JP2001035113A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP2001035113A JP2001035113A JP11186381A JP18638199A JP2001035113A JP 2001035113 A JP2001035113 A JP 2001035113A JP 11186381 A JP11186381 A JP 11186381A JP 18638199 A JP18638199 A JP 18638199A JP 2001035113 A JP2001035113 A JP 2001035113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side rail
- disk
- edge
- rail
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
- G11B5/6082—Design of the air bearing surface
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B25/00—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus
- G11B25/04—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card
- G11B25/043—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card using rotating discs
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/14—Reducing influence of physical parameters, e.g. temperature change, moisture, dust
- G11B33/1446—Reducing contamination, e.g. by dust, debris
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】回転するディスク上に浮上するスライダにおい
て、ディスク対向面にゴミ等が付着、吸着しにくいスラ
イダの構造を提供すること。 【解決手段】左サイドレール(240)、左空気ベアリ
ング面(220)、クロスレール(210)、右空気ベ
アリング面(230)及び右サイドレール(250)に
よって囲まれた部分のうちの少なくとも一部分におい
て、負圧を発生させることのできる凹部(290)を構
成し、左サイドレール(240)又は右サイドレール
(250)の突出の程度は、凹部(290)の突出の程
度よりは大きいが、左空気ベアリング面(220)又は
右空気ベアリング面(230)の突出の程度よりは小さ
いことを特徴とする、磁気ヘッドが提供される。また、
左サイドレール(240)の終縁(249)又は右サイ
ドレール(250)の終縁(259)の何れか一方が、
実質的にディスク対向面(200)の空気流出縁(20
4)の前方において終わっている構成によっても、ゴミ
等が付着、吸着しにくくなる。
て、ディスク対向面にゴミ等が付着、吸着しにくいスラ
イダの構造を提供すること。 【解決手段】左サイドレール(240)、左空気ベアリ
ング面(220)、クロスレール(210)、右空気ベ
アリング面(230)及び右サイドレール(250)に
よって囲まれた部分のうちの少なくとも一部分におい
て、負圧を発生させることのできる凹部(290)を構
成し、左サイドレール(240)又は右サイドレール
(250)の突出の程度は、凹部(290)の突出の程
度よりは大きいが、左空気ベアリング面(220)又は
右空気ベアリング面(230)の突出の程度よりは小さ
いことを特徴とする、磁気ヘッドが提供される。また、
左サイドレール(240)の終縁(249)又は右サイ
ドレール(250)の終縁(259)の何れか一方が、
実質的にディスク対向面(200)の空気流出縁(20
4)の前方において終わっている構成によっても、ゴミ
等が付着、吸着しにくくなる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、ハード・
ディスク・ドライブ(HDD)に関し、より具体的に
は、回転するディスク上に浮上するスライダにおいて、
ディスク対向面にゴミ等が付着、吸着しにくいようなス
ライダの構造に関する。
ディスク・ドライブ(HDD)に関し、より具体的に
は、回転するディスク上に浮上するスライダにおいて、
ディスク対向面にゴミ等が付着、吸着しにくいようなス
ライダの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】ハード・ディスク・ドライブ(HDD)
は、磁気データ記憶材料からなる被覆を有する何枚かの
高速に回転するディスクを使用する。ディスクの各々
は、ディスク表面のごく近くに保持されている磁気読み
取り/書き込みヘッド(磁気ヘッド)と対になってお
り、磁気読み取り/書き込みヘッドがディスク上を移動
しながら、ディスク上にデータを読み取り/書き込むこ
とができる。
は、磁気データ記憶材料からなる被覆を有する何枚かの
高速に回転するディスクを使用する。ディスクの各々
は、ディスク表面のごく近くに保持されている磁気読み
取り/書き込みヘッド(磁気ヘッド)と対になってお
り、磁気読み取り/書き込みヘッドがディスク上を移動
しながら、ディスク上にデータを読み取り/書き込むこ
とができる。
【0003】磁気ヘッドは、磁気読み取り/書き込み部
分を含むスライダを含む。スライダは、回転するディス
クによって生じるディスク対向面の空気のクッションに
よって、磁気ディスク表面との接触を防止されている。
分を含むスライダを含む。スライダは、回転するディス
クによって生じるディスク対向面の空気のクッションに
よって、磁気ディスク表面との接触を防止されている。
【0004】このような状況下で、スライダのディスク
対向面にゴミ等が付着、吸着してしまうと、そのゴミ等
が対向するディスク上に落ちた場合に、ディスクに物理
的なひっかきキズを生じさせてしまう等の問題があり好
ましくない。従って、ディスク対向面にゴミ等が付着、
吸着しにくいスライダの構造が望まれる。
対向面にゴミ等が付着、吸着してしまうと、そのゴミ等
が対向するディスク上に落ちた場合に、ディスクに物理
的なひっかきキズを生じさせてしまう等の問題があり好
ましくない。従って、ディスク対向面にゴミ等が付着、
吸着しにくいスライダの構造が望まれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主たる目的
は、回転するディスク上に浮上するスライダにおいて、
ディスク対向面にゴミ等が付着、吸着しにくいスライダ
の構造を提供することにある。
は、回転するディスク上に浮上するスライダにおいて、
ディスク対向面にゴミ等が付着、吸着しにくいスライダ
の構造を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の主たる目的は、
ディスク対向面(100、200)において突出形成さ
れる、左サイドレール(140、240)と、ディスク
対向面(100、200)において突出形成される、右
サイドレール(150、250)と、ディスク対向面
(100、200)において突出形成されて、左サイド
レール(140、240)及び右サイドレール(15
0、250)の各々にまで延びて連続している、クロス
レール(110、210)と、ディスク対向面(10
0、200)において突出形成されるが、左サイドレー
ルと連続した部分(124、225)が設けられてい
て、左サイドレールから連続して空気流入縁(102、
202)側にのみ設けられている、左空気ベアリング面
(120、220)と、ディスク対向面(100、20
0)において突出形成されるが、右サイドレールと連続
した部分(134、235)が設けられていて、右サイ
ドレールから連続して空気流入縁(102、202)側
にのみ設けられている、右空気ベアリング面(130、
230)とを有し、左サイドレール(140、24
0)、左空気ベアリング面(120、220)、クロス
レール(110、210)、右空気ベアリング面(13
0、230)及び右サイドレール(150、250)に
よって囲まれた部分のうちの少なくとも一部分におい
て、負圧を発生させることのできる凹部(190、29
0)を構成し、左サイドレール(140、240)又は
右サイドレール(150、250)の突出の程度は、凹
部(190、290)の突出の程度よりは大きいが、左
空気ベアリング面(120、220)又は右空気ベアリ
ング面(130、230)の突出の程度よりは小さいこ
とを特徴とする、磁気ヘッド、によって達成される。
ディスク対向面(100、200)において突出形成さ
れる、左サイドレール(140、240)と、ディスク
対向面(100、200)において突出形成される、右
サイドレール(150、250)と、ディスク対向面
(100、200)において突出形成されて、左サイド
レール(140、240)及び右サイドレール(15
0、250)の各々にまで延びて連続している、クロス
レール(110、210)と、ディスク対向面(10
0、200)において突出形成されるが、左サイドレー
ルと連続した部分(124、225)が設けられてい
て、左サイドレールから連続して空気流入縁(102、
202)側にのみ設けられている、左空気ベアリング面
(120、220)と、ディスク対向面(100、20
0)において突出形成されるが、右サイドレールと連続
した部分(134、235)が設けられていて、右サイ
ドレールから連続して空気流入縁(102、202)側
にのみ設けられている、右空気ベアリング面(130、
230)とを有し、左サイドレール(140、24
0)、左空気ベアリング面(120、220)、クロス
レール(110、210)、右空気ベアリング面(13
0、230)及び右サイドレール(150、250)に
よって囲まれた部分のうちの少なくとも一部分におい
て、負圧を発生させることのできる凹部(190、29
0)を構成し、左サイドレール(140、240)又は
右サイドレール(150、250)の突出の程度は、凹
部(190、290)の突出の程度よりは大きいが、左
空気ベアリング面(120、220)又は右空気ベアリ
ング面(130、230)の突出の程度よりは小さいこ
とを特徴とする、磁気ヘッド、によって達成される。
【0007】
【HDD】図1は、ハード・ディスク・ドライブ(HD
D)10の斜視図である。内部の状態を示すため、カバ
ー18を取り外した斜視図(下側)についても示されて
いる。ベース12に対して、ディスク14が回転できる
ように取り付けられている。また、ベース12に対し
て、ヘッド・サスペンション・アセンブリ(HSA)3
0も取り付けられており、ディスク14を半径方向に横
切って、ディスク14上の所望の位置をアクセスできる
ようにされている。
D)10の斜視図である。内部の状態を示すため、カバ
ー18を取り外した斜視図(下側)についても示されて
いる。ベース12に対して、ディスク14が回転できる
ように取り付けられている。また、ベース12に対し
て、ヘッド・サスペンション・アセンブリ(HSA)3
0も取り付けられており、ディスク14を半径方向に横
切って、ディスク14上の所望の位置をアクセスできる
ようにされている。
【0008】
【HSA】図2は、ヘッド・サスペンション・アセンブ
リ(HSA)30の平面図(A)及び斜視図(B)であ
る。ヘッド・サスペンション・アセンブリ(HSA)3
0は、ヘッド・ジンバル・アセンブリ(HGA)32
と、コイル・サポート38とを含んでいる。
リ(HSA)30の平面図(A)及び斜視図(B)であ
る。ヘッド・サスペンション・アセンブリ(HSA)3
0は、ヘッド・ジンバル・アセンブリ(HGA)32
と、コイル・サポート38とを含んでいる。
【0009】ヘッド・ジンバル・アセンブリ(HGA)
32とコイル・サポート38とは固着されており、ベー
ス12に対して、軸40を中心として揺動可能に取り付
けられる(図1も参照)。コイル・サポート38のコイ
ル部分に電流が与えられると、コイル・サポート38
は、ボイス・コイル・モータ(VCM)アセンブリ16
(図1)によって与えられる磁場と協働して、HSA3
0を揺動させて、ヘッド・サスペンション・アセンブリ
(HSA)30が、ディスク14上の所望の位置をアク
セスする。
32とコイル・サポート38とは固着されており、ベー
ス12に対して、軸40を中心として揺動可能に取り付
けられる(図1も参照)。コイル・サポート38のコイ
ル部分に電流が与えられると、コイル・サポート38
は、ボイス・コイル・モータ(VCM)アセンブリ16
(図1)によって与えられる磁場と協働して、HSA3
0を揺動させて、ヘッド・サスペンション・アセンブリ
(HSA)30が、ディスク14上の所望の位置をアク
セスする。
【0010】より具体的には、ヘッド・ジンバル・アセ
ンブリ(HGA)32を構成するサスペンション36の
先端に、磁気ヘッド34が取り付けられている。ディス
ク14からのデータの読み取り及びディスク14へのデ
ータの書き込みは、この磁気ヘッド34を通じて行われ
ている。
ンブリ(HGA)32を構成するサスペンション36の
先端に、磁気ヘッド34が取り付けられている。ディス
ク14からのデータの読み取り及びディスク14へのデ
ータの書き込みは、この磁気ヘッド34を通じて行われ
ている。
【0011】ディスク14が回転していないときには、
磁気ヘッド34とディスク14の表面が接触しないこと
も重要である。従って、ハード・ディスク・ドライブを
始動した後、ディスク14が磁気ヘッド34のディスク
対向面のために空気クッションを形成するのに十分な速
度に達するまで、磁気ヘッド34とディスク14とを接
触させない状態に保っておくことができるような構造が
必要となる。
磁気ヘッド34とディスク14の表面が接触しないこと
も重要である。従って、ハード・ディスク・ドライブを
始動した後、ディスク14が磁気ヘッド34のディスク
対向面のために空気クッションを形成するのに十分な速
度に達するまで、磁気ヘッド34とディスク14とを接
触させない状態に保っておくことができるような構造が
必要となる。
【0012】
【ロード・アンロード(L/UL)】こうした理由か
ら、一部のハード・ディスク・ドライブ(HDD)10
では、ディスク14が回転していない間、磁気ヘッド3
4をディスク14の表面から離したままにするロード/
アンロード・ランプ構造60が使用されている。磁気デ
ィスク14が十分な速度に達したときに、磁気ヘッド3
4がランプ構造60から解放される。図1において描か
れている状態は、未だランプ構造60から解放されてい
ない状態に相当している。
ら、一部のハード・ディスク・ドライブ(HDD)10
では、ディスク14が回転していない間、磁気ヘッド3
4をディスク14の表面から離したままにするロード/
アンロード・ランプ構造60が使用されている。磁気デ
ィスク14が十分な速度に達したときに、磁気ヘッド3
4がランプ構造60から解放される。図1において描か
れている状態は、未だランプ構造60から解放されてい
ない状態に相当している。
【0013】図3は、サスペンション36の先端がラン
プ構造60の上に待避して支えられて、磁気ヘッド34
はディスク14の表面から離したままに維持されている
状態を示す拡大図である。
プ構造60の上に待避して支えられて、磁気ヘッド34
はディスク14の表面から離したままに維持されている
状態を示す拡大図である。
【0014】
【スライダ】スライダ50は、磁気ヘッド34の一部で
ある。スライダ50は、ディスク14上を浮上するため
にディスク対向面を有している。ディスク14からのデ
ータの読み取り及びディスク14へのデータの書き込み
を行う部分は、スライダ50の面積に比べてかなり小さ
い面積の部分に設置されているのが普通でああり、図3
においてR/Wと示した箇所がこれに相当している。R
は読み取り部を示すが、例えば、磁気抵抗効果を利用し
たMR読み取りヘッド又はGMR読み取りヘッドが利用
される。Wは書き込みを示すが、例えば、書き込みトラ
ンスデューサが利用される。R/W部は、スライダの製
造工程において同時的に形成されるのが普通である。
ある。スライダ50は、ディスク14上を浮上するため
にディスク対向面を有している。ディスク14からのデ
ータの読み取り及びディスク14へのデータの書き込み
を行う部分は、スライダ50の面積に比べてかなり小さ
い面積の部分に設置されているのが普通でああり、図3
においてR/Wと示した箇所がこれに相当している。R
は読み取り部を示すが、例えば、磁気抵抗効果を利用し
たMR読み取りヘッド又はGMR読み取りヘッドが利用
される。Wは書き込みを示すが、例えば、書き込みトラ
ンスデューサが利用される。R/W部は、スライダの製
造工程において同時的に形成されるのが普通である。
【0015】
【負圧スライダ】スライダ50の形式として、負圧スラ
イダというものがある。負圧スライダでは、スライダ5
0とディスク14との間に発生する正圧の力と負圧の力
とによってスライダの浮上バランスを保つ。これら正圧
力と負圧力とはディスク14の周速に依存するが、ディ
スクの内周と外周とでほとんど浮上量が変わらないの
で、低浮上化に有利であると言われている。すなわち、
負圧によって浮上量のばらつきを制御しやすい。その
他、負圧スライダは、高地のような気圧の低い場所にお
いても浮上量変化(減少)が小さくできるという利点を
持つ。負圧とは、周りに比べて圧力の低い部分であり、
大気圧を基準とした場合には一気圧よりも低い部分のこ
とである。
イダというものがある。負圧スライダでは、スライダ5
0とディスク14との間に発生する正圧の力と負圧の力
とによってスライダの浮上バランスを保つ。これら正圧
力と負圧力とはディスク14の周速に依存するが、ディ
スクの内周と外周とでほとんど浮上量が変わらないの
で、低浮上化に有利であると言われている。すなわち、
負圧によって浮上量のばらつきを制御しやすい。その
他、負圧スライダは、高地のような気圧の低い場所にお
いても浮上量変化(減少)が小さくできるという利点を
持つ。負圧とは、周りに比べて圧力の低い部分であり、
大気圧を基準とした場合には一気圧よりも低い部分のこ
とである。
【0016】
【上段、中段、下段】図4は、本発明に関連する典型的
な負圧スライダに設けられる、上段、中段、下段を示す
構成である。この図に示される面全体が、回転するディ
スク14に対向することになる対向面である。この負圧
スライダでは、上段、中段、下段という3段階の平面を
有している。平面と言っても、必ずしも紙面に沿って水
平な面になければならないわけではないことには注意さ
れたい。上段及び中段は、下段からみた場合には、突出
形成されていることになる。しかし、実際のスライダ形
成のプロセスにおいては、上段を基準面として、次に中
段、その次に下段というように、エッチング等によって
彫り進んで形成していくのが普通である。
な負圧スライダに設けられる、上段、中段、下段を示す
構成である。この図に示される面全体が、回転するディ
スク14に対向することになる対向面である。この負圧
スライダでは、上段、中段、下段という3段階の平面を
有している。平面と言っても、必ずしも紙面に沿って水
平な面になければならないわけではないことには注意さ
れたい。上段及び中段は、下段からみた場合には、突出
形成されていることになる。しかし、実際のスライダ形
成のプロセスにおいては、上段を基準面として、次に中
段、その次に下段というように、エッチング等によって
彫り進んで形成していくのが普通である。
【0017】図5は、上段を基準面とした場合の、中段
までの深さM、下段までの深さLを示す模式図である。
エッチング等によってより深く彫り進んでいくにつれ
て、表面への物理的な働きかけが多くなることから、表
面あらさは次第に粗くなっていく傾向がある。もっと
も、スライダの飛行状態にとっては、彫られた部分の表
面が粗いことはさほど問題とならない。
までの深さM、下段までの深さLを示す模式図である。
エッチング等によってより深く彫り進んでいくにつれ
て、表面への物理的な働きかけが多くなることから、表
面あらさは次第に粗くなっていく傾向がある。もっと
も、スライダの飛行状態にとっては、彫られた部分の表
面が粗いことはさほど問題とならない。
【0018】
【ABS】ここで基準面とした上段は、空気ベアリング
面(ABS:Air Bearing Surface)と呼ばれる。パッドと
呼ばれる場合もある。ディスク対向面として最もディス
ク表面に近いため、スライダ50の浮上のための正圧力
の大部分を発生させている部分である。ABSをディス
ク対向面中にどのように配置するかは、スライダの飛行
状態を大きく左右する。また、表面の流れをスムースに
安定させるために、ABSの表面あらさは重要であっ
て、ABSの表面は鏡面のように仕上げられているのが
普通である。
面(ABS:Air Bearing Surface)と呼ばれる。パッドと
呼ばれる場合もある。ディスク対向面として最もディス
ク表面に近いため、スライダ50の浮上のための正圧力
の大部分を発生させている部分である。ABSをディス
ク対向面中にどのように配置するかは、スライダの飛行
状態を大きく左右する。また、表面の流れをスムースに
安定させるために、ABSの表面あらさは重要であっ
て、ABSの表面は鏡面のように仕上げられているのが
普通である。
【0019】
【段までの深さと負圧との関係】負圧を効果的に発生さ
せるためには、上段であるABSを基準面として、中段
までの深さMや下段までの深さLをどの程度に設定する
かがきわめて重要となる。ここでは、図4、図9のよう
な大きさの負圧スライダ(約1.2mm×1mm)にお
いて、例えば、Lとして10μmの深さを設定したとす
ると、有効に負圧を生じさせるポケットとして機能でき
るものを形成することはできない。一方で、Lとして1
μm−5μm程度の深さ程度を設定すると効果的に負圧
を発生できることがわかった。さらに、Lとして1μm
よりもより一層浅くしていくと、負圧が生じる有効面積
自体が小さくなってしまって意味がなくなってしまう。
すなわち、正圧とのバランスを考えた場合に、L=1μ
m程度であれば負圧ポケットとして十分な機能が得られ
るが、L≪1μm程度になると負圧ポケットとして十分
な機能は得られない。
せるためには、上段であるABSを基準面として、中段
までの深さMや下段までの深さLをどの程度に設定する
かがきわめて重要となる。ここでは、図4、図9のよう
な大きさの負圧スライダ(約1.2mm×1mm)にお
いて、例えば、Lとして10μmの深さを設定したとす
ると、有効に負圧を生じさせるポケットとして機能でき
るものを形成することはできない。一方で、Lとして1
μm−5μm程度の深さ程度を設定すると効果的に負圧
を発生できることがわかった。さらに、Lとして1μm
よりもより一層浅くしていくと、負圧が生じる有効面積
自体が小さくなってしまって意味がなくなってしまう。
すなわち、正圧とのバランスを考えた場合に、L=1μ
m程度であれば負圧ポケットとして十分な機能が得られ
るが、L≪1μm程度になると負圧ポケットとして十分
な機能は得られない。
【0020】ただし、基準面であるABSからはごく浅
いM≪1μmの部分を設定しただけで、その設定した部
分においては、ABSとして正圧力を発生させる能力が
極端に落ちることがわかった。したがって、M≪1μm
の部分は、スライダの飛行状態を大きく左右させない
で、比較的自由に配置できるという性質があることがわ
かった。
いM≪1μmの部分を設定しただけで、その設定した部
分においては、ABSとして正圧力を発生させる能力が
極端に落ちることがわかった。したがって、M≪1μm
の部分は、スライダの飛行状態を大きく左右させない
で、比較的自由に配置できるという性質があることがわ
かった。
【0021】実験的にM≪1μmを考えると、中段Mま
での深さとして80nm≦Mというごく浅い深さを設定
しさえすれば、ABSとしての正圧力を発生させる能力
を極端に落とすことができることがわかった。
での深さとして80nm≦Mというごく浅い深さを設定
しさえすれば、ABSとしての正圧力を発生させる能力
を極端に落とすことができることがわかった。
【0022】
【負圧スライダの基本構成】図6は、本発明と関連する
負圧スライダにおけるディスク対向面100の詳細な構
成を示す平面図である。以下に、各符号で示された各部
位の名称を列挙しておく。なお、アイランド部について
の説明は省略する。
負圧スライダにおけるディスク対向面100の詳細な構
成を示す平面図である。以下に、各符号で示された各部
位の名称を列挙しておく。なお、アイランド部について
の説明は省略する。
【0023】 100 ディスク対向面(上段、中段、下段、を含む) 102 ディスク対向面の空気流入縁 104 ディスク対向面の空気流出縁 106 ディスク対向面の左側縁 108 ディスク対向面の右側縁 110 クロスレール(中段) 114 クロスレールの空気流出縁 120 左ABS(上段) 122 左ABSの空気流入縁 124 左ABSの空気流出縁(左サイドレールと連続
した部分) 126 左ABSの外側縁 128 左ABSの内側縁 130 右ABS(上段) 132 右ABSの空気流入縁 134 右ABSの空気流出縁(右サイドレールと連続
した部分) 136 右ABSの外側縁 138 右ABSの内側縁 140 左サイドレール(中段) 142 左サイドレールの空気流入縁(左ABSと連続
した部分) 144 左サイドレール拡張部の空気流出縁 146 左サイドレールの外側縁 147 左サイドレールの内側縁 148 左サイドレール拡張部の内側縁 149 左サイドレールの終縁 150 右サイドレール(中段) 152 右サイドレールの空気流入縁(右ABSと連続
した部分) 154 右サイドレール拡張部の空気流出縁 156 右サイドレールの外側縁 157 右サイドレールの内側縁 158 右サイドレール拡張部の内側縁 159 右サイドレールの終縁 160 後ABSアイランド部(上段) 162 後ABSアイランド部の空気流入縁 164 後ABSアイランド部の空気流出縁 166 後ABSアイランド部の左側縁 168 後ABSアイランド部の右側縁 170 後レールアイランド部(中段) 172 後レールアイランド部の空気流入縁 174 後レールアイランド部の空気流出縁 176 後レールアイランド部の左側縁 178 後レールアイランド部の右側縁 180 アルミナ部(下段) 182 アルミナ部の空気流入縁 184 アルミナ部の空気流出縁 186 アルミナ部の左側縁 188 アルミナ部の右側縁 190 凹部(下段) 192 凹部左下流域 194 凹部右下流域 196 凹部左レール未設置部 198 凹部右レール未設置部
した部分) 126 左ABSの外側縁 128 左ABSの内側縁 130 右ABS(上段) 132 右ABSの空気流入縁 134 右ABSの空気流出縁(右サイドレールと連続
した部分) 136 右ABSの外側縁 138 右ABSの内側縁 140 左サイドレール(中段) 142 左サイドレールの空気流入縁(左ABSと連続
した部分) 144 左サイドレール拡張部の空気流出縁 146 左サイドレールの外側縁 147 左サイドレールの内側縁 148 左サイドレール拡張部の内側縁 149 左サイドレールの終縁 150 右サイドレール(中段) 152 右サイドレールの空気流入縁(右ABSと連続
した部分) 154 右サイドレール拡張部の空気流出縁 156 右サイドレールの外側縁 157 右サイドレールの内側縁 158 右サイドレール拡張部の内側縁 159 右サイドレールの終縁 160 後ABSアイランド部(上段) 162 後ABSアイランド部の空気流入縁 164 後ABSアイランド部の空気流出縁 166 後ABSアイランド部の左側縁 168 後ABSアイランド部の右側縁 170 後レールアイランド部(中段) 172 後レールアイランド部の空気流入縁 174 後レールアイランド部の空気流出縁 176 後レールアイランド部の左側縁 178 後レールアイランド部の右側縁 180 アルミナ部(下段) 182 アルミナ部の空気流入縁 184 アルミナ部の空気流出縁 186 アルミナ部の左側縁 188 アルミナ部の右側縁 190 凹部(下段) 192 凹部左下流域 194 凹部右下流域 196 凹部左レール未設置部 198 凹部右レール未設置部
【0024】負圧スライダにおいて負圧を発生させるた
めの基本的な機能は、ディスク対向面100において突
出形成された、左空気ベアリング面120、クロスレー
ル110及び右空気ベアリング面130によって達成さ
れている。より具体的には、ディスク対向面の空気流入
縁102から流入してくる空気をクロスレール110が
一部遮ることによって、クロスレール110の空気流出
縁114から凹部190につながる部分において、大部
分の負圧を生じさせる。
めの基本的な機能は、ディスク対向面100において突
出形成された、左空気ベアリング面120、クロスレー
ル110及び右空気ベアリング面130によって達成さ
れている。より具体的には、ディスク対向面の空気流入
縁102から流入してくる空気をクロスレール110が
一部遮ることによって、クロスレール110の空気流出
縁114から凹部190につながる部分において、大部
分の負圧を生じさせる。
【0025】凹部190のうちでも、特に、左空気ベア
リング面120、クロスレール110及び右空気ベアリ
ング面130によって囲まれた部分が、またさらに特定
していくと、その囲まれた部分の少なくとも一部分にお
いて、負圧は発生する。
リング面120、クロスレール110及び右空気ベアリ
ング面130によって囲まれた部分が、またさらに特定
していくと、その囲まれた部分の少なくとも一部分にお
いて、負圧は発生する。
【0026】
【負圧発生部分に生じる問題】凹部190のうち負圧の
発生する部分は、周りに比べて圧力の低い部分であるこ
とから、ゴミが寄せ集まってくる性質がある。さらに
は、前述のように、鏡面のように仕上げられているAB
Sとは異なって、凹部190の表面あらさは粗くなって
いる場合が多いことから、寄せ集められたゴミがそのま
ま表面に付着したり吸着したりしてしまう性質が強く現
れる。
発生する部分は、周りに比べて圧力の低い部分であるこ
とから、ゴミが寄せ集まってくる性質がある。さらに
は、前述のように、鏡面のように仕上げられているAB
Sとは異なって、凹部190の表面あらさは粗くなって
いる場合が多いことから、寄せ集められたゴミがそのま
ま表面に付着したり吸着したりしてしまう性質が強く現
れる。
【0027】このようなゴミは、霧、または、ガス状で
存在していて、スライダ表面に付着した場合に液状に見
えるものがある。何れのゴミも、スライダ50の下段に
ある凹凸に引っ掛かり付着又は吸着して積もっていく現
象がある。ここには、後述するアルミナ部からのアルミ
ナの削れや欠けのみでなく、HDD内を自由に飛び回っ
ていたパーティクルも含まれる。
存在していて、スライダ表面に付着した場合に液状に見
えるものがある。何れのゴミも、スライダ50の下段に
ある凹凸に引っ掛かり付着又は吸着して積もっていく現
象がある。ここには、後述するアルミナ部からのアルミ
ナの削れや欠けのみでなく、HDD内を自由に飛び回っ
ていたパーティクルも含まれる。
【0028】スライダ50側にいったん付着したゴミが
ディスク14に落下することがある。磁気ヘッド34の
R/W部(図3参照)とディスク14との間の浮上量よ
りも、このようなゴミの大きさの方が大きいことさえあ
り、磁気ヘッド34とディスク14とのクラッシュが生
じることさえある。例えば、磁気ヘッド34のR/W部
(図3参照)とディスク14との間の浮上量は100n
m以下程度である場合も多く、原理的には、凹部190
にはL=1μm(1000nm)までの大きさ(深さ)
のゴミが付着又は吸着できるため、これがディスク14
上に落下しすると致命的となる。
ディスク14に落下することがある。磁気ヘッド34の
R/W部(図3参照)とディスク14との間の浮上量よ
りも、このようなゴミの大きさの方が大きいことさえあ
り、磁気ヘッド34とディスク14とのクラッシュが生
じることさえある。例えば、磁気ヘッド34のR/W部
(図3参照)とディスク14との間の浮上量は100n
m以下程度である場合も多く、原理的には、凹部190
にはL=1μm(1000nm)までの大きさ(深さ)
のゴミが付着又は吸着できるため、これがディスク14
上に落下しすると致命的となる。
【0029】磁気ヘッド34とディスク14とのクラッ
シュによって、ディスク14の表面には物理的なひっか
きキズを生じさせてしまう不都合が生じる。また、たと
えそのようなキズにまでには至らないとしても、摩擦に
よって書き込まれている磁気的情報が消えてしまう現象
さえ起こり得る。このようなことがあると、ハード・デ
ィスク・ドライブ(HDD)の信頼性を著しく損なう。
シュによって、ディスク14の表面には物理的なひっか
きキズを生じさせてしまう不都合が生じる。また、たと
えそのようなキズにまでには至らないとしても、摩擦に
よって書き込まれている磁気的情報が消えてしまう現象
さえ起こり得る。このようなことがあると、ハード・デ
ィスク・ドライブ(HDD)の信頼性を著しく損なう。
【0030】
【アルミナ部】再び、図6の説明に戻ると、ディスク対
向面100のディスク空気流出縁104には、空気流入
縁側にわたって一定の部分のみが、スライダの材料(例
えば、アルチック:AlTiC)とは異なる材料(例え
ば、アルミナ:Al2O3)から成るアルミナ部180と
して作成されている場合がある。このアルミナ部180
は、R/W部を形成するためのものである(図4)。製
造プロセス上、アルミナ部の空気流入縁182からアル
ミナ部の空気流出縁184(ディスク対向面の空気流入
縁104に相当する)にかけて平行に作成されている場
合が多い。アルミナは、アルチックに比較して剛性が弱
く削れやすく欠けやすいという性質がある。
向面100のディスク空気流出縁104には、空気流入
縁側にわたって一定の部分のみが、スライダの材料(例
えば、アルチック:AlTiC)とは異なる材料(例え
ば、アルミナ:Al2O3)から成るアルミナ部180と
して作成されている場合がある。このアルミナ部180
は、R/W部を形成するためのものである(図4)。製
造プロセス上、アルミナ部の空気流入縁182からアル
ミナ部の空気流出縁184(ディスク対向面の空気流入
縁104に相当する)にかけて平行に作成されている場
合が多い。アルミナは、アルチックに比較して剛性が弱
く削れやすく欠けやすいという性質がある。
【0031】
【流線(サイドレールの長さの影響)】図7は、図4の
本発明に関連する負圧スライダを浮上させた場合をシミ
ュレーションした結果を示す流線である。ディスク14
の回転数は、4200rpmである。空気流は、ディス
ク対向面の空気流入縁102に対して直角に流入してく
ることがディスク対向面100にとって理想である。し
かし、実際には、理想の流入方向との間にスキュー角と
呼ばれる角度が生じる。HSA30が軸40を中心とし
て揺動されるため、ディスク14の外周をアクセスする
場合と内周をアクセスする場合とで、空気の流入角度が
異なってしまうからである。スキュー角は、HDD10
内のディスク14の中心と、ヘッド(アクチュエータ)
の回転中心の位置関係で決定されるものである。このシ
ミュレーションにおけるスキュー角Sの想定は、S=+
(プラス)15度である。
本発明に関連する負圧スライダを浮上させた場合をシミ
ュレーションした結果を示す流線である。ディスク14
の回転数は、4200rpmである。空気流は、ディス
ク対向面の空気流入縁102に対して直角に流入してく
ることがディスク対向面100にとって理想である。し
かし、実際には、理想の流入方向との間にスキュー角と
呼ばれる角度が生じる。HSA30が軸40を中心とし
て揺動されるため、ディスク14の外周をアクセスする
場合と内周をアクセスする場合とで、空気の流入角度が
異なってしまうからである。スキュー角は、HDD10
内のディスク14の中心と、ヘッド(アクチュエータ)
の回転中心の位置関係で決定されるものである。このシ
ミュレーションにおけるスキュー角Sの想定は、S=+
(プラス)15度である。
【0032】図7に描かれている流線をみると、凹部右
下流域194において、多くの流線が密に集まっている
ことがわかる。この凹部右下流域194は、実際にゴミ
が多く付着又は吸着していることがわかった。ここで負
圧が発生しているわけではないので、ゴミの付着又は吸
着には他の理由が考えられる。
下流域194において、多くの流線が密に集まっている
ことがわかる。この凹部右下流域194は、実際にゴミ
が多く付着又は吸着していることがわかった。ここで負
圧が発生しているわけではないので、ゴミの付着又は吸
着には他の理由が考えられる。
【0033】図8は、本発明の負圧スライダを浮上させ
た場合をシミュレーションした結果を示す流線である。
この負圧スライダの特徴は、右サイドレールの終縁15
9をディスク対向面の空気流出縁104の前方付近まで
延長して終わらせるようにしていることにある。凹部右
下流域194において、図7では多くの流線が密に集ま
っていた部分が消滅して、流線が疎になっていることが
はっきりとわかる。
た場合をシミュレーションした結果を示す流線である。
この負圧スライダの特徴は、右サイドレールの終縁15
9をディスク対向面の空気流出縁104の前方付近まで
延長して終わらせるようにしていることにある。凹部右
下流域194において、図7では多くの流線が密に集ま
っていた部分が消滅して、流線が疎になっていることが
はっきりとわかる。
【0034】また、図7から、流線がディスク対向面1
00の中心方向へ向かって(吸引されるかのごとく)引
っ張られている様子が分かり、図8においてこの傾向が
抑制されている様子が分かる。
00の中心方向へ向かって(吸引されるかのごとく)引
っ張られている様子が分かり、図8においてこの傾向が
抑制されている様子が分かる。
【0035】結局、右サイドレールの終縁159をディ
スク対向面の空気流出縁104の実質的に前方付近まで
延長して終わらせていることが、負圧によって空気流が
引っ張られて巻き込まれることを防ぐ効果として働いて
いるのである。ここで「前方」とは、空気流出縁104
から空気流入縁102の方へ向かうような方向である。
「実質的に」という意味は、「このような効果が多少な
りとも期待できる程度にまで」という意味である。負圧
は、前述のとおり、凹部190のうちでも、左サイドレ
ール140、左空気ベアリング面120、クロスレール
110、右空気ベアリング面130及び右サイドレール
150によって囲まれた部分のうちの少なくとも一部分
に生じている。
スク対向面の空気流出縁104の実質的に前方付近まで
延長して終わらせていることが、負圧によって空気流が
引っ張られて巻き込まれることを防ぐ効果として働いて
いるのである。ここで「前方」とは、空気流出縁104
から空気流入縁102の方へ向かうような方向である。
「実質的に」という意味は、「このような効果が多少な
りとも期待できる程度にまで」という意味である。負圧
は、前述のとおり、凹部190のうちでも、左サイドレ
ール140、左空気ベアリング面120、クロスレール
110、右空気ベアリング面130及び右サイドレール
150によって囲まれた部分のうちの少なくとも一部分
に生じている。
【0036】なお、右サイドレールの終縁159を延長
したことの意義は、スキュー角S=+(プラス)15度
にした場合における有効な効果として現れた。従って、
左サイドレールの終縁149を延長する意義は、スキュ
ー角S=‐(マイナス)15度にした場合の効果として
現れるであろう。このことは、容易に予測がつく。すな
わち、スキュー角が+(プラス)側又は‐(マイナス)
側のどちらかのみになるように、HDD10内のディス
ク14の中心と、ヘッド(アクチュエータ)の回転中心
の位置関係とが設定されている場合には、左サイドレー
ル140又は右サイドレール150の何れか一方のみを
延長すれば用は足りる。
したことの意義は、スキュー角S=+(プラス)15度
にした場合における有効な効果として現れた。従って、
左サイドレールの終縁149を延長する意義は、スキュ
ー角S=‐(マイナス)15度にした場合の効果として
現れるであろう。このことは、容易に予測がつく。すな
わち、スキュー角が+(プラス)側又は‐(マイナス)
側のどちらかのみになるように、HDD10内のディス
ク14の中心と、ヘッド(アクチュエータ)の回転中心
の位置関係とが設定されている場合には、左サイドレー
ル140又は右サイドレール150の何れか一方のみを
延長すれば用は足りる。
【0037】
【サイドレールが突出している意義】空気の流れを矯正
して、サイドレール自体が壁として、負圧が生じている
部分との間での隔壁を形成して、空気流が入ってくるこ
とを防ぐガイドの役割を果たすためには、左サイドレー
ル140又は右サイドレール150の何れか一方のサイ
ドレールが、凹部190に比較して突出している必要が
ある。
して、サイドレール自体が壁として、負圧が生じている
部分との間での隔壁を形成して、空気流が入ってくるこ
とを防ぐガイドの役割を果たすためには、左サイドレー
ル140又は右サイドレール150の何れか一方のサイ
ドレールが、凹部190に比較して突出している必要が
ある。
【0038】このようなガイドの観点から、再度M≪1
μmを考えてみると、中段までの深さM≦300nmと
いう上限(突出の程度としては下限ということになる)
が設定されれば十分に有効であることがわかった。
μmを考えてみると、中段までの深さM≦300nmと
いう上限(突出の程度としては下限ということになる)
が設定されれば十分に有効であることがわかった。
【0039】すなわち、M≪1μmの最適範囲は 以前
に導き出した80nm≦Mと組み合わせによって、80
nm≦M≦300nmということになる。
に導き出した80nm≦Mと組み合わせによって、80
nm≦M≦300nmということになる。
【0040】
【サイドレールとABSとが連続していること】サイド
レール自体が壁として連続したものであると同時に、サ
イドレールとABSとが連続している必要がある。「連
続している」という意味は、これらサイドレールとAB
Sとの間において中段までの深さM以上の深さの部分が
設けられていないという意味である。すなわち、例え
ば、下段までの深さLのような部分は存在していないと
いう意味である。例えば、左ABS120の空気流出縁
124は、左サイドレール140の空気流入縁142と
連続した部分を形成している。また、右ABS130の
空気流出縁134は、右サイドレール150の空気流入
縁152と連続した部分を形成している。
レール自体が壁として連続したものであると同時に、サ
イドレールとABSとが連続している必要がある。「連
続している」という意味は、これらサイドレールとAB
Sとの間において中段までの深さM以上の深さの部分が
設けられていないという意味である。すなわち、例え
ば、下段までの深さLのような部分は存在していないと
いう意味である。例えば、左ABS120の空気流出縁
124は、左サイドレール140の空気流入縁142と
連続した部分を形成している。また、右ABS130の
空気流出縁134は、右サイドレール150の空気流入
縁152と連続した部分を形成している。
【0041】
【別の負圧スライダの実施例】図9は、本発明の別の負
圧スライダのディスク対向面200の構造を示す平面図
である。以下に、各符号で示された各部位の名称を列挙
しておく。なお、この負圧スライダでは、M=180n
m、L=1μmという値を採用している。
圧スライダのディスク対向面200の構造を示す平面図
である。以下に、各符号で示された各部位の名称を列挙
しておく。なお、この負圧スライダでは、M=180n
m、L=1μmという値を採用している。
【0042】 200 ディスク対向面(上段、中段、下段、を含む) 202 ディスク対向面の空気流入縁 204 ディスク対向面の空気流出縁 206 ディスク対向面の左側縁 208 ディスク対向面の右側縁 210 クロスレール(中段) 214 クロスレールの空気流出縁 220 左ABS(上段) 222 左ABSの空気流入縁 224 左ABSの空気流出縁 225 左サイドレールと連続した部分 226 左ABSの外側縁 228 左ABSの内側縁 230 右ABS(上段) 232 右ABSの空気流入縁 234 右ABSの空気流出縁 235 右サイドレールと連続した部分 236 右ABSの外側縁 238 右ABSの内側縁 240 左サイドレール(中段) 242 左サイドレールの空気流入縁(左ABSと連続
した部分) 246 左サイドレールの外側縁 247 左サイドレールの内側縁 249 左サイドレールの終縁 250 右サイドレール(中段) 252 右サイドレールの空気流入縁(右ABSと連続
した部分) 256 右サイドレールの外側縁 257 右サイドレールの内側縁 259 右サイドレールの終縁 280 アルミナ部(下段) 282 アルミナ部の空気流入縁 284 アルミナ部の空気流出縁 286 アルミナ部の左側縁 288 アルミナ部の右側縁 290 凹部(下段)
した部分) 246 左サイドレールの外側縁 247 左サイドレールの内側縁 249 左サイドレールの終縁 250 右サイドレール(中段) 252 右サイドレールの空気流入縁(右ABSと連続
した部分) 256 右サイドレールの外側縁 257 右サイドレールの内側縁 259 右サイドレールの終縁 280 アルミナ部(下段) 282 アルミナ部の空気流入縁 284 アルミナ部の空気流出縁 286 アルミナ部の左側縁 288 アルミナ部の右側縁 290 凹部(下段)
【0043】図9の本発明の別の負圧スライダのディス
ク対向面200は、図8に示す負圧スライダのディスク
対向面100とほぼ対応するように、200番台におい
てほぼ対応する符号を用いている。しかし、222、2
24、228、232、234、236、238のよう
な縁は、ディスク対向面の空気流入縁204や右側縁2
06に対して必ずしも平行又は直角ではないことに注意
されたい。また、左サイドレールの終縁249や右サイ
ドレールの終縁259についても、必ずしも直線で形成
されていないことに注意されたい。
ク対向面200は、図8に示す負圧スライダのディスク
対向面100とほぼ対応するように、200番台におい
てほぼ対応する符号を用いている。しかし、222、2
24、228、232、234、236、238のよう
な縁は、ディスク対向面の空気流入縁204や右側縁2
06に対して必ずしも平行又は直角ではないことに注意
されたい。また、左サイドレールの終縁249や右サイ
ドレールの終縁259についても、必ずしも直線で形成
されていないことに注意されたい。
【0044】図10には、図4と同様に、本発明の別の
負圧スライダに設けられる上段、中段、下段を示す構成
を示す。
負圧スライダに設けられる上段、中段、下段を示す構成
を示す。
【0045】
【ロード時の姿勢変化】図11は、(a)ロード時にお
いて磁気ヘッド34(又はスライダ50)がサスペンシ
ョン36の先端に取り付けられている姿勢と、(b)安
定時において磁気ヘッド34が磁気ディスク14上を浮
上している姿勢とを示す図である。前述した図3のアン
ロード時からディスク14上にロードさせようとする
と、点線の箇所にあったランプ構造60による支えがな
くなる。すると、磁気ヘッド34がランプ構造60から
解放されてディスク14上に落ちる。サスペンション3
6によるバイアス力によっても、磁気ヘッド34はディ
スク14に近づけられる。
いて磁気ヘッド34(又はスライダ50)がサスペンシ
ョン36の先端に取り付けられている姿勢と、(b)安
定時において磁気ヘッド34が磁気ディスク14上を浮
上している姿勢とを示す図である。前述した図3のアン
ロード時からディスク14上にロードさせようとする
と、点線の箇所にあったランプ構造60による支えがな
くなる。すると、磁気ヘッド34がランプ構造60から
解放されてディスク14上に落ちる。サスペンション3
6によるバイアス力によっても、磁気ヘッド34はディ
スク14に近づけられる。
【0046】ここで、(a)ロード時において磁気ヘッ
ド34がサスペンション36の先端に取り付けられてい
る姿勢と、(b)安定時において磁気ヘッド34が磁気
ディスク14上を浮上している姿勢とは、大きく異なっ
ていることに注意されたい。サスペンションによるバイ
アス力と、磁気ディスク34がディスク14の空気流か
ら受ける(負圧も含めた上での)浮上力とがバランスす
ることによってはじめて、(b)安定時が実現されるか
らである。
ド34がサスペンション36の先端に取り付けられてい
る姿勢と、(b)安定時において磁気ヘッド34が磁気
ディスク14上を浮上している姿勢とは、大きく異なっ
ていることに注意されたい。サスペンションによるバイ
アス力と、磁気ディスク34がディスク14の空気流か
ら受ける(負圧も含めた上での)浮上力とがバランスす
ることによってはじめて、(b)安定時が実現されるか
らである。
【0047】したがって、この(a)ロード時から
(b)安定時へ至る過程における、磁気ヘッド34(又
はスライダ50)の姿勢変化においては、たとえそれが
瞬間的であれ、磁気ヘッド34(又はスライダ50)と
ディスク14とが物理的に接触する場合を生じさせる。
特に、このような接触は、ピッチ角αやβと大きく関係
する。すなわち、図に示す通り、ディスク対向面の空気
流入縁102側はディスク14とは接触しにくいが、デ
ィスク対向面の空気流出縁104側はディスク14とは
接触し易い。特にR/W部付近が接触しやすい。
(b)安定時へ至る過程における、磁気ヘッド34(又
はスライダ50)の姿勢変化においては、たとえそれが
瞬間的であれ、磁気ヘッド34(又はスライダ50)と
ディスク14とが物理的に接触する場合を生じさせる。
特に、このような接触は、ピッチ角αやβと大きく関係
する。すなわち、図に示す通り、ディスク対向面の空気
流入縁102側はディスク14とは接触しにくいが、デ
ィスク対向面の空気流出縁104側はディスク14とは
接触し易い。特にR/W部付近が接触しやすい。
【0048】具体的な数値としては、(a)のロード時
における姿勢では、ピッチ角α=20分乃至30分程度
はあり、1度(60分)程度である場合も珍しくない。
一方において、(b)安定時における姿勢では、ピッチ
角β=数10μラジアン(rad)という程度にすぎな
いのである。
における姿勢では、ピッチ角α=20分乃至30分程度
はあり、1度(60分)程度である場合も珍しくない。
一方において、(b)安定時における姿勢では、ピッチ
角β=数10μラジアン(rad)という程度にすぎな
いのである。
【0049】すなわち、(a)のロード時における状態
から頻繁にディスク14上に落した場合には、ごくまれ
にR/W部を形成している剛性の弱いアルミナ部(18
0、280)が削れたり欠けたりすることがある。この
ことによって、ごく微量ながらアルミナの微粒子のゴミ
を発生させてしまうことがある。
から頻繁にディスク14上に落した場合には、ごくまれ
にR/W部を形成している剛性の弱いアルミナ部(18
0、280)が削れたり欠けたりすることがある。この
ことによって、ごく微量ながらアルミナの微粒子のゴミ
を発生させてしまうことがある。
【0050】また、スライダ50の浮上姿勢が崩れてロ
ール(左サイドレールと右サイドレールとがシーソー状
に揺れるような方向の回転)を起こしたような場合に
は、左サイドレールの終縁149若しくは右サイドレー
ルの終縁159(図6の場合)、又は、左サイドレール
の終縁249若しくは右サイドレールの終縁259(図
9の場合)がディスク14に接触する場合がある。ロー
ルは、ディスク14へのアクセス時に、後述するスキュ
ー角Sが変化することによっても生じる。
ール(左サイドレールと右サイドレールとがシーソー状
に揺れるような方向の回転)を起こしたような場合に
は、左サイドレールの終縁149若しくは右サイドレー
ルの終縁159(図6の場合)、又は、左サイドレール
の終縁249若しくは右サイドレールの終縁259(図
9の場合)がディスク14に接触する場合がある。ロー
ルは、ディスク14へのアクセス時に、後述するスキュ
ー角Sが変化することによっても生じる。
【0051】図9において、左サイドレールの終縁24
9若しくは右サイドレールの終縁259を(左サイドレ
ールの終縁149若しくは右サイドレールの終縁159
のように)直線のままに形成せず、Rで丸めている理由
は、剛性の弱いアルミナ部(180、280)の角(3
平面の交差する頂点)が直接ディスク14に接触するこ
とを回避する効果をもつ。すなわち、アルミナ部(18
0、280)の「角(3平面の交差する頂点)」とは、
アルミナ部の左側縁(186、286)又はアルミナ部
の右側縁(188、288)と、アルミナ部の空気流出
縁(184、284)との稜線であって、さらに、これ
らとディスク対向面(100、200)との交点であ
る。
9若しくは右サイドレールの終縁259を(左サイドレ
ールの終縁149若しくは右サイドレールの終縁159
のように)直線のままに形成せず、Rで丸めている理由
は、剛性の弱いアルミナ部(180、280)の角(3
平面の交差する頂点)が直接ディスク14に接触するこ
とを回避する効果をもつ。すなわち、アルミナ部(18
0、280)の「角(3平面の交差する頂点)」とは、
アルミナ部の左側縁(186、286)又はアルミナ部
の右側縁(188、288)と、アルミナ部の空気流出
縁(184、284)との稜線であって、さらに、これ
らとディスク対向面(100、200)との交点であ
る。
【0052】
【アンロード時の姿勢変化】逆に、安定時から図3の状
態であるアンロード時に移行される場合についても考え
てみる。(b)の安定時には、ヘッド34はディスク1
4に貼りつこうとする力を持っているために、より強い
力で退き剥がすことが必要とされる。また、ヘッド34
がディスク14の表面から離れ出すと、ヘッドの負圧
は、ある時点で連続的ではなくステップ的に一気に減少
してしまう。
態であるアンロード時に移行される場合についても考え
てみる。(b)の安定時には、ヘッド34はディスク1
4に貼りつこうとする力を持っているために、より強い
力で退き剥がすことが必要とされる。また、ヘッド34
がディスク14の表面から離れ出すと、ヘッドの負圧
は、ある時点で連続的ではなくステップ的に一気に減少
してしまう。
【0053】このことは、安定時において常時加わって
いたサスペンション36のバイアス力とのバランスを崩
し、ヘッド34が跳ね上げられるような動作を生じさせ
てしまう。引き剥がすためにかける力はそもそも大きい
ものであるため、跳ね上げられる力も大きくなる。この
ような急激な姿勢変化においても、瞬間的であれ、磁気
ヘッド34(又はスライダ50)とディスク14とが物
理的に接触する場合を生じさせる。
いたサスペンション36のバイアス力とのバランスを崩
し、ヘッド34が跳ね上げられるような動作を生じさせ
てしまう。引き剥がすためにかける力はそもそも大きい
ものであるため、跳ね上げられる力も大きくなる。この
ような急激な姿勢変化においても、瞬間的であれ、磁気
ヘッド34(又はスライダ50)とディスク14とが物
理的に接触する場合を生じさせる。
【0054】
【ABSがサイドレールの空気流出縁側には設けられて
いない理由】本発明に関連するスライダでは、サイドレ
ールと連続したABSは、空気流入縁側にのみ設けられ
ており、すなわち、空気流出縁側には設けられていな
い。サイドレールと連続したABSを、もし空気流出縁
側に設けてしまうと不都合があるからである。すなわ
ち、ABSは基準面として最も突出した部分であり、ス
ライダがロールした場合などにおいて、そのABSが真
っ先にディスク14と接触してしまうことになり、好ま
しくないからである。また、接触した部分が削れてしま
うと、たとえ少しであったとしてもABSとしての機能
を果たす部分の面積が減ることになるため、飛行状態に
大きく影響してしまうことは前述の通りである。
いない理由】本発明に関連するスライダでは、サイドレ
ールと連続したABSは、空気流入縁側にのみ設けられ
ており、すなわち、空気流出縁側には設けられていな
い。サイドレールと連続したABSを、もし空気流出縁
側に設けてしまうと不都合があるからである。すなわ
ち、ABSは基準面として最も突出した部分であり、ス
ライダがロールした場合などにおいて、そのABSが真
っ先にディスク14と接触してしまうことになり、好ま
しくないからである。また、接触した部分が削れてしま
うと、たとえ少しであったとしてもABSとしての機能
を果たす部分の面積が減ることになるため、飛行状態に
大きく影響してしまうことは前述の通りである。
【0055】一方で、中段の部分であるレールの部分の
みがディスク14と接触するのであれば、このような問
題は生じない。従って、スライダがロールした場合にお
いて、中段の部分であるレールの部分が、敢えて積極的
に、ディスク14と接触するように構成すればよいこと
になる。
みがディスク14と接触するのであれば、このような問
題は生じない。従って、スライダがロールした場合にお
いて、中段の部分であるレールの部分が、敢えて積極的
に、ディスク14と接触するように構成すればよいこと
になる。
【0056】図12は、スライダ50のピッチ角αと、
スライダ50がディスク14と接触することとの関係を
示す側面図である。右サイドレールの終縁259(又は
左サイドレールの終縁249)の稜線と、空気流出縁2
04の稜線とを結んだ線とが同時にディスク14の表面
に接触した場合の幾何学的関係が示されている。ピッチ
角がαである場合において、tanα=(L−M)/R
という関係で表わされる。ここでRは、空気流出縁20
4から右サイドレールの終縁259(又は左サイドレー
ルの終縁249)の稜線までのディスク対向面に沿った
距離である(図9も参照)。L−Mは、中段から下段ま
での深さであり、下段までの深さLから中段までの深さ
Mを引いた突出の程度であり、ディスク対向面に対して
垂直な距離である。
スライダ50がディスク14と接触することとの関係を
示す側面図である。右サイドレールの終縁259(又は
左サイドレールの終縁249)の稜線と、空気流出縁2
04の稜線とを結んだ線とが同時にディスク14の表面
に接触した場合の幾何学的関係が示されている。ピッチ
角がαである場合において、tanα=(L−M)/R
という関係で表わされる。ここでRは、空気流出縁20
4から右サイドレールの終縁259(又は左サイドレー
ルの終縁249)の稜線までのディスク対向面に沿った
距離である(図9も参照)。L−Mは、中段から下段ま
での深さであり、下段までの深さLから中段までの深さ
Mを引いた突出の程度であり、ディスク対向面に対して
垂直な距離である。
【0057】すなわち、図11の(a)ロード時のよう
なスライダ50のピッチ角αを想定して、空気流出縁2
04がディスク14に接触するよりも先に、右サイドレ
ールの終縁259(又は左サイドレールの終縁249)
が直接ディスク14に接触するようにできる。右サイド
レールの終縁259(又は左サイドレールの終縁24
9)を空気流出縁(204)の前方のどの部分にまで配
置するかということは、このような幾何学的関係に基づ
いて決定できる。
なスライダ50のピッチ角αを想定して、空気流出縁2
04がディスク14に接触するよりも先に、右サイドレ
ールの終縁259(又は左サイドレールの終縁249)
が直接ディスク14に接触するようにできる。右サイド
レールの終縁259(又は左サイドレールの終縁24
9)を空気流出縁(204)の前方のどの部分にまで配
置するかということは、このような幾何学的関係に基づ
いて決定できる。
【0058】既に述べたように、右サイドレールの終縁
259(又は左サイドレールの終縁249)の材料とし
て、削れ易い性質をもっているアルミナを使用すること
は好ましくない。しかし、アルミナ部280(の空気流
入縁282)は、最大限Rの範囲まで形成することがで
きる。
259(又は左サイドレールの終縁249)の材料とし
て、削れ易い性質をもっているアルミナを使用すること
は好ましくない。しかし、アルミナ部280(の空気流
入縁282)は、最大限Rの範囲まで形成することがで
きる。
【0059】
【発明の効果】本発明に構成に従えば、回転するディス
ク上に浮上するスライダにおいて、ディスク対向面にゴ
ミ等が付着、吸着しにくいスライダの構造を提供するこ
とができた。
ク上に浮上するスライダにおいて、ディスク対向面にゴ
ミ等が付着、吸着しにくいスライダの構造を提供するこ
とができた。
【図1】ハード・ディスク・ドライブ(HDD)10の
斜視図である。
斜視図である。
【図2】ヘッド・サスペンション・アセンブリ(HS
A)30の平面図(A)及び斜視図(B)である。
A)30の平面図(A)及び斜視図(B)である。
【図3】サスペンション36の先端がランプ構造60の
上に待避して支えられて、磁気ヘッド34はディスク1
4の表面から離したままに維持されている状態を示す拡
大図である。
上に待避して支えられて、磁気ヘッド34はディスク1
4の表面から離したままに維持されている状態を示す拡
大図である。
【図4】本発明に関連する典型的な負圧スライダに設け
られる、上段、中段、下段を示す構成図である。
られる、上段、中段、下段を示す構成図である。
【図5】上段を基準面とした場合の、中段までの深さ
M、下段までの深さLを示す模式図である。
M、下段までの深さLを示す模式図である。
【図6】本発明と関連する負圧スライダにおけるディス
ク対向面100の詳細な構成を示す平面図である。
ク対向面100の詳細な構成を示す平面図である。
【図7】図4の本発明に関連する負圧スライダを浮上さ
せた場合をシミュレーションした結果を示す流線を示す
図である。
せた場合をシミュレーションした結果を示す流線を示す
図である。
【図8】本発明の負圧スライダ(この負圧スライダの特
徴は、右サイドレールの終縁159をディスク対向面の
空気流出縁104の前方付近まで延長して終わらせるよ
うにしていることにある。)を浮上させた場合をシミュ
レーションした結果を示す流線を示す図である。
徴は、右サイドレールの終縁159をディスク対向面の
空気流出縁104の前方付近まで延長して終わらせるよ
うにしていることにある。)を浮上させた場合をシミュ
レーションした結果を示す流線を示す図である。
【図9】本発明の別の負圧スライダのディスク対向面2
00の構造を示す平面図である。
00の構造を示す平面図である。
【図10】図4と同様に、本発明の別の負圧スライダに
設けられる上段、中段、下段を示す構成を示す図であ
る。
設けられる上段、中段、下段を示す構成を示す図であ
る。
【図11】(a)ロード時において磁気ヘッド34(又
はスライダ50)がサスペンション36の先端に取り付
けられている姿勢と、(b)安定時において磁気ヘッド
34が磁気ディスク14上を浮上している姿勢とを示す
図である。
はスライダ50)がサスペンション36の先端に取り付
けられている姿勢と、(b)安定時において磁気ヘッド
34が磁気ディスク14上を浮上している姿勢とを示す
図である。
【図12】スライダ50のピッチ角αと、スライダ50
がディスク14と接触することとの関係を示す側面図で
ある。
がディスク14と接触することとの関係を示す側面図で
ある。
10 ハード・ディスク・ドライブ(HDD) 12 ベース 14 ディスク 16 ボイス・コイル・モータ(VCM)アセンブリ 18 カバー 30 ヘッド・サスペンション・アセンブリ(HSA) 32 ヘッド・ジンバル・アセンブリ(HGA) 34 磁気ヘッド(R/W部を含む) 36 サスペンション 38 コイル・サポート 40 軸 50 スライダ 60 ランプ構造 M (上段から)中段までの深さ L (上段から)下段までの深さ R 空気流出端から左サイドレールの終縁(249) 又は右サイドレールの終縁(259)までの長さ α ロード時のピッチ角度 β 浮上時のピッチ角度 S スキュー角
フロントページの続き (72)発明者 中村 孝 神奈川県藤沢市桐原町1番地 日本アイ・ ビー・エム株式会社 藤沢事業所内 (72)発明者 戸張 敦 神奈川県藤沢市桐原町1番地 日本アイ・ ビー・エム株式会社 藤沢事業所内 (72)発明者 青木 達司 神奈川県藤沢市桐原町1番地 日本アイ・ ビー・エム株式会社 藤沢事業所内 (72)発明者 ドリアス・ケー・リー 神奈川県藤沢市桐原町1番地 日本アイ・ ビー・エム株式会社 藤沢事業所内 Fターム(参考) 5D042 NA02 PA01 PA05 QA02
Claims (10)
- 【請求項1】ディスク対向面(100、200)におい
て突出形成される、左サイドレール(140、240)
と、 ディスク対向面(100、200)において突出形成さ
れる、右サイドレール(150、250)と、 ディスク対向面(100、200)において突出形成さ
れて、左サイドレール(140、240)及び右サイド
レール(150、250)の各々にまで延びて連続して
いる、クロスレール(110、210)と、 ディスク対向面(100、200)において突出形成さ
れるが、左サイドレールと連続した部分(124、22
5)が設けられていて、左サイドレールから連続して空
気流入縁(102、202)側にのみ設けられている、
左空気ベアリング面(120、220)と、 ディスク対向面(100、200)において突出形成さ
れるが、右サイドレールと連続した部分(134、23
5)が設けられていて、右サイドレールから連続して空
気流入縁(102、202)側にのみ設けられている、
右空気ベアリング面(130、230)とを有し、 左サイドレール(140、240)、左空気ベアリング
面(120、220)、クロスレール(110、21
0)、右空気ベアリング面(130、230)及び右サ
イドレール(150、250)によって囲まれた部分の
うちの少なくとも一部分において、負圧を発生させるこ
とのできる凹部(190、290)を構成し、 左サイドレール(140、240)又は右サイドレール
(150、250)の突出の程度は、凹部(190、2
90)の突出の程度よりは大きいが、左空気ベアリング
面(120、220)又は右空気ベアリング面(13
0、230)の突出の程度よりは小さいことを特徴とす
る、磁気ヘッド。 - 【請求項2】左サイドレール(140、240)の終縁
(149、249)又は右サイドレール(150、25
0)の終縁(159、259)の何れか一方が、実質的
にディスク対向面(100、200)の空気流出縁(1
04、204)の前方において終わっている、請求項1
記載の磁気ヘッド。 - 【請求項3】左サイドレール(140、240)の終縁
(149、249)又は右サイドレール(150、25
0)の終縁(159、259)の何れか一方が、アルミ
ナ部(180、280)の前方において終わっている、
請求項2記載の磁気ヘッド。 - 【請求項4】左サイドレール(140、240)の終縁
(149、249)又は右サイドレール(150、25
0)の終縁(159、259)の何れか一方が、アルミ
ナ部(180、280)の空気流入縁(182、28
2)において終わっている、請求項2記載の磁気ヘッ
ド。 - 【請求項5】左サイドレール(140、240)又は右
サイドレール(150、250)の何れか一方が、中段
までの深さM=80nm乃至300nmに形成されてい
る、請求項1記載の磁気ヘッド。 - 【請求項6】凹部(190、290)が、下段までの深
さL=1μm乃至5μmに形成されている、請求項1記
載の磁気ヘッド。 - 【請求項7】左サイドレールの終縁(149、249)
若しくは右サイドレールの終縁(159、259)をR
で丸めている、請求項2記載の磁気ヘッド。 - 【請求項8】請求項1乃至請求項7の何れかに記載の磁
気ヘッドが取り付けられている、ヘッド・ジンバル・ア
センブリ(HGA)。 - 【請求項9】請求項1乃至請求項7の何れかに記載の磁
気ヘッドが取り付けられている、ヘッド・サスペンショ
ン・アセンブリ(HSA)。 - 【請求項10】請求項9に記載のヘッド・サスペンショ
ン・アセンブリ(HSA)が取り付けられている、ハー
ド・ディスク・ドライブ(HDD)。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11186381A JP2001035113A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 磁気ヘッド |
US09/606,980 US6424493B1 (en) | 1999-06-30 | 2000-06-29 | Hard disk drive magnetic head air bearing surface design for preventing particulate contamination thereon |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11186381A JP2001035113A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001035113A true JP2001035113A (ja) | 2001-02-09 |
Family
ID=16187404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11186381A Pending JP2001035113A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 磁気ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6424493B1 (ja) |
JP (1) | JP2001035113A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010271943A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Toyota Auto Body Co Ltd | スポット溶接の打点位置電子化装置、スポット溶接の打点位置電子化方法、及びスポット溶接の打点位置電子化プログラム |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3366609B2 (ja) | 1999-12-27 | 2003-01-14 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッドおよび磁気記録装置 |
JP3977579B2 (ja) * | 2000-09-20 | 2007-09-19 | 株式会社東芝 | 接触型磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
JP3601780B2 (ja) * | 2000-10-03 | 2004-12-15 | 日立金属株式会社 | 磁気ディスク用グライドヘッド |
US6594113B2 (en) * | 2000-12-20 | 2003-07-15 | Seagate Technology Llc | Slider with furrows for flushing contaminants and lubricant |
US6731463B2 (en) * | 2001-04-04 | 2004-05-04 | Seagate Technology Llc | Wafer fabrication for thermal pole tip expansion/recession compensation |
US6956719B2 (en) * | 2001-09-12 | 2005-10-18 | Seagate Technology Llc | Self-correcting disc head slider |
JP3962241B2 (ja) * | 2001-11-12 | 2007-08-22 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 平滑面磁気ディスク対応ヘッドスライダ、ヘッドスライダアッセンブリ、および磁気ディスク装置、ならびに磁気ディスクの検査・製造方法、および磁気ディスク装置の組み立て方法 |
WO2004105030A1 (en) * | 2003-05-20 | 2004-12-02 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | System and method for a subambient pressure air bearing slider utilizing negative pressure grooves |
JP2009110618A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Fujitsu Ltd | ヘッドスライダ |
US20090210206A1 (en) * | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and for wide track erasure in a hard disk drive |
JP4377947B1 (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-02 | 株式会社東芝 | ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、およびこれを備えたディスク装置 |
US8810968B2 (en) * | 2012-12-17 | 2014-08-19 | Seagate Technology Llc | Slider with lubricant control features |
US9552836B2 (en) * | 2013-12-23 | 2017-01-24 | Seagate Technology Llc | Slider including one or more fluid pathways, and related apparatuses and methods |
US9449630B2 (en) * | 2014-06-02 | 2016-09-20 | Seagate Technology Llc | Sliders having at least two regions on the trailing edge surface |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5777825A (en) * | 1996-09-04 | 1998-07-07 | International Business Machines Corporation | Negative pressure step pad air bearing design and method for making the same |
US6069769A (en) * | 1997-09-30 | 2000-05-30 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider having rounded corners |
-
1999
- 1999-06-30 JP JP11186381A patent/JP2001035113A/ja active Pending
-
2000
- 2000-06-29 US US09/606,980 patent/US6424493B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010271943A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Toyota Auto Body Co Ltd | スポット溶接の打点位置電子化装置、スポット溶接の打点位置電子化方法、及びスポット溶接の打点位置電子化プログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6424493B1 (en) | 2002-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4312837B2 (ja) | ディスク記憶システムのためのスライダ | |
US5499149A (en) | Slider with transverse ridge sections supporting air-bearing pads and disk drive incorporating the slider | |
US7787216B2 (en) | Magnetic head slider and disk drive with reduced damage to recording medium | |
JP2006302452A (ja) | ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、およびこれを備えたディスク装置 | |
JP2001035113A (ja) | 磁気ヘッド | |
US6680821B2 (en) | Slider air bearing surface having improved fly height profile characteristics | |
JP5060634B1 (ja) | ヘッド、これを備えたヘッドジンバルアッセンブリ、およびディスク装置 | |
JP2002373409A (ja) | ヘッドスライダ及びディスク装置 | |
US7564650B2 (en) | Head apparatus having a slider with first and second positive pressure parts and a negative pressure part and disc drive having the same | |
JP2004310955A (ja) | 磁気ヘッド装置および前記磁気ヘッド装置を用いた磁気ディスク装置 | |
JP3656955B2 (ja) | ディスク駆動装置ヘッド用の縁部接触保護構成 | |
JP2002216328A (ja) | スライダ、ヘッド・アセンブリおよびディスク・ドライブ装置 | |
JP2778588B2 (ja) | 浮動ヘッドスライダ | |
JP2009134830A (ja) | ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、およびこれを備えたディスク装置 | |
JP2009110618A (ja) | ヘッドスライダ | |
JP2004241113A (ja) | ディスクドライブの空気軸受スライダ | |
JP2007115352A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
US6574074B2 (en) | Air bearing surface design for inducing roll-bias during load/unload sequence | |
JP2004164685A (ja) | 浮上ヘッドスライダおよびこれを用いたディスク記憶装置 | |
JP4643115B2 (ja) | ヘッドスライダ、記録媒体駆動装置およびヘッドサスペンションアセンブリ | |
WO2005004152A1 (ja) | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 | |
US8248729B2 (en) | Slider with hook-shaped air compression mechanisms near trailing edge corners | |
JP2002133632A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
JP2002050020A (ja) | ヘッドスライダ及びこれを用いたディスク装置 | |
JP2006120198A (ja) | ヘッド、ヘッドサスペンションアッセンブリ、およびこれを備えたディスク装置 |