素子）を備えた磁気ヘッドスライダ１と、磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク３の配設位置との間で移動可能に支持するキャリッジ１５と、磁気ディスク１３を回転駆動するスピンドルモータ１６とから構成されている。
【００３１】
次に、磁気ディスクに対して接触しつつ情報のリードライトを行う接触型のスライダである本実施形態の磁気ヘッドスライダ１について詳述する。
【００３２】
図３は、磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク１３と対向する側の面からみた平面図、図４は、図３の磁気ヘッドスライダ１の各部位を塗りつぶしている塗りつぶしパターンとディスク面からの各部位の相対的な高さとの相関を示す図である。
【００３３】
これらの図において、２は空気流入端、３は空気流出端、４は磁気ヘッド、５は高さが最高位の段に属する面１領域で形成された接触パッド部、７は前記同様、高さが最高位の段に属する面１領域で形成された正圧発生領域、６は、高さが最低位の段に属する面３領域、８は高さが中間の段となる面２領域に属するスクイーズパッド領域である。
【００３４】
すなわち、正圧発生領域７、スクイーズパッド領域８、及び面３領域である領域６は、段差を介して区分され、磁気ディスク１３の回転に伴う流れの動圧効果により流体力を発生させるスライダ部を構成する。
【００３５】
また、接触パッド部５は、磁気ヘッド４が磁気ディスクと対向する面が当該磁気ディスクと接触するように磁気ヘッド４を支持する。
【００３６】
正圧発生領域７は、磁気ディスク１３の回転に伴う流れの入側に設けられ、且つ接触パッド部５との間で、最低位の段に属する面３領域を挟んで設けられている。正圧発生領域７は、接触パッド部５とともに最高位の段である面１領域に属する。
【００３７】
また、スクイーズパッド領域８は、ディスク回転方向（磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向）に沿って前方から後方に延びる部位を備え、ほぼＵ字形状に形成されている。すなわち、スクイーズパッド領域８は、正圧発生部８と接触パッド部５との間の最低位の段に属する面３領域を挟むように、磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向に沿って設けられている。また、スクイーズパッド領域８は、最高位の段である面１領域と最低位の段である面３領域との中間の段である面２領域に属する。
【００３８】
このような磁気ヘッドスライダ１は、ディスク面に比較的近い面で形成されたスクイーズパッド領域８を多く配置したことにより発生するスクイーズ効果、すなわち磁気ディスク１３と磁気ヘッドスライダ１に挟まれた空気膜から受けるスライダ運動に反発する力を利用することで、磁気ディスク１３と磁気ヘッド４との接触力変動を抑制することができる。
【００３９】
ところで、ディスク面に近い面を形成すると正圧が発生する。特にスライダ後方に、ディスク面に近い面を多く配置した場合、正圧が大きく発生してしまうことになる。したがって、例えば、従来技術のような前方のみで正圧を発生させるスライダでは、安定した接触力を得ることはできない。しかしながら、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１は、スクイーズパッド領域８が、中間の段に属する面２領域で形成されていることで、正圧発生を回避するとともにスクイーズ効果を得ることができる。
【００４０】
したがって、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１によれば、正圧発生を抑えたまま、スクイーズ効果が得られることから、安定したヘッドスライダロードおよび衝撃よる加振動に伴う接触変動を抑制することができ、これにより、磁気ディスク１３に対する磁気ヘッド４の安定した接触力を保つことができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
本実施形態には、図５に示すように、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１の正圧発生領域７を分断した磁気ヘッドスライダ１１が適用されている。
【００４２】
図５において、６ｃは、高さが前記面３領域で形成された第１の負圧制御領域、２０ａ、２０ｂは面２領域、８ａ、８ｂは面２領域で形成されたスクイーズパッド領域、７ａ、７ｂは、面１領域で形成された正圧発生領域である。
【００４３】
すなわち、この磁気ヘッドスライダ１１は、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１の正圧発生領域を、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向（前方の空気流入端２から後方の空気流出端３へ向かう方向）に沿って分断するように第１の負圧制御領域６ｃが設けられている。
【００４４】
ここで、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１では、スクイーズパッド領域８を設けたことにより、正圧発生部７及びスクイーズパッド領域８に包囲される面３領域に負圧が発生する（図３参照）。負圧は、空気流速度依存性が大きいため、磁気ディスク１３の半径方向における磁気ヘッド４の位置の違いで、磁気ディスク１３への磁気ヘッド４の接触力がこの半径位置により変動する原因となる。そこで、より小さな接触力を安定に保つためには正圧発生部７、面８部後方での負圧発生を抑制することが好ましい。
【００４５】
したがって、正圧発生部を分断する第１の負圧制御領域６ｃを備えた本実施形態の磁気ヘッドスライダ１１は、流入端２から空気が流れ込み、正圧発生領域７ａ、ｂの後方での負圧の発生が抑制され、磁気ディスク１３の半径方向における磁気ヘッド４の位置に左右されることのない接触力を得ることができる。
【００４６】
さらに、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の第１の負圧制御領域６ｃには、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向、すなわち前方から後方に向けて負圧制御領域（面３領域）が狭くなるようにテーパを付けた空気流入制御部９ａ、９ｂが設けられている。
【００４７】
これにより、第１の負圧制御領域６ｃからの流入空気が後方に向かい圧縮され、正圧発生部７ａ、ｂ後方では高い正圧となるため、正圧発生部７ａ、ｂ後方での負圧発生をさらに抑制することができる。
【００４８】
（第３の実施形態）
本実施形態には、図６に示すように、第２の実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の正圧発生部７ａ、ｂとスクイーズパッド領域８とを分断した磁気ヘッドスライダ２１が適用されている。
【００４９】
図６において、６ｄ、６ｅは、高さが前記面３領域で形成された第２の負圧制御領域である。
【００５０】
すなわち、この磁気ヘッドスライダ２１は、第２の実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の正圧発生部７ａ、ｂとスクイーズパッド領域８ｃ、８ｄとを、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向における前方（空気流入端２側）と後方（空気流出端３へ向かう方向）とに分断するように第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅが設けられている。さらに、第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅには、形成されるテーパ角度により空気流入量を調整可能な空気流入制御部１０ａ、１０ｂが設けられている。
【００５１】
これにより、本実施形態の磁気ヘッドスライダ２１によれば、第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅからの空気流入を行うことができ、正圧発生部の後方での負圧の発生をさらに抑制することができる。
【００５２】
（第４の実施形態）
本実施形態には、図７の斜視図及び図８の平面図にそれぞれ示すように、第３の実施形態の磁気ヘッドスライダ２１に代えて磁気ヘッドスライダ３１が適用されている。
【００５３】
この磁気ヘッドスライダ３１は、正圧発生部７ａ、７ｂの後方、つまり正圧発生部７ａ、７ｂと第２の負圧制御領域６ｄ、ｅとの間に挟まれるように第３の負圧制御領域２０ｃ、２０ｄが、面２領域の高さで設けられている。さらに、第３の負圧制御領域２０ｃ、２０ｄには、形成されるテーパ角度により空気流入量を調整可能な空気流入制御部１０ｃ、１０ｄが設けられている。これらの構成により、第２の負圧制御領域６ｄ、ｅの設計的な自由度が広がり、空気流入をより緻密に制御することが可能となる。つまり、磁気ヘッドスライダ３１は、空気の流速に対し、より安定な磁気ヘッド４の接触力を得ることができる。
【００５４】
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１の流体動圧作用について図９乃至図１２に基づき考察する。
【００５５】
磁気ヘッドスライダは、図９（ａ）に示すように、並進方向１０１、ピッチング方向１０２、及びローリング方向１０３の３自由度を持つ。さらに、磁気ヘッドスライダには、姿勢変動に伴って、空気膜からの反力又は反トルクが働く。
【００５６】
図９（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ並進方向１０１の変動速度Ｖｚ及び反力Ｃｚｚと、ピッチング方向１０２の変動速度Ｖθｐ及び反トルクＣｐｐと、ローリング方向の変動速度Ｖθｒ及び反トルクＣｒｒの流体動圧作用を示している。
【００５７】
図１０乃至図１２は、スクイーズパッド効果を示すグラフであって、並進方向１０１、ピッチング方向１０２、ローリング方向１０３に単位振幅にて各周波数で本実施形態の磁気ヘッドスライダ３１と図１９に示した従来の磁気ヘッドスライダ１００とをそれぞれ振動させた際に個々のスライダに働く反力または反トルクを示している。図１０乃至図１２の各グラフの横軸は、振動周波数[Hz](1Hz〜1MHz)を示し、図１０の縦軸は、並進方向１０１に単位振幅で振動した際スライダに働く反力[mN/mm]を示している。図１１及び図１２示すグラフの縦軸は、単位振幅で振動した際スライダに働く反トルク[mNmm/rad]を示している。
【００５８】
これらのグラフから明らかなように、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１は、振動した際に、従来の磁気ヘッドスライダ１００よりも、振動を抑制する大きな反力および反トルクを受けることにより、安定した姿勢を保つことができる。
【００５９】
（第５の実施形態）
本実施形態では、第４の実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１に代えて、図１３に示すように磁気ヘッドスライダ４１が適用されている。
【００６０】
すなわち、磁気ヘッドスライダ４１は、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆが、ディスク回転方向に沿った方向において第１乃至第４の実施形態のスクイーズパッド領域よりも短く、しかもディスク回転方向に沿った方向から直行する方向に傾けて形成されている。
【００６１】
ところで、第１乃至第４の実施形態において、磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向、すなわち、ディスク回転方向に沿った形状のスクイーズパッド領域８、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄは、大気圧低下時において接触力が増加する場合がある。
【００６２】
スクイーズパッド領域８が、第１乃至第４の実施形態のスライダに設けられてた形状のように、ディスク回転方向（磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向）に沿った長い形状の場合、その長さの分だけ空気が圧縮され、スクイーズパッド領域後方で正圧が発生した状態で、接触姿勢を保っている。したがって、大気圧低下時においてはスクイーズパッド領域後方の正圧が小さくなるため接触力の増加となる。大気圧低下時においても、スライダ姿勢の変動を小さくすることができる。
【００６３】
これに対し、本実施形態の磁気ヘッドスライダ４１は、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆが、ディスク回転方向において短い形状であるため、このスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆでの正圧発生が抑えられるとともに、ディスク回転方向に直行する方向に傾いた方向に長い形状であるため、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆ後方で負圧が発生する。この負圧はスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆで発生した正圧を打ち消すこととなる。さらに、この場合、大気圧低下時おけるスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆの正圧の変動と同時に、後方の負圧が変化することにより、その変動を抑えることとなり、磁気ヘッドの接触力の変動を防ぐことができる。
【００６４】
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１の流体動圧作用を図１４に基づき説明する。
【００６５】
図１４（ａ）に示すように、第４の実施形態に係るヘッドスライダ３１では、スライダに加わる力は、図示しないサスペンションからの荷重Ｆ、流体力ｆｈ、磁気ヘッドの接触力ｆｃ、スクイーズパッド領域に発生する正圧ｆｐである。圧力低下時には正圧ｆｐは小さくなるため、接触力ｆｃは大きく増加することになる。
【００６６】
一方、図１４（ｂ）に示すように、第５の実施形態に係るヘッドスライダ４１では、スクイーズパッド形状をディスク回転方向と直行する方向に傾けた形状を持つことにより、スクイーズパッド領域には、正圧ｆｐと共にその後方に負圧ｆｎが発生する。大気圧低下時にはスライダ３１と同様ｆｐが変動すると同時に、それを打ち消す負圧ｆｎも変動し、スクイーズパッド領域に作用する合力は大気圧低下前とほぼ同様にすることが可能である。したがって、大気圧低下時の接触力ｆｃの変動を小さくすることができる。
【００６７】
したがって、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１によれば、磁気磁気ディスクに対して磁気ヘッドの接触力の変動を確実に防ぐことができる。
【００６８】
（第６の実施形態）
本実施形態では、第５の実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１に代えて、図１５に示すように磁気ヘッドスライダ５１が適用されている。
【００６９】
すなわち、磁気ヘッドスライダ５１は、スクイーズパッド領域が、ディスク回転方向に沿った方向において第１乃至第４の実施形態のスクイーズパッド領域よりも短く、当該ディスク回転方向に対し、前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けたスクイーズパッド領域８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊが設けられている。
【００７０】
この構成により、正圧発生を抑え、スクイーズパッド領域の面積を大きくすることができるとともに、大気圧低下時の接触力変動をより小さく制御でき、同時により大きなスクイーズ効果を得ることができる。
【００７１】
ここで、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダについて図１６に基づき考察する。
【００７２】
前述した第４の実施形態の磁気ヘッドスライダ３１において、スライダに加わる力は、図示しないサスペンションからの荷重Ｆ、流体力ｆｈ、接触力ｆｃ、スクイーズパッド領域に発生する正圧ｆｐである。圧力低下時には正圧ｆｐは小さくなるため、接触力ｆｃは大きく増加することになる。
【００７３】
磁気ヘッドスライダ５１は、ディスク回転方向に対し、前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けたスクイーズパッド領域８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊが配置されているので、このスクイーズパッド領域には、正圧ｆｐ１、ｆｐ２と共にその後方に負圧ｆｎ１、ｆｎ２が発生する。
【００７４】
さらに、磁気ヘッドスライダ５１は、第４の実施形態の磁気ヘッドスライダ３１と同様、ｆｐ１、ｆｐ２が変動すると同時に、それを打ち消す負圧ｆｎ１、ｆｎ２も変動し、スクイーズパッド領域に作用する合力は大気圧低下前とほぼ同様にすることが可能である。したがって、磁気ヘッドスライダ５１は、大気圧低下時の磁気ヘッドの接触力ｆｃの変動を小さくすることができる。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、衝撃等に対するスライダ接触力の変動を抑え、安定したヘッドロードを可能にすることに併せて大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る磁気ヘッドスライダが搭載された磁気ディスク装置を示す斜視図である。
【図２】図１の磁気ディスク装置が備える磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図３】図２の磁気ヘッドスライダを磁気ディスクと対向する側の面からみた平面図である。
【図４】図３の磁気ヘッドスライダの各部位を塗りつぶしている塗りつぶしパターンとディスク面からの各部位の相対的な高さとの相関を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図８】図７の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図９】流体動圧作用を受ける図７の磁気ヘッドスライダの姿勢を説明するための図である。
【図１０】図７の磁気ヘッドスライダの並進方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１１】図７の磁気ヘッドスライダのピッチング方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１２】図７の磁気ヘッドスライダのローリング方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１３】本発明の第５の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１４】図１３の磁気ヘッドスライダによるスクイーズパッド効果を説明するための図である。
【図１５】本発明の第６の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１６】図１５の磁気ヘッドスライダによるスクイーズパッド効果を説明するための図である。
【図１７】流体動圧作用を受ける磁気ヘッドスライダの姿勢を説明するための図である。
【図１８】衝撃等によって磁気ヘッドスライダに作用する慣性力の影響を説明するための図である。
【図１９】従来の磁気ヘッドスライダを示す図
【符号の説明】
１、１１、２１、３１、４１、５１…磁気ヘッドスライダ
２…空気流入端
３…空気流出端
４…磁気ヘッド
５…接触パッド部
６ｃ…第１の負圧制御領域
６ｄ、６ｅ…第２の負圧制御領域
７、７ａ、７ｂ…正圧発生領域
８、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆ、８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊ…スクイーズパッド領域
２０ｃ、２０ｄ…第３の負圧制御領域
９ａ、９ｂ、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ…空気流入制御部
１３…磁気ディスク
１６…スピンドルモータ
１７…磁気ディスク装置
Claims (6)
- 回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子を搭載した接触型磁気ヘッドスライダにおいて、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、
前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、
これら複数の領域が、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、
前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断し、かつ前記空気流入端側から前記空気流出端側へ向かうにつれて狭くなるようにテーパが付けられた、前記最低位の段に属する第１の負圧制御領域と、
前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第２の負圧制御領域と、
を具備し、
さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記第２の負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられている
ことを特徴とする接触型磁気ヘッドスライダ。 - 請求項１記載の接触型磁気ヘッドスライダにおいて、
前記第２の負圧制御領域には、空気の流入量を調整するためのテーパが付けられていることを特徴とする接触型磁気ヘッドスライダ。 - 請求項１記載の接触型磁気ヘッドスライダにおいて、
前記第２の負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする接触型磁気ヘッドスライダ。 - 回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子が搭載された接触型磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置において、
前記接触型磁気ヘッドスライダは、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、
前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、
これら複数の領域が、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、
前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断し、かつ前記空気流入端側から前記空気流出端側へ向かうにつれて狭くなるようにテーパが付けられた、前記最低位の段に属する第１の負圧制御領域と、
前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第２の負圧制御領域と、
を具備し、
さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記第２の負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられている
ことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 請求項４記載の磁気ディスク装置において、
前記第２の負圧制御領域には、空気の流入量を調整するためのテーパが付けられていることを特徴とする磁気ディスク装置。 - 請求項４記載の磁気ディスク装置において、
前記第２の負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする磁気ディスク装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000286222A JP3977579B2 (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
| SG200105620A SG92813A1 (en) | 2000-09-20 | 2001-09-13 | Head contact type magnetic disk memory device having a novel magnetic head slider |
| US09/956,158 US6801399B2 (en) | 2000-09-20 | 2001-09-20 | Disk device magnetic head slider including a contact pad, a positive pressure pad area, and a squeeze pad area |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000286222A JP3977579B2 (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007096272A Division JP4006017B2 (ja) | 2007-04-02 | 2007-04-02 | 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002092836A JP2002092836A (ja) | 2002-03-29 |
| JP2002092836A5 JP2002092836A5 (ja) | 2005-06-09 |
| JP3977579B2 true JP3977579B2 (ja) | 2007-09-19 |
Family
ID=18770173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000286222A Expired - Fee Related JP3977579B2 (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6801399B2 (ja) |
| JP (1) | JP3977579B2 (ja) |
| SG (1) | SG92813A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003173644A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-20 | Toshiba Corp | ヘッドスライダ、およびディスク装置 |
| JP4061178B2 (ja) * | 2002-11-14 | 2008-03-12 | 富士通株式会社 | 磁気ディスク用ヘッドスライダ |
| WO2004105030A1 (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-02 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | System and method for a subambient pressure air bearing slider utilizing negative pressure grooves |
| JP4057982B2 (ja) | 2003-09-02 | 2008-03-05 | 株式会社東芝 | 接触型磁気ヘッドスライダ、磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録装置 |
| JP2005149702A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ヘッドスライダおよびそれを備えたディスク装置 |
| JP2005285218A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toshiba Corp | 浮上ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置 |
| JP2006155764A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッドスライダ、磁気ヘッドアセンブリおよび磁気ディスク装置 |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04228157A (ja) * | 1990-07-13 | 1992-08-18 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドスライダ |
| JP2751609B2 (ja) * | 1990-09-21 | 1998-05-18 | 三菱電機株式会社 | 磁気ヘッドスライダ及びその支持機構 |
| JP3044860B2 (ja) | 1991-09-18 | 2000-05-22 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッドスライダ |
| JPH07307069A (ja) | 1993-12-22 | 1995-11-21 | Toshiba Corp | 磁気ヘッド及びこれを用いた磁気ディスク装置 |
| US5859748A (en) | 1993-12-22 | 1999-01-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head device including an improved slider shape |
| JP3139323B2 (ja) | 1995-04-07 | 2001-02-26 | 株式会社日立製作所 | 磁気ディスク装置及びスライダ |
| US5777825A (en) * | 1996-09-04 | 1998-07-07 | International Business Machines Corporation | Negative pressure step pad air bearing design and method for making the same |
| JP3292296B2 (ja) * | 1997-03-25 | 2002-06-17 | ティーディーケイ株式会社 | スライダ、ヘッド、ヘッド装置及び記録再生装置 |
| JPH10302238A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-13 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
| US6055128A (en) * | 1997-05-14 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Dual etch step pad air bearing design with three etch depths |
| US5940249A (en) * | 1997-11-10 | 1999-08-17 | International Business Machines Corporation | Shielded air bearing slider |
| US6125005A (en) * | 1997-12-30 | 2000-09-26 | International Business Machines Corporation | Altitude insensitive air bearing using pitch compensation for data storage application |
| JP3772026B2 (ja) * | 1998-06-30 | 2006-05-10 | 株式会社東芝 | ディスク記憶装置及び同装置に使用するヘッドスライダ |
| US6459546B1 (en) * | 1998-07-21 | 2002-10-01 | Seagate Technology Llc | Altitude insensitive disc head slider |
| JP3674347B2 (ja) * | 1998-09-28 | 2005-07-20 | 富士通株式会社 | 負圧ヘッドスライダ |
| US6137656A (en) * | 1998-10-26 | 2000-10-24 | Read-Rite Corporation | Air bearing slider |
| JP2001035113A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-02-09 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気ヘッド |
| US6344949B1 (en) * | 1999-07-13 | 2002-02-05 | International Business Machines Corporation | Flying height adjustment for air bearing sliders |
| US6333835B1 (en) * | 1999-08-23 | 2001-12-25 | International Business Machines Corporation | Step pad air bearing for load/unload mechanism |
| US6356412B1 (en) * | 1999-09-30 | 2002-03-12 | Read-Rite Corporation | Air bearing facilitating load/unload of a magnetic read/write head |
| US6069770A (en) * | 1999-10-04 | 2000-05-30 | International Business Machines Corporation | Method for producing sliders |
| US6515831B1 (en) * | 2000-01-11 | 2003-02-04 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having leading and trailing channeled rails for enhanced damping |
| US6445542B1 (en) * | 2000-03-06 | 2002-09-03 | Read-Rite Corporation | Air bearing slider |
| JP3990091B2 (ja) * | 2000-04-13 | 2007-10-10 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
-
2000
- 2000-09-20 JP JP2000286222A patent/JP3977579B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-09-13 SG SG200105620A patent/SG92813A1/en unknown
- 2001-09-20 US US09/956,158 patent/US6801399B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002092836A (ja) | 2002-03-29 |
| US20020034048A1 (en) | 2002-03-21 |
| SG92813A1 (en) | 2002-11-19 |
| US6801399B2 (en) | 2004-10-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4136818B2 (ja) | 側部に開放部を備えた収斂溝を有するヘッドスライダ | |
| JP3674347B2 (ja) | 負圧ヘッドスライダ | |
| US6515831B1 (en) | Disc head slider having leading and trailing channeled rails for enhanced damping | |
| US7606001B2 (en) | Vibration reducing head suspension mechanism for a magnetic disc unit | |
| JP2803639B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダ | |
| JP3977579B2 (ja) | 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 | |
| US6958889B2 (en) | Slider with a compliant transducer interface | |
| JPH10125025A (ja) | 浮動ヘッドスライダ | |
| KR20070114341A (ko) | 비대칭 동적 특성을 지닌 짐벌 | |
| JP4006017B2 (ja) | 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 | |
| JP3966198B2 (ja) | ヘッド支持装置およびこれを用いたディスク装置 | |
| JP3780997B2 (ja) | サスペンション、ヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えたヘッドアームアセンブリ及び該ヘッドアームアセンブリを備えたディスク装置 | |
| JP2000137967A (ja) | サスペンション、ヘッドサスペンションアセンブリ及びディスクドライブ装置 | |
| JP3445098B2 (ja) | 回転型記憶装置 | |
| JP4981286B2 (ja) | 磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダ | |
| JP3923140B2 (ja) | ヘッドスライダ及びディスク装置 | |
| WO2005004152A1 (ja) | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 | |
| US20060082928A1 (en) | Disk device | |
| US5751515A (en) | Recording and reproducting head slider having multiple slider rails and a projection portion | |
| JP2642589B2 (ja) | 磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気ディスク装置 | |
| JPH06215339A (ja) | 磁気ディスク装置及びアクチュエータ及びスピンドル | |
| JP2000182343A (ja) | 磁気ディスク装置及び同装置に適用するヘッド位置決め制御システム | |
| JPH09259556A (ja) | 磁気記録再生装置 | |
| JP3860565B2 (ja) | 負圧ヘッドスライダ | |
| JPH08227514A (ja) | 負圧利用型磁気ヘッドスライダ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040826 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040826 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050620 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060314 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060511 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061017 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061117 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070130 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070402 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070420 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070619 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070621 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |