JP3923140B2 - ヘッドスライダ及びディスク装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に磁気ディスク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関し、特に、低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
【０００２】
近年、磁気ディスク装置は小型化・大容量化が進み、ヘッドスライダに形成された電磁トランスデューサと磁気ディスクの記録層の間隔をできるだけ小さくする必要があり、ディスク表面の平滑化とスライダ浮上量の低減が不可欠となってきている。
【０００３】
ディスク装置としての耐久性を保ちつつ、記録再生特性を満足するために、スライダ浮上量はスライダとディスク表面が接触しないように、できる限り低いことが望ましい。また、アクセスの高速化のため、アクセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定性に優れたスライダが求められている。
【０００４】
現在の磁気ディスク装置では、ディスク表面の粗さは半径位置によらずほぼ一定であるので、スライダ浮上量をディスクの半径位置によらず低い高さで一定に保つことが必要となっている。
【０００５】
更に、磁気ディスク装置の小型化、機構の単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
【０００６】
【従来の技術】
浮上安定性に優れた負圧磁気ヘッドスライダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレール幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの間に溝を画成し、この溝部で負圧が発生されるスライダが提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
【０００７】
図１（Ａ）は上記公開公報に開示された従来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状をしており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有している。
【０００８】
スライダ２のディスク対向面には正圧を発生させるための一対のレール４，６が形成されている。各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）４ａ，６ａを有している。
【０００９】
各レール４，６の空気流入端側にはテーパ面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝８が画成されている。
【００１０】
レール４が位置するスライダ２の空気流出端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１１が形成されている。
【００１１】
各レール４，６の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮上変動を抑制することができる。
【００１２】
図１（Ｂ）はレール面側から見たスライダ２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧が発生する。
【００１３】
各レール４，６の長手方向中心線とスライダ２の長手方向中心線とは概略平行に形成されている。また、磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダは半径方向の位置決めのための回転アームに取り付けられており、磁気ディスクのインナー側からアウター側にかけて連続的にスライダのヨー角（ディスクの回転方向とスライダ中心線のなす角度）が変化する。
【００１４】
ヨー角が大きくなると、磁気ディスクのトラック幅が減少し、出力の低下を引き起こすことから、出力低下を防ぐために、磁気ディスクの最インナートラックと最アウタートラックの間でスライダのヨー角が０°となるように従来のスライダは回転アームに取り付けられている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
図２に図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した従来のスライダの浮上特性を示す。横軸は磁気ディスクの中心から半径方向距離であり、縦軸は浮上高さを示している。
【００１６】
図２から明らかなように、スライダの浮上高さは磁気ディスクの半径方向中間付近で増加する。これは、次のことが原因である。図３（Ａ）に示すように、スライダのヨー角を磁気ディスクの半径方向位置に係わらず一定とした場合、スライダの浮上高さは磁気ディスクの外周にいく程上昇する。即ち、磁気ディスクの外周ほど周速が増加するので、ヨー角一定の場合には、周速の増加に伴ってスライダの浮上高さは増加する。
【００１７】
また、磁気ディスクの周速を最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定と仮定した場合には、図３（Ｂ）に示すようにスライダのヨー角がほぼ０°付近でスライダの浮上高さは最大となる。
【００１８】
図３（Ｂ）に示すように、スライダのヨー角がほぼ０°付近でスライダの浮上高さが最大となる原因は以下の通りと考えられる。即ち、レール４，６の長手方向中心線と同一方向から空気が流入した場合（ヨー角０°）、正圧力は最大となり、スライダの浮上高さは最大となる。
【００１９】
これに対して、空気流入方向とレール中心線の角度が大きくなると、正圧力は減少し、浮上量は低下する。よって、図３（Ａ）に示した浮上特性と、図３（Ｂ）に示した浮上特性の組み合わせにより、従来のスライダでは図２に示すように磁気ディスクの半径方向中間付近でスライダの浮上高さが増加する。
【００２０】
スライダ浮上高さが大きい従来の一般的な磁気ディスク装置の場合、スライダ浮上高さに対する磁気ディスクの半径方向中間付近での浮上高さ増加の割合は小さく、無視できる程度であったが、近年の磁気ディスク装置の高密度化に伴い負圧スライダを採用すると、スライダ浮上高さが低下し、磁気ディスクの半径方向中間付近での記録再生特性の劣化が問題となってきた。
【００２１】
よって本発明の目的は、磁気ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さが概略一定となるヘッドスライダを提供することである。
本発明の他の目的は、磁気ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さが概略一定となるヘッドスライダを搭載したディスク装置を提供することである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、空気流入端と、空気流出端と、ディスクに対向するディスク対向面とを有するヘッドスライダであって、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたインナーレールと；ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレールと；前記空気流入端側にのみ設けられ、前記インナーレール及び前記アウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されてなり、長手方向中心線が前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜しているセンターレールと；前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、前記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの長手方向中心線は、前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜しており、前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、空気流出端側部分におせる前記空気流出端方向に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であり、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２３】
インナーレール及びアウターレールの全体をスライダの長手方向中心線に対して所定角度傾斜させる代わりに、インナーレール及びアウターレールの中間部分のみをスライダの長手方向中心線に対して空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように所定角度傾斜させるようにしてもよい。
【００２４】
本発明の他の側面によると、ディスク装置であって、ハウジングと；該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；前記ヘッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；前記ヘッドスライダは、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、空気流入端から空気流出端に渡りディスク対向面に形成されたインナーレールと；ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレールと；前記空気流入端にのみ設けられ、前記インナーレールと前記アウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されてなり、長手方向中心線が前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記ヘッドスライダのヨー角以上の角度傾斜しているセンターレールと；前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、前記ヘッドスライダはディスクの最インナートラックでのヨー角が所定角度となるように前記アクチュエータに取り付けられており；前記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの長手方向中心線は、前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記ヘッドスライダのヨー角以上の角度傾斜しており、前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、空気流出端側部分における前記空気流出端方向に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であり、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするディスク装置が提供される。
【００２５】
【発明の実施の形態】
図４を参照すると、本発明の磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とから構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）である。
【００２６】
ベース１４上にはインナーハブモータによって回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けられている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハブに取り付けられる。
【００２７】
符号２２はアクチュエータアームアセンブリ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアクチュエータを示している。アクチュエータアームアセンブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回りに回転可能に取り付けられている。
【００２８】
アクチュエータアームアセンブリ２６は、回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータアーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸長したコイル支持部材３６を含んでいる。
【００２９】
各アクチュエータアーム３０の先端部には、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペンション３４の基端部が固定されている。
コイル支持部材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成される。
【００３０】
符号４２はヘッドスライダ３２に搭載された電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに電気的に接続されている。
【００３１】
ベース１４上に環状パッキンアセンブリ４６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟んでカバー１６をベース１４にネジ締結することにより、ハウジング１２内が密封される。
【００３２】
図５を参照して、ヘッドスライダ３２のヨー角について説明する。上述したように、ヨー角φは磁気ディスク２０の回転方向とヘッドスライダ３２の長手方向中心線２５とがなす角度である。換言すれば、ヨー角φは磁気ディスク２０の円形トラック２１の接線２３とヘッドスライダ３２の長手方向中心線２５とがなす角度である。
【００３３】
ヨー角φが磁気ディスク２０の最インナートラックと最アウタートラックの間で０°となるように、サスペンション３４がアーム３０に取り付けられている。最インナートラックでのヨー角は約１０°である。
【００３４】
図６は本発明第１実施形態の磁気ヘッドスライダ３２の平面図を示している。磁気ヘッドスライダ３２は空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、直方体形状をしている。磁気ヘッドスライダ３２は図４に示したサスペンション３４により図６の左側方向から支持される。
【００３５】
磁気ヘッドスライダ３２のディスク対向面にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール５０とアウターレール５２が互いに離間して形成されている。
【００３６】
インナーレール５０は幅広の空気流入端部５０ａと、同じく幅広の空気流出端部５０ｂと、幅の狭い中間部分５０ｃを含んでいる。同様にアウターレール５２は幅広の空気流入端部５２ａと、同じく幅広の空気流出端部５２ｂと、幅の狭い中間部分５２ｃを含んでいる。
【００３７】
インナーレール５０の空気流入端部５０ａにはテーパ面５１が形成されており、アウターレール５２の空気流入端部５２ａにもテーパ面５３が形成されている。更に、アウターレール５２の空気流出端部５２ｂには電磁トランスデューサ５４が形成されている。
【００３８】
インナーレール５０及びアウターレール５２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変動を抑えることができる。
【００３９】
また、流入端にテーパ面５１，５３を形成することによって、テーパ面５１，５３で発生する正圧により各レール５０，５２の先端側面への汚れの付着を防止する。
【００４０】
磁気ヘッドスライダ３２の空気流入端部にはセンターレール５６が形成されており、このセンターレール５６とインナー及びアウターレール５０，５２の間にはそれぞれスリット５８，６０が画成されている。更に、インナーレール５０とアウターレール５２の間にはスリット５８，６０に連続する負圧発生用の溝６２が画成されている。尚、スリット５８，６０もインナーレール、アウターレールと同様に傾斜付きで設けられ、空気流入特性、浮上安定性の向上を図っている。
【００４１】
インナーレール５０の長手方向（縦方向）中心線６４とアウターレール５２の長手方向中心線６６は互いに平行であり、スライダ３２の長手方向中心線６８に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１５°傾斜してインナーレール５０及びアウターレール５２が形成されている。本実施形態での磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２のヨー角は約１０°である。
【００４２】
スライダ３２はＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから形成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデューサ５４を形成した後ウエハをバー形状に切断する。次いで、バー形状部材を加工してインナーレール５０、アウターレール５２、センターレール５６を形成した後、個々のスライダ３２に切断する。
【００４３】
スライダサイズは、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．４ｍｍである。インナーレール５０及びアウターレール５２の幅は中間部分５０ｃ，５２ｃで１００μｍ以下となるため、インナーレール５０、アウターレール５２及びセンターレール５６はフォトリソグラフィ技術により形成する。
【００４４】
即ち、形成すべき所望のレールパターンにレジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを削り取ってスリット５８，６０と、溝６２を形成する。テーパ面５１，５３はインナーレール５０及びアウターレール５２を形成する前、或いは後に機械加工によって形成する。
【００４５】
テーパの角度は０．５°〜４．０°、テーパの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望ましい。インナーレール５０及びアウターレール５２のレール面（空気ベアリング表面）で正圧が発生し、溝６２部分で負圧吸引力が発生する。即ち、スリット５８，６０部分で一旦圧縮された空気が溝６２部分で膨張することにより負圧が発生する。
【００４６】
図７を参照すると、レールの傾き量に応じたスライダのヨー角とスライダ浮上高さの関係が示されている。曲線Ａは従来のスライダを示しており、曲線Ｂはインナーレール及びアウターレールをスライダの長手方向中心線に対して約５°傾けた場合を、曲線Ｃは約１０°傾けた場合をそれぞれ示している。
【００４７】
曲線Ａで示す従来のスライダでは、スライダのヨー角が０°のときにスライダの浮上高さは最大となる。一方、曲線Ｂ及びＣで示す本発明のスライダでは、インナーレール及びアウターレールをスライダ長手方向中心線に対して傾けた角度が増加すると、スライダ浮上高さが最大となるヨー角がディスクのインナー方向にシフトする。
【００４８】
よって、ディスクの周速が最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定であると仮定した場合に、ディスクの最インナートラックから最アウタートラックにかけて、スライダ浮上高さが低下するようにインナーレール５０及びアウターレール５２を傾けて配置すると、スライダ浮上高さの周速依存性を打ち消して、ディスクの半径方向の位置に係わらずスライダ浮上高さが一定となる。
【００４９】
図８は本発明第１実施形態のスライダのディスクの中心からの半径方向距離とスライダ浮上高さの関係を示している。この図から明らかなように、ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さはほぼ一定で、図２に示した従来のスライダに比較して半径方向中間部分での浮上高さの増加量が小さくなっている。
【００５０】
図９（Ａ）は第１実施形態のスライダのヨー角をディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定とした場合の、ディスク半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９（Ａ）は第１実施形態のスライダの浮上高さの周速依存特性を示している。
【００５１】
図９（Ｂ）は第１実施形態のスライダのディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り周速が一定と仮定した場合の、ディスク半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９（Ｂ）は第１実施形態のスライダの浮上高さのヨー角依存特性を示している。
【００５２】
図９（Ａ）に示す周速依存特性と図９（Ｂ）に示すヨー角依存特性を組み合わせたものが、図８に示す第１実施形態のスライダ浮上特性である。ディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り概略一定のスライダ浮上高さを得るためには、インナーレール及びアウターレールの傾き角度は約１０°〜約２０°の範囲内が望ましく、更に望ましくは約１５°程度である。各レールの傾き角度は、最インナートラックにおけるスライダのヨー角以上であるのが望ましい。
【００５３】
図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）を参照すると、磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角が１０°の場合の、インナーレール５０及びアウターレール５２の傾斜角度とスライダ浮上高さの関係が示されている。
【００５４】
図１０（Ａ）はインナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が０°の場合を示しており、図２に示した従来の関係に一致する。図１０（Ｂ）はインナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が５°の場合を、図１０（Ｃ）は１０°の場合を、図１０（Ｄ）は１５°の場合をそれぞれ示している。
【００５５】
図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）を観察すると明らかなように、インナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が増加するにつれて、スライダ浮上高さのピークが低くなっている。
【００５６】
図１０（Ｄ）に示すように、ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角１０°を越えてインナー及びアウターレール５０，５２を１５°傾斜させた場合には、ディスクの半径方向の位置に係わらずスライダ浮上高さが概略一定となる。
【００５７】
上述した第１実施形態の磁気ヘッドスライダ３２では、スライダの長手方向全長に渡りインナーレール５０及びアウターレール５２をスライダの長手方向中心線６８に対して傾けているため、従来の幅ではインナーレール５０及びアウターレール５２の一部がスライダからはみ出してしまう。
【００５８】
このため、スライダの幅を広くしなければならず、スライダの重量が増加し、量産性が悪化するという問題があった。この問題を解決した本発明第２実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａを図１１を参照して説明する。
【００５９】
磁気ヘッドスライダ３２Ａは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、概略直方体形状をしている。磁気ヘッドスライダ３２Ａのディスク対向面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール７０とアウターレール７２が互いに離間して形成されている。
【００６０】
インナーレール７０は幅広の空気流入端部７０ａと、同じく幅広の空気流出端部７０ｂと、空気流入端部７０ａと空気流出端部７０ｂを接続する幅の狭い中間部分７０ｃを含んでいる。
【００６１】
同様に、アウターレール７２は幅広の空気流入端部７２ａと、同じく幅広の空気流出端部７２ｂと、空気流入端部７２ａと空気流出端部７２ｂを接続する幅の狭い中間部分７２ｃを含んでいる。
【００６２】
インナーレール７０及びアウターレール７２の空気流入端部７０ａ，７２ａにはそれぞれテーパ面７１，７３が形成されている。インナーレール７０及びアウターレール７２の間の空気流入端部にはセンターレール７６が形成されており、このセンターレール７６とインナーレール７０及びアウターレール７２の空気流入端部７０ａ，７２ａの間にはそれぞれスリット７８，８０が画成されている。
【００６３】
ここでは、スリット７８，８０はスライダ中心線と平行に形成され、空気流入特性、浮上安定性の向上を図っている。また、インナーレール、アウターレール及びセンターレールの全体バランスを考慮することにより、図６のようにスリット７８，８０が傾斜を有するものにすることもできる。
【００６４】
更に、インナーレール７０及びアウターレール７２の間にはスリット７８，８０に連続する負圧発生用の溝８２が画成されている。アウターレール７２の空気流出端部７２ｂには電磁トランスデューサ７４が形成されている。
【００６５】
本実施形態のスライダ３２Ａは図６に示した第１実施形態のスライダ３２と同様にＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから形成されている。スライダ製造プロセスは第１実施形態のスライダ３２の製造プロセスと同様であるので省略する。
【００６６】
本実施形態のスライダ３２Ａでは、インナーレール７０の中間部分７０ｃとアウターレール７２の中間部分７２ｃのみがスライダ３２Ａの長手方向中心線８８に対して所定角度傾いて形成されている。
【００６７】
即ち、インナーレール７０の中間部分７０ｃとアウターレール７２の中間部分７２ｃは互いに平行に形成されており、その長手方向中心線８４，８６が磁気ヘッドスライダ３２Ａの長手方向中心線８８に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１５°傾斜して形成されている。
【００６８】
このようにインナーレール７０及びアウターレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダの長手方向中心線８８に対して傾けた場合にも、図６に示した第１実施形態のスライダ３２と同様な効果を上げることができる。
【００６９】
これは、インナーレール７０及びアウターレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃで発生する正圧が他の部分で発生する正圧に比較して相対的に大きいからである。
【００７０】
中間部分７０ｃ，７２ｃの傾斜角度は約１０°〜約２０°の範囲内が望ましく、より望ましくは約１５°程度である。スライダ３２Ａの磁気ディスクの最インナートラックでのヨー角は約１０°である。
【００７１】
インナー及びアウターレール７０，７２の中間部分７０ｃ，７２ｃの傾斜角度は、磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角以上であるのが望ましい。
【００７２】
このように第２実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａでは、インナーレール７０及びアウターレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダの長手方向中心線８８に対して所定角度傾けて形成したので、スライダの幅を従来のスライダの幅と同様に保ったまま、ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さを概略一定に保つことができる。
【００７３】
図１２に第２実施形態のスライダ３２Ａのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す。図１２から明らかな通り、ディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡りスライダ３２Ａの浮上高さが概略一定に保たれている。
【００７４】
図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダ３２Ａの浮上高さの周速依存特性を示している。即ち、図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのヨー角をディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定とした場合の、ディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。
【００７５】
図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダ３２Ａの浮上高さのヨー角依存特性を示している。即ち、図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡りその周速が一定と仮定した場合の、ディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。
【００７６】
図１３（Ａ）の周速依存特性と図１３（Ｂ）のヨー角依存特性を組み合わせたものが、図１２に示すスライダ３２Ａの浮上特性である。
図１４は本発明第３実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｂの平面図を示している。磁気ヘッドスライダ３２Ｂは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、直方体形状をしている。
【００７７】
磁気ヘッドスライダ３２Ｂのディスク対向面にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール９０とアウターレール９２が互いに離間して形成されている。
【００７８】
インナーレール９０は幅広の空気流入端部９０ａと、同じく幅広の空気流出端部９０ｂと、幅の狭い中間部分９０ｃを含んでいる。同様に、アウターレール９２は幅広の空気流入端部９２ａと、同じく幅広の空気流出端部９２ｂと、幅の狭い中間部分９２ｃを含んでいる。
【００７９】
インナーレール９０の空気流入端部９０ａにはテーパ面９１が形成されており、アウターレール９２の空気流入端部９２ａにもテーパ面９３が形成されている。更に、アウターレール９２の空気流出端部９２ｂには電磁トランスデューサ９４が形成されている。
【００８０】
インナーレール９０及びアウターレール９２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変動を抑えることができる。
【００８１】
また、流入端にテーパ面９１，９３を形成することによって、テーパ面９１，９３で発生する正圧により各レール９０，９２の先端側面への汚れの付着を防止できる。
【００８２】
インナーレール９０の空気流入端部９０ａとアウターレール９２の空気流入端部９２ａの間には、スリット９６が画成されている。更に、インナーレール９０とアウターレール９２の間にはスリット９６に連続する負圧発生用の溝９８が画成されている。
【００８３】
インナーレール９０の長手方向中心線１００とアウターレール９２の長手方向中心線１０２は互いに平行であり、スライダ３２Ｂの長手方向中心線１０４に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１３°傾斜してインナーレール９０及びアウターレール９２が形成されている。本実施形態での磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２Ｂのヨー角は約８°である。
【００８４】
本実施形態のようにセンターレールを有しない負圧スライダ３２Ｂの場合にも、インナーレール９０及びアウターレール９２を所定角度以上、望ましくは磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角以上に傾けることにより、ディスクの半径方向位置に係わらずスライダ浮上高さを概略一定にすることができる。
【００８５】
図１５は本発明第４実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｃの平面図を示している。磁気ヘッドスライダ３２Ｃは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、概略直方体形状をしている。
【００８６】
磁気ヘッドスライダ３２Ｃのディスク対向面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール１１０と、アウターレール１１２が互いに離間して形成されている。
【００８７】
インナーレール１１０は幅広の空気流入端部１１０ａと、同じく幅広の空気流出端部１１０ｂと、空気流入端部１１０ａと空気流出端部１１０ｂを接続する幅の狭い中間部分１１０ｃを含んでいる。
【００８８】
同様に、アウターレール１１２は幅広の空気流入端部１１２ａと、同じく幅広の空気流出端部１１２ｂと、空気流入端部１１２ａと空気流出端部１１２ｂを接続する幅の狭い中間部分１１２ｃを含んでいる。
【００８９】
インナーレール１１０及びアウターレール１１２の空気流入端部１１０ａ，１１２ａにはそれぞれテーパ面１１１，１１３が形成されている。インナーレール１１０の空気流入端部１１０ａとアウターレール１１２の空気流入端部１１２ａの間には、スリット１１６が画成されている。
【００９０】
更に、インナーレール１１０とアウターレール１１２の間にはスリット１１６に連続する負圧発生用の溝１１８が画成されている。アウターレール１１２の空気流出端部１１２ｂには電磁トランスデューサ１１４が形成されている。
【００９１】
本実施形態のスライダ３２Ｃは、図１１に示した第２実施形態と同様に、インナーレール１１０の中間部分１１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１１２ｃのみがスライダ３２Ｃの長手方向方向中心線１２４に対して所定角度傾いて形成されている。
【００９２】
即ち、インナーレール１１０の中間部分１１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１１２ｃは互いに平行に形成されおり、その長手方向中心線１２０，１２２が磁気ヘッドスライダ３２Ｃの長手方向中心線１２４に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１６°傾斜して形成されている。
【００９３】
本実施形態の負圧スライダ３２Ｃのように、センターレールを有しない場合にも、図１１に示した第２実施形態と同様な効果を上げることができる。
スライダ３２Ｃの磁気ディスクの最インナートラックでのヨー角は約１２°である。インナー及びアウターレール１１０，１１２の中間部分１１０ｃ，１１２ｃの傾斜角度は磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２Ｃのヨー角以上であるのが望ましい。
【００９４】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、インナーレール及びアウターレールの一方のみを磁気ディスクのインナー側に所定角度傾けた場合にも、本発明の範囲内である。
【００９５】
更に、一方のレールの中央部分のみをディスクのインナー方向に傾けた場合にも、同様の効果を上げることができる。これらの場合にはスライダのバランス確保に細心の注意を払う必要があり、例えば、インナーレール及びアウターレールのレール幅を変える必要がある。
【００９６】
【発明の効果】
本発明の磁気ヘッドスライダは以上詳述したように構成したので、ディスクの半径方向位置によらず浮上高さが概略一定の磁気ヘッドスライダが得られ、ディスクの半径方向中間付近での記録再生特性の劣化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は従来の磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）はその斜視図をそれぞれ示している。
【図２】従来のスライダのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図３】図３（Ａ）は従来のスライダの周速依存特性を示す図であり、図３（Ｂ）は従来のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図４】本発明の磁気ヘッドスライダを採用した磁気ディスク装置の斜視図である。
【図５】スライダのヨー角を説明する概略図である。
【図６】本発明第１実施形態のスライダの平面図である。
【図７】レールの傾き量に応じたスライダのヨー角と浮上高さの関係を示す図である。
【図８】第１実施形態のスライダのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図９】図９（Ａ）は第１実施形態のスライダの周速依存特性を示す図であり、図９（Ｂ）は第１実施形態のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図１０】図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）はレールの傾斜角度とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図１１】本発明第２実施形態のスライダの平面図である。
【図１２】第２実施形態のスライダのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図１３】図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダの周速依存特性を示す図であり、図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図１４】本発明第３実施形態のスライダの平面図である。
【図１５】本発明第４実施形態のスライダの平面図である。
【符号の説明】
３２，３２Ａ 磁気ヘッドスライダ
５０，７０ インナーレール
５２，７２ アウターレール
５６，７６ センターレール
５４，７４ 電磁トランスデューサ
６２，８２ 溝
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に磁気ディスク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関し、特に、低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
【０００２】
近年、磁気ディスク装置は小型化・大容量化が進み、ヘッドスライダに形成された電磁トランスデューサと磁気ディスクの記録層の間隔をできるだけ小さくする必要があり、ディスク表面の平滑化とスライダ浮上量の低減が不可欠となってきている。
【０００３】
ディスク装置としての耐久性を保ちつつ、記録再生特性を満足するために、スライダ浮上量はスライダとディスク表面が接触しないように、できる限り低いことが望ましい。また、アクセスの高速化のため、アクセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定性に優れたスライダが求められている。
【０００４】
現在の磁気ディスク装置では、ディスク表面の粗さは半径位置によらずほぼ一定であるので、スライダ浮上量をディスクの半径位置によらず低い高さで一定に保つことが必要となっている。
【０００５】
更に、磁気ディスク装置の小型化、機構の単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
【０００６】
【従来の技術】
浮上安定性に優れた負圧磁気ヘッドスライダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレール幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの間に溝を画成し、この溝部で負圧が発生されるスライダが提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
【０００７】
図１（Ａ）は上記公開公報に開示された従来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状をしており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有している。
【０００８】
スライダ２のディスク対向面には正圧を発生させるための一対のレール４，６が形成されている。各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）４ａ，６ａを有している。
【０００９】
各レール４，６の空気流入端側にはテーパ面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝８が画成されている。
【００１０】
レール４が位置するスライダ２の空気流出端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１１が形成されている。
【００１１】
各レール４，６の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮上変動を抑制することができる。
【００１２】
図１（Ｂ）はレール面側から見たスライダ２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧が発生する。
【００１３】
各レール４，６の長手方向中心線とスライダ２の長手方向中心線とは概略平行に形成されている。また、磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダは半径方向の位置決めのための回転アームに取り付けられており、磁気ディスクのインナー側からアウター側にかけて連続的にスライダのヨー角（ディスクの回転方向とスライダ中心線のなす角度）が変化する。
【００１４】
ヨー角が大きくなると、磁気ディスクのトラック幅が減少し、出力の低下を引き起こすことから、出力低下を防ぐために、磁気ディスクの最インナートラックと最アウタートラックの間でスライダのヨー角が０°となるように従来のスライダは回転アームに取り付けられている。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
図２に図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した従来のスライダの浮上特性を示す。横軸は磁気ディスクの中心から半径方向距離であり、縦軸は浮上高さを示している。
【００１６】
図２から明らかなように、スライダの浮上高さは磁気ディスクの半径方向中間付近で増加する。これは、次のことが原因である。図３（Ａ）に示すように、スライダのヨー角を磁気ディスクの半径方向位置に係わらず一定とした場合、スライダの浮上高さは磁気ディスクの外周にいく程上昇する。即ち、磁気ディスクの外周ほど周速が増加するので、ヨー角一定の場合には、周速の増加に伴ってスライダの浮上高さは増加する。
【００１７】
また、磁気ディスクの周速を最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定と仮定した場合には、図３（Ｂ）に示すようにスライダのヨー角がほぼ０°付近でスライダの浮上高さは最大となる。
【００１８】
図３（Ｂ）に示すように、スライダのヨー角がほぼ０°付近でスライダの浮上高さが最大となる原因は以下の通りと考えられる。即ち、レール４，６の長手方向中心線と同一方向から空気が流入した場合（ヨー角０°）、正圧力は最大となり、スライダの浮上高さは最大となる。
【００１９】
これに対して、空気流入方向とレール中心線の角度が大きくなると、正圧力は減少し、浮上量は低下する。よって、図３（Ａ）に示した浮上特性と、図３（Ｂ）に示した浮上特性の組み合わせにより、従来のスライダでは図２に示すように磁気ディスクの半径方向中間付近でスライダの浮上高さが増加する。
【００２０】
スライダ浮上高さが大きい従来の一般的な磁気ディスク装置の場合、スライダ浮上高さに対する磁気ディスクの半径方向中間付近での浮上高さ増加の割合は小さく、無視できる程度であったが、近年の磁気ディスク装置の高密度化に伴い負圧スライダを採用すると、スライダ浮上高さが低下し、磁気ディスクの半径方向中間付近での記録再生特性の劣化が問題となってきた。
【００２１】
よって本発明の目的は、磁気ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さが概略一定となるヘッドスライダを提供することである。
本発明の他の目的は、磁気ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さが概略一定となるヘッドスライダを搭載したディスク装置を提供することである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、空気流入端と、空気流出端と、ディスクに対向するディスク対向面とを有するヘッドスライダであって、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたインナーレールと；ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレールと；前記空気流入端側にのみ設けられ、前記インナーレール及び前記アウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されてなり、長手方向中心線が前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜しているセンターレールと；前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、前記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの長手方向中心線は、前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜しており、前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、空気流出端側部分におせる前記空気流出端方向に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であり、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２３】
インナーレール及びアウターレールの全体をスライダの長手方向中心線に対して所定角度傾斜させる代わりに、インナーレール及びアウターレールの中間部分のみをスライダの長手方向中心線に対して空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように所定角度傾斜させるようにしてもよい。
【００２４】
本発明の他の側面によると、ディスク装置であって、ハウジングと；該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；前記ヘッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；前記ヘッドスライダは、ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、空気流入端から空気流出端に渡りディスク対向面に形成されたインナーレールと；ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレールと；前記空気流入端にのみ設けられ、前記インナーレールと前記アウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されてなり、長手方向中心線が前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記ヘッドスライダのヨー角以上の角度傾斜しているセンターレールと；前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、前記ヘッドスライダはディスクの最インナートラックでのヨー角が所定角度となるように前記アクチュエータに取り付けられており；前記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの長手方向中心線は、前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記ヘッドスライダのヨー角以上の角度傾斜しており、前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、空気流出端側部分における前記空気流出端方向に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であり、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするディスク装置が提供される。
【００２５】
【発明の実施の形態】
図４を参照すると、本発明の磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とから構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）である。
【００２６】
ベース１４上にはインナーハブモータによって回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けられている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハブに取り付けられる。
【００２７】
符号２２はアクチュエータアームアセンブリ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアクチュエータを示している。アクチュエータアームアセンブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回りに回転可能に取り付けられている。
【００２８】
アクチュエータアームアセンブリ２６は、回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータアーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸長したコイル支持部材３６を含んでいる。
【００２９】
各アクチュエータアーム３０の先端部には、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペンション３４の基端部が固定されている。
コイル支持部材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成される。
【００３０】
符号４２はヘッドスライダ３２に搭載された電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに電気的に接続されている。
【００３１】
ベース１４上に環状パッキンアセンブリ４６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟んでカバー１６をベース１４にネジ締結することにより、ハウジング１２内が密封される。
【００３２】
図５を参照して、ヘッドスライダ３２のヨー角について説明する。上述したように、ヨー角φは磁気ディスク２０の回転方向とヘッドスライダ３２の長手方向中心線２５とがなす角度である。換言すれば、ヨー角φは磁気ディスク２０の円形トラック２１の接線２３とヘッドスライダ３２の長手方向中心線２５とがなす角度である。
【００３３】
ヨー角φが磁気ディスク２０の最インナートラックと最アウタートラックの間で０°となるように、サスペンション３４がアーム３０に取り付けられている。最インナートラックでのヨー角は約１０°である。
【００３４】
図６は本発明第１実施形態の磁気ヘッドスライダ３２の平面図を示している。磁気ヘッドスライダ３２は空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、直方体形状をしている。磁気ヘッドスライダ３２は図４に示したサスペンション３４により図６の左側方向から支持される。
【００３５】
磁気ヘッドスライダ３２のディスク対向面にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール５０とアウターレール５２が互いに離間して形成されている。
【００３６】
インナーレール５０は幅広の空気流入端部５０ａと、同じく幅広の空気流出端部５０ｂと、幅の狭い中間部分５０ｃを含んでいる。同様にアウターレール５２は幅広の空気流入端部５２ａと、同じく幅広の空気流出端部５２ｂと、幅の狭い中間部分５２ｃを含んでいる。
【００３７】
インナーレール５０の空気流入端部５０ａにはテーパ面５１が形成されており、アウターレール５２の空気流入端部５２ａにもテーパ面５３が形成されている。更に、アウターレール５２の空気流出端部５２ｂには電磁トランスデューサ５４が形成されている。
【００３８】
インナーレール５０及びアウターレール５２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変動を抑えることができる。
【００３９】
また、流入端にテーパ面５１，５３を形成することによって、テーパ面５１，５３で発生する正圧により各レール５０，５２の先端側面への汚れの付着を防止する。
【００４０】
磁気ヘッドスライダ３２の空気流入端部にはセンターレール５６が形成されており、このセンターレール５６とインナー及びアウターレール５０，５２の間にはそれぞれスリット５８，６０が画成されている。更に、インナーレール５０とアウターレール５２の間にはスリット５８，６０に連続する負圧発生用の溝６２が画成されている。尚、スリット５８，６０もインナーレール、アウターレールと同様に傾斜付きで設けられ、空気流入特性、浮上安定性の向上を図っている。
【００４１】
インナーレール５０の長手方向（縦方向）中心線６４とアウターレール５２の長手方向中心線６６は互いに平行であり、スライダ３２の長手方向中心線６８に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１５°傾斜してインナーレール５０及びアウターレール５２が形成されている。本実施形態での磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２のヨー角は約１０°である。
【００４２】
スライダ３２はＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから形成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデューサ５４を形成した後ウエハをバー形状に切断する。次いで、バー形状部材を加工してインナーレール５０、アウターレール５２、センターレール５６を形成した後、個々のスライダ３２に切断する。
【００４３】
スライダサイズは、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．４ｍｍである。インナーレール５０及びアウターレール５２の幅は中間部分５０ｃ，５２ｃで１００μｍ以下となるため、インナーレール５０、アウターレール５２及びセンターレール５６はフォトリソグラフィ技術により形成する。
【００４４】
即ち、形成すべき所望のレールパターンにレジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを削り取ってスリット５８，６０と、溝６２を形成する。テーパ面５１，５３はインナーレール５０及びアウターレール５２を形成する前、或いは後に機械加工によって形成する。
【００４５】
テーパの角度は０．５°〜４．０°、テーパの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望ましい。インナーレール５０及びアウターレール５２のレール面（空気ベアリング表面）で正圧が発生し、溝６２部分で負圧吸引力が発生する。即ち、スリット５８，６０部分で一旦圧縮された空気が溝６２部分で膨張することにより負圧が発生する。
【００４６】
図７を参照すると、レールの傾き量に応じたスライダのヨー角とスライダ浮上高さの関係が示されている。曲線Ａは従来のスライダを示しており、曲線Ｂはインナーレール及びアウターレールをスライダの長手方向中心線に対して約５°傾けた場合を、曲線Ｃは約１０°傾けた場合をそれぞれ示している。
【００４７】
曲線Ａで示す従来のスライダでは、スライダのヨー角が０°のときにスライダの浮上高さは最大となる。一方、曲線Ｂ及びＣで示す本発明のスライダでは、インナーレール及びアウターレールをスライダ長手方向中心線に対して傾けた角度が増加すると、スライダ浮上高さが最大となるヨー角がディスクのインナー方向にシフトする。
【００４８】
よって、ディスクの周速が最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定であると仮定した場合に、ディスクの最インナートラックから最アウタートラックにかけて、スライダ浮上高さが低下するようにインナーレール５０及びアウターレール５２を傾けて配置すると、スライダ浮上高さの周速依存性を打ち消して、ディスクの半径方向の位置に係わらずスライダ浮上高さが一定となる。
【００４９】
図８は本発明第１実施形態のスライダのディスクの中心からの半径方向距離とスライダ浮上高さの関係を示している。この図から明らかなように、ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さはほぼ一定で、図２に示した従来のスライダに比較して半径方向中間部分での浮上高さの増加量が小さくなっている。
【００５０】
図９（Ａ）は第１実施形態のスライダのヨー角をディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定とした場合の、ディスク半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９（Ａ）は第１実施形態のスライダの浮上高さの周速依存特性を示している。
【００５１】
図９（Ｂ）は第１実施形態のスライダのディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り周速が一定と仮定した場合の、ディスク半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。即ち、図９（Ｂ）は第１実施形態のスライダの浮上高さのヨー角依存特性を示している。
【００５２】
図９（Ａ）に示す周速依存特性と図９（Ｂ）に示すヨー角依存特性を組み合わせたものが、図８に示す第１実施形態のスライダ浮上特性である。ディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り概略一定のスライダ浮上高さを得るためには、インナーレール及びアウターレールの傾き角度は約１０°〜約２０°の範囲内が望ましく、更に望ましくは約１５°程度である。各レールの傾き角度は、最インナートラックにおけるスライダのヨー角以上であるのが望ましい。
【００５３】
図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）を参照すると、磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角が１０°の場合の、インナーレール５０及びアウターレール５２の傾斜角度とスライダ浮上高さの関係が示されている。
【００５４】
図１０（Ａ）はインナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が０°の場合を示しており、図２に示した従来の関係に一致する。図１０（Ｂ）はインナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が５°の場合を、図１０（Ｃ）は１０°の場合を、図１０（Ｄ）は１５°の場合をそれぞれ示している。
【００５５】
図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）を観察すると明らかなように、インナー及びアウターレール５０，５２の傾斜角度が増加するにつれて、スライダ浮上高さのピークが低くなっている。
【００５６】
図１０（Ｄ）に示すように、ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角１０°を越えてインナー及びアウターレール５０，５２を１５°傾斜させた場合には、ディスクの半径方向の位置に係わらずスライダ浮上高さが概略一定となる。
【００５７】
上述した第１実施形態の磁気ヘッドスライダ３２では、スライダの長手方向全長に渡りインナーレール５０及びアウターレール５２をスライダの長手方向中心線６８に対して傾けているため、従来の幅ではインナーレール５０及びアウターレール５２の一部がスライダからはみ出してしまう。
【００５８】
このため、スライダの幅を広くしなければならず、スライダの重量が増加し、量産性が悪化するという問題があった。この問題を解決した本発明第２実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａを図１１を参照して説明する。
【００５９】
磁気ヘッドスライダ３２Ａは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、概略直方体形状をしている。磁気ヘッドスライダ３２Ａのディスク対向面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール７０とアウターレール７２が互いに離間して形成されている。
【００６０】
インナーレール７０は幅広の空気流入端部７０ａと、同じく幅広の空気流出端部７０ｂと、空気流入端部７０ａと空気流出端部７０ｂを接続する幅の狭い中間部分７０ｃを含んでいる。
【００６１】
同様に、アウターレール７２は幅広の空気流入端部７２ａと、同じく幅広の空気流出端部７２ｂと、空気流入端部７２ａと空気流出端部７２ｂを接続する幅の狭い中間部分７２ｃを含んでいる。
【００６２】
インナーレール７０及びアウターレール７２の空気流入端部７０ａ，７２ａにはそれぞれテーパ面７１，７３が形成されている。インナーレール７０及びアウターレール７２の間の空気流入端部にはセンターレール７６が形成されており、このセンターレール７６とインナーレール７０及びアウターレール７２の空気流入端部７０ａ，７２ａの間にはそれぞれスリット７８，８０が画成されている。
【００６３】
ここでは、スリット７８，８０はスライダ中心線と平行に形成され、空気流入特性、浮上安定性の向上を図っている。また、インナーレール、アウターレール及びセンターレールの全体バランスを考慮することにより、図６のようにスリット７８，８０が傾斜を有するものにすることもできる。
【００６４】
更に、インナーレール７０及びアウターレール７２の間にはスリット７８，８０に連続する負圧発生用の溝８２が画成されている。アウターレール７２の空気流出端部７２ｂには電磁トランスデューサ７４が形成されている。
【００６５】
本実施形態のスライダ３２Ａは図６に示した第１実施形態のスライダ３２と同様にＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから形成されている。スライダ製造プロセスは第１実施形態のスライダ３２の製造プロセスと同様であるので省略する。
【００６６】
本実施形態のスライダ３２Ａでは、インナーレール７０の中間部分７０ｃとアウターレール７２の中間部分７２ｃのみがスライダ３２Ａの長手方向中心線８８に対して所定角度傾いて形成されている。
【００６７】
即ち、インナーレール７０の中間部分７０ｃとアウターレール７２の中間部分７２ｃは互いに平行に形成されており、その長手方向中心線８４，８６が磁気ヘッドスライダ３２Ａの長手方向中心線８８に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１５°傾斜して形成されている。
【００６８】
このようにインナーレール７０及びアウターレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダの長手方向中心線８８に対して傾けた場合にも、図６に示した第１実施形態のスライダ３２と同様な効果を上げることができる。
【００６９】
これは、インナーレール７０及びアウターレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃで発生する正圧が他の部分で発生する正圧に比較して相対的に大きいからである。
【００７０】
中間部分７０ｃ，７２ｃの傾斜角度は約１０°〜約２０°の範囲内が望ましく、より望ましくは約１５°程度である。スライダ３２Ａの磁気ディスクの最インナートラックでのヨー角は約１０°である。
【００７１】
インナー及びアウターレール７０，７２の中間部分７０ｃ，７２ｃの傾斜角度は、磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角以上であるのが望ましい。
【００７２】
このように第２実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ａでは、インナーレール７０及びアウターレール７２の中間部分７０ｃ，７２ｃのみをスライダの長手方向中心線８８に対して所定角度傾けて形成したので、スライダの幅を従来のスライダの幅と同様に保ったまま、ディスクの半径方向位置によらずスライダの浮上高さを概略一定に保つことができる。
【００７３】
図１２に第２実施形態のスライダ３２Ａのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す。図１２から明らかな通り、ディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡りスライダ３２Ａの浮上高さが概略一定に保たれている。
【００７４】
図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダ３２Ａの浮上高さの周速依存特性を示している。即ち、図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのヨー角をディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡り一定とした場合の、ディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。
【００７５】
図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダ３２Ａの浮上高さのヨー角依存特性を示している。即ち、図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダ３２Ａのディスクの最インナートラックから最アウタートラックに渡りその周速が一定と仮定した場合の、ディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示している。
【００７６】
図１３（Ａ）の周速依存特性と図１３（Ｂ）のヨー角依存特性を組み合わせたものが、図１２に示すスライダ３２Ａの浮上特性である。
図１４は本発明第３実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｂの平面図を示している。磁気ヘッドスライダ３２Ｂは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、直方体形状をしている。
【００７７】
磁気ヘッドスライダ３２Ｂのディスク対向面にはそれぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール９０とアウターレール９２が互いに離間して形成されている。
【００７８】
インナーレール９０は幅広の空気流入端部９０ａと、同じく幅広の空気流出端部９０ｂと、幅の狭い中間部分９０ｃを含んでいる。同様に、アウターレール９２は幅広の空気流入端部９２ａと、同じく幅広の空気流出端部９２ｂと、幅の狭い中間部分９２ｃを含んでいる。
【００７９】
インナーレール９０の空気流入端部９０ａにはテーパ面９１が形成されており、アウターレール９２の空気流入端部９２ａにもテーパ面９３が形成されている。更に、アウターレール９２の空気流出端部９２ｂには電磁トランスデューサ９４が形成されている。
【００８０】
インナーレール９０及びアウターレール９２の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、スライダのヨー角変化による浮上変動を抑えることができる。
【００８１】
また、流入端にテーパ面９１，９３を形成することによって、テーパ面９１，９３で発生する正圧により各レール９０，９２の先端側面への汚れの付着を防止できる。
【００８２】
インナーレール９０の空気流入端部９０ａとアウターレール９２の空気流入端部９２ａの間には、スリット９６が画成されている。更に、インナーレール９０とアウターレール９２の間にはスリット９６に連続する負圧発生用の溝９８が画成されている。
【００８３】
インナーレール９０の長手方向中心線１００とアウターレール９２の長手方向中心線１０２は互いに平行であり、スライダ３２Ｂの長手方向中心線１０４に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１３°傾斜してインナーレール９０及びアウターレール９２が形成されている。本実施形態での磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２Ｂのヨー角は約８°である。
【００８４】
本実施形態のようにセンターレールを有しない負圧スライダ３２Ｂの場合にも、インナーレール９０及びアウターレール９２を所定角度以上、望ましくは磁気ディスクの最インナートラックでのスライダのヨー角以上に傾けることにより、ディスクの半径方向位置に係わらずスライダ浮上高さを概略一定にすることができる。
【００８５】
図１５は本発明第４実施形態の磁気ヘッドスライダ３２Ｃの平面図を示している。磁気ヘッドスライダ３２Ｃは空気流入端３２ａと、空気流出端３２ｂを有しており、概略直方体形状をしている。
【００８６】
磁気ヘッドスライダ３２Ｃのディスク対向面には、それぞれ平坦なレール面（空気ベアリング表面）を有するインナーレール１１０と、アウターレール１１２が互いに離間して形成されている。
【００８７】
インナーレール１１０は幅広の空気流入端部１１０ａと、同じく幅広の空気流出端部１１０ｂと、空気流入端部１１０ａと空気流出端部１１０ｂを接続する幅の狭い中間部分１１０ｃを含んでいる。
【００８８】
同様に、アウターレール１１２は幅広の空気流入端部１１２ａと、同じく幅広の空気流出端部１１２ｂと、空気流入端部１１２ａと空気流出端部１１２ｂを接続する幅の狭い中間部分１１２ｃを含んでいる。
【００８９】
インナーレール１１０及びアウターレール１１２の空気流入端部１１０ａ，１１２ａにはそれぞれテーパ面１１１，１１３が形成されている。インナーレール１１０の空気流入端部１１０ａとアウターレール１１２の空気流入端部１１２ａの間には、スリット１１６が画成されている。
【００９０】
更に、インナーレール１１０とアウターレール１１２の間にはスリット１１６に連続する負圧発生用の溝１１８が画成されている。アウターレール１１２の空気流出端部１１２ｂには電磁トランスデューサ１１４が形成されている。
【００９１】
本実施形態のスライダ３２Ｃは、図１１に示した第２実施形態と同様に、インナーレール１１０の中間部分１１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１１２ｃのみがスライダ３２Ｃの長手方向方向中心線１２４に対して所定角度傾いて形成されている。
【００９２】
即ち、インナーレール１１０の中間部分１１０ｃとアウターレール１１２の中間部分１１２ｃは互いに平行に形成されおり、その長手方向中心線１２０，１２２が磁気ヘッドスライダ３２Ｃの長手方向中心線１２４に対して空気流入端３２ａ側がディスクのインナー方向に近づくように約１６°傾斜して形成されている。
【００９３】
本実施形態の負圧スライダ３２Ｃのように、センターレールを有しない場合にも、図１１に示した第２実施形態と同様な効果を上げることができる。
スライダ３２Ｃの磁気ディスクの最インナートラックでのヨー角は約１２°である。インナー及びアウターレール１１０，１１２の中間部分１１０ｃ，１１２ｃの傾斜角度は磁気ディスクの最インナートラックでのスライダ３２Ｃのヨー角以上であるのが望ましい。
【００９４】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、インナーレール及びアウターレールの一方のみを磁気ディスクのインナー側に所定角度傾けた場合にも、本発明の範囲内である。
【００９５】
更に、一方のレールの中央部分のみをディスクのインナー方向に傾けた場合にも、同様の効果を上げることができる。これらの場合にはスライダのバランス確保に細心の注意を払う必要があり、例えば、インナーレール及びアウターレールのレール幅を変える必要がある。
【００９６】
【発明の効果】
本発明の磁気ヘッドスライダは以上詳述したように構成したので、ディスクの半径方向位置によらず浮上高さが概略一定の磁気ヘッドスライダが得られ、ディスクの半径方向中間付近での記録再生特性の劣化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は従来の磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）はその斜視図をそれぞれ示している。
【図２】従来のスライダのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図３】図３（Ａ）は従来のスライダの周速依存特性を示す図であり、図３（Ｂ）は従来のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図４】本発明の磁気ヘッドスライダを採用した磁気ディスク装置の斜視図である。
【図５】スライダのヨー角を説明する概略図である。
【図６】本発明第１実施形態のスライダの平面図である。
【図７】レールの傾き量に応じたスライダのヨー角と浮上高さの関係を示す図である。
【図８】第１実施形態のスライダのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図９】図９（Ａ）は第１実施形態のスライダの周速依存特性を示す図であり、図９（Ｂ）は第１実施形態のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図１０】図１０（Ａ）〜図１０（Ｄ）はレールの傾斜角度とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図１１】本発明第２実施形態のスライダの平面図である。
【図１２】第２実施形態のスライダのディスクの半径方向位置とスライダ浮上高さの関係を示す図である。
【図１３】図１３（Ａ）は第２実施形態のスライダの周速依存特性を示す図であり、図１３（Ｂ）は第２実施形態のスライダのヨー角依存特性を示す図である。
【図１４】本発明第３実施形態のスライダの平面図である。
【図１５】本発明第４実施形態のスライダの平面図である。
【符号の説明】
３２，３２Ａ 磁気ヘッドスライダ
５０，７０ インナーレール
５２，７２ アウターレール
５６，７６ センターレール
５４，７４ 電磁トランスデューサ
６２，８２ 溝
Claims (4)
- 空気流入端と、空気流出端と、ディスクに対向するディスク対向面とを有するヘッドスライダであって、
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたインナーレールと；
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレールと；
前記空気流入端側にのみ設けられ、前記インナーレール及び前記アウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されてなり、長手方向中心線が前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜しているセンターレールと；
前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；
前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、
前記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの長手方向中心線は、前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜しており、
前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、空気流出端側部分における前記空気流出端方向に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であり、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするヘッドスライダ。 - 空気流入端と、空気流出端と、ディスクに対向するディスク対向面とを有するヘッドスライダであって、
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成された、空気流入端側部分と、空気流出端側部分と、前記空気流入端側部分と前記空気流出端側部分の間の中間部分とを含んだインナーレールと；
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成された、空気流入端側部分と、空気流出端側部分と、前記空気流入端側部分と前記空気流出端側部分の間の中間部分とを含んだアウターレールと；
前記空気流入端にのみ設けられ、前記インナーレール及び前記アウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されて形成されるセンターレールと；
前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；
前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、
前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、前記空気流出端側部分における前記空気流出端に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であ り、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするヘッドスライダ。 - ディスク装置であって、
ハウジングと；
該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；
前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；
前記ヘッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；
前記ヘッドスライダは、
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、空気流入端から空気流出端に渡りディスク対向面に形成されたインナーレールと；
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成されたアウターレールと；
前記空気流入端にのみ設けられ、前記インナーレールと前記アウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されてなり、長手方向中心線が前記スライダの長手方向中心線に対して、前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記ヘッドスライダのヨー角以上の角度傾斜しているセンターレールと；
前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；
前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、
前記ヘッドスライダはディスクの最インナートラックでのヨー角が所定角度となるように前記アクチュエータに取り付けられており；
前記インナーレールの長手方向中心線と前記アウターレールの長手方向中心線は、前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記ヘッドスライダのヨー角以上の角度傾斜しており、
前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、空気流出端側部分における前記空気流出端方向に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であり、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように前記ディスクの最インナートラックにおける前記スライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするディスク装置。 - ディスク装置であって、
ハウジングと；
該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；
前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；
前記スライダをディスクのトラックを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；
前記ヘッドスライダは、
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、空気流入端から空気流出端に渡りディスク対向面に形成された、空気流入端側部分と、空気流出端側部分と、前記空気流入端側部分と前記空気流出端側部分の間の中間部分とを含んだインナーレールと；
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する、前記インナーレールと離間して前記空気流入端から前記空気流出端に渡り前記ディスク対向面に形成された、空気流入端側部分と、空気流出端側部分と、前記空気流入端側部分と前記空気流出端側部分の間の中間部分とを含んだアウターレールと；
前記空気流入端側にのみ設けられ、前記インナーレール及びアウターレールの間に位置し、スリットにより前記インナーレール及び前記アウターレールと離間されて形成されるセンターレールと；
前記インナーレールと前記アウターレールと前記センターレールとによって画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝とを具備し；
前記センターレールは前記空気流入端側から前記負圧を発生させる溝の間に形成されてなり、
前記ヘッドスライダはディスクの最インナートラックでのヨー角が所定角度となるように前記アクチュエータに取り付けられており；
前記インナーレールの中間部分と前記アウターレールの中間部分は、空気流入端側部分における前記空気流入端方向から連続的に幅が細くなる部分と、空気流出端側部分における前記空気流出端方向に向けて連続的に幅が太くなる部分とに連続する幅の狭い部分であり、前記インナーレール及び前記アウターレールの幅の狭い前記中間部分は互いに平行に形成されて前記スライダの長手方向中心線に対して前記空気流入端側がディスクのインナー方向に近づくように該ディスクの最インナートラックにおける前記ヘッドスライダのヨー角以上の角度傾斜していることを特徴とするディスク装置。
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